JP5235360B2

JP5235360B2 - Position confirmation device

Info

Publication number: JP5235360B2
Application number: JP2007223227A
Authority: JP
Inventors: 里志荒井; 敬介原; 誠中畑
Original assignee: 日本空圧システム株式会社
Priority date: 2007-08-29
Filing date: 2007-08-29
Publication date: 2013-07-10
Anticipated expiration: 2027-08-29
Also published as: JP2009056514A

Description

この発明は、ワークなどが着座面に正確に着座しているかどうかを確認するための位置確認装置に関する。 The present invention relates to a position confirmation device for confirming whether a workpiece or the like is accurately seated on a seating surface.

この種のものとして、図１０、図１１に示した装置が従来知られている。
この従来の装置は、図１０に示すように、接続ポート１ａをエア供給源Ｐに接続する供給通路１を備えている。この供給通路１には、レギュレータＲ_１，Ｒ_２を直列に接続している。上記レギュレータＲ_１，Ｒ_２は、エア供給源Ｐから供給通路１に供給される圧縮エアの圧力を調整するものであり、レギュレータＲ_１の設定圧をレギュレータＲ_２の設定圧よりも高圧にしている。したがって、レギュレータＲ_２よりも上流側には、レギュレータＲ_１で圧力調整された高圧の圧縮エア（圧縮ブローエア）が導かれ、レギュレータＲ_２よりも下流側には、レギュレータＲ_２でさらに圧力調整された圧縮エア（圧縮検出エア）が導かれることとなる。 As this type, the apparatus shown in FIGS. 10 and 11 is conventionally known.
As shown in FIG. 10, this conventional apparatus includes a supply passage 1 that connects a connection port 1 a to an air supply source P. Regulators R ₁ and R ₂ are connected in series to the supply passage 1. The regulators R ₁ and R ₂ adjust the pressure of the compressed air supplied from the air supply source P to the supply passage 1, and set the set pressure of the regulator R ₁ higher than the set pressure of the regulator R _2. Yes. Therefore, the upstream side of the regulator R _2, regulator R ₁ at a pressure regulated high pressure compressed air (compressed blowing air) is guided, on the downstream side of the regulator R _2, is further pressure regulation by the regulator R ₂ Compressed air (compression detection air) is guided.

また、上記供給通路１には、レギュレータＲ_２の下流側に電磁制御弁２を接続しており、この電磁制御弁２を切り換えることにより、供給通路１を開閉する。さらに、レギュレータＲ_１，Ｒ_２の連通過程には、ブロー通路３を接続するとともに、このブロー通路３を複数の電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５のブローポートａに接続している。
一方、上記供給通路１は、電磁制御弁２の下流側における圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５に設けた分岐ポート４ａ〜４ｅに接続するとともに、この分岐ポート４ａ〜４ｅのそれぞれに検出通路５を接続している。また、上記分岐ポート４ａ〜４ｅには、検出通路５と同様に、比較通路６を接続するとともに、この比較通路６を、ニードル弁７を介して大気に連通させている。
なお、上記比較通路６および検出通路５には、それぞれオリフィス８ａ，８ｂを設けている。 Further, an electromagnetic control valve 2 is connected to the supply passage 1 on the downstream side of the regulator R ₂ , and the supply passage 1 is opened and closed by switching the electromagnetic control valve 2. Further, in the communication process of the regulators R ₁ and R ₂ , the blow passage 3 is connected, and the blow passage 3 is connected to the blow ports a of the plurality of electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ .
On the other hand, the supply passage 1 is configured to connect to the branch port 4a~4e provided on the pressure detection blocks _B 1 .about.B ₅ on the downstream side of the electromagnetic control valve 2, a detection passage 5 in each of the branch port 4a~4e Connected. The branch ports 4 a to 4 e are connected to a comparison passage 6 in the same manner as the detection passage 5, and communicate with the atmosphere via a needle valve 7.
The comparison passage 6 and the detection passage 5 are provided with orifices 8a and 8b, respectively.

また、上記圧力検出ブロックＢには差圧検出手段９を設けるとともに、この差圧検出手段９には検出通路５および比較通路６を接続している。なお、差圧検出手段９としては、例えばダイアフラムや半導体センサが用いられ、この差圧検出手段９、比較通路６、ニードル弁７によって圧力検出部Ｓを構成することとなる。
そして、上記検出通路５は、上記電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の検出ポートｂに接続されている。この電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５は、上記ブローポートａ，検出ポートｂ、および合流ポートｃを有する３方弁からなり、上記合流ポートｃは、配管１０を介してテーブルに形成した噴出口１１に接続するようにしている。
また、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５は、その切り換え位置に応じて、検出通路５およびブロー通路３のいずれか一方を合流ポートｃに連通させ、いずれか他方を合流ポートｃから遮断する。 The pressure detection block B is provided with a differential pressure detection means 9, and a detection passage 5 and a comparison passage 6 are connected to the differential pressure detection means 9. For example, a diaphragm or a semiconductor sensor is used as the differential pressure detection unit 9, and the pressure detection unit S is configured by the differential pressure detection unit 9, the comparison passage 6, and the needle valve 7.
The detection passage 5 is connected to the detection ports b of the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ . The electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are composed of a three-way valve having the blow port a, the detection port b, and the merging port c. The merging port c is a jet port 11 formed in a table via a pipe 10. To connect to.
Further, the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ cause either one of the detection passage 5 and the blow passage 3 to communicate with the merging port c and block the other from the merging port c according to the switching position.

以上の回路構成からなる位置確認装置は、ワークがテーブル上に載置される際、つまり、ワークがテーブルに向かって近づく過程で、電磁制御弁２を図面下側位置に維持するとともに、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５を図面上側位置に切り換える。すると、レギュレータＲ_１で圧力調整された圧縮ブローエアが、ブロー通路３→電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５→配管１０を介して噴出口１１から噴出する。
このように、噴出口１１から高圧の圧縮ブローエアを噴出させることで、ワークに付着した油や切削屑等を吹き飛ばして、ワークをテーブルにしっかりと着座させるようにしている。また、油や切削屑等を吹き飛ばすことにより、配管１０内に油分等が浸入して配管詰まりを生じるのを防ぐこともできる。 The position confirmation device having the above circuit configuration maintains the electromagnetic control valve 2 at the lower position in the drawing when the work is placed on the table, that is, in the process of the work approaching the table, and the electromagnetic switching is performed. The valves A _{1 to} A ₅ are switched to the upper position in the drawing. Then, the compressed blow air whose pressure is adjusted by the regulator R ₁ is ejected from the ejection port 11 via the blow passage 3 → the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ → the pipe 10.
In this manner, high pressure compressed blow air is ejected from the ejection port 11 so that oil, cutting waste, or the like adhering to the workpiece is blown off and the workpiece is firmly seated on the table. In addition, by blowing off oil, cutting waste, etc., it is possible to prevent oil from entering the pipe 10 and clogging the pipe.

そして、ワークがテーブルに載置されると同時に、今度は電磁制御弁２を図面上側位置に切り換え、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５を図面下側位置に切り換える。すると、供給通路１が開くとともに、検出通路５が配管１０に連通するので、レギュレータＲ_２で圧力調整された圧縮検出エアが、供給通路１→検出通路５→電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の検出ポートｂ→合流ポートｃ→配管１０を介して噴出口１１から噴出する。
このとき、差圧検出手段９は、検出通路５と比較通路６との圧力差を検出しているが、当該差圧検出手段９の検出値は、テーブル上に載置したワークとテーブルとの隙間量に応じて変化する。
すなわち、ワークとテーブルとの間に隙間がない場合には、噴出口１１から圧縮検出エアが噴出できないため、検出通路５内の圧力が高くなる。これに対してワークとテーブルとの間に隙間がある場合には、その隙間から圧縮検出エアが噴出するので、検出通路５内の圧力が低くなる。つまり、検出通路５内の圧力は、ワークとテーブルとの間の隙間量が大きくなるにつれて、徐々に低くなる関係にある。 At the same time when the workpiece is placed on the table, the electromagnetic control valve 2 is switched to the upper position in the drawing, and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are switched to the lower position in the drawing. Then, the supply passage 1 opens and the detection passage 5 communicates with the pipe 10, so that the compressed detection air whose pressure is adjusted by the regulator R ₂ is supplied from the supply passage 1 → the detection passage 5 → the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ . It is ejected from the ejection port 11 through the detection port b → the merging port c → the pipe 10.
At this time, the differential pressure detection means 9 detects the pressure difference between the detection passage 5 and the comparison passage 6 , but the detection value of the differential pressure detection means 9 is the difference between the work placed on the table and the table. It changes according to the gap amount.
That is, when there is no gap between the workpiece and the table, the compressed detection air cannot be ejected from the ejection port 11, so that the pressure in the detection passage 5 increases. On the other hand, when there is a gap between the workpiece and the table, the compressed detection air is ejected from the gap, so the pressure in the detection passage 5 is lowered. That is, the pressure in the detection passage 5 has a relationship of gradually decreasing as the gap amount between the workpiece and the table increases.

