JP5236845B2 - Gas suction device and gas detector - Google Patents

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本発明は、ガスが流通するガス流路を備え、前記ガス流路の入口部を介して前記ガス流路にガスを吸引するポンプと、前記ガス流路を流通するガスの流量を検知する流量計とを、前記ガス流路に備えたガス吸引装置及び、そのガス吸引装置を備え、前記ガス流路を流通するガスの特性を検知するガス検知センサを、前記ガス流路の前記ポンプの前記ガスの流れの上流側に備えたガス検知機に関する。  The present invention includes a gas flow path through which a gas flows, a pump that sucks gas into the gas flow path via an inlet of the gas flow path, and a flow rate that detects a flow rate of the gas flowing through the gas flow path. A gas suction device provided in the gas flow path, and a gas detection sensor provided with the gas suction device for detecting characteristics of the gas flowing through the gas flow path. The present invention relates to a gas detector provided on the upstream side of a gas flow.

このような吸引装置は、入口部を介してガス流路にガスを吸引するものである。特に、吸引したガスの特性を検知するガス検知センサを設けたガス検知機の場合、ガス流路に流通するガスに含有されている塵等は、ガス検知センサの検知誤差や寿命の低下の原因となるので、ガス流路の入口部にその塵等を除去するガスフィルタが設けられることがある。  Such a suction device sucks gas into the gas flow path via the inlet. In particular, in the case of a gas detector provided with a gas detection sensor that detects the characteristics of the sucked gas, dust contained in the gas flowing through the gas flow path is a cause of detection errors of the gas detection sensor and a decrease in service life. Therefore, a gas filter that removes dust and the like may be provided at the inlet of the gas flow path.

このようなガス吸引装置において、例えば、ガス流路若しくはガス流路に設けられたガスフィルタにガス中の塵等が詰まったり、がスと共に吸引してしまった水や油や洗浄液等の液体がガス流路の壁面等に付着してその液体に塵等が蓄積されたり、ガス流路を形成する配管が腐食若しくは屈曲してガス流路の一部が閉鎖されてしまうと、ガス流路におけるガスが流通する流路断面積が縮小し、ガスの圧力損失が増加することがある。このように、ガス流路が詰まってしまいガスの圧力損失が増加した場合、ポンプの吸引能力（出力）を増加させないと、ガス流路へ吸引するガスの流量が減少してしまう。そこで、従来において、ガス吸引装置を、フロート型流量計を備えて構成し、ガス流量の低下を目視若しくはフロート型流量計に設けた光センサ等により検出し、ガス流量の低下を検出した場合に手動によりポンプの出力を増加させて、所定の流量になるように調整していた。  In such a gas suction device, for example, a gas flow path or a gas filter provided in the gas flow path is clogged with dust or the like in the gas, or liquid such as water, oil or cleaning liquid sucked together with gas If dust adheres to the wall of the gas channel and accumulates in the liquid, or if the piping that forms the gas channel corrodes or bends and the gas channel is partially closed, In some cases, the cross-sectional area of the flow path through which the gas flows decreases, and the pressure loss of the gas increases. As described above, when the gas flow path is clogged and the gas pressure loss is increased, the flow rate of the gas sucked into the gas flow path is decreased unless the suction capacity (output) of the pump is increased. Therefore, when a gas suction device is conventionally provided with a float type flow meter, and a decrease in the gas flow rate is detected visually or by an optical sensor or the like provided on the float type flow meter, a decrease in the gas flow rate is detected. The pump output was manually increased to adjust to a predetermined flow rate.

