JP5071327B2 - Method for manufacturing feedthrough capacitor - Google Patents
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Description
本発明は、貫通コンデンサの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a feedthrough capacitor.
貫通コンデンサは、コンデンサ素体内に、誘電体層を挟んで交互に積層された第1及び第2の内部電極を備え、この第1及び第2の内部電極(貫通電極)が、それぞれコンデンサ素体において対向する一対の側面の一方から他方まで貫通している。 The feedthrough capacitor includes first and second internal electrodes alternately stacked with a dielectric layer sandwiched in the capacitor body, and the first and second internal electrodes (penetration electrodes) are respectively provided in the capacitor body. And penetrates from one to the other of a pair of side surfaces facing each other.
下記特許文献1に記載された製造方法によれば、複数の第1の貫通電極となる第1の電極パターンが配列形成された絶縁体層と複数の第2の貫通電極となる第2の電極パターンが配列形成された誘電体層とを準備し、第1の電極パターンと第2の電極パターンとが対向するように積層して積層体を形成する。その後、積層体を縦横に切断して複数のコンデンサ素体を形成している。
上記特許文献1に記載された貫通コンデンサは、第1の貫通電極の端が、コンデンサ素体の長側面の長手方向中央部に露出し、この長側面の長手方向中央部に第1の端子電極が形成され、第1の貫通電極と接続される。このため、製造工程において、積層体の切断ズレが起こると、コンデンサ素体の長側面で、第1の貫通電極の端が露出する位置が中央部から左右にずれることになる。このようなコンデンサ素体の長側面の中央部に第1の端子電極を形成すると、第1の端子電極と第1の貫通電極との接続不良が発生する虞がある。
In the feedthrough capacitor described in
また、積層体の切断ズレが起こると、個々のコンデンサ素体に含まれる第1及び第2の貫通電極の形状がばらつく場合や、対向面積がばらつく場合があり、貫通コンデンサの特性がばらつく虞がある。 In addition, when the laminated body is cut off, the shape of the first and second through electrodes included in each capacitor body may vary, or the opposing area may vary, and the characteristics of the through capacitors may vary. is there.
そこで本発明は、製造工程において、切断ズレを容易に検知可能な貫通コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a feedthrough capacitor that can easily detect a cutting deviation in a manufacturing process.
本発明の貫通コンデンサの製造方法は、誘電体層を間に挟んで交互に積層された第1の貫通電極と第2の貫通電極と、第2の貫通電極と同一層の両端に第2の貫通電極を挟んで配置された一対のダミー電極と、を有するコンデンサ素体を備える貫通コンデンサの製造方法であって、第1及び第2の貫通電極とダミー電極となる第1〜第3の電極パターンをグリーンシート上に配列形成するパターン形成工程と、第1〜第3の電極パターンが形成された複数のグリーンシートを積層し、積層体を得る積層工程と、積層体を、互いに平行な複数の第1の切断線と第1の切断線に垂直で互いに平行な複数の第2の切断線とに沿って積層方向に切断し、略直方体形状の複数のグリーンチップを得る切断工程と、グリーンチップに熱処理を行うことにより得られるコンデンサ素体に端子電極を形成する端子形成工程と、を備え、パターン形成工程では、第1の電極パターンが並んだ第1の列と第2の電極パターンが並んだ第2の列とが、第1の切断線に沿って交互に配列し、第1の列と第2の列との間にはそれぞれ第1の切断線が位置し、第1の列において、隣り合う第2の切断線の一方から他方に亘るように、且つ、第1の切断線の方向に隣り合う第1の電極パターンの端部同士が連結して帯状になるように第1の電極パターンを形成し、第2の列において、隣り合う第1の切断線の一方から他方に亘るように第2の電極パターンを形成し、第1の電極パターンの端部同士が連結した連結部分であって、第2の切断線の方向に隣り合う連結部分同士をつなぐ帯状の第3の電極パターンを第2の切断線上に形成し、積層工程では、第1の電極パターンと第2の電極パターンとが重なるようにグリーンシートを積層することを特徴とする。 The feedthrough capacitor manufacturing method of the present invention includes a first feedthrough electrode and a second feedthrough electrode that are alternately stacked with a dielectric layer in between, and a second feedthrough at both ends of the same layer as the second feedthrough electrode. A method of manufacturing a feedthrough capacitor comprising a capacitor body having a pair of dummy electrodes arranged with a through electrode interposed therebetween, wherein the first and second electrodes are first and second through electrodes and dummy electrodes. A pattern forming step of arranging a pattern on the green sheet, a stacking step of stacking a plurality of green sheets on which the first to third electrode patterns are formed to obtain a stack, and a plurality of stacks parallel to each other A cutting step of cutting the first cutting line and a plurality of second cutting lines perpendicular to the first cutting line and parallel to each other in the stacking direction to obtain a plurality of substantially rectangular parallelepiped green chips; By heat treating the chip Forming a terminal electrode on the obtained capacitor body, and in the pattern forming step, a first row in which the first electrode patterns are arranged and a second row in which the second electrode patterns are arranged, Are alternately arranged along the first cutting line, and the first cutting line is located between the first column and the second column, respectively. The first electrode pattern is formed so that the end portions of the first electrode patterns adjacent to each other in the direction of the first cutting line are connected to each other in a band shape so as to extend from one of the cutting lines to the other. In the second row, a second electrode pattern is formed so as to extend from one of the adjacent first cutting lines to the other, and the ends of the first electrode patterns are connected to each other, The third electrode pattern in the form of a strip that connects the connecting portions adjacent to each other in the direction of the cutting line Forming the cutting line, in the laminating step, characterized in that the first electrode pattern and the second electrode patterns are stacked green sheets so as to overlap.
本発明の貫通コンデンサの製造方法では、パターン形成工程において、第1の電極パターンの端部同士が連結した連結部分であって、第2の切断線の方向に隣り合う連結部分同士をつなぐ帯状の第3の電極パターンを第2の切断線上に形成する。このため、複数のグリーンシートを積層し、第1及び第2の切断線に沿って切断すると、第1の切断線によって形成されたグリーンチップの側面には、第3の電極パターンが切断されることにより分割された端面が露出する。この分割された端面は、グリーンチップの側面における両端にそれぞれ露出する。第2の切断線に沿った切断がずれると、グリーンチップの側面における一方の端に露出した端面の幅が広くなり、他方に端に露出した端面の幅が狭くなる。このため、第2の切断線に沿った切断のズレを容易に検知できる。また、端子電極を形成する前に、切断ズレを検知できる。 In the feedthrough capacitor manufacturing method of the present invention, in the pattern forming step, the end portions of the first electrode patterns are connected to each other, and the connecting portions adjacent to each other in the direction of the second cutting line are connected. A third electrode pattern is formed on the second cutting line. Therefore, when a plurality of green sheets are stacked and cut along the first and second cutting lines, the third electrode pattern is cut on the side surface of the green chip formed by the first cutting lines. As a result, the divided end faces are exposed. The divided end surfaces are exposed at both ends of the side surface of the green chip. When the cut along the second cutting line is shifted, the width of the end face exposed at one end of the side surface of the green chip is widened, and the width of the end face exposed at the other end is narrowed. For this reason, the shift | offset | difference of the cutting | disconnection along a 2nd cutting line can be detected easily. Further, it is possible to detect a cutting deviation before forming the terminal electrode.