これに対して、比較通路６はニードル弁７を介して大気に連通しているので、当該比較通路６内の圧力はほぼ一定に保たれている。したがって、比較通路６と検出通路５との圧力差は、ワークとテーブルとの隙間量に応じて変化することになる。
なお、ニードル弁７の開度を調整することにより、比較通路６内の設定圧力を変えることができるが、この開度は次のようにして決定される。例えば、ワークとテーブルとの間の許容隙間量を０．１ｍｍとした場合、ワークとテーブルとの間の隙間量が０．１ｍｍのときの、検出通路５内の圧力を検出する。そして、比較通路６内の圧力が、隙間量０．１ｍｍのときに検出される検出通路５内の圧力と等しくなるように、ニードル弁７の開度を調整する。
このようにすれば、隙間量が０．１ｍｍよりも大きいときには、検出通路５内の圧力が、比較通路６内の圧力よりも低くなる。逆に、隙間量が０．１ｍｍ以下のときには、検出通路５内の圧力が、比較通路６内の圧力よりも高くなる。
したがって、差圧検出手段９が検出する比較通路６と検出通路５との圧力差が、検出通路５≧比較通路６となったときには、ワークとテーブルとの間の隙間量が許容範囲内にあることとなる。このように、差圧検出手段９の検出値を見れば、ワークとテーブルとの隙間量を特定することができる。 On the other hand, since the comparison passage 6 communicates with the atmosphere via the needle valve 7, the pressure in the comparison passage 6 is kept substantially constant. Therefore, the pressure difference between the comparison passage 6 and the detection passage 5 changes according to the gap amount between the workpiece and the table.
The set pressure in the comparison passage 6 can be changed by adjusting the opening degree of the needle valve 7, and this opening degree is determined as follows. For example, when the allowable gap amount between the workpiece and the table is 0.1 mm, the pressure in the detection passage 5 is detected when the gap amount between the workpiece and the table is 0.1 mm. Then, the opening degree of the needle valve 7 is adjusted so that the pressure in the comparison passage 6 becomes equal to the pressure in the detection passage 5 detected when the gap amount is 0.1 mm.
In this way, when the gap amount is larger than 0.1 mm, the pressure in the detection passage 5 becomes lower than the pressure in the comparison passage 6. On the other hand, when the gap amount is 0.1 mm or less, the pressure in the detection passage 5 is higher than the pressure in the comparison passage 6.
Therefore, when the pressure difference between the comparison passage 6 and the detection passage 5 detected by the differential pressure detecting means 9 is detected passage 5 ≧ comparison passage 6, the gap amount between the workpiece and the table is within an allowable range. It will be. Thus, by looking at the detection value of the differential pressure detection means 9, the gap amount between the workpiece and the table can be specified.

そして、差圧検出手段９には図示しないコントローラが接続されており、差圧検出手段９が、検出通路５≧比較通路６と検出したとき、コントローラはオン信号を出力し、ワークに対する作業を開始する。一方、差圧検出手段９が、比較通路６＞検出通路５と検出したときには、隙間量が大きいと判断して、ＮＧ信号を出力するとともに作業を中断する。
以上のように、上記の位置確認装置によれば、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の切り換え制御によって、圧縮ブローエアを噴出させたり、あるいは圧縮検出エアを噴出させたりして、いわゆるブローと検出とを連続的に行っている。 A controller (not shown) is connected to the differential pressure detecting means 9 and when the differential pressure detecting means 9 detects that the detection passage 5 ≧ the comparison passage 6, the controller outputs an ON signal and starts work on the workpiece. To do. On the other hand, when the differential pressure detecting means 9 detects that the comparison passage 6> the detection passage 5, it is determined that the gap amount is large, and an NG signal is output and the operation is interrupted.
As described above, according to the position confirmation device described above, so-called blow and detection are performed by ejecting compressed blow air or ejecting compressed detection air by switching control of the electromagnetic switching valves A _{1 to} A _5. Is done continuously.

そして、上記の回路構成からなる位置確認装置の構造は、図１１に示すとおりである。すなわち、金属パネル１２上には、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５が連接して固定されている。さらに、電磁切換弁Ａ_１にはレギュレータＲ_１を連接して固定するとともに、電磁切換弁Ａ_５にはレギュレータＲ_２を連接して固定している。そして、連接するレギュレータＲ_１、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５、およびレギュレータＲ_２には、その本体内を貫通させて上記供給通路１を形成する。なお、エア供給源Ｐに接続する供給通路１の接続ポート１ａは、レギュレータＲ_１側に位置している。
また、金属パネル１２上には、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５から所定の間隔を維持した位置に、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を連接して固定している。この圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５は、その内部に圧力検出部Ｓを組み込んでいる。そして、圧力検出ブロックＢ_１には、電磁制御弁２を連接して固定するとともに、この電磁制御弁２および圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５内に、それらを貫通する供給通路１を設けている。 And the structure of the position confirmation apparatus which consists of said circuit structure is as showing in FIG. That is, on the metal panel 12, the electromagnetic switching valve A ₁ to A ₅ is fixed to connecting. Furthermore, is fixed by connecting the regulator R ₁ is an electromagnetic switching valve A _1, are fixed by concatenating regulator R ₂ are electromagnetic switching valve A _5. The regulator R ₁ , the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ , and the regulator R ₂ that are connected to each other pass through the main body to form the supply passage 1. The connection port 1a of the supply passage 1 connected to an air supply source P is positioned in the regulator R ₁ side.
In addition, pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ are connected and fixed on the metal panel 12 at positions that maintain a predetermined distance from the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ . The pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ incorporate a pressure detection unit S therein. Then, the pressure detection blocks B _1, is fixed by connecting the solenoid control valve 2 is in the electromagnetic control valve 2 and the pressure detection blocks B ₁ .about.B _5, the supply passage 1 is provided which penetrates them .

上記したように、金属パネル１２上には、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５およびレギュレータＲ_１，Ｒ_２を連接したユニットと、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５および電磁制御弁２を連接したユニットとが、所定の間隔をもって配置されているが、これら両ユニットは配管１３，１４で接続されている。
なお、配管１３は、供給通路１を構成しており、両ユニットに貫通する供給通路１を連通させている。したがって、供給通路１は、レギュレータＲ_１→電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５→レギュレータＲ_２→配管１３→電磁制御弁２→圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５にわたって構成されることとなる。
また、配管１４は、検出通路５を構成しており、各圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５内の圧力検出部Ｓと、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の各検出ポートｂとを接続している。
なお、図１１においては、ブロー通路３を記していないが、ブロー通路３は、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５本体を貫通する供給通路１から分岐しており、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５に設けた図示しないブローポートａに接続されている。 As described above, on the metal panel 12, a unit in which the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ and the regulators R ₁ and R ₂ are connected, and a unit in which the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic control valve 2 are connected. Are arranged at a predetermined interval, but these two units are connected by pipes 13 and 14.
In addition, the piping 13 comprises the supply path 1, and connects the supply path 1 which penetrates both units. Accordingly, the supply passage 1 is configured across the regulator R ₁ → the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ → the regulator R ₂ → the pipe 13 → the electromagnetic control valve 2 → the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ .
Further, the pipe 14 constitutes a detection passage 5, and connected to the pressure sensing portion S of the pressure detection blocks B ₁ .about.B _5, and the detection port b of the electromagnetic switching valve A ₁ to A ₅ Yes.
In FIG. 11, the blow passage 3 is not shown, but the blow passage 3 is branched from the supply passage 1 penetrating the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ main bodies, and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A _5. Connected to a blow port a (not shown).

