JP5217144B2 - Organic EL display, optical component used therefor, gas barrier substrate used therefor - Google Patents
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Description
本発明は、電気エネルギーを光に変換して発光する有機EL表示体、それに用いる光学用部品、それに用いるガスバリア基板に関する。 The present invention relates to an organic EL display that emits light by converting electric energy into light, an optical component used therefor, and a gas barrier substrate used therefor.
有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子と記述する)は、蛍光性有機化合物に正孔および電子を注入し再結合させて励起子を生成させ、励起子が失活する際の光の放出を利用する自発光素子である。 An organic electroluminescence device (hereinafter referred to as an organic EL device) injects holes and electrons into a fluorescent organic compound and recombines them to generate excitons, and emits light when the excitons are deactivated. It is a self-luminous element to be used.
有機EL素子の最大の課題は、発光部の長寿命化である。 The biggest problem of the organic EL element is to extend the life of the light emitting part.
短寿命の一因として、非発光部(ダークスポット)の発生が挙げられる。 One cause of the short life is the generation of non-light emitting portions (dark spots).
非発光部は、点灯累積時間が増加するに連れ成長し、非発光面積が増加し、発光部の発光輝度は低下する。 The non-light emitting portion grows as the lighting accumulated time increases, the non-light emitting area increases, and the light emission luminance of the light emitting portion decreases.
非発光部の直径が約20μm以上に成長すると目視で確認できるようになり、有機EL素子としての寿命が尽きる事となる。 When the diameter of the non-light emitting portion grows to about 20 μm or more, it can be visually confirmed, and the life as an organic EL element will be exhausted.
非発光部発生の主原因として、有機EL層に対する水蒸気および酸素の接触が知られている。 As a main cause of generation of non-light-emitting portions, contact of water vapor and oxygen with the organic EL layer is known.
対策として、有機EL表示体内に捕水剤(酸化バリウム)を配設することが試みられている。(例えば、特許文献1参照) As a countermeasure, an attempt has been made to dispose a water capturing agent (barium oxide) in the organic EL display. (For example, see Patent Document 1)
しかし、捕水剤として用いられる酸化バリウム(BaO)は劇物であるため、環境問題が生じる。
また、酸化バリウムは粉末なので封入する際に飛散するため、作業性が悪いという問題を抱えている。
However, since barium oxide (BaO) used as a water catching agent is a deleterious substance, an environmental problem arises.
In addition, since barium oxide is a powder, it is scattered when encapsulated, which has a problem of poor workability.
本発明の課題は、非発光部の発生および成長を抑制した有機EL表示体を提供することである。 The subject of this invention is providing the organic electroluminescent display body which suppressed generation | occurrence | production and growth of a non-light-emitting part.
請求項1に記載の発明は、基材の少なくとも一方の面上にガスバリア層を有するガスバリア基板の一方の面に凹凸層が形成され、前記ガスバリア基板の他方の面に透明電極層が形成されている光学物品を有する有機EL表示体であって、
前記透明電極層上に、リン光性化合物を含有する有機EL素子が形成され、前記有機EL素子上に、裏面電極が形成され、前記ガスバリア層が窒化珪素または酸化珪素からなり、前記ガスバリア層の膜厚が150nm±10nmであることを特徴とする有機EL表示体である。
According to the first aspect of the present invention , an uneven layer is formed on one surface of a gas barrier substrate having a gas barrier layer on at least one surface of a base material, and a transparent electrode layer is formed on the other surface of the gas barrier substrate. An organic EL display having an optical article,
An organic EL element containing a phosphorescent compound is formed on the transparent electrode layer, a back electrode is formed on the organic EL element, the gas barrier layer is made of silicon nitride or silicon oxide, and the gas barrier layer An organic EL display having a thickness of 150 nm ± 10 nm .
基材としては透明性、機械的強度、および、耐熱性を有するプラスチックフィルムを用いることが好ましい。 As the substrate, it is preferable to use a plastic film having transparency, mechanical strength, and heat resistance.
基材の厚さとしては、6〜30μmが好ましい。 As thickness of a base material, 6-30 micrometers is preferable.
ガスバリア層は、単層でも多層でも良い。
ガスバリア層が多層である場合は、各層にそれぞれ異なる材料を用いても良い。
The gas barrier layer may be a single layer or a multilayer.
When the gas barrier layer is a multilayer, different materials may be used for each layer.
ガスバリア層の材料としては、透明無機物を用いることができる。 A transparent inorganic material can be used as the material of the gas barrier layer.
ガスバリア層の厚さとしては、ガスバリア層全体で50nm〜2μm程度が好ましい。 The thickness of the gas barrier layer is preferably about 50 nm to 2 μm for the entire gas barrier layer.
透明無機物としては、酸化珪素または窒化珪素を用いることができる。 As the transparent inorganic material, silicon oxide or silicon nitride can be used.
酸化珪素の組成は、SiOx(x=1.7〜2.0)であることが好ましい。 The composition of silicon oxide is preferably SiOx (x = 1.7 to 2.0).
窒化珪素としては、SiN(x=1.0〜1.4)を用いることができる。 As the silicon nitride, SiN (x = 1.0 to 1.4) can be used.
ポリエステルの例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−2,6−ナフタレート等が挙げられる。 Examples of the polyester include polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene-2,6-naphthalate, and the like.
ポリオレフィンの例としては、ポリプロピレンが挙げられる。 An example of a polyolefin is polypropylene.
ポリエステル、ポリエチレン、および、ポリオレフィンは、高い機械的強度を有し、また、波長450〜600nmの可視光領域での光線透過率が80〜97%であるため、耐久性および発光輝度に優れた有機エレクトロルミネッセンス(有機EL)表示体に用いる材料として適している。 Polyester, polyethylene, and polyolefin have high mechanical strength, and have a light transmittance of 80 to 97% in the visible light region with a wavelength of 450 to 600 nm. It is suitable as a material used for an electroluminescence (organic EL) display.
また、ポリエステル、ポリエチレン、および、ポリオレフィンは、未延伸、一軸延伸、二軸延伸のいずれでもよいが、寸法安定性および機械特性の観点から、二軸延伸された物が好ましい。 Polyester, polyethylene, and polyolefin may be unstretched, uniaxially stretched, or biaxially stretched, but biaxially stretched are preferable from the viewpoint of dimensional stability and mechanical properties.
