JP5181793B2 - Transparent conductive film and method for producing the same, and organic electroluminescence device - Google Patents

Transparent conductive film and method for producing the same, and organic electroluminescence device Download PDF

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Description

本発明は、導電性、透明性、フレキシビリティ性に優れ、平滑性が高くて安価な透明導電性フィルム及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a transparent conductive film which is excellent in conductivity, transparency and flexibility, has high smoothness and is inexpensive, and a method for producing the same.

液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロクロミックディスプレイ、太陽電池、電子ペーパー、タッチパネルなどに適用される透明導電性フィルムとしては、従来インジウム−スズの複合酸化物(ITO)をポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等の透明フィルム上に真空蒸着法やスパッタリング法で設けたITOフィルムが主に使用されてきた。   As a transparent conductive film applied to liquid crystal displays, electroluminescence displays, plasma displays, electrochromic displays, solar cells, electronic paper, touch panels, etc., indium-tin composite oxide (ITO) has been conventionally used as polyethylene terephthalate (PET). An ITO film provided by a vacuum deposition method or a sputtering method on a transparent film such as polyethylene naphthalate (PEN) has been mainly used.

しかし、低抵抗を得るためには、厚く均一な膜を形成したり、高温処理が必要なために透過率との両立やコスト、フィルムでの低抵抗化に限界があった。この問題を解決するために、開口部を有する金属パターンから構成される補助電極を用いることが知られている(例えば特許文献1参照)。しかし、この方法では、導電性は得られるものの、表面の平滑性が不十分であり、バリア性の低下等十分満足いくものではなかった。特に有機エレクトロルミネッセンス素子や有機薄膜型太陽電池等に使用する場合には、ダークスポットや変換効率の低下等が懸念される。   However, in order to obtain a low resistance, it is necessary to form a thick and uniform film or to perform a high-temperature treatment. Therefore, there is a limit to compatibility with the transmittance, cost, and low resistance in the film. In order to solve this problem, it is known to use an auxiliary electrode composed of a metal pattern having an opening (see, for example, Patent Document 1). However, in this method, although conductivity is obtained, the smoothness of the surface is insufficient, and the barrier property is not sufficiently lowered. In particular, when used for an organic electroluminescence element, an organic thin film solar cell, or the like, there is a concern about dark spots, a decrease in conversion efficiency, and the like.

一方では、表面の平滑性を高める方法として、一度平滑な仮支持体上に透明導電層を形成し、それを樹脂層付のフィルム支持体に写し取る、いわゆる転写法が知られている(例えば特許文献2参照)。しかし、これらの無機酸化物(ITOやIZO等)を用いた場合には柔軟性がないため、転写時にひび割れ等の問題が起こりやすい。特に導電性を向上させるために補助電極を用いた場合には、補助電極部分と開口部の間の凹凸が大きいため十分満足いくものは得られにくい。   On the other hand, as a method for improving the smoothness of the surface, there is known a so-called transfer method in which a transparent conductive layer is once formed on a smooth temporary support and then copied onto a film support with a resin layer (for example, a patent). Reference 2). However, when these inorganic oxides (ITO, IZO, etc.) are used, there is no flexibility, so problems such as cracks are likely to occur during transfer. In particular, when an auxiliary electrode is used to improve conductivity, a sufficiently satisfactory one is difficult to obtain because the unevenness between the auxiliary electrode portion and the opening is large.

また、金属パターンの転写法としては、ハロゲン化銀拡散転写法で作製した格子状の金属微細配線パターンをガラスエポキシやソーダライムガラス上に転写する方法が開示されている(例えば特許文献3参照)が、この方法では面内均一性が悪く、有機エレクトロクロミック素子の発光ムラ等が生じてしまう。
特開2006−352073号公報 特開2006−236626号公報 特開2006−111889号公報
Further, as a method for transferring a metal pattern, a method of transferring a grid-like fine metal wiring pattern produced by a silver halide diffusion transfer method onto glass epoxy or soda lime glass is disclosed (for example, see Patent Document 3). However, in this method, in-plane uniformity is poor, and light emission unevenness or the like of the organic electrochromic element occurs.
JP 2006-352073 A JP 2006-236626 A JP 2006-1111889 A

本発明は、上記問題・状況に鑑みてなされたものであり、その解決課題は、導電性、透明性、及びフレキシビリティ性に優れ、かつ平滑性が高くて安価な透明導電性フィルム及びその製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above-described problems and circumstances, and the solution to the problem is a transparent conductive film that is excellent in conductivity, transparency, and flexibility, has high smoothness, and is inexpensive. Is to provide a method.

本願発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討する過程において、特に有機エレクトロルミネッセンス素子や有機薄膜太陽電池等の検討において、開口部を持つ金属パターン補助電極を用いた導電性向上と表面平滑性の両立が、重要であることを見出した。   In the process of earnestly studying to solve the above-mentioned problems, the inventors of the present application improve the conductivity and smooth the surface using a metal pattern auxiliary electrode having an opening, particularly in the study of an organic electroluminescence element and an organic thin film solar cell. We found that compatibility of sex is important.

なお、一般に「補助電極」とは、導電性が不十分な電極の抵抗値を下げるために設けられる電極で、バス電極と称される場合もある。   In general, the “auxiliary electrode” is an electrode provided to lower the resistance value of an electrode having insufficient conductivity, and may be referred to as a bus electrode.

本願発明者らは、上記知見を得ることにより、本願発明に至った。すなわち、本発明に係る上記課題は、以下の手段により解決される。   The present inventors have reached the present invention by obtaining the above knowledge. That is, the said subject which concerns on this invention is solved by the following means.

1.透明支持体上に開口部を有する金属パターンから構成される補助電極と、導電性繊維を含有する透明導電層とを有する透明導電性フィルムであって、該透明支持体とは反対側の表面粗さRa()が5nm以下であることを特徴とする透明導電性フィルム。 1. A transparent conductive film having an auxiliary electrode composed of a metal pattern having an opening on a transparent support, and a transparent conductive layer containing conductive fibers, wherein the surface roughness on the opposite side of the transparent support A transparent conductive film having a thickness Ra ( S ) of 5 nm or less.

2.前記透明導電層の導電性繊維が透明支持体から遠い側に多く存在していることを特徴とする前記1に記載の透明導電性フィルム。   2. 2. The transparent conductive film according to 1 above, wherein a large number of conductive fibers of the transparent conductive layer are present on the side far from the transparent support.

3.前記導電性繊維がカーボンナノチューブまたは金属ナノワイヤを含有していることを特徴とする前記1または2に記載の透明導電性フィルム。   3. 3. The transparent conductive film as described in 1 or 2 above, wherein the conductive fiber contains carbon nanotubes or metal nanowires.

4.前記1〜3のいずれか1項に記載の透明導電性フィルムを有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。   4). It has the transparent conductive film of any one of said 1-3, The organic electroluminescent element characterized by the above-mentioned.

5.前記1〜3のいずれか1項に記載の透明導電性フィルムの製造方法であって、予め離型性支持体に前記補助電極、導電性繊維を含有する透明導電層をこの順番に積層した後、該補助電極と透明導電層を透明支持体に転写することを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。   5. It is a manufacturing method of the transparent conductive film of any one of said 1-3, After laminating | stacking the transparent conductive layer containing the said auxiliary electrode and a conductive fiber in this order on a releasable support body previously. The method for producing a transparent conductive film, wherein the auxiliary electrode and the transparent conductive layer are transferred to a transparent support.

本発明の上記手段により、導電性、透明性、及びフレキシビリティ性に優れ、かつ平滑性が高くて安価な透明導電性フィルム及びその製造方法を提供することができる。   By the above means of the present invention, it is possible to provide a transparent conductive film which is excellent in conductivity, transparency and flexibility, has high smoothness and is inexpensive, and a method for producing the same.

すなわち、本発明の手段により、有機エレクトロルミネッセンス素子、有機薄膜太陽電池等に好ましく適用できるフレキシビリティの高い透明導電性フィルムとその製造方法の提供が可能となる。   That is, according to the means of the present invention, it is possible to provide a highly flexible transparent conductive film that can be preferably applied to an organic electroluminescence element, an organic thin film solar cell, and the like, and a method for producing the same.

本発明を更に詳しく説明する。   The present invention will be described in more detail.

本発明の透明導電性フィルムは、透明フィルム基材上に開口部を有する金属パターンから構成される補助電極と、導電性繊維を含有する導電層とを有する透明導電性フィルムであって、その表面粗さRa()が5nm以下であることを特徴とする。この特徴は、請求項1〜5に係る発明に共通する技術的特徴である。 The transparent conductive film of the present invention is a transparent conductive film having an auxiliary electrode composed of a metal pattern having an opening on a transparent film substrate and a conductive layer containing conductive fibers, and the surface thereof Roughness Ra ( S ) is 5 nm or less, It is characterized by the above-mentioned. This feature is a technical feature common to the inventions according to claims 1 to 5.

なお、本願において、「透明」とは、JIS K 7361−1:1997(プラスチック−透明材料の全光線透過率の試験方法)に準拠した方法で測定した可視光波長領域における全光線透過率が70%以上であることをいう。   In the present application, “transparent” means that the total light transmittance in the visible light wavelength region measured by a method in accordance with JIS K 7361-1: 1997 (plastic-transparent material total light transmittance test method) is 70. % Or more.

本発明の好ましい態様としては、導電性繊維が透明支持体から遠い側に多く存在していること、導電性繊維がカーボンナノチューブまたは金属ナノワイヤを含有すること、等を挙げることができる。   Preferred embodiments of the present invention include a large amount of conductive fibers on the side far from the transparent support, and the conductive fibers containing carbon nanotubes or metal nanowires.

本発明の透明導電性フィルムの製造方法としては、予め離型性支持体に金属パターン補助電極、導電性繊維を含有する導電層をこの順番に積層した後、前記補助電極と導電層を透明支持体に転写して形成する方法がより好ましい。   As a method for producing the transparent conductive film of the present invention, a metal pattern auxiliary electrode and a conductive layer containing conductive fibers are previously laminated in this order on a releasable support, and then the auxiliary electrode and the conductive layer are transparently supported. A method of transferring and forming on a body is more preferable.

本発明の透明導電性フィルムは、特に平滑性が要望される有機エレクトロルミネッセンス素子に使用されるのが好ましい。   The transparent conductive film of the present invention is preferably used for an organic electroluminescence device in which smoothness is particularly required.

