JP5175825B2

JP5175825B2 - Image data distribution method and inspection apparatus

Info

Publication number: JP5175825B2
Application number: JP2009254849A
Authority: JP
Inventors: 孝史野口; 秀典山本; 康彦小沢
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2009-11-06
Filing date: 2009-11-06
Publication date: 2013-04-03
Anticipated expiration: 2029-11-06
Also published as: JP2011100323A

Description

検査対象（LSIチップ製造用ウェーハなど）を検査するための画像データ配信方法及び検査装置に関する。 The present invention relates to an image data distribution method and an inspection apparatus for inspecting an inspection object (such as an LSI chip manufacturing wafer).

LSIチップ製造用ウェーハなどの検査対象を撮像して検査する従来技術として、リニアセンサなどを使用して画像データを取得し、取得した画像データを複数領域に分割して並列処理を施す技術が活用されている。例えば、特許文献１には、複数のプロセッサユニットを有する並列データ処理装置において、正常なプロセッサユニットにのみ処理を割当て処理の最適化を図りつつ、システムのリソースを有効活用し、システムの変更や故障にも柔軟に対処できるとされる並列データ処理装置および方法の記載がある。特許文献１では、制御ＣＰＵが、各プロセッサユニットの動作テストを実行し、その動作テストの結果、正常に動作すると確認されたプロセッサユニットに対して、プログラム分配制御手段により、データ処理プログラムを各プロセッサユニットに分配して、かつ、データ分割手段により、分割されたデータを各プロセッサユニットに割り当てる。また、その割り当てるデータ量は、プロセッサユニットの性能、プログラムの命令の種類等の性質により最適化する。 As a conventional technology for imaging and inspecting inspection objects such as LSI chip manufacturing wafers, a technology that acquires image data using a linear sensor, etc., and divides the acquired image data into multiple areas and performs parallel processing is used. Has been. For example, Patent Document 1 discloses that in a parallel data processing apparatus having a plurality of processor units, processing is allocated to only normal processor units while optimizing the processing, and system resources are effectively used to change or break down the system. There is also a description of a parallel data processing apparatus and method that can be flexibly dealt with. In Patent Document 1, a control CPU executes an operation test of each processor unit. As a result of the operation test, a data distribution program is transmitted to each processor by a program distribution control unit for a processor unit confirmed to operate normally. The data is distributed to the units, and the divided data is allocated to each processor unit by the data dividing means. The amount of data to be allocated is optimized according to the properties such as the performance of the processor unit and the type of program instruction.

特開平10-162130JP-A-10-162130

検査対象に割り当てられた複数の検査ポイントをそれぞれ撮像した画像データを生成して、各画像データに所定の解析を施して解析結果を報告する検査装置がある。このような検査装置に、特許文献１に記載の技術を適用すると、プログラムの分配とデータ割当てなどの性能最適化のための前処理を、画像データを生成する毎に実行しなければならず、画像データを生成してから解析を開始するまでの待ち時間が検査ポイントの数に応じて積算され、結果として画像データ処理のスループットが低下するという問題が生じる。 There is an inspection apparatus that generates image data obtained by imaging a plurality of inspection points assigned to an inspection object, performs a predetermined analysis on each image data, and reports the analysis result. When the technique described in Patent Document 1 is applied to such an inspection apparatus, preprocessing for performance optimization such as program distribution and data allocation must be performed every time image data is generated, The waiting time from the generation of image data to the start of analysis is integrated according to the number of inspection points, resulting in a problem that the throughput of image data processing decreases.

上記目的を達成するために、本発明における画像データ配信方法および検査装置は、次のように構成する。検査対象に定められた検査ポイントの画像データを撮像する撮像部、撮像部が撮像した画像データを受け取り、画像データの画像データセットを予め定めた配信グループへ転送する転送装置（配信部）、ホスト、および、配信グループに含まれ、ホストからの検査ポイントを含む解析指示を受け取り、解析指示が自らへの指示でないとき、解析指示に含まれる検査ポイントを解析不要な検査ポイントとして記憶し、検査ポイントが記憶されているか否かに応じて、選択的に配信グループに参加する解析用処理ノードを備える。 In order to achieve the above object, an image data distribution method and inspection apparatus according to the present invention are configured as follows. An imaging unit that captures image data of an inspection point determined as an inspection target, a transfer device (distribution unit) that receives image data captured by the imaging unit, and transfers an image data set of the image data to a predetermined distribution group, a host When the analysis instruction included in the distribution group and including the inspection point from the host is received and the analysis instruction is not an instruction to itself, the inspection point included in the analysis instruction is stored as an inspection point that does not require analysis, and the inspection point Is provided with an analysis processing node that selectively participates in the distribution group depending on whether or not is stored.

他の望ましい態様は、解析用処理ノードは、解析不要を示す解析指示に含まれる検査ポイントに応じて離脱検査ポイントリストを形成し、形成した離脱検査ポイントリストに基づいて選択的に配信グループに参加する。 In another desirable mode, the analysis processing node forms a departure inspection point list according to the inspection points included in the analysis instruction indicating that analysis is not necessary, and selectively participates in the distribution group based on the formed departure inspection point list. To do.

さらに他の望ましい態様は、配信部は、画像データセットを所定のサイズに分割し、分割された画像データセットの各々に少なくとも検査ポイントを識別するIDを付した複数の画像データグラムを生成し、複数の画像データグラムを配信グループに含まれる解析用処理ノードへ転送することで、画像データセットを配信グループに含まれる解析用処理ノードへ転送する。 According to still another desirable aspect, the distribution unit divides the image data set into a predetermined size, and generates a plurality of image datagrams each having an ID identifying at least an inspection point in each of the divided image data sets, By transferring a plurality of image datagrams to the analysis processing node included in the distribution group, the image data set is transferred to the analysis processing node included in the distribution group.

さらに他の望ましい態様は、解析用処理ノードは、配信グループに参加しない場合、転送される画像データセットを受信しない動的フィルタ処理および既に受信した前記画像データセットを削除する事後フィルタ処理の少なくとも一方を実行する。 According to still another desirable aspect, when the analysis processing node does not participate in the distribution group, at least one of dynamic filtering that does not receive the transferred image data set and post-filtering that deletes the already received image data set. Execute.

さらに他の望ましい態様は、ホストは、解析用処理ノードにおける解析処理フローの予め定めた通過点と他の通過点との間の処理時間に基づいて、新たな検査ポイントに対する解析用を示す解析指示を解析用処理ノードに割り当てる。 According to still another desirable aspect, the host instructs the analysis to indicate analysis for a new inspection point based on a processing time between a predetermined passing point and another passing point of the analysis processing flow in the analysis processing node. Is assigned to the processing node for analysis.

本発明によれば、解析用処理ノードへ予め画像データセットが転送され、解析用処理ノードで解析不要との判定に基づいて、転送されている画像データセットを受信しない、又は既に受信されている画像データセットを削除するので、解析すべき画像データセットの解析を開始するまでの時間を短縮できる。。 According to the present invention, the image data set is transferred in advance to the analysis processing node, and the transferred image data set is not received or has already been received based on the determination that the analysis processing node does not require analysis. Since the image data set is deleted, the time until the analysis of the image data set to be analyzed can be shortened. .

