JP5173332B2 - Microneedle and microneedle manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、微細構造体であるマイクロニードルに関する。   The present invention relates to a microneedle that is a fine structure.

皮膚上から薬剤を浸透させ体内に薬剤を投与する方法である経皮吸収法は、人体に痛みを与えることなく簡便に薬剤を投与することが出来る方法として用いられているが、薬剤の種類によっては経皮吸収法で投与が困難な薬剤が存在する。これらの薬剤を効率よく体内に吸収させる方法として、ミクロンオーダーのマイクロニードルを用いて皮膚を穿孔し、皮膚内に直接薬剤を投与する方法が注目されている。この方法によれば、投薬用の特別な機器を用いることなく、簡便に薬剤を皮下投薬することが可能となる(特許文献1参照)。   The percutaneous absorption method, which is a method of infiltrating a drug from the skin and administering the drug into the body, is used as a method that can be easily administered without causing pain to the human body. There are drugs that are difficult to administer by transdermal absorption. As a method for efficiently absorbing these drugs into the body, a method of perforating the skin using micron-order microneedles and administering the drug directly into the skin has attracted attention. According to this method, it is possible to easily administer a drug subcutaneously without using a special medication device (see Patent Document 1).

この際に用いる微細なマイクロニードルの形状は、皮膚を穿孔するための十分な細さと先端角、および皮下に薬液を浸透させるための十分な長さを有していることが必要とされ、突起部の直径は数μmから数百μm、突起部の長さは皮膚の最外層である角質層を貫通し、かつ神経層へ到達しない長さ、具体的には数十μmから数百μm程度のものであることが望ましいとされている。   The shape of the micro-needles used at this time is required to have a sufficient fineness and tip angle for piercing the skin and a sufficient length for allowing the drug solution to penetrate subcutaneously. The diameter of the part is several μm to several hundred μm, and the length of the protrusion is the length that penetrates the stratum corneum, which is the outermost layer of the skin, and does not reach the nerve layer, specifically about several tens μm to several hundred μm It is said that it is desirable.

より具体的には、最外皮層である角質層を貫通することが求められる。角質層の厚さは人体の部位によっても若干異なるが、平均して20μm程度である。また、角質層の下にはおよそ200μmから350μm程度の厚さの表皮が存在し、さらにその下層には毛細血管が張りめぐる真皮層が存在する。このため、角質層を貫通させ薬液を浸透させるためには少なくとも20μm以上の針が必要となる。また、採血を目的とするマイクロニードルを製造する場合には、上記の皮膚の構成から少なくとも350μm以上の高さの突起部が必要となる。   More specifically, it is required to penetrate the stratum corneum that is the outermost skin layer. The thickness of the stratum corneum varies slightly depending on the part of the human body, but is about 20 μm on average. In addition, an epidermis having a thickness of about 200 μm to 350 μm exists under the stratum corneum, and further, a dermis layer in which capillaries are stretched exists under the epidermis. For this reason, in order to penetrate the stratum corneum and allow the chemical solution to penetrate, a needle of at least 20 μm or more is required. Further, when producing a microneedle for the purpose of blood collection, a protrusion having a height of at least 350 μm is required due to the structure of the skin.

また、マイクロニードルを構成する材料としては、仮に破損したマイクロニードルが体内に残留した場合でも、人体に悪影響を及ぼさない材料であることが必要であり、この材料としては医療用シリコーン樹脂や、マルトース、ポリ乳酸、デキストラン等の生体適合樹脂が有望視されている(特許文献2参照)。   In addition, the material constituting the microneedle must be a material that does not adversely affect the human body even if the damaged microneedle remains in the body, such as medical silicone resin or maltose Biocompatible resins such as polylactic acid and dextran are considered promising (see Patent Document 2).

このような微細構造体を低コストかつ大量に製造するためには、射出成形法、インプリント法、キャスティング法等に代表される転写成形法が有効であるが、いずれの方法においても成形を行うためには所望の形状を凹凸反転させた原型が必要であり、マイクロニードルのようなアスペクト比(構造体の幅に対する高さ、もしくは深さの比率)が高く、先端部の先鋭化が必要である構造体を形成するためには、その製造工程が非常に複雑となる。   In order to produce such a fine structure at a low cost and in large quantities, a transfer molding method represented by an injection molding method, an imprint method, a casting method, or the like is effective, but molding is performed in any method. In order to achieve this, it is necessary to have a prototype in which the desired shape is inverted, the aspect ratio (height or depth ratio to the width of the structure) is high like a microneedle, and the tip must be sharpened. In order to form a certain structure, the manufacturing process becomes very complicated.

例えば、マイクロニードルを製造する方法として、X線リソグラフィによりマイクロニードルの原版を作製し、原版から複製版を作り、転写成形加工を行う製造方法が提案されている(特許文献3参照)。   For example, as a method for producing a microneedle, a production method has been proposed in which a microneedle original plate is produced by X-ray lithography, a duplicate plate is produced from the original plate, and transfer molding is performed (see Patent Document 3).

