JP5150933B2 - Semiconductor device - Google Patents

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Description

本発明は、半導体装置に関し、特に、メモリセルから読み出したデータを共通の信号線へ出力する複数の読み出し回路を備えた半導体装置に関する。   The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly, to a semiconductor device including a plurality of readout circuits that output data read from memory cells to a common signal line.

MRAM(Magnetic Random Access Memory)は、強磁性体の磁化方向を利用してデータを記憶する固体メモリの総称である。MRAMにおいては、メモリセルを構成する強磁性体の磁化方向が、ある基準方向に対して平行であるか反平行であるかを“1”および“0”に対応させる。また、メモリセルに対するデータ読み出しにおいて巨大磁気抵抗効果(ジャイアント・マグネット−レジスタンス効果:GMR(Giant Magneto Resistive)効果)を利用するGMR素子、および磁性トンネル効果(トンネル・マグネット−レジスタンス効果:TMR(Tunneling Magneto Resistive)効果)を利用するMTJ(Magnetic Tunneling Junction)素子等がMRAMに使用されている。   MRAM (Magnetic Random Access Memory) is a general term for a solid-state memory that stores data using the magnetization direction of a ferromagnetic material. In the MRAM, “1” and “0” correspond to whether the magnetization direction of the ferromagnetic material constituting the memory cell is parallel or antiparallel to a certain reference direction. Further, a GMR element using a giant magnetoresistance effect (Giant Magneto Resistive effect: GMR (Giant Magneto Resistive) effect) and a magnetic tunnel effect (Tunneling Magneto Resistance effect: TMR (Tunneling Magneto) An MTJ (Magnetic Tunneling Junction) element or the like that utilizes the (resistive) effect) is used in the MRAM.

MTJ素子は、強磁性体層/絶縁層/強磁性体層の3層膜で構成され、絶縁層をトンネル電流が流れる。このトンネル電流に対する抵抗値が、2つの強磁性体層の磁化方向の関係に応じて変化する。   The MTJ element is composed of a three-layer film of ferromagnetic layer / insulating layer / ferromagnetic layer, and a tunnel current flows through the insulating layer. The resistance value to the tunnel current changes according to the relationship between the magnetization directions of the two ferromagnetic layers.

MRAM等の半導体メモリにおいては、メモリセルの記憶データを読み出すためにセンスアンプが用いられている。たとえば、非特許文献1のFigure 26.5.2には、ラッチ型のセンスアンプを用いてメモリセルの記憶データの読み出し信号を増幅することにより、読み出し動作を行なう構成が開示されている。
T.Kawahara et al. "ISSCC 2007 26.5 2Mb Spin-Transfer Torque RAM (SPRAM) with Bit-by-Bit Bidirectional Current Write and Parallelizing-Direction Current Read " 2007 IEEE International Solid-State Circuits Conference
In a semiconductor memory such as an MRAM, a sense amplifier is used to read data stored in a memory cell. For example, FIG. 26.5.2 of Non-Patent Document 1 discloses a configuration in which a read operation is performed by amplifying a read signal of data stored in a memory cell using a latch type sense amplifier.
T. Kawahara et al. "ISSCC 2007 26.5 2Mb Spin-Transfer Torque RAM (SPRAM) with Bit-by-Bit Bidirectional Current Write and Parallelizing-Direction Current Read" 2007 IEEE International Solid-State Circuits Conference

ところで、非特許文献1に記載のMRAMでは、複数のメモリセルブロックを設け、メモリセルブロックごとにセンスアンプを設け、これらのセンスアンプの出力を共通のグローバル読み出し線に接続している。   In the MRAM described in Non-Patent Document 1, a plurality of memory cell blocks are provided, a sense amplifier is provided for each memory cell block, and outputs of these sense amplifiers are connected to a common global read line.

しかしながら、このような構成では、各センスアンプの出力信号がグローバル読み出し線上で衝突することを防ぐために、各センスアンプの出力をイネーブルする期間が重ならないようにする必要がある。すなわち、各センスアンプの出力を、間隔をあけてイネーブルする必要が生じるため、データ読み出し時間が増大してしまう。   However, in such a configuration, in order to prevent the output signals of the respective sense amplifiers from colliding on the global read line, it is necessary that the periods during which the outputs of the respective sense amplifiers are enabled do not overlap. That is, since it becomes necessary to enable the outputs of the sense amplifiers at intervals, the data read time increases.

それゆえに、本発明の目的は、データ読み出し時間を短縮することが可能な半導体装置を提供することである。   Therefore, an object of the present invention is to provide a semiconductor device capable of shortening a data reading time.

本発明の一実施例の形態の半導体装置は、要約すれば、出力回路の各々が、対応のセンスアンプが活性化されていない場合には、グローバル読み出し線上のデータと同じ論理レベルを有するデータをグローバル読み出し線へ出力し、対応のセンスアンプが活性化されている場合には、センスアンプから受けた信号に基づくデータをグローバル読み出し線へ出力する。   In summary, a semiconductor device according to an embodiment of the present invention, in summary, outputs data having the same logic level as the data on the global read line when the corresponding sense amplifier is not activated. When the data is output to the global read line and the corresponding sense amplifier is activated, the data based on the signal received from the sense amplifier is output to the global read line.

