JP5099000B2 - Portable radiographic imaging device and radiographic imaging system - Google Patents

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    • H04N5/32Transforming X-rays

Description

本発明は、可搬型放射線画像撮影装置および放射線画像撮影システムに係り、特に、放射線検出素子内に蓄積された余分な電荷を放出させる放射線検出素子のリセット処理を行う可搬型放射線画像撮影装置およびそれを用いた放射線画像撮影システムに関する。   The present invention relates to a portable radiographic image capturing apparatus and a radiographic image capturing system, and more particularly to a portable radiographic image capturing apparatus that performs a reset process of a radiation detecting element that discharges an excess charge accumulated in the radiation detecting element. The present invention relates to a radiographic image capturing system using a computer.

照射されたX線等の放射線の線量に応じて検出素子で電荷を発生させて電気信号に変換するいわゆる直接型の放射線画像撮影装置や、照射された放射線をシンチレータ等で可視光等の他の波長の電磁波に変換した後、変換され照射された電磁波のエネルギに応じてフォトダイオード等の光電変換素子で電荷を発生させて電気信号に変換するいわゆる間接型の放射線画像撮影装置が種々開発されている。なお、本発明では、直接型の放射線画像撮影装置における検出素子や、間接型の放射線画像撮影装置における光電変換素子を、あわせて放射線検出素子という。   A so-called direct type radiographic imaging device that generates electric charges by a detection element in accordance with the dose of irradiated radiation such as X-rays and converts it into an electrical signal, or other radiation such as visible light with a scintillator or the like. Various so-called indirect radiographic imaging devices have been developed that convert charges to electromagnetic waves after being converted into electrical signals by generating electric charges with photoelectric conversion elements such as photodiodes in accordance with the energy of the converted and irradiated electromagnetic waves. Yes. In the present invention, the detection element in the direct type radiographic imaging apparatus and the photoelectric conversion element in the indirect type radiographic imaging apparatus are collectively referred to as a radiation detection element.

このタイプの放射線画像撮影装置はFPD(Flat Panel Detector)として知られており、従来は支持台(或いはブッキー装置)と一体的に形成されていた(例えば特許文献1参照)。しかし、近年、放射線検出素子等をハウジングに収納して可搬とされた可搬型放射線画像撮影装置が開発され、実用化されている(例えば特許文献2、3参照)。これらの可搬型放射線画像撮影装置では、バッテリが内蔵されている。   This type of radiographic imaging device is known as an FPD (Flat Panel Detector), and has conventionally been formed integrally with a support base (or a bucky device) (see, for example, Patent Document 1). However, in recent years, a portable radiographic image capturing apparatus in which a radiation detection element or the like is accommodated in a housing has been developed and put into practical use (see, for example, Patent Documents 2 and 3). In these portable radiographic imaging apparatuses, a battery is built in.

ところで、可搬型放射線画像撮影装置の内部構造は、後述する図3や図4等に示すように、通常、基板4上に互いに交差するように配設された複数の走査線5と複数の信号線6とで区画された各小領域rに、複数の放射線検出素子7が二次元状(マトリクス状)に配列されて形成されている。そして、前述したように、放射線検出素子7では照射された放射線の線量に応じてその内部に電荷が発生し、各放射線検出素子7の電荷がそれぞれ読み出され、読み出し回路17で電荷電圧変換され増幅される等して画像データとして取り出される。   By the way, the internal structure of the portable radiographic image capturing apparatus generally has a plurality of scanning lines 5 and a plurality of signals arranged on the substrate 4 so as to cross each other, as shown in FIGS. A plurality of radiation detection elements 7 are two-dimensionally (matrix-like) arranged in each small region r partitioned by the line 6. As described above, the radiation detection element 7 generates charges in accordance with the dose of the irradiated radiation, the charges of each radiation detection element 7 are read out, and are converted into charge voltages by the readout circuit 17. It is extracted as image data after being amplified.

しかし、可搬型放射線画像撮影装置に放射線が照射されない場合でも、放射線検出素子7自体の熱による熱励起等によりその内部で電荷が発生しており、その電荷はいわゆる暗電荷として各放射線検出素子7内に蓄積される。そして、各放射線検出素子7内にこの暗電荷が多量に存在する状態のまま放射線画像撮影を行うと、放射線の照射によって発生した上記の電荷を各放射線検出素子7から画像データとして読み出す際に、この多量の暗電荷が一緒に読み出されて画像データに大きなノイズ成分が重畳される状態になる。   However, even when no radiation is applied to the portable radiographic imaging device, charges are generated inside due to thermal excitation or the like due to heat of the radiation detection element 7 itself, and the charge is a so-called dark charge. Accumulated within. Then, when radiographic imaging is performed in a state where a large amount of this dark charge exists in each radiation detection element 7, when the above-described charges generated by radiation irradiation are read out as image data from each radiation detection element 7, This large amount of dark charge is read out together and a large noise component is superimposed on the image data.

この暗電荷によるノイズ成分を可能な限り除去するため、放射線画像撮影時には、通常、放射線画像撮影装置に対して放射線が照射される直前等に、放射線検出素子7内等に蓄積された暗電荷等の余分な電荷を除去するためのリセット処理が行われる。また、この放射線検出素子7のリセット処理は、上記のような放射線画像撮影時のみならず、必要に応じて適宜行われる。   In order to remove the noise component due to this dark charge as much as possible, at the time of radiographic image capturing, dark charges accumulated in the radiation detecting element 7 or the like usually immediately before the radiation image capturing apparatus is irradiated with radiation, etc. A reset process is performed to remove the excess charge. Further, the reset process of the radiation detection element 7 is appropriately performed not only at the time of radiographic image capturing as described above but also as necessary.

放射線検出素子7のリセット処理においては、図3や図4等に示したように各走査線5に接続された各放射線検出素子7のスイッチ手段であるTFT8(Thin Film Transistor)のゲート電極8gに走査線5を介してオン電圧を印加してTFT8のゲートを開き、TFT8を介して放射線検出素子7内に蓄積された余分な電荷を信号線6に放出させてリセット処理が行われる。   In the reset process of the radiation detection element 7, as shown in FIG. 3, FIG. 4, etc., the gate electrode 8g of the TFT 8 (Thin Film Transistor) which is the switch means of each radiation detection element 7 connected to each scanning line 5 is applied. An on-voltage is applied via the scanning line 5 to open the gate of the TFT 8, and extra charge accumulated in the radiation detection element 7 is discharged to the signal line 6 via the TFT 8 to perform reset processing.

その際、例えば特許文献4に記載されているように、オン電圧を印加する走査線5を各ラインL1〜Lx(後述する図7等参照)ごと、或いは複数(例えば3本)のラインごとに順次切り替えながら、各放射線検出素子7から蓄積された余分な電荷を順次放出させるように構成することも可能である。しかし、放射線画像撮影装置内には、通常、数千〜数万本の走査線5が配列されているため、このように各走査線ごとにオン電圧を印加するのでは、放射線検出素子7のリセット処理に比較的大きな時間を要してしまうことになる。   At that time, as described in Patent Document 4, for example, the scanning line 5 to which the ON voltage is applied is set for each of the lines L1 to Lx (see FIG. 7 to be described later) or for each of a plurality of (for example, three) lines. It is possible to sequentially discharge excess charges accumulated from the radiation detection elements 7 while sequentially switching. However, since several thousand to several tens of thousands of scanning lines 5 are usually arranged in the radiographic image capturing apparatus, the on-voltage is applied to each scanning line in this way. A relatively long time is required for the reset process.

また、このような場合に放射線検出素子7のリセット処理に要する時間を短縮するために、走査線5の各ラインL1〜Lxにオン電圧を印加する時間を短縮すると、各放射線検出素子7から暗電荷等の余分な電荷が放出され切らないうちにTFT8がオフ状態となってしまい、各放射線検出素子7から余分な電荷を十分に除去できなくなる。   Further, in such a case, in order to shorten the time required for the reset process of the radiation detection element 7, if the time for applying the ON voltage to each line L <b> 1 to Lx of the scanning line 5 is shortened, the darkness from each radiation detection element 7 is reduced. The TFT 8 is turned off before the extra charge such as the electric charge is completely discharged, and the extra charge cannot be sufficiently removed from each radiation detection element 7.

そこで、特許文献4にも記載されているように、走査線5の各ラインL1〜Lxに同時にオン電圧を印加して全TFT8を同時にオン状態として、各放射線検出素子7から一斉に蓄積された余分な電荷を放出させるように構成することが可能である。このように構成すれば、各放射線検出素子7から余分な電荷を十分に除去する時間を確保しつつ、全放射線検出素子7のリセット処理に要する時間を短縮することが可能となる。
特開平9−73144号公報 特開2006−058124号公報 特開平6−342099号公報 特開平9−131337号公報
Therefore, as described in Patent Document 4, on-voltages are simultaneously applied to the lines L1 to Lx of the scanning line 5 so that all TFTs 8 are simultaneously turned on and accumulated from the radiation detecting elements 7 simultaneously. It can be configured to release excess charge. With this configuration, it is possible to reduce the time required for resetting all the radiation detection elements 7 while securing the time for sufficiently removing excess charges from each radiation detection element 7.
JP-A-9-73144 JP 2006-058124 A JP-A-6-342099 JP-A-9-131337

ところで、放射線検出素子7の一方の電極(図7等に示す第1電極74)には前述したスイッチ手段としてのTFT8が接続されており、リセット処理の際、放射線検出素子7に蓄積された電子・正孔のうち一方の電荷がTFT8を介して信号線6に流出する。また、放射線検出素子7の他方の電極(図7等に示す第2電極78)には、放射線検出素子7にバイアス電圧を印加するためのバイアス線9が接続されており、各バイアス線9は結線10に結束されてバイアス電源14に接続されている。そして、リセット処理の際、放射線検出素子7に蓄積された電子・正孔の他方の電荷がバイアス線9に流出し、結線10に集まってバイアス電源14に流入する。   By the way, the TFT 8 as the switch means described above is connected to one electrode (the first electrode 74 shown in FIG. 7 and the like) of the radiation detection element 7, and the electrons accumulated in the radiation detection element 7 during the reset process. -One charge out of the holes flows out to the signal line 6 through the TFT 8. In addition, a bias line 9 for applying a bias voltage to the radiation detection element 7 is connected to the other electrode (second electrode 78 shown in FIG. 7 and the like) of the radiation detection element 7. It is bound to the connection 10 and connected to the bias power supply 14. In the reset process, the other charge of electrons and holes accumulated in the radiation detection element 7 flows out to the bias line 9, collects in the connection line 10, and flows into the bias power source 14.

その場合、特に、放射線画像撮影装置の電源を投入した後など、各放射線検出素子7に電力を供給した後に行われる最初のリセット処理の際には、各放射線検出素子7に比較的大量の電子や正孔が蓄積されている場合がある。そして、その場合に、上記のように全走査線5に同時にオン電圧を印加してリセット処理を行うと、各放射線検出素子7からバイアス線9に蓄積された電荷が流出し、バイアス線9の結線10に電荷が集まって大量の電流が流れる。   In that case, a relatively large amount of electrons are applied to each radiation detection element 7 particularly in the first reset process performed after power is supplied to each radiation detection element 7 such as after turning on the power of the radiation imaging apparatus. In some cases, holes are accumulated. In such a case, if the on-voltage is simultaneously applied to all the scanning lines 5 and reset processing is performed as described above, the charges accumulated in the bias lines 9 flow out from the radiation detection elements 7, and the bias lines 9 A large amount of current flows due to the collection of charges in the connection 10.

そして、放射線画像撮影装置が長年使用され、このようなバイアス線9や結線10への大量の電荷の流出が繰り返されると、特に結線10の部分に断線が生じてしまう場合があり、結線10等が断線すると、各放射線検出素子7に適切なバイアス電圧が印加されなくなり、各放射線検出素子7の電極(図7等に示す電極78)から余分な電荷が流出しなくなるため、放射線検出素子7で照射された放射線を的確に検出することができなくなる。   If the radiographic imaging apparatus is used for many years and a large amount of charge flows out to the bias line 9 or the connection 10 repeatedly, the disconnection may occur particularly in the connection 10 part. Is disconnected, an appropriate bias voltage is not applied to each radiation detection element 7, and excess charge does not flow out from the electrode of each radiation detection element 7 (electrode 78 shown in FIG. 7 etc.). The irradiated radiation cannot be accurately detected.

従来の支持台やブッキー装置と一体的に形成された放射線画像撮影装置(FPD)では、支持台等を介してFPDに常時電力が供給されるため、こまめにリセット処理を行うことが可能であり、各放射線検出素子7に大きな電荷が蓄積されないうちに電荷を放出させてバイアス線9や結線10に流れる電流量を小さくすることで、結線10等の断線を防止することが可能である。   In a conventional radiographic imaging device (FPD) integrally formed with a support base or a Bucky device, power is always supplied to the FPD through the support base and the like, so it is possible to perform reset processing frequently. It is possible to prevent disconnection of the connection line 10 and the like by releasing the charge before the large charge is stored in each radiation detection element 7 and reducing the amount of current flowing through the bias line 9 and the connection line 10.

しかし、バッテリが内蔵された可搬型の放射線画像撮影装置では、同様にリセット処理を頻繁に行うと、リセット処理で消費されるバッテリの電力量が増大し、バッテリが消耗してしまうという問題が生じる。そのため、可搬型の放射線画像撮影装置では、放射線画像撮影前などのように必要な場合にのみ放射線検出素子7のリセット処理を行うように構成せざるを得ないが、その場合には、上記のように結線10等の断線の可能性が生じる。   However, in a portable radiographic imaging apparatus with a built-in battery, if the reset process is performed frequently in the same manner, the amount of battery power consumed in the reset process increases and the battery is consumed. . Therefore, in the portable radiographic imaging apparatus, it is necessary to configure the radiation detection element 7 to be reset only when necessary, such as before radiographic imaging. Thus, the possibility of disconnection of the connection 10 or the like occurs.

そこで、可搬型放射線画像撮影装置においては、バッテリの消耗を防止しつつ、バイアス線9や結線10等の断線を生じないように放射線検出素子7のリセット処理が行われることが求められる。しかも、放射線検出素子7のリセット処理においては、各放射線検出素子7から余分な電荷を確実に除去できることが求められる。   Therefore, in the portable radiographic imaging device, it is required that the radiation detection element 7 is reset so that the bias line 9 and the connection 10 are not disconnected while preventing the battery from being consumed. In addition, in the reset process of the radiation detection elements 7, it is required that extra charges can be reliably removed from each radiation detection element 7.

本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、バッテリの消耗およびバイアス線等の断線を防止し、かつ、放射線検出素子から余分な電荷を十分に除去可能な可搬型放射線画像撮影装置および放射線画像撮影システムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems. Portable radiographic imaging capable of preventing battery consumption and disconnection of a bias line and the like and sufficiently removing excess charges from a radiation detection element. An object is to provide an apparatus and a radiographic imaging system.

前記の問題を解決するために、本発明の可搬型放射線画像撮影装置は、
互いに交差するように配設された複数の走査線および複数の信号線と、前記複数の走査線および複数の信号線により区画された各領域に二次元状に配列された複数の放射線検出素子とを備える検出部と、
前記各放射線検出素子に接続されたバイアス線と、
前記バイアス線を介して前記各放射線検出素子にバイアス電圧を印加するバイアス電源と、
前記放射線検出素子ごとに配置され、接続された前記走査線にオン電圧が印加されると前記放射線検出素子内で発生した電荷を放出させ、接続された前記走査線にオフ電圧が印加されると前記放射線検出素子内で発生した電荷を前記放射線検出素子内に蓄積させるスイッチ手段と、
電源回路とゲートドライバとを備え、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する電圧を制御する走査駆動手段と、
を備え、
前記各手段に電力を供給するバッテリが内蔵されており、
前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子内に蓄積された余分な電荷を放出させる前記放射線検出素子のリセット処理の際に、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する電圧を制御して、前記各放射線検出素子から前記バイアス線に流出する電流を制限することを特徴とする。
In order to solve the above problem, the portable radiographic imaging device of the present invention is:
A plurality of scanning lines and a plurality of signal lines arranged so as to intersect with each other; a plurality of radiation detecting elements arranged in a two-dimensional manner in each region partitioned by the plurality of scanning lines and the plurality of signal lines; A detector comprising:
A bias line connected to each of the radiation detection elements;
A bias power source for applying a bias voltage to each radiation detection element via the bias line;
When an on-voltage is applied to the scanning line arranged and connected to each radiation detection element, a charge generated in the radiation detection element is released, and an off-voltage is applied to the connected scanning line. Switch means for accumulating charges generated in the radiation detection element in the radiation detection element;
A scanning drive unit that includes a power supply circuit and a gate driver, and controls a voltage applied to the switch unit via each scanning line;
With
A battery for supplying power to each of the above means is incorporated,
The scanning drive unit controls a voltage applied to the switch unit via each scanning line during a reset process of the radiation detection element that discharges excess charges accumulated in the radiation detection element. The current flowing out from the radiation detecting elements to the bias line is limited.

また、本発明の放射線画像撮影システムは、
外部と通信可能な通信手段を備えた本発明の可搬型放射線画像撮影装置と、
前記可搬型放射線画像撮影装置に放射線を照射する放射線源と、前記放射線源を起動させるとともに、前記放射線源に放射線の照射開始を指示する照射開始スイッチを備える操作卓と、を備える放射線発生装置と、
を備え、
前記可搬型放射線画像撮影装置の前記走査駆動手段は、前記通信手段を介して、前記操作卓から送信された前記放射線源の起動信号を受信すると、前記放射線検出素子のリセット処理を開始することを特徴とする。
Moreover, the radiographic imaging system of the present invention is
A portable radiographic imaging device of the present invention comprising a communication means capable of communicating with the outside;
A radiation generator comprising: a radiation source that irradiates radiation to the portable radiation imaging apparatus; and an operation console that activates the radiation source and includes an irradiation start switch that instructs the radiation source to start radiation irradiation; ,
With
When the scanning drive unit of the portable radiographic image capturing apparatus receives the radiation source activation signal transmitted from the console via the communication unit, it starts resetting the radiation detection element. Features.

本発明のような方式の可搬型放射線画像撮影装置および放射線画像撮影システムによれば、異なる複数の電圧値のオン電圧を段階的に印加したり、短いパルス幅のオン電圧を複数回印加する等して、各走査線を介してスイッチ手段(TFT)に印加する電圧を制御することで、後述する図12(B)や図16等に示すように、各放射線検出素子からバイアス線や結線に流出する電流が制限され、バイアス線や結線を流れる電流の電流量は、リセット処理時に最初から各スイッチ手段に通常のオン電圧を印加した場合(各図中の一点鎖線参照)に比べてそのピークが低くなる。   According to the portable radiographic image capturing apparatus and the radiographic image capturing system of the system of the present invention, on voltages with different voltage values are applied stepwise, an on voltage with a short pulse width is applied multiple times, etc. Then, by controlling the voltage applied to the switch means (TFT) through each scanning line, as shown in FIG. 12B and FIG. The amount of current that flows through the bias line and connection is limited compared to when the normal on-voltage is applied to each switch means from the beginning during reset processing (see the dashed line in each figure). Becomes lower.

そのため、放射線検出素子のリセット処理が繰り返され、バイアス線や結線に多大な電流が流れることが繰り返されて結線等が断線する確率を確実に低下させることが可能となり、事実上、結線等の断線を防止することが可能となる。また、放射線検出素子のリセット処理を必要以上に頻繁に繰り返す必要がなくなるため、リセット処理を繰り返してバッテリの消費電力量が増大することを的確に防止して、バッテリの消耗を防止することが可能となる。   Therefore, the reset process of the radiation detection element is repeated, and it is possible to surely reduce the probability that a large amount of current flows through the bias line and the connection and the connection is disconnected. Can be prevented. In addition, since it is not necessary to repeat the reset process of the radiation detection element more frequently than necessary, it is possible to prevent the battery power consumption by accurately preventing the power consumption of the battery from increasing by repeating the reset process. It becomes.

さらに、例えば全てのスイッチ素子を同時にオン状態として各放射線検出素子のリセット処理を同時に行うように構成すれば、各放射線検出素子から余分な電荷を十分に除去する時間を確保しつつ、全放射線検出素子のリセット処理に要する時間を短縮することが可能となる。   Furthermore, for example, if all the switch elements are turned on at the same time and each radiation detection element is reset at the same time, all radiation detection can be performed while ensuring sufficient time to remove excess charges from each radiation detection element. It is possible to shorten the time required for the element reset processing.

