JP5106363B2 - Wafer storage container - Google Patents

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JP5106363B2 JP2008307449A JP2008307449A JP5106363B2 JP 5106363 B2 JP5106363 B2 JP 5106363B2 JP 2008307449 A JP2008307449 A JP 2008307449A JP 2008307449 A JP2008307449 A JP 2008307449A JP 5106363 B2 JP5106363 B2 JP 5106363B2
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

この発明は、半導体ウエハを搬送あるいは保管するために用いられるウエハ収納容器を収納容器載置台に安定して取り付けるための位置決め手段に関する。 The present invention relates to a positioning means for stably attaching a wafer storage container used for transporting or storing a semiconductor wafer to a storage container mounting table.

近年のＬＳＩ（集積回路）の発展はめざましいものがあり、最小線幅４０ｎｍ以下の量産ＬＳＩも登場していて、微細化の限界が近づきつつあるとは言え、「半導体の集積密度は３年で４倍になる」というムーアの法則は今後も持続すると予想されている。これに伴い１つのＬＳＩチップに収納される情報量も大きく伸びて、チップサイズも増大していく傾向が続いている。また、微細化が進むに従いプロセスが複雑化し、ウエハ製造コストの増大も問題になっている。 The development of LSI (integrated circuits) in recent years is remarkable, and mass-produced LSIs with a minimum line width of 40 nm or less have appeared, and the limit of miniaturization is approaching. Moore's Law, which is “fourfold,” is expected to continue. As a result, the amount of information stored in one LSI chip has greatly increased, and the chip size has continued to increase. Further, as the miniaturization progresses, the process becomes complicated, and the increase in wafer manufacturing cost is also a problem.

これらの課題に対応するためウエハの大口径化を行い、１枚のウエハからの取れ個数（ＣＰＷ）を増やすことにより、１チップ当たりのコストの増大を低下または抑制することも検討されてきている。現状の最先端ＬＳＩ工場におけるウエハサイズの主力は３００ｍｍ径であるが、２０１０年代には４５０ｍｍウエハサイズのＬＳＩ量産工場も計画されていて、将来もウエハサイズの大口径化は必然と考えられる。 In order to cope with these problems, it has been studied to reduce or suppress the increase in cost per chip by increasing the diameter of the wafer and increasing the number of pieces taken from one wafer (CPW). . The main wafer size at the current state-of-the-art LSI factory is 300 mm diameter, but a 450 mm wafer size LSI mass production factory is also planned in the 2010s, and it is inevitable that the wafer size will increase in the future.

このウエハサイズの大口径化に従い、ウエハを保管し搬送するウエハ収納ケースも大型化していく。現在の量産レベルで使用している３００ｍｍウエハの場合、ウエハ収納容器からウエハを出し入れするときは、ウエハを水平にして行うことが主流であるから、ウエハをウエハ収納容器に保管したり搬送したりするときにも、ウエハ面を水平にした状態で行う。しかし、３００ｍｍを超えるウエハサイズになって来るとウエハの自重による撓みが大きくなり、現状のウエハ収納容器における収納ウエハピッチである１０ｍｍでは上下にあるウエハが接触する危険性がある。このピッチを増大すれば接触問題については解決するが、ウエハ収納容器がさらに大型化したり、１つのウエハ収納容器あたりのウエハ収納枚数が少なくなったりするという新たな問題が発生する。 As the wafer size increases, the wafer storage case for storing and transporting the wafer also increases in size. In the case of a 300 mm wafer used at the current mass production level, when a wafer is taken in and out of the wafer storage container, the wafer is mainly placed horizontally, so that the wafer is stored or transported in the wafer storage container. In this case, the wafer surface is kept horizontal. However, when the wafer size exceeds 300 mm, the deflection due to the weight of the wafer increases, and there is a risk that the upper and lower wafers come into contact with each other when the wafer pitch is 10 mm in the current wafer storage container. Increasing the pitch solves the contact problem, but causes a new problem that the wafer storage container is further enlarged and the number of wafers stored per wafer storage container is reduced.

こうした問題を防止するために、ウエハを縦置きに保管し、搬送するということも提案されている。これによりウエハの自重によるウエハの撓みが防止できるという利点はあるものの、ウエハを縦置きでウエハ収納容器から出し入れするためには、ウエハ収納容器を載せて固定するウエハ収納容器載置台に正確に（水平方向および高さ方向において）ウエハ収納容器を設置することが要求されている。たとえば、水平方向の位置合わせが少しでも狂うとウエハを立てて取り出すことができなくなるし、高さ方向がバラツクとウエハ収納容器の安定度が悪くなって傾き、ウエハの出し入れ時に破損または損傷する可能性がある In order to prevent such problems, it has also been proposed to store and transport wafers in a vertical position. Although this has the advantage of preventing the wafer from being bent due to its own weight, in order to put the wafer in and out of the wafer storage container in a vertical position, the wafer storage container mounting table on which the wafer storage container is placed and fixed is accurately ( It is required to install a wafer storage container (in the horizontal and height directions). For example, if the alignment in the horizontal direction is slightly out of alignment, the wafer cannot be stood up and taken out, and the height direction may vary and the stability of the wafer storage container may be deteriorated and tilted, causing damage or damage when the wafer is taken in or out. Have sex

図７は従来のウエハ収納容器の外観を示す図である。本発明の説明に必要な部分のみを示す。ウエハ収納容器６０はウエハ収納容器本体６１の開口部に蓋体６２で蓋をしている。ウエハ収納容器６０がウエハ収納容器載置台にセット（設置）され、蓋体６２がウエハ収納容器６０から取り外され、ウエハの出し入れが行われる。ウエハ収納容器載置台にセットされるウエハ収納容器本体６１の１つの側面には、キネマチィックカップリングであるＶ字型の長溝部材６６が３か所に取り付けられている。（特許文献１を参照）一方ウエハ収納容器載置台には円柱形状のキネマティックカップリングピンが取り付けられていて、このキネマチィックカップリングピンが長溝部材６６のＶ字溝にはまり、ウエハ収納容器６０がウエハ収納容器載置台にセットされる。すなわち、従来は、３か所のキネマティックカップリング（Ｖ字型長溝）とウエハ収納容器載置台側からのキネマチィックカップリングピンで位置決めをしている。図７に示すウエハ収納容器６０では、蓋体６２がウエハ収納容器載置台の水平面に対して垂直にセットされ、その後で蓋体６２がウエハ収納容器６０から取り外され、ウエハ収納容器本体６１内部にウエハが出し入れされる。ウエハはウエハ収納容器載置台に対して水平または垂直になり出し入れされる。
特開Ｈ１１−５１３３４７ FIG. 7 is a view showing the appearance of a conventional wafer storage container. Only the portions necessary for explaining the present invention are shown. The wafer storage container 60 covers the opening of the wafer storage container main body 61 with a lid 62. The wafer storage container 60 is set (installed) on the wafer storage container mounting table, the lid 62 is removed from the wafer storage container 60, and the wafer is taken in and out. On one side surface of the wafer storage container body 61 set on the wafer storage container mounting table, V-shaped long groove members 66 that are kinematic couplings are attached at three locations. On the other hand, a cylindrical kinematic coupling pin is attached to the wafer storage container mounting table, and this kinematic coupling pin fits into the V-shaped groove of the long groove member 66, and the wafer storage container 60 is set on the wafer storage container mounting table. That is, conventionally, positioning is performed by three kinematic couplings (V-shaped long grooves) and kinematic coupling pins from the wafer storage container mounting table side. In the wafer storage container 60 shown in FIG. 7, the lid body 62 is set perpendicular to the horizontal surface of the wafer storage container mounting table, and then the lid body 62 is removed from the wafer storage container 60, and inside the wafer storage container body 61. Wafers are taken in and out. The wafer is placed in and out of the wafer storage container mounting table horizontally or vertically.
JP H11-513347

図７に示すようなウエハ収納容器６０のＶ字型長溝６６にウエハ収納容器載置台のキネマティックカップリングピン（以下、ＫＣ−ピン）を合わせる位置合わせ方式は、３００ｍｍウエハ収納容器などの位置決めに用いられている。しかし、このような位置決めタイプは、ＫＣピンをＶ字型長溝に合わせれば良いだけなので位置決めを容易に行うことができるという利点があるが、高さ方向と水平方向の位置合わせについて同じ手段を用いて、高さ方向と水平方向の位置決めを同時に行うために、寸法が安定せず、キネマティックカップリング面の滑り性の問題もあり、正確な位置合わせが難しいという問題がある。 The alignment method for aligning the kinematic coupling pin (hereinafter referred to as KC-pin) of the wafer storage container mounting table with the V-shaped long groove 66 of the wafer storage container 60 as shown in FIG. 7 is for positioning a 300 mm wafer storage container or the like. It is used. However, such a positioning type has an advantage that positioning can be easily performed because it is only necessary to align the KC pin with the V-shaped long groove, but the same means is used for the alignment in the height direction and the horizontal direction. In addition, since the positioning in the height direction and the horizontal direction are performed at the same time, the dimensions are not stable, there is a problem of slipperiness of the kinematic coupling surface, and there is a problem that accurate alignment is difficult.

図８は、図７で示すウエハ収納容器６０のＶ字型長溝６６にウエハ収納容器載置台のキネマティックカップリングピン（以下、ＫＣ−ピン）がはまった状態を模式的に示したものである。この図８に示すように、３か所のＫＣ−ピン７１（７１−１〜３）と３か所のキネマティックカップリング（Ｖ字型長溝）７２（７２−１〜３）との対応位置関係（高さ方向および水平方向）が少しでもずれて、たとえば、ＫＣ−ピン７１−１が対応するＶ字型長溝７２−１にうまくはまりこんでも、ＫＣ−ピン７１−３が、対応するＶ字型長溝７２−３にうまくはまらず、Ｖ字型溝のＶ字斜面にかかってしまうと、高さが調整できず、ウエハ収納容器が傾いてしまう。この結果、ウエハも傾いてしまうので、ウエハ収納容器からウエハを出し入れするときに精度良く取り出せなくなってしまう。特にウエハが縦置き、すなわち、ウエハ収納容器載置台に対してウエハが垂直になっている時にも、ウエハの位置ずれが大きくなりウエハ出し入れ時にウエハに損傷を与える可能性もある。 FIG. 8 schematically shows a state in which a kinematic coupling pin (hereinafter referred to as KC-pin) of the wafer storage container mounting table is fitted in the V-shaped long groove 66 of the wafer storage container 60 shown in FIG. . As shown in FIG. 8, the corresponding positions of the three KC-pins 71 (71-1 to 3) and the three kinematic couplings (V-shaped long grooves) 72 (72-1 to 3). Even if the relationship (height direction and horizontal direction) is slightly shifted, for example, even if the KC-pin 71-1 fits into the corresponding V-shaped long groove 72-1, the KC-pin 71-3 does not correspond to the corresponding V-shape. If it does not fit well in the long mold groove 72-3 and falls on the V-shaped slope of the V-shaped groove, the height cannot be adjusted, and the wafer storage container tilts. As a result, the wafer is also tilted, so that it cannot be taken out with high accuracy when the wafer is taken in and out of the wafer storage container. In particular, even when the wafer is placed vertically, that is, when the wafer is vertical with respect to the wafer storage container mounting table, there is a possibility that the wafer will be misaligned and damaged when the wafer is taken in and out.

さらに、ＫＣ−ピンによって、Ｖ字型長溝のＶ字面が削れ、窪みができたりして、位置決め精度を保証できなくなる。また、３か所のキネマティックカップリング同士の位置が離れているほど、ウエハ収納容器が安定すると考えられるが、一方で３か所のキネマティックカップリング同士の距離が離れるに従って各位置精度を保証することが加工精度上難しくなってくる。この結果、上述したように、３か所のＫＣ−ピンと３か所のキネマティックカップリング（Ｖ字型長溝）との対応位置関係（高さ方向および水平方向）にズレが大きくなってしまい、ウエハ収納容器載置台にセットされたウエハ収納容器が浮き上がったりして、上記問題点がさらに顕在化する。   Further, the V-shaped long groove can be cut and recessed due to the KC-pin, so that the positioning accuracy cannot be guaranteed. In addition, the farther the positions of the three kinematic couplings are, the more stable the wafer storage container is. However, each position accuracy is guaranteed as the distance between the three kinematic couplings increases. It becomes difficult in terms of processing accuracy. As a result, as described above, the deviation in the corresponding positional relationship (height direction and horizontal direction) between the three KC-pins and the three kinematic couplings (V-shaped long grooves) increases. The above-mentioned problem becomes more apparent when the wafer storage container set on the wafer storage container mounting table is lifted.

