JP5250196B2 - Display device and electronic device - Google Patents

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本発明は、陽極、陰極、および前記陽極と前記陰極との間に、エレクトロルミネセンス(以下、「EL」と記す)によって発光する薄膜を挟んだ構造からなる素子を基板上に備えた表示装置に関する。   The present invention relates to a display device comprising an anode, a cathode, and an element having a structure in which a thin film emitting light by electroluminescence (hereinafter referred to as “EL”) is sandwiched between the anode and the cathode on a substrate. About.

EL素子とは、陰極と陽極の間に有機化合物、あるいは無機化合物を含む薄膜もしくは結晶を形成し、陰陽極間に通電することで発光を得る素子である。近年、とりわけ有機化合物を主構成成分とする薄膜が陰極と陽極間に設置されたEL素子、すなわち有機EL素子の開発が盛んに行われている。 An EL element is an element that emits light by forming a thin film or a crystal containing an organic compound or an inorganic compound between a cathode and an anode and energizing between the anode and the anode. In recent years, development of an EL element in which a thin film containing an organic compound as a main component is disposed between a cathode and an anode, that is, an organic EL element has been actively performed.

有機EL素子は、様々な分野で応用が期待されており、単なる照明器具から携帯電話やパーソナルコンピュータで用いられるディスプレイなどへの用途が考えられている。有機EL素子は、通電することで発光する材料を一対の電極間に挟み込むことで作製され、液晶と異なりそれ自体が発光するのでバックライトなどの光源がいらないうえ、素子自体が非常に薄いため薄型軽量ディスプレイを作製するにあたり非常に有利である。 The organic EL element is expected to be applied in various fields, and is considered to be used from a simple lighting device to a display used in a mobile phone or a personal computer. Organic EL elements are manufactured by sandwiching a material that emits light when energized between a pair of electrodes. Unlike liquid crystals, the EL elements themselves emit light, so there is no need for a light source such as a backlight, and the element itself is very thin and thin. This is very advantageous for making lightweight displays.

このようなディスプレイとして例えば、陰極に反射性の高い金属を用い、陽極に透明電極を用いた有機EL素子を基板上に備えた表示装置が提案されている。陰極に反射性の高い金属を用いることで、発光層からの発光輝度を向上させることができるが、一方で金属表面で外光が反射することにより外部の映像が映り込み、観測者から表示画像を見えにくくし、表示画像の明るさを暗くするなど画像の表示特性を低下させるという問題がある。この問題を解決するために、反射防止手段を備えることで外部の映像の映り込みを抑える方法が提案されている。例えば、1/4波長板、反射偏光板、及び吸収偏光板からなる反射防止手段を備えた表示装置(特許文献1)や、波長補正板、平面型直線偏光ビームスプリッタ、及び偏光板からなる反射防止手段を備えた表示装置(特許文献2)が開示されている。
特開2005−100789号公報 特開平11−45058号公報
As such a display, for example, a display device having an organic EL element using a highly reflective metal for a cathode and a transparent electrode for an anode on a substrate has been proposed. By using a highly reflective metal for the cathode, it is possible to improve the luminance of light emitted from the light emitting layer, but on the other hand, external light is reflected on the metal surface, and an external image is reflected, and the display image is displayed from the observer. The display characteristics of the image are degraded, such as making the display difficult to see and reducing the brightness of the display image. In order to solve this problem, a method of suppressing reflection of an external image by providing an antireflection means has been proposed. For example, a display device (Patent Document 1) provided with an antireflection means consisting of a ¼ wavelength plate, a reflective polarizing plate, and an absorbing polarizing plate, or a reflection consisting of a wavelength correction plate, a planar linearly polarized beam splitter, and a polarizing plate. A display device (Patent Document 2) provided with prevention means is disclosed.
JP 2005-1000078 A JP-A-11-45058

しかしながら、1/4波長板、反射偏光板、及び吸収偏光板からなる反射防止手段を備えた表示装置や、波長補正板、平面型直線偏光ビームスプリッタ、及び偏光板からなる反射防止手段を備えた表示装置において、陰極表面における外光の反射による外部の映像の映り込みを効率的に抑え込めないだけでなく、表示装置に入射した外光の一部が反射偏光板や平面型直線偏光ビームスプリッタを通過せず、その表面で反射してしまい外部の映像の映り込みが完全には解消されない可能性がある。 However, a display device provided with an antireflection means consisting of a quarter-wave plate, a reflective polarizing plate, and an absorption polarizing plate, and an antireflection means consisting of a wavelength correction plate, a planar linearly polarized beam splitter, and a polarizing plate are provided. In the display device, not only can the external image reflection due to the reflection of the external light on the cathode surface not be suppressed efficiently, but also a part of the external light incident on the display device becomes a reflective polarizing plate or a planar linear polarization beam splitter. There is a possibility that the external image is not completely eliminated due to reflection on the surface without passing through.

本発明において、反射偏光板における外光の反射を防止し、かつ発光層からの光の取り出し効率を向上させる表示装置を提案することを課題とする。 It is an object of the present invention to propose a display device that prevents reflection of external light from a reflective polarizing plate and improves light extraction efficiency from a light emitting layer.

本発明の表示装置は、反射性電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた透明電極と、前記透明電極上に設けられた反射偏光板と、前記反射偏光板上に設けられた1/4波長板と、前記1/4波長板上に設けられた偏光板とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention includes a light emitting layer provided on a reflective electrode, a transparent electrode provided on the light emitting layer, a reflective polarizing plate provided on the transparent electrode, and a reflective polarizing plate. It has the quarter wavelength plate provided and the polarizing plate provided on the said quarter wavelength plate, It is characterized by the above-mentioned.

本発明の表示装置は、基板の一方の面上に、透明電極、発光層、及び反射性電極とを有し、前記基板の他方の面上に反射偏光板、1/4波長板、及び偏光板とを有し、前記1/4波長板は、前記反射偏光板と前記偏光板との間に設けられていることを特徴とする。   The display device of the present invention has a transparent electrode, a light emitting layer, and a reflective electrode on one surface of a substrate, and a reflective polarizing plate, a quarter-wave plate, and a polarized light on the other surface of the substrate. The quarter wavelength plate is provided between the reflective polarizing plate and the polarizing plate.

本発明の表示装置は、透明基板の一方の面上に、透明電極、発光層、及び反射性電極とを有し、前記透明基板の他方の面上に反射偏光板、可視光の範囲において1/4波長板としての効果を有する広帯域化1/4波長板、及び偏光板とを有し、前記広帯域化1/4波長板は、前記反射偏光板と前記偏光板との間に設けられていることを特徴とする。   The display device of the present invention has a transparent electrode, a light emitting layer, and a reflective electrode on one surface of a transparent substrate, a reflective polarizing plate on the other surface of the transparent substrate, and 1 in the range of visible light. / 4 wavelength plate having an effect as a ¼ wavelength plate, and a polarizing plate, and the broadband ¼ wavelength plate is provided between the reflective polarizing plate and the polarizing plate. It is characterized by being.

本発明の表示装置は、反射性電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた透明電極と、前記透明電極上に設けられた基板と、前記基板上に設けられた反射偏光板と、前記反射偏光板上に設けられた1/4波長板と、前記1/4波長板上に設けられた偏光板とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention includes a light emitting layer provided on a reflective electrode, a transparent electrode provided on the light emitting layer, a substrate provided on the transparent electrode, and a reflective provided on the substrate. It has a polarizing plate, a quarter wavelength plate provided on the reflective polarizing plate, and a polarizing plate provided on the quarter wavelength plate.

本発明の表示装置は、基板上に設けられた反射性電極と、前記反射性電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた透明電極と、前記透明電極上に設けられた反射偏光板と、前記反射偏光板上に設けられた1/4波長板と、前記1/4波長板上に設けられた偏光板とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention includes a reflective electrode provided on a substrate, a light emitting layer provided on the reflective electrode, a transparent electrode provided on the light emitting layer, and the transparent electrode. A reflective polarizer, a quarter-wave plate provided on the reflective polarizer, and a polarizer provided on the quarter-wave plate.

本発明の表示装置は、第1の偏光板上に設けられた第1の1/4波長板と、前記第1の1/4波長板上に設けられた第1の反射偏光板と、前記第1の反射偏光板上に設けられた基板と、前記基板上に設けられた第1の透明電極と、前記第1の透明電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた第2の透明電極と、前記第2の透明電極上に設けられた第2の反射偏光板と、前記第2の反射偏光板上に設けられた第2の1/4波長板と、前記第2の1/4波長板上に設けられた第2の偏光板とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention includes a first quarter-wave plate provided on a first polarizing plate, a first reflective polarizing plate provided on the first quarter-wave plate, A substrate provided on the first reflective polarizing plate, a first transparent electrode provided on the substrate, a light emitting layer provided on the first transparent electrode, and provided on the light emitting layer A second transparent electrode, a second reflective polarizing plate provided on the second transparent electrode, a second quarter-wave plate provided on the second reflective polarizing plate, And a second polarizing plate provided on the second quarter-wave plate.

本発明の表示装置は、偏光板上に設けられた1/4波長板と、1/4波長板上に設けられた反射偏光板と、反射偏光板上に設けられた基板と、基板上に設けられた、ソース領域又はドレイン領域を有する半導体膜を有する薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタ上に設けられた、前記ソース領域又はドレイン領域に達するコンタクトホールを有する層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に設けられた前記ソース領域又はドレイン領域と電気的に接続された配線と、前記層間絶縁膜及び前記配線上に設けられた透明電極と、前記透明電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた反射性電極とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention includes a quarter wavelength plate provided on a polarizing plate, a reflective polarizing plate provided on the quarter wavelength plate, a substrate provided on the reflective polarizing plate, and a substrate. A thin film transistor having a semiconductor film having a source region or a drain region provided, an interlayer insulating film having a contact hole reaching the source region or the drain region provided on the thin film transistor, and provided on the interlayer insulating film A wiring electrically connected to the source region or the drain region, a transparent electrode provided on the interlayer insulating film and the wiring, a light emitting layer provided on the transparent electrode, and the light emitting layer And a reflective electrode provided on the substrate.

本発明の表示装置は、基板上に設けられた、ソース領域又はドレイン領域を有する半導体膜を有する薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタ上に設けられた、前記ソース領域又はドレイン領域に達するコンタクトホールを有する層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に設けられた前記ソース領域又はドレイン領域と電気的に接続された配線と、前記層間絶縁膜及び前記配線上に設けられた反射性電極と、前記反射性電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた透明電極と、前記透明電極上に設けられた反射偏光板と、前記反射偏光板上に設けられた1/4波長板と、前記1/4波長板上に設けられた偏光板とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention includes a thin film transistor having a semiconductor film having a source region or a drain region provided on a substrate, and an interlayer insulation having a contact hole provided on the thin film transistor and reaching the source region or the drain region. A film, a wiring electrically connected to the source region or the drain region provided on the interlayer insulating film, a reflective electrode provided on the interlayer insulating film and the wiring, and the reflective electrode A light emitting layer provided on the light emitting layer, a transparent electrode provided on the light emitting layer, a reflective polarizing plate provided on the transparent electrode, a quarter-wave plate provided on the reflective polarizing plate, And a polarizing plate provided on a quarter-wave plate.

本発明の表示装置は、第1の偏光板上に設けられた第1の1/4波長板と、前記第1の1/4波長板上に設けられた第1の反射偏光板と、前記第1の反射偏光板上に設けられた基板と、前記基板上に設けられた、ソース領域又はドレイン領域を有する半導体膜を有する薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタ上に設けられた、前記ソース領域又はドレイン領域に達するコンタクトホールを有する層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に設けられた前記ソース領域又はドレイン領域と電気的に接続された配線と、前記層間絶縁膜及び前記配線上に設けられた第1の透明電極と、前記第1の透明電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた第2の透明電極と、前記第2の透明電極上に設けられた第2の反射偏光板と、前記第2の反射偏光板上に設けられた第2の1/4波長板と、前記第2の1/4波長板上に設けられた第2の偏光板とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention includes a first quarter-wave plate provided on a first polarizing plate, a first reflective polarizing plate provided on the first quarter-wave plate, A substrate provided on the first reflective polarizing plate, a thin film transistor having a semiconductor film having a source region or a drain region provided on the substrate, and the source region or drain region provided on the thin film transistor An interlayer insulating film having a contact hole reaching the first insulating layer; a wiring electrically connected to the source region or the drain region provided on the interlayer insulating film; and a first provided on the interlayer insulating film and the wiring. Transparent electrode, a light emitting layer provided on the first transparent electrode, a second transparent electrode provided on the light emitting layer, and a second reflection provided on the second transparent electrode Polarizing plate and the second reflection And having a second quarter wave plate provided on the optical plate and a second polarizing plate provided on the second quarter-wave plate.

本発明の表示装置は、前記基板と前記反射偏光板との間にプリズムが形成されてなることを特徴とする。   The display device of the present invention is characterized in that a prism is formed between the substrate and the reflective polarizing plate.

本発明の表示装置は、基板の一方の面上に、透明電極、発光層、及び反射性電極とを有し、前記基板の他方の面上に第1の1/4波長板、反射偏光板、第2の1/4波長板、及び偏光板とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention has a transparent electrode, a light emitting layer, and a reflective electrode on one surface of a substrate, and a first quarter-wave plate and a reflective polarizing plate on the other surface of the substrate. And a second quarter-wave plate and a polarizing plate.

本発明の表示装置は、反射性電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた透明電極と、前記透明電極上に設けられた基板と、前記基板上に設けられた第1の1/4波長板と、前記第1の1/4波長板上に設けられた反射偏光板と、前記反射偏光板上に設けられた第2の1/4波長板と、前記第2の1/4波長板上に設けられた偏光板とを有することを特徴とする。   A display device of the present invention includes a light emitting layer provided on a reflective electrode, a transparent electrode provided on the light emitting layer, a substrate provided on the transparent electrode, and a first electrode provided on the substrate. 1 quarter-wave plate, a reflective polarizer provided on the first quarter-wave plate, a second quarter-wave plate provided on the reflective polarizer, and the second And a polarizing plate provided on a quarter-wave plate.

本発明の表示装置は、偏光板上に設けられた第2の1/4波長板と、前記第2の1/4波長板上に設けられた反射偏光板と、前記反射偏光板上に設けられた第1の1/4波長板と、前記第1の1/4波長板上に設けられた基板と、基板上に設けられた、ソース領域又はドレイン領域を有する半導体膜を有する薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタ上に設けられた、前記ソース領域又はドレイン領域に達するコンタクトホールを有する層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に設けられた前記ソース領域又はドレイン領域と電気的に接続された配線と、前記層間絶縁膜及び前記配線上に設けられた透明電極と、前記透明電極上に設けられた発光層と、前記発光層上に設けられた反射性電極とを有することを特徴とする。   The display device of the present invention includes a second quarter-wave plate provided on a polarizing plate, a reflective polarizing plate provided on the second quarter-wave plate, and provided on the reflective polarizing plate. A thin film transistor having a semiconductor film having a source region or a drain region provided on the substrate, and a substrate provided on the first quarter wavelength plate, An interlayer insulating film having a contact hole reaching the source region or the drain region provided on the thin film transistor; and a wiring electrically connected to the source region or the drain region provided on the interlayer insulating film; It has a transparent electrode provided on the interlayer insulating film and the wiring, a light emitting layer provided on the transparent electrode, and a reflective electrode provided on the light emitting layer.

本発明の表示装置は、前記基板と前記第1の1/4波長板との間にプリズムが形成されてなることを特徴とする。   The display device of the present invention is characterized in that a prism is formed between the substrate and the first quarter-wave plate.

本発明の表示装置は、前記1/4波長板、前記第1の1/4波長板、又は前記第2の1/4波長板は、広帯域化1/4波長板であることを特徴とする。   In the display device of the present invention, the quarter-wave plate, the first quarter-wave plate, or the second quarter-wave plate is a broadband quarter-wave plate. .

本発明の電子機器は、当該表示装置を具備することを特徴とする。   The electronic device of the present invention includes the display device.

本発明において、反射偏光板上での外光の反射による外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、発光層において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさの減少を抑えることが可能となる。 In the present invention, reflection of external video due to reflection of external light on the reflective polarizing plate can be suppressed, and image display characteristics can be improved. In addition, light emitted from the light emitting layer can be efficiently extracted, and a reduction in brightness of the display image can be suppressed.

本発明を実施するための最良の形態を、図面を用いながら説明する。但し、本発明は以下の形態に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する本発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、以下の実施の形態1〜7は自由に組み合わせて用いることができる。   The best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following forms, and those skilled in the art can easily understand that the forms and details can be variously changed without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, the present invention should not be construed as being limited to the description of the embodiments below. Note that in structures of the present invention described below, the same portions or portions having similar functions are denoted by the same reference numerals in different drawings, and description thereof is not repeated. Further, Embodiments 1 to 7 below can be used in any combination.

なお、本明細書において、偏光板又は反射偏光板の偏光軸のうち光を透過する軸を透過軸とよぶ。また、偏光板の偏光軸のうち光を吸収する軸を吸収軸とよぶ。なお、透過軸と吸収軸とは直交している。このように吸収軸を有する吸収偏光板を単に偏光板とよぶ。また、特定の偏光成分の光を透過させ、他の偏光成分の光を反射させる機能を有する偏光板を反射偏光板とよぶ。 Note that in this specification, an axis that transmits light among polarization axes of the polarizing plate or the reflective polarizing plate is referred to as a transmission axis. Moreover, the axis | shaft which absorbs light among the polarization axes of a polarizing plate is called an absorption axis. Note that the transmission axis and the absorption axis are orthogonal to each other. Such an absorption polarizing plate having an absorption axis is simply referred to as a polarizing plate. A polarizing plate having a function of transmitting light of a specific polarization component and reflecting light of another polarization component is called a reflection polarizing plate.