発明が解決しようとする課題Problems to be solved by the invention

しかし、手動によりポンプの出力を調整する場合、定期的なガス流量の点検が必要となり、手間がかかり、この流量の低下を監視するための光センサを設けるとコスト高の原因となる。
さらに、ガス流路自身若しくはガス流路に設けられたガスフィルタの詰まり状態の悪化に伴ってガスの圧力損失が増加するので、ポンプの出力を上げすぎて、無理にガスを吸引しようとすると、ポンプのガスの流れの上流側のガス流路が過剰負圧状態となり、ポンプやこの部位に設けられたガス検知センサの破損の発生の虞がある。
よって、このようなガス吸引装置において、ガス流路自身若しくはガス流路に設けられたガスフィルタの詰まり状態を検知する手段が求められていたが、適切な手段はなかった。
従って、本発明は、上記の事情に鑑みて、ガス吸引装置においてポンプを常に好ましい状態で駆動させると共に、ガス流路自身若しくはガス流路に設けられたガスフィルタの詰まり状態を検知可能とし、ガス流路に設けられたポンプ及びガス検知センサの破損を防止することを目的とする。However, when manually adjusting the pump output, it is necessary to periodically check the gas flow rate, which is troublesome, and providing an optical sensor for monitoring the decrease in the flow rate causes a high cost.
Furthermore, as the pressure loss of the gas increases with the deterioration of the clogged state of the gas flow path itself or the gas filter provided in the gas flow path, if the pump output is increased too much and the gas is forced to be sucked, The gas flow path on the upstream side of the pump gas flow is in an excessive negative pressure state, which may cause damage to the pump and the gas detection sensor provided at this portion.
Therefore, in such a gas suction device, means for detecting the clogged state of the gas flow path itself or the gas filter provided in the gas flow path is required, but there is no appropriate means.
Therefore, in view of the above circumstances, the present invention allows the pump in the gas suction device to always be driven in a preferable state, enables detection of the clogged state of the gas flow path itself or the gas filter provided in the gas flow path, It aims at preventing damage to the pump and gas detection sensor provided in the flow path.

課題を解決するための手段Means for solving the problem

【課題を解決するための手段】
〔構成１〕
本発明に係るガス吸引装置は、請求項１に記載したごとく、前記ポンプは、間欠的に供給される印加電圧によって駆動するダイアフラムを備え、前記印加電圧のデューティー比を設定して前記ポンプの出力を設定可能なダイアフラムポンプであり、
前記流量計に、前記検知された流量を流量信号として出力する出力部を設け、
前記出力部から出力される流量信号に基づいて前記ポンプの出力を設定し、前記ガス流路を流通するガスの流量を維持する流量維持手段を備え、
前記流量維持手段で設定されたポンプの出力に対応する前記ガス流路の詰まり状態情報を出力する詰まり状態情報出力手段を備えたことを特徴とする。 [Means for Solving the Problems]
[Configuration 1]
As described in claim 1, the gas suction device according to the present invention includes a diaphragm that is driven by an intermittently supplied applied voltage, and sets the duty ratio of the applied voltage to output the pump. Is a diaphragm pump that can be set
Before SL flowmeter, provided with an output unit for outputting the sensed flow rate as a flow rate signal,
A flow rate maintaining means for setting the output of the pump based on a flow rate signal output from the output unit and maintaining the flow rate of the gas flowing through the gas flow path,
A clogging state information output unit that outputs clogging state information of the gas flow path corresponding to the output of the pump set by the flow rate maintaining unit is provided.

〔作用効果〕
本構成のごとく、前記流量計に前記出力部を設け、前記流量維持手段によって、出力部からの出力される流量信号に基づいて、前記ポンプの出力を設定することで、ガス流路の詰まり状態が変化しても、ガス流路の入口部を介してガス流路に流入するガスの流量を一定の値に維持することができる。 [Function and effect]
As in this configuration, the output unit is provided in the flow meter, and the output of the pump is set based on the flow rate signal output from the output unit by the flow rate maintaining means, thereby clogging the gas flow path. Even if changes, the flow rate of the gas flowing into the gas channel via the inlet of the gas channel can be maintained at a constant value .

そこで、このように設定されたポンプの出力は、ガス流路の詰まり状態にほぼ比例した値となるので、詰まり状態情報出力手段によって、設定されたポンプの出力に対応するガスの詰まり状態情報を出力することで、簡単にガス流路の詰まり状態を認識でき、たとえば詰まり状態が所定の状態まで悪化した時に、ガス流路の清掃若しくはガス流路を構成する部品の交換等のメンテナンスを適切に行うことができ、ポンプの上流側のガス流路の過剰負圧を抑制することができる。Therefore, since the pump output set in this way has a value substantially proportional to the clogged state of the gas flow path, the clogged state information output means provides the clogged state information corresponding to the set pump output. By outputting, the clogged state of the gas flow path can be easily recognized.For example, when the clogged state deteriorates to a predetermined state, maintenance such as cleaning of the gas flow path or replacement of parts constituting the gas flow path is appropriately performed. It is possible to suppress the excessive negative pressure in the gas flow path upstream of the pump.

