JP5189582B2 - Method and apparatus for detecting conductive particulate matter in sheet-like electrical material - Google Patents

Method and apparatus for detecting conductive particulate matter in sheet-like electrical material Download PDF

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Description

本発明は、例えばリチウムイオン電池用セパレータとして用いられている多孔質フィルム内に内在もしくは付着している導電性粒子物質を精度良く検出することができるシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法及びその装置に関するものである。   The present invention relates to a method for detecting a conductive particle substance in a sheet-like electric material capable of accurately detecting a conductive particle substance that is present or adhered in a porous film used as a separator for a lithium ion battery, for example. And an apparatus for the same.

シート状電気材料は、電気機器部品を構成する部材として用いられており、例えば表1に示すような用途の部材として重要視されている。 The sheet-like electric material is used as a member constituting an electric equipment component, and is regarded as important as a member for use as shown in Table 1, for example.

Figure 0005189582
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これらのシート状電気材料は、一般に電気絶縁ならびに補強板として使用され、現今の電子技術進歩に伴って高密度化、高品質化され、高度の絶縁性が要求されている。   These sheet-like electrical materials are generally used as electrical insulation and reinforcing plates, and with the current advancement of electronic technology, they are increased in density and quality, and high insulation is required.

このためシート状電気材料を製造する過程において、例えば、金、銀および鉄などの金属、ステンレス、アルミ、カーボンなどの非鉄金属ならびに各種の金属化合物などの粒子が混入すると電気絶縁性などにおいて重大な問題を生ずることになる。   For this reason, in the process of manufacturing a sheet-like electrical material, for example, when particles such as metals such as gold, silver and iron, non-ferrous metals such as stainless steel, aluminum and carbon and various metal compounds are mixed, it is important in electrical insulation. This will cause problems.

例えば、リチウムイオン電池の事故の場合、セルの不良によるものばかりではなく、電池パック内にある電子回路の不良や電極間のセパレータの損傷があると電解液に金属粒子が流勤し、負極側で再結晶化して短絡する。   For example, in the case of a lithium ion battery accident, not only due to a cell defect, but also due to a defect in the electronic circuit in the battery pack or damage to the separator between the electrodes, the metal particles are mobilized in the electrolyte and the negative electrode side To recrystallize and short circuit.

また、製造設備の環境雰囲気の不備や動的設備の突然的な金属磨耗、過度の振動などが起因して金属微粒子が発生してシート状電気材料の中に混入することによって、使用または充電中に異常な発熱や焼損すると言われている。   Also, during use or charging, metal fine particles are generated and mixed into the sheet-like electrical material due to inadequate environmental atmosphere of manufacturing equipment, sudden metal wear of dynamic equipment, excessive vibration, etc. It is said that there is abnormal heat generation and burning.

このような事態を起こさないようにするために、シート状電気材料を製造する工程で連続的に検知操作を行い、それら導電性粒子物質を確実に検知して除去することが必定である。   In order to prevent such a situation from occurring, it is necessary to perform a detection operation continuously in the process of manufacturing the sheet-like electric material, and to detect and remove these conductive particle substances reliably.

従来から行われている、例えばプリント電子基板の基材となるグラス繊維布に介在する導電性粒子物質を検知する技法として下記などが知られている。
(1)CCDカメラを用いた欠陥画像判別法
(2)X線異物検査法
(3)磁気金属検知法
(4)マイクロ波位相または共振法
これらの技法を比較してみると次の表2に示す通りである。
The following is known as a technique for detecting a conductive particle substance intervening in a glass fiber cloth used as a base material of a printed electronic board, for example.
(1) Defect image discrimination method using a CCD camera (2) X-ray foreign substance inspection method (3) Magnetic metal detection method (4) Microwave phase or resonance method As shown.

Figure 0005189582
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しかし乍ら、従来公知の検知技法では、検波器で連続的に収集する時系列波形には、マイクロ波の高周波成分、信号増幅回路、シート状電気材料の移送振動や組織構造の不均性などが原因して、不必要な雑音成分(ノイズ成分)が含まれているため、検知する導電性粒子物貫の大きさが略80μm以下になると粒子物質の存在を示す検知信号波形はノイズ成分波形の中に埋もれてしまうという問題があった。   However, with conventional detection techniques, the time-series waveforms continuously collected by the detector include high-frequency components of microwaves, signal amplification circuits, transport vibrations of sheet-like electrical materials, and tissue structure inhomogeneities. As a result, an unnecessary noise component (noise component) is included. Therefore, when the size of the conductive particle penetration to be detected is approximately 80 μm or less, the detection signal waveform indicating the presence of the particulate matter is a noise component waveform. There was a problem of being buried inside.

特公平3−34021号公報Japanese Patent Publication No.3-334021 特公平5−14222号公報Japanese Patent Publication No. 5-14222 特開平10−185839号公報JP-A-10-185839

そこで本発明は、シート状電気材料中の50μm程度の大きさの微小の導電性粒子物質でも精度良く検知する方法とその装置を提供することを課題とするものである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a method and an apparatus for accurately detecting even a minute conductive particle substance having a size of about 50 μm in a sheet-like electric material.

