JP5077090B2 - Circuit board - Google Patents

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Description

本発明は、チップを搭載する回路基板に関し、特にレーザトリミングにより機能調整を行う回路基板に関する。   The present invention relates to a circuit board on which a chip is mounted, and more particularly to a circuit board that performs function adjustment by laser trimming.

近年では、電子回路の電流調整や電圧調整には印刷・焼成された抵抗をレーザによって切削し、抵抗値を調整するレーザトリミングが用いられている。レーザで抵抗をトリミングする際に、レーザがチップに入射した場合には、チップを構成する半導体素子がレーザによって励起されて起電力を発生させ、回路が誤動作してしまうことがある。   In recent years, laser trimming is used for adjusting the resistance value by cutting a printed and fired resistor with a laser to adjust the current and voltage of an electronic circuit. When trimming a resistor with a laser, if the laser is incident on the chip, a semiconductor element constituting the chip is excited by the laser to generate an electromotive force, and the circuit may malfunction.

レーザではないが、チップへの光の入射を防ぐ方法として、チップの表面及び裏面自体に遮光膜を設ける方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、チップの表面及びガラス基板に遮光膜を設けて、チップに垂直に進む垂直光、及びガラス基板に斜めに入射してガラス基板内を反射して進む斜光がチップに入射することを防ぐ方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。   Although not a laser, as a method for preventing light from entering the chip, a method of providing a light shielding film on the front and back surfaces of the chip has been proposed (see, for example, Patent Document 1). Also, a method of preventing light incident on the chip by providing a light-shielding film on the surface of the chip and the glass substrate so that vertical light traveling perpendicular to the chip and oblique light incident obliquely on the glass substrate and reflected inside the glass substrate are incident on the chip. Has been proposed (see, for example, Patent Document 2).

しかしながら、特許文献1で記載されたチップの表面及び裏面自体に遮光膜を設ける方法、及び特許文献2で記載されたチップの表面及びガラス基板に遮光膜を設る方法では、チップを製造するプロセスが増加することになり、構造難度及びコストも上がってしまう問題があった。   However, in the method of providing a light shielding film on the front surface and the back surface of the chip described in Patent Document 1 and the method of providing the light shielding film on the surface of the chip and a glass substrate described in Patent Document 2, a process for manufacturing the chip However, there is a problem that the structural difficulty and cost increase.

また、レーザでトリミングする際に、レーザがチップに入射するのを防ぐために、チップに遮光カバーを被せたり、抵抗をチップから離して配置したりしているので、チップ周辺の部品搭載密度が低くなる問題があった。
特許3547940号公報 特開平9−5770号公報
In addition, when trimming with a laser, the chip is covered with a light shielding cover or a resistor is placed away from the chip to prevent the laser from entering the chip, so the component mounting density around the chip is low. There was a problem.
Japanese Patent No. 3547940 Japanese Patent Laid-Open No. 9-5770

本発明は、レーザでトリミングする際に、レーザがチップに入射するのを防ぐことができる回路基板を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a circuit board capable of preventing a laser from entering a chip when trimming with a laser.

本願発明の一態様によれば、レーザトリミングにより機能調整を行う回路基板において、
表面に配線が設けられた基板と、配線とはんだバンプによって電気的に接続して基板に搭載されたチップと、基板上で前記チップの真下部であってはんだバンプによって形成される間隙に配置され、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して遮光性を有する第1遮光膜と、基板及び配線上でチップの周辺部に配置され、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して遮光性を有する第2遮光膜とを備える回路基板であることを要旨とする。
According to one aspect of the present invention, in a circuit board that performs function adjustment by laser trimming,
A substrate provided with wiring on the surface, a chip that is electrically connected to the wiring by solder bumps and mounted on the substrate, and a gap formed immediately below the chip on the substrate and formed by solder bumps A first light-shielding film having a light-shielding property with respect to laser light used for laser trimming, and a second light-shielding film having a light-shielding property with respect to the laser light used for laser trimming, disposed on the periphery of the chip on the substrate and wiring And a circuit board comprising

本発明によれば、レーザでトリミングする際に、レーザがチップに入射するのを防ぐことができる回路基板を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when trimming with a laser, the circuit board which can prevent that a laser injects into a chip | tip can be provided.

以下に図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なる。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic, and the relationship between the thickness and the planar dimensions, the ratio of the thickness of each layer, and the like are different from the actual ones. Therefore, specific thicknesses and dimensions should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.

