JP5214106B2 - Thermosetting adhesive film and multilayer printed circuit board produced using them - Google Patents

Thermosetting adhesive film and multilayer printed circuit board produced using them Download PDF

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Description

本発明は、多層プリント配線板の層間絶縁樹脂層の形成に有用な熱硬化性接着フィルム及びそれらを用いて作製された多層プリント基板に関し、特に、導体回路層と絶縁樹脂層とを交互に積み上げてなるビルドアップ方式の多層プリント配線板を生産性良く、かつ作業性良く製造でき、さらに低吸水率及び低誘電率、低誘電正接の難燃性多層プリント基板を製造できる熱硬化性樹脂組成物を用いた熱硬化性接着フィルムに関する。 The present invention relates to a thermosetting adhesive film useful for forming an interlayer insulating resin layer of a multilayer printed wiring board and a multilayer printed circuit board produced using the same, and in particular, a conductive circuit layer and an insulating resin layer are alternately stacked. the multilayer printed wiring board of the build-up method with good productivity comprising Te, and good workability can be manufactured, even lower water absorption and low dielectric constant, low dielectric thermosetting resin composition capable of producing a flame-retardant multilayer printed board of tangent The present invention relates to a thermosetting adhesive film using

従来、多層プリント配線板は、回路が形成された内層回路基板上に、ガラスクロス基材にエポキシ樹脂を含浸させて半硬化させたプリプレグシートを1枚以上重ね、さらにその上に銅箔を重ね、熱板プレス機にて加熱加圧して一体成形するという工程を経て製造されていた。   Conventionally, multilayer printed wiring boards have one or more prepreg sheets that are semi-cured by impregnating an epoxy resin into a glass cloth base material on an inner layer circuit board on which a circuit is formed, and a copper foil is further stacked thereon. It was manufactured through a process of heat-pressing with a hot plate press machine and integrally forming.

さらに近年、高密度の配線を可能とするビルドアップ方式による多層プリント配線板の製造技術が注目されている。例えば、回路が形成された内層回路基板にエポキシ樹脂組成物を塗布し、加熱硬化した後、粗化剤にて表面に凸凹状の粗化面を形成し、導体層をめっきにより形成する多層プリント配線板の製造方法が提案されている(特開平7−304931号及び特開平7−304933号参照)。また、回路が形成された内層回路基板にエポキシ樹脂接着シートをラミネートし、加熱硬化した後、粗化剤にて表面に凸凹状の粗化面を形成し、導体層をめっきにより形成する多層プリント配線板の製造方法も提案されている(特開平11−87927号参照)。しかしながら、前記したいずれの方法においても、エポキシ樹脂を主体とした材料が用いられており、低誘電率及び低誘電正接、さらには低吸水率について充分な特性が得られていないのが現状である。   Furthermore, in recent years, a manufacturing technique of a multilayer printed wiring board by a build-up method that enables high-density wiring has attracted attention. For example, an epoxy resin composition is applied to an inner layer circuit board on which a circuit is formed, heat-cured, a roughened surface is formed on the surface with a roughening agent, and a conductor layer is formed by plating. A method of manufacturing a wiring board has been proposed (see Japanese Patent Laid-Open Nos. 7-304931 and 7-304933). In addition, an epoxy resin adhesive sheet is laminated to the inner layer circuit board on which the circuit is formed, heat-cured, a roughened surface is formed on the surface with a roughening agent, and a conductor layer is formed by plating. A method for manufacturing a wiring board has also been proposed (see JP-A-11-87927). However, in any of the above-described methods, a material mainly composed of an epoxy resin is used, and at present, sufficient characteristics are not obtained with respect to low dielectric constant, low dielectric loss tangent, and low water absorption. .

一方、耐熱性、低誘電率化に有用であると考えられるイミド骨格の導入も試みられており、例えばイミド基を有する芳香族ジアミンとエポキシ樹脂を用いたビルトアップ用熱硬化性組成物が提案されているが(特開2000−17148号参照)、誘電率については議論されていない。また、本発明者らの検討事例から見ても、低分子ポリイミド化合物をエポキシ樹脂の硬化剤として用いた場合、そのほとんどがポリイミドとしての耐熱性や低誘電特性が得られず、エポキシ樹脂の特性と変わらない場合が多い。一方、高分子量のイミド化合物をエポキシ樹脂の硬化剤として使用する場合には、相溶性に乏しく、分離してしまう場合がほとんどである。   On the other hand, introduction of an imide skeleton considered to be useful for heat resistance and low dielectric constant has also been attempted. For example, a thermosetting composition for build-up using an aromatic diamine having an imide group and an epoxy resin is proposed. However, the dielectric constant is not discussed. In addition, even when viewed from the study cases of the present inventors, when a low molecular weight polyimide compound is used as a curing agent for an epoxy resin, most of the heat resistance and low dielectric properties as polyimide cannot be obtained. There are many cases that do not change. On the other hand, when a high molecular weight imide compound is used as a curing agent for an epoxy resin, the compatibility is poor and separation is almost the case.

一般に、ポリイミド樹脂はその耐熱性、誘電特性を特徴として各産業で使用されているが、単独では溶剤への溶解性に乏しい場合が多く、液状の熱硬化性組成物として提供されることは少ない。さらに提供されていたとしても、それは固形分が少なかったり、あるいは、例えばエポキシ樹脂、フェノール樹脂等の他の樹脂、又は無機フィラー等を配合した場合、分離、沈殿するケースがほとんどであった。   In general, polyimide resins are used in various industries because of their heat resistance and dielectric characteristics, but they are often poorly soluble in solvents alone and are rarely provided as liquid thermosetting compositions. . Further, even if provided, it was almost always separated or precipitated when the solid content was low, or when other resin such as epoxy resin or phenol resin, or inorganic filler was blended.

そのため、一般に、ポリイミド樹脂はポリイミドフィルムとして使用されているが、そのほとんどがポリイミド単独のフィルムであり、例えば熱処理を行なって接着性を発現させるには高温での処理が必要であった。すなわち、市販のポリイミドフィルムは、(a)ポリイミド単独でフィルム状に形成されたもの、(b)ポリイミドフィルムにゴム系、アクリル系粘着剤(接着剤)が塗布されたもの、(c)ポリイミド溶液を銅箔等の金属シートにキャストしたもの、又はイミドフィルムに金属をスパッタし、さらにめっきで金属支持体を形成したものがあるが、上記(a)のフィルムは接着性が無く、軟化点以上に加熱し、圧着することしかできない。さらに、そのポリイミドの軟化点は通常250℃という高温であり、プリント配線板用途には使用できない。上記(b)のフィルムの場合、比較的低温で接着することができるが、粘着(接着)層の物性値がポリイミドと比べて極端に違いすぎ、絶縁層としてはポリイミドの優れた特性が充分に発揮されない。また、上記(c)のフィルムの場合、(a)のフィルムと同様に250℃以上の高温でないと圧着することができないという問題がある。   For this reason, polyimide resins are generally used as polyimide films, but most of them are films made of polyimide alone. For example, high-temperature treatment is required for heat treatment to develop adhesiveness. That is, the commercially available polyimide film is (a) a film formed of a polyimide alone, (b) a polyimide film coated with a rubber-based or acrylic pressure-sensitive adhesive (adhesive), and (c) a polyimide solution. Cast on a metal sheet such as copper foil, or sputtered metal on an imide film, and further formed a metal support by plating, but the film of (a) above has no adhesion and is above the softening point It can only be heated and crimped. Furthermore, the softening point of the polyimide is usually as high as 250 ° C. and cannot be used for printed wiring board applications. In the case of the film (b), it can be bonded at a relatively low temperature, but the physical property value of the adhesive (adhesive) layer is extremely different from that of polyimide, and the excellent properties of polyimide are sufficient as an insulating layer. It is not demonstrated. In the case of the film (c), there is a problem that the film cannot be pressure-bonded unless it is at a high temperature of 250 ° C. or higher as in the film (a).

さらに最近、プリント配線板は環境負荷に対する配慮から、従来のハロゲン系難燃剤から非ハロゲン系難燃剤への転換が急速に進行している。しかしながら、ほとんどの非ハロゲン系難燃剤は、難燃性に関しては充分な特性を有しているものの、プリント配線板としてのはんだ耐熱性、吸水性、誘電率、誘電正接を積極的に向上させるものではなく、むしろ特性を低下させる懸念があり、その使用量が制限される場合がほとんどであった。   In recent years, printed wiring boards are rapidly changing from conventional halogen-based flame retardants to non-halogen-based flame retardants in consideration of environmental impact. However, although most non-halogen flame retardants have sufficient properties in terms of flame retardancy, they actively improve solder heat resistance, water absorption, dielectric constant, and dielectric loss tangent as printed wiring boards. Rather, there was a concern that the characteristics were deteriorated, and the use amount was limited in most cases.

本発明は、上述したような従来技術の問題を解決するためになされたものであり、その主たる目的は、導体との充分な密着性を有し、しかも高耐熱性、難燃性、低誘電率、低誘電正接、低吸水率の層間絶縁樹脂層を形成できる熱硬化性樹脂組成物を用いた熱硬化性接着フィルムを提供することにある。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems of the prior art, and its main purpose is to have sufficient adhesion to a conductor and to have high heat resistance, flame retardancy, and low dielectric constant. An object of the present invention is to provide a thermosetting adhesive film using a thermosetting resin composition capable of forming an interlayer insulating resin layer having a low rate, low dielectric loss tangent, and low water absorption.

本発明の他の目的は、比較的低温でラミネートすることができ、導体との充分な密着性を有し、しかも前記のような優れた特性を有する層間絶縁樹脂層を形成できる熱硬化性接着フィルムを提供することにある。   Another object of the present invention is a thermosetting adhesive which can be laminated at a relatively low temperature, has sufficient adhesion to a conductor, and can form an interlayer insulating resin layer having the above-mentioned excellent characteristics. To provide a film.

本発明のさらに他の目的は、前記のような熱硬化性接着フィルムを用いて作業性良く製造できる高性能、高密度の多層プリント基板を提供することにある。 Still another object of the present invention is to provide a high-performance, high-density multilayer printed circuit board that can be manufactured with good workability using the thermosetting adhesive film as described above.

前記目的を達成するために、本発明によれば、支持体ベースフィルム上に、(A)カルボキシル基又は酸無水物基を有し、かつ、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造と、ウレタン結合と、イミド環と、イソシアヌレート環とを有するポリイミド樹脂、(B)エポキシ樹脂、及びエポキシ樹脂硬化剤としての2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、ビス(2−エチル−4−メチル−イミダゾール)、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、トリアジン付加型イミダゾールよりなる群から選ばれたイミダゾール化合物を必須成分として含有する熱硬化性樹脂組成物からなる膜が半硬化状態で形成されていることを特徴とする熱硬化性接着フィルムが提供される。なお、ここでいう半硬化状態とは、室温で固体であって、加熱状態では流動化するものをいう。 In order to achieve the above object , according to the present invention, (A) a linear hydrocarbon having a carboxyl group or an acid anhydride group and having a number average molecular weight of 700 to 4,500 on a support base film. Polyimide resin having structure, urethane bond, imide ring, and isocyanurate ring, (B) epoxy resin, and 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole, 2-phenyl as epoxy resin curing agent Imidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, bis (2-ethyl-4-methyl-imidazole), 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, containing an imidazole compound selected from the group consisting of triazine addition type imidazole as essential components Film made from the curable resin composition is a thermosetting adhesive film characterized by being formed in a semi-cured state is provided. The semi-cured state here means a solid that is solid at room temperature and fluidizes in a heated state.

好適な態様においては、前記ポリイミド樹脂(A)は、後述する一般式(1)で示される構造単位と一般式(2)で示される構造単位を有し、かつ、一般式(3)、(4)及び(5)で示される末端構造のいずれか1種以上を有するポリイミド樹脂である。また、前記ポリイミド樹脂(A)が酸価20〜150mgKOH/gのポリイミド樹脂であって、かつ、ポリイミド樹脂(A)とエポキシ樹脂(B)との質量比(A)/(B)が0.1〜10であることが好ましい。   In a preferred embodiment, the polyimide resin (A) has a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the general formula (2), and the general formula (3), ( 4) A polyimide resin having at least one of the terminal structures represented by (5). The polyimide resin (A) is a polyimide resin having an acid value of 20 to 150 mgKOH / g, and the mass ratio (A) / (B) between the polyimide resin (A) and the epoxy resin (B) is 0.00. It is preferable that it is 1-10.

本発明の熱硬化性樹脂組成物の好適な態様においては、機溶剤(C)を含有し、特にエチレングリコール又はプロピレングリコールの誘導体であることが好ましい。また、熱硬化性樹脂組成物の塗布性の点からは、回転粘度計で測定した前記組成物の、回転数5rpmの粘度と回転数50rpmの粘度との比が、1.1以上であることが好ましい。 In a preferred embodiment of the thermosetting resin composition of the present invention, contain organic solvent (C), it is preferred in particular derivatives of ethylene glycol or propylene glycol. Moreover, from the point of the applicability | paintability of a thermosetting resin composition, ratio of the viscosity of 5 rpm of rotations, and the viscosity of 50 rpm of rotation of the said composition measured with the rotational viscometer is 1.1 or more Is preferred.

さらに、本発明の熱硬化性接着フィルムの好適な態様においては、さらにフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(D)を含有する熱硬化性樹脂組成物を用いて膜が形成される。 Furthermore, in a preferred embodiment of the thermosetting adhesive film of the present invention, film is formed by using more compounds having a phenolic hydroxyl group at least two thermosetting resin composition containing (D).

さらに本発明によれば、前記熱硬化性接着フィルムを用いて層間絶縁樹脂層が形成されている多層プリント基板が提供される。 Further according to the invention, a multilayer printed circuit board before Symbol thermosetting adhesive film with interlayer insulating resin layer is formed is provided.

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、導体との充分な密着性を有し、しかも高耐熱性、難燃性、低誘電率、低誘電正接、低吸水率の層間絶縁樹脂層を形成できる。同様に、本発明に係る熱硬化性接着フィルムは、支持体ベースフィルム上に、前記ポリイミド樹脂(A)、エポキシ樹脂(B)、及びエポキシ樹脂硬化剤としてのイミダゾール化合物を必須成分として含有する熱硬化性樹脂組成物からなる膜が半硬化状態で形成されたものであるため、比較的低温でラミネートすることができ、導体との充分な密着性を有し、しかも前記のような諸特性に優れた層間絶縁樹脂層を作業性良く形成することができる。従って、かかる熱硬化性接着フィルムを用いることにより、高性能、高密度の多層プリント基板を作業性良く製造できる。 The thermosetting resin composition of the present invention has sufficient adhesion to a conductor and can form an interlayer insulating resin layer having high heat resistance, flame retardancy, low dielectric constant, low dielectric loss tangent, and low water absorption. . Similarly, the thermosetting adhesive film according to the present invention contains, on the support base film, the polyimide resin (A), the epoxy resin (B), and an imidazole compound as an epoxy resin curing agent as essential components. Since the film made of the curable resin composition is formed in a semi-cured state, it can be laminated at a relatively low temperature, has sufficient adhesion to the conductor, and has the above-mentioned characteristics. An excellent interlayer insulating resin layer can be formed with good workability. Thus, by using a thermosetting adhesive film that written, high performance can be produced with good workability and high-density multilayer printed circuit board.

本発明者らは、多層プリント配線板の層間絶縁樹脂層として、高耐熱性、難燃性、低誘電率及び導体との充分な密着性を満足する熱硬化性樹脂組成物あるいはさらに比較的低温でラミネートすることができる熱硬化性接着フィルムについて鋭意検討した結果、前記熱硬化性樹脂組成物あるいは熱硬化性接着フィルムが、作業性が良好で、これを用いた多層プリント配線板が極めて優れた性能を有することを見出し、本発明を完成させるに至ったものである。   The inventors of the present invention provide a thermosetting resin composition satisfying high heat resistance, flame retardancy, low dielectric constant, and sufficient adhesion with a conductor as an interlayer insulating resin layer of a multilayer printed wiring board, or at a relatively low temperature. As a result of intensive studies on the thermosetting adhesive film that can be laminated with, the thermosetting resin composition or the thermosetting adhesive film has good workability, and the multilayer printed wiring board using this is extremely excellent. It has been found that it has performance, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明に係る熱硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基又は酸無水物基を有し、かつ、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造と、ウレタン結合と、イミド環と、イソシアヌレート環とを有するポリイミド樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)沸点が100℃以上の有機溶剤、及びエポキシ樹脂硬化剤としての前記イミダゾール化合物を必須成分として含有することを特徴としており、該樹脂組成物を用いることにより、導体との充分な密着性を有し、しかも高耐熱性、難燃性、低誘電率、低誘電正接、低吸水率の層間絶縁樹脂層を作業性良く形成することができる。 That is, the thermosetting resin composition according to the present invention has (A) a linear hydrocarbon structure having a carboxyl group or an acid anhydride group and having a number average molecular weight of 700 to 4,500, a urethane bond, wherein the imide ring, a polyimide resin having an isocyanurate ring, in that it contains as epoxy resin (B), (C) essential components the imidazole compound as a boiling point of 100 ° C. or more organic solvents, and epoxy resin curing agent By using the resin composition, the interlayer insulating resin layer having sufficient adhesion to the conductor and having high heat resistance, flame retardancy, low dielectric constant, low dielectric loss tangent, and low water absorption is worked. It can be formed with good properties.