ここで、反射偏光板として、直線偏光反射偏光板若しくは円偏光反射偏光板を用いることができる。本明細書において、直線偏光反射偏光板とは、直線偏光の一偏光成分を透過し、他の偏光成分を反射する(つまり、P波又はS波のような直線偏光に対して、いずれかの成分、例えばP波成分を透過させ、S波成分を反射させる)性質を有するものを指し、円偏光反射偏光板とは、右回り若しくは左回りの回転方向を有する円偏光のうち一方の回転方向成分を通過させ、他方を反射する性質を有するものを指す。直線偏光反射偏光板として、例えば異なる屈折率を有する透明層を積層させた多層膜などを用いることができる。また、円偏光反射偏光板として、例えばコレステリック層を有する物質からなるものなどを用いることができる。 Here, a linearly polarized light reflective polarizing plate or a circularly polarized light reflective polarizing plate can be used as the reflective polarizing plate. In this specification, a linearly polarized light reflecting polarizing plate transmits one polarized light component of linearly polarized light and reflects another polarized light component (that is, any one of linearly polarized light such as P wave or S wave, Component, for example, having a property of transmitting a P wave component and reflecting an S wave component), and a circularly polarized light-reflecting polarizing plate is a rotation direction of one of circularly polarized light having a clockwise or counterclockwise rotation direction. The thing which has a property which lets a component pass and reflects the other is pointed out. As the linearly polarized light reflective polarizing plate, for example, a multilayer film in which transparent layers having different refractive indexes are laminated can be used. Further, as the circularly polarized light polarizing plate, for example, a material made of a substance having a cholesteric layer can be used.

また、本明細書において、1/4波長板のかわりに1/2波長板と1/4波長板とを組み合わせたものを用いてもよい。また、本明細書では、可視光の範囲(好ましくは、380nm〜780nm)において1/4波長板としての効果を有する広帯域化1/4波長板を含めて1/4波長板と称する。   In this specification, a combination of a half-wave plate and a quarter-wave plate may be used instead of the quarter-wave plate. In this specification, the term “quarter wave plate” is used to include a broadband quarter wave plate that has an effect as a quarter wave plate in the visible light range (preferably 380 nm to 780 nm).

(実施の形態1)
本実施の形態において、反射偏光板、1/4波長板、及び偏光板を有する表示装置について説明する。図1に、本実施の形態における表示装置の一部を示す。なお、本構成は有機ELや無機ELだけでなく、PDP、SED、FEDなどのディスプレイに対しても有効である。
(Embodiment 1)
In this embodiment mode, a display device including a reflective polarizing plate, a quarter-wave plate, and a polarizing plate will be described. FIG. 1 illustrates part of a display device in this embodiment. This configuration is effective not only for organic EL and inorganic EL, but also for displays such as PDP, SED, and FED.

本実施の形態における表示装置は、図1に示すように基板100上に、透明電極11、発光層12、反射性電極13が積層され、透明電極11の形成面とは反対の基板100上に反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16が積層されている。つまり、反射性電極13、発光層12、透明電極11、基板100、反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16とが順に積層された構造を有する。本実施の形態において、発光層12からの発光は透明電極11側(基板100側)から取り出す構造となっており、透明電極11と反射性電極13間に電流を流すことによって発光を得ることができる。   As shown in FIG. 1, the display device in the present embodiment has a transparent electrode 11, a light emitting layer 12, and a reflective electrode 13 stacked on a substrate 100, and is on a substrate 100 opposite to the surface on which the transparent electrode 11 is formed. A reflective polarizing plate 14, a quarter wavelength plate 15, and a polarizing plate 16 are laminated. That is, the reflective electrode 13, the light emitting layer 12, the transparent electrode 11, the substrate 100, the reflective polarizing plate 14, the quarter wavelength plate 15, and the polarizing plate 16 are sequentially stacked. In the present embodiment, light emitted from the light emitting layer 12 is extracted from the transparent electrode 11 side (substrate 100 side), and light emission can be obtained by passing a current between the transparent electrode 11 and the reflective electrode 13. it can.

偏光板16は、その透過軸と平行な振動面を有する直線偏光成分を透過させ、当該透過軸と直交する振動面を有する直線偏光成分を吸収する機能を有する。 The polarizing plate 16 has a function of transmitting a linearly polarized light component having a vibration surface parallel to the transmission axis and absorbing a linearly polarized light component having a vibration surface orthogonal to the transmission axis.

本実施の形態において、反射偏光板として直線偏光反射偏光板を用いる場合、反射偏光板14の透過軸と1/4波長板15の遅相軸とは45°若しくは135°の角度をなすように配置する。また、直線反射偏光板を用いる場合、この反射偏光板14の透過軸と偏光板16の透過軸とは平行になるように配置する。 In the present embodiment, when a linearly polarized reflective polarizer is used as the reflective polarizer, the transmission axis of the reflective polarizer 14 and the slow axis of the quarter wave plate 15 form an angle of 45 ° or 135 °. Deploy. When a linear reflection polarizing plate is used, the transmission axis of the reflection polarizing plate 14 and the transmission axis of the polarizing plate 16 are arranged in parallel.

また、本実施の形態において、発光層12からの発光は基板100を介して取り出される構成なので基板100は透明基板である必要がある。基板100として、例えば、ガラス基板、石英基板、可撓性基板等を用いることができる。可撓性基板とは、折り曲げることができる(フレキシブル)基板のことであり、例えば、ポリイミド、アクリル、ポリエチレンテレフタラート、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリエーテルスルフォン等からなるプラスチック基板等が挙げられる。また、ポリプロピレン、ポリエステル、ビニル、ポリフッ化ビニル、塩化ビニルなどからなる膜厚の薄いフィルム状の基板を用いることもできる。これらの基板は必要に応じて、平坦化膜を塗布してもよいし、窒化膜、酸化膜若しくはこれらの積層膜を成膜してもよいし、CMP等により研磨してから使用しても良い。 In the present embodiment, since the light emitted from the light emitting layer 12 is extracted through the substrate 100, the substrate 100 needs to be a transparent substrate. As the substrate 100, for example, a glass substrate, a quartz substrate, a flexible substrate, or the like can be used. The flexible substrate is a substrate that can be bent (flexible), and examples thereof include a plastic substrate made of polyimide, acrylic, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyarylate, polyethersulfone, or the like. A thin film-like substrate made of polypropylene, polyester, vinyl, polyvinyl fluoride, vinyl chloride, or the like can also be used. These substrates may be coated with a planarizing film, a nitride film, an oxide film, or a laminated film thereof, if necessary, or may be used after being polished by CMP or the like. good.

透明電極11として、インジウム錫酸化物(ITO、Indium Tin Oxide)、または酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)、亜鉛酸化物(ZnO)、酸化珪素を含んだ酸化インジウムにさらに2〜20wt%の酸化亜鉛(ZnO)を混合したターゲットを用いて形成された酸化インジウム酸化亜鉛(IZO、Indium Zinc Oxide)、ガリウムを含む亜鉛酸化物(GZO)、錫酸化物(SnO)、インジウム酸化物(In)等を用いることができる。 As the transparent electrode 11, indium tin oxide (ITO, Indium Tin Oxide), indium tin oxide containing silicon oxide (ITSO), zinc oxide (ZnO), indium oxide containing silicon oxide, and further 2 to 20 wt% Indium zinc oxide (IZO), zinc oxide containing gallium (GZO), tin oxide (SnO 2 ), indium oxide (IZO) formed using a target in which zinc oxide (ZnO) is mixed. In 2 O 3 ) or the like can be used.

発光層12は、発光物質を含む層であり、例えば透明電極11上にホール輸送層、発光層、電子輸送層とが順に積層された構成を有している。発光層12の構成は、この構成に限定されず少なくとも発光層を有していればよい。また、例えば、発光層以外に、電子注入層、電子輸送層、ホールブロッキング層、ホール輸送層、ホール注入層等の機能性の各層を自由に組み合わせてもよい。なお、本実施の形態において透明電極11が陽極として機能するため、透明電極11側からホール注入層、ホール輸送層、ホールブロッキング層、発光層、電子輸送層、電子注入層の順に積層する。また、これらの各層を合わせた混合層又は混合接合を形成しても良い。なお各層の境目は必ずしも明確である必要はなく、互いの層を構成している材料が一部混合し、界面が不明瞭になっている場合もある。各層には、有機系の材料、無機系の材料を用いることが可能である。有機系の材料として、高分子系、中分子系、低分子系のいずれの材料も用いることが可能である。なお中分子系の材料とは、構造単位の繰返しの数(重合度)が2から20程度の低重合体に相当する。 The light-emitting layer 12 is a layer containing a light-emitting substance, and has a configuration in which, for example, a hole transport layer, a light-emitting layer, and an electron transport layer are sequentially stacked on the transparent electrode 11. The structure of the light emitting layer 12 is not limited to this structure, and it is sufficient if it has at least a light emitting layer. For example, in addition to the light emitting layer, functional layers such as an electron injection layer, an electron transport layer, a hole blocking layer, a hole transport layer, and a hole injection layer may be freely combined. In the present embodiment, since the transparent electrode 11 functions as an anode, a hole injection layer, a hole transport layer, a hole blocking layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer are laminated in this order from the transparent electrode 11 side. Moreover, you may form the mixed layer or mixed junction which combined these each layer. Note that the boundaries between the layers are not necessarily clear, and there are cases where the materials constituting the layers are partially mixed and the interface is unclear. For each layer, an organic material or an inorganic material can be used. As the organic material, any of a high molecular weight material, a medium molecular weight material, and a low molecular weight material can be used. The medium molecular weight material corresponds to a low polymer having a number of repeating structural units (degree of polymerization) of about 2 to 20.

反射性電極13として、反射率の高い金属(例えば、反射率が40%以上の金属)を用いることが好ましい。例えば、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、またはこれらを含む合金であるAlLi合金、MgAg合金等を用いることができる。また、反射性電極13は、反射率の高い金属と他の電極材料との積層構造としてもよい。アルカリ金属やアルカリ土類金属の膜を薄く(例えば5nm程度)形成し、反射率の高い金属と積層させることにより、電子注入性を高めることが可能となる。 As the reflective electrode 13, it is preferable to use a metal having a high reflectance (for example, a metal having a reflectance of 40% or more). For example, aluminum (Al), silver (Ag), or an AlLi alloy, an MgAg alloy, or the like that includes these can be used. The reflective electrode 13 may have a laminated structure of a highly reflective metal and another electrode material. By forming a thin film (for example, about 5 nm) of an alkali metal or an alkaline earth metal and laminating it with a metal having a high reflectivity, it is possible to improve the electron injecting property.

ここで、反射偏光板14が直線偏光反射偏光板である場合について説明する。まず、表示装置の観察面、つまり偏光板16の表側から入射する外光のうち偏光板16の吸収軸に平行な光成分(第1の偏光とよぶ)が偏光板16によって吸収され、表示装置には偏光板16の透過軸に平行な第2の偏光が入射される。この第2の偏光は、1/4波長板15を通ることで右回り又は左回りの円偏光に変換される。本実施の形態では、右回り円偏光に変換される場合を考える。右回り円偏光に変換された第2の偏光のうち反射偏光板14の透過軸と一致しない偏光成分は、反射偏光板14において反射されて左回り円偏光として1/4波長板15へ戻り、該左回り円偏光は1/4波長板15を透過することにより、第2の偏光の偏光軸と垂直な偏光軸を有する第3の偏光に変換される。つまり、第3の偏光は偏光板16の吸収軸に平行な偏光軸を有する。左回り円偏光とした場合も同様に、偏光板16の吸収軸に平行な偏光軸を有する第3の偏光が射出される。従って、第3の偏光は偏光板16を透過することなく吸収される。 Here, the case where the reflective polarizing plate 14 is a linearly polarizing reflective polarizing plate will be described. First, light components (referred to as first polarized light) parallel to the absorption axis of the polarizing plate 16 out of the external light incident from the observation surface of the display device, that is, the front side of the polarizing plate 16 are absorbed by the polarizing plate 16 and are displayed. The second polarized light parallel to the transmission axis of the polarizing plate 16 is incident on. This second polarized light passes through the quarter-wave plate 15 and is converted into clockwise or counterclockwise circularly polarized light. In this embodiment, a case where the light is converted to clockwise circularly polarized light is considered. Of the second polarized light converted to clockwise circularly polarized light, the polarized light component that does not coincide with the transmission axis of the reflective polarizing plate 14 is reflected by the reflective polarizing plate 14 and returns to the quarter wavelength plate 15 as counterclockwise circularly polarized light. The counterclockwise circularly polarized light passes through the quarter-wave plate 15 and is converted into third polarized light having a polarization axis perpendicular to the polarization axis of the second polarization. That is, the third polarized light has a polarization axis parallel to the absorption axis of the polarizing plate 16. Similarly, in the case of counterclockwise circularly polarized light, third polarized light having a polarization axis parallel to the absorption axis of the polarizing plate 16 is emitted. Therefore, the third polarized light is absorbed without passing through the polarizing plate 16.

また、当該第2の偏光のうち反射偏光板14の透過軸と一致する偏光成分は、反射偏光板14を透過する。そして、反射性電極13上で反射し、再び反射偏光板14を通過した後、1/4波長板15を介して当該第2の偏光の偏光軸と垂直な偏光成分を有する第4の偏光に変換される。第4の偏光は、偏光板16の吸収軸と一致するため、偏光板16を透過することなく吸収される。従って、表示装置に入射した外光の成分は偏光板16により吸収され、外光は再び外部に射出することがなくなり、外部の映像の映り込みを抑えることができる。 In addition, a polarized light component that coincides with the transmission axis of the reflective polarizing plate 14 in the second polarized light passes through the reflective polarizing plate 14. Then, after being reflected on the reflective electrode 13 and again passing through the reflective polarizing plate 14, the fourth polarized light having a polarization component perpendicular to the polarization axis of the second polarized light is passed through the quarter-wave plate 15. Converted. Since the fourth polarized light coincides with the absorption axis of the polarizing plate 16, it is absorbed without passing through the polarizing plate 16. Accordingly, the component of the external light incident on the display device is absorbed by the polarizing plate 16, and the external light is not emitted to the outside again, and reflection of an external image can be suppressed.

一方、発光層12において発光した光は、反射偏光板14の透過軸と平行な偏光成分はそのまま反射偏光板14を通り、1/4波長板15を介して円偏光となり、透過軸と同じ成分の光が偏光板16を通過して表示装置から射出される。残りの偏光成分は、反射偏光板14で反射されて発光層12方向へ戻り、反射性電極13において反射されて再度反射偏光板14へ入射する。ここで、反射偏光板14の偏光軸と平行でない偏光軸を有する光は、反射偏光板14と反射性電極13との間で繰り返し反射される。そして、繰り返し反射されることで、偏光軸がずれ、反射が繰り返された光の偏光軸が反射偏光板14の偏光軸と平行になり、反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16を通過して表示装置から射出される。このため、従来は利用することのできなかった発光成分を有効活用することが可能となり、表示画像の明るさの向上を図ることができる。 On the other hand, the light emitted from the light-emitting layer 12 passes through the reflective polarizing plate 14 as it is and the polarization component parallel to the transmission axis of the reflective polarizing plate 14 becomes circularly polarized light through the quarter-wave plate 15 and has the same component as the transmission axis. Light passes through the polarizing plate 16 and is emitted from the display device. The remaining polarization component is reflected by the reflective polarizing plate 14 and returns toward the light emitting layer 12, is reflected by the reflective electrode 13, and enters the reflective polarizing plate 14 again. Here, light having a polarization axis that is not parallel to the polarization axis of the reflective polarizer 14 is repeatedly reflected between the reflective polarizer 14 and the reflective electrode 13. Then, by being repeatedly reflected, the polarization axis is shifted, the polarization axis of the light that has been repeatedly reflected becomes parallel to the polarization axis of the reflective polarizing plate 14, and the reflective polarizing plate 14, the quarter wavelength plate 15, the polarizing plate 16 is ejected from the display device. For this reason, it becomes possible to effectively utilize the light-emitting components that could not be used conventionally, and the brightness of the display image can be improved.

また、反射偏光板14と1/4波長板15との間に追加して偏光板17を設けてもよい図1(B)。その場合、偏光板16及び偏光板17の透過軸が一致するように配置する。偏光板17を設けることにより、上記右回り円偏光に変換された第2の偏光のうち反射偏光板14の透過軸と一致せず、反射偏光板14において反射された偏光が、偏光板17において吸収されるため、外光は再び外部に射出することがなくなり、外部の映像の映り込みをより効果的に抑えることができる。 Further, a polarizing plate 17 may be additionally provided between the reflective polarizing plate 14 and the quarter wavelength plate 15 (FIG. 1B). In that case, it arrange | positions so that the transmission axis of the polarizing plate 16 and the polarizing plate 17 may correspond. By providing the polarizing plate 17, the second polarized light converted to the clockwise circularly polarized light does not coincide with the transmission axis of the reflective polarizing plate 14, and the polarized light reflected by the reflective polarizing plate 14 is reflected in the polarizing plate 17. Since the light is absorbed, the external light is not emitted to the outside again, and reflection of an external image can be more effectively suppressed.

