JP5084189B2 - Linear motor and component mounting device - Google Patents

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Description

本発明は、リニアモータ及び部品搭載装置に係り、特に、部品搭載装置に用いるのに好適な、両面固定子を有するリニアモータ、及び、該リニアモータを備えた部品搭載装置に関する。   The present invention relates to a linear motor and a component mounting apparatus, and more particularly to a linear motor having a double-sided stator suitable for use in a component mounting apparatus, and a component mounting apparatus including the linear motor.

IC、抵抗、コンデンサ等の電子部品を、プリント基板やセラミック基板等に自動的に搭載する部品搭載装置が知られている。   2. Description of the Related Art Component mounting apparatuses that automatically mount electronic components such as ICs, resistors, and capacitors on a printed circuit board or a ceramic substrate are known.

この部品搭載装置として、特許文献1には、電子部品を吸着保持するための吸着ノズルを備える搭載ヘッドを、リニアモータによりX軸方向に沿って移動自在に構成されたものが提案されている。   As this component mounting apparatus, Patent Document 1 proposes a mounting head including a suction nozzle for sucking and holding an electronic component, which is configured to be movable along the X-axis direction by a linear motor.

ところで、リニアモータによる軸駆動システムの多くは、磁石が固定子、コイルが可動子となっている場合が多い。これは、一般に磁石の質量が大きく、可動子に向かないためである。   By the way, in many shaft drive systems using a linear motor, a magnet is often a stator and a coil is a mover. This is because the mass of the magnet is generally large and is not suitable for the mover.

前記部品搭載装置においても、可動側のコイルに搭載ヘッドが設けられている。この場合、軸に平行に更に1軸を追加しようとすると、更に固定子としての磁石を設置する必要があり、大変高価になる。   Also in the component mounting apparatus, a mounting head is provided on the movable coil. In this case, if one more axis is added parallel to the axis, it is necessary to install a magnet as a stator, which is very expensive.

なお、特許文献2には、コイルでなる固定子の両面に、磁石でなる可動子を設けることが記載されている。   Patent Document 2 describes that a mover made of a magnet is provided on both sides of a stator made of a coil.

又、特許文献3には、ヨークに永久磁石を埋め込むことが記載されている。この場合、図1に示すギャップ(磁石510から可動子520までの距離)Gは小さいことが好ましく、構造としては、図1に示す磁石510から固定子500の表面までの肉厚Cを極小(例えば1mm以下)にしたい。固定子500の片面のみを使用する場合は、図2に示す如く、使用しない側の肉厚Dを厚く(C<D)することで、剛性を保つことができる。   Patent Document 3 describes that a permanent magnet is embedded in a yoke. In this case, the gap (distance from the magnet 510 to the mover 520) G shown in FIG. 1 is preferably small, and the thickness C from the magnet 510 to the surface of the stator 500 shown in FIG. For example, 1 mm or less). When only one side of the stator 500 is used, as shown in FIG. 2, the rigidity can be maintained by increasing the thickness D on the side not to be used (C <D).

特開2001−309634号公報JP 2001-309634 A 特開2000−159305号公報JP 2000-159305 A 特開2004−215414号公報JP 2004-215414 A

しかしながら、高価な磁石510を固定子500の中央に埋め込んで両面に可動子520を設けたい場合には、肉厚Dも肉厚Cと同様極小(例えば1mm以下)にする必要がある。すると、磁石510そのものは軸の構成要素ではあるが剛性要素ではないため、軸の強度が低下し、図3に例示する如く、薄肉の部分で破断する恐れがあった。   However, when the expensive magnet 510 is embedded in the center of the stator 500 and the mover 520 is provided on both surfaces, the thickness D needs to be minimized (for example, 1 mm or less) as with the thickness C. Then, since the magnet 510 itself is a constituent element of the shaft but is not a rigid element, the strength of the shaft is lowered, and there is a possibility that the thin portion is broken as illustrated in FIG.

本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、磁石の両面を使用する際に、両面固定子の軸の母材としての強度を保ちながら、磁石と可動子のギャップを小さくすることを課題とする。   The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and when using both sides of the magnet, the gap between the magnet and the mover is reduced while maintaining the strength as the base material of the shaft of the double-sided stator. The task is to do.