(実施の形態)
本発明の実施の形態に係る回路基板は、図1及び図2に示すように、レーザトリミングにより機能調整を行う回路基板において、表面に配線30が設けられた基板10と、配線30と電気的に接続して基板10に搭載されたチップ40と、基板10及び配線30上でチップ40の真下部に配置され、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して遮光性を有する第1遮光膜20と、基板10及び配線30上でチップ40の周辺部に配置され、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して遮光性を有する第2遮光膜22とを備える。レーザトリミングに用いるレーザとしては、基板10に設けられた印刷・焼成された抵抗を切削することができて、基板10に対してダメージや害を与えることのないレーザを用いる。レーザトリミングに用いるレーザには、例えば、YAGレーザ(1056nm)を用いることができる。
(Embodiment)
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the circuit board according to the embodiment of the present invention is a circuit board whose function is adjusted by laser trimming. A chip 40 connected to the substrate 10 and mounted on the substrate 10, the first light-shielding film 20 disposed immediately below the chip 40 on the substrate 10 and the wiring 30, and having a light-shielding property against laser light used for laser trimming; A second light shielding film 22 is provided on the substrate 10 and the wiring 30 in the periphery of the chip 40 and has a light shielding property against laser light used for laser trimming. As a laser used for laser trimming, a laser that can cut the printed and fired resistance provided on the substrate 10 and does not damage or harm the substrate 10 is used. As a laser used for laser trimming, for example, a YAG laser (1056 nm) can be used.

基板10は、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して透過性を有するセラミック基板及びガラスエポキシ等の樹脂基板等を採用することができる。基板10は、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して透過性を有することで、レーザを吸収してダメージや害を受けることを防ぐ。基板10上に設けられる配線30は、基板10の表面上に設計された導体パターンである。配線30の厚さは、15μm程度である。配線30上には、配線30とチップ40を電気的に接続するためのはんだバンプ50が設けられている。   The substrate 10 may be a ceramic substrate that is transparent to laser light used for laser trimming, a resin substrate such as glass epoxy, or the like. The substrate 10 is transparent to the laser light used for laser trimming, thereby preventing the laser from being damaged and damaged. The wiring 30 provided on the substrate 10 is a conductor pattern designed on the surface of the substrate 10. The thickness of the wiring 30 is about 15 μm. Solder bumps 50 for electrically connecting the wiring 30 and the chip 40 are provided on the wiring 30.

チップ40は、モノリシック集積回路(MIC)チップ及びトランジスタチップ等の半導体チップである。チップ40は、フリップチップ化されている。チップ40は、はんだバンプ50により配線30と電気的に接続される。そのときのはんだバンプの高さは、40〜50μm程度である。   The chip 40 is a semiconductor chip such as a monolithic integrated circuit (MIC) chip and a transistor chip. The chip 40 is formed into a flip chip. The chip 40 is electrically connected to the wiring 30 by solder bumps 50. The height of the solder bump at that time is about 40 to 50 μm.

第1遮光膜20及び第2遮光膜22は、レーザトリミングに用いるレーザを吸収する機能を有する。第1遮光膜20及び第2遮光膜22がレーザを吸収することによって、第1遮光膜20及び第2遮光膜22に到達したレーザを実質的に遮光する。また、第1遮光膜20及び第2遮光膜22は、絶縁性を有する。第1遮光膜20及び第2遮光膜22は、絶縁性であることで、配線30上に配置した場合においても、配線30間の短絡を防止することができる。第1遮光膜20及び第2遮光膜22は、例えば、絶縁性の磁性インク及びガラス等により形成される第1遮光膜20及び第2遮光膜22の厚さは、20μm程度である。   The first light shielding film 20 and the second light shielding film 22 have a function of absorbing a laser used for laser trimming. The first light-shielding film 20 and the second light-shielding film 22 absorb the laser, thereby substantially shielding the laser that has reached the first light-shielding film 20 and the second light-shielding film 22. Moreover, the 1st light shielding film 20 and the 2nd light shielding film 22 have insulation. Since the first light-shielding film 20 and the second light-shielding film 22 are insulative, a short circuit between the wirings 30 can be prevented even when arranged on the wirings 30. The first light shielding film 20 and the second light shielding film 22 are formed of, for example, insulating magnetic ink, glass or the like, and the thickness of the first light shielding film 20 and the second light shielding film 22 is about 20 μm.