本発明の一実施例の形態によれば、各出力回路の出力のイネーブル期間が重なっていても、各出力回路の出力データが衝突することを防ぐことができる。したがって、データ読み出し時間を短縮することができる。   According to the embodiment of the present invention, even when the output enable periods of the output circuits overlap, it is possible to prevent the output data of the output circuits from colliding with each other. Therefore, the data reading time can be shortened.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals and description thereof will not be repeated.

図1は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の全体構成を示す概略ブロック図である。   FIG. 1 is a schematic block diagram showing an overall configuration of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

図1を参照して、半導体装置101は、たとえばMRAMであり、コントロール回路5と、行列状に集積配置されたMTJメモリセルMC(以下、単にメモリセルMCとも称する)を含むメモリアレイ10と、行選択回路20と、列デコーダ25と、読み出し/書き込み制御回路30と、複数のワード線WLと、複数のビット線BLと、複数のソース線SLとを備える。   Referring to FIG. 1, a semiconductor device 101 is, for example, an MRAM, and includes a control circuit 5 and a memory array 10 including MTJ memory cells MC (hereinafter also simply referred to as memory cells MC) arranged in a matrix. It includes a row selection circuit 20, a column decoder 25, a read / write control circuit 30, a plurality of word lines WL, a plurality of bit lines BL, and a plurality of source lines SL.

なお、以下においては、メモリアレイ10が含む行列状に集積配置された複数のメモリセルMCの行および列をそれぞれメモリセル行およびメモリセル列とも称する。   Hereinafter, the rows and columns of the plurality of memory cells MC that are integrated and arranged in a matrix included in the memory array 10 are also referred to as memory cell rows and memory cell columns, respectively.

行選択回路20は、アドレス信号ADDに含まれるロウアドレスRAに基づいてアクセス対象となるメモリアレイ10におけるメモリセル行の選択動作を実行する。列デコーダ25は、アドレス信号ADDに含まれるコラムアドレスCAに基づいてアクセス対象となるメモリアレイ10におけるメモリセル列の選択動作を実行する。   The row selection circuit 20 performs a memory cell row selection operation in the memory array 10 to be accessed based on the row address RA included in the address signal ADD. The column decoder 25 performs a memory cell column selection operation in the memory array 10 to be accessed based on the column address CA included in the address signal ADD.

読み出し/書き込み制御回路30は、入力データDINに基づいてメモリセルMCに対するデータ書き込みを行なう。また、読み出し/書き込み制御回路30は、メモリセルMCからデータを読み出し、読み出しデータDOUTとして外部へ出力する。   The read / write control circuit 30 writes data to the memory cell MC based on the input data DIN. The read / write control circuit 30 reads data from the memory cell MC and outputs it as read data DOUT to the outside.

コントロール回路5は、制御信号CMDに応答して半導体装置101の全体の動作を制御する。   The control circuit 5 controls the overall operation of the semiconductor device 101 in response to the control signal CMD.

ワード線WLおよびソース線SLは、メモリセル行にそれぞれ対応して設けられる。ビット線BLは、メモリセル列に対応して設けられる。図1には代表的に1個のメモリセルMCが示され、メモリセルMCのメモリセル行に対応してワード線WLが代表的に1本示されている。また、メモリセルMCのメモリセル列に対応してビット線BLが代表的に1本示されている。   Word line WL and source line SL are provided corresponding to the memory cell rows, respectively. Bit line BL is provided corresponding to the memory cell column. FIG. 1 representatively shows one memory cell MC, and one word line WL is typically shown corresponding to the memory cell row of the memory cell MC. Further, one bit line BL is representatively shown corresponding to the memory cell column of the memory cells MC.

図2は、本発明の実施の形態に係るメモリアレイ10および読み出し/書き込み制御回路30の構成を詳細に示す図である。   FIG. 2 is a diagram showing in detail the configuration of the memory array 10 and the read / write control circuit 30 according to the embodiment of the present invention.

図2を参照して、メモリアレイ10は、行列状に集積配置された複数のメモリセルMCを含む複数のメモリアレイブロックMLABに分割される。メモリアレイブロックMLABは、メモリセル行に対応して設けられた複数のダミーメモリセルDMCを含む。   Referring to FIG. 2, memory array 10 is divided into a plurality of memory array blocks MLAB including a plurality of memory cells MC arranged in a matrix. Memory array block MLAB includes a plurality of dummy memory cells DMC provided corresponding to the memory cell rows.

各メモリアレイブロックMLABにおいて、選択メモリセル行および選択メモリセル列にそれぞれ対応するワード線WLおよび列選択線SCLが選択状態へ駆動されることにより、データ読み出し対象のメモリセルMCがビット線BLを通して電流を流す。   In each memory array block MLAB, the word line WL and the column selection line SCL respectively corresponding to the selected memory cell row and the selected memory cell column are driven to the selected state, so that the memory cell MC to be read data passes through the bit line BL. Apply current.

また、選択メモリセル行に対応するワード線WLと、列選択線DSCLとが選択状態へ駆動されることにより、データ読み出し対象のメモリセルMCに対応するダミーメモリセルDMCがダミービット線DBLを通して電流を流す。   Further, when the word line WL corresponding to the selected memory cell row and the column selection line DSCL are driven to the selected state, the dummy memory cell DMC corresponding to the memory cell MC from which data is to be read flows through the dummy bit line DBL. Shed.