またポリエステル、ポリエチレン、および、ポリオレフィンは、透明性を損なわない程度であれば、添加剤(例えば、酸化防止剤、耐候剤、熱安定剤、滑剤、結晶核剤)が含まれていても良い。 Further, polyesters, polyethylenes, and polyolefins may contain additives (for example, antioxidants, weathering agents, heat stabilizers, lubricants, crystal nucleating agents) as long as transparency is not impaired.
凹凸層の材料としては電離放射線硬化型アクリル樹脂を用いることができ、透明電極層の材料としてはITO(インジウム−スズ酸化物)、In2O3、TiO2、SnO2、ZnOを用いることができる。 An ionizing radiation curable acrylic resin can be used as the material for the uneven layer, and ITO (indium-tin oxide), In 2 O 3 , TiO 2 , SnO 2 , ZnO can be used as the material for the transparent electrode layer. it can.
電離放射線硬化型アクリル樹脂としては、例えば、電離放射線硬化型アクリルウレタン系樹脂、電離放射線硬化型ポリエステルアクリレート系樹脂、電離放射線硬化型エポキシアクリレート系樹脂などに放射線(紫外線または電子線)重合開始剤を添加した樹脂を用いることができる。 As an ionizing radiation curable acrylic resin, for example, an ionizing radiation curable acrylic urethane resin, an ionizing radiation curable polyester acrylate resin, an ionizing radiation curable epoxy acrylate resin, or the like is used with a radiation (ultraviolet or electron beam) polymerization initiator. Added resin can be used.
リン光性化合物としては、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタエチル−21H,23H−ポルフィリン白金錯体を用いることができる。 As the phosphorescent compound, 2,3,7,8,12,13,17,18-octaethyl-21H, 23H-porphyrin platinum complex can be used.
裏面電極の材料としては、Al、Li、Ag、Ca、Mg、Y、Inや、それらを含む合金を用いることができる。 As a material for the back electrode, Al, Li, Ag, Ca, Mg, Y, In, and alloys containing them can be used.
請求項1に記載の発明は、基材の少なくとも一方の面上にガスバリア層を有するガスバリア基板の一方の面に凹凸層が形成され、前記ガスバリア基板の他方の面に透明電極層が形成されている光学物品を有する有機EL表示体であって、
前記透明電極層上に、リン光性化合物を含有する有機EL素子が形成され、前記有機EL素子上に、裏面電極が形成され、前記ガスバリア層が窒化珪素または酸化珪素からなり、前記ガスバリア層の膜厚が150nm±10nmであることを特徴とする有機EL表示体である。
According to the first aspect of the present invention , an uneven layer is formed on one surface of a gas barrier substrate having a gas barrier layer on at least one surface of a base material, and a transparent electrode layer is formed on the other surface of the gas barrier substrate. An organic EL display having an optical article,
An organic EL element containing a phosphorescent compound is formed on the transparent electrode layer, a back electrode is formed on the organic EL element, the gas barrier layer is made of silicon nitride or silicon oxide, and the gas barrier layer An organic EL display having a thickness of 150 nm ± 10 nm .
このようなガスバリア基板を有機EL表示体に用いることによって、非発光部の発生および成長を抑制した有機EL表示体を得ることができる。 By using such a gas barrier substrate for an organic EL display, an organic EL display in which generation and growth of non-light emitting portions are suppressed can be obtained.
このようなガスバリア基板を有機EL表示体に用いることによって、高輝度の画像表示が得られる有機EL表示体を作製することができる。 By using such a gas barrier substrate for an organic EL display, an organic EL display capable of obtaining a high-luminance image display can be produced.
このようなガスバリア基板を有機EL表示体に用いることによって、
高度なガスバリア性を有する有機EL表示体を作製することができる。
By using such a gas barrier substrate for an organic EL display,
An organic EL display having a high gas barrier property can be produced.
SiOxのxを1.7〜2.0の範囲にすることにより、無色透明で高度なガスバリア性を有する有機EL表示体を作製することができる。 By setting x of SiOx to a range of 1.7 to 2.0, an organic EL display having a colorless and transparent and high gas barrier property can be produced.
SiOxのxが1.7未満の場合、SiOxは黄色透明であり、また、SiOxのxが2.0を超える場合、ガスバリア性が不十分となる可能性がある。 When x of SiOx is less than 1.7, SiOx is yellow and transparent, and when x of SiOx exceeds 2.0, gas barrier properties may be insufficient.
このような光学用部品を用いることにより、光取り出し性に優れ、高度なガスバリア性を有する有機EL表示体を作製することができる。 By using such an optical component, an organic EL display having excellent light extraction properties and high gas barrier properties can be produced.
凹凸層の主成分として電離放射線硬化型アクリル樹脂を用いることにより、高い透明性を有する凹凸層を、生産性良く形成することができる。 By using an ionizing radiation curable acrylic resin as the main component of the concavo-convex layer, a concavo-convex layer having high transparency can be formed with high productivity.
透明電極層の材料としては、ITO(インジウム−スズ酸化物)、In2O3、TiO2、SnO2、ZnOを用いることができるが、中でもITOを用いることにより特に高い透光性が得られる。 As a material for the transparent electrode layer, ITO (Indium-Tin Oxide), In 2 O 3 , TiO 2 , SnO 2 , and ZnO can be used, and particularly high transparency can be obtained by using ITO. .
リン光性化合物を用いることにより、従来の蛍光発光型有機EL素子の約4倍の内部量子効率を有する有機EL素子を作製することができる。 By using a phosphorescent compound, an organic EL device having an internal quantum efficiency of about 4 times that of a conventional fluorescent light-emitting organic EL device can be produced.
本発明の、光学用部品の製造方法を、図1、図2および図3を基に説明する。 The optical component manufacturing method of the present invention will be described with reference to FIGS.
まず、基材1上にガスバリア層2を積層することにより、ガスバリア基板3を作製する。(図1参照) First, the gas barrier substrate 3 is produced by laminating the gas barrier layer 2 on the substrate 1. (See Figure 1)
積層方法としては、ガスバリア層2が透明無機物(窒化珪素、または、酸化珪素)である場合、例えば、化学気相成長(CVD)法、プラズマCVD(PECVD)法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、電子ビーム蒸着法および抵抗加熱法などの真空蒸着法や、レーザーアブレーション法等を用いることができ、中でも、生産性および品質安定性に優れたガスバリア層を形成できるという観点から、プラズマCVD(PECVD)法が好ましい。 As the stacking method, when the gas barrier layer 2 is a transparent inorganic material (silicon nitride or silicon oxide), for example, chemical vapor deposition (CVD) method, plasma CVD (PECVD) method, sputtering method, ion plating method, Plasma CVD (PECVD) can be used from the viewpoint of being able to form vacuum barrier methods such as electron beam evaporation and resistance heating, laser ablation, etc., and especially to form a gas barrier layer with excellent productivity and quality stability. The method is preferred.
