JP2005279575A - Clean bench - Google Patents

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Yuichi Tamaoki
裕一 玉置
Yasuhiro Kikuchi
靖寛 菊地
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Biomedical Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clean bench that can quickly annunciate an abnormal situation on alarm action by a control device when a cleanness sensor detects lower cleanness in a working space than a specified value. <P>SOLUTION: The clean bench 1 is equipped with the working space 6 having an opening 4A for inserting fingers therethrough at the front, a blower 11 to supply the working space 6 with clean air through a high-performance filter 9 for supply air, a channel 7 through which air is suctioned from the working space 6 by the blower 11 and a discharge channel 14 located on the downstream side of the blower 11 through which air is discharged outside via a high-performance filter 19 for exhaust air. The clean bench is also equipped with the control device 24 to control operation of the blower 11 and the cleanness sensor 30 to measure air cleanness in the working space 6. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、作業空間外部に危険な薬品或いは微生物や細菌等が漏れ出てしまうのを防止するクリーンベンチに関するものである。   The present invention relates to a clean bench that prevents dangerous chemicals, microorganisms, bacteria, or the like from leaking outside a work space.

従来より薬品或いは微生物や細菌等の危険な試料を取り扱うために筺体内に作業空間を形成したクリーンベンチやバイオセーフティキャビネットなどが知られている(特許文献1参照)。このようなクリーンベンチなどは、危険な試料に接触した空気の大部分を給気用の高性能フィルタを通過させることにより清浄して作業空間に吹き出し、一部を排気用の高性能フィルタを介してキャビネット外に排出していた。そして、常に作業空間内の圧力を外部より低くして外部の空気を作業空間内に導き、それによって、作業空間内の試料と接触した空気が前記排気用の高性能フィルタを通らずに外部に排出されることがないように構成していた。   Conventionally, a clean bench, a biosafety cabinet, and the like in which a working space is formed in a housing for handling dangerous samples such as drugs or microorganisms and bacteria are known (see Patent Document 1). Such a clean bench is cleaned by passing most of the air in contact with a dangerous sample through a high-performance filter for air supply and blows it out to the work space, and part of the air passes through a high-performance filter for exhaust. Was discharged outside the cabinet. Then, the pressure in the working space is always lower than the outside and the outside air is guided into the working space, so that the air that has come into contact with the sample in the working space goes outside without passing through the high-performance exhaust filter. It was configured not to be discharged.

特開2002−321174号公報JP 2002-321174 A

しかしながら、作業空間内の空気を清浄するための高性能フィルタと作業空間を形成する本体とのシールが不完全の場合、或いは、高性能フィルタに孔が開いてしまっている場合などは作業空間内の清浄度を規定値以内に確保できない。また、高性能フィルタと本体とのシールの不完全や、高性能フィルタに孔が開いていなくても、作業空間内に発埃物や層流を妨げるものがあると、作業空間の清浄度が確保できない。この清浄度は目に見えないためコンタミネーションを起こしてからでないと清浄度の低下に気が付かなかった。このため、作業空間内の清浄度の低下の原因が、クリーンベンチの装置によるものか、或いは、操作上のものか分からないという問題があった。   However, if the seal between the high-performance filter for cleaning the air in the work space and the main body that forms the work space is incomplete, or if the high-performance filter has a hole in the work space, etc. The cleanliness of can not be secured within the specified value. In addition, if the high-performance filter and the main body are imperfectly sealed or if there is something in the work space that prevents dust or laminar flow even if the high-performance filter has no holes, the cleanliness of the work space will be reduced. It cannot be secured. Since this cleanliness was invisible, it was not possible to notice a decrease in cleanliness after contamination had occurred. For this reason, there is a problem that it is not known whether the cause of the decrease in the cleanliness in the work space is due to the device of the clean bench or the operation.

また、クリーンベンチの運転開始後数分間は、作業空間内の空気が充分入れ替わらず、その間は規定の清浄度に達していないことがあった。このため、クリーンベンチの運転開始後どの位の時間経過してから作業空間内が規定の清浄度に達するのか分からないという問題があった。   In addition, for a few minutes after the start of the operation of the clean bench, the air in the work space is not sufficiently replaced, and the prescribed cleanliness may not be reached during that time. For this reason, there has been a problem that it is not known how long after the start of the operation of the clean bench it will reach the prescribed cleanliness in the work space.

また、クリーンベンチの作業空間内の空気の清浄化を行うためには充分な風量を確保する必要があるため、作業空間内の風速は通常速めに設定されていた。このため、作業空間内で粉末の医薬品などを扱う場合では、風によって粉末が飛散し作業性が悪化してしまうという問題もあった。   In addition, since it is necessary to secure a sufficient air volume in order to clean the air in the work space of the clean bench, the air speed in the work space is set to be usually higher. For this reason, in the case of handling powdered pharmaceuticals or the like in the work space, there is a problem that the powder is scattered by the wind and the workability is deteriorated.

本発明は、係る従来技術の課題を解決するために成されたものであり、清浄度センサにより検出した作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、制御装置にて警報動作を実行して異常を迅速に報知することができるクリーンベンチを提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the problems of the related art. When the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor falls below a specified value, an alarm operation is executed by the control device. It is an object of the present invention to provide a clean bench capable of promptly reporting abnormalities.

即ち、本発明のクリーンベンチは、前面に手指挿入用の開口部を有した作業空間と、この作業空間に給気用の高性能フィルタを介して清浄空気を供給する送風機と、作業空間から流出した空気を送風機により吸引する連通路と、送風機の風下側に配置され、排気用の高性能フィルタを介して外部に空気を排出する排出路とを備えたものであって、送風機の運転を制御する制御装置と、作業空間内の空気の清浄度を測定する清浄度センサを備えたことを特徴とする。   That is, the clean bench according to the present invention includes a work space having a finger insertion opening on the front surface, a blower for supplying clean air to the work space through a high-performance filter for supplying air, and an outflow from the work space. A communication passage that sucks the air that has been discharged by the blower and a discharge passage that is arranged on the leeward side of the blower and exhausts the air to the outside through a high-performance filter for exhaust, and controls the operation of the blower And a cleanliness sensor for measuring the cleanliness of the air in the work space.

また、請求項2の発明のクリーンベンチは、上記において、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行することを特徴とする。   In the clean bench of the invention of claim 2, in the above, the control device performs a predetermined alarm operation when the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor falls below a specified value. Features.

また、請求項3の発明のクリーンベンチは、上記各発明において、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度に基づいて送風機の回転数を制御することを特徴とする。   The clean bench according to a third aspect of the present invention is characterized in that, in each of the above inventions, the control device controls the rotational speed of the blower based on the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor.

また、請求項4の発明のクリーンベンチは、請求項3において、制御装置は、清浄度センサにより検出される作業空間内の清浄度が所定の値となるように送風機の回転数を制御することを特徴とする。   The clean bench according to claim 4 is the clean bench according to claim 3, wherein the control device controls the rotational speed of the blower so that the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor becomes a predetermined value. It is characterized by.

また、請求項5の発明のクリーンベンチは、上記各発明に加えて、表示装置を備え、制御装置は清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度を表示装置にて表示し、及び/又は、当該清浄度に関するデータを外部に出力することを特徴とする。   In addition to the above inventions, the clean bench of the invention of claim 5 is provided with a display device, and the control device displays the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor on the display device, and / or Or the data regarding the said cleanliness is output outside.

また、請求項6の発明のクリーンベンチは、請求項5に加えて、作業空間内の温度を検出する温度センサを備え、制御装置は温度センサにより検出された作業空間内の温度を表示装置にて表示し、及び/又は、当該温度に関するデータを外部に出力することを特徴とする。   In addition to the fifth aspect, the clean bench according to the sixth aspect includes a temperature sensor for detecting the temperature in the work space, and the control device displays the temperature in the work space detected by the temperature sensor on the display device. And / or outputting data relating to the temperature to the outside.

また、請求項7の発明のクリーンベンチ、上記各発明に加えて、作業空間内の複数カ所に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、制御装置は、この測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、清浄度センサによって作業空間内の複数カ所の清浄度を測定することを特徴とする。   Further, in addition to the clean bench according to the invention of claim 7, in addition to the above-described inventions, the measurement flow path switching for selectively sucking air from a plurality of suction portions provided in a work space and supplying it to the cleanliness sensor And a control device that measures the cleanliness of a plurality of locations in the work space by a cleanliness sensor by switching the flow path of the measurement flow path switching device.