データ読み出し対象のメモリセルMCの属するメモリアレイブロックMLABに結合されたデータ読み出し回路RDCは、対応のビット線BLを通して流れる電流と対応のダミービット線DBLを通して流れる電流とを比較する。そして、この比較結果に基づいてデータ読み出し対象のメモリセルMCの記憶データを読み出し、グローバル読み出し線GRIOへ出力する。   The data read circuit RDC coupled to the memory array block MLAB to which the memory cell MC to which data is read belongs compares the current flowing through the corresponding bit line BL with the current flowing through the corresponding dummy bit line DBL. Based on the comparison result, the data stored in the memory cell MC to be read is read and output to the global read line GRIO.

図3は、本発明の実施の形態に係る読み出し回路RDCの構成を詳細に示す図である。図3では、2つのメモリアレイブロックMLABの各々における1つのメモリセルMCと、これに対応する回路を代表的に示す。   FIG. 3 is a diagram showing in detail the configuration of the read circuit RDC according to the embodiment of the present invention. FIG. 3 representatively shows one memory cell MC in each of two memory array blocks MLAB and a circuit corresponding thereto.

図3を参照して、読み出し回路RDC1は、センスアンプSA1と、出力回路OUTC1とを含む。読み出し回路RDC2は、センスアンプSA2と、出力回路OUTC2とを含む。   Referring to FIG. 3, read circuit RDC1 includes a sense amplifier SA1 and an output circuit OUTC1. The read circuit RDC2 includes a sense amplifier SA2 and an output circuit OUTC2.

以下、センスアンプSA1およびSA2の各々をセンスアンプSAと称し、出力回路OUTC1およびOUTC2の各々を出力回路OUTCと称する場合がある。   Hereinafter, each of the sense amplifiers SA1 and SA2 may be referred to as a sense amplifier SA, and each of the output circuits OUTC1 and OUTC2 may be referred to as an output circuit OUTC.

センスアンプSA1は、NチャネルMOSトランジスタM1〜M4,M12と、PチャネルMOSトランジスタM5〜M11とを含む。出力回路OUTC1は、NOTゲートG1およびG2と、ORゲートG3と、ANDゲートG4と、NANDゲートG5と、ANDゲートG6と、PチャネルMOSトランジスタM13と、NチャネルMOSトランジスタM14とを含む。   Sense amplifier SA1 includes N channel MOS transistors M1 to M4 and M12, and P channel MOS transistors M5 to M11. Output circuit OUTC1 includes NOT gates G1 and G2, OR gate G3, AND gate G4, NAND gate G5, AND gate G6, P-channel MOS transistor M13, and N-channel MOS transistor M14.

センスアンプSA1は、NチャネルMOSトランジスタM1およびPチャネルMOSトランジスタM5とNチャネルMOSトランジスタM2およびPチャネルMOSトランジスタM6とは、ゲートとドレインとが相互に接続されている、交差結合ラッチ型センスアンプである。   Sense amplifier SA1 is a cross-coupled latch type sense amplifier in which N channel MOS transistor M1 and P channel MOS transistor M5, N channel MOS transistor M2 and P channel MOS transistor M6 are connected to each other at their gates and drains. is there.

NチャネルMOSトランジスタM1のドレインと、PチャネルMOSトランジスタM5およびM7のドレインと、PチャネルMOSトランジスタM9のソースと、NチャネルMOSトランジスタM2のゲートと、PチャネルMOSトランジスタM6のゲートとがノードNTに接続されている。NチャネルMOSトランジスタM2のドレインと、PチャネルMOSトランジスタM6、M8およびM9のドレインと、NチャネルMOSトランジスタM1のゲートと、PチャネルMOSトランジスタM5のゲートとがノードNBに接続されている。NチャネルMOSトランジスタM1のソースと、NチャネルMOSトランジスタM3のドレインとが接続されている。NチャネルMOSトランジスタM2のソースと、NチャネルMOSトランジスタM4のドレインとが接続されている。NチャネルMOSトランジスタM3およびM4のソースと、NチャネルMOSトランジスタM12のドレインとが接続されている。NチャネルMOSトランジスタM12のソースと、PチャネルMOSトランジスタM10およびM11のゲートとが接地電圧源に結合されている。PチャネルMOSトランジスタM5〜M8のソースと、PチャネルMOSトランジスタM10およびM11のソースとが正電圧源に結合されている。PチャネルMOSトランジスタM10のドレインと、NチャネルMOSトランジスタM3のゲートとがビット線BL1に接続されている。PチャネルMOSトランジスタM11のドレインと、NチャネルMOSトランジスタM4のゲートとがダミービット線DBL1に接続されている。   The drain of N channel MOS transistor M1, the drains of P channel MOS transistors M5 and M7, the source of P channel MOS transistor M9, the gate of N channel MOS transistor M2, and the gate of P channel MOS transistor M6 are at node NT. It is connected. The drain of N channel MOS transistor M2, the drains of P channel MOS transistors M6, M8 and M9, the gate of N channel MOS transistor M1, and the gate of P channel MOS transistor M5 are connected to node NB. The source of the N channel MOS transistor M1 and the drain of the N channel MOS transistor M3 are connected. The source of N channel MOS transistor M2 and the drain of N channel MOS transistor M4 are connected. The sources of N channel MOS transistors M3 and M4 are connected to the drain of N channel MOS transistor M12. The source of N channel MOS transistor M12 and the gates of P channel MOS transistors M10 and M11 are coupled to a ground voltage source. The sources of P channel MOS transistors M5-M8 and the sources of P channel MOS transistors M10 and M11 are coupled to a positive voltage source. The drain of P channel MOS transistor M10 and the gate of N channel MOS transistor M3 are connected to bit line BL1. The drain of P channel MOS transistor M11 and the gate of N channel MOS transistor M4 are connected to dummy bit line DBL1.

