JP5233398B2 - Recording head and image forming apparatus for droplet discharge device - Google Patents
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本発明は、液滴吐出ヘッドから記録媒体上に液滴を吐出させ、高精細な画像形成を行う液滴吐出装置に関するものであり、ノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子の変位により液室内の容積を変動させ液滴を吐出させる液滴吐出装置の記録ヘッド及び画像形成装置に関する。 The present invention relates to a droplet discharge device that discharges droplets from a droplet discharge head onto a recording medium to form a high-definition image, and a diaphragm generates a part of a pressure generation chamber that communicates with a nozzle opening. The present invention relates to a recording head and an image forming apparatus of a droplet discharge device configured to discharge a droplet by changing the volume in a liquid chamber by displacement of a piezoelectric element.
一般に、紙、フィルム等様々な記録媒体に対して印刷を行う手段として、インクジェット記録装置(液滴吐出装置)が知られている。インクジェット記録装置は、インクタンクから供給チューブを介して液体吐出ヘッドへインクを供給し、供給されたインクを、ピエゾ等の圧電素子に電圧を印加する。これにより、液体吐出ヘッドのノズルから記録媒体上へインクを吐出させ、記録媒体上で上記動作を繰り返すことにより、高精細な画像を記録媒体上に形成させる。 In general, an ink jet recording apparatus (droplet discharge apparatus) is known as means for printing on various recording media such as paper and film. The ink jet recording apparatus supplies ink from an ink tank to a liquid discharge head via a supply tube, and applies a voltage to the piezoelectric element such as a piezo using the supplied ink. Thus, ink is ejected from the nozzle of the liquid ejection head onto the recording medium, and the above operation is repeated on the recording medium, thereby forming a high-definition image on the recording medium.
インクジェット記録装置は、従来のオフセット印刷等のように版を必要としない無版印刷の為、製版工程を必要としないだけでなく、小ロット印字にも即時対応ができ、需要に応じた印刷を可能とする。 Inkjet recording devices do not require plate making, unlike conventional offset printing, so they do not require a plate making process, but can also respond immediately to small lot printing, and print according to demand. Make it possible.
特に近年は、印字物に高画質化や耐久性が求められており、その為のインクの開発が印刷装置同様急速に進められている。このように印刷物に求められる要求を満たす為に、安定吐出が求められる。 Particularly in recent years, high quality and durability are demanded for printed matter, and the development of ink for that purpose has been progressing rapidly as well as printing devices. Thus, in order to satisfy the requirements for printed matter, stable ejection is required.
ノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子の変位により液室内の体容積を変動させ液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドには圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用するものがある。これらの方式は圧電素子の端面を振動板に当接させることにより圧力発生室の容積を容易に変化させることができる為、高密度印刷に適したヘッドの作製が可能である反面、圧電素子をノズル開口の配列ピッチに一致させて櫛歯状に切り分けるという困難な製造工程や、切り分けられた圧電素子を圧力発生室に位置決めして固定する工程が必要になる。更に圧電素子を高密度に配列した液滴吐出ヘッドでは、多数の圧電素子を同時に駆動して、多数のインク滴を同時に吐出させる必要があり、その動作を行うことにより電圧降下が発生して圧電素子の変位量が不安定となり、液滴吐出特性が低下するという問題がある。また外部配線が接続される接続部から遠い位置に設けられた圧電素子ほど印加される電圧が低くなり易い。この為、一列に並列された圧電素子であっても、接続部からの距離によって液滴吐出特性にばらつきが生じてしまう問題がある。 A part of the pressure generating chamber communicating with the nozzle opening is constituted by a vibration plate, and the vibration plate is used to change the body volume in the liquid chamber due to the displacement of the piezoelectric element to discharge a liquid droplet. Some use a longitudinal vibration mode piezoelectric actuator that expands and contracts in the direction. Since these methods can easily change the volume of the pressure generating chamber by bringing the end face of the piezoelectric element into contact with the diaphragm, a head suitable for high-density printing can be manufactured. A difficult manufacturing process of cutting in a comb shape in accordance with the arrangement pitch of the nozzle openings and a process of positioning and fixing the cut piezoelectric element in the pressure generating chamber are required. Furthermore, in a droplet discharge head in which piezoelectric elements are arranged at a high density, it is necessary to simultaneously drive a large number of piezoelectric elements and simultaneously discharge a large number of ink droplets. There is a problem in that the amount of displacement of the element becomes unstable and the droplet discharge characteristics deteriorate. Moreover, the applied voltage tends to be lower as the piezoelectric element is located farther from the connection portion to which the external wiring is connected. For this reason, even if the piezoelectric elements are arranged in a line, there is a problem in that the droplet discharge characteristics vary depending on the distance from the connecting portion.
このような圧電素子の電極は薄膜で形成されており、その膜厚が非常に薄い為、抵抗値が比較的高くなる傾向にあり、上記問題が生じやすい。そのような問題を解決する為、複数の圧電素子に共通する共通電極上に圧電素子を駆動する為の駆動回路に繋がる外部配線が接続される複数の接続部を設け、且つこれらの複数の接続部を共通電極に設けられる配線電極によって接続することで、共通電極の抵抗値を実質的に低下させる方法がとられている。 The electrode of such a piezoelectric element is formed of a thin film, and since its film thickness is very thin, the resistance value tends to be relatively high, and the above problem is likely to occur. In order to solve such a problem, a plurality of connection portions to which an external wiring connected to a drive circuit for driving the piezoelectric element is provided on a common electrode common to the plurality of piezoelectric elements, and the plurality of connections are provided. A method is employed in which the resistance values of the common electrode are substantially reduced by connecting the portions by wiring electrodes provided on the common electrode.
また別の解決策としては、圧電素子の電極を蒸着、スパッタにて形成する場合に、薄膜厚を増加し抵抗値を低下させる方法もとられている。 Another solution is to increase the thin film thickness and decrease the resistance value when the electrodes of the piezoelectric element are formed by vapor deposition or sputtering.