また、請求項8の発明のクリーンベンチは、請求項7において、制御装置は、作業空間内の複数カ所の清浄度の平均値を算出し、この平均値が規定値以下に低下した場合に、所定の警報動作を実行することを特徴とする。   The clean bench of the invention of claim 8 is the clean bench according to claim 7, wherein the control device calculates an average value of cleanliness at a plurality of locations in the work space, and when this average value falls below a specified value, A predetermined alarm operation is executed.

また、請求項9の発明のクリーンベンチは、請求項7又は請求項8において、測定用流路切替装置は、清浄度センサを経た空気を、吸引部よりも空気下流側の位置に排出することを特徴とする。   The clean bench according to claim 9 is the clean channel according to claim 7 or claim 8, wherein the measurement flow path switching device discharges the air that has passed through the cleanliness sensor to a position downstream of the suction unit. It is characterized by.

また、請求項10の発明のクリーンベンチは、上記各発明に加えて、作業空間内と排気用の高性能フィルタを経た位置に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、制御装置は、この測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、清浄度センサによって作業空間内と排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度を測定することを特徴とする。   In addition to the above inventions, the clean bench of the invention of claim 10 alternatively sucks air from a suction part provided in the work space and a position after passing through a high-performance exhaust filter, and a cleanliness sensor The control device switches the flow channel of the measurement flow channel switching device to supply air to the work space and cleans the air that has passed through the high-performance filter for exhaust by the cleanliness sensor. It is characterized by measuring the degree.

また、請求項11の発明のクリーンベンチは、請求項10において、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行すると共に、清浄度センサにより検出された排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度が規定値以下に低下した場合、作業空間内の清浄度に関する警報とは区別した所定の警報動作を実行することを特徴とする。   The clean bench according to an eleventh aspect of the present invention is the clean bench according to the tenth aspect, wherein the control device performs a predetermined alarm operation when the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor falls below a specified value. At the same time, when the cleanliness of the air that has passed through the high-performance filter for exhaust gas detected by the cleanliness sensor falls below the specified value, a predetermined alarm operation that is distinct from the alarm regarding the cleanliness in the work space is executed. It is characterized by.

また、請求項12の発明のクリーンベンチは、上記各発明に加えて、作業空間内の空気を吸引して清浄度センサに供給するための吸引部を有し、この吸引部には延長用の空気吸引パイプを接続可能としたことを特徴とする。   In addition to the above inventions, the clean bench of the invention of claim 12 has a suction part for sucking air in the work space and supplying it to the cleanliness sensor, and this suction part is for extension. An air suction pipe can be connected.

また、請求項13の発明のクリーンベンチは、上記各発明において、清浄度センサには、手指挿入用の開口部近傍の空気を供給しないことを特徴とする。   The clean bench according to a thirteenth aspect of the present invention is characterized in that, in each of the above inventions, the air near the opening for inserting a finger is not supplied to the cleanliness sensor.

以上詳述した如く本発明によれば、前面に手指挿入用の開口部を有した作業空間と、この作業空間に給気用の高性能フィルタを介して清浄空気を供給する送風機と、作業空間から流出した空気を送風機により吸引する連通路と、送風機の風下側に配置され、排気用の高性能フィルタを介して外部に空気を排出する排出路とを備えたクリーンベンチにおいて、送風機の運転を制御する制御装置と、作業空間内の空気の清浄度を測定する清浄度センサを備えているので、例えば、給気用の高性能フィルタの破損などで作業空間内の清浄度が低下した場合に、清浄度センサにより、作業空間内の清浄度を検出できることに加え、請求項2のように、制御装置は、所定の警報動作を実行することで異常を迅速に報知することができる。   As described above in detail, according to the present invention, a work space having a finger insertion opening on the front surface, a blower for supplying clean air to the work space via a high-performance filter for supplying air, and a work space In a clean bench equipped with a communication passage that sucks air that has flowed out from the blower, and a discharge passage that is arranged on the leeward side of the blower and discharges air to the outside through a high-performance filter for exhaust, the operation of the blower is performed. Because it has a control device to control and a cleanliness sensor that measures the cleanliness of the air in the work space, for example, when the cleanliness in the work space decreases due to damage to the high-performance filter for air supply, etc. In addition to being able to detect the cleanliness in the work space by the cleanliness sensor, the control device can quickly notify the abnormality by executing a predetermined alarm operation as in claim 2.

また、請求項3の発明によれば、上記各発明において、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度に基づいて送風機の回転数を制御することにより、例えば作業空間内で粉末の医薬品などを扱っても作業空間内を規定の清浄度に維持しながら、送風機の回転数を最低限に抑えて風速を下げ、粉末の飛散を低減することができる。また、例えば給気用の高性能フィルタが空気中の塵や試料などを除去して行くのに伴って徐々に目詰まりして行くのに合わせて、例えば請求項4のように制御装置は送風機の回転数を制御し、作業空間内の清浄度を規定値に制御することが可能となる。   Further, according to the invention of claim 3, in each of the above inventions, the control device controls the rotational speed of the blower based on the cleanliness in the work space detected by the cleanness sensor, for example, in the work space. Even if powdered pharmaceuticals are handled, while maintaining the inside of the working space at a prescribed cleanliness, the rotational speed of the blower can be minimized to reduce the wind speed and reduce powder scattering. Further, for example, as the high-performance filter for supplying air gradually becomes clogged as dust or samples in the air are removed, the control device is a blower as in claim 4, for example. It is possible to control the number of rotations and control the cleanliness in the work space to a specified value.

また、請求項5の発明によれば、上記各発明に加えて、表示装置を備え、制御装置は清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度を表示装置にて表示し、及び/又は、当該清浄度に関するデータを外部に出力すれば、制御装置による制御が正常に機能しているか、或いは、作業を安全に行えるかを直接認識することが可能となる。   According to the invention of claim 5, in addition to the above inventions, a display device is provided, the control device displays the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor on the display device, and / or If the data regarding the cleanliness is output to the outside, it is possible to directly recognize whether the control by the control device is functioning normally or whether the work can be performed safely.

また、請求項6の発明によれば、作業空間内の温度を検出する温度センサを備え、制御装置は温度センサにより検出された作業空間内の温度を表示装置にて表示し、及び/又は、当該温度に関するデータを外部に出力すれば、作業空間内の温度環境も直接認識することができ、作業環境の記録の作成が容易になる。   According to the invention of claim 6, the temperature sensor for detecting the temperature in the work space is provided, the control device displays the temperature in the work space detected by the temperature sensor on the display device, and / or By outputting the data relating to the temperature to the outside, it is possible to directly recognize the temperature environment in the work space, and it becomes easy to create a record of the work environment.

また、請求項7の発明によれば、上記各発明に加えて、作業空間内の複数カ所に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、制御装置は、この測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、清浄度センサによって作業空間内の複数カ所の清浄度を測定するので、単一の清浄度センサで、作業空間内の複数箇所の清浄度を測定することが可能となる。これにより、作業空間内全域における清浄度を認識することができるようになる。従って、作業空間内が例えば薬品或いは微生物や細菌等の危険な試料によって汚染されてしまう危険性を迅速に対処することができるようになる。   According to a seventh aspect of the invention, in addition to the above-mentioned inventions, the measurement flow path switching for alternately sucking air from the suction portions provided at a plurality of locations in the work space and supplying the air to the cleanliness sensor. Since the control device measures the cleanliness of multiple locations in the work space by the cleanliness sensor by switching the flow path of the measurement flow path switching device, the control device can operate with a single cleanliness sensor. It becomes possible to measure the cleanliness at a plurality of locations in the space. Thereby, it becomes possible to recognize the cleanliness in the entire work space. Therefore, it becomes possible to quickly cope with the danger that the work space will be contaminated with dangerous samples such as drugs or microorganisms and bacteria.

また、請求項8の発明によれば、制御装置は、作業空間内の複数カ所の清浄度の平均値を算出し、この平均値が規定値以下に低下した場合に、所定の警報動作を実行するので、作業空間内全域における異常に迅速に対処することができる。   According to the invention of claim 8, the control device calculates an average value of cleanliness at a plurality of locations in the work space, and executes a predetermined alarm operation when the average value falls below a specified value. Therefore, it is possible to quickly cope with abnormalities in the entire work space.

