JP5108365B2 - 加湿ガス供給方法及び装置 - Google Patents
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Description
ln(Vp)=−6097T−1+21.24−2.711×10−2T+1.674×10−5T2+2.434ln(T)・・・(1)
さらに、圧力P(MPa)における飽和水分量Ws(g/m3)は、下記式(2)で近似することができる。
Ws=Vp×1.019×(0.1013/(P+0.1013))×(1/(0.47×(273+T))・・・(2)
一方、使用先に供給する加湿ガスの流量F及び水分量Wから、加湿ガス中に要求される水分量を得るために必要な湿潤ガスの流量Fw(m3/h)は、下記式(3)にて求めることができる。
Fw=F×W/Ws・・・・・(3)
また、湿潤ガスを希釈する乾燥ガスの流量Fo(m3/h)は、下記式(4)にて求めることができる。
Fo=F−Fw・・・(4)
Claims (4)
- 加湿器を有する加湿経路から供給される飽和湿潤ガスと、乾燥ガス経路から供給される乾燥ガスとを混合し、あらかじめ設定された流量で、あらかじめ設定された水分量の加湿ガスを生成して加湿ガス使用先に供給する加湿ガス供給方法において、
前記飽和湿潤ガスの圧力及び温度を測定し、
測定した圧力及び温度に基づいて算出した飽和湿潤ガスの水分量と、前記加湿ガスの水分量及び流量とから、前記飽和湿潤ガスの流量及び前記乾燥ガスの流量をそれぞれ設定する
ことを特徴とする加湿ガス供給方法。 - 測定した圧力及び温度に基づいて、算出した飽和湿潤ガスの水分量をあらかじめ設定されたパラメータで補正することを特徴とする請求項1記載の加湿ガス供給方法。
- 加湿器を有する加湿経路から供給される飽和湿潤ガスと、乾燥ガス経路から供給される乾燥ガスとを混合し、 あらかじめ設定された流量で、あらかじめ設定された水分量の加湿ガスを生成して加湿ガス使用先に供給する加湿ガス供給装置において、
前記乾燥ガス供給経路に設けた乾燥ガス流量調節器と、
前記加湿経路に設けた飽和湿潤ガス流量調節器と、
前記飽和湿潤ガスの圧力及び温度を測定するために前記加湿経路の前記加湿器後段に設けた圧力計及び温度計と、
前記圧力計と温度計で測定した圧力及び温度に基づいて前記飽和湿潤ガスの水分量を算出し、前記加湿ガスの水分量及び流量とから、前記飽和湿潤ガス流量調節器及び前記乾燥ガス流量調節器のガス流量をそれぞれ設定する制御器と
を有していることを特徴とする加湿ガス供給装置。 - 前記制御器は、測定した圧力及び温度に基づいて、算出した飽和湿潤ガスの水分量をあらかじめ設定されたパラメータで補正する機能を備えていることを特徴とする請求項3記載の加湿ガス供給装置。
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