本発明に関連する技術例として、特許文献1には、圧電素子に共通する共通電極上に圧電素子を駆動させる為の駆動回路に繋がる外部配線が接続される複数の接続部を設け、且つこれら複数の接続部を共通電極上に設けられる配線電極によって接続することにより共通電極の抵抗値を実質的に低下させる「インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置」が開示されている。
しかしながら、複数の圧電素子に共通する共通電極上に圧電素子を駆動する為の駆動回路に繋がる外部配線が接続される複数の接続部を設け、且つこれらの複数の接続部を共通電極に設けられる配線電極によって接続する方法は、別配線を設けることによりヘッド自体の構成、配線が複雑化し部品点数も増加する。 However, a plurality of connection portions to which external wirings connected to a drive circuit for driving the piezoelectric elements are connected on a common electrode common to the plurality of piezoelectric elements, and the plurality of connection portions can be provided on the common electrode. In the connection method using wiring electrodes, the configuration and wiring of the head itself are complicated and the number of components is increased by providing separate wiring.
また、圧電素子の電極を蒸着、スパッタにて形成する場合に、薄膜厚を増加し抵抗値を低下させる方法は蒸着、スパッタ時間が長くなりタ製造タクトに影響を与える他、蒸着、スパッタに用いる材料費の増加に繋がり、特に電極として用いる材料に金等の高価なものを用いる場合にはヘッド単体のコストアップになる。 In addition, when the electrodes of piezoelectric elements are formed by vapor deposition and sputtering, the method of increasing the thin film thickness and decreasing the resistance value increases the vapor deposition and sputtering time and affects the tact manufacturing tact. This leads to an increase in material cost. In particular, when an expensive material such as gold is used as an electrode, the cost of the head alone is increased.
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、現状のヘッド部品構成で液滴吐出特性を良好に保持できる液滴吐出装置の記録ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a recording head and an image forming apparatus of a droplet discharge device that can satisfactorily maintain droplet discharge characteristics with the current head component configuration.
かかる目的を達成する本発明の手段について以下に説明する。
本発明の第1の態様は、複数のノズルに対応してそれぞれ設けられた個別液室に圧力を加えるアクチュエータ素子を、所定の印字タイミングで選択的にヘッド駆動回路からの駆動信号により駆動し、それぞれ対応するノズルからインク滴を吐出させて記録媒体に記録を行う液滴吐出装置の記録ヘッドであって、各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部とは別に、導電目的とは異なる機能を果たすヘッド構成部品にて導電ループを設け、且つ、一列に並設されたアクチュエータを駆動する為の駆動のICオン抵抗が、接続部からの距離が遠くなるにつれ小さくなっていることを特徴とする液体吐出装置の記録ヘッドにある。
The means of the present invention for achieving this object will be described below.
In the first aspect of the present invention, an actuator element that applies pressure to individual liquid chambers provided corresponding to a plurality of nozzles is selectively driven by a drive signal from a head drive circuit at a predetermined printing timing, A recording head of a droplet discharge device that discharges ink droplets from corresponding nozzles to perform recording on a recording medium, and performs a function different from a conductive purpose apart from a common electrode portion on the ground side of each actuator element A liquid characterized in that a conductive loop is provided in the head component and the driving IC on-resistance for driving the actuators arranged in a row becomes smaller as the distance from the connection portion becomes longer. It is in the recording head of the ejection device.
かかる第1の態様では、特別な追加配線の必要もなく、また追加部品も必要としない、現存ヘッド構成部品にて共通電極の抵抗値が実質的に低下する為、多数のアクチュエータ素子を同時に駆動しても電圧降下を生じることがなく液滴吐出特性が安定する。 Such a first state-like, without the need for special additional wiring, also does not require additional components, since the resistance value of the common electrode at existing head components is substantially reduced, the number of actuator elements Even when driven at the same time, voltage drop does not occur and the droplet discharge characteristics are stabilized.
本発明の第2の態様は、本発明の第1の態様において、前記液滴吐出装置の記録ヘッドにおける各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部とは別に導電ループとなるヘッド構成部品は、アクチュエータ素子を固定するヘッドベースであることを特徴とする。 A second aspect of the present invention, first Oite the state like the head component comprising a separate conductive loops and the liquid common electrode portions of the ground side of each actuator element of the recording head of the droplet ejection apparatus of the present invention Is a head base for fixing the actuator element.
かかる第2の態様では、導電ループとなるヘッド構成部品にアクチュエータ素子を固定しているヘッドベースを共通電極として用いることにより、効果的に共通電極の抵抗値低下を防ぎ、多数のアクチュエータ素子を同時に駆動しても電圧降下を生じることなく液滴吐出特性が安定する。 In the second aspect, by using the head base in which the actuator element is fixed to the head component that becomes the conductive loop as the common electrode, the resistance value of the common electrode is effectively prevented from being lowered, and a large number of actuator elements can be simultaneously used. Even when driven, the droplet discharge characteristics are stabilized without causing a voltage drop.
本発明の第3の態様は、本発明の第2の態様において、前記アクチュエータ素子を固定するヘッド構成部品であるヘッドベースに導電性材料を用いることを特徴とする。 According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, a conductive material is used for a head base which is a head component for fixing the actuator element.
かかる第3の態様では、ヘッドベースに用いる材料として半導体等導電特性に特徴のあるものではなく、完全導体を用いることにより、効率的にアクチュエータ素子に信号を伝達することができる。 In the third aspect, the material used for the head base is not characterized by the conductive characteristics such as a semiconductor, and a signal can be efficiently transmitted to the actuator element by using a complete conductor.
本発明の第4の態様は、本発明の第3の態様において、前記ヘッドベースの材料にSUSを用いることを特徴とする。 According to a fourth aspect of the present invention, in the third aspect of the present invention, SUS is used as a material for the head base.
かかる第4の態様では、ヘッドベースの材料にSUSを用いることにより、材質の強度上本来の目的であるアクチュエータ固定機能を果たす他、安定吐出に影響を与える共振問題、更には長期使用での材質の腐食など耐久性に優れた材料であり、このSUSをヘッドベース材料として使用することにより安定吐出を持続することができる。 In the fourth aspect, by using SUS for the material of the head base, in addition to performing the actuator fixing function that is the original purpose in terms of material strength, resonance problems that affect stable ejection, and further material for long-term use It is a material with excellent durability such as corrosion, and by using this SUS as a head base material, stable discharge can be maintained.