次に、スタンパ用基板100としてガラス板を用い、該ガラス板表面にポジ型のフォトレジスト200を塗布する。(図2(a)参照) Next, a glass plate is used as the stamper substrate 100, and a positive photoresist 200 is applied to the surface of the glass plate. (See Fig. 2 (a))
ポジ型レジストはネガ型レジストよりも解像度が高く、本発明の様に高精細が要求されるスタンパに用いる材料として相応しい。 The positive type resist has a higher resolution than the negative type resist and is suitable as a material used for a stamper that requires high definition as in the present invention.
フォトレジスト200とガラス板(スタンパ用基板100)との密着性を向上させるため、ガラス板(スタンパ用基板100)表面にHMDS(ヘキサメチルジシラザン)によりベーパー処理を施しても良い。 In order to improve the adhesion between the photoresist 200 and the glass plate (stamper substrate 100), the surface of the glass plate (stamper substrate 100) may be subjected to vapor treatment with HMDS (hexamethyldisilazane).
次に、レーザー(例えば、HeCdレーザー(波長442nm)等)および光学系マスク(NA(開口数)が0.89〜0.91)を用いて、回折限界にてフォトレジスト200を露光することにより、ポジ型のフォトレジスト200を可溶化処理する。(図2(b)参照) Next, the photoresist 200 is exposed at the diffraction limit using a laser (for example, a HeCd laser (wavelength 442 nm) or the like) and an optical system mask (NA (numerical aperture) is 0.89 to 0.91). Then, the positive photoresist 200 is solubilized. (See Fig. 2 (b))
次に、アルカリ溶液を用いて、可溶化処理したフォトレジスト200´を除去(現像)する。(図2(c)参照) Next, the solubilized photoresist 200 ′ is removed (developed) using an alkaline solution. (See FIG. 2 (c))
次に、スパッタ法を用いて、フォトレジスト200´´上にNi導電化層300形成する。(図2(d)参照) Next, a Ni conductive layer 300 is formed on the photoresist 200 ″ by sputtering. (See Fig. 2 (d))
次に、Ni導電化層300を電極にして、鍍金法を用いて、Ni導電化層300上にNiめっき層400を形成する。(図2(e)参照) Next, using the Ni conductive layer 300 as an electrode, the Ni plating layer 400 is formed on the Ni conductive layer 300 using a plating method. (See Fig. 2 (e))
次に、スタンパ用基板100およびフォトレジスト200´´を剥離することにより、スタンパ500を得る。(図2(f)参照) Next, the stamper 500 is obtained by removing the stamper substrate 100 and the photoresist 200 ″. (See Fig. 2 (f))
次に、電離放射線硬化型アクリル樹脂を主成分としたペースト4を、ガスバリア基板3の基材1上に積層する。(図3(b)参照) Next, a paste 4 mainly composed of an ionizing radiation curable acrylic resin is laminated on the base material 1 of the gas barrier substrate 3. (See Fig. 3 (b))
電離放射線硬化型アクリル樹脂を主成分としたペースト4としては、メチルエチルケトン(MEK)などの溶剤を用いて、紫外線硬化型アクリル樹脂や電子線硬化型アクリル樹脂を固形分40〜50%に希釈したペーストを用いることができる。 As paste 4 having ionizing radiation curable acrylic resin as a main component, paste obtained by diluting UV curable acrylic resin or electron beam curable acrylic resin to a solid content of 40 to 50% using a solvent such as methyl ethyl ketone (MEK). Can be used.
基材1上への電離放射線硬化型アクリル樹脂を主成分としたペースト4の積層方法としては、公知のダイコート法、スピンコート法、スクリーン印刷法、バーコート法、グラビアコート法などを用いることができる。 As a method for laminating the paste 4 containing ionizing radiation curable acrylic resin as a main component on the substrate 1, a known die coating method, spin coating method, screen printing method, bar coating method, gravure coating method, or the like may be used. it can.
次に、電離放射線硬化型アクリル樹脂を主成分としたペースト4にスタンパ500を押圧し、回折格子パターン4´を形成する。(図3(c)参照) Next, the stamper 500 is pressed against the paste 4 containing ionizing radiation curable acrylic resin as a main component to form a diffraction grating pattern 4 ′. (See Fig. 3 (c))
次に、回折格子パターン4´に電離放射線を照射することにより、第1の回折格子層4´´を形成する。(図3(d)参照) Next, the first diffraction grating layer 4 ″ is formed by irradiating the diffraction grating pattern 4 ′ with ionizing radiation. (See Fig. 3 (d))
電離放射線として、100〜380nmの波長領域の紫外線、または、100nm以下の波長領域の電子線を用いることができる。
該紫外線および該電子線を用いることにより、1μm以下の微細パターンを有する回折格子層を短時間に安価に製造することができる。
As the ionizing radiation, ultraviolet rays having a wavelength region of 100 to 380 nm or electron beams having a wavelength region of 100 nm or less can be used.
By using the ultraviolet ray and the electron beam, a diffraction grating layer having a fine pattern of 1 μm or less can be produced in a short time and at a low cost.
紫外線を照射する場合、カーボンアーク、メタルハライドランプ、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、低圧水銀灯などを用い、100〜380nm、好ましくは200〜300nmの波長領域で紫外線を照射する。 In the case of irradiating ultraviolet rays, a carbon arc, a metal halide lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a low pressure mercury lamp, or the like is used, and the ultraviolet rays are irradiated in a wavelength region of 100 to 380 nm, preferably 200 to 300 nm.
電子線を照射する場合、ダイナミトロン型、直線型、コックロフトワルトン型、バンデグラフ型、共振変圧器型、絶縁コア変圧器型、高周波型などの各種電子線加速器等を用い、100nm以下、好ましくは50nm以下の波長領域で電子線を照射する。 When irradiating with an electron beam, various electron beam accelerators such as a dynamitron type, a linear type, a cockroft Walton type, a bandegraph type, a resonant transformer type, an insulated core transformer type, a high frequency type, etc. are used, preferably 100 nm or less, preferably An electron beam is irradiated in a wavelength region of 50 nm or less.