本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、請求項1記載の発明は、断面構造がリッジ形のシート状電気材料を通すスリット付導波管を2本、伝送するマイクロ波が互いに干渉しない間隔に並設すると共に、両スリット付導波管を前記シート状電気材料の移送方向に対して直角に配置し、且つ各スリット付導波管の両端にそれぞれトランスジューサと反射波を90°偏向させる機能を有するT形サーキュレータ及びPINダイオードスイッチを介してマイクロ波発振器から出力されるマイクロ波を交互に入射させ、進行波を前記T形サーキュレータを介して90°偏向させ、多孔形方向性結合器及びその主線路側に接続されたスタブ調整器を介して無反射終端器に入射させ、前記スタブ調整器の特性(インピーダンス)によって発生した反射波は前記多孔形方向性結合器及びT形サーキュレータを介して前記スリット付導波管に入射させ、また検知波は前記多孔形方向性結合器の副線路側に接続した低ノイズ増幅器を介して検波器に入射させると共に、各スリット付導波管毎の各検波器のアナログ検波信号を2信号処理回路によりベースノイズ信号を減少させ、次いで、そのアナログ検波信号を高速データ収集回路によりA/D変換すると共に、FIRフィルタ演算して、ノイズを減少させたデジタル信号とし、その結果と、導電性粒子物質の位置検出手段による検出位置信号とをコンピュータに入力させてコンピュータの履歴ファイルに保存すると共に、ディスプレイ画面に導電性粒子物質の存在を表示させることを特徴とするシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法である。   The present invention has been made to solve the above-mentioned problems. The invention according to claim 1 is a microwave that transmits two slitted waveguides through which a sheet-like electric material having a ridge-shaped cross section passes. Are arranged side by side so as not to interfere with each other, and both the waveguides with slits are arranged at right angles to the transport direction of the sheet-like electrical material, and a transducer and a reflected wave are respectively provided at both ends of each waveguide with slits. Microwaves output from a microwave oscillator through a T-type circulator having a function of deflecting by 90 ° and a PIN diode switch are alternately incident, and a traveling wave is deflected by 90 ° through the T-type circulator. Is incident on the non-reflective terminator via the stub adjuster and the stub adjuster connected to the main line side, and is generated by the characteristic (impedance) of the stub adjuster. The generated reflected wave is incident on the slit waveguide through the porous directional coupler and the T-shaped circulator, and the detected wave is connected to the sub-line side of the porous directional coupler. The base noise signal is reduced by the two-signal processing circuit for the analog detection signal of each detector for each waveguide with a slit, and then the analog detection signal is input by the high-speed data acquisition circuit. In addition to A / D conversion, FIR filter operation is performed to obtain a digital signal with reduced noise, and the result and a detection position signal from the conductive particle substance position detection means are input to a computer and stored in a computer history file. Conductive particulate matter detection in sheet-like electrical materials characterized by storing and displaying the presence of conductive particulate matter on the display screen It is a method.

請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記コンピュータは、入力信号をウェーブレット変換で導電性粒子物質の内在によって発生する特徴波形の抽出演算を行い、続いてニュートラルネットワーク演算によって、前記特徴波形と残存したノイズ波形とを分別させ、前記導電性粒子物質の特徴波形だけを抽出して警報出力を発生させるようにしたことを特徴とするシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法である。   The invention according to claim 2 is the invention according to claim 1, wherein the computer performs an extraction operation of a characteristic waveform generated by the presence of the conductive particulate material by wavelet transform, and then performs a neutral network operation. The characteristic waveform and the remaining noise waveform are separated, and only the characteristic waveform of the conductive particle substance is extracted to generate an alarm output. Is the method.

請求項3記載の発明は、請求項1または請求項2記載の発明において、シート状電気材料の移送ラインにロータリーエンコーダとシート状電気材料の基準点又は接合点を読み取る光電センサーとからなる導電性粒子物質の位置検出手段を設け、各検出信号を基にして、シート状電気材料の前記基準点又は接合点から導電性粒子物質を検知した位置までの距離を前記ロータリーエンコーダのパルス信号を基にして前記コンピュータで演算して、コンピュータの履歴ファイルに保存すると同時に前記ディスプレイ画面に表示させることを特徴とするシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法である。   According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect of the present invention, the conductive property includes a rotary encoder and a photoelectric sensor that reads a reference point or a junction point of the sheet-like electrical material in the sheet-like electrical material transfer line. Based on the detection signals, the distance from the reference point or joint point of the sheet-like electrical material to the position where the conductive particulate matter is detected is based on the pulse signal of the rotary encoder. A method for detecting a conductive particle substance in a sheet-like electric material, characterized in that the calculation is performed by the computer and is stored in a history file of the computer and simultaneously displayed on the display screen.

請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記シート状電気材料を通すスリット付導波管を、シート状電気材料の幅に合わせて、上側部分だけが昇降できるように2分割し、シート状電気材料の接合部が支障なく導波管部を通過させるように構成したことを特徴とするシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法である。   According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the waveguide with a slit through which the sheet-like electric material is passed is matched to the width of the sheet-like electric material, and only the upper part is formed. A method for detecting a conductive particulate material in a sheet-like electrical material, wherein the method is configured to divide into two so as to be able to move up and down, and to allow the joint portion of the sheet-like electrical material to pass through the waveguide portion without hindrance.

請求項5記載の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の発明において、マイクロ波発振器の発振周波数をスリット付導波管毎に異なるものとしたことを特徴とするシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法である。   According to a fifth aspect of the present invention, in the sheet-like electric material according to any one of the first to fourth aspects, the oscillation frequency of the microwave oscillator is different for each waveguide with a slit. This is a conductive particle substance detection method.

請求項6記載の発明は、断面構造がリッジ形のシート状電気材料を通すスリット付導波管を2本、伝送するマイクロ波が互いに干渉しない間隔に並設すると共に、両スリット付導波管を前記シート状電気材料の移送方向に対して直角に配置し、且つ各スリット付導波管の両端にそれぞれトランスジューサと反射波を90°偏向させる機能を有するT形サーキュレータ及びPINダイオードスイッチを介してマイクロ波発振器を接続すると共に、各スリット付導波管の両端に接続した前記T形サーキュレータの反射波出力側にそれぞれ多孔形方向性結合器を接続し、該多孔形方向性結合器の出力側の主線路側にスタブ調整器を介して無反射終端器を接続し、且つ前記多孔形方向性結合器の副線路側には低ノイズ増幅器を介して検波器を接続すると共に、各スリット付導波管毎の各検波器を2信号処理回路を介して高速データ収集回路に接続し、該高速データ収集回路の出力端子と、シート状電気材料の移送ラインに設けたロータリーエンコーダとシート状電気材料の基準点又は接合点を読み取る光電センサーの各検出信号出力端子とをコンピュータの入力端子に接続したことを特徴とするシート状電気材料中の導電性粒子物質検知装置である。   According to the sixth aspect of the present invention, two waveguides with slits through which the sheet-like electric material having a ridge-shaped cross section passes are arranged in parallel so that the transmitted microwaves do not interfere with each other. Through a T-type circulator and a PIN diode switch having a function of deflecting the transducer and the reflected wave by 90 ° at both ends of each slit waveguide, respectively. A microwave oscillator is connected, and a porous directional coupler is connected to the reflected wave output side of the T-type circulator connected to both ends of each waveguide with slits, and the output side of the porous directional coupler. A non-reflective terminator is connected to the main line side via a stub adjuster, and a detector is connected to the sub-line side of the porous directional coupler via a low noise amplifier. In both cases, each detector for each waveguide with a slit is connected to a high-speed data acquisition circuit via a two-signal processing circuit, and a rotary provided on the output terminal of the high-speed data acquisition circuit and a sheet-like electric material transfer line. An apparatus for detecting conductive particulate matter in a sheet-like electrical material, wherein an encoder and each detection signal output terminal of a photoelectric sensor that reads a reference point or a junction point of the sheet-like electrical material are connected to an input terminal of a computer .

