JP5112167B2 - パターン転写装置及びパターン転写方法 - Google Patents
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Description
第一〜第四実施形態の一例の説明に先立ち、実施形態に係るサーボパターン転写処理の概略について説明する。図1は、実施形態に係るサーボパターン転写処理の概略を示す図である。
次に、記憶媒体上に形成されるサーボパターンの形成例について説明する。図2は、記憶媒体上のサーボパターンの形成例を示す図である。同図に示す様に、サーボパターンとは、記憶装置が有する、記憶媒体との間で情報を読み書きするためのヘッドを位置決めするために使用される情報である。同図に示すように、記憶媒体には、回転中心から半径方向に円弧状に延びる複数のサーボパターンが記録されている。
次に、記憶媒体へのサーボパターンの転写の概要について説明する。図3は、記憶媒体へのサーボパターンの転写の概要を示す図である。同図に示す様に、転写マスタを使用して、記憶媒体にサーボパターンを転写する場合は、記憶媒体の両面にサーボパターンを転写することが一般的である。これは、記憶媒体が、表裏両面に、記憶領域を有するためである。
次に、サーボパターンの詳細について説明する。図4は、図2に示したサーボパターンの拡大図である。同図は、1セクタ内のサーボパターンの半径方向の一部を抽出して拡大表示した図である。サーボパターンは、磁気パターン又は物理的に形成された凹凸パターンである。
次に、記憶媒体のサーボパターンをヘッドで再生したときの信号波形について説明する。図5は、記憶媒体のサーボパターンをヘッドで再生したときの信号波形の一例を示す図である。
次に、図6〜図8を参照して、第一実施形態の一例を説明する。先ず、第一実施形態の一例において、記憶媒体上の異物又は欠陥が問題になる場合について説明する。図6は、第一実施形態の一例において、記憶媒体上の異物又は欠陥が問題になる場合の一例を示す図である。
次に、図9及び図10を参照して、第二実施形態の一例について説明する。先ず、第二実施形態の一例に係るサーボパターン転写装置の構成を説明する。図9は、第二実施形態の一例に係るサーボパターン転写装置の構成を示す機能ブロック図である。なお、第二実施形態の一例の説明では、第一実施形態の一例との差分のみについて説明を行う。
次に、図12〜図14を参照して、第三実施形態の一例について説明する。先ず、第三実施形態の一例に係るサーボパターン転写装置の構成を説明する。図12は、第三実施形態の一例に係るサーボパターン転写装置の構成を示す機能ブロック図である。なお、第三実施形態の一例の説明では、第一実施形態の一例との差分のみについて説明を行う。
次に、図17〜図19を参照して、第四実施形態の一例について説明する。先ず、第四実施形態の一例に係るサーボパターン転写装置の構成を説明する。図17は、第四実施形態の一例に係るサーボパターン転写装置の構成を示す機能ブロック図である。なお、第四実施形態の一例の説明では、第一実施形態の一例との差分のみについて説明を行う。
前記記憶媒体の表面と、前記記憶媒体の表面に接触して、磁気的又は物理的に特定パターンを転写するための転写パターン面を有する転写マスタの前記転写パターン面との接触面における相対位置を調整する相対位置調整部と、
前記記憶媒体表面検査部による検査結果に応じて、前記相対位置の調整値を算出し、前記相対位置調整部に対して、前記調整値に基づいて前記相対位置を調整するよう指示する相対位置調整指示部と
を有することを特徴とするパターン転写装置。
前記相対位置調整指示部は、各前記重畳量に、それぞれ前記外周方向の半径位置に応じた前記加重係数を乗じた総計が最小となるよう前記相対位置の調整値を算出することを特徴とする付記4又は5記載のパターン転写装置。
前記転写マスタ表面検査部によって検出され大きさが特定された前記転写マスタの表面上の異物又は欠陥の位置及び大きさに関する欠陥情報を記憶する転写マスタ欠陥情報記憶部と、
前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの表面上の異物又は欠陥とが重畳するか否かを判定する重畳判定部と
をさらに有し、
前記相対位置調整指示部は、前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの表面上の異物又は欠陥との重畳部分を除いて、前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの転写パターン面との各重畳量の総計が最小となるよう前記相対位置の調整値を算出することを特徴とする付記1、2又は3記載のパターン転写装置。
前記記憶媒体の表面上の異物又は欠陥の位置及び大きさに応じて、前記相対位置の調整値を算出し、前記相対位置調整部に対して、前記調整値に基づいて前記相対位置を調整するよう指示する相対位置調整指示部と
を有することを特徴とするパターン転写装置。
前記記憶媒体の表面と、記憶装置の記憶媒体の表面に接触して、磁気的又は物理的に特定パターンを転写するための転写パターン面を有する転写マスタの転写パターン面との接触面における相対位置を調整する相対位置調整ステップと、
前記記憶媒体表面検査ステップによる検査結果に応じて、前記相対位置の調整値を算出し、前記相対位置調整ステップに対して、前記調整値に基づいて前記相対位置を調整するよう指示する相対位置調整指示ステップと
を含むことを特徴とするパターン転写方法。
101a、101b、101c、101d 表面検査部
102a、102c、102d 記憶媒体回転角度計算部
