JP5240108B2 - Droplet discharge device - Google Patents

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Description

本発明は、ワークに機能液を吐出させる機能液滴吐出ヘッドの吐出不良を検査する吐出不良検査ユニットを備えた液滴吐出装置に関する。 The present invention relates to a droplet discharge equipment having an ejection failure inspection unit for inspecting the ejection failure of the functional liquid droplet ejection heads for ejecting the functional liquid on the workpiece.

機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、各種製品(例えば、液晶表示装置のカラーフィルタなど)を製造する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板(ワーク)をセットした基板搬送テーブル(セットテーブル)をY軸方向に移動させるY軸方向移動機構と、機能液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットをX軸方向に移動させるX軸方向移動機構と、を備えている。ヘッドユニットの移動領域と基板搬送テーブルの移動領域とが重なる領域が、基板に描画を行いうる吐出可能領域であり、液滴吐出装置では、ヘッドユニットおよび基板を相対的に移動させながら機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動することにより、吐出可能領域に臨んだ基板に所定の描画パターンを描画させる。   2. Related Art There is known a droplet discharge device that manufactures various products (for example, a color filter of a liquid crystal display device) by a droplet discharge method using a functional droplet discharge head. The droplet discharge device moves the substrate transport table (set table) on which the substrate (work) is set in the Y-axis direction and the head unit equipped with the functional droplet discharge head in the X-axis direction. An X-axis direction moving mechanism. The area where the moving area of the head unit and the moving area of the substrate transport table overlap is a dischargeable area where drawing can be performed on the substrate. In the droplet discharge device, the functional droplet is moved while moving the head unit and the substrate relatively. A predetermined drawing pattern is drawn on the substrate facing the dischargeable area by driving the discharge head to discharge.

液滴吐出装置には、機能液滴吐出ヘッドのノズル詰まりを検査するためのドット抜け検出ユニットが備えられている。ドット抜け検出ユニットは、ヘッドユニットの移動領域下であって、基板搬送テーブルの移動領域から外れた場所に設けられている。ドット抜け検出ユニットは、機能液滴吐出ヘッドの各吐出ノズルから検査用に機能液滴を吐出させ、その有無を光学的に検出する受光部と、検査用に吐出された機能液を受ける検査用液受け部と、を備えており、ドット抜け検査を行う場合には、ヘッドユニットを検査用液受け部の直上部まで移動させた後、機能液滴吐出ヘッドを吐出駆動して、検査用液受け部に対して、各吐出ノズルから検査用の機能液滴を吐出させると共に、各吐出ノズルからの機能液滴の有無を受光部で検出する。   The droplet discharge device includes a dot dropout detection unit for inspecting nozzle clogging of the functional droplet discharge head. The missing dot detection unit is provided at a location below the moving area of the head unit and out of the moving area of the substrate transfer table. The missing dot detection unit discharges functional liquid droplets from each discharge nozzle of the functional liquid droplet discharge head for inspection, optically detects the presence or absence thereof, and for inspection that receives the functional liquid discharged for inspection A liquid receiver, and when performing dot drop inspection, after moving the head unit to a position directly above the inspection liquid receiver, the functional liquid droplet discharge head is driven to discharge and the inspection liquid The receiving unit discharges functional droplets for inspection from each discharge nozzle, and the presence or absence of functional droplets from each discharge nozzle is detected by the light receiving unit.

特開2004−202325号公報JP 2004-202325 A

ところで、描画の歩留まりを向上させるために、ドット抜け検出は、液滴吐出装置の立ち上げ時以外にも定期的に行うことが好ましい。すなわち、セットテーブルに対するワークの載せ換え時にドット抜け検出を行い、次のワークに描画処理を行う前に、機能液滴吐出ヘッドから機能液滴が適切に吐出されることを確認することが好ましい。しかしながら、従来の液滴吐出装置では、ドット抜け検出ユニットが、基板搬送テーブルの移動領域から外れた位置に設けられているため、ワークに対する描画処理の合間にドット抜け検出を行おうとすると、X軸方向移動機構を駆動して、描画領域にあるヘッドユニットをドット抜け検出ユニットまで移動させなければならないと共に、検出後も再度X軸方向移動機構を駆動して、描画領域までヘッドユニットを移動させなければならない。このため、従来の液滴吐出装置では、ドット抜け検出に要するサイクルタイムが長引き、ワークに対する描画効率が悪化してしまう。   By the way, in order to improve the drawing yield, it is preferable to periodically detect missing dots other than when the droplet discharge apparatus is started up. That is, it is preferable that dot missing detection is performed when the work is transferred to the set table, and it is confirmed that the functional liquid droplets are appropriately ejected from the functional liquid droplet ejection head before the drawing process is performed on the next work. However, in the conventional droplet discharge device, since the dot dropout detection unit is provided at a position outside the moving area of the substrate transfer table, if dot dropout detection is performed between drawing processes on the workpiece, the X axis The direction moving mechanism must be driven to move the head unit in the drawing area to the dot dropout detection unit, and after detection, the X-axis direction moving mechanism must be driven again to move the head unit to the drawing area. I must. For this reason, in the conventional droplet discharge device, the cycle time required for detecting missing dots is prolonged, and the drawing efficiency for the workpiece is deteriorated.

そこで、本発明は、ワークに対する描画処理の合間であっても、効率的にドット抜け検出を行うことができ、ドット抜け検出のサイクルタイムを削減できる液滴吐出装置を提供することを課題としている。 Accordingly, the present invention may be a interval of drawing processing for the work can be performed efficiently dot omission detection, to provide a liquid droplet ejection equipment which can reduce the cycle time of the dot omission detection a challenge Yes.

本発明の液滴吐出装置は、ワークをセットしたセットテーブルと、ノズルが形成されたノズル面を有する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、描画領域において機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置であって、ノズル面を封止するキャップユニットと、機能液滴吐出ヘッドが描画領域とキャップユニットを移動するヘッド移動軸と、ヘッド移動軸と交差すると共に、セットテーブルが移動するセットテーブル移動軸と、セットテーブル移動軸上を移動可能に配置され、機能液滴吐出ヘッドの吐出不良検査および位置補正を可能とするために、機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受ける被描画ユニットを有した検査ユニットと、を備え、検査ユニットは、セットテーブル移動軸上を移動することで、機能液滴吐出ヘッドに臨むことを特徴とする。 The liquid droplet ejection apparatus according to the present invention moves a functional liquid from a functional liquid droplet ejection head in a drawing region while relatively moving a set liquid table having a work set and a functional liquid droplet ejection head having a nozzle surface on which a nozzle is formed. Is a droplet discharge device that performs drawing by discharging a cap unit that seals a nozzle surface, a head movement axis that a functional droplet discharge head moves between the drawing region and the cap unit, and a head movement axis In addition , a set table moving axis on which the set table moves, and a set table moving axis are arranged so as to be movable, and in order to enable ejection defect inspection and position correction of the functional liquid droplet ejection head, from the functional liquid droplet ejection head and an inspection unit having an image-rendering unit under test discharged, the inspection unit, by moving on the set table moving shaft, machine Characterized in that facing the droplet discharge head.

この場合、検査ユニットは、検査パターンを描画させる被描画ユニットと、被描画ユニットに描画された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニットを有し、被描画ユニットがセットテーブル移動軸上に配置されていることが好ましい。 In this case, the inspection unit has a drawing unit for drawing the inspection pattern and an imaging unit for imaging and inspecting the inspection pattern drawn on the drawing unit, and the drawing unit is arranged on the set table moving axis. It is preferable.

また、キャップユニットは、前記ノズルの吸引を行うことが好ましい。 Further, the cap unit preferably performs suction of the nozzle .

さらに、ノズル面をワイピングするワイピングユニットを有し、ワイピングユニットは、機能液滴吐出ヘッドがヘッド移動軸上を移動して臨む位置に配設されていることが好ましい。 Furthermore, it is preferable that a wiping unit for wiping the nozzle surface is provided, and the wiping unit is disposed at a position where the functional liquid droplet ejection head moves and faces the head moving axis .

本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の説明図であり、セットテーブル(吸着テーブル)がワーク載せ換え位置に臨んだときの外観斜視図である。It is explanatory drawing of the droplet discharge apparatus which concerns on embodiment of this invention, and is an external appearance perspective view when a set table (suction table) faces a workpiece | work replacement position. セットテーブル(吸着テーブル)がワーク載せ換え位置に臨んだ状態で、ブリッジプレートを除いた液滴吐出装置の平面図である。FIG. 6 is a plan view of the droplet discharge device excluding the bridge plate in a state where the set table (suction table) faces the workpiece replacement position. セットテーブル(吸着テーブル)がワーク載せ換え位置に臨んだときの液滴吐出装置の側面図である。It is a side view of a droplet discharge device when a set table (suction table) faces a workpiece replacement position. 機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。It is an external appearance perspective view of a functional droplet discharge head. ヘッドプレート廻りの説明図であり、キャリッジユニットの下側から見たヘッドプレートの平面図である。It is explanatory drawing around a head plate, and is a top view of the head plate seen from the lower side of the carriage unit. ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配色パターンの説明図である。It is explanatory drawing of the color arrangement pattern of the functional droplet discharge head mounted in the head unit. カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、(a)は、ストライプ配列、(b)は、モザイク配列、(c)は、デルタ配列を示している。It is explanatory drawing of the color arrangement pattern of a color filter, (a) is a stripe arrangement | sequence, (b) is a mosaic arrangement | sequence, (c) has shown the delta arrangement | sequence. 液滴吐出装置による描画処理の説明図であり、(a)は、第1描画動作、(b)は、第2描画動作、(c)は、第3描画動作についての平面模式図である。It is explanatory drawing of the drawing process by a droplet discharge apparatus, (a) is a 1st drawing operation, (b) is a 2nd drawing operation, (c) is a plane schematic diagram about a 3rd drawing operation. X軸エアースライダ廻りの外観斜視図である。It is an external perspective view around the X-axis air slider. 描画装置の主制御系について説明したブロック図である。It is a block diagram explaining the main control system of the drawing apparatus. カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining a color filter manufacturing process. (a)〜(e)は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。(A)-(e) is a schematic cross section of the color filter shown to the manufacturing process order. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第2の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 2nd example using the color filter to which this invention is applied. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第3の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。It is principal part sectional drawing which shows schematic structure of the liquid crystal device of the 3rd example using the color filter to which this invention is applied. 有機EL装置である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 有機EL装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the manufacturing process of the display apparatus which is an organic electroluminescent apparatus. 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an inorganic bank layer. 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of an organic substance bank layer. 正孔注入/輸送層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a positive hole injection / transport layer is formed. 正孔注入/輸送層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the positive hole injection / transport layer was formed. 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。It is process drawing explaining the process in which a blue light emitting layer is formed. 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the blue light emitting layer was formed. 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。It is process drawing explaining the state in which the light emitting layer of each color was formed. 陰極の形成を説明する工程図である。It is process drawing explaining formation of a cathode. プラズマ型表示装置(PDP装置)である表示装置の要部分解斜視図である。It is a principal part disassembled perspective view of the display apparatus which is a plasma type display apparatus (PDP apparatus). 電子放出装置(FED装置)である表示装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the display apparatus which is an electron emission apparatus (FED apparatus). 表示装置の電子放出部廻りの平面図(a)およびその形成方法を示す平面図(b)である。It is the top view (a) around the electron emission part of a display apparatus, and the top view (b) which shows the formation method.

以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出法により、ワーク(基板)上に、R(赤)・G(緑)・B(青)の3色から成る液晶表示装置のカラーフィルタや有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。   Hereinafter, a droplet discharge device to which the present invention is applied will be described with reference to the accompanying drawings. This droplet discharge device is incorporated in a so-called flat display production line, and R (red) and G (green) are applied onto a workpiece (substrate) by a droplet discharge method using a functional droplet discharge head. Forms a color filter of a liquid crystal display device composed of three colors of B (blue), a light emitting element that becomes each pixel of an organic EL device, and the like.

図1ないし図3に示すように、液滴吐出装置1は、X軸支持ベース2(石定盤)上に配設され、主走査方向となるX軸方向に延在して、ワークWをX軸方向(主走査方向)に移動させるX軸テーブル11(主走査移動手段)と、複数本の支柱4を介してX軸テーブル11を跨ぐように架け渡された1対(2つ)のY軸支持ベース3上に配設され、副走査方向となるY軸方向に延在するY軸テーブル12(副走査移動手段)と、複数の機能液滴吐出ヘッド82(図示省略)が搭載された7つのキャリッジユニット81から成り、Y軸テーブル12にY軸方向(副走査方向)に移動自在に支持されたヘッドユニット13と、を備えている。そして、X軸テーブル11およびY軸テーブル12の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド82を吐出駆動させることにより、R・G・B3色の機能液滴を吐出させ、ワークWに所定の描画パターンを描画する(描画処理)。   As shown in FIGS. 1 to 3, the droplet discharge device 1 is disposed on an X-axis support base 2 (stone surface plate) and extends in the X-axis direction, which is the main scanning direction. An X-axis table 11 (main-scanning moving means) that moves in the X-axis direction (main scanning direction) and a pair (two) spanned across the X-axis table 11 via a plurality of columns 4 A Y-axis table 12 (sub-scanning moving means) disposed on the Y-axis support base 3 and extending in the Y-axis direction, which is the sub-scanning direction, and a plurality of functional liquid droplet ejection heads 82 (not shown) are mounted. And a head unit 13 supported by the Y-axis table 12 so as to be movable in the Y-axis direction (sub-scanning direction). Then, the functional liquid droplet ejection head 82 is ejected and driven in synchronism with the driving of the X axis table 11 and the Y axis table 12, thereby ejecting R, G, and B color functional liquid droplets and predetermined drawing on the workpiece W. Draw a pattern (drawing process).

また、液滴吐出装置1は、フラッシングユニット14、吸引ユニット15、ワイピングユニット16、吐出不良検査ユニット17(これらを総称してメンテナンス手段とする)を備えており、これらを機能液滴吐出ヘッド82の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド82の機能維持・機能回復を図るようになっている(メンテナンス処理)。なお、メンテナンス手段を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット14および吐出不良検査ユニット17は、X軸テーブル11に搭載され、吸引ユニット15、およびワイピングユニット16は、X軸テーブル11から外れ、かつY軸テーブル12によりヘッドユニット13が移動可能である位置に配設された架台5上に配設されている。   Further, the droplet discharge device 1 includes a flushing unit 14, a suction unit 15, a wiping unit 16, and a discharge defect inspection unit 17 (collectively referred to as maintenance means), which are functional droplet discharge heads 82. The maintenance and recovery of the function of the functional liquid droplet ejection head 82 is performed (maintenance processing). Of the units constituting the maintenance means, the flushing unit 14 and the ejection failure inspection unit 17 are mounted on the X-axis table 11, and the suction unit 15 and the wiping unit 16 are detached from the X-axis table 11, and Y The head unit 13 is disposed on the mount 5 disposed at a position where the head unit 13 can be moved by the shaft table 12.

なお、図示省略したが、液滴吐出装置1には、装置全体を制御する制御手段18が備えられており、上記の描画処理およびメンテナンス処理は、制御手段18による制御に基づいて行われている。   Although not shown, the droplet discharge device 1 is provided with a control unit 18 that controls the entire device, and the above drawing process and maintenance process are performed based on the control by the control unit 18. .

以下、液滴吐出装置1の構成要素について説明する。図1ないし図3に示すように、X軸テーブル11は、ワークWをセットするセットテーブル21と、セットテーブル21をX軸方向にスライド自在に支持するX軸エアースライダ22と、X軸方向に延在し、セットテーブル21を介してワークWをX軸方向に移動させる左右一対のX軸リニアモータ(図示省略)と、X軸リニアモータに並設され、X軸エアースライダ22の移動を案内する一対(2本)のX軸ガイドレール23と、を備えている。   Hereinafter, components of the droplet discharge device 1 will be described. As shown in FIGS. 1 to 3, the X-axis table 11 includes a set table 21 for setting a work W, an X-axis air slider 22 for slidably supporting the set table 21 in the X-axis direction, and an X-axis direction. A pair of left and right X-axis linear motors (not shown) that extend and move the workpiece W in the X-axis direction via the set table 21 and the X-axis linear motor are arranged in parallel to guide the movement of the X-axis air slider 22 And a pair of (two) X-axis guide rails 23.

セットテーブル21は、ワークWを吸着セットする吸着テーブル31と、吸着テーブル31を支持し、吸着テーブル31にセットしたワークWの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル32等を有している。図9に示すように、吸着テーブル31は、ワークWを吸着セットするテーブル本体41と、テーブル本体41を3点支持する3組のテーブル支持部材(図示省略)と、θテーブル32に固定され、テーブル支持部材を介して、テーブル本体41を支持する支持ベース42と、を有している。テーブル本体41は、厚板状の石盤で構成され、一辺1800mmの平面視略正方形に形成されている。テーブル本体41の表面には、ワークWを吸引するための吸引溝43が複数形成されていると共に、各吸引溝43には、上記したエアー吸引手段に連なる吸引孔(図示省略)が貫通形成されており、吸引溝43を介して、ワークWに十分な吸引力を作用させることができるようになっている。   The set table 21 includes a suction table 31 for sucking and setting the work W, and a θ table 32 for supporting the suction table 31 and correcting the position of the work W set on the suction table 31 in the θ-axis direction. Yes. As shown in FIG. 9, the suction table 31 is fixed to a table body 41 for sucking and setting the work W, three sets of table support members (not shown) for supporting the table body 41 at three points, and the θ table 32, And a support base 42 that supports the table main body 41 via a table support member. The table main body 41 is made of a thick plate-shaped stone, and is formed in a substantially square shape with a side of 1800 mm in plan view. A plurality of suction grooves 43 for sucking the workpiece W are formed on the surface of the table body 41, and suction holes (not shown) connected to the air suction means are formed through the suction grooves 43. A sufficient suction force can be applied to the workpiece W through the suction groove 43.