そして、上記配管１３，１４は、コストや重量、あるいは取り付け時の自在性等の面から樹脂製のものを採用することが多い。このように、樹脂製の配管１３，１４に対して、外力が作用したり、ねじれや曲げ応力が作用したりすると、当該配管１３，１４の開口断面積が変わってしまい、各通路に所期の必要流量を供給することができなくなって、装置の特性が変化してしまうおそれがある。
また、外力が作用することによって配管１３，１４が破れたり、切断されたり、さらには、配管１３，１４をつなぐ継手に荷重が作用して、継手と配管１３，１４との間にリークが生じるおそれもある。
しかも、配管１４は、図１１からも明らかなように、圧力検出ブロックＢ（電磁切換弁Ａ）の数だけ必要となるため、複数の配管１４が、圧力検出ブロックＢと電磁切換弁Ａとの間で重なり合うようにして接続されている。そのため、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５とをあまり近づけすぎると、狭いスペースで配管１４が互いに重なり合ったり絡まったりして、相互に外力が作用したり、あるいは配管１４が曲げ応力によって変形してしまい、上記の問題が生じる可能性が高くなる。 The pipes 13 and 14 are often made of resin from the standpoints of cost, weight, flexibility during mounting, and the like. As described above, when an external force acts on the resin pipes 13 and 14 or a torsional or bending stress acts on the resin pipes 13 and 14, the opening cross-sectional area of the pipes 13 and 14 changes, and each passage is expected. The required flow rate cannot be supplied, and the characteristics of the apparatus may change.
In addition, the pipes 13 and 14 are torn or cut by an external force, and further, a load is applied to the joint connecting the pipes 13 and 14, causing a leak between the joint and the pipes 13 and 14. There is also a fear.
Moreover, as is clear from FIG. 11, as many pipes 14 are required as the number of pressure detection blocks B (electromagnetic switching valves A), so that a plurality of pipes 14 are connected between the pressure detection blocks B and the electromagnetic switching valves A. They are connected so as to overlap each other. Therefore, if the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are too close to each other, the pipes 14 overlap or become entangled in a narrow space, and external forces act on each other, or the pipes 14 is deformed by the bending stress, and the possibility that the above problem occurs is increased.

そこで、金属パネル１２上に、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５とを、所定の間隔をもって固定し、配管１３，１４が変形しないようにしたのである。
また、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５とを、上記のようにして金属パネル１２上に固定すれば、輸送の際に配管１３，１４に外力が作用して押しつぶされたり、あるいは圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５とが相互に移動して、配管１３，１４が捩じれたりする恐れもなくなる。
なお、先行技術調査の結果、この発明に想到するものは見つからなかった。 Therefore, the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are fixed on the metal panel 12 at a predetermined interval so that the pipes 13 and 14 are not deformed.
Further, if the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are fixed on the metal panel 12 as described above, an external force acts on the pipes 13 and 14 during transportation. There is no possibility that the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ move relative to each other and the pipes 13 and 14 are twisted.
As a result of the prior art search, nothing has been conceived for the present invention.

上記のように、従来の位置確認装置においては、金属パネル１２上に圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５とを、所定の間隔をもって固定しているため、装置の取り付けスペースが大きくなってしまうという問題があった。 As described above, in the conventional position confirmation device, the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are fixed on the metal panel 12 at a predetermined interval. There was a problem that the installation space would become large.

また、従来の位置確認装置を組み付ける際には、隣り合う電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５およびレギュレータＲ_１、Ｒ_２をそれぞれ連結するとともに、隣り合う圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５および電磁制御弁２をそれぞれ連結しなければならず、しかも、全ての圧力検出ブロックＢと電磁切換弁Ａとに配管１４を取り付けなければならない。そのため、組み立て作業が非常に煩雑になるという問題があった。 Moreover, when assembling the conventional position confirmation device, the adjacent electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ and the regulators R ₁ and R ₂ are respectively connected, and the adjacent pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic control valve are connected. 2 must be connected to each other, and piping 14 must be attached to all the pressure detection blocks B and the electromagnetic switching valves A. Therefore, there has been a problem that the assembly work becomes very complicated.

さらに、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５は、それを切り換え制御する際に熱を生じるため、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５とを近づけすぎると、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５が発する熱によって圧力検出部Ｓが故障したり、あるいは検出通路５内の温度上昇によって誤検出したりするという問題があった。
また、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５は、磁力によって電気的に切り換え制御を行っているため、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５と圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５とを近づけすぎると、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５から発生する磁力が、圧力検出部Ｓに悪影響を及ぼすおそれがあり、特に、電磁切換弁Ａの数が多い場合には、圧力検出部Ｓに及ぼす影響も大きくなるという問題があった。 Furthermore, since the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ generate heat when switching them, if the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are too close, the electromagnetic switching valves There has been a problem that the pressure detection unit S fails due to heat generated by A _{1 to} A ₅ , or is erroneously detected due to a temperature rise in the detection passage 5.
Further, since the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are electrically controlled by magnetic force, if the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ and the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ are too close, the electromagnetic switching is performed. The magnetic force generated from the valves A _{1 to} A ₅ may adversely affect the pressure detection unit S. In particular, when the number of electromagnetic switching valves A is large, the effect on the pressure detection unit S is increased. was there.

この発明の目的は、装置をコンパクト化して取り付けスペースを小さくするとともに、組み立て作業を簡素化した位置確認装置を提供することであり、さらには、上記コンパクト化と組み立て作業の簡素化を実現しながらも、電磁切換弁がもたらす熱や磁力によって圧力検出部が故障や誤検出することのない位置確認装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a position confirmation device that reduces the mounting space by reducing the size of the device and simplifies the assembly work, and further achieves the above-described compactness and simplification of the assembly work. Another object of the present invention is to provide a position confirmation device in which the pressure detector does not fail or erroneously detect due to heat or magnetic force generated by the electromagnetic switching valve.

この発明は、エア供給源に対して供給通路とブロー通路とを並列に接続するとともに、上記供給通路には、上流側から、当該供給通路を開閉する電磁制御弁と、この電磁制御弁に対して並列に接続した複数の圧力検出部と、個々の圧力検出部に対応させて設けた電磁切換弁とを接続する一方、この電磁切換弁には、上記ブロー通路も接続してなり、電磁切換弁の切換位置に応じて、上記供給通路をテーブルに形成した噴出口に連通させたり、ブロー通路を上記噴出口に連通させたりする構成にし、上記供給通路を噴出口に連通させた状態において上記圧力検出部が検出する圧力に応じて上記テーブルに載せたワークが当該テーブルに対して正確に載置されたかどうかを確認する位置確認装置を前提にする。 According to the present invention, a supply passage and a blow passage are connected in parallel to an air supply source. The supply passage includes an electromagnetic control valve that opens and closes the supply passage from the upstream side, and the electromagnetic control valve. A plurality of pressure detectors connected in parallel to each other and an electromagnetic switching valve provided corresponding to each pressure detection unit, while the electromagnetic switching valve is also connected to the blow passage, According to the switching position of the valve, the supply passage is communicated with a jet port formed in the table, or the blow passage is communicated with the jet port, and the supply passage is communicated with the jet port. A position confirmation device for confirming whether or not the work placed on the table is correctly placed on the table according to the pressure detected by the pressure detection unit is assumed.

