JP5090133B2 - 液晶表示装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明による液晶表示装置の実施例を図面を用いて説明をする。
図2は、本発明による液晶表示装置の一実施例を示した全体構成図である。
図3は、前記液晶表示パネルPNLの基板SUB1側において、画素構造の一実施例を示した平面図である。図3に示す当該画素に対し、上下および左右のそれぞれに配置される各画素は、当該画素と同様の構成となっている。また、図4は、図3のIV−IV線における断面図を示し、図1(a)は、図3のI(a)−I(a)線における断面図を示している。
前記対向電圧信号線CLは、上述したように、透明導電膜OXLと金属膜MTLの順次積層体から構成されている。
図5は、上述した構成の液晶表示装置において、フォトリソグラフィ技術による1回のマスク工程で、対向電圧信号線CLと画素電極PXを形成する製造方法の一実施例を示す工程図である。
基板SUB1の液晶側の面に、ゲート信号線GL、対向電極CT、ゲート絶縁膜GI、薄膜トランジスタTFT(図示せず)、保護膜PASを形成し、後述の対向電圧信号線CLと前記対向電極CTの一部を接続するためのコンタクトホールTH2を前記保護膜PASに形成する。
前記フォトレジス膜RES(s)およびフォトレジスト膜RES(p)をマスクとして、前記金属膜MTLをエッチングする。
前記フォトレジス膜RES(s)およびフォトレジスト膜RES(p)をそのまま残存させ、前記金属MTLをマスクとして、前記透明導電膜OXLをエッチングする。
残存されている前記フォトレジス膜RES(s)およびフォトレジスト膜RES(p)をマスクとして、前記金属層MTLをエッチングする。
前記フォトレジス膜RES(s)およびフォトレジスト膜RES(p)を除去する。
図6は、本発明による液晶表示装置の他の実施例を示す説明図で、図1(b)に対応した図となっている。
図7は、本発明による液晶表示装置の他の実施例を示す説明図で、図1(a)に対応した図となっている。
Claims (10)
- 液晶を介して対向配置される一対の基板のうち、一方の基板の前記液晶の側の面に、複数のゲート信号線と当該ゲート信号線に交差するように形成される複数のドレイン信号線を有し、
隣接する一対のゲート信号線と隣接する一対のドレイン信号線で囲まれる画素領域に、前記ゲート信号線及び前記ドレイン信号線に接続される薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタを介して前記ドレイン信号線からの映像信号が供給される画素電極と、対向電圧信号線を介して前記映像信号に対して基準となる基準信号が供給される対向電極を備え、
前記対向電極は、透明導電膜によって形成され、
前記画素電極は、透明導電膜によって形成され、且つ絶縁膜を介して前記対向電極よりも前記液晶側に形成され、
前記対向電圧信号線は、前記ゲート信号線の走行方向に沿って形成され、且つ前記絶縁膜を介して前記ゲート信号線に重畳して形成され、前記絶縁膜に形成したコンタクトホールを介して前記対向電極に電気的に接続されており、
前記対向電圧信号線の線幅は、前記ゲート信号線の線幅に比べて小さいことを特徴とする液晶表示装置。 - 前記対向電圧信号線は、該対向電圧信号線と交差する方向に延在する突出部を備え、当該突出部は前記絶縁膜に形成したコンタクトホールを被うように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記対向電圧信号線は、透明導電膜と金属膜との積層体で構成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示装置。
- 前記対向電圧信号線を平面的に観た場合、前記金属膜の外輪郭は前記透明導電膜の外輪郭の内側に位置づけられていることを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置。
- 前記突出部は、透明導電膜と金属膜との積層体で構成されていることを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置。
- 前記突出部は、透明導電膜のみで構成されていることを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置。
- 前記対向電圧信号線は、金属膜で形成されていることを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置。
- 前記対向電圧信号線は、前記ドレイン信号線の延設方向と平行な方向において、前記ゲート信号線の一部あるいは全部を被っていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記画素電極と前記対向電圧信号線は、同じ層に形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記対向電極と前記ゲート信号線は、同じ層に形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
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