以下、本発明とその構成要素、及び本発明を実施するための最良の形態等について詳細な説明をする。   Hereinafter, the present invention, its components, and the best mode for carrying out the present invention will be described in detail.

〔透明フィルム基材〕
本発明に用いられる透明フィルム基材としては、プラスチックフィルムを用いることができる。
[Transparent film substrate]
A plastic film can be used as the transparent film substrate used in the present invention.

プラスチックフィルムの原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル類、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、環状オレフィン系樹脂などのポリオレフィン類、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデンなどのビニル系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリサルホン(PSF)、ポリエーテルサルホン(PES)、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース(TAC)などを用いることができる。   Examples of the raw material for the plastic film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene, and cyclic olefin resins, polyvinyl chloride, and polychlorinated chloride. Use vinyl resins such as vinylidene, polyether ether ketone (PEEK), polysulfone (PSF), polyether sulfone (PES), polycarbonate (PC), polyamide, polyimide, acrylic resin, triacetyl cellulose (TAC), etc. Can do.

中でも透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及びコストの点から、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム、アクリル樹脂フィルム、トリアセチルセルロースフィルムであることが好ましく、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムであることが最も好ましい。   Of these, a biaxially stretched polyethylene terephthalate film, an acrylic resin film, and a triacetylcellulose film are preferable, and a biaxially stretched polyethylene terephthalate film is most preferable in terms of transparency, heat resistance, ease of handling, and cost.

透明フィルム基材は塗布液の濡れ性や接着性を確保するために、表面処理や易接着層を設けることが好ましい。表面処理や易接着層については従来公知の技術を使用できるが、透明フィルム基材が二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムである場合は、フィルムに隣接する易接着層の屈折率が1.57〜1.63とすることで、フィルム基材と易接着層との界面反射を低減して透過率を向上させることができるのでより好ましい。屈折率を調整する方法としては、酸化スズゾルや酸化セリウムゾルなどの比較的屈折率の高い酸化物ゾルとバインダー樹脂との比率を適宜調整して塗設することで作製できる。易接着層は単層でも良いが、接着性を向上させるためには2層以上の構成にしても良い。   The transparent film substrate is preferably provided with a surface treatment or an easy-adhesion layer in order to ensure wettability and adhesion of the coating solution. Conventionally known techniques can be used for the surface treatment and the easy-adhesion layer, but when the transparent film substrate is a biaxially stretched polyethylene terephthalate film, the refractive index of the easy-adhesion layer adjacent to the film is 1.57-1. By setting it to 63, the interface reflection between the film substrate and the easy adhesion layer can be reduced and the transmittance can be improved, which is more preferable. As a method for adjusting the refractive index, the refractive index can be prepared by appropriately adjusting the ratio of the oxide sol having a relatively high refractive index such as tin oxide sol or cerium oxide sol and the binder resin. The easy-adhesion layer may be a single layer, but in order to improve the adhesiveness, it may be composed of two or more layers.

〔補助電極〕
本発明における「補助電極」は、透明導電性フィルム全体の補助電極として機能することができる。本発明に係る補助電極は、単一の金属や合金等の金属材料からなるラインを透明フィルム基材上に、一様な網目状、直線様あるいは曲線様のストライプ状あるいは櫛型等に配置したものや、正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形などの四角形、(正)六角形、(正)八角形などの(正)n角形、円、楕円、星形などを組み合わせた幾何学図形のラインパターンを規則的に組み合わせて配置したものや不規則な形状、不規則なパターンなどで構成することができる。
[Auxiliary electrode]
The “auxiliary electrode” in the present invention can function as an auxiliary electrode for the entire transparent conductive film. In the auxiliary electrode according to the present invention, a line made of a metal material such as a single metal or alloy is arranged on a transparent film substrate in a uniform mesh shape, a straight or curved stripe shape, a comb shape, or the like. Objects, triangles such as regular triangles, isosceles triangles, right triangles, squares, rectangles, rhombuses, parallelograms, trapezoids and other quadrangles, (positive) hexagons, (positive) n-gons such as (positive) octagons, It can be configured by a regular combination of geometric pattern line patterns combining circles, ellipses, stars, etc., irregular shapes, irregular patterns, and the like.

金属組成としては特に制限は無く、貴金属元素や卑金属元素の1種または複数の金属から構成されることができるが、貴金属(例えば、金、白金、銀、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニウム、オスミウム等)及び鉄、コバルト、銅、錫、ニッケルからなる群に属する少なくとも1種の金属を含むことが好ましく、導電性の観点から少なくとも銀を含むことがより好ましい。さらには、導電性と安定性を両立するために、銀と銀以外の少なくとも1種の金属を含むことも好ましい。   There is no restriction | limiting in particular as a metal composition, Although it can be comprised from 1 type or multiple metals of a noble metal element and a base metal element, it is noble metal (For example, gold, platinum, silver, palladium, rhodium, iridium, ruthenium, osmium etc. ) And at least one metal belonging to the group consisting of iron, cobalt, copper, tin and nickel, and more preferably at least silver from the viewpoint of conductivity. Furthermore, in order to achieve both conductivity and stability, it is also preferable that silver and at least one metal other than silver be included.

本発明に係る補助電極は、フィルム全体への主要な電力供給路として機能するため、抵抗率が低い方が好ましい。抵抗率を低くするためには補助電極パターンのライン断面積を大きくすることが有効であり、本発明における補助電極のライン平均断面積は、1μm〜500μmであることが好ましい。同じライン断面積の場合には、ラインの厚さを厚くする方が透明性と導電性を両立できるため好ましい。補助電極だけの表面抵抗率は、10Ω/□以下であることが好ましく、5Ω/□以下であることがより好ましく、1Ω/□以下であることが特に好ましい。 Since the auxiliary electrode according to the present invention functions as a main power supply path to the entire film, it is preferable that the resistivity is low. To the resistivity low, it is effective to increase the line cross-sectional area of the auxiliary electrode patterns, line average cross-sectional area of the auxiliary electrode in the present invention is preferably a 1μm 2 ~500μm 2. In the case of the same line cross-sectional area, it is preferable to increase the thickness of the line because both transparency and conductivity can be achieved. The surface resistivity of the auxiliary electrode alone is preferably 10Ω / □ or less, more preferably 5Ω / □ or less, and particularly preferably 1Ω / □ or less.

一方、透明度の観点からは開口率(補助電極の金属ラインパターンが無い部分の面積が全体の面積に占める割合)を大きくすること、つまりライン幅は細くライン間隔は広くすることが好ましい。補助電極の開口率は80%以上が好ましく、90%以上が最も好ましい。   On the other hand, from the viewpoint of transparency, it is preferable to increase the aperture ratio (the ratio of the area of the auxiliary electrode where there is no metal line pattern to the total area), that is, the line width is narrow and the line interval is wide. The aperture ratio of the auxiliary electrode is preferably 80% or more, and most preferably 90% or more.

このように導電性と透明度の点から、ラインの幅と厚さは1μm〜100μmが好ましく、ライン間隔は50μmから1000μmが好ましい。   Thus, from the viewpoint of conductivity and transparency, the line width and thickness are preferably 1 μm to 100 μm, and the line interval is preferably 50 μm to 1000 μm.

補助電極を形成する方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、フォトリソグラフィー法でパターン形成する方法や、印刷法やインクジェット法、銀塩感光材料を用いて露光、現像処理してパターン形成する方法、乾燥時に自発的にパターン形成する金属コロイドで被覆・乾燥してもよい。また、無電解メッキや電解メッキを上記の方法に組み合わせて用いてもよい。この中でも印刷法、インクジェット法(特に静電インクジェット法)、銀塩感光材料を用いる方法、自発的にパターン形成する金属コロイド被覆物、あるいはそれらと無電解メッキや電解メッキを組み合わせて用いる方法が、補助電極を高精度に連続的に安価で形成することが可能であるために好ましい。   As a method of forming the auxiliary electrode, a known method can be used. For example, pattern formation method by photolithography method, printing method, ink jet method, method of forming pattern by exposure and development using silver salt photosensitive material, coating and drying with metal colloid that spontaneously forms pattern when drying May be. Further, electroless plating or electrolytic plating may be used in combination with the above method. Among these, a printing method, an inkjet method (particularly an electrostatic inkjet method), a method using a silver salt photosensitive material, a metal colloid coating that spontaneously forms a pattern, or a method using these in combination with electroless plating or electrolytic plating, The auxiliary electrode is preferable because it can be continuously formed with high accuracy at low cost.

〔透明導電層〕
本発明に係る「透明導電層」は、導電性繊維を含有することを特徴とする。
[Transparent conductive layer]
The “transparent conductive layer” according to the present invention is characterized by containing conductive fibers.

ここで、「導電性繊維」とは、導電性を有し、かつ長さが幅に比べて十分に長い形状を持つものであり、概ね長さと幅の比率(アスペクト比)が5以上、好ましくは20以上のものである。形状としては中空チューブ状、ワイヤ状、ファイバー状のものがあり、例えば、金属でコーティングした有機繊維や無機繊維、導電性金属酸化物繊維、金属ナノワイヤ、炭素繊維、カーボンナノチューブなどがある。本発明においては、透明性の観点から太さが300nm以下の導電性繊維であることが好ましく、併せて導電性も満足するために、少なくとも金属ナノワイヤやカーボンナノチューブを含むことが好ましい。   Here, the “conductive fiber” is conductive and has a shape that is sufficiently long compared to the width, and generally has a length to width ratio (aspect ratio) of 5 or more, preferably Is 20 or more. Examples of the shape include a hollow tube shape, a wire shape, and a fiber shape, such as organic fibers and inorganic fibers coated with metal, conductive metal oxide fibers, metal nanowires, carbon fibers, and carbon nanotubes. In the present invention, a conductive fiber having a thickness of 300 nm or less is preferable from the viewpoint of transparency, and at least metal nanowires and carbon nanotubes are preferably included in order to satisfy conductivity.