次に、スタンパ500を除去する。(図3(e)参照) Next, the stamper 500 is removed. (See Fig. 3 (e))
次に、ガスバリア層2上に、透明電極層5を形成する。(図3(f)参照) Next, the transparent electrode layer 5 is formed on the gas barrier layer 2. (See Fig. 3 (f))
透明電極層5の厚みは、100〜200nmとすることができる。 The thickness of the transparent electrode layer 5 can be 100 to 200 nm.
透明電極層5の形成方法としては、ガスバリア層2上にパターニング用マスクを載置してのイオンプレーティング法を用いることができる。 As a method for forming the transparent electrode layer 5, an ion plating method in which a patterning mask is placed on the gas barrier layer 2 can be used.
次に、透明電極層5上に、正孔輸送層6を積層する。(図4(a)参照) Next, the hole transport layer 6 is laminated on the transparent electrode layer 5. (See Fig. 4 (a))
正孔輸送層6の厚みは、40〜60nmとすることができる。 The thickness of the hole transport layer 6 can be set to 40 to 60 nm.
正孔輸送層6の積層方法としては、m−MTDATXAを透明電極層5上に真空蒸着する方法を用いることができる。 As a method for stacking the hole transport layer 6, a method of vacuum-depositing m-MTDATXA on the transparent electrode layer 5 can be used.
次に、正孔輸送層6上に発光層7を形成する。(図4(b)参照) Next, the light emitting layer 7 is formed on the hole transport layer 6. (See Fig. 4 (b))
発光層7の厚みは、20〜40nmとすることができる。 The thickness of the light emitting layer 7 can be 20-40 nm.
発光層7の形成方法としては、m−MTDATXAとATCBPとIr−12を共蒸着する方法を用いることができる。 As a method for forming the light emitting layer 7, a method in which m-MTDATXA, ATCBP, and Ir-12 are co-evaporated can be used.
次に、発光層7上に、正孔阻止層8を形成する。(図4(c)参照) Next, the hole blocking layer 8 is formed on the light emitting layer 7. (See Fig. 4 (c))
正孔阻止層8の厚みは、5〜15nmとすることができる。 The thickness of the hole blocking layer 8 can be 5 to 15 nm.
正孔阻止層8の形成方法としては、バソキュプロインを発光層7上に真空蒸着する方法を用いることができる。 As a method for forming the hole blocking layer 8, a method of vacuum-depositing bathocuproine on the light emitting layer 7 can be used.
次に、正孔阻止層8上に、電子輸送層9を形成する。(図5(d)参照) Next, the electron transport layer 9 is formed on the hole blocking layer 8. (See Fig. 5 (d))
電子輸送層9の厚みは、30〜50nmとすることができる。 The thickness of the electron transport layer 9 can be set to 30 to 50 nm.
電子輸送層9の形成方法としては、Alq3(tris(8−hydroxyquinoline)aluminum)を正孔阻止層8上に真空蒸着する方法を用いることができる。 As a method for forming the electron transport layer 9, a method of vacuum-depositing Alq 3 (tris (8-hydroxyquinoline) aluminum) on the hole blocking layer 8 can be used.
次に、電子輸送層9上に、裏面電極バッファー層10を形成する。(図5(e)参照) Next, the back electrode buffer layer 10 is formed on the electron transport layer 9. (See Fig. 5 (e))
裏面電極バッファー層10の厚みは、0.4〜0.6nmとすることができる。 The thickness of the back electrode buffer layer 10 can be 0.4 to 0.6 nm.
裏面電極バッファー層10の形成方法としては、フッ化リチウムを電子輸送層9上に真空蒸着する方法を用いることができる。 As a method for forming the back electrode buffer layer 10, a method of vacuum-depositing lithium fluoride on the electron transport layer 9 can be used.
最後に、裏面電極バッファー層10上に裏面電極11を形成することにより、有機EL表示体を得る。(図5(f)参照) Finally, an organic EL display is obtained by forming the back electrode 11 on the back electrode buffer layer 10. (See FIG. 5 (f))
裏面電極11の厚みは、100〜120nmとすることができる。 The thickness of the back electrode 11 can be 100 to 120 nm.
裏面電極11の形成方法としては、アルミニウムを裏面電極バッファー層10上に真空蒸着する方法を用いることができる。 As a method for forming the back electrode 11, a method of vacuum-depositing aluminum on the back electrode buffer layer 10 can be used.
以下に実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれらにより限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
また、下記実施例、比較例にて作製されたガスバリア基板の水蒸気透過率および酸素透過率の測定方法、並びに、ガスバリア基板の全光線透過率の測定方法、並びに、ガスバリア層の膜厚測定方法および組成分析方法、並びに、ガスバリア基板の基材とガスバリア層の密着強度の測定方法、並びに、有機EL表示体の耐湿、耐酸化評価方法は以下のとおりである。 Further, the method for measuring the water vapor transmission rate and the oxygen transmission rate of the gas barrier substrate produced in the following examples and comparative examples, the method for measuring the total light transmittance of the gas barrier substrate, the method for measuring the film thickness of the gas barrier layer, and The composition analysis method, the measurement method of the adhesion strength between the base material of the gas barrier substrate and the gas barrier layer, and the moisture resistance and oxidation resistance evaluation method of the organic EL display are as follows.
ガスバリア基板の水蒸気透過率(JIS K7129 B法)
モダンコントロール社製、PERMATRAN W6を用いて、気温40℃、相対湿度が90%の雰囲気下で測定した。
Water vapor transmission rate of gas barrier substrate (JIS K7129 B method)
Using PERMATRAN W6 manufactured by Modern Control Co., measurement was performed in an atmosphere with an air temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90%.
ガスバリア基板の酸素透過率(JIS K7126 B法)
モダンコントロール社製、OXTRAN 10/40Aを用いて、気温20℃、相対湿度が90%の雰囲気下で測定した。
Oxygen permeability of gas barrier substrate (JIS K7126 B method)
Using an OXTRAN 10 / 40A manufactured by Modern Control Co., Ltd., measurement was performed in an atmosphere having an air temperature of 20 ° C. and a relative humidity of 90%.