また、請求項9の発明によれば、測定用流路切替装置は、清浄度センサを経た空気を、吸引部よりも空気下流側の位置に排出するので、清浄度センサを経た空気が再び直接清浄度センサに戻ってしまうような不都合を防止することができる。これにより、作業空間内の空気だけを清浄度センサで測定することが可能となる。従って、現時間の作業空間内の空気の清浄度を確実に把握することができるようになるものである。   In addition, according to the ninth aspect of the invention, the measurement flow path switching device discharges the air that has passed through the cleanliness sensor to a position downstream of the air from the suction portion. The inconvenience of returning to the cleanliness sensor can be prevented. As a result, only the air in the work space can be measured by the cleanliness sensor. Therefore, it becomes possible to reliably grasp the cleanliness of the air in the current working space.

また、請求項10の発明によれば、上記各発明に加えて、作業空間内と排気用の高性能フィルタを経た位置に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、制御装置は、この測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、清浄度センサによって作業空間内と排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度を測定することができるので、複数の清浄度センサを用いなくても単一の清浄度センサで作業空間内の清浄度の他に、排気用の高性能フィルタの破損による外部の汚染も認識することができる。これにより、外部の安全性を確保しクリーンベンチのコストアップを抑えることが可能となる。   According to the invention of claim 10, in addition to the above-mentioned inventions, air is selectively sucked from the suction portion provided in the work space and through the high-performance filter for exhaust, and the cleanliness sensor is used. The control device is provided with a measurement flow path switching device to be supplied, and the control device switches the flow path of the measurement flow channel switching device, so that the cleanliness of the air that has passed through the high-performance filter for exhaustion in the work space by the cleanliness sensor. In addition to cleanliness in the work space, a single cleanliness sensor can recognize external contamination due to breakage of a high performance exhaust filter without using multiple cleanliness sensors. be able to. As a result, it is possible to secure external safety and suppress the cost increase of the clean bench.

また、請求項11の発明によれば、制御装置は、清浄度センサにより検出された作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行すると共に、清浄度センサにより検出された排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度が規定値以下に低下した場合、作業空間内の清浄度に関する警報とは区別した所定の警報動作を実行するので、警報が排気用の高性能フィルタの異常か、給気用の高性能フィルタの異常かを区別することができる。これにより、排気用の高性能フィルタの異常と給気用の高性能フィルタの異常を確実に区別することができクリーンベンチの修理やメンテナンスを容易に行うことができるようになるものである。   According to the eleventh aspect of the present invention, when the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor falls below a specified value, the control device performs a predetermined alarm operation and uses the cleanliness sensor. When the detected cleanness of the air that has passed through the high-performance filter for exhaust gas falls below the specified value, a predetermined alarm operation that is distinct from the alarm related to the cleanliness in the work space is executed. It is possible to distinguish between the abnormality of the high-performance filter and the abnormality of the high-performance filter for supplying air. As a result, the abnormality of the high-performance filter for exhaust and the abnormality of the high-performance filter for air supply can be reliably distinguished, and the repair and maintenance of the clean bench can be easily performed.

また、請求項12の発明によれば、作業空間内の空気を吸引して清浄度センサに供給するための吸引部を有し、この吸引部には延長用の空気吸引パイプを接続可能としたので、吸引部に接続した空気吸引パイプの端部を作業空間内の任意の箇所に移動させれば、作業空間内の所定箇所の清浄度を容易に認識することが可能となる。これにより、給気用の高性能フィルタの破損箇所も探し出すことができクリーンベンチの修理やメンテナンスを容易に行うことができるようになるものである。   According to the twelfth aspect of the present invention, the suction portion for sucking the air in the work space and supplying it to the cleanliness sensor is provided, and an extension air suction pipe can be connected to the suction portion. Therefore, if the end of the air suction pipe connected to the suction part is moved to an arbitrary place in the work space, the cleanliness of the predetermined place in the work space can be easily recognized. As a result, the damaged portion of the high-performance filter for supplying air can be searched for, and the repair and maintenance of the clean bench can be easily performed.

また、請求項13の発明によれば、清浄度センサには、手指挿入用の開口部近傍の空気を供給しないので、手指挿入用の開口部から連通路を介して吸入した空気中の塵埃を直接清浄度センサで測定してしまうのを防止することができる。これにより、作業空間内だけの清浄度を測定することができ、作業空間内の清浄度を極めて正確に測定することができるようになるものである。   According to the invention of claim 13, since the air near the opening for inserting the finger is not supplied to the cleanliness sensor, the dust in the air sucked from the opening for inserting the finger through the communication path is removed. It is possible to prevent measurement with a direct cleanliness sensor. Thereby, the cleanliness only in the work space can be measured, and the cleanliness in the work space can be measured very accurately.

本発明は、作業空間内の清浄度が規定値以下に低下するのを防止するため、清浄度センサによって作業空間内の空気の清浄度を測定することを最も主要な特徴とする。空気の清浄度が規定値以下に低下したのを報知するという目的を、作業空間内の複数カ所に清浄度センサに吸引する空気の吸引部を設けることにより実現した。   The main feature of the present invention is that the cleanliness of the air in the work space is measured by a cleanness sensor in order to prevent the cleanliness in the work space from being lowered below a specified value. The purpose of notifying that the air cleanliness has fallen below a specified value has been realized by providing air suction portions for suctioning the cleanliness sensors at a plurality of locations in the work space.

次に、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。図1は本発明のクリーンベンチ1の側面概念図、図2は本発明のクリーンベンチ1の制御回路のブロック図をそれぞれ示している。クリーンベンチ1は、図1に示すように筺体からなる本体5内部に、下部の下壁5Aより所定の間隔を存して上方に設けた作業台3と、後部の後壁5Bより所定の間隔を存して前方に設けた仕切板2と、上部に設けた給気用の高性能フィルタ9とにより作業空間6を形成し、この作業空間6の前面開口4に上下移動自在の開閉扉8を備えている。   Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a conceptual side view of a clean bench 1 of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of a control circuit of the clean bench 1 of the present invention. As shown in FIG. 1, the clean bench 1 includes a work table 3 provided above a lower wall 5A at a lower position inside a main body 5 made of a casing, and a predetermined distance from a rear wall 5B at the rear. A work space 6 is formed by the partition plate 2 provided in front and the high-performance filter 9 for air supply provided in the upper part, and an openable / closable door 8 that is movable up and down in the front opening 4 of the work space 6. It has.

また、作業空間6の下方から後方及び後方下方から上方に渡って一連の連通路7が形成されており、この連通路7は下壁5Aと作業台3、後壁5Bと背面仕切板2、及び本体5上部に設けられた上壁5Cと所定の間隔を存して下方に設けられた給気用の高性能フィルタ9との間に形成されている。該給気用の高性能フィルタ9は、通過する空気に含まれる薬品或いは微生物や細菌等の危険な試料などを除去して略100%の清浄度を得ることができるHEPAフィルタからなり、作業空間6の天面を開口する開口部(図示せず)を閉塞する形で取り付けられている。   A series of communication paths 7 are formed from the lower side of the work space 6 to the rear and from the lower rear side to the upper side. The communication path 7 includes a lower wall 5A, a work table 3, a rear wall 5B, a rear partition plate 2, And an upper wall 5C provided at the upper part of the main body 5 and a high-performance filter 9 for supplying air provided at a predetermined interval below. The high-performance filter 9 for supplying air is composed of a HEPA filter that can obtain a cleanliness of approximately 100% by removing chemicals contained in the passing air or dangerous samples such as microorganisms and bacteria. 6 is attached in such a manner as to close an opening (not shown) that opens the top surface.

また、本体5上部に設けられた上壁5Cには、図示しない開口部を閉塞する形で給気用の高性能フィルタ9同様空気に含まれる薬品或いは微生物や細菌等の危険な試料などを除去して略100%の清浄度を得ることができるHEPAフィルタからなる排気用の高性能フィルタ19が取り付けられている。排気用の高性能フィルタ19にはダクト20が接続されており、このダクト20内には排出路14が形成されている。   The upper wall 5C provided on the upper part of the main body 5 removes chemicals contained in the air or dangerous samples such as microorganisms and bacteria as well as the high-performance filter 9 for air supply by closing an opening (not shown). Thus, a high-performance filter 19 for exhaust composed of a HEPA filter capable of obtaining a cleanliness of approximately 100% is attached. A duct 20 is connected to the high-performance filter 19 for exhaust, and a discharge path 14 is formed in the duct 20.