本発明に係る導電性繊維の平均直径及び平均長さは、SEMやTEMを用いて十分な数の導電性繊維について電子顕微鏡写真を撮影し、個々の導電性繊維像の計測値の算術平均から求めることができる。導電性繊維の長さは、本来直線状に伸ばした状態で求めるべきであるが、現実には屈曲している場合が多いため、電子顕微鏡写真から画像解析装置を用いて導電性繊維の投影径及び投影面積を算出し、円柱体を仮定して算出する(長さ=投影面積/投影径)ものとする。計測対象の導電性繊維数は、少なくとも100個以上が好ましく、300個以上を計測するのが更に好ましい。   The average diameter and average length of the conductive fibers according to the present invention are obtained by taking an electron micrograph of a sufficient number of conductive fibers using SEM or TEM, and from the arithmetic average of the measured values of the individual conductive fiber images. Can be sought. The length of the conductive fiber should originally be obtained in a linearly stretched state, but since it is often bent in reality, the projected diameter of the conductive fiber using an image analyzer from an electron micrograph is used. And the projected area is calculated, assuming a cylindrical body (length = projected area / projected diameter). The number of conductive fibers to be measured is preferably at least 100, more preferably 300 or more.

本発明に係る導電性繊維層形成方法としては特に制限は無く、バインダー樹脂を水や有機溶媒に溶解した溶液中に導電性繊維を分散させた塗布液を透明フィルム上に塗布して形成しても良いが、導電性と透明性の両立のために、水や有機溶媒等に分散させた導電性繊維のみを透明フィルム上に堆積させ、その後で表面から導電性繊維が突出するようにバインダー溶液を塗布して形成することがより好ましい。また、導電性繊維を塗布した後、バインダー溶液を塗布する前に一度ローラー等でカレンダー処理して、導電性繊維同士の密着性を向上させることも好ましい。   The conductive fiber layer forming method according to the present invention is not particularly limited, and is formed by applying a coating solution in which conductive fibers are dispersed in a solution obtained by dissolving a binder resin in water or an organic solvent on a transparent film. However, in order to achieve both conductivity and transparency, only conductive fibers dispersed in water or organic solvents are deposited on the transparent film, and then the binder solution so that the conductive fibers protrude from the surface. It is more preferable to form by coating. Moreover, after apply | coating a conductive fiber, before apply | coating a binder solution, it is also preferable to carry out a calendar process once with a roller etc. and to improve the adhesiveness of conductive fibers.

〔金属ナノワイヤ〕
本発明に係る金属ナノワイヤとしては、ナノスケールの金属ワイヤであればよいが、平均直径は、透明性の観点から200nm以下であることが好ましく、導電性の観点から10nm以上であることが好ましく、より好ましくは30〜180nmである。平均長さは、導電性の観点から1μm以上であることが好ましく、凝集による透明性への影響から500μm以下であることが好ましく、より好ましくは3〜300μmである。
[Metal nanowires]
The metal nanowire according to the present invention may be a nanoscale metal wire, but the average diameter is preferably 200 nm or less from the viewpoint of transparency, and preferably 10 nm or more from the viewpoint of conductivity. More preferably, it is 30-180 nm. The average length is preferably 1 μm or more from the viewpoint of conductivity, preferably 500 μm or less, more preferably 3 to 300 μm, from the influence on the transparency due to aggregation.

本発明に係る金属ナノワイヤの金属元素としては、特に制限は無いが、好ましく用いることができる金属ナノワイヤの金属元素としては、Ag,Cu,Au,Al,Rh,Ir,Co,Zn,Ni,In,Fe,Pd,Pt,Sn,Ti等を挙げることができ、導電性の観点からAgを含むことがより好ましい。また、導電性と安定性(金属ナノワイヤの硫化や酸化耐性、及びマグレーション耐性)を両立するために、銀と銀を除く貴金属に属する少なくとも1種の金属を含むことも好ましい。金属ナノワイヤが2種類以上の金属元素を含む場合には、例えば、金属ナノワイヤの表面と内部で金属組成が異なっていてもよいし、金属ナノワイヤ全体が同一の合金組成を有していてもよい。   Although there is no restriction | limiting in particular as a metal element of the metal nanowire which concerns on this invention, As a metal element of the metal nanowire which can be used preferably, Ag, Cu, Au, Al, Rh, Ir, Co, Zn, Ni, In , Fe, Pd, Pt, Sn, Ti and the like, and Ag is more preferable from the viewpoint of conductivity. Further, in order to achieve both conductivity and stability (sulfurization and oxidation resistance of metal nanowires and resistance to magnesium), it is also preferable to include at least one kind of metal belonging to noble metal other than silver and silver. When the metal nanowire includes two or more kinds of metal elements, for example, the metal composition may be different between the inside and the surface of the metal nanowire, or the entire metal nanowire may have the same alloy composition.

本発明において金属ナノワイヤの製造手段には特に制限が無く、液相法や気相法などの公知の手段を用いることができるが、特にAgナノワイヤは、エチレングリコ ールやポリビニルピロリドンなどのポリオール中で、硝酸銀などの銀塩を還元する液相法により形状の揃ったAgナノワイヤーを大量に合成することができるために好ましい。合成方法としては、例えばXia.Y,et.al.,Chem.Ma ter.誌14巻,2002,p.4736−4745や、Xia.Y,et.al.,Nanolette rs誌3巻,2003,p.955−960に記載されている。   In the present invention, there are no particular limitations on the means for producing the metal nanowires, and known means such as a liquid phase method and a gas phase method can be used. In particular, Ag nanowires are used in polyols such as ethylene glycol and polyvinylpyrrolidone. Therefore, Ag nanowires having a uniform shape can be synthesized in a large amount by a liquid phase method for reducing a silver salt such as silver nitrate. Examples of the synthesis method include Xia. Y, et. al. , Chem. Mater. Journal Volume 14, 2002, p. 4736-4745 and Xia. Y, et. al. , Nanoletters, Vol. 3, 2003, p. 955-960.

〔カーボンナノチューブ〕
カーボンナノチューブは、厚さ数原子層のグラファイト状炭素原子面(グラフェンシート)が筒形に巻かれた形状からなる炭素系繊維材料であり、その周壁の構成数から単層ナノチューブ(SWNT)と多層ナノチューブ(MWNT)とに大別され、また、グラフェンシートの構造の違いからカイラル(らせん)型、ジグザグ型、アームチェア型に分けられ、各種のものが知られている。
〔carbon nanotube〕
A carbon nanotube is a carbon-based fiber material having a shape in which a graphite-like carbon atomic plane (graphene sheet) having a thickness of several atomic layers is wound into a cylindrical shape, and single-walled nanotubes (SWNT) and multilayers are formed from the number of peripheral walls. It is roughly divided into nanotubes (MWNT), and it is divided into a chiral type, a zigzag type, and an armchair type depending on the structure of the graphene sheet, and various types are known.

本発明係るカーボンナノチューブは、上記いずれのタイプも用いることができるが、アスペクト比が大きい、すなわち細くて長い単層ナノチューブを用いることが好ましい。例えば、アスペクト比が10以上、好ましくは10以上のカーボンナノチューブが挙げられる。カーボンナノチューブの長さは、通常1μm以上、好ましくは50μm以上、更に好ましくは500μm以上であり、長さの上限は特に限定されないが、例えば10mm程度である。外径としてはnmオーダーの極めて微小なカーボンナノチューブが知られている。カーボンナノチューブが有機化合物によって表面処理されていることが好ましく、具体的には、界面活性剤を使用して1次粒子ごとの分散性を向上させることが好ましい。併せて、直径の分布は20%以下であることが好ましい。また、これらの種々のカーボンナノチューブを複数混合して用いても良い。 Any of the above types can be used as the carbon nanotube according to the present invention, but it is preferable to use a single-walled nanotube having a large aspect ratio, that is, a thin and long one. For example, carbon nanotubes having an aspect ratio of 10 3 or more, preferably 10 4 or more can be mentioned. The length of the carbon nanotube is usually 1 μm or more, preferably 50 μm or more, more preferably 500 μm or more, and the upper limit of the length is not particularly limited, but is, for example, about 10 mm. As the outer diameter, extremely minute carbon nanotubes on the order of nm are known. The carbon nanotubes are preferably surface-treated with an organic compound, and specifically, it is preferable to improve the dispersibility of each primary particle using a surfactant. In addition, the diameter distribution is preferably 20% or less. A mixture of these various carbon nanotubes may be used.

本発明で使用されるカーボンナノチューブの製造方法は、特に限定されるものではない。具体的には、二酸化炭素の接触水素還元、アーク放電法、レーザー蒸発法、CVD法、気相成長法、一酸化炭素を高温高圧化で鉄触媒と共に反応させて気相で成長させるHiPco法等が挙げられる。また、副生成物や触媒金属等の残留物を除去するために、洗浄法、遠心分離法、ろ過法、酸化法、クロマトグラフ法等の種々の精製法によって、より高純度化されたカーボンナノチューブの方が、各種機能を十分に発現することから好ましい。   The method for producing the carbon nanotube used in the present invention is not particularly limited. Specifically, catalytic hydrogen reduction of carbon dioxide, arc discharge method, laser evaporation method, CVD method, vapor phase growth method, HiPco method in which carbon monoxide is reacted with an iron catalyst at high temperature and high pressure to grow in the gas phase, etc. Is mentioned. Moreover, in order to remove residues such as by-products and catalytic metals, carbon nanotubes that have been further purified by various purification methods such as washing methods, centrifugal separation methods, filtration methods, oxidation methods, chromatographic methods, etc. Is more preferable because various functions are sufficiently exhibited.

本発明に係る透明導電層の形成方法としては、特に制限は無いが、ロールコート法、バーコート法、ディップコーティング法、スピンコーティング法、キャスティング法、ダイコート法、ブレードコート法、バーコート法、グラビアコート法、カーテンコート法、スプレーコート法、ドクターコート法などの塗布法や、凸版(活版)印刷法、孔版(スクリーン)印刷法、平版(オフセット)印刷法、凹版(グラビア)印刷法、スプレー印刷法、インクジェット印刷法などの印刷法を用いることが好ましい。   The method for forming the transparent conductive layer according to the present invention is not particularly limited, but roll coating, bar coating, dip coating, spin coating, casting, die coating, blade coating, bar coating, gravure, and the like. Coating method, curtain coating method, spray coating method, doctor coating method, etc., letterpress (letter) printing method, stencil (screen) printing method, planographic (offset) printing method, intaglio (gravure) printing method, spray printing It is preferable to use a printing method such as an ink jet printing method.