検査装置のデータフローである。It is a data flow of an inspection device. 仲介部と解析処理部のデータフローである。It is a data flow of an intermediary part and an analysis processing part. 解析指示１１８を受付けた仲介部の処理フローチャートである。It is a process flowchart of the mediation part which received the analysis instruction | indication 118. 転送機器が画像データセットを転送する処理フローチャートである。It is a process flowchart in which a transfer apparatus transfers an image data set. 仲介部が画像データセットを受信する処理フローチャートである。It is a process flowchart in which an intermediary part receives an image data set. 検査フロー分析する処理フローチャートである。It is a process flowchart which carries out a test | inspection flow analysis. 解析処理部１０５のプログラム構造の一部である。This is a part of the program structure of the analysis processing unit 105. 指示部が解析指示を出力する処理フローチャートである。It is a process flowchart in which an instruction | indication part outputs an analysis instruction | indication. 検査装置および検査システムの構成図である。It is a block diagram of an inspection apparatus and an inspection system. 解析指示の例である。It is an example of an analysis instruction. 仲介部が画像データを削除する処理フローチャートである。It is a processing flowchart in which an intermediary unit deletes image data. １番目の画像データグラムの構成である。This is the configuration of the first image datagram. Ｎ番目の画像データグラムの構成である。This is the configuration of the Nth image datagram. 離脱検査ポイントリスト格納領域の構成である。This is a configuration of a leaving inspection point list storage area.

図９は、本実施形態に係る検査装置９０６の構成図を示す。検査装置９０６は、他検査装置９０４や歩留り管理サーバ９０５に接続し、全体として検査システムを構成する。検査装置９０６は、ホスト１０１、解析用処理ノード（１０４、１０７．１１０）、および転送機器１１３をネットワーク９０１で接続した構成を有する。ホスト１０１および解析用処理ノード（１０４、１０７．１１０）は、ＣＰＵを有する計算機である。転送機器１１３は、撮像機器９０３と接続し、撮像機器９０３からの画像データを取得する。検査装置９０６に含まれるホスト１０１が、他検査装置９０４や歩留り管理サーバ９０５に接続する。本実施形態における検査対象物９０２は、LSIチップ製造用ウェーハである。 FIG. 9 is a configuration diagram of the inspection apparatus 906 according to the present embodiment. The inspection device 906 is connected to the other inspection device 904 and the yield management server 905, and constitutes an inspection system as a whole. The inspection apparatus 906 has a configuration in which a host 101, analysis processing nodes (104, 107.110), and a transfer device 113 are connected via a network 901. The host 101 and the analysis processing nodes (104, 107.110) are computers having a CPU. The transfer device 113 is connected to the imaging device 903 and acquires image data from the imaging device 903. The host 101 included in the inspection device 906 connects to another inspection device 904 and the yield management server 905. The inspection object 902 in the present embodiment is an LSI chip manufacturing wafer.

本実施形態では、他検査装置９０４が、予め検査対象物９０２の欠陥をおおまかに検出し、欠陥のおおまかな検出に基づいて検査対象物９０２の検査ポイント群を生成し、検査装置９０６のホスト１０１へ検査ポイント群を転送する。検査対象物９０２のホスト１０１は、解析結果を歩留り管理サーバ９０５へ転送する。すなわち、検査装置９０６は、他検査装置９０４から与えられた検査対象物９０２の検査ポイント群の画像データを撮像機器９０３から取得し、各画像データを解析して、その解析結果を歩留り管理サーバ９０５へ報告する。なお、検査装置９０６は、検査ポイント群の画像データを取得するために、ホスト１０１が撮像機器９０３を制御する。 In the present embodiment, the other inspection apparatus 904 roughly detects the defect of the inspection object 902 in advance, generates an inspection point group of the inspection object 902 based on the rough detection of the defect, and the host 101 of the inspection apparatus 906. Transfer inspection points to. The host 101 of the inspection object 902 transfers the analysis result to the yield management server 905. That is, the inspection apparatus 906 acquires image data of the inspection point group of the inspection object 902 given from the other inspection apparatus 904 from the imaging device 903, analyzes each image data, and the analysis result is the yield management server 905. Report to In the inspection apparatus 906, the host 101 controls the imaging device 903 in order to acquire image data of the inspection point group.

図１は、検査装置９０６のデータフローを示す。検査装置９０６は、指示部１０２と結果管理部１０３を備えるホスト１０１と、仲介部１０６と解析処理部１０５を備える解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）と、転送機器１１３とを有する。 FIG. 1 shows a data flow of the inspection apparatus 906. The inspection apparatus 906 includes a host 101 including an instruction unit 102 and a result management unit 103, an analysis processing node (104, 107, 110) including an intermediary unit 106 and an analysis processing unit 105, and a transfer device 113.

指示部１０２は、他検査装置９０４から検査ポイント群１１６を受付ける。指示部１０２は、受け付けた検査ポイント群１１６の各検査ポイントの画像を撮像できるように撮像機器９０３を制御すると共に、各検査ポイントの画像取得指示１２０を転送機器１１３へ出力する。また、指示部１０２は、転送機器１１３へ画像取得指示した検査ポイントの画像データ（１つの検査ポイントに関して、複数の方向から撮像した複数の画像のデータ）を解析すべき解析処理ノード及び検査ポイントID（指示部１０２が検査ポイント毎に識別子を割当てる）を含む解析指示１１８を各解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）に出力する。また、指示部１０２は、後述する通過点１１９を解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）から受付ける。 The instruction unit 102 receives the inspection point group 116 from the other inspection device 904. The instruction unit 102 controls the imaging device 903 so that an image of each inspection point in the received inspection point group 116 can be captured, and outputs an image acquisition instruction 120 for each inspection point to the transfer device 113. The instruction unit 102 also analyzes an analysis processing node and an inspection point ID for analyzing image data of an inspection point instructed to acquire an image to the transfer device 113 (data of a plurality of images captured from a plurality of directions with respect to one inspection point). An analysis instruction 118 including (the instruction unit 102 assigns an identifier for each inspection point) is output to each analysis processing node (104, 107, 110). The instruction unit 102 also receives a passing point 119 described later from the analysis processing nodes (104, 107, 110).

結果管理部１０３は、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）から解析結果１２１を受付けて、その解析結果１１７を歩留まり管理サーバ９０５へ出力する。 The result management unit 103 receives the analysis result 121 from the analysis processing nodes (104, 107, 110), and outputs the analysis result 117 to the yield management server 905.

