JP5184092B2 - 電流ループ位置センサ及び同センサを備える回転ベアリング - Google Patents
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Description
−処理チェーンの残りの部分にとって十分な強度の信号を供給するための増幅
−不所望の直流成分をオフセットから除去するためのオフセットの補正
−例えば、コモンモードノイズまたは高周波ノイズに対するノイズ抑制
−例えば、温度ドリフト現象の補正
−例えば、スペクトル折り返し現象を防止するためのフィルタリング
これらの項目を達成するために、ホイストーンブリッジアセンブリを使用することが知られており、ホイストーンブリッジアセンブリでは、完全に調整された抵抗を使用してブリッジのオフセットを除去して、導体から放出される信号に対するこれらの抵抗の位置を正確に決定し、かつ余分の測定ノイズが絶対に混入することがないようにする必要がある。全てのこれらの制約を工業的に満たすということは困難であるので、このタイプのアセンブリを使用することによって、測定精度が必ず満足できるものとなるということがない。
−可動要素に固く取り付けられて可動要素と一緒に移動するように構成されるエンコーダであって、エンコーダの位置を表わす擬似正弦波信号を送出するように構成されるエンコーダと、
−固定構造に固く取り付けられるように構成されるセンサであって、
−送出される擬似正弦波信号に従って各抵抗素子から信号Viを出力する機能を備える少なくとも2つの抵抗素子であって、前記抵抗素子がエンコーダが送出する擬似正弦波信号の読み取り距離の位置に配置される構成の抵抗素子と、
−抵抗素子から成る電流ループアセンブリと、
−信号Viを処理するデバイスであって、直交し、かつ同じ振幅を有する2つの信号SIN及びCOSのそれぞれを信号Viに従って供給するように構成されるデバイスと、を含むセンサと、
−可動要素の位置を計算するデバイスと、
を備え、前記デバイスは、エンコーダの位置をSIN信号及びCOS信号に基づいて計算して可動要素の位置をエンコーダの計算位置に基づいて推定する。
−エンコーダ1は可動要素に固く取り付けられて可動要素と一緒に移動するように構成され、かつ前記エンコーダは、エンコーダ1の位置を表わす擬似正弦波信号を送出するように構成され、
−センサ2は固定構造に固く取り付けられように構成され、そして前記エンコーダは少なくとも2つの抵抗素子3を含み、各抵抗素子は信号Viをエンコーダ1が送出する正弦波信号に従って送出する機能を備える。
本発明の一の実施形態の一の例では、抵抗素子3はフランス公開第2852400号に記載されるタイプである、すなわち抵抗素子3は、基準素子、分離素子、及び磁界を検出する素子から成る積層構造を含む。基準素子及び検出素子は第1及び第2方向に第1及び第2磁気異方性をそれぞれ有する。検出素子は強磁性材料層及び反強磁性材料層から成る複合層を含み、これらの層は磁気モーメントを発生するように配置され、測定対象の磁界の方向に配置される部品は測定対象の磁界の強度に逆比例して変化し、かつ調整可能な磁界範囲で線形的に変化する。
ガラス/Ta(5nm)/Co(10nm)/IrMn(10nm)/Co(10nm)/AlOx/Co(2nm)/Co80Pt20(5nm)/Pt(4nm)。ガラスは基板を構成し、そしてTa/Coの2重層はバッファ層である。検出素子はIrMn(10nm)/Co(10nm)の2重層により形成される。基準素子であるCo(2nm)/Co80Pt20(5nm)の積層構造はコバルトに白金を加えた構造により形成されて保磁力を大きくしている。Pt(4nm)層は保護層である。
図1〜9を参照しながら、電流ループアセンブリの、そしてプロセッサの3つの実施形態について説明するが、抵抗素子3は複数の抵抗素子を利用する。詳細には、各抵抗素子3は、幾つかの個別抵抗素子から成り、かつこれらの個別抵抗素子が組み合わされてブロック位置の高さでの抵抗値を表わす平均抵抗値が得られるようなブロックを構成する、または単一の抵抗素子を構成することができる。
[R0i+ΔRisin(θ+(i−1)φ)]ic
上式では、R0iは抵抗Riの残りの部分の値であり、φは複数の抵抗素子1の間の空間位相シフトであり、icはループにおける電流の大きさである。