また、本構成のごとく、ポンプをダイアフラムポンプとして構成した場合、印加電圧のデューティー比（１周期における電圧印加時間の比率）を設定して、ダイアフラムの１往復駆動における吸引時間割合を設定し、ポンプの出力を設定することができる。Moreover, when the pump is configured as a diaphragm pump as in this configuration, the duty ratio of the applied voltage (the ratio of the voltage application time in one cycle) is set, the suction time ratio in one reciprocating drive of the diaphragm is set, and the pump Output can be set.
よって、前記詰まり状態情報出力手段によって、ポンプに対する印加電圧のデューティー比を検出し、そのデューティー比に基づいた情報を詰まり状態情報として出力することができ、簡単な構成で、ガス流路の詰まり状態を認識することTherefore, the clogging state information output means can detect the duty ratio of the voltage applied to the pump, and can output information based on the duty ratio as clogging state information. To recognize
ができる本発明のガス吸引装置を実現することができる。Thus, the gas suction device of the present invention capable of achieving the above can be realized.

〔構成２〕[Configuration 2]
本発明に係るガス吸引装置は、請求項２に記載したごとく、上記構成１のガス吸引装置の構成に加えて、前記ガス流路の入口部に、ガスフィルタを備えたことを特徴とする。As described in claim 2, the gas suction device according to the present invention is characterized in that, in addition to the configuration of the gas suction device of the first configuration, a gas filter is provided at the inlet of the gas flow path.

〔作用効果〕[Function and effect]
特に、本発明のガス吸引装置は、本構成のごとく、ガス流路の入口部にガス中の塵等を除去するためのガスフィルタを設けた場合においても、簡単にガスフィルタの目詰まり状態を認識でき、ガスフィルタの目詰まり状態が所定の状態まで悪化した時に、ガスフィルタの交換若しくは清掃等を適切に行うことができ、ガスフィルタとポンプの間のガス流路の過剰負圧を抑制することができる。In particular, the gas suction device according to the present invention can easily clog the gas filter even when a gas filter for removing dust or the like in the gas is provided at the inlet of the gas flow path as in this configuration. When the clogged state of the gas filter has deteriorated to a predetermined state, the gas filter can be replaced or cleaned appropriately, and excessive negative pressure in the gas flow path between the gas filter and the pump is suppressed. be able to.

〔構成３〕
本発明に係るガス吸引装置は、請求項３に記載したごとく、上記構成１又は２のガス吸引装置の構成に加えて、前記詰まり状態情報出力手段に、前記ポンプの出力が所定の警告情報値まで上昇したときに、前記ガス流路の詰まり警告情報を発する警告情報部を設けてあることを特徴とする。 [Configuration 3 ]
According to the gas suction device of the present invention, as described in claim 3 , in addition to the configuration of the gas suction device of the first or second configuration, the output of the pump outputs a predetermined warning information value to the clogging state information output means. A warning information section is provided that issues warning information on clogging of the gas flow path when the gas flow rate is raised.

〔作用効果〕
本構成のごとく、前記警告情報部を前記詰まり状態情報出力手段に設けることで、ガス流路自身若しくはガスフィルタの詰まり状態が、メンテナンス等が必要となる状態に対応するポンプの出力を前記警告情報値として設定し、ポンプの出力がその警告情報値となった時点で、警報アラーム若しくはランプ等の警告情報によって警告情報を発することができ、その警告情報に基づいて、ガスフィルタのメンテナンス等を行うことができ、常にガス流路を好ましい状態として、ガスを吸引することができる。[Function and effect]
As in this configuration, by providing the warning information section in the clogging state information output means, the clogging state of the gas flow path itself or the gas filter indicates the pump output corresponding to the state where maintenance or the like is required. When the pump output reaches the warning information value, warning information can be issued by warning information such as an alarm alarm or lamp, and gas filter maintenance is performed based on the warning information The gas can be sucked with the gas flow path always in a preferable state.

〔構成４〕
本発明に係るガス吸引装置は、請求項４に記載したごとく、上記構成１から３の何れかのガス吸引装置の構成に加えて、ガス流量維持手段が、前記ポンプの出力を、所定の出力限界値以下に設定することを特徴とする。 [Configuration 4 ]
According to the gas suction device of the present invention, as described in claim 4 , in addition to the configuration of the gas suction device according to any one of the first to third configurations, the gas flow rate maintaining means outputs the output of the pump to a predetermined output. It is characterized by being set below the limit value.