本発明は、2系列シート状電気材料を通すスリット付導波管をλs/4だけずらして設けると共に各スリット付導波管をシート状電気材料の移送方向に対して直角に並設せしめ、これらのスリット付導波管に発生する電圧定在波の波長を基底にして相互の導波管内に発生する電圧定在波の波複点の位置関係がシート状電気材料の幅方向に対して、狭い間隔で断続的に点在するように前記2つのスリット付導波管を配置せしめてあるので、検知確率を向上させることができる。   In the present invention, waveguides with slits for passing two series of sheet-like electrical materials are provided by being shifted by λs / 4, and the waveguides with slits are juxtaposed at right angles to the transport direction of the sheet-like electrical materials. Based on the wavelength of the voltage standing wave generated in the slit waveguide, the positional relationship between the wave standing points of the voltage standing wave generated in the mutual waveguide is relative to the width direction of the sheet-like electrical material. Since the two waveguides with slits are arranged so as to be intermittently scattered at a narrow interval, the detection probability can be improved.

また、本発明は、多孔形方向性結合器の副線路側には低ノイズ増幅器を介して検波器を接続すると共に前記多孔形方向性結合器の主線路側には終端の負荷インピーダンスを可変するスタブ調整器を介して、マイクロ波電力を吸収する無反射終端器を接続したので、電圧定在波の反射係数を大きくなるようにスタブ調整器を調整して電圧定在波の電圧強度を高めることで検知感度を増大することができる。   In the present invention, a detector is connected to the sub-line side of the porous directional coupler via a low noise amplifier, and the load impedance of the terminal is varied on the main line side of the porous directional coupler. Since the non-reflective terminator that absorbs microwave power is connected via the stub adjuster, the voltage strength of the voltage standing wave is increased by adjusting the stub adjuster so as to increase the reflection coefficient of the voltage standing wave. Thus, the detection sensitivity can be increased.

また、本発明はシート状電気材料を通すスリット付導波管の断面構造をリッジ形にして、電圧定在波の管内波長を短くして、電圧振幅強度が最大となる点(波腹点)の数を増やすように工夫したことにより、検知確率を向上させることができる。   In addition, the present invention has a ridge-shaped cross-sectional structure of a slitted waveguide through which a sheet-like electrical material passes, shortens the in-tube wavelength of the voltage standing wave, and maximizes the voltage amplitude intensity (antinode) The detection probability can be improved by devising to increase the number of.

また、本発明は、マイクロ波発振器から出力されたマイクロ波を、PINダイオードスイッチを用いて、線路を交互に切替えて、前記スリット付導波管の両端にトランスジューサと前記T形サーキュレータを介して交互に供給し、供給するマイクロ波をシート状電気材料の走行速度と相関関係を保持しながら、高速度(μsecオーダー)で交互に切替えて、適度に位相を異にした二つの電圧定在波を発生させてシート状電気材料の幅方向に対し万遍なく検知させることができる。   In the present invention, the microwave output from the microwave oscillator is alternately switched using a PIN diode switch, and the transducers and the T-shaped circulator are alternately connected to both ends of the waveguide with slits. While maintaining the correlation with the traveling speed of the sheet-like electrical material, the two microwave standing waves with moderately different phases are switched alternately at high speed (μsec order). It can be generated and detected uniformly in the width direction of the sheet-like electric material.

また、第一段として高速データ収集回路で検波信号をA/D変換した後、FIRフィルタ演算をしてベースノイズを軽減化し、第二段として、コンピュータでウェーブレット変換で導電性粒子物質の介在によって発生する特徴波形の抽出演算を行い、続いてニューラルネットワーク演算によって、前記特徴波形と残存したノイズ波形とを分別させて、前記導電性粒子物資の特徴波形だけを抽出するようにし、警報出力を発生させることができる。   Moreover, after the A / D conversion of the detection signal by the high-speed data acquisition circuit as the first stage, the FIR filter operation is performed to reduce the base noise, and as the second stage, by the conductive particle material by the wavelet conversion by the computer. Performs an extraction calculation of the generated characteristic waveform, and then separates the characteristic waveform from the remaining noise waveform by a neural network calculation to extract only the characteristic waveform of the conductive particle material and generate an alarm output. Can be made.

また、シート状電気材料の移送ラインにロータリーエンコーダとシート状電気材料の基準点又は接合点を読み取る光電センサーとを設け、各検出信号を基にして、シート状電気材料の接合点から導電性粒子物質を検知した位置までの距離をコンピュータで演算して、コンピュータの履歴ファイルに保存すると同時に画面に表示させることができる。   In addition, a rotary encoder and a photoelectric sensor that reads a reference point or a junction point of the sheet-like electrical material are provided in the sheet-like electrical material transfer line, and conductive particles are connected from the junction point of the sheet-like electrical material based on each detection signal. The distance to the position where the substance is detected can be calculated by a computer, saved in a computer history file, and simultaneously displayed on the screen.

また、シート状電気材料を通すスリット付導波管を、シート状電気材料の幅に合わせて軸心を境にして、上側部分だけが昇降できるように2分割したので、凸状に加工される場合があるシート状電気材料の接合部が支障なく導波管部を通過させることができ、使い勝手の良い装置を提供することができる。   In addition, the waveguide with a slit through which the sheet-like electric material passes is divided into two so that only the upper part can be raised and lowered with the axis as a boundary according to the width of the sheet-like electric material, so that it is processed into a convex shape. The joint portion of the sheet-like electric material that may be able to pass through the waveguide portion without any trouble can provide a user-friendly device.