プロセッサは第1段の差動アンプ4を含み、前記アンプの各々はそれぞれ、抵抗素子3の端子に接続されて信号Vi=Gi[R0i+ΔRisin(θ+(i−1)φ)]icを出力し、この場合、Giは前記差動アンプの利得である。
第1の実施形態(図1及び3)によれば、センサ2は2つの抵抗素子3を含み、電流ループアセンブリは更に、値Rrefを有する基準抵抗素子を含み、値Rrefはエンコーダ1が送出する信号に従って設定される。従って、基準素子の両方の端子に印加される信号VrefはGref×Rref×icに等しい。
S1=[(G1R01−GrefRref)+G1ΔR1sin(θ)]ic;
S2=[(G2R02−GrefRref)+G2ΔR2sin(θ+φ)]ic;
G1,G2,及びGrefがG1R01=G2R02=GrefRrefが成り立つように選択される場合、次式により表わされる信号が得られる。
S1=[G1ΔR1sin(θ)]ic;
S2=[G2ΔR2sin(θ+φ)]ic;
これらの信号は、基準信号GrefRreficを減算することによりゼロを中心とした信号となる。
S1=[GΔRsin(θ)]ic;
S2=[GΔRsin(θ+φ)]ic;
抵抗素子がφ=π/2が成り立つ、すなわち複数の抵抗素子3の間の距離がλ/4(λは正弦曲線の周期であり、これについては図2を参照されたい)に等しくなるように構成される特定の場合では、これらの信号は次式のように表現される。
S1=[GΔRsin(θ)]ic;
S2=[GΔRcos(θ)]ic;
従って、この特定の場合において、図1に示す測定システムによって、直交し、かつ同じ振幅を有する信号COS=S2及びSIN=S1を直接取得することが可能になる。
この動作を行なうために、プロセッサは2つの差動アンプ6を有する第3段を含み、これらの差動アンプにより信号S1−S2及びS1+S2を出力する。
S1−S2=[−2GΔRsin(φ/2)×cos(θ+φ/2)]ic;及び
S1+S2=[2GΔRcos(φ/2)×sin(θ+φ/2)]ic
従って、S1+S2=SIN及びS1−S2=COSが得られる。
従って、第1段の差動アンプ4の出力では、次の信号が得られる。
V1=G1×(R01+ΔR1sinθ)ic
V2=G2×(R02+ΔR2sin(θ+φ))ic
V3=G3×(R03+ΔR3sin(θ+2φ))ic
図4に示す実施形態によれば、第2段は次の信号を生成するように構成される。
S1=V1−V2=[(G1R01−G2R02)+G1ΔR1sinθ−G2ΔR2sin(θ+φ)]×ic (1)
S2=V2−V3=[(G2R02−G3R03)+G2ΔR2sin(θ+φ)−G3ΔR3sin(θ+2φ)]×ic (2)
利得Giを、G1R01=G2R02=G3R03が成り立つように調整し、かつセンサが同じ感度を有する、すなわちG1ΔR1=G2ΔR2=G3ΔR3=GΔRを仮定することにより、差(1)及び(2)は次式のようになる。
S1=[GΔR[sinθ−sin(θ+φ)]]×ic (3)
S2=[GΔR[sin(θ+φ)−sin(θ+2φ)]]×ic (4)
抵抗素子3が擬似正弦波信号からφ=π/2が成り立つような距離に、すなわちλ/4の空間周期に従った等距離の位置に配置される(図5参照)特定の場合においては、差(3)及び(4)は次式のように表わされる(ここで、√2は、ルート2を表す)。
S1=[√2GΔR[cos(θ+π/4)]×ic
S2=[√2GΔR[sin(θ+π/4)]×ic
従って、この特定の場合においては、図4に示すセンサ2によって、直交し、かつ同じ振幅を有する信号COS=S1及びSIN=S2を直接取得することが可能になる。
従って、第1段の差動アンプ4の出力では、次の信号が得られる。
V1=G1×(R01+ΔR1sinθ)ic
V2=G2×(R02+ΔR2sin(Δ+Δ))ic
V3=G3×(R03+ΔR3sin(Δ+2Δ))ic
V4=G4×(R04+ΔR4sin(θ+3φ))ic
プロセッサは第2段の差動アンプ5も含み、これらのアンプは、第1段の差動アンプから送出される信号を減算するように構成される。