ガスバリア層の膜厚(JIS K 0121)(蛍光X線分析法)
理学電機社製、蛍光X線分析装置(システム3270)を用いて、X線源としてはロジウム管球を用い、50kV、50mAの条件で測定した。
Gas barrier layer thickness (JIS K 0121) (X-ray fluorescence analysis)
Using a fluorescent X-ray analyzer (system 3270) manufactured by Rigaku Denki Co., Ltd., a rhodium tube was used as the X-ray source, and measurement was performed under conditions of 50 kV and 50 mA.
ガスバリア層の組成(ESCA)法
島津製作所社製、ESCA3200(商品名)を用いて、X線源にはMgα線源を使用し、電圧5kV、電流30mA、アナライザー透過エネルギー10eV、光電子の取り込みは0.1eVステップで1ポイントの収拾時間は100msとした条件にて分析した。
また、膜の深さ方向の情報を得るために、熱陰極型エッチングイオン銃を用いて60秒のエッチングを10回行い、デプスプロファイルを得た。
分析はガスバリア層表面に対して法線上に検出器をセットした状態で行い、適正な帯電補正を行った。
ガスバリア層中の組成比はN、Si、O、Cのピーク面積に、各元素の感度補正係数(Cの1sを基準とし、Oの1sを2.85、Nの1sを1.77、Siの2pを0.87)を用いて補正を行いデプスプロファイルの平均を膜組成とした。
Composition of gas barrier layer (ESCA) Method Shimadzu Corporation, ESCA3200 (trade name), Mgα ray source is used as X-ray source, voltage 5 kV, current 30 mA, analyzer transmission energy 10 eV, photoelectron uptake is 0 The analysis was performed under the condition that the collection time of 1 point in 1 eV step was 100 ms.
Further, in order to obtain information in the depth direction of the film, etching was performed 10 times for 60 seconds using a hot cathode type etching ion gun to obtain a depth profile.
The analysis was performed with the detector set on the normal to the surface of the gas barrier layer, and appropriate charge correction was performed.
The composition ratio in the gas barrier layer is the peak area of N, Si, O, and C. The sensitivity correction coefficient of each element (on the basis of 1 s of C, 1 s of O is 2.85, 1 s of N is 1.77, Si 2p was corrected using 0.87), and the average of the depth profiles was defined as the film composition.
ガスバリア基板の全光線透過率(JIS K 7361−1)
島津製作所社製、分光光度計(島津自記分光光度計UV−3100PC型)を用いて測定した。
Total light transmittance of gas barrier substrate (JIS K 7361-1)
The measurement was performed using a spectrophotometer (Shimadzu autograph spectrophotometer UV-3100PC type) manufactured by Shimadzu Corporation.
ガスバリア基板の基材とガスバリア層の密着強度(JIS K5600−5−6)(クロスカット法)
ガスバリア基板のガスバリア層側に、100個の碁盤目状の切り込みを、隙間間隔1mmのカッターガイドを用いて付け、その上に粘着テープ(ニチバン社製、CT24)を升目状の切り傷面に張り付け、指の腹で圧し、密着させた後、表面から90°の方向に一気に引き剥がして目視によりガスバリア層の剥離状況を確認した。
Adhesive strength between gas barrier substrate and gas barrier layer (JIS K5600-5-6) (cross-cut method)
On the gas barrier layer side of the gas barrier substrate, 100 grid cuts are made using a cutter guide with a gap interval of 1 mm, and an adhesive tape (Nichiban Co., Ltd., CT24) is stuck on the grid cut surface, After pressurizing with a finger pad and bringing it into close contact with each other, it was peeled off from the surface in a direction of 90 ° at a stretch, and the peeling state of the gas barrier layer was visually confirmed.
有機EL表示体の耐湿、耐酸化評価
有機EL表示体を、気温40℃、相対湿度が90%の雰囲気下で1年間点灯保存し、非発光部の径の最大値が50μm以下を維持できる場合、耐湿、耐酸化特性良好とした。
Moisture resistance and oxidation resistance evaluation of organic EL display When the organic EL display is lit and stored for 1 year in an atmosphere with a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90%, the maximum diameter of the non-light emitting part can be maintained at 50 μm or less. Good moisture resistance and oxidation resistance.
また、sccmは、standard cubic cm per minuteの略語である。 Sccm is an abbreviation for standard cubic cm per minute.
<実施例1>
(ガスバリア基板の作製)
まず、厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(NSC(商品名))(帝人デュポンフィルム社製)を、プラズマCVD装置(アネルバ社製、平行平板型プラズマCVD装置、PED−401)内に装着し、70℃に加熱した。
<Example 1>
(Production of gas barrier substrate)
First, a 12 μm thick polyethylene terephthalate film (NSC (trade name)) (manufactured by Teijin DuPont Films Ltd.) is mounted in a plasma CVD apparatus (manufactured by Anelva, parallel plate type plasma CVD apparatus, PED-401). Heated to ° C.
次に、CVD装置内を、油回転ポンプおよびターボモレキュラーポンプを用いて、到達真空度3.0×10−3Paまで減圧した。 Next, the inside of the CVD apparatus was depressurized to an ultimate vacuum of 3.0 × 10 −3 Pa using an oil rotary pump and a turbomolecular pump.
次に、プラズマCVD装置のガス導入口から、テトラメトキシシランガス(TMOS)(信越化学工業(株)製、KBM−04)10sccm、酸素ガス(太陽東洋酸素(株)、純度99.9999%以上)10sccm、ヘリウムガス(太陽東洋酸素(株)、純度99.999%以上)30sccmを導入し、プラズマCVD装置の成膜チャンバー内圧力を33.2〜33.3Paに保ち、90kHzの周波数を有する電力(投入電力150W)を印加することにより、前記厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(NSC(商品名))(帝人デュポンフィルム社製)上に膜厚が150nm±10nmのSiOx(x=1.8)を積層し、ガスバリア基板を得た。 Next, from a gas inlet of the plasma CVD apparatus, tetramethoxysilane gas (TMOS) (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., KBM-04) 10 sccm, oxygen gas (Taiyo Toyo Oxygen Co., Ltd., purity 99.9999% or more) 10 sccm, helium gas (Taiyo Toyo Oxygen Co., Ltd., purity 99.999% or more) 30 sccm is introduced, the pressure in the film formation chamber of the plasma CVD apparatus is kept at 33.2 to 33.3 Pa, and the power has a frequency of 90 kHz By applying (input power 150 W), SiOx (x = 1.8) having a film thickness of 150 nm ± 10 nm on the polyethylene terephthalate film (NSC (trade name)) (made by Teijin DuPont Films) having a thickness of 12 μm. Were stacked to obtain a gas barrier substrate.