転送機器（配信部とも言う。）１１３は、指示部１０２からの画像取得指示１２０に応じた画像データ１２５を撮像機器９０３から受付けて、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）へ画像データグラム１２３を出力する。画像データグラム１２３については、図１２を用いて後述する。 A transfer device (also referred to as a distribution unit) 113 receives image data 125 corresponding to the image acquisition instruction 120 from the instruction unit 102 from the imaging device 903, and sends the image datagram to the analysis processing nodes (104, 107, 110). 123 is output. The image datagram 123 will be described later with reference to FIG.

ここで、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）（以下、単にノードと呼ぶこともある。）において、任意の時点を基準として、転送機器１１３から転送される画像データセット（１つの検査ポイントに関して、複数の方向から撮像した複数の画像のデータ）は、（1）受信済みである画像データセット、（2）受信中である画像データセット、（3）将来受信する画像データセットに分類できる。さらに、（1）を（1）−A受信済みであって自ノードで必要な（解析すべき）画像データセットと、（1）−B受信済みであって自ノードに不要な（解析不要な）画像データセットに分類できる。また、（2）を（2）−受信中であって自ノードに必要な画像データセットと、（2）−B受信中であって自ノードに不要な画像データセットに分類できる。また、（3）を（3）−A将来受信するもので自ノードに必要な画像データセットと、（3）−B将来受信するもので自ノードに不要な画像データセットに分類できる。 Here, in the analysis processing nodes (104, 107, 110) (hereinafter sometimes simply referred to as nodes), an image data set (one inspection point) transferred from the transfer device 113 on the basis of an arbitrary time point. Can be classified into (1) received image data sets, (2) received image data sets, and (3) future received image data sets. . Furthermore, (1) -A received image data set that has been received by (1) -A and is necessary (to be analyzed), and (1) -B has been received and is not required by the own node (no analysis is required). ) Can be classified into image data sets. Further, (2) can be classified into (2) -the image data set that is being received and necessary for the own node, and (2) -B the image data set that is being received and is unnecessary for the own node. Also, (3) -A can be classified into (3) -A future image data sets required for the own node and (3) -B future received image data sets unnecessary for the own node.

解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）は、仲介部（１０６、１０９、１１２）と解析処理部（１０５、１０８、１１１）を有する。仲介部（１０６、１０９、１１２）は、指示部１０２から受付けた解析指示１１８に基づいて離脱検査ポイントリストを形成し、この離脱検査ポイントリストに従って、検査ポイント毎に画像データセットの配信グループを制御する。仲介部（１０６、１０９、１１２）は、検査ポイント毎に画像データセットの配信グループを制御することで、前述の分類（1）−Bの受信済みであって自ノードに不要な画像データセットを削除する（これを、事後再構成と呼ぶ）。さらに、仲介部（１０６、１０９、１１２）は、検査ポイント毎に画像データセットの配信グループを制御することで、前述の分類（2）−Bの受信中であって自ノードに不要な画像データセットと分類（3）−B将来受信するもので自ノードに不要な画像データセットを受信拒否する（これを、動的フィルタと呼ぶ）。 The analysis processing nodes (104, 107, 110) include a mediation unit (106, 109, 112) and an analysis processing unit (105, 108, 111). The mediation unit (106, 109, 112) forms a departure inspection point list based on the analysis instruction 118 received from the instruction unit 102, and controls the distribution group of the image data set for each inspection point according to the separation inspection point list. To do. The mediation unit (106, 109, 112) controls the distribution group of the image data set for each inspection point, so that the image data set that has been received for the above classification (1) -B and is unnecessary for its own node is stored. Delete (this is called post-reconstruction). Further, the mediation unit (106, 109, 112) controls the distribution group of the image data set for each inspection point, so that image data unnecessary for the own node is being received while the above classification (2) -B is being received. Set and classification (3) -B Rejects an image data set that will be received in the future and is not necessary for the own node (this is called a dynamic filter).

図２は、解析用処理ノード１０４を対象として、仲介部１０６と解析処理部１０５を中心としたデータフローを示す。解析用処理ノード（１０７、１１０）を構成する仲介部（１０９、１１２）と解析処理部（１０８、１１１）のデータフローも同様である。。仲介部１０６は、解析指示受付け２０１、配信グループ制御２２４、通過点報告２０２、結果報告２０３、および画像データ管理２０７を有する。解析指示受付け２０１は、一時メモリ領域２２０及び自ノードID格納領域２２１を備える。配信グループ制御２２４は、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８、動的フィルタ２２５、および事後再構成２２６を備える。通過点報告２０２は通過点格納領域２３１を備える。画像データ管理２０７は、画像データ２３２、画像データグラム受信バッファ２３０、および画像データ受信２０８を備える。 FIG. 2 shows a data flow centered on the mediation unit 106 and the analysis processing unit 105 for the analysis processing node 104. The data flow of the mediation units (109, 112) and the analysis processing units (108, 111) constituting the analysis processing nodes (107, 110) is the same. . The mediation unit 106 includes an analysis instruction acceptance 201, a distribution group control 224, a passing point report 202, a result report 203, and an image data management 207. The analysis instruction acceptance 201 includes a temporary memory area 220 and a local node ID storage area 221. The distribution group control 224 includes a leaving inspection point list storage area 228, a dynamic filter 225, and a post-reconstruction 226. The passing point report 202 includes a passing point storage area 231. The image data management 207 includes image data 232, an image datagram reception buffer 230, and an image data reception 208.

解析指示受付け２０１は、指示部１０２から解析指示１１８を受付けて、離脱検査ポイント２０９を配信グループ制御２２４へ出力し、検査対象物IDおよび検査ポイントID２２３を解析処理部１０５へ出力する。配信グループ制御２２４は、参入・離脱確認結果２１６と事後再構成要求２１８とを画像データ管理２０７へ出力する。画像データ管理２０７は、転送機器１１３から画像データグラム１２３を受付けて、画像データ２１５を解析処理部１０５へ出力し、参入・離脱確認要求２１９および事後再構成完了通知２２９を配信グループ制御２２４へ出力する。通過点報告２０２は、通過点１１９を指示部１０２へ出力する。結果報告２０３は、解析結果１２１を結果管理部１０３へ出力する。解析処理部１０５は、通過点２１１を通過点報告２０２へ出力し、解析結果２１２を結果報告２０３へ出力し、画像データ取得要求２２２を画像データ管理２０７へ出力する。 The analysis instruction reception 201 receives the analysis instruction 118 from the instruction unit 102, outputs the withdrawal inspection point 209 to the distribution group control 224, and outputs the inspection object ID and inspection point ID 223 to the analysis processing unit 105. The distribution group control 224 outputs the entry / leave confirmation result 216 and the post-reconstruction request 218 to the image data management 207. The image data management 207 receives the image datagram 123 from the transfer device 113, outputs the image data 215 to the analysis processing unit 105, and outputs an entry / exit confirmation request 219 and a post-reconstruction completion notification 229 to the distribution group control 224. To do. The passing point report 202 outputs the passing point 119 to the instruction unit 102. The result report 203 outputs the analysis result 121 to the result management unit 103. The analysis processing unit 105 outputs the passing point 211 to the passing point report 202, outputs the analysis result 212 to the result report 203, and outputs an image data acquisition request 222 to the image data management 207.