上記の構成を前提にしつつ、第１の発明は、圧力検出ブロックと、連結部材と、上記電磁切換弁とを一体に組み付けてユニット化するとともに、個々のユニットを複数連接する一方、上記圧力検出ブロックには、この圧力検出ブロックを貫通する上記供給通路と、この供給通路に連通する圧力検出部とを設け、上記連結部材には、上記圧力検出部に連通する検出通路を設け、上記電磁切換弁は、上記検出通路に連通する検出ポートと、上記ユニットの上記連結部材あるいは当該電磁切換弁を貫通する上記ブロー通路に連通するブローポートとを設けるとともに、切換位置に応じてこれらブローポートあるいは検出ポートのいずれか一方を、上記噴出口に連通する合流ポートに連通させる構成にした点に特徴を有する。
第２の発明は、上記ユニットを構成する上記圧力検出ブロックには、隣り合うユニットの圧力検出ブロック同士を連結する接続機構を設ける一方、上記ユニットのブロー通路の開口を、隣り合うユニットの対向面に設けてなり、しかも上記接続機構によって隣り合うユニットの圧力検出ブロックを固定する一方、隣り合うユニットの連結部材同士および隣り合うユニットの電磁切換弁同士を非連結状態に維持した点に特徴を有する。 The first invention is based on the above configuration, and the pressure detection block, the connecting member, and the electromagnetic switching valve are integrally assembled into a unit, and a plurality of individual units are connected, while the pressure detection is performed. The block is provided with the supply passage penetrating the pressure detection block and a pressure detection portion communicating with the supply passage. The connection member is provided with a detection passage communicating with the pressure detection portion, and the electromagnetic switching The valve includes a detection port that communicates with the detection passage and a blow port that communicates with the blow passage that passes through the connecting member of the unit or the electromagnetic switching valve. It is characterized in that either one of the ports is configured to communicate with a confluence port communicating with the jet port.
The second invention is, in the pressure detection blocks constituting the unit, while providing a connection mechanism for connecting the pressure detection blocks of adjacent units, the opposing surfaces of the unit the opening of the blow passage of the unit, adjacent In addition, the pressure detection block of the adjacent unit is fixed by the connection mechanism, while the connecting members of the adjacent units and the electromagnetic switching valves of the adjacent units are maintained in a non-connected state. .

第３の発明は、上記ブロー通路を形成した連結部材あるいは電磁切換弁の対向面間には、隙間を維持し、これら対向面間には、圧接シールからなるシール部材を設けるとともに、隣り合う圧力検出ブロックを連結する上記接続機構の締め付け力によって、上記圧接シールをブロー通路の開口面間に圧接させる構成にした点に特徴を有する。
第４の発明は、隣り合う上記ユニットの圧力検出ブロック間には上記供給通路の開口接続部をシールするシール部材を設ける一方、隣り合う上記ユニットの連結部材あるいは電磁切換弁間には、ブロー通路の開口接続部をシールするシール部材を設け、しかも、このブロー通路の開口接続部をシールするシール部材を、供給通路の開口接続部をシールするシール部材よりも長くした点に特徴を有する。 According to a third aspect of the present invention, a gap is maintained between the facing surfaces of the connecting member or the electromagnetic switching valve in which the blow passage is formed, and a sealing member made of a pressure contact seal is provided between these facing surfaces, and the adjacent pressure is maintained. The present invention is characterized in that the pressure-contact seal is pressed between the opening surfaces of the blow passage by the tightening force of the connection mechanism that connects the detection blocks .
According to a fourth aspect of the present invention, a seal member for sealing the opening connection portion of the supply passage is provided between the pressure detection blocks of the adjacent units, while a blow passage is provided between the connecting members or the electromagnetic switching valves of the adjacent units. In addition, a sealing member for sealing the opening connection portion is provided, and the sealing member for sealing the opening connection portion of the blow passage is longer than the sealing member for sealing the opening connection portion of the supply passage .

第５の発明は、上記検出通路は、圧力検出ブロックから連結部材に連続して形成するとともに、上記圧力検出ブロックおよび連結部材のいずれか一方または双方であって、上記検出通路の外周には、大気に連通する放熱部を設けた点に特徴を有する。
第６の発明は、上記連結部材は、圧力検出部を電磁切換弁が発する磁力から遮蔽する機能を有する点に特徴を有する。 According to a fifth aspect of the invention, the detection passage is formed continuously from the pressure detection block to the connecting member, and is one or both of the pressure detection block and the connecting member. It is characterized in that a heat dissipating part communicating with the atmosphere is provided .
The sixth invention is characterized in that the connecting member has a function of shielding the pressure detection unit from the magnetic force generated by the electromagnetic switching valve .

第１の発明によれば、圧力検出ブロックに組み込んだ圧力検出部と電磁切換弁のポートとが、連結部材に形成した検出通路によって接続されるので、圧力検出ブロックと電磁切換弁とを接続する配管が不要となる。したがって、圧力検出ブロックと電磁切換弁とを、連結部材を介して一体的に固定することができ、装置全体をコンパクト化して、取り付けスペースを小さくすることができる。
しかも、従来のように圧力検出ブロックあるいは電磁切換弁の数だけ配管を接続する必要がなくなり、組み立て作業を簡素化することができる。 According to the first aspect of the invention, since the pressure detection unit incorporated in the pressure detection block and the port of the electromagnetic switching valve are connected by the detection passage formed in the connecting member, the pressure detection block and the electromagnetic switching valve are connected. No piping is required. Therefore, the pressure detection block and the electromagnetic switching valve can be integrally fixed via the connecting member, the entire apparatus can be made compact, and the mounting space can be reduced.
In addition, it is not necessary to connect as many pipes as there are pressure detection blocks or electromagnetic switching valves as in the prior art, and the assembly work can be simplified.

第２の発明によれば、隣り合う圧力検出ブロックを固定する一方で、隣り合う連結部材同士および隣り合う電磁切換弁同士は非連結状態に維持した。仮に全ての部材を連結してしまうと、各部材が干渉し合ってしまい、連結部分にリークが生じるおそれがある。しかし、この第２の発明によれば、隣り合う電磁切換弁同士および隣り合う電磁切換弁同士は非連結状態に維持することにより、各部材が干渉することがなくなり、連結部分にリークが生じるおそれを低減することができる。
第３の発明によれば、ブロー通路を形成した連結部材あるいは電磁切換弁の対向面間に隙間を維持したので、各部材の寸法誤差を吸収することができる。したがって、圧力検出ブロックと連結部材との固定面、あるいは圧力検出ブロックと電磁切換弁に歪みが生じることがなく、検出通路の継ぎ目に漏れが生じることもない。 According to the second invention, adjacent pressure detection blocks are fixed, while adjacent connecting members and adjacent electromagnetic switching valves are kept in a non-connected state. If all the members are connected, the members interfere with each other, and there is a risk that leakage will occur at the connecting portion. However, according to the second aspect of the present invention, the adjacent electromagnetic switching valves and the adjacent electromagnetic switching valves are maintained in the non-connected state, so that the members do not interfere with each other, and a leak may occur in the connected portion. Can be reduced.
According to the third invention, since the gap is maintained between the facing surfaces of the connecting member or the electromagnetic switching valve in which the blow passage is formed, the dimensional error of each member can be absorbed. Therefore, no distortion occurs in the fixed surface between the pressure detection block and the connecting member, or in the pressure detection block and the electromagnetic switching valve, and no leakage occurs in the joint of the detection passage.

また、ブロー通路の開口接続部をシールするシール部材を圧接シールで構成するとともに、隣り合う圧力検出ブロックを連結する締め付け力によって、圧接シールを圧接させるので、隣り合う連結部材間あるいは電磁切換弁間に歪を生じることなく、ブロー通路をしっかりとシールすることができる。
第４の発明によれば、ブロー通路の開口接続部をシールするシール部材を、供給通路の開口接続部をシールするシール部材よりも長くしたので、ブロー通路が開口する対向面間に隙間があったり、あるいは隣り合う連結部材あるいは電磁切換弁間の接続力が弱かったりしても、しっかりとブロー通路の漏れを防ぐことができる。 In addition, the seal member that seals the opening connection part of the blow passage is configured by a pressure contact seal, and the pressure contact seal is pressed by the tightening force that connects the adjacent pressure detection blocks, so that between the adjacent connection members or between the electromagnetic switching valves. The blow passage can be tightly sealed without causing distortion.
According to the fourth aspect of the invention, since the seal member that seals the opening connection portion of the blow passage is longer than the seal member that seals the opening connection portion of the supply passage, there is a gap between the opposing surfaces where the blow passage opens. Even if the connecting force between adjacent coupling members or electromagnetic switching valves is weak, leakage of the blow passage can be prevented firmly.