なお、支持ベース42には、3組のテーブル支持部材と共に、後述する描画前フラッシングユニット111が支持されており、テーブル本体41のY軸方向と平行な一対の辺には、描画前フラッシングユニット111の一対の描画前フラッシングボックス121(後述する)が添設されている。図中の符号44は、リフター機構(図示省略)の多数のリフターピン(図示省略)を遊挿する多数の遊挿孔である。吸着テーブル31には、吸着テーブル31に対してワークの除給を行うリフター機構がくみこまれている。リフター機構は、支持ベース42に支持されており、昇降自在に構成された多数のリフターピンを有している。そして、多数のリフターピンをテーブル本体41に形成された多数の遊挿孔44から出没させることにより、図外のロボットアームから未処理のワークWを受け取り、これを吸着テーブル31に受け渡すと共に、処理済みのワークWをセットテーブル21からリフトアップさせて、これをロボットアームに受け渡すようになっている。   The support base 42 supports a pre-drawing flushing unit 111, which will be described later, together with three sets of table support members. The pre-drawing flushing unit 111 is disposed on a pair of sides parallel to the Y-axis direction of the table body 41. A pair of pre-drawing flushing boxes 121 (to be described later) is attached. Reference numeral 44 in the figure denotes a number of loose insertion holes for loosely inserting a number of lifter pins (not shown) of a lifter mechanism (not shown). The suction table 31 includes a lifter mechanism that removes workpieces from the suction table 31. The lifter mechanism is supported by the support base 42 and has a number of lifter pins configured to be movable up and down. Then, by unloading a large number of lifter pins from a large number of loose insertion holes 44 formed in the table main body 41, an unprocessed work W is received from a robot arm (not shown) and delivered to the suction table 31, The processed work W is lifted up from the set table 21 and transferred to the robot arm.

図1および図3に示すように、X軸エアースライダ22は、セットテーブル21(θテーブル32)を支持するスライダ本体51と、スライダ本体51の下部に固定され、一対のX軸ガイドレール23に係合する一対(2組4個)の係合部52と、を有している。スライダ本体51には、セットテーブル21と共に、フラッシングユニット14の定期フラッシングユニット112および吐出不良検査ユニット17の被描画ユニット161(いずれも後述する)が搭載されている。一対のX軸リニアモータを(同期させて)駆動すると、一対の係合部52により一対のX軸ガイドレール23にガイドされた状態で、X軸エアースライダ22がX軸方向に移動し、セットテーブル21にセットされたワークWがX軸方向に移動する(主走査移動)。   As shown in FIGS. 1 and 3, the X-axis air slider 22 is fixed to a slider main body 51 that supports a set table 21 (θ table 32) and a lower portion of the slider main body 51, and is attached to a pair of X-axis guide rails 23. And a pair (two sets of four) of engaging portions 52 to be engaged. Along with the set table 21, a regular flushing unit 112 of the flushing unit 14 and a drawing unit 161 of the ejection failure inspection unit 17 (both described later) are mounted on the slider body 51. When the pair of X-axis linear motors are driven (synchronized), the X-axis air slider 22 moves in the X-axis direction while being guided by the pair of X-axis guide rails 23 by the pair of engaging portions 52 and set. The workpiece W set on the table 21 moves in the X-axis direction (main scanning movement).

なお、図2における図示手前側の位置が、ワークWの載せ換え位置61となっており、未処理のワークWを吸着テーブル31に導入するときや、処理済のワークWを回収するときには、吸着テーブル31をこの位置まで移動させるようになっている。また、図中の符号62は、ワークWの位置認識を行うためのワークアライメントカメラであり、ワークアライメントカメラ62の撮像結果に基づいて、θテーブル32によるワークWのθ補正が行われる。   Note that the position on the near side in the figure in FIG. 2 is a work W replacement position 61. When the unprocessed work W is introduced into the suction table 31 or when the processed work W is collected, the suction is performed. The table 31 is moved to this position. Reference numeral 62 in the figure denotes a work alignment camera for recognizing the position of the work W, and θ correction of the work W by the θ table 32 is performed based on the imaging result of the work alignment camera 62.

Y軸テーブル12は、ヘッドユニット13を構成する7つの各キャリッジユニット81(キャリッジ85)をそれぞれ挿通して固定した7つのブリッジプレート71と、7つのブリッジプレート71を両持ちで支持する7組14個のY軸スライダ(図示省略)と、上記した一対のY軸支持ベース3上に設置され、7組14個のY軸スライダを介してブリッジプレート71をY軸方向に移動させる一対のY軸リニアモータ(図示省略)と、Y軸リニアモータと並んでY軸支持ベース3上に設置され、7組14個のY軸スライダを支持して、各Y軸スライダの移動を案内する一対のY軸ガイドレール(図示省略)と、を備えている。   The Y-axis table 12 includes seven bridge plates 71 that are respectively inserted and fixed to the seven carriage units 81 (carriages 85) that constitute the head unit 13, and seven sets 14 that support the seven bridge plates 71 in both ends. A pair of Y-axis sliders (not shown) and a pair of Y-axis installed on the above-described pair of Y-axis support bases 3 and moving the bridge plate 71 in the Y-axis direction via 14 sets of 14 Y-axis sliders A pair of Y motors installed on the Y-axis support base 3 alongside the linear motor (not shown) and the Y-axis linear motor, supporting seven sets of 14 Y-axis sliders and guiding the movement of each Y-axis slider A shaft guide rail (not shown).

一対のY軸リニアモータを(同期して)駆動すると、各Y軸スライダが一対のY軸ガイドレールを案内にして同時にY軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート71が両持ち状態でY軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット81がY軸方向に移動する(副走査移動)。なお、この場合、Y軸リニアモータの駆動を制御することにより、各ブリッジプレート71(キャリッジユニット81)を独立させて個別に移動させることも可能であるし、7つの全ブリッジプレート71を一体として移動させることも可能である。   When the pair of Y-axis linear motors are driven (synchronously), each Y-axis slider translates simultaneously in the Y-axis direction using the pair of Y-axis guide rails as a guide. As a result, the bridge plate 71 moves in the Y-axis direction with both ends being held, and at the same time, the carriage unit 81 moves in the Y-axis direction (sub-scanning movement). In this case, each bridge plate 71 (carriage unit 81) can be moved independently by controlling the drive of the Y-axis linear motor, or all seven bridge plates 71 are integrated. It is also possible to move it.

図1ないし図3に示すように、ヘッドユニット13は、同様に構成された7つのキャリッジユニット81をY軸方向に整列させて構成されている。各キャリッジユニット81は、12個の機能液滴吐出ヘッド82(図示省略)と、12個の機能液滴吐出ヘッド82を2個ずつ保持する6個のヘッド保持プレート83と、6個のヘッド保持プレート83(図示省略)を介して、12個の機能液滴吐出ヘッド82を搭載するヘッドプレート84と、ヘッドプレート84を支持するキャリッジ85と、を備えている。   As shown in FIGS. 1 to 3, the head unit 13 is configured by aligning seven carriage units 81 configured similarly in the Y-axis direction. Each carriage unit 81 includes twelve functional liquid droplet ejection heads 82 (not shown), six head holding plates 83 that hold two twelve functional liquid droplet ejection heads 82, and six head holders. A head plate 84 on which twelve functional liquid droplet ejection heads 82 are mounted and a carriage 85 that supports the head plate 84 are provided via a plate 83 (not shown).

図4に示すように、機能液滴吐出ヘッド82は、いわゆる2連のものであり、2連の接続針92を有する機能液導入部91と、機能液導入部91に連なる2連のヘッド基板93と、機能液導入部91の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体94と、を備えている。接続針92は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部91に機能液を供給する。ヘッド本体94は、キャビティ95(ピエゾ圧電素子)と、多数の吐出ノズル98が開口したノズル面97を有するノズルプレート96と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド82を吐出駆動すると、(ピエゾ圧電素子に電圧が印加され)キャビティ95のポンプ作用により、吐出ノズル98から機能液滴が吐出される。   As shown in FIG. 4, the functional liquid droplet ejection head 82 is a so-called double series, a functional liquid introduction part 91 having two series of connecting needles 92, and a dual head substrate connected to the functional liquid introduction part 91. 93, and a head main body 94 which is connected to the lower side of the functional liquid introducing portion 91 and has an in-head flow path filled with the functional liquid therein. The connection needle 92 is connected to a functional liquid tank (not shown), and supplies the functional liquid to the functional liquid introduction unit 91. The head main body 94 includes a cavity 95 (piezoelectric piezoelectric element) and a nozzle plate 96 having a nozzle surface 97 in which a large number of discharge nozzles 98 are opened. When the functional droplet discharge head 82 is driven to discharge, a functional droplet is discharged from the discharge nozzle 98 by the pump action of the cavity 95 (a voltage is applied to the piezoelectric element).

なお、ノズル面97に形成された多数の吐出ノズル98は、等ピッチ(2ドットピッチ間隔)に整列して、180個の吐出ノズル98から成る分割ノズル列98bを2列形成している。そして、2列の分割ノズル列98b同士は、相互に1ドットピッチ分位置ずれしている。すなわち、機能液滴吐出ヘッド82には、2列の分割ノズル列98bにより1ドットピッチ間隔のノズル列98aが形成され、1ドットピッチ(高解像度)の描画が可能となっている。   A large number of discharge nozzles 98 formed on the nozzle surface 97 are aligned at an equal pitch (2-dot pitch interval) to form two divided nozzle rows 98b composed of 180 discharge nozzles 98. The two divided nozzle rows 98b are displaced from each other by one dot pitch. That is, in the functional liquid droplet ejection head 82, a nozzle row 98a having a 1-dot pitch interval is formed by two divided nozzle rows 98b, and drawing at a 1-dot pitch (high resolution) is possible.

6個の各ヘッド保持プレート83は、ステンレス等の厚板で平面視長方形に形成されており、その長手方向に並んで、2個の機能液滴吐出ヘッド82をそれぞれ位置決め・装着するための装着開口(図示省略)が2個設けられている。なお、2個の装着開口は、6ヘッド分のノズル列ピッチに形成されている。   Each of the six head holding plates 83 is a thick plate made of stainless steel or the like and is formed in a rectangular shape in plan view, and is mounted in order to position and mount the two functional liquid droplet ejection heads 82 along the longitudinal direction thereof. Two openings (not shown) are provided. The two mounting openings are formed at a nozzle row pitch for 6 heads.

図5に示すように、ヘッドプレート84は、ステンレス等の厚板で平面視略平行四辺形に形成されている。ヘッドプレート84には、ヘッド保持プレート83を位置決め・装着するための開口(図示省略)が設けられており、6個のヘッド保持プレート83が(機能液滴吐出ヘッド82のノズル列方向)に略1ヘッド分のノズル列長Lだけ位置ずれして階段状に配置されている。これにより、各ヘッドプレート84に搭載された12個の機能液滴吐出ヘッド82のノズル列98aがY軸方向において連続(一部重複)し、1本の分割描画ラインが形成される。   As shown in FIG. 5, the head plate 84 is a thick plate made of stainless steel or the like and is formed in a substantially parallelogram in plan view. The head plate 84 is provided with an opening (not shown) for positioning and mounting the head holding plate 83, and the six head holding plates 83 are approximately in the nozzle row direction of the functional liquid droplet ejection head 82. The nozzle row length L for one head is displaced in a stepped manner. As a result, the nozzle rows 98a of the twelve functional liquid droplet ejection heads 82 mounted on each head plate 84 are continuous (partially overlapped) in the Y-axis direction to form one divided drawing line.

キャリッジ85は、ヘッドプレート84をθ補正(θ回転)可能に支持するθ回転機構101と、θ回転機構101を介して、ヘッドプレート84をY軸テーブル12(各ブリッジプレート71)に支持させる吊設部材102と、を備えている。θ回転機構101は、分割描画ラインがY軸方向と平行になるように、ヘッドプレート84を支持している。なお、図示省略したが、吊設部材102には、θ回転機構101を介してヘッドプレート84を昇降させるヘッド昇降機構(図示省略)が組み込まれており、ヘッドプレート84(機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97)の高さ位置を調整可能に構成されている。   The carriage 85 supports the head plate 84 so as to be capable of θ correction (θ rotation), and the suspension for supporting the head plate 84 on the Y-axis table 12 (each bridge plate 71) via the θ rotation mechanism 101. The installation member 102 is provided. The θ rotation mechanism 101 supports the head plate 84 so that the divided drawing lines are parallel to the Y-axis direction. Although not shown, the suspension member 102 incorporates a head lifting mechanism (not shown) that lifts and lowers the head plate 84 via the θ rotation mechanism 101, and the head plate 84 (functional liquid droplet ejection head 82). The height position of the nozzle surface 97) can be adjusted.

そして、7つの各キャリッジ85を7つの各ブリッジプレート71にそれぞれ支持させ、7つのキャリッジユニット81をY軸方向に整列させることにより、ヘッドユニット13が構成される。ヘッドユニット13では、12×7個の全機能液滴吐出ヘッド82がY軸方向に連続し、各キャリッジユニット81の7本の分割描画ラインがY軸方向に連続して1描画ラインが形成されている。なお、図2におけるX軸テーブル11の図示左寄り(架台5側)の位置が、ヘッドユニット13のホーム位置となっており、この位置からワークWに対する描画処理が開始される。   Then, the seven carriages 85 are respectively supported by the seven bridge plates 71, and the seven carriage units 81 are aligned in the Y-axis direction, whereby the head unit 13 is configured. In the head unit 13, 12 × 7 all-function droplet discharge heads 82 are continuous in the Y-axis direction, and seven divided drawing lines of each carriage unit 81 are continuously formed in the Y-axis direction to form one drawing line. ing. 2 is the home position of the head unit 13, and the drawing process for the workpiece W is started from this position.

ところで、ヘッドユニット13に搭載された12×7個の機能液滴吐出ヘッド82は、R・G・B3色の機能液のいずれかに対応しており、ワークWに3色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。図6に、本実施形態のヘッドユニット13における機能液滴吐出ヘッド82の配色パターンの説明図を示す。同図に示すように、ヘッドユニット13における機能液滴吐出ヘッド82の配色パターンは、Y軸方向に連続する12×7個の機能液滴吐出ヘッド82に対して、R・G・Bの3色を所定の順番(本実施形態では、図示右側からR・G・Bの順)で繰り返し1個ずつ対応させたものであり、7つの各キャリッジユニット81における機能液滴吐出ヘッド82の配色パターンは全て同様となっている。   By the way, the 12 × 7 functional liquid droplet ejection heads 82 mounted on the head unit 13 correspond to any of the R, G, and B color functional liquids, and the work W is composed of the three color functional liquids. A drawing pattern can be drawn. FIG. 6 is an explanatory diagram of a color arrangement pattern of the functional liquid droplet ejection head 82 in the head unit 13 of the present embodiment. As shown in the figure, the color arrangement pattern of the functional liquid droplet ejection heads 82 in the head unit 13 is 3 for R × G • B with respect to 12 × 7 functional liquid droplet ejection heads 82 continuous in the Y-axis direction. The colors are associated one by one in a predetermined order (in this embodiment, in the order of R, G, and B from the right side in the figure), and the color arrangement pattern of the functional liquid droplet ejection head 82 in each of the seven carriage units 81 Are all the same.

したがって、ヘッドユニット13を2ヘッド分のノズル列長分、副走査移動させれば、移動方向3番目以下の機能液滴吐出ヘッド82が(副走査移動前に)臨んでいた領域にR・G・Bの3色分の機能液滴吐出ヘッド82を臨ませることができ、この領域内に3色から成る描画パターンを描画可能である。そこで、本実施形態では、2ヘッドノズル列長分の副走査移動で(1枚の)ワークWに対する描画処理を終了できるように1描画ラインの長さが設定されている。具体的には、1描画ラインの長さは、セットテーブル21にセット可能なワークWの最大幅に基づいて設定されており、最大幅のワークWに対して1回の主走査移動で描画可能な(最小数n個分の)ノズル列長さ+2ヘッド分のノズル列長の長さ(すなわち、(n+2)×L)となっている。なお、本実施形態では、n=82である。   Therefore, if the head unit 13 is moved in the sub-scanning direction by the nozzle row length for two heads, the R / G is applied to the region in which the functional liquid droplet ejection head 82 in the third moving direction or less faces (before the sub-scanning movement). The functional droplet discharge head 82 for the three colors B can be exposed, and a drawing pattern composed of three colors can be drawn in this region. Therefore, in the present embodiment, the length of one drawing line is set so that the drawing processing for the (one piece) work W can be completed by sub-scanning movement corresponding to the length of the two head nozzle rows. Specifically, the length of one drawing line is set based on the maximum width of the workpiece W that can be set in the set table 21, and drawing can be performed on the workpiece W having the maximum width by one main scanning movement. The nozzle row length (for the minimum number n) + the nozzle row length for 2 heads (ie, (n + 2) × L). In this embodiment, n = 82.

なお、ヘッド保持プレート83が機能液の色数(3色)の整数倍個(6個)設けられているため、同一ヘッド保持プレート83に保持される2個の機能液滴吐出ヘッド82には、同一色の機能液が対応するようになっている。これにより、機能液タンクと各機能液滴吐出ヘッド82との配管接続を比較的単純なものとすることが可能である。   Since the head holding plate 83 is provided as an integral multiple (6) of the number of functional liquid colors (three colors), the two functional liquid droplet ejection heads 82 held on the same head holding plate 83 are provided. The functional liquids of the same color correspond to each other. Thereby, the piping connection between the functional liquid tank and each functional liquid droplet ejection head 82 can be made relatively simple.

ここで、図8を参照しながら、液晶表示装置のカラーフィルタを作成する場合を例に、液滴吐出装置1における一連の描画処理について説明する。詳細は後述するが、カラーフィルタ600は、透光性の(透明)基板601と、ワークW上にX軸方向およびY軸方向にマトリクス状に並んだ多数の画素領域(フィルタエレメント)607aと、画素領域607a上に形成されたR・G・B3色の着色層608(608R、608G、608B)と、各画素領域607aを仕切る遮光性のバンク603と、を備えている(図8、図12等参照)。そして、描画処理では、バンク603を作り込んだ基板601がワークWとして導入され、各画素領域607a内に、対応するR・G・B3色のいずれか1色の機能液が吐出されるよう、ワークWに所定の描画パターンが描画されるようになっている。   Here, a series of drawing processes in the droplet discharge device 1 will be described with reference to FIG. 8 taking as an example the case of creating a color filter of a liquid crystal display device. Although details will be described later, the color filter 600 includes a translucent (transparent) substrate 601, a large number of pixel regions (filter elements) 607 a arranged in a matrix in the X-axis direction and the Y-axis direction on the work W, A color layer 608 (608R, 608G, and 608B) of R, G, and B colors formed on the pixel region 607a and a light-shielding bank 603 that partitions the pixel regions 607a are provided (FIGS. 8 and 12). Etc.). In the drawing process, the substrate 601 on which the bank 603 is formed is introduced as the work W, and the functional liquid of any one of the corresponding R, G, and B colors is discharged into each pixel region 607a. A predetermined drawing pattern is drawn on the workpiece W.