ウエハが大口径化し、ウエハ収納容器が大きくなると、キネマティックカップリング（Ｖ字型長溝）とＫ−Ｃピンで位置決めを行うことが益々難しくなり、ウエハ収納容器を正確な位置に位置決めすることが不可能になる。ウエハ収納容器はポリカーボネート等の高分子材料のインジェクション成形により製作されるが、不可避的に発生する成形収縮は距離に比例して大きくなる。たとえば、４５０ｍｍ径ウエハ用のウエハ収納容器の位置決めは、３００ｍｍ径ウエハ用のウエハ収納容器の位置決めに比較して約１．５倍の精度が要求される。従って、３００ｍｍ径を超えるサイズのウエハ用のウエハ収納容器においては、従来用いられているキネマティックカップリング（Ｖ字型長溝）とＫ−Ｃピンによる位置決め方式に代わる精度の良い位置決め方式が求められている。   As the wafer diameter increases and the wafer storage container becomes larger, it becomes more difficult to perform positioning with the kinematic coupling (V-shaped long groove) and the K-C pin, and the wafer storage container can be positioned at an accurate position. It becomes impossible. The wafer storage container is manufactured by injection molding of a polymer material such as polycarbonate, but molding shrinkage that inevitably occurs increases in proportion to the distance. For example, the positioning of a wafer storage container for a 450 mm diameter wafer requires about 1.5 times higher accuracy than the positioning of a wafer storage container for a 300 mm diameter wafer. Therefore, in wafer storage containers for wafers having a diameter exceeding 300 mm, a highly accurate positioning method is required in place of the conventional kinematic coupling (V-shaped long groove) and K-C pin positioning method. ing.

本発明は、ウエハ収納容器をウエハ収納容器載置台に精度良く設置するためにウエハ収納容器およびウエハ収納容器載置台に取り付けられた位置決め手段に関する。特に、今後ウエハの大きさが４５０ｍｍ以上に拡大されていく方向にあり、ウエハ収納容器の重量も大きく増大するために、３００ｍｍ以上の大口径ウエハを搭載するウエハ収納容器の装置載置台への設置における位置決めの確実性および迅速な位置決めが要求されているが、本発明はこれらの要求にこたえる位置決め手段を提供するものである。   The present invention relates to a wafer storage container and positioning means attached to the wafer storage container mounting table in order to accurately place the wafer storage container on the wafer storage container mounting table. In particular, since the size of wafers will be expanded to 450 mm or more in the future, and the weight of the wafer storage container will increase greatly, the installation of a wafer storage container mounting a large-diameter wafer of 300 mm or more on the apparatus mounting table However, the present invention provides a positioning means that meets these requirements.

上記の目的を達成するため、本発明は以下のような手段を講じている。
本発明のウエハ収納容器は略六面体の外形を有し、その１つの面にウエハを出し入れする開口部および前記開口部を塞ぐ蓋体を有し、ウエハ収納容器が載置する載置台に、側面によって水平方向の位置決めをする第１水平位置決めピンおよび第２水平位置決めピン、並びに頂部のレベル基準面によって高さ方向のレベルを決める３つ以上のレベルピンを有する。そして、ウエハ収納容器は、前記載置台に載置されるウエハ収納容器下面に、前記第１水平位置決めピンに嵌合する円筒状穴部、前記第２水平位置決めピンが挿入される長穴部、および前記レベルピン各々が当接する前記ウエハ収納容器下面の最下部より上に位置する３つ以上のレベル当接面を有する。 In order to achieve the above object, the present invention takes the following measures.
The wafer storage container of the present invention has a substantially hexahedron outer shape, and has an opening for inserting / removing a wafer on one surface thereof and a lid for closing the opening, and a side surface on the mounting table on which the wafer storage container is mounted. The first horizontal locating pin and the second horizontal locating pin for positioning in the horizontal direction by the above, and three or more level pins for determining the level in the height direction by the top level reference plane. The wafer storage container has a cylindrical hole portion that fits into the first horizontal positioning pin, a long hole portion into which the second horizontal positioning pin is inserted, on the lower surface of the wafer storage container placed on the mounting table. And three or more level contact surfaces positioned above the lowermost portion of the lower surface of the wafer storage container with which each of the level pins contacts.

また、前記レベル当接面は前記ウエハ収納容器下面に設けられた凹部の天井部の平坦面であり、前記凹部の入口および前記レベルピン頂部の端部にテーパーが設けられている。前記レベルピン頂部が前記凹部テーパー部にガイドされて前記レベルピンが前記凹部内側に挿入された段階において、前記第１および第２水平位置決めピンの先端が前記円筒状穴部および長穴部の入口部の高さになるように前記レベルピンテーパー部、前記凹部、前記水平位置決めピン、前記円筒状穴部、および前記長穴部の高さが設定されている。さらに、前記第１水平位置決めピンおよび／または前記第２水平位置決めピンの頂部の平面によっても高さ方向のレベルを決めることもできる。或いは、前記円筒状穴部および／または前記長穴部を前記ウエハ収納容器開口部付近に設けることもでき、或いは、前記ウエハ収納容器開口面左右の中央線上に前記円筒状穴部および／または前記長穴部を設けることもでき、或いは、前記円筒状穴部と前記長穴部を収納容器開口面左右の対称位置に配置することもできる。 Further, the level contact surface is a flat surface of a ceiling portion of a recess provided on the lower surface of the wafer storage container, and a taper is provided at an entrance of the recess and an end of the top of the level pin. At the stage where the top of the level pin is guided by the tapered portion of the recess and the level pin is inserted inside the recess, the tips of the first and second horizontal positioning pins are the entrances of the cylindrical hole and the long hole. The heights of the level pin taper part, the concave part, the horizontal positioning pin, the cylindrical hole part, and the long hole part are set so as to be the height of the part. Furthermore, the level in the height direction can also be determined by the plane of the top of the first horizontal positioning pin and / or the second horizontal positioning pin. Alternatively, the cylindrical hole and / or the elongated hole can be provided in the vicinity of the opening of the wafer storage container, or the cylindrical hole and / or the center hole on the left and right center lines of the wafer storage container opening surface. A long hole portion can be provided, or the cylindrical hole portion and the long hole portion can be arranged at symmetrical positions on the left and right sides of the storage container opening surface.

本発明の位置決め手段を取り付けたウエハ収納容器を用いることにより、ウエハ収納容器を設置する装置側の収納容器載置台へ精度良くウエハ収納容器を設置し確実に所望の場所に設置できる。位置合わせ精度が良くなり、繰り返し設置位置の再現性が上がり、ウエハ収納容器が浮き上がったり傾いたりすることがなくなる。本発明の位置決め手段は構造が単純であり作製や取り付けが簡単である。また、円筒状穴部と長穴部における内面筒面を位置決めに使用するため、摩耗が殆どなく、繰り返し使用の耐久性に優れている。特に、載置台とウエハ容器の最下部で高さ方向の位置決めをする場合、ウエハ容器の最下部の損傷により、レベル出しが不正確になるおそれがあるが、レベル当接面は、ウエハ容器の最下部がより高い位置に配置されるので、通常の使用において最下部が損傷を受けてもレベル当接面が損傷を受けることはなく、正確なレベル出しが可能になる。さらに、レベルピンと高さ方向位置決め凹部を用いて水平方向の粗い位置決めを行うことができるので、位置決めがスムーズにしかも確実に精度良く行うことができる。また、水平方向位置決め手段と高さ方向位置決め手段を兼用できるので、ピン数を減らすことができその構造も簡単になる。 By using the wafer storage container to which the positioning means of the present invention is attached, the wafer storage container can be accurately installed on the storage container mounting table on the apparatus side where the wafer storage container is installed and can be reliably installed at a desired location. The alignment accuracy is improved, the reproducibility of the repeated installation position is increased, and the wafer storage container is not lifted or tilted. The positioning means of the present invention has a simple structure and is easy to manufacture and attach. Further, since the inner cylindrical surface of the cylindrical hole and the long hole is used for positioning, there is almost no wear and excellent durability for repeated use. In particular, when positioning in the height direction at the bottom of the mounting table and the wafer container, the leveling may be inaccurate due to damage at the bottom of the wafer container. Since the lowermost portion is arranged at a higher position, even if the lowermost portion is damaged in normal use, the level contact surface is not damaged, and accurate leveling can be performed. Furthermore, since the horizontal positioning can be performed using the level pin and the positioning recess in the height direction, the positioning can be performed smoothly and reliably with high accuracy. Further, since the horizontal direction positioning means and the height direction positioning means can be used together, the number of pins can be reduced and the structure thereof is simplified.

図１は、本発明における収納容器の１つの面に取り付けられた位置合わせ手段と、載置台に取り付けられた位置合わせ手段との関係について説明する図である。ウエハ収納容器１は、略六面体の外形を有し、その１つの面であるウエハ収納容器本体２の開口部を蓋体３で蓋をしている。蓋体３はその内側にウエハ押さえ用のリテーナを有している。また、ウエハ収納容器本体２内部にはウエハ支持部材（溝板）を有していて、ウエハ収納容器本体２内においてウエハを支持している。ウエハ支持部材はウエハ収納容器本体２と一体となっている場合もあれば、別部材としてウエハ収納容器本体２内にセットされる場合もある。図１において、ウエハ収納容器本体２の１つの側面がプロセス装置等における（ウエハ収納容器）載置台の水平面に対面して設置されるが、この側面７に載置台との位置合わせ手段４、５、および６が取り付けられている。これらの側面に取り付けられた位置合わせ手段４、５、および６とそれぞれ対応した位置合わせ手段１２、１３、および１４が載置台にも取り付けられていて、これらが適合して、載置台の所望の位置にウエハ収納容器１が設置される。 FIG. 1 is a diagram for explaining the relationship between positioning means attached to one surface of a storage container and positioning means attached to a mounting table in the present invention. The wafer storage container 1 has a substantially hexahedron outer shape, and the opening of the wafer storage container main body 2 that is one surface thereof is covered with a lid 3. The lid 3 has a retainer for holding the wafer inside. Further, a wafer support member (groove plate) is provided inside the wafer storage container main body 2, and the wafer is supported in the wafer storage container main body 2. The wafer support member may be integrated with the wafer storage container body 2 or may be set in the wafer storage container body 2 as a separate member. In FIG. 1, one side surface of the wafer storage container main body 2 is installed so as to face the horizontal surface of the (wafer storage container) mounting table in the process apparatus or the like. , And 6 are attached. Alignment means 12, 13, and 14 corresponding to the alignment means 4, 5, and 6 respectively attached to these side surfaces are also attached to the mounting table, and these are adapted to match the desired mounting table. The wafer storage container 1 is installed at the position.

位置合わせ手段４および５は、載置台の水平面との水平方向位置合わせ手段であり、ウエハ収納容器の水平方向位置を決定する。位置合わせ手段６は、載置台の水平面と垂直方向、すなわち高さ方向の位置合わせ手段であり、ウエハ収納容器の高さを決定する。図１においては、水平方向位置合わせ手段４および５は、高さ方向位置合わせ手段と異なる位置に存在する。すなわち、高さ方向の位置合わせと水平方向（ｘ−ｙ方向）の位置合わせを別個に行う。しかし、後述するように水平方向位置決め手段を高さ方向位置決め手段と兼用しても良い。高さ方向位置合わせ手段は３つ以上取り付けられる。２つ以下では高さ方向を安定して合わせこむことができないので、３つ以上必要となる。（ただし、高さを決定する部分の面積はそれ程広くないものとする。）図１においては、高さ方向位置合わせ手段は４か所（１４−１〜４）に取り付けられている。また、水平方向位置合わせ手段は４および５の２か所に取り付けられている。 The alignment means 4 and 5 are horizontal alignment means with the horizontal surface of the mounting table, and determine the horizontal position of the wafer storage container. The alignment means 6 is an alignment means perpendicular to the horizontal surface of the mounting table, that is, in the height direction, and determines the height of the wafer storage container. In FIG. 1, the horizontal direction alignment means 4 and 5 exist in a position different from the height direction alignment means. That is, alignment in the height direction and alignment in the horizontal direction (xy direction) are performed separately. However, as will be described later, the horizontal direction positioning means may also be used as the height direction positioning means. Three or more height direction alignment means are attached. Since it is impossible to stably adjust the height direction with two or less, three or more are necessary. (However, the area of the portion that determines the height is not so large.) In FIG. 1, the height direction alignment means is attached at four locations (14-1 to 4). Also, the horizontal alignment means are attached at two locations 4 and 5.