S1=V1−V2=[(G1R01−G2R02)+G1ΔR1sinθ−G2ΔR2sin(θ+φ)]×ic (5)
S2=V3−V4=[(G3R03−G4R04)+G3ΔR3sin(θ+2φ)−G4ΔR4sin(θ+3φ)]×ic (6)
利得Giを、G1R01=G2R02=G3R03=G4R04が成り立つように調整し、かつセンサが同じ感度を有する、すなわちG1ΔR1=G2ΔR2=G3ΔR3=G4ΔR4=GΔRを仮定することにより、差(5)及び(6)は次式のようになる。
S1=[GΔR[sinθ−sin(θ+φ)]]×ic
S2=[GΔR[sin(θ+2φ)−sin(θ+3φ)]]×ic
図7〜9を参照すると、これらの図はプロセッサによってSIN信号及びCOS信号が、複数の抵抗素子3の間の空間位相シフトφの値に関係なく得られる様子を示している。
第3段は2つの差動アンプ6を含み、これらの2つのアンプは説明を明瞭にするために図7及び8にそれぞれが示され、次式により表される信号を出力する。
U=[S1−S2]:及び
V=[S3−S4]
または、関係式(3)及び(4)により、次式が得られる。
U=[−4GΔRsin(φ)×sin(φ/2)×sin(θ+3φ/2)]ic
V=[−4GΔRsin(φ)×cos(φ/2)×cos(θ+3φ/2)]ic
従って、これらの式はU=SIN及びV=COSを意味する。
U=[S1−S2]:及び
V=2S3
この変形例は、信号Viの振幅が同じであるとは考えることができない場合に、すなわち素子3が同じ振幅を有する正弦曲線を検出しない場合、特に抵抗素子3がエンコーダ1に対して傾いている場合に特に適する。
計算機7は、直交し、かつ同じ振幅を有するSIN信号及びCOS信号に従ってエンコーダ1の位置を計算して、要素の位置をエンコーダ1の計算位置に従って推定する手段を含む。公知のタイプのこのような計算機7によって、式SIN2+COS2を計算して信号の振幅を求め、arctan(SIN/COS)を計算して信号の位相角を求めることができる、またはSIN信号及び/又はCOS信号に基づいて生成されるパルスエッジを補間し、そしてカウントして位置をインクリメンタル方式により求める手段を提供することができる。計算機7は更に、エンコーダ1の計算位置に対する要素の位置をリセットする手段を含むことができる。
回転ベアリングは、固定要素に接続されるように構成される外側固定リング9と、回転要素によって自転するように配置されるように構成される内側回転リング8と、そしてこれらの前記リングの間に配置される回転ボディ10と、を備える。
−第2及び第3の実施形態の場合では基準抵抗を無くすことができる。
−ホイストーンブリッジアセンブリの場合のように逆の感度を有する抵抗素子3を使用する必要が全くない。従って、トンネル磁気抵抗効果素子から成る基準層を異なる方向に配置する必要がない。
−調整手段を異なる無負荷抵抗値R0iに調整して、例えば抵抗素子3の製造方法の所定のバラツキを認識することが可能になる。
−接続配線の抵抗に、かつこれらの同じ配線に検出される電気的外乱(コモンモードノイズ)に影響されない状態を維持しながら抵抗素子3を調整手段(調整手段が、例えば高温から保護される領域において)から分離することができる。
−センサを異なる空間周期を持つ信号に適合させることができる。
Claims (15)
- 固定構造に対する可動要素の位置を求めるシステムであって、前記システムは、
−可動要素に固く取り付けられて可動要素と一緒に移動するように構成されるエンコーダ(1)であって、エンコーダ(1)の位置を表わす擬似正弦波信号を送出するように構成されるエンコーダ(1)と、
−固定構造に固く取り付けられるように構成されるセンサ(2)であって、
−送出される擬似正弦波信号に従って各抵抗素子から信号Viを出力する機能を備える少なくとも2つの抵抗素子(3)であって、前記抵抗素子がエンコーダが送出する擬似正弦波信号の読み取り距離の位置に配置される構成の抵抗素子(3)と、
−複数の抵抗素子(3)を直列接続する電流ループアセンブリと、
−信号Viを処理するデバイスであって、直交し、かつ同じ振幅を有する2つの信号SIN及びCOSのそれぞれを信号Viに従って供給するように構成されるデバイスと、を含むセンサ(2)と、