また、機械加工によりマイクロニードルの原版を作製し、原版から複製版を作り、転写成形加工を行う製造方法が提案されている(特許文献4参照)。
米国特許第6,183,434号明細書 特開2005−21677号公報 特開2005−246595号公報 特表2006−513811号公報
In addition, a manufacturing method has been proposed in which a microneedle original plate is produced by machining, a duplicate plate is produced from the original plate, and transfer molding is performed (see Patent Document 4).
US Pat. No. 6,183,434 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-21677 JP 2005-246595 A JP-T-2006-513811

マイクロニードルのような微小な構造体を製造/使用した場合、応力が集中する場所が破損する問題がある。
特に、伸縮性のあるもの(例えば、生体皮膚など)に対して穿刺する場合、対象の伸縮性により、引っ張りもしくは圧縮応力がマイクロニードルに大きくかかり、マイクロニードルの垂直方向(マイクロニードルの基底部から先端部へ向かう方向)のみならず、水平方向に大きな応力がかかるため、マイクロニードルの破損が起こりやすい。
When a minute structure such as a microneedle is manufactured / used, there is a problem that a place where stress is concentrated is damaged.
In particular, when puncturing an object having elasticity (for example, living skin), a tensile or compressive stress is greatly applied to the microneedle due to the elasticity of the target, and the vertical direction of the microneedle (from the base of the microneedle) Since a large stress is applied not only in the direction toward the tip) but also in the horizontal direction, the microneedles are easily damaged.

また、強度を向上させるため、単純にニードル径を大きくすると、医療用マイクロニードルとして使用する場合、穿刺時に痛点を刺激する確率が上がる。
また、ニードル径を大きくすると、複数のマイクロニードルを配列する場合、マイクロニードル間のピッチを小さく出来ず、面積あたりのマイクロニードルの本数を多く形成できない。
Further, if the needle diameter is simply increased in order to improve the strength, when used as a medical microneedle, the probability of stimulating a pain point during puncture increases.
If the needle diameter is increased, when a plurality of microneedles are arranged, the pitch between the microneedles cannot be reduced, and the number of microneedles per area cannot be increased.

そこで、本発明は、上述した問題を解決するためになされたものであり、水平方向からの応力による破損を抑制することの出来るマイクロニードルを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a microneedle capable of suppressing breakage due to stress from the horizontal direction.

請求項1に記載の本発明は、微細構造体であるマイクロニードルにおいて、マイクロニードルの基底部形状がオーバル形状であり、かつ、前記マイクロニードルの基底部形状における長軸方向と、任意の一点からの放射方向とが平行となるように複数のマイクロニードルを配列し、かつ、前記任意の一点が前記マイクロニードルの配列の外周より内側に位置することを特徴とするマイクロニードルである。
なお、本明細書において、「オーバル形状」とは、A)対象軸を最低でも一つ以上持ち、B)交差しておらず、外側に凸状であり、閉じた、平面上の曲線で構成された形状であり、楕円形状、卵形状、長円形状、のみならず、曲線の一部が線分に置き換えられた形状(例えば、角丸長方形状)、涙型形状をも含む形状として定義する。
According to the first aspect of the present invention, in the microneedle that is a fine structure, the base shape of the microneedle is an oval shape , and the major axis direction of the base shape of the microneedle is selected from any one point. A plurality of microneedles are arranged so that their radial directions are parallel to each other, and the arbitrary one point is located inside the outer circumference of the arrangement of the microneedles.
In this specification, “oval shape” means A) having at least one target axis, B) not intersecting, convex outward, closed and composed of a curved line on a plane. Defined as shapes that include not only elliptical shapes, egg shapes, oval shapes, but also part of the curve replaced with line segments (for example, rounded rectangular shapes), and teardrop-shaped shapes To do.

請求項2に記載の本発明は、請求項1に記載のマイクロニードルであって、生体適合性材料よりなることを特徴とするマイクロニードルである。   The present invention described in claim 2 is the microneedle according to claim 1, which is made of a biocompatible material.

請求項3に記載の本発明は、請求項1または2に記載のマイクロニードルであって、配列の外周側に位置するマイクロニードルほどマイクロニードルの基底部形状における長軸が短軸に比べ大きくなっていることを特徴とするマイクロニードルである。 The present invention described in claim 3 is the microneedle according to claim 1 or 2 , wherein the longer the microneedle located on the outer peripheral side of the array, the larger the major axis in the base shape of the microneedle compared to the minor axis. It is the microneedle characterized by the above-mentioned.

