JP5052882B2 - Flexible plate-shaped member supply device and electronic component mounting device - Google Patents
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Description
この発明は供給部に収納された可撓性板状部材を供給するときに、供給されたか否かを検出することができる供給装置及びその供給装置を用いた電子部品の実装装置に関する。 The present invention relates to a supply device capable of detecting whether or not a flexible plate-like member housed in a supply portion is supplied, and an electronic component mounting apparatus using the supply device.
実装装置には、可撓性板状部材としてのたとえばリードフレームに電子部品としての半導体チップ(以下、単にチップという)を実装するダイボンディング装置、リードフレームとこのリードフレームに実装されたチップとをワイヤで接続するワイヤボンディング装置などがある。 The mounting apparatus includes a die bonding apparatus for mounting a semiconductor chip (hereinafter simply referred to as a chip) as an electronic component on, for example, a lead frame as a flexible plate member, a lead frame, and a chip mounted on the lead frame. There are wire bonding devices that connect with wires.
このような実装装置は実装ヘッドを有する。実装ヘッドには実装ツールが設けられ、この実装ツールに対向する位置にはステージが配置される。 Such a mounting apparatus has a mounting head. A mounting tool is provided in the mounting head, and a stage is disposed at a position facing the mounting tool.
上記リードフレームは供給装置から取り出されて搬送レールなどからなる搬送手段に送り出される。搬送手段に送り出されたリードフレームは、この搬送手段によってステージに対向する部位に搬送位置決めされる。それによって、このリードフレームに上記実装ヘッドによってチップが実装されたり、チップとリードフレームとがワイヤによって接続される。 The lead frame is taken out from the supply device and sent out to a conveying means such as a conveying rail. The lead frame sent out to the transport means is transported and positioned at a position facing the stage by the transport means. Thereby, a chip is mounted on the lead frame by the mounting head, or the chip and the lead frame are connected by a wire.
上記供給装置は上記リードフレームを所定間隔で積層収納した供給部としての供給マガジンを有する。この供給マガジンはリードフレームを送り出す方向に沿う一端面と他端面とが開口した箱形状をなしていて、その一端面に対向して配置されたプッシャによって供給マガジンに収納されたリードフレームの一端を押圧する。それによって、リードフレームは上記供給マガジンの他端開口から上記搬送手段に送り出されて搬送されるようになっている。 The supply device has a supply magazine as a supply unit in which the lead frames are stacked and stored at a predetermined interval. This supply magazine has a box shape in which one end face and the other end face along the lead frame feeding direction are opened, and one end of the lead frame stored in the supply magazine is pushed by a pusher arranged opposite to the one end face. Press. As a result, the lead frame is sent out from the other end opening of the supply magazine to the transport means and transported.
上記供給マガジンはエレベータによって上下方向に駆動されるようになっており、最下段のリードフレームを送り出すと、たとえば高さ方向下方に所定寸法駆動され、つぎのリードフレームがプッシャに対向する高さになるよう位置決めされる。それによって、供給マガジンに積層収納された複数のリードフレームを順次送り出すことができる。 The supply magazine is driven in the vertical direction by an elevator. When the lowermost lead frame is sent out, for example, it is driven by a predetermined dimension downward in the height direction, and the next lead frame is at a height facing the pusher. Positioned to be Thereby, a plurality of lead frames stacked and stored in the supply magazine can be sent out sequentially.
上記供給マガジンから送り出されるリードフレームと搬送手段の高さや平行度が精密に一致していなかったり、先に搬送手段に送られたリードフレームが検出不良やオペレータミスなどによって搬送手段に滞留していたりすると、上記供給マガジンからプッシャによって送り出されたリードフレームを上記搬送手段に円滑に受け渡すことができなくなる。 The lead frame sent out from the supply magazine and the height and parallelism of the transport means do not match precisely, or the lead frame sent to the transport means previously stays in the transport means due to a detection failure or an operator error. Then, the lead frame sent out from the supply magazine by the pusher cannot be smoothly delivered to the transport means.
その場合、上記リードフレームが大きく湾曲変形し、損傷するということがあった。とくに、予めチップが実装されたリードフレームの場合、その損傷によって蒙るコスト的な損失が大きくなるということがある。 In that case, the lead frame may be greatly bent and damaged. In particular, in the case of a lead frame on which a chip is mounted in advance, the cost loss caused by the damage may increase.