配信グループ制御２２４の動的フィルタ２２５は、離脱確認要求２１９に含まれる検査対象物ID及び検査ポイントIDと離脱検査ポイントリスト格納領域２２８に格納された検査対象物ID及び検査ポイントIDとを比較することで、該当する検査対象物と検査ポイントに関して配信グループに参入しているか否かを判定する。動的フィルタ２２５は、この判定に基づいた離脱確認結果２１６を画像データ受信２０８に出力することで動的な画像データの受信フィルタリングを可能とする。また、配信グループ制御２２４の事後再構成２２６は、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８に格納された検査対象物ID及び検査ポイントIDの集合を指定して事後再構成要求２１８を画像データ管理２０７に出力することで画像データの再構成を可能とする。 The dynamic filter 225 of the distribution group control 224 compares the inspection object ID and inspection point ID included in the withdrawal confirmation request 219 with the inspection object ID and inspection point ID stored in the withdrawal inspection point list storage area 228. Thus, it is determined whether or not the distribution group is entered with respect to the corresponding inspection object and inspection point. The dynamic filter 225 enables the reception filtering of the dynamic image data by outputting the separation confirmation result 216 based on this determination to the image data reception 208. Further, the post-reconstruction 226 of the distribution group control 224 designates a set of inspection object IDs and inspection point IDs stored in the withdrawal inspection point list storage area 228 and outputs a post-reconstruction request 218 to the image data management 207. By doing so, it is possible to reconstruct image data.

図１０は、解析指示１１８の例を示す。解析指示１１８は、マルチキャストアドレス１００５、ポート番号１００４、検査対象物ID１００３、検査ポイントID１００２、および解析用処理ノードID１００１を有する。 FIG. 10 shows an example of the analysis instruction 118. The analysis instruction 118 includes a multicast address 1005, a port number 1004, an inspection object ID 1003, an inspection point ID 1002, and an analysis processing node ID 1001.

図１２Ａ及び図１２Ｂは、画像データグラム１２３の構成を示す。図１２Ａに1番目の画像データグラムの構成を示し、図１２ＢにN番目の画像データグラムの構成を示す。図示するように、画像データグラム１２３は、マルチキャストアドレス１２０７、ポート番号１２０６、検査対象物ID１２０５、検査ポイントID１２０４、全通番数１２０３、通番１２０２と、データ１２０１とを含む。通番とは、通し番号である。図１２ＢのN番目の画像データグラムは、全通番数１２０３を保持しないものとするが、全通番数１２０３を保持してもよい。ある検査対象物ID１２０５および検査ポイントID１２０４に関して、全通番数１２０３に示される全ての通番の一連の画像データグラム１２３のデータ１２０１が、その画像データセットである。 12A and 12B show the configuration of the image datagram 123. FIG. FIG. 12A shows the configuration of the first image datagram, and FIG. 12B shows the configuration of the Nth image datagram. As shown in the figure, the image datagram 123 includes a multicast address 1207, a port number 1206, an inspection object ID 1205, an inspection point ID 1204, a total serial number 1203, a serial number 1202, and data 1201. A serial number is a serial number. The Nth image datagram in FIG. 12B does not hold the total serial number 1203, but may hold the total serial number 1203. Regarding a certain inspection object ID 1205 and inspection point ID 1204, data 1201 of a series of image datagrams 123 of all serial numbers shown in the total serial number 1203 is the image data set.

図１３は、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８の構成を示す。離脱検査ポイントリスト格納領域２２８は、日時１３０１、検査対象ID１３０２、および検査ポイントID１３０３とを含む構成である。 FIG. 13 shows the configuration of the withdrawal inspection point list storage area 228. The withdrawal inspection point list storage area 228 includes a date and time 1301, an inspection object ID 1302, and an inspection point ID 1303.

図３は、仲介部１０６が解析指示１１８を受付けて実行する処理フローチャートを示す。仲介部１０６の解析指示受付け２０１は、指示部１０２から解析指示１１８を受付ける（ステップ３０１）。解析指示受付け２０１は、解析指示１１８に含まれる検査対象物ID１００３、検査ポイントID１００２、および解析用処理ノードID１００１を一時メモリ領域２２０に記憶し、指示部１０２へ受信応答を送信する。解析指示受付け２０１は、自ノードID格納領域２２１に予め格納されている自ノードIDと解析指示１１８に含まれ、一時メモリ領域２２０に記憶した解析用処理ノードID１００１が一致するか否かを判定する（ステップ３０２）。一致するならば、解析指示受付け２０１は、解析指示１１８に含まれ、一時メモリ領域２２０に記憶した検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２から検査対象物ID・検査ポイントID２２３を生成して解析処理部１０５に出力する（ステップ３０３）。ステップ３０２において、不一致ならば、解析指示受付け２０１は、日時と、解析指示１１８に含まれ、一時メモリ領域２２０に記憶した検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２とを含む離脱検査ポイント２０９を生成して配信グループ制御２２４に出力する。配信グループ制御２２４は、解析指示受付け２０１から出力された検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２を離脱検査ポイントリスト格納領域２２８に登録する（ステップ３０４）。なお、ステップ３０１において、仲介部１０６は、既に受付けた解析指示１１８に含まれる検査対象物ID１００３および検査ポイントID１００２と、新たに受付けた解析指示１１８に含まれる検査対象物ID１００３および検査ポイントID１００２が同一か否かを判定し、同一であれば、新たに受付けた解析指示１１８を破棄して受信応答を送信して本処理フローを終了する。 FIG. 3 shows a processing flowchart in which the mediation unit 106 receives and executes the analysis instruction 118. The analysis instruction reception 201 of the mediation unit 106 receives the analysis instruction 118 from the instruction unit 102 (step 301). The analysis instruction acceptance 201 stores the inspection object ID 1003, the inspection point ID 1002, and the analysis processing node ID 1001 included in the analysis instruction 118 in the temporary memory area 220, and transmits a reception response to the instruction unit 102. The analysis instruction acceptance 201 determines whether or not the own node ID stored in advance in the own node ID storage area 221 and the analysis processing node ID 1001 included in the analysis instruction 118 and stored in the temporary memory area 220 match. (Step 302). If they match, the analysis instruction acceptance 201 is included in the analysis instruction 118 and generates an inspection object ID / inspection point ID 223 from the inspection object ID 1003 and the inspection point ID 1002 stored in the temporary memory area 220 to generate an analysis processing unit 105. (Step 303). In step 302, if they do not match, the analysis instruction reception 201 generates a separation inspection point 209 including the date and time, the inspection object ID 1003 and the inspection point ID 1002 that are included in the analysis instruction 118 and stored in the temporary memory area 220. Output to the distribution group control 224. The distribution group control 224 registers the inspection object ID 1003 and the inspection point ID 1002 output from the analysis instruction acceptance 201 in the withdrawal inspection point list storage area 228 (step 304). In step 301, the mediation unit 106 has the same inspection object ID 1003 and inspection point ID 1002 included in the already received analysis instruction 118 and the same inspection object ID 1003 and inspection point ID 1002 included in the newly received analysis instruction 118. If they are the same, the newly received analysis instruction 118 is discarded, a reception response is transmitted, and this processing flow ends.