本発明において、ウエハ収納容器に取り付けられる水平方向位置合わせ手段の一つである４は、凹部形状で円筒形状の穴になっている（円筒状穴部）。これに対応する載置台の位置合わせ手段１２は、円柱状のピン（第１水平位置決めピン）となっていて、円筒状穴部４に嵌合する。すなわち、円筒状穴部４の内径は第１水平位置決めピン１２の直径とほぼ等しい。実際には、第１水平位置決めピン１２が円筒状穴部４にピッタリ嵌るようになっているので、第１水平位置決めピン１２の直径は円筒状穴部４の内径よりわずかに小さい。また、円筒状穴部４および第１水平位置決めピンの（断面形状の）円形は水平面位置を決定するので、精度良く、できるだけ円形に近い方が良い。円柱状ピン１２が円筒状穴部４に嵌合すると、他のピン１３や１４がなければ、ウエハ収納容器１は水平方向に回転する。すなわち、第１水平位置決めピンの側面によって、水平方向の位置決めを決定している。 In the present invention, 4 which is one of the horizontal alignment means attached to the wafer storage container is a concave hole and a cylindrical hole (cylindrical hole). The corresponding positioning means 12 of the mounting table is a cylindrical pin (first horizontal positioning pin) and is fitted in the cylindrical hole 4. That is, the inner diameter of the cylindrical hole 4 is substantially equal to the diameter of the first horizontal positioning pin 12. Actually, since the first horizontal positioning pin 12 is fitted into the cylindrical hole 4, the diameter of the first horizontal positioning pin 12 is slightly smaller than the inner diameter of the cylindrical hole 4. Moreover, since the circular shape (cross-sectional shape) of the cylindrical hole part 4 and the 1st horizontal locating pin determines a horizontal surface position, it is better to be as close to a circle as possible with high accuracy. When the columnar pin 12 is fitted into the cylindrical hole 4, the wafer storage container 1 rotates in the horizontal direction without the other pins 13 and 14. That is, the horizontal positioning is determined by the side surface of the first horizontal positioning pin.

もう１つの水平方向位置決め手段である５も凹部形状で長穴溝である（長穴部）。ここで述べる「長穴」とは、この開口部を形成する周縁部分において互いに平行な直線部を開口長さＬ方向に有する開口部をいう。（図９参照）すなわち、この直線部（平行部）間距離が、短径（一方の径）の長さと等しくなる。これらの直線部の端部間を結ぶ周縁部分は、直線であってもよく、曲線（例えば円弧状）であっても良い。この長穴部５に、載置台１１に取り付けられた第２水平位置決めピン１３が挿入される。すなわち、第２水平位置決めピン１３が挿入される長穴部５は、一方向に略平行な面を有し、その方向には第２水平位置決めピン１３と相対位置を変える事ができ、その直角方向には第２水平位置決めピン１３との相対位置は規制される。第２水平位置決めピン１３の形状は、円柱形、四角柱、或いは平行側面を有する柱状である。或いは、長穴形状と同一形状でも良い場合もある。好適には円柱形であり、その場合、長穴部５の平行部の距離は円柱形ピンの直径とほぼ等しくピッタリ適合できるようになっている。（実際には、第２水平位置決めピン１３が長穴部５の平行部にピッタリ嵌るようになっているので、第２水平位置決めピン１３の直径は長穴部５の平行部の距離よりわずかに小さい。）すなわち、第２水平ピンの側面によって、水平方向の位置決めが決定されている。長穴部５と第２水平位置決めピン１３の適合は、円形凹部４および第１水平位置決めピン１２の嵌合による水平方向の回転を規制するので、ウエハ収納容器１は載置台１０の水平面１１における水平方向に精度良く確実に固定される。 Another horizontal positioning means 5 is also a concave hole shape and a long hole groove (long hole part). The “elongate hole” described here refers to an opening having linear portions parallel to each other in the opening length L direction at the peripheral portion forming the opening. (See FIG. 9) That is, the distance between the straight portions (parallel portions) is equal to the length of the short diameter (one diameter). The peripheral edge portion connecting the end portions of these linear portions may be a straight line or a curved line (for example, an arc shape). A second horizontal positioning pin 13 attached to the mounting table 11 is inserted into the long hole portion 5. That is, the long hole portion 5 into which the second horizontal positioning pin 13 is inserted has a surface substantially parallel to one direction, and the relative position to the second horizontal positioning pin 13 can be changed in that direction. The relative position with respect to the second horizontal positioning pin 13 is restricted in the direction. The shape of the second horizontal positioning pin 13 is a columnar shape, a quadrangular column, or a columnar shape having parallel side surfaces. Alternatively, it may be the same shape as the long hole shape. The distance between the parallel portions of the long hole portion 5 is preferably substantially equal to the diameter of the cylindrical pin so that it can be fit perfectly. (In actuality, since the second horizontal positioning pin 13 fits in the parallel portion of the elongated hole portion 5, the diameter of the second horizontal positioning pin 13 is slightly smaller than the distance of the parallel portion of the elongated hole portion 5. That is, the horizontal positioning is determined by the side surface of the second horizontal pin. The conformity between the long hole portion 5 and the second horizontal positioning pin 13 restricts horizontal rotation due to the fitting of the circular recess 4 and the first horizontal positioning pin 12, so that the wafer storage container 1 is placed on the horizontal surface 11 of the mounting table 10. It is fixed accurately and accurately in the horizontal direction.

円筒状穴部４の中心と長穴部５の中心を結ぶ直線は、長穴部５の平行部の端面と平行であるときが、ウエハ収納容器１は最も水平方向に精度良く確実に規制される。図９はこのような場合の円筒状穴部４と長穴部５の位置関係について説明する図である。長穴部５の中心とは、長手方向の中心軸ｍと短辺（径）側中心軸ｎとの交点Ｐを言う。２つの短径側円弧（または曲線や直線）は必ずしも対称でなくとも良いので、短径の長さが異なることがあるが、その場合は平行部（端面１６（１６−１）と１６（１６−２）で規定される）の矩形形状の中心または対角線の交点と考えても良い。「円筒状穴部４の中心と長穴部５の中心を結ぶ直線は、長穴部５の平行部の端面と平行であるとき」とは、「円筒状穴部４の中心ＯとＰを結ぶ直線ｍが１６−１および１６−２に平行であるとき」である。すなわち、このときは、中心軸ｍの方向は長穴部５における平行部の端面方向Ｌである。 When the straight line connecting the center of the cylindrical hole portion 4 and the center of the elongated hole portion 5 is parallel to the end face of the parallel portion of the elongated hole portion 5, the wafer storage container 1 is reliably regulated in the most horizontal direction with high accuracy. The FIG. 9 is a diagram for explaining the positional relationship between the cylindrical hole portion 4 and the elongated hole portion 5 in such a case. The center of the long hole portion 5 refers to the intersection P between the central axis m in the longitudinal direction and the central axis n on the short side (diameter) side. The two minor arcs (or curves or straight lines) do not necessarily have to be symmetrical, and the minor axis length may be different. In this case, the parallel portions (end faces 16 (16-1) and 16 (16 -2) may be considered as the intersection of the center of the rectangular shape or the diagonal line. “When the straight line connecting the center of the cylindrical hole portion 4 and the center of the elongated hole portion 5 is parallel to the end face of the parallel portion of the elongated hole portion 5” means that “the centers O and P of the cylindrical hole portion 4 are When the connecting straight line m is parallel to 16-1 and 16-2 ". That is, at this time, the direction of the central axis m is the end face direction L of the parallel part in the long hole part 5.

第２水平位置決めピン１３として円柱状ピンが長穴部５に挿入されているとき、長穴部５の長手方向（ｍ方向）には移動するが、ｍと直角方向のｎ方向には殆ど移動できない。円柱状ピン１３の径と長穴部５の短径（すなわち、平行部の距離（１６−１と１６−２の距離））とはほぼ等しいので、それらのクリアランス程度の移動があるだけである。しかし、ｍ方向に関しても、円筒状穴部４に第２水平位置決めピン１２として円柱状ピンが嵌合しているときは、殆ど移動できず、それらのクリアランス程度の移動があるだけである。従って、これら２つの位置決め手段によって、水平方向は確実に固定できる。 When a cylindrical pin is inserted as the second horizontal positioning pin 13 into the elongated hole portion 5, it moves in the longitudinal direction (m direction) of the elongated hole portion 5, but almost moves in the n direction perpendicular to m. Can not. Since the diameter of the cylindrical pin 13 and the short diameter of the long hole portion 5 (that is, the distance between the parallel portions (distance between 16-1 and 16-2)) are almost equal, there is only a movement of their clearance degree. . However, also in the m direction, when a cylindrical pin is fitted as the second horizontal positioning pin 12 in the cylindrical hole portion 4, it can hardly move, and there is only a movement corresponding to the clearance. Therefore, the horizontal direction can be reliably fixed by these two positioning means.

ｍ軸と平行部１６との平行度が悪くなるに従い、（平行部１６の方向がｍ軸と傾き、ｍ軸とＬ方向との角度が大きくなるに従い、）水平方向の移動も大きくなるので、ｍ軸と平行部１６が平行になるときが最も移動量が小さいことが分かる。円筒状穴部４と長穴部５が離れても、ｍ軸と平行部１６が平行になっていれば、水平方向の移動量は変わらないので、従来の方式に比べて、位置決め手段５の取り付け場所の自由度が大きいという利点もある。逆に言えば、位置決め手段５がウエハ収納容器１の側面７の周縁にあって、円筒状穴部４より離れていても、水平方向の位置合わせが精度良く確実に固定できる。尚、ｍ軸と平行部１６との平行度（ｍ軸とＬ方向との角度）は、レイアウト上の都合から、少しずれる場合もあるが、１０度程度は許容される。 As the parallelism between the m-axis and the parallel part 16 becomes worse, the horizontal movement becomes larger (as the direction of the parallel part 16 is inclined with respect to the m-axis and the angle between the m-axis and the L-direction becomes larger). It can be seen that the amount of movement is the smallest when the m-axis and the parallel part 16 are parallel. Even if the cylindrical hole portion 4 and the long hole portion 5 are separated from each other, if the m-axis and the parallel portion 16 are parallel, the amount of movement in the horizontal direction does not change. There is also an advantage that the degree of freedom of the mounting location is large. In other words, even if the positioning means 5 is on the peripheral edge of the side surface 7 of the wafer storage container 1 and away from the cylindrical hole portion 4, the horizontal alignment can be fixed accurately and reliably. Note that the parallelism between the m-axis and the parallel portion 16 (angle between the m-axis and the L direction) may be slightly deviated from the convenience of layout, but about 10 degrees is allowed.

図１に示すように、ウエハ収納容器１側の高さ方向の位置決め手段６も凹部（「高さ方向位置決め凹部」とも記載）であり、好適には円筒形状溝穴で、載置台１０の高さ方向の位置決め手段であるレベルピン１４（高さ方向の位置（レベル）を決めるという意味で、「レベルピン」と呼ぶ）が高さ方向位置決め凹部６に入り、ウエハ収納容器１の高さを規定する。すなわち、高さ方向位置決め凹部６の天井部の平坦領域であるレベル当接面にレベルピン１４の上端（頂部）の平坦面（レベル基準面）が当接して高さ方向位置決めが行われる。 As shown in FIG. 1, the positioning means 6 in the height direction on the wafer storage container 1 side is also a recess (also referred to as “height direction positioning recess”), and preferably a cylindrical slot, and the height of the mounting table 10. Level pins 14 (referred to as “level pins” in the sense of determining the height direction position (level)) enter the height direction positioning recess 6 to determine the height of the wafer storage container 1. Stipulate. In other words, the flat surface (level reference surface) at the upper end (top) of the level pin 14 comes into contact with the level contact surface, which is a flat region of the ceiling portion of the height direction positioning recess 6, and positioning in the height direction is performed.

レベルピン１４の形状は、たとえば円柱状であり、先端部（頂部）は略円弧状、球状または平坦状になっている。高さ方向位置決め凹部６の内側底面部（天井部）を摩耗させない（通常、載置台１０側の位置決めピン１４等は硬質の金属製であるが、ウエハ収納容器１側の凹部６等は高分子製であるから、ウエハ収納容器１の凹部６等がより摩耗しやすい）ために、平坦状が望ましい（平坦状の場合が単位面積当たりの負荷が最も小さい）が、ウエハ収納容器１を繰り返し用いなければ、平坦状でなくても良い。従ってレベル基準面は通常平坦面であるが、線や点である場合もある。高さ方向位置決め凹部６の内部空間（穴部）は、通常、レベルピン１４よりも大きい。たとえば、レベルピン１４が円柱状で、高さ方向位置決め凹部６も円筒状穴の場合、凹部６の穴径は、これに入るレベルピン１４の直径より大きくなっている。従って、水平方向の位置が多少ずれてもレベルピン１４は高さ方向位置決め凹部６に容易に入り込むことができる。後述するように、高さ方向位置決め凹部６の入口部がテーパー（斜面）になっている場合には、水平方向の位置がずれてレベルピン１４の先端が接触しても、このテーパーでガイドされてスムーズにレベルピン１４が高さ方向位置決め凹部６の内側空間（穴部）に入る。 The shape of the level pin 14 is, for example, a columnar shape, and the tip (top) is substantially arc-shaped, spherical or flat. The inner bottom surface (ceiling) of the height direction positioning recess 6 is not worn (normally, the positioning pins 14 on the mounting table 10 side are made of hard metal, but the recess 6 on the wafer storage container 1 side is made of a polymer. Since the product is manufactured, the concave portion 6 of the wafer storage container 1 is more likely to be worn), so that a flat shape is desirable (the flat shape has the smallest load per unit area), but the wafer storage container 1 is repeatedly used. If not, it may not be flat. Therefore, the level reference surface is usually a flat surface, but may be a line or a point. The internal space (hole) of the height direction positioning recess 6 is usually larger than the level pin 14. For example, when the level pin 14 is cylindrical and the height direction positioning recess 6 is also a cylindrical hole, the hole diameter of the recess 6 is larger than the diameter of the level pin 14 that enters the level pin 14. Accordingly, the level pin 14 can easily enter the height direction positioning recess 6 even if the horizontal position is slightly shifted. As will be described later, when the entrance portion of the height direction positioning recess 6 has a taper (slope), even if the horizontal position is shifted and the tip of the level pin 14 contacts, the taper is guided by this taper. The level pin 14 smoothly enters the inner space (hole) of the height direction positioning recess 6.