本発明の第5の態様は、本発明の第1の態様において、前記各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部を金のスパッタにて成膜することを特徴とする。
かかる第5の態様では、グランド側の共通電極面を金のスパッタにて成膜することにより、仮に前記接着剤が非導電性であっても、スパッタ面は成膜工程の性質上針電極のような細かな凹凸面で形成されており、圧着接合時にヘッドベースと導通させることができる。
A fifth aspect of the present invention, Oite the first state like the present invention, characterized by depositing the at common electrode portion of the gold sputter the ground side of each actuator element.
In the fifth aspect, the common electrode surface on the ground side is formed by gold sputtering, so that even if the adhesive is non-conductive, the sputter surface is a needle electrode due to the nature of the film formation process. It is formed with such a fine uneven surface, and can be electrically connected to the head base at the time of pressure bonding.
本発明の第6の態様は、本発明の第5の態様において、前記各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部の金のスパッタ膜厚は0.4μm以下であることを特徴とする。 According to a sixth aspect of the present invention, in the fifth aspect of the present invention, the sputtered film thickness of gold in the common electrode portion on the ground side of each actuator element is 0.4 μm or less.
かかる第6の態様では、スパッタ厚を薄くしても共通電極部の抵抗値増加にならないヘッドが提供可能である。また、スパッタ厚を薄くすることにより、ヘッドコストとしても低価格化が実現可能である。 In the sixth aspect, it is possible to provide a head that does not increase the resistance value of the common electrode portion even if the sputtering thickness is reduced. Further, by reducing the sputtering thickness, the head cost can be reduced.
本発明の第7の態様は、本発明の第1から第6のいずれか1つの態様である液滴吐出装置の記録ヘッドを有することを特徴とする。 According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the recording head of the droplet discharge device according to any one of the first to sixth aspects of the present invention.
かかる第7の態様では、低コストで高画質な画像形成装置を提供することが可能となる。 In the seventh aspect, it is possible to provide a low-cost and high-quality image forming apparatus.
本発明によれば、特別な追加配線の必要もなく、また追加部品も必要としない、現存ヘッド構成部品にて共通電極の抵抗値が実質的に低下する為、多数のアクチュエータ素子を同時に駆動しても電圧降下を生じることがなく液滴吐出特性を安定させることが可能となる。 According to the present invention, the resistance value of the common electrode is substantially reduced in the existing head component without the need for special additional wiring and the need for additional components. However, it is possible to stabilize the droplet discharge characteristics without causing a voltage drop.
以下、本発明を実施するための最良の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。 The best mode for carrying out the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の実施形態としての液滴吐出ヘッド(液滴吐出装置の記録ヘッド)の構成図である。図2は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室幅手方向の断面模式図である。 FIG. 1 is a configuration diagram of a droplet discharge head (a recording head of a droplet discharge apparatus) as an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view in the width direction of the liquid chamber of the droplet discharge head according to the present embodiment.
図1、図2において、流路板103は、例えば、単結晶シリコン基板を異方性エッチングして形成される。この流路板103の下面には、ニッケル電鋳などで形成した振動板104が接合されている。また、流路板103の上面には、ノズルプレート102が接合され積層されている。
1 and 2, the
このように、流路板103の下面に接合した、例えば、ニッケル電鋳で形成した振動板104と、流路板103の上面に接合したノズルプレート102とを接合して積層する。これらによって、液滴(インク滴)を吐出するノズル201が連通する流路であるノズル連通路202や、加圧液室203、そして、加圧液室にインクを供給するための共通液室204に連通するインク供給口205などを形成している。
In this way, the
また、本実施形態では、振動板104を変形させて加圧液室203内のインクを加圧するため、圧力発生手段(アクチュエータ手段)である電気機械変換素子として、2列の積層型の圧電素子107と、この圧電素子を接合固定するヘッドベース108とを備えている。ここで、加圧液室203の高さHを90μmに形成する。これにより、隔壁の剛性不足によって駆動時の加圧液室203が持ち上がる、すなわち、振動板104が変位する方向への力により隔壁が撓むのを抑え、吐出安定性を確保できる構造としている。
In the present embodiment, the
また、圧電素子107には、駆動回路(ドライバIC)を搭載したFPC106基板が接続されている。
The
ここで、流路板103は、例えば、結晶面方位の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶液などのアルカリ性エッチング液を用いて異方性エッチングすることで、ノズル連通路202、加圧液室203となる凹部や穴部を形成したものである。このように、単結晶シリコンを液室材料に用いることで、高精度な寸法の確保が可能な上、高剛性な加圧液室203を形成することができ、噴射特性の安定化の向上及び固有周期の短縮化を可能としている。
Here, the
なお、前述した流路板の材料としては、単結晶シリコン基板に特に限定されるものではなく、その他のステンレス基板や感光性樹脂などを用いることもできる。しかし、剛性不足により駆動時の加圧液室203が持ち上がる(振動板が変位する)方向の力によって隔壁が撓み、加圧液室203の圧力低下が発生することを防ぎ、また、固有振動周期の短縮を容易にするためには、弾性率100GPa以上の高剛性な材料を用いることが望ましい。
The material of the flow path plate described above is not particularly limited to a single crystal silicon substrate, and other stainless steel substrates, photosensitive resins, and the like can also be used. However, it is possible to prevent the partition wall from being bent due to the force in the direction in which the pressurized
次に、本実施形態の振動板104は、ニッケルの金属プレートから形成したものであり、例えば、エレクトロフォーミング法(電鋳法)で作製しているが、この他、金属板や金属と樹脂板との接合部材などを用いることもできる。この振動板104に圧電素子107を接着剤接合し、さらにヘッドフレーム105を接着剤接合している。
Next, the
ノズルプレート102は、各加圧液室に対応して直径24μmのノズルを形成し、流路板に接着剤接合している。このノズルプレート102は、金属部材からなるノズル形成部材の表面に所要の層を介して最表面に撥水層を形成したものである。なお、このノズルプレート102の表面がノズル面となる。
The
ここで、ノズル径を24μmに設定することにより、2pl以下の小滴吐出を可能としている。また、滴速度が速くなり過ぎないため、多パルス駆動による大滴形成時に空中で滴をマージすることができ、高画質形成を可能としている。なお、ノズル径は24μmが最も好適であるが、20〜25μmに設定することにより小滴吐出を容易とし、また、滴速度が速くなり過ぎないため、多パルス駆動による大滴形成も可能となる。 Here, by setting the nozzle diameter to 24 μm, it is possible to eject a droplet of 2 pl or less. In addition, since the droplet velocity does not become too fast, the droplets can be merged in the air when forming a large droplet by multi-pulse driving, thereby enabling high image quality formation. The nozzle diameter is most preferably 24 μm. However, by setting the nozzle diameter to 20 to 25 μm, small droplet discharge is facilitated, and since the droplet velocity does not become too fast, large droplets can be formed by multi-pulse driving. .