ガスバリア基板の水蒸気透過率(JIS K7129 B法)は、0.11g/m2・day・atmであった。
ガスバリア基板の酸素透過率(JIS K7126 B法)は、0.10cc/m2・day・atmであった。
The water vapor transmission rate (JIS K7129 B method) of the gas barrier substrate was 0.11 g / m 2 · day · atm.
The oxygen permeability (JIS K7126 B method) of the gas barrier substrate was 0.10 cc / m 2 · day · atm.
ガスバリア基板の全光線透過率(JIS K 7361−1)は75%であった。 The total light transmittance (JIS K 7361-1) of the gas barrier substrate was 75%.
ガスバリア基板の密着強度試験結果(JIS K5600−5−6)は、分類0(カット縁が完全に滑らかで、ガスバリア層の剥離なし)となり、ガスバリア基板の基材とガスバリア層の密着強度が良好であることが確認された。 The gas barrier substrate adhesion strength test result (JIS K5600-5-6) is classified as 0 (the cut edge is completely smooth and the gas barrier layer is not peeled), and the adhesion strength between the gas barrier substrate and the gas barrier layer is good. It was confirmed that there was.
(スタンパの作製)
まず、ガラス板(コーニング社製、1737(商品名))表面を島田理化社製の自動洗浄装置で洗浄し、その後、このガラス板をベーパーオーブン内にて、HMDS(ヘキサメチルジシラザン)(東京応化工業社製、OAP(商品名))蒸気を用いて、90℃下において2分間ベーパー処理を行った。
(Production of stamper)
First, the surface of a glass plate (manufactured by Corning, 1737 (trade name)) was cleaned with an automatic cleaning device manufactured by Shimada Rika Co., Ltd., and then this glass plate was HMDS (hexamethyldisilazane) (Tokyo) A vapor treatment was performed for 2 minutes at 90 ° C. using steam produced by Oka Kogyo Co., Ltd. (OAP (trade name)).
次に、フォトレジスト(ポジ型フォトレジスト)(東京応化工業社製、OFPR−800(商品名))を、湯浅社製のスピンコーターを用いて、前記ガラス板のベーパー処理面上に、4000rpm30秒間のスピンコート条件にて、膜厚が3±1μmの範囲になるように塗布し、その後、DAITORON社製のクリーンオーブン内で90℃下において50分間プリベークした。 Next, a photoresist (positive type photoresist) (manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., OFPR-800 (trade name)) is applied to the vapor treated surface of the glass plate at 4000 rpm for 30 seconds using a spin coater manufactured by Yuasa. The film was applied so that the film thickness was in the range of 3 ± 1 μm under the above spin coating conditions, and then pre-baked for 50 minutes at 90 ° C. in a clean oven manufactured by DAITRON.
次に、レーザー干渉露光装置を用いて、所定のパターンを有する光学系マスク(NA(開口数)0.90)を介して、前記プリベークしたフォトレジストに、三方向より入射角度40度にて波長442nmのHeCdレーザーを照射することにより、露光した。 Next, using a laser interference exposure apparatus, the wavelength is incident on the pre-baked photoresist at an incident angle of 40 degrees from three directions through an optical system mask (NA (numerical aperture) 0.90) having a predetermined pattern. Exposure was performed by irradiation with a 442 nm HeCd laser.
次に、0.3%のテトラメチルアンモニウム水溶液を用いて、25℃下において60秒間現像処理を行い、その後、超純水でリンス処理を25秒間行い、その後、乾燥した。 Next, using a 0.3% tetramethylammonium aqueous solution, development processing was performed at 25 ° C. for 60 seconds, and then rinse treatment with ultrapure water was performed for 25 seconds, followed by drying.
次に、DC平行平板型マグネトロンスパッタリング装置(Va−rian社製、XM−8(商品名))内において、スパッタリングターゲットとしてNiターゲット、スパッタガスとして圧力0.3PaのArガスを用いて、初期真空度5×10−3Paにて、RFパワー300Wの条件で、Niをスパッタすることにより、フォトレジスト上に厚さが600ÅのNi導電化層を形成した。 Next, in a DC parallel plate type magnetron sputtering apparatus (XM-8 (trade name), manufactured by Va-Rian Co., Ltd.), a Ni target is used as a sputtering target, and an Ar gas having a pressure of 0.3 Pa is used as a sputtering gas. A Ni conductive layer having a thickness of 600 mm was formed on the photoresist by sputtering Ni at a temperature of 5 × 10 −3 Pa and an RF power of 300 W.
次に、以下の様なNi鍍金液を生成した。
スルファルミ酸ニッケル・4水塩・・・500g/L
硼酸・・・・・・・・・・・・・・・・37g/L
pH・・・・・・・・・・・・・・・・3.8
Next, the following Ni plating solution was produced.
Nickel sulfamate tetrahydrate ... 500g / L
Boric acid ... 37g / L
pH ... 3.8
次に、40℃に保温した上記Ni鍍金液に、前記Ni導電化層を浸漬し、通電電流時間積分値300AHの条件にて鍍金を行うことにより、前記Ni導電化層上に厚さ300μmのニッケル鍍金膜を形成した。 Next, the Ni conductive layer is dipped in the Ni plating solution kept at 40 ° C., and plated under the condition of an energization current time integral value of 300 AH, whereby a thickness of 300 μm is formed on the Ni conductive layer. A nickel plating film was formed.
次に、スタンパ用基板およびフォトレジストを剥離することにより、スタンパを得た。 Next, the stamper was obtained by removing the stamper substrate and the photoresist.
(光学用部品の作製)
まず、メチルエチルケトン(MEK)を用いて、紫外線硬化型アクリルモノマーR128H(商品名)(日本化薬社製)を固形分45質量%に希釈したペーストを、前記ガスバリア基板のポリエチレンテレフタレートフィルム面上に、グラビアコーターを用いて、膜厚3±1μmになるように塗布し、その後、60℃にて予備乾燥した。
(Production of optical parts)
First, using methyl ethyl ketone (MEK), a paste obtained by diluting UV curable acrylic monomer R128H (trade name) (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) to a solid content of 45% by mass on the polyethylene terephthalate film surface of the gas barrier substrate, Using a gravure coater, it was applied to a film thickness of 3 ± 1 μm and then pre-dried at 60 ° C.