第1遮光膜20は、基板10側からレーザがチップ40に入射するのを防ぐ。第1遮光膜20は、基板10上でチップ40の真下部の全面に配置されることが好ましい。第1遮光膜20がチップ40の真下部の全面に配置されることにより、基板10側からチップ40に入射するレーザを完全に遮光することができる。   The first light shielding film 20 prevents the laser from entering the chip 40 from the substrate 10 side. The first light shielding film 20 is preferably disposed on the entire surface immediately below the chip 40 on the substrate 10. By disposing the first light shielding film 20 on the entire surface directly below the chip 40, it is possible to completely shield the laser incident on the chip 40 from the substrate 10 side.

第2遮光膜22は、チップ40の周辺部で反射したレーザがチップ40の側面に入射するのを防ぐ。第2遮光膜22は、基板10及び配線30上でチップ40の周辺部の全域に配置されることが好ましい。第2遮光膜22がチップ40の周辺部の全域に配置されることにより、チップ40の側面に入射するレーザを完全に遮光することができる。   The second light shielding film 22 prevents the laser reflected from the periphery of the chip 40 from entering the side surface of the chip 40. The second light shielding film 22 is preferably disposed on the entire periphery of the chip 40 on the substrate 10 and the wiring 30. By disposing the second light shielding film 22 over the entire periphery of the chip 40, the laser incident on the side surface of the chip 40 can be completely shielded.

レーザトリミングについて、図3を参照しながら説明する。図3(a)に示すように、回路基板には、抵抗60a〜60gが配置されている。抵抗60a〜60gは、レーザトリミング用抵抗である。抵抗60a〜60gは、ガラス等の保護コート(図示せず)により被覆されている。レーザトリミングとは、抵抗60a〜60gの抵抗体の一部または全部をレーザで切除したり特性変化を起こさせたりすることにより、電気的特性を所望の値に設定するレーザ加工である。レーザトリミングの一例として、図3(b)に示すように、抵抗60b、60d、60fの一部をレーザで切除して、電気的特性を所望の値に設定する。レーザトリミングをしながら測定プローブで電気的特性を同時に測定し、設定値になったところでトリミングを終了する。   Laser trimming will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3A, resistors 60a to 60g are arranged on the circuit board. The resistors 60a to 60g are laser trimming resistors. The resistors 60a to 60g are covered with a protective coat (not shown) such as glass. Laser trimming is laser processing in which electrical characteristics are set to desired values by excising a part or all of the resistors 60a to 60g with a laser or causing the characteristics to change. As an example of laser trimming, as shown in FIG. 3B, a part of the resistors 60b, 60d, and 60f is cut with a laser to set the electrical characteristics to a desired value. The electrical characteristics are measured simultaneously with the measurement probe while performing laser trimming, and the trimming is terminated when the set value is reached.

レーザトリミングにより照射されるレーザのうち、チップ40の近辺に進行するレーザL1,L2,L3について、図4を参照しながら説明する。レーザL1,L2,L3は、例えば、レーザ加工(トリミング)時に発生する散乱光である。レーザL1は、基板10に入射したレーザであり、基板10内で散乱と反射を繰り返して斜行するレーザである。基板10内を散乱と反射を繰り返して進行したレーザL1は、第1遮光膜20に到達し、第1遮光膜20で吸収されて消失する。レーザL2は、直に第2遮光膜22に入射したレーザである。レーザL2は、第2遮光膜22で吸収されて消失する。レーザL3は、配線30で反射して進行するレーザである。レーザL3は、第2遮光膜22に到達し、第2遮光膜22で吸収されて消失する。レーザL3のように配線30で反射して進行するレーザのうち、第2遮光膜22に到達しないレーザは、そのまま大気に放出される。したがって、チップ40の近辺に進行するレーザL1,L2,L3は、第1遮光膜20及び第2遮光膜22のいずれかにより遮光されることで、チップ40に到達するレーザはない。   Of the lasers irradiated by laser trimming, lasers L1, L2, and L3 traveling in the vicinity of the chip 40 will be described with reference to FIG. The lasers L1, L2, and L3 are scattered light generated during laser processing (trimming), for example. The laser L <b> 1 is a laser incident on the substrate 10, and is a laser that obliquely repeats scattering and reflection in the substrate 10. The laser L 1 that has traveled through scattering and reflection in the substrate 10 reaches the first light shielding film 20, is absorbed by the first light shielding film 20, and disappears. The laser L <b> 2 is a laser that is directly incident on the second light shielding film 22. The laser L2 is absorbed by the second light shielding film 22 and disappears. The laser L3 is a laser that travels while being reflected by the wiring 30. The laser L3 reaches the second light shielding film 22, is absorbed by the second light shielding film 22, and disappears. Of the lasers that travel after being reflected by the wiring 30 such as the laser L3, lasers that do not reach the second light shielding film 22 are emitted to the atmosphere as they are. Therefore, the lasers L1, L2, and L3 traveling in the vicinity of the chip 40 are shielded by either the first light shielding film 20 or the second light shielding film 22, so that no laser reaches the chip 40.