なお、カラーフィルタの配色パターンは、Y軸方向に並ぶ画素領域607aの横列すべてが同色であり、X軸方向においてR・G・Bの3色を繰り返し配列させたストライプ配列、X軸方向およびY軸方向に並ぶ、縦列および横列の連続する3つの画素領域607aが互いに異なるR・G・Bの3色となるモザイク配列、および複数の画素領域507aが千鳥状に(半ピッチずつずらして)配設され、隣接して並ぶ3つの画素領域607aが互いに異なるR・G・Bの3色となるデルタ配列のいずれを採用することも可能であるが、ここではストライプ配列のカラーフィルタを作成する場合について説明する(図7参照)。   Note that the color filter has a color arrangement pattern in which all the rows of pixel regions 607a arranged in the Y-axis direction have the same color, and a stripe arrangement in which three colors of R, G, and B are repeatedly arranged in the X-axis direction, the X-axis direction, and the Y-axis A mosaic arrangement in which three consecutive pixel regions 607a in the vertical and horizontal rows are arranged in three different colors of R, G, and B, and a plurality of pixel regions 507a are arranged in a zigzag pattern (shifted by a half pitch). It is possible to use any of the delta arrangements in which the three adjacent pixel regions 607a arranged in three colors of R, G, and B are different from each other, but here a stripe arrangement color filter is created. Will be described (see FIG. 7).

描画処理は、ワーク載せ換え位置からのワークW(吸着テーブル31)の移動に引き続いて行われ、先ず、第1描画動作が開始される。第1描画動作では、X軸テーブル11がそのまま駆動され、セットテーブル21を介してワークWが往動すると共に、これと同期して、ホーム位置に臨むヘッドユニット13の機能液滴吐出ヘッド82が選択的に吐出駆動され、ワークWに機能液が吐出される。ワークWの往動が終了すると、Y軸テーブル12が駆動され、ヘッドユニット13がY軸方向へ微少量移動する。そして、再度X軸テーブル11の駆動と機能液滴吐出ヘッド82の選択的な吐出駆動とが同期して行われ、復動するワークに対して機能液が吐出される。ワークWの復動が終了すると、さらにY軸テーブル12が駆動され、ヘッドユニット13がY軸方向へ微少量移動すると共に、上記した一連の動作が再び繰り返され、第1描画動作が終了する。   The drawing process is performed following the movement of the workpiece W (suction table 31) from the workpiece transfer position, and first the first drawing operation is started. In the first drawing operation, the X-axis table 11 is driven as it is, and the workpiece W moves forward via the set table 21 and the functional liquid droplet ejection head 82 of the head unit 13 facing the home position is synchronized with this. The discharge is selectively performed, and the functional liquid is discharged onto the workpiece W. When the forward movement of the workpiece W is completed, the Y-axis table 12 is driven, and the head unit 13 moves slightly in the Y-axis direction. Then, the driving of the X-axis table 11 and the selective ejection driving of the functional liquid droplet ejection head 82 are again performed in synchronization with each other, and the functional liquid is ejected to the returning work. When the backward movement of the workpiece W is completed, the Y-axis table 12 is further driven, the head unit 13 is slightly moved in the Y-axis direction, the above-described series of operations are repeated again, and the first drawing operation is completed.

図8(a)に示すように、ヘッドユニット13の1描画ラインは、ワークWにマトリクス状に形成された画素領域607aの縦列と直交しており、各画素領域列に機能液滴吐出ヘッド82が臨むようになっている。また、ヘッドユニット13がホーム位置に臨んでいるとき、ヘッドユニット13の(R・Gに対応する)図示右端の2つの機能液滴吐出ヘッド82(図2においては、左端に位置する)は、図示最右端の画素領域列からさらに右側に外れている。上記の第1描画動作を行うと、各機能液滴吐出ヘッド82が各列に臨み、当該機能液滴吐出ヘッド82が対応する色と同色に対応する画素領域607aに機能液が吐出される。   As shown in FIG. 8A, one drawing line of the head unit 13 is orthogonal to the column of pixel regions 607a formed in a matrix on the work W, and the functional liquid droplet ejection head 82 is placed in each pixel region column. Has come to face. When the head unit 13 faces the home position, the two functional liquid droplet ejection heads 82 (corresponding to R and G) at the right end of the head unit 13 (corresponding to R and G) (located at the left end in FIG. 2) It further deviates from the rightmost pixel region row in the drawing to the right side. When the first drawing operation is performed, each functional liquid droplet ejection head 82 faces each column, and the functional liquid is ejected to the pixel region 607a corresponding to the same color as the corresponding color.

第1描画動作が終了すると、Y軸テーブル12が駆動され、ヘッドユニット13が略1ヘッドノズル列長L分だけY軸方向に移動する。これにより、第1描画動作時にR色に対応する機能液滴吐出ヘッド82が臨んでいた位置に、B色に対応する機能液滴吐出ヘッド82が、G色が対応していた位置にR色に対応する機能液滴吐出ヘッド82が、B色が対応していた位置にG色に対応する機能液滴吐出ヘッド82が臨む。続いて、第2描画動作が行われ、第1描画動作と同様にワークWの往復動とこれに伴う機能液滴吐出ヘッド82の吐出駆動が2回繰り返される。図8(b)に示すように、これにより、第2描画動作では、第1描画動作でR色が吐出された画素領域列にB色の機能液が、G色が吐出された画素領域列にR色の機能液が、B色が吐出された画素領域列にG色の機能液が吐出される。   When the first drawing operation ends, the Y-axis table 12 is driven, and the head unit 13 moves in the Y-axis direction by approximately one head nozzle row length L. As a result, the functional liquid droplet ejection head 82 corresponding to the R color is located at the position where the functional liquid droplet ejection head 82 corresponding to the R color was facing during the first drawing operation, and the R color is located at the position corresponding to the G color. The functional liquid droplet ejection head 82 corresponding to G faces the position where the B liquid color corresponds to the position corresponding to B color. Subsequently, the second drawing operation is performed, and the reciprocating motion of the workpiece W and the accompanying ejection driving of the functional liquid droplet ejection head 82 are repeated twice as in the first drawing operation. As shown in FIG. 8B, in this way, in the second drawing operation, the B color functional liquid is discharged to the pixel region row from which the R color is discharged in the first drawing operation, and the pixel region row from which the G color is discharged. The R color functional liquid is discharged to the pixel region row where the B color is discharged, and the G color functional liquid is discharged to the pixel region row.

第2描画動作が終了すると、Y軸テーブル12が駆動されて、ヘッドユニット13が、さらに略1ヘッドノズル列長分Y軸方向に移動する。これにより、第1描画動作時にR色に対応する機能液滴吐出ヘッド82が臨んでいた位置に、G色に対応する機能液滴吐出ヘッド82が、G色が対応していた位置にB色に対応する機能液滴吐出ヘッド82が、B色が対応していた位置にR色に対応する機能液滴吐出ヘッド82が臨むようになっている。そして、この後、第3描画動作が行われ、第1描画動作および第2描画動作と同様に、ワークWの往復動が2回行われる。これにより、各画素領域列の全画素領域607aに対してR・G・B全色分の機能液が吐出され、ワークWに対する描画処理が終了する。なお、描画処理の終了時には、ヘッドユニット13の(G・Bに対応する)図示左端の2つの機能液滴吐出ヘッド82(図2においては、右端に位置する)が、図示最左端の画素領域列からさらに左側に外れている(図8(c)参照)。   When the second drawing operation ends, the Y-axis table 12 is driven, and the head unit 13 further moves in the Y-axis direction by approximately one head nozzle row length. As a result, the functional liquid droplet ejection head 82 corresponding to the G color is located at the position where the functional liquid droplet ejection head 82 corresponding to the R color was facing during the first drawing operation, and the B color is located at the position corresponding to the G color. The functional liquid droplet ejection head 82 corresponding to R faces the position where the B color corresponds to the functional liquid droplet ejection head 82 corresponding to R. Thereafter, the third drawing operation is performed, and the reciprocation of the workpiece W is performed twice as in the first drawing operation and the second drawing operation. As a result, the functional liquids for all the colors R, G, and B are discharged to all the pixel areas 607a in each pixel area column, and the drawing process for the workpiece W is completed. At the end of the drawing process, the two functional liquid droplet ejection heads 82 (corresponding to G and B) at the left end of the head unit 13 (corresponding to G and B) are positioned at the leftmost pixel area in the drawing. It is further off the left side of the row (see FIG. 8C).

このように、本実施形態では、Y軸方向に連続する12×7個の機能液滴吐出ヘッド82の配色パターンを、R・G・B異なる3色の繰り返しパターンとしているため、2ヘッド分のノズル列長(2L)の移動を行うだけで、ワークWの全画素領域607aに全色分の機能液を吐出させることができる。また、同一列の画素領域607aに対して(ストライプ配列の場合には、横列の画素領域607aに対しても)、R・G・Bの3色の機能液が同時に吐出されることがないため、たとえバンク603上に機能液が着弾した場合でも、(時間差によってバンク603上の機能液が乾燥するため)混色が生じ難く、精度良くカラーフィルタを作成することが可能である。   As described above, in this embodiment, the color arrangement pattern of the 12 × 7 functional liquid droplet ejection heads 82 that are continuous in the Y-axis direction is a repetitive pattern of three different colors of R, G, and B. By simply moving the nozzle row length (2L), the functional liquids for all colors can be discharged to all the pixel regions 607a of the workpiece W. In addition, since the functional liquids of the three colors R, G, and B are not simultaneously ejected to the pixel region 607a in the same column (in the case of a stripe arrangement, also to the pixel region 607a in the horizontal row). Even when the functional liquid lands on the bank 603, color mixing hardly occurs (because the functional liquid on the bank 603 dries due to a time difference), and a color filter can be created with high accuracy.

なお、本実施形態では、各画素領域607aに対して、ヘッドユニット13を2回往復動させることにより描画処理を行っているが、この回数は実情に合わせて任意に設定可能である。   In this embodiment, the drawing process is performed by reciprocating the head unit 13 twice for each pixel region 607a. However, the number of times can be arbitrarily set according to the actual situation.

次に、メンテナンス手段を構成するフラッシングユニット14、吸引ユニット15、ワイピングユニット16、および吐出不良検査ユニット17について順に説明する。フラッシングユニット14は、機能液滴吐出ヘッド82の全吐出ノズル98からの捨て吐出(フラッシング)により吐出された機能液滴を受けるためのものであり、描画前フラッシングユニット111と、定期フラッシングユニット112と、で構成されている。   Next, the flushing unit 14, the suction unit 15, the wiping unit 16, and the ejection defect inspection unit 17 constituting the maintenance unit will be described in order. The flushing unit 14 is for receiving functional droplets ejected from all ejection nozzles 98 of the functional droplet ejection heads 82 by flushing (flushing), and includes a pre-drawing flushing unit 111, a regular flushing unit 112, and the like. , Is composed of.

描画前フラッシングユニット111は、ワークWに機能液を吐出させる直前にヘッドユニット13の全機能液滴吐出ヘッド82を吐出駆動して行う、描画前フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける一対の描画前フラッシングボックス121と、一対の各描画前フラッシングボックス121を吸着テーブル31(支持ベース42)に支持させる一対のボックス支持部材(図示省略)と、で構成されている(図1ないし図3、および図9参照)。各描画前フラッシングボックス121は、Y軸方向に長い平面視長方形の細長い箱状に形成されており、その底部には、機能液を吸収させる吸収材123が敷設されている。各描画前フラッシングボックス121は、ボックス支持部材を介して吸着テーブル31に支持されているため、吸着テーブル31を(θテーブルにより)θ補正して回転させるとこれと共に回転する。   The pre-drawing flushing unit 111 is for receiving the functional liquid for pre-drawing flushing performed by discharging and driving the all-function liquid droplet ejection head 82 of the head unit 13 immediately before the functional liquid is ejected onto the workpiece W. A pair of pre-drawing flushing boxes 121 for receiving liquid and a pair of box support members (not shown) for supporting the pair of pre-drawing flushing boxes 121 on the suction table 31 (support base 42) (see FIG. 1 to 3 and 9). Each pre-drawing flushing box 121 is formed in an elongated box shape that is rectangular in plan view and is long in the Y-axis direction, and an absorbent material 123 that absorbs the functional liquid is laid on the bottom thereof. Since each pre-drawing flushing box 121 is supported by the suction table 31 via a box support member, when the suction table 31 is rotated with θ correction (by the θ table), it rotates with this.

一対の各ボックス支持部材は、各描画前フラッシングボックス121が吸着テーブル31のY軸方向に平行な一対の辺(周縁)に沿うよう、吸着テーブル31から張り出すようにこれを支持している。すなわち、描画前フラッシングボックス121は、吸着テーブル31の前後を挟むように配置されており、ワークWをX軸方向に往復動すると、ヘッドユニット13の機能液滴吐出ヘッド82は、ワークWに臨む直前に順次描画前フラッシングボックス121に臨み、描画前フラッシングを行うことができるようになっている。   Each of the pair of box support members supports the pre-drawing flushing box 121 so as to protrude from the suction table 31 so as to be along a pair of sides (peripheries) parallel to the Y-axis direction of the suction table 31. That is, the pre-drawing flushing box 121 is arranged so as to sandwich the front and back of the suction table 31, and the functional liquid droplet ejection head 82 of the head unit 13 faces the work W when the work W is reciprocated in the X-axis direction. Immediately before that, the pre-drawing flushing box 121 can be faced to perform pre-drawing flushing.

この場合、描画前フラッシングボックスの長辺の長さは、描画処理中において、全機能液滴吐出ヘッド82からの捨て吐出を受け得るように、上記したヘッドユニット13の1描画ラインの長さ+2ヘッド分のノズル列長分の長さ((n+4)×L)と略同じ長さに構成されている。すなわち、本実施形態の描画処理では、ヘッドユニット13を機能液滴吐出ヘッド822ヘッド分Y軸方向へ移動させるようになっており、描画前フラッシングボックスを1描画ラインの長さ+2ヘッド分のノズル列長の長さに対応させることにより、描画処理中にいかなる位置に臨む機能液滴吐出ヘッド82に対しても、そのY軸方向における吐出範囲をカバーできるようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド82からの機能液滴の吐出を安定させることができ、ワークWに精度良く描画処理を行うことが可能となる。   In this case, the length of the long side of the pre-drawing flushing box is set to the length of one drawing line of the head unit 13 +2 so as to be able to receive discarded discharge from the all-function liquid droplet discharge head 82 during the drawing process. The length is substantially the same as the length of the nozzle row for the head ((n + 4) × L). That is, in the drawing process of the present embodiment, the head unit 13 is moved in the Y-axis direction by the number of functional liquid droplet ejection heads 822, and the pre-drawing flushing box is set to the length of one drawing line + nozzles for two heads. Corresponding to the length of the column length, it is possible to cover the discharge range in the Y-axis direction for the functional liquid droplet discharge head 82 facing any position during the drawing process. Thereby, the ejection of the functional liquid droplets from the functional liquid droplet ejection head 82 can be stabilized, and the drawing process can be accurately performed on the workpiece W.

なお、図示省略したが、各ボックス支持部材には、描画前フラッシングボックス121を昇降させるボックス昇降機構が組み込まれており、描画処理時、すなわち吐出前フラッシングを受けるときには、各描画前フラッシングボックス121の上端面が吸着テーブル31にセットされたワークWの表面の高さに一致させた位置でこれを支持すると共に、非描画処理時には、各描画前フラッシングボックス121の上端面が吸着テーブル31の上面(セット面)の高さよりも低くなる位置(待機位置)でこれを支持する。これにより、描画前フラッシングの機能液を外部に飛び散らせることなく、描画前フラッシングボックス121で受けることができると共に、非描画時に行うワークWの載せ換え作業に描画前フラッシングボックス121が干渉することがない。なお、吸収材123の膨張等を考慮して、上昇時における描画前フラッシングボックス121の上端面の位置を、ワーク表面よりも若干低い位置とすることも可能である。なお、ボックス昇降機構は、必ずしも設けなければならないものではなく、実情に応じて設ければよい。   Although not shown, each box support member incorporates a box lifting mechanism for raising and lowering the pre-drawing flushing box 121. When drawing processing is performed, that is, when pre-ejection flushing is performed, The upper end surface is supported at a position corresponding to the height of the surface of the work W set on the suction table 31, and at the time of non-drawing processing, the upper end surface of each pre-drawing flushing box 121 is the upper surface of the suction table 31 ( This is supported at a position (standby position) lower than the height of the set surface. Accordingly, the pre-drawing flushing functional liquid can be received by the pre-drawing flushing box 121 without splashing outside, and the pre-drawing flushing box 121 may interfere with the work W replacement work performed during non-drawing. Absent. In consideration of the expansion of the absorbent 123, the position of the upper end surface of the pre-drawing flushing box 121 at the time of ascent can be set slightly lower than the workpiece surface. The box lifting mechanism is not necessarily provided, and may be provided according to the actual situation.

図1ないし図3、および図9に示すように、定期フラッシングユニット112は、ワークWの載せ換え時等にように、描画処理を一時的に休止される時にヘッドユニット13の全機能液滴吐出ヘッド82を吐出駆動して行われる定期フラッシングの機能液を受けるためのものであり、機能液を受ける定期フラッシングボックス131と、上記のX軸エアースライダ22に搭載され、定期フラッシングボックス131の両端を高さ調整可能に支持する一対のボックス支柱部材132と、を有している。   As shown in FIG. 1 to FIG. 3 and FIG. 9, the regular flushing unit 112 discharges all-function droplets of the head unit 13 when the drawing process is temporarily stopped, such as when the work W is replaced. This is for receiving functional fluid for periodic flushing performed by discharging the head 82, and is mounted on the periodic flushing box 131 that receives the functional fluid and the X-axis air slider 22, and both ends of the periodic flushing box 131 are connected to each other. And a pair of box column members 132 that are supported so as to be adjustable in height.