本発明は、軸方向に沿って並設された永久磁石を含む固定子と、該固定子の両面に沿ってそれぞれ移動する複数の可動子とを有するリニアモータであって、前記固定子が、軸方向に伸びる軸強度部材と、該軸強度部材に埋設された永久磁石を含むと共に、前記軸強度部材がフランジを有し、前記永久磁石が、該軸強度部材にフランジ側から形成された、軸方向に列をなす孔に、該フランジ側の端面から挿入配置されるようにして、前記課題を解決したものである。 The present invention is a linear motor having a stator including permanent magnets arranged in parallel along the axial direction, and a plurality of movers that respectively move along both surfaces of the stator. An axial strength member extending in the axial direction and a permanent magnet embedded in the axial strength member, the axial strength member has a flange, and the permanent magnet is formed on the axial strength member from the flange side. The above-mentioned problems are solved by inserting and arranging the holes in the axial direction from the end face on the flange side .

又、前記永久磁石の側面を露出させることができる。   Further, the side surface of the permanent magnet can be exposed.

本発明は、又、前記のリニアモータにより、少なくとも部品搭載ヘッドが駆動するようにされた部品搭載装置を提供するものである。   The present invention also provides a component mounting apparatus in which at least a component mounting head is driven by the linear motor.

本発明によれば、磁石を両面使用する際に、両面固定子の軸の部材としての強度を保ちながら、ギャップを小さくすることができる。   According to the present invention, when the magnet is used on both sides, the gap can be reduced while maintaining the strength of the shaft member of the double-sided stator.

以下図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図4は、本発明を適用した部品搭載装置100の実施形態を示す平面図であり、図5は、部品搭載装置100の制御系を示すブロック図である。   FIG. 4 is a plan view showing an embodiment of the component mounting apparatus 100 to which the present invention is applied, and FIG. 5 is a block diagram showing a control system of the component mounting apparatus 100.

図4及び図5に示すように、本実施形態の部品搭載装置100は、基板Kに搭載される電子部品P(図7参照)を供給する複数の電子部品フィーダ11が並べて保持される部品供給部1と、基板Kに対する電子部品Pの搭載作業を行なう搭載作業部2と、電子部品Pを吸着保持する複数(図4には4つ図示)の吸着ノズル31をそれぞれ搭載する第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3Bと、第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3Bを所定範囲内の任意の位置に駆動させるX−Yガントリ4と、吸着ノズル31に保持された電子部品Pの撮像を行なう撮像装置5と、上記各部の動作制御を行なう制御部6等を備えている。   As shown in FIGS. 4 and 5, the component mounting apparatus 100 according to the present embodiment supplies components in which a plurality of electronic component feeders 11 that supply the electronic components P (see FIG. 7) mounted on the substrate K are held side by side. Part 1, a mounting work part 2 for mounting the electronic component P on the substrate K, and a first head part for mounting a plurality (four shown in FIG. 4) of suction nozzles 31 for sucking and holding the electronic component P. 3A and 2nd head part 3B, XY gantry 4 which drives 1st head part 3A and 2nd head part 3B to the arbitrary positions within a predetermined range, and imaging of electronic component P held by adsorption nozzle 31 An image pickup apparatus 5 that performs the above-described operation, and a control unit 6 that performs operation control of the above-described units.

なお、以下の説明において、水平面に沿って互いに直交する一の方向をX軸方向とし、他の方向をY軸方向とし、垂直上下方向をZ軸方向と称することとする。   In the following description, one direction orthogonal to each other along the horizontal plane is referred to as an X-axis direction, the other direction is referred to as a Y-axis direction, and a vertical vertical direction is referred to as a Z-axis direction.

前記搭載作業部2は、装置外部から搬入される基板Kの搬送装置21の搬送経路の途中に設けられ、基板ステーション(図示略)に搭載された基板Kを挟持するクランプ部22等を備えている。   The mounting work unit 2 includes a clamp unit 22 that is provided in the middle of the transport path of the transport device 21 for the substrate K carried in from the outside of the apparatus and sandwiches the substrate K mounted on a substrate station (not shown). Yes.