次に、前記紫外線硬化型アクリル樹脂R128H(商品名)(日本化薬社製)塗布面上に、1MPaの圧力をかけて1分間前記スタンパを圧接した後、前記ガスバリア基板のガスバリア層形成面側から750mJ/cm2のエネルギーで波長250nmの紫外線を照射して前記紫外線硬化型アクリル樹脂を硬化することにより回折格子層を形成し、その後、スタンパを除去した。 Next, after applying the pressure of 1 MPa on the application surface of the ultraviolet curable acrylic resin R128H (trade name) (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and pressing the stamper for 1 minute, the gas barrier layer forming surface side of the gas barrier substrate The ultraviolet curable acrylic resin was cured by irradiating ultraviolet rays having a wavelength of 250 nm with energy of 750 mJ / cm 2 to form a diffraction grating layer, and then the stamper was removed.
次に、ガスバリア層上にパターニング用マスクを載置して、公知のイオンプレーティング法を用いて、膜厚150nm±12nmのITO(インジウム−スズ酸化物)を積層し、透明電極層を形成することにより、光学用部品を得た。 Next, a patterning mask is placed on the gas barrier layer, and ITO (indium-tin oxide) with a film thickness of 150 nm ± 12 nm is laminated using a known ion plating method to form a transparent electrode layer. Thus, an optical component was obtained.
(有機EL表示体の作製)
まず、3×10−4Pa下において、m−MTDATXAを蒸着速度0.2nm/secにて透明電極層(表面温度25±1℃)上に真空蒸着することにより、膜厚50±11nmの正孔輸送層を形成した。
(Production of organic EL display)
First, under 3 × 10 −4 Pa, m-MTDATXA was vacuum-deposited on the transparent electrode layer (surface temperature 25 ± 1 ° C.) at a deposition rate of 0.2 nm / sec to obtain a positive film thickness of 50 ± 11 nm. A hole transport layer was formed.
次に、3×10−4Pa下において、ATCBPとIr−12を、各々、蒸着速度0.3nm/sec、0.013nm/secにて正孔輸送層(表面温度25±1℃)上に共蒸着することにより、膜厚30±10nmの発光層を形成した。 Next, under 3 × 10 −4 Pa, ATCBP and Ir-12 are deposited on the hole transport layer (surface temperature 25 ± 1 ° C.) at a deposition rate of 0.3 nm / sec and 0.013 nm / sec, respectively. By co-evaporation, a light emitting layer with a thickness of 30 ± 10 nm was formed.
次に、3×10−4Pa下において、バソキュプロインを、蒸着速度0.2nm/secにて発光層(表面温度25±1℃)上に真空蒸着することにより、膜厚10±5nmの正孔阻止層を形成した。 Next, under a vacuum of 3 × 10 −4 Pa, bathocuproine is vacuum-deposited on the light emitting layer (surface temperature 25 ± 1 ° C.) at a deposition rate of 0.2 nm / sec, thereby forming a hole with a thickness of 10 ± 5 nm. A blocking layer was formed.
次に、3×10−4Pa下において、Alq3を、蒸着速度0.2nm/secにて正孔阻止層(表面温度25±1℃)上に真空蒸着することにより、膜厚40±11nmの電子輸送層を形成した。 Next, under 3 × 10 −4 Pa, Alq3 is vacuum-deposited on the hole blocking layer (surface temperature 25 ± 1 ° C.) at a deposition rate of 0.2 nm / sec to obtain a film thickness of 40 ± 11 nm. An electron transport layer was formed.
次に、3×10−4Pa下において、フッ化リチウムを、蒸着速度0.2nm/secにて電子輸送層(表面温度25±1℃)上に真空蒸着することにより、膜厚1±0.5nmの裏面電極バッファー層を形成した。 Next, under 3 × 10 −4 Pa, lithium fluoride is vacuum-deposited on the electron transport layer (surface temperature 25 ± 1 ° C.) at a deposition rate of 0.2 nm / sec to obtain a film thickness of 1 ± 0. A 5 nm back electrode buffer layer was formed.
最後に、3×10−4Pa下において、アルミニウムを、蒸着速度1nm/secにて裏面電極バッファー層(表面温度25±1℃)上に真空蒸着することにより、膜厚110±10nmの裏面電極層を形成し、有機EL表示体を得た。 Finally, under 3 × 10 −4 Pa, aluminum is vacuum-deposited on the back electrode buffer layer (surface temperature 25 ± 1 ° C.) at a deposition rate of 1 nm / sec, thereby forming a back electrode having a thickness of 110 ± 10 nm. A layer was formed to obtain an organic EL display.
有機EL表示体の耐湿、耐酸化評価は良好であった。 The evaluation of moisture resistance and oxidation resistance of the organic EL display was good.
<実施例2>
(ガスバリア基板の作製)
まず、厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(NSC(商品名))(帝人デュポンフィルム社製)を、プラズマCVD装置(アネルバ社製、平行平板型プラズマCVD装置、PED−401)内に装着し、70℃に加熱した。
<Example 2>
(Production of gas barrier substrate)
First, a 12 μm thick polyethylene terephthalate film (NSC (trade name)) (manufactured by Teijin DuPont Films Ltd.) is mounted in a plasma CVD apparatus (manufactured by Anelva, parallel plate type plasma CVD apparatus, PED-401). Heated to ° C.
次に、CVD装置内を、油回転ポンプおよびターボモレキュラーポンプを用いて、到達真空度3.0×10−3Paまで減圧した。 Next, the inside of the CVD apparatus was depressurized to an ultimate vacuum of 3.0 × 10 −3 Pa using an oil rotary pump and a turbomolecular pump.
次に、プラズマCVD装置のガス導入口から、モノシランガス(SiH4)10sccm、アンモニアガス(NH3)20sccm、水素ガス(H2)400sccmを導入し、プラズマCVD装置の成膜チャンバー内圧力を9.9〜10.1Paに保ち、13.56MHzの周波数を有する電力(投入電力300W)を印加することにより、前記厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(NSC(商品名))(帝人デュポンフィルム社製)上に膜厚が150nm±10nmのSiNx(x=1.2)を積層し、ガスバリア基板を得た。 Next, monosilane gas (SiH 4 ) 10 sccm, ammonia gas (NH 3 ) 20 sccm, and hydrogen gas (H 2 ) 400 sccm are introduced from the gas inlet of the plasma CVD apparatus, and the pressure in the film formation chamber of the plasma CVD apparatus is set to 9. On the polyethylene terephthalate film (NSC (trade name)) (made by Teijin DuPont Films Co., Ltd.) having a thickness of 12 μm by applying power having a frequency of 13.56 MHz (input power 300 W) while maintaining the pressure at 9 to 10.1 Pa. Was laminated with SiNx (x = 1.2) having a film thickness of 150 nm ± 10 nm to obtain a gas barrier substrate.