また、パターン形成工程において、第1の電極パターンが並んだ第1の列と第2の電極パターンが並んだ第2の列とが交互に配列し、第1の列における第1の電極パターンは、隣り合う第2の切断線の一方から他方に亘って形成され、第2の列における第2の電極パターンは、隣り合う第1の切断線の一方の第1の切断線から他方の第1の切断線に亘って形成される。これにより、1枚のグリーンシートに、第1及び第2の貫通電極となる電極パターンを形成する。従って、1種類のグリーンシートで積層体を形成できるので、製造工程を容易にすることができる。 In the pattern forming step, the first column in which the first electrode patterns are arranged and the second column in which the second electrode patterns are arranged alternately are arranged, and the first electrode pattern in the first column is The second electrode pattern in the second column is formed from one of the adjacent second cutting lines to the other, and the second electrode pattern in the second column is formed from one first cutting line to the other first cutting line. Is formed across the cutting line. Thereby, the electrode pattern used as the 1st and 2nd penetration electrode is formed in one green sheet. Therefore, since a laminated body can be formed with one type of green sheet, the manufacturing process can be facilitated.
好ましくは、パターン形成工程では、第2の電極パターンにおいて、両側の第1の切断線にそれぞれ接した両端部の第1の切断線方向の幅より、中央部の幅を広くする。 Preferably, in the pattern forming step, in the second electrode pattern, the width of the central portion is made wider than the width in the first cutting line direction at both ends in contact with the first cutting lines on both sides.
この場合、第2の貫通電極が、幅の広い領域を有することとなる。よって、貫通コンデンサにおいて、この第2の貫通電極と第1の貫通電極との対向面積が大きくなり、静電容量を大きくすることができる。 In this case, the second through electrode has a wide region. Therefore, in the feedthrough capacitor, the facing area between the second through electrode and the first through electrode is increased, and the capacitance can be increased.
好ましくは、パターン形成工程では、第1の電極パターンの両側に位置する第1の切断線に向かって突出すると共に第1の切断線と離間した突出部を有する第1の電極パターンを形成し、端子形成工程では、端子電極として、第2の切断線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面に、第1の電極パターンを含む部分から形成された第1の貫通電極と電気的に接続するように第1の端子電極を形成すると共に、第1の切断線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面に、第2の電極パターンを含む部分から形成された第2の貫通電極と電気的に接続するように第2の端子電極を形成し、更に、第1の端子電極と第2の端子電極との間にショートが発生するか否かを判定する。 Preferably, in the pattern forming step, a first electrode pattern is formed that protrudes toward the first cutting line located on both sides of the first electrode pattern and has a protruding portion spaced from the first cutting line, In the terminal formation step, the terminal electrode is electrically connected to the first through electrode formed from the portion including the first electrode pattern on the side surface of the capacitor body formed by cutting along the second cutting line. A first terminal electrode is formed so as to be connected, and a second penetration formed from a portion including the second electrode pattern on a side surface of the capacitor body formed by cutting along the first cutting line A second terminal electrode is formed so as to be electrically connected to the electrode, and further, it is determined whether or not a short circuit occurs between the first terminal electrode and the second terminal electrode.
パターン形成工程において、第1の電極パターンの略中央部を両側の第1の切断線に向かって突出すると共に第1の切断線と離間した形状とするので、コンデンサ素体が有する第1の貫通電極は、第1の切断線によって形成された側面に向かって突出した突出部を有する。このため、第1の切断線に沿った切断がずれた場合、第1の貫通電極の突出部と第2の端子電極とが接触し、第1の端子電極と第2の端子電極がショートする。従って、第1の端子電極と第2の端子電極との間においてショートが発生するか否かを判定することで、第1の切断線に沿った切断のズレを検知できる。 In the pattern forming step, the substantially central portion of the first electrode pattern protrudes toward the first cutting lines on both sides and is separated from the first cutting lines, so that the first penetration of the capacitor element body The electrode has a protruding portion protruding toward the side surface formed by the first cutting line. For this reason, when the cutting along the first cutting line is shifted, the projecting portion of the first through electrode and the second terminal electrode come into contact with each other, and the first terminal electrode and the second terminal electrode are short-circuited. . Therefore, it is possible to detect a deviation in cutting along the first cutting line by determining whether or not a short circuit occurs between the first terminal electrode and the second terminal electrode.
好ましくは、パターン形成工程では、第2の電極パターンの一方の第1の切断線側の端部が一方の第1の切断線を越え、他方の第1の切断線側の端部が他方の第1の切断線を越えるように、第2の電極パターンを形成する。 Preferably, in the pattern formation step, one end of the second electrode pattern on the first cutting line side exceeds one first cutting line, and the other end on the first cutting line side is the other end. A second electrode pattern is formed so as to exceed the first cutting line.
この場合、第1の切断線に沿った切断が多少ずれたとしても、第2の電極パターンは、第1の切断線に沿った切断により両端側が切断され、端面がグリーンチップの側面に確実に露出する。従って、第2の貫通電極の端面が、コンデンサ素体の側面に確実に露出して貫通電極として機能すると共に、第2の端子電極との接続不良を防止できる。 In this case, even if the cutting along the first cutting line is slightly deviated, the second electrode pattern is cut at both ends by cutting along the first cutting line, and the end face is securely on the side surface of the green chip. Exposed. Therefore, the end surface of the second through electrode is reliably exposed on the side surface of the capacitor body and functions as the through electrode, and connection failure with the second terminal electrode can be prevented.
また、第2の電極パターンのうち、第1の切断線によって分割された端部側の部分は、ダミー電極として、隣のグリーンチップの第1の電極パターンの層に残る。この端部側の部分の端面は、コンデンサ素体の側面に露出するので、この側面に形成される第2の端子電極と密着し、コンデンサ素体と第2の端子電極との密着性を向上させることができる。 Moreover, the part of the edge part side divided | segmented by the 1st cutting line among 2nd electrode patterns remains in the layer of the 1st electrode pattern of an adjacent green chip as a dummy electrode. Since the end surface of the end portion is exposed on the side surface of the capacitor element body, the end surface is in close contact with the second terminal electrode formed on the side surface, thereby improving the adhesion between the capacitor element body and the second terminal electrode. Can be made.
好ましくは、第1の切断線の間隔を第2の切断線の間隔より広く設定し、端子形成工程では、端子電極として、第2の切断線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面を覆うように第1の端子電極を形成し、第1の切断線に沿った切断により形成されたコンデンサ素体の側面に第2の端子電極を形成する。 Preferably, the interval between the first cutting lines is set wider than the interval between the second cutting lines, and in the terminal forming step, a side surface of the capacitor element body formed by cutting along the second cutting line as a terminal electrode The first terminal electrode is formed so as to cover the capacitor, and the second terminal electrode is formed on the side surface of the capacitor body formed by cutting along the first cutting line.
この場合、第2の切断線に沿った切断により形成されるグリーンチップの側面には、第1の電極パターンの端部と、第3の電極パターンの分割された部分の端部が露出する。熱処理により、第1の電極パターンは第1の貫通電極の一部となり、第3の電極パターンのうち分割されて第1の電極パターンの層に残った部分は、第1の貫通電極の引き出し部となる。従って、第1の切断線の間隔を第2の切断線の間隔より広く設定することにより、第2の切断線に沿った切断により形成されるグリーンチップ(コンデンサ素体)の側面の幅が広くなり、この側面に露出する第1の貫通電極の幅も大きくなる。従って、第1の貫通電極と第1の端子電極との接続部分の幅を広くすることができる。よって、容易に低ESLを実現できる。 In this case, the end portion of the first electrode pattern and the end portion of the divided portion of the third electrode pattern are exposed on the side surface of the green chip formed by cutting along the second cutting line. By the heat treatment, the first electrode pattern becomes a part of the first through electrode, and the portion of the third electrode pattern that is divided and remains in the first electrode pattern layer is the lead-out portion of the first through electrode It becomes. Accordingly, by setting the interval between the first cutting lines wider than the interval between the second cutting lines, the width of the side surface of the green chip (capacitor body) formed by cutting along the second cutting line is wide. Thus, the width of the first through electrode exposed on the side surface is also increased. Therefore, the width of the connection portion between the first through electrode and the first terminal electrode can be increased. Therefore, low ESL can be easily realized.