定期フラッシングボックス131は、上面が開放され、Y軸方向に長い平面視方形のボックス状に形成されている。定期フラッシングボックス131は、ヘッドユニット13に搭載された12×7個の全機能液滴吐出ヘッド82を包含し得る大きさに構成され、ヘッドユニット13の全機能液滴吐出ヘッド82を同時に定期フラッシングできるようになっている。より具体的には、定期フラッシングボックス131の長辺の長さは、描画前フラッシングボックス121と同様、1描画ラインの長さ+2ヘッド分のノズル列長分の長さ((n+4)×L)に対応して設定され、短辺の長さは、上記した平面視平行四辺形のヘッドプレート84の高さ(X軸方向の長さ)に略対応した長さに設定されている。図9に示すように、定期フラッシングボックス131の底面には、Y軸方向に延在する複数本(3本)のリブ133が突設されており、これらのリブ133上に機能液を吸収させるシート状のシート吸収材134が配設されている。シート吸収材134の上端面は、定期フラッシングボックス131の上端面と略一致している。   The regular flushing box 131 is formed in a box shape having a rectangular shape in plan view with the upper surface open and long in the Y-axis direction. The regular flushing box 131 is configured to have a size capable of including 12 × 7 full-function liquid droplet ejection heads 82 mounted on the head unit 13, and the regular flushing box 82 is simultaneously flushed with the full-function liquid droplet ejection heads 82 of the head unit 13. It can be done. More specifically, the length of the long side of the regular flushing box 131 is the length of one drawing line + the length of the nozzle row for two heads ((n + 4) × L), like the pre-drawing flushing box 121. The length of the short side is set to a length substantially corresponding to the height (the length in the X-axis direction) of the above-described parallelogram-shaped parallelogram head plate 84. As shown in FIG. 9, a plurality of (three) ribs 133 extending in the Y-axis direction protrude from the bottom surface of the regular flushing box 131, and the functional liquid is absorbed on these ribs 133. A sheet-shaped sheet absorbent 134 is provided. The upper end surface of the sheet absorbent 134 is substantially coincident with the upper end surface of the regular flushing box 131.

ボックス支柱部材132は、定期フラッシングボックス131の上端面が、ヘッドユニット13に搭載された機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97の高さ位置よりも僅かに(2〜3mm程度)低い位置となるように、定期フラッシングボックス131を支持している。ボックス支柱部材132は、セットテーブル21と共に、X軸エアースライダ22のスライダ本体51に固定されており、X軸エアースライダ22を移動させると、ボックススタンドを介して定期フラッシングボックス131もX軸方向を移動するように構成されている。そして、ボックス支柱部材132は、セットテーブル21より後方位置で定期フラッシングボックス131を支持しており、X軸エアースライダ22を移動させて、吸着テーブル31をワーク載せ換え位置に臨ませると、定期フラッシングボックス131がヘッドユニット13に臨み、定期フラッシングの機能液を受け得るようになっている。   In the box column member 132, the upper end surface of the regular flushing box 131 is slightly lower (about 2 to 3 mm) than the height position of the nozzle surface 97 of the functional liquid droplet ejection head 82 mounted on the head unit 13. As described above, the regular flushing box 131 is supported. The box support member 132 is fixed to the slider main body 51 of the X-axis air slider 22 together with the set table 21. When the X-axis air slider 22 is moved, the periodic flushing box 131 also moves in the X-axis direction via the box stand. Is configured to move. The box column member 132 supports the regular flushing box 131 at a position behind the set table 21. When the X-axis air slider 22 is moved to bring the suction table 31 to the workpiece replacement position, the regular flushing box 131 is provided. A box 131 faces the head unit 13 and can receive a functional liquid for regular flushing.

なお、図示省略したが、定期フラッシングボックス131には、シート吸収材134の反りや撓みを防止するための反り防止機構が設けられている。本実施形態では、シート吸収材134と機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97とのギャップが僅かであるため、シート吸収材134が上反り状態のまま(定期フラッシングの)機能液を吸収させると、機能液により膨潤したシート吸収材134が機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97に干渉する惧れがある。そこで、本実施形態では、定期フラッシングボックス131に反り防止機構を設けて、シート吸収材134の反りを防止し、シート吸収材134が機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97と接触することを防止している。   Although not shown, the regular flushing box 131 is provided with a warp prevention mechanism for preventing the sheet absorbent material 134 from warping or bending. In the present embodiment, since the gap between the sheet absorbent 134 and the nozzle surface 97 of the functional liquid droplet ejection head 82 is small, if the functional liquid is absorbed while the sheet absorbent 134 is warped (periodic flushing). The sheet absorbent 134 swollen by the functional liquid may interfere with the nozzle surface 97 of the functional liquid droplet ejection head 82. Therefore, in this embodiment, the periodic flushing box 131 is provided with a warpage prevention mechanism to prevent the sheet absorbent material 134 from warping, and the sheet absorbent material 134 is prevented from contacting the nozzle surface 97 of the functional liquid droplet ejection head 82. doing.

吸引ユニット15は、機能液滴吐出ヘッド82を吸引して、機能液滴吐出ヘッド82の吐出ノズル98から機能液を強制的に排出させるものである。図2に示すように、吸引ユニット15は、ヘッドユニット13、すなわち7個のキャリッジユニット81に対応して構成されており、同様に構成された7個の分割吸引ユニット141を上記架台5上に整列配置したものである。各分割吸引ユニット141は、吸引を行うキャリッジユニット81に対して下側から臨み、キャリッジユニット81に搭載された12個の各機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97に、対応する12個の各キャップ143をそれぞれ密着させるキャップユニット142と、キャップユニット142を昇降させ、機能液滴吐出ヘッド82(ノズル面97)に対してキャップを離接させるキャップ昇降機構(図示省略)と、密着させたキャップ143を介して各機能液滴吐出ヘッド82に吸引力を作用させる吸引手段(エゼクタ:図示省略)と、を備えている。   The suction unit 15 sucks the functional liquid droplet ejection head 82 and forcibly discharges the functional liquid from the ejection nozzle 98 of the functional liquid droplet ejection head 82. As shown in FIG. 2, the suction unit 15 is configured to correspond to the head unit 13, that is, the seven carriage units 81, and seven divided suction units 141 configured in the same manner are placed on the gantry 5. They are aligned. Each of the divided suction units 141 faces the carriage unit 81 that performs suction from below, and each of the twelve corresponding liquid droplet ejection heads 82 mounted on the carriage unit 81 has 12 nozzles 97 corresponding thereto. A cap unit 142 for bringing the cap 143 into close contact with each other, a cap raising / lowering mechanism (not shown) for moving the cap unit 142 up and down to separate the cap from the functional liquid droplet ejection head 82 (nozzle surface 97), and a cap attached thereto And a suction means (ejector: not shown) that applies a suction force to each functional liquid droplet ejection head 82 via 143.

機能液の吸引は、機能液滴吐出ヘッド82(吐出ノズル98)の目詰まりを解消/防止するために行われる他、液滴吐出装置1を新設した場合や、機能液滴吐出ヘッド82のヘッド交換を行った場合などに、機能液タンクから機能液滴吐出ヘッド82に至る機能液流路に機能液を充填するために行われる。また、吸引ユニット15のキャップ143は、液滴吐出装置1の非稼動時に、機能液滴吐出ヘッド82を保管するためにも用いられる。この場合、吸引ユニット15にヘッドユニット13を臨ませ、機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97にキャップ143を密着させることにより、ノズル面97を封止して、機能液滴吐出ヘッド82(吐出ノズル98)の乾燥を防止する。   The suction of the functional liquid is performed in order to eliminate / prevent clogging of the functional liquid droplet ejection head 82 (ejection nozzle 98), or when the liquid droplet ejection apparatus 1 is newly installed, or the head of the functional liquid droplet ejection head 82 This is performed to fill the functional liquid flow path from the functional liquid tank to the functional liquid droplet ejection head 82 when the replacement is performed. The cap 143 of the suction unit 15 is also used for storing the functional droplet discharge head 82 when the droplet discharge apparatus 1 is not in operation. In this case, the head unit 13 faces the suction unit 15, and the cap 143 is brought into close contact with the nozzle surface 97 of the functional liquid droplet ejection head 82 to seal the nozzle surface 97, so that the functional liquid droplet ejection head 82 (ejection) The drying of the nozzle 98) is prevented.

さらに、吸引ユニット15のキャップ143は、機能液滴吐出ヘッド82の捨て吐出(予備吐出)により吐出された機能液を受けるフラッシングボックスの機能を有しており、吸引ユニット15に臨んだ一部のキャリッジユニット81に対してのみ吸引を行うような場合には、吸引を行わない他のキャリッジユニット81から、キャップ143に対して捨て吐出を行わせるようになっている。この場合、キャップ143は、キャップ昇降機構により、その上面が機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97から僅かに離間する位置まで移動させられる。   Further, the cap 143 of the suction unit 15 has a function of a flushing box that receives the functional liquid ejected by the discarded ejection (preliminary ejection) of the functional liquid droplet ejection head 82, and a part of the cap 143 facing the suction unit 15. When suction is performed only on the carriage unit 81, the discharge is performed on the cap 143 from other carriage units 81 that do not perform suction. In this case, the cap 143 is moved to a position where the upper surface of the cap 143 is slightly separated from the nozzle surface 97 of the functional liquid droplet ejection head 82 by the cap lifting mechanism.

ワイピングユニット16は、洗浄液を噴霧したワイピングシート151で機能液滴吐出ヘッド82のノズル面97を拭き取る(ワイピングを行う)ものであり、ロール状に巻回したワイピングシート151を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット152と、繰り出したワイピングシート151に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット153と、洗浄液が散布されたワイピングシート151でノズル面97を拭取る拭取りユニット154と、を備えている(図2参照)。ワイピング動作は、吸引ユニット15による吸引後等に行われ、ノズル面97に付着した汚れを払拭する。そして、ワイピングユニット16は、吸引ユニット15よりもX軸テーブル11側に配設されており、吸引ユニット15による吸引後にホーム位置に戻るヘッドユニット13(各キャリッジユニット81)に臨んで、効率よくワイピング動作を行えるようになっている。   The wiping unit 16 wipes the nozzle surface 97 of the functional liquid droplet ejection head 82 with the wiping sheet 151 sprayed with the cleaning liquid (wiping is performed), and winds up the wiping sheet 151 wound up in a roll shape. A winding unit 152, a cleaning liquid supply unit 153 for spraying the cleaning liquid on the fed wiping sheet 151, and a wiping unit 154 for wiping the nozzle surface 97 with the wiping sheet 151 sprayed with the cleaning liquid are provided (FIG. 2). reference). The wiping operation is performed after suction by the suction unit 15 and wipes off dirt adhering to the nozzle surface 97. The wiping unit 16 is disposed closer to the X-axis table 11 than the suction unit 15, and faces the head unit 13 (each carriage unit 81) that returns to the home position after suction by the suction unit 15, and efficiently wipes. It can be operated.

なお、図示省略したが、吸引ユニット15の各分割吸引ユニット141、およびワイピングユニット16は、ユニット昇降機構に昇降自在に支持されており、これらのユニット15(141)、16を所定の退避位置まで下降させることにより、これらユニット15(141)、16のメンテナンスやキャリッジユニット81に搭載したヘッドプレート84を交換する(ヘッド交換)ための作業領域をユニット15(141)、16上に確保できるようになっている。   Although not shown, each of the divided suction units 141 and the wiping unit 16 of the suction unit 15 are supported by the unit lifting mechanism so as to be lifted and lowered. The units 15 (141) and 16 are moved to a predetermined retracted position. By lowering, it is possible to secure a work area on the units 15 (141) and 16 for maintenance of these units 15 (141) and 16 and replacement of the head plate 84 mounted on the carriage unit 81 (head replacement). It has become.

図1ないし図3、および図9に示すように、吐出不良検査ユニット17は、ヘッドユニット13に搭載された全機能液滴吐出ヘッド82(の吐出ノズル98)から機能液が適切に吐出されているか否かを検査するためのものであり、ヘッドユニット13の全機能液滴吐出ヘッド82の全吐出ノズル98から検査吐出された機能液を受け、所定の検査パターンを描画させるための被描画ユニット161と、被描画ユニット161に描画された検査パターンを撮像して検査する撮像ユニット162と、を備えている。   As shown in FIG. 1 to FIG. 3 and FIG. 9, the ejection failure inspection unit 17 properly ejects the functional liquid from the all-function liquid droplet ejection head 82 (the ejection nozzle 98) mounted on the head unit 13. A drawing target unit for receiving a functional liquid inspected and discharged from all the discharge nozzles 98 of the full-function liquid droplet discharge head 82 of the head unit 13 and drawing a predetermined inspection pattern. 161 and an imaging unit 162 that images and inspects an inspection pattern drawn on the drawing unit 161.

被描画ユニット161は、機能液滴吐出ヘッド82からの検査吐出を受け、ロール状に巻回され、検査パターンを描画させる長尺状の描画シート171(ロール紙等)と、描画シート171を繰り出しながら巻き取っていく巻取り手段172と、巻取り手段172を支持する巻取り支持部材173と、巻取り支持部材173を支持するユニットベース174と、を備えている。巻取り手段172は、描画シート171が装填され、描画シート171を繰出す繰出しリール175と、繰出された描画シート171を巻き取る巻取りリール176と、巻取りリール176を回転させるための巻取りモータ(ギヤードモータ:図示省略)と、を有している。繰出された描画シート171は、外部に露出した状態でY軸方向に水平に走行し、巻取りリール176で巻き取られるようになっているが、この描画シート171の水平走行部が、検査パターンを受ける被描画部となっている。水平走行部のY軸方向の長辺の長さは、ヘッドユニットの全機能液滴吐出ヘッド82からの検査吐出を受けることができるように設定されており、本実施形態では描画前フラッシングボックス121や定期フラッシングボックス131と同様に、1描画ラインの長さ+2ヘッド分のノズル列長分の長さに対応して設定されている。   The drawing unit 161 receives the inspection discharge from the functional liquid droplet discharge head 82, is wound in a roll shape, and draws out a long drawing sheet 171 (roll paper or the like) for drawing an inspection pattern, and a drawing sheet 171. Winding means 172 that winds up while winding, a winding support member 173 that supports the winding means 172, and a unit base 174 that supports the winding support member 173 are provided. The winding means 172 is loaded with a drawing sheet 171 and feeds a drawing reel 175 for feeding the drawing sheet 171, a winding reel 176 for winding the drawn drawing sheet 171, and a winding for rotating the winding reel 176. A motor (geared motor: not shown). The drawn drawing sheet 171 travels horizontally in the Y-axis direction while being exposed to the outside, and is taken up by the take-up reel 176. The horizontal running portion of the drawing sheet 171 has an inspection pattern. It is a drawing part that receives. The length of the long side in the Y-axis direction of the horizontal traveling unit is set so as to be able to receive inspection discharge from the full-function liquid droplet discharge head 82 of the head unit. In this embodiment, the pre-drawing flushing box 121 is set. Similarly to the regular flushing box 131, the length is set corresponding to the length of one drawing line + the length of the nozzle row for two heads.

なお、描画シート171の巻取りは、検査パターンを1回描画する毎に行うのではなく、繰出した描画シート171に所定回数検査パターンが描画された後に行われる。この場合、各回の検査吐出による検査パターンが重ならないように、前回に描画された検査パターンに対して、次回に描画される検査パターンは、X軸方向に僅かに位置ずれして描画される。そして、(所定回数の検査パターンが描画され)描画シート171の幅いっぱいに検査パターンが描画されると、巻取りモータが駆動され、描画済みの描画シート171を巻き取ると共に、新しい描画シート171を繰出すようになっている。なお、本実施形態では、描画シート171の巻取りをモータ駆動により自動で行っているが、(巻取り頻度が低い場合等には)手動の巻取り機構を設け、手動でこれを行うようにしてもよい。   The drawing sheet 171 is not wound every time the inspection pattern is drawn once, but after the inspection pattern is drawn a predetermined number of times on the drawn drawing sheet 171. In this case, the test pattern to be drawn next time is drawn with a slight misalignment in the X-axis direction with respect to the test pattern drawn last time so that the test patterns by the respective test ejections do not overlap. When the inspection pattern is drawn to the full width of the drawing sheet 171 (a predetermined number of inspection patterns have been drawn), the winding motor is driven to wind up the drawn drawing sheet 171 and to draw a new drawing sheet 171. It comes to pay out. In this embodiment, the drawing sheet 171 is automatically wound by a motor drive. However, a manual winding mechanism is provided (when the winding frequency is low, for example), and this is performed manually. May be.

また、本実施形態では、ロール状に巻回した描画シート171を検査パターンの描画対象として用いているが、これに代えて検査パターン用のガラス基板等を用いることも可能である。この場合、ガラス基板は適宜交換されることとなるが、描画済みのガラス基板は、洗浄された後、繰り返し利用される。   In this embodiment, the drawing sheet 171 wound in a roll shape is used as an inspection pattern drawing target. However, instead of this, a glass substrate or the like for the inspection pattern can be used. In this case, the glass substrate is appropriately replaced, but the drawn glass substrate is repeatedly used after being cleaned.

ユニットベース174は、セットテーブル21と定期フラッシングユニット112との間に位置してスライダ本体51に支持されており、巻取り支持部材173は、定期フラッシングボックス131側に位置する一方の描画前フラッシングボックス121と、定期フラッシングボックス131との間で巻取り手段172を支持している。したがって、描画処理終了後に、(ワークWの載せ換えのために)吸着テーブル31をワーク載せ換え位置まで移動させると、定期フラッシングボックス131がヘッドユニット13に臨むことに先立って繰出された描画シート171がヘッドユニット13に臨み、描画シート171に検査パターンを描画することができるようになっている。   The unit base 174 is positioned between the set table 21 and the regular flushing unit 112 and supported by the slider body 51. The winding support member 173 is one of the pre-drawing flushing boxes located on the regular flushing box 131 side. The winding means 172 is supported between the valve 121 and the regular flushing box 131. Therefore, when the suction table 31 is moved to the workpiece replacement position (for replacing the workpiece W) after the drawing processing is completed, the drawing sheet 171 fed out prior to the regular flushing box 131 facing the head unit 13. Faces the head unit 13 so that an inspection pattern can be drawn on the drawing sheet 171.

図3に示すように、撮像ユニット162は、上記したY軸支持ベース3に支持されており、X軸テーブル11に上側から臨み、描画シート171に描画された検査パターンを描画する2個の検査カメラ181と、2個の検査カメラ181を保持するカメラホルダ182と、Y軸支持ベース3に固定され、カメラホルダ182を介して、2個の検査カメラ181をY軸方向にスライド自在に支持するカメラ移動機構183と、カメラ移動機構183を介して検査カメラをY軸方向に移動させるためのカメラ移動モータ(図示省略)と、を有している。2個の検査カメラ181は、描画シート171に描画された検査パターンをそれぞれ半分ずつ撮像するように構成されている。例えば、2個の検査カメラ181を、ヘッドユニット13の1描画ラインの長さの約半分の距離だけ離間して配設しておき、この状態で2個の検査カメラを移動させて、検査パターンの左側半分を左側の検査カメラ181で、右側半分を右側の検査カメラ181で撮像する。これにより、短時間で効率的に検査パターンを撮像(スキャン)することが可能となり、機能液滴吐出ヘッド82の吐出不良検査に要する時間を削減することが可能となる。   As shown in FIG. 3, the imaging unit 162 is supported by the Y-axis support base 3 described above, faces the X-axis table 11 from above, and performs two inspections for drawing the inspection pattern drawn on the drawing sheet 171. The camera 181, the camera holder 182 that holds the two inspection cameras 181, and the Y-axis support base 3 are fixed, and the two inspection cameras 181 are slidably supported in the Y-axis direction via the camera holder 182. A camera moving mechanism 183 and a camera moving motor (not shown) for moving the inspection camera in the Y-axis direction via the camera moving mechanism 183 are provided. The two inspection cameras 181 are configured to capture each half of the inspection pattern drawn on the drawing sheet 171. For example, two inspection cameras 181 are arranged at a distance of about half of the length of one drawing line of the head unit 13, and the two inspection cameras are moved in this state to check the inspection pattern. The left half is taken with the left inspection camera 181 and the right half is taken with the right inspection camera 181. As a result, the inspection pattern can be efficiently imaged (scanned) in a short time, and the time required for the ejection failure inspection of the functional liquid droplet ejection head 82 can be reduced.