圧電素子107は、図3において圧電材料と内部電極とを交互に積層した積層型圧電素子301(ここではPZT:ピエゾ)を用いている。この積層圧電素子301の交互に、異なる端面に引き出された各内部電極には、個別電極302及び共通電極303が接続されている。なお、本実施形態では、積層圧電素子301の圧電方向として、電極面に垂直(厚み方向)の伸縮を指す、方向の変位を用いて加圧液室203内のインクを加圧する構成としている。このような構成とすることで、コンプライアンスが小さく高剛性であり高速な駆動を可能とした液滴吐出ヘッド(図4)を提供することができる。
As the
なお、このように構成した図4に示す本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、まず、積層圧電素子301に印加する電圧を基準電位から下げることによって、積層圧電素子301が収縮する。すると、振動板104が下降して加圧液室203の容積が膨張するので、加圧液室内203にインクが流入する。その後、積層圧電素子301に印加する電圧を上げて積層圧電素子301を積層方向に伸長させて、振動板104をノズル方向に変形させて、加圧液室203の容積/体積を収縮させる。
In the liquid droplet ejection head of the present embodiment shown in FIG. 4 configured as described above, first, the multilayer
これにより、加圧液室内203の記録液が加圧され、ノズル201から記録液の滴が吐出(噴射)される。そして、積層圧電素子301に印加する電圧を基準電位に戻すことによって、振動板104が初期位置に復元する。すると、加圧液室203が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室204から加圧液室203内に記録液が充填される。そして、ノズルのメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行することになる。
As a result, the recording liquid in the pressurized
画像の出力に係る高速化・高画質化の両立には、より高周波数で、小さい滴から大きい滴までより広い範囲で滴量を変えられる駆動が必要である。そこで、本実施形態では、複数のパルス信号からなる駆動波形を滴種に応じてパルス信号を選択しながら駆動させて、異なる滴種の吐出を可能としている。 In order to achieve both high speed and high image quality related to image output, it is necessary to drive at a higher frequency to change the droplet amount in a wider range from small droplets to large droplets. Therefore, in the present embodiment, a drive waveform composed of a plurality of pulse signals is driven while selecting a pulse signal according to the droplet type, thereby enabling ejection of different droplet types.
次に、ヘッド駆動制御部及びヘッドドライバの構成の一例について、図5及び図6を参照して説明する。ヘッド駆動制御部は1印字周期内に複数の駆動パルス(駆動信号)で構成される駆動波形(共通駆動波形)を生成して出力する駆動波形生成部と、印字画像に応じた2ビットの画像データ(階調信号0,1)とクロック信号、ラッチ信号(LAT)、制御信号を出力するデータ転送部を備えている。 Next, an example of the configuration of the head drive control unit and the head driver will be described with reference to FIGS. The head drive control unit generates a drive waveform (common drive waveform) composed of a plurality of drive pulses (drive signals) within one print cycle, and outputs a 2-bit image corresponding to the print image. A data transfer unit that outputs data (gradation signals 0 and 1), a clock signal, a latch signal (LAT), and a control signal is provided.
なお、図6において、制御信号は、図5に示すヘッドドライバのスイッチ手段であるアナログスイッチの開閉を滴毎に指示する2ビット信号であり、共通駆動波形の印字周期に合わせて選択すべき波形でHレベル(ON)に状態遷移し、非選択時にはLレベル(OFF)に状態遷移し、大滴を選択する信号(1,1)、中滴を選択する信号(1,0)、小滴を選択する信号(0,1)、非吐出を選択する信号(0,0)が存在する。 In FIG. 6, the control signal is a 2-bit signal for instructing opening / closing of the analog switch, which is the switch means of the head driver shown in FIG. 5, for each droplet, and is a waveform to be selected in accordance with the print cycle of the common drive waveform. The state transitions to H level (ON), and when not selected, the state transitions to L level (OFF). A signal for selecting a large drop (1, 1), a signal for selecting a medium drop (1,0), a small drop There is a signal (0, 1) for selecting, and a signal (0, 0) for selecting non-ejection.