〔作用効果〕
ガス流量設定手段によってガス流路自身若しくはガスフィルタの詰まりの進行にしたがって、ポンプの出力を増加するのであるが、ポンプの出力を増加しすぎると、ポンプの上流側のガス流路において過剰負圧が発生し、ポンプ若しくはガス検知センサ等の破損の原因となるので、本構成の如く、ポンプの出力の出力限界値を予め設定しておき、その出力限界値までポンプの出力が増加されたときに、ポンプの出力をその出力限界値に維持する、若しくは低下させるように構成することができ、ガス流路の過剰負圧状態を自動で回避することができる。[Function and effect]
The gas flow rate setting means increases the pump output as the gas flow passage itself or the gas filter becomes clogged. If the pump output is increased too much, excessive negative pressure is generated in the gas flow passage upstream of the pump. If the pump output limit value is set in advance and the pump output is increased to the output limit value as in this configuration, the pump or gas detection sensor will be damaged. In addition, the output of the pump can be maintained or reduced to the output limit value, and an excessive negative pressure state of the gas flow path can be automatically avoided.

〔構成５〕
本発明に係るガス検知機は、請求項５に記載したごとく、前記請求項１から４の何れか１項に記載のガス吸引装置を備え、前記ガス流路を流通するガスの特性を検知するガス検知センサを、前記ガス流路の前記ポンプの前記ガスの流れの上流側に備えたことを特徴とする。 [Configuration 5 ]
As described in claim 5 , a gas detector according to the present invention includes the gas suction device according to any one of claims 1 to 4 , and detects a characteristic of gas flowing through the gas flow path. A gas detection sensor is provided on the upstream side of the gas flow of the pump in the gas flow path.

〔作用効果〕
これまで説明してきたガス吸引装置は、本構成のごとく、ガス検知機に設けることが好ましく、ガス流路自身若しくはガスフィルタの詰まり状態を検知することができるので、ガス検知センサに過剰負圧がかかることを回避して、ガス検知センサの破損等を防止することができ、また、ガス検知センサの供給されるガスの流量を常に一定に維持することができ、検知精度を安定したものにすることができる。[Function and effect]
The gas suction device described so far is preferably provided in the gas detector as in this configuration, and can detect the clogged state of the gas flow path itself or the gas filter. By avoiding this, the gas detection sensor can be prevented from being damaged, and the flow rate of the gas supplied to the gas detection sensor can always be kept constant, and the detection accuracy can be stabilized. be able to.

本発明のガス吸引装置２及びそれを備えたガス検知機１の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
図１に示すガス検知機１は、入口部にガスフィルタ４が設けられたガス流路３を備え、ガスフィルタ４を介してガス流路３にガスＧを吸引するポンプ６と、ガス流路３を流通するガスＧの流量を検知するフローセンサ５とを、ガス流路３に備えたガス吸引装置３が設けられ、ガス流路３内のガスＧの特性を検知するガス検知センサ７を、ガス流路３のガスフィルタ３とポンプ６の間に備えたものであり、ポンプ６を駆動させてガスフィルタ４を介してガス流路３にガスＧを吸引し、吸引されたガスＧの特性をガス検知センサ７によって検知し、ガス検知センサ７に接続されているガス検知センサ駆動回路１０から制御器８へ検知結果を出力するように構成されている。An embodiment of a gas suction device 2 and a gas detector 1 having the same according to the present invention will be described with reference to the drawings.
A gas detector 1 shown in FIG. 1 includes a gas flow path 3 in which a gas filter 4 is provided at an inlet, a pump 6 that sucks a gas G into the gas flow path 3 through the gas filter 4, and a gas flow path A gas suction device 3 provided in the gas flow path 3 with a flow sensor 5 for detecting the flow rate of the gas G flowing through the gas flow path 3, and a gas detection sensor 7 for detecting the characteristics of the gas G in the gas flow path 3 , Provided between the gas filter 3 and the pump 6 in the gas flow path 3, the pump 6 is driven to suck the gas G into the gas flow path 3 through the gas filter 4, and the sucked gas G The characteristic is detected by the gas detection sensor 7, and the detection result is output from the gas detection sensor drive circuit 10 connected to the gas detection sensor 7 to the controller 8.

また、フローセンサ５は、フローセンサ駆動回路９に接続されており、フローセンサ駆動回路９は、検知された流量を流量信号として制御器８へ出力する出力部とされている。  The flow sensor 5 is connected to a flow sensor drive circuit 9, and the flow sensor drive circuit 9 is an output unit that outputs the detected flow rate to the controller 8 as a flow rate signal.