NチャネルMOSトランジスタM12のゲートに制御信号SAE1が与えられる。PチャネルMOSトランジスタM7〜M9のゲートに制御信号PC1が与えられる。   Control signal SAE1 is applied to the gate of N channel MOS transistor M12. Control signal PC1 is applied to the gates of P-channel MOS transistors M7 to M9.

出力回路OUTC1において、NOTゲートG1は、センス信号SALT1の論理レベルを反転して出力する。NOTゲートG2は、制御信号YSK1の論理レベルを反転して出力する。ORゲートG3は、NOTゲートG1から受けた信号とグローバル読み出し線GRIO上の信号との論理和を示す信号を出力する。NANDゲートG5は、制御信号YSK1とORゲートG3から受けた信号との論理積を反転した信号をPチャネルMOSトランジスタM13のゲートへ出力する。ANDゲートG4は、センス信号SALB1とグローバル読み出し線GRIO上の信号との論理積を示す信号を出力する。ANDゲートG6は、ANDゲートG4から受けた信号の論理レベルを反転した信号とNOTゲートG2から受けた信号の論理レベルを反転した信号との論理積を示す信号をPチャネルMOSトランジスタM14のゲートへ出力する。PチャネルMOSトランジスタM13のソースが正電圧源に結合され、ドレインがグローバル読み出し線GRIOに接続される。NチャネルMOSトランジスタM14のソースが接地電圧源に結合され、ドレインがグローバル読み出し線GRIOに接続される。   In the output circuit OUTC1, the NOT gate G1 inverts the logic level of the sense signal SALT1 and outputs it. The NOT gate G2 inverts the logic level of the control signal YSK1 and outputs it. OR gate G3 outputs a signal indicating the logical sum of the signal received from NOT gate G1 and the signal on global read line GRIO. NAND gate G5 outputs a signal obtained by inverting the logical product of control signal YSK1 and the signal received from OR gate G3 to the gate of P-channel MOS transistor M13. The AND gate G4 outputs a signal indicating a logical product of the sense signal SALB1 and a signal on the global read line GRIO. AND gate G6 provides a signal indicating the logical product of a signal obtained by inverting the logic level of the signal received from AND gate G4 and a signal obtained by inverting the logic level of the signal received from NOT gate G2, to the gate of P channel MOS transistor M14. Output. The source of P-channel MOS transistor M13 is coupled to the positive voltage source, and the drain is connected to global read line GRIO. The source of N channel MOS transistor M14 is coupled to the ground voltage source, and the drain is connected to global read line GRIO.

メモリセルMC1は、ビット線BL1と接地電圧源との間に直列に接続されるMTJ素子(可変磁気抵抗素子)SおよびアクセストランジスタTRSを含む。ダミーメモリセルDMC1は、ダミービット線DBL1と接地電圧源との間に直列に接続されるMTJ素子SDおよびアクセストランジスタTRSDを含む。   Memory cell MC1 includes an MTJ element (variable magnetoresistive element) S and an access transistor TRS connected in series between bit line BL1 and a ground voltage source. Dummy memory cell DMC1 includes an MTJ element SD and an access transistor TRSD connected in series between dummy bit line DBL1 and the ground voltage source.

メモリセルMC1は、データ読み出し時、アクセストランジスタTRSがオンすると、記憶データに基づく電流をビット線BL1を通して流す。すなわち、ビット線BL1の電位はMTJ素子Sの抵抗値に基づく電位となる。ダミーメモリセルDMC1は、データ読み出し時、アクセストランジスタTRSDがオンすると、参照電流をダミービット線DBL1を通して流す。すなわち、ダミービット線DBL1の電位はMTJ素子SDの抵抗値に基づく電位となる。   When the access transistor TRS is turned on when reading data, the memory cell MC1 passes a current based on the stored data through the bit line BL1. That is, the potential of the bit line BL1 is a potential based on the resistance value of the MTJ element S. The dummy memory cell DMC1 causes a reference current to flow through the dummy bit line DBL1 when the access transistor TRSD is turned on during data reading. That is, the potential of the dummy bit line DBL1 is a potential based on the resistance value of the MTJ element SD.

センスアンプSA1は、出力ノード対すなわちノードNTおよびNBを有する。センスアンプSA1は、活性化時、ビット線BL1の電位とダミービット線DBL1の電位との差を増幅し、増幅結果を示す相補信号をセンス信号SALT1およびSALB1としてノードNTおよびNBへそれぞれ出力する。一方、センスアンプSA1は、非活性化時、論理ハイレベルの信号をセンス信号SALT1およびSALB1としてノードNTおよびNBへそれぞれ出力する。   Sense amplifier SA1 has an output node pair, that is, nodes NT and NB. When activated, sense amplifier SA1 amplifies the difference between the potential of bit line BL1 and the potential of dummy bit line DBL1, and outputs complementary signals indicating the amplification results to nodes NT and NB as sense signals SALT1 and SALB1, respectively. On the other hand, when inactive, sense amplifier SA1 outputs a logic high level signal as sense signals SALT1 and SALB1 to nodes NT and NB, respectively.