また、本発明に係る熱硬化性接着フィルムは、支持体ベースフィルム上に、前記ポリイミド樹脂(A)、エポキシ樹脂(B)、及びエポキシ樹脂硬化剤としての前記イミダゾール化合物を必須成分として含有する熱硬化性樹脂組成物からなる膜が半硬化状態で形成されているため、比較的低温でラミネートすることができ、導体との充分な密着性を有し、しかも前記のような諸特性に優れた層間絶縁樹脂層を作業性良く形成することができる。 Moreover, the thermosetting adhesive film which concerns on this invention contains the said polyimide resin (A), an epoxy resin (B), and the said imidazole compound as an epoxy resin hardening | curing agent as an essential component on a support base film. Since the film made of the curable resin composition is formed in a semi-cured state, it can be laminated at a relatively low temperature, has sufficient adhesion to the conductor, and has excellent properties as described above. The interlayer insulating resin layer can be formed with good workability.

本発明の熱硬化性樹脂組成物において特に重要な成分は、前記カルボキシル基又は酸無水物基を有し、かつ、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造と、ウレタン結合と、イミド環と、イソシアヌレート環とを有するポリイミド樹脂(A)であり、物性はポリイミド特有のものであるが、線状炭化水素構造の存在のために靭性を示し、またエポキシ樹脂と同様のハンドリング性を有し、形成される層間絶縁樹脂層に対して以下のような重要な作用・効果をもたらす。   Particularly important components in the thermosetting resin composition of the present invention include the above-mentioned carboxyl group or acid anhydride group, and a linear hydrocarbon structure having a number average molecular weight of 700 to 4,500, a urethane bond, It is a polyimide resin (A) having an imide ring and an isocyanurate ring, and its physical properties are unique to polyimide, but it exhibits toughness due to the presence of a linear hydrocarbon structure, and it has the same handling properties as an epoxy resin. And has the following important effects on the formed interlayer insulating resin layer.

(a)イミド骨格が高耐熱性と高いガラス転移点Tgを実現させる。   (A) The imide skeleton realizes high heat resistance and a high glass transition point Tg.

(b)カルボキシル基又は酸無水物基を有するため、エポキシ基との反応が可能となり、エポキシ樹脂の特徴である接着性、電気特性、作業性、低温硬化性を実現・向上できる。   (B) Since it has a carboxyl group or an acid anhydride group, it can react with an epoxy group, and can realize and improve adhesiveness, electrical characteristics, workability, and low-temperature curability, which are the characteristics of an epoxy resin.

(c)部分的に線状炭化水素構造を有しているため、選択的に市販のデスミア液で粗化することができ、硬化塗膜の表面に凹凸を形成し、導体層との強いアンカー効果による優れた密着性が発現される。   (C) Since it has a partially linear hydrocarbon structure, it can be selectively roughened with a commercially available desmear liquid, forming irregularities on the surface of the cured coating film, and being a strong anchor with the conductor layer Excellent adhesion due to the effect is exhibited.

(d)含窒複素環構造であるため、難燃性を発現する。   (D) Since it has a nitrogen-containing heterocyclic structure, it exhibits flame retardancy.

(e)線状炭化水素構造及びイミド骨格により、低吸水率、低誘電率、低誘電正接を実現できる。   (E) Low water absorption, low dielectric constant, and low dielectric loss tangent can be realized by the linear hydrocarbon structure and the imide skeleton.

(f)ポリイミド樹脂が特にイソシアヌレート環を含んでいる場合、通常の線状構造のポリイミドと異なり、所謂ハイパーブランチ型ポリマー構造の高分子体となる。例えば、カルボキシル基又は酸無水物基を有するデンドリマー同士が線状炭化水素構造によって結び付けられたような構造をとると推定される。そのため、高分子体であるにも拘らずエポキシ樹脂や有機溶剤と任意に溶解することができ、作業性は低分子化合物もしくはオリゴマーと同程度であり、しかも高分子材料としての特性を有する。   (F) When the polyimide resin contains an isocyanurate ring in particular, a polymer having a so-called hyperbranched polymer structure is formed, unlike a normal linear structure polyimide. For example, it is presumed that dendrimers having a carboxyl group or an acid anhydride group have a structure in which they are linked by a linear hydrocarbon structure. Therefore, although it is a polymer, it can be arbitrarily dissolved in an epoxy resin or an organic solvent, and its workability is similar to that of a low molecular compound or oligomer, and also has characteristics as a polymer material.

本発明に係る熱硬化性樹脂組成物は、以上のような作用・効果を発揮するポリイミド樹脂(A)をエポキシ樹脂(B)、沸点が100℃以上の有機溶剤(C)、及びエポキシ樹脂硬化剤としてのイミダゾール化合物と組み合わせて含有するため、エポキシ樹脂の前記したような特性発揮及び高沸点有機溶剤使用による塗膜乾燥時の泡発生防止や塗布時の粘度変化防止の効果と相俟って、導体との充分な密着性を有する。また、本発明に係る熱硬化性接着フィルムは、以上のような作用・効果を発揮するポリイミド樹脂(A)をエポキシ樹脂(B)と組み合わせて含有する熱硬化性樹脂組成物から膜が形成されているため、比較的低温でラミネートすることができ、導体との充分な密着性を有する。しかも、これらは高耐熱性、難燃性、低誘電率、低誘電正接、低吸水率の層間絶縁樹脂層を作業性良く形成することが可能となる。   The thermosetting resin composition according to the present invention includes an epoxy resin (B), a polyimide resin (A) that exhibits the above-described functions and effects, an organic solvent (C) having a boiling point of 100 ° C. or higher, and epoxy resin curing. In combination with the imidazole compound as an agent, combined with the effects of the epoxy resin as described above and the prevention of foaming at the time of drying the coating film and the viscosity change at the time of coating by using a high-boiling organic solvent And sufficient adhesion to the conductor. In addition, the thermosetting adhesive film according to the present invention has a film formed from a thermosetting resin composition containing the polyimide resin (A) that exhibits the above-described functions and effects in combination with the epoxy resin (B). Therefore, it can be laminated at a relatively low temperature and has sufficient adhesion to the conductor. In addition, it is possible to form an interlayer insulating resin layer having high heat resistance, flame retardancy, low dielectric constant, low dielectric loss tangent, and low water absorption with good workability.

本発明の熱硬化性樹脂組成物及び熱硬化性接着フィルムは、回路が形成された内層回路基板に対して塗膜形成工程もしくはフィルムラミネート工程による樹脂絶縁層形成、穴明け工程、及び導体層形成工程を少なくとも経て多層プリント配線板を製造する方法における上記樹脂絶縁層形成に好適に用いることができる。   The thermosetting resin composition and the thermosetting adhesive film of the present invention are formed on the inner layer circuit board on which the circuit is formed by forming a resin insulating layer by a coating film forming process or a film laminating process, forming a hole, and forming a conductor layer. It can use suitably for the said resin insulation layer formation in the method of manufacturing a multilayer printed wiring board at least through a process.

上記多層プリント配線板を製造する方法の形態としては、例えば、回路が形成された内層回路基板に本発明の熱硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥するか、本発明の熱硬化性接着フィルムをラミネートした後、必要に応じて熱硬化させ、次いでドリル又はレーザー加工機にて穴(バイアホール、スルーホール等)をあけ、さらに当該穴及び乾燥塗膜もしくはフィルム上に導体めっきを施す工程を少なくとも経る第一の形態や、内層回路基板に熱硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥するか、熱硬化性接着フィルムをラミネートし、その乾燥塗膜もしくはフィルム上に銅箔をプレス又はラミネートにより一体成形し、必要に応じて熱硬化させ、次いでドリル又はレーザー加工機にて穴をあけ、当該穴の部分にめっきを行ない内層回路と導通させた後、表層の導体をエッチングしてパターン形成する工程を少なくとも経る第二の形態、などが好適に採用される。   As a form of the method for producing the multilayer printed wiring board, for example, the thermosetting resin composition of the present invention is applied to an inner circuit board on which a circuit is formed and dried, or the thermosetting adhesive film of the present invention is applied. After laminating, heat curing as necessary, then drilling holes (via holes, through holes, etc.) with a drill or laser processing machine, and further conducting conductor plating on the holes and the dried coating film or film at least Apply the thermosetting resin composition to the first form that goes through and dry the thermosetting resin composition on the inner layer circuit board, or laminate the thermosetting adhesive film, and press or laminate the copper foil on the dried coating film or film And then heat-curing as necessary, then drilling with a drill or laser processing machine, plating the hole part and conducting with the inner layer circuit, then the surface layer Second form undergoing at least a step of patterning a conductor by etching, and the like are preferably employed.

以下、本発明の熱硬化性樹脂組成物あるいは熱硬化性接着フィルムを用いる多層プリント配線板の製造方法について説明し、その後、本発明の熱硬化性樹脂組成物及び熱硬化性接着フィルムについて詳細に説明する。   Hereinafter, a method for producing a multilayer printed wiring board using the thermosetting resin composition or the thermosetting adhesive film of the present invention will be described, and then the thermosetting resin composition and the thermosetting adhesive film of the present invention will be described in detail. explain.

先ず、熱硬化性樹脂組成物を用いる場合、回路が形成された内層回路基板にローラーコート、スクリーン印刷、カーテンコート、ダイコート等にて塗布する。このとき熱硬化性樹脂組成物の粘度は、25℃において約0.1〜400dPa・sの範囲が好ましく、さらに好ましくは約2〜300dPa・sである。熱硬化性樹脂組成物の粘度が上記範囲よりも低い場合には、充分な膜厚が得られず、一方、粘度が上記範囲よりも高い場合には、塗膜にむらやスジが発生したり、時には塗布できない時があるので好ましくない。   First, when a thermosetting resin composition is used, it is applied to an inner layer circuit board on which a circuit is formed by roller coating, screen printing, curtain coating, die coating or the like. At this time, the viscosity of the thermosetting resin composition is preferably in the range of about 0.1 to 400 dPa · s at 25 ° C., more preferably about 2 to 300 dPa · s. When the viscosity of the thermosetting resin composition is lower than the above range, a sufficient film thickness cannot be obtained. On the other hand, when the viscosity is higher than the above range, unevenness or streaks may occur in the coating film. However, it is not preferable because sometimes it cannot be applied.

このときの熱硬化性樹脂組成物は、回転粘度計で測定した回転数5rpmの粘度と回転数50rpmの粘度との比が、1.1以上であること、すなわちTI値が1.1以上であることが好ましい。さらに好ましくは1.1〜2.0である。TI値が1.1より小さい場合にはコーティング後にダレが発生し易いので好ましくなく、一方、2.0を越えると塗膜にスジが発生したり、塗布できなくなるので好ましくない。このため、必要に応じてアスベスト、オルベン、ベントン、微紛シリカ等の公知慣用のチキソ化剤を加えることが好ましい。さらに顔料、消泡剤、添加剤なども添加することができる。   The thermosetting resin composition at this time has a ratio of the viscosity at a rotational speed of 5 rpm measured by a rotational viscometer to the viscosity at a rotational speed of 50 rpm is 1.1 or more, that is, the TI value is 1.1 or more. Preferably there is. More preferably, it is 1.1-2.0. When the TI value is smaller than 1.1, it is not preferable because sagging is likely to occur after coating. On the other hand, when the TI value exceeds 2.0, streaks are generated on the coating film or coating becomes impossible. For this reason, it is preferable to add a known and commonly used thixotropic agent such as asbestos, olben, benton and fine silica as necessary. Further, pigments, antifoaming agents, additives and the like can be added.

なお、上記TI値の範囲内にある熱硬化性樹脂組成物は、塗布工程の後に行なう乾燥工程も基板を垂直にした状態のまま行なうことができ、省スペースと基板への埃の付着防止の観点から有効である。この乾燥工程では、溶剤を充分に揮発させるように設定しなければならない。そのためには、乾燥温度約80〜130℃で乾燥時間5分〜60分程度が好ましい。この理由は、乾燥温度が80℃未満であると溶剤の揮発不足を招き、一方、130℃を超える乾燥温度では、塗膜中に突沸現象を招き、泡が残る場合があるからである。   In addition, the thermosetting resin composition within the range of the TI value can be performed in a state where the substrate is kept vertical also in the drying step after the coating step, saving space and preventing dust from adhering to the substrate. It is effective from the viewpoint. In this drying process, it is necessary to set the solvent so that it is sufficiently volatilized. For this purpose, a drying temperature of about 80 to 130 ° C. and a drying time of about 5 to 60 minutes are preferable. This is because if the drying temperature is less than 80 ° C., the solvent is insufficiently volatilized, while if the drying temperature exceeds 130 ° C., bumping may occur in the coating film and bubbles may remain.

次に、第一の形態においてはポストキュアー(最終硬化)を行なう。最終硬化の温度は約150〜200℃で30分から120分の範囲で行なうことが好ましい。上記条件よりも温度が低いかもしくは時間が短い場合には、反応(硬化)が不充分となり、一方、温度が高いかもしくは時間が長い場合には、内層基板や硬化塗膜に対する熱劣化が生じ、電気特性、機械的特性が悪くなることがある。   Next, in the first embodiment, post cure (final curing) is performed. The final curing temperature is preferably about 150 to 200 ° C. for 30 to 120 minutes. When the temperature is lower than the above conditions or when the time is short, the reaction (curing) becomes insufficient. On the other hand, when the temperature is high or the time is long, the inner substrate or the cured coating film is thermally deteriorated. , Electrical characteristics and mechanical characteristics may deteriorate.

その後、硬化した塗膜を必要に応じて研磨する。研磨の目的は、
(1)塗布乾燥後に生じる凹凸をフラットにする、
(2)研磨後に行なう表面の粗化工程での薬品のアタックを容易にする(表面濡れ性向上)、
(3)膜厚を希望の厚みに薄くする、
ことであるが、硬化後に充分な平坦性や膜厚がある場合等、必要ないと判断できる際には研磨しなくてもよい。このとき、使用できる研磨の種類としては、ベルトサンダー、バフ、ナイロンブラシ等がある。
Thereafter, the cured coating is polished as necessary. The purpose of polishing is
(1) Flatten the unevenness that occurs after coating and drying.
(2) Facilitate chemical attack in the surface roughening step performed after polishing (improve surface wettability),
(3) Reduce the film thickness to the desired thickness.
However, it may not be polished when it can be determined that it is not necessary, for example, when there is sufficient flatness or film thickness after curing. At this time, the types of polishing that can be used include a belt sander, a buff, and a nylon brush.

一方、本発明の熱硬化性接着フィルムを用いる場合、回路が形成された内層回路基板に真空フィルムラミネーターで加熱ラミネートして一体成形する。また、必要に応じて、真空フィルムラミネーターで加熱ラミネートした後、さらに熱板プレス機にてフィルム表面を加熱加圧してレベリング(平坦化)することが好ましい。   On the other hand, when the thermosetting adhesive film of the present invention is used, the inner layer circuit board on which the circuit is formed is heat laminated with a vacuum film laminator and integrally formed. If necessary, it is preferable to heat laminate with a vacuum film laminator and then level (flatten) the film surface by heating and pressing with a hot plate press.

ここで、上記工程で用いる真空ラミネーターは、基板を1枚ずつ処理でき、温度が約70〜180℃、真空度が5Torr以下で、銅箔との隙間をなくし、樹脂を溶融させ密着させるものが好ましい。また、レベリングさせる熱板プレス機も、ラミネーターから連続的に1枚ずつ処理でき、約70〜180℃で約5〜30kg/cmの圧力がかけられる装置が好ましい。また、ラミネート、レベリングにかける時間は30秒から2分以内が好ましく、両方が同じ時間であると連続的に処理できるので好ましい。ここで30秒未満であると銅箔との密着性とレベリング性が充分でなく、一方、5分以上であると量産性に乏しくなる。また、平坦性が要求されない場合、レベリングの工程を省くこともできる。これらラミネートに使用できる装置としては、MEIKI社製MVLP−500や、モートン社製VA−720、VA−724、NPVA−1、NPVA−24などがある。この際、プリプレグや他の接着シートを介して本発明の熱硬化性接着フィルムを接着することもできる。 Here, the vacuum laminator used in the above process is capable of processing substrates one by one, having a temperature of about 70 to 180 ° C., a degree of vacuum of 5 Torr or less, eliminating a gap with the copper foil, and melting and adhering the resin. preferable. The hot plate press machine for leveling is also preferably an apparatus that can process one sheet at a time from a laminator and can apply a pressure of about 5 to 30 kg / cm 2 at about 70 to 180 ° C. Further, the time for laminating and leveling is preferably within 30 seconds to 2 minutes, and both are preferably the same time because they can be processed continuously. Here, if it is less than 30 seconds, adhesion to the copper foil and leveling properties are not sufficient, while if it is 5 minutes or more, mass productivity is poor. Further, when flatness is not required, the leveling step can be omitted. Examples of apparatuses that can be used for these laminates include MVLP-500 manufactured by MEIKI, VA-720, VA-724, NPVA-1, and NPVA-24 manufactured by Morton. Under the present circumstances, the thermosetting adhesive film of this invention can also be adhere | attached through a prepreg or another adhesive sheet.

上記工程では、真空フィルムラミネーターを用いた加熱ラミネートにより接着フィルムが再溶融し、内層回路に強力に接着する。また、接着フィルム表面の内層回路による凹凸は、熱板プレス機にて接着フィルムを加熱加圧してレベリングする際に解消され、そのまま硬化するので、最終的にはフラットな表面状態の多層板が得られる。そして、加熱ラミネート後の基板は、熱風循環式もしくは遠赤外線等で最終硬化される。そのときの硬化温度は130〜200℃で、30〜120分の範囲が適当である。このとき、支持体ベースフィルムは取り除いていても構わないし、そのまま硬化後に取り除いても構わない。   In the above process, the adhesive film is re-melted by heating lamination using a vacuum film laminator, and strongly adhered to the inner layer circuit. In addition, unevenness due to the inner layer circuit on the surface of the adhesive film is eliminated when the adhesive film is heated and pressed by a hot plate press and leveled, and is cured as it is, so that a multilayered board with a flat surface state is finally obtained. It is done. And the board | substrate after heat lamination is finally hardened | cured by a hot air circulation type or a far infrared ray. The curing temperature at that time is 130 to 200 ° C., and a range of 30 to 120 minutes is appropriate. At this time, the support base film may be removed or may be removed as it is after curing.