図４は、転送機器１１３が画像データセットを転送する処理フローチャートを示す。転送機器１１３は、指示部１０２から画像取得指示１２０に含まれる検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２に対応した画像データ１２５を読み込む（ステップ４０１）。前述のように、指示部１０２は、画像取得指示１２０を出力するタイミングで、画像取得を指示する画像データを転送機器１１３が読み込めるように撮像機器９０３を制御している。転送機器１１３は、画像取得指示１２０に含まれる検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２に対応する画像データセットの読み込みを完了したか否かを判定する（ステップ４０２）。完了していないならば、読み込みを完了するまで、ステップ４０１を繰返し実行する。読み込みを完了したならば、転送機器１１３は、画像データセットを予め定められたサイズに分割する（ステップ４０３）。 FIG. 4 shows a process flowchart in which the transfer device 113 transfers the image data set. The transfer device 113 reads the image data 125 corresponding to the inspection object ID 1003 and the inspection point ID 1002 included in the image acquisition instruction 120 from the instruction unit 102 (step 401). As described above, the instruction unit 102 controls the imaging device 903 so that the transfer device 113 can read image data instructing image acquisition at the timing of outputting the image acquisition instruction 120. The transfer device 113 determines whether or not reading of the image data set corresponding to the inspection object ID 1003 and the inspection point ID 1002 included in the image acquisition instruction 120 has been completed (step 402). If not completed, step 401 is repeatedly executed until reading is completed. When the reading is completed, the transfer device 113 divides the image data set into a predetermined size (step 403).

前述のように、画像データセットとは、１つの検査ポイントに対応する画像データの集合である。1つの検査ポイントに対応する画像データの集合は、たとえば、撮像機器９０３が検査対象物９０２を真上から撮像した画像データAと、右斜め上から撮像した画像データBと、および左斜め上から撮像した画像データCとから構成される。ステップ４０１を繰返し実行することで、順に、画像データA、画像データB、画像データCが読み込まれる。ステップ４０２を実行した際に、画像データA、画像データB、画像データCのすべてが読み込まれた段階でステップ４０２において、検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２に対応する画像データセットを読み込み完了したと判定する。 As described above, the image data set is a set of image data corresponding to one inspection point. A set of image data corresponding to one inspection point includes, for example, image data A obtained by the imaging device 903 capturing the inspection object 902 from directly above, image data B captured from the upper right, and obliquely from the upper left. It consists of captured image data C. By repeatedly executing step 401, image data A, image data B, and image data C are read in order. When all of the image data A, image data B, and image data C are read when step 402 is executed, it is assumed in step 402 that the image data set corresponding to the inspection object ID 1003 and the inspection point ID 1002 has been read. judge.

転送機器１１３は、分割した各データグラムに対して通番を割り当てる。検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４と、予め割り当てられたマルチキャストアドレス１２０７とポート番号１２０６を含む、図１２Ａ又は図１２Ｂに示す構成の画像データグラム１２３を生成する。検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４は、画像取得指示１２０に含まれる検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２である。ここで、1番目の画像データグラム（図１２Ａ）には、この画像データセットの通番の総数を示す全通番数１２０３を含む（ステップ４０４）。転送機器１１３は、生成した画像データグラム１２３を一括転送する（ステップ４０５）。ここで、一括転送とは、マルチキャストアドレスとポート番号を指定したマルチキャスト通信を使用した転送である。画像データグラム１２３の一括転送において、仲介部１０６の画像データ受信２０８から再送要求を受信した場合には、再送要求された画像データグラム１２３を再転送する。たとえば、再送要求に画像データ受信２０８が受信できなかったデータグラム１２３の通番を含むようにして、その通番に対応するデータグラム１２３を再転送する。転送機器１１３は、画像取得指示１２０に含まれる検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２に対応する画像データセットを構成する画像データグラム１２３の転送が完了した否かを判定し（ステップ４０６）、完了していなければ、ステップ４０５を繰返し実行する。完了していれば、処理を終了する。 The transfer device 113 assigns a serial number to each divided datagram. An image datagram 123 having the configuration shown in FIG. 12A or 12B is generated, which includes the inspection object ID 1205 and the inspection point ID 1204, the multicast address 1207 assigned in advance, and the port number 1206. The inspection object ID 1205 and the inspection point ID 1204 are the inspection object ID 1003 and the inspection point ID 1002 included in the image acquisition instruction 120. Here, the first image datagram (FIG. 12A) includes a total sequence number 1203 indicating the total number of sequence numbers of this image data set (step 404). The transfer device 113 transfers the generated image datagram 123 at once (step 405). Here, the batch transfer is transfer using multicast communication in which a multicast address and a port number are specified. In the batch transfer of the image datagram 123, when a retransmission request is received from the image data reception 208 of the mediation unit 106, the requested image datagram 123 is retransmitted. For example, the retransmission request includes the serial number of the datagram 123 that could not be received by the image data reception 208, and the datagram 123 corresponding to the serial number is retransmitted. The transfer device 113 determines whether or not the transfer of the image datagram 123 constituting the image data set corresponding to the inspection object ID 1003 and the inspection point ID 1002 included in the image acquisition instruction 120 is completed (step 406). If not, step 405 is repeatedly executed. If completed, the process is terminated.