以上の構成及び効果に基因して、シート状電気材料に内在もしくは付着する導電性粒子物質をシート状電気材料の移送方向は勿論のこと、幅方向に対しても万遍なく、且つ確実に検知することができ、信頼性の高い検知装置を提供することができ、検知精度は、例えば、リチウムイオン電池用セパレータ(厚みが略200μm、走行速度10m/min)の場合で、略50μmの導電性粒子物質が確実に検知することが可能である。   Based on the above configuration and effects, conductive particle substances that are inherently or adhering to the sheet-like electrical material can be detected reliably and uniformly in the width direction as well as the sheet-like electrical material transfer direction. And a highly reliable detection device can be provided. The detection accuracy is, for example, a conductivity of about 50 μm in the case of a lithium ion battery separator (thickness is about 200 μm, travel speed is 10 m / min). Particulate matter can be reliably detected.

本発明の実施例1の構成を示すブロック図。1 is a block diagram showing the configuration of Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施例1に用いた断面構造がリッジ形スリット付導波管の基本構成を示す説明図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The cross-sectional structure used for Example 1 of this invention is explanatory drawing which shows the basic composition of a waveguide with a ridge type slit. 本発明の実施例1に用いたスリット付導波管の平面図。The top view of the waveguide with a slit used for Example 1 of the present invention. 本発明の実施例1に用いたスリット付導波管の正面図で、(a)は上部を下げた状態、(b)は上部を上げた状態を示す。It is a front view of the waveguide with a slit used for Example 1 of the present invention, (a) shows the state where the upper part was lowered and (b) shows the state where the upper part was raised. 本発明実施例1に用いたスリット付導波管の断面構造を示す斜視図。The perspective view which shows the cross-section of the waveguide with a slit used for this invention Example 1. FIG. 本発明の実施例1の線路AとBに発生する電圧定在波の位置関係を示す波形図。The wave form diagram which shows the positional relationship of the voltage standing wave which generate | occur | produces in the lines A and B of Example 1 of this invention. 本発明の実施例1に示す装置で、サンプルとしてプリプレグを用いた場合の検知性能試験結果を示す図。The figure which shows the detection performance test result at the time of using the prepreg as a sample with the apparatus shown in Example 1 of this invention. 本発明の実施例1に示す装置で、サンプルとして不織布を用いた場合の検知性能試験結果を示す図。The figure which shows the detection performance test result at the time of using the nonwoven fabric as a sample with the apparatus shown in Example 1 of this invention.

本発明は、マイクロ波の入射波と反射波の干渉によって電圧定在波を発生させる方法を用いたもので、負荷インピーダンスを可変することによって反射係数が変化することに着目してなされたものである。   The present invention uses a method of generating a voltage standing wave by interference between a microwave incident wave and a reflected wave, and is made by paying attention to the fact that the reflection coefficient changes by changing the load impedance. is there.

図1は、本発明の実施例1である導電性粒子物質検知装置の構成を示すブロック図である。図1において、上下にある2つの線路AとBの構成は同一である。よって、線路Aを基に以下説明する。   FIG. 1 is a block diagram illustrating a configuration of a conductive particulate matter detection device that is Embodiment 1 of the present invention. In FIG. 1, the two lines A and B on the upper and lower sides have the same configuration. Therefore, the following description is based on the line A.

図1中、1aは8.2〜12.4GHz、例えば、9.4GHzのマイクロ波を発振するマイクロ波発振器であって、発振されるマイクロ波はパワー増幅器2aで、略30dBに増幅された後、μsecオーダーで作動するPINダイオードスイッチ3aで線路R1とL1に交互に切替えて伝送される。   In FIG. 1, 1a is a microwave oscillator that oscillates a microwave of 8.2 to 12.4 GHz, for example, 9.4 GHz. The oscillated microwave is amplified to about 30 dB by the power amplifier 2a. The PIN diode switch 3a operating on the order of μsec is alternately switched to the lines R1 and L1 for transmission.

線路R1に伝送されたマイクロ波の進行波は、トランスジューサ4arとT形サーキュレ一タ5arを経由してスリット付導波管11aの右側に供給される。このスリット付導波管11aを通過したマイクロ波は、対面に設置されているT形サーキュレータ5alでの作用により、90度曲げられ、多孔形方向性結合器6alを通り、その主線路に結合されたスタブ形調整器7alを経由して、無反射終端器8alに到着する。   The traveling wave of the microwave transmitted to the line R1 is supplied to the right side of the waveguide 11a with a slit via the transducer 4ar and the T-shaped circulator 5ar. The microwave that has passed through the slit-equipped waveguide 11a is bent 90 degrees by the action of the T-shaped circulator 5al installed on the opposite side, passes through the porous directional coupler 6al, and is coupled to the main line. It arrives at the non-reflective terminator 8al via the stub type adjuster 7al.

スタブ調整器7alの特性インピーダンスの作用で発生した反射波は、多孔形方向性結合器6al及びT形サーキュレータ5alを経てスリット付導波管11aに入射し、前記入射波との干渉によって定在波を形成する。一方、導電性粒子物質の存在によって生じた検知波(ドップラー波)は右側のT形サーキュレータ5ar、多孔形方向性結合器6ar及び低ノイズ増幅器9arを経て検波器10arに入射して検波された後、2信号演算処理回路12aに伝送される。   The reflected wave generated by the action of the characteristic impedance of the stub adjuster 7al is incident on the slit-equipped waveguide 11a through the porous directional coupler 6al and the T-shaped circulator 5al, and is standing by the interference with the incident wave. Form. On the other hand, the detection wave (Doppler wave) generated by the presence of the conductive particulate matter is detected by being incident on the detector 10ar via the right T-circulator 5ar, the porous directional coupler 6ar, and the low noise amplifier 9ar. Is transmitted to the two-signal arithmetic processing circuit 12a.

他方、PINダイオードスイッチ3aの切替動作で線路L1に伝送されたマイクロ波は、前記と同様な順序で伝送され最終的に検波器10alで検波されて2信号処理回路12aに伝送される。   On the other hand, the microwaves transmitted to the line L1 by the switching operation of the PIN diode switch 3a are transmitted in the same order as described above, and finally detected by the detector 10al and transmitted to the two-signal processing circuit 12a.