そこで、従来、供給マガジンからリードフレームを送り出す供給装置としては、特許文献1に示されるように、プッシャをばねによって弾性的に保持し、プッシャがリードフレームを押したときに、その押す力よりも、プッシャが受ける反力が大きくなったならば、それらの差圧力によって上記ばねを変形させてプッシャを相対的に後退方向に変位させる。そして、プッシャの変位に基づいてリードフレームに送り出し不良が生じたことを検出するという機械的検出方法が用いられていた。
しかしながら、最近ではリードフレームとして0.07〜0.08mm程度の非常に薄いフィルムが用いられることがある。そのように薄くて柔らかなリードフレームの場合、プッシャによってリードフレーを押圧して送り出すようにすると、リードフレームが変形してしまうため、確実に送り出すことができないという送り出し不良が生じたり、送り出し不良によってリードフレームが変形しても、そのときの押圧力と反力との差圧力もかなり小さくなるから、リードフレームの変形を精密に検出することが困難になるということもある。 However, recently, a very thin film of about 0.07 to 0.08 mm may be used as a lead frame. In the case of such a thin and soft lead frame, if the lead frame is pressed and sent out by the pusher, the lead frame will be deformed. Even if the lead frame is deformed, the differential pressure between the pressing force and the reaction force at that time becomes considerably small, and it may be difficult to accurately detect the deformation of the lead frame.
この発明は、可撓性板状部材が薄くて変形しやすい場合であっても、確実に供給することができるばかりか、供給時に変形などによって送り出し不良が生じたならば、そのことを確実に検出できるようにした供給装置及びそれを用いた電子部品の実装装置を提供することにある。 Even if the flexible plate-like member is thin and easily deformed, the present invention can not only reliably supply it, but also reliably ensure that if a feeding failure occurs due to deformation or the like during supply. It is an object of the present invention to provide a supply device capable of detection and an electronic component mounting device using the supply device.
この発明は、可撓性板状部材を供給するための供給装置であって、
内部に上記可撓性板状部材がスライド可能に収納される供給部と、
この供給部に収納された上記可撓性板状部材の先端部を挟持して引き出す引き出し機構と、
この引き出し機構によって上記供給部から引き出される上記可撓性板状部材に回転可能に接触する回転体と、
この回転体の回転によって上記可撓性板状部材が上記供給部から引き出されたことを検出する検出手段と
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給装置にある。
This invention is a supply apparatus for supplying a flexible plate-shaped member,
A supply unit in which the flexible plate-like member is slidably stored;
A drawer mechanism for pinching and pulling out the tip of the flexible plate-like member housed in the supply unit;
A rotating body that rotatably contacts the flexible plate-like member drawn from the supply unit by the pull-out mechanism;
The flexible plate-shaped member supply apparatus includes: a detecting unit configured to detect that the flexible plate-shaped member is pulled out from the supply unit by the rotation of the rotating body.
上記引き出し機構は、上記供給部に収納された上記可撓性板状部材を挟持する開閉可能な一対のチャックと、このチャックを上記可撓性板状部材の引き出し方向に駆動する駆動機構を有するチャック機構であることが好ましい。 The drawer mechanism includes a pair of openable and closable chucks that sandwich the flexible plate member housed in the supply unit, and a drive mechanism that drives the chucks in the pulling direction of the flexible plate member. A chuck mechanism is preferred.
上記検出手段は、上記回転体が回転したか否かを上記駆動機構の作動に同期して検出することが好ましい。 It is preferable that the detection means detects whether or not the rotating body has rotated in synchronization with the operation of the drive mechanism.
上記供給部は両端面が開口し、内部に複数の上記可撓性板状部材が上下方向に所定間隔でスライド可能に収納保持され、上下駆動機構によって上下方向に駆動可能に設けられていて、上記チャック機構は上記上下駆動機構によって上下方向に対して位置決めされた上記可撓性板状部材の先端部を挟持して上記供給部から引き出すことが好ましい。 Both ends of the supply portion are open, and a plurality of the flexible plate-like members are accommodated and held in the vertical direction so as to be slidable at predetermined intervals, and are provided so as to be driven in the vertical direction by a vertical drive mechanism. It is preferable that the chuck mechanism sandwiches a leading end portion of the flexible plate member positioned in the vertical direction by the vertical drive mechanism and pulls it out from the supply portion.