以下に、実施の形態に係る回路基板を図5の工程断面図を参照しながら説明する。   The circuit board according to the embodiment will be described below with reference to the process cross-sectional view of FIG.

(イ)まず、図5(a)に示すように、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して透過性を有する基板10を用意する。ここでは、基板10として、例えばセラミック基板を用意する。   (A) First, as shown in FIG. 5A, a substrate 10 having transparency to a laser beam used for laser trimming is prepared. Here, for example, a ceramic substrate is prepared as the substrate 10.

(ロ)次に、図5(b)に示すように、基板10の表面に所望の回路パターン(回路設計)をパターンニングして、配線30を周知の印刷技術によって配置する。   (B) Next, as shown in FIG. 5B, a desired circuit pattern (circuit design) is patterned on the surface of the substrate 10, and the wiring 30 is arranged by a known printing technique.

(ハ)次に、図5(c)に示すように、レーザトリミング用抵抗である抵抗60を周知の印刷技術によって所望の個所に配置する。   (C) Next, as shown in FIG. 5C, a resistor 60, which is a laser trimming resistor, is disposed at a desired location by a known printing technique.

(ニ)次に、図5(d)に示すように、抵抗60上に保護コート70を周知の印刷技術によって配置する。保護コート70は、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して透過性を有するガラス等の材料からなる。   (D) Next, as shown in FIG. 5D, a protective coat 70 is disposed on the resistor 60 by a known printing technique. The protective coat 70 is made of a material such as glass that is transparent to laser light used for laser trimming.

(ホ)次に、図5(e)に示すように、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して遮光性を有する遮光性素材を周知の印刷技術によって所望の個所に配置し、第1遮光膜20及び第2遮光膜22とする。第1遮光膜20及び第2遮光膜22は、一度の印刷処理によって同時に形成することが可能である。   (E) Next, as shown in FIG. 5E, a light-shielding material having a light-shielding property with respect to the laser light used for laser trimming is disposed at a desired location by a known printing technique, and the first light-shielding film 20 And the second light shielding film 22. The first light shielding film 20 and the second light shielding film 22 can be simultaneously formed by a single printing process.

(へ)次に、図5(f)に示すように、チップ40をはんだバンプ50を介して配線30上に搭載する。   (F) Next, as shown in FIG. 5 (f), the chip 40 is mounted on the wiring 30 via the solder bumps 50.

(ト)次に、図5(g)に示すように、YAGレーザ等を抵抗60に照射して、レーザトリミングを行う。レーザトリミングではレーザ光が当たった個所の保護コート70は高温となり、溶けて抵抗60の切除部へ流れ込む(図示せず)。   (G) Next, as shown in FIG. 5G, the resistor 60 is irradiated with a YAG laser or the like to perform laser trimming. In the laser trimming, the protective coating 70 where the laser beam hits becomes high temperature, melts and flows into the cut portion of the resistor 60 (not shown).

以上の工程により、実施の形態に係る回路基板が形成される。   Through the above steps, the circuit board according to the embodiment is formed.

本発明の実施の形態に係る回路基板によれば、第1遮光膜20及び第2遮光膜22により、レーザでトリミングする際に、レーザがチップに入射するのを防ぐことができる。第1遮光膜20及び第2遮光膜22によってレーザがチップに入射するのを防ぐことができるので、レーザでトリミングする際にチップに遮光カバーを被せたり、抵抗をチップから離して配置したりする必要がなくなるので、チップ周辺の部品搭載密度を高くすることができる。   According to the circuit board according to the embodiment of the present invention, the first light shielding film 20 and the second light shielding film 22 can prevent the laser from entering the chip when trimming with the laser. Since the first light-shielding film 20 and the second light-shielding film 22 can prevent the laser from entering the chip, when trimming with the laser, the chip is covered with a light-shielding cover or the resistor is arranged away from the chip. Since this is not necessary, the component mounting density around the chip can be increased.