請求項4に記載の本発明は、微細構造体であるマイクロニードルであって、マイクロニードルの基底部形状がオーバル形状であり、かつ、前記マイクロニードルの基底部形状における長軸方向と、任意の一点からの放射方向とが平行となるように複数のマイクロニードルが配列され、かつ、前記任意の一点が前記マイクロニードルの配列の外周より内側に位置するマイクロニードルを製造する方法であって、基板に上面投影図がオーバル形状であり、かつ厚み分布を持つ複数のエッチングマスクを、エッチングマスクのオーバル形状における長軸方向と、任意の一点からの放射方向とが平行となるように配列して形成する工程であって、前記任意の一点が前記マイクロニードルの配列の外周より内側に位置する工程と、前記エッチングマスクを形成した側から前記基板に対して異方性エッチングを行う工程と、を備えたことを特徴とするマイクロニードルの製造方法である。

The present invention is defined in claim 4, a micro Needle a microstructure, the base portion shape of the microneedles is oval shaped and the major axis direction of the base portion shape of the microneedles, optionally A method of manufacturing a microneedle in which a plurality of microneedles are arranged so that the radial direction from one point is parallel, and the arbitrary one point is located inside the outer periphery of the arrangement of the microneedles , A plurality of etching masks whose top projection is an oval shape and having a thickness distribution are arranged on the substrate so that the major axis direction in the oval shape of the etching mask is parallel to the radiation direction from any one point. and forming Te, the steps of said any point is located inside the outer periphery of the array of the microneedles, the etching mass And performing anisotropic etching on the substrate from the formed side to a method for producing a microneedle, characterized in that it comprises a.

請求項5に記載の本発明は、請求項4に記載のマイクロニードルの製造方法であって、更に、製造したマイクロニードルを母型とし、該母型から複製版を作製する工程と、前記複製版を用いて転写成形加工を行う工程と、を備えたことを特徴とするマイクロニードルの製造方法である。 The present invention described in claim 5 is the method of manufacturing the microneedle according to claim 4 , further comprising the step of making the manufactured microneedle as a mother mold and producing a replica from the mother mold, and the replica And a step of performing a transfer molding process using a plate.

本発明のマイクロニードルは、マイクロニードルの基底部形状がオーバル形状であることを特徴とする。
本発明の構成によれば、基底部形状がオーバル形状であるため、オーバル形状の長軸方向に対する応力を緩和することが出来る。
よって、水平方向からの応力を緩和することにより、水平方向からの応力による破損を抑制することが可能となる。
The microneedle of the present invention is characterized in that the shape of the base of the microneedle is an oval shape.
According to the configuration of the present invention, since the base shape is an oval shape, the stress in the major axis direction of the oval shape can be relieved.
Therefore, by relaxing the stress from the horizontal direction, it is possible to suppress damage due to the stress from the horizontal direction.

以下、本発明のマイクロニードルについて説明を行う。
本発明のマイクロニードルは、
マイクロニードルの基底部形状がオーバル形状であること
を特徴とする。
Hereinafter, the microneedle of the present invention will be described.
The microneedle of the present invention is
The base shape of the microneedle is an oval shape.

基底部形状をオーバル形状とすることにより、マイクロニードルかかる応力のうち、オーバル形状の長軸方向に対する応力を緩和することが出来る。よって、水平方向からの応力を緩和することになり、水平方向からの応力による破損を抑制することが可能となる。
例えば、マイクロニードルの断面形状の違いによる強度の違いを比較すると、同一断面積の場合、長軸対短軸が6:4の楕円形状は、断面が真円形状のものに比べて、長軸方向に働く力に対して1.2倍以上の強度を持つ。
なお、本明細書において、「オーバル形状」とは、A)対象軸を最低でも一つ以上持ち、B)交差しておらず、外側に凸状であり、閉じた、平面上の曲線で構成された形状であり、楕円形状、卵形状、長円形状、のみならず、曲線の一部が線分に置き換えられた形状(例えば、角丸長方形状)、涙型形状をも含む形状として定義する。
By setting the base shape to an oval shape, it is possible to relieve the stress in the major axis direction of the oval shape out of the stress applied to the microneedles. Therefore, stress from the horizontal direction is relieved, and breakage due to stress from the horizontal direction can be suppressed.
For example, when the difference in strength due to the difference in the cross-sectional shape of the microneedle is compared, in the case of the same cross-sectional area, the elliptical shape with the major axis vs. minor axis of 6: 4 is longer The strength is 1.2 times or more the force acting in the direction.
In this specification, “oval shape” means A) having at least one target axis, B) not intersecting, convex outward, closed and composed of a curved line on a plane. Defined as shapes that include not only elliptical shapes, egg shapes, oval shapes, but also part of the curve replaced with line segments (for example, rounded rectangular shapes), and teardrop-shaped shapes To do.

また、本発明のマイクロニードルは、生体適合性材料よりなることが好ましい。生体適合性を備えた材料を用いることにより、生体皮膚への適用時に針状体が破損して、その一部が生体内に取り残されても、生体への影響を低減することが出来る。生体適合性を備えた材料としては、例えば、Mg系化合物、Ti系化合物などの無機化合物、ポリ乳酸、ポリグリコール酸、ポリ乳酸グリコール酸共重合体、ポリクエン酸、ポリリンゴ酸、ポリアミノ酸、マルトース、デキストランなどの生体適合性と生分解性を有する有機高分子などが挙げられる。   The microneedle of the present invention is preferably made of a biocompatible material. By using a material having biocompatibility, even if the needle-like body is damaged when applied to living body skin and a part of the needle-like body is left in the living body, the influence on the living body can be reduced. Examples of materials having biocompatibility include inorganic compounds such as Mg-based compounds and Ti-based compounds, polylactic acid, polyglycolic acid, polylactic acid glycolic acid copolymer, polycitric acid, polymalic acid, polyamino acid, maltose, Examples thereof include organic polymers having biocompatibility and biodegradability, such as dextran.