この発明は、可撓性板状部材に電子部品を実装する実装装置であって、
上記可撓性板状部材を搬送する搬送手段と、
この搬送手段に上記可撓性板状部材を供給する供給装置と、
この供給装置によって搬送手段に搬送されて所定位置に位置決めされた上記可撓性板状部材に電子部品を実装する実装装置を具備し、
上記供給装置は請求項1に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置にある。
This invention is a mounting apparatus for mounting an electronic component on a flexible plate-shaped member,
Conveying means for conveying the flexible plate member;
A supply device for supplying the flexible plate-like member to the conveying means;
A mounting device for mounting an electronic component on the flexible plate-like member which is conveyed to a conveying means by the supply device and positioned at a predetermined position;
The supply apparatus is an electronic component mounting apparatus having the structure described in
この発明によれば、供給部に収納された可撓性板状部材を引き出し機構によって引き出すようにしたから、上記可撓性板状部材が薄くて変形し易い場合であっても、上記供給部から確実に引き出して供給することができる。供給部から引き出される上記可撓性板状部材には回転体が接触して回転するため、可撓性板状部材の引き出し不良が生じたときには回転体が回転しなくなるから、そのことによって可撓性板状部材の引き出し不良を確実に検出することが可能となる。 According to this invention, since the flexible plate-shaped member housed in the supply unit is pulled out by the pull-out mechanism, the supply unit can be used even when the flexible plate-shaped member is thin and easily deformed. It can be reliably pulled out from the supply. Since the flexible plate-like member drawn out from the supply unit rotates with the rotating body coming into contact with the flexible plate-like member, when the flexible plate-like member is pulled out poorly, the rotating body does not rotate. It becomes possible to reliably detect a pull-out failure of the adhesive plate member.
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1乃至図7はこの発明の一実施の形態を示し、図1は可撓性板状部材としてのリードフレーム1に電子部品としてのチップ2を実装する実装装置を示す。この実装装置は搬送機構としてのフィーダ3を有する。このフィーダ3は、一対の搬送レール4と、この搬送レール4に後述する如く供給されたリードフレーム1をこの搬送レール4に沿う矢印Xで示す方向にピッチ送りする図示しない送り機構を有する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
1 to 7 show an embodiment of the present invention. FIG. 1 shows a mounting apparatus for mounting a chip 2 as an electronic component on a
上記フィーダ3の一端側には上記リードフレーム1を供給する供給マガジン7を有する供給装置8が設けられ、他端には上記フィーダ3によって送られて途中でチップ2が後述するように実装されたリードフレーム1を回収する回収マガジン11が設けられている。各マガジン7,11はそれぞれエレベータ12によって上下方向に駆動可能になっている。
A
上記フィーダ3の中途部にはディスペンサ13と実装ツール14aを有する実装ヘッド14がリードフレーム1の送り方向に沿って順次配設されている。上記ディスペンサ13は上記リードフレーム1の上記チップ2が実装される個所に接着剤を供給する。
