JP5150521B2 - High-frequency oscillation proximity sensor - Google Patents

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本発明は、高周波発振形近接センサに関する。 The present invention relates to a high-frequency oscillation proximity sensor.

検出対象物の有無(接近)を非接触で検出する近接センサとして、検出用コイルとコンデンサとを含んで構成される電気的な発振回路(以下では発振回路ともいう)を備えるものが知られている。 As a proximity sensor for detecting the presence or absence of the detection target object (approaching) in a non-contact, an electrical oscillating circuit configured to include a detection coil and a capacitor (hereinafter also referred to as the oscillation circuit) it has been known one provided with a there. 一般に、光学的な近接センサと区別するために、高周波発振形近接スイッチまたは高周波発振形近接センサと呼ばれる。 In general, in order to distinguish it from the optical proximity sensor, known as a high-frequency oscillation type proximity switch or high frequency oscillation proximity sensor. この種の高周波発振形近接センサ(以下、単に近接センサという)においては、検出用コイルに導電性を有する検出対象物(例えば金属)が接近すると、電磁誘導作用によりこの検出用コイルのQ値(Quality factorともいう。Q値が高いほど損失が小さい)が変化する。 This kind of high-frequency oscillation proximity sensor (hereinafter, simply referred to as proximity sensors) in, the detection object having conductivity in the detection coil (e.g., metal) approaches, Q value of the detecting coil by electromagnetic induction ( loss higher .Q value, also referred to as Quality factor is small) changes. 近接センサは、この変化に伴って発振回路の発振周波数や振幅が変化することを利用して検出対象物の存在または接近を検出する。 The proximity sensor detects the presence or proximity of a detection target by using the oscillation frequency and amplitude of the oscillation circuit in accordance with this change is changed.

ここで、Q値とは検出用コイルの自己インダクタンスをLとし、内部抵抗をRとし、この検出用コイルと共振用のコンデンサとにより形成されるLC発振回路における共振角周波数をωとしたとき、近似的に「Q=ωL/R」として与えられるものである。 Here, when the self-inductance of the detection coil is L and Q values, the internal resistance and R, the resonant angular frequency of the LC oscillator circuit formed by a capacitor for resonance between the detection coil and the omega, an approximation is given as a "Q = ωL / R".

このような原理の近接センサでは、Q値をより大きく変化させる検出対象物であればあるほど検出距離を長くとることができる。 In such a proximity sensor principle, can be made long a certain extent detection distance if the detection object that changes greater Q value. 例えば、鉄は、検出用コイルに接近するのに伴って渦電流損が発生し易い。 For example, iron tends eddy current loss generated in association with the approaching to the detection coil. このため、鉄側に発生した渦電流損によって検出用コイルの内部抵抗Rも大きくなり、Q値を大きく低下させる。 Therefore, the internal resistance R of the detecting coil by the eddy current loss generated in the iron side becomes large, greatly reduce the Q value. よって、鉄が検出対象物であると検出距離を長くとることができる。 Therefore, it is possible to take longer and the detection distance iron is detection object. 例えば、M18(直径18mmの円筒形)と呼ばれる大きさの近接センサを用いて鉄を検出する場合には、その検出距離を7〜8mmとすることができる。 For example, when detecting the iron using a proximity sensor size, called M18 (cylindrical diameter 18 mm) may be the detection distance and 7 to 8 mm. これに対し、渦電流損が発生し難いアルミニウム(以下、単にアルミという)では、同じ直径18mmの近接センサを用いても検出距離は3mmほどである。 In contrast, aluminum eddy current loss is less likely to occur (hereinafter, simply referred to as aluminum), the detection distance even by using a proximity sensor of the same diameter 18mm is about 3 mm.

図10は、検出対象物が磁性体(代表的には鉄)の場合と非磁性体(代表的にはアルミ)の場合とで検出対象物の位置の変化に伴う検出用コイルにおけるQ値の変化を示す図である。 Figure 10 is a detection target of the Q value in the detecting coil with changes in the position of the detection object in the case of the magnetic body when the non-magnetic material (typically iron) (typically aluminum) it is a graph showing a change. 図10は、横軸に接近距離をとり、縦軸にQ値をとる。 10, the horizontal axis represents the approach distance, take Q values ​​on the vertical axis. 図10における実線の四角のプロットは鉄の場合であり、破線の菱形のプロットはアルミの場合である。 Solid line square plots in FIG. 10 is a case of iron, the plot of the dashed rhombus is the case of aluminum. また、発振回路の発振周波数は10KHzとしている。 In addition, the oscillation frequency of the oscillation circuit is set to 10KHz. 図10からわかるように、検出対象物が鉄の場合には、接近距離が7mmよりも短くなったときに、Q値の低下が見られるのに対し、検出対象物がアルミの場合には、接近距離が3mmよりも短くなったところでないと、Q値の低下は見られない。 As can be seen from Figure 10, when the detection object is iron, when the approach distance becomes shorter than 7 mm, while the decrease in the Q value is observed, when the detection object is the aluminum, When the approach distance is not a place that is shorter than 3mm, decrease in the Q value is not seen. すなわち、鉄の場合は、検出距離は7mmで、アルミの場合は、検出距離は3mmとなる。 That is, in the case of iron, the detection distance is 7 mm, in the case of aluminum, the detection distance is 3 mm. このように、検出対象物として、鉄よりもアルミの検出距離が短いという問題がある。 Thus, as a detection object, there is a problem that the detection distance of the aluminum is less than iron.

これに対して、特許文献1には、磁性体および非磁性体の検出対象物のいずれに対しても同じ感度を有する、いわゆるオール・メタル形の近接センサが開示されている。 In contrast, Patent Document 1, also have the same sensitivity to any object to be detected of the magnetic and non-magnetic material, the proximity sensor of the so-called all-metal type is disclosed.