次に、前記のようにして硬化塗膜又は接着性フィルムからなる樹脂絶縁層が形成された基板に、必要に応じてCOレーザーやUV−YAGレーザー等の半導体レーザー又はドリルにて穴をあける。このとき、穴は基板の表と裏を導通させることを目的とする貫通穴(スルーホール)でも、内層の回路と組成物表面の回路を導通させることを目的とする部分穴(ベリードビア)のどちらでもよい。 Next, holes are made in the substrate on which the resin insulating layer made of a cured coating film or an adhesive film is formed as described above with a semiconductor laser such as a CO 2 laser or a UV-YAG laser or a drill as necessary. . At this time, the hole is either a through hole (through hole) for the purpose of conducting the front and back of the substrate, or a partial hole (belly via) for the purpose of conducting the circuit of the inner layer and the circuit of the composition surface. But you can.

穴明け後、穴の内壁や底部に存在する残渣(スミヤ)を除去することと導体(その後に形成する金属めっき)とのアンカー効果を発現させるために、表面の凹凸の形成を市販のデスミヤ液(粗化剤)で同時に行なう。また、この工程はプラズマ等のドライプロセスでも可能である。   After drilling, in order to remove the residue (smear) existing on the inner wall and bottom of the hole and to develop the anchor effect between the conductor (metal plating formed later), the formation of surface irregularities is a commercially available desmear liquid Simultaneously with (roughening agent). This step can also be performed by a dry process such as plasma.

次に、デスミヤ液で残渣を除去した穴や、該薬品で凹凸を生じた塗膜表面に導体めっきを施し、さらには回路を形成する。その方法としては、
(1)基板全面に無電解の金属めっきを施し、さらに電解めっきにて金属めっき層を形成した後、形成したいパターン通りに市販のネガ型パターンレジスト又はポジ型パターンレジストのパターンを形成する。その後、金属をエッチングすることにより、最外層の導体パターンを得るパネルめっき法、
(2)塗膜表面上に逆パターンの永久めっきレジストを形成し、そのレジストが形成されていない部分に無電解めっきにて導体パターンを形成するアディティブ法、
(3)上記(1)の方法と同様、基板全体に無電解金属めっきを施した後、逆パターンのネガ型又はポジ型めっきレジストのパターンを形成する。その後、電解めっきにてレジストのパターンが存在しない部分に選択的にめっき層を形成させる。次いで、パターンレジストを剥離し、パターンレジストに隠されていた無電解めっき層をエッチングすることにより導体パターンを得るセミアディチブ法
などがある。
Next, conductor plating is applied to the hole from which the residue has been removed with a desmear solution and the surface of the coating film with the unevenness caused by the chemical, thereby forming a circuit. As the method,
(1) Electroless metal plating is performed on the entire surface of the substrate, and a metal plating layer is formed by electrolytic plating. Then, a pattern of a commercially available negative pattern resist or positive pattern resist is formed according to the pattern to be formed. After that, by etching the metal, panel plating method to obtain the outermost conductor pattern,
(2) an additive method in which a permanent plating resist having a reverse pattern is formed on the surface of the coating film, and a conductive pattern is formed by electroless plating on a portion where the resist is not formed,
(3) Similar to the method of (1) above, after the electroless metal plating is applied to the entire substrate, a negative or positive plating resist pattern having a reverse pattern is formed. Thereafter, a plating layer is selectively formed on a portion where the resist pattern does not exist by electrolytic plating. Next, there is a semi-additive method in which the pattern resist is peeled and a conductive pattern is obtained by etching the electroless plating layer hidden in the pattern resist.

汎用性においては上記(1)の方法、ファインパターン化を要求する場合には上記(2)と(3)の方法が好ましい。また、いずれの方法においても、無電解めっき又は電解めっき後もしくは両方のめっきを施した後に、金属のストレス除去、強度向上の目的で約80〜180℃で10〜60分程度のアニールと呼ばれる熱処理を施してもよい。   In terms of versatility, the above method (1) is preferred. When fine patterning is required, the above methods (2) and (3) are preferred. In any method, after electroless plating, after electrolytic plating, or after both plating, heat treatment called annealing at about 80 to 180 ° C. for about 10 to 60 minutes for the purpose of removing stress of metal and improving strength. May be applied.

ここで用いる金属めっきとしては、銅、ズズ、はんだ、ニッケル等、特に制限は無く、複数組み合わせて使用することができる。また、ここで用いるめっきの代りに金属のスパッタ等で代用することも可能である。   The metal plating used here is not particularly limited, such as copper, tin, solder, nickel, etc., and can be used in combination. Further, instead of the plating used here, metal sputtering or the like can be used instead.

第二の形態においては、熱硬化性樹脂組成物の乾燥塗膜が形成された又は熱硬化性接着フィルムがラミネートされた内層回路基板と銅箔を一体成形する工程が必要になる。その方法としては、以下に述べるようなラミネート法、プレス法などがある。   In the second embodiment, a step of integrally molding the inner layer circuit board on which the dried coating film of the thermosetting resin composition is formed or the thermosetting adhesive film is laminated and the copper foil is required. Examples of the method include a laminating method and a pressing method as described below.

(1)ラミネート法
熱硬化性樹脂組成物を用いた場合、基板上に形成した乾燥塗膜上に、片面もしくは両面に粗面を有する銅箔又は樹脂付き銅箔を前述した第一の形態で説明した真空フィルムラミネーターで加熱ラミネートして一体成形する。また、必要に応じて、真空フィルムラミネーターで銅箔又は樹脂付き銅箔を加熱ラミネートした後、さらに熱板プレス機にて塗膜を加熱加圧してレベリング(平坦化)することが好ましい。
(1) Laminating method When a thermosetting resin composition is used, a copper foil or a resin-coated copper foil having a rough surface on one side or both sides on a dry coating film formed on a substrate is the first mode described above. Heat laminate with the vacuum film laminator described and integrally mold. If necessary, it is preferable to heat laminate the copper foil or resin-coated copper foil with a vacuum film laminator, and then heat and press the coating film with a hot plate press to level (flatten) it.

ここで、ラミネート、レベリングにかける時間は30秒から2分以内が好ましく、両方が同じ時間であると連続的に処理できるので好ましい。ここで30秒未満であると銅箔との密着性とレベリング性が充分でなく、一方、5分以上であると量産性に乏しくなる。また、平坦性が要求されない場合、レベリングの工程を省くこともできる。この際、プリプレグや接着シートを介して銅箔を乾燥塗膜に接着することもできる。   Here, the time required for laminating and leveling is preferably within 30 seconds to 2 minutes, and both are preferably the same time because continuous treatment is possible. Here, if it is less than 30 seconds, adhesion to the copper foil and leveling properties are not sufficient, while if it is 5 minutes or more, mass productivity is poor. Further, when flatness is not required, the leveling step can be omitted. At this time, the copper foil can be bonded to the dry coating film via a prepreg or an adhesive sheet.

一方、熱硬化性接着フィルムを用いる場合、前述した第一の形態に示した真空ラミネーターを用い、同様に内層回路基板にラミネートする。ラミネートした後、第一の形態では加熱硬化を行なうが、この第二の形態の場合、支持体であるベースフィルムを剥離した後、さらに同様のラミネート工程を片面もしくは両面に粗面を有する銅箔又は樹脂付き銅箔を接着フィルムの上にもう一度行なうことにより、一体成形する。また、必要に応じて、さらに熱板プレス機にて加熱加圧してレベリング(平坦化)することが好ましい。この際、プリプレグや接着シートを介して銅箔を熱硬化性接着フィルムに接着することもできる。   On the other hand, when using a thermosetting adhesive film, the vacuum laminator shown in the first embodiment described above is used and similarly laminated on the inner layer circuit board. After laminating, the first form is heat-cured, but in the case of this second form, after the base film as a support is peeled off, the same laminating process is further performed on a copper foil having a rough surface on one side or both sides. Alternatively, the resin-coated copper foil is formed once again on the adhesive film. In addition, it is preferable to perform leveling (flattening) by heating and pressing with a hot plate press if necessary. At this time, the copper foil can be bonded to the thermosetting adhesive film via a prepreg or an adhesive sheet.

この工程では、塗布乾燥した塗膜又は接着フィルムは、真空フィルムラミネーターを用いた加熱ラミネートにより再溶融し、銅箔の粗面に入り込んでそのアンカー効果により強力に接着することで充分なピール強度が得られるようになる。また、塗布乾燥した塗膜又はラミネートした接着フィルムの内層回路による凹凸面は、熱板プレス機にて塗膜を加熱加圧レベリングする際に解消され、そのまま硬化するので、最終的にはフラットな表面状態の多層板が得られる。そして、銅箔又は樹脂付き銅箔の加熱ラミネート後の基板は、熱風循環式もしくは遠赤外線等で最終硬化される。そのときの硬化温度は約150〜200℃で約30〜120分の範囲である。   In this process, the coated or dried coating film or adhesive film is re-melted by heating lamination using a vacuum film laminator, enters the rough surface of the copper foil, and adheres strongly due to its anchor effect, thereby providing sufficient peel strength. It will be obtained. In addition, the uneven surface due to the inner layer circuit of the coated and dried coating film or laminated adhesive film is eliminated when the coating film is heated and pressure leveled with a hot plate press machine, and is cured as it is. A surface-state multilayer board is obtained. And the board | substrate after the heat lamination of copper foil or copper foil with resin is finally hardened | cured by a hot-air circulation type or a far infrared ray. The curing temperature at that time is in the range of about 150 to 200 ° C. and about 30 to 120 minutes.

(2)プレス法
基板上に形成した乾燥塗膜上に、片面もしくは両面に粗面を有する銅箔又は樹脂付き銅箔を重ね合せ、熱板プレス機で加熱加圧して一体成形を行なう。プレスの条件としては、機械の性能により多少異なるが、約140〜200℃で約1〜4時間、圧力約15〜50kg/cmの範囲で行なう。この際、プリプレグや接着シートを介して銅箔を乾燥塗膜に接着することもできる。
(2) Pressing method A copper foil having a rough surface on one side or both sides or a copper foil with resin is superposed on the dried coating film formed on the substrate, and is integrally formed by heating and pressing with a hot plate press. The pressing conditions vary somewhat depending on the performance of the machine, but are about 140 to 200 ° C. for about 1 to 4 hours and a pressure of about 15 to 50 kg / cm 2 . At this time, the copper foil can be bonded to the dry coating film via a prepreg or an adhesive sheet.

この加熱加圧工程では、塗布乾燥した塗膜は、熱板プレス機を用いた加熱加圧により再溶融し、熱硬化する。このとき、前記塗膜は、銅箔の粗面に入り込んでそのアンカー効果により強力に接着することで充分なピール強度が得られるようになる。また、塗布乾燥した塗膜の内層回路による凹凸面は、再溶融する際に解消され、そのまま硬化するので最終的にはフラットな表面状態の多層板が得られる。   In this heating and pressurizing step, the coated and dried coating film is remelted by heating and pressing using a hot plate press and thermoset. At this time, the coating film enters the rough surface of the copper foil and is strongly bonded by the anchor effect, whereby a sufficient peel strength can be obtained. Further, the uneven surface due to the inner layer circuit of the coated and dried coating is eliminated when it is remelted, and is cured as it is, so that a multilayer plate having a flat surface state is finally obtained.

これらの工程で用いられる銅箔としては、ジャパンエナジー社製のJTCやJTC−AM、JTC−FM、古河サーキットフォイル社製のGTSやGTS−MP、F3−WS等の市販の電解銅箔を用いることが好ましい。また、さらに好ましくは片面又は両面が予め粗面化処理された銅箔が良く、さらに各種金属めっきで表面をさらに処理したり、公知慣用のカップリング剤、有機キレート剤を用いて処理したものが好適である。また、ここで使用する銅箔は9μm以上、18μm以下の厚さを有することが好ましい。厚さ9μm未満の銅箔を用いた場合、銅箔又は樹脂付き銅箔としてのハンドリングが不充分で、作業中に容易に破損するので好ましくなく、一方、18μmを超える場合、積み重ね時に銅の重みにより膜厚が変化したり、使用目的の高性能なプリント基板を製造するという観点からすると、銅箔が厚いことは回路形成に不利になるので好ましくない。   As copper foil used in these steps, commercially available electrolytic copper foils such as JTC, JTC-AM, JTC-FM, and FTS manufactured by Furukawa Circuit Foil are used. It is preferable. More preferably, a copper foil having one surface or both surfaces roughened in advance is good, and the surface is further treated with various metal platings, or treated with a known and commonly used coupling agent or organic chelating agent. Is preferred. Moreover, it is preferable that the copper foil used here has a thickness of 9 μm or more and 18 μm or less. When a copper foil with a thickness of less than 9 μm is used, handling as a copper foil or a copper foil with resin is insufficient, and it is not preferable because it easily breaks during work. On the other hand, when it exceeds 18 μm, the weight of copper during stacking From the viewpoint of changing the film thickness or producing a high-performance printed circuit board intended for use, a thick copper foil is not preferable because it is disadvantageous for circuit formation.

このようにして得られた基板にCOレーザー、UV−YAGレーザー等の半導体レーザーもしくはドリルを用いて穴をあける。特にCOレーザーを用いて穴明け加工する時は、穴をあける部分の銅箔を先にエッチングしてガイドを設けるか、レーザー光が銅箔に充分吸収するよう銅箔を処理することが必要になる。また、穴は基板の表と裏を導通させることを目的とする貫通穴(スルーホール)でも、内層の回路と乾燥塗膜又は接着フィルムからなる樹脂絶縁層表面の回路を導通させることを目的とする部分穴(ベリードビア)のどちらでもよい。 A hole is made in the substrate thus obtained by using a semiconductor laser such as a CO 2 laser or a UV-YAG laser or a drill. Especially when drilling with a CO 2 laser, it is necessary to first etch the copper foil in the hole to be drilled to provide a guide, or to treat the copper foil so that the laser light is sufficiently absorbed by the copper foil. become. Also, the hole is a through-hole intended to connect the front and back of the board, and the circuit of the inner layer and the circuit of the resin insulation layer surface consisting of a dry paint film or adhesive film are intended to conduct. Either of the partial holes (belly vias) to be performed may be used.

次に、穴を導通させることを目的に公知慣用のデスミヤ処理を行ない、引き続き無電解銅めっき、電解銅めっきを施すことにより、スルーホール、ベリードビア、又はコンフォーマルビアを形成し、表裏の銅箔及び銅箔と内層回路とを導通させる。   Next, a known and commonly used desmear treatment is performed for the purpose of conducting the holes, and then electroless copper plating and electrolytic copper plating are performed to form through holes, buried vias, or conformal vias, and copper foils on both sides And the copper foil and the inner layer circuit are conducted.

その後、プリント配線板で用いられている既知のパターンエッチング方法にて、表層の銅箔をエッチングしてパターン形成することにより、所望の多層プリント配線板が得られる。   Thereafter, a desired multilayer printed wiring board is obtained by etching the surface copper foil to form a pattern by a known pattern etching method used in the printed wiring board.

あるいは、回路のファインパターン化を目的にラミネートした銅箔を薄くなるまでエッチングしてからパターンレジストを用いて回路形成することも可能であり、さらに、全面エッチィングして前記第一の形態の回路形成方法(2)(アディティブ法)か(3)(セミアディティブ法)で回路形成することも可能である。   Alternatively, it is also possible to form a circuit using a pattern resist after etching a laminated copper foil for the purpose of making a fine pattern of the circuit until it becomes thin. It is also possible to form a circuit by forming method (2) (additive method) or (3) (semi-additive method).

前記第一の形態、第二の形態に拘らず、こうして得られた多層プリント配線板は、さらに工程を繰り返して多層化したり、また、プリプレグや樹脂付銅箔を重ね合せ、熱板プレス機を用いて加熱加圧成形をすることにより多層化を行なっても構わない。   Regardless of the first form and the second form, the multilayer printed wiring board obtained in this way is further multilayered by repeating the process, and a prepreg and a resin-coated copper foil are laminated to form a hot plate press machine. Multiple layers may be formed by heating and press forming.