A
上記実装ヘッド14は、フィーダ3の上方と、このフィーダ3の側方に配置されたチップ供給部15との間を水平に往復駆動可能であるとともに、フィーダ3に対向して設けられた実装ステージ16の上方と、上記チップ供給部15の上方とで上下方向にも駆動されるようになっている。
The
上記チップ供給部15はウエハステージ17を有し、このウエハステージ17には多数のチップ2に分割された半導体ウエハ2Aが設けられる。ウエハステージ17の側方には半導体ウエハ2Aを多段に収納したウエハマガジン18が設けられている。このウエハマガジン18に収納された半導体ウエハ2Aは供給アーム19によって上記ウエハステージ17に供給されるようになっている。
The
上記供給装置8の供給マガジン7は、図2と図5に示すように長手方向の一端面と他端面とが開口した箱形状に形成されていて、一端面が上記搬送レール4に対向するよう上記エレベータ12によって図1に矢印Zで示す上下方向に駆動可能となっている。
The
上記供給マガジン7は、両側内面に長手方向全長にわたる複数の保持溝21が上下方向に所定間隔で形成されていて、同じ高さの対向する一対の保持溝21には上記リードフレーム1が幅方向の両端部をスライド可能に係合させて保持されている。
The
さらに、供給マガジン7の一端部の上下面にはU字状の凹部22が形成され、他端部には保持溝21に収納保持されたリードフレーム1の後端が当たるストッパ軸23が上下方向に設けられている。リードフレーム1の後端がストッパ軸23に当たることで、先端の位置が一致する。
Further, U-shaped
上記供給マガジン7と上記搬送レール4の一端との間には、この供給マガジン7に収納されたリードフレーム1を引き出す引き出し機構25が設けられている。この引き出し機構25は図2乃至図4に示すように搬送レール4の側方にこの搬送レール4と平行に配置された一対のガイドレール26を有する。一対のガイドレール26には可動体27が下面の幅方向両端部に設けられた受け体28を介してスライド可能に設けられている。なお、上記ガイドレール26はベース29の上面に敷設されている。
A
上記可動体27の下面の幅方向中央部には図4に示すようにナット体31が設けられている。このナット体31にはねじ軸32が螺合されている。図2に示すように上記ベース29の長手方向両端には一対の支持体29aが立設されていて、上記ねじ軸32の一端は一方の支持体29aに回転可能に支持されている。
A
他方の支持体29aには送りモータ33が設けられ、この送りモータ33の駆動軸33aに上記ねじ軸32の他端が連結されている。それによって、上記ねじ軸32が回転駆動されれば、上記可動体27は上記ガイドレール26に沿って駆動される。
なお、上記ナット体31、ねじ軸32及び送りモータ33によって後述するチャック機構を駆動する駆動機構を構成している。
The
The
図3に示すように、上記可動体27にはU字状の支持部材34が一対の側部をこの可動体27の駆動方向に離間させて立設されている。上記支持部材34の一対の側部間には上下方向に所定間隔で一対の支軸35が回動可能に架設されている。上方の支軸35には上レバー36の中途部が連結固定され、下方の支軸35には下レバー37の中途部が連結固定されている。
As shown in FIG. 3, a
一対の上下レバー36,37の一端部は、図2と図4に示すように一方の搬送レール4の上下面から幅方向に内方に突出していて、その端面には薄い板材によって上記リードフレーム1の搬送方向に沿って長く形成された、上記チャック機構を構成する上チャック38と下チャック39が取付け固定されている。
As shown in FIGS. 2 and 4, one end of the pair of upper and
上記上チャック38と下チャック39の上記供給マガジン7側に位置する先端部は、この供給マガジン7に収納されたリードフレーム1の上面側と下面側とに入り込むことができる高さ寸法に設定されている。つまり、図3に示すように上チャック38と下チャック39の先端部は箸状の挟持部38a,39aに形成されている。
The tip portions of the
図3に示すように、上記一対の上、下レバー36,37の他端部間には引張りばね41が張設されている。これら上、下レバー36,37の他端面にはそれぞれ上カムフォロア42と下カムフォロア43が回転可能に設けられている。
As shown in FIG. 3, a
一対のカムフォロア42,43間には開閉カム44が設けられている。この開閉カム44は開閉モータ45によって回転駆動される。一対のカムフォロア42,43が開閉カム44の周方向に180度の間隔で設けられた一対の上死点に位置すると、上レバー36と下レバー37が支軸35を支点として他端が図3に矢印で示す接近する方向、つまり閉じる方向に駆動され、上記上死点から周方向に90度離れた一対の下死点に位置すると、開方向に駆動される。
An opening /
それによって、これらレバー36,37の他端に設けられた上チャック38と下チャック39の先端の挟持部38a,39aが図5に鎖線で示すように供給マガジン7に入り込んだ状態で閉じる方向に駆動されれば、これらチャック38,39によって上記供給マガジン7に収容されて所定の高さに位置決めされたリードフレーム1の先端部が挟持される。