ガス検知機１に設けられているポンプ６は、図２に示すように、間欠的に供給される印加電圧によって駆動するダイアフラム６３を備え、印加電圧のデューティー比を設定して出力を設定可能なダイアフラムポンプであり、詳しくは、ガス吸引部６１とガス排出部６２とに接続されたガス室６８と、ガス室６８を形成し、往復運動によってガス室６８の容積を変更自在なダイアフラム６３と、前記ダイアフラム６３を往復運動させる揺動部６５と、遥動部６５の先端に設けられた永久磁石６４と、前記永久磁石６４に対して設けられた１対の電磁石６６ａ，６６ｂとを備え、制御器８に設けられたポンプ駆動回路６７から前記電磁石６６に印加電圧を印加し、前記電磁石６６ａ，６６ｂの交互の励磁により永久磁石６４を設けた揺動部６５が揺動し、それに伴ってダイアフラム６３が往復運動して、前記ガス室６８においてガスＧの吸引と排出を間欠的に行い、ガスを吸引部６１からガス排出部６２に送ることができる。
このようなポンプ６において、出力（ガスＧの吸引能力）を調整するときは、図３に示す電磁石６６ａに対する印加電圧の状態に示すように、電磁石６６ａにおいて、電圧印加時間Ｔｏｎにおいてはダイアフラム６３がガス室６８を膨らませてガスＧを吸引し、電圧不印加時間Ｔｏｆｆにおいてはダイアフラム６３がガス室６８をすぼめてガスＧを排出するのであるが、このような構成の場合、ポンプの出力は、１周期Ｔ（＝Ｔｏｎ＋Ｔｏｆｆ）における電圧印加時間Ｔｏｎの割合Ｔｏｎ／Ｔであるデューティー比に比例するので、このデューティー比Ｔｏｎ／Ｔを設定することで、ポンプ出力を設定することができる。As shown in FIG. 2, the pump 6 provided in the gas detector 1 includes a diaphragm 63 that is driven by an intermittently supplied applied voltage, and can set the output by setting the duty ratio of the applied voltage. A diaphragm pump, specifically, a gas chamber 68 connected to the gas suction unit 61 and the gas discharge unit 62, a gas chamber 68, and a diaphragm 63 capable of changing the volume of the gas chamber 68 by reciprocating motion; A swinging part 65 for reciprocating the diaphragm 63, a permanent magnet 64 provided at the tip of the swinging part 65, and a pair of electromagnets 66a and 66b provided for the permanent magnet 64 are provided and controlled. An oscillating portion 65 provided with a permanent magnet 64 by applying an applied voltage to the electromagnet 66 from a pump drive circuit 67 provided in the device 8 and alternately exciting the electromagnets 66a and 66b is provided. Dynamic and, the diaphragm 63 is reciprocated along with it, intermittently Evacuate the suction of gas G in the gas chamber 68, it is possible to send the gas from the suction unit 61 to the gas exhaust unit 62.
In such a pump 6, when adjusting the output (gas G suction ability), as shown in the state of the applied voltage to the electromagnet 66a shown in FIG. The gas chamber 68 is inflated to suck the gas G, and during the voltage non-application time Toff, the diaphragm 63 squeezes the gas chamber 68 and discharges the gas G. In such a configuration, the pump output is 1 Since it is proportional to the duty ratio which is the ratio Ton / T of the voltage application time Ton in the cycle T (= Ton + Toff), the pump output can be set by setting this duty ratio Ton / T.

そこで、ポンプ駆動回路６７は、流量維持手段６７ａとして、フローセンサ駆動回路９から出力される流量信号に基づいてポンプの出力を設定し、ガス流路３を流通するガスＧの流量を所定の流量に維持するように構成されており、ガスフィルタ４にガスＧ中の塵等が詰まり、ガスＧを吸引し難い状態となっても、ポンプ６の出力、言換えれば電磁石６６ａに印加する印加電流のデューティー比Ｔｏｎ／Ｔを増加させてガスＧの流量を一定に保つことができる。  Therefore, the pump drive circuit 67 sets the output of the pump as the flow rate maintaining means 67a based on the flow rate signal output from the flow sensor drive circuit 9, and sets the flow rate of the gas G flowing through the gas flow path 3 to a predetermined flow rate. Even if the gas filter 4 is clogged with dust or the like in the gas G and it is difficult to suck the gas G, the applied current applied to the output of the pump 6, in other words, the electromagnet 66a. The flow rate of the gas G can be kept constant by increasing the duty ratio Ton / T.