図5に示すヘッドドライバは、データ転送部から転送クロック(シフトクロック)にシリアル転送される階調信号0及びクロック信号を入力するシフトレジスタと、シフトレジスタのレジスト値をデータ転送部からラッチ信号LATでラッチするラッチ回路と、シフトレジスタのレジスト値をデータ転送部からのラッチ信号LATでラッチするラッチ回路とラッチ回路の出力値とラッチ回路の出力値に基づいて、データ転送部からの制御信号を選択してレベル変換回路(レベルシフタ)に出力させるセレクタと、このセレクタのロジックレベル電圧信号をアナログスイッチが動作可能なレベルへとレベル変換するレベルシフタと、レベルシフタを介して与えられるセレクタの出力でON/OFF(開閉)されるアナログスイッチで構成したアナログスイッチアレイ(スイッチ手段)を備えている。
The head driver shown in FIG. 5 includes a shift register that receives a
このアナログスイッチアレイの各アナログスイッチは、各アクチュエータの素子の選択電極(個別電極)に接続され、駆動波形生成部からの共通駆動波形が入力されている。したがって、シリアル転送された画像データ(階調データ0,1)に基づいて選択された制御信号に応じてアナログスイッチがオンすることにより、共通駆動波形を構成する所要の駆動信号が通過して(選択されて)アクチュエータ素子に印加される。
Each analog switch of the analog switch array is connected to a selection electrode (individual electrode) of an element of each actuator, and a common drive waveform is input from the drive waveform generation unit. Therefore, when the analog switch is turned on in accordance with the control signal selected based on the serially transferred image data (
次に、図7を参照して、本実施形態についてさらに具体的に説明する。
図7はアクチュエータ107の電極形成であるが、スパッタ法によりアクチュエータ107の外部に金属膜、本件では電極の材質は、Ni-Ag又はAg-Pt等の合金材料を用いて形成する。もちろん、これに限るものではない。また、図7に示すように、ドライバICのON抵抗Rは順に小さくなっている(R1>R2>R3>R4>R5>R6・・・R94>R95>R96)他、ドライバICの内部配線抵抗rも順に小さくなっている(r1>r2>r3>r4>r5>r6・・・r94>r95>r96)。更に、アクチュエータの静電容量も接続部からの距離が遠くなるにつれて順に大きくなる(C1<C2<C3<C4<C5<C6・・・C94<<C95<C96)ような設計を行う。以上の3つの値を調整することにより、回路の合成インピーダンスはR+1/jωCで表せることから、回路の合成インピーダンスをほぼ一定の値に(全て同じに)設定することができる。このような設計により、一列に並設されたアクチェータであっても、接続部からの距離によってインク吐出特性にばらつきがなくなるように調整できる。実際には、
R1+1/jωC1=(R2+r1)+1/jωC2=(R96+r1+ r2+・・・+r95)+1/jωC96
を成立させる。
Next, the present embodiment will be described more specifically with reference to FIG.
FIG. 7 shows the electrode formation of the
R1 + 1 / jωC1 = (R2 + r1) + 1 / jωC2 = (R96 + r1 + r2 + ... + r95) + 1 / jωC96
Is established.
複数の積層圧電素子301の一端面側に接続した駆動波形を与えるための共通電極303パターンと、複数の圧電素子の他端面側に接続した選択信号を与えるための個別電極302パターンを設ける為、図3端部の面取りAを行う。これにより電極が2つに分かれる。
In order to provide a
図8が複数の積層圧電素子の他端面側に接続した選択信号を与えるための個別電極302パターンになり、図9が共通電極303パターンとなる。
FIG. 8 shows an
図8で確認できるように、電極はそれぞれ個別に設けられ、複数の積層圧電素子の他端面側に接続した選択信号を与えるための個別電極302パターンとなりヘッド駆動に必要な信号がFFC109から供給され、アクチュエータ107を駆動することが可能となる。
As can be seen in FIG. 8, the electrodes are individually provided and become
また、図9の共通電極303は、個別電極302パターンは形成せず、更に固定するヘッドベース108側にも共通の膜が形成させている為、次に面取りしたアクチュエータをヘッドベースに固定するが、固定する際に接着剤304が導電性の材料であればヘッドベースと導通状態となる。
Further, the
ここで、ヘッドベース108は、本来はアクチュエータ107を固定するものであるが、導電性材料を用いることにより、前記電気信号を流すループとなり得る。共通電極303以外にループが形成されることにより、低抵抗化が実現できる。
Here, the
本件ではヘッドベースの材料にSUSを用いた。これは材料の強度に加え、導電目的を果たすことになる。 In this case, SUS was used as the material for the head base. This serves the purpose of conduction in addition to the strength of the material.
接着剤304であるが、本件では非導電性のものを使用することが可能である。これは電極形成時にスパッタ法を用いた為である。
Although it is the
スパッタによって形成された電極面の表面粗さを図10に示す。
このスパッタ法による電極形成後の表面粗さの測定結果より、スパッタ面は平面にはなっておらず、非常に粗く仕上がりが形成されていることが確認できる。この表面にアクチュエータとヘッドベースを固定する為の接着剤304を用い圧着して固定する方法をとるが、表面粗さの影響で仮に接着剤が非導電性の材料であっても、スパッタ表面の金属膜が針電極401となり、圧着した際に結果共通電極303とヘッドべース108が導通し、その結果ループが形成され、低抵抗化を実現できる。結果、ヘッドに供給される駆動波形の劣化に繋がらない。
FIG. 10 shows the surface roughness of the electrode surface formed by sputtering.
From the measurement results of the surface roughness after electrode formation by this sputtering method, it can be confirmed that the sputter surface is not flat and the finish is very rough. A method is adopted in which the adhesive and the adhesive 304 for fixing the actuator and the head base are pressed and fixed to the surface. However, even if the adhesive is a non-conductive material due to the influence of the surface roughness, When the metal film becomes the
ヘッドベースに電流が実際に流れていることの証明として図11を用いて説明する。
圧電素子を高密度に配列した液滴吐出ヘッドでは、多数の圧電素子を同時に駆動して、多数のインク滴を同時に吐出させる必要があり、その動作を行うことにより電圧降下が発生して圧電素子の変位量が不安定となり、液滴吐出特性が低下するという問題があり、また外部配線が接続される接続部から遠い位置に設けられた圧電素子ほど印加される電圧が低くなり易い。図5、図7のヘッドドライバ回路内配線を参照しても明らかである。この為、一列に並列された圧電素子であっても、接続部からの距離によって液滴吐出特性にばらつきが生じてしまう問題があるが、本件に関し、各チャンネル間の吐出滴速度Vjを測定したところ、速度は安定していることが分かる。
A proof that current actually flows through the head base will be described with reference to FIG.
In a droplet discharge head in which piezoelectric elements are arranged at high density, it is necessary to simultaneously drive a large number of piezoelectric elements to discharge a large number of ink droplets at the same time. There is a problem in that the amount of displacement of the liquid crystal becomes unstable and the droplet discharge characteristics deteriorate, and the applied voltage tends to be lower as the piezoelectric element is located farther from the connection portion to which the external wiring is connected. It is also clear by referring to the wiring in the head driver circuit of FIGS. For this reason, even with piezoelectric elements arranged in a row, there is a problem that the droplet discharge characteristics vary depending on the distance from the connection portion. In this case, the discharge droplet velocity Vj between the channels was measured. However, it can be seen that the speed is stable.