以下、本発明に係る可搬型放射線画像撮影装置および放射線画像撮影システムの実施の形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of a portable radiographic imaging device and a radiographic imaging system according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

なお、以下、可搬型放射線画像撮影装置を単に放射線画像撮影装置と表す。また、放射線画像撮影装置が、シンチレータ等を備え、照射された放射線を可視光等の他の波長の電磁波に変換して電気信号を得るいわゆる間接型の放射線画像撮影装置について説明するが、本発明は、直接型の放射線画像撮影装置に対しても適用することが可能である。   Hereinafter, the portable radiographic imaging device is simply referred to as a radiographic imaging device. A so-called indirect radiation image capturing apparatus that includes a scintillator or the like and converts irradiated radiation into electromagnetic waves of other wavelengths such as visible light to obtain an electric signal will be described below. Can also be applied to a direct radiographic imaging apparatus.

[放射線画像撮影装置]
[第1の実施の形態]
図1は、本実施形態に係る放射線画像撮影装置の外観斜視図であり、図2は、図1のA−A線に沿う断面図である。本実施形態に係る放射線画像撮影装置1は、図1や図2に示すように、筐体2内にシンチレータ3や基板4等が収納された可搬型(カセッテ型)の装置として構成されている。
[Radiation imaging equipment]
[First Embodiment]
FIG. 1 is an external perspective view of the radiographic image capturing apparatus according to the present embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. As shown in FIGS. 1 and 2, the radiographic imaging apparatus 1 according to the present embodiment is configured as a portable (cassette type) apparatus in which a scintillator 3, a substrate 4, and the like are housed in a housing 2. .

筐体2は、少なくとも放射線の照射を受ける側の面R(以下、放射線入射面Rという。)が放射線を透過するカーボン板やプラスチック等の材料で形成されている。なお、図1や図2では、筐体2がフレーム板2Aとバック板2Bとで形成された、いわゆる弁当箱型である場合が示されているが、筐体2を一体的に角筒状に形成した、いわゆるモノコック型とすることも可能である。   The housing 2 is formed of a material such as a carbon plate or plastic that transmits radiation at least on a surface R (hereinafter referred to as a radiation incident surface R) that receives radiation. 1 and 2 show a case in which the housing 2 is a so-called lunch box type formed by the frame plate 2A and the back plate 2B. However, the housing 2 is integrally formed in a rectangular tube shape. It is also possible to use a so-called monocoque type.

また、図1に示すように、筐体2の側面部分には、電源スイッチ36や、LED等で構成されたインジケータ37、図示しないバッテリ41(後述する図7参照)の交換等のために開閉可能とされた蓋部材38等が配置されている。また、本実施形態では、蓋部材38の側面部には、外部と無線で通信するための通信手段であるアンテナ装置39が埋め込まれている。   As shown in FIG. 1, the side surface of the housing 2 is opened and closed for replacement of a power switch 36, an indicator 37 composed of LEDs and the like, and a battery 41 (not shown) (see FIG. 7 described later). A possible lid member 38 and the like are arranged. In the present embodiment, an antenna device 39 that is a communication unit for wirelessly communicating with the outside is embedded in the side surface of the lid member 38.

また、図2に示すように、筐体2の内部には、基板4の下方側に図示しない鉛の薄板等を介して基台31が配置され、基台31には、電子部品32等が配設されたPCB基板33や緩衝部材34等が取り付けられている。なお、本実施形態では、基板4やシンチレータ3の放射線入射面Rには、それらを保護するためのガラス基板35が配設されている。   As shown in FIG. 2, a base 31 is disposed inside the housing 2 via a thin lead plate or the like (not shown) on the lower side of the substrate 4. The disposed PCB substrate 33, the buffer member 34, and the like are attached. In the present embodiment, a glass substrate 35 for protecting the substrate 4 and the radiation incident surface R of the scintillator 3 is disposed.

シンチレータ3は、基板4の後述する検出部Pに貼り合わされるようになっている。シンチレータ3は、例えば、蛍光体を主成分とし、放射線の入射を受けると300〜800nmの波長の電磁波、すなわち可視光を中心とした電磁波に変換して出力するものが用いられる。   The scintillator 3 is attached to a detection unit P, which will be described later, of the substrate 4. As the scintillator 3, for example, a scintillator 3 that has a phosphor as a main component and converts it into an electromagnetic wave having a wavelength of 300 to 800 nm, that is, an electromagnetic wave centered on visible light when it receives incident radiation, is used.

基板4は、本実施形態では、ガラス基板で構成されており、図3に示すように、基板4のシンチレータ3に対向する側の面4a上には、複数の走査線5と複数の信号線6とが互いに交差するように配設されている。基板4の面4a上の複数の走査線5と複数の信号線6により区画された各小領域rには、それぞれ放射線検出素子7がそれぞれ設けられている。   In the present embodiment, the substrate 4 is formed of a glass substrate. As shown in FIG. 3, a plurality of scanning lines 5 and a plurality of signal lines are provided on a surface 4 a of the substrate 4 facing the scintillator 3. 6 are arranged so as to cross each other. In each small region r defined by the plurality of scanning lines 5 and the plurality of signal lines 6 on the surface 4 a of the substrate 4, radiation detection elements 7 are respectively provided.

このように、走査線5と信号線6で区画された各小領域rに二次元状に配列された複数の放射線検出素子7が設けられた領域r全体、すなわち図3に一点鎖線で示される領域が検出部Pとされている。   Thus, the entire region r in which a plurality of radiation detection elements 7 arranged in a two-dimensional manner are provided in each small region r partitioned by the scanning line 5 and the signal line 6, that is, shown by a one-dot chain line in FIG. The region is a detection unit P.

本実施形態では、放射線検出素子7としてフォトダイオードが用いられているが、この他にも、例えばフォトトランジスタ等を用いることも可能である。各放射線検出素子7は、図3や図4の拡大図に示すように、スイッチ手段であるTFT8のソース電極8sに接続されている。また、TFT8のドレイン電極8dは信号線6に接続されている。   In the present embodiment, a photodiode is used as the radiation detection element 7, but other than this, for example, a phototransistor or the like can also be used. Each radiation detection element 7 is connected to the source electrode 8s of the TFT 8 serving as a switch means, as shown in the enlarged views of FIGS. The drain electrode 8 d of the TFT 8 is connected to the signal line 6.

そして、TFT8は、後述する走査駆動手段15により、接続された走査線5にオン電圧が印加され、ゲート電極8gにオン電圧が印加されるとオン状態となり、放射線検出素子7内で発生し蓄積されている電荷を信号線6に放出させるようになっている。また、TFT8は、接続された走査線5にオフ電圧が印加され、ゲート電極8gにオフ電圧が印加されるとオフ状態となり、放射線検出素子7から信号線6への電荷の放出を停止して、放射線検出素子7内で発生した電荷を放射線検出素子7内に蓄積させるようになっている。   The TFT 8 is turned on when a turn-on voltage is applied to the connected scanning line 5 by the scanning drive means 15 described later and applied to the gate electrode 8g, and is generated and accumulated in the radiation detection element 7. The charged electric charge is discharged to the signal line 6. Further, the TFT 8 is turned off when the off voltage is applied to the connected scanning line 5 and the off voltage is applied to the gate electrode 8g, and the emission of the charge from the radiation detecting element 7 to the signal line 6 is stopped. The charges generated in the radiation detection element 7 are accumulated in the radiation detection element 7.

ここで、本実施形態における放射線検出素子7やTFT8の構造について、図5に示す断面図を用いて簡単に説明する。図5は、図4におけるX−X線に沿う断面図である。   Here, the structure of the radiation detection element 7 and the TFT 8 in this embodiment will be briefly described with reference to the cross-sectional view shown in FIG. FIG. 5 is a sectional view taken along line XX in FIG.

基板4の面4a上に、AlやCr等からなるTFT8のゲート電極8gが走査線5と一体的に積層されて形成されており、ゲート電極8g上および面4a上に積層された窒化シリコン(SiN)等からなるゲート絶縁層81上のゲート電極8gの上方部分に、水素化アモルファスシリコン(a−Si)等からなる半導体層82を介して、放射線検出素子7の第1電極74と接続されたソース電極8sと、信号線6と一体的に形成されるドレイン電極8dとが積層されて形成されている。 A gate electrode 8g of a TFT 8 made of Al, Cr or the like is formed on the surface 4a of the substrate 4 so as to be integrally laminated with the scanning line 5, and silicon nitride (laminated on the gate electrode 8g and the surface 4a). The first electrode 74 of the radiation detecting element 7 is connected to the upper portion of the gate electrode 8g on the gate insulating layer 81 made of SiN x ) or the like via the semiconductor layer 82 made of hydrogenated amorphous silicon (a-Si) or the like. The formed source electrode 8s and the drain electrode 8d formed integrally with the signal line 6 are laminated.

ソース電極8sとドレイン電極8dとは、窒化シリコン(SiN)等からなる第1パッシベーション層83によって分割されており、さらに第1パッシベーション層83は両電極8s、8dを上側から被覆している。また、半導体層82とソース電極8sやドレイン電極8dとの間には、水素化アモルファスシリコンにVI族元素をドープしてn型に形成されたオーミックコンタクト層84a、84bがそれぞれ積層されている。以上のようにしてTFT8が形成されている。 The source electrode 8s and the drain electrode 8d are divided by a first passivation layer 83 made of silicon nitride (SiN x ) or the like, and the first passivation layer 83 covers both the electrodes 8s and 8d from above. In addition, ohmic contact layers 84a and 84b formed in an n-type by doping hydrogenated amorphous silicon with a group VI element are stacked between the semiconductor layer 82 and the source electrode 8s and the drain electrode 8d, respectively. The TFT 8 is formed as described above.

また、放射線検出素子7の部分では、基板4の面4a上に前記ゲート絶縁層81と一体的に形成される絶縁層71の上にAlやCr等が積層されて補助電極72が形成されており、補助電極72上に前記第1パッシベーション層83と一体的に形成される絶縁層73を挟んでAlやCr、Mo等からなる第1電極74が積層されている。第1電極74は、第1パッシベーション層83に形成されたホールHを介してTFT8のソース電極8sに接続されている。   In the radiation detecting element 7, an auxiliary electrode 72 is formed by laminating Al, Cr, or the like on the insulating layer 71 formed integrally with the gate insulating layer 81 on the surface 4 a of the substrate 4. A first electrode 74 made of Al, Cr, Mo or the like is laminated on the auxiliary electrode 72 with an insulating layer 73 formed integrally with the first passivation layer 83 interposed therebetween. The first electrode 74 is connected to the source electrode 8 s of the TFT 8 through the hole H formed in the first passivation layer 83.

第1電極74の上には、水素化アモルファスシリコンにVI族元素をドープしてn型に形成されたn層75、水素化アモルファスシリコンで形成された変換層であるi層76、水素化アモルファスシリコンにIII族元素をドープしてp型に形成されたp層77が下方から順に積層されて形成されている。   On the first electrode 74, an n layer 75 formed in an n-type by doping a hydrogenated amorphous silicon with a group VI element, an i layer 76 which is a conversion layer formed of hydrogenated amorphous silicon, and a hydrogenated amorphous A p layer 77 formed by doping a group III element into silicon and forming a p-type layer is formed by laminating sequentially from below.

放射線画像撮影装置1の筐体2の放射線入射面Rから放射線が入射し、シンチレータ3で可視光等の電磁波に変換され、変換された電磁波が図中上方から照射されると、電磁波は放射線検出素子7のi層76に到達して、i層76内で電子正孔対が発生する。放射線検出素子7は、このようにして、シンチレータ3から照射された電磁波を電荷に変換するようになっている。   When radiation enters from the radiation incident surface R of the housing 2 of the radiographic imaging apparatus 1 and is converted into an electromagnetic wave such as visible light by the scintillator 3, and the converted electromagnetic wave is irradiated from above in the figure, the electromagnetic wave is detected by radiation. The electron hole pair is generated in the i layer 76 by reaching the i layer 76 of the element 7. In this way, the radiation detection element 7 converts the electromagnetic waves irradiated from the scintillator 3 into electric charges.

また、p層77の上には、ITO等の透明電極とされた第2電極78が積層されて形成されており、照射された電磁波がi層76等に到達するように構成されている。本実施形態では、以上のようにして放射線検出素子7が形成されている。なお、p層77、i層76、n層75の積層の順番は上下逆であってもよい。また、本実施形態では、放射線検出素子7として、上記のようにp層77、i層76、n層75の順に積層されて形成されたいわゆるpin型の放射線検出素子を用いる場合が説明されているが、これに限定されない。   On the p layer 77, a second electrode 78 made of a transparent electrode such as ITO is laminated and formed so that the irradiated electromagnetic wave reaches the i layer 76 and the like. In the present embodiment, the radiation detection element 7 is formed as described above. The order of stacking the p layer 77, the i layer 76, and the n layer 75 may be reversed. Further, in the present embodiment, a case where a so-called pin-type radiation detection element formed by sequentially stacking the p layer 77, the i layer 76, and the n layer 75 as described above is used as the radiation detection element 7. However, it is not limited to this.

放射線検出素子7の第2電極78の上面には、第2電極78を介して放射線検出素子7にバイアス電圧を印加するバイアス線9が接続されている。なお、放射線検出素子7の第2電極78やバイアス線9、TFT8側に延出された第1電極74、TFT8の第1パッシベーション層83等、すなわち放射線検出素子7とTFT8の上面部分は、その上方側から窒化シリコン(SiN)等からなる第2パッシベーション層79で被覆されている。 A bias line 9 for applying a bias voltage to the radiation detection element 7 is connected to the upper surface of the second electrode 78 of the radiation detection element 7 via the second electrode 78. The second electrode 78 and the bias line 9 of the radiation detection element 7, the first electrode 74 extended to the TFT 8 side, the first passivation layer 83 of the TFT 8, that is, the upper surfaces of the radiation detection element 7 and the TFT 8 are A second passivation layer 79 made of silicon nitride (SiN x ) or the like is covered from above.

図3や図4に示すように、本実施形態では、それぞれ列状に配置された複数の放射線検出素子7に1本のバイアス線9が接続されており、各バイアス線9はそれぞれ信号線6に平行に配設されている。また、各バイアス線9は、基板4の検出部Pの外側の位置で1本の結線10に結束されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, in this embodiment, one bias line 9 is connected to a plurality of radiation detection elements 7 arranged in rows, and each bias line 9 is connected to a signal line 6. Are arranged in parallel with each other. In addition, each bias line 9 is bound to one connection 10 at a position outside the detection portion P of the substrate 4.

本実施形態では、図3に示すように、各走査線5や各信号線6、バイアス線9の結線10は、それぞれ基板4の端縁部付近に設けられた入出力端子(パッドともいう)11に接続されている。各入出力端子11には、図6に示すように、IC12a等のチップが組み込まれたCOF(Chip On Film)12が異方性導電接着フィルム(Anisotropic Conductive Film)や異方性導電ペースト(Anisotropic Conductive Paste)等の異方性導電性接着材料13を介して接続されている。   In this embodiment, as shown in FIG. 3, each scanning line 5, each signal line 6, and connection 10 of the bias line 9 are input / output terminals (also referred to as pads) provided near the edge of the substrate 4. 11 is connected. As shown in FIG. 6, a COF (Chip On Film) 12 in which a chip such as an IC 12 a is incorporated in each input / output terminal 11 is an anisotropic conductive adhesive film (Anisotropic Conductive Film) or anisotropic conductive paste (Anisotropic paste). It is connected via an anisotropic conductive adhesive material 13 such as Conductive Paste).

また、COF12は、基板4の裏面4b側に引き回され、裏面4b側で前述したPCB基板33に接続されるようになっている。このようにして、放射線画像撮影装置1の基板4部分が形成されている。なお、図6では、電子部品32等の図示が省略されている。   The COF 12 is routed to the back surface 4b side of the substrate 4 and connected to the PCB substrate 33 described above on the back surface 4b side. Thus, the board | substrate 4 part of the radiographic imaging apparatus 1 is formed. In FIG. 6, illustration of the electronic component 32 and the like is omitted.

ここで、放射線画像撮影装置1の回路構成について説明する。図7は本実施形態に係る放射線画像撮影装置1の等価回路図であり、図8は検出部Pを構成する1画素分についての等価回路図である。   Here, the circuit configuration of the radiation image capturing apparatus 1 will be described. FIG. 7 is an equivalent circuit diagram of the radiation image capturing apparatus 1 according to the present embodiment, and FIG. 8 is an equivalent circuit diagram of one pixel constituting the detection unit P.

前述したように、基板4の検出部Pの各放射線検出素子7は、その第2電極78にそれぞれバイアス線9が接続されており、各バイアス線9は結線10に結束されてバイアス電源14に接続されている。バイアス電源14は、結線10および各バイアス線9を介して各放射線検出素子7の第2電極78にそれぞれバイアス電圧を印加するようになっている。   As described above, each radiation detection element 7 of the detection unit P of the substrate 4 has the bias line 9 connected to the second electrode 78, and each bias line 9 is bound to the connection 10 to the bias power supply 14. It is connected. The bias power supply 14 applies a bias voltage to the second electrode 78 of each radiation detection element 7 via the connection 10 and each bias line 9.

また、バイアス電源14は、後述する制御手段22に接続されており、制御手段22は、バイアス電源14から各放射線検出素子7に印加するバイアス電圧を制御するようになっている。なお、本実施形態では、バイアス線9の結線10に、結線10(バイアス線9)を流れる電流の電流量を検出する電流検出手段43が設けられているが、これについては後で説明する。   The bias power source 14 is connected to a control unit 22 described later, and the control unit 22 controls a bias voltage applied to each radiation detection element 7 from the bias power source 14. In the present embodiment, the current detection means 43 for detecting the amount of current flowing through the connection 10 (bias line 9) is provided in the connection 10 of the bias line 9, which will be described later.

また、本実施形態では、放射線検出素子7のp層77側(図5参照)に第2電極78を介してバイアス線9が接続されていることからも分かるように、バイアス電源14からは、放射線検出素子7の第2電極78にバイアス線9を介してバイアス電圧として放射線検出素子7の第1電極74側にかかる電圧以下の電圧が印加されるようになっている。   In the present embodiment, as can be seen from the fact that the bias line 9 is connected to the p-layer 77 side (see FIG. 5) of the radiation detection element 7 via the second electrode 78, A voltage equal to or lower than the voltage applied to the first electrode 74 side of the radiation detection element 7 is applied to the second electrode 78 of the radiation detection element 7 as a bias voltage via the bias line 9.

各放射線検出素子7の第1電極74はTFT8のソース電極8s(図7、図8中ではSと表記されている。)に接続されており、各TFT8のゲート電極8g(図7、図8中ではGと表記されている。)は、後述する走査駆動手段15のゲートドライバ15bから延びる各走査線5の各ラインL1〜Lxにそれぞれ接続されている。また、各TFT8のドレイン電極8d(図7、図8中ではDと表記されている。)は各信号線6にそれぞれ接続されている。   The first electrode 74 of each radiation detection element 7 is connected to the source electrode 8s of the TFT 8 (indicated as S in FIGS. 7 and 8), and the gate electrode 8g of each TFT 8 (FIGS. 7 and 8). Are respectively connected to the lines L1 to Lx of each scanning line 5 extending from a gate driver 15b of the scanning driving means 15 described later. Further, the drain electrode 8 d (denoted as D in FIGS. 7 and 8) of each TFT 8 is connected to each signal line 6.

走査駆動手段15は、本実施形態では、電源回路15aとゲートドライバ15bとを備えており、ゲートドライバ15bに接続されている各走査線5を介してTFT8のゲート電極8gに印加する電圧を制御するようになっている。   In this embodiment, the scanning drive unit 15 includes a power supply circuit 15a and a gate driver 15b, and controls a voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 via each scanning line 5 connected to the gate driver 15b. It is supposed to be.

具体的には、走査駆動手段15の電源回路15aは、ゲートドライバ15bから各走査線5に印加するオン電圧やオフ電圧の電圧値をそれぞれ所定の電圧値に設定して、ゲートドライバ15bに供給するようになっている。また、走査駆動手段15のゲートドライバ15bは、パルス幅変調(Pulse Width Modulation:PWM)により各走査線5に印加するオン電圧のパルス波のパルス幅やデューティ比を変調できるようになっている。   Specifically, the power supply circuit 15a of the scanning drive unit 15 sets the voltage values of the on voltage and the off voltage applied to each scanning line 5 from the gate driver 15b to predetermined voltage values, and supplies them to the gate driver 15b. It is supposed to be. Further, the gate driver 15b of the scanning driving means 15 can modulate the pulse width and duty ratio of the pulse wave of the on-voltage applied to each scanning line 5 by pulse width modulation (PWM).

走査駆動手段15から各走査線5を介したTFT8に対するオン電圧の印加のさせ方については後で詳しく説明する。   A method for applying the ON voltage to the TFT 8 via the scanning lines 5 from the scanning driving means 15 will be described in detail later.

各信号線6は、読み出しIC16内に形成された各読み出し回路17にそれぞれ接続されている。なお、読み出しIC16には所定個数の読み出し回路17が設けられており、読み出しIC16が複数設けられることにより、信号線6の本数分の読み出し回路17が設けられるようになっている。   Each signal line 6 is connected to each readout circuit 17 formed in the readout IC 16. Note that a predetermined number of readout circuits 17 are provided in the readout IC 16, and by providing a plurality of readout ICs 16, readout circuits 17 corresponding to the number of signal lines 6 are provided.