このように、流量維持手段６７ａによって、ポンプ６の出力をガスＧの流量が一定となるように調整した場合、図４に示すように、設定されるポンプ６の出力としての印加電圧のデューティー比Ｔｏｎ／Ｔは、特にガスフィルタ４の目詰まり状態が進行程度に比例して増加することになり、さらに、ポンプ６の出力を増加させると、ガスフィルタ４からポンプ６までのガス流路３の負圧が増加することになり、その負圧の増加が過剰となると、前記ガス検知センサ７やポンプ６の破損を招くことになる。  Thus, when the output of the pump 6 is adjusted by the flow rate maintaining means 67a so that the flow rate of the gas G is constant, the duty ratio of the applied voltage as the output of the pump 6 that is set as shown in FIG. In particular, Ton / T indicates that the clogged state of the gas filter 4 increases in proportion to the progress, and further, when the output of the pump 6 is increased, the gas flow path 3 from the gas filter 4 to the pump 6 is increased. If the negative pressure increases and the negative pressure increases excessively, the gas detection sensor 7 and the pump 6 are damaged.

そこで、制御器８には、詰まり状態情報出力手段１１が設けられ、詰まり状態情報出力手段１１は流量維持手段６７ａで設定されたポンプ６の出力に対応するガスフィルタ４の詰まり状態情報を出力するように構成され、詳しくは、ポンプ６の印加電圧のデューティー比Ｔｏｎ／Ｔに比例した信号を、表示器（図示せず）に表示するように構成されており、ガスフィルタ４の目詰まり状態を認識することができ、ガス流路３の負圧の増加を認識して、ガスフィルタ４のメンテナンス等を行うことができる。  Therefore, the controller 8 is provided with clogging state information output means 11, and the clogging state information output means 11 outputs clogging state information of the gas filter 4 corresponding to the output of the pump 6 set by the flow rate maintaining means 67a. Specifically, the signal proportional to the duty ratio Ton / T of the applied voltage of the pump 6 is displayed on a display (not shown), and the clogged state of the gas filter 4 is indicated. The gas filter 4 can be maintained by recognizing an increase in the negative pressure of the gas flow path 3.

さらに、詰まり状態情報出力手段１１には、ポンプ６の出力としてのポンプ６の印加電圧のデューティー比Ｔｏｎ／Ｔが所定の警報値（警告情報値）まで上昇したときに、ガスフィルタの目詰まり警報（警告情報）を発する警報部１１ａ（警告情報部）が設けられており、またさらに、ポンプ駆動回路６７のガス流量維持手段６７ａは、前記ポンプの出力としてのポンプ６の印加電圧のデューティー比Ｔｏｎ／Ｔを、前記警報値よりも高い所定の出力限界値以下に設定するように構成されており、ガス流路３の負圧が過剰に増加するのを自動的に抑制することができる。  Further, the clogging state information output means 11 includes a gas filter clogging alarm when the duty ratio Ton / T of the applied voltage of the pump 6 as the output of the pump 6 rises to a predetermined alarm value (warning information value). An alarm unit 11a (warning information unit) that emits (warning information) is provided, and the gas flow rate maintaining means 67a of the pump drive circuit 67 further includes a duty ratio Ton of the applied voltage of the pump 6 as the output of the pump. / T is set to be equal to or lower than a predetermined output limit value higher than the alarm value, and an excessive increase in the negative pressure of the gas flow path 3 can be automatically suppressed.

詳しくは、図５に示すポンプ出力とガス流量とガス流路負圧状態との関係に示すように、前述のように、ガスフィルタ４の目詰まりが進行するに連れて、ガス流路３の負圧が増加するのであるが、ポンプ出力が前述の出力限界値になるまでは、ガス流路３の負圧の増加しても、ガスＧの流量を一定にする維持するためにポンプ６の出力を増加させる。このようなポンプの出力限界値は、ガス流路３の負圧が、ガス検知センサ５が破損する耐負圧値（例えば−５ｋＰａ）以下となる負圧限界値（例えば−３ｋＰａ）に対応するポンプの出力として設定される。
また、ガス流路３が前記負圧限界値以下の負圧警報値（例えば−１ｋＰａ）になると、詰まり状態情報出力手段１１によってアラーム等の警報（警告情報）を発するように、前記負圧警報値に対応するポンプ出力が警報値として設定されている。Specifically, as shown in the relationship between the pump output, the gas flow rate, and the gas flow path negative pressure state shown in FIG. 5, as the clogging of the gas filter 4 progresses as described above, Although the negative pressure increases, in order to keep the flow rate of the gas G constant even if the negative pressure of the gas flow path 3 increases until the pump output reaches the above-mentioned output limit value. Increase output. The pump output limit value corresponds to a negative pressure limit value (for example, −3 kPa) at which the negative pressure in the gas flow path 3 is equal to or lower than a negative pressure resistance value (for example, −5 kPa) at which the gas detection sensor 5 is damaged. Set as output.
Further, when the gas flow path 3 reaches a negative pressure alarm value (for example, -1 kPa) that is equal to or lower than the negative pressure limit value, the clogging state information output means 11 issues an alarm (warning information) such as an alarm. The pump output corresponding to the value is set as an alarm value.