図５は、仲介部１０６が画像データセットを受信する処理フローチャートを示す。なお、仲介部１０６の処理フローを示すが、仲介部１０９と仲介部１１２の処理フローも同様である。画像データ管理２０７の画像データ受信２０８は、転送機器１１３から画像データグラム１２３を受信する（ステップ５０１）。画像データ受信２０８は、画像データグラム１２３に含まれる検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４の組合せを含んだ参入・離脱確認要求２１９を配信グループ制御２２４へ出力する。配信グループ制御２２４の動的フィルタ２２５は、画像データ受信２０８からの離脱確認要求２１９に含まれる検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４の組合せをキーとして離脱検査ポイントリスト格納領域２２８を検索する。検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４の組合せに一致するものがある場合には、配信グループ制御２２４の動的フィルタ２２５は、検査対象物ID１２０５及び前記検査ポイントID１２０４の組合せに対応する配信グループからは離脱していると判定する。一方、一致するものがない場合には検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４の組合せに対応する配信グループに参入していると判定する（ステップ５０２）。動的フィルタ２２５が離脱していると判定した場合には、離脱していることを示すフラグを含んだ参入・離脱確認結果２１６を画像データ受信２０８へ出力する。画像データ受信２０８は、離脱していることを示すフラグを含んだ参入・離脱確認結果２１６を確認して、処理を終了する。ステップ５０２において、動的フィルタ２２５が参入していると判定した場合には、参入していることを示すフラグを含んだ参入・離脱確認結果２１６を画像データ受信２０８へ出力する。画像データ受信２０８は、参入していることを示すフラグを含んだ参入・離脱確認結果２１６を確認した後、マルチキャストアドレス１２０７とポート番号１２０６を除去したデータグラム１２３を画像データグラム受信バッファ２３０に格納する。（ステップ５０３）。 FIG. 5 shows a process flowchart in which the mediation unit 106 receives an image data set. Although the processing flow of the mediation unit 106 is shown, the processing flow of the mediation unit 109 and the mediation unit 112 is the same. The image data reception 208 of the image data management 207 receives the image datagram 123 from the transfer device 113 (step 501). The image data reception 208 outputs an entry / exit confirmation request 219 including a combination of the inspection object ID 1205 and the inspection point ID 1204 included in the image datagram 123 to the distribution group control 224. The dynamic filter 225 of the distribution group control 224 searches the leaving inspection point list storage area 228 using the combination of the inspection object ID 1205 and the inspection point ID 1204 included in the leaving confirmation request 219 from the image data reception 208 as a key. When there is a match with the combination of the inspection object ID 1205 and the inspection point ID 1204, the dynamic filter 225 of the distribution group control 224 leaves the distribution group corresponding to the combination of the inspection object ID 1205 and the inspection point ID 1204. It is determined that On the other hand, if there is no match, it is determined that the distribution group corresponding to the combination of the inspection object ID 1205 and the inspection point ID 1204 has been entered (step 502). If it is determined that the dynamic filter 225 has left, an entry / leave confirmation result 216 including a flag indicating that the dynamic filter 225 has left is output to the image data reception 208. The image data reception 208 confirms the entry / leaving confirmation result 216 including a flag indicating that it has left, and ends the processing. If it is determined in step 502 that the dynamic filter 225 has entered, an entry / leave confirmation result 216 including a flag indicating that the dynamic filter 225 has entered is output to the image data reception 208. The image data reception 208 confirms the entry / leaving confirmation result 216 including a flag indicating entry, and then stores the datagram 123 from which the multicast address 1207 and the port number 1206 are removed in the image datagram reception buffer 230. To do. (Step 503).

画像データ受信２０８は、画像データグラム受信バッファ２３０に格納されている画像データグラム１２３群の検査対象物ID１２０５と検査ポイント１２０４と全通番数１２０３と通番１２０２を参照することで画像データセットを組み立てるための画像データグラム１２３の受信を完了したか否かを判定する（ステップ５０４）。受信を完了したと判定した場合には、画像データセットを組立てて処理を終了する（ステップ５０９）。 The image data reception 208 assembles an image data set by referring to the inspection object ID 1205, the inspection point 1204, the total serial number 1203, and the serial number 1202 of the image datagram 123 group stored in the image datagram reception buffer 230. It is determined whether or not the reception of the image datagram 123 is completed (step 504). If it is determined that the reception has been completed, the image data set is assembled and the process is terminated (step 509).

ステップ５０４において、受信を完了してないと判定した場合には、予め定めた時間だけ処理を停止し（ステップ５０５）、画像データ受信２０８は、画像データグラムを受信したか否かを判定する（ステップ５０６）。画像データグラムを受信したと判定した場合には、ステップ５０３を実行する。ステップ５０６において、画像データグラムを受信していないと判定した場合には、予め定めたタイムアウト時間を経過した否かを判定する（ステップ５０７）。タイムアウト時間を経過したと判定した場合には、転送機器１１３へ再送要求を送信する（ステップ５０８）。ステップ５０７において、タイムアウト時間を経過していないと判定した場合には、ステップ５０５を実行する。
上述のように、本実施形態では、ステップ５０１の後に、ステップ５０２を実行するが、ステップ５０２を実行する形態としては必ずしもこのかぎりではない。例えば、ステップ５０６において、画像データグラムを受信したと判定した場合にも、ステップ５０２を実行してもよい。このような形態では、仲介部１０６が、画像データセットの受信を開始して、受信を完了する前に、配信グループから離脱することができる。 If it is determined in step 504 that reception has not been completed, the processing is stopped for a predetermined time (step 505), and the image data reception 208 determines whether an image datagram has been received (step 505). Step 506). If it is determined that the image datagram has been received, step 503 is executed. If it is determined in step 506 that no image datagram has been received, it is determined whether or not a predetermined time-out period has elapsed (step 507). If it is determined that the timeout time has elapsed, a retransmission request is transmitted to the transfer device 113 (step 508). If it is determined in step 507 that the timeout period has not elapsed, step 505 is executed.
As described above, in this embodiment, step 502 is executed after step 501, but the form in which step 502 is executed is not necessarily limited thereto. For example, step 502 may be executed when it is determined in step 506 that an image datagram has been received. In such a form, the mediation unit 106 can start receiving the image data set and leave the distribution group before completing the reception.

図１１は、仲介部１０６が、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８に格納された離脱検査ポイントに対応する画像データを削除する処理フローチャートである。この処理は、任意のタイミングで実行される。なお、仲介部１０６の処理フローを示すが、仲介部１０９と仲介部１１２の処理フローも同様である。配信グループ制御２２４は、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８の検査対象物ID１３０２と検査ポイントID１３０３を参照し、離脱検査ポイントが登録されているか否かを判定する（ステップ１１０１）。登録されていないと判定した場合には、処理を終了する。 FIG. 11 is a processing flowchart in which the mediation unit 106 deletes the image data corresponding to the withdrawal inspection point stored in the withdrawal inspection point list storage area 228. This process is executed at an arbitrary timing. Although the processing flow of the mediation unit 106 is shown, the processing flow of the mediation unit 109 and the mediation unit 112 is the same. The distribution group control 224 refers to the inspection object ID 1302 and the inspection point ID 1303 in the separation inspection point list storage area 228 and determines whether or not a separation inspection point is registered (step 1101). If it is determined that it is not registered, the process is terminated.