また、本体5前面の開口4上部には液晶、或いは、7セグメントのLEDなどにて構成された表示装置28が設けられると共に、赤色ランプやオレンジランプ或いはブザーなどにて構成された警報装置40が設けられている。該表示装置28は、清浄度センサ30が検出した作業空間6内の清浄度或いは排出路14内の清浄度を表示するように構成されると共に、警報装置40は、作業空間6内の清浄度が予め設定された規定値以下の場合、或いは、排気用の高性能フィルタ19を通過し清浄された空気の清浄度が予め設定された規定値以下の場合、所定の警報動作を実行(この場合、ブザーを鳴らす、或いは、ランプの点滅や点灯など)するように構成されている。   Further, a display device 28 composed of a liquid crystal or a 7-segment LED is provided above the opening 4 on the front surface of the main body 5 and an alarm device 40 composed of a red lamp, an orange lamp, a buzzer, or the like. Is provided. The display device 28 is configured to display the cleanliness in the work space 6 detected by the cleanliness sensor 30 or the cleanness in the discharge path 14, and the alarm device 40 is configured to display the cleanliness in the work space 6. When the value is equal to or less than a preset specified value, or when the cleanliness of the air that has passed through the high-performance exhaust filter 19 and is purified is equal to or less than a preset specified value, a predetermined alarm operation is performed (in this case The buzzer is sounded, or the lamp blinks or lights up.

一方、前記後壁5Bと仕切板2間の連通路7上部には、当該連通路7を仕切る形でシロッコファンから成る送風機11が配設されている。また、作業台3の前後端双方には排気孔12、13が形成されており、この排気孔12、13は作業空間6下部と連通路7とを連通している。該送風機11は連通路7から吸引した空気を圧送するものであるが、この送風機11の風下側は、前記給気用の高性能フィルタ9を介して作業空間6内に連通すると共に、前記排気用の高性能フィルタ19及びダクト20内の排出路14を介して外部に連通している。   On the other hand, an air blower 11 made of a sirocco fan is disposed above the communication path 7 between the rear wall 5B and the partition plate 2 so as to partition the communication path 7. Further, exhaust holes 12 and 13 are formed on both front and rear ends of the work table 3, and the exhaust holes 12 and 13 communicate with the lower portion of the work space 6 and the communication path 7. The blower 11 pumps air sucked from the communication passage 7, and the leeward side of the blower 11 communicates with the work space 6 through the high-performance filter 9 for supplying air and the exhaust air. The high-performance filter 19 and the exhaust passage 14 in the duct 20 communicate with the outside.

また、ダクト20内には開平板21が設けられている。この開閉板21は送風機11が運転され連通路7内の空気を吸引した際、作業空間6内の清浄度を規定値以内に維持しつつ連通路7内が所定の低圧になるように排出路14内を通過する空気の風量の調整をするためのものである。また、開閉扉8が上方に押し上げられた状態で開閉扉8の下部には開口部4Aが形成され、この開口部4Aから作業空間6内に手指を挿入できるように構成されている。   An open plate 21 is provided in the duct 20. When the blower 11 is operated and the air in the communication path 7 is sucked in, the opening / closing plate 21 maintains the cleanliness in the work space 6 within a specified value and discharges the communication path 7 to a predetermined low pressure. 14 is used to adjust the air volume of the air passing through the inside. In addition, an opening 4A is formed in the lower part of the open / close door 8 in a state where the open / close door 8 is pushed upward, and a finger can be inserted into the work space 6 from the opening 4A.

このように構成されたクリーンベンチ1の送風機11が運転されると、送風機11から圧送された空気の大部分は給気用の高性能フィルタ9を通過する過程で清浄された後、図中矢印で示すように上方から作業空間6内に吹き出される。上方から作業空間6内に吹き出された空気の一部は略真っ直ぐに下流して開口部4Aから流入する外気と共に排気口12から連通路7内に吸引される。上方から作業空間6内に吹き出された残りの空気は排気孔13より連通路7に吸引される。また、送風機11から圧送された空気の一部は給気用の高性能フィルタ9を通過せず、排気用の高性能フィルタ19を通過し、そのとき清浄されてダクト20から外部に排出される。   When the blower 11 of the clean bench 1 configured as described above is operated, most of the air pumped from the blower 11 is cleaned in the process of passing through the high-performance filter 9 for supplying air, and then the arrow in the figure. As shown in FIG. 4, the air is blown into the work space 6 from above. A part of the air blown into the working space 6 from above is sucked into the communication path 7 from the exhaust port 12 together with the outside air that flows downstream substantially straight and flows in from the opening 4A. The remaining air blown into the work space 6 from above is sucked into the communication path 7 through the exhaust hole 13. Further, a part of the air pressure-fed from the blower 11 does not pass through the high-performance filter 9 for supplying air but passes through the high-performance filter 19 for exhausting. At that time, it is cleaned and discharged from the duct 20 to the outside. .

この場合、排気孔12、13から作業空間6内の空気を送風機11にて吸引し、その空気の一部を排出路14から排出した風量の分だけ作業空間6内の圧力は外部より低くなる。そのため、開口部4Aからは排出路14から排出された風量と同量の外気が吸引され、作業空間6内に流入するが、給気用の高性能フィルタ9から略真っ直ぐ作業空間6開口部4Aに下流した殆どの空気は作業空間6内奥には流入せず、排気孔12から連通路7内に流出して行く。これにより、作業空間6内部に外気が入ってしまうのを抑えて作業空間6内の清浄度を規定値以内に保ち維持し、作業空間6内にて試料に接触した空気が開口4から直接外部に漏れ出てしまうのを防止すると共に、作業空間6内の空気は必ず高性能フィルタ19にて清浄してから外部に排出される。従って、作業空間6内では安全に作業を行え、また、外部の安全も確保できる。   In this case, the air in the work space 6 is sucked by the blower 11 from the exhaust holes 12 and 13, and the pressure in the work space 6 becomes lower than the outside by the amount of air discharged from the discharge passage 14. . Therefore, the same amount of outside air as the amount of air discharged from the discharge passage 14 is sucked from the opening 4A and flows into the work space 6, but the work space 6 opening 4A is substantially straight from the high-performance filter 9 for supplying air. Most of the downstream air does not flow into the interior of the work space 6 but flows out from the exhaust hole 12 into the communication path 7. As a result, it is possible to prevent the outside air from entering the work space 6 and maintain the cleanliness in the work space 6 within a specified value. The air in the work space 6 is always cleaned by the high-performance filter 19 and then discharged to the outside. Therefore, it is possible to work safely in the work space 6 and to secure external safety.

また、クリーンベンチ1には、送風機11の運転を制御すると共に測定用流路切替装置18を制御する制御装置24(図2に図示)と、作業空間6内の空気の清浄度を測定する清浄度センサ30とが設けられている。該清浄度センサ30は、例えばこの清浄度センサ30内を通過する空気に含まれる単位体積あたりの薬品或いは微生物や細菌等の粒子数をミクロン単位或いはそれ以下の単位で測定するもので有る。該清浄度センサ30の入口側に接続されたパイプ34は、測定用流路切替装置18を介して端部に吸引部16が設けられている。   The clean bench 1 includes a control device 24 (illustrated in FIG. 2) for controlling the operation of the blower 11 and the measurement flow path switching device 18, and a clean device for measuring the cleanliness of the air in the work space 6. A degree sensor 30 is provided. The cleanliness sensor 30 measures, for example, the number of chemicals or particles such as microorganisms and bacteria per unit volume contained in the air passing through the cleanliness sensor 30 in units of microns or less. The pipe 34 connected to the inlet side of the cleanliness sensor 30 is provided with the suction part 16 at the end via the measurement flow path switching device 18.

該測定用流路切替装置18は、複数の電磁弁(第1電磁弁18A、第2電磁弁18B、第3電磁弁18C、第4電磁弁18D)にて構成されており、吸引部16は複数の吸引部(第1吸引部16A、第2吸引部16B、第3吸引部16C、第4吸引部16D)にて構成されている。また、パイプ34は複数のパイプ(第1パイプ34A、第2パイプ34B、第3パイプ34C、第4パイプ34D)にて構成されており、第1パイプ34Aの端部に第1吸引部16A、第2パイプ34Bの端部に第2吸引部16B、第3パイプ34Cの端部に第3吸引部16C、第4パイプ34Dの端部に第4吸引部16Dが設けられている。   The measurement flow path switching device 18 includes a plurality of solenoid valves (first solenoid valve 18A, second solenoid valve 18B, third solenoid valve 18C, and fourth solenoid valve 18D). A plurality of suction sections (first suction section 16A, second suction section 16B, third suction section 16C, fourth suction section 16D) are configured. The pipe 34 includes a plurality of pipes (a first pipe 34A, a second pipe 34B, a third pipe 34C, and a fourth pipe 34D), and the first suction part 16A, The second suction part 16B is provided at the end of the second pipe 34B, the third suction part 16C is provided at the end of the third pipe 34C, and the fourth suction part 16D is provided at the end of the fourth pipe 34D.