特開平3−29415 JP-A-3-29415

劣悪な環境下で使用される近接センサには機械的または化学的な耐久性が要求されるため、機械的強度および耐食性に優れた非磁性金属(例えばオーステナイト系ステンレス鋼)からなる外装が必要とされる。 Because the proximity sensor to be used under harsh environmental mechanical or chemical durability is required, the necessary exterior made of a nonmagnetic metal having excellent mechanical strength and corrosion resistance (e.g. austenitic stainless steel) It is. しかしながら、一般的な高周波発振形近接センサにオーステナイト系ステンレス鋼の外装を用いると、その最大検出距離は、検出対象物が鉄であっても5mm程度に低下し、検出対象物がアルミだと実用にならない程にまで低下してしまう。 However, the use of exterior common frequency oscillation type austenitic stainless steel proximity sensors, the maximum detection distance, the detection object is reduced to about 5mm even iron, the detection object is that it Aluminum practical It decreases to the extent that not to. また、特許文献1に開示されたオール・メタル形の近接センサを上記金属製の外装に収容すると(すなわち検出用コイルと検出対象物との間に上記金属が存在すると)、その最大検出距離は、実用にならない程にまで低下してしまう。 In addition, when the proximity sensor of the all-metal type disclosed in Patent Document 1 is housed in the metallic exterior (i.e. the metal between the detection object and the detection coil is present), the maximum detection distance , it decreases to the extent that not to practical use.

本発明は、このような背景の下に行われたものであって、上記金属製の外装に収容しても検出対象物としての鉄およびアルミに対して実用的な検出距離を有する近接センサを提供することを目的とする。 The present invention, which was made under such a background, a proximity sensor having a practical detection distance to iron and aluminum as a detection object even when housed in the metallic exterior an object of the present invention is to provide.

なお、本明細書では、説明をわかりやすくするために、検出対象物の材質として鉄とアルミを代表例に用いて説明を行うが、電気的あるいは磁気的な性質が鉄(強磁性・導電性)やアルミ(非磁性・導電性)に類似した物質であれば、それらの類似物質にも本発明の近接センサを適用することができる。 In this specification, for ease of description, the iron and aluminum as a material of the detection object will be described with reference to representative examples, electrical or magnetic properties of iron (ferromagnetic, conductive ) or aluminum (if similar materials to the non-magnetic-conductive) can be applied a proximity sensor of the present invention to those analogues. よって、本明細書の説明内容により本発明の適用対象が鉄およびアルミに限定されるものではない。 Therefore, the application of the present invention is not limited to iron and aluminum from the description content of the present specification. 例えば、強磁性かつ導電性を有する物質としてはニッケル、コバルト、これらを含む合金、これらの金属粉末を合成樹脂中に分散させた複合材料等が挙げられる。 For example, as the substance having a ferromagnetic and electrically conductive nickel, cobalt, alloys thereof, composites, and the like dispersed these metal powder in a synthetic resin. また、非磁性かつ導電性を有する物質としては金、銀、銅などの非磁性金属、これらを含む合金、これらの金属粉末を合成樹脂中に分散させた複合材料等が挙げられる。 As the substance having a nonmagnetic and conductive gold, silver, non-magnetic metal such as copper, an alloy containing these, composite materials obtained by dispersing a synthetic resin such metal powders. これらの検出対象物は全て本発明の適用対象である。 All of these detection object as an application subject of the present invention. なお、本明細書では、強磁性体以外を非磁性体と呼ぶ。 In the present specification, referred to as non-ferromagnetic and non-magnetic material.

本発明の高周波発振形近接センサは、少なくともコイルとコンデンサ(キャパシタともいう)と増幅器とを含む発振回路を有し、導電性を有する検出対象物の近接に伴って生じるコイルのQ値の変化によって検出対象物の有無または/および距離を検出する高周波発振型近接センサにおいて、比透磁率は実質的に1であり、かつ、20℃での体積抵抗率が45×10 -8 (Ω・m)以上の金属からなる部材がコイルと検出対象物の間に配置されており、検出対象物がコイルに近接したときに、検出対象物が強磁性体の場合には検出対象物が無いときよりもQ値が減少し、検出対象物が非磁性体の場合には検出対象物が無いときよりもQ値が増加するように発振回路の発振周波数が設定されていることを特徴とする。 Frequency oscillation proximity sensor of the present invention has an oscillation circuit including at least a coil and a capacitor (also referred to as a capacitor) and an amplifier, the change in the Q value of the coil caused by the proximity of the detection object having conductivity in the high frequency oscillation type proximity sensor for detecting the presence or absence of the detection object or / and distance, relative permeability is substantially 1, and a volume resistivity of 45 × 10 at 20 ℃ -8 (Ω · m) is disposed between the above made of a metal member is a coil and the detection object, when the detection object is close to the coil, than when there is no object to be detected when the detected object is ferromagnetic Q value decreases, the detection object is characterized in that the oscillation frequency of the oscillation circuit so that the Q value is increased is set than when there is no object to be detected in the case of non-magnetic material.

さらに、上述した部材は、非磁性のステンレス鋼製であることを特徴とする。 Furthermore, the above-described member is characterized in that it is made of non-magnetic stainless steel.

さらに、増幅器は入力電圧の絶対値の増加に伴い出力の増幅利得が減少する非線形の入出力電圧特性を有し、発振回路に上記Q値の変化に応じて発振振幅を変化させる軟発振特性を付与することを特徴とする。 Further, the amplifier has a non-linear input-output voltage characteristic amplification gain decreases in absolute value increases with the output of the input voltage, the 軟発 vibration characteristic of changing the oscillation amplitude in accordance with a change in the Q value in the oscillator circuit grant, characterized in that.

さらに、コイルの一端を共通接続して縒り合わせた2本のコイル導体からなり、その一方を発振回路を構成する発振回路用コイルとするとともに、他方を銅抵抗補償用コイルとした2糸コイルと、2糸コイルのインダクタンスとその誘導性の内部抵抗との直列回路と、この直列回路の一端にそれぞれ接続される発振回路用コイル及び銅抵抗補償用コイルの各銅抵抗として示される2糸コイルの等価回路における各銅抵抗と直列回路との接続点を仮想接地する銅抵抗補償回路とを具備したことを特徴とする。 Furthermore, consists two coil conductors twisting commonly connected to one end of the coil, with the oscillating circuit coil constituting the oscillation circuit while a second yarn coil and the other copper resistance compensation coil , 2 of the yarn coil inductance and a series circuit of an internal resistance of the inductive, the second yarn coil, shown as the copper resistance of each connected by the oscillating circuit coil and the copper resistance compensation coil to one end of the series circuit the connection point between the copper resistance and the series circuit in the equivalent circuit, characterized by comprising a copper resistance compensation circuit for a virtual ground.

さらに、発振回路の発振振幅に応じた振幅信号を出力する振幅検出手段(例えば、バッファおよび平滑化コンデンサ)と、振幅信号と予め設定された閾値とを比較してその結果を出力する比較手段(例えば、ウィンドウ・コンパレータ)と、を備えることを特徴とする。 Further, amplitude detection means for outputting an amplitude signal corresponding to the oscillation amplitude of the oscillation circuit (for example, buffers and the smoothing capacitor) and, comparing means for outputting the results compared with a preset threshold amplitude signal ( for example, characterized in that it comprises a window comparator), the.