読み出し回路17は、増幅回路18と、相関二重サンプリング(Correlated Double Sampling)回路19と、アナログマルチプレクサ21と、A/D変換器20とで構成されている。なお、図7や図8中では、相関二重サンプリング回路19はCDSと表記されている。また、図8中では、アナログマルチプレクサ21は省略されている。   The readout circuit 17 includes an amplifier circuit 18, a correlated double sampling circuit 19, an analog multiplexer 21, and an A / D converter 20. 7 and 8, the correlated double sampling circuit 19 is represented as CDS. In FIG. 8, the analog multiplexer 21 is omitted.

本実施形態では、増幅回路18はチャージアンプ回路で構成されており、オペアンプ18aと、オペアンプ18aにそれぞれ並列にコンデンサ18bおよび電荷リセット用スイッチ18cが接続されて構成されている。また、増幅回路18のオペアンプ18aの入力側の反転入力端子には信号線6が接続されており、増幅回路18の入力側の非反転入力端子には初期電圧Vが印加されるようになっている。なお、初期電圧Vは適宜の値に設定される。 In the present embodiment, the amplifier circuit 18 is configured by a charge amplifier circuit, and is configured by connecting a capacitor 18b and a charge reset switch 18c in parallel to the operational amplifier 18a and the operational amplifier 18a. The signal line 6 is connected to the inverting input terminal on the input side of the operational amplifier 18 a of the amplifier circuit 18, and the initial voltage V 0 is applied to the non-inverting input terminal on the input side of the amplifier circuit 18. ing. The initial voltage V 0 is set to a suitable value.

また、増幅回路18の電荷リセット用スイッチ18cは、後述する制御手段22に接続されており、制御手段22によりオン/オフが制御されるようになっている。電荷リセット用スイッチ18cがオフの状態で、放射線検出素子7のTFT8がオン状態とされると(すなわち、TFT8のゲート電極8gに走査線5を介してオン電圧が印加されると)、当該放射線検出素子7から放出された電荷がコンデンサ18bに流入して蓄積され、蓄積された電荷量に応じた電圧値がオペアンプ18aの出力側から出力されるようになっている。   The charge reset switch 18c of the amplifier circuit 18 is connected to the control means 22 described later, and is controlled to be turned on / off by the control means 22. When the charge reset switch 18c is off and the TFT 8 of the radiation detection element 7 is turned on (that is, when an on-voltage is applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 via the scanning line 5), the radiation The electric charge discharged from the detection element 7 flows into the capacitor 18b and is accumulated, and a voltage value corresponding to the accumulated electric charge is output from the output side of the operational amplifier 18a.

増幅回路18は、このようにして、各放射線検出素子7から出力された電荷量に応じて電圧値を出力して電荷電圧変換して増幅するようになっている。また、電荷リセット用スイッチ18cがオン状態とされると、増幅回路18の入力側と出力側とが短絡されてコンデンサ18bに蓄積された電荷が放電されて増幅回路18がリセットされるようになっている。なお、増幅回路18を、放射線検出素子7から出力された電荷に応じて電流を出力するように構成することも可能である。   In this way, the amplifier circuit 18 outputs a voltage value in accordance with the amount of charge output from each radiation detection element 7 to perform charge voltage conversion and amplify. When the charge reset switch 18c is turned on, the input side and the output side of the amplifier circuit 18 are short-circuited, and the charge accumulated in the capacitor 18b is discharged to reset the amplifier circuit 18. ing. Note that the amplifier circuit 18 may be configured to output a current in accordance with the charge output from the radiation detection element 7.

増幅回路18の出力側には、相関二重サンプリング回路(CDS)19が接続されている。相関二重サンプリング回路19は、本実施形態では、サンプルホールド機能を有しており、この相関二重サンプリング回路19におけるサンプルホールド機能は、制御手段22から送信されるパルス信号によりそのオン/オフが制御されるようになっている。   A correlated double sampling circuit (CDS) 19 is connected to the output side of the amplifier circuit 18. In this embodiment, the correlated double sampling circuit 19 has a sample and hold function. The sample and hold function in the correlated double sampling circuit 19 is turned on / off by a pulse signal transmitted from the control means 22. To be controlled.

すなわち、相関二重サンプリング回路19は、増幅回路18がリセットされた後、電荷リセット用スイッチ18cがオフ状態とされて、放射線検出素子7から放出された電荷がコンデンサ18bに流入して蓄積され始めた時点で制御手段22から1回目のパルス信号を受信すると、その時点で増幅回路18から出力されている電圧値を保持する。   That is, in the correlated double sampling circuit 19, after the amplifier circuit 18 is reset, the charge reset switch 18c is turned off, and the charge discharged from the radiation detection element 7 starts to flow into the capacitor 18b and accumulate. When the first pulse signal is received from the control means 22 at that time, the voltage value output from the amplifier circuit 18 at that time is held.

そして、その時点から所定時間経過した後、放射線検出素子7から放出された電荷がコンデンサ18bに流入して蓄積された時点で制御手段22から2回目のパルス信号を受信すると、その時点で再び増幅回路18から出力されている電圧値を保持して、それらの電圧値の差分値を下流側に画像データとして出力するようになっている。   Then, after a lapse of a predetermined time from that point, when the second pulse signal is received from the control means 22 when the electric charge released from the radiation detecting element 7 flows into the capacitor 18b and is accumulated, it is amplified again at that point. The voltage value output from the circuit 18 is held, and the difference value between these voltage values is output downstream as image data.

相関二重サンプリング回路19から出力された各放射線検出素子7の画像データは、アナログマルチプレクサ21に送信され、アナログマルチプレクサ21から順次A/D変換器20に送信される。そして、A/D変換器20で順次デジタル値の画像データに変換されて記憶手段40に出力されて順次保存されるようになっている。   The image data of each radiation detection element 7 output from the correlated double sampling circuit 19 is transmitted to the analog multiplexer 21 and sequentially transmitted from the analog multiplexer 21 to the A / D converter 20. Then, the A / D converter 20 sequentially converts the image data into digital values, which are output to the storage means 40 and sequentially stored.

制御手段22は、図示しないCPU(Central Processing Unit)やROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、入出力インターフェース等がバスに接続されたコンピュータにより構成されている。専用の制御回路で構成されていてもよい。そして、制御手段22は、放射線画像撮影装置1の各部材の動作等を制御するようになっている。また、制御手段22には、DRAM(Dynamic RAM)等で構成される記憶手段40が接続されている。   The control means 22 is constituted by a computer in which a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), an input / output interface and the like (not shown) are connected to a bus. It may be configured by a dedicated control circuit. And the control means 22 controls operation | movement etc. of each member of the radiographic imaging apparatus 1. The control means 22 is connected to a storage means 40 composed of a DRAM (Dynamic RAM) or the like.

また、制御手段22には、前述したアンテナ装置39が接続されており、さらに、検出部Pや走査駆動手段15、読み出し回路17、記憶手段40、バイアス電源14等の各部材に電力を供給するためのバッテリ41が接続されている。このように、バッテリ41は、放射線画像撮影装置1のハウジング2内に内蔵されており、バッテリ41には、外部装置からバッテリ41に電力を供給してバッテリ41を充電する際の接続端子42が取り付けられている。   The control unit 22 is connected to the antenna device 39 described above, and further supplies power to each member such as the detection unit P, the scanning drive unit 15, the readout circuit 17, the storage unit 40, and the bias power source 14. A battery 41 is connected. As described above, the battery 41 is built in the housing 2 of the radiographic imaging apparatus 1, and the battery 41 has a connection terminal 42 for supplying power from the external device to the battery 41 to charge the battery 41. It is attached.

前述したように、制御手段22は、バイアス電源14を制御してバイアス電源14から各放射線検出素子7に印加するバイアス電圧を設定したり、読み出し回路17の増幅回路18の電荷リセット用スイッチ18cのオン/オフを制御したり、相関二重サンプリング回路19にパルス信号を送信して、そのサンプルホールド機能のオン/オフを制御する等の各種の処理を実行するようになっている。   As described above, the control means 22 controls the bias power supply 14 to set a bias voltage to be applied to each radiation detection element 7 from the bias power supply 14, or the charge reset switch 18 c of the amplification circuit 18 of the readout circuit 17. Various processes such as on / off control and transmission of a pulse signal to the correlated double sampling circuit 19 to control on / off of the sample hold function are executed.

また、制御手段22は、放射線技師等の操作者により電源スイッチ36が操作される等して手動で、或いは、外部装置からアンテナ装置39を介して無線で、信号が入力されることにより、各部材に対する電力の供給状態を、放射線検出素子7等への電力の供給を停止して必要な部材にのみ電力を供給する省電力モード(sleepモード)と、放射線検出素子7等に電力を供給して放射線画像撮影を可能とする撮影可能モード(wake upモード)との間で切り替えることができるように構成されている。   In addition, the control means 22 is configured such that a signal is input manually by an operator such as a radiologist operating the power switch 36 or wirelessly through an antenna device 39 from an external device. The power supply state to the member is set to a power saving mode (sleep mode) in which the supply of power to the radiation detecting element 7 or the like is stopped and power is supplied only to the necessary member, and the power is supplied to the radiation detecting element 7 or the like. Thus, it is configured to be able to switch between a radiographable mode (wake up mode) that enables radiographic imaging.

省電力モードでは、放射線検出素子7等に電力が供給されないため、バッテリ41の電力消費を抑制することができるが、放射線画像撮影を行うことはできない。また、撮影可能モードでは、放射線検出素子7等の各部材に電力が供給されて放射線検出が可能な状態となるが、バッテリ41の電力が消費される。そのため、制御手段22は、各部材に対する電力の供給状態を撮影可能モードに切り替えた後、所定時間経過しても放射線画像撮影装置1に放射線が照射されない場合には、各部材に対する電力の供給状態を省電力モードに切り替えるようになっている。   In the power saving mode, since power is not supplied to the radiation detection element 7 and the like, power consumption of the battery 41 can be suppressed, but radiographic imaging cannot be performed. In the photographing enabled mode, power is supplied to each member such as the radiation detection element 7 and radiation detection is possible, but the power of the battery 41 is consumed. For this reason, the control unit 22 switches the power supply state to each member to the photographing enabled mode, and if the radiation image capturing apparatus 1 is not irradiated with radiation even after a predetermined time has elapsed, the power supply state to each member. Switch to the power saving mode.

電流検出手段43は、各バイアス線9が結束された結線10内を流れる電流を検出するようになっている。本実施形態では、電流検出手段43は、図示を省略するが、結線10に直列に接続される所定の抵抗値を有する抵抗と、抵抗の両端子間の電圧を測定する差動アンプとを備えて構成されており、差動アンプで抵抗の両端子間の電圧を測定することで結線10を流れる電流を電圧値に変換して検出するようになっている。   The current detection means 43 detects a current flowing in the connection 10 in which the bias lines 9 are bundled. In the present embodiment, the current detection unit 43 includes a resistor having a predetermined resistance value connected in series to the connection 10 and a differential amplifier that measures a voltage between both terminals of the resistor, although not illustrated. By measuring the voltage between both terminals of the resistor with a differential amplifier, the current flowing through the connection 10 is converted into a voltage value and detected.

電流検出手段43に備えられる前記抵抗としては、各バイアス線9や結線10を流れる微弱な電流を増幅して電圧値に変換するために比較的大きな抵抗値を有する抵抗が用いられるようになっており、電流検出手段43は、検出した結線10の電流量に相当する電圧値を制御手段22に出力するようになっている。   As the resistor provided in the current detecting means 43, a resistor having a relatively large resistance value is used in order to amplify a weak current flowing through each bias line 9 and connection 10 and convert it to a voltage value. The current detection means 43 outputs a voltage value corresponding to the detected current amount of the connection 10 to the control means 22.

なお、例えば放射線画像撮影時の放射線照射によって放射線検出素子7内に蓄積された電荷を読み出す際に、バイアス線9や結線10等にも電流が流れるが、電流検出手段43の抵抗の抵抗値が比較的大きいと、バイアス線9や結線10等を流れる電流の妨げとなる。   Note that, for example, when reading the electric charge accumulated in the radiation detection element 7 by radiation irradiation at the time of radiographic imaging, a current also flows through the bias line 9 and the connection 10, but the resistance value of the resistance of the current detection unit 43 is If it is relatively large, the current flowing through the bias line 9 and the connection line 10 will be hindered.

そのため、電流検出手段43には前記抵抗の両端子間を短絡する図示しないスイッチが設けられており、制御手段22は、通常の状態ではこのスイッチをオン状態として抵抗の両端子間を短絡させておき、バイアス線9や結線10等に流れる電流量に相当する電圧値の情報が必要な場合等にスイッチをオフ状態に切り替えて、電流検出手段43から検出した結線10の電流量に相当する電圧値を制御手段22や走査駆動手段15に出力させるようになっている。   For this reason, the current detecting means 43 is provided with a switch (not shown) for short-circuiting both terminals of the resistor, and the control means 22 is normally turned on to short-circuit between both terminals of the resistor. When the voltage value information corresponding to the amount of current flowing through the bias line 9 or the connection 10 is necessary, the switch is turned off, and the voltage corresponding to the current amount of the connection 10 detected from the current detection means 43 The value is output to the control means 22 and the scanning drive means 15.

次に、本実施形態に係る放射線画像撮影装置1の作用について説明するとともに、本実施形態に係る放射線画像撮影装置1における走査駆動手段15から各走査線5を介したTFT8に対するオン電圧の印加のさせ方について説明する。   Next, the operation of the radiographic image capturing apparatus 1 according to the present embodiment will be described, and the application of the on-voltage to the TFTs 8 via the scanning lines 5 from the scanning drive unit 15 in the radiographic image capturing apparatus 1 according to the present embodiment will be described. How to let it be explained.

放射線画像撮影装置1の制御手段22(図7参照)は、放射線画像撮影を行うために操作者により手動で、或いは外部装置からアンテナ装置39を介して無線で覚醒信号が入力されると、放射線画像撮影装置1の各部材に対する電力の供給状態を省電力モードから撮影可能モードに切り替える。   The control means 22 (see FIG. 7) of the radiographic image capturing apparatus 1 receives radiation signals when an awakening signal is input manually by an operator to perform radiographic image capturing or wirelessly from an external device via the antenna device 39. The power supply state for each member of the image capturing apparatus 1 is switched from the power saving mode to the image capturing possible mode.

走査駆動手段15の電源回路15aには、走査線5を介して各放射線検出素子7のスイッチ手段であるTFT8のゲート電極8gに印加するオフ電圧Voff、すなわち各放射線検出素子7のTFT8を閉じるためのオフ電圧Voffとして、例えば図9に示すように−10[V]の電圧値を印加するように設定されている。   The power supply circuit 15a of the scanning drive means 15 is used to close the off voltage Voff applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 serving as the switch means of each radiation detection element 7 via the scanning line 5, that is, the TFT 8 of each radiation detection element 7. For example, as shown in FIG. 9, a voltage value of −10 [V] is applied as the OFF voltage Voff.

そして、制御手段22は、各部材に対する電力の供給状態が省電力モードから撮影可能モードに切り替わると走査駆動手段15に信号を送信し、走査駆動手段15の電源回路15aは、制御手段22から信号を受信すると、ゲートドライバ15bに対してオフ電圧Voffを設定する。そして、走査駆動手段15のゲートドライバ15bは、走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対してオフ電圧Voffを印加する(時刻T0)。   The control means 22 transmits a signal to the scanning drive means 15 when the power supply state to each member is switched from the power saving mode to the photographing enable mode, and the power supply circuit 15a of the scanning drive means 15 receives a signal from the control means 22. , The off voltage Voff is set for the gate driver 15b. Then, the gate driver 15b of the scanning drive unit 15 applies the off voltage Voff to all the TFTs 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 (time T0).

また、制御手段22は、各部材に対する電力の供給状態が省電力モードから撮影可能モードに切り替わると、バイアス電源14に信号を送信して、バイアス電源14から各バイアス線9や結線10を介して各放射線検出素子7に対して所定の電圧値のバイアス電圧を印加させる。   Further, the control means 22 transmits a signal to the bias power supply 14 when the power supply state to each member is switched from the power saving mode to the photographing enable mode, and the bias power supply 14 via each bias line 9 or the connection 10. A bias voltage having a predetermined voltage value is applied to each radiation detection element 7.

この後、各放射線検出素子7のリセット処理が行われるが、本実施形態では、このリセット処理の際、走査駆動手段15は、走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対して通常のオン電圧である例えば+15[V]のオン電圧Von3を印加するのではなく、異なる複数の電圧値Von1、Von2、Von3のオン電圧を印加し、オン電圧Von1、Von2、Von3をリセット処理開始時から段階的に増加させるようにして(すなわち、Von1<Von2<Von3)、各走査線5を介してTFT8のゲート電極8gに印加する電圧を制御して、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流Iを制限するようになっている。   Thereafter, reset processing of each radiation detection element 7 is performed. In this embodiment, at the time of this reset processing, the scanning drive unit 15 applies all the TFTs 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5. On the other hand, instead of applying a normal on-voltage, for example, +15 [V] on-voltage Von3, different on-voltages Von1, Von2, and Von3 are applied, and the on-voltages Von1, Von2, and Von3 are reset. Bias is applied from each radiation detection element 7 by increasing the voltage stepwise from the start of processing (ie, Von1 <Von2 <Von3) and controlling the voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 via each scanning line 5. The current I flowing out to the line 9 and the connection 10 is limited.

具体的には、図9に示すように、走査駆動手段15の電源回路15aは、まず、ゲートドライバ15bに対して第1のオン電圧Von1を設定する。そして、走査駆動手段15のゲートドライバ15bは、走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対して第1のオン電圧Von1を印加する(時刻T1)。   Specifically, as shown in FIG. 9, the power supply circuit 15a of the scan driving unit 15 first sets the first on-voltage Von1 for the gate driver 15b. Then, the gate driver 15b of the scanning drive unit 15 applies the first on-voltage Von1 to all the TFTs 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 (time T1).

そして、所定の時間が経過した後、走査駆動手段15の電源回路15aは、続いて、ゲートドライバ15bに対して第2のオン電圧Von2を設定する。そして、走査駆動手段15のゲートドライバ15bは、走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対して第2のオン電圧Von2を印加する(時刻T2)。   Then, after a predetermined time has elapsed, the power supply circuit 15a of the scanning drive unit 15 subsequently sets the second on-voltage Von2 for the gate driver 15b. Then, the gate driver 15b of the scanning drive unit 15 applies the second on-voltage Von2 to all the TFTs 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 (time T2).

そして、さらに所定の時間が経過した後、走査駆動手段15の電源回路15aは、続いて、ゲートドライバ15bに対して通常のオン電圧である第3のオン電圧Von3を設定する。そして、走査駆動手段15のゲートドライバ15bは、走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対して第3のオン電圧Von3を印加する(時刻T3)。   Then, after a predetermined time further elapses, the power supply circuit 15a of the scan driving unit 15 subsequently sets a third on-voltage Von3 that is a normal on-voltage for the gate driver 15b. Then, the gate driver 15b of the scanning drive unit 15 applies the third on-voltage Von3 to all the TFTs 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 (time T3).

なお、このように、本実施形態では、オン電圧をVon1、Von2、Von3の3段階で引き上げる場合について説明するが、オン電圧を2段階で引き上げるように構成してもよく、或いは4段階以上で引き上げるように構成することも可能である。また、一旦引き上げたオン電圧を途中の段階で引き下げるように構成してもよく、オン電圧を何段階で引き上げるかや、その電圧値をどのように上下させるかは適宜決められる。   As described above, in this embodiment, the case where the ON voltage is raised in three stages of Von1, Von2, and Von3 will be described. However, the ON voltage may be raised in two stages, or in four or more stages. It can also be configured to be pulled up. Further, the ON voltage once increased may be decreased at an intermediate stage, and the number of stages at which the ON voltage is increased and how the voltage value is increased or decreased are appropriately determined.

ゲート電極8gに第1のオン電圧Von1が印加されるとTFT8がオン状態となり、各放射線検出素子7から第1電極74付近に溜まっていた余分な電荷(本実施形態では電子)が信号線6にそれぞれ流出する。一方、各放射線検出素子7の反対側の電極である第2電極78付近には第1電極74付近に溜まっていた余分な電荷とは正負が反対の電荷(本実施形態では正孔)が溜まっているが、電荷(電子)の信号線6への流出にあわせて、その電荷(正孔)も各バイアス線9に流出し、結線10を通ってバイアス電源14に流れ込む。   When the first on-voltage Von1 is applied to the gate electrode 8g, the TFT 8 is turned on, and excess charges (electrons in the present embodiment) accumulated in the vicinity of the first electrode 74 from each radiation detection element 7 are signal lines 6. Each leaked. On the other hand, in the vicinity of the second electrode 78, which is the opposite electrode of each radiation detection element 7, a charge (in this embodiment, positive and negative) opposite to the excess charge accumulated in the vicinity of the first electrode 74 is accumulated. However, as charges (electrons) flow out to the signal line 6, the charges (holes) flow out to the bias lines 9 and flow into the bias power source 14 through the connection 10.