また、本発明のマイクロニードルは、マイクロニードル内部、または、マイクロニードルの近傍に、貫通孔を形成してもよい。貫通孔を設けることにより、体液/薬液を貫通孔を通して採取/供給する構成のデバイスに好適に用いることが出来る。   In the microneedle of the present invention, a through hole may be formed in the microneedle or in the vicinity of the microneedle. By providing the through hole, it can be suitably used for a device configured to collect / supply body fluid / chemical solution through the through hole.

また、本発明のマイクロニードルは、形状、寸法、構成する材料等は特に限定されず、用途/仕様に応じて適宜設計を行って良い。例えば、経皮投与の目的でマイクロニードルを用いる場合、直径は数μmから数百μm、長さは数十μmから数百μm程度のものであることが望ましい。   In addition, the microneedle of the present invention is not particularly limited in shape, size, constituent material, and the like, and may be appropriately designed according to the application / specification. For example, when a microneedle is used for the purpose of transdermal administration, it is desirable that the diameter is several μm to several hundred μm and the length is about several tens μm to several hundred μm.

また、本発明のマイクロニードルは、複数のマイクロニードルを配列しても良い。このとき、配列は仕様に応じて適宜設計を行って良い。例えば、マイクロニードルを矩形状に配列(図2(a))、円形状に配列(図2(b))しても良い。   The microneedle of the present invention may have a plurality of microneedles. At this time, the arrangement may be appropriately designed according to the specifications. For example, the microneedles may be arranged in a rectangular shape (FIG. 2A) or in a circular shape (FIG. 2B).

また、本発明のマイクロニードルは、マイクロニードルの基底部形状における長軸方向と、任意の一点からの放射方向と、が平行となるように複数のマイクロニードルを配列することが好ましい。複数本を配列した場合、対象の伸縮性による応力は、配列の外周から内部に向かう方向にかかる。よって、上述のように配列することにより、オーバル形状の長軸方向が、対象の伸縮性による応力がかかる方向に沿うように配列されるため、対象の伸縮性による応力によって、マイクロニードルの破損を抑制することが出来る。(図3、図4)   In the microneedle of the present invention, it is preferable to arrange a plurality of microneedles so that the long axis direction in the shape of the base portion of the microneedle is parallel to the radial direction from any one point. When a plurality of lines are arranged, the stress due to the elasticity of the target is applied in the direction from the outer periphery to the inside of the array. Therefore, by arranging as described above, the major axis direction of the oval shape is arranged along the direction in which the stress due to the stretchability of the target is applied. Therefore, the microneedle is damaged by the stress due to the stretchability of the target. Can be suppressed. (Fig. 3, Fig. 4)

また、マイクロニードルを複数配列する場合、配列の外周側に位置するマイクロニードルほどマイクロニードルの基底部形状における長軸が短軸に比べ大きくなっていることが好ましい。一般に、長軸が短軸に比べ大きくなるほど、長軸方向に対する機械的強度が増した形状となる。対象の伸縮性による応力は、配列の外周側に位置するマイクロニードルほど大きく負荷をかけるため、配列の外周側に位置するマイクロニードルほどマイクロニードルの基底部形状における長軸が短軸に比べ大きくなっていることにより、特に、配列の外周部における破損を抑制することが出来る。(図3、図4)   When a plurality of microneedles are arranged, it is preferable that the major axis in the base shape of the microneedles is larger than the minor axis in the microneedles located on the outer peripheral side of the arrangement. In general, the larger the major axis is, the greater the mechanical strength in the major axis direction. Since the stress due to the stretchability of the target is more heavily applied to the microneedles located on the outer peripheral side of the array, the major axis in the base shape of the microneedle is larger than the minor axis for the microneedles located on the outer peripheral side of the array. In particular, damage at the outer periphery of the array can be suppressed. (Fig. 3, Fig. 4)

以下、本発明のマイクロニードルの製造に適したマイクロニードル製造方法について、図1を用いながら説明を行う。
本発明のマイクロニードル製造方法は、
基板に上面投影図がオーバル形状であり、かつ厚み分布を持つエッチングマスクを形成する工程と、
前記エッチングマスクを形成した側から前記基板に対して異方性エッチングを行う工程と、
を備える。
Hereinafter, a microneedle manufacturing method suitable for manufacturing the microneedle of the present invention will be described with reference to FIG.
The microneedle production method of the present invention comprises:
A step of forming an etching mask having a thickness distribution and a top projection on the substrate having an oval shape;
Performing anisotropic etching on the substrate from the side on which the etching mask is formed;
Is provided.

<基板に上面投影図がオーバル形状であり、かつ厚み分布を持つエッチングマスクを形成する工程>
まず、上面投影図がオーバル形状であり、かつ厚み分布を持つエッチングマスクを形成する。
<Process for forming an etching mask having a thickness distribution and an oval projection on the substrate>
First, an etching mask having a top projection of an oval shape and a thickness distribution is formed.