さらに、比較手段は検出対象物が無いときの振幅信号よりも高い値に設定された第一の閾値と検出対象物が無いときの振幅信号よりも低い値に設定された第2の閾値とを有することを特徴とする。 Furthermore, a second threshold value the first threshold value and the detection object which is set to a value higher than the amplitude signal is set to a value lower than the amplitude signal in the absence of time comparison means no detection target characterized in that it has.

さらに、比較手段は、ウインドウ・コンパレータによって構成されていることを特徴とする。 Furthermore, comparison means, characterized in that it is constituted by a window comparator.

本発明によれば、上述したような金属製の外装に収容しても検出対象物としての強磁性体および非磁性体に対して実用的な検出距離を有する近接センサを得ることができる。 According to the present invention, it is possible to obtain a proximity sensor having a practical detection distance to the ferromagnetic body and the non-magnetic material as a detection object even when housed in a metal sheath, as described above.

本発明の実施の形態に係る近接センサの内部構成の概念図である。 It is a conceptual diagram of the internal configuration of the proximity sensor according to the embodiment of the present invention. 図1に示す近接センサのセンサ本体にステンレスカバーを装着する様子を示す図である。 It is a diagram showing a state of mounting the stainless cover the sensor body of the proximity sensor shown in FIG. 図1に示す近接センサのセンサ本体にステンレスカバーを装着した状態を示す図である。 It is a diagram showing a state of mounting the stainless cover the sensor body of the proximity sensor shown in FIG. 図1に示す近接センサの外観図である。 It is an external view of the proximity sensor shown in FIG. 図1に示す近接センサにおける検出対象物の接近距離とQ値との関係を示す図である。 Is a diagram showing the relationship between the approach distance and the Q value of the detection object in the proximity sensor shown in FIG. 図1に示す近接センサにおいて基準点と検出対象物との間の距離を5mmに設定したときのQ比と発振周波数との関係を示す図である。 Is a diagram showing the relationship between Q ratio and the oscillation frequency when set to 5mm the distance between the reference point and the detection object in the proximity sensor shown in FIG. 図1に示す近接センサの発振回路の要部概略構成図である。 A main part schematic diagram of an oscillator circuit of the proximity sensor shown in FIG. 図1、図7に示す非線形増幅器の非線形の入出力特性を示す図である。 Figure 1 illustrates a non-linear input-output characteristic of a nonlinear amplifier shown in FIG. 図1に示す近接センサにおけるコイルの等価回路を示す図である。 Is a diagram showing an equivalent circuit of the coil in the proximity sensor shown in FIG. 従来の近接センサを用いたときの検出対象物が鉄の場合とアルミの場合とで検出用コイルにおけるQ値の変化を示す図である。 Detection object when using the conventional proximity sensor is a diagram showing a change in Q value of the detection coil in the case where the aluminum iron.

本発明の実施の形態における近接センサ4を図1から図7を参照して説明する。 The proximity sensor 4 in the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 図1は、近接センサ4の内部構成の概念図である。 Figure 1 is a conceptual diagram of the internal configuration of the proximity sensor 4. 図2および図3は、近接センサ4の主要構成部となる非磁性体からなるカバー(以下、ステンレスカバーあるいは単にカバーということもある)1と近接センサ本体2との関係を示す図である。 2 and 3, a cover made of a nonmagnetic material as the main components of the proximity sensor 4 (hereinafter also referred to as a stainless cover or simply cover) is a diagram showing a relationship between 1 and proximity sensor body 2. このカバー1は、その物理的な特性として、比透磁率が実質的に1であり、かつ、20℃において45×10 -8 (Ω・m)以上の体積抵抗率を有することが望ましい。 The cover 1, as its physical properties, relative permeability is substantially 1, and, it is desirable to have a 45 × 10 -8 (Ω · m ) or more of the volume resistivity at 20 ° C.. この条件を満たす材質であれば本発明に適用することが可能であるが、機械的強度や入手・加工の容易性を考慮すると、オーステナイト系ステンレス鋼が最も実用に適している。 Although it is possible to apply the present invention as long as this condition is satisfied material, considering the ease of mechanical strength and availability, processing austenitic stainless steel is most suitable for practical use. 図2は、センサ本体2にステンレスカバー1を装着する様子を示す図である。 Figure 2 is a view showing a state of attaching the stainless cover 1 to the sensor body 2. 図3は、センサ本体2にステンレスカバー1を装着した状態を示す図である。 Figure 3 is a diagram showing a state of mounting the stainless cover 1 to the sensor body 2. 図4は、近接センサ4の外観図である。 Figure 4 is an external view of the proximity sensor 4. 図5は、検出対象物7の接近距離とQ値との関係を示す図であり、横軸に接近距離をとり、縦軸にQ値をとる。 Figure 5 is a diagram showing the relationship between the approach distance and the Q value of the detection object 7, the horizontal axis represents the approach distance, take Q values ​​on the vertical axis. なお、図5は発振回路(共振回路)5の発振周波数が20KHzの場合の例で、実線の四角は鉄を示し、破線の菱形はアルミを示す。 Note that FIG. 5 is an example of when the oscillation frequency of the oscillation circuit (resonance circuit) 5 is 20 KHz, the solid squares show the iron dashed diamonds shows the aluminum.

本発明の実施の形態に係る近接センサ4は、図1に示すように、コイル10とコンデンサ6とを含んで構成される発振回路5を備えている。 Proximity sensor 4 according to the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, and includes an oscillation circuit 5 configured to include a coil 10 and a capacitor 6. そして、近接センサ4は、導電性を有する検出対象物7の存在または接近によるコイル10のQ値の変化に基づいて検出対象物7の存在または接近を検出する。 The proximity sensor 4 detects the presence or proximity of the detection object 7 based on the change in the Q value of the coil 10 due to the presence or approach of a detection object 7 having conductivity. 磁気的な特性を最適化するために、コイル10は軟磁性フェライトなどの高透磁率材料からなるコア(図示せず)に収容されることが多い。 To optimize the magnetic properties, the coil 10 is often housed in a core (not shown) made of a high magnetic permeability material such as soft magnetic ferrite. また、使用目的によっては、近接センサ4は、検出対象物7と近接センサ4上の基準点Pとの間の距離を検出する。 Also, some applications the proximity sensor 4 detects the distance between the reference point P on the proximity sensor 4 and the detection object 7. ここで、基準点Pとは、例えば、図1や図4に示すように、ステンレスカバー1の検出対象物と向き合う面上の点である。 Here, the reference point P, for example, as shown in FIG. 1 and FIG. 4 is a point on the surface facing the detection object stainless cover 1.