図１においては、４つ（またはウエハ収納容器１側と載置台１０側との組み合わせで言えば４組）の高さ方向位置決め手段（６−１〜４および１４−１〜４）を記載しているが、上述したように３つの高さ方向位置決め手段であっても良い。ただし、その場合、高さのバランスを保つには、３つの高さ方向位置決め手段で構成される三角形の内部に、ウエハ収納容器１の重心から下ろした鉛直軸とウエハ収納容器下面７との交点が存在することが必要である。（ここで、ウエハ収納容器下面とは、ウエハ収納容器１を載置台１０に置いた時に載置台１０の水平面（載置台上面）１１に面したウエハ収納容器１の面である。従って、ウエハ収納容器１の下面に位置決め手段が取り付けられる。）特にこの交点が三角形の重心と一致するときが最も安定性が良い。高さ方向位置決め手段が４つの場合にも、高さのバランスを保つには、それらで構成される四角形の内部に、ウエハ収納容器１の重心から下ろした鉛直軸とウエハ収納容器下面７との交点が入っていることが必要である。特にこの交点が四角形の重心と一致するときが最も安定性が良い。 In FIG. 1, four (or four sets in terms of the combination of the wafer storage container 1 side and the mounting table 10 side) height direction positioning means (6-1 to 4 and 14-1 to 4) are shown. However, as described above, there may be three height direction positioning means. However, in that case, in order to maintain the balance of height, the intersection of the vertical axis lowered from the center of gravity of the wafer storage container 1 and the lower surface 7 of the wafer storage container is placed inside the triangle formed by the three height direction positioning means. Must exist. (Here, the lower surface of the wafer storage container is the surface of the wafer storage container 1 facing the horizontal surface (upper surface of the mounting table) 11 of the mounting table 10 when the wafer storing container 1 is placed on the mounting table 10. Accordingly, the wafer storage Positioning means is attached to the lower surface of the container 1.) The stability is particularly good when this intersection coincides with the center of gravity of the triangle. Even when there are four height direction positioning means, in order to maintain the balance of height, the vertical axis lowered from the center of gravity of the wafer storage container 1 and the lower surface 7 of the wafer storage container are placed inside the quadrangle formed by them. It is necessary to have an intersection. In particular, the stability is best when the intersection point coincides with the center of gravity of the quadrangle.

尚、ウエハ収納容器側の高さ方向位置決め凹部６は円筒形状でなくても良く、その断面穴形状が矩形や多角形、楕円形状などでも良い。また、入口部が広く天井部が狭くなっていても良い。さらに、高さ方向位置決め凹部６の天井部は周囲が側面で完全に囲まれていなくても良い。たとえば、高さ方向位置決め凹部６の天井部を囲む壁面の一部を除去しても良い。 The height positioning recess 6 on the wafer storage container side may not be cylindrical, and the cross-sectional hole shape may be rectangular, polygonal, elliptical or the like. Moreover, the entrance part may be wide and the ceiling part may be narrow. Further, the ceiling portion of the height direction positioning recess 6 may not be completely surrounded by the side surface. For example, you may remove a part of wall surface surrounding the ceiling part of the height direction positioning recessed part 6. FIG.

載置台１０側のレベルピン１４も円柱状である必要はなく、断面が矩形や多角形、楕円形などでも良い。また先端部が狭く底部が広い台形状であっても良い。必要なことは、レベルピン１４がウエハ収納容器１側の高さ方向位置決め凹部６にスムーズに入り込み、レベルピン１４のレベル基準面が凹部６の当接面に当接すれば良い。 The level pin 14 on the mounting table 10 side does not need to be cylindrical, and the cross section may be rectangular, polygonal, elliptical, or the like. Further, it may be trapezoidal with a narrow tip and a wide bottom. What is necessary is that the level pin 14 smoothly enters the height positioning recess 6 on the wafer storage container 1 side, and the level reference surface of the level pin 14 contacts the contact surface of the recess 6.

図１において両矢印破線で示すように、ウエハ収納容器１の側面７に取り付けられた円筒状穴部４、長穴部５および高さ方向位置決め凹部６（６−１〜４）がそれらに対応する載置台１０の水平面１１に取り付けられた水平（方向）位置決めピン１２、１３およびレベルピン１４（１４−１〜４）と適合する。また、第１水平位置決めピン１２、第２水平位置決めピン１３およびレベルピン１４のピンは、ウエハ収納容器の接触部を損傷しないこと、或いは、後述するように所定の穴部にスムーズに挿入することなどのために、それらの角を落とすか、或いはテーパーをつけている。 1, the cylindrical hole 4, the long hole 5 and the height direction positioning recess 6 (6-1 to 4) attached to the side surface 7 of the wafer storage container 1 correspond to them. The horizontal (directional) positioning pins 12 and 13 and the level pins 14 (14-1 to 14) attached to the horizontal surface 11 of the mounting table 10 to be mounted are adapted. Further, the pins of the first horizontal positioning pin 12, the second horizontal positioning pin 13, and the level pin 14 do not damage the contact portion of the wafer storage container, or can be smoothly inserted into a predetermined hole as will be described later. For example, the corners are dropped or tapered.

図２は、載置台１０の水平面１１にウエハ収納容器本体２が設置された状態を示す。蓋体３は取り外して収納容器の内部が見えるようになっている。ウエハ収納容器本体２は載置台１０に完全に接している分ではなく、通常は少し浮いた状態になっている。これは、ウエハ収納容器の側面がかならずしも平坦ではない（位置決め手段が突状に付いている場合もある）こと、蓋体３の取り外しを容易にすること、ハンドリング用治具やウエハを操作しやすくすることなどのためである。浮いたときの高さは、高さ方向位置決め手段によって決定される。ウエハ２３は、ウエハ収納容器本体２に収納されているが、図２においては、垂直に収納されている。高さ方向の位置決めが不十分であると、この垂直になったウエハ２３は位置ずれする可能性がある。ウエハ収納容器本体２に収納されたウエハ２３を取り出すために、ハンドリング用のフォークが収納されたウエハ同士の間に入ってウエハを吸着して取り出す。水平方向の位置決めが不十分であるとフォークがウエハに接触してウエハを破損する可能性があるが、本発明を用いることにより、このようなことは発生しない。当然、ウエハがウエハ収納容器本体２に水平に入っているときも同様のことが言える。 FIG. 2 shows a state where the wafer storage container main body 2 is installed on the horizontal surface 11 of the mounting table 10. The lid 3 is removed so that the inside of the storage container can be seen. The wafer container main body 2 is not completely in contact with the mounting table 10 but is usually in a slightly floating state. This is because the side surface of the wafer storage container is not necessarily flat (positioning means may be provided in a projecting manner), the lid 3 can be easily removed, the handling jig and the wafer can be easily operated. It is for doing. The height when it floats is determined by the height direction positioning means. The wafer 23 is stored in the wafer storage container body 2, but is stored vertically in FIG. If the positioning in the height direction is insufficient, the vertical wafer 23 may be displaced. In order to take out the wafer 23 stored in the wafer storage container main body 2, the wafer is placed between the wafers in which handling forks are stored, and the wafer is adsorbed and taken out. If the horizontal positioning is insufficient, the fork may come into contact with the wafer and break the wafer, but this does not occur by using the present invention. Of course, the same can be said when the wafer is horizontally placed in the wafer storage container body 2.

尚、図２に示されるように、位置決め手段が取り付けられたウエハ収納容器本体２の１つの側面７の反対側における側面２１に、トップフランジ２２が取り付けられていて、このトップフランジ２２を用いて、ウエハ収納容器１またはウエハ収納容器本体２を搬送し、ハンドリングできる。 As shown in FIG. 2, a top flange 22 is attached to a side surface 21 on the opposite side of the one side surface 7 of the wafer storage container body 2 to which the positioning means is attached, and this top flange 22 is used. The wafer storage container 1 or the wafer storage container main body 2 can be transported and handled.

図３はウエハ収納容器１が載置台１０に設置されたときの底面図、立面図および側面図である。図３（ａ）は、載置台１０の水平面１１から（下方から）見たウエハ収納容器１の底面図であり、図３（ｂ）は、ウエハ収納容器１が載置台１０に設置されたときの、レベルピン１４とそのピンが当接する高さ方向位置決め凹部６、第１水平位置決め用円柱状ピン１２とそのピンが嵌合する円筒状穴部４、第２水平位置決め用円柱状ピン１３とそのピンが挿入される長穴部５を横方向から透視して見た立面図（一部のみ示す）である。図３においては、レベルピン１４は４つ（１４−１〜４）配置されている。レベルピン１４に対応して高さ方向位置決め凹部６も４つ（６−１〜４）配置されている。レベルピン１４は高さ方向位置決め凹部６の天井部の平坦領域（レベル当接面）と当接し、高さ方向位置を決定している。レベルピン１４は、水平方向に関しては高さ方向位置決め凹部６との間に隙間（空間）があり余裕がある。 FIG. 3 is a bottom view, an elevation view, and a side view when the wafer storage container 1 is installed on the mounting table 10. 3A is a bottom view of the wafer storage container 1 as viewed from the horizontal surface 11 of the mounting table 10 (from below), and FIG. 3B is a view when the wafer storage container 1 is installed on the mounting table 10. Of the level pin 14 and the height direction positioning recess 6 with which the pin abuts, the first horizontal positioning columnar pin 12 and the cylindrical hole portion 4 with which the pin is fitted, the second horizontal positioning columnar pin 13, It is the elevation (only a part is shown) which looked at the long hole part 5 in which the pin is inserted seeing through from the horizontal direction. In FIG. 3, four (14-1 to 14) level pins 14 are arranged. Corresponding to the level pin 14, four (6-1 to 4) height positioning recesses 6 are also arranged. The level pin 14 is in contact with the flat region (level contact surface) of the ceiling portion of the height direction positioning recess 6 to determine the height direction position. In the horizontal direction, the level pin 14 has a clearance (space) between the height direction positioning recess 6 and a margin.

従って、レベルピン１４が当接する高さ方向位置決め凹部６の天井部の平坦領域（レベル当接面）は水平方向の位置合わせで必要な領域よりも広い。すなわち、レベル当接面は対応するレベル基準面の面積および水平方向の位置合わせ余裕面積を合わせた領域よりも広い面積を持ち、多少のずれがあっても高さレベルが保持される。そうでなければ、高さ方向位置が変わってしまう恐れがある。第１水平位置決め用円柱状ピン１２とそのピンが嵌合する円筒状穴部４および第２水平位置決め用円柱状ピン１３とそのピンが挿入する長穴部５に関しては、重なって示されているが、この方向から見た図では同じ状態となる。図３（ｂ）における左右方向に関しては、第１水平位置決め用円柱状ピン１２も第２水平位置決め用円柱状ピン１３もそれぞれ円筒状穴部４および長穴部５にぴったり適合しており、ウエハ収納容器１は動かない。すなわち、これらの水平位置決めピンの側面およびこれらの穴部の内側面によって水平方向の位置合わせが行われている。また、第１水平位置決め用円柱状ピン１２も第２水平位置決め用円柱状ピン１３の上端（頂部）はウエハ収納容器下面とは接触していないので、第１水平位置決め用円柱状ピン１２および第２水平位置決め用円柱状ピン１３によって高さ方向位置決めは行われない。 Therefore, the flat region (level contact surface) of the ceiling portion of the height direction positioning recess 6 with which the level pin 14 contacts is wider than the region necessary for horizontal alignment. That is, the level contact surface has an area larger than the area obtained by combining the area of the corresponding level reference surface and the horizontal alignment margin area, and the height level is maintained even if there is a slight deviation. Otherwise, the height direction position may change. The first horizontal positioning columnar pin 12 and the cylindrical hole portion 4 into which the pin is fitted, and the second horizontal positioning columnar pin 13 and the long hole portion 5 into which the pin is inserted are shown overlapping. However, in the view seen from this direction, the same state is obtained. 3B, the first horizontal positioning columnar pin 12 and the second horizontal positioning columnar pin 13 are closely fitted to the cylindrical hole portion 4 and the long hole portion 5 respectively, and the wafer. The storage container 1 does not move. That is, horizontal alignment is performed by the side surfaces of these horizontal positioning pins and the inner side surfaces of these holes. In addition, since the first horizontal positioning columnar pin 12 is not in contact with the lower surface of the wafer storage container, the upper end (top) of the second horizontal positioning columnar pin 13 is not in contact with the first horizontal positioning columnar pin 12 and the second horizontal positioning columnar pin 12. The height direction positioning is not performed by the horizontal horizontal cylindrical pin 13.