以上説明した多層プリント配線板の製造方法において、用いる内層基板としては、例えば、プラスチック基板やセラミック基板、金属基板、フィルム基板などを使用することができ、具体的には、ガラスエポキシ基板やガラスポリイミド基板、アルミナ基板、低温焼成セラミック基板、窒化アルミニウム基板、アルミニウム基板、ポリイミドフィルム基板などを使用することができる。そして、内層の回路(配線パターン)は銅が好ましく、さらに銅回路は化学的な表面処理が施されたものが好ましい。バフ研磨等の物理的な研磨を施した回路上では、本発明の組成物は密着性が劣り、はんだ熱で膨れを生じる場合がある。好適な化学処理としては、汎用の黒化処理や、銅を薬品によりエッチングし粗化面を形成する処理、例えばメック社エッチボンド、アトテック社ボンドフィルム、マクダーミット社のマルチボンド等が好ましい。特に本発明の工程では、コーティング時又はラミネート持に内層銅回路が傷付く可能性があるので、後者のエッチングタイプの表面処理が傷が付き難い点で優れている。   In the multilayer printed wiring board manufacturing method described above, as the inner layer substrate to be used, for example, a plastic substrate, a ceramic substrate, a metal substrate, a film substrate, or the like can be used. Specifically, a glass epoxy substrate or a glass polyimide can be used. A substrate, an alumina substrate, a low-temperature fired ceramic substrate, an aluminum nitride substrate, an aluminum substrate, a polyimide film substrate, or the like can be used. The inner layer circuit (wiring pattern) is preferably copper, and the copper circuit is preferably subjected to chemical surface treatment. On a circuit subjected to physical polishing such as buff polishing, the composition of the present invention has poor adhesion and may swell due to solder heat. As a suitable chemical treatment, a general-purpose blackening treatment or a treatment of forming a roughened surface by etching copper with a chemical, for example, Mec etch bond, Atotech bond film, McDermitt multi-bond, and the like are preferable. In particular, in the process of the present invention, there is a possibility that the inner layer copper circuit may be damaged at the time of coating or at the time of lamination, so the latter etching type surface treatment is excellent in that it is difficult to be damaged.

前記したように、本発明に係る熱硬化性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基又は酸無水物基と、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造と、ウレタン結合と、イミド環と、イソシアヌレート環とを有するポリイミド樹脂、(B)エポキシ樹脂、(C)沸点が100℃以上の有機溶剤、及びエポキシ樹脂硬化剤としての前記イミダゾール化合物を必須成分として含有する。 As described above, the thermosetting resin composition according to the present invention includes (A) a carboxyl group or an acid anhydride group, a linear hydrocarbon structure having a number average molecular weight of 700 to 4,500, a urethane bond, and an imide. polyimide resin having a ring and a isocyanurate ring, containing as the epoxy resin (B), (C) essential components the imidazole compound as a boiling point of 100 ° C. or more organic solvents, and epoxy resin curing agent.

一方、本発明に係る熱硬化性接着フィルムの組成は、前記したように、(A)カルボキシル基又は酸無水物基と、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造と、ウレタン結合と、イミド環と、イソシアヌレート環とを有するポリイミド樹脂、(B)エポキシ樹脂、及びエポキシ樹脂硬化剤としての前記イミダゾール化合物を必須成分として含有する。さらに本発明に係る熱硬化性接着フィルムの組成は、少なくとも片側に支持フィルムが存在している。これは、本発明の接着フィルムが一定の温度で溶融し、接着性を発現するため、接着させる時のカバーの働きをするものである。つまり、接着フィルムの両側に接着させる場合は、支持フィルの無い側を非接着体に密着させ、接着もしくは仮接着し、その後、支持フィルムを剥離してさらに非接着体を密着させ、接着させることにより実現できる。また、この接着フィルムの保管、輸送の際には、シート状、ロール状に拘らず、支持フィルムと反対側の層に保護フィルムを使用することができる。 On the other hand, the composition of the thermosetting adhesive film according to the present invention includes (A) a carboxyl group or an acid anhydride group, a linear hydrocarbon structure having a number average molecular weight of 700 to 4,500, and a urethane bond, as described above. If, polyimide resin having imide ring, an isocyanurate ring, containing as essential components the imidazole compound as (B) an epoxy resin, and an epoxy resin curing agent. Furthermore, the composition of the thermosetting adhesive film according to the present invention has a support film on at least one side. This is because the adhesive film of the present invention melts at a certain temperature and expresses adhesiveness, and thus functions as a cover when bonded. In other words, when adhering to both sides of the adhesive film, the side without the support film is closely attached to the non-adhesive body and adhered or temporarily adhered, and then the support film is peeled off and the non-adhesive body is further adhered and adhered. Can be realized. Further, when the adhesive film is stored and transported, a protective film can be used for the layer on the side opposite to the support film regardless of whether it is a sheet or a roll.

本発明で用いるポリイミド樹脂(A)は、汎用溶剤、例えばケトン系溶剤、エステル系溶剤、エーテル系溶剤等の非プロトン系極性有機溶剤に対する溶解性と耐熱性に優れることから、カルボキシル基又は酸無水物基と、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造と、ウレタン結合と、イミド環と、イソシアヌレート環を有し、好ましくはさらに環式脂肪族構造を有するポリイミド樹脂(A1)が好ましい。前記線状炭化水素構造としては、硬化物の柔軟性と誘電特性のバランスが良好なポリイミド樹脂が得られることから、数平均分子量800〜4,200の線状炭化水素構造であることが特に好ましい。   Since the polyimide resin (A) used in the present invention is excellent in solubility and heat resistance in aprotic polar organic solvents such as general-purpose solvents such as ketone-based solvents, ester-based solvents, and ether-based solvents, a carboxyl group or an acid anhydride Polyimide resin (A1) having a physical group, a linear hydrocarbon structure having a number average molecular weight of 700 to 4,500, a urethane bond, an imide ring, and an isocyanurate ring, preferably further having a cyclic aliphatic structure Is preferred. The linear hydrocarbon structure is particularly preferably a linear hydrocarbon structure having a number average molecular weight of 800 to 4,200 because a polyimide resin having a good balance between flexibility and dielectric properties of the cured product can be obtained. .

前記ポリイミド樹脂(A1)としては、例えば、下記一般式(1)で示される構造単位と下記一般式(2)で示される構造単位を有し、かつ、下記一般式(3)、(4)及び(5)で示される末端構造のいずれか1種以上を有するポリイミド樹脂(A2)が挙げられ、その中でも、酸価が20〜150mgKOH/gであり、かつ、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造の含有率が20〜40質量%、イソシアヌレート環の濃度が0.3〜1.2ミリモル/g、数平均分子量が2,000〜30,000であり、しかも、重量平均分子量が3,000〜100,000のポリイミド樹脂がより好ましい。

Figure 0005214106
Examples of the polyimide resin (A1) include a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2), and the following general formulas (3) and (4). And a polyimide resin (A2) having any one or more of the terminal structures represented by (5). Among them, the acid value is 20 to 150 mgKOH / g, and the number average molecular weight is 700 to 4,500. The linear hydrocarbon structure has a content of 20 to 40% by mass, an isocyanurate ring concentration of 0.3 to 1.2 mmol / g, a number average molecular weight of 2,000 to 30,000, and a weight. A polyimide resin having an average molecular weight of 3,000 to 100,000 is more preferable.
Figure 0005214106

なお、本発明において、ポリイミド樹脂(A)の酸価、イソシアヌレート環の濃度、数平均分子量及び重量平均分子量は、以下の方法で測定したものである。   In the present invention, the acid value, the isocyanurate ring concentration, the number average molecular weight, and the weight average molecular weight of the polyimide resin (A) are measured by the following methods.

(1)酸価:JIS K−5601−2−1に準じて測定する。なお、試料の希釈溶剤としては、無水酸の酸価も測定できるようにアセトン/水(9/1体積比)の混合溶剤で酸価0のものを使用する。   (1) Acid value: Measured according to JIS K-5601-2-1. As a dilution solvent for the sample, a mixed solvent of acetone / water (9/1 volume ratio) with an acid value of 0 is used so that the acid value of the acid anhydride can also be measured.

(2)イソシアヌレート環の濃度:13C−NMR分析[溶媒:重水素化ジメチルスルホキシド(DMSO−d)]を行ない、149ppmにあるイソシアヌレート環に起因する炭素原子のスペクトル強度から検量線を用いてポリイミド樹脂(A)1g当たりのイソシアヌレート環の濃度(ミリモル)を求める。なお、13C−NMR分析により、169ppmにあるイミド環に起因する炭素原子のスペクトル強度から同様にイミド環の濃度を求めることもできる。 (2) Concentration of isocyanurate ring: 13 C-NMR analysis [solvent: deuterated dimethyl sulfoxide (DMSO-d 6 )] was performed, and a calibration curve was obtained from the spectral intensity of the carbon atom caused by the isocyanurate ring at 149 ppm. The isocyanurate ring concentration per milligram of polyimide resin (A) is determined. The concentration of the imide ring can also be similarly determined from the spectral intensity of the carbon atom due to the imide ring at 169 ppm by 13 C-NMR analysis.

(3)数平均分子量と重量平均分子量:ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によりポリスチレン換算の数平均分子量と重量平均分子量を求める。   (3) Number average molecular weight and weight average molecular weight: The number average molecular weight and weight average molecular weight in terms of polystyrene are determined by gel permeation chromatography (GPC).

なお、ポリイミド樹脂(A)中における線状炭化水素構造の含有率は、ポリイミド樹脂(A)が後記する製造方法で製造したポリイミド樹脂である場合、合成原料中におけるポリオール化合物(a2)の使用質量割合から求めることができ、前記線状炭化水素構造の数平均分子量は前記ポリオール化合物(a2)の数平均分子量から求めることができる。   In addition, when the content rate of the linear hydrocarbon structure in a polyimide resin (A) is a polyimide resin manufactured with the manufacturing method which a polyimide resin (A) mentions later, the use mass of the polyol compound (a2) in a synthetic raw material The number average molecular weight of the linear hydrocarbon structure can be determined from the number average molecular weight of the polyol compound (a2).

また、製造方法が不明のポリイミド樹脂中における線状炭化水素構造の含有率と数平均分子量は、ポリイミド樹脂を通常の加水分解法、例えば有機アミンの存在下で熱処理してウレタン結合を分解し、線状炭化水素構造部分を前記ポリイミド樹脂から切り離し、線状炭化水素構造部分がイミド構造部分に比較して低極性であることを利用して、ジクロロメタン等の低極性有機溶剤で線状炭化水素構造部分を抽出し、抽出量の測定とGPC分析とを行なうことで求めることができる。   In addition, the content and number average molecular weight of the linear hydrocarbon structure in the polyimide resin whose manufacturing method is unknown are obtained by heat-treating the polyimide resin in the usual hydrolysis method, for example, in the presence of an organic amine, to decompose the urethane bond, By separating the linear hydrocarbon structure part from the polyimide resin and utilizing the fact that the linear hydrocarbon structure part is less polar than the imide structure part, the linear hydrocarbon structure is obtained with a low polarity organic solvent such as dichloromethane. It can be obtained by extracting a portion and measuring the amount of extraction and GPC analysis.

本発明の熱硬化性樹脂組成物に用いる前記ポリイミド樹脂の製造方法は、特に限定されないが、ポリイソシアネート化合物(a1)と線状炭化水素構造を有するポリオール化合物であって、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が700〜4,500のポリオール化合物(a2)とを反応させて得られる末端にイソシアネート基を有するプレポリマー(A1)を、3個以上のカルボキシル基を有するポリカルボン酸の酸無水物(b)と有機溶剤中で反応させる方法が好ましい。   Although the manufacturing method of the said polyimide resin used for the thermosetting resin composition of this invention is not specifically limited, It is a polyol compound which has a polyisocyanate compound (a1) and a linear hydrocarbon structure, Comprising: Linear hydrocarbon structure part The polyanhydric acid anhydride having three or more carboxyl groups is converted to a prepolymer (A1) having an isocyanate group at the terminal obtained by reacting with a polyol compound (a2) having a number average molecular weight of 700 to 4,500. A method of reacting the product (b) with an organic solvent is preferred.

例えば、前記製造方法によりポリイミド樹脂(A)を製造するには、炭素原子数が6〜13の環式脂肪族構造を有するジイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネートと、線状炭化水素構造を有するポリオール化合物であって、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が700〜4,500のポリオール化合物とを反応させて得られる末端にイソシアネート基を有するプレポリマーを、トリカルボン酸の酸無水物と有機溶剤中で反応させればよい。   For example, in order to produce a polyimide resin (A) by the above production method, a polyisocyanate having an isocyanurate ring derived from a diisocyanate having a cyclic aliphatic structure having 6 to 13 carbon atoms, and a linear hydrocarbon A prepolymer having an isocyanate group at the terminal obtained by reacting a polyol compound having a structure with a polyol compound having a linear hydrocarbon structure portion having a number average molecular weight of 700 to 4,500 is converted to an acid anhydride of a tricarboxylic acid. The product may be reacted in an organic solvent.

前記製造方法で用いるポリイソシアネート化合物(a1)は、分子内に2個以上のイソシアネート基を有する化合物であり、例えば、芳香族ポリイソシアネート、脂肪族ポリイソシアネート(環式脂肪族ポリイソシアネートを含む);これらポリイソシアネートのヌレート体、ビュレット体、アダクト体、アロハネート体等が挙げられる。   The polyisocyanate compound (a1) used in the production method is a compound having two or more isocyanate groups in the molecule, and examples thereof include aromatic polyisocyanates and aliphatic polyisocyanates (including cyclic aliphatic polyisocyanates); These polyisocyanate nurate bodies, burette bodies, adduct bodies, allophanate bodies and the like can be mentioned.

前記芳香族ポリイソシアネート化合物としては、例えば、p−フェニレンジイソシアネート、m−フェニレンジイソシアネート、p−キシレンジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、4,4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリメチレンポリフェニルポリイソシアネート(クルードMDI)、ポリメチレンポリフェニルイソシアネート、3,3′−ジメチルジフェニル−4,4′−ジイソシアネート、3,3′−ジエチルジフェニル−4,4′−ジイソシアネート、m−キシレンジイソシアネート、p−キシレンジイソシアネート、1,3-ビス(α,α−ジメチルイソシアナートメチル)ベンゼン、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、ジフェニレンエーテル−4,4′−ジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート等が挙げられる。   Examples of the aromatic polyisocyanate compound include p-phenylene diisocyanate, m-phenylene diisocyanate, p-xylene diisocyanate, m-xylene diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 4,4. '-Diphenylmethane diisocyanate, polymethylene polyphenyl polyisocyanate (crude MDI), polymethylene polyphenyl isocyanate, 3,3'-dimethyldiphenyl-4,4'-diisocyanate, 3,3'-diethyldiphenyl-4,4'- Diisocyanate, m-xylene diisocyanate, p-xylene diisocyanate, 1,3-bis (α, α-dimethylisocyanatomethyl) benzene, tetramethylxylylene diisocyanate, di Eniren'eteru-4,4'-diisocyanate, naphthalene diisocyanate, and the like.

前記脂肪族ポリイソシアネート化合物としては、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート(HDI)、リジンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート(IPDI)、4,4′−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート、水素添加キシレンジイソシアネート(HXDI)、ノルボヌレンジイソシアネート(NBDI)等が挙げられる。   Examples of the aliphatic polyisocyanate compound include hexamethylene diisocyanate (HDI), lysine diisocyanate, trimethylhexamethylenemethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate (IPDI), 4,4′-dicyclohexylmethane diisocyanate, hydrogenated xylene diisocyanate (HXDI), Examples include norbornylene diisocyanate (NBDI).

前記ポリイソシアネート化合物(a1)としては、有機溶剤への溶解性や、エポキシ樹脂や有機溶剤との相溶性が良好で、硬化物の誘電率と誘電正接が低いポリイミド樹脂が得られることから、脂肪族ポリイソシアネートが好ましい。また、硬化物の耐熱性の良好な硬化物が得られることから、イソシアヌレート型ポリイソシアネートが好ましい。   As the polyisocyanate compound (a1), a polyimide resin having good solubility in an organic solvent, compatibility with an epoxy resin or an organic solvent, and a low dielectric constant and dielectric loss tangent of a cured product can be obtained. Group polyisocyanates are preferred. Further, isocyanurate type polyisocyanate is preferable because a cured product having a cured product having good heat resistance can be obtained.

さらに、前記ポリイソシアネート化合物(a1)としては、有機溶剤への溶解性や、エポキシ樹脂や有機溶剤との相溶性が良好で、硬化物の誘電率と誘電正接が低く、耐熱性が良好なポリイミド樹脂が得られることから、脂肪族ポリイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート化合物(a11)がより好ましく、環式脂肪族ポリイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート化合物がさらに好ましい。前記環式脂肪族ポリイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート化合物としては、イソシアヌレート環の1モルに対して環式脂肪族構造を2〜3モル倍有するものが挙げられるが、該環式脂肪族構造を2.5〜3モル倍有するものがより好ましい。   Furthermore, the polyisocyanate compound (a1) is a polyimide having good solubility in organic solvents, good compatibility with epoxy resins and organic solvents, low dielectric constant and dielectric loss tangent of cured products, and good heat resistance. Since the resin is obtained, the polyisocyanate compound (a11) having an isocyanurate ring derived from an aliphatic polyisocyanate is more preferable, and the polyisocyanate compound having an isocyanurate ring derived from a cyclic aliphatic polyisocyanate is further included. preferable. Examples of the polyisocyanate compound having an isocyanurate ring derived from the cycloaliphatic polyisocyanate include those having a cyclic aliphatic structure of 2 to 3 moles per mole of the isocyanurate ring. What has a cycloaliphatic structure 2.5-3 mol times is more preferable.

前記ポリイソシアネート化合物(a11)としては、例えば、1種又は2種以上の脂肪族ジイソシアネート化合物を、第4級アンモニウム塩等のイソシアヌレート化触媒の存在下あるいは非存在下において、イソシアヌレート化することにより得られるものであって、3量体、5量体、7量体等のイソシアヌレートの混合物からなるもの等が挙げられる。前記ポリイソシアネート化合物(a11)の具体例としては、イソホロンジイソシアネートのイソシアヌレート型ポリイソシアネート(IPDI3N)、ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート型ポリイソシアネート(HDI3N)、水添キシレンジイソシアネートのイソシアヌレート型ポリイソシアネート(HXDI3N)、ノルボルナンジイソシアネートのイソシアヌレート型ポリイソシアネート(NBDI3N)等が挙げられる。   As the polyisocyanate compound (a11), for example, one or two or more aliphatic diisocyanate compounds are isocyanurated in the presence or absence of an isocyanuration catalyst such as a quaternary ammonium salt. And those composed of a mixture of isocyanurates such as trimer, pentamer, and heptamer. Specific examples of the polyisocyanate compound (a11) include isophorone diisocyanate isocyanurate type polyisocyanate (IPDI3N), hexamethylene diisocyanate isocyanurate type polyisocyanate (HDI3N), hydrogenated xylene diisocyanate isocyanurate type polyisocyanate (HXDI3N). ), Isocyanurate type polyisocyanate of norbornane diisocyanate (NBDI3N), and the like.