撮像ユニット162は、吸着テーブル31がワーク載せ換え位置に臨んだときに、2個の検査カメラ181が描画シート171に臨むように配設されており、本実施形態では、ワーク載せ換え中に、検査パターンの撮像を行えるようになっている。そして、2個の検査カメラ181による撮像結果は、制御手段18に送信されて画像認識され、この画像認識に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド82の各吐出ノズル98が正常に機能液を吐出しているか(ノズル詰まりがないか)否かが判断されるが、この判断もワーク載せ換え中に行われる。すなわち、吐出不良検査手段は、撮像ユニット162および制御手段18により構成されている。   The imaging unit 162 is arranged so that the two inspection cameras 181 face the drawing sheet 171 when the suction table 31 faces the workpiece replacement position. In this embodiment, during the workpiece replacement, The inspection pattern can be imaged. The imaging results of the two inspection cameras 181 are transmitted to the control means 18 for image recognition, and based on this image recognition, each discharge nozzle 98 of each function droplet discharge head 82 normally discharges the function liquid. It is determined whether the nozzle is clogged (no nozzle clogging). This determination is also performed during the workpiece replacement. In other words, the ejection failure inspection unit includes the imaging unit 162 and the control unit 18.

なお、図示省略したが、ユニットベース174と巻取り支持部材173との間には、巻取り手段172全体をX軸方向に(微少)移動させるユニット移動機構が設けられている。上述したように、描画シート171に描画される検査パターンの描画位置は、X軸方向に位置ずれしてゆくが、検査パターンの描画位置に応じて巻取り手段172をX軸方向へ移動させることにより、X軸方向において固定の撮像ユニット(2個の検査カメラ181)に対して、検査パターンを確実に臨ませることができるようになっている。   Although not shown, a unit moving mechanism for moving the entire winding unit 172 in the X-axis direction (slightly) is provided between the unit base 174 and the winding support member 173. As described above, the drawing position of the inspection pattern drawn on the drawing sheet 171 is shifted in the X-axis direction, but the winding means 172 is moved in the X-axis direction according to the drawing position of the inspection pattern. Thus, the inspection pattern can be reliably exposed to the fixed imaging unit (two inspection cameras 181) in the X-axis direction.

また、この吐出不良検査ユニット17を用いて、ヘッドユニット13を構成する各キャリッジユニット81の位置補正を行い、各分割描画ラインが1描画ラインを構成するように、初期のヘッドアライメントを行うことも可能である。   Further, by using this ejection defect inspection unit 17, the position of each carriage unit 81 constituting the head unit 13 is corrected, and initial head alignment may be performed so that each divided drawing line constitutes one drawing line. Is possible.

次に、図10を参照して、液滴吐出装置1の主制御系について説明する。同図に示すように、液滴吐出装置1は、ヘッドユニット13(機能液滴吐出ヘッド82)を有する液滴吐出部191と、X軸テーブル11、を有し、ワークをX軸方向へ移動させるためのワーク移動部192と、Y軸テーブル12を有し、ヘッドユニット13をY軸方向へ移動させるヘッド移動部193と、メンテナンス手段の各ユニットを有するメンテナンス部194と、各種センサを有し、各種検出を行う検出部195と、各部を駆動制御する各種ドライバを有する駆動部196と、各部に接続され、液滴吐出装置1全体の制御を行う制御部197(制御手段18)と、を備えている。   Next, the main control system of the droplet discharge device 1 will be described with reference to FIG. As shown in the figure, the droplet discharge device 1 includes a droplet discharge unit 191 having a head unit 13 (functional droplet discharge head 82) and an X-axis table 11, and moves a workpiece in the X-axis direction. And a Y-axis table 12, a head moving unit 193 for moving the head unit 13 in the Y-axis direction, a maintenance unit 194 having each unit of maintenance means, and various sensors. A detection unit 195 that performs various detections, a drive unit 196 that includes various drivers that drive and control each unit, and a control unit 197 (control unit 18) that is connected to each unit and controls the entire droplet discharge device 1. I have.

制御部197には、各手段を接続するためのインタフェース201と、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるRAM202と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データを記憶するROM203と、ワークWに所定の描画パターンを描画するための描画データや、各手段からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク204と、ROM203やハードディスク204に記憶されたプログラム等に従い、各種データを演算処理するCPU205と、これらを互いに接続するバス206と、が備えられている。   The control unit 197 includes an interface 201 for connecting each means, a storage area that can be temporarily stored, a RAM 202 that is used as a work area for control processing, and various storage areas. ROM 203 for storing control programs and control data; drawing data for drawing a predetermined drawing pattern on the work W; various data from each means; and a program for processing various data A hard disk 204, a CPU 205 that performs arithmetic processing on various data according to programs stored in the ROM 203 and the hard disk 204, and a bus 206 that connects them to each other.

そして、制御部197は、各手段からの各種データを、インタフェース201を介して入力すると共に、ハードディスク204に記憶された(または、CD−ROMドライブ等により順次読み出される)プログラムに従ってCPU205に演算処理させ、その処理結果を、駆動部196(各種ドライバ)を介して各手段に出力する。これにより、装置全体が制御され、液滴吐出装置1の各種処理が行われる。   The control unit 197 inputs various data from each unit via the interface 201 and causes the CPU 205 to perform arithmetic processing according to a program stored in the hard disk 204 (or sequentially read by a CD-ROM drive or the like). The processing result is output to each means via the drive unit 196 (various drivers). Thereby, the whole apparatus is controlled and various processes of the droplet discharge apparatus 1 are performed.

ここで、未処理のワークWをセットテーブル21(吸着テーブル31)に導入してから、次のワークWに載せ換えるまでの、液滴吐出装置1の一連の動作について説明する。図外のロボットアーム(ワーク搬出入装置)を介して、ワーク載せ換え位置に臨む吸着テーブル31にワークWが載せ込まれると、制御部197は、ワークアライメントカメラ62を駆動してワークWを撮像すると共に、この撮像結果を画像認識する。そして、この画像認識に基づいて、θテーブル32を駆動し、ワークWの位置(θ)補正を行う。(この間、ヘッドユニット13は、定期フラッシングユニット112に臨んでおり、機能液滴吐出ヘッド82の定期フラッシングが為されている。)   Here, a series of operations of the droplet discharge device 1 from when an unprocessed work W is introduced to the set table 21 (suction table 31) until it is replaced with the next work W will be described. When the workpiece W is placed on the suction table 31 facing the workpiece placement position via a robot arm (work loading / unloading device) (not shown), the control unit 197 drives the workpiece alignment camera 62 to image the workpiece W. At the same time, this imaging result is recognized as an image. Based on this image recognition, the θ table 32 is driven to correct the position (θ) of the workpiece W. (During this time, the head unit 13 faces the regular flushing unit 112, and the functional liquid droplet ejection head 82 is regularly flushed.)

ワークWの位置補正が終了すると、制御部197は、(定期フラッシングを終了させ、)X軸テーブル11を駆動して、ワーク載せ換え位置から吸着テーブル31をヘッドユニット13側へ移動させ、上記した一連の描画処理を開始させる。この場合、本実施形態では、吸着テーブル31およびこれに添設された一対の描画前フラッシングボックス121に掛かる領域が描画処理を行うための描画領域として設定されている。そして、一連の描画処理中は、この描画領域内にヘッドユニット13が臨むようにX軸テーブル11が駆動制御され、吸着テーブル31(ワークW)の往復動が為される。したがって、描画処理中のヘッドユニット13には、描画前フラッシングボックス121、ワークWが順に臨み、描画前フラッシングに続いて、ワークに対する描画が行われると共に、描画処理に関与しない定期フラッシングユニット112および吐出不良検査ユニット17が描画処理中のヘッドユニット13に臨むことがないため、効率的かつ適切に描画処理を行うことができる。   When the position correction of the workpiece W is completed, the control unit 197 drives the X-axis table 11 (terminates the regular flushing) and moves the suction table 31 from the workpiece replacement position to the head unit 13 side. A series of drawing processes is started. In this case, in the present embodiment, an area covering the suction table 31 and a pair of pre-drawing flushing boxes 121 attached thereto is set as a drawing area for performing the drawing process. During a series of drawing processes, the X-axis table 11 is driven and controlled so that the head unit 13 faces the drawing area, and the suction table 31 (work W) is reciprocated. Therefore, the pre-drawing flushing box 121 and the work W are sequentially faced to the head unit 13 during the drawing process, and the drawing is performed on the work following the pre-drawing flushing, and the regular flushing unit 112 and the discharge that are not involved in the drawing process. Since the defect inspection unit 17 does not face the head unit 13 during the drawing process, the drawing process can be performed efficiently and appropriately.

ワークWに対する機能液の吐出が終了し、描画処理(上記第3描画動作における2回目のワークWの復動)が終了した後も、X軸テーブル11の駆動が続けられ、ワークWをワーク載せ換え位置まで移動させる。このとき、制御部197は、所定のタイミングでヘッドユニット13の全機能液滴吐出ヘッド82を吐出駆動して、全機能液滴吐出ヘッド82から検査吐出を行わせる。これにより、ワークWの移動中に、ヘッドユニット13(全機能液滴吐出ヘッド82)に臨む吐出不良検査ユニット17の描画シート171に検査パターンが描画される。このように、本実施形態では、描画処理終了後におけるワーク載せ換え位置までのワークWの移動動作を利用して、描画シート171に検査パターンの描画を行わせているため、検査吐出のためにヘッドユニット13を敢えて移動させる必要がなく、効率よく検査パターンを描画させることができる。   After the discharge of the functional liquid to the workpiece W is finished and the drawing process (the second return of the workpiece W in the third drawing operation) is finished, the drive of the X-axis table 11 is continued and the workpiece W is placed on the workpiece. Move to the change position. At this time, the control unit 197 discharges and drives the all-function droplet discharge head 82 of the head unit 13 at a predetermined timing, and causes the all-function droplet discharge head 82 to perform inspection discharge. As a result, while the workpiece W is moving, an inspection pattern is drawn on the drawing sheet 171 of the ejection failure inspection unit 17 facing the head unit 13 (all-function liquid droplet ejection head 82). As described above, in the present embodiment, the drawing pattern 171 is drawn on the drawing sheet 171 by using the movement operation of the workpiece W to the workpiece replacement position after the drawing process is completed. It is not necessary to move the head unit 13 intentionally, and an inspection pattern can be drawn efficiently.

ワークW(吸着テーブル31)がワーク載せ換え位置まで到達すると、制御部197は、X軸テーブル11の駆動を停止させると共に、Y軸テーブル12を駆動して、ヘッドユニット13をホーム位置に戻す。そして、ヘッドユニット13の全機能液滴吐出ヘッド82を吐出駆動させ、ヘッドユニット13の直下に位置する定期フラッシングボックス131に対して定期フラッシングを行うと共に、定期フラッシングを続けたまま、図外のロボットアームを用いて、処理済のワークWを回収させると共に、未処理のワークWをセットテーブル21に導入する。   When the workpiece W (suction table 31) reaches the workpiece replacement position, the control unit 197 stops driving the X-axis table 11 and drives the Y-axis table 12 to return the head unit 13 to the home position. Then, the all-function droplet discharge head 82 of the head unit 13 is driven to discharge, and the periodic flushing box 131 located immediately below the head unit 13 is periodically flushed, while the regular flushing is continued, and the robot (not shown). Using the arm, the processed workpiece W is collected and the unprocessed workpiece W is introduced into the set table 21.

一方で、ワークWがワーク載せ換え位置まで到達すると、制御部197は、移動モータを駆動して2個の検査カメラ181をX軸方向に移動させてゆき、描画シート171に描画された検査パターンを2個の検査カメラ181で撮像してゆく。そして、撮像結果を画像認識して、ヘッドユニット13の各機能液滴吐出ヘッド82について吐出不良が生じているか否かを判断する。ここで、全機能液滴吐出ヘッド82が正常に機能液滴を吐出していると判断されれば、吐出不良検査を終了させる。そして、ワークWの載せ換え終了後には、定期フラッシングを停止すると共に、新たな描画処理のためにX軸テーブル11を駆動して、セットテーブル21をヘッドユニット13側へ移動させる。   On the other hand, when the workpiece W reaches the workpiece transfer position, the control unit 197 drives the moving motor to move the two inspection cameras 181 in the X-axis direction, and the inspection pattern drawn on the drawing sheet 171. Are picked up by two inspection cameras 181. Then, the imaging result is image-recognized, and it is determined whether or not ejection failure has occurred for each functional liquid droplet ejection head 82 of the head unit 13. Here, if it is determined that the all-function liquid droplet ejection head 82 is normally ejecting functional liquid droplets, the ejection defect inspection is terminated. Then, after the replacement of the workpiece W, the regular flushing is stopped and the X-axis table 11 is driven for a new drawing process, and the set table 21 is moved to the head unit 13 side.

他方、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド82があると判断されれば、機能液滴吐出ヘッド82のメンテナンス処理を行う。具体的には、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド82を有するキャリッジユニット81を吸引ユニット15(分割吸引ユニット141)に臨ませ、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド82に対して吸引を行った後、さらにワイピングユニット16に臨ませて、ワイピング処理を行う。この場合、本実施形態では、ヘッドユニット13のホーム位置が吸引ユニット15(およびワイピングユニット16)寄りに設けられているため、吐出不良の判断がなされたときには、ホーム位置に臨むヘッドユニット13を迅速に吸引ユニット15に臨ませて、メンテナンス処理を行うことができるようになっている。   On the other hand, if it is determined that there is a defective functional droplet ejection head 82, maintenance processing of the functional droplet ejection head 82 is performed. Specifically, after the carriage unit 81 having the defective liquid droplet ejection head 82 faces the suction unit 15 (divided suction unit 141) and sucks the defective ejection liquid droplet head 82, Further, the wiping process is performed on the wiping unit 16. In this case, in this embodiment, since the home position of the head unit 13 is provided closer to the suction unit 15 (and the wiping unit 16), the head unit 13 facing the home position is quickly moved when a discharge failure is determined. The maintenance process can be performed by facing the suction unit 15.

なお、本実施形態のヘッドユニット13は、7つのキャリッジユニット81から構成されており、これらを独立して移動させることが可能であるため、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド82があると判断された場合に、7つの全てのキャリッジユニット81を吸引ユニット15またはワイピングユニット16に臨ませる必要はない。例えば、図2において、図示左から3番目のキャリッジユニット81の機能液滴吐出ヘッド82に吐出不良が検出された場合には、左から3番目までのキャリッジユニット81を吸引ユニット15に臨ませればよい。そして、左から3番目のキャリッジユニット81に対してのみ、吸引を行うようする。この場合、ホーム位置に残されたキャリッジユニット81の機能液滴吐出ヘッド82に対しては、定期フラッシングを継続させておくと共に、吸引ユニット15に臨んだ正常なキャリッジユニット81に対しては、各機能液滴吐出ヘッド82に対して離間した状態で吸引ユニット15の各キャップ143を臨ませ、各キャップ143に対してフラッシング動作を行わせるようにする。   Note that the head unit 13 of the present embodiment is composed of seven carriage units 81, and these can be moved independently, so that it is determined that there is a defective liquid droplet ejection head 82. In this case, it is not necessary for all the seven carriage units 81 to face the suction unit 15 or the wiping unit 16. For example, in FIG. 2, when an ejection failure is detected in the functional liquid droplet ejection head 82 of the third carriage unit 81 from the left in the figure, the third carriage unit 81 from the left can face the suction unit 15. That's fine. Then, suction is performed only on the third carriage unit 81 from the left. In this case, periodic flushing is continued for the functional liquid droplet ejection head 82 of the carriage unit 81 remaining at the home position, and each normal carriage unit 81 facing the suction unit 15 is Each cap 143 of the suction unit 15 faces the functional liquid droplet ejection head 82 so as to perform a flushing operation on each cap 143.

そして、吐出不良の機能液滴吐出ヘッド82を有するキャリッジユニット81の一連のメンテナンス処理が終了し、吸引ユニット15に移動させたキャリッジユニット81がホーム位置に戻ると、X軸テーブル11を駆動して、吐出不良検査ユニット17の描画シート171をヘッドユニット13に臨ませ、描画シート171に再度検査パターンを描画させる。以下、上述した一連の動作と略同様の動作を繰り返し、ヘッドユニット13をホーム位置に臨ませて、定期フラッシングを行うと共に、機能液滴吐出ヘッド82の吐出不良が回復したか否かを確認する。   When a series of maintenance processing of the carriage unit 81 having the defective liquid droplet ejection head 82 is completed and the carriage unit 81 moved to the suction unit 15 returns to the home position, the X-axis table 11 is driven. Then, the drawing sheet 171 of the ejection failure inspection unit 17 is made to face the head unit 13, and the inspection pattern is drawn again on the drawing sheet 171. Thereafter, substantially the same operation as the series of operations described above is repeated, the head unit 13 is brought to the home position, periodic flushing is performed, and whether or not the ejection failure of the functional liquid droplet ejection head 82 has been recovered is confirmed. .

このように、本実施形態の液滴吐出装置1では、ワークWの載せ換えと並行して、検査パターンの撮像とこれに基づく吐出不良の判断が行われるため、ワークWの載せ換え時間を有効に活用することができ、全体のタクトタイムを削減することができる。そして、ワークWの描画処理終了後、新たに未処理のワークWに対して描画処理を開始する前に、ヘッドユニット13の全機能液滴吐出ヘッド82について吐出不良が生じているか否かについて検査が行われるため、製造上の歩留まりを向上させることができる。   As described above, in the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the inspection pattern is imaged and the discharge failure is determined based on the inspection pattern in parallel with the replacement of the workpiece W. It is possible to reduce the overall tact time. Then, after the drawing process of the work W is completed, before the drawing process is newly started on the unprocessed work W, it is inspected whether or not a discharge failure has occurred in the all-function liquid droplet discharge head 82 of the head unit 13. Therefore, the manufacturing yield can be improved.