本発明の貫通コンデンサの製造方法によれば、切断ズレを容易に検知することができる。 According to the method for manufacturing a feedthrough capacitor of the present invention, it is possible to easily detect a cutting deviation.
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素に同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 The best mode for carrying out the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same reference numerals are assigned to the same elements, and duplicate descriptions are omitted.
図1は、貫通コンデンサの概略斜視図である。貫通コンデンサ1は、略直方体形状のコンデンサ素体2と、コンデンサ素体2の表面に形成された2つの第1の端子電極3,3と、2つの第2の端子電極4,4と、を備えて構成されている。コンデンサ素体2は、互いに対向する短側面2a,2aと、互いに対向する長側面2b,2bと、互いに対向する主面2c,2cを有している。なお、短側面2aは、コンデンサ素体2の長手方向に垂直な面である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a feedthrough capacitor. The
第1の端子電極3は、コンデンサ素体2の互いに対向する短側面2a,2aをそれぞれ覆うように形成されている。一方の第1の端子電極3は、コンデンサ素体2の長側面2b,2bと主面2c,2cにおける一方の短側面2a側の領域にまで亘って形成されている。他方の第1の端子電極3は、コンデンサ素体2の長側面2b,2bと主面2c,2cにおける他方の短側面2a側の領域にまで亘って形成されている。
The
第2の端子電極4は、それぞれ長側面2b,2bの略中央部に、一方の主面2cから他方の主面2cにまで亘るように帯状に形成されている。第2の端子電極4は、コンデンサ素体2の表面において第1の端子電極3と絶縁されている。第1及び第2の端子電極3,4は、Cu、Ni、Ag−Pdなどの材料で形成され、Ni−Snなどのめっきが施されている。
The
図2は、貫通コンデンサの断面構造を示す模式図である。コンデンサ素体2は、複数(本実施形態では4つ)の第1の貫通電極6と複数(本実施形態では4つ)の第2の貫通電極7とが、複数の誘電体層8を挟んで交互に積層された構成を有している。コンデンサ素体2の主面2cが、各層と平行な面である。また、コンデンサ素体2は、第2の貫通電極7と同一層に位置するダミー電極9を有している。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of the feedthrough capacitor. The
コンデンサ素体2において、積層方向に隣り合う誘電体層8同士は、その境界が視認できない程度に一体化している。誘電体層8は、例えばBaTiO3系、Ba(Ti,Zr)O3系、(Ba,Ca)TiO3系といった誘電体材料によって形成されている。第1及び第2の貫通電極6,7とダミー電極9とは、例えば、Niなどの材料によって形成される。
In the
第1及び第2の貫通電極6,7とダミー電極9の形状について、図3,4を参照して説明する。図3は、第1の貫通電極を示す模式図である。図4は、第2の貫通電極とダミー電極を示す模式図である。
The shapes of the first and second through
図3に示されるように、第1の貫通電極6は、一体的に形成された主部6aと引き出し部6bとを有している。主部6aは、略長方形状に形成され、コンデンサ素体2の一方の短側面2aから他方の短側面2aまで貫通している。引き出し部6bは、第1の貫通電極6の両端側において、それぞれ短側面2aに沿って幅が広がった部分である。すなわち、引き出し部6bは、長方形状の誘電体層8に対して、その4隅に位置する矩形状の部分である。
As shown in FIG. 3, the first through
第1の貫通電極6は、その端部が、コンデンサ素体2における短側面2a上の一方端から他方端にまで亘って露出している。よって、第1の貫通電極6は、短側面2aを覆うように形成された第1の端子電極3と接続されている。
The end of the first through
第1の貫通電極6は、主部6aだけでなく引き出し部6bを有することで、短側面2aにそれぞれ形成された第1の端子電極3との接触面積が増える。このため、第1の貫通電極6と第1の端子電極3との電気的な接続の信頼性が向上する。また、第1の端子電極3は、誘電体層8より第1の貫通電極6との密着性が高い。このため、コンデンサ素体2の短側面2aに露出する第1の貫通電極6の面積を大きくすることにより、コンデンサ素体2と第1の端子電極3との密着性を高めることができる。
Since the first through
図4に示されるように、第2の貫通電極7と一対のダミー電極9,9とは同一層に配置されている。第2の貫通電極7は、一体的に形成された主部7aと一対の引き出し部7bとを有している。主部7aは、略長方形状に形成され、誘電体層8の略中央部に配置されている。
As shown in FIG. 4, the second through
2つ有るうちの一方の引き出し部7bは、主部7aの長辺の中央部からコンデンサ素体2の一方の長側面2bに引き出された部分で、その端部がこの長側面2bの長手方向中央部に露出している。他方の引き出し部7bは、主部7aの長辺の中央部からコンデンサ素体2の他方の長側面2bに引き出された部分で、その端部がこの長側面2bの長手方向中央部に露出している。
One of the two
すなわち、第2の貫通電極7は、略十字状に形成され、一方の長側面2bから他方の長側面2bまで貫通している。主部7aは、短側面2aが対向する方向に伸びた領域で、引き出し部7bより短側面2aが対向する方向に幅が広い。
That is, the
また、第2の貫通電極7の一方の引き出し部7bは、コンデンサ素体2の一方の長側面2bに形成された第2の端子電極4と密着し、他方の引き出し部7bは、他方の長側面2bに形成された第2の端子電極4と密着している。すなわち、第2の貫通電極7と第2の端子電極4とが電気的に接続されている。
In addition, one
一対のダミー電極9は、第2の貫通電極7を挟んで、同一層における両端にそれぞれ配置されている。ダミー電極9,9は、帯状に形成され、第2の貫通電極7とは離間して配置されている。一方のダミー電極9は、誘電体層8の一方の短側面2a側に沿って、一方の長側面2bから他方の長側面2bに亘って形成されている。このため、一方のダミー電極9は、一方の短側面2aと、長側面2bの一方の短側面2a側の部分に、その端部が露出している。この露出した端部は、一方の短側面2aに形成された第1の端子電極3に覆われ、コンデンサ素体2と第1の端子電極3との密着性向上に寄与する。
The pair of
他方のダミー電極9も同様に、誘電体層8の他方の短側面2a側に沿って、一方の長側面2bから他方の長側面2bにまで亘って形成され、他方の短側面2aに形成された第1の端子電極3に覆われ、コンデンサ素体2と第1の端子電極3との密着性向上に寄与する。なお、ダミー電極9の幅寸法(コンデンサ素体2の短側面2aの対向方向の寸法)は、第1の貫通電極6の引き出し部6bの幅寸法(コンデンサ素体2の短側面2aの対向方向の寸法)と同程度であり、積層方向から見て、ダミー電極9と引き出し部6bとは重なっている。
Similarly, the
第1の貫通電極6と第2の貫通電極7とは、第1の貫通電極6の主部6aと第2の貫通電極7の主部7aとが誘電体層8を挟んで対向し、容量を形成する。特に、第2の貫通電極7の主部7aの短手方向の長さ(コンデンサ素体2の長側面2bの対向方向の寸法)は、第1の貫通電極6の主部6aの短手方向の長さ(コンデンサ素体2の長側面2bの対向方向の寸法)と同程度で、互いに重なり合っている。
In the first through
コンデンサ素体2は、短側面2aと長側面2bと主面2cとが互いに直交している。そして、コンデンサ素体2内において、第1及び第2の貫通電極6,7とダミー電極9とは、理想的には、コンデンサ素体2の中央を通り短側面2a,2aに平行な面に対して対称に形成されると共に対称に配置され、且つ、コンデンサ素体2の中央を通り長側面2b,2bに平行な面に対して対称に形成されると共に対称に配置されている。
In the
以上説明した貫通コンデンサ1は、いずれか一方の主面2cが他の部品(例えば、回路基板や電子部品等)に対向して実装される。例えば、回路基板上の信号ラインに第1の端子電極3が接続され、第2の端子電極4が回路基板上のグランドラインに接続される。
The
図5を参照して、本実施形態に係る貫通コンデンサの製造方法について説明する。図5は、本実施形態に係る貫通コンデンサの製造工程を示すフロー図である。本実施形態に係る貫通コンデンサの製造方法は、準備工程S1、パターン形成工程S2、積層工程S3、切断工程S4、焼成(熱処理)工程S5、端子形成工程S6を備える。以下、各工程について説明する。 With reference to FIG. 5, the manufacturing method of the feedthrough capacitor according to the present embodiment will be described. FIG. 5 is a flow chart showing the manufacturing process of the feedthrough capacitor according to this embodiment. The feedthrough capacitor manufacturing method according to the present embodiment includes a preparation step S1, a pattern formation step S2, a lamination step S3, a cutting step S4, a firing (heat treatment) step S5, and a terminal formation step S6. Hereinafter, each step will be described.