〔別実施の形態〕
次に、本発明の別の実施の形態を図面に基づいて説明する。
〈１〉 上記の実施の形態において、本発明のガス吸引装置２として、ガス流路３の入口部にガスフィルタ４を設け、ガスフィルタの目詰まり状態を目詰まり状態情報出力手段１１により認識するように構成したが、別に、本発明のガス吸引装置２として、前記ガスフィルタ４を設けない場合においても、詰まり状態情報出力手段１１により、ガス流路における塵等の蓄積、腐食その他の要因によるガス流路の部分的な閉鎖等の詰まりを認識することができる。また、このようにガスフィルタを設けないガス吸引装置としては、たとえば、ガス検知センサにおいて少量のＣＬ2，ＨＦ，ＮＨ3を検知するために、ガスフィルタにおけるガスの吸着が懸念されるものや、その他のガスフィルタを容易に設けることができない箇所へ設置されるガス吸引装置等を挙げることができる。[Another embodiment]
Next, another embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
<1> In the above embodiment, as the gas suction device 2 of the present invention, the gas filter 4 is provided at the inlet of the gas flow path 3, and the clogged state of the gas filter is recognized by the clogged state information output means 11. Even if the gas filter 4 is not provided as the gas suction device 2 of the present invention, the clogging state information output means 11 causes the accumulation of dust and the like in the gas flow path, corrosion, and other factors. It is possible to recognize clogging such as partial closing of the gas flow path. Further, as a gas suction device without a gas filter in this way, for example, in order to detect a small amount of CL 2 , HF, NH 3 in the gas detection sensor, there is a concern about gas adsorption in the gas filter, Examples thereof include a gas suction device installed in a place where other gas filters cannot be easily provided.

〈２〉 上記の実施の形態において、本発明のガス吸引装置２としてガス検知機１に設けた例を示したが、本発明のガス吸引装置は、ガス検知機１以外の、ガスＧをガス流路へ吸引するポンプにおいてガス流路自身若しくはガス流路に設けられたガスフィルタの詰まり状態を検知する必要があるものに採用することができる。<2> In the above embodiment, the gas detector 1 is provided as the gas suction device 2 of the present invention. However, the gas suction device of the present invention uses the gas G other than the gas detector 1 as gas. It is possible to employ a pump that sucks into the flow path that needs to detect the clogged state of the gas flow path itself or a gas filter provided in the gas flow path.

〈３〉 上記の実施の形態において、ポンプを印加電圧のデューティー比設定によって出力を設定可能なダイアフラムポンプとして構成したが、ポンプを別の出力設定可能なポンプとして構成することができる。<3> In the above embodiment, the pump is configured as a diaphragm pump whose output can be set by setting the duty ratio of the applied voltage. However, the pump can be configured as a pump capable of setting another output.

〈４〉 上記の実施の形態において、詰まり状態情報出力手段１１として、詰まり状態情報としてポンプの出力に比例する信号を表示する表示器を設けて構成したが、別に、詰まり状態情報として前記ポンプの出力に比例して点灯するランプの数を増加させるように構成してもよい。<4> In the above embodiment, the clogging state information output means 11 is provided with a display that displays a signal proportional to the pump output as the clogging state information. You may comprise so that the number of the lamps lighted in proportion to an output may be increased.