登録されていると判定した場合には、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８の日時１３０１、検査対象ID１３０２、および検査ポイントID１３０３を参照し、検査対象が切り替えられたか否かを判定する（ステップ１１０２）。図１３においては、検査対象物IDが５と６である検査対象物に関して検査ポイントが登録されている。配信グループ制御２２４は、日時１３０１に基づいて、検査対象物IDが５である検査対象物から検査対象物IDが６である検査対象物に切り替えられたと判定する。ステップ１１０２において、切り替えられていないと判定した場合には、処理を終了する。切り替えられたと判定した場合には、切り替えられる前の検査対象物に割り当てられた検査対象物IDを選択する。さらに、検査対象物IDをキーとして離脱検査ポイントリスト格納領域２２８から対応する検査ポイントIDを選択する（ステップ１１０３）。図１３に示す例では、検査対象物IDとして５が選択され、検査ポイントIDとして１２５６、１２６５、１２７８が選択される。配信グループ制御２２４は、選択した検査対象物IDと検査ポイントIDとを事後再構成２２６に渡す。事後再構成２２６は、渡された検査対象物IDと検査ポイントIDとを含んだ事後再構成要求２１８を画像データ管理２０７へ出力する。画像データ管理２０７は、事後再構成要求２１８に含まれる検査対象物IDと検査ポイントIDに対応する画像データセットを削除し、削除を完了したならば、事後再構成完了通知２２９を事後再構成２２６へ出力する（１１０４）。配信グループ制御２２４は、事後再構成完了通知２２９を受付け、画像データセットを削除した検査対象物ID１３０２、検査ポイントID１３０３、および日時１３０１を離脱検査ポイントリスト格納領域２２８から削除する（ステップ１１０５）。 If it is determined that it is registered, it is determined whether or not the inspection target has been switched with reference to the date and time 1301, the inspection target ID 1302, and the inspection point ID 1303 in the withdrawal inspection point list storage area 228 (step 1102). In FIG. 13, inspection points are registered for inspection objects whose inspection object IDs are 5 and 6. Based on the date 1301, the distribution group control 224 determines that the inspection object with the inspection object ID 5 has been switched to the inspection object with the inspection object ID 6. If it is determined in step 1102 that the switch has not been made, the process is terminated. If it is determined that the inspection object has been switched, the inspection object ID assigned to the inspection object before the switching is selected. Further, the corresponding inspection point ID is selected from the leaving inspection point list storage area 228 using the inspection object ID as a key (step 1103). In the example shown in FIG. 13, 5 is selected as the inspection object ID, and 1256, 1265, and 1278 are selected as the inspection point IDs. The distribution group control 224 passes the selected inspection object ID and inspection point ID to the post-reconstruction 226. The post-reconstruction 226 outputs a post-reconstruction request 218 including the passed inspection object ID and inspection point ID to the image data management 207. The image data management 207 deletes the image data set corresponding to the inspection object ID and the inspection point ID included in the post-reconstruction request 218, and when the deletion is completed, the post-reconstruction completion notification 229 is sent to the post-reconstruction 226. (1104). The distribution group control 224 receives the post-reconstruction completion notification 229 and deletes the inspection object ID 1302, the inspection point ID 1303, and the date 1301 from which the image data set has been deleted from the leaving inspection point list storage area 228 (step 1105).

図７は、解析処理部１０５のプログラム構造の一部を示す。解析処理部１０５のプログラムは、分岐条件（1）７０１、分岐条件（2）７０４、解析処理A７０２、解析処理B７０３、解析処理C７０５、および解析処理D７０６を含んでいる。解析処理部１０５のプログラムは、図示していない終了点を含む。解析処理部１０５は、画像データセットを解析する中で分岐条件（1）７０１や分岐条件（2）７０４を実行し、各分岐条件での判定に基づいて解析フロー（７０７、７０８、７０９）を生成する。分岐条件（1）７０１、分岐条件（2）７０４、解析処理A７０２、解析処理B７０３、解析処理C７０５、および解析処理D７０６の各々を総称して通過点と呼ぶ。 FIG. 7 shows a part of the program structure of the analysis processing unit 105. The program of the analysis processing unit 105 includes a branch condition (1) 701, a branch condition (2) 704, an analysis process A 702, an analysis process B 703, an analysis process C 705, and an analysis process D 706. The program of the analysis processing unit 105 includes an end point not shown. The analysis processing unit 105 executes the branch condition (1) 701 and the branch condition (2) 704 while analyzing the image data set, and performs an analysis flow (707, 708, 709) based on the determination in each branch condition. Generate. Each of the branch condition (1) 701, the branch condition (2) 704, the analysis process A 702, the analysis process B 703, the analysis process C 705, and the analysis process D 706 is collectively referred to as a passing point.

図６は、解析処理ノード１０４の仲介部１０６及び解析処理部１０５と、ホスト１０１の指示部１０２が通過点を検出して検査フローを分析する処理フローチャートを示す。なお、解析処理ノード１０４の処理フローを示すが、解析処理ノード１０７と解析処理ノード１１０の処理フローも同様である。解析処理部１０５は、画像データ（画像データセット）２１５の解析処理を進める中で通過点の実行を検出し（ステップ６０１）、画像データセットの検査対象物IDおよび検査ポイントID、通過点を検出した日時、および検出した通過点を含んだ通過点２１１を通過点報告２０２へ出力する。仲介部１０６の通過点報告２０２は、解析処理部１０５から出力された通過点２１１を受付けて、それを通過点１１９として指示部１０２へ出力する（ステップ６０２）。ここで、、通過点報告２０２が受付けた通過点２１１が分岐条件であれば、通過点格納領域２３１に通過点２１１を格納し、次の通過点２１１を受付けた時点で通過点１１９として纏めて指示部１０２へ出力する。指示部１０２は、通過点１１９を受付ける。指示部１０２は、図示していない検査フローDBを保持しており、受け付けた通過点１１９と過去の（直前に受け付けた）通過点とを結合して解析フローDBに格納する（ステップ６０３）。指示部１０２は、解析フローDBを解析することで、通過点と所要時間との相関を把握して処理を終了する（ステップ６０４）。具体的には、解析フロー毎に、分岐条件と解析処理と終了点を含む通過点毎と日時との相関を分析することで、通過点間とその通過点間の所要時間（処理時間）との相関を把握する。検査対象物や検査ポイントが異なれば、所要時間（処理時間）が異なる。 FIG. 6 shows a processing flowchart in which the mediation unit 106 and the analysis processing unit 105 of the analysis processing node 104 and the instruction unit 102 of the host 101 detect the passing point and analyze the inspection flow. Although the processing flow of the analysis processing node 104 is shown, the processing flows of the analysis processing node 107 and the analysis processing node 110 are the same. The analysis processing unit 105 detects the execution of the passing point while proceeding with the analysis processing of the image data (image data set) 215 (step 601), and detects the inspection object ID, the inspection point ID, and the passing point of the image data set. And the passing point 211 including the detected passing point is output to the passing point report 202. The passing point report 202 of the mediation unit 106 receives the passing point 211 output from the analysis processing unit 105, and outputs it as the passing point 119 to the instruction unit 102 (step 602). Here, if the passing point 211 received by the passing point report 202 is a branching condition, the passing point 211 is stored in the passing point storage area 231 and is collected as the passing point 119 when the next passing point 211 is received. Output to the instruction unit 102. The instruction unit 102 receives the passing point 119. The instruction unit 102 holds an inspection flow DB (not shown), and combines the received passing point 119 and the past (accepted immediately before) passing point and stores them in the analysis flow DB (step 603). The instruction unit 102 analyzes the analysis flow DB to grasp the correlation between the passing point and the required time, and ends the process (step 604). Specifically, for each analysis flow, by analyzing the correlation between the date and time for each passing point including the branching condition, the analysis process, and the end point, the required time (processing time) between the passing points and the passing points Grasp the correlation. The required time (processing time) differs if the inspection object or inspection point is different.