そして、第1吸引部16Aは本体5下部に設けられた下壁5Aと作業台3との間の連通路7、第2吸引部16Bは作業空間6内の下部近傍、第3吸引部16Cは作業空間6内の上下方向の略中央、第4吸引部16Dは、前記外部と連通するダクト20内の排出路14内にそれぞれ開口している。また、清浄度センサ30の出口側に接続された排出パイプ37はエアーポンプ38を介して後壁5Bと背面仕切板2間の連通路7上部(送風機11の下側近傍)に開口している。このエアーポンプ38にて複数のパイプ34の吸引部16から空気を吸引し、清浄度センサ30を経た空気を吸引部16よりも空気下流側(送風機11の下側近傍)に排出する。この場合、清浄度センサ30を経た空気が再び直接清浄度センサ30に戻ってしまうのを防止することができるので、現時間の作業空間6内の空気の清浄度を確実に把握することができる。   The first suction part 16A is a communication path 7 between the lower wall 5A provided at the lower part of the main body 5 and the work table 3, the second suction part 16B is near the lower part in the work space 6, and the third suction part 16C is The substantially vertical center in the work space 6 and the fourth suction part 16D are respectively opened in the discharge passage 14 in the duct 20 communicating with the outside. Further, the discharge pipe 37 connected to the outlet side of the cleanliness sensor 30 opens to the upper part of the communication path 7 between the rear wall 5B and the rear partition plate 2 (near the lower side of the blower 11) via the air pump 38. . The air pump 38 sucks air from the suction portions 16 of the plurality of pipes 34, and discharges the air that has passed through the cleanliness sensor 30 downstream of the suction portion 16 (near the lower side of the blower 11). In this case, it is possible to prevent the air that has passed through the cleanliness sensor 30 from returning directly to the cleanliness sensor 30, so that the cleanliness of the air in the current working space 6 can be reliably grasped. .

前記作業空間6内には作業空間6内の温度を検出する温度センサ32が設けられると共に、作業空間6内には前記第2吸引部16B或いは第3吸引部16Cに接続可能に構成され作業空間6内の空気を吸引して清浄度センサ30に供給するための空気吸引パイプ39が設けられている。この空気吸引パイプ39はゴムホース、或いは、合成樹脂などの柔軟性を有し湾曲自在なホースにて構成されており、一端部が第2吸引部16B或いは第3吸引部16Cに接続された状態で、他端部が作業空間6内隅々まで届く長さにて構成されている。尚、空気吸引パイプ39の不使用時は作業空間6内に突出して設けられた、吊し具39Aに吊り下げられる。   A temperature sensor 32 for detecting the temperature in the work space 6 is provided in the work space 6, and the work space 6 is configured to be connectable to the second suction part 16B or the third suction part 16C. An air suction pipe 39 for sucking the air in 6 and supplying it to the cleanliness sensor 30 is provided. The air suction pipe 39 is composed of a rubber hose or a flexible and bendable hose such as a synthetic resin, with one end connected to the second suction part 16B or the third suction part 16C. The other end is configured to have a length that reaches every corner of the work space 6. When the air suction pipe 39 is not used, the air suction pipe 39 is suspended by a hanging tool 39A provided so as to protrude into the work space 6.

他方、クリーンベンチ1には図2に示すように制御装置24が設けられている。この制御装置24には、前述の送風機11と表示装置28及び警報装置40が接続されると共に、清浄度センサ30及び複数の電磁弁(第1電磁弁18A、第2電磁弁18B、第3電磁弁18C、第4電磁弁18D)がそれぞれ接続されている。これらの電磁弁18A、18B、18C、18Dが開放するとパイプ34(パイプ34A、34B、34C、34D)内に空気が流れ、閉じると流れる空気を停止する。   On the other hand, the clean bench 1 is provided with a control device 24 as shown in FIG. The control device 24 is connected to the blower 11, the display device 28, and the alarm device 40, and also includes a cleanliness sensor 30 and a plurality of electromagnetic valves (first electromagnetic valve 18A, second electromagnetic valve 18B, third electromagnetic valve). A valve 18C and a fourth electromagnetic valve 18D) are connected to each other. When these solenoid valves 18A, 18B, 18C, 18D are opened, air flows into the pipe 34 (pipes 34A, 34B, 34C, 34D), and when they are closed, the flowing air is stopped.

そして制御装置24は、通常各電磁弁18A、18B、18C、18Dを順次開放し、それぞれの吸引部16A、16B、16C、16Dから例えば15秒〜30秒間隔に順番に空気を吸引してそれらの吸引部16A、16B、16C、16Dが開放する個所の清浄度を測定する。これによって、吸引部16A、16B、16C、16Dが開口する個所の予め設定された清浄度を測定する。また、制御装置24は各第1電磁弁18A、第2電磁弁18B、第3電磁弁18C、第4電磁弁18Dの開閉制御によって各吸引部16A、16B、16C、16Dから択一的に空気を吸引して清浄度センサ30に供給する。   The control device 24 normally opens the electromagnetic valves 18A, 18B, 18C, and 18D in order, and sucks air from the suction portions 16A, 16B, 16C, and 16D in order, for example, at intervals of 15 to 30 seconds. The cleanliness of the portions where the suction portions 16A, 16B, 16C, and 16D are opened is measured. In this way, the preset cleanliness of the location where the suction parts 16A, 16B, 16C, 16D are opened is measured. In addition, the control device 24 can selectively air from the suction portions 16A, 16B, 16C, and 16D by opening / closing control of the first solenoid valve 18A, the second solenoid valve 18B, the third solenoid valve 18C, and the fourth solenoid valve 18D. Is supplied to the cleanliness sensor 30.

即ち、制御装置24は、第1電磁弁18Aと第4電磁弁18Dを閉じて(この場合、手指挿入用の開口部4A近傍の空気及び、排出路14内の空気を吸引できない状態)、第2吸引部16Bと、第3吸引部16Cから時間を別々に吸引して清浄度センサ30にて測定した空気の清浄度の平均値を算出する。そして、算出した空気の平均値の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、警報装置40にて所定の警報動作を実行する。この場合、制御装置24は第2第3吸引部16B、16Cから同時に吸引した空気を清浄度センサ30にて測定して清浄度を算出し、算出した空気の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、即ち、清浄度センサ30に入力される空気中の単位体積当たりの粒子数が多くなった場合に警報装置40にて所定の警報動作を実行する。これによって、作業空間6内の異常を迅速に報知することができると共に作業空間6内全域の異常を迅速に対処することができる。   That is, the control device 24 closes the first electromagnetic valve 18A and the fourth electromagnetic valve 18D (in this case, the air in the vicinity of the finger insertion opening 4A and the air in the discharge path 14 cannot be sucked), The average value of the cleanliness of the air measured by the cleanliness sensor 30 by sucking time separately from the two suction sections 16B and the third suction section 16C is calculated. Then, when the calculated cleanliness of the average value of the air is equal to or less than a preset specified value, the alarm device 40 performs a predetermined alarm operation. In this case, the control device 24 calculates the cleanliness by measuring the air simultaneously sucked from the second and third suction parts 16B and 16C with the cleanliness sensor 30, and the calculated cleanliness of the air is a predetermined value set in advance. In the following cases, that is, when the number of particles per unit volume in the air input to the cleanliness sensor 30 increases, the alarm device 40 performs a predetermined alarm operation. Thereby, it is possible to promptly notify the abnormality in the work space 6 and to quickly deal with the abnormality in the entire area of the work space 6.