第５の発明によれば、検出通路の外周には大気に連通する放熱部を設けたので、検出通路内の熱を放熱することができる。したがって、電磁切換弁が発する熱によってもたらされる、検出通路内の温度上昇を抑制することができる。このように、検出通路内の温度上昇を抑制することができるので、電磁切換弁の熱によって圧力検出部が故障したりあるいは誤検出するおそれを低減することができる。
第６の発明によれば、連結部材に磁気遮蔽機能をもたせたので、電磁切換弁が発する磁力が、圧力検出部に及ぼす影響を低減させることができる。したがって、圧力検出部が磁力の影響によって故障するのを防ぐことができる。 According to the fifth aspect , since the heat radiating portion communicating with the atmosphere is provided on the outer periphery of the detection passage, the heat in the detection passage can be radiated. Therefore, the temperature rise in the detection passage caused by the heat generated by the electromagnetic switching valve can be suppressed. Thus, since the temperature rise in the detection passage can be suppressed, it is possible to reduce the possibility that the pressure detection unit will fail or be erroneously detected due to the heat of the electromagnetic switching valve.
According to the sixth invention, since the connecting member has a magnetic shielding function, it is possible to reduce the influence of the magnetic force generated by the electromagnetic switching valve on the pressure detection unit. Therefore, it is possible to prevent the pressure detection unit from failing due to the influence of magnetic force.

図１〜図４を用いて、この発明の第１実施形態について説明する。
ただし、以下に説明する各実施形態の位置確認装置は、その回路構成を上記従来例と同じにしている。したがって、回路構成およびその作用についての詳細な説明は省略するとともに、上記従来例と同じ構成要素には同一の符号を付して説明する。
図１に示すように、この第１実施形態の位置確認装置は、レギュレータＲ_１，Ｒ_２、電磁制御弁２、および圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を一直線上に連接している。これらレギュレータＲ_１，Ｒ_２、電磁制御弁２および圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５には、それら各部材を一直線に貫通する供給通路１を形成している。なお、エア供給源Ｐに接続する供給通路１の接続ポート１ａは、レギュレータＲ_１の一端面（図中右側端面）に開口している。 A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
However, the position confirmation apparatus of each embodiment described below has the same circuit configuration as that of the conventional example. Therefore, a detailed description of the circuit configuration and its operation will be omitted, and the same components as those in the conventional example will be described with the same reference numerals.
As shown in FIG. 1, in the position confirmation device of the first embodiment, regulators R ₁ and R ₂ , an electromagnetic control valve 2 and pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ are connected in a straight line. The regulators R ₁ , R ₂ , the electromagnetic control valve 2 and the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ are provided with a supply passage 1 that passes through these members in a straight line. The connection port 1a of the supply passage 1 connected to an air supply source P is opened in one end face of the regulator R ₁ (right end surface in the drawing).

また、各圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５の特定の一面（図面下側の面）には、プレート状の連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５を固定している。そして、この連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５であって、上記圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を固定した面とは反対側の面に、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５を固定している。つまり、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５とを、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５を介して固定している。なお、上記連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５は鉄等の磁性体からなり、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５から発する磁力の影響が、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５側に及ばないようにしている。
上記圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５、および電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の内部構造は図２に示すとおりである。図２は、図１におけるＩＩ−ＩＩ線断面図であるが、この図２は、各構成要素の内部構造を概念的に示したものであり、寸法等は図１と一致するものではない。また、ここでは圧力検出ブロックＢ_１、連結部材Ｘ_１、および電磁切換弁Ａ_１を固定したユニットについて説明するが、他のユニット（例えば圧力検出ブロックＢ_２、連結部材Ｘ_２、および電磁切換弁Ａ_２）もこれと同様である。 In addition, plate-like connecting members X _{1 to} X ₅ are fixed to a specific surface (surface on the lower side of the drawing) of each of the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ . Then, a the connecting member _X 1 to X _5, the fixed surface of the pressure detection blocks _B 1 .about.B ₅ on the opposite side to fix the electromagnetic switching valve _A 1 to A _5. That is, the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are fixed via the connecting members X _{1 to} X ₅ . The connecting members X _{1 to} X ₅ are made of a magnetic material such as iron so that the magnetic force generated from the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ does not reach the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ side. .
The internal structures of the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ , the connecting members X _{1 to} X ₅ , and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are as shown in FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG. 1. FIG. 2 conceptually shows the internal structure of each component, and dimensions and the like do not match those of FIG. Furthermore, where the pressure detection blocks B ₁ represents _the coupling member X _1, and electromagnetic switching will be described fixed units valve A _1, another unit (for example, a pressure detection block B _{2 connecting} members X _2, and the electromagnetic change-over valve A ₂ ) is similar to this.

図２からも明らかなように、圧力検出ブロックＢ_１は、センサ組み込みブロック１５とベースブロック１６とからなり、ベースブロック１６には、両側面に貫通する供給通路１を設けている。また、ベースブロック１６には、供給通路１を分岐する分岐ポート４ａを備えている。
そして、センサ組み込みブロック１５には、上記分岐ポート４ａに接続する比較通路６を設けるとともに、この比較通路６が大気に連通する過程にニードル弁７を設けている。
さらに、センサ組み込みブロック１５には、上記分岐ポート４ａに接続する検出通路５を設けている。ただし、この検出通路５は、センサ組み込みブロック１５から、ベースブロック１６および連結部材Ｘ_１を貫通して、電磁切換弁Ａ_１の検出ポートｂに接続されている。 As is clear from FIG. 2, the pressure detection block B <b> ₁ includes a sensor built-in block 15 and a base block 16. Further, the base block 16 is provided with a branch port 4 a that branches the supply passage 1.
The sensor built-in block 15 is provided with a comparison passage 6 connected to the branch port 4a, and a needle valve 7 is provided in a process in which the comparison passage 6 communicates with the atmosphere.
Further, the sensor built-in block 15 is provided with a detection passage 5 connected to the branch port 4a. However, the detection passage 5 from the sensor built-in blocks 15, through the base block 16 and the connecting member X _1, is connected to the detection port b of the solenoid switching valve A _1.

また、センサ組み込みブロック１５には、比較通路６と検出通路５との圧力差を検出する差圧検出手段９を組み込むとともに、ベースブロック１６との固定面には、オリフィス８ａ，８ｂを形成したオリフィス構成部材８を組み込んでいる。したがって、比較通路６はオリフィス８ａを介して供給通路１に連通するとともに、検出通路５はオリフィス８ｂを介して供給通路１に連通することとなる。
なお、差圧検出手段９、比較通路６、ニードル弁７によって、この発明の圧力検出部Ｓを構成している。
このように、圧力検出ブロックＢ_１は、センサ組み込みブロック１５とベースブロック１６とからなり、センサ組み込みブロック１５には圧力検出部Ｓを組み込み、ベースブロック１６には供給通路１および検出通路５を形成している。 In addition, a differential pressure detecting means 9 for detecting a pressure difference between the comparison passage 6 and the detection passage 5 is incorporated in the sensor incorporation block 15, and orifices 8 a and 8 b are formed on the fixed surface to the base block 16. The structural member 8 is incorporated. Therefore, the comparison passage 6 communicates with the supply passage 1 through the orifice 8a, and the detection passage 5 communicates with the supply passage 1 through the orifice 8b.
The differential pressure detection means 9, the comparison passage 6, and the needle valve 7 constitute a pressure detection unit S of the present invention.
As described above, the pressure detection block B ₁ includes the sensor built-in block 15 and the base block 16, the pressure detection unit S is built in the sensor built-in block 15, and the supply passage 1 and the detection passage 5 are formed in the base block 16. doing.

そして、ベースブロック１６には連結部材Ｘ_１を固定しているが、この連結部材Ｘ_１にも、その両側面に貫通するブロー通路３を形成している。なお、ブロー通路３および供給通路１は同じ側面に開口している。
なお、図１に示すように、連結部材Ｘ_１の図中右側の開口面には配管１７を接続し、この配管１７をレギュレータＲ_１，Ｒ_２の連通過程に接続している。したがって、ブロー通路３は、配管１７および連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５にわたって構成されることとなる。 Then, the base block 16 is securing the connecting member X _1, also in this connecting member X _1, to form a blow passage 3 to penetrate the both side surfaces thereof. The blow passage 3 and the supply passage 1 are open on the same side.
Incidentally, as shown in FIG. 1, the opening surface of the right side in the figure of the connecting member X ₁ connecting the pipe 17 connects the pipe 17 to the communication process of the regulator R _1, R _2. Therefore, the blow passage 3 becomes to be configured over the pipe 17 and the connecting member _X 1 to X _5.