また、本発明の実施の形態に係る回路基板によれば、第1遮光膜20及び第2遮光膜22は、周知の印刷技術によって容易に形成することができるので、構造難度及びコストが上がることもない。   In addition, according to the circuit board according to the embodiment of the present invention, the first light shielding film 20 and the second light shielding film 22 can be easily formed by a known printing technique, which increases the structural difficulty and cost. Nor.

(その他の実施の形態)
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。
(Other embodiments)
As described above, the present invention has been described according to the embodiment. However, it should not be understood that the description and drawings constituting a part of this disclosure limit the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, examples and operational techniques should be apparent to those skilled in the art.

例えば、実施の形態において、レーザトリミングは抵抗体の一部または全部をレーザで切除したり特性変化を起こさせたりすることにより、電気的特性を所望の値に設定するレーザ加工であると記載したが、レーザトリミングの対象は抵抗だけでなく、コンデンサ、インダクタンス、及び配線等を対象とすることもできる。   For example, in the embodiment, it is described that laser trimming is laser processing that sets electrical characteristics to a desired value by cutting a part or all of a resistor with a laser or causing a characteristic change. However, laser trimming can be performed not only on resistors but also on capacitors, inductances, wirings, and the like.

この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲の発明特定事項によってのみ限定されるものである。   Thus, it should be understood that the present invention includes various embodiments and the like not described herein. Therefore, the present invention is limited only by the invention specifying matters in the scope of claims reasonable from this disclosure.

本発明の実施の形態に係る回路基板の模式的断面図である。It is a typical sectional view of a circuit board concerning an embodiment of the invention. 本発明の実施の形態に係る回路基板の模式的平面図である。1 is a schematic plan view of a circuit board according to an embodiment of the present invention. レーザトリミングを説明するための図である。It is a figure for demonstrating laser trimming. 本発明の実施の形態に係る回路基板におけるチップ近辺で進行するレーザの挙動を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the behavior of the laser which advances in the chip | tip vicinity in the circuit board which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施の形態に係る回路基板の形成する方法を示す工程断面図である。It is process sectional drawing which shows the method of forming the circuit board which concerns on embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10…基板
20…第1遮光膜
22…第2遮光膜
30…配線
40…チップ
50…バンプ
60,60a〜60g…抵抗
70…保護コート
L1,L2,L3…レーザ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Board | substrate 20 ... 1st light shielding film 22 ... 2nd light shielding film 30 ... Wiring 40 ... Chip 50 ... Bump 60, 60a-60g ... Resistance 70 ... Protective coat L1, L2, L3 ... Laser

Claims (5)

レーザトリミングにより機能調整を行う回路基板において、
表面に配線が設けられた基板と、
前記配線とはんだバンプによって電気的に接続して前記基板に搭載されたチップと、
前記基板上で前記チップの真下部であって前記はんだバンプによって形成される間隙に配置され、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して遮光性を有する第1遮光膜と、
前記基板及び前記配線上で前記チップの周辺部に配置され、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して遮光性を有する第2遮光膜
とを備えることを特徴とする回路基板。
In circuit boards that perform function adjustment by laser trimming,
A substrate with wiring on the surface;
A chip mounted on the substrate in electrical connection with the wiring and solder bumps ;
A first light-shielding film disposed on a gap directly below the chip on the substrate and formed by the solder bump and having a light-shielding property with respect to laser light used for laser trimming;
A circuit board comprising: a second light-shielding film disposed on a periphery of the chip on the substrate and the wiring and having a light-shielding property against laser light used for laser trimming.
前記基板は、レーザトリミングに用いるレーザ光に対して透過性を有することを特徴とする請求項1に記載の回路基板。   The circuit board according to claim 1, wherein the board is transparent to laser light used for laser trimming. 前記第1遮光膜は、絶縁性を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の回路基板。   The circuit board according to claim 1, wherein the first light shielding film has an insulating property. 前記第2遮光膜は、絶縁性を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の回路基板。   The circuit board according to claim 1, wherein the second light shielding film has an insulating property. レーザトリミングに用いるレーザは、YAGレーザであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の回路基板。   The circuit board according to claim 1, wherein a laser used for laser trimming is a YAG laser.
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