102b 転写マスタ回転角度計算部
103a、103b、103c、103d 転写マスタ情報記憶部
104a、104b、104c、104d 良品判定部
105a、105c、105d 記憶媒体回転角度調整部
105b 転写マスタ回転角度調整部
106a、106b、106c、106d サーボパターン転写処理部
107c 転写マスタ表面検査部
108c 転写マスタ欠陥情報記憶部
109d 半径位置記憶容量記憶部
Claims (10)
- 記憶媒体の表面上の異物又は欠陥を検出するとともに、前記異物又は欠陥の位置及び大きさを特定する記憶媒体表面検査部と、
前記記憶媒体の表面と、前記記憶媒体の表面に磁気的又は物理的に特定パターンを転写するための転写パターン面を有する転写マスタの前記転写パターン面との接触面における相対位置を調整する相対位置調整部と、
前記記憶媒体表面検査部による検査結果に応じて、前記相対位置の調整値を前記記憶媒体の表面上の異物又は欠陥と、前記転写マスタの特定パターンとの重畳の程度が最小となる様に算出し、前記相対位置調整部に対して、前記算出した調整値に基づいて前記相対位置を調整するよう指示する相対位置調整指示部と、
を有することを特徴とするパターン転写装置。 - 前記相対位置は、前記記憶媒体の表面と、前記転写マスタの転写パターン面とを、それぞれの中心を合わせて接触させた場合に、前記記憶媒体の表面上の異物又は欠陥の位置、合わされた前記中心、及び、前記転写マスタの転写パターン面が有する特定パターンの位置がなす相対角度であることを特徴とする請求項1記載のパターン転写装置。
- 前記相対位置調整指示部は、前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの特定パターンとの各重畳量の総計が最小となるよう前記相対位置の調整値を算出することを特徴とする請求項1又は2記載のパターン転写装置。
- 前記重畳量は、前記記憶媒体の表面上の異物又は欠陥の、前記記憶媒体の中心からの半径位置と、前記異物又は欠陥の、前記記憶媒体の中心からの半径方向の長さとの積であることを特徴とする請求項3記載のパターン転写装置。
- 前記記憶媒体の外周方向の半径位置に応じて加重する加重係数を記憶する加重係数記憶部をさらに有し、
前記相対位置調整指示部は、各前記重畳量に、それぞれ前記外周方向の半径位置に応じた前記加重係数を乗じた総計が最小となるよう前記相対位置の調整値を算出することを特徴とする請求項3又は4記載のパターン転写装置。 - 前記転写マスタの表面上の異物又は欠陥を検出するとともに、前記異物又は欠陥の位置及び大きさを特定する転写マスタ表面検査部と、
前記転写マスタ表面検査部によって検出され大きさが特定された前記転写マスタの表面上の異物又は欠陥の位置及び大きさに関する欠陥情報を記憶する転写マスタ欠陥情報記憶部と、
前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの表面上の異物又は欠陥とが重畳するか否かを判定する重畳判定部と、
をさらに有し、
前記相対位置調整指示部は、前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの表面上の異物又は欠陥との重畳部分を除いて、前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの特定パターンとの各重畳量の総計が最小となるよう前記相対位置の調整値を算出することを特徴とする請求項1、2又は3記載のパターン転写装置。 - 記憶媒体の表面と、前記記憶媒体の表面に磁気的又は物理的に特定パターンを転写するための転写パターン面を有する転写マスタの前記転写パターン面との接触面における相対位置を調整する相対位置調整部と、
前記記憶媒体の表面上の異物又は欠陥の位置及び大きさに応じて、前記相対位置の調整値を前記記憶媒体の表面上の異物又は欠陥と、前記転写マスタの特定パターンとの重畳の程度が最小となる様に算出し、前記相対位置調整部に対して、前記算出した調整値に基づいて前記相対位置を調整するよう指示する相対位置調整指示部と、
を有することを特徴とするパターン転写装置。 - 前記相対位置調整指示部は、前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの特定パターンとの各重畳量の総計が最小となるよう前記相対位置の調整値を算出することを特徴とする請求項7記載のパターン転写装置。
- 記憶媒体の表面上の異物又は欠陥を検出するとともに、前記異物又は欠陥の位置及び大きさを特定する記憶媒体表面検査ステップと、
前記記憶媒体の表面と、記憶装置の記憶媒体の表面に磁気的又は物理的に特定パターンを転写するための転写パターン面を有する転写マスタの転写パターン面との接触面における相対位置を調整する相対位置調整ステップと、
前記記憶媒体表面検査ステップによる検査結果に応じて、前記相対位置の調整値を前記記憶媒体の表面上の異物又は欠陥と、前記転写マスタの特定パターンとの重畳の程度が最小となる様に算出し、前記相対位置調整ステップに対して、前記算出した調整値に基づいて前記相対位置を調整するよう指示する相対位置調整指示ステップと、
を含むことを特徴とするパターン転写方法。 - 前記相対位置調整指示ステップは、前記記憶媒体の表面上の各異物又は欠陥と、前記転写マスタの特定パターンとの各重畳量の総計が最小となるよう前記相対位置の調整値を算出することを特徴とする請求項9記載のパターン転写方法。
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