まず、搬送装置21は、例えば、その搬送経路(X軸方向)に沿って配設される搬送レール211と、この搬送レール211に沿って装置の一端部から搬入される基板Kを当該搭載作業部2に搬入したり、所定の電子部品Pが搭載済みの基板Kを搭載作業部2から装置外部に搬出するためのベルトコンベア(図示略)等を備えている。   First, for example, the transport device 21 mounts a transport rail 211 disposed along the transport path (X-axis direction) and a substrate K that is transported from one end of the device along the transport rail 211. A belt conveyor (not shown) or the like for carrying the board K on which the predetermined electronic component P has already been mounted from the mounting work section 2 to the outside of the apparatus is provided.

そして、搬送装置21により搭載作業部2に搬送される基板ステーションに搭載された基板Kは、クランプ部22に挟持されることにより保持されるようになっている。   And the board | substrate K mounted in the board | substrate station conveyed to the mounting operation part 2 by the conveying apparatus 21 is hold | maintained by being clamped by the clamp part 22. FIG.

なお、クランプ部22に保持された基板Kは、当該基板Kに対する電子部品Pの搭載の際に、図示しないX軸方向駆動部により所定のタイミングでX軸方向に駆動させるようにしてもよい。   The substrate K held by the clamp unit 22 may be driven in the X-axis direction at a predetermined timing by an X-axis direction drive unit (not shown) when the electronic component P is mounted on the substrate K.

前記部品供給部1は、搬送装置21を挟むようにY軸方向両側に設けられ、フィーダバンク(図示省略)の所定位置にX軸方向に沿って並設されるように複数の電子部品フィーダ11が取付けられている。   The component supply units 1 are provided on both sides in the Y-axis direction so as to sandwich the conveying device 21, and a plurality of electronic component feeders 11 are arranged in parallel along the X-axis direction at predetermined positions of a feeder bank (not shown). Is installed.

前記X−Yガントリ4は、X軸方向に第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3Bを移動させるためのリニアモータ41と、該リニアモータ41と共に第1ヘッド3A及び第2ヘッド3BをY軸方向に案内する2本のY軸ガイドレール42と、前記リニアモータ41を介して第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3BをY軸方向に駆動するY軸モータ43とを備えている。又、X−Yガントリ4は、第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3Bを2本のY軸ガイドレール42の間となる領域の略全体に搬送可能に構成されている。   The XY gantry 4 includes a linear motor 41 for moving the first head portion 3A and the second head portion 3B in the X-axis direction, and the first head 3A and the second head 3B together with the linear motor 41 in the Y-axis direction. Two Y-axis guide rails 42 for guiding in the direction, and a Y-axis motor 43 for driving the first head portion 3A and the second head portion 3B in the Y-axis direction via the linear motor 41 are provided. The XY gantry 4 is configured to be able to transport the first head portion 3A and the second head portion 3B to substantially the entire region between the two Y-axis guide rails 42.

なお、部品供給部1からの電子部品Pの受け渡し部、搭載作業部2による基板Kに対する電子部品Pの搭載作業領域は、何れもX−Yガントリ4による第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3Bの搬送可能領域内に配置されている。   The electronic component P delivery section from the component supply section 1 and the mounting work area of the electronic component P on the substrate K by the mounting work section 2 are both the first head section 3A and the second head section by the XY gantry 4. It is arranged in the 3B transportable area.

次に、リニアモータ41について図6及び図7を参照して説明する。   Next, the linear motor 41 will be described with reference to FIGS.

ここで、図6は、リニアモータ41を示す斜視図であり、図7は、図6のVII−VII線におけるリニアモータ41の断面図である。   Here, FIG. 6 is a perspective view showing the linear motor 41, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the linear motor 41 taken along the line VII-VII in FIG.

図6及び図7に示すように、リニアモータ41は、X軸方向に長尺となるように配設された固定子411と、該固定子411のZ軸方向側の両端部に接続されて当該固定子411を支持する上側支持部412A及び下側支持部412Bと、上側支持部412A及び下側支持部412BのY軸方向側の両端面にX軸方向に沿って配設されたX軸ガイドレール413と、該X軸ガイドレール413により案内支持されながらX軸方向に移動自在に構成され、第1ヘッド部3Aを搭載する第1可動子414A及び第2ヘッド部3Bを搭載する第2可動子414Bとを備えて構成されている。   As shown in FIGS. 6 and 7, the linear motor 41 is connected to a stator 411 disposed so as to be long in the X-axis direction, and both ends of the stator 411 on the Z-axis direction side. X-axis disposed along the X-axis direction on both end surfaces on the Y-axis direction side of the upper support portion 412A and the lower support portion 412B that support the stator 411, and the upper support portion 412A and the lower support portion 412B. A guide rail 413, and a second mover 414A for mounting the first head part 3A, and a second head part 3B for mounting the first head part 3B, are configured to be movable in the X-axis direction while being guided and supported by the X-axis guide rail 413. A movable element 414B is provided.