さらに、上記連結部材Ｘ_１には、図２に示すように、圧力検出ブロックＢ_１を固定した面とは反対側の面（図中下側面）に電磁切換弁Ａ_１を固定している。この電磁切換弁Ａ_１は、コントローラからの信号に基づいて、ブローポートａおよび検出ポートｂのいずれか一方を合流ポートｃに連通させ、いずれか他方を合流ポートｃから遮断する。
したがって、この電磁切換弁Ａ_１を制御することにより、ブロー通路３を合流ポートｃに連通させたり、あるいは検出通路５を合流ポートｃに連通させたりすることができる。 Furthermore, the above-mentioned connecting member X _1, as shown in FIG. 2, securing the electromagnetic switching valve A ₁ on the opposite side (in the figure lower surface) to the surface with a fixed pressure detection block B _1. The electromagnetic switching valve A _1, based on a signal from the controller, either blow ports a and detection port b in communication with the merging port c, to block the other one from the merging port c.
Thus, by controlling the electromagnetic switching valve A _1, or can communicated or, or detection passage 5 into the merging port c is communicated with the blow passage 3 to the merging port c.

また、上記ベースブロック１６には、検出通路５の外周近傍に位置する環状凹部からなる放熱部１８ａを形成している。この放熱部１８ａは、連結部材Ｘ_１との合わせ面に開口するとともに、大気開放通路１８ｂを介して大気に連通するようにしている。したがって、電磁切換弁Ａ_１が熱を発したとしても、検出通路５内の熱が、放熱部１８ａおよび大気開放通路１８ｂを介して大気に放熱される。このように、検出通路５内の熱を放熱すれば、当該検出通路５内の温度上昇にともなう温度ドリフトを低減させ、圧力検出部Ｓが誤検出するおそれを低減することができる。また、熱の伝達によって圧力検出部Ｓが故障するおそれも低減することができる。
なお、連結部材Ｘ_１の外周面には、取り付け用の金属製ブラケット１９を面接触状態で固定している。この金属製ブラケット１９は、当該位置確認装置を壁面等に固定する部材であるが、これを金属製の装置等に固定することにより、連結部材Ｘ_１をアースさせる役割をも担っている。 Further, the base block 16 is formed with a heat radiating portion 18 a formed of an annular recess located near the outer periphery of the detection passage 5. The heat radiating portion 18a is configured to open to the mating surface of the connecting member X _1, via the atmosphere open passage 18b are allowed to communicate with the atmosphere. Therefore, the electromagnetic switching valve A ₁ is even generate heat, heat in the detection passage 5 is radiated to the atmosphere through the heat radiating portion 18a and the atmosphere open passage 18b. In this way, if the heat in the detection passage 5 is radiated, the temperature drift accompanying the temperature rise in the detection passage 5 can be reduced, and the possibility that the pressure detection unit S erroneously detects can be reduced. Moreover, the possibility that the pressure detection unit S breaks down due to heat transfer can be reduced.
Note that the outer peripheral surface of the connecting member X _1, securing the metal bracket 19 for mounting in a surface contact state. The metal bracket 19 is a member for fixing the position confirmation device on the wall or the like, by this is fixed in a metal device or the like, and also plays a role of grounding the connecting member X _1.

そして、圧力検出ブロックＢ_１と連結部材Ｘ_１とを図示しないねじ等で固定し、さらに連結部材Ｘ_１と電磁切換弁Ａ_１とをねじ等で固定してユニット化する。これと同様に、圧力検出ブロックＢ_２〜Ｂ_５、連結部材Ｘ_２〜Ｘ_５、および電磁切換弁Ａ_２〜Ａ_５もそれぞれユニット化する。各ユニットは、図１に示すように、横に一直線上に連接させて固定する。
ただし、隣り合う各ユニットは、隣り合う圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を固定することによって連結している。つまり、隣り合う圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５同士をジョイナーで固定し、隣り合う連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５同士は固定せずに非連結状態にしている。なお、圧力検出ブロックＢ_１，Ｂ_２の連結方法は、図３に示すとおりである。 Then, fixed with screws or the like (not shown) the pressure detection block B ₁ and a connecting member X _1, further unitized to fix the connecting member X ₁ and the electromagnetic switching valve A ₁ with screws or the like. Similarly, the pressure detection blocks B _{2 to} B ₅ , the connecting members X _{2 to} X ₅ , and the electromagnetic switching valves A _{2 to} A ₅ are also unitized. As shown in FIG. 1, each unit is fixed by being connected in a straight line horizontally.
However, adjacent units are connected by fixing adjacent pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ . That is, the adjacent pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ are fixed with a joiner, and the adjacent connecting members X _{1 to} X ₅ are not fixed and are not connected. The connecting method of the pressure detection blocks _B 1, _{B 2} is as shown in FIG.

すなわち、圧力検出ブロックＢ_１，Ｂ_２のセンサ組み込みブロック１６には、上記した通り供給通路１を設けているが、この供給通路１が開口する両側面には、対向面に向かって徐々に径を太くする突片２０を形成している。
一方、上記突片２０を連結するジョイナーＪには、上記突片２０と傾斜角を等しくする圧接面２１を備えている。このジョイナーＪは、圧接面２１を突片２０の傾斜面に当接させた状態で、ねじ２２を羅合させることにより、ねじ２２の軸方向の推力を両ブロックＢ_１，Ｂ_２が近づく方向の圧接力に変換する。したがって、ねじ２２によってジョイナーＪを締め付ければ、隣り合う圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５をしっかりと連結させることができる。なお、上記圧接面２１の傾斜角θは、４５度以上にすることが望ましい。
そして、上記突片２０、ジョイナーＪ、およびねじ２２によって、この発明の接続機構を構成しているが、接続機構は上記の構造に限らず、隣り合う圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を連結する構成であれば、特にどのような構造でも構わない。 In other words, the sensor built-in block 16 of the pressure detection blocks B ₁ and B ₂ is provided with the supply passage 1 as described above, but the diameter gradually increases toward the opposite surface on both side surfaces where the supply passage 1 opens. A projecting piece 20 is formed.
On the other hand, the joiner J connecting the projecting pieces 20 is provided with a pressure contact surface 21 having the same inclination angle as the projecting pieces 20. In this joiner J, the thrust of the screw 22 in the axial direction is made closer to both the blocks B _{1 and} B ₂ by engaging the screws 22 with the pressure contact surface 21 in contact with the inclined surface of the protruding piece 20. Convert to the pressure contact force. Therefore, it tightened the joiner J by screws 22 can be connected firmly pressure detection blocks B ₁ .about.B ₅ adjacent. The inclination angle θ of the pressure contact surface 21 is desirably 45 degrees or more.
Then, the above-mentioned protrusion 20, by Joyner J, and a screw 22 and also forms the connection mechanism of the present invention, the connection mechanism connects the pressure detection blocks B ₁ .about.B ₅ which is not limited to the above structure, the adjacent Any structure may be used as long as it has a configuration.

また、ジョイナーＪによって圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を連結すると、図４に示すように、供給通路１が一直線上に形成される。そして、各供給通路１の開口部すなわち継ぎ目には開口凹部２３を形成しており、この開口凹部２３にシール部材２４を組み込んでいる。このように、隣り合う圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５の継ぎ目に、シール部材２４を設けることにより、供給通路１から圧縮検出エアが漏れないようにしている。
一方、上記のようにして圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を連結したとき、隣り合う連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５の間には、僅かな隙間Ｌ１が形成される寸法関係を維持している。そして、ブロー通路３の開口部には開口凹部２５を形成するとともに、この開口凹部２５にシール部材２６を組み込んでいる。 Further, when the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ are connected by the joiner J, the supply passage 1 is formed in a straight line as shown in FIG. And the opening recessed part 23 is formed in the opening part of each supply channel | path 1, ie, the joint, and the sealing member 24 is integrated in this opening recessed part 23. FIG. As described above, by providing the seal member 24 at the joint between the adjacent pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ , the compressed detection air is prevented from leaking from the supply passage 1.
On the other hand, when the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ are connected as described above, a dimensional relationship is maintained in which a slight gap L 1 is formed between the adjacent connection members X _{1 to} X ₅ . An opening recess 25 is formed in the opening of the blow passage 3, and a seal member 26 is incorporated in the opening recess 25.