また、反射偏光板14が円偏光反射偏光板である場合について説明する。まず、表示装置の観察面、つまり偏光板16の表側から入射する外光のうち偏光板16の吸収軸に平行な光成分(第1の偏光とよぶ)が偏光板16によって吸収され、表示装置には偏光板16の透過軸に平行な第2の偏光が入射される。この第2の偏光は、1/4波長板15を通ることで右回り又は左回りの円偏光に変換される。本実施の形態では、右回り円偏光に変換される場合を考える。ここで反射偏光板14は、左回りの円偏光成分を透過させ、右回りの円偏光成分を反射する機能を有する。右回り円偏光に変換された第2の偏光は、反射偏光板14において反射されて1/4波長板15へ戻り、1/4波長板15を透過することにより、第2の偏光の偏光軸と垂直な偏光軸を有する第3の偏光に変換される。つまり、第3の偏光は偏光板16の吸収軸に平行な偏光軸を有する。ここで、第2の偏光が1/4波長板15で左回り円偏光に変換される場合は、反射偏光板14に右回り円偏光を透過し、左回り円偏光を反射する機能を有するものを用いれば、偏光板16の吸収軸に平行な偏光軸を有する第3の偏光に変換される。従って、表示装置に入射した外光の成分は偏光板16により吸収され、外光は再び外部に射出することがなくなり、外部の映像の映り込みを抑えることができる。 The case where the reflective polarizing plate 14 is a circularly polarizing reflective polarizing plate will be described. First, light components (referred to as first polarized light) parallel to the absorption axis of the polarizing plate 16 out of the external light incident from the observation surface of the display device, that is, the front side of the polarizing plate 16 are absorbed by the polarizing plate 16 and are displayed. The second polarized light parallel to the transmission axis of the polarizing plate 16 is incident on. This second polarized light passes through the quarter-wave plate 15 and is converted into clockwise or counterclockwise circularly polarized light. In this embodiment, a case where the light is converted to clockwise circularly polarized light is considered. Here, the reflective polarizing plate 14 has a function of transmitting the counterclockwise circularly polarized light component and reflecting the clockwise circularly polarized light component. The second polarized light converted to the clockwise circularly polarized light is reflected by the reflective polarizing plate 14, returns to the quarter wavelength plate 15, and passes through the quarter wavelength plate 15, whereby the polarization axis of the second polarized light is obtained. Is converted into a third polarized light having a polarization axis perpendicular thereto. That is, the third polarized light has a polarization axis parallel to the absorption axis of the polarizing plate 16. Here, when the second polarized light is converted into the counterclockwise circularly polarized light by the quarter wavelength plate 15, it has a function of transmitting the clockwise circularly polarized light to the reflective polarizing plate 14 and reflecting the counterclockwise circularly polarized light. Is converted into third polarized light having a polarization axis parallel to the absorption axis of the polarizing plate 16. Accordingly, the component of the external light incident on the display device is absorbed by the polarizing plate 16, and the external light is not emitted to the outside again, and reflection of an external image can be suppressed.

一方、発光層12において発光した光は、反射偏光板のコレステリック層のらせんの回転方向に一致しない円偏光成分はそのまま反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16を通過して表示装置から射出される。また、らせんの回転方向に一致する円偏光成分は、反射偏光板14で反射されて発光層12方向へ戻り、反射性電極13において反射されて再度反射偏光板14へ入射する。ここで、反射偏光板14の透過しない偏光は、反射偏光板14と反射性電極13との間で繰り返し反射される。そして、繰り返し反射されることで、偏光軸がずれ、反射が繰り返された光が反射偏光板14を透過し、1/4波長板15、偏光板16を通過して表示装置から射出される。このため、従来は利用することのできなかった発光成分を有効活用することが可能となり、表示画像の明るさの向上を図ることができる。 On the other hand, the light emitted from the light-emitting layer 12 passes through the reflective polarizing plate 14, the quarter-wave plate 15, and the polarizing plate 16 as it is, and the circularly polarized light component that does not coincide with the rotational direction of the spiral of the cholesteric layer of the reflective polarizing plate is displayed. Injected from the device. In addition, the circularly polarized light component that coincides with the rotational direction of the spiral is reflected by the reflective polarizing plate 14, returns to the light emitting layer 12 direction, is reflected by the reflective electrode 13, and enters the reflective polarizing plate 14 again. Here, the polarized light that does not pass through the reflective polarizing plate 14 is repeatedly reflected between the reflective polarizing plate 14 and the reflective electrode 13. Then, by being repeatedly reflected, the polarization axis is shifted, and the light that has been reflected is transmitted through the reflective polarizing plate 14, passes through the quarter-wave plate 15 and the polarizing plate 16, and is emitted from the display device. For this reason, it becomes possible to effectively utilize the light-emitting components that could not be used conventionally, and the brightness of the display image can be improved.

本実施の形態において、偏光板16上に反射防止膜や無反射防止膜などを設けてもよい。反射防止膜とは、屈折率の異なる薄膜などを積層することにより表面における外光の反射を抑えるものである。反射防止膜を設けることにより、偏光板16表面での外光の反射が抑えられ、さらに外部の映像の映り込みを抑えることが可能となる。 In the present embodiment, an antireflection film, an antireflection film, or the like may be provided over the polarizing plate 16. An antireflection film suppresses reflection of external light on the surface by laminating thin films having different refractive indexes. By providing the antireflection film, reflection of external light on the surface of the polarizing plate 16 can be suppressed, and reflection of an external image can be further suppressed.

また、1/4波長板として可視光の範囲(好ましくは、380nm〜780nm)において1/4波長板としての機能を有する広帯域化1/4波長板を用いることにより、可視光の範囲で良好な1/4波長特性が得られ、外光を広い範囲で打ち消すことができるだけでなく、発光層12からの射出光を効率よく取り出すことが可能である。 In addition, by using a broadband quarter-wave plate having a function as a quarter-wave plate in the visible light range (preferably 380 nm to 780 nm) as the quarter-wave plate, it is favorable in the visible light range. A quarter wavelength characteristic can be obtained, and not only can external light be canceled in a wide range, but also light emitted from the light emitting layer 12 can be efficiently extracted.

本実施の形態の表示装置において、反射偏光板14上での外光の反射による外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、発光層12において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさの改善を図ることが可能となる。 In the display device of the present embodiment, reflection of external video due to reflection of external light on the reflective polarizing plate 14 can be suppressed, and image display characteristics can be improved. Further, the light emitted from the light emitting layer 12 can be extracted efficiently, and the brightness of the display image can be improved.

(実施の形態2)
本実施の形態では、反射偏光板14と基板100との間にプリズム層を設ける場合を説明する。なお、図2において図1と同じ部分は同じ符号を用いて示し、説明は省略する。図2に、本実施の形態における表示装置の一部を示す。
(Embodiment 2)
In this embodiment, a case where a prism layer is provided between the reflective polarizing plate 14 and the substrate 100 will be described. 2 that are the same as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. FIG. 2 shows part of the display device in this embodiment.

本実施の形態における表示装置は、図2(A)に示すように基板100上に、透明電極11、発光層12、反射性電極13が積層され、透明電極11の形成面とは反対の基板100上にプリズム層201、反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16が積層されている。つまり、反射性電極13、発光層12、透明電極11、基板100、プリズム層201、反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16とが順に積層された構造を有する。 In the display device in this embodiment, a transparent electrode 11, a light emitting layer 12, and a reflective electrode 13 are stacked over a substrate 100 as shown in FIG. A prism layer 201, a reflective polarizing plate 14, a quarter-wave plate 15, and a polarizing plate 16 are laminated on 100. That is, the reflective electrode 13, the light emitting layer 12, the transparent electrode 11, the substrate 100, the prism layer 201, the reflective polarizing plate 14, the ¼ wavelength plate 15, and the polarizing plate 16 are sequentially stacked.

本実施の形態において、プリズム層201は偏光の偏光軸をずらすために設けられた、表面に突起がストライプ状に形成され、該ストライプに垂直な方向の断面がランダムな大きさのくし形であるフィルム状の部材である。なお、本実施の形態において、プリズム層201は、偏光の偏光軸をずらすことができる散乱層であればよく特に限定されない。このような散乱層として、例えば、大きさや屈折率の異なる材料からなる物質202が拡散された薄い膜203であってもよい(図2(B))。また、散乱層とプリズム層とを両方設けてもよい。 In the present embodiment, the prism layer 201 is provided in order to shift the polarization axis of polarized light, the protrusions are formed in a stripe shape on the surface, and the cross section in the direction perpendicular to the stripe is a comb having a random size. It is a film-like member. In the present embodiment, the prism layer 201 is not particularly limited as long as it is a scattering layer capable of shifting the polarization axis of polarized light. Such a scattering layer may be, for example, a thin film 203 in which substances 202 made of materials having different sizes and refractive indexes are diffused (FIG. 2B). Moreover, you may provide both a scattering layer and a prism layer.

本実施の形態において、反射偏光板として直線偏光反射偏光板を用いる場合、反射偏光板14の偏光軸と1/4波長板15の遅相軸とは45°若しくは135°の角度をなすように配置する。また、直線反射偏光板を用いる場合、反射偏光板14の透過軸と偏光板16の透過軸とは平行になるように配置する。   In the present embodiment, when a linearly polarized reflective polarizer is used as the reflective polarizer, the polarization axis of the reflective polarizer 14 and the slow axis of the quarter wave plate 15 are at an angle of 45 ° or 135 °. Deploy. Further, when a linear reflection polarizing plate is used, the transmission axis of the reflection polarizing plate 14 and the transmission axis of the polarizing plate 16 are arranged in parallel.

この構成によって、実施の形態1と同様に、表示装置に入射した外光は偏光板16において吸収され、再び外部に射出することがなくなり、外部の映像の映り込みを抑えることができる。 With this configuration, as in the first embodiment, external light incident on the display device is absorbed by the polarizing plate 16 and is not emitted to the outside again, and reflection of external images can be suppressed.

一方、発光層12において発光した光は、実施の形態1と同様に、反射偏光板14と反射性電極13との間で繰り返し反射されることにより、発光層12において発光した光を効率的に射出させることができ、従来は利用することのできなかった発光成分を有効活用することが可能となり、表示画像の明るさの向上を図ることができる。本実施の形態において、プリズム層201を介して反射偏光板14と反射性電極13との間で繰り返し反射が行われているため、効率的に偏光軸をずらすことができ、発光層12において発光された光の取り出し効率をより向上させることができる。プリズム層201は、発光の集光だけでなく反射偏光板14と反射性電極13との間で繰り返し反射される偏光の向きや状態を変化させる作用を有すれば、1枚だけ設けてもよいし複数枚設けてもよい。   On the other hand, the light emitted from the light emitting layer 12 is efficiently reflected between the reflective polarizing plate 14 and the reflective electrode 13 in the same manner as in the first embodiment, so that the light emitted from the light emitting layer 12 is efficiently reflected. It is possible to emit light, and it is possible to effectively use light-emitting components that could not be used conventionally, and the brightness of the display image can be improved. In the present embodiment, since the reflection is repeatedly performed between the reflective polarizing plate 14 and the reflective electrode 13 via the prism layer 201, the polarization axis can be efficiently shifted, and the light emitting layer 12 emits light. The extraction efficiency of the emitted light can be further improved. Only one prism layer 201 may be provided as long as it has an action of changing the direction and state of polarized light that is repeatedly reflected between the reflective polarizing plate 14 and the reflective electrode 13 as well as condensing the emitted light. A plurality of sheets may be provided.

本実施の形態の表示装置において、反射偏光板14上での外光の反射による外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、発光層12において発光した光をより効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさの改善を図ることが可能となる。 In the display device of the present embodiment, reflection of external video due to reflection of external light on the reflective polarizing plate 14 can be suppressed, and image display characteristics can be improved. Further, the light emitted from the light emitting layer 12 can be extracted more efficiently, and the brightness of the display image can be improved.

(実施の形態3)
本実施の形態において、反射偏光板14と基板100との間に1/4波長板を設ける場合を説明する。なお、図3において図1と同じ部分は同じ符号を用いて示し、説明は省略する。図3に、本実施の形態における表示装置の一部を示す。
(Embodiment 3)
In the present embodiment, a case where a quarter wavelength plate is provided between the reflective polarizing plate 14 and the substrate 100 will be described. 3 that are the same as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. FIG. 3 illustrates part of the display device in this embodiment.

本実施の形態における表示装置は、図3に示すように基板100上に、透明電極11、発光層12、反射性電極13が積層され、透明電極11の形成面とは反対の基板100上に1/4波長板301(第1の1/4波長板とよぶ)、反射偏光板14、1/4波長板15(第2の1/4波長板とよぶ)、偏光板16が積層されている。つまり、反射性電極13、発光層12、透明電極11、基板100、1/4波長板301、反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16とが順に積層された構造を有する。 As shown in FIG. 3, the display device in the present embodiment has a transparent electrode 11, a light emitting layer 12, and a reflective electrode 13 laminated on a substrate 100, and is on a substrate 100 opposite to the surface on which the transparent electrode 11 is formed. A quarter wavelength plate 301 (referred to as a first quarter wavelength plate), a reflective polarizing plate 14, a quarter wavelength plate 15 (referred to as a second quarter wavelength plate), and a polarizing plate 16 are laminated. Yes. That is, the reflective electrode 13, the light emitting layer 12, the transparent electrode 11, the substrate 100, the quarter wavelength plate 301, the reflective polarizing plate 14, the quarter wavelength plate 15, and the polarizing plate 16 are sequentially stacked.

本実施の形態において、反射偏光板として直線偏光反射偏光板を用いる場合、反射偏光板14の偏光軸と第1の1/4波長板301の偏光軸とは45°若しくは135°の角度をなすように配置する。また、反射偏光板14として直線偏光反射偏光板を用いる場合、反射偏光板14の透過軸と第2の1/4波長板15の透過軸とは45°若しくは135°の角度をなすように配置する。また、直線偏光反射偏光板を用いる場合、反射偏光板14の透過軸と偏光板16の透過軸とは平行になるように配置する。   In this embodiment, when a linearly polarized reflective polarizer is used as the reflective polarizer, the polarization axis of the reflective polarizer 14 and the polarization axis of the first quarter wave plate 301 form an angle of 45 ° or 135 °. Arrange as follows. When a linearly polarized reflective polarizer is used as the reflective polarizer 14, the transmission axis of the reflective polarizer 14 and the transmission axis of the second quarter-wave plate 15 are arranged at an angle of 45 ° or 135 °. To do. When a linearly polarized reflective polarizing plate is used, the transmission axis of the reflective polarizing plate 14 and the transmission axis of the polarizing plate 16 are arranged in parallel.

ここで、反射偏光板が、直線偏光反射偏光板である場合について説明する。まず、表示装置の観察面、つまり偏光板16の表側から入射する外光のうち偏光板16の吸収軸に平行な偏光成分(第1の偏光とよぶ)が偏光板16によって吸収され、表示装置には偏光板16の透過軸に平行な第2の偏光が入射する。この第2の偏光は、第2の1/4波長板15を通ることで右回り又は左回りの円偏光に変換され、当該第2の偏光のうち反射偏光板14の透過軸と一致しない成分は反射偏光板14で反射されるが、実施の形態1と同様に、偏光板16を透過することなく吸収され、表示装置に入射した外光の成分が再び外部に射出することがなくなる。 Here, a case where the reflective polarizing plate is a linearly polarizing reflective polarizing plate will be described. First, of the external light incident from the observation surface of the display device, that is, the front side of the polarizing plate 16, a polarized light component (referred to as first polarized light) parallel to the absorption axis of the polarizing plate 16 is absorbed by the polarizing plate 16. The second polarized light parallel to the transmission axis of the polarizing plate 16 is incident on. This second polarized light is converted into clockwise or counterclockwise circularly polarized light by passing through the second quarter-wave plate 15, and the component of the second polarized light that does not coincide with the transmission axis of the reflective polarizing plate 14 Is reflected by the reflective polarizing plate 14, but is absorbed without passing through the polarizing plate 16 as in the first embodiment, and the component of the external light incident on the display device is not emitted to the outside again.

また、当該第2の偏光のうち反射偏光板14の透過軸と一致する偏光成分は、反射偏光板14を透過する。その後、第1の1/4波長板301において右回り又は左回りの円偏光に変換され、反射性電極13において反射されて第1の1/4波長板301のほうへ戻る。反射性電極13で反射された円偏光は、偏光方向が反転するため、第1の1/4波長板301を通過した偏光は反射偏光板14で反射する。この反射光は再び第1の1/4波長板301を通り、円偏光となり反射性電極13において再び反射する。当該円偏光が再び1/4波長板を通過することにより、反射偏光板14の透過軸と一致した直線偏光となり、第2の1/4波長板15において円偏光に変換され、偏光板16吸収軸と一致する成分が吸収される。一部の成分は射出されるが、最終的に表示装置内部で減衰した光が射出することになるので、使用上問題のない程度に外部の映像の映り込みを抑えることができる。 In addition, a polarized light component that coincides with the transmission axis of the reflective polarizing plate 14 in the second polarized light passes through the reflective polarizing plate 14. Thereafter, the light is converted into clockwise or counterclockwise circularly polarized light by the first quarter-wave plate 301, reflected by the reflective electrode 13, and returned to the first quarter-wave plate 301. Since the polarization direction of the circularly polarized light reflected by the reflective electrode 13 is reversed, the polarized light that has passed through the first quarter-wave plate 301 is reflected by the reflective polarizing plate 14. This reflected light again passes through the first quarter-wave plate 301, becomes circularly polarized light, and is reflected again by the reflective electrode 13. When the circularly polarized light passes through the quarter wavelength plate again, it becomes linearly polarized light that coincides with the transmission axis of the reflective polarizing plate 14, is converted into circularly polarized light by the second quarter wavelength plate 15, and is absorbed by the polarizing plate 16. Components that coincide with the axis are absorbed. Although some components are emitted, the attenuated light is finally emitted inside the display device, so that reflection of an external image can be suppressed to the extent that there is no problem in use.