比較例に係るリニアモータ41の前記固定子411は、図8(分解斜視図)及び図9(三面図)に詳細に示す如く、軸方向に列をなす窓411Bが形成された梯子上の軸強度部材411Aと、該軸強度部材411Aの窓411Bに、側方から挿入配置された、円柱の両側面を平面状に切断した形状の磁石411Cを含んで構成されている。各磁石411Cは、例えば止めねじ411D又はピンにより軸強度部材411Aに固定されている。 The stator 411 of the linear motor 41 according to the comparative example includes a shaft on a ladder on which windows 411B are formed in an axial direction, as shown in detail in FIGS. 8 (disassembled perspective view) and FIG. 9 (three views). A strength member 411A and a magnet 411C that is inserted and arranged from the side and is cut into a flat shape on both sides of the column are inserted into the window 411B of the shaft strength member 411A. Each magnet 411C is fixed to the shaft strength member 411A by, for example, a set screw 411D or a pin.

なお、図8及び図9の例では、止めねじ411D又はピンが軸強度部材411Aの一方側(図の上側)に1個設けられていたが、図9中に破線で示す如く、反対側(図の下側)にも設けたり、図10に示す変形例の如く、片側に2個以上設けることも可能である。   8 and 9, one set screw 411D or pin is provided on one side (upper side in the figure) of the shaft strength member 411A. However, as shown by a broken line in FIG. It is also possible to provide two or more on one side as in the modification shown in FIG.

前記上側支持部412A及び下側支持部412B並びにX軸ガイドレール413は、第1可動子414A及び第2可動子414BをX軸方向(リニアモータ41の軸方向)に沿った移動を案内支持する案内支持部を構成している。   The upper support portion 412A, the lower support portion 412B, and the X-axis guide rail 413 guide and support the movement of the first movable element 414A and the second movable element 414B along the X-axis direction (the axial direction of the linear motor 41). It constitutes a guide support part.

第1可動子414A及び第2可動子414Bは、固定子411をそれらのY軸方向側から挟むように、対向して配置されている。   The first mover 414A and the second mover 414B are arranged to face each other so as to sandwich the stator 411 from the Y-axis direction side.

具体的には、第1可動子414Aは、各X軸ガイドレール413に係止され、X軸方向に往復移動自在なスライダ415Aと、固定子411のY軸方向の図7における左側面に対向して配設され、通電により磁界を発生して固定子411の磁界との磁気的な相互作用によりX軸方向に移動するための第1可動コイル416Aと、第1ヘッド部3A並びにスライダ415A及び第1可動コイル416Aを搭載支持する支持板417Aとを備えて構成されている。   Specifically, the first mover 414A is locked to each X-axis guide rail 413 and faces the slider 415A that can reciprocate in the X-axis direction and the left side surface of the stator 411 in the Y-axis direction in FIG. A first movable coil 416A for generating a magnetic field by energization and moving in the X-axis direction by magnetic interaction with the magnetic field of the stator 411, a first head portion 3A, a slider 415A, And a support plate 417A for mounting and supporting the first movable coil 416A.

一方、第2可動子414Bも、第1可動子414Aと同様に、スライダ415Bと、固定子411のY軸方向の図7における右側面に対向して配設された第2可動コイル416Bと、第2ヘッド部3B並びにスライダ415B及び第2可動コイル416bを搭載支持する支持板417bとを備えて構成されている。   On the other hand, similarly to the first mover 414A, the second mover 414B includes a slider 415B, a second moveable coil 416B disposed opposite to the right side surface of the stator 411 in the Y-axis direction in FIG. The second head portion 3B, a slider 415B, and a support plate 417b for mounting and supporting the second movable coil 416b are provided.