出力回路OUTC1は、ノードNTおよびNBを介してセンスアンプSAから相補信号であるセンス信号SALT1およびSALB1を受けた場合には、相補信号に基づく論理レベルを有するデータをグローバル読み出し線GRIOへ出力する。一方、出力回路OUTCは、ノードNTおよびNBを介してセンスアンプSA1から論理ハイレベルを有するセンス信号SALT1およびSALB1を受けた場合には、グローバル読み出し線GRIOと同じ論理レベルを有するデータすなわちグローバル読み出し線GRIO上のデータと論理レベルが同じデータをグローバル読み出し線GRIOへ出力する。   When output circuit OUTC1 receives sense signals SALT1 and SALB1 which are complementary signals from sense amplifier SA via nodes NT and NB, output circuit OUTC1 outputs data having a logic level based on the complementary signals to global read line GRIO. On the other hand, when output circuit OUTC receives sense signals SALT1 and SALB1 having a logic high level from sense amplifier SA1 via nodes NT and NB, data having the same logic level as global read line GRIO, that is, global read line Data having the same logic level as the data on GRIO is output to global read line GRIO.

読み出し回路RDC2の構成は読み出し回路RDC1と同様であるため、ここでは詳細な説明を繰り返さない。また、メモリセルMC2およびダミーメモリセルDMC2の構成はそれぞれメモリセルMC1およびダミーメモリセルDMC1と同様であるため、ここでは詳細な説明を繰り返さない。   Since the configuration of the readout circuit RDC2 is the same as that of the readout circuit RDC1, detailed description thereof will not be repeated here. The configurations of memory cell MC2 and dummy memory cell DMC2 are the same as those of memory cell MC1 and dummy memory cell DMC1, respectively. Therefore, detailed description thereof will not be repeated here.

次に、本発明の実施の形態に係る半導体装置のデータ読み出し動作について説明する。ここでは、まずメモリセルMC1の記憶データを読み出し、次にメモリセルMC2の記憶データを読み出す場合について説明する。   Next, a data read operation of the semiconductor device according to the embodiment of the present invention will be described. Here, a case will be described in which the storage data of the memory cell MC1 is first read and then the storage data of the memory cell MC2 is read.

図4は、本発明の実施の形態に係る半導体装置のデータ読み出し動作を示すタイムチャートである。なお、図4に示す各制御信号は、たとえばコントロール回路5が生成する。   FIG. 4 is a time chart showing the data read operation of the semiconductor device according to the embodiment of the present invention. Each control signal shown in FIG. 4 is generated by the control circuit 5, for example.

図4を参照して、まず、制御信号PC1が論理ローレベルに設定される。そうすると、センスアンプSA1におけるPチャネルMOSトランジスタM7〜M9がオンし、ノードNTおよびNBが論理ハイレベルにプリチャージされる。また、制御信号SAE1が論理ローレベルに設定される。このとき、センスアンプSA1は非活性化される。また、制御信号YSK1が論理ローレベルに設定される。このとき、出力回路OUTC1の出力はハイインピーダンス状態である、すなわち出力回路OUTC1は、グローバル読み出し線GRIOへのデータ出力を停止している。   Referring to FIG. 4, first, control signal PC1 is set to a logic low level. Then, P channel MOS transistors M7 to M9 in sense amplifier SA1 are turned on, and nodes NT and NB are precharged to a logic high level. Further, the control signal SAE1 is set to a logic low level. At this time, the sense amplifier SA1 is deactivated. Further, the control signal YSK1 is set to a logic low level. At this time, the output of the output circuit OUTC1 is in a high impedance state, that is, the output circuit OUTC1 stops outputting data to the global read line GRIO.

同様に、制御信号PC2が論理ローレベルに設定される。そうすると、センスアンプSA2におけるPチャネルMOSトランジスタM7〜M9がオンし、ノードNTおよびNBが論理ハイレベルにプリチャージされる。また、制御信号SAE2が論理ローレベルに設定される。このとき、センスアンプSA2は非活性化される。また、制御信号YSK2が論理ローレベルに設定される。このとき、出力回路OUTC2の出力はハイインピーダンス状態である、すなわち出力回路OUTC2は、グローバル読み出し線GRIOへのデータ出力を停止している。   Similarly, the control signal PC2 is set to a logic low level. Then, P channel MOS transistors M7 to M9 in sense amplifier SA2 are turned on, and nodes NT and NB are precharged to a logic high level. Further, the control signal SAE2 is set to a logic low level. At this time, the sense amplifier SA2 is deactivated. Further, the control signal YSK2 is set to a logic low level. At this time, the output of the output circuit OUTC2 is in a high impedance state, that is, the output circuit OUTC2 stops outputting data to the global read line GRIO.

次に、制御信号PC1およびSAE1が論理ハイレベルに設定される。そうすると、センスアンプSA1が活性化され、ビット線BL1の電位とダミービット線DBL1の電位との差を増幅し、増幅結果を示す相補信号をセンス信号SALT1およびSALB1としてノードNTおよびNBへそれぞれ出力する。ここでは、センス信号SALT1が論理ハイレベルであり、センス信号SALB1が論理ローレベルである(タイミングT1)。   Next, the control signals PC1 and SAE1 are set to a logic high level. Then, sense amplifier SA1 is activated, the difference between the potential of bit line BL1 and the potential of dummy bit line DBL1 is amplified, and complementary signals indicating the amplification results are output to nodes NT and NB as sense signals SALT1 and SALB1, respectively. . Here, the sense signal SALT1 is at a logic high level, and the sense signal SALB1 is at a logic low level (timing T1).