なお、本発明の好ましい実施態様としては、導電性繊維が透明支持体から遠い側に多く存在することが好ましい。導電性繊維が透明支持体から遠い側に存在するとは、図1の概略断面図に示すように透明導電性フィルムを側面から観察したときに、導電性繊維が透明支持体と表面の中間より表面側に50%以上含有することである。好ましくは、80%以上含有することであり、より好ましくは90%以上含有することである。表面側に多く含有させる方法としては、金属パターン補助電極を形成した後、透明樹脂を補助電極の高さに対して50%以上の厚みになるように形成し、その上に導電性繊維を含む透明導電層を形成する方法や、予め離型性支持体に金属パターン補助電極、導電性繊維を含む透明導電層をこの順番に積層した後、前記補助電極と透明導電層を透明支持体に転写して形成する方法がある。   As a preferred embodiment of the present invention, it is preferable that many conductive fibers exist on the side far from the transparent support. When the transparent conductive film is observed from the side as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 1, the conductive fiber is present on the surface farther from the middle of the transparent support and the surface. It is to contain 50% or more on the side. Preferably, it contains 80% or more, more preferably 90% or more. As a method of containing a large amount on the surface side, after forming a metal pattern auxiliary electrode, a transparent resin is formed so as to have a thickness of 50% or more with respect to the height of the auxiliary electrode, and a conductive fiber is included thereon. A method of forming a transparent conductive layer, or after previously laminating a metal pattern auxiliary electrode and a transparent conductive layer containing conductive fibers on a releasable support in this order, and then transferring the auxiliary electrode and the transparent conductive layer to the transparent support There is a method of forming.

さらに本願透明導電性フィルムは、前記のように金属パターン補助電極と導電性繊維を含む透明導電層を形成した後、その表面にいわゆる導電性導電性ポリマーやITO、ZnO等の導電性金属酸化物からなる層を形成しても良い。   Further, the transparent conductive film of the present application is formed by forming a transparent conductive layer including a metal pattern auxiliary electrode and conductive fibers as described above, and then a conductive metal oxide such as a conductive conductive polymer or ITO or ZnO on the surface thereof. You may form the layer which consists of.

〔離型性支持体〕
本発明の透明電極の製造方法で用いられる離型性支持体としては、樹脂基板や樹脂フィルムなどが好適に挙げられる。該樹脂には特に制限はなく、公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、塩化ビニル系樹脂、アクリル系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂などの合成樹脂の単層あるいは複数層からなる基板やフィルムが好適に用いられる。更にガラス基板や紙類を用いることもできる。
(Releasable support)
Suitable examples of the releasable support used in the method for producing a transparent electrode of the present invention include a resin substrate and a resin film. There is no restriction | limiting in particular in this resin, It can select suitably from well-known things, For example, synthesis | combination, such as a polyethylene terephthalate resin, a vinyl chloride resin, an acrylic resin, a polycarbonate resin, a polyimide resin, a polyethylene resin, a polypropylene resin A substrate or film composed of a single layer or multiple layers of resin is preferably used. Further, a glass substrate or paper can be used.

離型性支持体表面は、透明導電層を転写した後の導電性層表面粗さに影響を与えるため、高平滑であることが望ましく、表面平滑性Ra()≦5nmであるが、Ra()≦3nmであることがより好ましく、Ra()≦1nmであることが更に好ましい。 The surface of the releasable support is preferably highly smooth because it affects the surface roughness of the conductive layer after the transparent conductive layer is transferred, and the surface smoothness Ra ( S ) ≦ 5 nm. ( S ) ≦ 3 nm is more preferable, and Ra ( S ) ≦ 1 nm is still more preferable.

また、離型性支持体の表面(離型面)には、必要に応じてシリコーン樹脂やフッ素樹脂、ワックスなどの離型剤を塗布して表面処理を施してもよい。   In addition, a surface treatment may be performed on the surface (release surface) of the releasable support by applying a release agent such as silicone resin, fluororesin, or wax as necessary.

〔その他の添加剤〕
本発明に係る透明導電層には、上述した各種の成分の他に、必要に応じて任意に添加剤を含有することができる。具体的には、界面活性剤、有機溶媒、紫外線吸収剤、酸化防止剤、劣化防止剤、pH調整剤、重合禁止剤、表面改質剤、脱泡剤、可塑剤、抗菌剤、などが挙げられる。これらは、1種単独で使用しても良いし、2種以上を併用しても良い。
[Other additives]
In addition to the various components described above, the transparent conductive layer according to the present invention can optionally contain additives as necessary. Specific examples include surfactants, organic solvents, ultraviolet absorbers, antioxidants, deterioration inhibitors, pH adjusters, polymerization inhibitors, surface modifiers, defoamers, plasticizers, antibacterial agents, and the like. It is done. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

界面活性剤としては、一般に知られているアニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、両イオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤などを挙げることが可能で、これらを任意に用いて良い。尚、本発明では、後述する導電性膜を成膜するに当たり水系溶媒を用いると有利なことがあり、その場合は特に、重縮合系の芳香族系界面活性剤、重合系の芳香族系界面活性剤、芳香族系非イオン性界面活性剤、及び、芳香族系非イオン性界面活性剤とイオン性界面活性剤との組み合わせなどを用いることも好ましい態様の1つである。   Examples of the surfactant include generally known anionic surfactants, cationic surfactants, amphoteric surfactants, nonionic surfactants, and the like. good. In the present invention, it may be advantageous to use an aqueous solvent for forming a conductive film, which will be described later. In this case, in particular, a polycondensation type aromatic surfactant, a polymerization type aromatic interface, and the like. It is also one of preferred embodiments to use an activator, an aromatic nonionic surfactant, a combination of an aromatic nonionic surfactant and an ionic surfactant, and the like.

〔透明導電性フィルム〕
本発明の透明導電性フィルムは、導電性を持つ表面の平滑性Ra()≦5nmであることが好ましく、Ra()≦3nmであることがより好ましく、Ra()≦1nmであることが更に好ましい。
[Transparent conductive film]
The transparent conductive film of the present invention preferably has a conductive surface smoothness Ra ( S ) ≦ 5 nm, more preferably Ra ( S ) ≦ 3 nm, and Ra ( S ) ≦ 1 nm. More preferably.

ここで、Ra()は算術平均粗さ(平均線からの絶対値偏差の平均値)を意味し、値が小さいほど平滑性に優れる。Ra()は、直接測定できる場合には表面粗さ計などを用いて測定し求めることができる。あるいは、ミクロトームで透明導電性フィルムに垂直な断面切片を作製し、10切片以上の電子顕微鏡写真を撮影して画像処理装置などを用いて、表面の粗さ曲線を計測し、算術平均粗さを計算して求めることもできる。 Here, Ra ( S ) means arithmetic average roughness (average value of absolute value deviations from the average line), and the smaller the value, the better the smoothness. Ra ( S ) can be measured and determined using a surface roughness meter or the like if it can be directly measured. Alternatively, a cross section perpendicular to the transparent conductive film is prepared with a microtome, an electron micrograph of 10 sections or more is taken, and the surface roughness curve is measured using an image processing apparatus or the like, and the arithmetic average roughness is calculated. It can also be calculated.

凹凸の大きな金属パターン補助電極を持つ透明導電性フィルムの表面を平滑化させるには、表面の平坦な基材上に予め金属パターン補助電極や透明導電層を形成し、これを所望の透明支持体上に転写する方法や、金属パターン補助電極の開口部を透明樹脂で平坦にし、その上に導電性繊維を含む透明導電層を塗布した後、表面側に加圧または加圧加熱処理を施す方法等がある。加圧方法としては、ロールとロールの間に基材フィルムを通過させながら加圧させるニップロール加圧や、プレート上をロールで加圧する方法等がある。ロールやプレートの材質としては、特に制限されないが、平滑化する効果を高めるためには、金属性のものが好ましい。加圧の大きさは1kPから100MPaの範囲で任意に可能であるが、好ましくは10kPa〜10Mpaの範囲、より好ましくは、50kPa〜5MPaである。加圧が1kPaより少ないと平滑化の効果が得にくく、100MPa以上では、逆にヘイズが上昇するので好ましくない。また、加圧と同時に加熱することは効果的であり、その場合40℃〜300℃の範囲で加熱することが好ましい。加熱の時間は温度との関係で調節されて、高い温度では、短く、低温では長くというようにすることができる。加熱の方法は、ニップロールの場合には、ロールを予め所定の温度に加熱しておく方法やオートクレーブ室のような加熱室内で過熱する方法がある。所定の大きさの試料を複数枚枚葉積層して一度に加熱する方法は、生産性が高いので好適である。   In order to smooth the surface of a transparent conductive film having a metal pattern auxiliary electrode with large irregularities, a metal pattern auxiliary electrode or a transparent conductive layer is formed in advance on a substrate having a flat surface, and this is applied to a desired transparent support. A method of transferring to the top, a method of flattening the opening of the metal pattern auxiliary electrode with a transparent resin, applying a transparent conductive layer containing conductive fibers thereon, and then applying pressure or pressure heat treatment to the surface side Etc. As a pressurization method, there are a nip roll pressurization in which a base film is passed between rolls and a method of pressurizing a plate with a roll. The material of the roll or plate is not particularly limited, but a metallic material is preferable in order to enhance the smoothing effect. Although the magnitude | size of a pressurization is arbitrarily possible in the range of 1 kPa to 100 MPa, Preferably it is the range of 10 kPa-10 MPa, More preferably, it is 50 kPa-5 MPa. When the pressure is less than 1 kPa, it is difficult to obtain a smoothing effect. Moreover, it is effective to heat simultaneously with pressurization, and it is preferable to heat in the range of 40 to 300 degreeC in that case. The heating time is adjusted in relation to the temperature and can be short at a high temperature and long at a low temperature. In the case of a nip roll, the heating method includes a method in which the roll is heated to a predetermined temperature in advance and a method in which heating is performed in a heating chamber such as an autoclave chamber. A method of laminating a plurality of samples of a predetermined size and heating them at a time is preferable because of high productivity.

本発明の透明導電性フィルムの厚さには特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、一般的に10μm以下であることが好ましく、厚さが薄くなるほど透明性が向上するためより好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the transparent conductive film of this invention, Although it can select suitably according to the objective, Generally it is preferable that it is 10 micrometers or less, and transparency improves, so that thickness becomes thin. Therefore, it is more preferable.