そして、ブロー通路３の外周をシールするシール部材２６は、供給通路１の外周をシールするシール部材２４よりも長くしている。このように、シール部材２６をシール部材２４よりも長くするのは、隣り合う連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５の間に隙間Ｌ１を設けているためである。つまり、シール部材２６の長さを、シール部材２４の長さ＋隙間Ｌ１以上にしており、隣り合う連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５間に形成される隙間を、シール部材２６がしっかりと埋めるようにしている。
なお、上記隙間Ｌ１は、次のような役割を果たしている。 The sealing member 26 that seals the outer periphery of the blow passage 3 is longer than the sealing member 24 that seals the outer periphery of the supply passage 1. Thus, for the seal member 26 longer than the sealing member 24 is because the a gap L1 between the connecting member X ₁ to X ₅ adjacent. That is, the length of the seal member 26, the length of the seal member 24 + gap has to L1 or more, the gap formed between the connecting member X ₁ to X ₅ adjacent the seal member 26 so as to fill firmly ing.
The gap L1 plays the following role.

すなわち、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５との間には、製造工程でどうしても微妙な寸法誤差が生じてしまう。つまり、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５の幅と、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５の幅とが、全て完全に一致することはない。特に、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５とを複数連接すると、全体としての寸法誤差は大きくなる。このとき、隙間Ｌ１を設けずに、隣り合う連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５をぴったりと密着して連接しようとすると、寸法誤差によってひずみが生じ、供給通路１やブロー通路３、さらには検出通路５の継ぎ目に漏れが生じるおそれがある。そこで、隣り合う連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５の間に隙間Ｌ１を設けるとともに、シール部材２６をシール部材２４よりも長くしたのである。 That is, a delicate dimensional error is inevitably generated in the manufacturing process between the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the connecting members X _{1 to} X ₅ . That is, the widths of the pressure detection blocks B _{1 to} B _{5 and} the widths of the connecting members X _{1 to} X ₅ do not all completely match. In particular, when a plurality of the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the connection members X _{1 to} X ₅ are connected, the overall dimensional error increases. At this time, if the adjacent connecting members X _{1 to} X ₅ are closely contacted and connected without providing the gap L ₁ , distortion occurs due to a dimensional error, and the supply passage 1, the blow passage 3, and further the detection passage 5. There is a risk of leakage at the seam. Therefore, the gap L1 is provided between the adjacent connecting members X _{1 to} X ₅ and the seal member 26 is made longer than the seal member 24.

なお、ブロー通路３の開口接続部をシールするシール部材２６は、連結部材Ｘ_１、Ｘ_２間に設けたような圧接シールでもよいし、連結部材Ｘ_２、Ｘ_３間に設けたような外周シールでもよい。
ただし、シール部材２６を圧接シールとすれば、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を連結するジョイナーＪの締め付け力が、シール部材２６の圧接力となって作用するので、ブロー通路３のシール機能を一層高めることができる。 The seal member 26 that seals the opening connection portion of the blow passage 3 may be a pressure contact seal provided between the connecting members X ₁ and X ₂ or an outer periphery provided between the connecting members X ₂ and X _3. A seal may be used.
However, if the seal member 26 is a pressure seal, the tightening force of the joiner J that connects the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ acts as the pressure contact force of the seal member 26, so that the sealing function of the blow passage 3 is achieved. It can be further enhanced.

以上のように、上記第１実施形態の位置確認装置によれば、圧力検出ブロックＢに組み込んだ圧力検出部Ｓと電磁切換弁Ａの検出ポートｂとが、連結部材Ｘに形成した検出通路５によって接続されるので、圧力検出ブロックＢと電磁切換弁Ａとを接続する配管が不要となる。したがって、圧力検出ブロックＢと電磁切換弁Ａとを、連結部材Ｘを介して一体的に固定することができ、装置全体をコンパクト化して、取り付けスペースを小さくすることができる。
しかも、従来に比べて配管数をかなり減らすことができるので、組み立て作業を簡素化することができる。 As described above, according to the position confirmation device of the first embodiment, the detection passage 5 formed in the connecting member X by the pressure detection unit S incorporated in the pressure detection block B and the detection port b of the electromagnetic switching valve A. Therefore, the piping for connecting the pressure detection block B and the electromagnetic switching valve A becomes unnecessary. Therefore, the pressure detection block B and the electromagnetic switching valve A can be integrally fixed via the connecting member X, the entire apparatus can be made compact, and the mounting space can be reduced.
In addition, since the number of pipes can be considerably reduced as compared with the prior art, the assembling work can be simplified.

なお、圧力検出部Ｓは、上記の構成に限らない。上記第１実施形態においては、差圧検出手段９が検出通路５と比較通路６との圧力差を検出するが、例えば、差圧検出手段９が単に検出通路５内の圧力を検出するようにしても構わない。また、検出通路５に絞りを形成するとともに、この絞りの前後の差圧を検出するようにしても構わない。いずれにしても、圧力検出部Ｓは、検出通路（供給通路と電磁切換弁との連通過程）に接続するとともに、少なくても当該検出通路の圧力を検出するものであればよい。
さらに、上記第１実施形態においては、供給通路１を圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５に設けるとともに、ブロー通路３を連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５に設けたが、例えば両通路１，３を圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５に設けてもよいし、両通路１，３を連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５に設けても構わない。 In addition, the pressure detection part S is not restricted to said structure. In the first embodiment, the differential pressure detection means 9 detects the pressure difference between the detection passage 5 and the comparison passage 6. For example, the differential pressure detection means 9 simply detects the pressure in the detection passage 5. It doesn't matter. Further, a throttle may be formed in the detection passage 5 and the differential pressure before and after the throttle may be detected. In any case, the pressure detection unit S may be connected to the detection passage (the communication process between the supply passage and the electromagnetic switching valve) and at least detects the pressure in the detection passage.
Further, in the first embodiment, the supply passage 1 is provided in the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the blow passage 3 is provided in the connecting members X _{1 to} X _5. may be provided in the detection block _B 1 ~B _5, it may be provided both passages 1,3 to the connecting member _X 1 to X _5.

そして、上記第１実施形態においては、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５をセンサ組み込みブロック１５とベースブロック１６とに分割して構成しているが、特にブロックを分割する必要はなく、一体的に構成してもよい。
例えば、図５に示す第２実施形態のように、供給通路１および検出通路５を連結部材Ｘ_１に形成し、ブロー通路３を電磁切換弁Ａ_１に形成してもよい。このようにすれば、連結部材Ｘ_１が、第１実施形態におけるベースブロック１６の機能（図２参照）を果たすので、ベースブロックが不要となり、一層コンパクト化を実現することができる。 Then, in the first embodiment it has been constructed by dividing the pressure detection blocks B ₁ .about.B ₅ to a sensor embedded block 15 and base block 16, not particularly necessary to divide the block, integrally It may be configured.
For example, as in the second embodiment shown in FIG. 5, the supply passage 1 and the detection passage 5 formed in the connecting member X _1, may be formed of a blow passage 3 to the electromagnetic switching valve A _1. In this way, the connecting member X ₁ is, since functions of the base block 16 in the first embodiment (see FIG. 2), the base block is not required, it is possible to realize a more compact.