また、制御信号YSK1が論理ハイレベルに設定される。そうすると、出力回路OUTC1は、センスアンプSA1から受けた相補信号に基づく論理レベルを有するデータをグローバル読み出し線GRIOへ出力する(タイミングT1)。   Also, the control signal YSK1 is set to a logic high level. Then, the output circuit OUTC1 outputs data having a logic level based on the complementary signal received from the sense amplifier SA1 to the global read line GRIO (timing T1).

次に、制御信号PC1およびSAE1が論理ローレベルに設定される。そうすると、センスアンプSA1は非活性化され、センスアンプSA1におけるノードNTおよびNBが再び論理ハイレベルにプリチャージされる(タイミングT2)。   Next, the control signals PC1 and SAE1 are set to a logic low level. Then, sense amplifier SA1 is deactivated, and nodes NT and NB in sense amplifier SA1 are precharged again to a logic high level (timing T2).

次に、制御信号YSK2が論理ハイレベルに設定される。このとき、出力回路OUTC2は、センスアンプSA2からのセンス信号SALTおよびSALBが論理ハイレベルであることから、出力回路OUTC1の出力データすなわちグローバル読み出し線GRIO上のデータと論理レベルが同じデータをグローバル読み出し線GRIOへ出力する(タイミングT3)。   Next, the control signal YSK2 is set to a logic high level. At this time, since the sense signals SALT and SALB from the sense amplifier SA2 are at a logic high level, the output circuit OUTC2 globally reads the output data of the output circuit OUTC1, that is, data having the same logic level as the data on the global read line GRIO. Output to the line GRIO (timing T3).

次に、制御信号YSK1が論理ローレベルに設定される。そうすると、出力回路OUTC1の出力がハイインピーダンス状態となる(タイミングT4)。   Next, the control signal YSK1 is set to a logic low level. Then, the output of the output circuit OUTC1 enters a high impedance state (timing T4).

次に、制御信号PC2およびSAE2が論理ハイレベルに設定される。そうすると、センスアンプSA2が活性化され、ビット線BL2の電位とダミービット線DBL2の電位との差を増幅し、増幅結果を示す相補信号をセンス信号SALT2およびSALB2としてノードNTおよびNBへそれぞれ出力する。ここでは、センス信号SALT2が論理ローレベルであり、センス信号SALB2が論理ハイレベルである。そして、出力回路OUTC2は、センスアンプSA2から受けた相補信号に基づく論理レベルを有するデータをグローバル読み出し線GRIOへ出力する(タイミングT5)。   Next, control signals PC2 and SAE2 are set to a logic high level. Then, sense amplifier SA2 is activated, the difference between the potential of bit line BL2 and the potential of dummy bit line DBL2 is amplified, and complementary signals indicating the amplification results are output to nodes NT and NB as sense signals SALT2 and SALB2, respectively. . Here, the sense signal SALT2 is at a logic low level, and the sense signal SALB2 is at a logic high level. Then, the output circuit OUTC2 outputs data having a logic level based on the complementary signal received from the sense amplifier SA2 to the global read line GRIO (timing T5).

ところで、非特許文献1に記載のMRAMでは、各センスアンプの出力信号がグローバル読み出し線上で衝突することを防ぐために、各センスアンプの出力を、間隔をあけてイネーブルする必要が生じるため、データ読み出し時間が増大してしまうという問題点があった。   By the way, in the MRAM described in Non-Patent Document 1, it is necessary to enable the outputs of the sense amplifiers at intervals in order to prevent the output signals of the sense amplifiers from colliding on the global read line. There was a problem that time would increase.

しかしながら、本発明の実施の形態に係る半導体装置では、読み出し回路RDC2における出力回路OUTC2は、制御信号YSK2が論理ハイレベルに設定されることにより、出力回路OUTC2の出力がイネーブルされた場合でも、センスアンプSA2が活性化されていないときには(タイミングT3)、グローバル読み出し線GRIO上のデータと論理レベルが同じデータをグローバル読み出し線GRIOへ出力する。すなわち、出力回路OUTC2は、出力回路OUTC1の出力データと同じ論理レベルを有するデータをグローバル読み出し線GRIOへ出力する。これにより、出力回路OUTC1の出力のイネーブル期間と出力回路OUTC2の出力のイネーブル期間とが重なっていても、出力回路OUTC1の出力データと出力回路OUTC2の出力データとが衝突することを防ぐことができる。   However, in the semiconductor device according to the embodiment of the present invention, the output circuit OUTC2 in the read circuit RDC2 is sensed even when the output of the output circuit OUTC2 is enabled by setting the control signal YSK2 to a logic high level. When the amplifier SA2 is not activated (timing T3), data having the same logic level as the data on the global read line GRIO is output to the global read line GRIO. That is, the output circuit OUTC2 outputs data having the same logic level as the output data of the output circuit OUTC1 to the global read line GRIO. Thereby, even if the output enable period of the output circuit OUTC1 and the output enable period of the output circuit OUTC2 overlap, it is possible to prevent the output data of the output circuit OUTC1 and the output data of the output circuit OUTC2 from colliding with each other. .