前記第1可動コイル416A及び第2可動コイル416Bは、例えば、制御部6と電気的に接続されており、制御部6の制御下にて通電される電流値が変動されることにより、当該第1可動コイル416A及び第2可動コイル416Bに発生される磁界の大きさが変動するようになっている。   For example, the first movable coil 416A and the second movable coil 416B are electrically connected to the control unit 6, and the current value to be energized under the control of the control unit 6 varies, so The magnitude of the magnetic field generated in the first movable coil 416A and the second movable coil 416B varies.

そして、第1可動子414Aは、固定子411のY軸方向の手前側面から発生される磁界と第1可動コイル416Aに対する通電により発生される磁界との磁気的な相互作用によりX軸方向に移動自在に構成されている。一方、第2可動子414Bは、固定子411のY軸方向の奥側面から発生される磁界と第2可動コイル416Bに対する通電により発生される磁界との磁気的な相互作用によりX軸方向に移動自在に構成されている。   The first mover 414A moves in the X-axis direction by a magnetic interaction between the magnetic field generated from the front side surface of the stator 411 in the Y-axis direction and the magnetic field generated by energization of the first movable coil 416A. It is configured freely. On the other hand, the second mover 414B moves in the X-axis direction due to the magnetic interaction between the magnetic field generated from the back side surface of the stator 411 in the Y-axis direction and the magnetic field generated by energization of the second movable coil 416B. It is configured freely.

前記第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3Bの各々は、その先端部で空気吸引により電子部品Pを保持する4つの吸着ノズル31と、これら吸着ノズル31の各々をZ軸方向(上下方向)に移動させるZ軸モータ32と、吸着ノズル31を介して保持された電子部品PをZ軸方向を中心として回転駆動させるθ軸モータ33とを備えている。   Each of the first head portion 3A and the second head portion 3B includes four suction nozzles 31 that hold the electronic component P by air suction at the tip thereof, and each of the suction nozzles 31 in the Z-axis direction (vertical direction). And a θ-axis motor 33 that rotationally drives the electronic component P held via the suction nozzle 31 around the Z-axis direction.

又、第1ヘッド部3Aは、例えば、搬送装置21よりも図4の下側に配設された複数の分子部品フィーダ11から電子部品Pを吸着保持するためのものであり、第2ヘッド部3Bは、搬送装置21よりも図4の上側に配設された複数の電子部品フィーダ11から電子部品Pを吸着保持するためのものである。   Further, the first head portion 3A is, for example, for sucking and holding the electronic component P from the plurality of molecular component feeders 11 disposed on the lower side of FIG. 3B is for attracting and holding the electronic component P from the plurality of electronic component feeders 11 disposed on the upper side of FIG.

複数の吸着ノズル31は、X軸方向に並んで配設され、各吸着ノズル31は、開閉制御が行なわれる吸気バルブ(図示略)を介して真空発生器7と接続されており、所定のタイミングで吸気バルブが開かれることによりその先端部が吸引状態とされて、電子部品Pの吸着保持を行なうことができるようになっている。   The plurality of suction nozzles 31 are arranged side by side in the X-axis direction, and each suction nozzle 31 is connected to the vacuum generator 7 via an intake valve (not shown) that is controlled to open and close, and has a predetermined timing. When the intake valve is opened, the tip end portion is brought into the suction state, and the electronic component P can be sucked and held.

前記撮像装置5は、例えば、X−Yガントリ4による第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3Bの搬送可能領域内に配置され、CMOSカメラやCCDカメラ等から構成され、電子部品Pの撮像に基づいて光電変換して画像データを生成し、当該画像データをCPU61に対して出力する。   For example, the imaging device 5 is arranged in a transportable area of the first head unit 3A and the second head unit 3B by the XY gantry 4 and is composed of a CMOS camera, a CCD camera, or the like. Based on the photoelectric conversion, image data is generated, and the image data is output to the CPU 61.

前記制御部6は、CPU(Central Processing Unit)61と、RAM(Random Access Memory)62と、ROM(Read Only Memory)63等を備えて構成されている。   The control unit 6 includes a CPU (Central Processing Unit) 61, a RAM (Random Access Memory) 62, a ROM (Read Only Memory) 63, and the like.