準備工程S1では、誘電体層8となる複数のグリーンシートを準備する。まず、BaTiO3系、Ba(Ti,Zr)O3系、又は(Ba,Ca)TiO3系の誘電体材料に、有機ビヒクルなどを混合・混練することによってセラミックペーストを得る。このセラミックペーストをドクターブレード法等によりPETフィルム上に塗布し、グリーンシートを形成する。
In the preparation step S1, a plurality of green sheets to be the
パターン形成工程S2では、グリーンシート上に第1及び第2の貫通電極6,7とダミー電極9となる第1〜第3の電極パターンを配列形成する。第1〜第3の電極パターンは、電極ペーストをグリーンシート上にスクリーン印刷することによって形成する。
In the pattern forming step S <b> 2, first to third electrode patterns to be the first and second through
積層工程S3では、第1〜第3の電極パターンが形成された複数のグリーンシートを積層し、積層方向から加圧して積層体を形成する。 In the stacking step S3, a plurality of green sheets on which the first to third electrode patterns are formed are stacked and pressed from the stacking direction to form a stacked body.
切断工程S4では、積層体を切断して略直方体形状のグリーンチップを複数形成する。切断は、グリーンシートの主面において互いに平行な複数の第1の切断線と第1の切断線に垂直で互いに平行な複数の第2の切断線とに沿って行う。 In the cutting step S4, the stacked body is cut to form a plurality of substantially rectangular parallelepiped green chips. The cutting is performed along a plurality of first cutting lines parallel to each other on the main surface of the green sheet and a plurality of second cutting lines perpendicular to the first cutting lines and parallel to each other.
焼成工程S5では、グリーンチップの脱バインダ処理を行い、その後、グリーンチップを焼成し、コンデンサ素体2を得る。この熱処理により、グリーンシートが誘電体層8となり、電極パターンが第1及び第2の貫通電極6,7とダミー電極9とになり、コンデンサ素体2が得られる。
In the firing step S5, the green chip is subjected to binder removal processing, and then the green chip is fired to obtain the
端子形成工程S6では、コンデンサ素体2の短側面2aにそれぞれ第1の端子電極3を形成し、長側面2bにそれぞれ第2の端子電極4を形成する。コンデンサ素体2の短側面2a,2aには、面全体を覆うように導電性ペーストを塗布し、長側面2b,2bには、長手方向中央部に帯状に導電性ペーストを塗布する。その後、塗布した導電性ペーストを焼付け、更に、めっきを施すことにより、第1及び第2の端子電極3,4を形成する。以上により、貫通コンデンサ1を形成する。
In the terminal forming step S6, the first
図6を参照して、パターン形成工程S2において形成する第1〜第3の電極パターン16,17,19の形状について説明する。第1〜第3の電極パターン16,17,19は、グリーンシート18上に設定された第1及び第2の切断線L1,L2を基準に形成する。第1の切断線L1の間隔は、第2の切断線L2の間隔より狭い。
With reference to FIG. 6, the shape of the 1st-
第1の電極パターン16は、第1の貫通電極6の主部6aとなる部分である。第2の電極パターン17は、第2の貫通電極7となる部分である。第3の電極パターン19は、ダミー電極9と第1の貫通電極6の引き出し部6bとなる部分である。このため、第1の切断線L1と第2の切断線L2とで形成される各ます目には、第1の電極パターン16と第2の電極パターン17とのいずれか一方が形成されている。
The
第1の電極パターン16が並んだ第1の列Aと第2の電極パターン17が並んだ第2の列Bとが交互に形成されている。第1の列Aと第2の列Bとの間にはそれぞれ第1の切断線L1が位置している。第1の電極パターン16と第2の電極パターン17とは、互いに離間して配置されている。
The first column A in which the
第1の電極パターン16は、隣り合う第2の切断線L2の一方から他方に亘って形成されている。第1の切断線L1の方向に隣り合う第1の電極パターン16の端部16a同士は、連結して、端部16a同士が連結した連結部分16bは、帯状になるように形成されている。
The
第2の電極パターン17は、隣り合う第1の切断線L1の一方から他方に亘るように形成されている。また、第2の電極パターン17は、その中央部が第1の切断線L1の方向の幅が広い領域17aを有して、十字状に形成されている。この第1の切断線L1の方向に伸びた部分の幅(第2の切断線L2の方向の寸法)は、第1の電極パターン16の幅(第2の切断線L2の方向の寸法)と同程度である。
The
第3の電極パターン19は、第1の電極パターン16と一体的に形成され、第1の電極パターン16の連結部分16bを第2の切断線L2方向につなぐように帯状に形成されている。第3の電極パターン19は、第2の切断線L2上に形成され、第2の切断線L2の方向に隣り合う連結部分16b同士をつなぐように形成されている。第3の電極パターン19は、第1の切断線L1の方向に並んだ第2の電極パターン17同士の間に配置され、この第2の電極パターン17とは離間して配置されている。
The
以上のように第1〜第3の電極パターン16,17,19を形成することで、第1の電極パターン16と第3の電極パターン19とによって、格子状のパターンが形成され、その格子のます目に第2の電極パターン17が配置されている。
By forming the first to
図6に示されるように、積層工程S3では、第1〜第3の電極パターン16,17,19が形成されたグリーンシート18を第1の電極パターン16と第2の電極パターン17とが重なるように積層して積層体10を形成する。すなわち、第1の切断線L1の間隔だけ積層されるグリーンシート18をオフセットして積層する。これにより、第1の電極パターン16と第2の電極パターン17とが対向することとなる。
As shown in FIG. 6, in the stacking step S3, the
切断工程S4において、積層体10を第1及び第2の切断線L1,L2に沿って切断すると、グリーンチップが形成される。このグリーンチップ12には、第1の電極パターン16と第2の電極パターン17とが交互に積層されている。また、第3の電極パターン19は、第2の切断線L2によって、幅が半分に切断され、第1の切断線L1によって、ダミー電極9となる部分19aと第1の貫通電極6の引き出し部6bとなる部分19bとに分割される。
In the cutting step S4, when the
図7は、第1の切断線L1に沿った切断により形成されたグリーンチップ12の長側面12bを示す図である。グリーンチップ12の短側面12aは、第2の切断線L2に沿った切断により形成された切断面である。グリーンチップ12の短側面12aと長側面12bとは、それぞれコンデンサ素体2の短側面2aと長側面2bとなる面である。
FIG. 7 is a diagram showing the
長側面12bにおける長手方向の中央部には、第2の電極パターン17の端部が露出している。長側面12bにおける長手方向の両端には、第3の電極パターン19の部分19aと部分19bとの切断面が露出している。実際のグリーンチップ12では、グリーンシート18が比較的白い色をしており、第1〜第3の電極パターン16,17,19が比較的黒い色をしているので、長側面12b上に露出した第2の電極パターン17の端部と第3の電極パターン19の部分19a,19bの端部を視認できる。
The end portion of the
切断工程S4において第2の切断線L2に沿って切断する際には、第3の電極パターン19の中央に沿って切断する。このため、グリーンチップ12の長側面12b上に露出する第3の電極パターン19の部分19a,19bの一方の側の幅寸法G1と他方の側の幅寸法G2は、同程度となる。幅寸法G1,G2とは、グリーンチップ12の短側面12aの対向方向の寸法である。
When cutting along the second cutting line L <b> 2 in the cutting step S <b> 4, cutting is performed along the center of the