エッチングマスクを厚み方向に変化させ、エッチングマスク外縁部の厚みを、エッチングマスク内部の厚みと比べて薄くし、外縁部から内部向けてエッチングマスクの厚みを連続的に変化させることにより、後述するエッチングが進むにつれて、エッチングマスク外縁部から徐々にマスクは除去されることとなり、基板とエッチングマスクとのエッチング選択比(エッチングマスクのエッチングレートに対する基板のエッチングレートの比)に応じたテーパー角度を持つマイクロニードルを製造することが可能となる。(図1(b))   Etching to be described later by changing the etching mask in the thickness direction, making the thickness of the outer edge of the etching mask thinner than the thickness inside the etching mask, and continuously changing the thickness of the etching mask from the outer edge to the inside As the etching progresses, the mask is gradually removed from the outer edge of the etching mask, and a microscopic angle with a taper angle corresponding to the etching selectivity between the substrate and the etching mask (ratio of the etching rate of the substrate to the etching rate of the etching mask). A needle can be manufactured. (Fig. 1 (b))

また、エッチングマスクの形状をオーバル形状とすることにより、製造されるマイクロニードルの基底部形状をオーバル形状とすることが出来る。(図1(a)、(a’))   Moreover, the base part shape of the microneedle manufactured can be made into an oval shape by making the shape of an etching mask into an oval shape. (Fig. 1 (a), (a '))

また、エッチングマスクをアレイ状に複数形成しても良い。エッチングマスクをアレイ状に複数形成することにより、マイクロニードルがアレイ状に複数本並んだマイクロニードルを製造することが可能となる。このとき、エッチングマスクのパターンレイアウトを変更することで、マイクロニードルの間隔、および本数を制御することが出来る。
例えば、エッチングマスクのオーバル形状における長軸方向と、任意の一点からの放射方向と、が平行となるように複数のエッチングマスクを配列しても良い。
A plurality of etching masks may be formed in an array. By forming a plurality of etching masks in an array, it is possible to manufacture a microneedle having a plurality of microneedles arranged in an array. At this time, the interval and the number of microneedles can be controlled by changing the pattern layout of the etching mask.
For example, a plurality of etching masks may be arranged so that the major axis direction in the oval shape of the etching mask is parallel to the radial direction from any one point.

また、形成するエッチングマスクのパターン径を変更することで、製造されるマイクロニードルの径を制御することが出来る。   Moreover, the diameter of the microneedle to be manufactured can be controlled by changing the pattern diameter of the etching mask to be formed.

基板は、後述するエッチングを行う工程において、適した加工特性を備える材料であることが好ましい。例えば、シリコン基板でも良い。   The substrate is preferably made of a material having suitable processing characteristics in an etching process described later. For example, a silicon substrate may be used.

エッチングマスクのマスク材料としては、上述した基板と密着し、後述するエッチングを行う工程において、エッチングマスクのエッチングレートが、基板のエッチングレートより小さいものであれば良い。   As a mask material for the etching mask, it is sufficient that the etching rate of the etching mask is smaller than the etching rate of the substrate in the step of performing the etching described later, which is in close contact with the substrate.

基板にエッチングマスクを形成する方法としては、適宜公知のパターニング方法を用いてよい。例えば、パターニング方法として、露光現像による方法(用いるフォトマスクによりパターン部を制御可能)、液滴吐出法(パターン部のみに液滴吐出する)などの方法を用いてもよい。   As a method for forming an etching mask on the substrate, a known patterning method may be used as appropriate. For example, as a patterning method, a method such as a method by exposure and development (the pattern portion can be controlled by a photomask to be used), a droplet discharge method (droplet discharge only to the pattern portion), or the like may be used.

エッチングマスクに厚み分布を持たせる方法としては、例えば、マスク材料をリフローさせる、グレースケールマスクを用いてマスク材料の露光量を制御する、インクジェット装置を用いてマスク材料の液滴投下量で調整する、などの方法を用いて良い。   As a method of giving a thickness distribution to the etching mask, for example, reflowing the mask material, controlling the exposure amount of the mask material using a gray scale mask, and adjusting the drop amount of the mask material using an inkjet device , Etc. may be used.

<エッチングマスクを形成した側から前記基板に対して異方性エッチングを行う工程>
次に、エッチングマスクを形成した側から基板全体にエッチングを進め(図1(c))、マイクロニードルを製造する(図1(d))。
<Step of performing anisotropic etching on the substrate from the side on which the etching mask is formed>
Next, etching is performed on the entire substrate from the side on which the etching mask is formed (FIG. 1C), and microneedles are manufactured (FIG. 1D).

エッチング方法としては、基板のエッチングレートとエッチングマスクとのエッチングレートが異なる異方性のエッチング方法であれば良く、適宜公知の方法を用いること出来る。例えば、RIE、マグネトロンRIE、ECR、ICP、NLD、マイクロ波、ヘリコン波等の放電方式を用いたドライエッチング装置を用いたドライエッチングを行っても良い。   The etching method may be an anisotropic etching method in which the etching rate of the substrate and the etching rate of the etching mask are different, and a known method can be appropriately used. For example, you may perform dry etching using the dry etching apparatus using discharge methods, such as RIE, magnetron RIE, ECR, ICP, NLD, a microwave, and a helicon wave.