本発明の透明導電性フィルムにおける全光線透過率は、70%以上であることが好ましく、80%以上であることがより好ましい。また、本発明の透明導電性フィルムにおける電気抵抗値としては、透明導電膜としての機能性の観点から、表面抵抗率として30Ω/□以下がよく、10Ω/□以下が好ましく、3Ω/□以下であることがより好ましい。   The total light transmittance in the transparent conductive film of the present invention is preferably 70% or more, and more preferably 80% or more. Moreover, as an electrical resistance value in the transparent conductive film of the present invention, from the viewpoint of functionality as a transparent conductive film, the surface resistivity is preferably 30Ω / □ or less, preferably 10Ω / □ or less, preferably 3Ω / □ or less. More preferably.

〔有機エレクトロルミネッセンス素子〕
本発明における有機エレクトロルミネッセンス素子は、本発明の透明導電膜を有することを特徴とする。本発明における有機エレクトロルミネッセンス素子は、本発明の透明導電膜を陽極として用い、有機発光層、陰極については有機エレクトロルミネッセンス素子に一般的に使われている材料、構成等の任意のものを用いることができる。有機エレクトロルミネッセンス素子の素子構成としては、陽極/有機発光層/陰極、陽極/ホール輸送層/有機発光層/電子輸送層/陰極、陽極/ホール注入層/ホール輸送層/有機発光層/電子輸送層/陰極、陽極/ホール注入層/有機発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極、陽極/ホール注入層/有機発光層/電子注入層/陰極、等の各種の構成のものを挙げることができる。
[Organic electroluminescence device]
The organic electroluminescent element in the present invention has the transparent conductive film of the present invention. The organic electroluminescent element in the present invention uses the transparent conductive film of the present invention as an anode, and the organic light emitting layer and the cathode are made of any materials and structures generally used in organic electroluminescent elements. Can do. The element configuration of the organic electroluminescence element is anode / organic light emitting layer / cathode, anode / hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport layer / cathode, anode / hole injection layer / hole transport layer / organic light emitting layer / electron transport. Examples of various configurations such as layer / cathode, anode / hole injection layer / organic light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode, anode / hole injection layer / organic light emitting layer / electron injection layer / cathode, etc. Can do.

また、本発明において有機発光層に使用できる発光材料またはドーピング材料としては、アントラセン、ナフタレン、ピレン、テトラセン、コロネン、ペリレン、フタロペリレン、ナフタロペリレン、ジフェニルブタジエン、テトラフェニルブタジエン、クマリン、オキサジアゾール、ビスベンゾキサゾリン、ビススチリル、シクロペンタジエン、キノリン金属錯体、トリス(8−ヒドロキシキノリナート)アルミニウム錯体、トリス(4−メチル−8−キノリナート)アルミニウム錯体、トリス(5−フェニル−8−キノリナート)アルミニウム錯体、アミノキノリン金属錯体、ベンゾキノリン金属錯体、トリ−(p−ターフェニル−4−イル)アミン、1−アリール−2,5−ジ(2−チエニル)ピロール誘導体、ピラン、キナクリドン、ルブレン、ジスチルベンゼン誘導体、ジスチルアリーレン誘導体、及び各種蛍光色素及び希土類金属錯体、燐光発光材料等があるが、これらに限定されるものではない。またこれらの化合物のうちから選択される発光材料を90〜99.5質量部、ドーピング材料を0.5〜10質量部含むようにすることも好ましい。有機発光層は上記の材料等を用いて公知の方法によって作製されるものであり、蒸着、塗布、転写などの方法が挙げられる。この有機発光層の厚みは0.5〜500nmが好ましく、特に、0.5〜200nmが好ましい。   In addition, as the light emitting material or doping material that can be used in the organic light emitting layer in the present invention, anthracene, naphthalene, pyrene, tetracene, coronene, perylene, phthaloperylene, naphthaloperylene, diphenylbutadiene, tetraphenylbutadiene, coumarin, oxadiazole, bisbenzo Xazoline, bisstyryl, cyclopentadiene, quinoline metal complex, tris (8-hydroxyquinolinato) aluminum complex, tris (4-methyl-8-quinolinato) aluminum complex, tris (5-phenyl-8-quinolinato) aluminum complex, Aminoquinoline metal complex, benzoquinoline metal complex, tri- (p-terphenyl-4-yl) amine, 1-aryl-2,5-di (2-thienyl) pyrrole derivative, pyran, quinacridone Rubrene, distyrylbenzene derivatives, di still arylene derivatives, and various fluorescent dyes and rare earth metal complex, there are phosphorescent materials, but is not limited thereto. It is also preferable to include 90 to 99.5 parts by mass of a light emitting material selected from these compounds and 0.5 to 10 parts by mass of a doping material. The organic light emitting layer is prepared by a known method using the above materials and the like, and examples thereof include vapor deposition, coating, and transfer. The thickness of the organic light emitting layer is preferably 0.5 to 500 nm, particularly preferably 0.5 to 200 nm.

本発明における有機エレクトロルミネッセンス素子は、自発光型ディスプレイ、液晶用バックライト、照明等に用いることが出来る。本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は、大面積を均一にむらなく発光させることが出来るため、照明用途で用いることが特に好ましい。   The organic electroluminescent element in the present invention can be used for a self-luminous display, a liquid crystal backlight, illumination, and the like. Since the organic electroluminescent element of the present invention can emit light evenly over a large area, it is particularly preferred to be used for illumination.

以下、実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、実施例において「%」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量%」を表す。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, although the display of "%" is used in an Example, unless otherwise indicated, "mass%" is represented.

実施例1
(金属パターン補助電極フィルムの作製)
〔金属パターン補助電極フィルム1〕
反応容器内で下記溶液Aを34℃に保ち、特開昭62−160128号公報記載の混合撹拌装置を用いて高速に撹拌しながら、硝酸(濃度6%)を用いてpHを2.95に調整した。引き続き、ダブルジェット法を用いて下記溶液Bと下記溶液Cを一定の流量で8分6秒間かけて添加した。添加終了後に、炭酸ナトリウム(濃度5%)を用いてpHを5.90に調整し、続いて下記溶液Dと溶液Eを添加した。
Example 1
(Production of metal pattern auxiliary electrode film)
[Metal pattern auxiliary electrode film 1]
The following solution A was kept at 34 ° C. in a reaction vessel, and the pH was adjusted to 2.95 using nitric acid (concentration 6%) while stirring at high speed using a mixing and stirring device described in JP-A-62-2160128. It was adjusted. Subsequently, the following solution B and the following solution C were added at a constant flow rate over 8 minutes and 6 seconds using the double jet method. After completion of the addition, the pH was adjusted to 5.90 using sodium carbonate (concentration 5%), and then the following solution D and solution E were added.

(溶液A)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 18.7g
塩化ナトリウム 0.31g
溶液I(下記) 1.59ml
純水 1246ml
(溶液B)
硝酸銀 169.9g
硝酸(濃度6%) 5.89ml
純水にて317.1mlに仕上げる。
(Solution A)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 18.7g
Sodium chloride 0.31g
Solution I (below) 1.59ml
Pure water 1246ml
(Solution B)
169.9g of silver nitrate
Nitric acid (concentration 6%) 5.89ml
Finish to 317.1 ml with pure water.

(溶液C)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 5.66g
塩化ナトリウム 58.8g
臭化カリウム 13.3g
溶液I(下記) 0.85ml
溶液II(下記) 2.72ml
純水にて317.1mlに仕上げる。
(Solution C)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 5.66 g
Sodium chloride 58.8g
13.3 g of potassium bromide
Solution I (below) 0.85ml
Solution II (below) 2.72 ml
Finish to 317.1 ml with pure water.

(溶液D)
2−メチル−4ヒドロキシ−1,3,3a,7−テトラアザインデン 0.56g
純水 112.1ml
(溶液E)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 3.96g
溶液I(下記) 0.40ml
純水 128.5ml
(溶液I)
界面活性剤:ポリイソプロピレンポリエチレンオキシジコハク酸エステルナトリウム塩の10質量%メタノール溶液
(溶液II)
六塩化ロジウム錯体の10質量%水溶液
上記操作終了後に、常法に従い40℃にてフロキュレーション法を用いて脱塩及び水洗処理を施し、溶液Fと防バイ剤を加えて60℃でよく分散し、40℃にてpHを5.90に調整して、最終的に臭化銀を10モル%含む平均粒子径0.09μm、変動係数10%の塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。
(Solution D)
2-Methyl-4hydroxy-1,3,3a, 7-tetraazaindene 0.56 g
112.1 ml of pure water
(Solution E)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 3.96 g
Solution I (below) 0.40ml
128.5 ml of pure water
(Solution I)
Surfactant: 10% by weight methanol solution of polyisopropylene polyethylene oxydisuccinate sodium salt (Solution II)
10% by weight aqueous solution of rhodium hexachloride complex After the above operation is completed, desalting and water washing are performed using a flocculation method at 40 ° C. according to a conventional method. The pH was adjusted to 5.90 at 40 ° C., and finally a silver chlorobromide cubic grain emulsion containing 10 mol% of silver bromide and having an average grain size of 0.09 μm and a coefficient of variation of 10% was obtained.

(溶液F)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 16.5g
純水 139.8ml
上記ハロゲン化銀乳剤に対し、チオ硫酸ナトリウムをハロゲン化銀1モル当たり20mg用い、40℃にて80分間化学増感を行い、化学増感終了後に4−ヒドロキシ−6−メチル−1,3,3a,7−テトラザインデン(TAI)をハロゲン化銀1モル当たり500mg、1−フェニル−5−メルカプトテトラゾールをハロゲン化銀1モル当たり150mg添加して、ハロゲン化銀乳剤EM−1を得た。このハロゲン化銀乳剤EM−1のハロゲン化銀粒子とゼラチンの体積比(ハロゲン化銀粒子/ゼラチン)は0.625であった。さらに硬膜剤(H−1:テトラキス(ビニルスルホニルメチル)メタン)をゼラチン1g当たり200mgの比率となるようにして添加し、また塗布助剤として、界面活性剤(SU−2:スルホ琥珀酸ジ(2−エチルヘキシル)・ナトリウム)を添加し、表面張力を調整した。こうして得られた塗布液を厚さ100μm、表面粗さRa=1nmのコロナ放電処理を施した離型性PET支持体離型面上にGelの付量が0.13g/mになるように塗布した後、50℃、24時間のキュア処理を実施した。
(Solution F)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 16.5g
Pure water 139.8ml
The silver halide emulsion was subjected to chemical sensitization at 40 ° C. for 80 minutes using 20 mg of sodium thiosulfate per mole of silver halide, and 4-hydroxy-6-methyl-1,3, after completion of chemical sensitization. 500 mg of 3a, 7-tetrazaindene (TAI) per 1 mol of silver halide and 150 mg of 1-phenyl-5-mercaptotetrazole per 1 mol of silver halide were added to obtain silver halide emulsion EM-1. In this silver halide emulsion EM-1, the volume ratio of silver halide grains to gelatin (silver halide grains / gelatin) was 0.625. Further, a hardening agent (H-1: tetrakis (vinylsulfonylmethyl) methane) was added at a ratio of 200 mg per 1 g of gelatin, and a surfactant (SU-2: sulfosuccinate disulfate) was applied as a coating aid. (2-ethylhexyl) .sodium) was added to adjust the surface tension. The amount of Gel applied is 0.13 g / m 2 on the release surface of the releasable PET support subjected to corona discharge treatment with a thickness of 100 μm and surface roughness Ra = 1 nm. After the application, a curing treatment was performed at 50 ° C. for 24 hours.