線路AとBの2信号処理回路12a、12bからそれぞれ出力された2つの検知波は、高速データ収集回路13でA/D変換されると共に、FIRフィルタ演算してノイズを減少させたデジタル信号とされ、コンピュータ14において数学的演算処理を行って導電性粒子物質の介在によって生じた特徴波形の信号だけを分別し、最終的に警報発信回路15によって、コンピュータ14の検知履歴ファイルに保存すると同時に、外部に警報出力を発する。   The two detection waves respectively output from the two-signal processing circuits 12a and 12b of the lines A and B are A / D converted by the high-speed data acquisition circuit 13, and also a digital signal in which noise is reduced by FIR filter calculation. The computer 14 performs mathematical operation processing to separate only the signal of the characteristic waveform generated by the intervention of the conductive particulate material, and finally stores it in the detection history file of the computer 14 by the alarm transmission circuit 15. Output alarm output to the outside.

なお、同時に、シート状電気材料18の移送ラインに設けた、ロータリーエンコーダ16とシート状電気材料18の基準点又は接合点を読み取る光電センサー17からの出力信号を基にして、シート状電気材料18の基準点又は接合点と導電性粒子物質を検知した位置までの距離と検知波を発したときの時刻も、前記コンピュータ14の履歴ファイルに同時に保存されると共に、ディスプレイ14aに表示される。   At the same time, based on the output signal from the photoelectric sensor 17 that reads the reference point or the junction point of the rotary encoder 16 and the sheet-like electric material 18 provided in the transfer line of the sheet-like electric material 18, the sheet-like electric material 18. The distance from the reference point or junction point to the position where the conductive particulate material is detected and the time when the detection wave is emitted are simultaneously stored in the history file of the computer 14 and also displayed on the display 14a.

本発明の実施例では、図1に示したように、スリット付導波管11a、11bの軸心間の距離dは、両スリット付導波管に伝送するマイクロ波が互いに干渉しない範囲に定めてある。即ち50〜100mm程度が望ましく、例えば、60mmに定めている。また、図2に示すように、スリット付導波管11a、11bの断面寸法をa=22.9mm、b=10.2mm、a’=10mm、b’=2.0mmとしてシート状電気材料18が走行中の振動によって、導波管に接触しないで、且つマイクロ波が外部に洩らさない程度の寸法が望ましく、例えば、e=4mmに定めている。   In the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, the distance d between the axes of the waveguides 11a and 11b with slits is determined within a range in which the microwaves transmitted to both waveguides with slits do not interfere with each other. It is. That is, about 50-100 mm is desirable, for example, it is set to 60 mm. Further, as shown in FIG. 2, the sheet-like electrical material 18 is set with the sectional dimensions of the waveguides 11a and 11b with slits set to a = 22.9 mm, b = 10.2 mm, a ′ = 10 mm, b ′ = 2.0 mm. However, it is desirable that the dimension be such that the microwave does not leak to the outside without contacting the waveguide due to vibration during traveling, for example, e = 4 mm.

本発明では、マイクロ波の進行波がスリット付導波管11a、11bを通って、無反射終端器8ar、8al、8br、8blに到着する手前に負荷インピーダンスを可変することができるスタブ調整器7ar、7al、7br、7blを設け、反射係数を最大になるようにし、電圧定在波の波腹点における電圧振幅強度を大きく設定することによって、検知感度を高めることができる。   In the present invention, the stub adjuster 7ar that can change the load impedance before the traveling wave of the microwaves passes through the slit waveguides 11a and 11b and arrives at the non-reflective terminators 8ar, 8al, 8br, and 8bl. 7al, 7br, 7bl, the reflection coefficient is maximized, and the voltage amplitude intensity at the antinode of the voltage standing wave is set to be large, so that the detection sensitivity can be increased.

また本発明では、スリット付導波管11a,11bの断面形式をリッジ形にしたので、電圧定在波(管内波長)の波長λgは、発振周波数が9.4GHzの場合でλg≒34mm程度になり、例えば、WRI−10(a=22.9mm、b=10.2mm)を使用し、同じく9.4GHzの発振周波数を用いた場合の電圧定在波(管内波長)λg’は、λg’≒44mmとなり、リッジ形スリット付導波管を使用すると略22.7%だけ波長が短くなり、その分電圧定在波の波腹点の数は増え、検知確率が向上することになる。   In the present invention, since the cross-sectional form of the waveguides 11a and 11b with slits is a ridge shape, the wavelength λg of the voltage standing wave (in-tube wavelength) is about λg≈34 mm when the oscillation frequency is 9.4 GHz. For example, when using WRI-10 (a = 22.9 mm, b = 10.2 mm) and using an oscillation frequency of 9.4 GHz, the voltage standing wave (in-tube wavelength) λg ′ is λg ′. When a waveguide with a ridge-shaped slit is used, the wavelength is shortened by approximately 22.7%, and the number of antinodes of the voltage standing wave increases accordingly, and the detection probability is improved.

更に本発明では、マイクロ波発振器1aから出力されたマイクロ波は、パワー増幅器2aを介してPINダイオードスイッチ3aに伝送される。このPINダイオードスイッチ3aは、TTL回路18aから出力されるシート状電気材料18の走行速度と相関関係を基にして設定された切替時間(Δθ)に対応した制御信号によって切替動作が行なわれる。この作動によって、図6で示したように線路AのR1chとL1chの移送がΔfだけずれていることにより、切替時間(Δθ)に対応してスリット付導波管にΔfだけ位相の異なった電圧定在波を発生させることができる。   Furthermore, in the present invention, the microwave output from the microwave oscillator 1a is transmitted to the PIN diode switch 3a via the power amplifier 2a. The PIN diode switch 3a is switched by a control signal corresponding to a switching time (Δθ) set based on the correlation with the traveling speed of the sheet-like electrical material 18 output from the TTL circuit 18a. As a result of this operation, as shown in FIG. 6, the transfer of the R1ch and L1ch of the line A is shifted by Δf, so that a voltage having a phase difference of Δf is applied to the waveguide with slits corresponding to the switching time (Δθ). Standing waves can be generated.