CPU61は、当該部品搭載装置100を構成する各部を統括して制御するものであり、ROM63に格納されている所定のプログラムを読み出してRAM62の作業領域に展開し、当該プログラムに従って各種処理を実行する。   The CPU 61 controls the respective parts constituting the component mounting apparatus 100 in an integrated manner, reads a predetermined program stored in the ROM 63, develops it in the work area of the RAM 62, and executes various processes according to the program. .

又、CPU61は、撮像装置5から出力され入力された画像データに基づいて、所定の画像処理プログラムを実行して、吸着ノズル31に吸着された電子部品Pの姿勢等を認識するようになっている。   The CPU 61 executes a predetermined image processing program based on the image data output from the image pickup device 5 and inputs it, and recognizes the posture of the electronic component P sucked by the suction nozzle 31. Yes.

RAM62は、例えば、揮発性の半導体メモリであり、CPU61の制御下にてROM63から読み出されたプログラムやデータ等の格納領域や作業領域等を構成している。   The RAM 62 is, for example, a volatile semiconductor memory, and constitutes a storage area, a work area, and the like for programs and data read from the ROM 63 under the control of the CPU 61.

ROM63は、制御、判断等各種処理用の各種プログラムが記憶され、CPU61の制御下にて実行される各種プログラム並びに各プログラムの処理に係るデータ等を記憶するものである。   The ROM 63 stores various programs for various processes such as control and determination, and stores various programs executed under the control of the CPU 61, data related to the processing of each program, and the like.

次に、基板Kに対する電子部品Pの搭載動作について説明する。   Next, the mounting operation of the electronic component P on the substrate K will be described.

まず、吸着ノズル31による電子部品Pの吸着保持を行なう。具体的には、制御部6の制御下にて、X−Yガントリ4のリニアモータ41及びY軸モータ43が駆動して第1ヘッド部3A及び第2ヘッド部3Bを所定の電子部品フィーダ11上に移動させる。より具体的には、制御部6による第1可動コイル416Aに対する通電制御に基づいて、第1ヘッド部3Aを搬送装置21よりも図4の下側に配設された所定の電子部品フィーダ11上に移動させ、制御部6による第2可動コイル416Bに対する通電制御に基づいて、第2ヘッド部3Bを搬送装置21よりも図4の上側に配設された所定の電子部品フィーダ11上に移動させる。   First, the electronic component P is sucked and held by the suction nozzle 31. Specifically, under the control of the control unit 6, the linear motor 41 and the Y-axis motor 43 of the XY gantry 4 are driven to move the first head unit 3A and the second head unit 3B to a predetermined electronic component feeder 11. Move up. More specifically, based on the energization control for the first movable coil 416A by the control unit 6, the first head unit 3A is placed on a predetermined electronic component feeder 11 disposed on the lower side of FIG. Based on the energization control on the second movable coil 416B by the control unit 6, the second head unit 3B is moved onto a predetermined electronic component feeder 11 disposed on the upper side of FIG. .

そして、制御部6が所定のZ軸モータ32の駆動を制御して、所定の吸着ノズル31を下方向(Z軸方向)に移動させて、真空発生器7の駆動により当該吸着ノズル31にて所定の電子部品Pを吸着保持する。   Then, the controller 6 controls the driving of the predetermined Z-axis motor 32 to move the predetermined suction nozzle 31 downward (Z-axis direction), and the vacuum nozzle 7 drives the suction nozzle 31. A predetermined electronic component P is sucked and held.

次に、吸着ノズル31に保持された電子部品Pを撮像装置5により撮像し、当該撮像により生成された画像データに基づいて、CPU61により所定の画像処理を行なって電子部品Pの姿勢等の認識を行なう。なお、認識の結果によっては、制御部6の制御下にてθ軸モータ33を駆動させて、吸着ノズル31に吸着された電子部品PをZ軸周りに所定方向に回転させて当該電子部品Pの中心合わせ(センタリング)を行なうようになっている。   Next, the electronic component P held by the suction nozzle 31 is imaged by the imaging device 5, and predetermined image processing is performed by the CPU 61 based on the image data generated by the imaging to recognize the posture of the electronic component P and the like. To do. Depending on the recognition result, the θ-axis motor 33 is driven under the control of the control unit 6 to rotate the electronic component P sucked by the suction nozzle 31 in the predetermined direction around the Z axis. Centering is performed.