ここで、この近接センサ4は、図2〜図4に示すように、センサ本体2(コイル10を含むボビン、発振回路5および検出部8等の電気回路を形成するプリント配線基板など)の筐体としてステンレス製部材であるステンレスカバー1を有するので、筐体の少なくとも検出対象物7が接近してくる部分にステンレス製部材であるステンレスカバー1が配置されることになる。 Here, the proximity sensor 4, as shown in FIGS. 2 to 4, the housing of the sensor body 2 (bobbin including a coil 10, such as a printed wiring board to form electrical circuits such as the oscillation circuit 5 and the detector 8) because it has a stainless cover 1 is made of stainless steel members as a body, stainless cover 1 is made of stainless steel member is to be disposed in a portion of at least the detection object 7 of the housing approaching. このステンレスカバー1と検出用コイル10との間の距離m(図1参照)は、コイル10のQ値が、ステンレスカバー1が無い場合と比較して低下する距離に設定される。 The distance m between the stainless steel cover 1 and the detection coil 10 (see FIG. 1) is, Q value of the coil 10 is set to a distance to be reduced as compared with the case of stainless cover 1 is not. このコイルのQ値の低下はステンレスカバー1に生じる電磁誘導の影響によるものである。 Decrease in the Q value of the coil is due to the influence of electromagnetic induction caused stainless cover 1. この距離mは、通常、数ミリメートル以下となるように設定される。 The distance m is usually set to be several millimeters or less. ステンレスカバー1の外周には雄ネジが形成されており、これに適合した雌ネジを有する取付ナット3で取付対象物に取り付けられる。 The outer periphery of the stainless steel cover 1 is formed with a male screw is attached to the attaching object with mounting nut 3 having a female screw adapted thereto. また、これはオプション(選択可能な構成要素)になるが、後述のように近接センサ4が軟発振特性を有する場合には、図1に示すように、コイル10を含んで構成される発振回路5の発振振幅を観察するためにウィンドウ・コンパレータ9を備える。 This also becomes optional (selectable component), if it has a 軟発 vibration characteristics proximity sensor 4 as described below, as shown in FIG. 1, the oscillation circuit configured to include a coil 10 5 comprises a window comparator 9 to observe the oscillation amplitude. このウィンドウ・コンパレータ9は複数の閾値を持ち、これらの閾値と入力値(具体的には発振回路5の発振振幅を表す電圧値)との大小関係を判定して、それぞれ出力する機能を有する。 The window comparator 9 has a plurality of threshold values ​​(specifically, a voltage value representative of the oscillation amplitude of the oscillation circuit 5) input value and the threshold values ​​to determine the magnitude relationship between, and outputting respectively.

上述した近接センサ4は、ステンレスカバー1の作用によりコイル10のQ値が低いものとなる。 Proximity sensor 4 described above, becomes Q value of the coil 10 is low by the action of the stainless steel cover 1. このようにコイル10のQ値を低くした状態において、アルミである検出対象物7がコイル10に接近すると、コイル10の磁束の配列が変化し、結果的にステンレスカバー1による損失が減少して図5に示すようにQ値が上昇する。 Thus in a state where the lower the Q value of the coil 10, the detection object 7 is an aluminum approaches the coil 10, the sequence of magnetic flux of the coil 10 is changed, resulting in loss due to the stainless cover 1 is reduced Q value increases as shown in FIG. このような現象は、発明者による度重なる実験によって確認されている。 This phenomenon has been confirmed by repeated by the inventor experiments. なお、鉄である検出対象物7がコイル10に接近するとQ値が下がることは従来と同様である。 Note that the detection object 7 is iron Q value decreases when approaching the coil 10 is the same as the conventional. 発振回路5の発振振幅はQ値に応じた電圧として観測される。 Oscillation amplitude of the oscillation circuit 5 is observed as a voltage corresponding to the Q value.

ただし、発振回路5の発振周波数には、上記の判定に適さない周波数領域も存在する。 However, the oscillation frequency of the oscillation circuit 5, there frequency range that is not suitable for the determination of the. 図6は、外径18mmの円柱状の近接センサにおいて、基準点Pと検出対象物7との間の距離を5mmに設定したときのQ比と発振回路5の発振周波数との関係を示す図である。 Figure 6 shows the cylindrical proximity sensor having an outer diameter 18 mm, Q ratio when set to 5mm the distance between the reference point P and the detection object 7 and the relationship between the oscillation frequency of the oscillation circuit 5 it is. 図6は、横軸に発振回路5の発振周波数をとり、縦軸にQ比をとる。 6, the horizontal axis represents the oscillation frequency of the oscillation circuit 5, take Q ratio on the vertical axis. なお、Q比とは、検出対象物7を近接センサ4に接近させたときのQ値をQinとし、検出対象物がないときのQ値をQoutとしたときの両者の比であり、Q比=Qin/Qoutとして表した値である。 Note that the Q ratio, and Qin the Q value when the proximity of the detection object 7 the proximity sensor 4, a ratio of the two when the Qout the Q value when there is no detected object, Q ratio = is a value expressed as Qin / Qout. Q比は、「%」の単位で示している。 Q ratio, are shown in units of "%".

図6によれば、例えば発振周波数が10kHzのとき、アルミ製の検出対象物7が基準点Pから5mmの位置に存在するにもかかわらずQ比は100%となり(すなわち検出対象物7が無いときのQ値と同じとなり)、アルミ製の検出対象物7を検出できない。 According to FIG. 6, for example, when the oscillation frequency is 10 kHz, Q ratio despite the presence in the position of 5mm aluminum detection object 7 from the reference point P is not 100% next (i.e. the detection object 7 becomes the same) and the Q value when, can not detect the aluminum detection object 7. アルミ検出として好まれるのはQ比が「100」から離れた領域であり、図6からは15kHz〜40kHzで、さらに好ましいのは20kHz〜35kHzと言える。 The preferred as aluminum detection is an area where Q ratio is away from the "100", in 15kHz~40kHz from 6, more preferably it can be said that 20KHz~35kHz. 一方、鉄製の検出対象物7の検出に好ましいのはQ比が100%を下回る5kHz〜35kHzであり、さらに好ましいのは7kHz〜20kHzである。 On the other hand, preferred for detection of iron detection object 7 is 5kHz~35kHz the Q ratio is below 100%, and more preferred is 7KHz~20kHz. したがって、図6の例において、アルミ製の検出対象物7および鉄製の検出対象物7の両方を検出するためには、発振回路5の共振周波数を20kHz近傍に設定することが好ましい。 Thus, in the example of FIG. 6, in order to detect both aluminum detection object 7 and iron detection object 7, it is preferable to set the resonance frequency of the oscillation circuit 5 to 20kHz vicinity. 当然ながら、発振回路5の共振周波数は、発振回路5を構成するコイル、コンデンサおよび抵抗の各電気的特性値(L、C)を調節することで任意に設定できる。 Of course, the resonance frequency of the oscillation circuit 5, a coil constituting the oscillation circuit 5 can be arbitrarily set by adjusting the electrical characteristics of the capacitor and resistor (L, C).