ところが、第2の切断線L2に沿った切断が(第1の切断線L1の方向に)ずれると、長側面12b上に露出した部分19a,19bの幅寸法G1,G2のうち一方が大きくなり、他方が小さくなる。例えば、幅寸法G1と幅寸法G2との大小関係を比較することにより、切断ズレを判定してもよいし、設計値等の予め定めた値と幅寸法G1,G2とを比較することにより、切断ズレを判定してもよい。これにより、第2の切断線L2に沿った切断のズレを容易に検知できる。
However, when the cutting along the second cutting line L2 is shifted (in the direction of the first cutting line L1), one of the width dimensions G1 and G2 of the
以上説明したように、本実施形態に係る貫通コンデンサの製造方法では、パターン形成工程S2において、第1の電極パターン16が並んだ第1の列Aと第2の電極パターン17が並んだ第2の列Bとが、第1の切断線L1に沿って交互に配列し、第1の列Aと第2の列Bとの間それぞれには、第1の切断線L1が位置し、第1の列Aにおいて、隣り合う第2の切断線L2の一方から他方に亘るように、且つ、第1の切断線L1の方向に隣り合う第1の電極パターン16の端部16a同士が連結して帯状になるように第1の電極パターン16を形成し、第2の列Bにおいて、隣り合う第1の切断線L1の一方から他方に亘るように第2の電極パターン17を形成し、第1の電極パターン16の端部16a同士が連結した連結部分16bであって、第2の切断線L2の方向に隣り合う連結部分16b同士をつなぐ帯状の第3の電極パターン19を第2の切断線L2上に形成する。
As described above, in the feedthrough capacitor manufacturing method according to the present embodiment, in the pattern formation step S2, the first row A in which the
このため、複数のグリーンシート18を第1の電極パターン16と第2の電極パターン17とが重なるように積層し、第1及び第2の切断線L1,L2に沿って切断すると、第1の切断線L1によって形成されたグリーンチップ12の長側面12bには、第3の電極パターン19が切断されることにより分割された部分19a,19bの端面が露出する。この部分19a,19bの端面は、グリーンチップ12の長側面12bにおける両端にそれぞれ露出する。第2の切断線L2に沿った切断がずれると、グリーンチップ12の長側面12bにおける一方の端に露出した端面の幅寸法G1が広くなり、他方に端に露出した端面の幅寸法G2が狭くなる。このため、第2の切断線L2に沿った切断のズレを外観検査によって容易に検知できる。また、第1及び第2の端子電極3,4を形成する前、グリーンチップ12を焼成する前に、切断ズレを検知できる。
For this reason, when the plurality of
また、積層工程S3におけるグリーンシート18の積層ズレが発生した場合は、部分19a,19bの幅寸法G1,G2が揃わないので、グリーンチップ12の外観検査により積層ズレも検知することができる。
In addition, when the
また、1枚のグリーンシートに、第1及び第2の貫通電極6,7となる電極パターンを含む第1〜第3の電極パターン16,17,19を形成する。従って、1種類のグリーンシートで積層体を形成できるので、製造工程を容易にすることができる。
In addition, the first to
また、パターン形成工程S2では、第2の電極パターン17において、両側の第1の切断線L1にそれぞれ接した両端部の第1の切断線方向の幅より、中央部の幅を広くする。この場合、第2の貫通電極7における、第1の貫通電極6の貫通方向の寸法が大きくなる。よって、貫通コンデンサ1において、この第1の貫通電極6と第2の貫通電極7との対向面積が大きくなり、静電容量を大きくすることができる。
In the pattern forming step S2, in the
引き続いて、上記実施形態の変形例について説明する。各変形例の説明において、上記実施形態と同様な点は説明を省略し、異なる点を主に説明する。 Subsequently, a modification of the above embodiment will be described. In the description of each modification, the description of the same points as in the above embodiment will be omitted, and different points will be mainly described.
(第1変形例)
図8及び図9を参照して、第1変形例に係る貫通コンデンサ1Aについて説明する。図8は、第1の貫通電極を示す模式図である。図9は、第2の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。貫通コンデンサ1Aが有する第1の貫通電極21は、第1の貫通電極6を構成する主部6aと4つの引き出し部6bと同様な主部21aと4つの引き出し部21bとを有し、更に、2つの突出部21cを有する。
(First modification)
A
一方の突出部21cは、第1の貫通電極21の主部21aにおける一方の長側面2b側の一辺の中央部がこの一方の長側面2bに向かって略矩形状に突出した部分である。他方の突出部21cは、第1の貫通電極21の主部21aにおける他方の長側面2b側の一辺の中央部がこの他方の長側面2bに向かって略矩形状に突出した部分である。すなわち、突出部21cは、第2の端子電極4に向かって突出している。ただし、突出部21cの先端と長側面2bとの間にはギャップがあり、突出部21cと長側面2bに形成された第2の端子電極4とは絶縁されている。
The one protruding
図10は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第1〜第3の電極パターンを示す模式図である。突出部21cを有する第1の貫通電極21を形成するために、第1の電極パターン23は、2つの突出部23cを有する。一方の突出部23cは、第1の電極パターン23の一方の第1の切断線L1側の中央部が隣接する一方の第1の切断線L1に向かって突出した部分である。他方の突出部23cは、第1の電極パターン23の他方の第1の切断線L1側の中央部が隣接する他方の第1の切断線L1に向かって突出した部分である。突出部23cの先端は、第1の切断線L1と離間している。
FIG. 10 is a schematic diagram showing first to third electrode patterns formed in the manufacturing process of the feedthrough capacitor according to this modification. In order to form the first through
第1の電極パターン23は、上記第1の電極パターン16と同様に、第1の切断線L1の方向に隣り合う端部23a同士が連結している。この連結部23bは、第2の切断線L2の方向に隣り合う連結部23b同士が、第3の電極パターン19によって接続されている。積層工程S3では、この第1の電極パターン23と第2及び第3の電極パターン17,19とが形成されたグリーンシート18が、積層される。
Similarly to the
切断工程S4では、第1の切断線L1に沿って積層体を切断するが、実際の切断が第1の切断線L1からずれる場合がある。実際の切断面がずれると、第2の電極パターンの端面が、第1の切断線L1に沿った切断面に露出しないグリーンチップが形成される虞がある。この場合、このグリーンチップを用いて形成される貫通コンデンサにおいて、第2の貫通電極と第2の端子電極との接続不良が発生する虞がある。 In the cutting step S4, the stacked body is cut along the first cutting line L1, but the actual cutting may deviate from the first cutting line L1. If the actual cut surface is displaced, a green chip may be formed in which the end surface of the second electrode pattern is not exposed to the cut surface along the first cut line L1. In this case, in the feedthrough capacitor formed using this green chip, there is a possibility that a connection failure between the second feedthrough electrode and the second terminal electrode occurs.