また、第2吸引部16Bと、第3吸引部16Cとから時間を別々に吸引して清浄度センサ30にて測定し、それぞれの空気のどちらか一方の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、即ち、清浄度センサ30に入力される空気中の単位体積当たりの粒子数が多くなった場合に警報装置40にて所定の警報動作を実行する。この場合、第2吸引部16B或いは第3吸引部16Cのどちらから吸引された空気かを判別することができるので、作業空間6内の何処の空気の清浄度が予め設定された規定値以下かを認識することができる。これにより、作業空間6内の異常を迅速に対処することができる。   Further, the time is separately sucked from the second suction unit 16B and the third suction unit 16C and measured by the cleanliness sensor 30, and the cleanliness of either one of the air is below a preset specified value. In this case, that is, when the number of particles per unit volume in the air input to the cleanliness sensor 30 increases, the alarm device 40 performs a predetermined alarm operation. In this case, since it is possible to determine whether the air is sucked from the second suction part 16B or the third suction part 16C, where the cleanliness of the air in the work space 6 is equal to or less than a preset specified value Can be recognized. Thereby, the abnormality in the work space 6 can be dealt with quickly.

また、制御装置24は第1電磁弁18Aと第2電磁弁18Bと第3電磁弁18Cを閉じて、第4吸引部16Dから排出路14内だけの空気の清浄度を測定する。そして、測定した排出路14内の空気の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、作業空間6内の清浄度に関する警報とは区別した所定の警報動作を実行し警報装置40を動作させる。この場合、作業空間6内の清浄度の異常時にランプの点滅や点灯などの警報を行なったとすると、作業空間6内の清浄度の異常時にブザーを鳴らすなどの警報を行う。また、作業空間6内の清浄度の異常時にブザーを鳴らすなどの警報を行なったとすると、作業空間6内の清浄度の異常時にランプの点滅や点灯などの警報を行う。これによって、警報装置40からの警報が排気用の高性能フィルタ19の異常か、給気用の高性能フィルタ9の異常かを区別することができるので、クリーンベンチ1のメンテナンスも容易に行うことができるようになる。   Further, the control device 24 closes the first electromagnetic valve 18A, the second electromagnetic valve 18B, and the third electromagnetic valve 18C, and measures the cleanliness of the air only from the fourth suction portion 16D to the discharge passage 14. Then, when the measured cleanness of the air in the discharge passage 14 is equal to or less than a predetermined value set in advance, a predetermined alarm operation that is different from the alarm regarding the cleanliness in the work space 6 is executed and the alarm device 40 is operated. Let In this case, if an alarm such as blinking or lighting of a lamp is performed when the cleanliness in the work space 6 is abnormal, an alarm such as a buzzer is sounded when the cleanliness in the work space 6 is abnormal. Further, if an alarm is issued such as sounding a buzzer when the cleanliness in the work space 6 is abnormal, an alarm such as blinking or lighting of a lamp is performed when the cleanliness in the work space 6 is abnormal. As a result, it is possible to distinguish whether the alarm from the alarm device 40 is an abnormality of the exhaust high-performance filter 19 or the air supply high-performance filter 9, so that the maintenance of the clean bench 1 can be easily performed. Will be able to.

また、制御装置24は清浄度センサ30により検出された作業空間6内の清浄度に基づいて、作業空間6内の清浄度が規定値以上の場合は送風機11の回転数を遅くして風速を弱める。これにより、作業空間6内で例えば粉末の医薬品などを扱っている場合でも作業空間6内を規定の清浄度に維持しながら、送風機11の回転数を最低限に調整して風速を弱めることができるので粉末の飛散を低減することができる。また、制御装置24は給気用の高性能フィルタ9が空気中の塵や試料などを除去して行くのに伴って徐々に目詰まりして行き作業空間6内の清浄度が規定値以下になった場合、清浄度に合わせて送風機11の回転数を制御し風速を速くするので、作業空間6内の清浄度を迅速に規定値以内に制御することができる。   Further, based on the cleanliness in the work space 6 detected by the cleanliness sensor 30, the control device 24 reduces the rotational speed of the blower 11 and increases the wind speed when the cleanness in the work space 6 is equal to or greater than a specified value. Weaken. Accordingly, even when powder pharmaceuticals or the like are handled in the work space 6, the speed of the blower 11 can be adjusted to the minimum and the wind speed can be reduced while maintaining the work space 6 at a specified cleanliness. Therefore, powder scattering can be reduced. Further, the control device 24 is gradually clogged as the high performance air filter 9 for supplying air removes dust, samples, etc. in the air, and the cleanliness in the work space 6 becomes below a specified value. In this case, the rotational speed of the blower 11 is controlled in accordance with the cleanliness to increase the wind speed, so that the cleanliness in the work space 6 can be quickly controlled within a specified value.

また、制御装置24は第2電磁弁18Bと第3電磁弁18Cと第4電磁弁18Dを閉じて、第1吸引部16Aから連通路7内の空気の清浄度を測定する。そして、測定した連通路7内の空気の清浄度が予め設定された規定値以下の場合に、作業空間6内の清浄度に関する警報とは区別した別の警報動作(断続的にブザーを鳴らす、或いは、ランプの色を変える、ランプ点滅状態を変える等)で警報装置40を動作させる。この場合、清浄度センサ30は、開口部4Aから連通路7内に流入した空気の清浄度を測定するので、連通路7内の清浄度が異常に高い場合に外気が開口部4Aから排気孔12に入らず作業空間6内に入ってしまう危険性を防止することができる。   Further, the control device 24 closes the second electromagnetic valve 18B, the third electromagnetic valve 18C, and the fourth electromagnetic valve 18D, and measures the cleanliness of the air in the communication path 7 from the first suction portion 16A. When the measured cleanness of the air in the communication path 7 is equal to or less than a preset specified value, another alarm operation (intermittently sounds a buzzer) distinguished from the alarm regarding the cleanliness in the work space 6. Alternatively, the alarm device 40 is operated by changing the lamp color, changing the lamp blinking state, or the like. In this case, the cleanliness sensor 30 measures the cleanliness of the air that has flowed into the communication path 7 from the opening 4A, so that when the cleanliness in the communication path 7 is abnormally high, outside air is exhausted from the opening 4A to the exhaust hole. The danger of entering the work space 6 without entering 12 can be prevented.

また、制御装置24は、清浄度センサ30により検出された作業空間6内の清浄度を表示装置28にて表示し、及び/又は、当該清浄度に関するデータを外部(表示装置28)に出力するようにしているので、制御装置24による制御が正常に機能しているか、或いは、作業を安全に行えるかを直接認識することが可能となる。   Further, the control device 24 displays the cleanliness in the work space 6 detected by the cleanliness sensor 30 on the display device 28 and / or outputs data relating to the cleanliness to the outside (display device 28). Therefore, it is possible to directly recognize whether the control by the control device 24 is functioning normally or whether the work can be performed safely.

また、制御装置24は前記温度センサ32により検出された作業空間6内の温度を表示装置28に表示し、温度センサ32により検出された作業空間6内の温度に関するデータを外部の表示装置28に出力する。これにより、作業空間6内の温度環境を外部から直接認識することができる。   Further, the control device 24 displays the temperature in the work space 6 detected by the temperature sensor 32 on the display device 28, and data related to the temperature in the work space 6 detected by the temperature sensor 32 is displayed on the external display device 28. Output. Thereby, the temperature environment in the work space 6 can be directly recognized from the outside.

このように、クリーンベンチ1には送風機11の運転を制御する制御装置24と、作業空間6内の空気の清浄度を測定する清浄度センサ30を備えているので、作業空間6内の空気を清浄するための給気用の高性能フィルタ9と作業空間6を形成する本体5とのシールが不完全の場合や給気用の高性能フィルタ9に孔が開いてしまっている場合、或いは、作業空間6内に発填物や層流を妨げるものがあり作業空間6内の清浄度が規定値以下に確保できない場合、制御装置24は清浄度センサ30により検出された作業空間6内の清浄度が規定値以下に低下したのを検出し、所定の警報動作を実行して異常を迅速に報知する。これにより、作業空間6内の清浄度の低下の原因が、クリーンベンチ1の装置によるものか、操作上のものかを確実に判断することができるので、修理やメンテナンスを容易に行うことができる。   As described above, the clean bench 1 includes the control device 24 that controls the operation of the blower 11 and the cleanliness sensor 30 that measures the cleanliness of the air in the work space 6. When the seal between the high-performance filter 9 for air supply for cleaning and the main body 5 forming the work space 6 is incomplete, or when the hole is opened in the high-performance filter 9 for air supply, or When there is a thing that obstructs the load or laminar flow in the work space 6 and the cleanliness in the work space 6 cannot be secured below the specified value, the control device 24 cleans the work space 6 detected by the cleanness sensor 30. It is detected that the degree has dropped below the specified value, and a predetermined alarm action is executed to promptly notify the abnormality. Thereby, since it can be judged reliably whether the cause of the reduction | decrease in the cleanliness in the work space 6 is a thing by the apparatus of the clean bench 1, or an operation thing, repair and a maintenance can be performed easily. .