しかし、本実施形態では、上記のように最初に印加される第1のオン電圧Von1の電圧値は、第3のオン電圧Von3である通常のオン電圧の電圧値(例えば+15[V])よりも低い(図10(A)参照)。そのため、バイアス電源14に流れ込む電流を電流検出手段43でモニタすると、図10(B)に示すように、第1のオン電圧Von1が印加された場合も通常の電圧値のオン電圧(第3のオン電圧Von3)が印加された場合も、各放射線検出素子7の第2電極78からバイアス線9の結線10に流れ込む電流Iは同様に上昇するが、第1のオン電圧Von1が印加された場合(実線)には、通常の電圧値のオン電圧が印加された場合(一点鎖線)より低い値で電流Iの上昇が止まり、緩やかに下降し始める。   However, in the present embodiment, the voltage value of the first on-voltage Von1 that is first applied as described above is higher than the voltage value of the normal on-voltage that is the third on-voltage Von3 (for example, +15 [V]). (See FIG. 10A). Therefore, when the current flowing into the bias power supply 14 is monitored by the current detection means 43, as shown in FIG. 10B, the on-voltage (third value) of the normal voltage value is also applied when the first on-voltage Von1 is applied. When the on-voltage Von3) is applied, the current I flowing from the second electrode 78 of each radiation detection element 7 into the connection 10 of the bias line 9 rises in the same manner, but when the first on-voltage Von1 is applied. In (solid line), the current I stops increasing at a value lower than that when the normal voltage ON voltage is applied (the one-dot chain line), and starts to gradually decrease.

続いて、走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対して印加されるオン電圧の電圧値が第2の電圧値Von2に引き上げられると(図11(A)参照)、図11(B)に示すように、バイアス線9の結線10に流れ込む電流Iは再度上昇する。しかし、この場合も、印加される第2のオン電圧Von2の電圧値は、第3のオン電圧Von3である通常のオン電圧の電圧値(例えば+15[V])よりも低いため、通常の電圧値のオン電圧が印加された場合(一点鎖線)より低い値で電流Iの上昇が止まり、緩やかに下降し始める。   Subsequently, when the voltage value of the on-voltage applied to all the TFTs 8 through all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 is raised to the second voltage value Von2 (see FIG. 11A). As shown in FIG. 11B, the current I flowing into the connection 10 of the bias line 9 rises again. However, in this case as well, the voltage value of the applied second on-voltage Von2 is lower than the voltage value of the normal on-voltage that is the third on-voltage Von3 (for example, +15 [V]). When the ON voltage of the value is applied (one-dot chain line), the current I stops increasing at a lower value and begins to decrease gradually.

そして、最後に、走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対して印加されるオン電圧の電圧値が通常のオン電圧である第3の電圧値Von3に引き上げられると(図12(A)参照)、図12(B)に示すように、バイアス線9の結線10に流れ込む電流Iは再度上昇する。しかし、この場合、第1のオン電圧Von1が印加されていた時刻T1から時刻T2の間と、第2のオン電圧Von2が印加されていた時刻T2から時刻T3の間に、各放射線検出素子7から既に多くの余分な電荷が流出してしまっている。   Finally, when the voltage value of the on voltage applied to all the TFTs 8 through all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 is raised to the third voltage value Von3 which is a normal on voltage ( As shown in FIG. 12A and FIG. 12B, the current I flowing into the connection 10 of the bias line 9 rises again. However, in this case, each radiation detection element 7 is between time T1 and time T2 when the first on-voltage Von1 is applied and between time T2 and time T3 when the second on-voltage Von2 is applied. A lot of extra charge has already flowed out.

そのため、通常のオン電圧である第3のオン電圧Von3が印加されても、電流Iは、通常の電圧値のオン電圧が印加された場合(一点鎖線)のピーク値までは上昇せず、それより低い値でピークとなり、その後は減少していく。   Therefore, even when the third on-voltage Von3, which is a normal on-voltage, is applied, the current I does not rise to the peak value when the normal on-voltage is applied (one-dot chain line). It becomes a peak at a lower value and then decreases.

なお、各放射線検出素子7から余分な電荷が流出しても、前述したように、各放射線検出素子7内では熱励起等により暗電荷が発生し続けるため、電流Iは0[A]まで下がらず、図12(B)に示すように、各放射線検出素子7から流出する暗電荷の総和に相当する電流量Idまでしか減少しない。   Even if extra charges flow out from each radiation detection element 7, dark charges continue to be generated in each radiation detection element 7 due to thermal excitation or the like, as described above, so that the current I decreases to 0 [A]. Instead, as shown in FIG. 12 (B), the current decreases only to the amount of current Id corresponding to the sum of dark charges flowing out from each radiation detection element 7.

また、このように電流検出手段43により検出されるバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iが、蓄積電荷のない状態で各放射線検出素子7から流出する暗電荷の総和に相当する電流量Id、或いはそれに近い値まで減少した時点で、全TFT8に印加する電圧を第3のオン電圧Von3からオフ電圧Voffに切り替えて各TFT8をオフ状態とするように構成することも可能である。   Further, the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 detected by the current detection means 43 in this way corresponds to the sum of the dark charges flowing out from each radiation detection element 7 in the absence of accumulated charges. It is also possible to configure so that each TFT 8 is turned off by switching the voltage applied to all the TFTs 8 from the third on-voltage Von3 to the off-voltage Voff when the amount Id or a value close thereto is reduced.

しかし、本実施形態では、放射線画像撮影の直前に行われる放射線検出素子7のリセット処理の場合には、後述するように、電流検出手段43によるバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iの変化を監視して放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射の開始を検出するように構成されており、バイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iの変化を監視し易くするため、走査駆動手段15は、時刻T3で走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対して第3のオン電圧Von3を印加した後、全TFT8に印加する電圧を第3のオン電圧Von3からオフ電圧Voffに切り替えずに、図9に示したように、所定の時間が経過した時点(時刻T4)でTFT8に印加するオン電圧を第4の電圧値Von4に低下させるようになっている。   However, in the present embodiment, in the case of the reset process of the radiation detection element 7 performed immediately before radiographic imaging, the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 by the current detection unit 43 is described later. In order to make it easier to monitor the change in the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9, the scanning is performed in order to detect the start of radiation irradiation to the radiographic imaging apparatus 1. The driving unit 15 applies the third on-voltage Von3 to all the TFTs 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 at time T3, and then applies the voltage applied to all the TFTs 8 to the third on-voltage. Instead of switching from Von3 to off-voltage Voff, as shown in FIG. 9, the on-voltage applied to the TFT 8 is lowered to the fourth voltage value Von4 when a predetermined time has elapsed (time T4). Going on.

そして、各走査線5を介して各TFT8に対してこの低下させた第4のオン電圧Von4を印加し続け、放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射の開始が検出された時点(時刻T5)で全TFT8に印加する電圧を第4のオン電圧Von4からオフ電圧Voffに切り替えるようになっている。以下、この点について説明する。   Then, the reduced fourth on-voltage Von4 is continuously applied to each TFT 8 via each scanning line 5, and at the time when the start of radiation irradiation to the radiation image capturing apparatus 1 is detected (time T5). The voltage applied to all TFTs 8 is switched from the fourth on-voltage Von4 to the off-voltage Voff. Hereinafter, this point will be described.

放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射の開始(時刻T5)は、例えば放射線画像撮影装置1に放射線の線量を検出する放射線センサ等を取り付けておくことで検出することも可能であるが、本実施形態では、前述したように、電流検出手段43によるバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iの変化を監視することにより放射線画像撮影装置1自体で検出するようになっている。   The start of radiation irradiation (time T5) to the radiation image capturing apparatus 1 can be detected by attaching a radiation sensor or the like for detecting the radiation dose to the radiation image capturing apparatus 1, for example. In the embodiment, as described above, the radiation image capturing apparatus 1 itself detects the change in the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 by the current detection means 43.

すなわち、放射線画像撮影装置1に放射線が照射されると、照射された放射線がシンチレータ3で可視光等の別の波長の電磁波に変換され、その電磁波が直下の放射線検出素子7に入射する。入射した電磁波は放射線検出素子7のi層76(図5参照)に到達して、i層76内で電子正孔対が発生する。   That is, when the radiation image capturing apparatus 1 is irradiated with radiation, the irradiated radiation is converted into an electromagnetic wave of another wavelength such as visible light by the scintillator 3, and the electromagnetic wave is incident on the radiation detection element 7 directly below. The incident electromagnetic wave reaches the i layer 76 (see FIG. 5) of the radiation detection element 7, and electron-hole pairs are generated in the i layer 76.

放射線検出素子7内には、バイアス電源14からバイアス線9等を介して印加されたバイアス電圧により所定の電位勾配が形成されているため、放射線検出素子7内で発生した電子正孔対のうち、一方の電荷(本実施形態では電子)が第1電極74側に移動する。また、この一方の電荷と等量の他方の電荷(本実施形態では正孔)は、放射線検出素子7の第2電極78側に移動する。   A predetermined potential gradient is formed in the radiation detection element 7 by the bias voltage applied from the bias power supply 14 via the bias line 9 and the like, and therefore, among the electron-hole pairs generated in the radiation detection element 7 One charge (electrons in this embodiment) moves to the first electrode 74 side. In addition, the other charge (hole in this embodiment) having the same amount as the one charge moves to the second electrode 78 side of the radiation detection element 7.

その際、TFT8がオン状態とされていれば、放射線検出素子7の第1電極74からTFT8を介して電子が信号線6に流出し、それにあわせて、それと等量の正孔が放射線検出素子7の第2電極78からバイアス線9に流出して結線10中を流れ、電流検出手段43で検出される。このように、放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射が開始されると、バイアス線9の結線10中を流れる電流の電流量Iが増加するため、電流検出手段43により検出されるバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iの変化を監視し、電流量Iが増加したことを検出することで、放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射の開始を検出することができる。   At that time, if the TFT 8 is in the ON state, electrons flow out from the first electrode 74 of the radiation detection element 7 through the TFT 8 to the signal line 6, and accordingly, the same amount of holes as the radiation detection element. 7 flows out from the second electrode 78 to the bias line 9, flows through the connection 10, and is detected by the current detection means 43. As described above, when radiation irradiation to the radiographic imaging apparatus 1 is started, the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 increases, so that the bias line 9 detected by the current detection unit 43 is detected. By monitoring the change in the current amount I of the current flowing through the connection 10 and detecting that the current amount I has increased, it is possible to detect the start of radiation irradiation on the radiographic imaging apparatus 1.

そのため、図9に示したように、時刻T3で全てのTFT8に対して第3のオン電圧Von3を印加した後、引き続き、放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射の開始が検出されるまで全TFT8に印加する電圧を第3のオン電圧Von3のまま維持するように構成することも可能である。   Therefore, as shown in FIG. 9, after the third on-voltage Von3 is applied to all the TFTs 8 at time T3, all the TFTs 8 are continuously detected until the start of radiation irradiation to the radiation imaging apparatus 1 is detected. It is also possible to configure so that the voltage applied to is maintained at the third on-voltage Von3.

しかし、放射線検出素子7の製造段階では、TFT8をオン状態とすると第1電極74と第2電極78との間があたかも導線で接続されているように電流が流れてしまう異常な放射線検出素子7が形成されてしまう。そして、そのような状況でTFT8に高い第3のオン電圧Von3を印加し続けると、正常な放射線検出素子7では内部で発生する暗電荷に対応する僅かな電流が流れるだけであるが、異常な放射線検出素子7ではあたかも導通しているかのような大きい電流が流れるため、バッテリ41の電力が浪費されてしまう。   However, in the manufacturing stage of the radiation detection element 7, when the TFT 8 is turned on, an abnormal radiation detection element 7 in which a current flows as if the first electrode 74 and the second electrode 78 are connected by a conducting wire. Will be formed. If a high third ON voltage Von3 is continuously applied to the TFT 8 in such a situation, only a small current corresponding to the dark charge generated in the normal radiation detection element 7 flows, but this is abnormal. In the radiation detection element 7, a large current flows as if it is conducting, so that the power of the battery 41 is wasted.

そこで、本実施形態では、図9に示したように、走査駆動手段15は、時刻T3で走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8に対して第3のオン電圧Von3を印加した後もTFT8にオン電圧を印加するが、そのオン電圧を、所定の時間が経過した時点(時刻T4)で第4の電圧値Von4に低下させるようになっている。   Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 9, the scanning drive unit 15 applies the third on-voltage Von3 to all the TFTs 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 at time T3. The on-voltage is applied to the TFT 8 even after the application, and the on-voltage is lowered to the fourth voltage value Von4 when a predetermined time has elapsed (time T4).

この第4のオン電圧Von4は、この第4のオン電圧Von4をTFT8のゲート電極8gに印加してTFT8をオン状態とした場合にTFT8を流れ得るオン電流の電流量が、正常な放射線検出素子7に流れる、暗電流を含むリーク電流の電流量と同等、或いはそれを少し上回る量になるような電圧値に設定される。   The fourth on-voltage Von4 is a radiation detecting element in which the amount of on-current that can flow through the TFT 8 when the fourth on-voltage Von4 is applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 to turn on the TFT 8 is normal. 7 is set to a voltage value that is equal to or slightly larger than the amount of leakage current that includes dark current.

そのため、正常な放射線検出素子7からは暗電荷に対応する僅かな電流が流出する状態となり、また、異常な放射線検出素子7についても、それから流出する電流量を、正常な放射線検出素子7に流れる暗電流を含むリーク電流の電流量と同量程度まで減少させることが可能となる。そして、バイアス線9の結線10中を流れる電流Iを、各放射線検出素子7から流出する暗電荷の総和に相当する電流量Id(図12(B)参照)に近い値まで減少させることが可能となるため、バッテリ41の電力の消費を抑制して、バッテリ41の消耗を防止することが可能となる。   Therefore, a slight current corresponding to the dark charge flows out from the normal radiation detection element 7, and the current flowing out from the abnormal radiation detection element 7 also flows to the normal radiation detection element 7. The amount of leakage current including dark current can be reduced to the same amount. Then, the current I flowing in the connection 10 of the bias line 9 can be reduced to a value close to the current amount Id (see FIG. 12B) corresponding to the sum of dark charges flowing out from each radiation detection element 7. Therefore, it is possible to suppress the consumption of the power of the battery 41 and prevent the battery 41 from being consumed.

また、放射線の照射が開始されるまで、TFT8に第4のオン電圧Von4を印加し続けることで、放射線の照射が開始されるまでに各放射線検出素子7内で発生する暗電荷が各放射線検出素子7から流出して除去されるため、最終的に得られる画像データの中から、少なくとも放射線の照射開始までに発生するノイズ成分を的確に除去することが可能となる。   Further, by continuing to apply the fourth on-voltage Von4 to the TFT 8 until radiation irradiation is started, dark charges generated in each radiation detection element 7 until radiation irradiation is started are detected by each radiation. Since it flows out of the element 7 and is removed, it is possible to accurately remove at least noise components generated before the start of radiation irradiation from the finally obtained image data.

そして、図13に示すように、電流検出手段43により検出されるバイアス線9の結線10中を流れる電流の電流量Iが増加することで放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射の開始が検出されると、その時点(時刻T5)で、図9に示したように、全TFT8のゲート電極8gに印加する電圧を第4のオン電圧Von4からオフ電圧Voffに一斉に切り替える。   As shown in FIG. 13, the start of radiation irradiation to the radiographic imaging apparatus 1 is detected by increasing the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 detected by the current detection means 43. Then, at that time (time T5), as shown in FIG. 9, the voltage applied to the gate electrodes 8g of all TFTs 8 is simultaneously switched from the fourth on-voltage Von4 to the off-voltage Voff.

なお、時刻T5で放射線の照射が開始されたことが検出されて各TFT8のゲート電極8gにオフ電圧Voffが印加されると、各TFT8はオフ状態となり、各放射線検出素子7から電荷がほとんど流出しなくなる。   When it is detected that radiation irradiation is started at time T5 and the off voltage Voff is applied to the gate electrode 8g of each TFT 8, each TFT 8 is turned off, and the electric charge almost flows out from each radiation detection element 7. No longer.

また、時刻T5以降も、放射線画像撮影のために放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射が続き、放射線検出素子7内で電子正孔対が発生し続ける。   In addition, after time T5, radiation irradiation continues to the radiation image capturing apparatus 1 for capturing a radiation image, and electron-hole pairs continue to be generated in the radiation detection element 7.

放射線検出素子7内で発生する電子正孔対は、電位勾配により電子が第1電極74側に移動し、正孔が第2電極78側に移動して分離されるが、放射線検出素子7から流出できなくなるため、放射線検出素子7内に蓄積される。そして、各放射線検出素子7内には、被写体を透過して当該放射線検出素子7に照射された放射線のエネルギ(本実施形態では、当該放射線がシンチレータ3に照射されシンチレータ3で変換された電磁波のエネルギ)に比例した電荷が蓄積される。   The electron-hole pairs generated in the radiation detection element 7 are separated by electrons moving to the first electrode 74 side and holes moving to the second electrode 78 side due to the potential gradient. Since it cannot flow out, it is accumulated in the radiation detection element 7. In each radiation detection element 7, the energy of the radiation that has passed through the subject and applied to the radiation detection element 7 (in this embodiment, the radiation of the electromagnetic waves converted by the scintillator 3 is applied to the scintillator 3. The charge is proportional to the energy.

そして、放射線の照射が終了すると、走査駆動手段15は、図14に示すように、今度は、ゲートドライバ15bから信号読み出し用のオン電圧Von(本実施形態では第3の電圧値Von3と同じ通常のオン電圧)を印加する走査線5のラインL1〜Lxを順次切り替えて(すなわち走査して)、各放射線検出素子7から蓄積された電荷を読み出すようになっている。   When the radiation irradiation is completed, as shown in FIG. 14, the scanning drive unit 15 now turns on the voltage Von for reading signals from the gate driver 15b (normally the same as the third voltage value Von3 in this embodiment). The lines L1 to Lx of the scanning line 5 to which the (on voltage) is applied are sequentially switched (that is, scanned) to read out the accumulated charges from each radiation detection element 7.

その際、走査線5の各ラインL1〜Lxに接続されているTFT8のゲート電極8gにオン電圧Vonが印加されると、放射線検出素子7の第1電極74に蓄積された電子がTFT8を介して信号線6に放出され、読み出し回路17(図7等参照)で電荷電圧変換されて増幅される等して画像データに変換され、A/D変換器20で順次デジタル値の画像データに変換されて記憶手段40に保存される。   At that time, when the on-voltage Von is applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 connected to each of the lines L1 to Lx of the scanning line 5, the electrons accumulated in the first electrode 74 of the radiation detection element 7 pass through the TFT 8. The signal is emitted to the signal line 6, converted into image data by charge-voltage conversion and amplification by the readout circuit 17 (see FIG. 7 etc.), and sequentially converted into digital value image data by the A / D converter 20. And stored in the storage means 40.

一方、放射線検出素子7の第1電極74からの電子の流出にあわせて、放射線検出素子7の第2電極78からは蓄積されていた正孔がバイアス線9に流出し、結線10を流れてバイアス電源14に流入する。なお、この放射線検出素子7からの電荷の読み出しの際には、バイアス線9や結線10を流れる電流の電流量Iを検出する必要はないため、制御手段22は、電流検出手段43のスイッチをオン状態として電流検出手段43の抵抗の両端子間を短絡させておく。   On the other hand, in accordance with the outflow of electrons from the first electrode 74 of the radiation detection element 7, the accumulated holes flow out from the second electrode 78 of the radiation detection element 7 to the bias line 9 and flow through the connection 10. It flows into the bias power source 14. Note that when reading out the charges from the radiation detection element 7, it is not necessary to detect the current amount I of the current flowing through the bias line 9 and the connection 10, so the control means 22 switches the switch of the current detection means 43. The both terminals of the resistor of the current detection means 43 are short-circuited in the on state.

この後は、必要に応じて、ダーク読取処理等が行われる。すなわち、上記のように、本実施形態の放射線画像撮影装置1では、放射線の照射が開始され、各TFT8のゲート電極8gに印加していた第4のオン電圧Von4をオフ電圧Voffに切り替える(時刻T5)までは、各放射線検出素子7内で発生した暗電荷は、TFT8がオン状態となっているため流出し、少なくとも放射線の照射開始までに発生するノイズ成分が画像データから除去される。   Thereafter, dark reading processing or the like is performed as necessary. That is, as described above, in the radiographic imaging device 1 of the present embodiment, irradiation of radiation is started, and the fourth on-voltage Von4 applied to the gate electrode 8g of each TFT 8 is switched to the off-voltage Voff (time). Until T5), the dark charge generated in each radiation detection element 7 flows out because the TFT 8 is in an ON state, and at least noise components generated before the start of radiation irradiation are removed from the image data.