また、第1の切断線L1に沿った実際の切断面がずれると、第1の電極パターン23の突出部23cと第1の切断線L1に沿った切断面とのギャップが小さくなる。この場合、第1及び第2の端子電極3,4を湿式めっき法などによって形成する場合、めっき液がコンデンサ素体内の第1の貫通電極が形成された層に侵入し、信頼性が低下する虞がある。
Further, when the actual cut surface along the first cut line L1 is shifted, the gap between the protruding
また、第1の切断線L1に沿った実際の切断面がずれると、コンデンサ素体に含まれる第1及び第2の貫通電極の形状が変化するので、貫通コンデンサとしての特性が変化する虞もある。 In addition, if the actual cut surface along the first cutting line L1 is shifted, the shape of the first and second through electrodes included in the capacitor body changes, so that the characteristics as the through capacitor may change. is there.
そこで、第1の切断線L1に沿った実際の切断面がずれたことを容易に検知するために、突出部23cを有する第1の電極パターン23を形成している。第1の切断線L1に沿った切断がずれた場合、貫通コンデンサ1Aでは、第1の貫通電極21の突出部21cと第2の端子電極4とが接触し、第1の端子電極3と第2の端子電極4がショートする。このため、端子形成工程S6において第1及び第2の端子電極3,4を形成した後に、第1の端子電極3と第2の端子電極4との間にショートが発生するか否かを判定することで、第1の切断線L1に沿った切断のズレを容易に検知できる。
Therefore, in order to easily detect that the actual cut surface along the first cutting line L1 has shifted, the
(第2変形例)
図11及び図12を参照して、第2変形例に係る貫通コンデンサ1Bについて説明する。図11は、第1の貫通電極を示す模式図である。図12は、第2の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。貫通コンデンサ1Bは、第1の貫通電極6が配置された層に、2つのダミー電極31を有する。
(Second modification)
With reference to FIG.11 and FIG.12, the
2つのダミー電極31は、略矩形状で、それぞれ第1の貫通電極6の両側の長側面2b側にそれぞれ配置されている。また、ダミー電極31は、第1の貫通電極6と離間して配置されている。ダミー電極31は、一辺が長側面2bに露出している。また、ダミー電極31は、長側面2bに沿った方向の寸法が、第2の貫通電極7の引き出し部7bにおける同方向の寸法と同程度で、ダミー電極31は、第2の貫通電極7の引き出し部7bと重なっている。このダミー電極31が存在することで、第2の端子電極4とコンデンサ素体2Bとの密着性が向上する。
The two
図13は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第1〜第3の電極パターンを示す模式図である。第2の電極パターン32は、一方の第1の切断線L1側の端部が一方の第1の切断線L1を越え、他方の第1の切断線L1側の端部が他方の第1の切断線L1を越えている。第2の電極パターン32は、隣り合う第1の切断線L1に亘って形成された部分、すなわち、第2の列Bにおいて第1の切断線L1の間に存在する部分33が、第2の貫通電極7となる。一方、第1の切断線L1に沿った切断により、部分33から切り離される部分34が、ダミー電極31となる。
FIG. 13 is a schematic diagram showing first to third electrode patterns formed in the manufacturing process of the feedthrough capacitor according to this modification. As for the
この場合、第1の切断線L1に沿った切断が多少ずれたとしても、第2の電極パターン32は、第1の切断線L1に沿った切断により両端側が切断され、端面がグリーンチップ12の長側面12bに確実に露出する。従って、第2の貫通電極7の端面が、コンデンサ素体2の長側面2bに確実に露出して貫通電極として機能すると共に、第2の端子電極4との接続不良を防止できる。
In this case, even if the cutting along the first cutting line L1 is slightly shifted, both ends of the
また、第2の電極パターン32のうち、第1の切断線L1によって分割された端部側の部分34は、ダミー電極31として、隣のグリーンチップ12の第1の電極パターン16の層に残る。この部分34の端面は、コンデンサ素体2の長側面2bに露出するので、この長側面2bに形成される第2の端子電極4と密着し、コンデンサ素体2と第2の端子電極4との密着性を向上させることができる。
Further, in the
(第3変形例)
図14〜図16を参照して、第4変形例に係る貫通コンデンサ41の構成について説明する。図14は、貫通コンデンサの概略斜視図である。図15は、第1の貫通電極を示す模式図である。図16は、第2の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。第4変形例に係る貫通コンデンサ41は、上記の貫通コンデンサ1を長側面2bの対向方向に引き伸ばした形状を有する貫通コンデンサである。
(Third Modification)
With reference to FIGS. 14 to 16, the structure of the
貫通コンデンサ41では、第1の端子電極3がコンデンサ素体42の長側面42bを覆うように形成されている。第2の端子電極4は、短側面42aの略中央部に帯状に形成されている。短側面42aと長側面42bとは互いに直交し、短側面42aは、コンデンサ素体42の長手方向と垂直な面である。
In the
コンデンサ素体42が有する第1及び第2の貫通電極46,47とダミー電極49とは、上述したコンデンサ素体2の第1及び第2の貫通電極6,7とダミー電極9と寸法比が異なる。この点について主に説明する。
The first and second through
図15に示されるように、第1の貫通電極46は、一体的に形成された主部46aと引き出し部46bとを有している。主部46aは、略長方形状に形成され、コンデンサ素体42の一方の長側面42bから他方の長側面42bまで貫通し、第1の端子電極3と電気的に接続されている。第1の貫通電極46が誘電体層8の短手方向に貫通し、その端部が長側面42bに露出している。このため、第1の貫通電極46が誘電体層8の長手方向に貫通する場合より、幅が広くなり、電流が流れる方向と垂直な断面の面積が大きくなる。本実施形態では、この幅の広い第1の貫通電極46をグランド電極として機能させる。このため、ESLを低下させることができる。
As shown in FIG. 15, the first through
図16に示されるように、第2の貫通電極47は、略長方形状の主部47aとこの主部47aの両側に一体的に形成された引き出し部47bとで構成されている。主部47aは、引き出し部47bより長側面42bが対向する方向に幅が広い領域である。第2の貫通電極47は、一方の短側面42aから他方の短側面42aまで貫通し、第2の端子電極4と電気的に接続されている。
As shown in FIG. 16, the second through
一対のダミー電極49は、第2の貫通電極47を挟んで、同一層における両側の長側面42b側にそれぞれ配置されている。ダミー電極49は、それぞれ誘電体層8の長側面42b側に沿って、一方の短側面42aから他方の短側面42aにまで亘って形成されている。
The pair of
図17は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第1〜第3の電極パターンを示す模式図である。本変形例では、第1の切断線L1に沿った切断面が、コンデンサ素体42の短側面42aとなり、第2の端子電極4が形成される。一方、第2の切断線L2に沿った切断面が、コンデンサ素体42の長側面42bとなり、第1の端子電極3が形成される。本変形例では、第1の切断線L1の間隔は、第2の切断線L2の間隔より広い。
FIG. 17 is a schematic diagram showing first to third electrode patterns formed in the manufacturing process of the feedthrough capacitor according to this modification. In the present modification, the cut surface along the first cutting line L1 becomes the
また、上記実施形態と同様に、第1の電極パターン56は、第1の貫通電極46の主部46aとなる部分である。第2の電極パターン57は、第2の貫通電極47となる部分である。第3の電極パターン59は、ダミー電極49と第1の貫通電極46の引き出し部46bとなる部分である。
Further, as in the above embodiment, the
第1の切断線L1の間に、第1の電極パターン56が並んだ第1の列Aと第2の電極パターン57が並んだ第2の列Bとが交互に形成されている。
Between the first cutting lines L1, the first rows A in which the
第1の電極パターン56は、隣り合う第2の切断線L2の一方から他方に亘って形成されている。第1の切断線L1の方向に隣り合う第1の電極パターン56の端部56a同士は、連結して、端部56a同士が連結した連結部分56bは、帯状になるように形成されている。
The