図３（ｃ）は図３（ｂ）の方向と直角の横方向から見た側面図である。第１水平位置決め用円柱状ピン１２とそのピンが嵌合する円筒状穴部４の状態は図３（ｂ）の図と同じであるが、第２水平位置決め用円柱状ピン１３とそのピンが挿入する長穴部５の状態に関しては、長穴部５の長手方向（図３（ｃ）の左右方向）と第２水平位置決め用円柱状ピン１３の間には隙間（空間）があり、一定程度移動できる。しかし、第１水平位置決め用円柱状ピン１２と円筒状穴部４はぴったり嵌合しており、図３（ｃ）の左右方向にも移動しない。すなわち、この方向においては、第１水平位置決めピンの側面および円筒状穴部の内側面によって水平方向の位置合わせが行われている。また、第１水平位置決め用円柱状ピン１２も第２水平位置決め用円柱状ピン１３の上端（頂部）はウエハ収納容器下面とは接触していない。従って、第１水平位置決め用円柱状ピン１２および第２水平位置決め用円柱状ピン１３によって高さ方向位置決めは行われない。 FIG.3 (c) is the side view seen from the horizontal direction orthogonal to the direction of FIG.3 (b). The state of the first horizontal positioning columnar pin 12 and the cylindrical hole 4 into which the pin is fitted is the same as that of FIG. 3B, but the second horizontal positioning columnar pin 13 and the pin are Regarding the state of the long hole portion 5 to be inserted, there is a gap (space) between the longitudinal direction of the long hole portion 5 (left and right direction in FIG. 3C) and the second horizontal positioning columnar pin 13 and is constant. It can move about. However, the first horizontal positioning columnar pin 12 and the cylindrical hole portion 4 are closely fitted and do not move in the left-right direction of FIG. That is, in this direction, horizontal alignment is performed by the side surface of the first horizontal positioning pin and the inner surface of the cylindrical hole. Further, the upper end (top) of the first horizontal positioning columnar pin 12 is not in contact with the lower surface of the wafer storage container. Therefore, the height direction positioning is not performed by the first horizontal positioning cylindrical pin 12 and the second horizontal positioning cylindrical pin 13.

図３において上述したように、載置台１０のレベルピン１４（１４−１〜４）はウエハ収納容器１の高さ方向位置決め凹部（６−１〜４）に入り、レベルピン１４の頂部のレベル基準面が高さ方向位置決め凹部６の天井部のレベル当接面に当接して高さ方向位置決めを行う。円柱形状のレベルピン１４の直径は、円筒形状の凹部６の内径より小さいため、レベルピン１４は容易に凹部６に入る。また、図３から分かるように、レベル当接面は、ウエハ収納容器１の最下部より高い位置に配置されている。載置台とウエハ収納容器の最下部で高さ方向の位置決めをする場合、ウエハ収納容器の最下部の損傷により、レベル出しが不正確になるおそれがあるが、レベル当接面は、ウエハ収納容器の最下部より高い位置に配置されるので、通常の使用においてウエハ収納容器の最下部が損傷を受けてもレベル当接面が損傷を受けることはなく、正確なレベル出しが可能になる。 As described above with reference to FIG. 3, the level pins 14 (14-1 to 14-4) of the mounting table 10 enter the height-direction positioning recesses (6-1 to 4) of the wafer storage container 1. The reference surface is brought into contact with the level contact surface of the ceiling portion of the height direction positioning recess 6 to perform height direction positioning. Since the diameter of the cylindrical level pin 14 is smaller than the inner diameter of the cylindrical recess 6, the level pin 14 easily enters the recess 6. Further, as can be seen from FIG. 3, the level contact surface is disposed at a position higher than the lowermost portion of the wafer storage container 1. When positioning in the height direction at the bottom of the mounting table and the wafer storage container, the leveling may become inaccurate due to damage at the bottom of the wafer storage container. Therefore, even if the lowermost part of the wafer storage container is damaged in normal use, the level contact surface is not damaged and accurate leveling is possible.

図４はウエハ収納容器下面に取り付けられた円筒状穴部、長穴部および高さ方向位置決め凹部の１例を示す。図４（ａ）に示すように、円筒状穴部や長穴部４５が設けられた部材４４および高さ方向位置決め凹部４３が設けられた部材４２をウエハ収納容器下面４１に取り付けている。部材４４の高さは部材４２の高さより低い方が良い。或いは、４５の溝深さは４３の溝深さより深い方が良い。（尚、これらと嵌合する載置台側の位置決めピンの高さによっても溝深さや部材高さが決定される。）すなわち、レベルピンの頂部のレベル基準面が高さ方向位置決め凹部の天井部の当接面に当接したときに、第１水平（方向）位置決めピンおよび第２水平（方向）位置決めピンの頂部が円筒状穴部および長穴部の天井部に接触しないようにする。これらにより、部材４２により高さ方向位置決め精度が確保される。 FIG. 4 shows an example of a cylindrical hole portion, a long hole portion, and a height direction positioning concave portion attached to the lower surface of the wafer storage container. As shown in FIG. 4A, a member 44 provided with a cylindrical hole or a long hole 45 and a member 42 provided with a height direction positioning recess 43 are attached to the lower surface 41 of the wafer storage container. The height of the member 44 is preferably lower than the height of the member 42. Alternatively, the groove depth of 45 should be deeper than the groove depth of 43. (Note that the groove depth and member height are also determined by the height of the positioning pins on the mounting table to be fitted with them.) That is, the level reference surface at the top of the level pin is the ceiling portion of the height direction positioning recess. The top portions of the first horizontal (direction) positioning pin and the second horizontal (direction) positioning pin are prevented from coming into contact with the ceiling portion of the cylindrical hole portion and the long hole portion when the contact surface comes into contact with the contact surface. Thus, the positioning accuracy in the height direction is ensured by the member 42.

しかし、図４（ａ）においては、円筒状穴部や長穴部４５が設けられた部材４４や高さ方向位置決め凹部４３が設けられた部材４２はウエハ収納容器下面４１に突状に付いているので、部材４２や部材４４が破損したり傷ついたりする可能性がある。これに対して、図４（ｂ）においては、ウエハ収納容器下面４６内に、円筒状穴部や長穴部４８および高さ方向位置決め凹部４７を形成しているので、円筒状穴部や長穴部４８および高さ方向位置決め凹部４７が破損したり傷ついたりする可能性は少ない。この場合、４８の溝深さは４７の溝深さより深い方が良い。これにより、高さ方向位置決め凹部により高さ方向位置決めがしやすくなる。（尚、これらと適合する載置台側の位置決めピンの高さによっても溝深さが決定される。）尚、図４（ａ）に示す突状の円筒状穴部や長穴部および高さ方向位置決め凹部と一体となったウエハ収納容器も、図４（ｂ）において示すものと同様に、通常のインジェクション成形法で一体物として作成することも可能である。また、図４（ａ）と（ｂ）を組み合わせて行うこともできる。さらに、図４（ａ）に示す部材を金属や耐摩耗性の高い高分子材料（たとえば、ＰＥＥＫ樹脂）を予め成形し、これらをウエハ収納容器本体の成形時にインサート成形により一体に成形しても良い。 However, in FIG. 4A, the member 44 provided with the cylindrical hole portion or the elongated hole portion 45 or the member 42 provided with the height direction positioning concave portion 43 is attached to the lower surface 41 of the wafer storage container in a protruding manner. Therefore, the member 42 and the member 44 may be damaged or damaged. On the other hand, in FIG. 4B, since the cylindrical hole portion, the long hole portion 48 and the height direction positioning concave portion 47 are formed in the lower surface 46 of the wafer storage container, There is little possibility that the hole 48 and the height direction positioning recess 47 are damaged or damaged. In this case, the groove depth of 48 should be deeper than the groove depth of 47. Thereby, the height direction positioning concave portion facilitates the height direction positioning. (Note that the depth of the groove is also determined by the height of the positioning pin on the mounting table that matches these.) Note that the projecting cylindrical hole, elongated hole, and height shown in FIG. Similarly to the case shown in FIG. 4B, the wafer storage container integrated with the direction positioning recess can also be produced as an integrated object by a normal injection molding method. Moreover, it can also carry out combining Fig.4 (a) and (b). Further, even if the members shown in FIG. 4A are made of metal or a high wear-resistant polymer material (for example, PEEK resin) in advance, and these are integrally formed by insert molding at the time of forming the wafer storage container body. good.

次に、レベルピン１４で水平方向の粗い位置決めを行い、水平（方向）位置決めピンの挿入が容易にかつ確実に行う構造と方法について説明する。図５に示すように、レベル当接面を高さ方向位置決め凹部６の天井部８１に設け、凹部６入口にテーパー８２を設けてレベルピン１４をガイドし、凹部６内側空間（穴部）にレベルピン１４を導く。レベルピン１４が全部（レベルピン１４は通常３つ以上存在する）各凹部６のテーパー部８２にガイドされて凹部６の内側に挿入された段階で、第１および第２水平位置決めピン１２および１３の先端が円筒状穴部４および長穴部５の入口部の高さに到達するように、凹部６、ピン１２、１３および１４のテーパー部、及びそれらのピンの高さを設定する。このようにして、３つ以上のレベルピンが凹部に挿入されることにより、ウエハ収納容器の水平位置がレベルピンと凹部の遊びの範囲内に収まり、第1、第2水平位置決めピンが円筒状穴部、長穴部の所定位置近傍に位置し、それぞれに設けたテーパーによりスムーズに挿入される。この位置合わせ方法および構造は、凹部６入口のテーパー部によるレベルピン１４のガイドおよび円筒状穴部４（または長穴部５）の入口のテーパー部による水平位置決めピンのガイドを用いた位置合わせであるので、２段ガイド位置合わせ方式と呼んでも良い。 Next, a description will be given of a structure and method in which the horizontal positioning is performed with the level pin 14 and the horizontal (direction) positioning pin is easily and reliably inserted. As shown in FIG. 5, the level contact surface is provided in the ceiling portion 81 of the height direction positioning recess 6, the taper 82 is provided at the entrance of the recess 6 to guide the level pin 14, and the recess 6 has an inner space (hole). The level pin 14 is guided. When all the level pins 14 (there are usually three or more level pins 14) are guided by the tapered portions 82 of the respective recesses 6 and inserted into the recesses 6, the first and second horizontal positioning pins 12 and 13 The tip of the concave portion 6, the tapered portions of the pins 12, 13 and 14 and the heights of these pins are set so that the tip of the cylindrical portion 4 reaches the height of the inlet portion of the cylindrical hole portion 4 and the long hole portion 5. In this way, by inserting three or more level pins into the recess, the horizontal position of the wafer storage container is within the range of play between the level pin and the recess, and the first and second horizontal positioning pins are cylindrical holes. It is located in the vicinity of the predetermined position of the part and the long hole part, and is smoothly inserted by the taper provided in each. This alignment method and structure are the alignment using the guide of the level pin 14 by the taper part of the recessed part 6 entrance, and the guide of the horizontal positioning pin by the taper part of the entrance of the cylindrical hole part 4 (or long hole part 5). Therefore, it may be called a two-stage guide alignment method.