すなわち、読み出し回路RDC1およびRDC2の出力を、間隔をあけてイネーブルする必要がないため、データ読み出し時間を短縮することができる。   That is, since it is not necessary to enable the outputs of the read circuits RDC1 and RDC2 at intervals, the data read time can be shortened.

また、非特許文献1に記載のMRAMにおいて、センスアンプの出力信号の処理と、このセンスアンプによる新たなメモリセルの記憶データの読み出しを並行して行なうために、センスアンプ出力とグローバル読み出し線との間にラッチ回路を設ける構成を考える。   Further, in the MRAM described in Non-Patent Document 1, in order to process the output signal of the sense amplifier and read out the storage data of a new memory cell by the sense amplifier, the sense amplifier output and the global read line Consider a configuration in which a latch circuit is provided between the two.

このような構成では、上記のように2つの読み出し回路(以下、読み出し回路AおよびBと称する。)の読み出しデータ出力のイネーブル期間が重なっている場合において、以下のような問題がある。   Such a configuration has the following problems when the read data output enable periods of the two read circuits (hereinafter referred to as read circuits A and B) overlap as described above.

すなわち、次の読み出し対象のメモリセルに対応する読み出し回路Bにおいて、センスアンプの出力信号のレベルが未確定のときに、ラッチ回路の出力がイネーブルされることになる。   That is, in the read circuit B corresponding to the next memory cell to be read, the output of the latch circuit is enabled when the level of the output signal of the sense amplifier is uncertain.

このとき、読み出し回路Aが出力したグローバル読み出し線上のデータの論理レベルと、読み出し回路Bにおけるラッチ回路が保持しているデータの論理レベルとが異なる場合には、グローバル読み出し線のレベルが変わることになる。そして、読み出し回路Bにおけるセンスアンプの出力信号のレベルが確定し、この出力信号の論理レベルと現状のグローバル読み出し線上のデータの論理レベルとが異なる場合には、グローバル読み出し線のレベルがさらに変わることになる。すなわち、異なる読み出し回路に対応する新たなメモリセルの記憶データを読み出す際に、グローバル読み出し線のレベルが最悪の場合2回反転するため、消費電力が増大してしまう。   At this time, if the logical level of the data on the global read line output from the read circuit A is different from the logical level of the data held in the latch circuit in the read circuit B, the level of the global read line changes. Become. When the level of the output signal of the sense amplifier in the read circuit B is determined, and the logic level of the output signal is different from the current logic level of the data on the global read line, the level of the global read line is further changed. become. That is, when reading the storage data of a new memory cell corresponding to a different read circuit, the level of the global read line is inverted twice in the worst case, resulting in an increase in power consumption.

しかしながら、本発明の実施の形態に係る半導体装置では、出力回路OUTCは、その出力がイネーブルされた場合でも、対応のセンスアンプSAが活性化されていないときには、グローバル読み出し線GRIO上のデータと論理レベルが同じデータをグローバル読み出し線GRIOへ出力する。このような構成により、上記のようなグローバル読み出し線のレベルの不要な反転を防ぐことができるため、消費電力を低減することができる。   However, in the semiconductor device according to the embodiment of the present invention, the output circuit OUTC, when the output is enabled, when the corresponding sense amplifier SA is not activated, the data on the global read line GRIO and the logic Data having the same level is output to the global read line GRIO. With such a configuration, unnecessary inversion of the level of the global read line as described above can be prevented, so that power consumption can be reduced.

また、本発明の実施の形態に係る半導体装置では、センスアンプSAは、活性化されると相補信号を出力回路OUTCへ出力し、活性化されていないときには同一レベルを有する2つの信号を出力回路OUTCへ出力する。そして、出力回路OUTCは、センスアンプSAから受けた2つの信号が相補信号であるか否かに基づいて、センスアンプSAが活性化されているか非活性化されているかを判別し、グローバル読み出し線GRIOへ出力するデータ内容を切り替える。このような構成により、センスアンプSAが活性化されているか否かを示す制御信号を別途出力回路OUTCへ出力する必要がなくなり、回路構成の簡易化を図ることができる。   In the semiconductor device according to the embodiment of the present invention, the sense amplifier SA outputs a complementary signal to the output circuit OUTC when activated, and outputs two signals having the same level when not activated. Output to OUTC. Then, the output circuit OUTC determines whether the sense amplifier SA is activated or deactivated based on whether or not the two signals received from the sense amplifier SA are complementary signals, and the global read line Switch the data contents to be output to GRIO. With such a configuration, it is not necessary to separately output a control signal indicating whether or not the sense amplifier SA is activated to the output circuit OUTC, and the circuit configuration can be simplified.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明の実施の形態に係る半導体装置の全体構成を示す概略ブロック図である。1 is a schematic block diagram showing an overall configuration of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施の形態に係るメモリアレイ10および読み出し/書き込み制御回路30の構成を詳細に示す図である。2 is a diagram showing in detail the configuration of a memory array 10 and a read / write control circuit 30 according to an embodiment of the present invention. FIG. 本発明の実施の形態に係る読み出し回路RDCの構成を詳細に示す図である。It is a figure which shows the structure of the read-out circuit RDC which concerns on embodiment of this invention in detail. 本発明の実施の形態に係る半導体装置のデータ読み出し動作を示すタイムチャートである。4 is a time chart showing a data read operation of the semiconductor device according to the embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