第2の電極パターン57は、隣り合う第1の切断線L1の一方から他方に亘るように形成されている。また、第2の電極パターン57は、その中央部が第1の切断線L1の方向の幅が広い領域57aを有している。
The
第3の電極パターン59は、第1の電極パターン56と一体的に形成され、第1の電極パターン56の連結部分56bを第2の切断線L2方向につなぐように帯状に形成されている。第3の電極パターン59は、第2の切断線L2上に形成され、第2の切断線L2の方向に隣り合う第1の電極パターン56の連結部分56b同士をつなぐように形成されている。
The
このように第1〜第3の電極パターン56,57,59が形成されたグリーンシート18を積層し、切断することにより、グリーンチップを形成する。その切断工程S4において、第3の電極パターン59は、第2の切断線L2によって、幅が半分に切断され、第1の切断線L1によって、ダミー電極49となる部分59aと第1の貫通電極46の引き出し部46bとなる部分59dとに分割される。
The
グリーンチップの短側面においては、その中央部には、第2の電極パターン57の端部が露出し、両端には、第3の電極パターン59の部分59aと部分59bとの切断面が露出している。このため、グリーンチップの短側面上に露出した第3の電極パターン59の部分59a,59bの一方の側の幅寸法と他方の側の幅寸法の大小関係を比較することで、第2の切断線L2に沿った切断のズレを容易に判定できる。
On the short side of the green chip, the end of the
以上のように、第1の切断線L1の間隔を第2の切断線L2の間隔より広く設定することにより、第1の貫通電極46の幅寸法(貫通方向と垂直な方向の寸法)が大きくなる。このため、低ESLを実現した貫通コンデンサ41を容易に製造することができる。
As described above, by setting the interval between the first cutting lines L1 wider than the interval between the second cutting lines L2, the width dimension (dimension in the direction perpendicular to the penetrating direction) of the first through
(第4変形例)
図18及び図19を参照して、第4変形例に係る貫通コンデンサ41Aについて説明する。図18は、第1の貫通電極を示す模式図である。図19は、第2の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。上記の第2変形例に係る貫通コンデンサ1Aを長側面2bの対向方向に引き伸ばした形状を有する貫通コンデンサである。
(Fourth modification)
A
この貫通コンデンサ41Aは、第3変形例に係る貫通コンデンサ41に変形を加えたものでもあるので、第3変形例に係る貫通コンデンサ41と異なる点を主に説明する。貫通コンデンサ41Aが有する第1の貫通電極61は、第3変形例に係る貫通コンデンサ41が有する第1の貫通電極46を構成する主部46a及び4つの引き出し部46bと同様な主部61a及び4つの引き出し部61bとを有し、更に、2つの突出部61cを有する。
The
一方の突出部61cは、第1の貫通電極61の主部61aにおける一方の短側面42a側の一辺の中央部がこの一方の短側面42aに向かって略矩形状に突出した部分である。他方の突出部61cは、第1の貫通電極61の主部61aにおける他方の短側面42a側の一辺の中央部がこの他方の短側面42aに向かって略矩形状に突出した部分である。すなわち、2つの突出部61cは、それぞれ2つの第2の端子電極4に向かって突出している。ただし、突出部61cの先端と短側面42aとの間にはギャップがあり、突出部61cと短側面42aに形成された第2の端子電極4とは絶縁されている。
One projecting
図20は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第1〜第3の電極パターンを示す模式図である。突出部61cを有する第1の貫通電極61を形成するために、第1の電極パターン63は、2つの突出部63cを有する。一方の突出部63cは、第1の電極パターン63の一方の第1の切断線L1側の中央部が隣接する第2の電極パターン57に向かって突出している。他方の突出部63cは、第1の電極パターン63の他方の第1の切断線L1側の中央部が隣接する第2の電極パターン57に向かって突出している。突出部63cの先端は、第1の切断線L1と離間している。
FIG. 20 is a schematic diagram showing first to third electrode patterns formed in the manufacturing process of the feedthrough capacitor according to this modification. In order to form the first through
この突出部63c(61c)は、第1の切断線L1に沿った実際の切断面がずれたことを容易に検知するために形成されている。第1の切断線L1に沿った切断がずれた場合、貫通コンデンサ41Aでは、第1の貫通電極61の一方の突出部61cと第2の端子電極4とが接触し、第1の端子電極3と第2の端子電極4がショートする。このため、端子形成工程S6において第1及び第2の端子電極3,4を形成した後に、第1の端子電極3と第2の端子電極4との間にショートが発生するか否かを判定することで、第1の切断線L1に沿った切断のズレを検知できる。
The
(第5変形例)
図21及び図22を参照して、第5変形例に係る貫通コンデンサ41Bについて説明する。図21は、第1の貫通電極を示す模式図である。図22は、第2の貫通電極とダミー電極とを示す模式図である。第5変形例に係る貫通コンデンサ41Bは、上記の第3変形例に係る貫通コンデンサ1Bを長側面2bの対向方向に引き伸ばした形状を有する貫通コンデンサである。
(5th modification)
With reference to FIGS. 21 and 22, a
この貫通コンデンサ41Bは、第3変形例に係る貫通コンデンサ41に変形を加えたものでもあるので、第3変形例に係る貫通コンデンサ41と異なる点を主に説明する。貫通コンデンサ41Bは、第1の貫通電極46が配置された層に、2つのダミー電極71を有する。
The
2つのダミー電極71は、略矩形状で、それぞれ第1の貫通電極46の両側の短側面42a側にそれぞれ配置されている。また、ダミー電極71は、第1の貫通電極46と離間して配置されている。ダミー電極71は、一辺が短側面42aに露出している。また、ダミー電極71は、短側面42aに沿った方向の寸法が、第2の貫通電極47の引き出し部47bにおける同方向の寸法と同程度で、ダミー電極71は、第2の貫通電極47の引き出し部47bと重なっている。このダミー電極71が存在することで、第2の端子電極4とコンデンサ素体42Bとの密着性が向上する。
The two
図23は、本変形例に係る貫通コンデンサの製造工程において形成される第1〜第3の電極パターンを示す模式図である。第2の電極パターン72は、一方の第1の切断線L1側の部分74が一方の第1の切断線L1を越え、他方の第1の切断線L1側の部分74が他方の第1の切断線L1を越えている。第2の電極パターン72は、隣り合う第1の切断線L1に亘って形成された部分73が第2の貫通電極47となり、部分74がダミー電極71となる。
FIG. 23 is a schematic diagram showing first to third electrode patterns formed in the manufacturing process of the feedthrough capacitor according to this modification. In the
この場合、第1の切断線L1に沿った切断が多少ずれたとしても、第2の電極パターン72は、第1の切断線L1に沿った切断により両端側が切断され、端面がグリーンチップの短側面に確実に露出する。従って、第2の貫通電極47の端面が、コンデンサ素体42の短側面42aに確実に露出して貫通電極として機能すると共に、第2の端子電極4との接続不良を防止できる。
In this case, even if the cutting along the first cutting line L1 is slightly shifted, both ends of the
また、第2の電極パターン72のうち、第1の切断線L1によって分割された端部側の部分74は、ダミー電極71として、隣のグリーンチップの第1の電極パターン56の層に残る。この端部側の部分74の端面は、コンデンサ素体42の側面に露出するので、この側面に形成される第2の端子電極4と密着し、コンデンサ素体42と第2の端子電極4との密着性を向上させることができる。
In addition, the
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、第2の電極パターン(第2の貫通電極)は、中央部の幅が端部の幅より大きいこととしたが、これに限られない。第2の電極パターンは、両側の第1の切断線L1に亘って形成されていればよく、これにより、コンデンサ素体を貫通する第2の貫通電極を形成できる。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, in the above-described embodiment, the second electrode pattern (second through electrode) has a width at the center portion larger than that at the end portion, but is not limited thereto. The 2nd electrode pattern should just be formed over the 1st cutting line L1 of both sides, and, thereby, the 2nd penetration electrode which penetrates a capacitor element body can be formed.