もっと具体的に説明する。載置台１０の所望の場所に正確にウエハ収納容器が設置されることが必要であるが、ウエハ収納容器が搬送されて載置台１０に設置される直前は、通常その位置が少しずれており、図５（ａ）に示すように、平坦領域であるレベル当接面を天井部８１に有する高さ方向位置決め凹部６の入口のテーパー部８２がレベルピン１４の頂部８６のテーパー部８３に接触する。そして、テーパー部８２および８３により、ウエハ収納容器本体２は図５（ａ）における左下方向へ誘導される。次に、図５（ｂ）に示すように、レベルピン１４と凹部６のテーパー部分８２および８３の接触が終わり、ウエハ収納容器本体２はレベルピン１４を凹部６内側に挿入しつつ下方に移動し、図５（ｃ）に示すように、円筒状穴部４の入口部分が第１水平位置決めピン１２に接する。すなわち、円筒状穴部４の入口部分もテーパー８８になっていて、第１水平（方向）位置決めピン１２の先端（頂部）８７のテーパー部８５と接触する。（長穴部５および第２水平（方向）位置決めピン１３に関しても同様である。）ウエハ収納容器は円筒状穴部４と第１水平位置決めピン１２のテーパー部分８５と８８に沿ってさらに左下方向に誘導される。このとき、図４（ｃ）から分かるように、レベルピン１４の側面は凹部６の内側面から少しずつ離れていく。 Explain more specifically. Although it is necessary that the wafer storage container is accurately installed at a desired place on the mounting table 10, the position is usually slightly shifted immediately before the wafer storage container is transported and installed on the mounting table 10. As shown in FIG. 5A, the tapered portion 82 at the entrance of the height direction positioning recess 6 having a level contact surface that is a flat region in the ceiling portion 81 contacts the tapered portion 83 of the top portion 86 of the level pin 14. . The wafer storage container body 2 is guided by the taper portions 82 and 83 in the lower left direction in FIG. Next, as shown in FIG. 5B, the contact between the level pin 14 and the tapered portions 82 and 83 of the recess 6 is finished, and the wafer storage container body 2 moves downward while inserting the level pin 14 inside the recess 6. Then, as shown in FIG. 5C, the entrance portion of the cylindrical hole portion 4 is in contact with the first horizontal positioning pin 12. That is, the entrance portion of the cylindrical hole portion 4 also has a taper 88 and comes into contact with the taper portion 85 of the tip (top) 87 of the first horizontal (direction) positioning pin 12. (The same applies to the elongated hole portion 5 and the second horizontal (direction) positioning pin 13.) The wafer storage container further moves to the lower left direction along the tapered portions 85 and 88 of the cylindrical hole portion 4 and the first horizontal positioning pin 12. Be guided to. At this time, as can be seen from FIG. 4C, the side surface of the level pin 14 is gradually separated from the inner surface of the recess 6.

次に、図５（ｄ）に示すように、第１水平位置決めピン１２と円筒状穴部４のテーパー部分８５および８８の接触が終わり、ウエハ収納容器は円筒状穴部４が第１水平位置決めピン１２と嵌合状態を保って下方に移動する。このとき、図４（ｄ）から分かるように、レベルピン１４の側面は凹部６の内側面から完全に離れている。長穴部５および第２水平位置決めピン１３に関しても同様であるから、この段階で水平方向の位置決めは完了する。また、凹部６の内側面はレベルピン１４から少し離れながら下方に移動する。次に、図５（ｅ）に示すように、レベルピン１４の頂部８６のレベル基準面にウエハ収納容器本体２の下面における凹部６の天井部８１のレベル当接面が当接してウエハ収納容器の下降が終了し、高さ方向位置決めが完了する。尚、円筒状穴部４の天井部８４は第１水平位置決めピン１２の頂部８７とは接触しない。（長穴部５および第２水平位置決めピン１３に関しても同様である。）以上説明したように、レベルピン６の頂部８６を利用して粗い位置決めを行い、第１水平位置決めピンの頂部８７が円筒状穴部４の入口のテーパー部分８８に導かれ、第１水平位置決めピンの円筒状穴部４への挿入が容易かつ確実となる。第２水平位置決めピンについても同様である。図５においては、各テーパー部の長さや角度を略同一に描かれているが、必要に応じてレベルピン１４が挿入される凹部６の入口テーパー部分８２を広くすることもできるし、第１水平位置決めピン６と円筒状穴部４のテーパー８３の角度を急勾配にすることにより、挿入をスムーズにすることもできる。 Next, as shown in FIG. 5 (d), the contact between the first horizontal positioning pin 12 and the tapered portions 85 and 88 of the cylindrical hole 4 is finished, and the cylindrical hole 4 is positioned in the first horizontal positioning in the wafer storage container. The pin 12 moves downward while maintaining a fitted state. At this time, as can be seen from FIG. 4 (d), the side surface of the level pin 14 is completely separated from the inner surface of the recess 6. Since the same applies to the long hole portion 5 and the second horizontal positioning pin 13, the horizontal positioning is completed at this stage. Further, the inner surface of the recess 6 moves downward while being slightly away from the level pin 14. Next, as shown in FIG. 5E, the level contact surface of the ceiling portion 81 of the concave portion 6 on the lower surface of the wafer storage container main body 2 comes into contact with the level reference surface of the top portion 86 of the level pin 14, and the wafer storage container. Is finished, and the positioning in the height direction is completed. The ceiling portion 84 of the cylindrical hole portion 4 does not contact the top portion 87 of the first horizontal positioning pin 12. (The same applies to the long hole portion 5 and the second horizontal positioning pin 13.) As described above, rough positioning is performed using the top portion 86 of the level pin 6, and the top portion 87 of the first horizontal positioning pin is cylindrical. Guided to the tapered portion 88 at the entrance of the hole 4, the first horizontal positioning pin can be easily and reliably inserted into the cylindrical hole 4. The same applies to the second horizontal positioning pin. In FIG. 5, the lengths and angles of the respective taper portions are drawn substantially the same, but the inlet taper portion 82 of the concave portion 6 into which the level pin 14 is inserted can be widened if necessary. By making the angle of the taper 83 of the horizontal positioning pin 6 and the cylindrical hole 4 steep, the insertion can be made smooth.

以上説明したように、レベル当接面はウエハ収納容器下面に設けられた凹部６の天井部８１の平坦面であり、前記凹部６の入口および前記レベルピン頂部８６にテーパーを設けている。また、レベルピン頂部８６が前記凹部テーパー部８２にガイドされてレベルピン１４が前記凹部６内側に挿入された段階において、第１水平位置決めピン１２および第２水平位置決めピン１３の先端が円筒状穴部４および長穴部５の入口部の高さになるようにレベルピンのテーパー部８３、凹部６、水平位置決めピン１２および１３、円筒状穴部４、および長穴部５の高さが設定されている。これらによって水平方向および高さ方向の位置決めがスムーズにかつ精度良く行われる。上述したように第１水平位置決めピンは円筒状穴部に嵌合しなければならないので、第１水平位置決めピンと円筒状穴部を精度良く位置合わせすることが必要となるが、本発明の２段ガイド位置合わせ方式を使用することにより、極めて簡単に精度良く第１水平位置決めピンと円筒状穴部の位置合わせをすることができる。また、第２水平位置決めピンと長穴部に関しても同様にして極めて簡単に精度良く位置合わせをすることができる。しかも簡単な構造で実現できることが特徴である。 As described above, the level contact surface is the flat surface of the ceiling portion 81 of the recess 6 provided on the lower surface of the wafer storage container, and the entrance to the recess 6 and the level pin top 86 are tapered. In addition, at the stage where the level pin top 86 is guided by the concave tapered portion 82 and the level pin 14 is inserted inside the concave 6, the tips of the first horizontal positioning pin 12 and the second horizontal positioning pin 13 are cylindrical holes. The height of the tapered portion 83 of the level pin, the recessed portion 6, the horizontal positioning pins 12 and 13, the cylindrical hole portion 4, and the elongated hole portion 5 is set so as to be the height of the entrance portion of the portion 4 and the elongated hole portion 5. Has been. Accordingly, the positioning in the horizontal direction and the height direction is smoothly and accurately performed. As described above, since the first horizontal positioning pin must be fitted into the cylindrical hole portion, it is necessary to accurately align the first horizontal positioning pin and the cylindrical hole portion. By using the guide alignment method, the first horizontal positioning pin and the cylindrical hole can be aligned very easily and with high accuracy. Similarly, the second horizontal positioning pin and the elongated hole portion can be aligned very easily and accurately. Moreover, it can be realized with a simple structure.

位置決めピンがウエハ収納容器の位置決め溝に入りウエハ収納容器１が載置台１０に設置された後で、ウエハ収納容器１の開口部を閉じている蓋体３が取り外され、或いは開かれ、ウエハ収納容器１内に収納されたウエハを出し入れする。蓋体３をウエハ収納容器１から取り外すときや蓋体３をウエハ収納容器１にセットするときに、ウエハ収納容器本体２に横方向の力が作用する。特にウエハ収納容器１の開口部が横向きになっているときに大きい。たとえば、ＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）のように、横方向の力で蓋体を押したとき、載置台１０の水平面１１に取り付けられたピンの位置により、ウエハ収納容器１の蓋体側の浮き上がりや、横方向の力のアンバランスという問題が生じる。横方向の力に対しては、主に第1および第２水平位置決めピンが関与する。 After the positioning pin enters the positioning groove of the wafer storage container and the wafer storage container 1 is placed on the mounting table 10, the lid 3 that closes the opening of the wafer storage container 1 is removed or opened, and the wafer is stored. The wafer stored in the container 1 is taken in and out. When the lid 3 is removed from the wafer storage container 1 or when the lid 3 is set on the wafer storage container 1, a lateral force acts on the wafer storage container body 2. This is particularly large when the opening of the wafer storage container 1 is in the horizontal direction. For example, when the lid is pushed by a lateral force, such as FOSB (Front Opening Shipping Box), depending on the position of the pin attached to the horizontal surface 11 of the mounting table 10, The problem of lateral force imbalance arises. For the lateral force, the first and second horizontal positioning pins are mainly involved.

そこで、本発明のウエハ収納容器においては、蓋体３を開閉するときのウエハ収納容器１の動きを抑えるため、ウエハ収納容器１の下面において、蓋体側（開口部）に隣接して円筒状穴部４および／または長穴５を取り付ける。或いは、円筒状穴部４および長穴５をウエハ収納容器１の蓋体３側から見た場合の左右の中央線上に配置する。図６（ａ）は左右の中央線１９上に円筒状穴部４と長穴部５を設けた場合を示す。円筒状穴部４と長穴部５は逆の配置でも良い。或いは、図６（ｂ）に示すように、円筒状穴部４と長穴部５を左右対称の位置に配置しても良い。これにより、蓋を開閉するときに左右対称の力がかかる場合に片側に偏った歪を起こすことを防止することができる。また図６（ａ）の場合には、円筒状穴部４はウエハ収納容器１の下面の蓋体側に隣接して配置されている。或いは、図６（ｂ）の場合には、第１水平位置決めピン１２と第２水平位置決めピン１３の両方をウエハ収納容器１の下面の蓋体側に隣接して配置している。これにより、蓋を開閉するときにかかる力を受け、ウエハ収納容器前面の浮き上がりを防止するという効果もある。 Therefore, in the wafer storage container of the present invention, in order to suppress the movement of the wafer storage container 1 when the cover 3 is opened and closed, a cylindrical hole is formed adjacent to the cover body side (opening) on the lower surface of the wafer storage container 1. The part 4 and / or the long hole 5 are attached. Alternatively, the cylindrical hole 4 and the elongated hole 5 are arranged on the left and right center lines when viewed from the lid 3 side of the wafer storage container 1. FIG. 6A shows a case where the cylindrical hole portion 4 and the elongated hole portion 5 are provided on the left and right center lines 19. The cylindrical hole portion 4 and the elongated hole portion 5 may be arranged in reverse. Or you may arrange | position the cylindrical hole part 4 and the elongate hole part 5 in the left-right symmetric position, as shown in FIG.6 (b). As a result, when a symmetrical force is applied when the lid is opened and closed, it is possible to prevent a distortion biased to one side. In the case of FIG. 6A, the cylindrical hole 4 is disposed adjacent to the lid side of the lower surface of the wafer storage container 1. Alternatively, in the case of FIG. 6B, both the first horizontal positioning pins 12 and the second horizontal positioning pins 13 are arranged adjacent to the lid side of the lower surface of the wafer storage container 1. Accordingly, there is an effect that the force applied when the lid is opened and closed is received, and the front surface of the wafer storage container is prevented from being lifted.