前記ポリイソシアネート化合物(a11)としては、有機溶剤への溶解性や硬化物の耐熱性が良好なポリイミド樹脂が得られることから、ポリイソシアネート化合物(a1)100質量部中に3量体のイソシアヌレートを30質量部以上含有するものが好ましく、50質量部以上含有するものが特に好ましい。   The polyisocyanate compound (a11) is a trimeric isocyanurate in 100 parts by mass of the polyisocyanate compound (a1) because a polyimide resin having good solubility in organic solvents and heat resistance of a cured product can be obtained. Is preferably 30 parts by mass or more, particularly preferably 50 parts by mass or more.

また、前記ポリイソシアネート化合物(a11)としては、イソシアネート基の含有率が10〜30質量%であることも、有機溶剤への溶解性や硬化物の耐熱性が良好なポリイミド樹脂が得られることからより好ましい。従って、前記ポリイソシアネート化合物(a11)としては、環式脂肪族ポリイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート化合物であって、イソシアネート基の含有率が10〜30質量%であるものが最も好ましい。   Moreover, as said polyisocyanate compound (a11), since the content rate of an isocyanate group is 10-30 mass%, since the solubility to an organic solvent and the heat resistance of hardened | cured material are favorable, the polyimide resin is obtained. More preferred. Accordingly, the polyisocyanate compound (a11) is most preferably a polyisocyanate compound having an isocyanurate ring derived from a cycloaliphatic polyisocyanate having an isocyanate group content of 10 to 30% by mass. preferable.

前記イソシアヌレート環を有するポリイソシアネートは、他のポリイソシアネートと併用しても良いが、イソシアヌレート型ポリイソシアネートを単独で使用するのが好ましい。   The polyisocyanate having an isocyanurate ring may be used in combination with other polyisocyanates, but isocyanurate type polyisocyanates are preferably used alone.

前記製造方法で用いるポリオール化合物(a2)は、有機溶剤への溶解性や、エポキシ樹脂や有機溶剤との相溶性が良好で、硬化物の誘電率と誘電正接が低く、ガラス転移点Tgが高く、造膜性に優れるポリイミド樹脂が得られることから、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が700〜4,500のポリオール化合物が好ましく、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が800〜4,200のポリオール化合物が特に好ましい。線状炭化水素構造部分の数平均分子量が700未満のポリオール化合物では、硬化物の誘電率と誘電正接が高くなるため好ましくなく、一方、線状炭化水素構造部分の数平均分子量が4,500を越えるポリオール化合物では、有機溶剤への溶解性や、エポキシ樹脂や有機溶剤との相溶性及び機械物性が不良となるため好ましくない。   The polyol compound (a2) used in the production method has good solubility in an organic solvent, compatibility with an epoxy resin and an organic solvent, a low dielectric constant and dielectric loss tangent of a cured product, and a high glass transition point Tg. A polyol compound having a linear hydrocarbon structure portion having a number average molecular weight of 700 to 4,500 is preferred, and a linear hydrocarbon structure portion having a number average molecular weight of 800 to 4 is obtained because a polyimide resin having excellent film-forming properties can be obtained. , 200 polyol compounds are particularly preferred. A polyol compound having a linear hydrocarbon structure portion with a number average molecular weight of less than 700 is not preferable because the cured product has a high dielectric constant and dielectric loss tangent, while the linear hydrocarbon structure portion has a number average molecular weight of 4,500. A polyol compound exceeding the above is not preferable because the solubility in an organic solvent, the compatibility with an epoxy resin or an organic solvent, and the mechanical properties are poor.

前記ポリオール化合物(a2)としては、例えば、線状炭化水素構造の末端及び/又は側鎖に結合した水酸基を合計で1分子当たり平均1.5個以上有する化合物が挙げられる。前記線状炭化水素構造は、直鎖状でもよいし、分岐状でもよい。また、前記線状炭化水素構造は、飽和の炭化水素鎖でもよいし、不飽和の炭化水素鎖でもよいが、加熱時の物性変化や安定性の面から飽和の炭化水素鎖がより好ましい。   Examples of the polyol compound (a2) include compounds having an average of 1.5 or more hydroxyl groups bonded to the terminal and / or side chain of the linear hydrocarbon structure in total per molecule. The linear hydrocarbon structure may be linear or branched. The linear hydrocarbon structure may be a saturated hydrocarbon chain or an unsaturated hydrocarbon chain, but a saturated hydrocarbon chain is more preferable from the viewpoint of changes in physical properties and stability during heating.

また、前記ポリオール化合物(a2)としては、ポリオレフィン構造やポリジエン構造を有するポリオール化合物であって、ポリオレフィン構造やポリジエン構造を有するポリオールの数平均分子量が700〜4,500のポリオール化合物及びその水素添加物が挙げられる。前記オレフィンとしては、例えば、エチレン、プロピレン、ブテン、イソブチレン、ペンテン、メチルペンテン等が挙げられ、前記ジエンとしては、例えば、ペンタジエン、ヘキサジエン、イソプレン、ブタジエン、プロパジエン、ジメチルブタジエン等が挙げられる。   The polyol compound (a2) is a polyol compound having a polyolefin structure or a polydiene structure, and a polyol compound having a polyolefin structure or a polydiene structure having a number average molecular weight of 700 to 4,500 and a hydrogenated product thereof. Is mentioned. Examples of the olefin include ethylene, propylene, butene, isobutylene, pentene, and methylpentene. Examples of the diene include pentadiene, hexadiene, isoprene, butadiene, propadiene, and dimethylbutadiene.

前記ポリオール化合物(a2)の具体例としては、ポリエチレン系ポリオール、ポリプロピレン系ポリオール、ポリブタジエンポリオール、水素添加ポリブタジエンポリオール、ポリイソプレンポリオール、水素添加ポリイソプレンポリオール等であって、線状炭化水素構造部分の数平均分子量700〜4,500のポリオール化合物が挙げられる。これらは、単独で用いてもよく、2種以上併用してもよい。   Specific examples of the polyol compound (a2) include polyethylene polyol, polypropylene polyol, polybutadiene polyol, hydrogenated polybutadiene polyol, polyisoprene polyol, hydrogenated polyisoprene polyol, etc., and the number of linear hydrocarbon structure portions. Examples include polyol compounds having an average molecular weight of 700 to 4,500. These may be used alone or in combination of two or more.

前記ポリオール化合物(a2)の水酸基の数は、平均1.5〜3個であることが、ゲル化し難く、分子成長が良好で、柔軟性が優れるポリイミド樹脂が得られることから好ましい。さらに水酸基の数は、平均1.8〜2.2個のものが特に好ましい。   The number of hydroxyl groups in the polyol compound (a2) is preferably 1.5 to 3 on average because it is difficult to gel, a molecular growth is good, and a polyimide resin having excellent flexibility is obtained. Further, the number of hydroxyl groups is particularly preferably an average of 1.8 to 2.2.

前記ポリオール化合物(a2)の市販品としては、例えば、日本曹達(株)製のNISSO PB(Gシリーズ)、出光石油化学(株)製のPoly−bd等の両末端に水酸基を有する液状ポリブタジエン;日本曹達(株)製のNISSO PB(GIシリーズ)、三菱化学(株)製のポリテールH、ポリテールHA等の両末端に水酸基を有する水素添加ポリブタジエン;出光石油化学(株)製のPoly−iP等の両末端に水酸基を有する液状C5系重合体;出光石油化学(株)製のエポール、クラレ(株)製のTH−1、TH−2、TH−3等の両末端に水酸基を有する水素添加ポリイソプレンなどが挙げられる。   As a commercial item of the said polyol compound (a2), liquid polybutadiene which has a hydroxyl group in both ends, such as NISSO PB (G series) by Nippon Soda Co., Ltd., Poly-bd by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd .; Hydrogenated polybutadiene having hydroxyl groups at both ends, such as NISSO PB (GI series) manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., polytail H manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, polytail HA, etc .; Poly-iP manufactured by Idemitsu Petrochemical Co., Ltd. Liquid C5 polymer having hydroxyl groups at both ends; hydrogenation having hydroxyl groups at both ends, such as Epol from Idemitsu Petrochemical Co., Ltd., TH-1, TH-2, TH-3 from Kuraray Co., Ltd. Examples include polyisoprene.

さらに、前記ポリオール化合物(a2)としては、前記したような線状炭化水素構造を有するポリオール化合物に各種多塩基酸やポリイソシアネートを反応させて得られるエステル変性ポリオール化合物やウレタン変性ポリオール化合物も使用可能である。   Furthermore, as the polyol compound (a2), ester-modified polyol compounds and urethane-modified polyol compounds obtained by reacting various polybasic acids and polyisocyanates with polyol compounds having a linear hydrocarbon structure as described above can also be used. It is.

前記ポリオール化合物(a2)としては、ポリブタジエンポリオール及び/又は水素添加ポリブタジエンポリオールが好ましく、なかでも、水素添加ポリブタジエンポリオールがより好ましい。   The polyol compound (a2) is preferably a polybutadiene polyol and / or a hydrogenated polybutadiene polyol, and more preferably a hydrogenated polybutadiene polyol.

前記製造方法で得られるポリイミド樹脂中において、前記ポリオール化合物(2a)由来の線状炭化水素構造は、イミド結合を有する剛直な骨格間に導入される。前記製造方法で得られるポリイミド樹脂が特に優れた耐熱性を有するためには、ガラス転移点が高い必要があり、このため、原料に用いるポリオール化合物(a2)も高いガラス転移点を有しているほうが有利であると推定されたが、鋭意検討した結果、硬化物のガラス転移点は、ポリイミド樹脂の分子中に導入されるポリオール化合物(a2)のガラス転移点が低いほうがより硬化物のガラス転移点は高くなり、さらにガラス転移点が低いポリオール化合物を使用することで機械物性のより優れる硬化物が得られることが明らかとなった。以上の知見からポリオール化合物(a2)のガラス転移点は、−120〜0℃であることが好ましい。   In the polyimide resin obtained by the production method, the linear hydrocarbon structure derived from the polyol compound (2a) is introduced between rigid skeletons having imide bonds. In order for the polyimide resin obtained by the manufacturing method to have particularly excellent heat resistance, the glass transition point needs to be high, and therefore the polyol compound (a2) used as a raw material also has a high glass transition point. As a result of intensive studies, the glass transition point of the cured product has a lower glass transition point of the polyol compound (a2) introduced into the molecule of the polyimide resin. It became clear that the hardened | cured material which is more excellent in a mechanical physical property can be obtained by using a polyol compound with a high point and a low glass transition point. From the above knowledge, the glass transition point of the polyol compound (a2) is preferably −120 to 0 ° C.

なお、前記製造方法において、ポリオール化合物(a2)は、本発明の効果を損ねない程度に他の水酸基含有化合物と併用してもよい。この場合、他の水酸基含有化合物は、全水酸基含有化合物中の50質量%以下で使用することが望ましい。   In the above production method, the polyol compound (a2) may be used in combination with another hydroxyl group-containing compound to the extent that the effects of the present invention are not impaired. In this case, the other hydroxyl group-containing compound is desirably used at 50% by mass or less based on the total hydroxyl group-containing compound.

本発明で用いる3個以上のカルボキシル基を有するポリカルボン酸の酸無水物(b)としては、例えば、トリカルボン酸の酸無水物、テトラカルボン酸の酸無水物等が挙げられる。   Examples of the acid anhydride (b) of a polycarboxylic acid having three or more carboxyl groups used in the present invention include tricarboxylic acid anhydrides and tetracarboxylic acid anhydrides.

トリカルボン酸の酸無水物としては、例えば、無水トリメリット酸、ナフタレン−1,2,4−トリカルボン酸無水物等が挙げられる。
テトラカルボン酸の酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、ベンゾフェノン−3,4,3′,4′−テトラカルボン酸二無水物、ジフェニルエーテル−3,4,3′,4′−テトラカルボン酸二無水物、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン酸二無水物、ビフェニル−3,4,3′,4′−テトラカルボン酸二無水物、ビフェニル−2,3,2′,3′−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−2,3,6,7−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,2,4,5−テトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,8,4,5−テトラカルボン酸二無水物、デカヒドロナフタレン−1,8,4,5−テトラカルボン酸二無水物、4,8−ジメチル−1,2,3,5,6,7−ヘキサヒドロナフタレン−1,2,5,6−テトラカルボン酸二無水物、2,6−ジクロロナフタレン−1,8,4,5−テトラカルボン酸二無水物、2,7−ジクロロナフタレン−1,8,4,5−テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−テトラクロロナフタレン−1,8,4,5−テトラカルボン酸二無水物、フェナントレン−1,2,9,10−テトラカルボン酸二無水物、ベリレン−3,4,9,10−テトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,3−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物等の分子内に芳香族有機基を有するテトラカルボン酸の無水物が挙げられる。これらの1種又は2種以上を用いることが可能である。また、トリカルボン酸の無水物とテトラカルボン酸の無水物を混合して使用してもよい。
Examples of the acid anhydride of tricarboxylic acid include trimellitic anhydride and naphthalene-1,2,4-tricarboxylic acid anhydride.
Examples of the acid anhydride of tetracarboxylic acid include pyromellitic dianhydride, benzophenone-3,4,3 ′, 4′-tetracarboxylic dianhydride, diphenyl ether-3,4,3 ′, 4′-. Tetracarboxylic dianhydride, benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, biphenyl-3,4,3 ', 4'-tetracarboxylic dianhydride, biphenyl-2,3,2 ', 3'-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1, 8,4,5-tetracarboxylic dianhydride, decahydronaphthalene-1,8,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7- Hexahydronaphthalene-1,2,5 6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6-dichloronaphthalene-1,8,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 2,7-dichloronaphthalene-1,8,4,5-tetracarboxylic acid Anhydride, 2,3,6,7-tetrachloronaphthalene-1,8,4,5-tetracarboxylic dianhydride, phenanthrene-1,2,9,10-tetracarboxylic dianhydride, berylene-3 , 4,9,10-tetracarboxylic dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, 1,1-bis ( 2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) propane dianhydride 2,3-bis 3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride And tetracarboxylic anhydride having a group. One or more of these can be used. Further, a tricarboxylic acid anhydride and a tetracarboxylic acid anhydride may be mixed and used.

前記製造方法で得られるポリイミド樹脂の酸価としては、有機溶剤への溶解性と硬化物性を良好にするために、固形物換算で20〜150mgKOH/gが好ましく、20〜120mgKOH/gがより好ましい。ポリイミド樹脂の酸価が20mgKOH/g未満の場合、架橋密度が低く、はんだ耐熱性が劣るので好ましくない。一方、酸価が150mgKOH/gよりも大きい場合には、樹脂の軟化温度や流動性が高くなりすぎて内層回路への追随性が悪くなり、成形不良となるので好ましくない。また、前記ポリイミド樹脂の分子量としては、溶媒溶解性を良好にするために、数平均分子量が2,000〜30,000で、かつ重量平均分子量が3,000〜100,000であることが好ましく、数平均分子量が2,000〜10,000で、かつ重量平均分子量が3,000〜50,000であることがより好ましい。   The acid value of the polyimide resin obtained by the above production method is preferably 20 to 150 mgKOH / g, more preferably 20 to 120 mgKOH / g in terms of solid matter, in order to improve the solubility in organic solvents and the cured product properties. . When the acid value of the polyimide resin is less than 20 mgKOH / g, the crosslinking density is low and the solder heat resistance is inferior. On the other hand, when the acid value is larger than 150 mgKOH / g, the softening temperature and fluidity of the resin become too high, the followability to the inner layer circuit is deteriorated, and the molding is poor, which is not preferable. The molecular weight of the polyimide resin is preferably a number average molecular weight of 2,000 to 30,000 and a weight average molecular weight of 3,000 to 100,000 in order to improve solvent solubility. More preferably, the number average molecular weight is 2,000 to 10,000 and the weight average molecular weight is 3,000 to 50,000.

ポリイミド樹脂の製造方法で用いる有機溶剤は、系中にあらかじめ存在させてから反応を行なっても、途中で導入してもよく、その使用するタイミングや量には制限は特にないが、末端にイソシアネート基を有するプレポリマー(a1)と3個以上のカルボキシル基を有するポリカルボン酸の酸無水物(b)の反応の開始時には存在させておくことが好ましい。また、この反応に際して適切な反応速度を維持するために、系中の有機溶剤の割合は、反応系の80質量%以下が好ましく、10〜70質量%がより好ましい。有機溶剤としては、原料成分としてイソシアネート基を含有する化合物を使用するため、水酸基やアミノ基等の活性プロトンを有しない非プロトン性極性溶剤が好ましい。   The organic solvent used in the method for producing the polyimide resin may be reacted after it has been present in the system in advance, or it may be introduced in the middle. The prepolymer (a1) having a group and a polycarboxylic acid anhydride (b) having 3 or more carboxyl groups are preferably present at the start of the reaction. In order to maintain an appropriate reaction rate during this reaction, the proportion of the organic solvent in the system is preferably 80% by mass or less, more preferably 10 to 70% by mass of the reaction system. As the organic solvent, since a compound containing an isocyanate group is used as a raw material component, an aprotic polar solvent having no active proton such as a hydroxyl group or an amino group is preferable.