また、本件ではコストダウンの為、電極に用いる金属膜(金)のスパッタ厚を0.4μAに設定した。 In this case, the sputtering thickness of the metal film (gold) used for the electrode was set to 0.4 μA for cost reduction.
その結果、変更前の0.8μAの金属膜での液滴吐出ヘッドの駆動波形と比較し、全く劣化のない駆動波形が確認された。金属膜は電極として機能する他、電極の腐食防止としても機能する為、膜を形成しないことは不可能であるが、スパッタにより膜を形成し、ヘッドベースに導電ループを設ける手段により、接着剤の導電特性によらず、また電極に用いる金属膜の膜厚を最小限に抑えることができる。 As a result, a drive waveform with no deterioration was confirmed compared with the drive waveform of the droplet discharge head with the 0.8 μA metal film before the change. Since the metal film functions not only as an electrode but also as an anti-corrosion function for the electrode, it is impossible to form the film. However, the adhesive is formed by means of forming the film by sputtering and providing a conductive loop on the head base. Regardless of the conductive characteristics, the thickness of the metal film used for the electrode can be minimized.
以上説明した本発明の実施形態によれば、複数のノズルに対応してそれぞれ設けられた個別液室に圧力を加えるアクチュエータ素子を、所定の印字タイミングで選択的にヘッド駆動回路からの駆動信号により駆動し、それぞれ対応するノズルからインク滴を吐出させて記録媒体に記録を行う液滴吐出装置の記録ヘッドであって、各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部とは別に、導電目的とは異なる機能を果たすヘッド構成部品にて導電ループを設け、且つ、一列に並設されたアクチュエータを駆動する為の駆動のICオン抵抗が、接続部からの距離が遠くなるにつれ小さくなっていることを特徴とする。よって、特別な追加配線の必要もなく、また追加部品も必要とせずに、現存ヘッド構成部品だけで、通電極の抵抗値が実質的に低下する為、多数のアクチュエータ素子を同時に駆動しても電圧降下を生じることがなく液滴吐出特性が安定する。 According to the embodiment of the present invention described above, the actuator element that applies pressure to the individual liquid chambers provided corresponding to the plurality of nozzles is selectively selected at a predetermined printing timing by the drive signal from the head drive circuit. A recording head of a droplet discharge device that drives and discharges ink droplets from corresponding nozzles to record on a recording medium, and is different from a conductive purpose, apart from a common electrode portion on the ground side of each actuator element A conductive loop is provided in the head component that fulfills the function, and the IC on-resistance for driving the actuators arranged in a row becomes smaller as the distance from the connection portion becomes smaller. And Therefore, there is no need for special additional wiring, and no additional parts are required, and the resistance value of the through-electrode is substantially reduced with only the existing head components, so even if many actuator elements are driven simultaneously. The droplet discharge characteristics are stabilized without causing a voltage drop.
また、本発明の実施形態によれば、複数のノズルに対応してそれぞれ設けられた個別液室に圧力を加えるアクチュエータ素子を、所定の印字タイミングで選択的にヘッド駆動回路からの駆動信号により駆動し、それぞれ対応するノズルからインク滴を吐出させて記録媒体に記録を行う液滴吐出装置の記録ヘッドであって、各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部とは別に、導電目的とは異なる機能を果たすヘッド構成部品にて導電ループを設け、且つ、一列に並設された各アクチュエータを駆動する為の各閉ループ回路の合成インピーダンスがすべて同じになるように構成されていることを特徴とする。よって、特別な追加配線の必要もなく、また追加部品も必要とせずに、現存ヘッド構成部品だけで、通電極の抵抗値が実質的に低下する為、多数のアクチュエータ素子を同時に駆動しても電圧降下を生じることがなく液滴吐出特性が安定する。 Further, according to the embodiment of the present invention, the actuator element that applies pressure to the individual liquid chambers provided corresponding to the plurality of nozzles is selectively driven by a drive signal from the head drive circuit at a predetermined print timing. A recording head of a droplet discharge apparatus that records on a recording medium by discharging ink droplets from the corresponding nozzles, and has a function different from the conductive purpose, apart from the common electrode portion on the ground side of each actuator element. A conductive loop is provided in the head component that achieves the above, and the combined impedances of the closed loop circuits for driving the actuators arranged in a line are all the same. Therefore, there is no need for special additional wiring, and no additional parts are required, and the resistance value of the through-electrode is substantially reduced with only the existing head components, so even if many actuator elements are driven simultaneously. The droplet discharge characteristics are stabilized without causing a voltage drop.
また、本発明の実施形態によれば、液滴吐出装置の記録ヘッドにおける各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部とは別に導電ループとなるヘッド構成部品は、アクチュエータ素子を固定するヘッドベースであることを特徴とする。よって、一つの構成部品で多機能を流用することができる。 Further, according to the embodiment of the present invention, the head component that forms a conductive loop separately from the common electrode portion on the ground side of each actuator element in the recording head of the droplet discharge apparatus is a head base that fixes the actuator element. It is characterized by that. Therefore, multiple functions can be diverted with one component.
また、本発明の実施形態によれば、アクチュエータ素子を固定するヘッド構成部品であるヘッドベースに導電性材料を用いることを特徴とする。よって、共通電極以外の導電ループが確保でき、低抵抗化を実現できる。 According to an embodiment of the present invention, a conductive material is used for a head base which is a head component for fixing an actuator element. Therefore, a conductive loop other than the common electrode can be secured, and low resistance can be realized.
また、本発明の実施形態によれば、ヘッドベースの材料にSUSを用いることを特徴とする。よって、本来の目的であるアクチュエータ安定固定の他、共通電極以外の導電ループが確保でき、低抵抗化を実現できる。 Further, according to the embodiment of the present invention, SUS is used as a material for the head base. Therefore, in addition to the stable stabilization of the actuator, which is the original purpose, a conductive loop other than the common electrode can be secured, and a reduction in resistance can be realized.