図6は、本発明での線路AとBの電圧定在波が発生する位置関係を説明したものである。スリット付導波管11aとT形サーキュレータ5ar間の長さと前記スリット付導波管11bとT形サーキュレータ5br間の長さをΔfだけ異なるように設計すると、線路R1とL1からのマイクロ波伝送でスリット付導波管11a内に発生する2つの電圧定在波の位相がΔfだけずれて発生させることができる。図6において、線路AのR1chとL1chの位相は、Δfだけずらして配置する。また、線路BのR2chとL2chの位相も線路Aの場合と同じようにΔfだけずらしている。一方、本発明では、線路Aと線路Bの電圧定在波は、λg/4だけずらすようにスリット付導波管11a、11bを配置するようにすることで、両線路の長軸方向に波腹点を界にした高感度検知幅(ΔS1)がシート状電気材料18の幅方向に対して、微小間隔でしかも均等に分布することとなり、シート状電気材料の幅に対して、万遍なく検知することができる。   FIG. 6 illustrates the positional relationship in which the voltage standing waves of the lines A and B are generated in the present invention. If the length between the waveguide 11a with a slit and the T-shaped circulator 5ar and the length between the waveguide 11b with a slit and the T-shaped circulator 5br are designed to be different by Δf, microwave transmission from the lines R1 and L1 is possible. The phases of the two voltage standing waves generated in the slit-equipped waveguide 11a can be generated by being shifted by Δf. In FIG. 6, the phases of R1ch and L1ch of line A are shifted by Δf. The phase of R2ch and L2ch of line B is also shifted by Δf as in the case of line A. On the other hand, in the present invention, the voltage standing waves of the lines A and B are waved in the major axis direction of both lines by arranging the waveguides 11a and 11b with slits so as to be shifted by λg / 4. The high-sensitivity detection width (ΔS1) with the antinode as the boundary is distributed evenly at a small interval in the width direction of the sheet-like electrical material 18, and the width of the sheet-like electrical material is uniformly distributed. Can be detected.

シート状電気材料18に介在する導電性粒子物質の粒径が略80μm以下になると、導電性粒子物質が内在していることによって発生する検知信号波形は、前記したような物理的や電気的などの要因によって発生するノイズ波形の中に埋もれてしまうのが普通である。   When the particle size of the conductive particle substance intervening in the sheet-like electric material 18 is about 80 μm or less, the detection signal waveform generated due to the presence of the conductive particle substance is the above-described physical, electrical, etc. Normally, it is buried in the noise waveform generated by the above factors.

このため本発明では線路AとBの2信号処理回路12a、12bから伝送された元信号を高速データ収集回路13でA/D変換した後、FIRフィルタ演算をして、ベースノイズの軽減化処理を行ってからコンピュータ14に送られる。   Therefore, in the present invention, the original signal transmitted from the two signal processing circuits 12a and 12b of the lines A and B is A / D converted by the high-speed data collection circuit 13, and then subjected to FIR filter calculation to reduce the base noise. Is sent to the computer 14.

このコンピュータ14には、導電性粒子物質の内在によって発生する特徴波形を抽出するウェーブレット変換、特徴波形とノイズ波形とを分別するニューラルネットワーク演算、そして演算処理の精度を確実化するための論理積演算を行うための専用ソフトウェアがインストールされている。   The computer 14 includes a wavelet transform for extracting a feature waveform generated by the presence of the conductive particulate material, a neural network operation for separating the feature waveform and the noise waveform, and a logical product operation for ensuring the accuracy of the operation process. Dedicated software for installing is installed.

シート状電気材料18の移送ラインに設けたロータリーエンコーダ16と光電センサー17からの信号を基にして、シート状電気材料18の基準点又は接合点から導電性粒子物質を検知した位置までの距離と発生時刻を演算してコンピュータ14の履歴ファイルに保存すると同時にディスプレイ14aに表示させるようにしている。   Based on the signals from the rotary encoder 16 and the photoelectric sensor 17 provided in the transfer line of the sheet-like electric material 18, the distance from the reference point or the junction point of the sheet-like electric material 18 to the position where the conductive particle substance is detected; The occurrence time is calculated and saved in the history file of the computer 14 and simultaneously displayed on the display 14a.

実施例の装置では、図3〜図5に示すように、スリット付導波管11a及び11aを一体(複合型)に構成すると共に、シート状電気材料18の幅寸法に合わせて、スリット付導波管11a,11bの軸心を境に上側部分をエアーシリンダー19の操作によって、略50mm昇降させることができるようにしている。この機構が付属することによって、シート状電気材料18をロール単位ごと連続的に検査する際に凸状になっている接合部分が支障なくスリット付導波管11a,11bの所を透過させることができる。   In the apparatus of the embodiment, as shown in FIGS. 3 to 5, the waveguides 11 a and 11 a with slits are integrally formed (composite type), and guided with slits according to the width dimension of the sheet-like electrical material 18. The upper part of the wave tubes 11a and 11b can be moved up and down by about 50 mm by operating the air cylinder 19 with the axis as the boundary. By attaching this mechanism, when the sheet-like electric material 18 is continuously inspected for each roll unit, the protruding joint portion can pass through the slit waveguides 11a and 11b without any trouble. it can.

上記実施例1について詳述したが、本発明は、この実施例のみに限定されるものではなく、次の実施例2のように他の変更及び修正が可能である。   Although the first embodiment has been described in detail, the present invention is not limited to this embodiment, and other changes and modifications can be made as in the second embodiment.

実施例2は図示しないが、上記実施例1において、マイクロ波発振器1a、1bの発振周波数を例えば9.4GHzと12GHzの2種類のマイクロ波発振器を備えて、波長の異なったマイクロ波を伝送させることにより、スリット付導波管11a、11b内に波長を異にした電圧定在波を2つ形成させることも可能とするものである。   Although the second embodiment is not illustrated, in the first embodiment, the microwave oscillators 1a and 1b are provided with two types of microwave oscillators of 9.4 GHz and 12 GHz, for example, and transmit microwaves having different wavelengths. This makes it possible to form two voltage standing waves having different wavelengths in the waveguides 11a and 11b with slits.