図6に示すように、Q比の状態は、検出対象物7がアルミである場合と鉄である場合とでは変化の傾向が逆になることがわかる。 As shown in FIG. 6, the state of the Q ratio, it can be seen that the detection object 7 is a tendency of the change is reversed in the case of when the iron is aluminum. このことは、図5からも推測できるがQ比の状態を観測することにより一層明らかである。 This is also be inferred from FIG. 5 is a more apparent by observing the state of the Q ratio. また、図5によれば、横軸の接近距離が8mmよりも短くなったところから鉄とアルミとで変化の傾向に差が現れていることがわかる。 In addition, according to FIG. 5, it can be seen that the approach distance of the horizontal axis is a difference in the tendency of the change in iron and aluminum has appeared from where shorter than 8 mm.

ところで、通常のLCR型発振回路は、Q値のわずかな変化に応じて発振が生起または停止するという、いわゆる硬発振特性を有している。 Meanwhile, conventional LCR oscillation circuit is that the oscillation is occurring or stopped in response to a slight change in the Q value, has a so-called hard oscillation characteristics. すなわち、実質的に発振および停止のいずれかの状態しか採り得ない。 That is, only not take any state of substantially oscillation and stop. そのため、上述のように一つの近接センサでアルミ製の検出対象物7および鉄製の検出対象物7の両方を検出できるように構成しても、アルミ検出専用の設定(通常は停止しておりアルミが接近すると発振を開始する)か、鉄専用の設定(通常は発振しており鉄が接近すると発振が停止する)か、のいずれかにしか用いることができない。 Therefore, also be configured to detect both the aluminum detection object 7 and iron detection object 7 in one of the proximity sensors as described above, setting the aluminum detection only (usually are stopped Aluminum There either to start oscillation) approach, iron only configuration (usually oscillates with iron and oscillates approaches is stopped) or can only be used for either. そこで、ひとつの近接センサにおいてアルミおよび鉄の両用の設定を可能にしたいという新たな課題が生じる。 Therefore, a new problem that want to allow setting of the aluminum and iron dual in one of the proximity sensors occurs. この課題を解決するために、発振回路5に発振振幅が徐々に変化する特性(いわゆる軟発振特性)を付与する必要がある。 To solve this problem, it is necessary to impart a characteristic oscillation amplitude oscillation circuit 5 is gradually changed (so-called 軟発 vibration characteristics).

検出対象物7の検出用コイル10への接近距離に応じて発振振幅がアナログ的に変化する軟発振回路を構成した場合、発振振幅の変化は図5のQ値に似た曲線を描くので、図5のグラフの縦軸である「Q値」を「発振振幅」と読み代えて考える。 When the oscillation amplitude depending on the approach distance of the detection coils 10 of the detection object 7 constituted the 軟発 oscillation circuit varies in an analog manner, since the change in the oscillation amplitude is a curve similar to the Q value of 5, a vertical axis of the graph of FIG. 5 the "Q value" consider instead read as "oscillation amplitude." すなわち、コイルのQ値の増減に伴って発振回路5の発振振幅も増減する。 That is, the oscillation amplitude of the oscillation circuit 5 in accordance with the increase or decrease of the Q value of the coil is also increased or decreased.

従って、検出対象物7のコイル10への接近距離に応じて発振振幅がアナログ的に変化する軟発振を用い、そのQ値の変化の傾向を調べることにより、鉄であってもアルミであってもひとつの近接センサ4により検出可能となる。 Therefore, the oscillation amplitude using soft oscillation which varies in an analog manner depending on the approach distance to the coil 10 of the detection object 7, by examining the trend of the change in the Q value, there even iron aluminum also it is detected by one of the proximity sensor 4. さらに軟発振を用いた場合には、発振振幅の遷移の方向を調べることにより、検出された検出対象物7が鉄であるかアルミであるかを判別することもできる。 When further using soft oscillation, by examining the direction of the transition of the oscillation amplitude may be the detection object 7 is detected to determine whether it is aluminum or iron. 具体的には、発振回路5の振幅信号を前述のウィンドウ・コンパレータ9へ入力して二つの閾値と比較し、入力電圧が上側の閾値を上回った場合にアルミ製の検出対象物7が接近したものと判定する。 More specifically, the input amplitude signal of the oscillation circuit 5 to the window comparator 9 described above as compared with two thresholds, the input voltage is aluminum detection object 7 comes close when it exceeds the upper threshold things and judges. また、入力電圧が下側の閾値を下回った場合に鉄製の検出対象物7が接近したものと判定する。 Further, it determines that the iron detection object 7 comes close when the input voltage falls below the lower threshold. 入力電圧が二つの閾値の間にあるときは、いずれの検出対象物7も接近していないものと判定する。 When the input voltage is between the two thresholds, it determines that any of the detection object 7 also does not approach.

ところで、このような高周波発振型近接センサには、一般的にその検出特性が安定であることのみならず、その検出距離を十分に長く設定し得ること等が要求される。 However, such a high frequency oscillation type proximity sensor, generally the detection characteristics not only be stable, that like the detection distance can be set to be sufficiently longer is required. 特開2003―298403に開示された構成によれば、検出用コイルの銅抵抗成分を仮想的に短絡して検出用コイルのQ値およびQ比を改善し、検出感度の向上を図ることができると共に、銅抵抗に起因する温度依存性を除去することができる。 JP According to configurations disclosed in 2003-298403, to improve the Q value and Q ratio of the detection coil are short-circuited copper resistance component of the detection coil virtually, it is possible to improve the detection sensitivity together, it can be removed temperature dependence due to the copper resistance. また、反転増幅器を用いた簡単な構成で銅抵抗を仮想的に短絡することができる。 Further, it is possible to short-circuit the copper resistance virtually with a simple configuration using an inverting amplifier. そこで、このような構成を適用して、検出距離のいっそうの長距離化を図ることが可能である。 Therefore, by applying such a configuration, it is possible to achieve further long-distance detection distance.