しかし、時刻T5に電圧がオフ電圧Voffに切り替えられて各TFT8がオフ状態とされた後は、各放射線検出素子7内で発生した暗電荷は各放射線検出素子7内に蓄積される。そして、各放射線検出素子7内に蓄積された暗電荷は、上記の走査線5の各ラインL1〜Lxごとの各放射線検出素子7からの画像データの読み出しの際(時刻T6〜T6)に画像データとともに読み出される。 However, after the voltage is switched to the off voltage Voff at time T5 and each TFT 8 is turned off, the dark charges generated in each radiation detection element 7 are accumulated in each radiation detection element 7. The dark charges accumulated in each radiation detection element 7 are read out from the radiation detection elements 7 for each of the lines L1 to Lx of the scanning line 5 (time T6 1 to T6 x ). Are read out together with the image data.

そのため、各放射線検出素子7の画像データには、時刻T5から各ラインごとの読み出し開始時刻T6〜T6までの各期間ΔT〜ΔTに各放射線検出素子7内に蓄積された暗電荷に対応するオフセット分がそれぞれ含まれている。このオフセット分を画像データから差し引くことで、放射線の照射により発生した真の電荷に対応する画像データが得られる。そして、このオフセット分を算出する処理がダーク読取処理である。 Therefore, the image data for each radiation detection element 7, dark charge accumulated in each radiation detection element 7 from the time T5 to the time period ΔT 1 ~ΔT x to the read start time T6 1 to T6 x of each line The offset corresponding to each is included. By subtracting this offset from the image data, image data corresponding to the true charge generated by the irradiation of radiation can be obtained. The process for calculating the offset is the dark reading process.

ダーク読取処理では、走査線5の最終ラインであるラインLxまでの各放射線検出素子7からの画像データの読み出し処理が終了すると、まず、上記と同様にして、各放射線検出素子7のリセット処理が行われる。   In the dark reading process, when the reading process of the image data from each radiation detection element 7 up to the line Lx which is the final line of the scanning line 5 is completed, first, the reset process of each radiation detection element 7 is performed in the same manner as described above. Done.

リセット処理では、時刻T7に各TFT8に印加する電圧をオフ電圧Voffから第1のオン電圧Von1に切り替え、図14では記載を省略する時刻T8にオン電圧を第1の電圧値Von1から第2の電圧値Von2に上昇させ、時刻T9にオン電圧を第2の電圧値Von2から通常のオン電圧の電圧値である第3の電圧値Von3に上昇させて、時刻T10に各TFT8に印加するオン電圧を第3のオン電圧Von3から第4のオン電圧Von4に低下させる。そして、時刻T11に各TFT8に印加する電圧を第4のオン電圧Von4からオフ電圧Voffに切り替える。   In the reset process, the voltage applied to each TFT 8 is switched from the off voltage Voff to the first on voltage Von1 at time T7, and the on voltage is switched from the first voltage value Von1 to the second at time T8, which is not shown in FIG. The voltage is increased to the voltage value Von2, and the on-voltage is increased from the second voltage value Von2 to the third voltage value Von3, which is a normal on-voltage value, at time T9, and applied to each TFT 8 at time T10. Is reduced from the third on-voltage Von3 to the fourth on-voltage Von4. Then, the voltage applied to each TFT 8 at time T11 is switched from the fourth on-voltage Von4 to the off-voltage Voff.

時刻T11に電圧がオフ電圧Voffに切り替えられて各TFT8がオフ状態とされると、その後、各放射線検出素子7内で発生した暗電荷は各放射線検出素子7内に蓄積される。そして、ダーク読取処理では、放射線画像撮影装置1に放射線を照射せずに、走査線5の各ラインL1〜Lxごとに放射線画像撮影の場合と同じ各期間ΔT〜ΔTだけ放置して、各放射線検出素子7内に暗電荷を蓄積させる。 When the voltage is switched to the off voltage Voff at time T <b> 11 and each TFT 8 is turned off, thereafter, the dark charges generated in each radiation detection element 7 are accumulated in each radiation detection element 7. In the dark reading process, the radiation image capturing apparatus 1 is not irradiated with radiation, and the lines L1 to Lx of the scanning line 5 are left for the same periods ΔT 1 to ΔT x as in the case of radiation image capturing, Dark charges are accumulated in each radiation detection element 7.

ダーク読取処理における各期間ΔT〜ΔTに各放射線検出素子7に蓄積される暗電荷は、放射線画像撮影時における各期間ΔT〜ΔTに各放射線検出素子7に蓄積される暗電荷とそれぞれ等量になるはずであるから、各期間ΔT〜ΔT経過した後、上記と同じタイミングで、走査駆動手段15のゲートドライバ15bから信号読み出し用のオン電圧Vonを印加する走査線5のラインL1〜Lxを順次切り替えて(すなわち走査して)、各放射線検出素子7から蓄積された暗電荷を読み出し、読み出し回路17で電荷電圧変換して増幅する等、上記と同様の処理を行って、それぞれダーク読取値として記憶手段40に保存する。 The dark charges accumulated in each radiation detection element 7 in each period ΔT 1 to ΔT x in the dark reading process are the dark charges accumulated in each radiation detection element 7 in each period ΔT 1 to ΔT x at the time of radiographic imaging. Since the respective amounts should be equal, after each period ΔT 1 to ΔT x elapses, the scanning line 5 that applies the signal readout on-voltage Von from the gate driver 15b of the scanning driving means 15 at the same timing as described above. The lines L1 to Lx are sequentially switched (that is, scanned), the dark charges accumulated from the respective radiation detection elements 7 are read out, and the read circuit 17 performs charge voltage conversion and amplification to perform the same processing as described above. These are stored in the storage means 40 as dark read values.

このようにして得られたダーク読取値をそのままオフセット分とするように構成することも可能であり、また、例えば上記のダーク読取処理を複数回行って、各放射線検出素子7ごとに得られた複数回分のダーク読取値の平均値等を算出する等して、それをオフセット分とするように構成することも可能である。このようにしてダーク読取処理を行うことで、画像データを補正するためのオフセット分を的確に取得することが可能となる。   The dark reading value obtained in this way can be used as an offset as it is, and for example, the above-described dark reading processing is performed a plurality of times to obtain each radiation detection element 7. It is also possible to configure such that an average value of dark reading values for a plurality of times and the like are used as an offset amount. By performing the dark reading process in this way, it is possible to accurately acquire an offset for correcting the image data.

また、上記のように、本発明に特有の各放射線検出素子7のリセット処理は、放射線画像撮影のために放射線画像撮影装置1の各部材に対する電力の供給状態を省電力モードから撮影可能モードに切り替えた場合だけでなく、ダーク読取処理のためのリセット処理(図14の時刻T7〜T11参照)等においても行われる。   Further, as described above, the reset processing of each radiation detection element 7 unique to the present invention changes the power supply state to each member of the radiation image capturing apparatus 1 from the power saving mode to the image capture possible mode for radiation image capturing. Not only when switching, but also in reset processing for dark reading processing (see times T7 to T11 in FIG. 14) and the like.

以上のように、本実施形態に係る放射線画像撮影装置1によれば、異なる複数の電圧値Von1、Von2、Von3のオン電圧を印加し、オン電圧Von1、Von2、Von3をリセット処理開始時から段階的に増加させるようにして、各走査線5を介してTFT8のゲート電極8gに印加する電圧を制御する。   As described above, according to the radiographic image capturing apparatus 1 according to the present embodiment, on voltages of different voltage values Von1, Von2, and Von3 are applied, and the on voltages Von1, Von2, and Von3 are stepped from the start of reset processing. Thus, the voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 via each scanning line 5 is controlled.

そのため、図12(B)に示すように、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流Iが制限され、バイアス線9や結線10を流れる電流の電流量Iは、リセット処理時に最初から各TFT8に通常のオン電圧を印加した場合(図中の一点鎖線参照)に比べてそのピークが低くなる。そのため、放射線検出素子7のリセット処理が繰り返され、バイアス線9や結線10に多大な電流が流れることが繰り返されて結線10等が断線する確率を確実に低下させることが可能となり、事実上、結線10等の断線を防止することが可能となる。   For this reason, as shown in FIG. 12B, the current I flowing out from each radiation detection element 7 to the bias line 9 and the connection 10 is limited, and the current amount I of the current flowing through the bias line 9 and the connection 10 is reset. Sometimes the peak is lower than when a normal on-voltage is applied to each TFT 8 from the beginning (see the dashed line in the figure). Therefore, the reset process of the radiation detection element 7 is repeated, and it is possible to reliably reduce the probability that the connection line 10 and the like are disconnected by repeating a large amount of current flowing through the bias line 9 and the connection line 10. It becomes possible to prevent disconnection of the connection 10 or the like.

また、放射線検出素子7のリセット処理を必要以上に頻繁に繰り返す必要がなくなるため、リセット処理を繰り返してバッテリの消費電力量が増大することを的確に防止して、バッテリの消耗を防止することが可能となる。さらに、全てのTFT8を同時にオン状態として各放射線検出素子7のリセット処理を同時に行うように構成すれば、各放射線検出素子7から余分な電荷を十分に除去する時間を確保しつつ、全放射線検出素子7のリセット処理に要する時間を短縮することが可能となる。   In addition, since it is not necessary to repeat the reset process of the radiation detection element 7 more frequently than necessary, it is possible to prevent the battery power consumption by accurately preventing the power consumption of the battery from increasing by repeating the reset process. It becomes possible. Furthermore, if all the TFTs 8 are turned on simultaneously and the reset processing of each radiation detection element 7 is performed at the same time, it is possible to detect all radiation while ensuring sufficient time to remove excess charges from each radiation detection element 7. The time required for the reset process of the element 7 can be shortened.

[第2の実施の形態]
上記の第1の実施形態に係る放射線画像撮影装置1では、走査駆動手段15から走査線5の各ラインL1〜Lxを介して各TFT8に印加するオン電圧の電圧値を第1の電圧値Von1から第2の電圧値Von2を経て第3の電圧値Von3に段階的に変化(増加)させることで、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流Iを制限する場合について説明した。
[Second Embodiment]
In the radiographic imaging apparatus 1 according to the first embodiment described above, the voltage value of the on-voltage applied to each TFT 8 from the scanning drive unit 15 via each line L1 to Lx of the scanning line 5 is the first voltage value Von1. A case where the current I flowing from each radiation detection element 7 to the bias line 9 or the connection line 10 is limited by changing (increasing) stepwise from the first to the third voltage value Von3 through the second voltage value Von2 will be described. did.

しかし、TFT8に印加する電圧を制御して、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流Iを制限する手法としては、この他にも、走査駆動手段15から走査線5の各ラインL1〜Lxを介して各TFT8に印加するオン電圧のパルス幅やデューティ比を変調させて、時間的に短いパルス幅のオン電圧を複数回印加するようにして、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流Iを制限することも可能である。第2の実施形態に係る放射線画像撮影装置では、このようにしてバイアス線9や結線10に流出する電流Iを制限する場合について説明する。   However, as another method of controlling the voltage I applied to the TFT 8 to limit the current I flowing from each radiation detection element 7 to the bias line 9 or the connection line 10, the scanning drive means 15 supplies the scanning line 5. From each radiation detection element 7, the pulse width and duty ratio of the on-voltage applied to each TFT 8 via each line L 1 to Lx are modulated, and an on-voltage with a short pulse width is applied multiple times. It is also possible to limit the current I flowing out to the bias line 9 and the connection 10. In the radiographic imaging device according to the second embodiment, a case where the current I flowing out to the bias line 9 and the connection 10 is limited in this way will be described.

第2の実施形態に係る放射線画像撮影装置では、各手段等の構成は上記の第1の実施形態の場合と同様であるので、第1の実施形態と同じ符号を付して説明する。また、第1の実施形態では、走査駆動手段15から各TFT8のゲート電極8gに対して図9に示したような各電圧をそれぞれ印加したが、本実施形態では、走査駆動手段15から各TFT8のゲート電極8gに対して、図15に示すような短いパルス幅のオン電圧Vonを複数回印加するようになっている。   In the radiographic image capturing apparatus according to the second embodiment, the configuration of each means and the like is the same as in the case of the first embodiment, and will be described with the same reference numerals as those in the first embodiment. In the first embodiment, each voltage as shown in FIG. 9 is applied from the scan driving means 15 to the gate electrode 8g of each TFT 8. However, in this embodiment, each TFT 8 is supplied from the scan driving means 15. The ON voltage Von having a short pulse width as shown in FIG. 15 is applied to the gate electrode 8g a plurality of times.

なお、本実施形態では、オン電圧の電圧値Vonは、上記の第1の実施形態における通常のオン電圧の電圧値Von3(信号読み出し用のオン電圧Vonに等しい。)が印加されるようになっているが、これ以外の電圧値のオン電圧を印加するように構成することも可能である。   In the present embodiment, the voltage value Von of the on-voltage is applied with the voltage value Von3 of the normal on-voltage in the first embodiment (equal to the on-voltage Von for signal reading). However, it is possible to apply an on-voltage having a voltage value other than this.

本実施形態では、走査駆動手段15は、制御手段22が放射線画像撮影装置の各部材に対する電力の供給状態を省電力モードから撮影可能モードに切り替える等して送信した信号を受信すると、図15に示すように、ゲートドライバ15bから走査線5の全ラインL1〜Lxを介して全てのTFT8のゲート電極8gに例えば−10[V]のオフ電圧Voffを印加する(時刻t0)。   In the present embodiment, when the scanning driving unit 15 receives a signal transmitted by the control unit 22 by switching the power supply state to each member of the radiographic imaging apparatus from the power saving mode to the imaging possible mode, for example, FIG. As shown, an off voltage Voff of, for example, −10 [V] is applied from the gate driver 15b to the gate electrodes 8g of all TFTs 8 through all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 (time t0).

そして、走査駆動手段15は、走査線5の全てのラインL1〜Lxを介して全てのTFT8のゲート電極8gにオン電圧Vonを印加し(時刻t1)、所定の時間が経過した後(すなわち予め設定されたパルス幅のオン電圧Vonの印加が終了した後)、TFT8のゲート電極8gに印加する電圧をオン電圧Vonからオフ電圧Voffに切り替える(時刻t2)。   Then, the scanning drive unit 15 applies the on-voltage Von to the gate electrodes 8g of all the TFTs 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5 (time t1), and after a predetermined time has elapsed (that is, in advance) After the application of the ON voltage Von having the set pulse width is completed), the voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 is switched from the ON voltage Von to the OFF voltage Voff (time t2).

走査駆動手段15は、その後、このTFT8のゲート電極8gに印加する電圧のオン電圧Vonとオフ電圧Voffとの切り替えを、本実施形態では、予め設定された回数(複数回)だけ繰り返す(時刻t3〜t7)。   Thereafter, the scanning drive unit 15 repeats switching between the on-voltage Von and the off-voltage Voff of the voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 by a preset number of times (a plurality of times) in this embodiment (time t3). ~ T7).

このようにTFT8のゲート電極8gに印加する電圧をオン電圧Vonとオフ電圧Voffとの間で切り替えた場合、まず、時刻t1でTFT8のゲート電極8gにオン電圧Vonが印加されてTFT8がオン状態となると、各放射線検出素子7の第1電極74付近に溜まっていた余分な電荷(本実施形態では電子)がTFT8を介して信号線6にそれぞれ流出する。   Thus, when the voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 is switched between the on-voltage Von and the off-voltage Voff, first, the on-voltage Von is applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 at time t1, and the TFT 8 is turned on. Then, excess charges (electrons in this embodiment) accumulated in the vicinity of the first electrode 74 of each radiation detection element 7 flow out to the signal line 6 via the TFT 8.

一方、各放射線検出素子7の反対側の電極である第2電極78付近には第1電極74付近に溜まっていた余分な電荷とは正負が反対の電荷(本実施形態では正孔)が溜まっているが、電荷(電子)の信号線6への流出にあわせて、その電荷(正孔)も各バイアス線9に流出し、結線10を通ってバイアス電源14に流れ込む。   On the other hand, in the vicinity of the second electrode 78, which is the opposite electrode of each radiation detection element 7, a charge (in this embodiment, positive and negative) opposite to the excess charge accumulated in the vicinity of the first electrode 74 is accumulated. However, as charges (electrons) flow out to the signal line 6, the charges (holes) flow out to the bias lines 9 and flow into the bias power source 14 through the connection 10.

そのため、バイアス電源14に流れ込む電流を電流検出手段43でモニタすると、図16に示すように、各放射線検出素子7からバイアス線9の結線10に流れ込む電流Iが上昇する。そして、そのTFT8のゲート電極8gにそのままオン電圧Vonを印加し続けると、図中一点鎖線で示すように、従来の放射線画像撮影装置の場合と同様に、各放射線検出素子7からバイアス線9の結線10に流れ込む電流Iが上昇し続け、最大値にまで達する。   Therefore, when the current flowing into the bias power source 14 is monitored by the current detection means 43, the current I flowing from each radiation detection element 7 into the connection 10 of the bias line 9 increases as shown in FIG. When the on-voltage Von is continuously applied to the gate electrode 8g of the TFT 8, as shown by the one-dot chain line in the figure, the bias line 9 is connected from each radiation detection element 7 as in the case of the conventional radiographic apparatus. The current I flowing into the connection 10 continues to rise and reaches a maximum value.

しかし、本実施形態では、各放射線検出素子7からバイアス線9の結線10に流れ込む電流Iが最大値に達する以前に、TFT8のゲート電極8gに印加される電圧がオン電圧Vonからオフ電圧Voffに切り替えられるようになっており、時刻t2で電圧がオフ電圧Voffに切り替えられてTFT8がオフ状態となると、各放射線検出素子7からTFT8を介して信号線6に流出する余分な電子の流れが遮断されて止まる。そして、それにあわせて各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する余分な正孔の流れも止まり、各放射線検出素子7からバイアス線9の結線10に流れ込む電流Iが減少し始める。   However, in the present embodiment, the voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 is changed from the on voltage Von to the off voltage Voff before the current I flowing from each radiation detection element 7 into the connection 10 of the bias line 9 reaches the maximum value. When the voltage is switched to the off voltage Voff at time t2 and the TFT 8 is turned off, the flow of extra electrons flowing from the radiation detecting elements 7 to the signal line 6 through the TFT 8 is cut off. Being stopped. Accordingly, the flow of excess holes flowing out from each radiation detection element 7 to the bias line 9 and the connection 10 is stopped, and the current I flowing from each radiation detection element 7 into the connection 10 of the bias line 9 starts to decrease.

そして、TFT8に印加される電圧がオン電圧Vonに切り替えられるとバイアス線9の結線10を流れる電流Iが増加し(時刻t3、t5、t7)、TFT8に印加される電圧がオフ電圧Voffに切り替えられるとバイアス線9の結線10を流れる電流Iが減少する(時刻t4、t6)という現象を繰り返しながら、各放射線検出素子7に蓄積された余分な電荷が放出されていく。   When the voltage applied to the TFT 8 is switched to the on voltage Von, the current I flowing through the connection 10 of the bias line 9 increases (time t3, t5, t7), and the voltage applied to the TFT 8 is switched to the off voltage Voff. When this occurs, excess charge accumulated in each radiation detection element 7 is released while repeating the phenomenon that the current I flowing through the connection 10 of the bias line 9 decreases (time t4, t6).

なお、本実施形態においても、前述したように各放射線検出素子7内では熱励起等により暗電荷が発生し続けるため、電流Iは0[A]まで下がらず、図16に示すように、各放射線検出素子7から流出する暗電荷の総和に相当する電流量Idまでしか減少しない。そのため、電流検出手段43により検出されるバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iが、各放射線検出素子7から流出する暗電荷の総和に相当する電流量Id、或いはそれに近い値まで減少した時点で、全TFT8に印加する電圧のオン電圧Vonとオフ電圧Voffとの間での切り替えを終了するように構成することが可能である。   Also in the present embodiment, as described above, since dark charges continue to be generated in each radiation detection element 7 due to thermal excitation or the like, the current I does not decrease to 0 [A], and as shown in FIG. Only the current amount Id corresponding to the sum of dark charges flowing out from the radiation detection element 7 is reduced. Therefore, the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 detected by the current detection means 43 decreases to a current amount Id corresponding to the sum of dark charges flowing out from each radiation detection element 7 or a value close thereto. At this point, the switching between the on voltage Von and the off voltage Voff of the voltage applied to all TFTs 8 can be completed.