例えば、スリット付導波管11a、11bの両側に供給する同じ周波数を持ったマイクロ波の進行波のみの干渉によって電圧定在波を形成させたり、スリット付導波管11aに供給する周波数とスリット付導波管11bに供給する周波数を異ならしめるようにしてもよい。   For example, a voltage standing wave is formed by the interference of only the traveling wave of the microwave having the same frequency supplied to both sides of the waveguides 11a and 11b with slits, or the frequency and slit supplied to the waveguide 11a with slits. The frequency supplied to the attached waveguide 11b may be made different.

このような形態を具備することにより、シート状電気材料18の走行方向は勿論のこと、幅方向に対しても万遍なく検知すると同時に、不必要なノイズ波形に起因する誤動作も無くすことができることとなり、例えば、50μm程度までの粒子径の導電性粒子物質を確実に検知することができる。   By having such a configuration, not only the traveling direction of the sheet-like electrical material 18 but also the width direction can be detected uniformly, and at the same time, malfunctions caused by unnecessary noise waveforms can be eliminated. Thus, for example, it is possible to reliably detect a conductive particulate material having a particle size of up to about 50 μm.

本発明の実施例装置による検知性能試験の一例を図7、図8に示す。   An example of the detection performance test by the embodiment apparatus of the present invention is shown in FIGS.

図7に示す検知性能試験データは、シート状電気材料として、プレプレグを用い、走行速度が10m/min、材料の表面に擬似金属サンプル(銅、粒径約82μm)を貼り付けた条件のもとで、ウェーブレット変換とニュートラルネットワークのプロシージャを用いて擬似金属サンプルの検出を行ったときのディスプレイ14aに表示された実データである。但し、L1chのみ検知した場合である。   The detection performance test data shown in FIG. 7 is based on conditions in which a prepreg is used as a sheet-like electric material, a running speed is 10 m / min, and a pseudo metal sample (copper, particle size of about 82 μm) is attached to the surface of the material. The actual data displayed on the display 14a when the pseudo metal sample is detected using the procedure of the wavelet transform and the neutral network. However, only L1ch is detected.

図7の解析波形(L1ch)の検知点のところを矢印で表示している。この検知点が発生した時の時刻も図7の下部に表示している。   The detection points of the analysis waveform (L1ch) in FIG. 7 are indicated by arrows. The time when this detection point occurs is also displayed at the bottom of FIG.

図8に示す検知性能試験データは、シート状電気材料として、不織布を用い、走行速度が10m/min、材料の表面に擬似金属サンプル(アルミ、粒径約70μm)を貼り付けた条件のもとで、ウェーブレット変換とニューラルネットワークのプロシージャを用いて、擬似金属サンプルの検出を行ったときのディスプレイ14aに表示された実データである。但しR1chのみ検知した場合である。   The detection performance test data shown in FIG. 8 is based on the condition that a nonwoven fabric is used as the sheet-like electric material, the running speed is 10 m / min, and a pseudo metal sample (aluminum, particle size of about 70 μm) is attached to the surface of the material. The actual data displayed on the display 14a when the pseudo metal sample is detected using the procedure of the wavelet transform and the neural network. However, only R1ch is detected.

1a,1b マイクロ波発振器
2a,2b パワー増幅器
3a,3b PINダイオードスイッチ
4ar,4al,4br,4bl トランスジューサ
5ar,5al,5br,5bl T形サーキュレータ
6ar,6al,6br,6bl 多孔形方向性結合器
7ar,7al,7br,7bl スダブ調整器
8ar,8al,8br,8bl 無反射終端器
9ar,9al,9br,9bl 低ノイズ増幅器
10ar,10al,10br,10bl 検波器
11a,11b スリット付導波管
12a,12b 2信号処理回路
13 高速データ収集回路
14 コンピュータ
14a ディスプレイ
15 警報発信回路
16 ロータリーエンコーダ
17 光電センサー
18 シート状電気材料
18a,18b TTL回路
19 エアーシリンダー
1a, 1b Microwave oscillators 2a, 2b Power amplifiers 3a, 3b PIN diode switches 4ar, 4al, 4br, 4bl Transducers 5ar, 5al, 5br, 5bl T-type circulators 6ar, 6al, 6br, 6bl Porous directional couplers 7ar, 7al, 7br, 7bl Sudb adjusters 8ar, 8al, 8br, 8bl Non-reflective terminators 9ar, 9al, 9br, 9bl Low noise amplifiers 10ar, 10al, 10br, 10bl detectors 11a, 11b Slit waveguides 12a, 12b 2 Signal processing circuit 13 High-speed data collection circuit 14 Computer 14a Display 15 Alarm transmission circuit 16 Rotary encoder 17 Photoelectric sensor 18 Sheet-like electrical material 18a, 18b TTL circuit 19 Air cylinder

Claims (6)