上述のようにして作製したフィルムに対して、ライン幅が7μm、ライン同士の間隔が206μmの格子状のフォトマスクを介して、紫外線ランプを用いて露光を行い、下記現像液(DEV−1)を用いて25℃で60秒間現像処理を行った後、下記定着液(FIX−1)を用いて25℃で120秒間の定着処理を行った。さらに、下記物理現像液(PDEV−1)を用いて25℃で10分間物理現像を行った後、水洗、乾燥処理を行った。   The film produced as described above is exposed using an ultraviolet lamp through a lattice-shaped photomask having a line width of 7 μm and an interval between lines of 206 μm, and the following developer (DEV-1) Then, development processing was performed at 25 ° C. for 60 seconds, and then fixing processing was performed at 25 ° C. for 120 seconds using the following fixing solution (FIX-1). Further, physical development was performed at 25 ° C. for 10 minutes using the following physical developer (PDEV-1), followed by washing with water and drying.

(DEV−1)
純水 500ml
メトール 2g
無水亜硫酸ナトリウム 80g
ハイドロキノン 4g
ホウ砂 4g
チオ硫酸ナトリウム 10g
臭化カリウム 0.5g
水を加えて全量を1リットルとする。
(DEV-1)
500 ml of pure water
Metol 2g
80 g of anhydrous sodium sulfite
Hydroquinone 4g
4g borax
Sodium thiosulfate 10g
Potassium bromide 0.5g
Add water to bring the total volume to 1 liter.

(FIX−1)
純水 750ml
チオ硫酸ナトリウム 250g
無水亜硫酸ナトリウム 15g
氷酢酸 15ml
カリミョウバン 15g
水を加えて全量を1リットルとする。
(FIX-1)
750 ml of pure water
Sodium thiosulfate 250g
Anhydrous sodium sulfite 15g
Glacial acetic acid 15ml
Potash alum 15g
Add water to bring the total volume to 1 liter.

(PDEV−1)
下記A液、B液を処理の直前に混合する。
(PDEV-1)
The following A liquid and B liquid are mixed immediately before a process.

(A液)
純水 400ml
クエン酸 10g
リン酸水素2ナトリウム 1g
アンモニア水(28%水溶液) 1.2ml
ハイドロキノン 3g
(B液)
純水 10ml
硝酸銀 0.4g
物理現像処理の後に、下記電解めっき液を用いて25℃で電解銅めっき処理を施した後、水洗、乾燥処理を行った。なお電解銅めっきにおける電流制御は3Aで1分間、次いで1Aで12分間、計13分間かけて実施した。めっき処理終了後に、水道水で10分間洗い流して水洗処理を行い、乾燥風(50℃)を用いてドライ状態になるまで乾燥した。
(Liquid A)
400ml of pure water
Citric acid 10g
Disodium hydrogen phosphate 1g
Ammonia water (28% aqueous solution) 1.2ml
Hydroquinone 3g
(Liquid B)
10 ml of pure water
0.4 g of silver nitrate
After the physical development treatment, electrolytic copper plating treatment was performed at 25 ° C. using the following electrolytic plating solution, followed by washing with water and drying treatment. In addition, the current control in electrolytic copper plating was performed over 3 minutes, 3 minutes for 1 minute and then 12 minutes for 1A. After the completion of the plating treatment, the plate was rinsed with tap water for 10 minutes to carry out a water washing treatment, and dried using a dry air (50 ° C.) until it was in a dry state.

(電解めっき液)
硫酸銅(五水和物) 200g
硫酸 50g
塩化ナトリウム 0.1g
水を加えて総量を1000mlに仕上げる。
(Electrolytic plating solution)
Copper sulfate (pentahydrate) 200g
50g of sulfuric acid
Sodium chloride 0.1g
Add water to bring the total volume to 1000 ml.

以上のようにして、幅10μm、間隔200μm、高さ6μmの金属パターン補助電極フィルム1を作製した。   As described above, the metal pattern auxiliary electrode film 1 having a width of 10 μm, an interval of 200 μm, and a height of 6 μm was produced.

〔金属パターン補助電極フィルム2〕
厚さ125μm、表面粗さRa=1nmのコロナ放電処理を施した高耐熱性ポリイミドフィルムの片面に、公知のノズル先端部内径10μmの静電インクジェットプリンターを用いて、Agペーストインクで、幅10μm、間隔160μm、高さ4μmのパターンを付与し、250℃で15分間焼結して金属パターン補助電極フィルム2を形成した。
[Metal pattern auxiliary electrode film 2]
On one side of a highly heat-resistant polyimide film subjected to corona discharge treatment with a thickness of 125 μm and a surface roughness Ra = 1 nm, using a known electrostatic inkjet printer with an inner diameter of the tip of the nozzle of 10 μm, Ag paste ink, a width of 10 μm, A pattern having an interval of 160 μm and a height of 4 μm was applied and sintered at 250 ° C. for 15 minutes to form a metal pattern auxiliary electrode film 2.

〔金属パターン補助電極フィルム3〕
厚さ100μm、表面粗さRa=1nmのコロナ放電処理を施した離型性PETフィルムの片面に、下記の自発的にパターン形成する金属コロイド溶液をウェット膜厚40μmで塗布した後、50℃で乾燥した。これをギ酸水溶液に浸漬、乾燥し、幅5μm、間隔100μm、高さ2μmの金属パターン補助電極フィルム3を形成した。
[Metal pattern auxiliary electrode film 3]
After applying the following colloidal metal solution for spontaneous pattern formation to one side of a releasable PET film having a thickness of 100 μm and a surface roughness Ra = 1 nm subjected to corona discharge treatment at a wet film thickness of 40 μm, at 50 ° C. Dried. This was immersed in a formic acid aqueous solution and dried to form a metal pattern auxiliary electrode film 3 having a width of 5 μm, an interval of 100 μm, and a height of 2 μm.

〈金属コロイド溶液〉 質量%
BYK−410(BYKケミー製) 0.11
SPAN−80(東京化成工業製) 0.11
ジクロロエタン 75.63
シクロヘキサノン 0.42
銀粉末(平均粒径70nm) 3.59
BYK−348(0.02%水溶液;BYKケミー製) 19.98
ZonylFSH(デュポン製) 0.08
Butver B−76(Solutia製) 0.08
(導電性繊維分散液の作製)
〔導電性繊維分散液a〕
非特許文献1(Adv.Mater.2002,14,833〜837)に記載の方法を参考に、還元剤としてエチレングリコール(EG)を、形態制御剤兼保護コロイド剤としてポリビニルピロリドン(PVP:PVP:平均分子量130万、アルドリッチ社製)を使用し、かつ核形成工程と粒子成長工程とを分離して粒子形成を行い、銀ナノワイヤ分散液を調製した。
<Metallic colloid solution>
BYK-410 (manufactured by BYK Chemie) 0.11
SPAN-80 (manufactured by Tokyo Chemical Industry) 0.11
Dichloroethane 75.63
Cyclohexanone 0.42
Silver powder (average particle size 70 nm) 3.59
BYK-348 (0.02% aqueous solution; manufactured by BYK Chemie) 19.98
ZonylFSH (DuPont) 0.08
Butver B-76 (Solutia) 0.08
(Preparation of conductive fiber dispersion)
[Conductive fiber dispersion a]
Referring to the method described in Non-Patent Document 1 (Adv. Mater. 2002, 14, 833 to 837), ethylene glycol (EG) as a reducing agent and polyvinylpyrrolidone (PVP: PVP: An average molecular weight of 1,300,000 (manufactured by Aldrich) was used, and the nucleation step and the particle growth step were separated to form particles to prepare a silver nanowire dispersion.

(核形成工程)
反応容器内で160℃に保持したEG液100mlを攪拌しながら、硝酸銀のEG溶液(硝酸銀濃度:1.0モル/l)2.0mlを、一定の流量で1分間かけて添加した。その後、160℃で10分間保持しながら銀イオンを還元して銀の核粒子を形成した。反応液は、ナノサイズの銀微粒子の表面プラズモン吸収に由来する黄色を呈しており、銀イオンが還元されて銀の微粒子(核粒子)が形成されたことを確認した。続いて、PVPのEG溶液(PVP濃度:3.0×10−1モル/L)10.0mlを一定の流量で10分間かけて添加した。
(Nucleation process)
While stirring 100 ml of the EG solution maintained at 160 ° C. in the reaction vessel, 2.0 ml of an EG solution of silver nitrate (silver nitrate concentration: 1.0 mol / l) was added at a constant flow rate over 1 minute. Thereafter, the silver ions were reduced while being held at 160 ° C. for 10 minutes to form silver core particles. The reaction solution exhibited a yellow color derived from surface plasmon absorption of nano-sized silver fine particles, and it was confirmed that silver ions were reduced to form silver fine particles (nuclear particles). Subsequently, 10.0 ml of PVP EG solution (PVP concentration: 3.0 × 10 −1 mol / L) was added at a constant flow rate over 10 minutes.