また、本発明の実施形態によれば、アクチュエータ素子とヘッドベースの固定手段に接着剤を用い、用いる接着剤の導電性に影響を受けないことを特徴とする。よって、確実にアクチュエータとヘッドベースを固定することが可能となる。 In addition, according to the embodiment of the present invention, an adhesive is used for the actuator element and the fixing means of the head base, and is not affected by the conductivity of the adhesive used. Therefore, it is possible to securely fix the actuator and the head base.
また、本発明の実施形態によれば、各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部を金のスパッタにて成膜することを特徴とする。よって、様々な接着剤でアクチュエータとヘッドベースを固定することが可能となる。 Further, according to the embodiment of the present invention, the common electrode portion on the ground side of each actuator element is formed by gold sputtering. Therefore, the actuator and the head base can be fixed with various adhesives.
また、本発明の実施形態によれば、各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部の金のスパッタ膜厚は0.4μm以下であることを特徴とする。よって、近年価格上昇している金を使用したスパッタ膜厚を最小限に抑え、コストダウン効果が得られ、且つ確実に液滴吐出ヘッドの吐出安定性を保つことが可能となる。 According to the embodiment of the present invention, the gold sputter film thickness of the common electrode portion on the ground side of each actuator element is 0.4 μm or less. Therefore, it is possible to minimize the thickness of the sputtered film using gold, which has been increasing in price in recent years, to obtain a cost reduction effect, and to reliably maintain the ejection stability of the droplet ejection head.
次に、上記で説明した本発明の液滴吐出ヘッド(液滴吐出装置の記録ヘッド)を画像形成装置に適用した例として、図12〜14を参照して説明する。 Next, an example in which the above-described droplet discharge head of the present invention (recording head of the droplet discharge apparatus) is applied to an image forming apparatus will be described with reference to FIGS.
図12は、上記実施形態で説明した本発明に係る液体吐出ヘッドを備える画像形成装置を前方側から見た斜視説明図である。この画像形成装置は、装置本体1と、装置本体1に装着された用紙を装填するための給紙トレイ2と、装置本体1に着脱自在に装着されて画像が記録(形成)された用紙をストックするための排紙トレイ3とを備えている。さらに、装置本体1の前面の一端部側(給排紙トレイ部の側方)には、前面から装置本体1の前方側に突き出し、上面よりも低くなったインクカートリッジを装填するためのカートリッジ装填部4を有し、このカートリッジ装填部4の上面は操作ボタンや表示器などを設ける操作/表示部5としている。
FIG. 12 is a perspective explanatory view of the image forming apparatus including the liquid ejection head according to the present invention described in the above embodiment, as viewed from the front side. The image forming apparatus includes an apparatus
このカートリッジ装填部4には、色の異なる液体(インク)、例えば黒(K)インク、シアン(C)インク、マゼンタ(M)インク、イエロー(Y)インクをそれぞれ収容した複数の液体カートリッジ10k、10c、10m、10y(色を区別しないときは「液体カートリッジ10」という。)を、装置本体1の前面側から後方側に向って挿入して装填可能とし、このカートリッジ装填部4の前面側には、液体カートリッジ10を着脱するときに開く前カバー(カートリッジカバー)6を開閉可能に設けている。
The
次に、この画像形成装置の機構部について図13及び図14を参照して説明する。なお、図13は同機構部の全体構成を説明する概略構成図、図14は同機構部の要部平面説明図である。 Next, the mechanism of this image forming apparatus will be described with reference to FIGS. FIG. 13 is a schematic configuration diagram for explaining the overall configuration of the mechanism unit, and FIG. 14 is a plan view for explaining a main part of the mechanism unit.
フレーム20を構成する左右のメイン側板21A、21Bに横架した主ガイドロッド31と従ガイドロッド32とでキャリッジ33を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図14で矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。
A
このキャリッジ33には、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色の液滴を吐出する複数のノズル列を有する液体吐出ヘッド34(上記実施形態で説明した、本発明の液滴吐出装置の記録ヘッド)を複数のノズル(吐出口)を主走査方向と交叉する方向に配列し、液滴吐出方向を下方に向けて装着している。
The
液体吐出ヘッド34は、圧電素子などの圧電アクチュエータを、液滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段として備えたものとして使用できる。
The
また、キャリッジ33には、各液体吐出ヘッド34に各色の液体を供給するための各色の液体タンク35(一体でもよい。)を搭載している。この各色の液体タンク35には各色の可撓性を有する供給チューブ36を介して、前述したように、カートリッジ装填部4に装着された各色の液体カートリッジ10から各色の液体が補充供給される。このカートリッジ装填部4には液体カートリッジ10内の液体を送液するための送液手段である供給ポンプユニット24が設けられている。なお、供給チューブ36は前ステー29上に保持部材37にて途中部分が保持されている。
In addition, the
一方、給紙トレイ2の用紙積載部(圧板)41上に積載した用紙42を給紙するための給紙部として、用紙積載部41から用紙42を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙コロ)43及び給紙コロ43に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド44を備え、この分離パッド44は給紙コロ43側に付勢されている。
On the other hand, as a paper feeding unit for feeding the
そして、この給紙部から給紙された用紙42を液体吐出ヘッド34の下方側に送り込むために、用紙42を案内するガイド部材45と、カウンタローラ46と、搬送ガイド部材47と、先端加圧コロ49を有する押さえ部材48とを備えるとともに、給送された用紙42を静電吸着して記録ヘッド34に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト51を備えている。
A
この搬送ベルト51は、無端状ベルトであり、搬送ローラ52とテンションローラ53との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。また、この搬送ベルト51の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ56を備えている。この帯電ローラ56は、搬送ベルト51の表層に接触し、搬送ベルト51の回動に従動して回転するように配置されている。さらに、搬送ベルト51の裏側には、記録ヘッド34による印写領域に対応してプラテン部となるガイド部材57を配置している。
The
この搬送ベルト51は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ52が回転駆動されることによって図14のベルト搬送方向に周回移動する。
The
さらに、液体吐出ヘッド34で記録された用紙42を排紙するための排紙部として、搬送ベルト51から用紙42を分離するための分離爪61と、排紙ローラ62及び排紙コロ63とを備え、排紙ローラ62の下方に排紙トレイ3を備えている。
Further, as a paper discharge unit for discharging the
また、装置本体1の背面部には両面ユニット71が着脱自在に装着されている。この両面ユニット71は搬送ベルト51の逆方向回転で戻される用紙42を取り込んで反転させて再度カウンタローラ46と搬送ベルト51との間に給紙する。また、この両面ユニット71の上面は手差しトレイ72としている。
A
さらに、図14に示すように、キャリッジ33の走査方向一方側の非印字領域には、液体吐出ヘッド34のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構81を配置している。
Further, as shown in FIG. 14, a maintenance /
この維持回復機構81には、液体吐出ヘッド34の各ノズル341aを一括してキャピングするためのキャップ部材82と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード83と、増粘した液体を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け84などを備えている。