図８は、指示部１０２が解析指示１１８を出力する処理フローチャートを示す。指示部１０２は、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）から通過点１１９を受付けて、通過点１１９と検査フローDBに格納された通過点と所要時間との相関から解析指示割り振り先を確定する（ステップ８０１）。指示部１０２は、図１０に示す構成の解析指示１１８を生成し（ステップ８０２）、解析指示１１８を解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）へ出力する（ステップ８０３）。指示部１０２は、予め定められた時間だけ待つ（ステップ８０４）。次に、指示部１０２は、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）からの受信応答を受信できたか否かを判定する（ステップ８０５）。受信応答を確認できなければステップ８０３を実行し、受信応答を確認できれば処理を終了する。 FIG. 8 shows a processing flowchart in which the instruction unit 102 outputs the analysis instruction 118. The instruction unit 102 receives the passing point 119 from the analysis processing nodes (104, 107, 110), and determines the analysis instruction allocation destination from the correlation between the passing point 119 and the passing point stored in the inspection flow DB and the required time. (Step 801). The instruction unit 102 generates an analysis instruction 118 having the configuration shown in FIG. 10 (step 802), and outputs the analysis instruction 118 to the analysis processing nodes (104, 107, 110) (step 803). The instruction unit 102 waits for a predetermined time (step 804). Next, the instruction unit 102 determines whether or not the reception response from the analysis processing nodes (104, 107, 110) has been received (step 805). If the reception response cannot be confirmed, step 803 is executed, and if the reception response can be confirmed, the process ends.

１０１…ホスト、１０２…指示部、１０４、１０７、１１０…解析用処理ノード、１０５、１０８、１１１…解析処理部、１０６、１０９、１１２…仲介部、１１３…転送機器、２０２…通過点報告、２０３…結果報告、２０７…画像データ管理、２０８…画像データ受信、２２０…一時メモリ領域、２２１…自ノードID格納領域、２２４…配信グループ制御、２２５…動的フィルタ、２２６…事後再構成、２２８…離脱検査ポイントリスト格納領域、２３０…画像データグラム受信バッファ、２３２…画像データ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 ... Host, 102 ... Instruction part, 104, 107, 110 ... Analysis processing node, 105, 108, 111 ... Analysis processing part, 106, 109, 112 ... Intermediary part, 113 ... Transfer equipment, 202 ... Passage point report, 203 ... Result report, 207 ... Image data management, 208 ... Image data reception, 220 ... Temporary memory area, 221 ... Local node ID storage area, 224 ... Distribution group control, 225 ... Dynamic filter, 226 ... Post-reconstruction, 228 ... Leaving inspection point list storage area, 230 ... Image datagram reception buffer, 232 ... Image data.

Claims

An image data distribution method in an inspection apparatus having an imaging unit that captures image data of an inspection point determined as an inspection object, wherein a distribution group including one or more analysis processing nodes included in the inspection apparatus Leave
The distribution unit that has received the image data captured by the imaging unit transfers an image data set of the image data to the analysis processing node included in the distribution group,
The image processing method according to claim 1, wherein the analysis processing node selectively participates in the distribution group according to the inspection point included in the analysis instruction indicating that analysis is not necessary for the node.

The image data distribution method according to claim 1, wherein a departure inspection point list is formed according to the inspection points included in the analysis instruction indicating that the analysis is not necessary, and selectively based on the formed separation inspection point list. An image data distribution method characterized by participating in a distribution group.

3. The image data distribution method according to claim 2, wherein the image data set corresponding to the separation inspection point included in the separation inspection point list is deleted in accordance with the switching of the inspection object. .

4. The image data distribution method according to claim 3, wherein after the image data set corresponding to the withdrawal inspection point included in the withdrawal inspection point list is deleted, the withdrawal inspection point list is updated. Delivery method.

2. The image data distribution method according to claim 1, wherein the distribution unit divides the image data set into a predetermined size, and a plurality of IDs for identifying at least the inspection points in each of the divided image data sets. The image datagram is generated and transferred to the analysis processing node included in the distribution group by transferring the plurality of image datagrams to the analysis processing node included in the distribution group. An image data distribution method characterized by:

6. The image data distribution method according to claim 5, wherein the image datagram to be generated further includes an inspection object ID for identifying the inspection object.

6. The image data distribution method according to claim 5, wherein the analysis processing node includes the inspection point included in an analysis instruction indicating that the analysis is not required for the node, and the inspection point corresponding to an ID attached to the image datagram. An image data distribution method characterized by selectively participating in the distribution group based on a comparison with.

2. The image data distribution method according to claim 1, wherein when not participating in the distribution group, at least one of dynamic filtering that does not receive the transferred image data set and post filtering that deletes the already received image data set. The image data delivery method characterized by performing.

2. The image distribution method according to claim 1, wherein the analysis for the new inspection point is indicated based on a processing time between a predetermined passing point and another passing point of the analysis processing flow in the analysis processing node. An image data distribution method, wherein an analysis instruction is assigned to the analysis processing node.

10. The image data distribution method according to claim 9, wherein the processing time is obtained based on a combination of the passing point and the date and time when the processing of the passing point is executed.

An imaging unit for imaging image data of an inspection point determined as an inspection target;
A transfer device that receives the image data captured by the imaging unit and transfers an image data set of the image data to a predetermined distribution group;
Host, and
An analysis instruction included in the distribution group and including the inspection point from the host is received, and when the analysis instruction is not an instruction to itself, the inspection point included in the analysis instruction is stored as an analysis point that does not require analysis. An inspection apparatus comprising an analysis processing node that selectively participates in the distribution group depending on whether the inspection point is stored.

12. The inspection apparatus according to claim 11, further comprising a separation inspection point list storage area for storing the inspection points as the inspection points that do not require analysis.

12. The inspection apparatus according to claim 11, wherein when the analysis processing node does not participate in the distribution group, dynamic filtering that does not receive the image data set to be transferred and post-processing that deletes the already received image data set. An inspection apparatus that executes at least one of the configurations.

12. The inspection apparatus according to claim 11, wherein the analysis processing node has a local node ID storage area, and the analysis processing node ID included in the analysis instruction is different from an ID stored in the local node ID storage area. And the analysis instruction is not an instruction to itself.

12. The inspection apparatus according to claim 11, wherein the analysis processing node stores the inspection point included in the analysis instruction that does not require analysis as a separation inspection point in a separation inspection point list, and is based on the separation inspection point list. The inspection apparatus selectively participates in the distribution group.

16. The inspection apparatus according to claim 15, wherein the analysis processing node includes an intermediary unit that deletes the image data set corresponding to the withdrawal inspection point included in the withdrawal inspection point list in response to switching of the inspection object. Inspection device with passing point report.

12. The inspection apparatus according to claim 11, wherein the transfer device divides the image data set into a predetermined size, and each of the divided image data sets is provided with a plurality of IDs for identifying at least the inspection points. Transferring the image data set to the analysis processing node included in the distribution group by generating a datagram and transferring the plurality of image datagrams to the analysis processing node included in the distribution group; Inspection device characterized by