一方、発光層12において発光した光は、まず第1の1/4波長板301において、円偏光又は直線偏光に変換され、変換された成分のうち反射偏光板14の透過軸と平行な偏光成分は反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16を通過して表示装置から射出される。残りの偏光成分は、反射偏光板14で反射されて第1の1/4波長板301方向へ戻り右回り又は左回りの円偏光に変換される。この右回り又は左回り円偏光は、反射性電極13において反射されて偏光方向が反転した円偏光として再度第1の1/4波長板301へ入射する。そして、第1の1/4波長板301において、反射偏光板14と平行な偏光軸を有する偏光に変換され、偏光板16を通過して表示装置から射出される。従って、従来は利用することのできなかった発光層12からの発光成分を有効活用することが可能となり、表示画像の明るさの向上を図ることができる。   On the other hand, the light emitted from the light emitting layer 12 is first converted into circularly polarized light or linearly polarized light at the first quarter wavelength plate 301, and the polarized component parallel to the transmission axis of the reflective polarizing plate 14 among the converted components. Passes through the reflective polarizing plate 14, the quarter wavelength plate 15, and the polarizing plate 16, and is emitted from the display device. The remaining polarization component is reflected by the reflective polarizing plate 14, returns toward the first quarter-wave plate 301, and is converted into clockwise or counterclockwise circularly polarized light. This clockwise or counterclockwise circularly polarized light is incident on the first quarter-wave plate 301 again as circularly polarized light that is reflected by the reflective electrode 13 and whose polarization direction is reversed. Then, in the first quarter wavelength plate 301, the light is converted into polarized light having a polarization axis parallel to the reflective polarizing plate 14, passes through the polarizing plate 16, and is emitted from the display device. Therefore, it is possible to effectively utilize the light emitting component from the light emitting layer 12 that could not be used conventionally, and the brightness of the display image can be improved.

また、反射偏光板が円偏光反射偏光板である場合の構成について説明する。ここで、反射偏光板14が左回り円偏光を透過し、右回り円偏光を反射する機能を有する場合を説明する。まず、表示装置の面観察、つまり偏光板16の表側から入射する外光のうち偏光板16の吸収軸に平行な偏光成分(第1の偏光とよぶ)が偏光板16によって吸収され、表示装置には偏光板16の透過軸に平行な第2の偏光が入射される。この第2の偏光は、1/4波長板15を通ることで、例えば右回りの円偏光に変換されることにより、実施の形態1と同様に偏光板16を透過することなく吸収され、表示装置に入射した外光の成分が再び外部に射出することがなくなり、外部の映像の映り込みを抑えることができる。 In addition, a configuration when the reflective polarizing plate is a circularly polarizing reflective polarizing plate will be described. Here, a case where the reflective polarizing plate 14 has a function of transmitting counterclockwise circularly polarized light and reflecting clockwise circularly polarized light will be described. First, surface observation of the display device, that is, polarized light component (referred to as first polarized light) parallel to the absorption axis of the polarizing plate 16 out of the external light incident from the front side of the polarizing plate 16 is absorbed by the polarizing plate 16, The second polarized light parallel to the transmission axis of the polarizing plate 16 is incident on. The second polarized light passes through the quarter-wave plate 15 and is converted into, for example, clockwise circularly polarized light, so that the second polarized light is absorbed without passing through the polarizing plate 16 as in the first embodiment. The component of the external light incident on the apparatus is not emitted to the outside again, and reflection of an external image can be suppressed.

一方、発光層12において発光した光は、まず第1の1/4波長板301において、円偏光、楕円偏光又は直線偏光に変換され、変換された成分のうち一円偏光成分はそのまま反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16を通過して表示装置から射出される。残りの偏光成分は、反射偏光板14で反射されて第1の1/4波長板301を介して発光層12方向へ戻り、反射性電極13において反射されて再度反射偏光板14へ入射する。ここで、反射偏光板14の透過しない偏光は、反射偏光板14と反射性電極13との間で第1の1/4波長板301を介して繰り返し反射される。そして、繰り返し反射されることで、偏光軸がずれ、反射が繰り返された光が反射偏光板14を透過し、1/4波長板15、偏光板16を通過して表示装置から射出される。このため、従来は利用することのできなかった発光成分を有効活用することが可能となり、表示画像の明るさの向上を図ることができる。 On the other hand, the light emitted from the light emitting layer 12 is first converted into circularly polarized light, elliptically polarized light or linearly polarized light in the first quarter-wave plate 301, and the circularly polarized light component of the converted component remains as a reflective polarizing plate. 14, the quarter-wave plate 15 and the polarizing plate 16 are emitted from the display device. The remaining polarization component is reflected by the reflective polarizing plate 14, returns to the light emitting layer 12 through the first quarter-wave plate 301, is reflected by the reflective electrode 13, and enters the reflective polarizing plate 14 again. Here, the polarized light that does not pass through the reflective polarizing plate 14 is repeatedly reflected between the reflective polarizing plate 14 and the reflective electrode 13 via the first quarter-wave plate 301. Then, by being repeatedly reflected, the polarization axis is shifted, and the light that has been reflected is transmitted through the reflective polarizing plate 14, passes through the quarter-wave plate 15 and the polarizing plate 16, and is emitted from the display device. For this reason, it becomes possible to effectively utilize the light-emitting components that could not be used conventionally, and the brightness of the display image can be improved.

本実施の形態において、基板100と第1の1/4波長板301との間に、プリズム層、散乱層やこれらの組み合わせたものを設けてもよい。   In the present embodiment, a prism layer, a scattering layer, or a combination thereof may be provided between the substrate 100 and the first quarter-wave plate 301.

本実施の形態の表示装置において、反射偏光板14上での外光の反射による外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、反射偏光板14と基板100との間に1/4波長板を設けることにより、反射偏光板14を通過した外光が再び表示装置の外に戻るのを防ぐことができ、さらに外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、発光層12において発光した光をより効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさの改善を図ることが可能となる。 In the display device of the present embodiment, reflection of external video due to reflection of external light on the reflective polarizing plate 14 can be suppressed, and image display characteristics can be improved. Further, by providing a quarter-wave plate between the reflective polarizing plate 14 and the substrate 100, it is possible to prevent external light that has passed through the reflective polarizing plate 14 from returning to the outside of the display device, It is possible to suppress the image reflection and improve the display characteristics of the image. Further, the light emitted from the light emitting layer 12 can be extracted more efficiently, and the brightness of the display image can be improved.

(実施の形態4)
本実施の形態では、発光層からの発光の取り出し方向が実施の形態1〜3とは異なる構造の表示装置について説明する。なお、図4において図1と同じ部分は同じ符号を用いて示し、説明は省略する。図4に、本実施の形態における表示装置の一部を示す。
(Embodiment 4)
In this embodiment mode, a display device having a structure in which the light emission direction from the light-emitting layer is different from those in Embodiment Modes 1 to 3 will be described. 4 that are the same as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. FIG. 4 illustrates part of the display device in this embodiment.

本実施の形態における表示装置は、図4(A)に示すように基板100上に、反射性電極4001、発光層12、透明電極4002、反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16が順に積層された構造を有する。本実施の形態において、発光層12からの発光は透明電極4002側(基板100と反対側)から取り出す構造となっている。なお、本実施の形態において、透明電極4002と反射偏光板14との間に、単層又は積層の絶縁膜を設けてもよい。また、透明電極4002と反射偏光板14との間にプリズムなどの散乱層を設けてもよいし、さらに1/4波長板を設けてもよい。   As shown in FIG. 4A, the display device in this embodiment includes a reflective electrode 4001, a light-emitting layer 12, a transparent electrode 4002, a reflective polarizing plate 14, a quarter-wave plate 15, and a polarizing plate over a substrate 100. 16 has a layered structure. In this embodiment mode, light emitted from the light emitting layer 12 is extracted from the transparent electrode 4002 side (the side opposite to the substrate 100). Note that in this embodiment, a single-layer or stacked insulating film may be provided between the transparent electrode 4002 and the reflective polarizing plate 14. Further, a scattering layer such as a prism may be provided between the transparent electrode 4002 and the reflective polarizing plate 14, or a quarter wavelength plate may be further provided.

なお、図4(A)の構成において、発光層12からの発光の取り出しに際して、基板100を介さないため、基板100は必ずしも透明基板である必要はない。例えば、セラミックス基板、シリコン基板、金属基板またはステンレス基板などを用いてもよい。   In the structure of FIG. 4A, the substrate 100 is not necessarily a transparent substrate because the substrate 100 is not interposed when light emission from the light emitting layer 12 is extracted. For example, a ceramic substrate, a silicon substrate, a metal substrate, a stainless steel substrate, or the like may be used.

図4(A)に示す構成によって、偏光板16側から表示装置に入射した外光は偏光板16において吸収されることにより外部の映像の映り込みを抑えることができる。 With the structure illustrated in FIG. 4A, external light incident on the display device from the polarizing plate 16 side is absorbed by the polarizing plate 16, whereby reflection of an external image can be suppressed.

一方、発光層12において発光した光は、反射偏光板14と反射性電極4001との間で繰り返し反射されることにより、従来は利用することのできなかった発光層12からの発光成分を有効活用することが可能となり、表示画像の明るさの向上を図ることができる。   On the other hand, the light emitted from the light-emitting layer 12 is repeatedly reflected between the reflective polarizing plate 14 and the reflective electrode 4001, thereby effectively utilizing the light-emitting component from the light-emitting layer 12 that could not be used conventionally. Thus, the brightness of the display image can be improved.

図4(A)に示す表示装置において、反射偏光板14上での外光の反射による外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、発光層12において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさの減少を抑えることが可能となる。 In the display device shown in FIG. 4A, reflection of external video due to reflection of external light on the reflective polarizing plate 14 can be suppressed, and image display characteristics can be improved. In addition, light emitted from the light emitting layer 12 can be extracted efficiently, and a reduction in the brightness of the display image can be suppressed.

また、図4(A)の反射性電極4001のかわりに透明電極4003を設けてもよい(図4(B))。その場合、基板100の両側に、反射偏光板、1/4波長板、偏光板を設けるとよい。つまり、図4(B)に示すように、第1の偏光板4004、第1の1/4波長板4005、第1の反射偏光板4006、基板100、第1の透明電極4003、発光層12、第2の透明電極4002、第2の反射偏光板14、第2の1/4波長板15、第2の偏光板16とを順に積層した構造を有する。本実施の形態において、発光層12からの発光は、透明電極4002側と透明電極4003側から取り出す構造となっている。つまり、基板100側と基板100と反対側との2つの方向から光を取り出す構造となっている。 Further, a transparent electrode 4003 may be provided instead of the reflective electrode 4001 in FIG. 4A (FIG. 4B). In that case, a reflective polarizing plate, a quarter-wave plate, and a polarizing plate are preferably provided on both sides of the substrate 100. That is, as shown in FIG. 4B, the first polarizing plate 4004, the first quarter-wave plate 4005, the first reflective polarizing plate 4006, the substrate 100, the first transparent electrode 4003, and the light emitting layer 12 are used. The second transparent electrode 4002, the second reflective polarizing plate 14, the second quarter-wave plate 15, and the second polarizing plate 16 are sequentially stacked. In this embodiment mode, light emitted from the light emitting layer 12 is extracted from the transparent electrode 4002 side and the transparent electrode 4003 side. That is, light is extracted from two directions, ie, the substrate 100 side and the opposite side of the substrate 100.

なお、本実施の形態において、透明電極4002と反射偏光板14との間に、単層又は積層の絶縁膜を設けてもよい。また、透明電極4002と反射偏光板14との間にプリズムなどの散乱層を設けてもよいし、さらに1/4波長板を設けてもよい。 Note that in this embodiment, a single-layer or stacked insulating film may be provided between the transparent electrode 4002 and the reflective polarizing plate 14. Further, a scattering layer such as a prism may be provided between the transparent electrode 4002 and the reflective polarizing plate 14, or a quarter wavelength plate may be further provided.

図4(B)に示す構成によって、第1の偏光板4004又は第2の偏光板16側から表示装置に入射した外光は、第1の偏光板4004又は第2の偏光板16において吸収され、再び外部に射出することがなくなり、外部の映像の映り込みを抑えることができる。なお、反射偏光板として直線偏光反射偏光板を用いる場合、好ましくは、第1の偏光板と第2の偏光板とは、その透過軸が直交するように配置するのがよい。透過軸を直交させて配置することにより、発光層12から発光して一発光面へ向かった光のうち第1の反射偏光板4006又は第2の反射偏光板14で反射して戻った光を反対側の発光面から効率よく取り出すことができる。また、反射偏光板として円偏光反射偏光板を用いる場合、好ましくは、第1の反射偏光板と第2の反射偏光板のらせんの回転方向が逆向きになるように配置するのがよい。回転方向が逆向きになるように配置することにより、発光層12からの発光を効率よく取り出すことが可能となる。 With the structure illustrated in FIG. 4B, external light incident on the display device from the first polarizing plate 4004 or the second polarizing plate 16 side is absorbed by the first polarizing plate 4004 or the second polarizing plate 16. , It will not be emitted again, and the reflection of external images can be suppressed. In the case where a linearly polarizing reflective polarizing plate is used as the reflective polarizing plate, it is preferable that the first polarizing plate and the second polarizing plate are arranged so that their transmission axes are orthogonal to each other. By arranging the transmission axes to be orthogonal to each other, the light reflected from the first reflective polarizing plate 4006 or the second reflective polarizing plate 14 out of the light emitted from the light emitting layer 12 toward one light emitting surface is returned. It can be efficiently taken out from the light emitting surface on the opposite side. In the case where a circularly polarizing reflective polarizing plate is used as the reflective polarizing plate, it is preferable that the spiral rotation directions of the first reflective polarizing plate and the second reflective polarizing plate are reversed. By arranging the rotation directions to be opposite to each other, light emission from the light emitting layer 12 can be efficiently taken out.

偏光板16、4004は、その偏光軸と平行な振動面を有する直線偏光を透過させ、当該偏光軸と直交する振動面を有する直線偏光を吸収する機能を有する。 The polarizing plates 16 and 4004 have a function of transmitting linearly polarized light having a vibration plane parallel to the polarization axis and absorbing linearly polarized light having a vibration plane orthogonal to the polarization axis.

本実施の形態において、反射偏光板として直線偏光反射偏光板を用いた場合、反射偏光板14の偏光軸と1/4波長板15の遅相軸とは45°若しくは135°の角度をなすように配置し、反射偏光板4006の偏光軸と1/4波長板4005の遅相軸とは45°若しくは135°の角度をなすように配置する。 In this embodiment, when a linearly polarized reflective polarizer is used as the reflective polarizer, the polarization axis of the reflective polarizer 14 and the slow axis of the quarter wave plate 15 are at an angle of 45 ° or 135 °. The polarization axis of the reflective polarizing plate 4006 and the slow axis of the quarter wave plate 4005 are arranged at an angle of 45 ° or 135 °.

図4(A)、(B)の透明電極4002、4003として、インジウム錫酸化物(ITO、Indium Tin Oxide)、または酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)、亜鉛酸化物(ZnO)、酸化珪素を含んだ酸化インジウムにさらに2〜20wt%の酸化亜鉛(ZnO)を混合したターゲットを用いて形成された酸化インジウム酸化亜鉛(IZO、Indium Zinc Oxide)、ガリウムを含む亜鉛酸化物(GZO)、錫酸化物(SnO)、インジウム酸化物(In)等を用いることができる。 As transparent electrodes 4002 and 4003 in FIGS. 4A and 4B, indium tin oxide (ITO), indium tin oxide containing silicon oxide (ITSO), zinc oxide (ZnO), oxidation Indium zinc oxide (IZO) formed using a target in which 2 to 20 wt% zinc oxide (ZnO) is further mixed with indium oxide containing silicon, zinc oxide containing gallium (GZO), Tin oxide (SnO 2 ), indium oxide (In 2 O 3 ), or the like can be used.

図4(A)の反射性電極4001として、反射率の高い金属を用いることが好ましく、アルミニウム(Al)、銀(Ag)、またはこれらを含む合金であるAlLi合金、MgAg合金等を用いることができる。また、反射性電極4001は、反射率の高い金属と他の電極材料との積層構造としてもよい。アルカリ金属やアルカリ土類金属の膜を薄く(例えば5nm程度)形成し、反射率の高い金属と積層させることにより、電子注入性を高めることが可能となる。 As the reflective electrode 4001 in FIG. 4A, a highly reflective metal is preferably used, and aluminum (Al), silver (Ag), or an AlLi alloy, an MgAg alloy, or the like that includes these is used. it can. The reflective electrode 4001 may have a stacked structure of a highly reflective metal and another electrode material. By forming a thin film (for example, about 5 nm) of an alkali metal or an alkaline earth metal and laminating it with a metal having a high reflectivity, it is possible to improve the electron injecting property.

本実施の形態の表示装置において、反射偏光板上での外光の反射による外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、発光層12において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさの改善を図ることが可能となる。 In the display device of this embodiment, reflection of external video due to reflection of external light on the reflective polarizing plate can be suppressed, and image display characteristics can be improved. Further, the light emitted from the light emitting layer 12 can be extracted efficiently, and the brightness of the display image can be improved.

(実施の形態5)
本実施の形態では、薄膜トランジスタ(TFT)を有する表示装置の作製工程を説明する。なお、本実施の形態では、発光層12からの発光を基板100側からのみ取り出す構造について説明するがこの構造に限定されない。基板100とは反対側から発光を取り出す構造でもよいし、基板100側と基板100と反対側との2つの方向から発光を取り出す構造であってもよい。
(Embodiment 5)
In this embodiment, a manufacturing process of a display device having a thin film transistor (TFT) will be described. Note that although a structure in which light emitted from the light emitting layer 12 is extracted only from the substrate 100 side is described in this embodiment mode, the present invention is not limited to this structure. A structure in which light emission is extracted from the side opposite to the substrate 100 or a structure in which light emission is extracted from two directions of the substrate 100 side and the side opposite to the substrate 100 may be used.