本発明に係るガス吸引装置を備えたガス検知機の実施の形態を示す概略構成図  The schematic block diagram which shows embodiment of the gas detector provided with the gas suction apparatus which concerns on this invention 図１に示すポンプの構成を示す概略構成図  Schematic configuration diagram showing the configuration of the pump shown in FIG. ポンプの電磁石に対する印加電圧の状態を示すグラフ図  The graph which shows the state of the applied voltage to the electromagnet of the pump 詰まり状態とポンプの出力との関係を示すグラフ図  Graph showing the relationship between the clogged state and the pump output ポンプ出力とガス流量とガス流路負圧状態との関係を示すグラフ図  Graph showing the relationship between pump output, gas flow rate, and gas channel negative pressure state

１ ガス検知機
２ ガス吸引装置
３ ガス流路
４ ガスフィルタ
５ フローセンサ（流量計）
６ ポンプ（ダイアフラムポンプ）
７ ガス検知センサ
８ 制御器
９ フローセンサ駆動回路（出力部）
１０ ガス検知センサ駆動回路
１１ 詰まり状態情報出力手段
１１ａ 警報部（警告情報部）
６３ ダイアフラム
６７ ポンプ駆動回路
６７ａ 流量維持手段
Ｇ ガスDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Gas detector 2 Gas suction device 3 Gas flow path 4 Gas filter 5 Flow sensor (flow meter)
6 Pump (diaphragm pump)
7 Gas detection sensor 8 Controller 9 Flow sensor drive circuit (output unit)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Gas detection sensor drive circuit 11 Clogging state information output means 11a Alarm part (warning information part)
63 Diaphragm 67 Pump drive circuit 67a Flow rate maintaining means G Gas

Claims (5)

ガスが流通するガス流路を備え、前記ガス流路の入口部を介して前記ガス流路にガスを吸引するポンプと、前記ガス流路を流通するガスの流量を検知する流量計とを、前記ガス流路に備えたガス吸引装置であって、
前記ポンプは、間欠的に供給される印加電圧によって駆動するダイアフラムを備え、前記印加電圧のデューティー比を設定して前記ポンプの出力を設定可能なダイアフラムポンプであり、
前記流量計に、前記検知された流量を流量信号として出力する出力部を設け、
前記出力部から出力される流量信号に基づいて前記ポンプの出力を設定し、前記ガス流路を流通するガスの流量を維持する流量維持手段を備え、
前記流量維持手段で設定された前記ポンプの出力に対応する前記ガス流路の詰まり状態情報を出力する詰まり状態情報出力手段を備えたガス吸引装置。
A gas flow path through which the gas flows, a pump for sucking the gas into the gas flow path through an inlet of the gas flow path, and a flow meter for detecting the flow rate of the gas flowing through the gas flow path, A gas suction device provided in the gas flow path,
The pump includes a diaphragm that is driven by an intermittently supplied applied voltage, and is a diaphragm pump that can set a duty ratio of the applied voltage and set an output of the pump.
The flow meter is provided with an output unit that outputs the detected flow rate as a flow signal,
A flow rate maintaining means for setting the output of the pump based on a flow rate signal output from the output unit and maintaining the flow rate of the gas flowing through the gas flow path,
Gas suction device provided with a clogging state information outputting means for outputting jamming status information of the gas flow path corresponding to the output of the pump set by the flow rate maintaining means.
前記ガス流路の入口部に、ガスフィルタを備えた請求項１に記載のガス吸引装置。
The gas suction device according to claim 1, further comprising a gas filter at an inlet of the gas flow path.
前記詰まり状態情報出力手段に、前記ポンプの出力が所定の警告情報値まで上昇したときに、前記ガス流路の詰まり警告情報を発する警告情報部を設けてある請求項１又は２に記載のガス吸引装置。
 3. The gas according to claim 1, wherein the clogging state information output means is provided with a warning information section that issues clogging warning information of the gas flow path when the output of the pump rises to a predetermined warning information value. Suction device.
ガス流量維持手段が、前記ポンプの出力を、所定の出力限界値以下に設定する請求項１から３の何れか１項に記載のガス吸引装置。
The gas suction device according to any one of claims 1 to 3 , wherein the gas flow rate maintaining means sets the output of the pump to a predetermined output limit value or less.
前記請求項１から４の何れか１項に記載のガス吸引装置を備え、前記ガス流路を流通するガスの特性を検知するガス検知センサを、前記ガス流路の前記ポンプの前記ガスの流れの上流側に備えたガス検知機。 A gas detection sensor comprising the gas suction device according to any one of claims 1 to 4 and detecting a characteristic of a gas flowing through the gas flow path, wherein the gas flow of the pump in the gas flow path Gas detector installed on the upstream side.
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