そして、制御部6の制御下にてリニアモータ駆動機構41及びY軸モータ43を駆動させて、電子部品Pを保持する吸着ノズル31を基板K上の所定の部品搭載位置に移動させて、当該基板Kに対する電子部品Pの搭載を行なう。   Then, the linear motor drive mechanism 41 and the Y-axis motor 43 are driven under the control of the control unit 6 to move the suction nozzle 31 holding the electronic component P to a predetermined component mounting position on the substrate K, and The electronic component P is mounted on the substrate K.

一つの電子部品Pの搭載が完了すると、制御部6は、基板Kに対する電子部品Pの搭載動作を順次制御する。   When the mounting of one electronic component P is completed, the control unit 6 sequentially controls the mounting operation of the electronic component P on the substrate K.

比較例においては、軸強度部材411Aの窓411Bにより磁石411Cを保持しつつ、窓411B以外の部分により軌道面としての剛性を確保することができる。 In the comparative example , the rigidity as the raceway surface can be secured by a portion other than the window 411B while the magnet 411C is held by the window 411B of the shaft strength member 411A.

なお、図11(分解斜視図)及び図12(三面図)に示す本発明の実施形態の如く、軸強度部材411Aの断面を例えばH型としてフランジ411Fを設け、例えば円柱状の磁石411Cを、軸強度部材411Aにフランジ411Fから形成した孔411Gに該フランジ端面から挿入配置して、例えば接着により固定することも可能である。 Note that, as in the first embodiment of the present invention shown in FIG. 11 (decomposed perspective view) and FIG. 12 (three views), the shaft strength member 411A has an H-shaped cross section, for example, and a flange 411F is provided. Can be inserted into the hole 411G formed in the shaft strength member 411A from the flange 411F from the end face of the flange and fixed by, for example, bonding.

本実施形態によれば、磁石411Cの側面を露出させつつ、フランジ411Fにより十分な強度を確保することができる。又、磁石が円柱状であるため、可動子の通過に伴って磁石411Cが可動子方向に吸い寄せられても、十分な保持力を有する。なお、フランジ411Fは、いずれか一方のみでも良い。   According to the present embodiment, sufficient strength can be secured by the flange 411F while exposing the side surface of the magnet 411C. In addition, since the magnet is cylindrical, even if the magnet 411C is attracted toward the mover as the mover passes, it has a sufficient holding force. Note that only one of the flanges 411F may be provided.

又、磁石の形状も円柱状に限定されず、図13(斜視図)及び図14(断面図)に示す第実施形態のように角柱状であってもよい。 Further, the shape of the magnet is not limited to a cylindrical shape, and may be a prismatic shape as in the second embodiment shown in FIG. 13 (perspective view) and FIG. 14 (cross-sectional view).

又、前記実施形態においては、いずれも磁石411Cの側面が露出するようにされていたため、高い磁界強度を得ることが可能であるが、図15(斜視図)及び図16(平面図)に示す第実施形態のように、軸強度部材411Aの一部が薄く残っていても構わない。 In the above embodiment, since the side surface of the magnet 411C is exposed, high magnetic field strength can be obtained. FIG. 15 (perspective view) and FIG. 16 (plan view) show. As in the third embodiment, a part of the shaft strength member 411A may remain thin.

又、軸強度部材411Aも一体物に限定されず、図17に示す第実施形態(第実施形態に対応)や図18に示す第実施形態(第実施形態に対応)のように、上下のフランジ411Fと中央部411Hに分割して、例えば止めねじ411Iで固定することもできる。 Further, the shaft strength member 411A is not limited to a single body, and as in the fourth embodiment (corresponding to the first embodiment) shown in FIG. 17 or the fifth embodiment (corresponding to the third embodiment) shown in FIG. The upper and lower flanges 411F and the central portion 411H can be divided and fixed with, for example, a set screw 411I.

このようにして吸着搭載に用いるヘッドと独立に動く必要のあるヘッドや、認識カメラ又は光学ユニット又はBOC(Board On Clip)カメラの全て又は一部を磁石の両面に設置することで、モータ用磁石の両面を使用することができる。これにより、磁石を2セット用意せずに同一の効果を得ることができ、コストを削減することができる。又、同一面にこれらの駆動系を設ける場合に比べ、X方向の占有長さが短くなり、マシンの小型化に繋がる。   By installing all or part of the head that needs to move independently of the head used for suction mounting, the recognition camera, the optical unit, or the BOC (Board On Clip) camera on both sides of the magnet in this way, the magnet for the motor Can be used on both sides. Thereby, the same effect can be acquired without preparing two sets of magnets, and the cost can be reduced. In addition, the occupation length in the X direction is shorter than when these drive systems are provided on the same surface, which leads to miniaturization of the machine.