なお、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５の材質は特に限定されないが、強度的には金属製であることが望ましい。しかし、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５を金属製にすると、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の熱が、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５を介して圧力検出部Ｓに伝達しやすくなってしまう。そこで、図６に示す第３実施形態のように、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５と圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５との間に間隔２７を形成し、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５と連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５との接触面積を小さくすれば、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の熱が圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５および圧力検出部Ｓに伝達しにくくなる。しかも、この第３実施形態においては、上記間隔２７が、放熱部１８ａを大気に連通する役割をも果たすので、第１実施形態のように圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５に大気開放通路１８ｂを形成する必要がない。 Although not specifically limited the material of the connecting member X ₁ to X _5, it is desirable for strength is made of metal. However, if the connection members X _{1 to} X ₅ are made of metal, the heat of the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ is easily transmitted to the pressure detection unit S via the connection members X _{1 to} X ₅ . Therefore, as the third embodiment shown in FIG. 6, the gap 27 is formed between the connecting member _X 1 to X ₅ and the pressure detection blocks _B 1 .about.B _5, connected to the pressure detection blocks _B 1 .about.B ₅ If the contact area with the members X _{1 to} X ₅ is reduced, the heat of the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ is hardly transmitted to the pressure detection blocks B _{1 to} B ₅ and the pressure detection unit S. Moreover, in the third embodiment, the spacing 27, since the heat radiating portion 18a also serves to communicate with the atmosphere, the atmosphere open passage 18b to the pressure detection blocks B ₁ .about.B ₅ as in the first embodiment There is no need to form.

また、図７に示す第４実施形態のように、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５の両面に間隔２７を形成して、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５と圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５との接触面積、および連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５と電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５との接触面積を小さくすれば、一層、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の熱が圧力検出部Ｓに作用しにくくなる。なお、図８に示す第５実施形態は、上記第４実施形態において、ブロー通路３を電磁切換弁Ａ_１に形成したものであり、この第５実施形態においても上記第４実施形態と同様の効果を得ることができる。 Further, as a fourth embodiment shown in FIG. 7, to form a gap 27 on both sides of the connecting member _X 1 to X _5, contact between the connecting member _X 1 to X ₅ and the pressure detection blocks _B 1 .about.B ₅ If the area and the contact area between the connecting members X _{1 to} X ₅ and the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are reduced, the heat of the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ is less likely to act on the pressure detection unit S. . Incidentally, the fifth embodiment shown in FIG. 8, in the fourth embodiment is obtained by forming the blow passage 3 to the electromagnetic switching valve A _1, the same as in the fourth embodiment in the fifth embodiment An effect can be obtained.

さらに、上記第１〜５実施形態においては、連結部材Ｘ_１〜Ｘ_５の一面に圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を固定し、この圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５を固定した面の反対面に電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５を固定したが、図９に示す第６実施形態のように、圧力検出ブロックＢ_１〜Ｂ_５の固定面と、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５の固定面とが、直角になるようにしても構わない。この場合でも、電磁切換弁Ａ_１〜Ａ_５と圧力検出ブロックＢとの間に、検出通路５を構成する配管が不要となるので、配管作業を減らして、組み立て作業を簡素化することができる。 Moreover, the opposite surface of the in the first to fifth embodiments, the pressure detection blocks _B 1 .about.B ₅ on one side of the connecting member _X 1 to X ₅ were fixed and fixed to the pressure detection blocks _B 1 .about.B ₅ surface The electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ are fixed to the fixed surfaces of the pressure detection blocks B _{1 to} B _{5 and} the fixed surfaces of the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ as in the sixth embodiment shown in FIG. However, they may be at right angles. Even in this case, since the piping constituting the detection passage 5 is not required between the electromagnetic switching valves A _{1 to} A ₅ and the pressure detection block B, the piping work can be reduced and the assembling work can be simplified. .

第１実施形態の位置確認装置の正面図である。It is a front view of the position confirmation apparatus of a 1st embodiment. 図１におけるＩＩ−ＩＩ線断面を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the II-II line cross section in FIG. 接続機構を概念的に示す図である。It is a figure which shows a connection mechanism notionally. 連結部材のシール構造を示す図である。It is a figure which shows the seal structure of a connection member. 第２実施形態の位置確認装置を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the position confirmation apparatus of 2nd Embodiment. 第３実施形態の位置確認装置を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the position confirmation apparatus of 3rd Embodiment. 第４実施形態の位置確認装置を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the position confirmation apparatus of 4th Embodiment. 第５実施形態の位置確認装置を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the position confirmation apparatus of 5th Embodiment. 第６実施形態の位置確認装置を概念的に示す図である。It is a figure which shows notionally the position confirmation apparatus of 6th Embodiment. 位置確認装置の回路構成を示す図である。It is a figure which shows the circuit structure of a position confirmation apparatus. 従来の位置確認装置の正面図である。It is a front view of the conventional position confirmation apparatus.

Explanation of symbols

１供給通路
３ブロー通路
５検出通路
１１噴出口
１８ａ放熱部
１９ブラケット
２０突片
２１圧接面
２２ねじ
２６シール部材
Ａ_１〜Ａ_５電磁切換弁
Ｂ_１〜Ｂ_５圧力検出ブロック
Ｊジョイナー
Ｓ圧力検出部
Ｐエア供給源
Ｘ_１〜Ｘ_５連結部材 First supply passage 3 blow passage 5 detection passage 11 spout 18a radiating portion 19 the bracket 20 projecting piece 21 pressing surface 22 screw 26 sealing member _A 1 to A ₅ electromagnetic switching valve _B 1 .about.B ₅ pressure detection block J Joiner S pressure detector P air supply source _X 1 to X ₅ connecting member

Claims

A supply passage and a blow passage are connected in parallel to the air supply source, and an electromagnetic control valve for opening and closing the supply passage is connected in parallel to the supply passage from the upstream side in parallel to the electromagnetic control valve. A plurality of pressure detectors connected to an electromagnetic switching valve provided corresponding to each pressure detecting unit, and the electromagnetic switching valve is connected to the blow passage, and the switching position of the electromagnetic switching valve is Accordingly, the pressure detection unit is configured so that the supply passage communicates with an ejection port formed in a table, or the blow passage communicates with the ejection port, and the supply passage communicates with the ejection port. A position confirmation device for confirming whether or not the workpiece placed on the table according to the pressure to be detected has been placed accurately on the table,
While the pressure detection block, the connecting member, and the electromagnetic switching valve are integrally assembled into a unit, a plurality of individual units are connected,
The pressure detection block includes the supply passage that passes through the pressure detection block, and a pressure detection unit that communicates with the supply passage.
The connecting member is provided with a detection passage communicating with the pressure detection unit,
The electromagnetic switching valve includes a detection port communicating with the detection passage and a blow port communicating with the blow passage penetrating the connecting member of the unit or the electromagnetic switching valve. A position confirmation device configured to communicate either a port or a detection port with a merge port communicating with the jet port.

In the pressure detection blocks constituting the unit, while providing a connection mechanism for connecting the pressure detection blocks of adjacent units, the opening of the blow passage of the unit, will be provided on the opposing surfaces of adjacent units, yet The position confirmation device according to claim 1, wherein the pressure detection block of the adjacent unit is fixed by the connection mechanism, while the connecting members of the adjacent units and the electromagnetic switching valves of the adjacent units are maintained in an unconnected state.

A gap is maintained between the facing surfaces of the connecting member or the electromagnetic switching valve in which the blow passage is formed, and a seal member made of a pressure contact seal is provided between the facing surfaces, and the adjacent pressure detection blocks are connected to each other. The position confirmation device according to claim 2, wherein the pressure seal is pressed between the opening surfaces of the blow passage by a tightening force of a connection mechanism .

A seal member for sealing the opening connection portion of the supply passage is provided between the pressure detection blocks of the adjacent units, while an opening connection portion of the blow passage is sealed between the connecting members of the adjacent units or the electromagnetic switching valve. The position confirmation device according to claim 2 or 3, wherein a sealing member for sealing the opening connection portion of the blow passage is provided longer than the sealing member for sealing the opening connection portion of the supply passage .

The detection passage is formed continuously from the pressure detection block to the connection member, and is one or both of the pressure detection block and the connection member, and an outer periphery of the detection passage has a heat radiating portion communicating with the atmosphere. the position confirmation device according to any one of claims 1-4 provided.

The position confirmation device according to any one of claims 1 to 5, wherein the connecting member has a function of shielding the pressure detection unit from a magnetic force generated by the electromagnetic switching valve .