JP5203222B2 - 圧力センサ不具合検出 - Google Patents
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Description
本発明は、プロセス流体の圧力を測定するために用いられるタイプの圧力センサに関する。特に、本発明は、そのような圧力センサの診断に関する。
を示すことができ、ここで、M1及びM2は、二つの主電極で形成される(あらゆるストレイキャパシタンスを除いた)アクティブキャパシタンスであり、R1及びR2は、中央ダイアフラムに関連して輪電極によって形成されるアクティブキャパシタンス値である。しかしながら、輪電極に近い中央ダイアフラムは、球形(又は放物形)からはずれている。このことは、主電極144、148に比べて、外側電極リング146、150に対しては、aで表わされるゲージ因子が少し異なるという結果をもたらす。
ここで、aは、ゲージ因子、DPは印加された差圧、bはy切片、及び添え字は輪電極又は外部電極、及び主電極を指定する。
Hの初期校正値はH0で表わされ、
で定義される。各々のセンサに対し、aM、aR、bM及びbRは固有の定数である。従って、センサへの物理的な変化を排除すれば、Hの値は、印加された差圧に関係なくほぼ一定である。つまり、数式8のように、
となる。センサがゼロのオフセットを有しないときとは違って、Hが0と評価される場合には、y切片は0であることに注意しよう。しかしながら、実際には、若干のキャビティ深さ及び電極面積の不整合があり、センサの寿命に渡って一定にとどまるが、Hは小さな非零の値となる。
32 プロセス測定システム
33 主要部材
34 インパルス配管
36 プロセス圧力トランスミッタ
38 プロセスループ
40 制御室
42 コンピュータ
44 モデム
46 電圧供給器
52 センサモジュール
54 印加された差圧
56 圧力センサ
58 データ接続
60 センサモジュールエレクトロニクス
62 アナログ・デジタル変換器
63 温度センサ
64 センサモジュールメモリ
66 データバス
72 エレクトロニクスボード
74 マイクロコンピュータシステム
76 エレクトロニクスモジュールメモリ
78 デジタル・アナログ変換器
80 デジタル通信
90 分離ダイアフラム
92 キャビティ
94 インパルス配管
103、104 電気的接続
105 ほぼ非圧縮性の材料
106 ダイアフラム
108、110 電気的接続
114、116 圧力センサの半分
132、134 キャビティ
144、146、148、150 電極
Claims (15)
- 圧力センサのための診断システムであって、
第1及び第2の壁を有し、印加された圧力を受けるように構成されたキャビティと、
前記キャビティ内に配置された偏向可能なダイアフラムであって、
前記ダイアフラムと前記第1の壁とで第1及び第2のキャパシタンスを形成し、
前記ダイアフラムと前記第2の壁とで第3及び第4のキャパシタンスを形成し、
前記第1、第2、第3、及び第4のキャパシタンスは、前記印加された圧力に応じて変化し、
前記第1及び第3のキャパシタンスは、第1の伝達関数を形成し、
前記第2及び第4のキャパシタンスは、第2の伝達関数を形成するように構成されたダイアフラムと、
前記第1及び第2の伝達関数の関数として診断出力を提供するように構成された回路と、を含み、
前記第1の伝達関数は、TF M =a M DP+b M の形をしており、
前記第2の伝達関数は、TF R =a R DP+b R の形をしており、
ここでa M 及びa R はゲージ因子、DPは印加された差圧、b M 及びb R はy切片であり、添え字Mは第1及び第3のキャパシタンス、並びに添え字Rは第2及び第4のキャパシタンスを識別する、圧力センサの診断システム。 - 前記回路は2線式プロセス制御ループを介して前記診断出力を提供するように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記回路は、前記第1及び第2の伝達関数に基づいてキャパシタンス伝達関数Hの現在値を算出する、請求項1記載のシステム。
- 前記回路はさらに、算出された伝達関数Hの現在値を名目値H0と比較するように構成されている、請求項3に記載のシステム。
- 前記診断出力は前記圧力センサの電極の状態を示す、請求項1に記載のシステム。
- 前記診断出力は、ダイアフラムの漏れ、圧力センサの不具合、電極ロス、汚染、電気的接続の切断、配線の損傷からなる診断出力の群を示す、請求項1に記載のシステム。
- 前記偏向可能なダイアフラムの片側の充填流体は、偏向ダイアフラムのもう一方の側の充填流体の誘電率とは異なる誘電率を有する、請求項1に記載のシステム。
- 偏向可能なダイアフラムと、主電極と、輪電極とを有する圧力センサの診断作業の方法であって、
前記圧力センサの第1、第2、第3、及び第4のキャパシタンスを測定し、前記第1及び第3のキャパシタンスは前記主電極と前記ダイアフラムとの間で形成され、前記第2及び第4のキャパシタンスは前記輪電極と前記ダイアフラムとの間で形成され、前記第1及び第3のキャパシタンスは第1の伝達関数を形成し、前記第2及び第4のキャパシタンスは第2の伝達関数を形成し、
測定された前記第1、第2、第3、及び第4のキャパシタンスを基に伝達関数Hの現在値を算出し、
診断出力を提供するために、前記算出された値の変化を基に前記圧力センサの診断作業をし、
前記第1の伝達関数は、
伝達関数Hの現在値と名目値H 0 とを比較することを含む、
圧力センサの診断作業の方法。 - 前記診断出力は、前記偏向可能なダイアフラムの漏れを示す、請求項9の方法。
- 前記算出された値の変化を基に前記診断出力が提供される、請求項9の方法。
- 前記現在値の変化は、前記圧力センサの電極の状態を示す、請求項9に記載の方法。
- この方法のステップをプロセストランスミッタ中のマイクロコンピュータに実装することを含む、請求項9に記載の方法。
- 前記診断作業が、前記偏向可能なダイアフラム中での漏れを検出することを含む、請求項9に記載の方法。
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