このとき、エッチングマスクに対する基板のエッチング選択比によって、マイクロニードルの先端角度の制御が可能である。上記エッチング選択比が高い場合、マイクロニードルの先端角度は鋭くなり、高さは高くなる傾向がある。また、エッチング選択比が低い場合、先端角度は広くなり、高さは低くなる傾向がある。エッチング選択比は基板及びエッチングマスクの材料の選択の他、エッチング時の種々の条件(例えば、圧力、プロセスガス流量、プロセスガス流量比など)により、制御することが出来る。   At this time, the tip angle of the microneedle can be controlled by the etching selectivity of the substrate with respect to the etching mask. When the etching selectivity is high, the tip angle of the microneedle tends to be sharp and the height tends to be high. When the etching selectivity is low, the tip angle tends to be wide and the height tends to be low. The etching selectivity can be controlled by various conditions during etching (for example, pressure, process gas flow rate, process gas flow rate ratio, etc.) in addition to the selection of the material of the substrate and the etching mask.

また、徐々にマスクが除去されていき、最終的にマスクが微小な範囲に収束してから完全に除去されることでマイクロニードルを形成するため、エッチングマスク脱落による汚染等が発生することなく、また先端形状が鋭利なマイクロニードルを製造することが可能となる。   In addition, the mask is gradually removed, and finally the mask is converged to a small range and then completely removed to form microneedles, so that contamination due to etching mask dropping does not occur, In addition, a microneedle having a sharp tip shape can be manufactured.

また、エッチングマスクが残存した状態(図1(c))でエッチングを停止し、エッチングマスクを剥離しても良い。このとき、先端部分のみ平坦な形状を残した、刺突の際に先端部の欠けを低減する効果を奏するマイクロニードルを製造することが可能となる。   Further, the etching may be stopped after the etching mask remains (FIG. 1C) and the etching mask is peeled off. At this time, it becomes possible to manufacture a microneedle having an effect of reducing the chipping of the tip portion at the time of piercing, in which only the tip portion remains flat.

以上より、本発明のマイクロニードルを製造することが出来る。ここではエッチングマスクを用いた方法を示したが、本発明のマイクロニードルの製造はこれに限定されず、他の微細加工技術を用いて製造してもよい。ここで、微細加工技術としては、例えば、エンドミルを用いた微細切削加工技術、レーザー光を用いた加工技術などが挙げられる。   From the above, the microneedle of the present invention can be manufactured. Although the method using an etching mask is shown here, the manufacture of the microneedle of the present invention is not limited to this, and the microneedle may be manufactured using other fine processing techniques. Here, examples of the fine processing technique include a fine cutting technique using an end mill and a processing technique using a laser beam.

また、本発明のマイクロニードル製造方法は、更に、製造したマイクロニードルを母型とし、該母型から複製版を作製する工程と、前記複製版を用いて転写成形加工を行う工程と、を備えることが好ましい。一体成形された機械的強度の高い複製版を作製することにより、同一の複製版で多量の針状体を製造することが出来るため、生産コストを低くし、生産性を高めることが可能となる。また、転写材料は微細加工に対する加工特性を考慮することなく選択することが出来るため、特に、生体適合性材料により形成された針状体を好適に製造することが出来る。   The microneedle manufacturing method of the present invention further includes a step of using the manufactured microneedle as a mother die, producing a duplicate plate from the mother die, and performing a transfer molding process using the duplicate plate. It is preferable. By producing a replica plate with high mechanical strength that is integrally molded, a large amount of needle-like bodies can be manufactured with the same replica plate, which makes it possible to reduce production costs and increase productivity. . In addition, since the transfer material can be selected without considering the processing characteristics for microfabrication, in particular, a needle-like body made of a biocompatible material can be suitably manufactured.

以下、一例として具体的に、図5を用いて、上述の製造方法により製造したマイクロニードル501を母型とし、鋳型層502を形成し、複製版503を形成する場合におけるマイクロニードルの転写成形加工について説明を行う。   Hereinafter, as an example, using FIG. 5 as a specific example, the microneedle 501 manufactured by the above-described manufacturing method is used as a mother mold, the mold layer 502 is formed, and the replica plate 503 is formed. Will be described.

<マイクロニードルの転写成形加工>
まず、マイクロニードル501が形成された面に、複製版503を形成するための鋳型層502を形成する(図5(a))。
<Microneedle transfer molding>
First, a template layer 502 for forming the duplicate plate 503 is formed on the surface on which the microneedles 501 are formed (FIG. 5A).

次に、マイクロニードル501と鋳型層502を分離し、複製版503を得る(図5(b))。   Next, the microneedle 501 and the template layer 502 are separated to obtain a duplicate plate 503 (FIG. 5B).

マイクロニードル501と鋳型層502を分離する方法としては、物理的な剥離力による分離または選択性エッチング法を用いる。   As a method of separating the microneedle 501 and the mold layer 502, separation by a physical peeling force or selective etching is used.