また、本実施形態の液滴吐出装置1では、吸着テーブル31がワーク載せ換え位置に臨むと、定期フラッシングボックス131がヘッドユニット13に臨み、ワークWの載せ換え中は定期フラッシングが継続して行われている。したがって、(機能液滴吐出ヘッド82の吐出不良検査中も含め)ワークWの載せ換え中に、機能液滴吐出ヘッド82の吐出ノズル98が目詰まりを生じることを有効に防止することができると共に、各機能液滴吐出ヘッド82から吐出される機能液量を安定した状態に保つことができる。特に、定期フラッシングボックス131は、セットテーブル21の移動軸上に設けられているため、(新たな描画処理を開始させるために)ワークWをワーク載せ換え位置から移動させる直前まで定期フラッシングを継続させることができ、機能液滴吐出ヘッド82を適切な状態に維持することができる。   Further, in the droplet discharge device 1 of the present embodiment, when the suction table 31 faces the workpiece replacement position, the periodic flushing box 131 faces the head unit 13, and the periodic flushing continues while the workpiece W is being replaced. It has been broken. Therefore, it is possible to effectively prevent the discharge nozzle 98 of the functional liquid droplet ejection head 82 from being clogged during the transfer of the work W (including during the ejection defect inspection of the functional liquid droplet ejection head 82). The amount of the functional liquid ejected from each functional liquid droplet ejection head 82 can be kept stable. In particular, since the regular flushing box 131 is provided on the moving axis of the set table 21, the regular flushing is continued until immediately before the workpiece W is moved from the workpiece replacement position (to start a new drawing process). And the functional droplet discharge head 82 can be maintained in an appropriate state.

なお、本実施形態では、定期フラッシングボックス131および被描画ユニット161の描画シート171の水平走行部の長さを、描画前フラッシングボックス121と同様に、描画処理におけるヘッドユニット13の機能液吐出範囲に対応させて、1描画ラインの長さ+2ヘッド分のノズル列長に形成している。そこで、描画処理の終了位置から次の描画処理の開始位置であるホーム位置までヘッドユニット13を移動させる移動中にも定期フラッシングを行わせるようにしてもよい。これによれば、機能液滴吐出ヘッド82の駆動停止時間をさらに短縮することができ、機能液滴吐出ヘッド82のノズル詰まりを有効に防止することができる。   In the present embodiment, the lengths of the horizontal running portions of the regular flushing box 131 and the drawing sheet 171 of the drawing unit 161 are set to the functional liquid discharge range of the head unit 13 in the drawing process, similarly to the pre-drawing flushing box 121. Correspondingly, it is formed so that the length of one drawing line + the length of the nozzle row for two heads. Therefore, periodic flushing may be performed during the movement of moving the head unit 13 from the drawing process end position to the home position that is the next drawing process start position. According to this, the drive stop time of the functional liquid droplet ejection head 82 can be further shortened, and nozzle clogging of the functional liquid droplet ejection head 82 can be effectively prevented.

また、ヘッドユニット13を副走査方向に移動させながら描画処理を行う場合であって、奇数回目の描画処理をヘッドユニット13のホーム位置から開始し、偶数回目の描画処理を奇数回目の描画処理終了位置から開始させる(奇数回目の描画処理と偶数回目の描画処理とを逆方向に行ってゆく)ような場合には、奇数回目および偶数回目のいずれの描画開始位置にヘッドユニットが臨んでいても定期フラッシングを行わせることができる。   In addition, when the drawing process is performed while moving the head unit 13 in the sub-scanning direction, the odd-numbered drawing process is started from the home position of the head unit 13 and the even-numbered drawing process is ended. When starting from a position (the odd-numbered drawing process and the even-numbered drawing process are performed in the opposite direction), the head unit may face the odd-numbered or even-numbered drawing start position. Periodic flushing can be performed.

なお、定期フラッシングボックス131および被描画ユニット161の描画シート171の水平走行部の長さを、1描画ラインの長さに対応させてこれらを形成することも可能である。この場合、定期フラッシングボックス131は、ワーク載せ換え中の定期フラッシングを受けられるように、ホーム位置に位置するヘッドユニット13に臨むように(吸引ユニット15側寄りに)X軸エアースライダ22に配設される。一方、被描画ユニット161は、描画処理が終了して、ワークWがワーク載せ換え位置に臨むまでの間にヘッドユニット13に臨むように、第3描画処理動作における2回目のワークW復動時のヘッドユニット13の位置に対応して、X軸エアースライダ22に配設される。   It is also possible to form the regular flushing box 131 and the length of the horizontal running portion of the drawing sheet 171 of the drawing unit 161 in correspondence with the length of one drawing line. In this case, the regular flushing box 131 is disposed on the X-axis air slider 22 so as to face the head unit 13 located at the home position (closer to the suction unit 15 side) so as to receive the regular flushing during workpiece replacement. Is done. On the other hand, the drawing unit 161 is in the second work W backward movement in the third drawing processing operation so that the drawing unit 161 faces the head unit 13 after the drawing process is finished and before the work W reaches the work transfer position. The X-axis air slider 22 is disposed corresponding to the position of the head unit 13.

また、本実施形態では、同一のX軸エアースライダ22(スライダ本体51)上にセットテーブル21、定期フラッシングユニット112および吐出不良検査ユニット17を搭載させているが、(スライダ本体52を分割させて)X軸リニアモータの駆動によりX軸方向を独立してスライド可能な2個のスライダを設け、一方にセットテーブル21を、他方に定期フラッシングユニット112および吐出不良検査ユニット17の被描画ユニット161を搭載するように構成してもよい。この場合、ワーク載せ換え位置からセットテーブル21を移動させるとき、およびセットテーブル21をワーク載せ換え位置に移動させるときには、X軸リニアモータを制御して、両スライダを一体的に移動させるようにする。一方、描画処理時には、X軸リニアモータを制御して、セットテーブル21を搭載したスライダのみを往復動させて、描画前フラッシングとワークWに対する描画を行わせる。   In the present embodiment, the set table 21, the regular flushing unit 112, and the ejection failure inspection unit 17 are mounted on the same X-axis air slider 22 (slider body 51), but (the slider body 52 is divided). ) Provided with two sliders that can be slid independently in the X-axis direction by driving the X-axis linear motor, the set table 21 on one side, and the drawing unit 161 of the periodic flushing unit 112 and the ejection failure inspection unit 17 on the other side. You may comprise so that it may mount. In this case, when the set table 21 is moved from the workpiece change position and when the set table 21 is moved to the workpiece change position, the X-axis linear motor is controlled to move both sliders integrally. . On the other hand, during the drawing process, the X-axis linear motor is controlled so that only the slider on which the set table 21 is mounted is reciprocated to perform pre-drawing flushing and drawing on the workpiece W.

また、本実施形態では、ワークWを主走査方向に移動させ、ヘッドユニット13を副走査方向に移動させる構成となっているが、ヘッドユニット13を主走査方向に移動させ、ワークWを副走査方向に移動させる構成とすることも可能である。また、ワークWを固定とし、ヘッドユニット13を主走査方向および副走査方向に移動させる構成としてもよい。いずれの場合にせよ、上記した配置に倣って、主走査移動軸上にフラッシングユニット14および吐出不良検査ユニット17を配設することにより、効率よくフラッシングや、吐出不良検査を行うことが可能である。   In this embodiment, the work W is moved in the main scanning direction and the head unit 13 is moved in the sub-scanning direction. However, the head unit 13 is moved in the main scanning direction and the work W is sub-scanned. It is also possible to adopt a configuration that moves in the direction. Alternatively, the work W may be fixed and the head unit 13 may be moved in the main scanning direction and the sub-scanning direction. In any case, following the above arrangement, the flushing unit 14 and the ejection failure inspection unit 17 are arranged on the main scanning movement axis, so that the flushing and ejection failure inspection can be performed efficiently. .

なお、本発明は、上記した実施形態のものに限定されるものではなく、その本旨を逸脱しない限りにおいて、本発明の適用範囲内である。   In addition, this invention is not limited to the thing of above-described embodiment, Unless it deviates from the meaning, it is in the scope of this invention.

次に、本実施形態の液滴吐出装置1を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイ(PDP装置)、電子放出装置(FED装置、SED装置)、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。   Next, as an electro-optical device (flat panel display) manufactured using the droplet discharge device 1 of this embodiment, a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a plasma display (PDP device), an electron emission device ( FED devices, SED devices), and active matrix substrates formed in these display devices will be described as an example for their structures and manufacturing methods. Note that an active matrix substrate refers to a substrate on which a thin film transistor, a source line electrically connected to the thin film transistor, and a data line are formed.

先ず、液晶表示装置や有機EL装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図11は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図12は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ600(フィルタ基体600A)の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図12(a)に示すように、基板(W)601上にブラックマトリクス602を形成する。ブラックマトリクス602は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス602を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス602を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device, an organic EL device or the like will be described. FIG. 11 is a flowchart showing the manufacturing process of the color filter, and FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of the color filter 600 (filter base body 600A) of this embodiment shown in the order of the manufacturing process.
First, in the black matrix forming step (S101), a black matrix 602 is formed on a substrate (W) 601 as shown in FIG. The black matrix 602 is formed of metal chromium, a laminate of metal chromium and chromium oxide, or resin black. A sputtering method, a vapor deposition method, or the like can be used to form the black matrix 602 made of a metal thin film. Further, when forming the black matrix 602 made of a resin thin film, a gravure printing method, a photoresist method, a thermal transfer method, or the like can be used.

続いて、バンク形成工程(S102)において、ブラックマトリクス602上に重畳する状態でバンク603を形成する。即ち、まず図12(b)に示すように、基板601及びブラックマトリクス602を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層604を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム605で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図12(c)に示すように、レジスト層604の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層604をパターニングして、バンク603を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク603とその下のブラックマトリクス602は、各画素領域607aを区画する区画壁部607bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド82により着色層(成膜部)608R、608G、608Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
Subsequently, in a bank formation step (S102), a bank 603 is formed in a state of being superimposed on the black matrix 602. That is, first, as shown in FIG. 12B, a resist layer 604 made of a negative transparent photosensitive resin is formed so as to cover the substrate 601 and the black matrix 602. Then, an exposure process is performed with the upper surface covered with a mask film 605 formed in a matrix pattern shape.
Further, as shown in FIG. 12C, the resist layer 604 is patterned by etching an unexposed portion of the resist layer 604 to form a bank 603. When the black matrix is formed from resin black, it is possible to use both the black matrix and the bank.
The bank 603 and the black matrix 602 below the bank 603 serve as a partition wall 607b that partitions each pixel region 607a, and in the subsequent colored layer forming step, the colored liquid layers (film forming portions) 608R, 608G, When forming 608B, the landing area of the functional droplet is defined.

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体600Aが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク603の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。そして、基板(ガラス基板)601の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク603(区画壁部607b)に囲まれた各画素領域607a内への液滴の着弾位置精度が向上する。
The filter substrate 600A is obtained through the above black matrix forming step and bank forming step.
In the present embodiment, as the material of the bank 603, a resin material whose surface is lyophobic (hydrophobic) is used. Since the surface of the substrate (glass substrate) 601 is lyophilic (hydrophilic), the droplets into each pixel region 607a surrounded by the bank 603 (partition wall portion 607b) in the colored layer forming step described later. The landing position accuracy is improved.

次に、着色層形成工程(S103)では、図12(d)に示すように、機能液滴吐出ヘッド82によって機能液滴を吐出して区画壁部607bで囲まれた各画素領域607a内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド82を用いて、R・G・Bの3色の機能液(フィルタ材料)を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Next, in the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 12 (d), functional droplets are ejected by the functional droplet ejection head 82 to enter each pixel region 607a surrounded by the partition wall portion 607b. Make it land. In this case, the functional liquid droplet ejection head 82 is used to introduce functional liquids (filter materials) of three colors of R, G, and B to eject functional liquid droplets. Note that the three-color arrangement pattern of R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, and a delta arrangement.

その後、乾燥処理(加熱等の処理)を経て機能液を定着させ、3色の着色層608R、608G、608Bを形成する。着色層608R、608G、608Bを形成したならば、保護膜形成工程(S104)に移り、図12(e)に示すように、基板601、区画壁部607b、および着色層608R、608G、608Bの上面を覆うように保護膜609を形成する。
即ち、基板601の着色層608R、608G、608Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜609が形成される。
そして、保護膜609を形成した後、カラーフィルタ600は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。
Thereafter, the functional liquid is fixed through a drying process (a process such as heating) to form three colored layers 608R, 608G, and 608B. If the colored layers 608R, 608G, and 608B are formed, the process proceeds to the protective film forming step (S104), and as shown in FIG. A protective film 609 is formed so as to cover the upper surface.
That is, after the protective film coating liquid is discharged over the entire surface of the substrate 601 where the colored layers 608R, 608G, and 608B are formed, the protective film 609 is formed through a drying process.
Then, after forming the protective film 609, the color filter 600 proceeds to a film forming process such as ITO (Indium Tin Oxide) which becomes a transparent electrode in the next process.

図13は、上記のカラーフィルタ600を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置(液晶装置)の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置620に、液晶駆動用IC、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ600は図12に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。   FIG. 13 is a cross-sectional view of a principal part showing a schematic configuration of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the color filter 600 described above. By attaching auxiliary elements such as a liquid crystal driving IC, a backlight, and a support to the liquid crystal device 620, a transmissive liquid crystal display device as a final product can be obtained. Since the color filter 600 is the same as that shown in FIG. 12, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

この液晶装置620は、カラーフィルタ600、ガラス基板等からなる対向基板621、及び、これらの間に挟持されたSTN(Super Twisted Nematic)液晶組成物からなる液晶層622により概略構成されており、カラーフィルタ600を図中上側(観測者側)に配置している。
なお、図示していないが、対向基板621およびカラーフィルタ600の外面(液晶層622側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板621側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
The liquid crystal device 620 is roughly constituted by a color filter 600, a counter substrate 621 made of a glass substrate, and a liquid crystal layer 622 made of an STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal composition sandwiched between them. The filter 600 is arranged on the upper side (observer side) in the figure.
Although not shown, polarizing plates are disposed on the outer surfaces of the counter substrate 621 and the color filter 600 (surfaces opposite to the liquid crystal layer 622 side), and the polarizing plates positioned on the counter substrate 621 side are also provided. A backlight is disposed outside.

カラーフィルタ600の保護膜609上(液晶層側)には、図13において左右方向に長尺な短冊状の第1電極623が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極623のカラーフィルタ600側とは反対側の面を覆うように第1配向膜624が形成されている。
一方、対向基板621におけるカラーフィルタ600と対向する面には、カラーフィルタ600の第1電極623と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極626が所定の間隔で複数形成され、この第2電極626の液晶層622側の面を覆うように第2配向膜627が形成されている。これらの第1電極623および第2電極626は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。
On the protective film 609 of the color filter 600 (on the liquid crystal layer side), a plurality of strip-shaped first electrodes 623 elongated in the left-right direction in FIG. 13 are formed at predetermined intervals. The color of the first electrode 623 A first alignment film 624 is formed so as to cover the surface opposite to the filter 600 side.
On the other hand, a plurality of strip-shaped second electrodes 626 elongated in a direction orthogonal to the first electrode 623 of the color filter 600 are formed on the surface of the counter substrate 621 facing the color filter 600 at a predetermined interval. A second alignment film 627 is formed so as to cover the surface of the two electrodes 626 on the liquid crystal layer 622 side. The first electrode 623 and the second electrode 626 are made of a transparent conductive material such as ITO.

液晶層622内に設けられたスペーサ628は、液晶層622の厚さ(セルギャップ)を一定に保持するための部材である。また、シール材629は液晶層622内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第1電極623の一端部は引き回し配線623aとしてシール材629の外側まで延在している。
そして、第1電極623と第2電極626とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ600の着色層608R、608G、608Bが位置するように構成されている。
The spacer 628 provided in the liquid crystal layer 622 is a member for keeping the thickness (cell gap) of the liquid crystal layer 622 constant. The sealing material 629 is a member for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 622 from leaking to the outside. Note that one end portion of the first electrode 623 extends to the outside of the sealing material 629 as a lead-out wiring 623a.
A portion where the first electrode 623 and the second electrode 626 intersect with each other is a pixel, and the color layers 608R, 608G, and 608B of the color filter 600 are located in the portion that becomes the pixel.

通常の製造工程では、カラーフィルタ600に、第1電極623のパターニングおよび第1配向膜624の塗布を行ってカラーフィルタ600側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板621に、第2電極626のパターニングおよび第2配向膜627の塗布を行って対向基板621側の部分を作成する。その後、対向基板621側の部分にスペーサ628およびシール材629を作り込み、この状態でカラーフィルタ600側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材629の注入口から液晶層622を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。   In a normal manufacturing process, patterning of the first electrode 623 and application of the first alignment film 624 are performed on the color filter 600 to create a portion on the color filter 600 side. Patterning of the electrode 626 and application of the second alignment film 627 are performed to create a portion on the counter substrate 621 side. Thereafter, a spacer 628 and a sealing material 629 are formed in the portion on the counter substrate 621 side, and the portion on the color filter 600 side is bonded in this state. Next, liquid crystal constituting the liquid crystal layer 622 is injected from the inlet of the sealing material 629, and the inlet is closed. Thereafter, both polarizing plates and the backlight are laminated.

実施形態の液滴吐出装置1は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料(機能液)を塗布すると共に、対向基板621側の部分にカラーフィルタ600側の部分を貼り合わせる前に、シール材629で囲んだ領域に液晶(機能液)を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材629の印刷を、機能液滴吐出ヘッド82で行うことも可能である。さらに、第1・第2両配向膜624,627の塗布を機能液滴吐出ヘッド82で行うことも可能である。   The droplet discharge device 1 according to the embodiment applies, for example, the spacer material (functional liquid) that constitutes the cell gap, and before the portion on the color filter 600 side is bonded to the portion on the counter substrate 621 side, the sealing material The liquid crystal (functional liquid) can be uniformly applied to the region surrounded by 629. In addition, the above-described sealing material 629 can be printed by the functional liquid droplet ejection head 82. Furthermore, the first and second alignment films 624 and 627 can be applied by the functional liquid droplet ejection head 82.