本実施形態においても、放射線画像撮影の直前に行われる場合以外の放射線検出素子7のリセット処理においては、走査駆動手段15は、バイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iが各放射線検出素子7から流出する暗電荷の総和に相当する電流量Id、或いはそれに近い値まで減少した時点で、全TFT8に印加する電圧のオン電圧Vonとオフ電圧Voffとの間での切り替えを終了し、全TFT8に印加する電圧をオフ電圧Voffに切り替えるようになっている。   Also in this embodiment, in the reset process of the radiation detection element 7 other than the case performed immediately before radiographic image capturing, the scanning drive unit 15 determines that the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 is each radiation detection. When the current amount Id corresponding to the sum of the dark charges flowing out from the element 7 decreases to a value close to the current amount Id, the switching between the on-voltage Von and the off-voltage Voff of the voltages applied to all the TFTs 8 is finished. The voltage applied to all TFTs 8 is switched to the off voltage Voff.

しかし、本実施形態においても上記の第1の実施形態と同様に、放射線画像撮影の直前に行われるリセット処理の場合には、全TFT8に印加する電圧のオン電圧Vonとオフ電圧Voffとの間での切り替えを終了した時点で(図15の時刻t8参照)、TFT8に印加する電圧をオフ電圧Voffに切り替えずに、上記の第1の実施形態における低下させたオン電圧である第4のオン電圧Von4と同じ電圧値のオン電圧Von4をTFT8に印加するようになっている。   However, in the present embodiment as well as in the first embodiment, in the case of the reset process performed immediately before radiographic imaging, the voltage applied between all the TFTs 8 is between the on voltage Von and the off voltage Voff. When the switching in (1) is finished (see time t8 in FIG. 15), the voltage applied to the TFT 8 is not switched to the off-voltage Voff, and the fourth on-state, which is the reduced on-voltage in the first embodiment described above, is used. An on voltage Von4 having the same voltage value as the voltage Von4 is applied to the TFT8.

そして、時刻t9に放射線画像撮影装置1に対して放射線の照射が開始されるまで、各走査線5を介して各TFT8に対してこの低下させた第4のオン電圧Von4を印加し続けるようになっている。その目的や効果、第4のオン電圧Von4として設定すべき電圧値等については、前述した第1の実施形態の場合と全く同様である。   Then, the reduced fourth on-voltage Von4 is continuously applied to each TFT 8 via each scanning line 5 until radiation irradiation is started to the radiation imaging apparatus 1 at time t9. It has become. The purpose and effect, the voltage value to be set as the fourth on-voltage Von4, and the like are exactly the same as those in the first embodiment described above.

また、放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射の開始(時刻t9)を、例えば放射線画像撮影装置1に取り付けられた放射線センサ等で検出して把握したり、或いは、電流検出手段43によるバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iの変化を監視することで検出することも、前述した第1の実施形態で説明したとおりである。   In addition, the start of radiation irradiation (time t9) to the radiographic imaging apparatus 1 is detected by, for example, a radiation sensor attached to the radiographic imaging apparatus 1, or the bias line 9 by the current detection unit 43 is detected. The detection by monitoring the change in the current amount I of the current flowing through the connection 10 is also as described in the first embodiment.

さらに、放射線画像撮影前の各放射線検出素子7のリセット処理や各放射線検出素子7からの画像データの読み出し処理、或いは、その後のダーク読取処理では、上記の各放射線検出素子7のリセット処理および各放射線検出素子7からの画像データの読み出し処理と同じタイミングでTFT8のゲート電極8gに印加する電圧を制御することも、前述した第1の実施形態で説明した制御(図14参照)と同様にして行われる。   Furthermore, in the reset process of each radiation detection element 7 before radiographic imaging, the readout process of image data from each radiation detection element 7, or the subsequent dark reading process, the reset process of each radiation detection element 7 and each Controlling the voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 at the same timing as the process of reading image data from the radiation detection element 7 is also the same as the control described in the first embodiment (see FIG. 14). Done.

以上のように、本実施形態に係る放射線画像撮影装置によれば、放射線検出素子7のリセット処理の際に、前述した特許文献4に記載されたような従来の手法のようにパルス幅が長いオン電圧Vonを1回だけスイッチ手段であるTFT8に印加するのではなく、TFT8に印加するオン電圧Vonのパルス幅やデューティ比を変調させて、このような従来の手法で印加されるオン電圧Vonのパルス幅よりも短いパルス幅のオン電圧VonをTFT8に印加し、かつ、TFT8へのオン電圧Vonの印加を複数回行うように、TFT8に印加する電圧を制御する。   As described above, according to the radiographic imaging device according to the present embodiment, when the radiation detection element 7 is reset, the pulse width is long as in the conventional method described in Patent Document 4 described above. The on-voltage Von is not applied to the TFT 8 serving as the switching means only once, but the pulse width and duty ratio of the on-voltage Von applied to the TFT 8 are modulated, and the on-voltage Von applied by such a conventional method. The voltage applied to the TFT 8 is controlled so that the ON voltage Von having a pulse width shorter than the above pulse width is applied to the TFT 8 and the ON voltage Von is applied to the TFT 8 a plurality of times.

そのため、図16に示すように、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流Iが制限され、バイアス線9や結線10を流れる電流の電流量Iは、リセット処理時に各TFT8に通常のオン電圧を印加し続けた場合(図中の一点鎖線参照)に比べてそのピークが低くなる。そのため、放射線検出素子7のリセット処理が繰り返され、バイアス線9や結線10に多大な電流が流れることが繰り返されて結線10等が断線する確率を確実に低下させることが可能となり、事実上、結線10等の断線を防止することが可能となる。   Therefore, as shown in FIG. 16, the current I flowing out from each radiation detection element 7 to the bias line 9 or the connection 10 is limited, and the current amount I of the current flowing through the bias line 9 or the connection 10 is determined by each TFT 8 during the reset process. The peak becomes lower than when a normal on-voltage is continuously applied to (see the one-dot chain line in the figure). Therefore, the reset process of the radiation detection element 7 is repeated, and it is possible to reliably reduce the probability that the connection line 10 and the like are disconnected by repeating a large amount of current flowing through the bias line 9 and the connection line 10. It becomes possible to prevent disconnection of the connection 10 or the like.

また、放射線検出素子7のリセット処理を必要以上に頻繁に繰り返す必要がなくなるため、リセット処理を繰り返してバッテリの消費電力量が増大することを的確に防止して、バッテリの消耗を防止することが可能となる。さらに、全てのTFT8を同時にオン状態として各放射線検出素子7のリセット処理を同時に行うように構成すれば、各放射線検出素子7から余分な電荷を十分に除去する時間を確保しつつ、全放射線検出素子7のリセット処理に要する時間を短縮することが可能となる。   In addition, since it is not necessary to repeat the reset process of the radiation detection element 7 more frequently than necessary, it is possible to prevent the battery power consumption by accurately preventing the power consumption of the battery from increasing by repeating the reset process. It becomes possible. Furthermore, if all the TFTs 8 are turned on simultaneously and the reset processing of each radiation detection element 7 is performed at the same time, it is possible to detect all radiation while ensuring sufficient time to remove excess charges from each radiation detection element 7. The time required for the reset process of the element 7 can be shortened.

[第3の実施の形態]
上記の第1および第2の実施形態に係る放射線画像撮影装置では、TFT8のゲート電極8gに印加するオン電圧の電圧値をVon1からVon2、Von3へと増加させるタイミング(第1の実施形態)や、オン電圧Vonのパルス幅等(第2の実施形態)を予め実験的に求めておくことを前提に説明した。それらの場合でも有効にその有利な効果を発揮させることができる。
[Third Embodiment]
In the radiographic imaging devices according to the first and second embodiments described above, the timing at which the voltage value of the on-voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 is increased from Von1 to Von2 and Von3 (first embodiment), The description has been made on the assumption that the pulse width of the ON voltage Von and the like (second embodiment) are experimentally obtained in advance. Even in those cases, the advantageous effects can be effectively exhibited.

しかし、例えば、制御手段22が放射線画像撮影装置の各部材に対する電力の供給状態を省電力モード(sleepモード)から撮影可能モード(wake upモード)に切り替えた後、放射線検出素子7のリセット処理を行うまでの時間が長いと、一般的に、各放射線検出素子7内で発生し蓄積される暗電荷等の余分な電荷の量が多くなり、短いと、余分な電荷の量が少なくなる。   However, for example, after the control unit 22 switches the power supply state to each member of the radiographic imaging apparatus from the power saving mode (sleep mode) to the radiographable mode (wake up mode), the reset processing of the radiation detection element 7 is performed. If the time until the process is long, generally, the amount of extra charge such as dark charge generated and accumulated in each radiation detection element 7 increases, and if it is shorter, the amount of extra charge decreases.

そのため、各部材に対する電力の供給状態が撮影可能モードに切り替えられた後、放射線検出素子7のリセット処理が行われるまでの時間の長短によって、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流れ出す電流の電流量Iが大きくなったり小さくなったりする。   For this reason, after the supply state of power to each member is switched to the imaging enable mode, the radiation detection element 7 flows out to the bias line 9 or the connection 10 depending on the length of time until the reset process of the radiation detection element 7 is performed. The current amount I of the current increases or decreases.

また、例えば、放射線画像撮影の対象となる被写体の放射線画像撮影装置1の放射線入射面R(図1参照)に占める割合が小さいと、放射線が被写体を透過せずに放射線入射面Rに直接到達する割合が増加する。このように放射線が放射線入射面Rに直接到達した部分に対応する放射線検出素子7では多くの電子正孔対が発生し、読み出し処理でも発生した電子正孔対の全てを読み出し切れずに、その後に行われるダーク読取処理におけるリセット処理で、比較的大量の電荷がバイアス線9や結線10に流れ出す場合がある。   Further, for example, if the ratio of the subject to be subjected to radiographic imaging to the radiation incident surface R (see FIG. 1) of the radiographic image capturing apparatus 1 is small, the radiation directly reaches the radiation incident surface R without passing through the subject. Increase the percentage of In this way, in the radiation detection element 7 corresponding to the part where the radiation directly reaches the radiation incident surface R, many electron-hole pairs are generated, and all of the electron-hole pairs generated in the reading process are not completely read out. In the reset process in the dark reading process performed in step 1, a relatively large amount of charge may flow out to the bias line 9 or the connection 10.

しかし、例えば胸部のレントゲン撮影のように、被写体の放射線画像撮影装置1の放射線入射面R(図1参照)に占める割合が大きいと、放射線が被写体を透過せずに放射線入射面Rに直接到達して放射線の強い照射を受ける部分の割合が減るため、ダーク読取処理におけるリセット処理では、上記の場合に比べれば少量の電荷しかバイアス線9や結線10に流れ出さない。   However, if the ratio of the subject to the radiation incident surface R (see FIG. 1) of the radiographic image capturing apparatus 1 is large, for example, like X-ray imaging of the chest, radiation directly reaches the radiation incident surface R without passing through the subject. As a result, the ratio of the portion that receives strong radiation decreases, and in the reset process in the dark reading process, only a small amount of charge flows out to the bias line 9 and the connection line 10 as compared with the above case.

このように、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流れ出す電流の電流量Iは放射線画像撮影装置の状況に応じて変化する。   Thus, the current amount I of the current flowing out from each radiation detection element 7 to the bias line 9 and the connection 10 varies depending on the situation of the radiographic apparatus.

そこで、第3の実施形態では、走査駆動手段15は、放射線検出素子7のリセット処理の際に、電流検出手段43により検出されたバイアス線9の結線10を流れる電流に基づいて走査線5の各ラインL1〜Lxを介して各TFT8に印加するオン電圧を制御して、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流を制限するようになっている。   Therefore, in the third embodiment, the scanning drive unit 15 determines the scanning line 5 based on the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 detected by the current detection unit 43 when the radiation detection element 7 is reset. The ON voltage applied to each TFT 8 via each line L1 to Lx is controlled to limit the current flowing out from each radiation detection element 7 to the bias line 9 or connection 10.

具体的には、例えば、電流検出手段43により検出されるバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iに予め所定の閾値を設定しておき、例えば上記の第2の実施形態において、走査駆動手段15は、電流検出手段43から出力されるバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iがこの閾値に達すると、TFT8に印加していたオン電圧Vonをオフ電圧Voffに切り替え、バイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iが減少すると、新たにTFT8にオン電圧Vonを印加し、バイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iが再度上昇して閾値に達すると、TFT8に印加していたオン電圧Vonをオフ電圧Voffに切り替える。   Specifically, for example, a predetermined threshold value is set in advance for the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 detected by the current detection means 43. For example, in the second embodiment, scanning is performed. When the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 output from the current detection means 43 reaches this threshold value, the driving means 15 switches the on voltage Von applied to the TFT 8 to the off voltage Voff, and When the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the line 9 decreases, the on-voltage Von is newly applied to the TFT 8, and when the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 rises again and reaches the threshold value, The on voltage Von applied to the TFT 8 is switched to the off voltage Voff.

このように、走査線5の各ラインL1〜Lxを介してTFT8に印加する電圧をオン電圧Vonとオフ電圧Voffの間で切り替える制御を繰り返すように構成することで、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流を制限するようになっている。   As described above, the control is performed so that the voltage applied to the TFT 8 via the lines L1 to Lx of the scanning line 5 is switched between the on-voltage Von and the off-voltage Voff. The current flowing out to the line 9 and the connection 10 is limited.

また、上記の第1の実施形態においても、例えば、TFT8に第1のオン電圧Von1を印加して一旦上昇したバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iが所定量まで減少した時点で、TFT8に印加する電圧を第2のオン電圧Von2に引き上げ、再度上昇したバイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iが所定量まで減少した時点で、TFT8に印加する電圧を第3のオン電圧Von3に引き上げる。   Also in the first embodiment described above, for example, when the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 that has once increased by applying the first on-voltage Von1 to the TFT 8 is reduced to a predetermined amount. The voltage applied to the TFT 8 is raised to the second on-voltage Von2, and when the amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 that has risen again decreases to a predetermined amount, the voltage applied to the TFT 8 is increased to the third voltage. Increase to ON voltage Von3.

このように、バイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iに応じて走査線5の各ラインL1〜Lxを介してTFT8に印加するオン電圧Vonを段階的に引き上げる制御を行うように構成することで、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流を制限することができる。   As described above, the on-voltage Von applied to the TFT 8 via the lines L1 to Lx of the scanning line 5 is controlled to be increased stepwise in accordance with the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9. By doing so, the current flowing out from each radiation detection element 7 to the bias line 9 or the connection 10 can be limited.

以上のように、本実施形態に係る放射線画像撮影装置によっても、第1および第2の実施形態に係る放射線画像撮影装置と同様の効果を奏することが可能となる。   As described above, the radiographic imaging apparatus according to the present embodiment can also achieve the same effects as the radiographic imaging apparatuses according to the first and second embodiments.

また、本実施形態に係る放射線画像撮影装置によれば、放射線画像撮影装置の状況に応じて変化する各放射線検出素子7に蓄積された余分な電荷の量、すなわち電流検出手段43により検出されるバイアス線9や結線10を流れる電流の電流量Iに基づいて、走査線5の各ラインL1〜Lxを介して各TFT8のゲート電極8gに印加するオン電圧を的確に制御して、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流を、放射線画像撮影装置の状況に応じて確実に制限することが可能となる。   In addition, according to the radiographic image capturing apparatus according to the present embodiment, the amount of extra charge accumulated in each radiation detecting element 7 that changes according to the situation of the radiographic image capturing apparatus, that is, the current detecting means 43 detects the amount. Based on the current amount I of the current flowing through the bias line 9 and the connection line 10, the on-voltage applied to the gate electrode 8g of each TFT 8 via each line L1 to Lx of the scanning line 5 is accurately controlled to detect each radiation. It is possible to reliably limit the current flowing from the element 7 to the bias line 9 and the connection 10 according to the situation of the radiographic apparatus.

[放射線画像撮影システム]
上記の第1〜第3の実施形態に係る放射線画像撮影装置1では、放射線センサを設けたり、バイアス線9の結線10を流れる電流の電流量Iを検出する電流検出手段43を活用して、放射線画像撮影装置1に対する放射線の照射の開始や終了を検出する場合について説明した。しかし、放射線画像撮影装置1に放射線センサや電流検出手段43が設けられていないものも多い。
[Radiation imaging system]
In the radiographic imaging device 1 according to the first to third embodiments, a radiation sensor is provided, or the current detection unit 43 that detects the current amount I of the current flowing through the connection 10 of the bias line 9 is utilized. The case where the start and the end of the radiation irradiation with respect to the radiation image capturing apparatus 1 are detected has been described. However, in many cases, the radiation imaging apparatus 1 is not provided with the radiation sensor or the current detection means 43.

そのような場合には、放射線画像撮影装置1に放射線を照射する放射線発生装置等から放射線の照射の開始や終了を知らせる信号を放射線画像撮影装置1に送信するように構成することが可能である。   In such a case, the radiation image capturing apparatus 1 can be configured to transmit a signal notifying the start or end of radiation irradiation to the radiation image capturing apparatus 1 from a radiation generator that irradiates the radiation image 1 or the like. .

また、実際の放射線発生装置では、放射線発生装置の放射線源が起動されてから放射線が照射されるまでに1秒程度の時間がかかる場合が多い。そのため、放射線源の起動から照射までの時間を使って、放射線画像撮影装置1に放射線画像撮影前のリセット処理を行わせるように構成することが可能である。   Further, in an actual radiation generator, it often takes about 1 second from the start of the radiation source of the radiation generator to the irradiation of radiation. For this reason, it is possible to configure the radiographic imaging apparatus 1 to perform a reset process before radiographic imaging using the time from activation of the radiation source to irradiation.

以下では、それを実現するための放射線画像撮影システムについて説明する。図17は、本実施形態に係る放射線画像撮影システムの全体構成を示す図である。放射線画像撮影システム50は、図17に示すように、例えば、放射線を照射して図示しない患者の一部である被写体の撮影を行う撮影室R1と、放射線技師等の操作者が被写体への放射線の照射等の操作を行う前室R2とに配置される。   Below, the radiographic imaging system for implement | achieving it is demonstrated. FIG. 17 is a diagram illustrating an overall configuration of the radiographic image capturing system according to the present embodiment. As shown in FIG. 17, the radiographic imaging system 50 includes, for example, an imaging room R1 that irradiates radiation and images a subject that is a part of a patient (not shown), and an operator such as a radiologist radiates radiation to the subject. It is arrange | positioned in front chamber R2 which performs operations, such as irradiation.

本実施形態では、撮影室R1には、前述した放射線画像撮影装置1(可搬型放射線画像撮影装置1)を装填可能なブッキー装置51や、被写体に照射する放射線を発生させる図示しないX線管球を備える放射線発生装置の放射線源52、放射線画像撮影装置1と他の装置とが無線通信する際にこれらの通信を中継する無線アンテナ53を備えた無線アクセスポイント(基地局)54等が設けられている。   In the present embodiment, in the imaging room R1, a Bucky device 51 that can be loaded with the above-described radiographic image capturing device 1 (portable radiographic image capturing device 1) or an X-ray tube (not shown) that generates radiation to irradiate a subject. A radiation source 52 of the radiation generating apparatus, a radio access point (base station) 54 provided with a wireless antenna 53 that relays these communications when the radiographic imaging apparatus 1 and other apparatuses communicate wirelessly, and the like. ing.

また、前室R2には、放射線源52からの放射線の照射開始を指示するための照射開始スイッチ55等を備えた放射線発生装置の操作卓56や、放射線画像撮影装置1に内蔵された後述するタグを検出するタグリーダ57等が設けられている。また、放射線発生装置の操作卓56やタグリーダ57等は、撮影室外に設けられたコンソール58に接続されている。   Further, in the front chamber R2, an operation console 56 of a radiation generation apparatus provided with an irradiation start switch 55 for instructing the start of irradiation of radiation from the radiation source 52, and a radiation image capturing apparatus 1 described later. A tag reader 57 and the like for detecting a tag are provided. The console 56 and the tag reader 57 of the radiation generating apparatus are connected to a console 58 provided outside the imaging room.

コンソール58では、放射線画像撮影システム50で取得された画像データやダーク読取値等を用いて画像処理が行われ、放射線画像の生成等が行われるようになっている。なお、コンソール58を前室R2に設けることも可能である。また、コンソール58には、ハードディスク等で構成された記憶手段59が接続されている。   The console 58 performs image processing using image data acquired by the radiation image capturing system 50, a dark read value, and the like, and generates a radiation image. It is possible to provide the console 58 in the front chamber R2. The console 58 is connected to storage means 59 composed of a hard disk or the like.