次に、複製版503にマイクロニードル材料を充填する(図5(c))。
マイクロニードル材料は特に制限されないが、生体に対して低刺激の材質であることが好ましい。また、曲面に対しても面に対して均一な押圧が出来るように柔軟性を持つことが好ましい。例えば、マイクロニードル材料として、医療用シリコーン樹脂、マルトース、ポリ乳酸、デキストランなどを用いても良い。
Next, the replica plate 503 is filled with a microneedle material (FIG. 5C).
The microneedle material is not particularly limited, but is preferably a material that is less irritating to the living body. Moreover, it is preferable to have flexibility so that the surface can be uniformly pressed against the curved surface. For example, a medical silicone resin, maltose, polylactic acid, dextran, or the like may be used as the microneedle material.

次に、マイクロニードル材料を複製版503から離型し、転写成形されたマイクロニードル504を得る(図5(d))。   Next, the microneedle material is released from the replica plate 503 to obtain a transfer-molded microneedle 504 (FIG. 5D).

<実施例1>
本発明のマイクロニードル製造方法について、エッチングマスクの形状が楕円形ドットパターンの場合における一例を具体的に挙げながら説明する。
<Example 1>
The microneedle manufacturing method of the present invention will be described with specific examples of the case where the shape of the etching mask is an elliptical dot pattern.

まず、基板としてシリコンウェハ(厚み:525μm)を用意した。   First, a silicon wafer (thickness: 525 μm) was prepared as a substrate.

次に、シリコンウェハ上に、エッチングマスクとして汎用厚膜フォトレジスト(クラリアント社製、商品名:AZ PLP)を、スプレーコート法を用いて、膜厚13μmとしてコートし、フォトリソグラフィー法により長軸120μm、短軸が80μmの楕円形ドットパターンを形成した。   Next, a general-purpose thick film photoresist (manufactured by Clariant, trade name: AZ PLP) as an etching mask is coated on the silicon wafer to a film thickness of 13 μm using a spray coating method, and a long axis of 120 μm is formed using a photolithography method. An elliptical dot pattern having a minor axis of 80 μm was formed.

次に、エッチングマスクをクリーンオーブンにおいて150℃で30分間加熱し、リフローを行った。リフロー後のレジスト形状は厚み分布を有し、中央部の最もレジスト厚が厚い部位は21.5μmであった。   Next, the etching mask was heated in a clean oven at 150 ° C. for 30 minutes to perform reflow. The resist shape after reflow had a thickness distribution, and the thickest part of the resist at the center was 21.5 μm.

次に、基板前面を、フッ素系ガスを用いたICP(Inductively Coupled Plasma:誘導結合プラズマ)エッチングにより基板上のエッチングマスクが完全に除去されるまでエッチングを行った。
このとき、エッチングマスク及びシリコン基板のエッチングレートを測定した結果、シリコンとエッチングマスクのエッチング選択比は約11であった。
Next, the front surface of the substrate was etched until the etching mask on the substrate was completely removed by ICP (Inductively Coupled Plasma) etching using a fluorine-based gas.
At this time, as a result of measuring the etching rate of the etching mask and the silicon substrate, the etching selectivity between silicon and the etching mask was about 11.

次に、全面エッチングを終えた基板を走査型電子顕微鏡で観察した。基底部の長軸の径が約120μm、高さ約235μm、長軸側で見た先端角度が約28°の底面が楕円形状の錐型のマイクロニードルが形成されていることを確認した。   Next, the substrate after the entire surface etching was observed with a scanning electron microscope. It was confirmed that a cone-shaped microneedle having an elliptical bottom surface with a base axis having a major axis diameter of about 120 μm, a height of about 235 μm, and a tip angle of about 28 ° as viewed on the major axis side was formed.

<実施例2>
実施例1と同様にマイクロニードルを形成した。ただし、エッチングマスクをアレイ状に並べた。
<Example 2>
Microneedles were formed in the same manner as in Example 1. However, the etching masks were arranged in an array.

全面エッチングを終えた基板を走査型電子顕微鏡で観察した。基底部の長軸の径が約120μm、高さ約235μm、長軸側で見た先端角度が約28°の底面が楕円の錐型のマイクロニードルが複数本アレイ状に形成されていることを確認した。   The board | substrate which finished the whole surface etching was observed with the scanning electron microscope. The diameter of the major axis of the base is about 120 μm, the height is about 235 μm, and the tip angle seen on the major axis side is about 28 °. confirmed.

<実施例3>
以下、転写成形加工によるマイクロニードルの製造法について説明する。
<Example 3>
Hereinafter, a method for producing microneedles by transfer molding will be described.

実施例2で製造されたマイクロニードルに、蒸着法により膜厚300nmのニッケル層を形成し、このニッケル層をシード層としてメッキ法によりニッケルを1mm形成した。
次に、濃度25wt%、液温90℃の水酸化カリウム水溶液を用いてシリコン基板を溶解させ、ニッケルからなる複製版を作製した。
A nickel layer having a thickness of 300 nm was formed on the microneedle manufactured in Example 2 by vapor deposition, and 1 mm of nickel was formed by plating using this nickel layer as a seed layer.
Next, a silicon substrate was dissolved using a potassium hydroxide aqueous solution having a concentration of 25 wt% and a liquid temperature of 90 ° C. to produce a replica plate made of nickel.