また、クリーンベンチ1の運転開始後も、表示装置28にて外部に出力した清浄度を視認するだけで、作業空間6内が規定の清浄度に達したことを把握することができる。これにより、作業空間6内の清浄度が規定値に達したのを確認してから作業を行えるので、クリーンベンチ1の運転開始後に作業空間6内の清浄度が規定値に達するまで長い時間がかかってしまう場合などでも、作業空間6内の清浄度が規定値以下になる以前に作業を開始してしまうなどの不都合を防止することができる。   Further, even after the operation of the clean bench 1 is started, it is possible to grasp that the inside of the work space 6 has reached the specified cleanliness by merely visually recognizing the cleanliness output to the outside by the display device 28. Thereby, since it can work after confirming that the cleanliness in the work space 6 has reached the specified value, it takes a long time until the cleanliness in the work space 6 reaches the specified value after the operation of the clean bench 1 is started. Even in such a case, it is possible to prevent inconvenience such as starting the work before the cleanliness in the work space 6 becomes equal to or less than the specified value.

また、クリーンベンチ1には作業空間6内の複数カ所に設けた吸引部16(吸引部16A、16B、16C、16D)から択一的に空気を吸引し、清浄度センサ30に供給する測定用流路切替装置18(電磁弁18A、18B、18C、18D)を備えているので、制御装置24にてそれらの電磁弁18A、18B、18C、18Dを制御してパイプ34(パイプ34B、34C)の流路を切り換えることにより、清浄度センサ30によって作業空間6内の複数カ所の清浄度を測定することができる。これにより、単一の清浄度センサ30で、作業空間6内の複数箇所の清浄度を測定することができ、作業空間6内全域における清浄度を部分的に認識することができる。   Further, the clean bench 1 is used for the measurement in which air is selectively sucked from suction portions 16 (suction portions 16A, 16B, 16C, 16D) provided at a plurality of locations in the work space 6 and supplied to the cleanliness sensor 30. Since the flow path switching device 18 (electromagnetic valves 18A, 18B, 18C, and 18D) is provided, the control device 24 controls the electromagnetic valves 18A, 18B, 18C, and 18D to control the pipes 34 (pipes 34B and 34C). By switching the flow paths, the cleanliness of the plurality of places in the work space 6 can be measured by the cleanliness sensor 30. Thereby, the single cleanliness sensor 30 can measure the cleanliness at a plurality of locations in the work space 6, and can partially recognize the cleanliness throughout the workspace 6.

また、クリーンベンチ1には作業空間6内の複数カ所に設けた吸引部16(吸引部16A、16B、16C、16D)から択一的に空気を吸引し、清浄度センサ30に供給する測定用流路切替装置18(電磁弁18A、18B、18C、18D)を備えているので、制御装置24にてそれらの電磁弁18A、18B、18C、18Dを制御してパイプ34(パイプ34A、34B、34C)内の空気流通を停止し、第4パイプ34D内に空気を流通させ、若しくは、パイプ34(パイプ34B、34C)内に空気を流通させ、第4パイプ34A、34D内の空気流通を停止するように切り換えることにより、清浄度センサ30によって作業空間6内と排気用の高性能フィルタ19を経た空気の清浄度を測定することができるので、複数の清浄度センサ30を用いなくても単一の清浄度センサ30で作業空間6内の清浄度の他に、排気用の高性能フィルタ19の破損による外部の汚染も認識することができる。これにより、クリーンベンチ1のコストアップを抑えることが可能となる。   Further, the clean bench 1 is used for the measurement in which air is selectively sucked from suction portions 16 (suction portions 16A, 16B, 16C, 16D) provided at a plurality of locations in the work space 6 and supplied to the cleanliness sensor 30. Since the flow path switching device 18 (electromagnetic valves 18A, 18B, 18C, 18D) is provided, the control device 24 controls the electromagnetic valves 18A, 18B, 18C, 18D to control the pipes 34 (pipes 34A, 34B, 34C) is stopped, air is circulated in the fourth pipe 34D, or air is circulated in the pipe 34 (pipes 34B, 34C), and the air flow in the fourth pipes 34A, 34D is stopped. By switching so that the cleanness sensor 30 can measure the cleanliness of the air that has passed through the work space 6 and the high-performance filter 19 for exhaust, a plurality of cleanliness can be obtained. Other cleanliness of the work space 6 in a single cleanliness sensor 30 without using the sensors 30, can be recognized external contamination due to damage of the high-performance filter 19 for exhaust. Thereby, it becomes possible to suppress the cost increase of the clean bench 1.

また、作業空間6内に設けた吸引部16(第2吸引部16B或いは第3吸引部16C)に延長用の空気吸引パイプ39を接続できるようにしているので、吸引部16に接続した空気吸引パイプ39の端部を作業空間6内の任意の箇所に移動させれば、作業空間6内の所定箇所の清浄度を容易に測定することが可能となる。これにより、給気用の高性能フィルタ9の破損箇所も探し出すことができるので、クリーンベンチ1の修理やメンテナンスを容易に行うことができるようになる。   In addition, since the extension air suction pipe 39 can be connected to the suction part 16 (second suction part 16B or third suction part 16C) provided in the work space 6, the air suction connected to the suction part 16 If the end of the pipe 39 is moved to an arbitrary location in the work space 6, the cleanliness of the predetermined location in the work space 6 can be easily measured. As a result, the damaged portion of the high-performance filter 9 for supplying air can be searched for, and the repair and maintenance of the clean bench 1 can be easily performed.

また、制御装置24は第1電磁弁18Aを閉じれば清浄度センサ30に手指挿入用の開口部4A近傍の空気を供給しないので、外部から連通路7を介して侵入する空気中の塵埃を直接清浄度センサ30で測定してしまうのを防止することができる。これにより、作業空間6内だけの清浄度を測定することができ、作業空間6内の清浄度を極めて正確に測定することができる。   Further, if the control device 24 closes the first electromagnetic valve 18A, the air near the opening 4A for inserting the finger is not supplied to the cleanliness sensor 30. Therefore, dust in the air entering from the outside via the communication path 7 is directly applied. Measurement with the cleanliness sensor 30 can be prevented. Thereby, the cleanliness only in the work space 6 can be measured, and the cleanliness in the work space 6 can be measured very accurately.

尚、実施例では、第1吸引部16Aを本体5下部に設けた下壁5Aと作業台3との間の連通路7、第2吸引部16Bは作業空間6内の下部近傍、第3吸引部16Cは作業空間6内の上下方向の略中央、第4吸引部16Dは、前記外部と連通するダクト20内の排出路14内にそれぞれ開口させたが、各吸引部16の開口個所は上記に限らず、作業空間6内の何れかの場所であっても差し支えない。また、吸引部16を4個所(吸引部16A、16B、16C、16D)設けたが、吸引部の数はこれに限らず、もっと数多く設けて作業空間6内の清浄度を細かく測定しても良い。この場合、作業空間6内のどの部分の清浄度が規定置以下になっているかを詳細に把握することができ、一層安定した清浄度を実現することができるようになる。   In the embodiment, the first suction part 16A is provided in the lower part of the main body 5 and the communication path 7 between the lower wall 5A and the work table 3, and the second suction part 16B is near the lower part in the work space 6, and the third suction. The portion 16C is opened at the approximate center in the vertical direction in the work space 6, and the fourth suction portion 16D is opened in the discharge passage 14 in the duct 20 communicating with the outside. The opening locations of the suction portions 16 are as described above. Not limited to this, it may be anywhere in the work space 6. In addition, although four suction portions 16 (suction portions 16A, 16B, 16C, 16D) are provided, the number of suction portions is not limited to this, and even if a larger number of suction portions are provided to measure the cleanliness in the work space 6 in detail. good. In this case, it is possible to grasp in detail which part of the work space 6 has a cleanliness equal to or lower than a predetermined position, and a more stable cleanliness can be realized.