放射線画像撮影装置1の構成については第1〜第3の実施形態で述べたとおりであるが、本実施形態では、さらに、放射線画像撮影装置1には、図示しないタグが内蔵されている。本実施形態では、タグとして、いわゆるRFID(Radio Frequency IDentification)タグと呼ばれるタグが用いられており、タグには、タグの各部を制御する制御回路や放射線画像撮影装置1の固有情報を記憶する記憶部がコンパクトに内蔵されている。なお、固有情報には、例えば当該放射線画像撮影装置1に割り当てられた識別情報としてのカセッテIDやシンチレータの種類情報、サイズ情報、解像度等が含まれる。   The configuration of the radiographic image capturing apparatus 1 is as described in the first to third embodiments. In the present exemplary embodiment, the radiographic image capturing apparatus 1 further includes a tag (not shown). In this embodiment, a tag called a so-called RFID (Radio Frequency IDentification) tag is used as the tag, and the tag stores a control circuit that controls each part of the tag and a storage that stores unique information of the radiographic imaging apparatus 1. The part is built in compactly. The unique information includes, for example, a cassette ID, scintillator type information, size information, resolution, and the like as identification information assigned to the radiation image capturing apparatus 1.

また、放射線画像撮影装置1は、ブッキー装置51に装填されない、いわば単独の状態で用いることもできるようになっている。すなわち、放射線画像撮影装置1を単独の状態で例えば撮影室R1内に設けられた支持台や図17に示すように臥位撮影用のブッキー装置51B等に配置してその放射線入射面R(図1参照)上に被写体である患者の手等を載置したり、或いは、例えばベッドの上に横臥した患者の腰や足等とベッドとの間に差し込んだりして用いることもできるようになっている。この場合、例えばポータブルの放射線源52B等から、被写体を介して放射線画像撮影装置1に放射線を照射して放射線画像撮影が行われる。   In addition, the radiographic image capturing apparatus 1 can be used in a so-called independent state that is not loaded in the bucky device 51. That is, the radiation image capturing apparatus 1 is arranged in a single state, for example, on a support stand provided in the capturing room R1 or a bucky apparatus 51B for supine photographing as shown in FIG. 1) and the patient's hand as the subject can be placed on the head, or can be used, for example, inserted between the patient's waist or legs lying on the bed and the bed. ing. In this case, for example, radiation image capturing is performed by irradiating the radiation image capturing apparatus 1 with radiation from a portable radiation source 52B or the like via a subject.

ブッキー装置51には、放射線画像撮影装置1を所定の位置に保持するためのカセッテ保持部51aが設けられており、カセッテ保持部51aに放射線画像撮影装置1が装填できるようになっている。また、本実施形態では、ブッキー装置51として、立位撮影用のブッキー装置51Aと臥位撮影用のブッキー装置51Bとがそれぞれ設けられている。また、本実施形態では、各ブッキー装置51A、51Bは、それぞれケーブルや無線アクセスポイント(基地局)54等を介して放射線発生装置の操作卓56等と接続されている。   The bucky device 51 is provided with a cassette holding portion 51a for holding the radiographic image capturing device 1 in a predetermined position, and the radiographic image capturing device 1 can be loaded into the cassette holding portion 51a. Further, in the present embodiment, as the bucky device 51, there are provided a bucky device 51A for standing position shooting and a bucky device 51B for standing position shooting. In the present embodiment, each of the bucky devices 51A and 51B is connected to the operation console 56 of the radiation generating device via a cable, a wireless access point (base station) 54, and the like.

撮影室R1には、被写体を介して放射線画像撮影装置1に放射線を照射するX線管球を備える放射線源52が少なくとも1つ設けられている。本実施形態では、立位撮影用および臥位撮影用のブッキー装置51A、51Bに対して1つの放射線源52Aが共用されるようになっている。なお、各ブッキー装置51A、51Bに、別々の放射線源を対応付けて設けるように構成することも可能である。   In the imaging room R1, at least one radiation source 52 including an X-ray tube that irradiates the radiation image capturing apparatus 1 with radiation through a subject is provided. In the present embodiment, one radiation source 52A is shared by the bucky devices 51A and 51B for standing position shooting and standing position shooting. It should be noted that it is also possible to configure each of the bucky devices 51A and 51B so that different radiation sources are associated with each other.

放射線源52Aは、例えば撮影室R1の天井からつり下げられて配設されるようになっており、撮影時には後述する操作卓56からの指示に基づいてセットアップされ、図示しない移動手段により所定の位置にまで移動され、放射線の照射方向が所定の方向を向くようにその向きが調整されるようになっている。   The radiation source 52A is arranged suspended from the ceiling of the imaging room R1, for example, and is set up based on an instruction from an operation console 56 (to be described later) at the time of imaging. And the direction of the radiation is adjusted so that the radiation direction is in a predetermined direction.

また、本実施形態では、立位撮影用のブッキー装置51Aや臥位撮影用のブッキー装置51Bには対応付けられていないポータブルの放射線源52Bも設けられており、ポータブルの放射線源52Bは、撮影室R1内の任意の場所にも持ち運びでき、任意の方向に放射線を照射できるようになっている。   Further, in the present embodiment, a portable radiation source 52B that is not associated with the standing-up imaging device 51A or the lying-up imaging device 51B is also provided, and the portable radiation source 52B has an imaging function. It can be carried to any place in the room R1, and radiation can be emitted in any direction.

なお、本実施形態では、ポータブルの放射線源52Bも、操作卓56からの指示に基づいてセットアップされるようになっているが、この他にも、例えば、操作者が手動でセットアップしたり、放射線画像撮影装置1からポータブルの放射線源52Bに無線信号を送信してセットアップするように構成することも可能である。   In the present embodiment, the portable radiation source 52B is also set up based on an instruction from the console 56. In addition to this, for example, the operator manually sets up the radiation source 52B. It is also possible to configure to set up by transmitting a radio signal from the image capturing apparatus 1 to the portable radiation source 52B.

放射線源52のX線管球としては、回転陽極X線管球を用いた放射線源が好ましく用いられる。X線管球は、陰極から放射される電子線を陽極に衝突させることで放射線を発生させるように構成されている場合が多いが、電子線が陽極の同じ位置に衝突し続けると、熱の発生等で陽極が損傷する。そのため、回転陽極X線管球では、陽極を回転させて電子線が衝突する位置が同じ位置にならないようにすることで、陽極の長寿命化が図られるようになっている。   As the X-ray tube of the radiation source 52, a radiation source using a rotating anode X-ray tube is preferably used. An X-ray tube is often configured to generate radiation by causing an electron beam emitted from a cathode to collide with an anode. However, if an electron beam continues to collide with the same position on the anode, The anode is damaged due to the occurrence. Therefore, in the rotating anode X-ray tube, the anode is extended so that the position where the electron beam collides does not become the same position, thereby extending the life of the anode.

前室R2には、放射線源52からの放射線の照射開始を指示するための照射開始スイッチ55を備えた放射線発生装置の操作卓56が設けられている。なお、図17では、操作卓56と照射開始スイッチ55とが別体のように記載されているが、必ずしも別体として構成する必要はない。   The front chamber R2 is provided with an operation console 56 of a radiation generating apparatus provided with an irradiation start switch 55 for instructing start of irradiation of radiation from the radiation source 52. In FIG. 17, the console 56 and the irradiation start switch 55 are described as separate bodies, but they are not necessarily configured as separate bodies.

操作卓56は、CPUや専用のプロセッサ(processor)を備えるコンピュータで構成されている。また、照射開始スイッチ55は、図18(A)〜(C)に示すように、棒状のボタン部55aと、ボタン部55aを図中矢印Sで示される方向に押下可能に支持する筐体部55bとで構成されている。そして、ボタン部55aは、図18(A)に示すように、筐体部55bから上方に突出した円筒部55a1と、その内部からさらに上方に突出した円柱部55a2とで構成されている。   The console 56 is configured by a computer including a CPU and a dedicated processor. Further, as shown in FIGS. 18A to 18C, the irradiation start switch 55 includes a rod-shaped button portion 55a and a housing portion that supports the button portion 55a so that the button portion 55a can be pressed in the direction indicated by the arrow S in the drawing. 55b. As shown in FIG. 18A, the button portion 55a includes a cylindrical portion 55a1 protruding upward from the housing portion 55b and a columnar portion 55a2 protruding further upward from the inside thereof.

そして、図18(B)に示すように、操作者により円柱部55a2が円筒部55a1の上端部分まで押し込まれて、ボタン部55aがいわゆる半押しされると、操作卓56から所定の放射線源52に対して起動信号が送信されるようになっており、放射線源52は、起動信号を受信すると、X線管球の陽極の回転を開始して起動するようになっている。この起動信号は、無線アクセスポイント54を介して放射線画像撮影装置1にも送信されるようになっている。   Then, as shown in FIG. 18B, when the column portion 55a2 is pushed down to the upper end portion of the cylindrical portion 55a1 by the operator and the button portion 55a is half-pressed, a predetermined radiation source 52 is supplied from the console 56. When the activation signal is received, the radiation source 52 starts to rotate by starting rotation of the anode of the X-ray tube. This activation signal is also transmitted to the radiation image capturing apparatus 1 via the wireless access point 54.

また、図18(C)に示すように、操作者により照射開始スイッチ55のボタン部55aの円筒部55a1と円柱部55a2とが筐体部55bの上端部分までさらに押し込まれて、ボタン部55aがいわゆる全押しされると、操作卓56から所定の放射線源52に対して照射信号が送信されるようになっており、放射線源52は、照射信号を受信すると、放射線を照射するようになっている。この照射信号も、無線アクセスポイント54を介して放射線画像撮影装置1にも送信されるようになっている。   As shown in FIG. 18C, the operator further pushes the cylindrical portion 55a1 and the column portion 55a2 of the button portion 55a of the irradiation start switch 55 to the upper end portion of the housing portion 55b. When it is fully pressed, an irradiation signal is transmitted from the console 56 to a predetermined radiation source 52. When the radiation source 52 receives the irradiation signal, the irradiation signal is emitted. Yes. This irradiation signal is also transmitted to the radiation image capturing apparatus 1 via the wireless access point 54.

なお、起動信号や照射信号を、無線アクセスポイント54を介して放射線発生装置の操作卓56や照射開始スイッチ55から放射線画像撮影装置1に送信する代わりに、照射開始スイッチ55の半押しや全押しの状態をそれぞれ検出して、照射開始スイッチ55が半押しされた場合に起動信号(或いは放射線源52を起動したことを表す信号)を放射線画像撮影装置1に送信し、照射開始スイッチ55が全押しされた場合に照射信号(或いは放射線源52から放射線が照射されたことを表す信号)を放射線画像撮影装置1に送信するボタン操作検出手段60を設けるように構成することも可能である。   Instead of transmitting the activation signal or the irradiation signal from the operation console 56 or the irradiation start switch 55 to the radiographic image capturing apparatus 1 via the wireless access point 54, the irradiation start switch 55 is pressed halfway or fully. When the irradiation start switch 55 is half-pressed, an activation signal (or a signal indicating that the radiation source 52 has been activated) is transmitted to the radiographic image capturing apparatus 1, and the irradiation start switch 55 is fully activated. It is also possible to provide a button operation detecting means 60 that transmits an irradiation signal (or a signal indicating that radiation has been irradiated from the radiation source 52) to the radiographic imaging device 1 when pressed.

なお、照射開始スイッチ55の上記の構成は、本発明に特有の構成ではなく、通常の放射線画像撮影システムの操作卓で多く採用されている構成であり、通常、ボタン部55aを半押ししてから1秒程度の時間が経過した後に全押しすることができるように構成されている。   Note that the above-described configuration of the irradiation start switch 55 is not a configuration specific to the present invention, but is a configuration widely used in an operation console of a normal radiographic image capturing system. Usually, the button portion 55a is half-pressed. It is configured so that it can be fully pressed after about 1 second has elapsed.

また、前室R2の入口の近傍には、前述したRFIDの技術を用いて放射線画像撮影装置1と情報をやりとりするタグリーダ57(図17参照)が設置されており、タグリーダ57は、前室R2や撮影室R1に入室し或いは退室する放射線画像撮影装置1を検出して、その情報をコンソール58に送信するようになっている。そして、コンソール58で撮影室R1や前室R2に存在する放射線画像撮影装置1を管理するようになっている。   Further, a tag reader 57 (see FIG. 17) for exchanging information with the radiographic imaging apparatus 1 using the RFID technology described above is installed in the vicinity of the entrance of the front chamber R2, and the tag reader 57 is connected to the front chamber R2. In addition, the radiographic imaging device 1 entering or leaving the imaging room R1 is detected, and the information is transmitted to the console 58. The console 58 manages the radiation image capturing apparatus 1 existing in the image capturing room R1 and the front room R2.

放射線画像撮影装置1は、放射線画像撮影に向けて、放射線技師等の操作者により電源スイッチ36が操作される等して各部材に対する電力の供給状態を省電力モード(sleepモード)から撮影可能モード(wake upモード)に切り替えられて、ブッキー装置51に装填されるなどする。   The radiographic image capturing apparatus 1 is a mode in which the power supply state of each member can be captured from the power saving mode (sleep mode) by operating the power switch 36 by an operator such as a radiographer for radiographic image capturing. It is switched to (wake up mode) and loaded into the bucky device 51.

そして、放射線画像撮影装置1の放射線入射面R側に患者の一部である被写体がセットされる。なお、本実施形態の放射線画像撮影システム50では、放射線画像撮影装置1は各部材に対する電力の供給状態が撮影可能モードに切り替えられた段階では各放射線検出素子7のリセット処理を開始しないが、この段階で各放射線検出素子7のリセット処理を行うように構成してもよいことは上記の放射線画像撮影装置1の各実施形態で述べたとおりである。   Then, a subject that is a part of the patient is set on the radiation incident surface R side of the radiographic imaging apparatus 1. In the radiographic image capturing system 50 of the present embodiment, the radiographic image capturing apparatus 1 does not start the reset process of each radiation detection element 7 at the stage where the power supply state to each member is switched to the image capture enable mode. As described in each embodiment of the radiation image capturing apparatus 1, the radiation detection elements 7 may be reset in stages.

そして、操作者が前室R2の放射線発生装置の操作卓56に移動して照射開始スイッチ55のボタン部55aを半押しすると、操作卓56から所定の放射線源52に対して起動信号が送信されて、放射線源52がX線管球の陽極の回転を開始して起動するとともに、この起動信号(或いは放射線源52を起動したことを表す信号)が操作卓56や照射開始スイッチ55或いはボタン操作検出手段60から無線アクセスポイント54を介して放射線画像撮影装置1にも送信される。   Then, when the operator moves to the console 56 of the radiation generating apparatus in the front chamber R2 and presses the button portion 55a of the irradiation start switch 55 halfway, an activation signal is transmitted from the console 56 to the predetermined radiation source 52. Then, the radiation source 52 is started by starting rotation of the anode of the X-ray tube, and this activation signal (or a signal indicating that the radiation source 52 has been activated) is operated by the console 56, the irradiation start switch 55 or the button operation. It is also transmitted from the detection means 60 to the radiographic imaging apparatus 1 via the wireless access point 54.

起動信号が、無線アクセスポイント54の無線アンテナ53を介して無線で、或いは無線アクセスポイント54からケーブルを通ってブッキー装置51を介して有線で、送信されてくると、放射線画像撮影装置1の制御手段22は、走査駆動手段15に対して各放射線検出素子7のリセット処理を行うように指示を出す。   When the activation signal is transmitted wirelessly via the wireless antenna 53 of the wireless access point 54 or via the cable from the wireless access point 54 and wired via the bucky device 51, control of the radiographic imaging device 1 is performed. The means 22 instructs the scanning drive means 15 to perform reset processing of each radiation detection element 7.

走査駆動手段15は、制御手段22からの指示に応じて、上記の放射線画像撮影装置1の実施形態(特に図9や図14、図15等参照)で説明したように、走査線5の全ラインL1〜Lxを介して各放射線検出素子7のスイッチ手段であるTFT8のゲート電極8gに所定の電圧値のオン電圧Vonを印加する。   In response to an instruction from the control unit 22, the scanning drive unit 15 performs the entire scanning line 5 as described in the embodiment of the radiographic imaging apparatus 1 (see particularly FIG. 9, FIG. 14, FIG. 15, etc.). An on-voltage Von having a predetermined voltage value is applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 which is the switching means of each radiation detection element 7 via the lines L1 to Lx.

すなわち、放射線画像撮影装置1が第1の実施形態に係る放射線画像撮影装置であれば、走査線5の全ラインL1〜Lxを介してTFT8のゲート電極8gに電圧値が異なる各オン電圧Von1、Von2、Von3を電圧値が段階的に増加するように印加する。また、放射線画像撮影装置1が第2の実施形態に係る放射線画像撮影装置であれば、走査線5の全ラインL1〜Lxを介してTFT8のゲート電極8gに短いパルス幅のオン電圧Vonを複数回印加する。   That is, if the radiographic image capturing apparatus 1 is the radiographic image capturing apparatus according to the first embodiment, each of the on-voltages Von1 having a different voltage value to the gate electrode 8g of the TFT 8 through all the lines L1 to Lx of the scanning line 5. Von2 and Von3 are applied so that the voltage value increases stepwise. Further, if the radiographic imaging apparatus 1 is the radiographic imaging apparatus according to the second embodiment, a plurality of on-voltages Von having a short pulse width are applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 via all the lines L1 to Lx of the scanning line 5. Apply once.

そして、本実施形態では、いずれの場合もオン電圧Vonの電圧値を低下させて、走査線5の全ラインL1〜Lxを介してTFT8のゲート電極8gに対して低下させたオン電圧Von4を印加し続ける。   In this embodiment, the on-voltage Von4 is applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 through the all lines L1 to Lx of the scanning line 5 by reducing the voltage value of the on-voltage Von in any case. Keep doing.

そして、操作者が操作卓56の照射開始スイッチ55のボタン部55aを半押しした後、1秒程度の時間が経過してから照射開始スイッチ55のボタン部55aを全押しすると、操作卓56から所定の放射線源52に対して照射信号が送信されて、放射線源52から放射線が照射される。また、この照射信号(或いは放射線源52から放射線が照射されたことを表す信号)が操作卓56や照射開始スイッチ55或いはボタン操作検出手段60から無線アクセスポイント54を介して放射線画像撮影装置1に送信される。   Then, after the operator presses the button portion 55a of the irradiation start switch 55 of the console 56 halfway, when the button portion 55a of the irradiation start switch 55 is fully pressed after a time of about 1 second has elapsed, the operator console 56 An irradiation signal is transmitted to the predetermined radiation source 52, and radiation is emitted from the radiation source 52. Further, this irradiation signal (or a signal indicating that the radiation source 52 has been irradiated) is sent from the console 56, the irradiation start switch 55 or the button operation detection means 60 to the radiographic image capturing apparatus 1 via the wireless access point 54. Sent.

放射線画像撮影装置1の制御手段22は、操作卓56や照射開始スイッチ55等から送信されてきた照射信号を受信すると、放射線の照射開始を知らせる信号を走査駆動手段15に送信する。走査駆動手段15は、制御手段22からの信号を受信すると、走査線5の全ラインL1〜Lxを介してTFT8のゲート電極8gに対して印加していたオン電圧Von4をオフ電圧Voffに切り替えて全てのTFT8をオフ状態にする。   When receiving the irradiation signal transmitted from the console 56, the irradiation start switch 55, or the like, the control means 22 of the radiographic imaging apparatus 1 transmits a signal notifying the start of radiation irradiation to the scanning driving means 15. When the scanning drive unit 15 receives the signal from the control unit 22, the scanning driving unit 15 switches the on voltage Von 4 applied to the gate electrode 8 g of the TFT 8 through all the lines L 1 to Lx of the scanning line 5 to the off voltage Voff. All TFTs 8 are turned off.

このようにして、各放射線検出素子7で発生する電荷が各放射線検出素子7に蓄積される。この後の処理は、上記の放射線画像撮影装置1の実施形態で述べた処理と同様に処理が行われ、放射線の照射が終了すると、走査駆動手段15は、例えば図14に示したように、ゲートドライバ15bから信号読み出し用のオン電圧Vonを印加する走査線5のラインL1〜Lxを順次切り替えながら、各放射線検出素子7から蓄積された電荷を読み出して画像データに変換して記憶手段40に記憶させる。   In this way, charges generated in each radiation detection element 7 are accumulated in each radiation detection element 7. Subsequent processing is performed in the same manner as the processing described in the embodiment of the radiographic imaging apparatus 1 described above. When the irradiation of radiation is completed, the scanning drive unit 15 performs, for example, as shown in FIG. While sequentially switching the lines L1 to Lx of the scanning line 5 to which the signal read-on voltage Von is applied from the gate driver 15b, the charges accumulated from the radiation detecting elements 7 are read and converted into image data and stored in the storage means 40. Remember.