このような原理に基づき鉄であってもアルミであっても検出可能な近接センサ4の発振回路5の具体的な実施の形態を図7〜図9を参照して説明する。 Such based on the principle even iron a aluminum and specific embodiments of the oscillator circuit 5 of detectable proximity sensor 4 even with reference to FIGS explaining. 図7は、この実施の形態に係る近接センサ4の発振回路5の要部概略構成図である。 Figure 7 is a main part schematic diagram of the oscillator circuit 5 of the proximity sensor 4 according to this embodiment. この近接センサ4の発振回路5は、例えば一端(図9のT1)を共通に接続した2本の高周波リッツ線を互いに縒り合わせた2糸コイル(10−1、10−2)を樹脂製のボビンに巻装し、このボビンにフェライトコアを挿入して形成されたコイル10を備えたものである。 Oscillator circuit 5 of the proximity sensor 4, for example one end 2 yarn coils (10-1, 10-2) which twisting together the two high frequency litz wires connected in common (T1 in FIG. 9) made of resin is wound around the bobbin, in which a coil 10 formed by inserting a ferrite core into the bobbin. そのコイル10は、並列に接続されたコンデンサ15との間でLC並列共振器を形成している。 That coil 10 forms the LC parallel resonator with the capacitor 15 connected in parallel. すなわち、コンデンサ15の一端は共通端子T1に接続され、他端は後述の反転増幅器13の非反転入力端子と共に接地されている。 That is, one end of the capacitor 15 is connected to the common terminal T1, the other end is grounded non-inverting input terminal of the inverting amplifier 13 will be described later. このような2糸で形成されたコイル10のうち銅抵抗補償用コイル10−2の他端(図9のT3)は反転増幅器13の反転入力端子に接続され、発振回路用コイル10−1の他端(図9のT2)は反転増幅器13の出力端子に接続されて銅抵抗補償回路を形成している。 The other end of the copper resistance compensation coil 10-2 of the coil 10 which is formed in such a second thread (T3 in FIG. 9) is connected to the inverting input terminal of the inverting amplifier 13, the oscillator coil 10 - the other end (T2 in FIG. 9) forms a connection has been copper resistance compensation circuit to the output terminal of the inverting amplifier 13. すなわち、反転増幅器13は、銅抵抗補償用コイル10−2 の他端に生じる電圧を反転増幅し、その出力を発振回路用コイル10−1の他端に負帰還することで、2糸コイル10の銅抵抗を打ち消すように作用する。 That is, the inverting amplifier 13, a voltage generated at the other end of the copper resistance compensation coil 10-2 inverts and amplifies, by negatively feeding back the output thereof to the other end of the oscillating circuit coil 10-1, second thread coil 10 It acts to cancel the copper resistance.

このような銅抵抗補償回路は、基本的には図9(A) に示すように2糸で構成されたコイル10のインダクタンスL(=L1=L2)とその誘導性の内部抵抗Riとの直列回路およびこの直列回路の一端T1にそれぞれ接続される発振回路用コイル10−1および銅抵抗補償用コイル10−2の各銅抵抗をRcuとした場合に、図9(B)に示す等価回路として表すことができる。 Such copper resistance compensation circuit includes series inductance L (= L1 = L2) and the internal resistance Ri of the inductive coil 10 which is composed of two yarns as basically shown in FIG. 9 (A) If the circuit and the copper resistance of the oscillating circuit coil 10-1 and copper resistance compensation coil 10-2 is connected to one end T1 of the series circuit and the Rcu, as an equivalent circuit shown in FIG. 9 (B) it can be expressed. 銅抵抗補償回路は、この等価回路における各銅抵抗Rcuと直列回路との接続点Dを仮想接地する役割を担う。 Copper resistance compensation circuit is responsible for virtual ground connection point D between the copper resistance Rcu a series circuit in this equivalent circuit. そして接続点Dの仮想接地により銅抵抗Rcuの存在自体を打ち消すことで、発振回路5における銅抵抗Rcuに起因する検出特性の不安定化を防止するものである。 Then the virtual ground connection point D by canceling the existence of copper resistance Rcu, thereby preventing the destabilization of the detection characteristics due to copper resistance Rcu in the oscillation circuit 5.

なお、コイル10を形成する導線の材質として専ら銅が使用されることから、その電気的性質を「銅抵抗」と称するが、導線の材質として他の金属材料を用いた場合も原理上の差異は無いので、本発明の技術的思想に含まれることは言うまでもない。 Incidentally, exclusively from the copper is used as the material of the conductor forming the coil 10, although the electrical properties is referred to as "copper resistance" in principle also the case of using other metal materials as the material of the conductors of the differences since it not, of course, included in the technical idea of ​​the present invention.

また、非線形増幅器12は、コイル10に接続されてコイル10を発振駆動する発振回路を構成する。 Also, the non-linear amplifier 12 constitute an oscillation circuit connected to the coil 10 to the oscillation drive coil 10. 例えば、図8に示すように、その入力電圧V inの絶対値が増すと、それに応じて増幅利得が減少する非線形の出力V outを示すものとなっている。 For example, as shown in FIG. 8, when the absolute value of the input voltage V in increases, the amplification gain becomes as indicating output V out of the reduced nonlinear accordingly. このような非線形増幅器の回路構成は公知なので詳述しない(例えば特開2002−374155を参照のこと)。 Circuit configuration of such a non-linear amplifier is not described in detail because it is known (see for example JP 2002-374155). 図8では入力V in1およびV in2を境界値として増幅利得が変化するが、境界値の数をさらに増して入出力特性を曲線に近いものとしても良い。 Amplification gain varies the input V in1 and V in2 8 as the boundary value may be close to the input-output characteristic curve further increases the number of boundary values. 非線形増幅器12は、さらに、コイル10のQ値の変化に応じてコイル10に生起される発振振幅を変化させる役割を担う。 Nonlinear amplifier 12 is further responsible for changing the oscillation amplitude is caused in the coil 10 in accordance with a change in the Q value of the coil 10. この非線形増幅器12は、基本的にはコイル10に生起された電圧を入力して増幅し、その増幅出力電圧を抵抗器14を介して電流変換してコイル10に出力することで、入力電圧に応じて電流を吐き出すという負性抵抗のような働きを呈する。 The nonlinear amplifier 12 is basically amplifies Enter the voltage that is occurring in the coil 10, by outputting to the coil 10 by current converts the amplified output voltage through the resistor 14, the input voltage depending exhibits functions like a negative resistance that discharges the current. この働きにより、非線形増幅器12は、コイル10を発振駆動する。 This work, nonlinear amplifier 12 oscillates drives the coil 10. 発振振幅が大きくなると増幅利得が減少することから、コイルのQ値の変化に対する発振振幅の急激な変化が抑制され、いわゆる軟発振特性を得ることができる。 Since the amplification gain and the oscillation amplitude is increased is reduced, a sudden change in the oscillation amplitude with respect to change in the Q value of the coil is suppressed, it is possible to obtain a so-called 軟発 vibration characteristics.