まず図5(A)に示すように、基板100を用意する。基板100は、例えばバリウムホウケイ酸ガラスや、アルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板、石英基板、セラミック基板等を用いることができる。プラスチック等の可撓性を有する合成樹脂からなる基板は、一般的に上記基板と比較して耐熱温度が低い傾向にあるが、作製工程における処理温度に耐え得るのであれば用いることが可能である。基板100の表面を、CMP法などの研磨により平坦化しておいても良い。   First, as shown in FIG. 5A, a substrate 100 is prepared. As the substrate 100, for example, a glass substrate such as barium borosilicate glass or alumino borosilicate glass, a quartz substrate, a ceramic substrate, or the like can be used. A substrate made of a synthetic resin having flexibility such as plastic generally tends to have a lower heat resistant temperature than the above substrate, but can be used as long as it can withstand the processing temperature in the manufacturing process. . The surface of the substrate 100 may be planarized by polishing such as a CMP method.

次に、基板100上に下地膜101を形成する(図5(A))。下地膜101は、基板100にガラスを用いた場合に、基板に含まれるNaなどのアルカリ金属やアルカリ土類金属が半導体膜中に拡散し、半導体素子の特性に悪影響をおよぼすのを防ぐことができる。そのため、アルカリ金属やアルカリ土類金属の半導体膜への拡散を抑えることができる酸化珪素や、窒化珪素または窒化酸化珪素などの絶縁膜を用いて形成する。本実施の形態では、プラズマCVD法を用いて窒化酸化珪素膜を10〜400nmの膜厚になるように成膜する。なお、プラズマCVD以外にもスパッタ法や減圧CVD法等の公知の方法を用いても形成することができる。また、本実施の形態では下地膜101を単層の構造としているが、2層あるいはそれ以上の複数層で形成してもよい。   Next, a base film 101 is formed over the substrate 100 (FIG. 5A). The base film 101 prevents, when glass is used for the substrate 100, alkali metal such as Na or alkaline earth metal contained in the substrate from diffusing into the semiconductor film and adversely affecting the characteristics of the semiconductor element. it can. Therefore, an insulating film such as silicon oxide, silicon nitride, or silicon nitride oxide that can suppress diffusion of alkali metal or alkaline earth metal into the semiconductor film is used. In this embodiment, a silicon nitride oxide film is formed to a thickness of 10 to 400 nm by a plasma CVD method. In addition to plasma CVD, it can also be formed by using a known method such as sputtering or low pressure CVD. Further, although the base film 101 has a single-layer structure in this embodiment mode, it may be formed of two or more layers.

ガラス基板またはプラスチック基板のように、アルカリ金属やアルカリ土類金属が多少なりとも含まれている基板を用いる場合、不純物の拡散を防ぐという観点から下地膜101を設けることは有効であるが、石英基板など不純物の拡散がさして問題とならない場合は、必ずしも設ける必要はない。   In the case of using a substrate containing an alkali metal or an alkaline earth metal, such as a glass substrate or a plastic substrate, it is effective to provide the base film 101 from the viewpoint of preventing diffusion of impurities. When diffusion of impurities such as a substrate does not cause any problem, it is not always necessary to provide the substrate.

次に、下地膜101上に非晶質半導体膜102を形成する。非晶質半導体膜102はシリコンまたはシリコンを主成分とする材料(例えばSiGe1−x等)で25〜80nmの厚さに形成すればよい。作製方法としては、公知の方法、例えばスパッタ法、減圧CVD法、またはプラズマCVD法等が使用できる。 Next, an amorphous semiconductor film 102 is formed over the base film 101. The amorphous semiconductor film 102 may be formed to a thickness of 25 to 80 nm using silicon or a material containing silicon as a main component (for example, Si x Ge 1-x ). As a manufacturing method, a known method such as a sputtering method, a low pressure CVD method, or a plasma CVD method can be used.

続いて、非晶質半導体膜102の結晶化を行う。非晶質半導体膜102をレーザ結晶化法、RTA又はファーネスアニール炉を用いる熱結晶化法、結晶化を助長する金属元素を用いる熱結晶化法などの公知の結晶化法により結晶化させる(図5(A))。   Subsequently, the amorphous semiconductor film 102 is crystallized. The amorphous semiconductor film 102 is crystallized by a known crystallization method such as a laser crystallization method, a thermal crystallization method using an RTA or furnace annealing furnace, or a thermal crystallization method using a metal element that promotes crystallization (see FIG. 5 (A)).

次に、結晶性半導体膜をエッチングにより島状の半導体膜102a〜102cとする。続いて、島状の半導体膜102a〜102cを覆うようにゲート絶縁膜103を形成する(図5(B))。ゲート絶縁膜103には、例えば酸化珪素、窒化珪素または窒化酸化珪素等を用いて単層または複数の膜を積層させて形成することができる。また成膜方法は、プラズマCVD法、スパッタ法などを用いることができる。ここでは、スパッタ法を用いて、膜厚を30nm〜200nmとして珪素を含む絶縁膜で形成する。   Next, the crystalline semiconductor film is etched into island-shaped semiconductor films 102a to 102c. Subsequently, a gate insulating film 103 is formed so as to cover the island-shaped semiconductor films 102a to 102c (FIG. 5B). The gate insulating film 103 can be formed by stacking a single layer or a plurality of films using, for example, silicon oxide, silicon nitride, silicon nitride oxide, or the like. As a film formation method, a plasma CVD method, a sputtering method, or the like can be used. Here, a sputtering method is used to form an insulating film containing silicon with a thickness of 30 nm to 200 nm.

次に、ゲート絶縁膜103上にゲート電極を形成する。本実施の形態において、ゲート電極は第1の導電膜及び第2の導電膜との2層構造を有する。第1の導電層104a〜104cとして窒化タンタル(TaN)膜とその上に第2の導電層105a〜105cとしてタングステン(W)膜を形成する(図5(C))。TaN膜、W膜は共にスパッタ法で形成すればよく、TaN膜はTaのターゲットを用いて窒素雰囲気中で、W膜はWのターゲットを用いて成膜すれば良い。   Next, a gate electrode is formed over the gate insulating film 103. In this embodiment mode, the gate electrode has a two-layer structure of a first conductive film and a second conductive film. A tantalum nitride (TaN) film is formed as the first conductive layers 104a to 104c, and a tungsten (W) film is formed thereon as the second conductive layers 105a to 105c (FIG. 5C). Both the TaN film and the W film may be formed by sputtering, the TaN film may be formed in a nitrogen atmosphere using a Ta target, and the W film may be formed using a W target.

なお、本実施の形態では第1の導電層をTaN、第2の導電層をWとしたが、これに限定されず、第1の導電層と第2の導電層は共にTa、W、Ti、Mo、Al、Cu、Cr、Ndから選ばれた元素、または前記元素を主成分とする合金材料若しくは化合物材料で形成してもよい。また、リン等の不純物元素をドーピングした多結晶珪素膜に代表される半導体膜を用いてもよい。また、AgPdCu合金を用いてもよい。さらに、その組み合わせも適宜選択すればよい。膜厚は第1の導電層が20〜100nm、第2の導電層が100〜400nmの範囲で形成すれば良い。また、本実施の形態では、ゲート電極は、2層の積層構造としたが、1層としてもよいし、もしくは3層以上の積層構造としてもよい。   Note that although the first conductive layer is TaN and the second conductive layer is W in this embodiment mode, the present invention is not limited to this, and the first conductive layer and the second conductive layer are both Ta, W, and Ti. , Mo, Al, Cu, Cr, Nd, or an alloy material or a compound material containing the element as a main component. Alternatively, a semiconductor film typified by a polycrystalline silicon film doped with an impurity element such as phosphorus may be used. Further, an AgPdCu alloy may be used. Furthermore, the combination may be selected as appropriate. The film thickness may be in the range of 20 to 100 nm for the first conductive layer and 100 to 400 nm for the second conductive layer. In this embodiment mode, the gate electrode has a two-layer structure; however, the gate electrode may have a single layer structure or a three-layer structure or more.

次に、ゲート電極またはレジストを形成しエッチングしたものをマスクとして用い、半導体膜102a〜102cにn型またはp型の導電性を付与する不純物を選択的に添加し、ソース領域、ドレイン領域、さらにはLDD領域等を形成する。   Next, an impurity which imparts n-type or p-type conductivity is selectively added to the semiconductor films 102a to 102c using a gate electrode or a resist formed and etched as a mask, and a source region, a drain region, Forms an LDD region and the like.

次いで、レジストからなるマスクを除去して第1のパッシベーション膜106を形成する(図5(D))。この第1のパッシベーション膜106としてはシリコンを含む絶縁膜を100〜200nmの厚さに形成する。成膜法としてはプラズマCVD法や、スパッタ法を用いればよい。本実施の形態では、プラズマCVD法により酸化窒化珪素膜を形成した。酸化窒化珪素膜を用いる場合には、プラズマCVD法でSiH、NO、NHから作製される酸化窒化珪素膜、またはSiH、NOから作製される酸化窒化珪素膜を形成すれば良い。この場合の作製条件は反応圧力20〜200Pa、基板温度300〜400℃とし、高周波(60MHz)電力密度0.1〜1.0W/cmである。また、第1のパッシベーション膜としてSiH、NO、Hから作製される酸化窒化水素化珪素膜を適用しても良い。もちろん、第1のパッシベーション膜106は、本実施の形態のような酸化窒化珪素膜の単層構造に限定されるものではなく、他の珪素を含む絶縁膜を単層構造、もしくは積層構造として用いても良い。 Next, the resist mask is removed to form a first passivation film 106 (FIG. 5D). As the first passivation film 106, an insulating film containing silicon is formed to a thickness of 100 to 200 nm. As a film forming method, a plasma CVD method or a sputtering method may be used. In this embodiment mode, a silicon oxynitride film is formed by a plasma CVD method. In the case of using a silicon oxynitride film, SiH 4, N 2 O, a silicon oxynitride film made from NH 3, or by SiH 4, N form a silicon oxynitride film made from 2 O by plasma CVD It ’s fine. The production conditions in this case are a reaction pressure of 20 to 200 Pa, a substrate temperature of 300 to 400 ° C., and a high frequency (60 MHz) power density of 0.1 to 1.0 W / cm 2 . Alternatively, a silicon oxynitride silicon film formed from SiH 4 , N 2 O, and H 2 may be used as the first passivation film. Needless to say, the first passivation film 106 is not limited to a single layer structure of a silicon oxynitride film as in this embodiment mode, and an insulating film containing other silicon is used as a single layer structure or a stacked structure. May be.

その後、レーザアニール法を行い、半導体膜の結晶性の回復、半導体膜に添加された不純物元素の活性化を行うことが好ましい。また、第1のパッシベーション膜106を形成した後で熱処理を行うことで、活性化処理と同時に半導体膜の水素化も行うことができる。水素化は、第1のパッシベーション膜106に含まれる水素によって、半導体膜のダングリングボンドを終端するものである。ここでは、パッシべーション膜106としてSiNO膜を用い、窒素雰囲気下で410℃で行うとよい。   After that, laser annealing is preferably performed to recover the crystallinity of the semiconductor film and activate the impurity element added to the semiconductor film. In addition, by performing a heat treatment after the first passivation film 106 is formed, the semiconductor film can be hydrogenated simultaneously with the activation process. In the hydrogenation, dangling bonds in the semiconductor film are terminated by hydrogen contained in the first passivation film 106. Here, a SiNO film is used as the passivation film 106, and it may be performed at 410 ° C. in a nitrogen atmosphere.

また、第1のパッシベーション膜106を形成する前に加熱処理を行ってもよい。但し、第1の導電層104a〜104c及び第2の導電層105a〜105cを構成する材料が熱に弱い場合には、本実施の形態のように配線などを保護するため、第1のパッシベーション膜106を形成した後で熱処理を行うことが望ましい。さらに、この場合、第1のパッシベーション膜がないため、当然パッシベーション膜に含まれる水素を利用しての水素化は行うことができない。   In addition, heat treatment may be performed before the first passivation film 106 is formed. However, when the material forming the first conductive layers 104a to 104c and the second conductive layers 105a to 105c is weak against heat, the first passivation film is used to protect the wiring and the like as in this embodiment. It is desirable to perform heat treatment after forming 106. Further, in this case, since there is no first passivation film, naturally hydrogenation using hydrogen contained in the passivation film cannot be performed.

この場合は、プラズマにより励起された水素を用いる手段(プラズマ水素化)を用いての水素化や、3〜100%の水素を含む雰囲気中において、300〜450℃で1〜12時間の加熱処理による水素化を用いれば良い。このようにして、半導体膜、ゲート絶縁膜、ゲート電極とを有するTFT401〜403を得ることができる。なお、401〜403の構造は本実施の形態のものに限られない。   In this case, hydrogenation using means excited by plasma (plasma hydrogenation) or heat treatment at 300 to 450 ° C. for 1 to 12 hours in an atmosphere containing 3 to 100% hydrogen Hydrogenation by the method may be used. In this manner, TFTs 401 to 403 having a semiconductor film, a gate insulating film, and a gate electrode can be obtained. In addition, the structure of 401-403 is not restricted to the thing of this Embodiment.

次いで、第1のパッシベーション膜106上に、第1の層間絶縁膜107を形成する(図5(E))。第1の層間絶縁膜107としては、無機絶縁膜や有機絶縁膜を用いることができる。無機絶縁膜としては、CVD法により形成された酸化シリコン膜や、SOG(Spin On Glass)法により塗布された酸化シリコン膜などを用いることができ、有機絶縁膜としてはポリイミド、ポリアミド、BCB(ベンゾシクロブテン)、アクリルまたはポジ型感光性有機樹脂、ネガ型感光性有機樹脂等の膜を用いることができる。また、アクリル膜と酸化窒化シリコン膜の積層構造を用いても良い。   Next, a first interlayer insulating film 107 is formed over the first passivation film 106 (FIG. 5E). As the first interlayer insulating film 107, an inorganic insulating film or an organic insulating film can be used. As the inorganic insulating film, a silicon oxide film formed by a CVD method, a silicon oxide film applied by an SOG (Spin On Glass) method, or the like can be used. As an organic insulating film, polyimide, polyamide, BCB (benzoic acid) is used. A film such as cyclobutene), acrylic or positive photosensitive organic resin, or negative photosensitive organic resin can be used. Alternatively, a stacked structure of an acrylic film and a silicon oxynitride film may be used.

また、層間絶縁膜は、シリコン(Si)と酸素(O)との結合で骨格構造が構成されるシロキサンを用いることができる。シロキサンは、置換基として、少なくとも水素を含む有機基(例えばアルキル基、芳香族炭化水素)が用いられる。また、置換基として、フルオロ基を用いてもよい。または置換基として、少なくとも水素を含む有機基と、フルオロ基とを用いてもよい。   For the interlayer insulating film, siloxane having a skeleton structure formed of a bond of silicon (Si) and oxygen (O) can be used. In siloxane, an organic group containing at least hydrogen (for example, an alkyl group or an aromatic hydrocarbon) is used as a substituent. Further, a fluoro group may be used as a substituent. Alternatively, an organic group containing at least hydrogen and a fluoro group may be used as a substituent.

シロキサン系ポリマーは、その構造により、例えば、シリカガラス、アルキルシロキサンポリマー、アルキルシルセスキオキサンポリマー、水素化シルセスキオキサンポリマー、水素化アルキルシルセスキオキサンポリマーなどに分類することができる。また、Si−N結合を有するポリマー(ポリシラザン)を含む材料で層間絶縁膜を形成してもよい。   Siloxane polymers can be classified according to their structures into, for example, silica glass, alkylsiloxane polymers, alkylsilsesquioxane polymers, hydrogenated silsesquioxane polymers, hydrogenated alkylsilsesquioxane polymers, and the like. Alternatively, the interlayer insulating film may be formed using a material containing a polymer (polysilazane) having a Si—N bond.

上記の材料を用いることで、膜厚を薄くしても十分な絶縁性および平坦性を有する層間絶縁膜を得ることができる。また、上記の材料は耐熱性が高いため、多層配線におけるリフロー処理にも耐えうる層間絶縁膜を得ることができる。さらに、吸湿性が低いため、脱水量の少ない層間絶縁膜を形成することができる。   By using the above material, an interlayer insulating film having sufficient insulation and flatness can be obtained even when the film thickness is reduced. In addition, since the above material has high heat resistance, an interlayer insulating film that can withstand reflow processing in a multilayer wiring can be obtained. Further, since the hygroscopic property is low, an interlayer insulating film with a small amount of dehydration can be formed.

本実施の形態では、シロキサン系のポリマーを第1の層間絶縁膜107として形成する。第1の層間絶縁膜107によって、基板上に形成されたTFTによる凹凸を緩和し、平坦化することができる。とくに、第1の層間絶縁膜107は平坦化の意味合いが強いので、平坦化されやすい材質の絶縁膜を用いることが好ましい。また、これ以外にも第1の層間絶縁膜に窒素を含む酸化珪素を用いることができ、この場合は第1のパッシべーション膜を設けなくともよい。   In this embodiment mode, a siloxane-based polymer is formed as the first interlayer insulating film 107. With the first interlayer insulating film 107, unevenness due to the TFT formed over the substrate can be relaxed and planarized. In particular, since the first interlayer insulating film 107 has a strong meaning of planarization, it is preferable to use an insulating film made of a material that is easily planarized. In addition, silicon oxide containing nitrogen can be used for the first interlayer insulating film. In this case, the first passivation film is not necessarily provided.