また、その後、ダーク読取処理が行われ、ダーク読取処理では、各放射線検出素子7のリセット処理が行われた後、各TFT8のゲート電極8gにオフ電圧Voffが印加され、放射線が照射されない状態で所定時間放置された後、走査線5の各ラインL1〜Lxごとに各放射線検出素子7内で発生した暗電荷が画像データの読み出し処理と同じタイミングでダーク読取値として読み出されて記憶手段40に記憶される。   Thereafter, a dark reading process is performed. In the dark reading process, after the reset process of each radiation detection element 7 is performed, the off voltage Voff is applied to the gate electrode 8g of each TFT 8, and no radiation is irradiated. After being left for a predetermined time, the dark charge generated in each radiation detection element 7 for each of the lines L1 to Lx of the scanning line 5 is read as a dark read value at the same timing as the image data read processing and stored in the storage means 40. Is remembered.

このようにして得られた各放射線検出素子7ごとの画像データやダーク読取値は、コンソール58に送信されてダーク読取値に基づいてオフセット分が算出され、画像データからオフセット分が差し引かれる等して、各放射線検出素子7ごとの最終的な画像データが算出されて、放射線画像が生成される。   The image data and dark reading value for each radiation detection element 7 obtained in this way are transmitted to the console 58, an offset is calculated based on the dark reading value, and the offset is subtracted from the image data. Thus, final image data for each radiation detection element 7 is calculated, and a radiation image is generated.

以上のように、本実施形態に係る放射線画像撮影システム50によれば、上記の各実施形態における放射線画像撮影装置の効果を有効に発揮することが可能となる。   As described above, according to the radiographic image capturing system 50 according to the present embodiment, it is possible to effectively exhibit the effects of the radiographic image capturing apparatus in each of the above embodiments.

また、放射線源52に対して起動信号が送信されて放射線画像撮影装置1の各放射線検出素子7のリセット処理が開始され、放射線源52に対して照射信号が送信されて放射線の照射が検出され各放射線検出素子7のTFT8のゲート電極8gに印加する電圧がオフ電圧Voffに切り替えられるまで1秒程度の時間が存在する。   In addition, the activation signal is transmitted to the radiation source 52 and reset processing of each radiation detection element 7 of the radiation imaging apparatus 1 is started, and the irradiation signal is transmitted to the radiation source 52 to detect radiation irradiation. There is a time of about 1 second until the voltage applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 of each radiation detection element 7 is switched to the off voltage Voff.

そのため、各放射線検出素子7に蓄積されている余分な電荷を十分に放出させて除去することが可能となるとともに、必要以上に長い時間TFT8のゲート電極8gにオン電圧Von4を印加して放射線画像撮影装置1のバッテリ41の電力が浪費されてしまうことを的確に防止することが可能となり、バッテリ41の消耗を防止することが可能となる。   Therefore, it is possible to sufficiently discharge and remove excess charges accumulated in each radiation detection element 7, and to apply a turn-on voltage Von4 to the gate electrode 8g of the TFT 8 for a longer time than necessary to obtain a radiation image. It is possible to accurately prevent the power of the battery 41 of the photographing apparatus 1 from being wasted, and it is possible to prevent the battery 41 from being consumed.

なお、上記の各実施形態に係る放射線画像撮影装置1や放射線画像撮影システム50では、放射線検出素子7のリセット処理の際、放射線画像撮影装置1の走査駆動手段15から走査線5の各ラインL1〜Lxを介してスイッチ手段である全TFT8に同時にオン電圧Von(第1のオン電圧Von1)を印加する場合について説明した.   In the radiographic image capturing apparatus 1 and the radiographic image capturing system 50 according to each of the embodiments described above, each line L1 of the scanning line 5 from the scan driving unit 15 of the radiographic image capturing apparatus 1 is performed when the radiation detection element 7 is reset. The case where the on-voltage Von (first on-voltage Von1) is simultaneously applied to all the TFTs 8 serving as switching means via Lx has been described.

しかし、図3に示したように、基板4の検出部Pに配列された複数の走査線5を、例えば図中の上半分と下半分等の複数のグループに分け、各走査線5を介してスイッチ手段であるTFT8のゲート電極8gに印加するオン電圧Vonを、それぞれ別の時刻に、かつ、1つのグループに属する走査線5に接続されたTFT8については同時に印加してリセット処理を行うように構成することも可能である。   However, as shown in FIG. 3, the plurality of scanning lines 5 arranged in the detection unit P of the substrate 4 are divided into a plurality of groups such as an upper half and a lower half in the figure, and the respective scanning lines 5 are interposed. The on-state voltage Von applied to the gate electrode 8g of the TFT 8 serving as the switching means is applied at different times and simultaneously to the TFTs 8 connected to the scanning lines 5 belonging to one group to perform reset processing. It is also possible to configure.

このように構成すれば、各グループに属する走査線5にTFT8が接続された各放射線検出素子7からは、グループごとに別のタイミングでバイアス線9や結線10に電流Iが流れ出すため、各グループごとに流れる電流の電流Iをそれぞれ小さくすることが可能となる。   If comprised in this way, since each radiation detection element 7 to which TFT8 was connected to the scanning line 5 which belongs to each group will flow out the electric current I to the bias line 9 and the connection 10 at a different timing for every group, It is possible to reduce the current I of the current flowing every time.

そのため、各放射線検出素子7からバイアス線9や結線10に流出する電流Iがより制限され、バイアス線9や結線10を流れる電流の電流量Iのピークをより低下させることが可能となり、放射線検出素子7のリセット処理を繰り返しても、結線10等が断線する確率をより低下させることが可能となる。そして、事実上、結線10等の断線を防止することが可能となる。   For this reason, the current I flowing out from each radiation detection element 7 to the bias line 9 or the connection 10 is further limited, and the peak of the current amount I of the current flowing through the bias line 9 or the connection 10 can be further reduced. Even if the reset process of the element 7 is repeated, the probability that the connection 10 or the like is disconnected can be further reduced. And it becomes possible to prevent disconnection of the connection 10 etc. in effect.

各実施形態に係る放射線画像撮影装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the radiographic imaging apparatus which concerns on each embodiment. 図1におけるA−A線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the AA line in FIG. 本実施形態に係る基板の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the board | substrate which concerns on this embodiment. 図3の基板上の小領域に形成された放射線検出素子とTFT等の構成を示す拡大図である。It is an enlarged view which shows the structure of the radiation detection element, TFT, etc. which were formed in the small area | region on the board | substrate of FIG. 図4におけるX−X線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the XX line in FIG. COFやPCB基板等が取り付けられた基板を説明する側面図である。It is a side view explaining the board | substrate with which COF, a PCB board | substrate, etc. were attached. 本実施形態に係る放射線画像撮影装置の等価回路図を表す図である。It is a figure showing the equivalent circuit schematic of the radiographic imaging apparatus which concerns on this embodiment. 図7における1画素分についての等価回路図である。FIG. 8 is an equivalent circuit diagram for one pixel in FIG. 7. 第1の実施形態に係る放射線画像撮影装置においてスイッチ手段に印加される電圧の電圧値の時間的推移を表すグラフである。It is a graph showing the time transition of the voltage value of the voltage applied to a switch means in the radiographic imaging apparatus which concerns on 1st Embodiment. (A)スイッチ手段に第1のオン電圧が印加された状態を表すグラフであり、(B)電流検出手段で検出されるバイアス線の結線を流れる電流の電流量の時間的変化を表すグラフである。(A) It is a graph showing the state where the 1st ON voltage was applied to the switch means, (B) It is a graph showing the time change of the electric current amount which flows through the connection of the bias line detected by an electric current detection means. is there. (A)スイッチ手段に印加されるオン電圧が第2のオン電圧に切り替えられた状態を表すグラフであり、(B)電流検出手段で検出されるバイアス線の結線を流れる電流の電流量の時間的変化を表すグラフである。(A) It is a graph showing the state by which the ON voltage applied to a switch means was switched to the 2nd ON voltage, (B) Time of the electric current amount of the current which flows through the connection of the bias line detected by a current detection means It is a graph showing a change. (A)スイッチ手段に印加されるオン電圧が第3のオン電圧に切り替えられた状態を表すグラフであり、(B)電流検出手段で検出されるバイアス線の結線を流れる電流の電流量の時間的変化を表すグラフである。(A) It is a graph showing the state by which the ON voltage applied to a switch means was switched to the 3rd ON voltage, (B) Time of the electric current amount of the current which flows through the connection of the bias line detected by a current detection means It is a graph showing a change. 放射線の照射が開始されると放射線検出素子内で電荷が発生しバイアス線の結線に流れ出す電流量が増加することを表すグラフである。It is a graph showing that the amount of current that flows out to the connection of the bias line increases due to the generation of electric charge in the radiation detection element when radiation irradiation is started. 走査駆動手段から走査線の各ラインに印加する電圧値のタイミングチャートである。It is a timing chart of the voltage value applied to each line of a scanning line from a scanning drive means. 第2の実施形態に係る放射線画像撮影装置においてスイッチ手段に印加される電圧の電圧値の時間的推移を表すグラフである。It is a graph showing the time transition of the voltage value of the voltage applied to a switch means in the radiographic imaging apparatus which concerns on 2nd Embodiment. 図15のようにスイッチ手段に電圧を印加した際に電流検出手段で検出されるバイアス線の結線を流れる電流の電流量の時間的変化を表すグラフである。16 is a graph showing a temporal change in the amount of current flowing through a bias line connection detected by a current detection unit when a voltage is applied to the switch unit as shown in FIG. 本実施形態に係る放射線画像撮影システムの全体構成を示す図である。It is a figure which shows the whole structure of the radiographic imaging system which concerns on this embodiment. (A)は照射開始スイッチの構成を示す図であり、(B)はボタン部が半押しされた状態、(C)は全押しされた状態を説明する図である。(A) is a figure which shows the structure of an irradiation start switch, (B) is the state which the button part was half-pressed, (C) is a figure explaining the state by which it fully pressed.

符号の説明Explanation of symbols

1 放射線画像撮影装置(可搬型放射線画像撮影装置)
5 走査線
6 信号線
7 放射線検出素子
8 TFT(スイッチ手段)
9 バイアス線
14 バイアス電源
15 走査駆動手段
15a 電源回路
15b ゲートドライバ
39 アンテナ装置(通信手段)
41 バッテリ
43 電流検出手段
50 放射線画像撮影システム
52 放射線源(放射線発生装置)
55 照射開始スイッチ(放射線発生装置)
56 操作卓(放射線発生装置)
I 電流、電流量
P 検出部
r 領域
Voff オフ電圧
Von オン電圧、信号読み出し用のオン電圧
Von1〜Von3 互いに異なる複数の電圧値のオン電圧
1 Radiographic imaging device (portable radiographic imaging device)
5 Scanning line 6 Signal line 7 Radiation detection element 8 TFT (switch means)
9 Bias line 14 Bias power supply 15 Scanning drive means 15a Power supply circuit 15b Gate driver 39 Antenna device (communication means)
41 Battery 43 Current detection means 50 Radiation imaging system 52 Radiation source (radiation generator)
55 Irradiation start switch (radiation generator)
56 console (radiation generator)
I current, current amount P detection unit r region Voff off voltage Von on voltage, on voltages Von1 to Von3 for signal reading on voltages having a plurality of different voltage values

Claims (11)

互いに交差するように配設された複数の走査線および複数の信号線と、前記複数の走査線および複数の信号線により区画された各領域に二次元状に配列された複数の放射線検出素子とを備える検出部と、
前記各放射線検出素子に接続されたバイアス線と、
前記バイアス線を介して前記各放射線検出素子にバイアス電圧を印加するバイアス電源と、
前記放射線検出素子ごとに配置され、接続された前記走査線にオン電圧が印加されると前記放射線検出素子内で発生した電荷を放出させ、接続された前記走査線にオフ電圧が印加されると前記放射線検出素子内で発生した電荷を前記放射線検出素子内に蓄積させるスイッチ手段と、
電源回路とゲートドライバとを備え、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する電圧を制御する走査駆動手段と、
を備え、
前記各手段に電力を供給するバッテリが内蔵されており、
前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子内に蓄積された余分な電荷を放出させる前記放射線検出素子のリセット処理の際に、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する電圧を制御して、前記各放射線検出素子から前記バイアス線に流出する電流を制限することを特徴とする可搬型放射線画像撮影装置。
A plurality of scanning lines and a plurality of signal lines arranged so as to intersect with each other; a plurality of radiation detecting elements arranged in a two-dimensional manner in each region partitioned by the plurality of scanning lines and the plurality of signal lines; A detector comprising:
A bias line connected to each of the radiation detection elements;
A bias power source for applying a bias voltage to each radiation detection element via the bias line;
When an on-voltage is applied to the scanning line arranged and connected to each radiation detection element, a charge generated in the radiation detection element is released, and an off-voltage is applied to the connected scanning line. Switch means for accumulating charges generated in the radiation detection element in the radiation detection element;
A scanning drive unit that includes a power supply circuit and a gate driver, and controls a voltage applied to the switch unit via each scanning line;
With
A battery for supplying power to each of the above means is incorporated,
The scanning drive unit controls a voltage applied to the switch unit via each scanning line during a reset process of the radiation detection element that discharges excess charges accumulated in the radiation detection element. A portable radiographic imaging device, wherein current flowing out from each radiation detection element to the bias line is limited.
前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子のリセット処理の際には、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する前記オン電圧として互いに異なる複数の電圧値の前記オン電圧を印加することで、前記各放射線検出素子から前記バイアス線に流出する前記電流を制限することを特徴とする請求項1に記載の放射線画像撮影装置。   The scanning drive means applies the on voltages having a plurality of different voltage values as the on voltages to be applied to the switch means via the scanning lines during the reset process of the radiation detection element. The radiographic imaging apparatus according to claim 1, wherein the current flowing out from each radiation detection element to the bias line is limited. 前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子のリセット処理の際には、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加するオン電圧を前記放射線検出素子のリセット処理開始時から段階的に増加させることで、前記各放射線検出素子から前記バイアス線に流出する前記電流を制限することを特徴とする請求項2に記載の放射線画像撮影装置。   In the reset process of the radiation detection element, the scan driving means increases the ON voltage applied to the switch means via each scanning line in a stepwise manner from the start of the reset process of the radiation detection element. The radiographic imaging apparatus according to claim 2, wherein the current flowing out from each radiation detection element to the bias line is limited. 前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子のリセット処理の際には、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する前記オン電圧のパルス幅およびデューティ比を変調させ、かつ、前記スイッチ手段に前記オン電圧を複数回印加することで、前記各放射線検出素子から前記バイアス線に流出する前記電流を制限することを特徴とする請求項1に記載の放射線画像撮影装置。   The scan driving means modulates the pulse width and duty ratio of the on-voltage applied to the switch means via the scan lines during the reset process of the radiation detection element, and the switch means The radiographic imaging apparatus according to claim 1, wherein the current flowing out from each radiation detection element to the bias line is limited by applying the ON voltage a plurality of times. 前記バイアス線を流れる電流を検出する電流検出手段を備え、
前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子のリセット処理の際には、前記電流検出手段により検出された前記バイアス線を流れる電流に基づいて前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加するオン電圧を制御して、前記各放射線検出素子から前記バイアス線に流出する電流を制限することを特徴とする請求項2から請求項4のいずれか一項に記載の放射線画像撮影装置。
Current detecting means for detecting a current flowing through the bias line;
The scan driving means applies an on-voltage applied to the switch means via each scanning line based on the current flowing through the bias line detected by the current detection means during the reset process of the radiation detection element. The radiographic imaging apparatus according to any one of claims 2 to 4, wherein the current flowing out from each of the radiation detection elements to the bias line is limited.
前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子のリセット処理の際に、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する電圧を制御する処理を、全ての前記走査線を介して全ての前記スイッチ手段に対して同時に行うことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の可搬型放射線画像撮影装置。   The scanning drive means performs a process of controlling a voltage applied to the switch means via each scanning line during the reset process of the radiation detection element, and performs all the switching means via all the scanning lines. The portable radiographic image capturing apparatus according to claim 1, wherein the portable radiographic image capturing apparatus is performed simultaneously. 前記走査駆動手段は、前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する電圧を制御する処理を前記走査線を介して前記スイッチ手段に対して同時に行う際に、前記複数の走査線を複数のグループに分け、前記処理を、1つの前記グループに属する前記走査線に接続された全ての前記スイッチ手段に対して同時に行い、それを前記走査線の全ての前記グループについて行うことを特徴とする請求項6に記載の可搬型放射線画像撮影装置。   The scanning drive unit performs a plurality of scanning lines when a process for controlling a voltage applied to the switching unit via each scanning line is simultaneously performed on the switching unit via the scanning line. It is divided into groups, and the processing is simultaneously performed for all the switch means connected to the scanning lines belonging to one group, and is performed for all the groups of the scanning lines. Item 7. The portable radiographic image capturing device according to Item 6. 前記バイアス線を流れる電流を検出する電流検出手段を備え、
前記走査駆動手段は、前記電流検出手段により検出される前記バイアス線を流れる前記電流の電流量が増加したことにより前記放射線の照射が開始されたことを検出することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の可搬型放射線画像撮影装置。
Current detecting means for detecting a current flowing through the bias line;
The scanning drive unit detects that the irradiation of the radiation is started by increasing the amount of the current flowing through the bias line detected by the current detection unit. The portable radiographic imaging device according to claim 7.
前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子のリセット処理を行った後に前記放射線の照射が開始されたことを検出した場合には、前記放射線の照射の終了後、前記走査線を順次切り替えながら前記各走査線を介して前記各スイッチ手段に信号読み出し用のオン電圧を印加して画像データの読み出し処理を行い、前記各走査線への前記信号読み出し用のオン電圧の印加を終了すると、前記放射線検出素子のリセット処理および前記走査線への順次の前記信号読み出し用のオン電圧の印加処理と同じタイミングで前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する電圧を制御して、前記各放射線検出素子から暗電荷を読み出すダーク読取処理を行うことを特徴とする請求項8に記載の可搬型放射線画像撮影装置。   When the scanning drive unit detects that the radiation irradiation has started after performing the reset process of the radiation detection element, the scanning driving unit sequentially switches the scanning lines after the radiation irradiation. Image data is read by applying an on-voltage for signal readout to each switch means via a scanning line, and when the application of the on-voltage for signal readout to each scanning line is completed, the radiation detection The radiation detection elements are controlled by controlling the voltage applied to the switch means via the scanning lines at the same timing as the resetting process of the elements and the sequential application of the on-voltage for reading the signals to the scanning lines. The portable radiographic image capturing apparatus according to claim 8, wherein dark reading processing is performed to read dark charges from the image. 外部と通信可能な通信手段を備えた請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の可搬型放射線画像撮影装置と、
前記可搬型放射線画像撮影装置に放射線を照射する放射線源と、前記放射線源を起動させるとともに、前記放射線源に放射線の照射開始を指示する照射開始スイッチを備える操作卓と、を備える放射線発生装置と、
を備え、
前記可搬型放射線画像撮影装置の前記走査駆動手段は、前記通信手段を介して、前記操作卓から送信された前記放射線源の起動信号を受信すると、前記放射線検出素子のリセット処理を開始することを特徴とする放射線画像撮影システム。
The portable radiographic image capturing apparatus according to any one of claims 1 to 7, further comprising a communication unit capable of communicating with outside.
A radiation generator comprising: a radiation source that irradiates radiation to the portable radiation imaging apparatus; and an operation console that activates the radiation source and includes an irradiation start switch that instructs the radiation source to start radiation irradiation; ,
With
When the scanning drive unit of the portable radiographic image capturing apparatus receives the radiation source activation signal transmitted from the console via the communication unit, it starts resetting the radiation detection element. A featured radiographic imaging system.
前記可搬型放射線画像撮影装置の前記走査駆動手段は、前記放射線検出素子のリセット処理を行った後、前記通信手段を介して、前記操作卓から送信された前記放射線源の照射信号を受信した場合には、前記放射線の照射の終了後、前記走査線を順次切り替えながら前記各走査線を介して前記各スイッチ手段に信号読み出し用のオン電圧を印加して画像データの読み出し処理を行い、前記各走査線への前記信号読み出し用のオン電圧の印加を終了すると、前記放射線検出素子のリセット処理および前記走査線への順次の前記信号読み出し用のオン電圧の印加処理と同じタイミングで前記各走査線を介して前記スイッチ手段に印加する電圧を制御して、前記各放射線検出素子から暗電荷を読み出すダーク読取処理を行うことを特徴とする請求項10に記載の放射線画像撮影システム。   When the scanning drive unit of the portable radiographic imaging apparatus receives an irradiation signal of the radiation source transmitted from the console via the communication unit after performing a reset process of the radiation detection element After the irradiation of the radiation, the on-voltage for signal reading is applied to the switch means via the scanning lines while sequentially switching the scanning lines, and image data reading processing is performed. When the application of the on-voltage for reading the signal to the scanning line is finished, each scanning line has the same timing as the reset processing of the radiation detection element and the sequential processing of applying the on-voltage for reading the signal to the scanning line. A dark reading process for reading out a dark charge from each of the radiation detection elements is performed by controlling a voltage applied to the switching means via a switch. Radiographic imaging system according to 0.
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