断面構造がリッジ形のシート状電気材料を通すスリット付導波管を2本、伝送するマイクロ波が互いに干渉しない間隔に並設すると共に、両スリット付導波管を前記シート状電気材料の移送方向に対して直角に配置し、且つ各スリット付導波管の両端にそれぞれトランスジューサと反射波を90°偏向させる機能を有するT形サーキュレータ及びPINダイオードスイッチを介してマイクロ波発振器から出力されるマイクロ波を交互に入射させ、進行波を前記T形サーキュレータを介して90°偏向させ、多孔形方向性結合器及びその主線路側に接続されたスタブ調整器を介して無反射終端器に入射させ、前記スタブ調整器の特性(インピーダンス)によって発生した反射波は前記多孔形方向性結合器及びT形サーキュレータを介して前記スリット付導波管に入射させ、また検知波は前記多孔形方向性結合器の副線路側に接続した低ノイズ増幅器を介して検波器に入射させると共に、各スリット付導波管毎の各検波器のアナログ検波信号を2信号処理回路によりベースノイズ信号を減少させ、次いで、そのアナログ検波信号を高速データ収集回路によりA/D変換すると共に、FIRフィルタ演算して、ノイズを減少させたデジタル信号とし、その結果と、導電性粒子物質の位置検出手段による検出位置信号とをコンピュータに入力させてコンピュータの履歴ファイルに保存すると共に、ディスプレイ画面に導電性粒子物質の存在を表示させることを特徴とするシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法。 Two waveguides with slits through which the sheet-shaped electric material having a ridge-shaped cross section passes are arranged in parallel so that the transmitted microwaves do not interfere with each other, and both the waveguides with slits are transferred to the sheet-shaped electric material. Micros output from a microwave oscillator via a T-type circulator and a PIN diode switch which are arranged at right angles to the direction and have a function of deflecting the reflected wave and the reflected wave by 90 ° at both ends of each slit waveguide. Waves are incident alternately, the traveling wave is deflected by 90 ° via the T-shaped circulator, and incident on a non-reflective termination via a porous directional coupler and a stub adjuster connected to the main line side. The reflected wave generated by the characteristic (impedance) of the stub adjuster passes through the porous directional coupler and the T-shaped circulator. In addition, the detection wave is incident on the detector through a low noise amplifier connected to the sub-line side of the porous directional coupler, and each slit waveguide is A digital signal in which the analog detection signal of the detector is reduced in base noise signal by a two-signal processing circuit, and then the analog detection signal is A / D converted by a high-speed data acquisition circuit and FIR filter operation is performed to reduce noise. A signal, and a result of the detection and a position signal detected by the conductive particle substance position detection means are input to a computer and stored in a computer history file, and the presence of the conductive particle substance is displayed on the display screen. A method for detecting conductive particulate matter in a sheet-like electrical material. 前記コンピュータは、入力信号をウェーブレット変換で導電性粒子物質の内在によって発生する特徴波形の抽出演算を行い、続いてニュートラルネットワーク演算によって、前記特徴波形と残存したノイズ波形とを分別させ、前記導電性粒子物質の特徴波形だけを抽出して警報出力を発生させるようにしたことを特徴とする請求項1記載のシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法。 The computer performs an extraction operation of a feature waveform generated by the presence of the conductive particle substance by wavelet transform on the input signal, and then separates the feature waveform from the remaining noise waveform by a neutral network operation. 2. The method for detecting conductive particulate matter in a sheet-like electrical material according to claim 1, wherein only a characteristic waveform of the particulate matter is extracted to generate an alarm output. シート状電気材料の移送ラインにロータリーエンコーダとシート状電気材料の基準点又は接合点を読み取る光電センサーからなる導電性粒子物質の位置検出手段とを設け、各検出信号を基にして、シート状電気材料の前記基準点又は接合点から導電性粒子物質を検知した位置までの距離を前記ロータリーエンコーダのパルス信号を基にして前記コンピュータで演算して、コンピュータの履歴ファイルに保存すると同時に前記ディスプレイ画面に表示させることを特徴とする請求項1または2記載のシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法。 The sheet-like electric material transfer line is provided with a rotary encoder and a conductive particle substance position detection means consisting of a photoelectric sensor that reads the reference point or junction point of the sheet-like electric material. The computer calculates the distance from the reference point or joint point of the material to the position where the conductive particle substance is detected based on the pulse signal of the rotary encoder, and saves it in the computer history file while simultaneously displaying it on the display screen. 3. The method for detecting a conductive particulate material in a sheet-like electrical material according to claim 1 or 2, wherein the display is performed. 前記シート状電気材料を通すスリット付導波管を、シート状電気材料の幅に合わせて、上側部分だけが昇降できるように2分割し、シート状電気材料の接合部が支障なく導波管部を通過させるように構成したことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法。 The slit-like waveguide through which the sheet-like electrical material passes is divided into two so that only the upper part can be raised and lowered according to the width of the sheet-like electrical material, and the joint portion of the sheet-like electrical material has no trouble The method for detecting a conductive particulate material in a sheet-like electrical material according to any one of claims 1 to 3, wherein the material is allowed to pass therethrough. マイクロ波発振器の発振周波数をスリット付導波管毎に異なるものとしたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載のシート状電気材料中の導電性粒子物質検知方法。 The method for detecting a conductive particle substance in a sheet-like electric material according to any one of claims 1 to 4, wherein the oscillation frequency of the microwave oscillator is different for each waveguide with a slit. 断面構造がリッジ形のシート状電気材料を通すスリット付導波管を2本、伝送するマイクロ波が互いに干渉しない間隔に並設すると共に、両スリット付導波管を前記シート状電気材料の移送方向に対して直角に配置し、且つ各スリット付導波管の両端にそれぞれトランスジューサと反射波を90°偏向させる機能を有するT形サーキュレータ及びPINダイオードスイッチを介してマイクロ波発振器を接続すると共に、各スリット付導波管の両端に接続した前記T形サーキュレータの反射波出力側にそれぞれ多孔形方向性結合器を接続し、該多孔形方向性結合器の出力側の主線路側にスタブ調整器を介して無反射終端器を接続し、且つ前記多孔形方向性結合器の副線路側には低ノイズ増幅器を介して検波器を接続すると共に、各スリット付導波管毎の各検波器を2信号処理回路を介して高速データ収集回路に接続し、該高速データ収集回路の出力端子と、シート状電気材料の移送ラインに設けたロータリーエンコーダとシート状電気材料の基準点又は接合点を読み取る光電センサーの各検出信号出力端子とをコンピュータの入力端子に接続したことを特徴とするシート状電気材料中の導電性粒子物質検知装置。 Two waveguides with slits through which the sheet-shaped electric material having a ridge-shaped cross section passes are arranged in parallel so that the transmitted microwaves do not interfere with each other, and both the waveguides with slits are transferred to the sheet-shaped electric material. A microwave oscillator is connected via a T-type circulator and a PIN diode switch, which are arranged at right angles to the direction and have a function of deflecting the reflected wave by 90 ° at both ends of each slit waveguide, A porous directional coupler is connected to the reflected wave output side of each of the T-shaped circulators connected to both ends of each slit waveguide, and a stub adjuster is connected to the main line side on the output side of the porous directional coupler. A non-reflective terminator is connected to the sub-line side of the porous directional coupler, and a detector is connected to the sub-line side of the porous directional coupler via a low noise amplifier. Each detector for each tube is connected to a high-speed data acquisition circuit via a two-signal processing circuit, and a rotary encoder provided in the output terminal of the high-speed data acquisition circuit and a sheet-like electric material transfer line An apparatus for detecting a conductive particle substance in a sheet-like electric material, wherein each detection signal output terminal of a photoelectric sensor for reading a reference point or a junction point is connected to an input terminal of a computer.
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