その後、第1の層間絶縁膜107上に窒化酸化シリコン膜等からなる第2のパッシベーション膜を形成してもよい。膜厚は10〜200nm程度で形成すれば良く、第2のパッシベーション膜によって第1の層間絶縁膜107へ水分が出入りすることを抑制することができる。第2のパッシベーション膜には、他にも窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜やカーボンナイトライド(CN)膜も同様に使用できる。   Thereafter, a second passivation film made of a silicon nitride oxide film or the like may be formed over the first interlayer insulating film 107. The film thickness may be about 10 to 200 nm, and the second passivation film can prevent moisture from entering and exiting the first interlayer insulating film 107. In addition, a silicon nitride film, an aluminum nitride film, an aluminum oxynitride film, a diamond-like carbon (DLC) film, and a carbon nitride (CN) film can be used as the second passivation film.

またRFスパッタ法を用いて成膜された膜は緻密性が高く、バリア性に優れている。RFスパッタの条件は、例えば酸化窒化珪素膜を成膜する場合、Siターゲットで、N、Ar及びNOをガスの流量比が31:5:4となるように流し、圧力0.4Pa、電力3000Wとして成膜する。また、例えば窒化珪素膜を成膜する場合、Siターゲットで、チャンバー内のN及びArをガスの流量比が1:1となるように流し、圧力0.8Pa、電力3000W、成膜温度を215℃として成膜するとよい。 A film formed using an RF sputtering method has high density and excellent barrier properties. For example, when forming a silicon oxynitride film, RF sputtering is performed by flowing N 2 , Ar, and N 2 O at a gas flow ratio of 31: 5: 4 using a Si target and a pressure of 0.4 Pa. The film is formed with an electric power of 3000 W. For example, when a silicon nitride film is formed, N 2 and Ar in the chamber are flowed so that the gas flow rate ratio becomes 1: 1 with a Si target, the pressure is 0.8 Pa, the power is 3000 W, and the film formation temperature is set. Film formation is preferably performed at 215 ° C.

次いで、第1の層間絶縁膜107及び第1のパッシベーション膜106をエッチングし、ソース領域およびドレイン領域に達するコンタクトホールを形成する。続いて、各ソース領域およびドレイン領域とそれぞれ電気的に接続する配線108a〜108fを形成する(図6(A))。配線108a〜108fとしては、Al、Ni、W、Mo、Ti、Pt、Cu、Ta、Au、Mnから選ばれた一種の元素または該元素を複数含む合金からなる単層または積層構造を用いることができる。ここでは、Alを含んだ金属膜で形成することが好ましい。本実施の形態では、Ti膜とAlとTiを含む合金膜との積層膜をエッチングして形成する。もちろん、2層構造に限らず、単層構造でも良いし、3層以上の積層構造にしても良い。また、配線材料としては、AlとTiの積層膜に限られない。例えばTaN膜上にAl膜やCu膜を形成し、更にTi膜を形成した積層膜をエッチングして配線を形成しても良い。   Next, the first interlayer insulating film 107 and the first passivation film 106 are etched to form contact holes reaching the source region and the drain region. Subsequently, wirings 108a to 108f that are electrically connected to the source region and the drain region are formed (FIG. 6A). As the wirings 108a to 108f, a single layer or a multilayer structure made of one kind of element selected from Al, Ni, W, Mo, Ti, Pt, Cu, Ta, Au, and Mn or an alloy containing a plurality of such elements is used. Can do. Here, it is preferable to form a metal film containing Al. In this embodiment mode, a stacked film of a Ti film and an alloy film containing Al and Ti is formed by etching. Of course, not only a two-layer structure but also a single-layer structure or a laminated structure of three or more layers may be used. Further, the wiring material is not limited to the laminated film of Al and Ti. For example, an Al film or a Cu film may be formed on the TaN film, and a laminated film formed with a Ti film may be etched to form a wiring.

次に、配線108a〜108fを覆うように第2の層間絶縁膜109を形成する。第2の層間絶縁膜としては、前述した第1の層間絶縁膜と同様のものを用いることができる。本実施の形態では、第2の層間絶縁膜109にシロキサン系ポリマーを用いる。シロキサン系ポリマーは耐熱性が高いため、多層配線におけるリフロー処理にも耐えうる層間絶縁膜を得ることができる。   Next, a second interlayer insulating film 109 is formed so as to cover the wirings 108a to 108f. As the second interlayer insulating film, the same film as the first interlayer insulating film described above can be used. In this embodiment mode, a siloxane polymer is used for the second interlayer insulating film 109. Since siloxane-based polymers have high heat resistance, an interlayer insulating film that can withstand reflow treatment in multilayer wiring can be obtained.

続いて、第2の層間絶縁膜109を選択的にエッチングし、コンタクトホールを形成する。その後、配線108fと接続するための配線111を形成する。また、配線111と同時に画素電極112aを形成する(図6(B))。配線111および画素電極112aは、Al、Ni、W、Mo、Ti、Pt、Cu、Ta、Au、Mnから選ばれた一種の元素または該元素を複数含む合金からなる単層または積層構造を用いて形成することができる。本実施の形態では、Al合金を用いればよく、ここではAl−Ni−Cによって形成する。   Subsequently, the second interlayer insulating film 109 is selectively etched to form a contact hole. After that, a wiring 111 for connecting to the wiring 108f is formed. In addition, the pixel electrode 112a is formed at the same time as the wiring 111 (FIG. 6B). The wiring 111 and the pixel electrode 112a use a single layer or a laminated structure made of one kind of element selected from Al, Ni, W, Mo, Ti, Pt, Cu, Ta, Au, and Mn or an alloy containing a plurality of such elements. Can be formed. In this embodiment mode, an Al alloy may be used, and here, Al—Ni—C is used.

次に、第2の層間絶縁膜109、配線111および画素電極112a上に画素電極112bを形成する(図6(C))。画素電極112bは、少なくとも配線111および画素電極112aと重ならない領域119において、第二の層間絶縁膜109と接するように形成する。本実施の形態において、画素電極112a、画素電極112bは透明性導電膜で形成する。例えば、インジウム錫酸化物(ITO、Indium Tin Oxide)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化インジウム酸化亜鉛(IZO、Indium Zinc Oxide)、ガリウムを添加した酸化亜鉛(GZO)などその他の透光性酸化物導電材料を用いることが可能である。ITO及び酸化珪素を含むインジウム錫酸化物(ITSO)や、酸化珪素を含んだ酸化インジウムにさらに2〜20wt%の酸化亜鉛(ZnO)を混合したターゲットを用いて形成されたものを用いても良い。   Next, the pixel electrode 112b is formed over the second interlayer insulating film 109, the wiring 111, and the pixel electrode 112a (FIG. 6C). The pixel electrode 112b is formed to be in contact with the second interlayer insulating film 109 at least in a region 119 that does not overlap with the wiring 111 and the pixel electrode 112a. In this embodiment, the pixel electrode 112a and the pixel electrode 112b are formed using a transparent conductive film. For example, other translucent oxide conductive materials such as indium tin oxide (ITO), zinc oxide (ZnO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide added with gallium (GZO), etc. It is possible to use materials. Indium tin oxide (ITSO) containing ITO and silicon oxide, or a target formed by mixing 2 to 20 wt% zinc oxide (ZnO) with indium oxide containing silicon oxide may be used. .

次に、画素電極112a、112bの端部を覆うように絶縁膜(隔壁、バンク)116を形成し、画素電極112bに接するように発光層114を形成する。発光層114は発光物質を含む層であり、例えば、正孔注入層701、正孔輸送層702、発光層703、電子輸送層704、電子注入層705とを有している(図7)。なお、発光層114は必ずしもこの構成に限定されない。少なくとも発光層を有する単層又は積層構造を有する。図7に、画素電極112bと電極115とに挟まれた正孔注入層701、正孔輸送層702、発光層703、電子輸送層704、電子注入層705とを有する発光層114の断面の模式図を示す。   Next, an insulating film (a partition wall or a bank) 116 is formed so as to cover end portions of the pixel electrodes 112a and 112b, and a light emitting layer 114 is formed so as to be in contact with the pixel electrode 112b. The light emitting layer 114 is a layer containing a light emitting substance, and includes, for example, a hole injection layer 701, a hole transport layer 702, a light emitting layer 703, an electron transport layer 704, and an electron injection layer 705 (FIG. 7). Note that the light-emitting layer 114 is not necessarily limited to this structure. It has a single layer or a stacked structure having at least a light emitting layer. FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a light-emitting layer 114 including a hole injection layer 701, a hole transport layer 702, a light-emitting layer 703, an electron transport layer 704, and an electron injection layer 705 sandwiched between the pixel electrode 112b and the electrode 115. The figure is shown.

正孔注入層701には、正孔輸送性を有し、なおかつイオン化ポテンシャルが比較的小さく、正孔注入性が高い材料を用いるのが望ましい。大別すると金属酸化物、低分子系有機化合物、および高分子系有機化合物に分けられる。金属酸化物であれば、例えば、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、酸化アルミニウムなど用いることができる。低分子系有機化合物あれば、例えば、m−MTDATAに代表されるスターバースト型アミン、銅フタロシアニン(略称:Cu−Pc)に代表される金属フタロシアニン、フタロシアニン(略称:H−Pc)、2,3−ジオキシエチレンチオフェン誘導体などを用いることができる。低分子系有機化合物と上記金属酸化物とを共蒸着させた膜であっても良い。高分子系有機化合物であれば、例えば、ポリアニリン(略称:PAni)、ポリビニルカルバゾール(略称:PVK)、ポリチオフェン誘導体などの高分子を用いることができる。ポリチオフェン誘導体の一つであるポリエチレンジオキシチオフェン(略称:PEDOT)にポリスチレンスルホン酸(略称:PSS)をドープしたものを用いても良い。また、ベンゾオキサゾール誘導体と、TCQn、FeCl、C60またはFTCNQのいずれか一または複数の材料とを併せて用いても良い。 For the hole injection layer 701, it is desirable to use a material having a hole transporting property, a relatively low ionization potential, and a high hole injecting property. Broadly divided into metal oxides, low-molecular organic compounds, and high-molecular organic compounds. As the metal oxide, for example, vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, aluminum oxide, or the like can be used. If low molecular weight organic compound, for example, starburst amine typified by m-MTDATA, copper phthalocyanine (abbreviation: Cu-Pc) in the metal phthalocyanine represented, phthalocyanine (abbreviation: H 2 -Pc), 2, A 3-dioxyethylenethiophene derivative or the like can be used. A film in which a low molecular organic compound and the metal oxide are co-evaporated may be used. As a high molecular organic compound, for example, a polymer such as polyaniline (abbreviation: PAni), polyvinyl carbazole (abbreviation: PVK), or a polythiophene derivative can be used. Polyethylene dioxythiophene (abbreviation: PEDOT), which is one of polythiophene derivatives, doped with polystyrene sulfonic acid (abbreviation: PSS) may be used. Further, a benzoxazole derivative and any one or a plurality of materials of TCQn, FeCl 3 , C 60, or F 4 TCNQ may be used in combination.

正孔輸送層702には、正孔輸送性が高く、結晶性の低い公知の材料を用いることが望ましい。例えば、芳香族アミン系(すなわち、ベンゼン環−窒素の結合を有するもの)の化合物が好適であり、例えば、4,4’−ビス[N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(TPD)や、その誘導体である4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニル−アミノ]ビフェニル(α−NPD)などがある。4,4’,4’’−トリス(N,N−ジフェニルアミノ)トリフェニルアミン(TDATA)や、MTDATAなどのスターバースト型芳香族アミン化合物も用いることができる。また4,4’,4’’−トリス(N−カルバゾリル)トリフェニルアミン(略称:TCTA)を用いても良い。また高分子材料としては、良好な正孔輸送性を示すポリ(ビニルカルバゾール)などを用いることができる。   For the hole-transport layer 702, it is preferable to use a known material that has a high hole-transport property and low crystallinity. For example, an aromatic amine-based compound (that is, a compound having a benzene ring-nitrogen bond) is suitable, for example, 4,4′-bis [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] biphenyl. (TPD) and its derivative 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenyl-amino] biphenyl (α-NPD). Starburst aromatic amine compounds such as 4,4 ', 4 "-tris (N, N-diphenylamino) triphenylamine (TDATA) and MTDATA can also be used. Alternatively, 4,4 ′, 4 ″ -tris (N-carbazolyl) triphenylamine (abbreviation: TCTA) may be used. As the polymer material, poly (vinyl carbazole) or the like exhibiting good hole transportability can be used.

発光層703には、イオン化ポテンシャルが大きく、かつバンドギャップの大きな材料を用いるのが望ましい。例えば、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(Almq)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[η]−キノリナト)ベリリウム(BeBq)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)−(4−ヒドロキシ−ビフェニリル)−アルミニウム(BAlq)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾオキサゾラト]亜鉛(Zn(BOX))、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)−ベンゾチアゾラト]亜鉛(Zn(BTZ))などの金属錯体を用いることができる。また、各種蛍光色素(クマリン誘導体、キナクリドン誘導体、ルブレン、4,4−ジシアノメチレン、1−ピロン誘導体、スチルベン誘導体、各種縮合芳香族化合物など)も用いることができる。白金オクタエチルポルフィリン錯体、トリス(フェニルピリジン)イリジウム錯体、トリス(ベンジリデンアセトナート)フェナントレンユーロピウム錯体などの燐光材料も用いることができる。 For the light-emitting layer 703, a material having a large ionization potential and a large band gap is preferably used. For example, tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq 3 ), tris (4-methyl-8-quinolinolato) aluminum (Almq 3 ), bis (10-hydroxybenzo [η] -quinolinato) beryllium (BeBq 2 ), bis ( 2-Methyl-8-quinolinolato)-(4-hydroxy-biphenylyl) -aluminum (BAlq), bis [2- (2-hydroxyphenyl) -benzoxazolate] zinc (Zn (BOX) 2 ), bis [2 A metal complex such as-(2-hydroxyphenyl) -benzothiazolate] zinc (Zn (BTZ) 2 ) can be used. Various fluorescent dyes (coumarin derivatives, quinacridone derivatives, rubrene, 4,4-dicyanomethylene, 1-pyrone derivatives, stilbene derivatives, various condensed aromatic compounds, etc.) can also be used. Phosphorescent materials such as platinum octaethylporphyrin complex, tris (phenylpyridine) iridium complex, tris (benzylideneacetonato) phenanthrene europium complex can also be used.

また、発光層703に用いるホスト材料としては、上述した例に代表されるホール輸送材料や電子輸送材料を用いることができる。また、4,4’−N,N’−ジカルバゾリルビフェニル(略称:CBP)などのバイポーラ性の材料も用いることができる。   As a host material used for the light-emitting layer 703, a hole transport material or an electron transport material typified by the above example can be used. Alternatively, a bipolar material such as 4,4′-N, N′-dicarbazolylbiphenyl (abbreviation: CBP) can be used.

電子輸送層704には、電子輸送性の高い材料を用いることが望ましい。例えば、Alqに代表されるような、キノリン骨格またはベンゾキノリン骨格を有する金属錯体やその混合配位子錯体などを用いることができる。具体的には、Alq、Almq、BeBq、BAlq、Zn(BOX)、Zn(BTZ)などの金属錯体が挙げられる。さらに、金属錯体以外にも、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(PBD)、1,3−ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル]ベンゼン(OXD−7)などのオキサジアゾール誘導体、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−フェニル−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(TAZ)、3−(4−tert−ブチルフェニル)−4−(4−エチルフェニル)−5−(4−ビフェニリル)−1,2,4−トリアゾール(p−EtTAZ)などのトリアゾール誘導体、TPBIのようなイミダゾール誘導体、バソフェナントロリン(BPhen)、バソキュプロイン(BCP)などのフェナントロリン誘導体を用いることができる。 It is desirable to use a material having a high electron transporting property for the electron transporting layer 704. For example, a metal complex having a quinoline skeleton or a benzoquinoline skeleton represented by Alq 3 or a mixed ligand complex thereof can be used. Specifically, metal complexes such as Alq 3 , Almq 3 , BeBq 2 , BAlq, Zn (BOX) 2 , and Zn (BTZ) 2 can be given. In addition to metal complexes, 2- (4-biphenylyl) -5- (4-tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazole (PBD), 1,3-bis [5- (p Oxadiazole derivatives such as -tert-butylphenyl) -1,3,4-oxadiazol-2-yl] benzene (OXD-7), 3- (4-tert-butylphenyl) -4-phenyl-5 -(4-biphenylyl) -1,2,4-triazole (TAZ), 3- (4-tert-butylphenyl) -4- (4-ethylphenyl) -5- (4-biphenylyl) -1,2, Triazole derivatives such as 4-triazole (p-EtTAZ), imidazole derivatives such as TPBI, phenanthroyl such as bathophenanthroline (BPhen) and bathocuproin (BCP) It can be used derivatives.

電子注入層705には、電子注入性の高い材料を用いるのが望ましい。例えば、LiF、CsFなどのアルカリ金属ハロゲン化物や、CaFのようなアルカリ土類ハロゲン化物、LiOなどのアルカリ金属酸化物のような絶縁体の超薄膜がよく用いられる。また、リチウムアセチルアセトネート(略称:Li(acac))や8−キノリノラト−リチウム(略称:Liq)などのアルカリ金属錯体も有効である。また、モリブデン酸化物(MoOx)やバナジウム酸化物(VOx)、ルテニウム酸化物(RuOx)、タングステン酸化物(WOx)等の金属酸化物またはベンゾオキサゾール誘導体と、アルカリ金属、アルカリ土類金属、または遷移金属のいずれか一または複数の材料とを含むようにしても良い。また酸化チタンを用いていても良い。 For the electron injection layer 705, a material having a high electron injection property is preferably used. For example, an ultra-thin film of an insulator such as an alkali metal halide such as LiF or CsF, an alkaline earth halide such as CaF 2 , or an alkali metal oxide such as Li 2 O is often used. Alkali metal complexes such as lithium acetylacetonate (abbreviation: Li (acac)) and 8-quinolinolato-lithium (abbreviation: Liq) are also effective. In addition, metal oxides such as molybdenum oxide (MoOx), vanadium oxide (VOx), ruthenium oxide (RuOx), and tungsten oxide (WOx), or benzoxazole derivatives, alkali metals, alkaline earth metals, or transitions Any one or more materials of metal may be included. Further, titanium oxide may be used.