(粒子成長工程)
上記核形成工程1を終了した後の核粒子を含む反応液を、攪拌しながら160℃に保持し、硝酸銀のEG溶液(硝酸銀濃度:1.0×10−1モル/l)100mlと、PVPのEG溶液(PVP濃度:3.0×10−1モル/l)100mlを、ダブルジェット法を用いて一定の流量で120分間かけて添加した。粒子成長工程において、30分毎に反応液を採取して電子顕微鏡で確認したところ、核形成工程で形成された核粒子が時間経過に伴ってワイヤ状の形態に成長しており、粒子成長工程における新たな微粒子の生成は認められなかった。最終的に得られた銀ナノワイヤについて、電子顕微鏡写真を撮影し、300個の銀ナノワイヤ粒子像の長軸方向及び短軸方向の粒径を測定して算術平均を求めた。短軸方向の平均粒径は100nm、長軸方向の平均長さは40μmであった。
(Particle growth process)
The reaction liquid containing the core particles after the nucleation step 1 is maintained at 160 ° C. with stirring, 100 ml of an EG solution of silver nitrate (silver nitrate concentration: 1.0 × 10 −1 mol / l), and PVP 100 ml of EG solution (PVP concentration: 3.0 × 10 −1 mol / l) was added over 120 minutes at a constant flow rate using the double jet method. In the particle growth process, the reaction solution was sampled every 30 minutes and confirmed with an electron microscope. As a result, the core particles formed in the nucleation process grew into a wire-like form over time. The formation of new fine particles was not observed. About the silver nanowire finally obtained, the electron micrograph was image | photographed, the particle size of the major axis direction and the minor axis direction of 300 silver nanowire particle images was measured, and the arithmetic average was calculated | required. The average particle size in the minor axis direction was 100 nm, and the average length in the major axis direction was 40 μm.

(脱塩水洗工程)
上記粒子形成工程を終了した反応液を室温まで冷却した後、分画分子量0.2μmの限外濾過膜を用いて脱塩水洗処理を施すと共に、溶媒をエタノールに置換した。最後に液量を100mlまで濃縮して銀ナノワイヤのEtOH分散液を調製した。
(Demineralized water washing process)
After cooling the reaction solution after the particle formation step to room temperature, it was subjected to demineralized water washing treatment using an ultrafiltration membrane having a fractional molecular weight of 0.2 μm, and the solvent was replaced with ethanol. Finally, the liquid volume was concentrated to 100 ml to prepare a silver nanowire EtOH dispersion.

この銀ナノワイヤEtOH分散液とウレタンアクリレートの25%メチルイソブチルケトン溶液を銀ナノワイヤの濃度が0.5%になるように混合して導電性繊維分散液aを作製した。   The silver nanowire EtOH dispersion and a 25% methyl isobutyl ketone solution of urethane acrylate were mixed so that the concentration of the silver nanowire was 0.5% to prepare a conductive fiber dispersion a.

〔導電性繊維分散液b〕
精製済みの高純度単層カーボンナノチューブ(カーボン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド社製;以下「SWNT」)0.5部をウレタンアクリレート7部を溶解したメチルイソブチルケトン溶液に分散し、導電性繊維分散液bを作製した。
[Conductive fiber dispersion b]
0.5 parts of purified high-purity single-walled carbon nanotubes (manufactured by Carbon Nanotechnology Inc .; hereinafter referred to as “SWNT”) are dispersed in a methyl isobutyl ketone solution in which 7 parts of urethane acrylate is dissolved, and a conductive fiber dispersion b was produced.

〔導電性繊維分散液c〕
上記、導電性繊維分散液aと精製済みの高純度SWNT0.5部を分散したEtOH溶液を銀ナノワイヤとSWNTの比率が1:1になるように混合し、導電性繊維分散液cを作製した。
[Conductive fiber dispersion c]
The conductive fiber dispersion a and the EtOH solution in which 0.5 parts of purified high-purity SWNTs were dispersed were mixed so that the ratio of silver nanowires and SWNTs was 1: 1 to prepare a conductive fiber dispersion c. .

(透明導電性フィルム101の作製)
金属パターン補助電極フィルム1の上に導電性繊維分散液aを銀ナノワイヤの目付け量が0.25g/mとなるように塗布、乾燥し転写用フィルムを作製した。
(Preparation of transparent conductive film 101)
A conductive fiber dispersion liquid a was applied onto the metal pattern auxiliary electrode film 1 so that the basis weight of the silver nanowires was 0.25 g / m 2 and dried to prepare a transfer film.

別途、厚さ100μmの透明PET支持体の片面側に、接着層として紫外線硬化性樹脂(UVPOTミディアム0、帝国インキ(株)製)を30μmの厚みに塗布して、接着樹脂付透明支持体を作製した。前記接着樹脂付透明支持体と前記転写用フィルムを接着層と金属パターン補助電極とが対面するように圧着し、次いで透明支持体側から紫外線を照射して紫外線硬化性樹脂を硬化させた。離型性支持体を剥離して透明導電性フィルム101を作製した。   Separately, an ultraviolet curable resin (UVPOT Medium 0, manufactured by Teikoku Ink Co., Ltd.) as an adhesive layer is applied to one side of a transparent PET support having a thickness of 100 μm to a thickness of 30 μm. Produced. The transparent support with adhesive resin and the transfer film were pressure-bonded so that the adhesive layer and the metal pattern auxiliary electrode face each other, and then the ultraviolet curable resin was cured by irradiating ultraviolet rays from the transparent support side. The releasable support was peeled off to produce a transparent conductive film 101.

(透明導電性フィルム102、103の作製)
金属パターン補助電極フィルム1上の導電性繊維分散液aを導電性繊維分散液b、cに変更した以外は透明導電性フィルム101と同様にして透明導電性フィルム102、103を作製した。
(Preparation of transparent conductive films 102 and 103)
Transparent conductive films 102 and 103 were produced in the same manner as the transparent conductive film 101 except that the conductive fiber dispersion a on the metal pattern auxiliary electrode film 1 was changed to the conductive fiber dispersions b and c.

(透明導電性フィルム104、105の作製)
金属パターン補助電極フィルム1を金属パターン補助電極2、3に変更した以外は透明導電性フィルム101と同様にして透明導電性フィルム104、105を作製した。
(Preparation of transparent conductive films 104 and 105)
Transparent conductive films 104 and 105 were produced in the same manner as the transparent conductive film 101 except that the metal pattern auxiliary electrode film 1 was changed to the metal pattern auxiliary electrodes 2 and 3.

(透明導電性フィルム106の作製)
金属パターン補助電極フィルム1の離型性支持体を易接着加工済み透明PET支持体に変更した以外は同様にして、金属パターン補助電極フィルム1Bを作製した。
(Preparation of transparent conductive film 106)
A metal pattern auxiliary electrode film 1B was produced in the same manner except that the releasable support of the metal pattern auxiliary electrode film 1 was changed to an easy adhesion processed transparent PET support.

次いで、下記の紫外線硬化樹脂組成物1を金属パターン補助電極上に塗布し、80℃で1分間乾燥した後、易接着加工済み透明PET支持体側から120mJ/cmの紫外線を高圧水銀灯で照射して硬化後の膜厚が5μmになるように紫外線硬化樹脂層を設けた。さらにメチルエチルケトンで金属パターン補助電極上の未硬化樹脂を洗い流して乾燥した。 Next, the following ultraviolet curable resin composition 1 was applied on the metal pattern auxiliary electrode, dried at 80 ° C. for 1 minute, and then irradiated with 120 mJ / cm 2 of ultraviolet light from the side of the transparent PET support that had been subjected to easy adhesion processing with a high-pressure mercury lamp. Then, an ultraviolet curable resin layer was provided so that the film thickness after curing was 5 μm. Further, the uncured resin on the metal pattern auxiliary electrode was washed away with methyl ethyl ketone and dried.

〈紫外線硬化樹脂層塗布組成物1〉
ペンタエリスリトールトリアクリレート 100質量部
ジメトキシベンゾフェノン光反応開始剤 4質量部
メチルエチルケトン 75質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテル 75質量部
その上から導電性繊維分散液aを銀ナノワイヤの目付け量が0.25g/mとなるように塗布、乾燥し、さらに表面を110℃に加熱した金属ニップロール間に1Mpaの圧力をかけフィルムを通すことにより、平滑化処理をし、透明導電性フィルム106を作製した。
<Ultraviolet curable resin layer coating composition 1>
Pentaerythritol triacrylate 100 parts by weight Dimethoxybenzophenone photoinitiator 4 parts by weight Methyl ethyl ketone 75 parts by weight Propylene glycol monomethyl ether 75 parts by weight From this, the conductive fiber dispersion a has a basis weight of silver nanowires of 0.25 g / m 2 The film was applied and dried as described above, and the film was passed through a metal nip roll whose surface was heated to 110 ° C. by applying a pressure of 1 Mpa, thereby smoothing the film and producing a transparent conductive film 106.

(透明導電性フィルム107の作製)
金属パターン補助電極フィルム1の上に平均粒径30nmのITOナノ粒子とポリエステル系樹脂を含む分散液を、乾燥膜厚が300nmになるように塗布した後、110℃にて30分間乾燥して転写用フィルムを作製した以外は透明導電性フィルム101と同様にして透明導電性フィルム107を作製した。
(Preparation of transparent conductive film 107)
A dispersion liquid containing ITO nanoparticles having an average particle diameter of 30 nm and a polyester resin is applied on the metal pattern auxiliary electrode film 1 so that the dry film thickness is 300 nm, and then dried at 110 ° C. for 30 minutes for transfer. A transparent conductive film 107 was prepared in the same manner as the transparent conductive film 101 except that the film for manufacturing was prepared.

(透明導電性フィルム108の作製)
離型性フィルム上に導電性繊維分散液aを塗布して、転写用フィルムを作製した以外は透明導電性フィルム101と同様にして透明導電性フィルム108を作製した。
(Preparation of transparent conductive film 108)
A transparent conductive film 108 was produced in the same manner as the transparent conductive film 101 except that the conductive fiber dispersion a was applied onto the release film to produce a transfer film.

(透明導電性フィルム109の作製)
金属パターン補助電極フィルム1を転写用フィルムとして用いた以外は透明導電性フィルム101と同様にして透明導電性フィルム109を作製した。
(Preparation of transparent conductive film 109)
A transparent conductive film 109 was produced in the same manner as the transparent conductive film 101 except that the metal pattern auxiliary electrode film 1 was used as a transfer film.