なお、本発明の実施の形態においては、発振回路用コイル10−1のQ値を低下させるためにステンレスカバー1を用いた。 In the embodiments of the present invention, using a stainless steel cover 1 in order to reduce the Q value of the oscillation circuit coil 10-1. これは発振回路用コイル10−1における磁束の配列の変化が必須要件である。 This is a mandatory requirement Sequence changes the magnetic flux in the oscillation circuit coil 10-1. よって、単に発振回路5の諸元の設定によってQ値が低い状態を作り出しても上述した原理は成立しない。 Therefore, just the principles described above can produce a state Q value is lower by specifications of setting of the oscillation circuit 5 is not satisfied.

また、センサ本体2を保護する目的で、既にステンレスカバー1が被覆された近接センサが実用化されている。 Further, in order to protect the sensor body 2, already proximity sensor stainless cover 1 is coated has been practically used. これにより、既存のステンレスカバーを備えた近接センサを本実施の形態の近接センサ4に改造することは容易である。 Thus, it is easy to modify a proximity sensor with an existing stainless steel cover the proximity sensor 4 of this embodiment.

また、発振回路用コイル10−1のQ値を低下させることができれば、カバーは必ずしもステンレス製でなくてよい。 Further, if it is possible to reduce the Q value of the oscillation circuit coil 10-1 cover may not necessarily made of stainless steel. よって、近接センサ4のカバーをステンレス製のカバーに限定するものではない。 Therefore, there is no cover for the proximity sensor 4 is limited to a stainless steel cover. ただし、比透磁率が実質的に1であり、かつ、20℃の体積抵抗率が45×10 -8 (Ω・m)以上の金属を用いる必要がある。 However, relative permeability is substantially 1, and, should the volume resistivity of 20 ° C. is used 45 × 10 -8 (Ω · m ) or more metals.

以上の実施の形態では、銅抵抗補償回路付きのコイル10を用いる例を説明した。 In the above embodiment, an example was described using the coil 10 with a copper resistance compensation circuit. これにより、所望する検出距離(7〜8mm)を鉄とアルミの両者に対して確保することができる。 Thus, it is possible to ensure desired detection distance (7 to 8 mm) for both iron and aluminum. しかしながら、鉄およびアルミの双方を検出可能な近接センサを実現する上で、銅抵抗補償回路は必須ではない。 However, both the iron and aluminum in realizing a proximity sensor capable of detecting, copper resistance compensation circuit is not essential. このため、本発明の適用範囲を銅抵抗補償回路付きのコイル10を有する近接センサに限定するものではない。 Therefore, not limited to the proximity sensor having a coil 10 with a copper resistance compensation circuit the scope of the present invention.

なお、図5に示したデータは、発振回路5における発振周波数を20kHzとした場合のデータである。 Note that data shown in FIG. 5, the data obtained when the oscillation frequency is 20kHz in the oscillation circuit 5. このように、発振回路5の発振周波数は、20kHzという比較的低い周波数である。 Thus, the oscillation frequency of the oscillation circuit 5 is a relatively low frequency of 20 kHz. このような状況下では、検出対象物7のコイル10への接近に伴い変化する交流性の抵抗よりも銅抵抗の方が支配的となる。 Under these circumstances, towards the copper resistance is more dominant than the AC resistance of the resistance that varies with the proximity to the coil 10 of the detection object 7. このため、銅抵抗補償回路の有効性は高い。 Thus, the effectiveness of the copper resistance compensation circuit is high.

以上、本発明の実施の形態およびその変形例を説明したが、本発明の実施の形態は、その要旨を逸脱しない限り、様々に変更できる。 Having described the embodiment and its modified examples of the present invention, the embodiment of the present invention, without departing from the spirit thereof, it can be variously changed. 例えば、比誘電率が実質的に1であり、20℃での体積抵抗率が45×10 -8 (Ω・m)以上のものとして、ステンレスを示したが、ステンレスの場合は、ほとんどのものがこの値を満足する。 For example, the dielectric constant is substantially 1, as the volume resistivity at 20 ° C. of 45 × 10 -8 (Ω · m ) or more, showed stainless steel in the case of stainless steel, most of those but to satisfy this value. 例えば、SUS410はこの値を満足する(62×10 -8 (Ω・m))。 For example, SUS410 satisfies this value (62 × 10 -8 (Ω · m)). また、SUS303も満足する。 In addition, also to satisfy SUS303. ステンレス以外には、マンガン、ニクロム、チタンがこの値を満足する。 Besides stainless steel, manganese, nichrome, titanium satisfies this value. 20℃での体積抵抗率が20×10 -8 (Ω・m)未満であると、検出用コイル10−1に近づけてもQ値の低下は僅かであり、上述した現象を利用するには困難を伴う。 When the volume resistivity at 20 ° C. is less than 20 × 10 -8 (Ω · m ), reduction of the Q value close to the detection coil 10 is small, to use the phenomenon described above with difficulty. 好ましいのは45×10 -8 (Ω・m)以上であり、さらに好ましいのはSUS303(20℃での値が72×10 -8 (Ω・m))の値以上である。 Preferred is a 45 × 10 -8 (Ω · m ) or more, more preferably is greater than or equal to the value of SUS303 (value at 20 ° C. is 72 × 10 -8 (Ω · m )).

本発明は、コイルのQ値の変化によって検出対象物の有無または/および距離を検出する全ての近接センサに利用できる。 The present invention is applicable to all of the proximity sensor detecting the presence or / and the distance of the detection target by a change in Q value of the coil.