図14は、本実施形態において製造したカラーフィルタ600を用いた液晶装置の第2の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置630が上記液晶装置620と大きく異なる点は、カラーフィルタ600を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。
この液晶装置630は、カラーフィルタ600とガラス基板等からなる対向基板631との間にSTN液晶からなる液晶層632が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板631およびカラーフィルタ600の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
FIG. 14 is a cross-sectional view of an essential part showing a schematic configuration of a second example of the liquid crystal device using the color filter 600 manufactured in the present embodiment.
The liquid crystal device 630 is significantly different from the liquid crystal device 620 in that the color filter 600 is arranged on the lower side (the side opposite to the observer side) in the figure.
The liquid crystal device 630 is generally configured by sandwiching a liquid crystal layer 632 made of STN liquid crystal between a color filter 600 and a counter substrate 631 made of a glass substrate or the like. Although not shown, polarizing plates and the like are provided on the outer surfaces of the counter substrate 631 and the color filter 600, respectively.

カラーフィルタ600の保護膜609上(液晶層632側)には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第1電極633が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極633の液晶層632側の面を覆うように第1配向膜634が形成されている。
対向基板631のカラーフィルタ600と対向する面上には、カラーフィルタ600側の第1電極633と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極636が所定の間隔で形成され、この第2電極636の液晶層632側の面を覆うように第2配向膜637が形成されている。
On the protective film 609 of the color filter 600 (on the liquid crystal layer 632 side), a plurality of strip-shaped first electrodes 633 elongated in the depth direction in the figure are formed at predetermined intervals, and the liquid crystal of the first electrodes 633 is formed. A first alignment film 634 is formed so as to cover the surface on the layer 632 side.
A plurality of strip-shaped second electrodes 636 extending in a direction orthogonal to the first electrode 633 on the color filter 600 side are formed on the surface of the counter substrate 631 facing the color filter 600 at a predetermined interval. A second alignment film 637 is formed so as to cover the surface of the second electrode 636 on the liquid crystal layer 632 side.

液晶層632には、この液晶層632の厚さを一定に保持するためのスペーサ638と、液晶層632内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材639が設けられている。
そして、上記した液晶装置620と同様に、第1電極633と第2電極636との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ600の着色層608R、608G、608Bが位置するように構成されている。
The liquid crystal layer 632 is provided with a spacer 638 for keeping the thickness of the liquid crystal layer 632 constant, and a sealing material 639 for preventing the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 632 from leaking to the outside. Yes.
Similarly to the liquid crystal device 620 described above, a portion where the first electrode 633 and the second electrode 636 intersect with each other is a pixel, and the colored layers 608R, 608G, and 608B of the color filter 600 are located in the portion that becomes the pixel. Is configured to do.

図15は、本発明を適用したカラーフィルタ600を用いて液晶装置を構成した第3の例を示したもので、透過型のTFT(Thin Film Transistor)型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置650は、カラーフィルタ600を図中上側(観測者側)に配置したものである。
FIG. 15 shows a third example in which a liquid crystal device is configured using a color filter 600 to which the present invention is applied, and is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a transmissive TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal device. It is.
In the liquid crystal device 650, the color filter 600 is arranged on the upper side (observer side) in the drawing.

この液晶装置650は、カラーフィルタ600と、これに対向するように配置された対向基板651と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ600の上面側(観測者側)に配置された偏光板655と、対向基板651の下面側に配設された偏光板(図示せず)とにより概略構成されている。
カラーフィルタ600の保護膜609の表面(対向基板651側の面)には液晶駆動用の電極656が形成されている。この電極656は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極660が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極656の画素電極660とは反対側の面を覆った状態で配向膜657が設けられている。
The liquid crystal device 650 includes a color filter 600, a counter substrate 651 disposed so as to face the color filter 600, a liquid crystal layer (not shown) sandwiched therebetween, and an upper surface side (observer side) of the color filter 600. The polarizing plate 655 is generally configured by a polarizing plate 655 and a polarizing plate (not shown) disposed on the lower surface side of the counter substrate 651.
A liquid crystal driving electrode 656 is formed on the surface of the protective film 609 of the color filter 600 (the surface on the counter substrate 651 side). The electrode 656 is made of a transparent conductive material such as ITO, and is a full surface electrode that covers the entire region where a pixel electrode 660 described later is formed. An alignment film 657 is provided so as to cover the surface of the electrode 656 opposite to the pixel electrode 660.

対向基板651のカラーフィルタ600と対向する面には絶縁層658が形成されており、この絶縁層658上には、走査線661及び信号線662が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線661と信号線662とに囲まれた領域内には画素電極660が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極660上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。   An insulating layer 658 is formed on the surface of the counter substrate 651 facing the color filter 600, and the scanning lines 661 and the signal lines 662 are formed on the insulating layer 658 so as to be orthogonal to each other. A pixel electrode 660 is formed in a region surrounded by the scanning lines 661 and the signal lines 662. Note that in an actual liquid crystal device, an alignment film is provided over the pixel electrode 660, but the illustration is omitted.

また、画素電極660の切欠部と走査線661と信号線662とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ663が組み込まれて構成されている。そして、走査線661と信号線662に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ663をオン・オフして画素電極660への通電制御を行うことができるように構成されている。   In addition, a thin film transistor 663 including a source electrode, a drain electrode, a semiconductor, and a gate electrode is incorporated in a portion surrounded by the cutout portion of the pixel electrode 660 and the scanning line 661 and the signal line 662. . The thin film transistor 663 is turned on / off by application of a signal to the scanning line 661 and the signal line 662 so that energization control to the pixel electrode 660 can be performed.

なお、上記の各例の液晶装置620,630,650は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。   The liquid crystal devices 620, 630, and 650 of the above examples have a transmissive configuration, but a reflective layer or a semi-transmissive reflective layer is provided to form a reflective liquid crystal device or a transflective liquid crystal device. You can also

次に、図16は、有機EL装置の表示領域(以下、単に表示装置700と称する)の要部断面図である。   Next, FIG. 16 is a cross-sectional view of a main part of a display region (hereinafter simply referred to as a display device 700) of the organic EL device.

この表示装置700は、基板(W)701上に、回路素子部702、発光素子部703及び陰極704が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置700においては、発光素子部703から基板701側に発した光が、回路素子部702及び基板701を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部703から基板701の反対側に発した光が陰極704により反射された後、回路素子部702及び基板701を透過して観測者側に出射されるようになっている。
The display device 700 is schematically configured with a circuit element portion 702, a light emitting element portion 703, and a cathode 704 laminated on a substrate (W) 701.
In this display device 700, light emitted from the light emitting element portion 703 to the substrate 701 side is transmitted through the circuit element portion 702 and the substrate 701 and emitted to the observer side, and the light emitting element portion 703 is opposite to the substrate 701. After the light emitted to the side is reflected by the cathode 704, the light passes through the circuit element portion 702 and the substrate 701 and is emitted to the observer side.

回路素子部702と基板701との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜706が形成され、この下地保護膜706上(発光素子部703側)に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜707が形成されている。この半導体膜707の左右の領域には、ソース領域707a及びドレイン領域707bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域707cとなっている。   A base protective film 706 made of a silicon oxide film is formed between the circuit element portion 702 and the substrate 701, and an island-like semiconductor film 707 made of polycrystalline silicon is formed on the base protective film 706 (on the light emitting element portion 703 side). Is formed. In the left and right regions of the semiconductor film 707, a source region 707a and a drain region 707b are formed by high concentration cation implantation, respectively. A central portion where no cation is implanted is a channel region 707c.

また、回路素子部702には、下地保護膜706及び半導体膜707を覆う透明なゲート絶縁膜708が形成され、このゲート絶縁膜708上の半導体膜707のチャネル領域707cに対応する位置には、例えばAl、Mo、Ta、Ti、W等から構成されるゲート電極709が形成されている。このゲート電極709及びゲート絶縁膜708上には、透明な第1層間絶縁膜711aと第2層間絶縁膜711bが形成されている。また、第1、第2層間絶縁膜711a、711bを貫通して、半導体膜707のソース領域707a、ドレイン領域707bにそれぞれ連通するコンタクトホール712a,712bが形成されている。   In the circuit element portion 702, a transparent gate insulating film 708 covering the base protective film 706 and the semiconductor film 707 is formed, and a position corresponding to the channel region 707c of the semiconductor film 707 on the gate insulating film 708 is formed. For example, a gate electrode 709 made of Al, Mo, Ta, Ti, W or the like is formed. A transparent first interlayer insulating film 711 a and second interlayer insulating film 711 b are formed on the gate electrode 709 and the gate insulating film 708. Further, contact holes 712a and 712b are formed through the first and second interlayer insulating films 711a and 711b and communicating with the source region 707a and the drain region 707b of the semiconductor film 707, respectively.

そして、第2層間絶縁膜711b上には、ITO等からなる透明な画素電極713が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極713は、コンタクトホール712aを通じてソース領域707aに接続されている。
また、第1層間絶縁膜711a上には電源線714が配設されており、この電源線714は、コンタクトホール712bを通じてドレイン領域707bに接続されている。
A transparent pixel electrode 713 made of ITO or the like is patterned and formed on the second interlayer insulating film 711b in a predetermined shape, and the pixel electrode 713 is connected to the source region 707a through the contact hole 712a. .
A power supply line 714 is disposed on the first interlayer insulating film 711a, and the power supply line 714 is connected to the drain region 707b through the contact hole 712b.

このように、回路素子部702には、各画素電極713に接続された駆動用の薄膜トランジスタ715がそれぞれ形成されている。   Thus, the driving thin film transistors 715 connected to the pixel electrodes 713 are formed in the circuit element portion 702, respectively.

上記発光素子部703は、複数の画素電極713上の各々に積層された機能層717と、各画素電極713及び機能層717の間に備えられて各機能層717を区画するバンク部718とにより概略構成されている。
これら画素電極713、機能層717、及び、機能層717上に配設された陰極704によって発光素子が構成されている。なお、画素電極713は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極713の間にバンク部718が形成されている。
The light emitting element portion 703 includes a functional layer 717 stacked on each of the plurality of pixel electrodes 713, and a bank portion 718 provided between each pixel electrode 713 and the functional layer 717 to partition each functional layer 717. It is roughly structured.
The pixel electrode 713, the functional layer 717, and the cathode 704 provided on the functional layer 717 constitute a light emitting element. Note that the pixel electrode 713 is formed by patterning in a substantially rectangular shape in plan view, and a bank portion 718 is formed between the pixel electrodes 713.

バンク部718は、例えばSiO、SiO2、TiO2等の無機材料により形成される無機物バンク層718a(第1バンク層)と、この無機物バンク層718a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層718b(第2バンク層)とにより構成されている。このバンク部718の一部は、画素電極713の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部718の間には、画素電極713に対して上方に向けて次第に拡開した開口部719が形成されている。
Bank unit 718, for example SiO, and SiO 2, the inorganic bank layer is formed of an inorganic material such as TiO 2, 718a (first bank layer), stacked on the inorganic bank layer 718a, an acrylic resin, such as polyimide resin It is composed of an organic bank layer 718b (second bank layer) having a trapezoidal cross section formed of a resist having excellent heat resistance and solvent resistance. A part of the bank portion 718 is formed on the peripheral edge of the pixel electrode 713.
Between each bank portion 718, an opening 719 that gradually expands upward with respect to the pixel electrode 713 is formed.

上記機能層717は、開口部719内において画素電極713上に積層状態で形成された正孔注入/輸送層717aと、この正孔注入/輸送層717a上に形成された発光層717bとにより構成されている。なお、この発光層717bに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入/輸送層717aは、画素電極713側から正孔を輸送して発光層717bに注入する機能を有する。この正孔注入/輸送層717aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
The functional layer 717 includes a hole injection / transport layer 717a formed on the pixel electrode 713 in a stacked state in the opening 719 and a light emitting layer 717b formed on the hole injection / transport layer 717a. Has been. Note that another functional layer having other functions may be further formed adjacent to the light emitting layer 717b. For example, it is possible to form an electron transport layer.
The hole injection / transport layer 717a has a function of transporting holes from the pixel electrode 713 side and injecting them into the light emitting layer 717b. The hole injection / transport layer 717a is formed by discharging a first composition (functional liquid) containing a hole injection / transport layer forming material. A known material is used as the hole injection / transport layer forming material.

発光層717bは、赤色(R)、緑色(G)、又は青色(B)の何れかに発光するもので、発光層形成材料(発光材料)を含む第2組成物(機能液)を吐出することで形成される。第2組成物の溶媒(非極性溶媒)としては、正孔注入/輸送層717aに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層717bの第2組成物に用いることにより、正孔注入/輸送層717aを再溶解させることなく発光層717bを形成することができる。   The light emitting layer 717b emits light in red (R), green (G), or blue (B), and discharges a second composition (functional liquid) containing a light emitting layer forming material (light emitting material). Is formed. As the solvent (nonpolar solvent) of the second composition, a known material insoluble in the hole injection / transport layer 717a is preferably used, and such a nonpolar solvent is used as the second composition of the light emitting layer 717b. By using the light emitting layer 717b, the light emitting layer 717b can be formed without re-dissolving the hole injection / transport layer 717a.

そして、発光層717bでは、正孔注入/輸送層717aから注入された正孔と、陰極704から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。   The light emitting layer 717b is configured such that holes injected from the hole injection / transport layer 717a and electrons injected from the cathode 704 are recombined in the light emitting layer to emit light.

陰極704は、発光素子部703の全面を覆う状態で形成されており、画素電極713と対になって機能層717に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極704の上部には図示しない封止部材が配置される。   The cathode 704 is formed so as to cover the entire surface of the light emitting element portion 703, and plays a role of flowing current to the functional layer 717 in a pair with the pixel electrode 713. Note that a sealing member (not shown) is disposed on the cathode 704.

次に、上記の表示装置700の製造工程を図17〜図25を参照して説明する。
この表示装置700は、図17に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、及び対向電極形成工程(S115)を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
Next, a manufacturing process of the display device 700 will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 17, the display device 700 includes a bank part forming step (S111), a surface treatment step (S112), a hole injection / transport layer forming step (S113), a light emitting layer forming step (S114), It is manufactured through an electrode formation step (S115). In addition, a manufacturing process is not restricted to what is illustrated, and when other processes are removed as needed, it may be added.

まず、バンク部形成工程(S111)では、図18に示すように、第2層間絶縁膜711b上に無機物バンク層718aを形成する。この無機物バンク層718aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層718aの一部は画素電極713の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層718aを形成したならば、図19に示すように、無機物バンク層718a上に有機物バンク層718bを形成する。この有機物バンク層718bも無機物バンク層718aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部718が形成される。また、これに伴い、各バンク部718間には、画素電極713に対して上方に開口した開口部719が形成される。この開口部719は、画素領域を規定する。
First, in the bank part forming step (S111), as shown in FIG. 18, an inorganic bank layer 718a is formed on the second interlayer insulating film 711b. The inorganic bank layer 718a is formed by forming an inorganic film at a formation position and then patterning the inorganic film using a photolithography technique or the like. At this time, a part of the inorganic bank layer 718 a is formed so as to overlap with the peripheral edge of the pixel electrode 713.
When the inorganic bank layer 718a is formed, an organic bank layer 718b is formed on the inorganic bank layer 718a as shown in FIG. This organic bank layer 718b is also formed by patterning using a photolithography technique or the like, similarly to the inorganic bank layer 718a.
In this way, the bank portion 718 is formed. Accordingly, an opening 719 that opens upward with respect to the pixel electrode 713 is formed between the bank portions 718. The opening 719 defines a pixel region.

表面処理工程(S112)では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層718aの第1積層部718aa及び画素電極713の電極面713aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極713であるITOの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層718bの壁面718s及び有機物バンク層718bの上面718tに施され、例えば4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド82を用いて機能層717を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部719から溢れ出るのを防止することが可能となる。
In the surface treatment step (S112), a lyophilic process and a lyophobic process are performed. The regions to be subjected to the lyophilic treatment are the first stacked portion 718aa of the inorganic bank layer 718a and the electrode surface 713a of the pixel electrode 713. These regions are made lyophilic by plasma treatment using, for example, oxygen as a treatment gas. Is done. This plasma treatment also serves to clean the ITO that is the pixel electrode 713.
In addition, the lyophobic treatment is performed on the wall surface 718s of the organic bank layer 718b and the upper surface 718t of the organic bank layer 718b, and the surface is fluorinated (treated to be liquid repellent) by plasma treatment using, for example, tetrafluoromethane. )
By performing this surface treatment step, when forming the functional layer 717 using the functional liquid droplet ejection head 82, the functional liquid droplets can be landed more reliably on the pixel area. It is possible to prevent the functioning liquid droplets from overflowing from the opening 719.

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体700Aが得られる。この表示装置基体700Aは、図1に示した液滴吐出装置1のセットテーブル21に載置され、以下の正孔注入/輸送層形成工程(S113)及び発光層形成工程(S114)が行われる。   The display device base 700A is obtained through the above steps. The display device base 700A is placed on the set table 21 of the droplet discharge device 1 shown in FIG. 1, and the following hole injection / transport layer forming step (S113) and light emitting layer forming step (S114) are performed. .

図20に示すように、正孔注入/輸送層形成工程(S113)では、機能液滴吐出ヘッド82から正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物を画素領域である各開口部719内に吐出する。その後、図21に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極(電極面713a)713上に正孔注入/輸送層717aを形成する。   As shown in FIG. 20, in the hole injection / transport layer forming step (S113), the first composition containing the hole injection / transport layer forming material is transferred from the functional liquid droplet ejection head 82 to each opening 719 that is a pixel region. Discharge inside. Thereafter, as shown in FIG. 21, a drying process and a heat treatment are performed to evaporate the polar solvent contained in the first composition, thereby forming a hole injection / transport layer 717a on the pixel electrode (electrode surface 713a) 713.

次に発光層形成工程(S114)について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層717aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層717aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入/輸送層717aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層717a上に吐出しても、正孔注入/輸送層717aと発光層717bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層717bを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層717aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層717a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層717aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層717aに均一に塗布することができる。
Next, the light emitting layer forming step (S114) will be described. In this light emitting layer forming step, as described above, in order to prevent re-dissolution of the hole injection / transport layer 717a, a hole injection / transport layer 717a is used as a solvent for the second composition used in forming the light emitting layer. A non-polar solvent insoluble in
However, since the hole injection / transport layer 717a has a low affinity for the nonpolar solvent, the hole injection / transport layer 717a has a low affinity even if the second composition containing the nonpolar solvent is discharged onto the hole injection / transport layer 717a. There is a possibility that the injection / transport layer 717a and the light emitting layer 717b cannot be adhered to each other or the light emitting layer 717b cannot be applied uniformly.
Therefore, in order to increase the surface affinity of the hole injection / transport layer 717a with respect to the nonpolar solvent and the light emitting layer forming material, it is preferable to perform a surface treatment (surface modification treatment) before forming the light emitting layer. In this surface treatment, a surface modifying material which is the same solvent as the non-polar solvent of the second composition used in forming the light emitting layer or a similar solvent is applied on the hole injection / transport layer 717a, and this is applied. This is done by drying.
By performing such a treatment, the surface of the hole injection / transport layer 717a is easily adapted to the nonpolar solvent, and in the subsequent process, the second composition containing the light emitting layer forming material is added to the hole injection / transport layer. It can be uniformly applied to 717a.