ガスバリア基板の水蒸気透過率(JIS K7129 B法)は、0.10g/m2・day・atmであった。
ガスバリア基板の酸素透過率(JIS K7126 B法)は、0.11cc/m2・day・atmであった。
The water vapor transmission rate of the gas barrier substrate (JIS K7129 B method) was 0.10 g / m 2 · day · atm.
The oxygen permeability (JIS K7126 B method) of the gas barrier substrate was 0.11 cc / m 2 · day · atm.
ガスバリア基板の全光線透過率(JIS K 7361−1)は75%であった。 The total light transmittance (JIS K 7361-1) of the gas barrier substrate was 75%.
ガスバリア基板の密着強度試験結果(JIS K5600−5−6)は、分類0(カット縁が完全に滑らかで、ガスバリア層の剥離なし)となり、ガスバリア基板の基材とガスバリア層の密着強度が良好であることが確認された。 The gas barrier substrate adhesion strength test result (JIS K5600-5-6) is classified as 0 (the cut edge is completely smooth and the gas barrier layer is not peeled), and the adhesion strength between the gas barrier substrate and the gas barrier layer is good. It was confirmed that there was.
ガスバリア基板の作製以外は、実施例1と同様に、光学用部品および有機EL表示体を作製した。 An optical component and an organic EL display were produced in the same manner as in Example 1 except that the gas barrier substrate was produced.
得られた有機EL表示体の耐湿、耐酸化評価は良好であった。 The obtained organic EL display body had good moisture resistance and oxidation resistance evaluation.
<比較例>
実施例1でSiOx(x=1.8)層の厚さを20nm±10nmとした以外は、実施例1と同様に、ガスバリア基板、光学用部品および有機EL表示体を作製した。
<Comparative example>
A gas barrier substrate, optical component, and organic EL display were produced in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the SiOx (x = 1.8) layer in Example 1 was changed to 20 nm ± 10 nm.
ガスバリア基板の水蒸気透過率(JIS K7129 B法)は、2.00g/m2・day・atmであった。
ガスバリア基板の酸素透過率(JIS K7126 B法)は、2.01cc/m2・day・atmであった。
The water vapor transmission rate of the gas barrier substrate (JIS K7129 B method) was 2.00 g / m 2 · day · atm.
The oxygen permeability (JIS K7126 B method) of the gas barrier substrate was 2.01 cc / m 2 · day · atm.
ガスバリア基板の全光線透過率(JIS K 7361−1)は75%であった。 The total light transmittance (JIS K 7361-1) of the gas barrier substrate was 75%.
ガスバリア基板の密着強度試験結果(JIS K5600−5−6)は、分類0(カット縁が完全に滑らかで、ガスバリア層の剥離なし)となり、ガスバリア基板の基材とガスバリア層の密着強度が良好であることが確認された。 The gas barrier substrate adhesion strength test result (JIS K5600-5-6) is classified as 0 (the cut edge is completely smooth and the gas barrier layer is not peeled), and the adhesion strength between the gas barrier substrate and the gas barrier layer is good. It was confirmed that there was.
得られた有機EL表示体の耐湿、耐酸化評価結果は不良であった。
(有機EL表示体を、気温40℃、相対湿度が90%の雰囲気下で半年間点灯保存したところ、非発光部の径の最大値が50μmを超えた。)
The resulting organic EL display was poor in moisture resistance and oxidation resistance evaluation results.
(When the organic EL display was lit and stored for 6 months in an atmosphere with a temperature of 40 ° C. and a relative humidity of 90%, the maximum value of the diameter of the non-light-emitting portion exceeded 50 μm.)
本発明の、光学用部品、および、それを用いた有機EL表示体は、各種表示装置、及び、それらを用いた、看板、ネオン等の商業ディスプレイに利用できる。 The optical component and the organic EL display using the optical component of the present invention can be used for various display devices and commercial displays such as billboards and neon using them.
1・・・・・・・基材
2・・・・・・・ガスバリア層
3・・・・・・・ガスバリア基板
4・・・・・・・電離放射線硬化型アクリル樹脂を主成分としたペースト
4´・・・・・・回折格子パターン
4´´・・・・・回折格子層
5・・・・・・・透明電極層
6・・・・・・・正孔輸送層
7・・・・・・・発光層
8・・・・・・・正孔阻止層
9・・・・・・・電子輸送層
10・・・・・・裏面電極バッファー層
11・・・・・・裏面電極
100・・・・・スタンパ用基板
200・・・・・フォトレジスト
200´・・・・可溶化処理したフォトレジスト
200´´・・・フォトレジスト
300・・・・・Ni導電化層
400・・・・・Niめっき層
500・・・・・スタンパ
1 .... Base material 2 .... Gas barrier layer 3 .... Gas barrier substrate 4 .... Paste mainly composed of ionizing radiation curable acrylic resin 4 '... Diffraction grating pattern 4 "... Diffraction grating layer 5 ... Transparent electrode layer 6 ... Hole transport layer 7 ... ... Emission layer 8 ... Hole blocking layer 9 ... Electron transport layer 10 ... Back electrode buffer layer 11 ... Back electrode 100 ... ... Stamper substrate 200 ... Photoresist 200 '... Solubilized photoresist 200 "... Photoresist 300 ... Ni conductive layer 400 ...・ Ni plating layer 500 ... Stamper
Claims (1)
前記透明電極層上に、リン光性化合物を含有する有機EL素子が形成され、前記有機EL素子上に、裏面電極が形成され、前記ガスバリア層が窒化珪素または酸化珪素からなり、前記ガスバリア層の膜厚が150nm±10nmであることを特徴とする有機EL表示体。 An organic EL display having an optical article in which an uneven layer is formed on one surface of a gas barrier substrate having a gas barrier layer on at least one surface of a substrate, and a transparent electrode layer is formed on the other surface of the gas barrier substrate Because
An organic EL element containing a phosphorescent compound is formed on the transparent electrode layer, a back electrode is formed on the organic EL element , the gas barrier layer is made of silicon nitride or silicon oxide, and the gas barrier layer An organic EL display having a thickness of 150 nm ± 10 nm .
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