5 コントロール回路、10 メモリアレイ、20 行選択回路、25 列デコーダ、30 読み出し/書き込み制御回路、101 半導体装置、WL,WL0,WL1 ワード線、BL0,BL1 ビット線、SCL,DSCL 列選択線、GRIO グローバル読み出し線、DBL0,DBL1 ダミービット線、MC0〜MC5,MC,MC1,MC2 メモリセル、S,SD MTJ素子(磁気抵抗素子)、TRS,TRSD アクセストランジスタ、DMC1,DMC2 ダミーメモリセル、SA1,SA2 センスアンプ、OUTC1,OUTC2 出力回路、RDC1,RDC2 読み出し回路、M1〜M4,M12,M14 NチャネルMOSトランジスタ、M5〜M11,M13 PチャネルMOSトランジスタ、G1,G2 NOTゲート、G3 ORゲート、G4 ANDゲート、G5 NANDゲート、G6 ANDゲート。   5 control circuit, 10 memory array, 20 row selection circuit, 25 column decoder, 30 read / write control circuit, 101 semiconductor device, WL, WL0, WL1 word line, BL0, BL1 bit line, SCL, DSCL column selection line, GRIO Global read line, DBL0, DBL1 dummy bit line, MC0 to MC5, MC, MC1, MC2 memory cell, S, SD MTJ element (magnetoresistance element), TRS, TRSD access transistor, DMC1, DMC2 dummy memory cell, SA1, SA2 Sense amplifier, OUTC1, OUTC2 output circuit, RDC1, RDC2 read circuit, M1-M4, M12, M14 N-channel MOS transistors, M5-M11, M13 P-channel MOS transistors, G1, G2 NOT gate Door, G3 OR gate, G4 AND gate, G5 NAND gate, G6 AND gate.

Claims (3)

複数のビット線と、
グローバル読み出し線と、
前記ビット線に対応して設けられ、各々が、対応の前記ビット線に結合され、データを記憶し、記憶データに基づく電流を対応の前記ビット線を通して流す複数のメモリセルと、
前記ビット線に対応して設けられ、各々が、対応の前記ビット線に結合された前記メモリセルの記憶データを読み出して前記グローバル読み出し線へ出力する複数の読み出し回路とを備え、
前記読み出し回路の各々は、
活性化された場合、対応の前記ビット線を通して流れる電流に基づく信号を出力するセンスアンプと、
前記グローバル読み出し線に結合され、前記センスアンプが活性化されていない場合には、前記グローバル読み出し線上のデータと同じ論理レベルを有するデータを前記グローバル読み出し線へ出力し、前記センスアンプが活性化されている場合には、前記センスアンプから受けた信号に基づくデータを前記グローバル読み出し線へ出力する出力回路とを含む半導体装置。
Multiple bit lines,
A global readout line;
A plurality of memory cells provided corresponding to the bit lines, each coupled to the corresponding bit line, storing data, and passing a current based on the stored data through the corresponding bit line;
A plurality of read circuits provided corresponding to the bit lines, each of which reads storage data of the memory cell coupled to the corresponding bit line and outputs the read data to the global read line;
Each of the readout circuits includes
A sense amplifier that outputs a signal based on a current flowing through the corresponding bit line when activated;
When coupled to the global read line and the sense amplifier is not activated, data having the same logic level as the data on the global read line is output to the global read line, and the sense amplifier is activated. And an output circuit that outputs data based on a signal received from the sense amplifier to the global read line.
前記出力回路の各々は、イネーブルされた場合には前記グローバル読み出し線へデータを出力し、ディスエーブルされた場合には前記グローバル読み出し線へのデータ出力を停止し、
前記半導体装置は、さらに、
データを読み出すべき前記メモリセルに対応する前記出力回路をイネーブルし、その後、ディスエーブルし、前記メモリセルをイネーブルしている期間において、次にデータを読み出すべき前記メモリセルに対応する前記出力回路をイネーブルする制御回路を備える請求項1に記載の半導体装置。
Each of the output circuits outputs data to the global read line when enabled, and stops data output to the global read line when disabled.
The semiconductor device further includes:
Enabling the output circuit corresponding to the memory cell from which data is to be read and then disabling the output circuit corresponding to the memory cell from which data is to be read next during the period of enabling the memory cell; The semiconductor device according to claim 1, further comprising a control circuit for enabling.
前記センスアンプは、出力ノード対を有し、活性化されていない場合、同一論理レベルを有する信号を前記出力ノード対へ出力し、活性化された場合、対応の前記ビット線を通して流れる電流に基づく相補信号を前記出力ノード対へ出力し、
前記出力回路は、前記出力ノード対から同一論理レベルを有する信号を受けた場合には、前記グローバル読み出し線上のデータと同じ論理レベルを有するデータを前記グローバル読み出し線へ出力し、前記出力ノード対から相補信号を受けた場合には、前記センスアンプから受けた相補信号に基づくデータを前記グローバル読み出し線へ出力する請求項1に記載の半導体装置。
The sense amplifier has an output node pair. When the sense amplifier is not activated, the sense amplifier outputs a signal having the same logic level to the output node pair. When activated, the sense amplifier is based on a current flowing through the corresponding bit line. Output complementary signals to the output node pair;
When the output circuit receives a signal having the same logic level from the output node pair, the output circuit outputs data having the same logic level as the data on the global read line to the global read line. The semiconductor device according to claim 1, wherein when a complementary signal is received, data based on the complementary signal received from the sense amplifier is output to the global read line.
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