そして次に、図22に示すように、各色のうちの何れか(図22の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部719)内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層717a上に広がって開口部719内に満たされる。なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部718の上面718t上に着弾した場合でも、この上面718tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部719内に転がり込み易くなっている。   Then, as shown in FIG. 22, the second composition containing the light emitting layer forming material corresponding to one of the colors (blue (B) in the example of FIG. 22) is used as a functional droplet as a pixel region ( A predetermined amount is driven into the opening 719). The second composition driven into the pixel region spreads on the hole injection / transport layer 717a and fills the opening 719. Even if the second composition deviates from the pixel region and lands on the upper surface 718t of the bank portion 718, the upper composition 718t is subjected to the liquid repellent treatment as described above, and thus the second composition An object is easy to roll into the opening 719.

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第2組成物を乾燥処理し、第2組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図23に示すように、正孔注入/輸送層717a上に発光層717bが形成される。この図の場合、青色(B)に対応する発光層717bが形成されている。   Thereafter, the second composition after discharge is dried by performing a drying process and the like, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, and as shown in FIG. 23, the hole injection / transport layer 717a A light emitting layer 717b is formed thereon. In the case of this figure, a light emitting layer 717b corresponding to blue (B) is formed.

同様に、機能液滴吐出ヘッド82を用い、図24に示すように、上記した青色(B)に対応する発光層717bの場合と同様の工程を順次行い、他の色(赤色(R)及び緑色(G))に対応する発光層717bを形成する。なお、発光層717bの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。   Similarly, using the functional liquid droplet ejection head 82, as shown in FIG. 24, the same steps as in the case of the light emitting layer 717b corresponding to the blue (B) described above are sequentially performed, and other colors (red (R) and red (R) and A light emitting layer 717b corresponding to green (G)) is formed. Note that the order in which the light-emitting layers 717b are formed is not limited to the illustrated order, and may be formed in any order. For example, the order of formation can be determined according to the light emitting layer forming material. Further, the arrangement pattern of the three colors R, G, and B includes a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, and the like.

以上のようにして、画素電極713上に機能層717、即ち、正孔注入/輸送層717a及び発光層717bが形成される。そして、対向電極形成工程(S115)に移行する。   As described above, the functional layer 717, that is, the hole injection / transport layer 717 a and the light emitting layer 717 b are formed on the pixel electrode 713. And it transfers to a counter electrode formation process (S115).

対向電極形成工程(S115)では、図25に示すように、発光層717b及び有機物バンク層718bの全面に陰極704(対向電極)を、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等によって形成する。この陰極704は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極704の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO2、SiN等の保護層が適宜設けられる。
In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 25, a cathode 704 (counter electrode) is formed on the entire surface of the light emitting layer 717b and the organic bank layer 718b by, for example, vapor deposition, sputtering, CVD, or the like. In the present embodiment, the cathode 704 is configured, for example, by laminating a calcium layer and an aluminum layer.
On top of the cathode 704, an Al film and an Ag film as electrodes, and a protective layer such as SiO 2 and SiN for preventing oxidation thereof are provided as appropriate.

このようにして陰極704を形成した後、この陰極704の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置700が得られる。   After forming the cathode 704 in this way, the display device 700 is obtained by performing other processing such as sealing processing and wiring processing for sealing the upper portion of the cathode 704 with a sealing member.

次に、図26は、プラズマ型表示装置(PDP装置:以下、単に表示装置800と称する)の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置800を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、及びこれらの間に形成される放電表示部803を含んで概略構成される。放電表示部803は、複数の放電室805により構成されている。これらの複数の放電室805のうち、赤色放電室805R、緑色放電室805G、青色放電室805Bの3つの放電室805が組になって1つの画素を構成するように配置されている。
Next, FIG. 26 is an exploded perspective view of a main part of a plasma display device (PDP device: hereinafter simply referred to as a display device 800). In the figure, the display device 800 is shown with a part thereof cut away.
The display device 800 includes a first substrate 801, a second substrate 802, and a discharge display portion 803 formed between the first substrate 801 and the second substrate 802, which are disposed to face each other. The discharge display unit 803 includes a plurality of discharge chambers 805. Among the plurality of discharge chambers 805, the three discharge chambers 805 of the red discharge chamber 805R, the green discharge chamber 805G, and the blue discharge chamber 805B are arranged to form one pixel.

第1基板801の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極806が形成され、このアドレス電極806と第1基板801の上面とを覆うように誘電体層807が形成されている。誘電体層807上には、各アドレス電極806の間に位置し、且つ各アドレス電極806に沿うように隔壁808が立設されている。この隔壁808は、図示するようにアドレス電極806の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極806と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁808によって仕切られた領域が放電室805となっている。
Address electrodes 806 are formed in stripes at predetermined intervals on the upper surface of the first substrate 801, and a dielectric layer 807 is formed so as to cover the address electrodes 806 and the upper surface of the first substrate 801. On the dielectric layer 807, partition walls 808 are provided so as to be positioned between the address electrodes 806 and along the address electrodes 806. The partition 808 includes one extending on both sides in the width direction of the address electrode 806 as shown, and one not shown extending in a direction orthogonal to the address electrode 806.
A region partitioned by the partition 808 is a discharge chamber 805.

放電室805内には蛍光体809が配置されている。蛍光体809は、赤(R)、緑(G)、青(B)の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室805Rの底部には赤色蛍光体809Rが、緑色放電室805Gの底部には緑色蛍光体809Gが、青色放電室805Bの底部には青色蛍光体809Bが各々配置されている。   A phosphor 809 is disposed in the discharge chamber 805. The phosphor 809 emits red (R), green (G), or blue (B) fluorescence, and the red phosphor 809R is located at the bottom of the red discharge chamber 805R, and the green discharge chamber 805G. A green phosphor 809G and a blue phosphor 809B are disposed at the bottom and the blue discharge chamber 805B, respectively.

第2基板802の図中下側の面には、上記アドレス電極806と直交する方向に複数の表示電極811が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層812、及びMgOなどからなる保護膜813が形成されている。
第1基板801と第2基板802とは、アドレス電極806と表示電極811が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極806と表示電極811は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極806,811に通電することにより、放電表示部803において蛍光体809が励起発光し、カラー表示が可能となる。
On the lower surface of the second substrate 802 in the figure, a plurality of display electrodes 811 are formed in stripes at predetermined intervals in a direction orthogonal to the address electrodes 806. A dielectric layer 812 and a protective film 813 made of MgO or the like are formed so as to cover them.
The first substrate 801 and the second substrate 802 are bonded so that the address electrodes 806 and the display electrodes 811 face each other in a state of being orthogonal to each other. The address electrode 806 and the display electrode 811 are connected to an AC power source (not shown).
When the electrodes 806 and 811 are energized, the phosphor 809 emits light in the discharge display portion 803, and color display is possible.

本実施形態においては、上記アドレス電極806、表示電極811、及び蛍光体809を、図1に示した液滴吐出装置1を用いて形成することができる。以下、第1基板801におけるアドレス電極806の形成工程を例示する。
この場合、第1基板801を液滴吐出装置1のセットテーブル21に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド82により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
In the present embodiment, the address electrode 806, the display electrode 811, and the phosphor 809 can be formed using the droplet discharge device 1 shown in FIG. Hereinafter, a process of forming the address electrode 806 in the first substrate 801 will be exemplified.
In this case, the following steps are performed with the first substrate 801 placed on the set table 21 of the droplet discharge device 1.
First, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the address electrode formation region as a functional liquid droplet by the functional liquid droplet ejection head 82. This liquid material is obtained by dispersing conductive fine particles such as metal in a dispersion medium as a conductive film wiring forming material. As the conductive fine particles, metal fine particles containing gold, silver, copper, palladium, nickel, or the like, a conductive polymer, or the like is used.

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極806が形成される。   When the replenishment of the liquid material is completed for all the address electrode formation regions to be replenished, the address material 806 is formed by drying the discharged liquid material and evaporating the dispersion medium contained in the liquid material. .

ところで、上記においてはアドレス電極806の形成を例示したが、上記表示電極811及び蛍光体809についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極811の形成の場合、アドレス電極806の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体809の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド82から液滴として吐出し、対応する色の放電室805内に着弾させる。
By the way, although the formation of the address electrode 806 has been exemplified in the above, the display electrode 811 and the phosphor 809 can also be formed through the above steps.
In the case of forming the display electrode 811, as in the case of the address electrode 806, a liquid material (functional liquid) containing a conductive film wiring forming material is landed on the display electrode formation region as a functional droplet.
Further, in the case of forming the phosphor 809, a liquid material (functional liquid) containing a fluorescent material corresponding to each color (R, G, B) is ejected as droplets from the functional liquid droplet ejection head 82, and corresponding. Land in the color discharge chamber 805.

次に、図27は、電子放出装置(FED装置あるいはSED装置ともいう:以下、単に表示装置900と称する)の要部断面図である。なお、同図では表示装置900を、その一部を断面として示してある。
この表示装置900は、互いに対向して配置された第1基板901、第2基板902、及びこれらの間に形成される電界放出表示部903を含んで概略構成される。電界放出表示部903は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部905により構成されている。
Next, FIG. 27 is a cross-sectional view of an essential part of an electron emission device (also referred to as an FED device or an SED device: hereinafter simply referred to as a display device 900). In the figure, a part of the display device 900 is shown as a cross section.
The display device 900 is schematically configured to include a first substrate 901 and a second substrate 902 that are arranged to face each other, and a field emission display portion 903 formed therebetween. The field emission display unit 903 includes a plurality of electron emission units 905 arranged in a matrix.

第1基板901の上面には、カソード電極906を構成する第1素子電極906aおよび第2素子電極906bが相互に直交するように形成されている。また、第1素子電極906aおよび第2素子電極906bで仕切られた部分には、ギャップ908を形成した導電性膜907が形成されている。すなわち、第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907により複数の電子放出部905が構成されている。導電性膜907は、例えば酸化パラジウム(PdO)等で構成され、またギャップ908は、導電性膜907を成膜した後、フォーミング等で形成される。   A first element electrode 906a and a second element electrode 906b constituting the cathode electrode 906 are formed on the upper surface of the first substrate 901 so as to be orthogonal to each other. In addition, a conductive film 907 having a gap 908 is formed in a portion partitioned by the first element electrode 906a and the second element electrode 906b. In other words, the first element electrode 906a, the second element electrode 906b, and the conductive film 907 constitute a plurality of electron emission portions 905. The conductive film 907 is made of, for example, palladium oxide (PdO), and the gap 908 is formed by forming after forming the conductive film 907.

第2基板902の下面には、カソード電極906に対峙するアノード電極909が形成されている。アノード電極909の下面には、格子状のバンク部911が形成され、このバンク部911で囲まれた下向きの各開口部912に、電子放出部905に対応するように蛍光体913が配置されている。蛍光体913は、赤(R)、緑(G)、青(B)の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部912には、赤色蛍光体913R、緑色蛍光体913Gおよび青色蛍光体913Bが、上記した所定のパターンで配置されている。   An anode electrode 909 facing the cathode electrode 906 is formed on the lower surface of the second substrate 902. A lattice-shaped bank portion 911 is formed on the lower surface of the anode electrode 909, and a phosphor 913 is disposed in each downward opening 912 surrounded by the bank portion 911 so as to correspond to the electron emission portion 905. Yes. The phosphor 913 emits fluorescence of any color of red (R), green (G), and blue (B), and each opening 912 has a red phosphor 913R, a green phosphor 913G, and a blue color. The phosphors 913B are arranged in the predetermined pattern described above.

そして、このように構成した第1基板901と第2基板902とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置900では、導電性膜(ギャップ908)907を介して、陰極である第1素子電極906aまたは第2素子電極906bから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極909に形成した蛍光体913に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。   The first substrate 901 and the second substrate 902 configured as described above are bonded together with a minute gap. In this display device 900, electrons that jump out of the first element electrode 906 a or the second element electrode 906 b serving as the cathode through the conductive film (gap 908) 907 are formed on the phosphor 913 formed on the anode electrode 909 serving as the anode. When excited, it emits light and enables color display.

この場合も、他の実施形態と同様に、第1素子電極906a、第2素子電極906b、導電性膜907およびアノード電極909を、液滴吐出装置1を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体913R,913G,913Bを、液滴吐出装置1を用いて形成することができる。   Also in this case, as in the other embodiments, the first element electrode 906a, the second element electrode 906b, the conductive film 907, and the anode electrode 909 can be formed using the droplet discharge device 1 and each color. The phosphors 913R, 913G, and 913B can be formed using the droplet discharge device 1.

第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907は、図28(a)に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図28(b)に示すように、予め第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907を作り込む部分を残して、バンク部BBを形成(フォトリソグラフィ法)する。次に、バンク部BBにより構成された溝部分に、第1素子電極906aおよび第2素子電極906bを形成(液滴吐出装置1によるインクジェット法)し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜907を形成(液滴吐出装置1によるインクジェット法)する。そして、導電性膜907を成膜後、バンク部BBを取り除き(アッシング剥離処理)、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機EL装置の場合と同様に、第1基板901および第2基板902に対する親液化処理や、バンク部911,BBに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。   The first element electrode 906a, the second element electrode 906b, and the conductive film 907 have a planar shape shown in FIG. 28A. When these are formed, as shown in FIG. In addition, the bank portion BB is formed (photolithographic method), leaving portions where the first element electrode 906a, the second element electrode 906b, and the conductive film 907 are previously formed. Next, the first element electrode 906a and the second element electrode 906b were formed in the groove portion constituted by the bank portion BB (inkjet method using the droplet discharge device 1), and the solvent was dried to form a film. After that, a conductive film 907 is formed (an ink jet method using the droplet discharge device 1). Then, after forming the conductive film 907, the bank portion BB is removed (ashing peeling process), and the process proceeds to the above forming process. As in the case of the organic EL device described above, it is preferable to perform a lyophilic process on the first substrate 901 and the second substrate 902 and a lyophobic process on the bank portions 911 and BB.

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置1を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。   As other electro-optical devices, devices such as metal wiring formation, lens formation, resist formation, and light diffuser formation are conceivable. By using the droplet discharge device 1 described above for manufacturing various electro-optical devices (devices), various electro-optical devices can be efficiently manufactured.

1 液滴吐出装置 11 X軸テーブル
12 Y軸テーブル 13 ヘッドユニット
14 フラッシングユニット 15 吸引ユニット
16 ワイピングユニット 17 吐出不良検査ユニット
18 制御手段 21 セットテーブル
22 X軸エアースライダ 82 機能液滴吐出ヘッド
98 吐出ノズル 111 描画前フラッシングユニット
112 定期フラッシングユニット 161 被描画ユニット
162 撮像ユニット 171 描画シート
181 検査カメラ 183 カメラ移動機構
ワーク W
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Droplet discharge device 11 X-axis table 12 Y-axis table 13 Head unit 14 Flushing unit 15 Suction unit 16 Wiping unit 17 Discharge defect inspection unit 18 Control means 21 Set table 22 X-axis air slider 82 Functional droplet discharge head 98 Discharge nozzle 111 Flushing unit before drawing 112 Regular flushing unit 161 Drawing unit 162 Imaging unit 171 Drawing sheet 181 Inspection camera 183 Camera moving mechanism Work W

Claims (4)

ワークをセットしたセットテーブルと、ノズルが形成されたノズル面を有する機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、描画領域において前記機能液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して描画を行う液滴吐出装置であって、
前記ノズル面を封止するキャップユニットと、
前記機能液滴吐出ヘッドが前記描画領域と前記キャップユニットを移動するヘッド移動軸と、
前記ヘッド移動軸と交差すると共に、前記セットテーブルが移動するセットテーブル移動軸と、
前記セットテーブル移動軸上を移動可能に配置され、前記機能液滴吐出ヘッドの吐出不良検査および位置補正を可能とするために、前記機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受ける被描画ユニットを有した検査ユニットと、
を備え、
前記検査ユニットは、前記セットテーブル移動軸上を移動することで、前記機能液滴吐出ヘッドに臨むことを特徴とする液滴吐出装置。
Liquid that performs drawing by ejecting functional liquid from the functional liquid droplet ejection head in the drawing area while relatively moving the set liquid table having the nozzle and the nozzle surface on which the work is set. A droplet discharge device,
A cap unit for sealing the nozzle surface;
A head moving axis on which the functional liquid droplet ejection head moves the drawing area and the cap unit;
A set table movement axis that intersects the head movement axis and that moves the set table;
There is a drawing unit that is arranged so as to be movable on the set table moving axis and receives inspection discharge from the functional liquid droplet ejection head in order to enable ejection defect inspection and position correction of the functional liquid droplet ejection head. The inspection unit
With
The droplet ejection apparatus, wherein the inspection unit faces the functional droplet ejection head by moving on the set table moving axis.
前記検査ユニットは、検査パターンを描画させる前記被描画ユニットと、前記被描画ユニットに描画された前記検査パターンを撮像して検査する撮像ユニットを有し、前記被描画ユニットが前記セットテーブル移動軸上に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。 The test unit includes the object rendering unit to render the test pattern, said an image pickup unit for inspection by imaging the test pattern drawn on the drawing unit, wherein the rendering unit is the set table moving shaft on The liquid droplet ejection apparatus according to claim 1, wherein the liquid droplet ejection apparatus is disposed in 前記キャップユニットは、前記ノズルの吸引を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置。   The droplet discharging apparatus according to claim 1, wherein the cap unit performs suction of the nozzle. 前記ノズル面をワイピングするワイピングユニットを有し、前記ワイピングユニットは、前記機能液滴吐出ヘッドが前記ヘッド移動軸上を移動して臨む位置に配設されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出装置。   2. A wiping unit for wiping the nozzle surface, wherein the wiping unit is disposed at a position where the functional liquid droplet ejection head moves and faces the head moving axis. 4. The droplet discharge device according to any one of 3 above.
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