図１０は、円筒状穴部４がウエハ収納容器１の重心Ｇの鉛直方向軸Ｖとウエハ収納容器下面７との交点にある場合を説明する図である。この場合にもウエハ収納容器１は安定して載置台にセットされる。図１０は、ウエハ収納容器１の斜視図で内部も分かるようにしている。本発明に必要な部分のみを表示している。ウエハ収納容器１は、ウエハ収納容器本体２の開口部を蓋体３で蓋をしている。ウエハ収納容器本体２の１つの側面７がプロセス装置等における（ウエハ収納容器）載置台の水平面に対面して設置されるが、この側面７に載置台との位置合わせ手段、すなわち、円筒状穴部４、長穴部５、および高さ方向位置決め凹部６が取り付けられている。これらの側面に取り付けられた位置合わせ手段４、５、および６と対応した位置合わせ手段が載置台にも取り付けられていて、これらが適合して、載置台の所望の位置にウエハ収納容器１が設置される。 FIG. 10 is a view for explaining the case where the cylindrical hole 4 is at the intersection of the vertical axis V of the center of gravity G of the wafer storage container 1 and the lower surface 7 of the wafer storage container. Also in this case, the wafer storage container 1 is stably set on the mounting table. FIG. 10 is a perspective view of the wafer storage container 1 so that the inside can be seen. Only the portions necessary for the present invention are displayed. In the wafer storage container 1, the opening of the wafer storage container main body 2 is covered with a lid 3. One side surface 7 of the wafer storage container main body 2 is installed facing the horizontal surface of the (wafer storage container) mounting table in the process apparatus or the like. The side surface 7 is aligned with the mounting table, that is, a cylindrical hole. The part 4, the long hole part 5, and the height direction positioning recessed part 6 are attached. Alignment means corresponding to the alignment means 4, 5, and 6 attached to these side surfaces are also attached to the mounting table, and these are adapted so that the wafer storage container 1 is placed at a desired position on the mounting table. Installed.

ウエハ収納容器１の重心Ｇの位置から、ウエハ収納容器１が載置台に設置されたときに、鉛直方向軸Ｖ（ｚ方向）と位置合わせ手段がとりつけられた面７との交点Ｃの近傍に水平方向位置合わせ手段が配置されると、重心Ｇのまわりのモーメントが最小化するので、ウエハ収納容器が極めて良く安定する。すなわち、水平方向位置合わせ手段４または５はＣ近傍に取り付けられている。（本発明で述べる近傍とは、約１０ｍｍ以下、好適には約５ｍｍ以下の領域をいう。）ウエハ収納容器は通常蓋体が取り付けられた状態で載置台に設置されるので、ここで述べる重心とは蓋体３で蓋をされたウエハ収納容器１の重心である。さらに、ウエハ収納容器を載置台に設置するときは、ウエハ収納容器内にはウエハが入っている場合もあれば、入っていない場合もある。ウエハが入っているときとウエハが入っていないときとでは、ウエハ収納容器の重心位置は異なっている。また、溝板が分離できる状態になっている場合でも、溝板は通常ウエハ収納容器内に取り付けられた状態でセットされているので、溝板も含めた重心で規定する必要がある。 From the position of the center of gravity G of the wafer storage container 1, when the wafer storage container 1 is placed on the mounting table, in the vicinity of the intersection C between the vertical axis V (z direction) and the surface 7 to which the alignment means is attached. When the horizontal alignment means is arranged, the moment around the center of gravity G is minimized, so that the wafer container is very well stabilized. That is, the horizontal alignment means 4 or 5 is attached in the vicinity of C. (The vicinity described in the present invention means an area of about 10 mm or less, preferably about 5 mm or less.) Since the wafer storage container is usually installed on the mounting table with the lid attached, the center of gravity described here is used. Is the center of gravity of the wafer storage container 1 covered with the lid 3. Furthermore, when the wafer storage container is installed on the mounting table, the wafer storage container may or may not contain a wafer. The position of the center of gravity of the wafer storage container differs between when the wafer is contained and when no wafer is contained. Even when the groove plate is in a state where it can be separated, the groove plate is usually set in a state where it is attached to the wafer storage container, so it is necessary to define the center of gravity including the groove plate.

ウエハ製造メーカーにおいては、主にウエハの入っていない空のウエハ収納容器にウエハを充填する。ウエハ購入メーカー（たとえば、デバイスメーカー）においては、主にウエハが充填されたウエハ収納容器からウエハを他のキャリアまたは装置へ移し代えて、最終的には空のウエハ収納容器となる。ウエハの入っていないウエハ収納容器は、ウエハのないものに比較するとかなり軽いので、ウエハ収納容器が搬送〜載置台設置の間で不安定になることは少なく、また、ウエハ収納容器が多少安定していなくともウエハが収納容器内にないので問題が発生することは少ない。従って、主として、ウエハが充填されているときの重心を考慮するだけで十分である。しかし、ウエハが一部だけ入っているときなども考慮しなければならないときには、重心として、ウエハが充填されているときの重心とウエハがないとき（空ウエハ）のときの重心との間の点を仮の重心として、好適にはそれらの間のほぼ中点付近を仮の重心として、上記の水平位置合わせ手段の位置を決定すれば良い。尚、重心Ｇは当然ウエハ収納容器内に存在する。 In the wafer manufacturer, the wafer is mainly filled in an empty wafer storage container containing no wafer. In a wafer purchase manufacturer (for example, a device manufacturer), a wafer is mainly transferred from a wafer storage container filled with the wafer to another carrier or apparatus, and finally becomes an empty wafer storage container. A wafer storage container that does not contain a wafer is considerably lighter than a wafer storage container that does not contain a wafer. Therefore, the wafer storage container is less likely to become unstable between transfer and installation of the mounting table, and the wafer storage container is somewhat stable. Even if not, there is little problem because the wafer is not in the storage container. Therefore, it is mainly sufficient to consider the center of gravity when the wafer is filled. However, when it is necessary to consider when only a part of the wafer is contained, a point between the center of gravity when the wafer is filled and the center of gravity when there is no wafer (empty wafer) is used as the center of gravity. Is determined as the temporary center of gravity, and preferably, the position of the horizontal alignment means described above is determined with the vicinity of the midpoint between them as the temporary center of gravity. The center of gravity G naturally exists in the wafer storage container.

尚、これまでの説明においては、主にウエハ収納容器下面がウエハ収納容器の１つの側面７になる場合を主に説明してきたが、ウエハ収納容器下面がウエハ収納容器の底面（ウエハ収納容器の開口部と対向する面）となる場合もある。このときには、これらの位置合わせ手段はウエハ収納容器の底面に取り付けられる。この場合、ウエハ収納容器が載置台に設置された時には、蓋体３は上方にあり、ウエハは上方を向いた収納容器本体の開口部から出し入れされる。また、このとき、ウエハ収納容器内において、ウエハは当然載置台水平面に対して垂直方向に配置されている。 In the above description, the case where the lower surface of the wafer storage container is mainly one side surface 7 of the wafer storage container has been mainly described. However, the lower surface of the wafer storage container is the bottom surface of the wafer storage container (the wafer storage container. In some cases, the surface faces the opening. At this time, these alignment means are attached to the bottom surface of the wafer storage container. In this case, when the wafer storage container is placed on the mounting table, the lid 3 is on the upper side, and the wafer is taken in and out from the opening of the storage container main body facing upward. At this time, the wafer is naturally arranged in the direction perpendicular to the mounting table horizontal plane in the wafer storage container.

図１１は、第１水平位置決めピンとレベルピンを共用したピン（共用ピン）を有する位置決め手段を示した図である。共用ピン３１は上部部分３２と下部部分３３が合体したピンであり、載置台１１に取り付けられている。ウエハ収納容器側に取り付けられる位置決め手段は共用ピン３１を受けるので、円筒状穴部と高さ方向位置決め凹部が共用されている。これを共用凹部３６と呼ぶことにする。共用凹部３６は基本的には円筒状穴部と同じく円筒状の穴である。共用凹部３６の天井部３５にレベル当接面（平坦領域）を設ける。共用ピンの下部部分３３は、第１水平位置決めピン１２と同様に、円柱形状になっていて、この円柱部が共用凹部３６の円筒状穴部に内接して水平方向の位置決めを行う。共用ピン３１の上部部分３２は基本的にはレベルピン１４と同様であり、その頂部３４の平坦領域をレベル基準面として、レベル当接面に当接させることによりレベル決めを行うことができる。図１１から分かるように、位置決めが完了したときには、共用ピン３１の上部部分３２と共用凹部３６の側面との間には隙間（空間）が存在する。一方、共用ピンの下部部分３３と共用凹部３６の側面とはピッタリ嵌合している。また、第１水平位置決めピンとレベルピンを共用したピン（共用ピン）および長穴部と高さ方向位置決め凹部を共用した共用凹部も同様である。これらにより、共用ピン３１および共用凹部３６を用いて、高さ方向位置決めと水平方向位置決めを一緒に行うことができることが分かる。尚、上述したレベルピン１４のレベル基準面と同様に、頂部３４のレベル基準面は通常平坦面であるが、線または点である場合もある。 FIG. 11 is a view showing positioning means having a pin (shared pin) sharing the first horizontal positioning pin and the level pin. The common pin 31 is a pin in which the upper portion 32 and the lower portion 33 are combined, and is attached to the mounting table 11. Since the positioning means attached to the wafer storage container side receives the common pin 31, the cylindrical hole portion and the height direction positioning recess are shared. This will be referred to as a common recess 36. The common recess 36 is basically a cylindrical hole like the cylindrical hole. A level contact surface (flat region) is provided on the ceiling portion 35 of the common recess 36. The lower portion 33 of the shared pin has a columnar shape, similar to the first horizontal positioning pin 12, and this columnar portion is inscribed in the cylindrical hole portion of the shared recess 36 to perform horizontal positioning. The upper portion 32 of the common pin 31 is basically the same as the level pin 14, and the level can be determined by making the flat region of the top 34 abut the level contact surface as a level reference surface. As can be seen from FIG. 11, when positioning is completed, a gap (space) exists between the upper portion 32 of the common pin 31 and the side surface of the common recess 36. On the other hand, the lower portion 33 of the common pin and the side surface of the common concave portion 36 are perfectly fitted. The same applies to a pin (shared pin) that shares the first horizontal positioning pin and the level pin, and a shared recess that shares the elongated hole and the height direction positioning recess. Thus, it is understood that the height direction positioning and the horizontal direction positioning can be performed together by using the common pin 31 and the common recess 36. As with the level reference surface of the level pin 14 described above, the level reference surface of the top 34 is usually a flat surface, but it may be a line or a point.

図１２により、図１１で示す共用ピン３１および共用凹部３６を用いて水平方向位置決めと高さ方向位置決めを行う方法について詳細に説明する。図１２（ａ）に示すように、ウエハ収納容器本体２が下りてきて、共用凹部３６の入口のテーパー部３７に共用ピン３１における頂部３４の周縁部のテーパー部３８が接触する。これらのテーパー部で滑ってウエハ収納容器本体２はさらに下降し、共用凹部３６の内側空間に入っていき、図１２（ｂ）に示すように、共用ピン３１の上部部分３２の側面部が共用凹部３６の内側面にガイドされながらウエハ収納容器本体２はさらに下降する。次に、図１２（ｃ）に示すように、共用凹部３６の入口のテーパー部３７が共用ピン３１の上部部分３２と下部部分３３との結合部３９に接触する。（共用ピン３１の上部部分３２の径は下部部分３３の径より小さい。）この結合部３９もテーパーになっているので、これらのテーパー部で滑って、共用ピン３１はさらに共用凹部３６の内側に入っていき、図１２（ｄ）に示すように、共用ピン３１の下部部分３３の円柱部側面が共用凹部３６の側面に内接しながら下降していく。ここで、水平方向位置決めが完了する。最後に図１２（ｅ）に示すように、共用ピン３１の頂部３４のレベル基準面が共用凹部３６の天井部３５のレベル当接面に当接して、ウエハ収納容器本体２の下降が停止し、高さ方向の位置決めが完了する。 A method for performing horizontal positioning and height positioning using the common pin 31 and the common recess 36 shown in FIG. 11 will be described in detail with reference to FIG. As shown in FIG. 12A, the wafer storage container main body 2 descends, and the tapered portion 38 at the peripheral portion of the top portion 34 of the shared pin 31 contacts the tapered portion 37 at the entrance of the shared concave portion 36. The wafer storage container body 2 is further lowered by sliding at these taper portions and enters the inner space of the common recess 36, and the side portion of the upper portion 32 of the common pin 31 is shared as shown in FIG. The wafer container body 2 is further lowered while being guided by the inner surface of the recess 36. Next, as shown in FIG. 12C, the tapered portion 37 at the entrance of the common recess 36 comes into contact with the joint portion 39 between the upper portion 32 and the lower portion 33 of the common pin 31. (The diameter of the upper portion 32 of the common pin 31 is smaller than the diameter of the lower portion 33.) Since the connecting portion 39 is also tapered, the common pin 31 is further slid by these tapered portions, and the common pin 31 is further inside the common concave portion 36. Then, as shown in FIG. 12 (d), the cylindrical portion side surface of the lower portion 33 of the common pin 31 descends while inscribed in the side surface of the common concave portion 36. Here, the horizontal positioning is completed. Finally, as shown in FIG. 12E, the level reference surface of the top 34 of the common pin 31 comes into contact with the level contact surface of the ceiling 35 of the common recess 36, and the lowering of the wafer storage container body 2 stops. The positioning in the height direction is completed.