次に、本発明の熱硬化性樹脂組成物の必須成分のうち、エポキシ樹脂(B)は、層間絶縁材としての充分な耐熱性、耐薬品性、電気特性などの諸物性を得るのに必要である。   Next, among the essential components of the thermosetting resin composition of the present invention, the epoxy resin (B) is necessary for obtaining various physical properties such as sufficient heat resistance, chemical resistance and electrical properties as an interlayer insulating material. It is.

エポキシ樹脂(B)としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、アルキルフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化物、又はそれらの臭素原子含有エポキシ樹脂やりん原子含有エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート、脂環式エポキシ樹脂など、公知慣用のものを単独であるいは2種以上組み合わせて使用することができる。また、反応性希釈剤としての単官能エポキシ樹脂を含有していてもよい。   As the epoxy resin (B), bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, alkylphenol novolac type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, dicyclo Pentadiene type epoxy resins, epoxidized products of condensates of phenols and aromatic aldehydes having phenolic hydroxyl groups, or bromine atom-containing epoxy resins, phosphorus atom-containing epoxy resins, triglycidyl isocyanurate, alicyclic epoxy resins, etc. Well-known and conventional ones can be used alone or in combination of two or more. Moreover, you may contain the monofunctional epoxy resin as a reactive diluent.

特に本発明の熱硬化性樹脂組成物では、エポキシ当量が200以上のエポキシ樹脂とエポキシ当量が200以下のエポキシ樹脂を任意に混合することが好ましい。エポキシ当量が200以上のエポキシ樹脂は、硬化収縮が少なく、基材のそり防止と硬化物の柔軟性を与える。また加熱ラミネート時やレベリング時の溶融粘度を高くすることができ、成形後の樹脂染み出し量のコントロールに有効である。一方、エポキシ当量が200以下のエポキシ樹脂は、反応性が高く、硬化物に機械的強度を与える。また、加熱ラミネート時の溶融粘度が低いため、内層回路間の隙間への樹脂組成物の充填性や銅箔の凹凸粗面に対する追随性に寄与する。   In particular, in the thermosetting resin composition of the present invention, it is preferable to arbitrarily mix an epoxy resin having an epoxy equivalent of 200 or more and an epoxy resin having an epoxy equivalent of 200 or less. An epoxy resin having an epoxy equivalent of 200 or more has little cure shrinkage, and gives warpage prevention of the base material and flexibility of the cured product. In addition, the melt viscosity at the time of heating lamination and leveling can be increased, which is effective in controlling the amount of resin oozing after molding. On the other hand, an epoxy resin having an epoxy equivalent of 200 or less has high reactivity and gives mechanical strength to the cured product. Moreover, since the melt viscosity at the time of heat lamination is low, it contributes to the filling property of the resin composition into the gaps between the inner layer circuits and the followability to the rough surface of the copper foil.

本発明の熱硬化性樹脂組成物の他の必須成分である、沸点が100℃以上の有機溶剤(C)としては、シクロヘキサノンなどのケトン類、メチルセロソルブ、メチルカルビトール、トリエチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル類、及び上記グリコールエーテル類の酢酸エステル化物などのエステル類、エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルコール類、オクタンなどの脂肪族炭化水素、石油ナフサ、ソルベントナフサなどの石油系溶剤などがある。これらは単独であるいは2種以上を混合して使用することができる。
特に本発明の熱硬化性樹脂組成物では、沸点が100℃以上の有機溶剤を用いる点が重要である。この理由は、沸点が100℃未満の有機溶剤を使用すると、塗膜乾燥時に溶剤が急激に蒸発し泡の発生原因になる。しかも塗布している際に溶剤が揮発し易く、塗布時の粘度が急激に変化するので好ましくない。
The organic solvent (C) having a boiling point of 100 ° C. or higher, which is another essential component of the thermosetting resin composition of the present invention, includes ketones such as cyclohexanone, methyl cellosolve, methyl carbitol, triethylene glycol monoethyl ether. Such as glycol ethers, and esters such as acetates of the above glycol ethers, alcohols such as ethylene glycol and propylene glycol, aliphatic hydrocarbons such as octane, petroleum solvents such as petroleum naphtha and solvent naphtha, etc. is there. These can be used alone or in admixture of two or more.
In particular, in the thermosetting resin composition of the present invention, it is important to use an organic solvent having a boiling point of 100 ° C. or higher. The reason for this is that if an organic solvent having a boiling point of less than 100 ° C. is used, the solvent rapidly evaporates when the coating film is dried, resulting in generation of bubbles. Moreover, the solvent is liable to volatilize during application, and the viscosity during application changes abruptly.

特に好ましい有機溶剤としては、エチレングリコール又はプロピレングリコールの誘導体であり、具体的にはエチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコールのモノメチル、モノエチル、モノブチル等のグリコールエーテル類、さらにそれらの酢酸エステル化合物が挙げられる。これらの有機溶剤は、プリント配線板製造工場で従来からソルダーレジスト等の希釈溶剤として多量に使用されており、工場内での溶剤回収、再利用に適しており、臭気の面からも好ましい。   Particularly preferred organic solvents are derivatives of ethylene glycol or propylene glycol, specifically ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol monomethyl, monoethyl, monobutyl, etc. glycol ethers And the acetate compounds thereof. These organic solvents have been conventionally used in large quantities as diluent solvents such as solder resists in printed wiring board manufacturing factories, and are suitable for solvent recovery and reuse in factories, and are also preferred from the standpoint of odor.

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、さらにエポキシ樹脂の硬化剤を配合する。エポキシ樹脂硬化剤としては、イミダゾール化合物を単独であるいは2種以上組み合わせて使用することができる。 The thermosetting resin composition of the present invention further contains an epoxy resin curing agent. The epoxy resin curing agent may be used in combination Lee imidazole compound alone, or two or more kinds.

ポキシ樹脂硬化剤の中でも、イミダゾール化合物は、組成物中の溶剤を乾燥するときの温度域(80℃〜130℃)では反応が緩やかで、硬化時の温度域(150℃〜200℃)では充分に反応を進めることができ、硬化物の物性を充分発現させる点で好ましい。また、イミダゾール化合物は、銅回路及び銅箔との密着性に優れている点でも好ましい。特に好ましいものとして、具体的には、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、ビス(2−エチル−4−メチル−イミダゾール)、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、あるいはトリアジン付加型イミダゾール等がある。 Among et epoxy resin curing agent, an imidazole compound, a moderate temperature range (80 ℃ ~130 ℃) the reaction time of drying the solvent in the composition, the temperature range during curing (150 ℃ ~200 ℃) This is preferable in that the reaction can sufficiently proceed and the physical properties of the cured product are fully expressed. Moreover, an imidazole compound is preferable also at the point which is excellent in adhesiveness with a copper circuit and copper foil. Particularly preferable examples include 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, and bis (2-ethyl-4-methyl-imidazole). 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, or triazine addition type imidazole.

これらのエポキシ樹脂硬化剤は、エポキシ樹脂(B)の合計量100質量部に対し、0.05〜20質量部の範囲で配合することが好ましい。その配合量が0.05質量部よりも少ないと硬化不足となり、一方、20質量部を超えて配合すると硬化促進効果を増大させることはなく、却って耐熱性や機械強度を損なう問題が生じる。   These epoxy resin curing agents are preferably blended in the range of 0.05 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the epoxy resin (B). If the blending amount is less than 0.05 parts by mass, curing will be insufficient. On the other hand, if the blending amount exceeds 20 parts by mass, the effect of promoting the curing will not be increased, but there will be a problem that the heat resistance and mechanical strength are impaired.

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、さらに硬化物の機械強度や耐熱性を向上させる目的で、フェノール性水酸基を2個以上有する化合物(D)を配合することができる。   The thermosetting resin composition of the present invention can be blended with a compound (D) having two or more phenolic hydroxyl groups for the purpose of further improving the mechanical strength and heat resistance of the cured product.

フェノール性水酸基を2個以上有する化合物(D)としては、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、Xylok型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ポリビニルフェノール類など公知慣用のフェノール樹脂を、単独であるいは2種以上組み合わせて使用することができる。   Examples of the compound (D) having two or more phenolic hydroxyl groups include phenol novolac resin, alkylphenol volac resin, bisphenol A novolac resin, dicyclopentadiene type phenol resin, Xylok type phenol resin, terpene modified phenol resin, polyvinylphenols, etc. A well-known and usual phenol resin can be used individually or in combination of 2 or more types.

フェノール樹脂は、エポキシ樹脂(B)の1エポキシ当量に対しフェノール性水酸基が0〜1.2当量の割合で配合することが望ましい。この範囲を外れると得られる熱硬化性樹脂組成物の耐熱性が損なわれるので好ましくない。   The phenol resin is desirably blended at a ratio of 0 to 1.2 equivalents of the phenolic hydroxyl group with respect to 1 epoxy equivalent of the epoxy resin (B). Outside this range, the heat resistance of the resulting thermosetting resin composition is impaired, which is not preferable.

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて熱可塑性樹脂を配合することができる。熱可塑性樹脂としては、ポリエステル、ポリアミド、ポリエーテル、ポリイミド、ポリスルフィド、ポリスルフォン、ポリアセタール、ブチラール樹脂、NBR、フェノキシ樹脂、ポリブタジエン、各種エンジニアリング・プラスチック等、公知慣用のものを単独であるいは2種以上組み合わせて使用することができる。   The thermosetting resin composition of the present invention can further contain a thermoplastic resin as necessary. As thermoplastic resins, polyesters, polyamides, polyethers, polyimides, polysulfides, polysulfones, polyacetals, butyral resins, NBR, phenoxy resins, polybutadienes, various engineering plastics, etc. can be used alone or in combination of two or more. Can be used.

これらの熱可塑性樹脂は、樹脂組成物中のエポキシ樹脂が硬化した後、均一に分散するか、もしくは相分離するに拘らず、室温の状態では樹脂組成物中に均一に分散又は溶解するものが好ましい。これらの熱可塑性樹脂は、コーティング時のはじき防止や転写性の改善に寄与してコーティングの厚膜化に効果があり、また強靭性の付与、柔軟性の付与、硬化収縮の低減による基材のそり防止に効果がある。さらに加熱ラミネート時やレベリング時の溶融粘度を高くすることができ、成形後の樹脂染み出し量のコントロールに有効である。   These thermoplastic resins may be uniformly dispersed or dissolved in the resin composition at room temperature regardless of whether the epoxy resin in the resin composition is cured and then uniformly dispersed or phase-separated. preferable. These thermoplastic resins contribute to the prevention of repelling during coating and the improvement of transferability, and are effective in increasing the thickness of the coating. Effective for preventing warping. Furthermore, the melt viscosity at the time of heat lamination and leveling can be increased, which is effective in controlling the amount of resin oozing after molding.

熱可塑性樹脂は、全組成物の50%以下の割合で配合することが好ましい。50%を超える量を配合すると、加熱ラミネート時やレベリング時に塗膜の溶融粘度が高くなりすぎたり、組成物の状態で分離を生じる場合がある。   The thermoplastic resin is preferably blended at a ratio of 50% or less of the total composition. If the amount exceeds 50%, the melt viscosity of the coating film may become too high during heating lamination or leveling, or separation may occur in the composition state.

本発明の熱硬化性樹脂組成物は、さらに硬化物の密着性、機械的強度、線膨張係数などの特性を向上させる目的で、無機充填材を配合することができる。例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素粉、微粉状酸化ケイ素、シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、雲母粉などの公知慣用の無機充填材を単独で又は複数組み合わせて使用できる。そして、その配合比率は樹脂組成物の0〜90質量%が適当である。また、ここで用いる無機充填材の粒径は、95%以上の粒子が3μm以下のものであることが望ましく、さらに好ましくは2μm以下のものであり、さらに球状のシリカが最適である。   The thermosetting resin composition of the present invention can be blended with an inorganic filler for the purpose of further improving properties such as adhesion of the cured product, mechanical strength, and linear expansion coefficient. For example, known and commonly used inorganic fillers such as barium sulfate, barium titanate, silicon oxide powder, finely divided silicon oxide, silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, mica powder alone Or it can be used in combination. And the blending ratio is suitably 0 to 90% by mass of the resin composition. The particle size of the inorganic filler used here is desirably 95% or more of particles of 3 μm or less, more preferably 2 μm or less, and spherical silica is most suitable.

ここで、これら無機充填材添加の効果について説明すると、本発明者らの検討の結果、これら無機充填材はデスミヤ時の表面の凹凸形成の助剤になっていることが明らかになった。すなわち、本発明の熱硬化性樹脂組成物の硬化塗膜をデスミヤ液で粗化したとき、樹脂だけでなくこれら無機充填材も同時に粗化され、導体めっき層に対するアンカー効果として作用する。これは、これら無機充填材粒子がデスミヤ処理により塗膜から脱落するためと考えられる。そこでこれら無機充填材の粒径が重要になり、3μm以上の粒径の粒子が多いと粗化のプロファイルに大きな穴があいた状態になり、めっきの未着の原因になったり、回路形成の妨げになったりするので好ましくないことがわかった。また、成分の観点では誘電率の低いシリカが好ましく、形状では破砕タイプよりも球状タイプの方が塗膜から脱落し易かったり、粗化面の形状が安定しているためアンカー効果が大きく、よりピール強度が高くなるので好ましい。   Here, the effects of the addition of these inorganic fillers will be described. As a result of the study by the present inventors, it has been clarified that these inorganic fillers are an auxiliary agent for forming irregularities on the surface during desmearing. That is, when the cured coating film of the thermosetting resin composition of the present invention is roughened with a desmear liquid, not only the resin but also these inorganic fillers are simultaneously roughened and act as an anchor effect for the conductor plating layer. This is considered because these inorganic filler particles fall off from the coating film by desmear treatment. Therefore, the particle size of these inorganic fillers is important, and if there are many particles with a particle size of 3 μm or more, there will be a large hole in the roughening profile, which may cause the plating to be unattached or hinder circuit formation. It turned out that it was not preferable. In addition, silica with a low dielectric constant is preferable from the viewpoint of the component, and the spherical type is easier to drop off from the coating film than the crushed type, or the roughened surface has a stable shape, so the anchor effect is greater. It is preferable because the peel strength is increased.

また、本発明の熱硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラック等の公知慣用の着色剤、アスベスト、オルベン、ベントン、微紛シリカ等の公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤及び/又はレベリング剤、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤、チタネート系、アルミニウム系の公知慣用の添加剤類を配合することができる。   In addition, the thermosetting resin composition of the present invention may be a known and commonly used phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodin green, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, naphthalene black or the like, if necessary. Colorants, asbestos, olben, benton, finely-known silica thickeners, silicone-based, fluorine-based, polymer-based antifoaming agents and / or leveling agents, thiazole-based, triazole-based, silane couplings Adhesiveness-imparting agents such as agents, titanate-based and aluminum-based known conventional additives can be blended.

本発明の多層プリント配線板の層間絶縁材用接着フィルムは、ベースフィルムを支持体として、所定の有機溶剤に溶解した樹脂ワニスを塗布後、加熱及び/又は熱風吹き付けにより溶剤を乾燥させ、常温固形の樹脂組成物として製膜し、作製することができる。このとき、本接着フィルムの樹脂塗膜は、その半硬化状態において150℃のゲルタイムが20秒以上になるように調整したものが好ましい。半硬化状態のゲルタイムが19秒以下もしくは存在しない場合、内層回路への樹脂の追随性がなく、ボイドが発生し易くなる。   The adhesive film for an interlayer insulating material of the multilayer printed wiring board of the present invention is a solid-state solid at room temperature by drying a solvent by heating and / or hot air spraying after applying a resin varnish dissolved in a predetermined organic solvent using a base film as a support. The resin composition can be formed into a film. At this time, the resin coating film of the present adhesive film is preferably adjusted so that the gel time at 150 ° C. is 20 seconds or longer in the semi-cured state. If the gel time in the semi-cured state is 19 seconds or less or does not exist, the resin does not follow the inner layer circuit and voids are likely to occur.

支持ベースフィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリカーボネート、さらにはシリコンフィルムなどが挙げられる。特に好ましいものは、つぶ等、欠損がなく、寸法精度に優れ、コスト的にも優れるポリエチレンテレフタレートである。支持ベースフィルムの厚さとしては、10〜50μmが好ましい。10μm未満の厚さの場合、支持体としての強度がなく、ハンドリングに問題があり、一方、50μmを超える場合、ラミネート時に熱伝導のむらが生じ、ラミネート不良を起こすので好ましくない。なお、支持ベースフィルムには、マッド処理、コロナ処理の他、離型処理を施してあってもよい。   Examples of the supporting base film include polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polyesters such as polyethylene terephthalate, polycarbonates, and silicon films. Particularly preferred is polyethylene terephthalate which is free from defects such as crushing, has excellent dimensional accuracy, and is excellent in cost. As thickness of a support base film, 10-50 micrometers is preferable. When the thickness is less than 10 μm, there is no strength as a support and there is a problem in handling. On the other hand, when the thickness exceeds 50 μm, uneven heat conduction occurs during lamination, resulting in poor lamination. The support base film may be subjected to a release treatment in addition to the mud treatment and the corona treatment.