なお、発光層114は、必ずしもこれらの層を全て有している必要はない。本実施の形態では、少なくとも発光層703を有していれば良い。また必ずしも発光層703からのみ発光が得られるわけではなく、他の層に用いられる材料の組み合わせによっては、発光層703以外の層から発光が得られる場合もある。また、発光層703と電子輸送層704の間に正孔ブロック層を設けても良い。   Note that the light-emitting layer 114 does not necessarily have all of these layers. In this embodiment mode, at least the light-emitting layer 703 may be provided. Further, light emission is not necessarily obtained only from the light-emitting layer 703, and light emission may be obtained from layers other than the light-emitting layer 703 depending on a combination of materials used for other layers. Further, a hole blocking layer may be provided between the light emitting layer 703 and the electron transporting layer 704.

なお色によっては、燐光材料の方が蛍光材料よりも、駆動電圧を低くすることができ、信頼性も高い場合がある。そこで、三原色の各色に対応する発光素子を用いて、フルカラーの表示を行なう場合は、蛍光材料を用いた発光素子と、燐光材料を用いた発光素子とを組み合わせて、各色の発光素子における劣化の度合いを揃えるようにしても良い。   Note that depending on the color, the phosphorescent material can have a lower driving voltage and higher reliability than the fluorescent material. Therefore, when full-color display is performed using light-emitting elements corresponding to the three primary colors, a combination of a light-emitting element using a fluorescent material and a light-emitting element using a phosphorescent material can reduce the deterioration of the light-emitting element of each color. You may make it arrange | equalize a degree.

なお発光層114のうち、電極115に最も近い層(本実施の形態では電子注入層705)に、エッチングされにくい材料を用いることで、発光層114上に電極115をスパッタ法で形成する際に、電極115に最も近い層(本実施の形態では電子注入層705)に与えられるスパッタダメージを軽減させることができる。エッチングされにくい材料とは、例えばモリブデン酸化物(MoOx)やバナジウム酸化物(VOx)、ルテニウム酸化物(RuOx)、タングステン酸化物(WOx)等の金属酸化物、またはベンゾオキサゾール誘導体を用いることができる。これらは蒸着法によって形成されることが好ましい。上記構成により、電極115をスパッタ法で形成した場合でも、発光層114が有する有機物を含む層への、スパッタダメージを抑えることができ、電極115を形成するための物質の選択性が広がる。   Note that a material that is difficult to be etched is used for the light emitting layer 114 that is closest to the electrode 115 (in this embodiment, the electron injection layer 705), so that the electrode 115 is formed over the light emitting layer 114 by a sputtering method. Sputter damage applied to the layer closest to the electrode 115 (in this embodiment, the electron injection layer 705) can be reduced. Examples of the material that is difficult to etch include metal oxides such as molybdenum oxide (MoOx), vanadium oxide (VOx), ruthenium oxide (RuOx), and tungsten oxide (WOx), or benzoxazole derivatives. . These are preferably formed by vapor deposition. With the above structure, even when the electrode 115 is formed by a sputtering method, sputtering damage to a layer containing an organic substance included in the light-emitting layer 114 can be suppressed, and the selectivity of a substance for forming the electrode 115 is widened.

その後、発光層114に接するように電極115を積層して形成する(図6(D))。本実施の形態において、電極115は反射性を有する導電膜で形成する。また、電極115は陰極として用いられるため、仕事関数の小さい金属、合金、電気伝導性化合物、およびこれらの混合物などを用いる。例えば、LiやCs等のアルカリ金属、およびMg、Ca、Sr等のアルカリ土類金属、これらを含む合金(Mg:Ag、Al:Li、Mg:Inなど)、およびこれらの化合物(CaF、CaN)の他、YbやEr等の希土類金属を用いることができる。また電子注入層を設ける場合、Alなどの他の導電膜を用いることも可能である。 After that, an electrode 115 is stacked so as to be in contact with the light-emitting layer 114 (FIG. 6D). In this embodiment, the electrode 115 is formed using a reflective conductive film. In addition, since the electrode 115 is used as a cathode, a metal, an alloy, an electrically conductive compound, a mixture thereof, or the like having a low work function is used. For example, alkali metals such as Li and Cs, and alkaline earth metals such as Mg, Ca, and Sr, alloys containing these (Mg: Ag, Al: Li, Mg: In, etc.), and compounds thereof (CaF 2 , In addition to CaN), rare earth metals such as Yb and Er can be used. When an electron injection layer is provided, other conductive films such as Al can be used.

その後、電極115上にマスクを用いた蒸着法またはスパッタ法により保護層を形成してもよい。保護層は、電極115を保護するものである。なお、必要でなければ必ずしも設ける必要はない。   Thereafter, a protective layer may be formed on the electrode 115 by vapor deposition using a mask or sputtering. The protective layer protects the electrode 115. If not necessary, it is not always necessary to provide it.

次いで、封止基板601をシール材で貼り合わせて発光素子を封止する。表示装置は、表示領域の外周をシール材で囲まれ、一対の基板100、及び封止基板601で封止される。なお、シール材で囲まれた領域には充填材602を充填する。或いは、シール材で囲まれた領域には乾燥した不活性ガスを充填する(図6(D))。   Next, the sealing substrate 601 is attached with a sealant to seal the light emitting element. In the display device, an outer periphery of a display region is surrounded by a sealant, and the display device is sealed with a pair of substrates 100 and a sealing substrate 601. Note that a filler 602 is filled in a region surrounded by the sealant. Alternatively, the region surrounded by the sealant is filled with a dry inert gas (FIG. 6D).

次に、電極115が形成されている側とは反対側の基板100上に反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16を順次積層する(図8)。本実施の形態において、反射偏光板として直線偏光反射偏光板を用いる場合、反射偏光板14の透過軸と1/4波長板15の遅相軸とは45°若しくは135°の角度をなすように配置する。   Next, the reflective polarizing plate 14, the quarter wavelength plate 15, and the polarizing plate 16 are sequentially laminated on the substrate 100 opposite to the side on which the electrode 115 is formed (FIG. 8). In the present embodiment, when a linearly polarized reflective polarizer is used as the reflective polarizer, the transmission axis of the reflective polarizer 14 and the slow axis of the quarter wave plate 15 form an angle of 45 ° or 135 °. Deploy.

上記構成を有する表示装置において、画素電極112bと電極115との間に電圧を印加し、発光層114に順方向バイアスの電流を供給することで、発光層114から光を発生させ、該光を画素電極112b側から取り出すことができる。   In the display device having the above structure, by applying a voltage between the pixel electrode 112b and the electrode 115 and supplying a forward bias current to the light-emitting layer 114, light is generated from the light-emitting layer 114, and the light is It can be taken out from the pixel electrode 112b side.

以上の工程により、図8に示す表示装置を作製することができる。本実施の形態の表示装置において、反射偏光板14上での外光の反射による外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、発光層114において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさの改善を図ることが可能となる。 Through the above process, the display device illustrated in FIG. 8 can be manufactured. In the display device of the present embodiment, reflection of external video due to reflection of external light on the reflective polarizing plate 14 can be suppressed, and image display characteristics can be improved. In addition, light emitted from the light-emitting layer 114 can be extracted efficiently, and the brightness of the display image can be improved.

(実施の形態6)
本実施の形態において、実施の形態5に示した表示装置のパネルについて、図9を用いて説明する。
(Embodiment 6)
In this embodiment mode, a panel of the display device described in Embodiment Mode 5 will be described with reference to FIGS.

基板50上には、発光素子を含む画素を複数有する表示領域51、ゲートドライバ52、53、ソースドライバ54および接続フィルム55が設けられる(図9(A))。接続フィルム55はICチップなどに接続する。   A display region 51 having a plurality of pixels including light-emitting elements, gate drivers 52 and 53, a source driver 54, and a connection film 55 are provided over the substrate 50 (FIG. 9A). The connection film 55 is connected to an IC chip or the like.

図9(B)はパネルのABを結ぶ破線における断面図を示し、表示領域51に設けられたトランジスタ412、発光素子413および容量素子416、ソースドライバ54に設けられた素子群410を示す。   FIG. 9B is a cross-sectional view taken along a broken line connecting AB of the panel, and shows a transistor 412, a light-emitting element 413 and a capacitor 416 provided in the display region 51, and an element group 410 provided in the source driver 54.

表示領域51、ゲートドライバ52、53およびソースドライバ54の周囲にはシール材408が設けられ、発光素子413は、該シール材408と対向基板406により封止される。この封止処理は、発光素子413を水分から保護するための処理であり、ここではカバー材(ガラス、セラミックス、プラスチック、金属等)により封止する方法を用いるが、熱硬化性樹脂や紫外光硬化性樹脂を用いて封止する方法、金属酸化物や窒化物等のバリア能力が高い薄膜により封止する方法を用いてもよい。基板50上に形成される素子は、非晶質半導体に比べて移動度等の特性が良好な結晶質半導体(ポリシリコン)により形成することが好適であり、そうすると、同一表面上におけるモノリシック化が実現される。上記構成を有するパネルは、接続する外部ICの個数が減少するため、小型・軽量・薄型が実現される。なお、本実施の形態において、基板50の発光素子413が形成された側とは反対側の表面に、反射偏光板14、1/4波長板15、偏光板16とが順に積層して形成されている。   A sealant 408 is provided around the display region 51, the gate drivers 52 and 53, and the source driver 54, and the light emitting element 413 is sealed with the sealant 408 and the counter substrate 406. This sealing process is a process for protecting the light-emitting element 413 from moisture. Here, a method of sealing with a cover material (glass, ceramics, plastic, metal, or the like) is used, but a thermosetting resin or ultraviolet light is used. A method of sealing with a curable resin or a method of sealing with a thin film having a high barrier ability such as a metal oxide or a nitride may be used. The element formed on the substrate 50 is preferably formed of a crystalline semiconductor (polysilicon) having favorable characteristics such as mobility as compared with an amorphous semiconductor, so that monolithic formation on the same surface can be achieved. Realized. Since the number of external ICs to be connected is reduced, the panel having the above configuration can be made small, light, and thin. In the present embodiment, the reflective polarizing plate 14, the quarter wavelength plate 15, and the polarizing plate 16 are sequentially laminated on the surface of the substrate 50 opposite to the side on which the light emitting element 413 is formed. ing.

なお、表示領域51は絶縁表面上に形成された非晶質半導体(アモルファスシリコン)をチャネル部としたトランジスタにより構成し、表示領域51を制御する回路はICチップにより構成してもよい。非晶質半導体は、CVD法を用いることで、大面積の基板に簡単に形成することができ、かつ結晶化の工程が不要であることから、安価なパネルの提供を可能とする。また、この際、インクジェット法に代表される液滴吐出法により導電層を形成すると、より安価なパネルの提供を可能とする。また、ICチップは、COG(Chip On Glass)方式により基板50上に貼り合わせたり、基板50に接続する接続フィルム55に貼り合わせたりしてもよい。   Note that the display region 51 may be formed of a transistor using an amorphous semiconductor (amorphous silicon) formed over an insulating surface as a channel portion, and a circuit for controlling the display region 51 may be formed of an IC chip. An amorphous semiconductor can be easily formed on a large-area substrate by using the CVD method and does not require a crystallization step, so that an inexpensive panel can be provided. At this time, if a conductive layer is formed by a droplet discharge method typified by an ink jet method, a cheaper panel can be provided. Further, the IC chip may be bonded onto the substrate 50 by a COG (Chip On Glass) method, or may be bonded to the connection film 55 connected to the substrate 50.

ここで、図10(A)、図10(B)に、チップ状のIC(ICチップ)を、画素を複数有する表示領域が形成された素子基板に実装する様子を示す。図10(A)では、基板50上に表示領域51と、ゲートドライバ52、53とが形成されている。そして、ICチップ58に形成されたソースドライバが、基板50に実装されている。具体的には、ICチップ58に形成されたソースドライバが、基板50に貼り合わされ、表示領域51と電気的に接続されている。また、表示領域51と、ゲートドライバ52、53と、ICチップ58に形成されたソースドライバとに、それぞれ電源電位、各種信号等が、接続フィルム55を介して供給される。   Here, FIGS. 10A and 10B show a state where a chip-like IC (IC chip) is mounted on an element substrate over which a display region having a plurality of pixels is formed. In FIG. 10A, a display region 51 and gate drivers 52 and 53 are formed on a substrate 50. A source driver formed on the IC chip 58 is mounted on the substrate 50. Specifically, a source driver formed on the IC chip 58 is bonded to the substrate 50 and electrically connected to the display area 51. In addition, the power supply potential, various signals, and the like are supplied to the display area 51, the gate drivers 52 and 53, and the source driver formed on the IC chip 58 through the connection film 55.

図10(B)では、基板50上に表示領域51と、ゲートドライバ52、53とが形成されている。そして、ICチップ59に形成されたソースドライバが、基板50に実装された接続フィルム55に更に実装されている。表示領域51と、ゲートドライバ52と、ICチップ59に形成されたソースドライバとに、それぞれ電源電位、各種信号等が、接続フィルム55を介して供給される。   In FIG. 10B, a display region 51 and gate drivers 52 and 53 are formed on a substrate 50. The source driver formed on the IC chip 59 is further mounted on the connection film 55 mounted on the substrate 50. A power supply potential, various signals, and the like are supplied to the display area 51, the gate driver 52, and the source driver formed on the IC chip 59 through the connection film 55.

ICチップの実装方法は、特に限定されるものではなく、公知のCOG方法やワイヤボンディング方法、或いはTAB方法などを用いることができる。またICチップを実装する位置は、電気的な接続が可能であるならば、図10に示した位置に限定されない。また、図10ではソースドライバのみをICチップで形成した例について示したが、ゲートドライバをICチップで形成しても良いし、またコントローラ、CPU、メモリ等をICチップで形成し、実装するようにしても良い。また、ソースドライバやゲートドライバ全体をICチップで形成するのではなく、各駆動回路を構成している回路の一部だけを、ICチップで形成するようにしても良い。   The IC chip mounting method is not particularly limited, and a known COG method, wire bonding method, TAB method, or the like can be used. Further, the position where the IC chip is mounted is not limited to the position shown in FIG. 10 as long as electrical connection is possible. Further, although FIG. 10 shows an example in which only the source driver is formed with an IC chip, the gate driver may be formed with an IC chip, and the controller, CPU, memory, etc. may be formed with an IC chip and mounted. Anyway. Further, instead of forming the entire source driver or gate driver with an IC chip, only a part of the circuits constituting each driving circuit may be formed with an IC chip.

なお、駆動回路などの集積回路を別途ICチップで形成して実装することで、全ての回路を画素部と同じ基板上に形成する場合に比べて、歩留まりを高めることができ、また各回路の特性に合わせたプロセスの最適化を容易に行うことができる。   Note that by separately forming and mounting an integrated circuit such as a driver circuit using an IC chip, the yield can be increased as compared with the case where all the circuits are formed over the same substrate as the pixel portion. The process can be easily optimized according to the characteristics.

なお図10では示していないが、表示領域が形成されている基板上に、保護回路を設けていても良い。保護回路により放電経路を確保することができるので、信号及び電源電圧が有する雑音や、何らかの理由によって絶縁膜にチャージングされた電荷によって、基板に形成された半導体素子が劣化あるいは絶縁破壊されるのを防ぐことができる。具体的に図10(A)の場合、接続フィルム55と表示領域51とを電気的に接続している配線に、保護回路を接続することができる。またさらに、接続フィルム55とソースドライバが形成されたICチップ58とを電気的に接続している配線、接続フィルム55とゲートドライバ52、53とを電気的に接続している配線、ソースドライバが形成されたICチップ58と表示領域51とを電気的に接続している配線(ソース線)、ゲートドライバ52、53と表示領域51とを電気的に接続している配線(ゲート線)に、それぞれ保護回路を接続することができる。   Note that although not shown in FIG. 10, a protective circuit may be provided over a substrate over which a display region is formed. Since the discharge path can be secured by the protection circuit, the semiconductor element formed on the substrate is deteriorated or broken down due to noise of the signal and the power supply voltage or charge charged to the insulating film for some reason. Can be prevented. Specifically, in the case of FIG. 10A, a protective circuit can be connected to the wiring that electrically connects the connection film 55 and the display region 51. Furthermore, there are wiring that electrically connects the connection film 55 and the IC chip 58 on which the source driver is formed, wiring that electrically connects the connection film 55 and the gate drivers 52 and 53, and a source driver. The wiring (source line) that electrically connects the formed IC chip 58 and the display area 51, and the wiring (gate line) that electrically connects the gate drivers 52 and 53 and the display area 51, A protection circuit can be connected to each.

本実施の形態の表示装置において、反射偏光板14上での外光の反射による外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させることが可能となる。また、発光素子413において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさの改善を図ることが可能となる。 In the display device of the present embodiment, reflection of external video due to reflection of external light on the reflective polarizing plate 14 can be suppressed, and image display characteristics can be improved. In addition, light emitted from the light emitting element 413 can be extracted efficiently, and the brightness of the display image can be improved.

(実施の形態7)
本実施の形態は、実施の形態1〜6に示した表示装置を含む電子機器の一例を図11を参照して説明する。
(Embodiment 7)
In this embodiment, an example of an electronic device including the display device described in any of Embodiments 1 to 6 will be described with reference to FIGS.