また、表示装置28と警報装置40とを本体5前面の開口4上部に設けたが、表示装置28と警報装置40との取り付け個所は本体5前面の開口4上部に限らず、作業空間6内、特に背面仕切板2の面に設けても差し支えない。この場合、作業空間6内で作業をしながらでも表示装置28と警報装置40を視認することができるので、作業空間6内の清浄度が規定値以下になり警報装置40が警報動作を実行する以前に、清浄度を悪化させる試料の取り扱い対策ができて便利である。   Further, the display device 28 and the alarm device 40 are provided in the upper part of the opening 4 on the front surface of the main body 5, but the attachment position of the display device 28 and the alarm device 40 is not limited to the upper part of the opening 4 on the front surface of the main body 5. In particular, it may be provided on the surface of the rear partition plate 2. In this case, since the display device 28 and the alarm device 40 can be visually recognized even while working in the work space 6, the cleanliness in the work space 6 becomes equal to or less than a specified value, and the alarm device 40 executes an alarm operation. Previously, it was convenient to handle samples that deteriorated cleanliness.

本発明のクリーンベンチの側面概念図である。It is a side conceptual diagram of the clean bench of the present invention. 本発明のクリーンベンチの制御回路のブロック図である。It is a block diagram of the control circuit of the clean bench of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 クリーンベンチ
2 背面仕切板
3 作業台
4A 開口部
5 本体
6 作業空間
7 連通路
8 開閉扉
9 高性能フィルタ
11 送風機
12 排気孔
13 排気孔
14 排出路
16 吸引部
18 測定用流路切替装置
19 高性能フィルタ
20 ダクト
24 制御装置
28 表示装置
30 清浄度センサ
32 温度センサ
34 パイプ
37 排出パイプ
38 エアーポンプ
39 空気吸引パイプ
40 警報装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Clean bench 2 Back surface partition plate 3 Worktable 4A Opening part 5 Main body 6 Work space 7 Communication path 8 Opening / closing door 9 High performance filter 11 Blower 12 Exhaust hole 13 Exhaust hole 14 Exhaust path 16 Suction part 18 Measurement flow path switching device 19 High performance filter 20 Duct 24 Control device 28 Display device 30 Cleanliness sensor 32 Temperature sensor 34 Pipe 37 Discharge pipe 38 Air pump 39 Air suction pipe 40 Alarm device

Claims (13)

前面に手指挿入用の開口部を有した作業空間と、該作業空間に給気用の高性能フィルタを介して清浄空気を供給する送風機と、前記作業空間から流出した空気を前記送風機により吸引する連通路と、前記送風機の風下側に配置され、排気用の高性能フィルタを介して外部に空気を排出する排出路とを備えたクリーンベンチにおいて、
前記送風機の運転を制御する制御装置と、前記作業空間内の空気の清浄度を測定する清浄度センサを備えたことを特徴とするクリーンベンチ。
A work space having a finger insertion opening on the front surface, a blower for supplying clean air to the work space via a high-performance filter for supplying air, and air blown out of the work space is sucked by the blower In a clean bench provided with a communication path and a discharge path that is disposed on the leeward side of the blower and discharges air to the outside through a high-performance filter for exhaust,
A clean bench comprising a control device for controlling the operation of the blower and a cleanliness sensor for measuring the cleanliness of the air in the work space.
前記制御装置は、前記清浄度センサにより検出された前記作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行することを特徴とする請求項1のクリーンベンチ。   2. The clean bench according to claim 1, wherein when the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor is reduced to a predetermined value or less, the control device performs a predetermined alarm operation. 前記制御装置は、前記清浄度センサにより検出された前記作業空間内の清浄度に基づいて前記送風機の回転数を制御することを特徴とする請求項1又は請求項2のクリーンベンチ。   The clean bench according to claim 1 or 2, wherein the control device controls the rotational speed of the blower based on the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor. 前記制御装置は、前記清浄度センサにより検出される前記作業空間内の清浄度が所定の値となるように前記送風機の回転数を制御することを特徴とする請求項3のクリーンベンチ。   The clean bench according to claim 3, wherein the control device controls the rotational speed of the blower so that the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor becomes a predetermined value. 表示装置を備え、前記制御装置は前記清浄度センサにより検出された前記作業空間内の清浄度を前記表示装置にて表示し、及び/又は、当該清浄度に関するデータを外部に出力することを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3又は請求項4のクリーンベンチ。   A display device, wherein the control device displays the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor on the display device and / or outputs data relating to the cleanliness to the outside. The clean bench according to claim 1, claim 2, claim 3 or claim 4. 前記作業空間内の温度を検出する温度センサを備え、前記制御装置は前記温度センサにより検出された前記作業空間内の温度を前記表示装置にて表示し、及び/又は、当該温度に関するデータを外部に出力することを特徴とする請求項5のクリーンベンチ。   A temperature sensor for detecting a temperature in the work space; and the control device displays the temperature in the work space detected by the temperature sensor on the display device and / or externally transmits data relating to the temperature. The clean bench according to claim 5, wherein 前記作業空間内の複数カ所に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、前記清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、前記制御装置は、該測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、前記清浄度センサによって前記作業空間内の複数カ所の清浄度を測定することを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5又は請求項6のクリーンベンチ。   A measuring flow path switching device that alternatively sucks air from suction portions provided at a plurality of locations in the work space and supplies the air to the cleanliness sensor, and the control device includes the measuring flow path switching device. The cleanliness of the plurality of locations in the work space is measured by the cleanliness sensor by switching the flow path of the first, second, third, fourth, and fifth. Or the clean bench of Claim 6. 前記制御装置は、前記作業空間内の複数カ所の清浄度の平均値を算出し、該平均値が規定値以下に低下した場合に、所定の警報動作を実行することを特徴とする請求項7のクリーンベンチ。   The said control apparatus calculates the average value of the cleanliness of several places in the said work space, and when this average value falls below a regulation value, it performs predetermined alarm operation | movement. Clean bench. 前記測定用流路切替装置は、前記清浄度センサを経た空気を、前記吸引部よりも空気下流側の位置に排出することを特徴とする請求項7又は請求項8のクリーンベンチ。   The clean bench according to claim 7 or 8, wherein the measurement flow path switching device discharges the air that has passed through the cleanliness sensor to a position downstream of the suction unit. 前記作業空間内と前記排気用の高性能フィルタを経た位置に設けた吸引部から択一的に空気を吸引し、前記清浄度センサに供給する測定用流路切替装置を備え、前記制御装置は、該測定用流路切替装置の流路を切り換えることにより、前記清浄度センサによって前記作業空間内と前記排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度を測定することを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8又は請求項9のクリーンベンチ。   A flow path switching device for measurement, which selectively sucks air from a suction portion provided in the work space and through the high-performance filter for exhaust, and supplies the air to the cleanliness sensor; The cleanliness of the air that has passed through the work space and the high-performance filter for exhaust is measured by the cleanliness sensor by switching the flow path of the measurement flow path switching device. The clean bench of claim 2, claim 3, claim 4, claim 5, claim 6, claim 7, claim 8, or claim 9. 前記制御装置は、前記清浄度センサにより検出された前記作業空間内の清浄度が規定値以下に低下した場合、所定の警報動作を実行すると共に、前記清浄度センサにより検出された前記排気用の高性能フィルタを経た空気の清浄度が規定値以下に低下した場合、前記作業空間内の清浄度に関する警報とは区別した所定の警報動作を実行することを特徴とする請求項10のクリーンベンチ。   When the cleanliness in the work space detected by the cleanliness sensor is reduced to a predetermined value or less, the control device performs a predetermined alarm operation, and for the exhaust gas detected by the cleanliness sensor. 11. The clean bench according to claim 10, wherein when the cleanliness of the air that has passed through the high-performance filter falls below a predetermined value, a predetermined alarm operation that is different from an alarm regarding the cleanliness in the work space is executed. 前記作業空間内の空気を吸引して前記清浄度センサに供給するための吸引部を有し、該吸引部には延長用の空気吸引パイプを接続可能としたことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8、請求項9、請求項10又は請求項11のクリーンベンチ。   2. An air suction pipe for sucking air in the working space and supplying it to the cleanliness sensor, and an extension air suction pipe can be connected to the suction part. The clean bench according to claim 2, claim 3, claim 4, claim 5, claim 6, claim 7, claim 8, claim 9, or claim 11. 前記清浄度センサには、前記手指挿入用の開口部近傍の空気を供給しないことを特徴とする請求項1、請求項2、請求項3、請求項4、請求項5、請求項6、請求項7、請求項8、請求項9、請求項10、請求項11又は請求項12のクリーンベンチ。   The air in the vicinity of the finger insertion opening is not supplied to the cleanliness sensor. Claims 1, 2, 3, 4, 5, 6, and 6 The clean bench according to claim 7, claim 8, claim 9, claim 10, claim 11 or claim 12.
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