有機溶剤としては、通常の溶剤、例えばアセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類、セロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、カルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素の他、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドンなどを単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。なお、本発明の接着フィルムには、残留有機溶剤(150℃に保持された乾燥機中にて30分乾燥した時の、乾燥前後の重量減少率で規定)が存在しても、ラミネート後や硬化後にボイドの発生等プリント基板としての特性が損なわれない範囲であれば問題が無い。一般的には10質量%以下である。   Examples of organic solvents include ordinary solvents such as ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and cyclohexanone, acetates such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and carbitol acetate, and cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve. , Carbitols such as carbitol and butyl carbitol, aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene, dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, etc., alone or in combination of two or more. Can do. In the adhesive film of the present invention, even if there is a residual organic solvent (specified by the weight reduction rate before and after drying when dried in a dryer maintained at 150 ° C. for 30 minutes) There is no problem as long as the characteristics as a printed circuit board such as generation of voids are not impaired after curing. Generally, it is 10 mass% or less.

上記のようにして製膜された膜の厚さは、ラミネートされる内層回路基板の導体厚さ以上で、内層回路パターンの残銅率、板厚、スルホール径、表面ビアホール径、穴数と絶縁層厚さの設定値により異なるが、10〜120μmの範囲であるのが一般的である。板厚が厚く、スルーホールの樹脂充填容積が大きい場合には、厚めの膜厚が必要になる。このようにして得られる常温固形の樹脂組成物からなる膜と支持ベースフィルムとからなる本発明の接着フィルムは、そのまま又は膜の他の面に保護フィルムをさらに積層し、ロール状に巻きとって貯蔵される。保護フィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、などが挙げられるが、コストの面ではポリオレフィン系が好ましく、中でもつぶや欠損の少ないポリプロピレンが特に好ましい。また、保護フィルムの厚さとしては5〜50μmが一般的である。なお、保護フィルムにはマッド処理、エンボス加工の他、離型処理が施してあってもよい。   The thickness of the film formed as described above is equal to or greater than the conductor thickness of the inner layer circuit board to be laminated, and the remaining copper ratio, plate thickness, through hole diameter, surface via hole diameter, number of holes and insulation of the inner layer circuit pattern are insulated. Although it differs depending on the set value of the layer thickness, it is generally in the range of 10 to 120 μm. When the plate is thick and the resin filling volume of the through hole is large, a thicker film is required. The adhesive film of the present invention consisting of a film composed of a normal temperature solid resin composition and a support base film thus obtained is laminated as it is or with a protective film further laminated on the other surface of the film, and wound into a roll. Stored. Examples of the protective film include polyolefins such as polyethylene and polypropylene, polyesters such as polyethylene terephthalate, and the like. From the viewpoint of cost, a polyolefin film is preferable, and polypropylene with less crushing and chipping is particularly preferable. Moreover, as thickness of a protective film, 5-50 micrometers is common. In addition, the protective film may be subjected to a mold release process in addition to the mud process and the embossing process.

以下に本発明に用いるイミド樹脂の合成例、それを用いた実施例、比較例及び試験例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、以下において「部」及び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。   Examples of the synthesis of imide resins used in the present invention, examples using them, comparative examples and test examples will be described in detail below, but the present invention is not limited to the following examples. Of course. In the following, “parts” and “%” are based on mass unless otherwise specified.

合成例1
攪拌装置、温度計、コンデンサーを取り付けた20リットルのフラスコに、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート(以下、EDGAと略記する。)4951部と、イソホロンジイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート(以下、IPDI−Nと略記する。イソシアネート基含有率18.2%、イソシアヌレート環含有トリイソシアネート含有率85%)2760部(イソシアネート基として12モル)と、ポリテールHA〔三菱化学(株)製の両末端に水酸基を有する水素添加液状ポリブタジエン、数平均分子量2,100、水酸基価51.2mgKOH/g〕2191部(水酸基として2モル)を仕込み、攪拌を行ないながら発熱に注意して80℃に昇温した後、3時間反応を行なった。次いで、さらにEDGA1536部と無水トリメリット酸(以下、TMAと略記する。)1536部(8モル)を仕込み、160℃まで昇温した後、4時間反応させた。反応は発泡とともに進行した。系内は薄茶色のクリアな液体となり、ポリイミド樹脂の溶液を得た。
Synthesis example 1
In a 20-liter flask equipped with a stirrer, a thermometer, and a condenser, 4951 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate (hereinafter abbreviated as EDGA) and a polyisocyanate having an isocyanurate ring derived from isophorone diisocyanate (hereinafter referred to as EDGA) IPDI-N is abbreviated as IPDI-N, has an isocyanate group content of 18.2%, an isocyanurate ring-containing triisocyanate content of 85%, 2760 parts (12 moles as an isocyanate group), and polytail HA (both ends manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation). Was charged with hydrogenated liquid polybutadiene having a hydroxyl group, number average molecular weight 2,100, hydroxyl value 51.2 mgKOH / g] 2191 parts (2 moles as a hydroxyl group), and heated to 80 ° C. while taking care of heat generation while stirring. After 3 hours reaction Subsequently, 1536 parts of EDGA and 1536 parts (8 mol) of trimellitic anhydride (hereinafter abbreviated as TMA) were charged, and the temperature was raised to 160 ° C., followed by reaction for 4 hours. The reaction proceeded with foaming. The system became a light brown clear liquid, and a polyimide resin solution was obtained.

得られたポリイミド樹脂溶液をKBr板に塗装し、溶剤を揮発させた試料の赤外線吸収スペクトルを測定した結果、イソシアネート基の特性吸収である2270cm−1が完全に消滅し、725cm−1と1780cm−1と1720cm−1にイミド環の吸収、1690cm−1と1460cm−1にイソシアヌレート環の特性吸収、1550cm−1にウレタン結合の特性吸収が確認された。また、ポリイミド樹脂の酸価は固形分換算で79mgKOH/g、イソシアヌレート環の濃度は0.66ミリモル/g(樹脂固形分換算)、数平均分子量(以下、Mnと略記する。)は5,900、重量平均分子量(以下、Mwと略記する。)は24,000であった。以下、このポリイミド樹脂溶液を(X−1)と略記する。 The obtained polyimide resin solution was coated on a KBr plate and the infrared absorption spectrum of the sample in which the solvent was volatilized was measured. As a result, 2270 cm −1, which is the characteristic absorption of the isocyanate group, disappeared completely, and 725 cm −1 and 1780 cm absorption of the imide ring 1 and 1720 cm -1, characteristic absorption of isocyanurate ring at 1690 cm -1 and 1460 cm -1, characteristic absorption of the urethane bond at 1550 cm -1. The acid value of the polyimide resin is 79 mgKOH / g in terms of solid content, the concentration of the isocyanurate ring is 0.66 mmol / g (in terms of resin solid content), and the number average molecular weight (hereinafter abbreviated as Mn) is 5. The weight average molecular weight (hereinafter abbreviated as Mw) was 24,000. Hereinafter, this polyimide resin solution is abbreviated as (X-1).

合成例2
攪拌装置、温度計、コンデンサーを取り付けた20リットルのフラスコに、EDGA4300部と、IPDI−N2070部(イソシアネート基として9モル)と、1,6−ヘキサンジイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート(イソシアネート基の含有率22.9%、イソシアヌレート環含有トリイソシアネート含有率63.3%)550部(イソシアネート基として3モル)を仕込み、混合して均一とした後、ポリテールHA2191部(水酸基として2モル)を加えて攪拌を行ないながら発熱に注意して80℃に昇温した後、3時間反応を行なった。次いで、TMA1536部(8モル)を仕込み、160℃まで昇温した後、4時間反応させた。この際の反応は、発泡とともに進行し、粘度が高くなり、系内が攪拌しにくくなったときに、さらにEDGA2000部を加えて行なった。系内は薄茶色のクリアな液体となり、ポリイミド樹脂の溶液を得た。
Synthesis example 2
Polyisocyanate having an isocyanurate ring derived from 1,6-hexanediisocyanate in 4300 parts of EDGA, 2070 parts of IPDI-N (9 mol as isocyanate group), in a 20-liter flask equipped with a stirrer, a thermometer and a condenser (Isocyanate group content 22.9%, isocyanurate ring-containing triisocyanate content 63.3%) 550 parts (3 moles as isocyanate groups) were charged and mixed to make uniform, then 2191 parts of polytail HA (as hydroxyl groups) 2 mol) was added and the temperature was raised to 80 ° C. while paying attention to heat generation while stirring, and the reaction was carried out for 3 hours. Next, 1536 parts (8 mol) of TMA was charged, and the temperature was raised to 160 ° C., followed by reaction for 4 hours. The reaction at this time proceeded with foaming, and when the viscosity increased and the system became difficult to stir, 2000 parts of EDGA was further added. The system became a light brown clear liquid, and a polyimide resin solution was obtained.

得られたポリイミド樹脂溶液を用いて合成例1と同様に赤外線吸収スペクトルを測定した結果、イソシアネート基の特性吸収である2270cm−1が完全に消滅し、725cm−1と1780cm−1と1720cm−1にイミド環の吸収、1690cm−1と1460cm−1にイソシアヌレート環の特性吸収、1550cm−1にウレタン結合の特性吸収が確認された。さらに、また、ポリイミド樹脂の酸価は固形分換算で85mgKOH/g、イソシアヌレート環の濃度は0.68ミリモル/g、Mnは5,500、Mwは22,000であった。以下、このポリイミド樹脂溶液を(X−2)と略記する。 As a result of measuring an infrared absorption spectrum in the same manner as in Synthesis Example 1 using the obtained polyimide resin solution, 2270 cm −1, which is the characteristic absorption of the isocyanate group, disappeared completely, and 725 cm −1 , 1780 cm −1 and 1720 cm −1. absorption of an imide ring, characteristic absorption of isocyanurate ring at 1690 cm -1 and 1460 cm -1, characteristic absorption of the urethane bond to 1550 cm -1 was confirmed on. Furthermore, the acid value of the polyimide resin was 85 mgKOH / g in terms of solid content, the concentration of the isocyanurate ring was 0.68 mmol / g, Mn was 5,500, and Mw was 22,000. Hereinafter, this polyimide resin solution is abbreviated as (X-2).

合成例3
攪拌装置、温度計、コンデンサーを取り付けた20リットルのフラスコに、EDGA 5310部と、IPDI−N 1380部(イソシアネート基として6モル)と、ノルボヌレンジイソシアネートから誘導されるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート(イソシアネート基含有率18.75%、イソシアヌレート環含有トリイソシアネート含有率65.5%)1344部(イソシアネート基として6モル)を仕込み、80℃で加熱溶解させ、ポリテールHA2191部(水酸基2モル)をさらに仕込み、攪拌を行ないながら80℃にて5時間反応を行なった後、TMA1536部(8モル)を仕込み、170℃まで昇温した後、4時間反応させた。反応は発泡とともに進行した。系内は薄茶色のクリアな液体となり、ポリイミド樹脂の溶液が得られた。
Synthesis example 3
Polyisocyanate having an isocyanurate ring derived from norbornylene diisocyanate in 5310 parts of EDGA, 1380 parts of IPDI-N (6 mol as isocyanate group), in a 20-liter flask equipped with a stirrer, a thermometer and a condenser (Isocyanate group content: 18.75%, isocyanurate ring-containing triisocyanate content: 65.5%) 1344 parts (6 moles as isocyanate groups) were charged and dissolved by heating at 80 ° C., and polytail HA 2191 parts (hydroxyl groups 2 moles) Was added, and the reaction was carried out at 80 ° C. for 5 hours while stirring. Then, 1536 parts (8 mol) of TMA was added, and the temperature was raised to 170 ° C., followed by reaction for 4 hours. The reaction proceeded with foaming. The inside of the system became a light brown clear liquid, and a polyimide resin solution was obtained.

得られたポリイミド樹脂溶液を用いて合成例1と同様に赤外線吸収スペクトルを測定した結果、イソシアネート基の特性吸収である2270cm−1が完全に消滅し、725cm−1と1780cm−1と1720cm−1にイミド環の吸収、1690cm−1と1460cm−1にイソシアヌレート環の特性吸収、1550cm−1にウレタン結合の特性吸収が確認された。また、ポリイミド樹脂の酸価は固形分換算で75mgKOH/g、イソシアヌレート環の濃度は0.72ミリモル/g、Mnは4,400、Mwは21,000であった。以下、このポリイミド樹脂溶液を(X−3)と略記する。 As a result of measuring an infrared absorption spectrum in the same manner as in Synthesis Example 1 using the obtained polyimide resin solution, 2270 cm −1, which is the characteristic absorption of the isocyanate group, disappeared completely, and 725 cm −1 , 1780 cm −1 and 1720 cm −1. absorption of an imide ring, characteristic absorption of isocyanurate ring at 1690 cm -1 and 1460 cm -1, characteristic absorption of the urethane bond to 1550 cm -1 was confirmed on. The acid value of the polyimide resin was 75 mgKOH / g in terms of solid content, the concentration of the isocyanurate ring was 0.72 mmol / g, Mn was 4,400, and Mw was 21,000. Hereinafter, this polyimide resin solution is abbreviated as (X-3).

実施例1〜8及び比較例1、2
表1に示す配合成分に対し、有機溶剤としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、さらに微紛シリカであるアエロジル#972を加えて、3本ロールミルにて混練分散し、粘度40dPa・s±10dPa・s(回転粘度計5rpm、25℃)に調整した熱硬化性樹脂組成物を得た。得られた熱硬化性樹脂組成物のチキソトロピックインデックス(TI値)は、すべて1.2〜2.0の範囲内であった。
Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2
To the blending components shown in Table 1, propylene glycol monomethyl ether acetate as an organic solvent and Aerosil # 972, which is fine silica, are added and kneaded and dispersed in a three-roll mill, and the viscosity is 40 dPa · s ± 10 dPa · s (rotation) A thermosetting resin composition adjusted to a viscometer of 5 rpm at 25 ° C. was obtained. The thixotropic index (TI value) of the obtained thermosetting resin composition was all in the range of 1.2 to 2.0.

Figure 0005214106
Figure 0005214106

実施例9〜18及び比較例3、4
前記実施例1〜8及び比較例1、2で得られた熱硬化性樹脂組成物(但し、2PHZ(2−フェニルヒドロキシエチルイミダゾール、四国化成工業社製)に代えて、1B2PZ(1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、四国化成工業社製)を用いた)をそれぞれ、ロールコーターを用いて、フィルムの膜厚が50μmになるようにPETフィルム(東レ株式会社製、ルミラー38R75:38μm)に塗布し、40〜120℃で乾燥して接着フィルムを得た。このとき150℃におけるゲル化タイムはすべてのサンプルにおいて20秒から120秒の範囲内であった。
Examples 9 to 18 and Comparative Examples 3 and 4
The thermosetting resin compositions obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2 (however, instead of 2PHZ (2-phenylhydroxyethylimidazole, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co.), 1B2PZ (1-benzyl- 2-phenylimidazole (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.)) was applied to a PET film (Toray Co., Ltd., Lumirror 38R75: 38 μm) using a roll coater so that the film thickness was 50 μm. And dried at 40 to 120 ° C. to obtain an adhesive film. At this time, the gelation time at 150 ° C. was in the range of 20 to 120 seconds for all samples.

試験例1
前記実施例1〜8及び比較例1、2で得られた熱硬化性樹脂組成物をそれぞれ、銅箔(35μm)にスクリーン印刷し、110℃で30分乾燥し、次いで150℃×30分さらに170℃×30分の条件で最終硬化させた。この試料の銅箔をエッチングし、それぞれの硬化皮膜として物性を測定した。結果を表2に示す。
Test example 1
The thermosetting resin compositions obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2 were each screen-printed on copper foil (35 μm), dried at 110 ° C. for 30 minutes, and then 150 ° C. × 30 minutes. Final curing was performed at 170 ° C. for 30 minutes. The copper foil of this sample was etched, and the physical properties of each cured film were measured. The results are shown in Table 2.

試験例2
前記実施例1〜8及び比較例1、2で得られた熱硬化性樹脂組成物をそれぞれ、1000μmの溝ピッチを有するウレタンゴム製ロールを備えた垂直吊り上げ式ロールコーター(ファーネス社製)を用いて、銅箔18μm厚のガラスエポキシ両面銅張積層板から内層回路を形成し、さらにエッチボンド(メック社製)処理した基板の両面に同時に塗布し、次いで110℃で乾燥し、絶縁層となる乾燥塗膜を形成した。
Test example 2
Each of the thermosetting resin compositions obtained in Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 and 2 was used with a vertical lifting roll coater (manufactured by Furnace) provided with a urethane rubber roll having a groove pitch of 1000 μm. Then, an inner layer circuit is formed from a glass epoxy double-sided copper-clad laminate having a thickness of 18 μm and is simultaneously applied to both sides of a substrate that has been subjected to an etch bond (manufactured by MEC), and then dried at 110 ° C. to form an insulating layer A dry coating was formed.

次に、前述したプリント配線板の製造方法の第一の形態に従い、乾燥後の基板を150℃で30分間熱風循環式乾燥炉にて最終硬化させ、COレーザー(三菱電機社製)を用いて穴加工を行なった。次いで、汎用公知の薬品を用いてデスミヤ処理、無電解銅めっき、電解銅めっきを施し、パネルめっき法にて回路形成してプリント配線板を得た。得られたプリント配線板は水分の除去や銅めっきのアニールの目的で170℃で30分熱処理した。 Next, according to the first embodiment of the printed wiring board manufacturing method described above, the dried substrate is finally cured in a hot air circulation drying furnace at 150 ° C. for 30 minutes, and a CO 2 laser (manufactured by Mitsubishi Electric Corporation) is used. The hole was drilled. Next, desmear treatment, electroless copper plating, and electrolytic copper plating were performed using a general-purpose chemical, and a circuit was formed by a panel plating method to obtain a printed wiring board. The obtained printed wiring board was heat-treated at 170 ° C. for 30 minutes for the purpose of removing moisture and annealing copper plating.