この複製版を用いマルトース、デキストラン、ポリ乳酸を材料としてインプリント法により転写成型したところ、それぞれ原版と同形状のマイクロニードルが形成されていることを確認した。   When this duplicate plate was used for transfer molding by the imprint method using maltose, dextran, and polylactic acid as materials, it was confirmed that microneedles having the same shape as the original plate were formed.

本発明のマイクロニードルは、医療のみならず、微細な針状構造体を必要とする様々な分野に適用可能であり、例えばMEMSデバイス、創薬、化粧品などに用いるマイクロニードルとしても有用である。   The microneedle of the present invention can be applied not only to medical treatment but also to various fields that require fine needle-like structures, and is also useful as a microneedle for use in, for example, MEMS devices, drug discovery, cosmetics, and the like.

本発明のマイクロニードル製造方法を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the microneedle manufacturing method of this invention. 本発明のマイクロニードルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the microneedle of this invention. 本発明のマイクロニードルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the microneedle of this invention. 本発明のマイクロニードルの一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the microneedle of this invention. 本発明のマイクロニードル製造方法における転写成形加工工程を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the transfer molding process process in the microneedle manufacturing method of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

101、201、301、401……基板
102、202、302……エッチングマスク
103……エッチングマスク(変形後)
104、402、501、504……マイクロニードル
502……鋳型層
503……複製版
101, 201, 301, 401 ... Substrate 102, 202, 302 ... Etching mask 103 ... Etching mask (after deformation)
104, 402, 501, 504... Microneedle 502... Mold layer 503.

Claims (5)

微細構造体であるマイクロニードルにおいて、
マイクロニードルの基底部形状がオーバル形状であり、かつ、
前記マイクロニードルの基底部形状における長軸方向と、任意の一点からの放射方向とが平行となるように複数のマイクロニードルを配列し、かつ、
前記任意の一点が前記マイクロニードルの配列の外周より内側に位置すること
を特徴とするマイクロニードル。
In microneedles that are fine structures,
The base shape of the microneedle is an oval shape, and
Arranging a plurality of microneedles such that the long axis direction in the base shape of the microneedles is parallel to the radial direction from any one point; and
The microneedle characterized in that the one arbitrary point is located inside the outer periphery of the microneedle array.
請求項1に記載のマイクロニードルであって、
生体適合性材料よりなること
を特徴とするマイクロニードル。
The microneedle according to claim 1,
A microneedle comprising a biocompatible material.
請求項1または2に記載のマイクロニードルであって、
配列の外周側に位置するマイクロニードルほどマイクロニードルの基底部形状における長軸が短軸に比べ大きくなっていること
を特徴とするマイクロニードル。
The microneedle according to claim 1 or 2,
A microneedle characterized in that a long axis in a base shape of a microneedle is larger than a short axis in a microneedle located on the outer peripheral side of the array.
微細構造体であるマイクロニードルであって、マイクロニードルの基底部形状がオーバル形状であり、かつ、前記マイクロニードルの基底部形状における長軸方向と、任意の一点からの放射方向とが平行となるように複数のマイクロニードルが配列され、かつ、前記任意の一点が前記マイクロニードルの配列の外周より内側に位置するマイクロニードルを製造する方法であって、
基板に上面投影図がオーバル形状であり、かつ厚み分布を持つ複数のエッチングマスクを、エッチングマスクのオーバル形状における長軸方向と、任意の一点からの放射方向とが平行となるように配列して形成する工程であって、前記任意の一点が前記マイクロニードルの配列の外周より内側に位置する工程と、
前記エッチングマスクを形成した側から前記基板に対して異方性エッチングを行う工程と、
備えたことを特徴とするマイクロニードルの製造方法。
A micro Needle a microstructure, the base portion shape of the microneedles is oval shaped and the major axis direction of the base portion shape of the microneedles, and parallel with the radial direction from an arbitrary point A method of manufacturing a microneedle in which a plurality of microneedles are arranged so that the arbitrary one point is located inside an outer periphery of the arrangement of the microneedles ,
A plurality of etching masks whose top projection is an oval shape and having a thickness distribution are arranged on the substrate so that the major axis direction in the oval shape of the etching mask is parallel to the radiation direction from any one point. A step in which the arbitrary one point is located inside the outer periphery of the array of the microneedles, and
Performing anisotropic etching on the substrate from the side on which the etching mask is formed;
Method for producing a microneedle, characterized in that it comprises a.
請求項4に記載のマイクロニードルの製造方法であって、
更に、
製造したマイクロニードルを母型とし、該母型から複製版を作製する工程と、前記複製版を用いて転写成形加工を行う工程と、
を備えたことを特徴とするマイクロニードルの製造方法。
It is a manufacturing method of the microneedle of Claim 4, Comprising:
Furthermore,
Using the manufactured microneedle as a master, producing a replica from the master, and performing a transfer molding process using the replica,
A method for producing a microneedle, comprising:
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