磁石を軸強度部材に埋め込んだ固定子を示す斜視図A perspective view showing a stator in which a magnet is embedded in a shaft strength member 同じく片面固定子を示す斜視図The perspective view which similarly shows a single-sided stator 同じく両面固定子の問題点を示す斜視図Similarly perspective view showing problems of double-sided stator 本発明に係るリニアモータが採用された部品搭載装置の全体構成を示す平面図The top view which shows the whole structure of the component mounting apparatus by which the linear motor based on this invention was employ | adopted. 同じく制御系の構成を示すブロック図Block diagram showing the configuration of the control system 同じくリニアモータを示す斜視図The perspective view which similarly shows a linear motor 同じく断面図Same sectional view ニアモータの固定子の比較例の構成を示す分解斜視図Exploded perspective view showing a configuration of a comparative example of the stator of the Li linear motors 同じく三面図Similarly three-sided view 同じく変形例の要部を示す斜視図The perspective view which shows the principal part of a modification similarly 本発明に係るリニアモータの固定子の第実施形態の構成を示す分解斜視図The disassembled perspective view which shows the structure of 1st Embodiment of the stator of the linear motor which concerns on this invention. 同じく三面図Similarly three-sided view 本発明に係るリニアモータの固定子の第実施形態の構成を示す斜視図The perspective view which shows the structure of 2nd Embodiment of the stator of the linear motor which concerns on this invention. 同じく断面図Same sectional view 本発明に係るリニアモータの固定子の第実施形態の構成を示す分解斜視図The disassembled perspective view which shows the structure of 3rd Embodiment of the stator of the linear motor which concerns on this invention. 同じく水平断面図Similarly horizontal sectional view 本発明に係るリニアモータの固定子の第実施形態の構成を示す分解斜視図The disassembled perspective view which shows the structure of 4th Embodiment of the stator of the linear motor which concerns on this invention. 本発明に係るリニアモータの固定子の第実施形態の構成を示す分解斜視図The disassembled perspective view which shows the structure of 5th Embodiment of the stator of the linear motor which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

100…部品搭載装置
41…リニアモータ
411…固定子
411A…軸強度部材
411B…窓
411C…磁石
411F…フランジ
411G…孔
414A、414B…可動子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Component mounting apparatus 41 ... Linear motor 411 ... Stator 411A ... Shaft strength member 411B ... Window 411C ... Magnet 411F ... Flange 411G ... Hole 414A, 414B ... Movable child

Claims (3)

軸方向に沿って並設された永久磁石を含む固定子と、該固定子の両面に沿ってそれぞれ移動する複数の可動子とを有するリニアモータであって、
前記固定子が、軸方向に伸びる軸強度部材と、該軸強度部材に埋設された永久磁石を含むと共に、
前記軸強度部材がフランジを有し、前記永久磁石が、該軸強度部材にフランジ側から形成された、軸方向に列をなす孔に、該フランジ側の端面から挿入配置されていることを特徴とするリニアモータ。
A linear motor having a stator including permanent magnets arranged side by side along an axial direction, and a plurality of movers respectively moving along both surfaces of the stator,
The stator includes an axial strength member extending in the axial direction, and a permanent magnet embedded in the axial strength member ,
The shaft strength member has a flange, and the permanent magnet is inserted and arranged from the end surface on the flange side in holes formed in the shaft strength member from the flange side and arranged in a row in the axial direction. A linear motor.
前記永久磁石の側面が露出するようにされていることを特徴とする請求項に記載のリニアモータ。 The linear motor according to claim 1 , wherein a side surface of the permanent magnet is exposed. 請求項1又は2に記載のリニアモータにより、少なくとも部品搭載ヘッドを駆動するようにされていることを特徴とする部品搭載装置。 3. A component mounting apparatus, wherein at least a component mounting head is driven by the linear motor according to claim 1.
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