(透明導電性フィルム110の作製)
離型性支持体を厚さ100μm、表面粗さRa=6nmのコロナ放電処理を施した離型性PETフィルムに変更した以外は透明導電性フィルム101と同様にして透明導電性フィルム110を作製した。
(Preparation of transparent conductive film 110)
A transparent conductive film 110 was produced in the same manner as the transparent conductive film 101 except that the releasable support was changed to a releasable PET film subjected to corona discharge treatment having a thickness of 100 μm and a surface roughness Ra = 6 nm. .

以上のようにして得られた透明導電性フィルム101から110について、以下の方法にて全光線透過率、表面抵抗率、表面粗さ、ひび割れを求めた。   With respect to the transparent conductive films 101 to 110 obtained as described above, total light transmittance, surface resistivity, surface roughness, and cracks were determined by the following methods.

[全光線透過率]
JIS K 7361−1:1997に準拠して、スガ試験機(株)製のヘイズメーターHGM−2Bを用いて測定した。
[Total light transmittance]
Based on JIS K 7361-1: 1997, it measured using the haze meter HGM-2B by Suga Test Instruments Co., Ltd.

[表面抵抗率]
JIS K 7194:1994(導電性プラスチックの4探針法による抵抗率試験方法)に準拠して、三菱化学社製ロレスターGP(MCP−T610型)を用いて、測定した。
[Surface resistivity]
In accordance with JIS K 7194: 1994 (resistivity test method using a 4-probe method for conductive plastics), the measurement was performed using a Lorester GP (MCP-T610 type) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

[表面粗さ]
表面を原子間力顕微鏡(AFM)で測定し、算術平均粗さにより求めた。
[Surface roughness]
The surface was measured with an atomic force microscope (AFM) and determined by arithmetic mean roughness.

[ひび割れ]
光学顕微鏡で透明導電性フィルムの表面観察を行い、ひび割れの有無を観察した。
[crack]
The surface of the transparent conductive film was observed with an optical microscope, and the presence or absence of cracks was observed.

上記評価結果を表1に示す。   The evaluation results are shown in Table 1.

Figure 0005181793
Figure 0005181793

実施例2
(有機エレクトロルミネッセンス素子(有機EL素子)の作製)
実施例1で作製した透明導電性フィルム101〜110を第1電極とした以外は同様にして、以下の手順で有機EL素子201〜210を作製した。
Example 2
(Preparation of organic electroluminescence device (organic EL device))
Organic EL elements 201 to 210 were produced in the same manner as described above except that the transparent conductive films 101 to 110 produced in Example 1 were used as the first electrode.

〈正孔輸送層の形成〉
第1電極上に、1.2.ジクロロエタン中に1質量%となるように正孔輸送材料の4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)を溶解させた正孔輸送層形成用塗布液をスピンコート装置で塗布した後、80℃、60分間乾燥して、厚さ40nmの正孔輸送層を形成した。
<Formation of hole transport layer>
On the first electrode, 1.2. Coating for forming a hole transport layer in which 4,4′-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD) as a hole transport material is dissolved in dichloroethane so as to be 1% by mass. The solution was applied by a spin coater and then dried at 80 ° C. for 60 minutes to form a 40 nm thick hole transport layer.

〈発光層の形成〉
正孔輸送層が形成された各フィルム上に、ホスト材のポリビニルカルバゾール(PVK)に対して、赤ドーパント材BtpIr(acac)が1質量%、緑ドーパント材Ir(ppy)が2質量%、青ドーパント材FIr(pic)が3質量%にそれぞれなるように混合し、PVKと3種ドーパントの全固形分濃度が1質量%となるように1.2.ジクロロエタン中に溶解させた発光層形成用塗布液をスピンコート装置で塗布した後、100℃、10分間乾燥して、厚さ60nmの発光層を形成した。
<Formation of light emitting layer>
On each film in which the hole transport layer is formed, the red dopant material Btp 2 Ir (acac) is 1% by mass and the green dopant material Ir (ppy) 3 is 2% with respect to polyvinylcarbazole (PVK) as the host material. % And the blue dopant material FIr (pic) are mixed so as to be 3% by mass, respectively, so that the total solid concentration of PVK and the three dopants is 1% by mass. A coating solution for forming a light emitting layer dissolved in dichloroethane was applied by a spin coater and then dried at 100 ° C. for 10 minutes to form a light emitting layer having a thickness of 60 nm.

〈電子輸送層の形成〉
形成した発光層上に、電子輸送層形成用材料としてLiFを5×10−4Paの真空下にて蒸着し、厚さ0.5nmの電子輸送層を形成した。
<Formation of electron transport layer>
On the formed light emitting layer, LiF was evaporated as a material for forming an electron transport layer under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa to form an electron transport layer having a thickness of 0.5 nm.

〈第2電極の形成〉
形成した電子輸送層の上に、第2電極形成用材料としてAlを5×10−4Paの真空下にて蒸着し、厚さ100nmの第2電極を形成した。
<Formation of second electrode>
On the formed electron carrying layer, Al was vapor-deposited as a 2nd electrode formation material under the vacuum of 5 * 10 <-4> Pa, and the 2nd electrode with a thickness of 100 nm was formed.

〈封止膜の形成〉
形成した電子輸送層の上に、ポリエチレンテレフタレートを基材とし、Alを厚さ300nmで蒸着した可撓性封止部材を使用した。第1電極及び第2電極の外部取り出し端子が形成出来る様に端部を除き第2電極の周囲に接着剤を塗り、可撓性封止部材を貼合した後、熱処理で接着剤を硬化させた。
<Formation of sealing film>
On the formed electron transport layer, a polyethylene terephthalate as a substrate, using a flexible sealing member which is deposited to a thickness 300nm of Al 2 O 3. Apply the adhesive around the second electrode except for the end so that the external lead terminals of the first electrode and the second electrode can be formed, paste the flexible sealing member, and then cure the adhesive by heat treatment It was.

[発光輝度ムラ]
KEITHLEY製ソースメジャーユニット2400型を用いて、直流電圧を有機EL素子に印加し発光させた。200cd/mで発光させた有機EL素子201〜210について、50倍の顕微鏡で各々の発光ムラを観察した。
[Light emission brightness unevenness]
Using a KEITHLEY source measure unit type 2400, a direct current voltage was applied to the organic EL element to emit light. Regarding the organic EL elements 201 to 210 that emitted light at 200 cd / m 2 , each light emission unevenness was observed with a 50 × microscope.

発光ムラの評価基準
◎:9割以上が均一に発光している。
○:8割以上が均一に発光している。
△:7割以上が均一に発光している。
×:7割未満しか発光していない。
Evaluation standard of light emission unevenness A: 90% or more of the light emitted uniformly.
○: Eighty percent or more emit light uniformly.
(Triangle | delta): 70% or more is light-emitting uniformly.
X: Less than 70% emitted light.

上記評価結果を表2に示す。   The evaluation results are shown in Table 2.

Figure 0005181793
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表1、2の結果から、本願発明の透明導電性フィルムは表面抵抗値が低く、表面平滑性が高く、さらに有機エレクトロルミネッセンス素子の電極として使用した場合にも、発光輝度ムラが少ないことがわかる。   From the results of Tables 1 and 2, it can be seen that the transparent conductive film of the present invention has a low surface resistance, a high surface smoothness, and even when used as an electrode of an organic electroluminescent element, there is little unevenness in light emission luminance. .

すなわち、本発明の手段により、導電性、透明性、及びフレキシビリティ性に優れ、かつ平滑性が高くて安価な透明導電性フィルム及びその製造方法を提供することができる。   That is, the means of the present invention can provide a transparent conductive film that is excellent in conductivity, transparency, and flexibility, has high smoothness, and is inexpensive, and a method for producing the same.

実施例3
実施例1で作製した透明導電性フィルム101〜106の表面にBaytron PH510(H.C.Starck社製)にジメチルスルホキシドを5%添加した液を乾燥膜厚30μmになるように塗布して、実施例1、2と同様の評価を行った場合にも、本発明の透明導電性フィルムの優れた性能が確認された。
Example 3
A solution obtained by adding 5% dimethyl sulfoxide to Baytron PH510 (manufactured by HC Starck) on the surface of the transparent conductive films 101 to 106 produced in Example 1 was applied to a dry film thickness of 30 μm. Even when the same evaluation as in Examples 1 and 2 was performed, the excellent performance of the transparent conductive film of the present invention was confirmed.

本発明実施態様の概略断面図Schematic sectional view of an embodiment of the present invention

符号の説明Explanation of symbols

1 透明支持体
2 透明導電層
3 金属パターン補助電極
4 導電性繊維
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent support 2 Transparent conductive layer 3 Metal pattern auxiliary electrode 4 Conductive fiber

Claims (5)

透明支持体上に開口部を有する金属パターンから構成される補助電極と、導電性繊維を含有する透明導電層とを有する透明導電性フィルムであって、該透明支持体とは反対側の表面粗さRa()が5nm以下であることを特徴とする透明導電性フィルム。 A transparent conductive film having an auxiliary electrode composed of a metal pattern having an opening on a transparent support, and a transparent conductive layer containing conductive fibers, wherein the surface roughness on the opposite side of the transparent support A transparent conductive film having a thickness Ra ( S ) of 5 nm or less. 前記透明導電層の導電性繊維が透明支持体から遠い側に多く存在していることを特徴とする請求項1に記載の透明導電性フィルム。 2. The transparent conductive film according to claim 1, wherein many conductive fibers of the transparent conductive layer are present on a side far from the transparent support. 前記導電性繊維がカーボンナノチューブまたは金属ナノワイヤを含有していることを特徴とする請求項1または2に記載の透明導電性フィルム。 The transparent conductive film according to claim 1, wherein the conductive fibers contain carbon nanotubes or metal nanowires. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の透明導電性フィルムを有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 An organic electroluminescence device comprising the transparent conductive film according to claim 1. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の透明導電性フィルムの製造方法であって、予め離型性支持体に前記補助電極、導電性繊維を含有する透明導電層をこの順番に積層した後、該補助電極と透明導電層を透明支持体に転写することを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。 It is a manufacturing method of the transparent conductive film of any one of Claims 1-3, Comprising: The transparent electrode layer containing the said auxiliary electrode and a conductive fiber was laminated | stacked in this order previously on the releasable support body. Thereafter, the auxiliary electrode and the transparent conductive layer are transferred to a transparent support.
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