1,1A,1B,41,41A,41B…貫通コンデンサ、2,2A,2B,42,42A,42B…コンデンサ素体、2a…短側面、2b…長側面、3…第1の端子電極、4…第2の端子電極、6,46…第1の貫通電極、7,47…第2の貫通電極、8…誘電体層、9,49…ダミー電極、10…積層体、12…グリーンチップ、16,17,19…第1〜第3の電極パターン、16a…端部、16b…連結部分、18…グリーンシート、23…第1の電極パターン、23c…突出部、31…ダミー電極、32…第2の電極パターン、A…第1の列、B…第2の列、G1,G2…幅寸法、L1…第1の切断線、L2…第2の切断線。
1, 1A, 1B, 41, 41A, 41B ... feedthrough capacitor, 2, 2A, 2B, 42, 42A, 42B ... capacitor body, 2a ... short side surface, 2b ... long side surface, 3 ... first terminal electrode, 4 ... 2nd terminal electrode, 6, 46 ... 1st penetration electrode, 7, 47 ... 2nd penetration electrode, 8 ... Dielectric layer, 9, 49 ... Dummy electrode, 10 ... Laminated body, 12 ... Green chip,
Claims (5)
前記第1及び第2の貫通電極と前記ダミー電極となる第1〜第3の電極パターンをグリーンシート上に配列形成するパターン形成工程と、
前記第1〜第3の電極パターンが形成された複数の前記グリーンシートを積層し、積層体を得る積層工程と、
前記積層体を、互いに平行な複数の第1の切断線と前記第1の切断線に垂直で互いに平行な複数の第2の切断線とに沿って積層方向に切断し、略直方体形状の複数のグリーンチップを得る切断工程と、
前記グリーンチップに熱処理を行うことにより得られる前記コンデンサ素体に端子電極を形成する端子形成工程と、を備え、
前記パターン形成工程では、
前記第1の電極パターンが並んだ第1の列と前記第2の電極パターンが並んだ第2の列とが、前記第1の切断線に沿って交互に配列し、前記第1の列と前記第2の列との間にはそれぞれ前記第1の切断線が位置し、
前記第1の列において、隣り合う前記第2の切断線の一方から他方に亘るように、且つ、前記第1の切断線の方向に隣り合う前記第1の電極パターンの端部同士が連結して帯状になるように前記第1の電極パターンを形成し、
前記第2の列において、隣り合う前記第1の切断線の一方から他方に亘るように前記第2の電極パターンを形成し、
前記第1の電極パターンの端部同士が連結した連結部分であって、前記第2の切断線の方向に隣り合う前記連結部分同士を前記第1の切断線の方向に隣り合う前記第1の電極パターンの間を伸びてつなぐ帯状の第3の電極パターンを前記第2の切断線上に形成し、
前記第1の電極パターンは、前記第1の貫通電極の前記主部と前記引き出し部の一部とになる部分であり、前記第2の電極パターンは、前記第2の貫通電極の前記主部と前記引き出し部とになる部分であり、前記第3の電極パターンは、前記ダミー電極と前記第1の貫通電極の前記引き出し部の残部とになる部分であり、
前記積層工程では、前記第1の電極パターンと前記第2の電極パターンとが重なるように前記グリーンシートを積層し、
前記切断工程では、前記第1の切断線によって形成された前記グリーンチップの側面に、前記第3の電極パターンが切断されることにより分割された端面を露出させることを特徴とする貫通コンデンサの製造方法。 A first through electrode and a second through electrode having a main portion and a pair of lead portions that are alternately laminated and integrally formed with a dielectric layer interposed therebetween, and the same as the second through electrode. A method of manufacturing a feedthrough capacitor comprising a capacitor body having a pair of dummy electrodes disposed on both ends of one layer with the second through electrode interposed therebetween,
A pattern forming step of arranging the first and second electrode patterns serving as the first and second through electrodes and the dummy electrode on a green sheet;
A stacking step of stacking a plurality of the green sheets on which the first to third electrode patterns are formed to obtain a stack;
The stacked body is cut in the stacking direction along a plurality of first cutting lines parallel to each other and a plurality of second cutting lines perpendicular to the first cutting lines and parallel to each other. Cutting process to obtain a green chip of
A terminal forming step of forming a terminal electrode on the capacitor body obtained by performing a heat treatment on the green chip,
In the pattern forming step,
The first column in which the first electrode pattern is arranged and the second column in which the second electrode pattern is arranged are alternately arranged along the first cutting line, and the first column and The first cutting lines are respectively located between the second columns,
In the first row, the ends of the first electrode patterns adjacent to each other in the direction of the first cutting line are connected to each other so as to extend from one of the adjacent second cutting lines to the other. Forming the first electrode pattern so as to form a strip,
In the second row, the second electrode pattern is formed so as to extend from one of the adjacent first cutting lines to the other,
The connection part which the edge parts of the said 1st electrode pattern connected, Comprising: The said 1st connection part which adjoins the said connection part adjacent to the direction of the said 2nd cutting line in the direction of the said 1st cutting line Forming a strip-shaped third electrode pattern extending between the electrode patterns on the second cutting line;
The first electrode pattern is a portion that becomes the main portion of the first through electrode and a part of the lead portion, and the second electrode pattern is the main portion of the second through electrode. And the third electrode pattern is a portion that becomes the remaining portion of the lead portion of the dummy electrode and the first through electrode,
In the laminating step, the green sheets are laminated so that the first electrode pattern and the second electrode pattern overlap ,
In the cutting step, a feedthrough capacitor manufactured by exposing an end face divided by cutting the third electrode pattern to a side face of the green chip formed by the first cutting line. Method.
前記端子形成工程では、前記端子電極として、
前記第2の切断線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面に、前記第1の電極パターンを含む部分から形成された第1の貫通電極と電気的に接続するように第1の端子電極を形成すると共に、
前記第1の切断線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面に、前記第2の電極パターンを含む部分から形成された第2の貫通電極と電気的に接続するように第2の端子電極を形成し、
更に、前記第1の端子電極と前記第2の端子電極との間にショートが発生するか否かを判定することを特徴とする請求項1又は2に記載の貫通コンデンサの製造方法。 In the pattern forming step, the first electrode pattern that protrudes toward the first cutting line located on both sides of the first electrode pattern and has a protruding portion that is separated from the first cutting line is formed. And
In the terminal forming step, as the terminal electrode,
A first side electrode is formed on a side surface of the capacitor body formed by cutting along the second cutting line so as to be electrically connected to a first through electrode formed from a portion including the first electrode pattern. And forming a terminal electrode of
A second side electrode is formed on the side surface of the capacitor body formed by cutting along the first cutting line so as to be electrically connected to a second through electrode formed from a portion including the second electrode pattern. The terminal electrode of
The method of manufacturing a feedthrough capacitor according to claim 1, further comprising determining whether or not a short circuit occurs between the first terminal electrode and the second terminal electrode.
前記端子形成工程では、前記端子電極として、前記第2の切断線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面を覆うように第1の端子電極を形成し、前記第1の切断線に沿った切断により形成された前記コンデンサ素体の側面に第2の端子電極を形成することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の貫通コンデンサの製造方法。 An interval between the first cutting lines is set wider than an interval between the second cutting lines;
In the terminal forming step, a first terminal electrode is formed as the terminal electrode so as to cover a side surface of the capacitor element body formed by cutting along the second cutting line, and the first cutting line is formed. 5. The method for manufacturing a feedthrough capacitor according to claim 1, wherein a second terminal electrode is formed on a side surface of the capacitor body formed by cutting along the line.
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