このようにして作製したプリント配線板について、以下の物性及び特性を評価した。結果を表3に示す。   The following physical properties and characteristics of the printed wiring board thus produced were evaluated. The results are shown in Table 3.

Figure 0005214106
Figure 0005214106

Figure 0005214106
上記表2及び表3中の各物性及び特性は、以下のようにして測定・評価した。
Figure 0005214106
The physical properties and characteristics shown in Tables 2 and 3 were measured and evaluated as follows.

(a)ガラス転移温度Tg:
TMA(熱機械分析)により測定した。
(A) Glass transition temperature Tg:
It was measured by TMA (thermomechanical analysis).

(b)CTEα1(Tg以下の線膨張係数):
TMAにより測定した。
(B) CTEα1 (linear expansion coefficient equal to or less than Tg):
Measured by TMA.

(c)誘電率Dk及び誘電正接Df:
JIS K6911に従って測定した。
(C) Dielectric constant Dk and dielectric loss tangent Df:
It measured according to JIS K6911.

(d)吸水率
硬化皮膜を23℃±2℃に管理された蒸留水に浸漬し、24時間後の質量変化より求めた。
(D) Water absorption rate The cured film was immersed in distilled water controlled at 23 ° C. ± 2 ° C., and obtained from the mass change after 24 hours.

(e)ピール強度:
JIS C6481に従って測定した。
(E) Peel strength:
It measured according to JIS C6481.

(f)はんだ耐熱性:
288℃±3℃のはんだ層に、完成したプリント配線板(10cm×10cm)を10秒間浸漬する。この操作を5回繰り返した後、銅箔と樹脂の剥がれを確認した。なお、表3中の符号の意味は以下のとおりである。
OK:剥がれ無し
NG:剥がれ有り
(F) Solder heat resistance:
The completed printed wiring board (10 cm × 10 cm) is immersed in a solder layer at 288 ° C. ± 3 ° C. for 10 seconds. After repeating this operation five times, peeling of the copper foil and the resin was confirmed. In addition, the meaning of the code | symbol in Table 3 is as follows.
OK: no peeling NG: peeling

(g)パターン形成性:
ラインアンドスペース 75μm/75μmの回路の剥がれを目視で検査した。なお、表3中の符号の意味は以下のとおりである。
OK:剥がれ無し
NG:剥がれ有り
(G) Pattern formability:
Line and space The peeling of the 75 μm / 75 μm circuit was visually inspected. In addition, the meaning of the code | symbol in Table 3 is as follows.
OK: no peeling NG: peeling

(h)難燃性:
0.4mmの厚さのFR−4基材に硬化塗膜で80μmになるように両面に絶縁層を形成し、UL−94に従い試験を行なった。なお、表3中の符号の意味は以下のとおりである。
NG:サンプル片の炎がクランプまで達し、UL−94のV0不適合である。
(H) Flame retardancy:
An insulating layer was formed on both sides of a 0.4 mm thick FR-4 base material with a cured coating film to a thickness of 80 μm, and the test was conducted according to UL-94. In addition, the meaning of the code | symbol in Table 3 is as follows.
NG: The flame of the sample piece reaches the clamp, and is UL-94 V0 non-conformity.

試験例3
前記実施例1〜8の基板作成において、ポストキュアー後に#320相当と#600相当のバフ研磨を2回繰り返した以外は同様に作成した基板の特性はほぼ上記と同様で、さらに内層回路の凹凸に伴う基板表面の凹凸が減少していることが確認された。
Test example 3
In the production of the substrates of Examples 1 to 8, the characteristics of the substrates produced in the same manner except that the buff polishing equivalent to # 320 and # 600 was repeated twice after post-curing, and the unevenness of the inner layer circuit was further similar to the above. It was confirmed that the unevenness of the substrate surface due to the decrease.

試験例4
前記実施例1〜8の基板作成においてパネルめっき法をセミアディティブ法に変更して作成した基板の特性はほぼ上記と同等で、さらにライン/スペース=25μm/25μmの回路が形成でき、剥がれが生じていなかった。
Test example 4
The characteristics of the substrate produced by changing the panel plating method to the semi-additive method in the production of the substrates of Examples 1 to 8 are almost the same as described above, and a circuit of line / space = 25 μm / 25 μm can be formed and peeling occurs. It wasn't.

試験例5
次に、前述したプリント配線板の製造方法の第二の形態に従い、前記実施例1、2、5〜8及び比較例1、2の熱硬化性樹脂組成物の乾燥塗膜を形成した基板の両面に18μm厚の銅箔(ジャパンエナジー社製)を重ね、真空ラミネーター(MEIKI社製、MVLP−500)を用い、5kgf/cm、150℃、1分、1Torrの条件にて加熱ラミネートし、次いで熱板プレス機で10kgf/cm、150℃、1分の条件にてレベリングした後、熱風循環式乾燥機で170℃×30分の条件にて硬化させ、積層板を作製した。
Test Example 5
Next, according to the second embodiment of the method for producing a printed wiring board described above, the substrate on which the dried coating film of the thermosetting resin composition of Examples 1, 2, 5 to 8 and Comparative Examples 1 and 2 was formed. 18 μm thick copper foil (manufactured by Japan Energy Co., Ltd.) is layered on both sides, and using a vacuum laminator (MEIKI, MVLP-500), heat lamination is performed under the conditions of 5 kgf / cm 2 , 150 ° C., 1 minute, 1 Torr, Next, after leveling with a hot plate press at 10 kgf / cm 2 and 150 ° C. for 1 minute, the plate was cured with a hot air circulating dryer at 170 ° C. for 30 minutes to produce a laminate.

さらに、この積層板の所定のスルーホール部はドリルで穴をあけ、レーザービア部は、まず、穴位置をエッチングレジストを用いて選択的に銅箔を除去してガイドを設け、レーザー加工機により穴明けを行なった。次に、スルーホール部とレーザービア部のスミヤをデスミヤ処理で除去した後、無電解銅めっき及び電解銅めっきにより穴を導通させ、市販のエッチングレジストを介したエッチングによりパターン形成し、多層プリント配線板を作製した。このようにして作製した多層プリント配線板について、前記と同様にピール強度、はんだ耐熱性、パターン形成性、難燃性の各特性を評価した。得られた結果を下記表4に示す。   Furthermore, a predetermined through-hole part of this laminated board is drilled with a drill, and the laser via part is first provided with a guide by selectively removing the copper foil using an etching resist at the hole position, and using a laser processing machine. Drilled a hole. Next, after removing the smear of the through-hole part and the laser via part by desmear treatment, the hole is made conductive by electroless copper plating and electrolytic copper plating, and pattern formation is performed by etching through a commercially available etching resist. A plate was made. With respect to the multilayer printed wiring board produced in this manner, the peel strength, solder heat resistance, pattern formability, and flame retardancy were evaluated in the same manner as described above. The results obtained are shown in Table 4 below.

Figure 0005214106
Figure 0005214106

試験例6
前記実施例9〜18及び比較例3、4で作製した接着フィルムを、35μmの銅箔に真空ラミネーター(MEIKI社製、MVLP−500)を用いて5kgf/cm、140℃、1分、1Torrの条件にて加熱ラミネートし、次いで熱板プレス機で10kgf/cm、150℃、1分の条件にてレベリングした後、熱風循環式乾燥機で150℃×60分さらに170℃×30分の条件で硬化させた。そして、得られたサンプルの銅箔を市販のエッチング液でエッチングし、前記試験例1と同様にして物性の評価を行なった。結果を表5に示す。
Test Example 6
The adhesive films prepared in Examples 9 to 18 and Comparative Examples 3 and 4 were applied to a 35 μm copper foil using a vacuum laminator (MVLP-500, manufactured by MEIKI) at 5 kgf / cm 2 , 140 ° C., 1 minute, 1 Torr. And then leveling under conditions of 10 kgf / cm 2 , 150 ° C. and 1 minute with a hot plate press machine, then 150 ° C. × 60 minutes with a hot air circulating dryer and 170 ° C. × 30 minutes. Cured under conditions. And the copper foil of the obtained sample was etched with the commercially available etching liquid, and the physical property was evaluated like the said test example 1. FIG. The results are shown in Table 5.

Figure 0005214106
Figure 0005214106

試験例7
次に、前述したプリント配線板の製造方法の第一の形態に従い、前記実施例9〜18及び比較例3、4で作製した接着フィルムを、銅箔18μm厚のガラスエポキシ両面銅張積層板から内層回路を形成し、さらにエッチボンド(メック社製)処理した基板の両面に、真空ラミネーター(MEIKI社製、MVLP−500)を用い、5kgf/cm、140℃、1分、1Torrの条件にて加熱ラミネートし、次いで熱板プレス機で10kgf/cm、150℃、1分の条件にてレベリングした後、熱風循環式乾燥機で150℃×60分の条件にて硬化させ、積層板を作製した。
Test Example 7
Next, according to the first embodiment of the method for producing a printed wiring board described above, the adhesive films prepared in Examples 9 to 18 and Comparative Examples 3 and 4 were formed from a glass epoxy double-sided copper-clad laminate having a copper foil thickness of 18 μm. Using a vacuum laminator (MELPI, MVLP-500) on both sides of the substrate on which the inner layer circuit was formed and further treated with etch bonding (MEC), the conditions were 5 kgf / cm 2 , 140 ° C., 1 minute, 1 Torr. After heating and laminating, and leveling with a hot plate press at 10 kgf / cm 2 and 150 ° C. for 1 minute, the laminate is cured with a hot air circulation dryer at 150 ° C. for 60 minutes. Produced.

さらに、この積層板の所定のスルーホール部、ビアホール部等にドリルとレーザーにより穴明けを行ない、次いで汎用公知の薬品を用いてデスミヤ処理と表面の凹凸形成を行なった。次に、無電解銅めっき及び電解銅めっきにより全面と穴部を導通させた後、水分の除去や銅めっきのアニールの目的で、170℃で30分熱処理した後、市販のエッチングレジストを介したエッチングによりパターンを形成し、多層プリント配線板を作製した。   Further, predetermined through-hole portions, via-hole portions and the like of this laminated plate were drilled with a drill and a laser, and then desmear treatment and surface unevenness formation were performed using a general-purpose chemical. Next, after the entire surface and the hole are made conductive by electroless copper plating and electrolytic copper plating, heat treatment is performed at 170 ° C. for 30 minutes for the purpose of moisture removal and copper plating annealing, and then through a commercially available etching resist. A pattern was formed by etching to produce a multilayer printed wiring board.

このようにして作製した多層プリント配線板について、前記試験例2と同様にして表6に示す物性及び特性について試験・評価した。結果を表6に示す。   The multilayer printed wiring board thus produced was tested and evaluated for the physical properties and characteristics shown in Table 6 in the same manner as in Test Example 2. The results are shown in Table 6.

Figure 0005214106
Figure 0005214106

試験例8
前記実施例9〜18の基板作製においてパネルめっき法をセミアディティブ法に変更して作製した基板の特性はほぼ上記と同等で、さらにライン/スペース=25μm/25μmの回路が形成でき、剥がれが生じていなかった。
Test Example 8
In the production of the substrates of Examples 9 to 18, the characteristics of the substrate produced by changing the panel plating method to the semi-additive method are almost the same as described above, and furthermore, a circuit of line / space = 25 μm / 25 μm can be formed, and peeling occurs. It wasn't.

試験例9
次に、前述したプリント配線板の製造方法の第一の形態に従い、前記実施例9〜11、15〜18及び比較例3、4で作製した接着フィルムをラミネートした積層板の支持フィルムを剥離し、18μm厚の銅箔(ジャパンエナジー社製JTC−AM)を重ね、真空ラミネーター(MEIKI社製、MVLP−500)を用い、5kgf/cm、150℃、1分、1Torrの条件にて加熱ラミネートし、次いで熱板プレス機で10kgf/cm、150℃、1分の条件にてレベリングした後、熱風循環式乾燥機で170℃×30分の条件にて硬化させ、積層板を作製した。
Test Example 9
Next, according to the first aspect of the method for manufacturing a printed wiring board described above, the support film of the laminated board laminated with the adhesive films prepared in Examples 9 to 11 and 15 to 18 and Comparative Examples 3 and 4 is peeled off. , 18 μm thick copper foil (JTC-AM, manufactured by Japan Energy Co., Ltd.), and laminating using a vacuum laminator (MELPI, MVLP-500) at 5 kgf / cm 2 , 150 ° C., 1 minute, 1 Torr. Then, after leveling with a hot plate press at 10 kgf / cm 2 and 150 ° C. for 1 minute, the plate was cured with a hot air circulation dryer at 170 ° C. for 30 minutes to produce a laminate.

さらに、この積層板の所定のスルーホール部はドリルで穴をあけ、レーザービア部は、まず穴位置をエッチングレジストを用いて選択的に銅箔を除去してガイドを設け、レーザー加工機により穴明けを行なった。次に、スルーホール部とレーザービア部のスミヤをデスミヤ処理して除去した後、無電解銅めっき及び電解銅めっきにより穴部を導通させ、市販のエッチングレジストを介したエッチングによりパターンを形成し、多層プリント配線板を作製した。このようにして作製した多層プリント配線板について、前記と同様にピール強度、はんだ耐熱性、パターン形成性、難燃性の各特性を評価した。得られた結果を下記表7に示す。   Furthermore, a predetermined through hole portion of this laminated board is drilled with a drill, and the laser via portion is first provided with a guide by selectively removing the copper foil using an etching resist at the hole position, and a laser processing machine is used to provide a hole. Dawned. Next, after removing the smear of the through-hole part and the laser via part by desmear treatment, the hole part is made conductive by electroless copper plating and electrolytic copper plating, and a pattern is formed by etching through a commercially available etching resist, A multilayer printed wiring board was produced. With respect to the multilayer printed wiring board produced in this manner, the peel strength, solder heat resistance, pattern formability, and flame retardancy were evaluated in the same manner as described above. The obtained results are shown in Table 7 below.

Figure 0005214106
Figure 0005214106

本発明の熱硬化性樹脂組成物及びそれを用いて作製された熱硬化性接着フィルムは、多層プリント配線板、特に、導体回路層と絶縁樹脂層とを交互に積み上げてなるビルドアップ方式の多層プリント配線板の層間絶縁樹脂層の形成に有用である。   The thermosetting resin composition of the present invention and the thermosetting adhesive film produced using the same are multilayer printed wiring boards, in particular, a build-up type multilayer in which conductor circuit layers and insulating resin layers are alternately stacked. This is useful for forming an interlayer insulating resin layer of a printed wiring board.

Claims (5)

支持体ベースフィルム上に、(A)カルボキシル基又は酸無水物基を有し、かつ、数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造と、ウレタン結合と、イミド環と、イソシアヌレート環とを有するポリイミド樹脂、(B)エポキシ樹脂、及びエポキシ樹脂硬化剤としての2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、ビス(2−エチル−4−メチル−イミダゾール)、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシメチルイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール、トリアジン付加型イミダゾールよりなる群から選ばれたイミダゾール化合物を必須成分として含有する熱硬化性樹脂組成物からなる膜が半硬化状態で形成されていることを特徴とする熱硬化性接着フィルム。 On the support base film, (A) a linear hydrocarbon structure having a carboxyl group or an acid anhydride group and having a number average molecular weight of 700 to 4,500, a urethane bond, an imide ring, and an isocyanurate ring (B) epoxy resin, and 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, bis (2 -Ethyl-4-methyl-imidazole), 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, and an imidazole compound selected from the group consisting of triazine-added imidazole. A film made of a thermosetting resin composition contained as an essential component is in a semi-cured state Thermosetting adhesive film, characterized by being made. 前記ポリイミド樹脂(A)が、下記一般式(1)で示される構造単位と下記一般式(2)で示される構造単位を有し、かつ、下記一般式(3)、(4)及び(5)で示される末端構造のいずれか1種以上を有するポリイミド樹脂であることを特徴とする請求項に記載の熱硬化性接着フィルム。
Figure 0005214106
The polyimide resin (A) has a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2), and the following general formulas (3), (4) and (5) The thermosetting adhesive film according to claim 1 , wherein the thermosetting adhesive film is a polyimide resin having any one or more of terminal structures represented by the formula:
Figure 0005214106
前記ポリイミド樹脂(A)が、酸価20〜150mgKOH/gのポリイミド樹脂であって、かつ、ポリイミド樹脂(A)とエポキシ樹脂(B)との質量比(A)/(B)が0.1〜10であることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱硬化性接着フィルム。 The polyimide resin (A) is a polyimide resin having an acid value of 20 to 150 mgKOH / g, and the mass ratio (A) / (B) between the polyimide resin (A) and the epoxy resin (B) is 0.1. The thermosetting adhesive film according to claim 1, wherein the thermosetting adhesive film is 10 or more . 前記熱硬化性樹脂組成物が、さらにフェノール性水酸基を2個以上有する化合物(C)を含有することを特徴とする請求項乃至のいずれか1項に記載の熱硬化性接着フィルム。 The thermosetting adhesive film according to any one of claims 1 to 3 , wherein the thermosetting resin composition further contains a compound (C) having two or more phenolic hydroxyl groups. 請求項乃至のいずれか1項に記載の熱硬化性接着フィルムを用いて層間絶縁樹脂層が形成されていることを特徴とする多層プリント基板。 Multilayer printed circuit board, wherein the thermosetting adhesive film with interlayer insulating resin layer is formed of any one of claims 1 to 4.
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