上述の共用ピンは第２水平位置決めピンにも適用できるし、これと対応する共用凹部は長穴部にも適用できる。レベルピンは３つ以上必要であるが、これらのレベルピンのうち１つまたは２つを第１水平位置決めピンと第２水平位置決めピンと共用できる。また対応する円筒状穴部と長穴部を高さ方向位置決め凹部のうちの１つまたは２つと共用できる。従って、全体のピン数および穴部を少なくすることができ、構造が簡単になる。尚、第１水平位置決めピンとレベルピンを共用する共用ピンの下部部分はと嵌合する円柱形状であるが、上部部分は必ずしも円柱形状である必要はない。たとえば、角柱形状、断面が曲線の柱状でも良い。また、長穴部と高さ方向位置決め凹部を共用する共用凹部の形状は、基本的に長穴部と同じ形状となる。これに対応する第２水平位置決めピンとレベルピンを共用する共用ピンの下部部分は、上述した第２水平位置決めピンの形状と同様であるが、上部部分はこれと類似である必要はない。上部部分は円柱形状がより好適ではあるが、たとえば、角柱形状、断面が曲線の柱状でも良い。 The common pin described above can also be applied to the second horizontal positioning pin, and the corresponding common concave portion can also be applied to the elongated hole portion. Although three or more level pins are required, one or two of these level pins can be shared with the first horizontal positioning pin and the second horizontal positioning pin. Corresponding cylindrical holes and elongated holes can be shared with one or two of the height direction positioning recesses. Therefore, the total number of pins and holes can be reduced, and the structure is simplified. The lower portion of the common pin sharing the first horizontal positioning pin and the level pin has a cylindrical shape to be fitted with, but the upper portion does not necessarily have to be a cylindrical shape. For example, a prismatic shape or a columnar shape with a curved section may be used. Moreover, the shape of the common recessed part which shares a long hole part and a height direction positioning recessed part becomes the same shape as a long hole part fundamentally. The lower portion of the common pin sharing the level pin with the second horizontal positioning pin corresponding to this is similar to the shape of the second horizontal positioning pin described above, but the upper portion need not be similar to this. The upper portion is more preferably cylindrical, but may be, for example, a prismatic shape or a curved column.

本発明において記載したウエハは、半導体用基板だけでなく、ガラス、セラミック、プラスティック等の絶縁基板、或いは金属板なども含まれる。必ずしも円板形状である必要はなく、正方形形状、長方形形状、多角形形状、楕円形状などの板状体であっても良い。ウエハ収納容器の材質も高分子材料である必要もなく、金属製やセラミック製、これらの複合材料から形成されていても良い。また、本発明を適用できる産業分野も半導体産業だけでなく、太陽電池その他の薄い基板を用いる分野においても本発明を適用できる。また、上述の各実例および実施形態のそれぞれの説明において、各所に記載しなかった内容についても、お互いに矛盾がない限りにおいて適用できることも言うまでもない。 The wafer described in the present invention includes not only a semiconductor substrate but also an insulating substrate such as glass, ceramic and plastic, or a metal plate. It does not necessarily have to be a disk shape, and may be a plate-like body such as a square shape, a rectangular shape, a polygonal shape, or an elliptical shape. The material of the wafer storage container does not need to be a polymer material, and may be made of metal, ceramic, or a composite material thereof. In addition, the present invention can be applied not only to the semiconductor industry but also to fields using solar cells and other thin substrates. In addition, it goes without saying that the contents not described in each place in the description of each example and embodiment described above can be applied as long as there is no contradiction.

本発明は、半導体ウエハを搬送あるいは保管するために用いられるウエハ収納容器を使用する半導体産業等に適用できる。   The present invention can be applied to the semiconductor industry and the like using a wafer storage container used for transporting or storing semiconductor wafers.

図１は、本発明における収納容器の１つの面に取り付けられた位置合わせ手段と、載置台に取り付けられた位置合わせ手段との関係について説明する図である。FIG. 1 is a diagram for explaining the relationship between positioning means attached to one surface of a storage container and positioning means attached to a mounting table in the present invention. 図２は、本発明における載置台の水平面にウエハ収納容器本体が設置された状態を示す図である。FIG. 2 is a view showing a state where the wafer storage container main body is installed on the horizontal surface of the mounting table in the present invention. 図３は、本発明のウエハ収納容器が載置台に設置されたときの底面図、立面図および側面図である。FIG. 3 is a bottom view, an elevation view, and a side view when the wafer storage container of the present invention is installed on the mounting table. 図４は、本発明のウエハ収納容器下面に取り付けられた円筒状穴部、長穴部および高さ方向位置決め凹部の１例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an example of a cylindrical hole portion, a long hole portion, and a height direction positioning concave portion attached to the lower surface of the wafer storage container of the present invention. 図５は、本発明における水平（方向）位置決めピンの挿入を容易にかつ確実に行う構造と方法について説明する図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a structure and method for easily and reliably inserting a horizontal (direction) positioning pin in the present invention. 図６は、本発明における第１水平位置決めピンおよび第２水平位置決めピンの配置を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing the arrangement of the first horizontal positioning pins and the second horizontal positioning pins in the present invention. 図７は、従来のウエハ収納容器を示す図である。FIG. 7 is a view showing a conventional wafer storage container. 図８は、従来用いられている、ウエハ収納容器のＶ字型長溝にウエハ収納容器載置台のＫＣ−ピンがはまった状態を模式的に示した図である。FIG. 8 is a diagram schematically showing a state in which the KC-pin of the wafer storage container mounting table is fitted in a V-shaped long groove of the wafer storage container, which has been conventionally used. 図９は、本発明の円筒状穴部と長穴部の位置関係について説明する図である。FIG. 9 is a diagram for explaining the positional relationship between the cylindrical hole portion and the elongated hole portion of the present invention. 図１０は、本発明の位置決め手段を取り付けたウエハ収納容器の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of the wafer storage container to which the positioning means of the present invention is attached. 図１１は、第１水平位置決めピンとレベルピンを共用したピン（共用ピン）を有する位置決め手段を示した図である。FIG. 11 is a view showing positioning means having a pin (shared pin) sharing the first horizontal positioning pin and the level pin. 図１２は、図１１で示す共用ピンおよび共用凹部を用いて水平方向位置決めと高さ方向位置決めを行う方法について説明する図である。FIG. 12 is a diagram for explaining a method of performing horizontal positioning and height positioning using the common pin and the common recess shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ ウエハ収納容器、２ ウエハ収納容器本体、３ 蓋体、
４ 位置合わせ手段（円筒状穴部）、５ 位置合わせ手段（長穴部）、
６ 位置合わせ手段（高さ方向位置決め凹部）、７ ウエハ収納容器本体側面、
１０ 載置台、１１ 載置台水平面、
１２ 位置合わせ手段（第１水平（方向）位置決めピン）、
１３ 位置合わせ手段（第２水平（方向）位置決めピン）、
１４ 位置合わせ手段（レベルピン）、１６ 長穴溝平行部、
２１ ウエハ収納容器本体側面、２２ トップフランジ、２３ ウエハ、
３１ 共用ピン、３２ 共用ピンの上部部分、３３ 共用ピンの下部部分、
３４ 共用ピンの頂部、３５ 共用凹部の天井部、３６ 共用凹部、
４１ ウエハ収納容器、４２ 部材、４３ 高さ方向位置決め凹部、
４４ 部材、４５ 円筒状穴部、長穴部、４６ ウエハ収納容器、
４７ 高さ方向位置決め凹部、４８ 円筒状穴部、長穴部、
６０ ウエハ収納容器、６１ ウエハ収納容器本体、６２ 蓋体、
６６ 長溝部材、７１ ＫＣ−ピン、
７２ キネマティックカップリング（Ｖ字型長溝）、
８１ 凹部の天井部、８２ テーパー部、８３ テーパー部、
８４ 円筒状穴部の天井部、８５ テーパー部、８６ レベルピンの頂部、
８７ 第１水平位置決めピンの頂部、８８ テーパー部、 1 wafer storage container, 2 wafer storage container body, 3 lid,
4 alignment means (cylindrical hole), 5 alignment means (long hole),
6 Positioning means (height direction positioning recess), 7 Wafer storage container main body side surface,
10 mounting table, 11 mounting table horizontal surface,
12 Positioning means (first horizontal (direction) positioning pin),
13 Positioning means (second horizontal (direction) positioning pin),
14 Alignment means (level pin), 16 Slotted hole parallel part,
21 Wafer container side, 22 top flange, 23 wafer,
31 shared pin, 32 upper part of shared pin, 33 lower part of shared pin,
34 Top of shared pin, 35 Ceiling of shared recess, 36 Shared recess,
41 Wafer storage container, 42 member, 43 height direction positioning recess,
44 members, 45 cylindrical hole portions, long hole portions, 46 wafer storage containers,
47 Height direction positioning recess, 48 Cylindrical hole, long hole,
60 wafer storage container, 61 wafer storage container main body, 62 lid,
66 long groove member, 71 KC-pin,
72 Kinematic coupling (V-shaped long groove),
81 Ceiling part of concave part, 82 taper part, 83 taper part,
84 Ceiling of cylindrical hole, 85 taper, 86 top of level pin,
87 top of the first horizontal positioning pin, 88 taper,

Claims (4)

側面によって水平方向の位置決めをする第１水平位置決めピンおよび第２水平位置決めピン、並びに頂部のレベル基準面によって高さ方向のレベルを決める３つ以上のレベルピンを有する載置台に載置されるウエハ収納容器であって、
略六面体の外形を有し、その１つの面にウエハを出し入れする開口部および前記開口部を塞ぐ蓋体を有し、
前記載置台に載置される前記ウエハ収納容器の下面に
前記第１水平位置決めピンに嵌合する円筒状穴部、
前記第２水平位置決めピンが挿入される長穴部、および
前記レベルピン各々が当接する、前記ウエハ収納容器下面の最下部より上に位置する３つ以上のレベル当接面
を有することを特徴とするウエハ収納容器。 A wafer mounted on a mounting table having first horizontal positioning pins and second horizontal positioning pins that perform horizontal positioning by side surfaces, and three or more level pins that determine the level in the height direction by a level reference surface at the top. A storage container,
Having an outer shape of a substantially hexahedron, having an opening for inserting and removing a wafer on one surface thereof, and a lid for closing the opening;
A cylindrical hole that fits into the first horizontal positioning pin on the lower surface of the wafer container placed on the mounting table;
A slot portion into which the second horizontal positioning pin is inserted, and three or more level contact surfaces positioned above a lowermost portion of the lower surface of the wafer storage container with which each of the level pins contacts. Wafer storage container. 前記レベル当接面は前記ウエハ収納容器下面に設けられた凹部の天井部の平坦面であり、前記凹部の入口および前記レベルピン頂部にテーパーを設けていることを特徴とし、前記レベルピン頂部が前記凹部テーパー部にガイドされて前記レベルピンが前記凹部内側に挿入された段階において、前記第１および第２水平位置決めピンの先端が前記円筒状穴部および長穴部の入口部の高さになるように前記レベルピンテーパー部、前記凹部、前記水平位置決めピン、前記円筒状穴部、および前記長穴部の高さが設定されていることを特徴とする請求項１に記載のウエハ収納容器。 The level contact surface is a flat surface of a ceiling portion of a recess provided in the lower surface of the wafer storage container, and a taper is provided at an entrance of the recess and the top of the level pin, and the top of the level pin is At the stage where the level pin is inserted into the concave portion while being guided by the concave portion taper portion, the tips of the first and second horizontal positioning pins are at the heights of the entrance portions of the cylindrical hole portion and the long hole portion. 2. The wafer storage container according to claim 1, wherein heights of the level pin taper portion, the concave portion, the horizontal positioning pin, the cylindrical hole portion, and the elongated hole portion are set so as to become. . 前記第１水平位置決めピンおよび／または前記第２水平位置決めピンの頂部の平面によっても高さ方向のレベルを決めることを特徴とする請求項１または２に記載のウエハ収納容器。 3. The wafer storage container according to claim 1, wherein a level in a height direction is also determined by a plane of a top portion of the first horizontal positioning pin and / or the second horizontal positioning pin. 前記円筒状穴部および／または前記長穴部は前記ウエハ収納容器開口部付近に設けられているか、或いは、前記ウエハ収納容器開口面左右の中央線上に前記円筒状穴部および／または前記長穴部が設けられているか、或いは、前記円筒状穴部と前記長穴部は収納容器開口面左右の対称位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかの項に記載のウエハ収納容器。


The cylindrical hole portion and / or the elongated hole portion is provided in the vicinity of the opening of the wafer storage container, or the cylindrical hole portion and / or the elongated hole on the center line on the left and right of the wafer storage container opening surface. The cylindrical hole part and the long hole part are arrange | positioned in the symmetrical position of the storage container opening surface right and left, or the part is provided in any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. Wafer storage container.


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