図11(A)に示すテレビジョンは、本体8001、表示部8002等を含んでいる。表示部8002は、反射偏光板と1/4波長板と偏光板とを有する表示装置を有している。該表示装置を有する表示部8002を備えることにより、外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させたテレビジョンを提供することが可能となる。また、発光層において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさが向上したテレビジョンを提供することが可能となる。   A television shown in FIG. 11A includes a main body 8001, a display portion 8002, and the like. The display portion 8002 includes a display device having a reflective polarizing plate, a quarter wavelength plate, and a polarizing plate. By including the display portion 8002 including the display device, it is possible to provide a television in which external image reflection is suppressed and image display characteristics are improved. In addition, light emitted from the light-emitting layer can be efficiently extracted, and a television in which the brightness of a display image is improved can be provided.

図11(B)に示す情報端末機器は、本体8101、表示部8102等を含んでいる。表示部8102は、反射偏光板と1/4波長板と偏光板とを有する表示装置を有している。該表示装置を有する表示部8102を備えることにより、外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させた情報端末機器を提供することが可能となる。また、発光層において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさが向上した情報端末機器を提供することが可能となる。   An information terminal device illustrated in FIG. 11B includes a main body 8101, a display portion 8102, and the like. Display portion 8102 has a display device having a reflective polarizing plate, a quarter-wave plate, and a polarizing plate. By including the display portion 8102 having the display device, it is possible to provide an information terminal device that suppresses reflection of an external video and improves image display characteristics. In addition, it is possible to provide an information terminal device in which light emitted from the light emitting layer can be efficiently extracted and the brightness of the display image is improved.

図11(C)に示すビデオカメラは、本体8201、表示部8202等を含んでいる。表示部8202は、反射偏光板と1/4波長板と偏光板とを有する表示装置を有している。該表示装置を有する表示部8202を備えることにより、外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させたビデオカメラを提供することが可能となる。また、発光層において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさが向上したビデオカメラを提供することが可能となる。   A video camera shown in FIG. 11C includes a main body 8201, a display portion 8202, and the like. Display portion 8202 has a display device having a reflective polarizing plate, a quarter-wave plate, and a polarizing plate. By including the display portion 8202 including the display device, it is possible to provide a video camera that suppresses reflection of external video and improves image display characteristics. In addition, it is possible to provide a video camera in which light emitted from the light emitting layer can be efficiently extracted and the brightness of the display image is improved.

図11(D)に示す電話機は、本体8301、表示部8302等を含んでいる。表示部8302は、反射偏光板と1/4波長板と偏光板とを有する表示装置を有している。該表示装置を有する表示部8302を備えることにより、外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させた電話機を提供することが可能となる。また、発光層において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさが向上した電話機を提供することが可能となる。   A telephone shown in FIG. 11D includes a main body 8301, a display portion 8302, and the like. Display portion 8302 has a display device having a reflective polarizing plate, a quarter-wave plate, and a polarizing plate. By including the display portion 8302 including the display device, it is possible to provide a telephone in which external image reflection is suppressed and image display characteristics are improved. In addition, it is possible to efficiently extract light emitted from the light-emitting layer, and it is possible to provide a telephone in which the brightness of a display image is improved.

図11(E)に示す携帯型のテレビジョンは、本体8401、表示部8402等を含んでいる。表示部8402は、反射偏光板と1/4波長板と偏光板とを有する表示装置を有している。該表示装置を有する表示部8402を備えることにより、外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させた携帯型のテレビジョンを提供することが可能となる。また、発光層において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさが向上した携帯型のテレビジョンを提供することが可能となる。またテレビジョンとしては、携帯電話機などの携帯端末に搭載する小型のものから、持ち運びをすることができる中型のもの、また、大型のもの(例えば40インチ以上)まで、幅広いものに、本発明の表示装置を適用することができる。   A portable television shown in FIG. 11E includes a main body 8401, a display portion 8402, and the like. Display portion 8402 includes a display device having a reflective polarizing plate, a quarter-wave plate, and a polarizing plate. By including the display portion 8402 including the display device, it is possible to provide a portable television in which external image reflection is suppressed and image display characteristics are improved. In addition, light emitted from the light-emitting layer can be efficiently extracted, and a portable television in which the brightness of a display image is improved can be provided. In addition, televisions can be used in a wide range from small-sized televisions mounted on portable terminals such as cellular phones, medium-sized televisions that can be carried, and large-sized televisions (for example, 40 inches or more). A display device can be applied.

なお、本発明に係る電子機器は、図11(A)〜(E)に限定されず、表示部に反射偏光板と1/4波長板と偏光板とを有する表示装置を有するものが含まれる。   In addition, the electronic device which concerns on this invention is not limited to FIG. 11 (A)-(E), The thing which has a display apparatus which has a reflective polarizing plate, a quarter wavelength plate, and a polarizing plate in a display part is contained. .

このように、反射偏光板と1/4波長板と偏光板とを有する表示装置を有する表示部等を備えることで、外部の映像の映り込みを抑え、画像の表示特性を向上させた電子機器を提供することが可能となる。また、発光層において発光した光を効率よく取り出すことができ、表示画像の明るさが向上した電子機器を提供することが可能となる。   As described above, an electronic apparatus that includes a display unit having a display device having a reflective polarizing plate, a quarter-wave plate, and a polarizing plate to suppress reflection of an external image and improve image display characteristics. Can be provided. In addition, light emitted from the light-emitting layer can be extracted efficiently, and an electronic device with improved brightness of a display image can be provided.

表示装置の断面の模式図。The schematic diagram of the cross section of a display apparatus. 表示装置の断面の模式図。The schematic diagram of the cross section of a display apparatus. 表示装置の断面の模式図。The schematic diagram of the cross section of a display apparatus. 表示装置の断面の模式図。The schematic diagram of the cross section of a display apparatus. 表示装置の作製工程の例を示す図。10A and 10B illustrate an example of a manufacturing process of a display device. 表示装置の作製工程の例を示す図。10A and 10B illustrate an example of a manufacturing process of a display device. 表示装置の作製工程の例を示す図。10A and 10B illustrate an example of a manufacturing process of a display device. 表示装置が有する発光層の構成を示す図。FIG. 6 illustrates a structure of a light-emitting layer included in a display device. 表示装置のパネルを示す図。The figure which shows the panel of a display apparatus. 表示装置のパネルを示す図。The figure which shows the panel of a display apparatus. 表示装置を用いた電子機器を示す図。FIG. 10 illustrates an electronic device using a display device.

符号の説明Explanation of symbols

11 透明電極
12 発光層
13 反射性電極
14 反射偏光板
15 波長板
16 偏光板
100 基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Transparent electrode 12 Light emitting layer 13 Reflective electrode 14 Reflective polarizing plate 15 Wavelength plate 16 Polarizing plate 100 Substrate

Claims (7)

第1の吸収偏光板上に設けられた第1の1/4波長板と、
前記第1の1/4波長板上に設けられた第1の反射偏光板と、
前記第1の反射偏光板上に設けられた透明基板と、
前記透明基板上に設けられた第1の透明電極と、
前記第1の透明電極上に設けられた発光層と、
前記発光層上に設けられた第2の透明電極と、
前記第2の透明電極上に設けられた第2の反射偏光板と、
前記第2の反射偏光板上に設けられた第2の1/4波長板と、
前記第2の1/4波長板上に設けられた第2の吸収偏光板と、
前記第2の透明電極と前記第2の反射偏光板との間に、膜中に前記膜とは屈折率の異なる複数の大きさの異なる粒子を拡散させた散乱層と、を有し、
前記第1の反射偏光板と前記第2の反射偏光板は直線偏光板であり、
前記第1の吸収偏光板の透過軸と前記第1の1/4波長板の遅相軸は45°の角度であり、
前記第1の吸収偏光板の透過軸と前記第1の反射偏光板の透過軸は平行であり、
前記第2の吸収偏光板の透過軸と前記第2の1/4波長板の遅相軸は45°の角度であり、
前記第2の吸収偏光板の透過軸と前記第2の反射偏光板の透過軸は平行であり、
前記第1の吸収偏光板の吸収軸と前記第2の吸収偏光板の吸収軸は直交していることを特徴とする表示装置。
A first quarter wave plate provided on the first absorbing polarizer;
A first reflective polarizing plate provided on the first quarter-wave plate;
A transparent substrate provided on the first reflective polarizing plate;
A first transparent electrode provided on the transparent substrate;
A light emitting layer provided on the first transparent electrode;
A second transparent electrode provided on the light emitting layer;
A second reflective polarizing plate provided on the second transparent electrode;
A second quarter-wave plate provided on the second reflective polarizing plate;
A second absorbing polarizer provided on the second quarter-wave plate;
Between the second transparent electrode and the second reflective polarizing plate, a scattering layer in which a plurality of different particles having different refractive indexes from the film are diffused in the film ,
The first reflective polarizer and the second reflective polarizer are linear polarizers,
The transmission axis of the first absorption polarizing plate and the slow axis of the first quarter-wave plate are at an angle of 45 °,
The transmission axis of the first absorption polarizer and the transmission axis of the first reflection polarizer are parallel,
The transmission axis of the second absorption polarizing plate and the slow axis of the second quarter-wave plate are at an angle of 45 °,
The transmission axis of the second absorption polarizer and the transmission axis of the second reflection polarizer are parallel,
The display device, wherein an absorption axis of the first absorption polarizing plate and an absorption axis of the second absorption polarizing plate are orthogonal to each other.
第1の吸収偏光板上に設けられた第1の1/4波長板と、
前記第1の1/4波長板上に設けられた第1の反射偏光板と、
前記第1の反射偏光板上に設けられた透明基板と、
前記透明基板上に設けられた第1の透明電極と、
前記第1の透明電極上に設けられた発光層と、
前記発光層上に設けられた第2の透明電極と、
前記第2の透明電極上に設けられた第2の反射偏光板と、
前記第2の反射偏光板上に設けられた第2の1/4波長板と、
前記第2の1/4波長板上に設けられた第2の吸収偏光板と、
前記第2の透明電極と前記第2の反射偏光板との間に、膜中に前記膜とは屈折率の異なる複数の大きさの異なる粒子を拡散させた散乱層と、を有し、
前記第1の反射偏光板と前記第2の反射偏光板は円偏光板であり、
前記第1の反射偏光板のらせんの回転方向と前記第2の反射偏光板のらせんの回転方向は逆向きであることを特徴とする表示装置。
A first quarter wave plate provided on the first absorbing polarizer;
A first reflective polarizing plate provided on the first quarter-wave plate;
A transparent substrate provided on the first reflective polarizing plate;
A first transparent electrode provided on the transparent substrate;
A light emitting layer provided on the first transparent electrode;
A second transparent electrode provided on the light emitting layer;
A second reflective polarizing plate provided on the second transparent electrode;
A second quarter-wave plate provided on the second reflective polarizing plate;
A second absorbing polarizer provided on the second quarter-wave plate;
Between the second transparent electrode and the second reflective polarizing plate, a scattering layer in which a plurality of different particles having different refractive indexes from the film are diffused in the film ,
The first reflective polarizer and the second reflective polarizer are circular polarizers,
The display device according to claim 1, wherein the spiral direction of the first reflective polarizer and the spiral direction of the second reflective polarizer are opposite to each other.
第1の吸収偏光板上に設けられた第1の1/4波長板と、
前記第1の1/4波長板上に設けられた第1の反射偏光板と、
前記第1の反射偏光板上に設けられた透明基板と、
前記透明基板上に設けられた、ソース領域又はドレイン領域を有する半導体膜を有する薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタ上に設けられた、前記ソース領域又はドレイン領域に達するコンタクトホールを有する層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に設けられた前記ソース領域又はドレイン領域と電気的に接続された配線と、
前記層間絶縁膜及び前記配線上に設けられた第1の透明電極と、
前記第1の透明電極上に設けられた発光層と、
前記発光層上に設けられた第2の透明電極と、
前記第2の透明電極上に設けられた第2の反射偏光板と、
前記第2の反射偏光板上に設けられた第2の1/4波長板と、
前記第2の1/4波長板上に設けられた第2の吸収偏光板と、
前記第2の透明電極と前記第2の反射偏光板との間に、膜中に前記膜とは屈折率の異なる複数の大きさの異なる粒子を拡散させた散乱層と、を有し、
前記第1の反射偏光板と前記第2の反射偏光板は直線偏光板であり、
前記第1の吸収偏光板の透過軸と前記第1の1/4波長板の遅相軸は45°の角度であり、
前記第1の吸収偏光板の透過軸と前記第1の反射偏光板の透過軸は平行であり、
前記第2の吸収偏光板の透過軸と前記第2の1/4波長板の遅相軸は45°の角度であり、
前記第2の吸収偏光板の透過軸と前記第2の反射偏光板の透過軸は平行であり、
前記第1の吸収偏光板の吸収軸と前記第2の吸収偏光板の吸収軸は直交していることを特徴とする表示装置。
A first quarter wave plate provided on the first absorbing polarizer;
A first reflective polarizing plate provided on the first quarter-wave plate;
A transparent substrate provided on the first reflective polarizing plate;
A thin film transistor having a semiconductor film having a source region or a drain region provided on the transparent substrate;
An interlayer insulating film provided on the thin film transistor and having a contact hole reaching the source region or the drain region;
A wiring electrically connected to the source region or the drain region provided on the interlayer insulating film;
A first transparent electrode provided on the interlayer insulating film and the wiring;
A light emitting layer provided on the first transparent electrode;
A second transparent electrode provided on the light emitting layer;
A second reflective polarizing plate provided on the second transparent electrode;
A second quarter-wave plate provided on the second reflective polarizing plate;
A second absorbing polarizer provided on the second quarter-wave plate;
Between the second transparent electrode and the second reflective polarizing plate, a scattering layer in which a plurality of different particles having different refractive indexes from the film are diffused in the film ,
The first reflective polarizer and the second reflective polarizer are linear polarizers,
The transmission axis of the first absorption polarizing plate and the slow axis of the first quarter-wave plate are at an angle of 45 °,
The transmission axis of the first absorption polarizer and the transmission axis of the first reflection polarizer are parallel,
The transmission axis of the second absorption polarizing plate and the slow axis of the second quarter-wave plate are at an angle of 45 °,
The transmission axis of the second absorption polarizer and the transmission axis of the second reflection polarizer are parallel,
The display device, wherein an absorption axis of the first absorption polarizing plate and an absorption axis of the second absorption polarizing plate are orthogonal to each other.
第1の吸収偏光板上に設けられた第1の1/4波長板と、
前記第1の1/4波長板上に設けられた第1の反射偏光板と、
前記第1の反射偏光板上に設けられた透明基板と、
前記透明基板上に設けられた、ソース領域又はドレイン領域を有する半導体膜を有する薄膜トランジスタと、
前記薄膜トランジスタ上に設けられた、前記ソース領域又はドレイン領域に達するコンタクトホールを有する層間絶縁膜と、
前記層間絶縁膜上に設けられた前記ソース領域又はドレイン領域と電気的に接続された配線と、
前記層間絶縁膜及び前記配線上に設けられた第1の透明電極と、
前記第1の透明電極上に設けられた発光層と、
前記発光層上に設けられた第2の透明電極と、
前記第2の透明電極上に設けられた第2の反射偏光板と、
前記第2の反射偏光板上に設けられた第2の1/4波長板と、
前記第2の1/4波長板上に設けられた第2の吸収偏光板と、
前記第2の透明電極と前記第2の反射偏光板との間に、膜中に前記膜とは屈折率の異なる複数の大きさの異なる粒子を拡散させた散乱層と、を有し、
前記第1の反射偏光板と前記第2の反射偏光板は円偏光板であり、
前記第1の反射偏光板のらせんの回転方向と前記第2の反射偏光板のらせんの回転方向は逆向きであることを特徴とする表示装置。
A first quarter wave plate provided on the first absorbing polarizer;
A first reflective polarizing plate provided on the first quarter-wave plate;
A transparent substrate provided on the first reflective polarizing plate;
A thin film transistor having a semiconductor film having a source region or a drain region provided on the transparent substrate;
An interlayer insulating film provided on the thin film transistor and having a contact hole reaching the source region or the drain region;
A wiring electrically connected to the source region or the drain region provided on the interlayer insulating film;
A first transparent electrode provided on the interlayer insulating film and the wiring;
A light emitting layer provided on the first transparent electrode;
A second transparent electrode provided on the light emitting layer;
A second reflective polarizing plate provided on the second transparent electrode;
A second quarter-wave plate provided on the second reflective polarizing plate;
A second absorbing polarizer provided on the second quarter-wave plate;
Between the second transparent electrode and the second reflective polarizing plate, a scattering layer in which a plurality of different particles having different refractive indexes from the film are diffused in the film ,
The first reflective polarizer and the second reflective polarizer are circular polarizers,
The display device according to claim 1, wherein the spiral direction of the first reflective polarizer and the spiral direction of the second reflective polarizer are opposite to each other.
請求項1乃至請求項のいずれか一において、
前記第2の透明電極と前記第2の反射偏光板との間に第3の1/4波長板が形成されてなることを特徴とする表示装置。
In any one of Claims 1 thru | or 4 ,
A display device, wherein a third quarter-wave plate is formed between the second transparent electrode and the second reflective polarizing plate.
請求項1乃至請求項のいずれか一において、
前記第1の1/4波長板又は前記第2の1/4波長板の少なくとも一方は、可視光の範囲において1/4波長板としての効果を有する広帯域化1/4波長板であることを特徴とする表示装置。
In any one of Claims 1 thru | or 5 ,
At least one of the first quarter wavelength plate or the second quarter wavelength plate is a broadband quarter wavelength plate having an effect as a quarter wavelength plate in a visible light range. Characteristic display device.
請求項1乃至請求項のいずれか一項に記載の表示装置を具備することを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus comprising the display device according to any one of claims 1 to 6 .
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