The maintenance and
そして、この維持回復機構81による維持回復動作で生じる記録液の廃液、キャップ82に排出された液体、あるいはワイパーブレード83に付着してワイパークリーナ85で除去された液体、空吐出受け94に空吐出されたインクは図示しない廃液タンクに排出されて収容される。
Then, the waste liquid of the recording liquid generated by the maintenance / recovery operation by the maintenance /
また、図14に示すように、キャリッジ33の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した液体を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け88を配置し、この空吐出受け88には液体吐出ヘッド34のノズル列方向に沿った開口部89などを備えている。
Further, as shown in FIG. 14, when the idle discharge is performed in the non-printing area on the other side in the scanning direction of the
このように構成した液体吐出ヘッド記録装置においては、給紙トレイ2から用紙42が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙42はガイド45で案内され、搬送ベルト51とカウンタローラ46との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド37で案内されて先端加圧コロ49で搬送ベルト51に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。
In the liquid discharge head recording apparatus configured as described above, the
このとき、図示しない制御部のACバイアス供給部から帯電ローラ56に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト51が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト51上に用紙42が給送されると、用紙42が搬送ベルト51に吸着され、搬送ベルト51の周回移動によって用紙42が副走査方向に搬送される。そこで、キャリッジ33を移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド34を駆動することにより、停止している用紙42に液滴を吐出して1行分を記録し、用紙42を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙42の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙42を排紙トレイ3に排紙する。
At this time, a charging voltage pattern in which a positive output and a negative output are alternately repeated from the AC bias supply unit of the control unit (not shown) to the charging
また、印字(記録)待機中にはキャリッジ33は維持回復機構81側に移動されて、キャップ部材82で液体吐出ヘッド34の吐出面34aがキャッピングされて、ノズルを湿潤状態に保つことにより液体乾燥による吐出不良を防止する。また、キャップ部材82で液体吐出ヘッド34の吐出面34aをキャッピングした状態でここでは図示しない吸引ポンプによってノズルから記録液を吸引し(「ノズル吸引」又は「ヘッド吸引」という。)、増粘した液体を排出する回復動作を行う。
During printing (recording) standby, the
また、記録開始前、記録途中などに記録と関係しない液体を吐出する空吐出動作を行う。これによって、記録ヘッド34の安定した吐出性能を維持する。
Also, an idle discharge operation for discharging a liquid not related to the recording is performed before the start of recording or during the recording. As a result, the stable ejection performance of the
以上述べたように、本発明を適用することで、高品質の液滴吐出ヘッドを低コストで製造することができ、画像形成装置においては本発明を実施した液滴吐出ヘッドを搭載しているので、低コストで高画質な画像形成装置を提供することが可能となる。 As described above, by applying the present invention, a high-quality liquid droplet ejection head can be manufactured at low cost, and the liquid droplet ejection head embodying the present invention is mounted in the image forming apparatus. Therefore, it is possible to provide a low-cost and high-quality image forming apparatus.
なお、本発明に係る画像形成装置は、プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置、これらの複合機などにも適用することができる。また、インク以外の液体、例えばDNA試料やレジスト、パターン材料などを吐出する液滴吐出ヘッドや液滴吐出装置、或いはこれらを備える画像形成装置にも適用することができる。 Note that the image forming apparatus according to the present invention can also be applied to a printer, a facsimile machine, a copying machine, a multi-function machine thereof, and the like. Further, the present invention can also be applied to a droplet discharge head or a droplet discharge device that discharges a liquid other than ink, such as a DNA sample, a resist, or a pattern material, or an image forming apparatus that includes these.
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態の記載に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。 The embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to the description of the embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.
本発明は、インクジェット方式の種々の液体吐出ヘッド及び液滴吐出装置に適用できる。 The present invention can be applied to various ink jet type liquid ejection heads and liquid droplet ejection apparatuses.
101 ノズルカバー
102 ノズルプレート
103 流路板
104 振動板
105 ヘッドフレーム
106 FPC
107 アクチュエータ(PZT)
108 ヘッドベース
109 FFC
201 ノズル
202 ノズル連通路
203 加圧液室
204 共通液室
205 インク供給口
206 ヘッドタンク
207 フィルタユニット
301 積層圧電素子
302 個別電極
303 共通電極
304 接着剤
305 内部電極
401 針電極
a PZT面取り部
101
107 Actuator (PZT)
108
DESCRIPTION OF SYMBOLS 201
a PZT chamfer
Claims (7)
前記各アクチュエータ素子のグランド側の共通電極部とは別に、導電目的とは異なる機能を果たすヘッド構成部品にて導電ループを設け、且つ、一列に並設されたアクチュエータを駆動する為の駆動のICオン抵抗が、接続部からの距離が遠くなるにつれ小さくなっていることを特徴とする液体吐出装置の記録ヘッド。 Actuator elements that apply pressure to the individual liquid chambers provided corresponding to the plurality of nozzles are selectively driven by a drive signal from the head drive circuit at a predetermined printing timing, and ink droplets are ejected from the corresponding nozzles. And a recording head of a droplet discharge device for recording on a recording medium,
In addition to the common electrode portion on the ground side of each actuator element, a driving IC is provided for driving actuators arranged in a row, with a conductive loop provided by a head component that performs a function different from the purpose of conduction. A recording head of a liquid ejection apparatus, wherein the on-resistance decreases as the distance from the connection portion increases.
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