1…ステンレスカバー(部材)、2…センサ本体、3…取付ナット、4…近接センサ、5…発振回路、6…コンデンサ、7…検出対象物、8…検出部、9…ウィンドウ・コンパレータ(共振周波数の変化を検出する手段)、10…コイル、10−1…発振回路用コイル、10−2…銅抵抗補償用コイル、11…バッファ、12…非線形増幅器、13…反転増幅器、14…抵抗器、15…コンデンサ 1 ... stainless cover (member), 2 ... sensor body, 3 ... mounting nut, 4 ... proximity sensor, 5 ... oscillation circuit, 6 ... capacitor, 7 ... detection object, 8 ... detection unit, 9 ... window comparator (resonance means), 10 ... coil for detecting a change in frequency, 10-1 ... oscillation circuit coil, 10-2 ... copper resistance compensation coil, 11 ... buffer, 12 ... non-linear amplifier, 13 ... inverting amplifier, 14 ... resistors , 15 ... capacitor

Claims (7)

  1. 少なくともコイルとコンデンサと増幅器とを含む発振回路を有し、導電性を有する検出対象物の近接に伴って生じる上記コイルのQ値の変化によって上記検出対象物の有無または/および距離を検出する高周波発振形近接センサにおいて、 Frequency detecting at least coil and has an oscillation circuit including a capacitor and an amplifier, the presence or / and the distance of the detection target by a change in Q value of the coil caused by the proximity of the detection object having conductivity in the oscillation type proximity sensor,
    比透磁率が実質的に1であり、かつ、20℃での体積抵抗率が45×10 -8 (Ω・m)以上の金属からなる部材が上記コイルと上記検出対象物との間に配置されており、 Relative permeability is substantially 1, and, disposed member volume resistivity at 20 ° C. is made of 45 × 10 -8 (Ω · m ) or more metals between the coil and the detection object It has been,
    上記検出対象物が上記コイルに近接したときに、上記検出対象物が強磁性体の場合には上記検出対象物が無いときよりも上記Q値が減少し、上記検出対象物が非磁性体の場合には上記検出対象物が無いときよりも上記Q値が増加するように上記発振回路の発振周波数が設定されている、 When the detection object is in proximity to the coil, when the detection object is a ferromagnetic body than when the detection object is not reduced the Q value is, the detection target object is made of non-magnetic material the oscillation frequency of the oscillation circuit so that the Q value is increased than when the detection object is not is set in the case,
    ことを特徴とする高周波発振形近接センサ。 Frequency oscillation proximity sensor, characterized in that.
  2. 請求項1記載の高周波発振形近接センサにおいて、 In the high-frequency oscillation proximity sensor according to claim 1,
    前記部材は、非磁性のステンレス鋼製である、 Said member is made of nonmagnetic stainless steel,
    ことを特徴とする高周波発振形近接センサ。 Frequency oscillation proximity sensor, characterized in that.
  3. 請求項1または2記載の高周波発振形近接センサにおいて、 In the high-frequency oscillation proximity sensor according to claim 1 or 2, wherein,
    前記増幅器は入力電圧の絶対値の増加に伴い出力の増幅利得が減少する非線形の入出力電圧特性を有し、前記発振回路に前記Q値の変化に応じて発振振幅を変化させる軟発振特性を付与する、 The amplifier has a non-linear input-output voltage characteristic amplification gain decreases in absolute value increases with the output of the input voltage, the 軟発 vibration characteristic of changing the oscillation amplitude in accordance with a change in the Q value in the oscillator circuit Give,
    ことを特徴とする高周波発振形近接センサ。 Frequency oscillation proximity sensor, characterized in that.
  4. 請求項1から3のいずれか1項記載の高周波発振形近接センサにおいて、 In the high-frequency oscillation proximity sensor according to any one of claims 1 to 3,
    前記コイルの一端を共通接続して縒り合わせた2本のコイル導体からなり、その一方を前記発振回路を構成する発振回路用コイルとすると共に、他方を銅抵抗補償用コイルとした2糸コイルと、 Consists two coil conductors at one end was twisting in common connection of the coil, with the oscillating circuit coil constituting the oscillation circuit while a second yarn coil and the other copper resistance compensation coil ,
    上記2糸コイルのインダクタンスとその誘導性の内部抵抗との直列回路と、この直列回路の一端にそれぞれ接続される上記発振回路用コイルおよび上記銅抵抗補償用コイルの各銅抵抗として示される上記2糸コイルの等価回路における前記各銅抵抗と上記直列回路との接続点を仮想接地する銅抵抗補償回路とを具備する、 The indicated inductance of the second yarn coil and a series circuit of an internal resistance of the inductive, as the copper resistance of the series circuit the oscillator coil and the copper resistance compensation coil are connected to one end of the 2 comprising a copper resistance compensation circuit virtual ground connection points between the respective copper resistor and the series circuit of the equivalent circuit of the yarn coil,
    ことを特徴とする高周波発振形近接センサ。 Frequency oscillation proximity sensor, characterized in that.
  5. 請求項1から4のいずれか1項記載の高周波発振形近接センサにおいて、 In the high-frequency oscillation proximity sensor of any one of claims 1 to 4,
    前記発振回路の発振振幅に応じた振幅信号を出力する振幅検出手段と、 And amplitude detecting means for outputting an amplitude signal corresponding to the oscillation amplitude of the oscillation circuit,
    上記振幅信号と予め設定された閾値とを比較してその結果を出力する比較手段と、 Comparing means for outputting the results compared with a preset threshold and the amplitude signal,
    を備える、 Equipped with a,
    ことを特徴とする高周波発振形近接センサ。 Frequency oscillation proximity sensor, characterized in that.
  6. 請求項5記載の高周波発振形近接センサにおいて、 In the high-frequency oscillation proximity sensor according to claim 5,
    前記比較手段は、前記検出対象物が無いときの振幅信号よりも高い値に設定された第1の閾値と前記検出対象物が無いときの振幅信号よりも低い値に設定された第2の閾値とを有する、 Said comparison means, a second threshold value set to a value lower than the amplitude signal when there is no the detection object with a first threshold value which is set to a value higher than the amplitude signal when there is no said detection object with the door,
    ことを特徴とする高周波発振形近接センサ。 Frequency oscillation proximity sensor, characterized in that.
  7. 請求項6記載の高周波発振形近接センサにおいて、 In the high-frequency oscillation proximity sensor according to claim 6,
    前記比較手段は、ウィンドウ・コンパレータによって構成されている、 The comparison means is constituted by a window comparator,
    ことを特徴とする高周波発振形近接センサ。 Frequency oscillation proximity sensor, characterized in that.
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