−可動要素の位置を計算するデバイス(7)であって、エンコーダ(1)の位置をSIN信号及びCOS信号に基づいて計算して可動要素の位置をエンコーダ(1)の計算位置に基づいて推定するデバイスと
を備える、システム。 - プロセッサは第1段の差動アンプ群(4)を含み、前記アンプの各々はそれぞれ、抵抗素子(3)の端子に接続されて信号Viを出力することを特徴とする、請求項1に記載の測定システム。
- システムは3つの抵抗素子(3)を備えることを特徴とし、かつプロセッサは第1段の3つの差動アンプ(4)を含み、前記アンプの各々はそれぞれ、抵抗素子(3)の端子に接続されて信号Viを出力することを特徴とする、請求項2に記載の測定システム。
- センサ(2)は2つの抵抗素子(3)を含み、電流ループアセンブリは更に、基準信号Vrefを出力する基準素子(Rref)を含み、かつプロセッサは、信号Vrefを信号Viから減算するように構成される第2段の差動アンプ群(5)を含むことを特徴とする、請求項2又は3に記載の測定システム。
- プロセッサは第3段の差動アンプ群(6)を含み、
前記第3段の差動アンプ群(6)は、前記第2段の差動アンプ群(5)が送出する信号を加算する少なくとも1つの差動アンプと、前記第2段の差動アンプ群(5)が送出する信号を減算する少なくとも1つの差動アンプとを含むことを特徴とする、請求項4に記載の測定システム。 - センサ(2)は4つの抵抗素子(3)を含み、プロセッサは、第1段の差動アンプ群(4)が送出する信号を減算するように構成される第2段の差動アンプ群(5)を含むことを特徴とする、請求項2に記載の測定システム。
- 第2段の差動アンプ群(5)は4つの信号を出力するように構成され、プロセッサは、第2段の差動アンプ群(5)が送出する4つの信号を、一度に2つの信号の割合で減算するように構成される第3段の差動アンプ群(6)を含むことを特徴とする、請求項6に記載の測定システム。
- 差動アンプ(4,5,6)の内の少なくとも幾つかの差動アンプは調整可能な利得を有することを特徴とする、請求項2乃至7のいずれか一項に記載の測定システム。
- 抵抗素子(3)は複数の抵抗素子により構成され、これらの抵抗素子の各々は、エンコーダ(1)が送出する擬似正弦波信号に従って変化する電気抵抗Riを有することを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の測定システム。
- 抵抗素子(3)は磁気抵抗効果素子、巨大磁気抵抗効果素子、またはトンネル型磁気抵抗素子により構成され、これらの素子の各々は、エンコーダ(1)が送出する擬似正弦波磁気信号に従って変化する電気抵抗Riを有することを特徴とする、請求項9に記載の測定システム。
- エンコーダ(1)では、北磁極及び南磁極から成る構造体が磁極を交互に反転させるように連続して配置されることを特徴とする、請求項10に記載の測定システム。
- 前記計算のデバイス(7)は、計算位置に従って、前記要素の複数の移動パラメータのうちの少なくとも一つを求める手段を含み、前記複数の移動パラメータは、固定構造に対する前記要素の速度、加速度および移動方向のうちの少なくとも1つを備えることを特徴とする、請求項1乃至11のいずれか一項に記載の測定システム。
- センサ(2)は2つの部品を含み、第1部品は複数の抵抗素子(3)を含み、そして第2部品は、プロセッサを含み、2つの部品は接続配線によって互いに接続されることを特徴とする、請求項1乃至12のいずれか一項に記載の測定システム。
- 各抵抗素子(3)は、幾つかの個別抵抗素子から成るブロックにより形成されることを特徴とする、請求項1乃至13のいずれか一項に記載の測定システム。
- 固定リング(9)、及び前記固定リングに対して回転ボディ(10)によって回転するリング(8)を備える回転ベアリングであって、前記回転ベアリングに請求項1乃至13のいずれか一項に記載のシステムを設けて、固定リング(9)に対する回転リング(8)の角度位置を求め、エンコーダ(1)は回転リング(8)に固く取り付けられ、かつセンサ(2)は固定リング(9)に固く取り付けられる、回転ベアリング。
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