As a result, the clamping
したがって、チャック38,39がリードフレーム1の先端部を挟持した状態で送りモータ33を作動させて上記可動体27を前進方向である、リードフレーム1の送り方向に駆動すれば、そのリードフレーム1を上記供給マガジン7からフィーダ3の搬送レール4に引き出すことができる。
Therefore, if the
上記供給マガジン7から上記搬送レール4に引き出されたリードフレーム1の幅方向の一端部は、図2と図6に示すように上記チャック38,39と反対側の上記フィーダ3の幅方向の端部に配置された、検出手段を構成する下ローラ46と上ローラ47の間に入り込む。
One end portion in the width direction of the
リードフレーム1が下ローラ46と上ローラ47の間に入り込めば、これらローラ46,47が図6に矢印で示す方向に回転する。上ローラ47は回転検出器48の検出軸49に取り付けられている。回転検出器48は、検出軸49が回転することで電力が発生するようになっていて、その電力で上ローラ47がリードフレーム1によって回転させられたこと、つまりリードフレーム1が一対のチャック38,39によって供給マガジン7から引き出されたことが検出される。
When the
上記回転検出器48で発生する電力は図7に示すように検出信号として制御装置51に出力される。この制御装置51は上記送りモータ33及び開閉モータ45の駆動を制御する。
The electric power generated by the
そして、制御装置51によって、一対のチャック38,39が閉じるよう上記開閉モータ45を作動させ、さらに一対のチャック38,39が上記供給マガジン7からリードフレーム1を引き出す方向に上記送りモータ33を作動さたとき、これら各モータ45,33の作動と同期して上記回転検出器48から制御装置51に検出信号が入力されたか否かが検出される。
Then, the opening /
つまり、一対のチャック38,39の挟持部38a,39aが閉じる方向に駆動された状態で、供給マガジン7からリードフレーム1を引き出す方向に駆動動されたとき、上記制御装置51は、リードフレーム1が供給マガジン7から確実に引き出されているか否かを上記回転検出器48からの検出信号の有無によって検出する。
In other words, when the holding
このように構成された実装装置によれば、供給装置8の供給マガジン7に収納されたリードフレーム1は、引き出し機構25の一対のチャック38,39の挟持部38a,39aによって先端部を挟持して引き出すことができる。
According to the thus configured mounting apparatus, the
そのため、リードフレーム1を供給マガジン7からプッシャによって押し出す従来のようにリードフレーム1を湾曲変形させることなく、上記供給マガジン7からフィーダ3に円滑に受け渡すことができる。
Therefore, the
とくに、リードフレーム1が非常に薄いフィルム状である場合には、プッシャによって供給マガジン7から押し出すことが不可能なことがあるが、チャック38,39の挟持部38a,39aで挟持して引き出す方式によれば、リードフレーム1を供給マガジン7から湾曲させるようなことなく確実に引き出してフィーダ3に受け渡すことができる。
In particular, when the
供給マガジン7から一対のチャック38,39によって引き出されたリードフレーム1は、下ローラ46と上ローラ47との間を通り、これらローラ46,47を回転させる。上ローラ47の回転は回転検出器48によって検出され、その検出信号は制御装置51に出力される。
The
制御装置51は、回転検出器48からの検出信号が入力されたときに、チャック38,39がリードフレーム1の先端部を挟持した状態でリードフレーム1の送り方向に駆動されていれば、上記検出信号が入力されることで、リードフレーム1が供給マガジン7から引き出されていると判定する。それによって、制御装置51は実装装置の運転を停止したり、警報を出力することなく、作業を継続させる。
When the detection signal from the
すなわち、リードフレーム1の検出は、回転検出器48からの検出信号と、送りモータ33と開閉モータ45による一対のチャック38,39の駆動を同期させて検出するため、供給マガジン7からリードフレーム1を供給しようとしているときにだけ、その供給が確実に行なえたか否かが検出されることになる。
That is, the detection of the
一方、上記制御装置51によって供給マガジン7からリードフレーム1が確実に引き出されていないという判定がなされると、制御装置51は警報を出して作業者に知らせるなどして実装装置の運転を停止する。それによって、不良品の発生が最小限に抑制される。
On the other hand, when it is determined by the
上記一実施の形態では、一対のチャックはリードフレームを供給マガジンから引き出してフィーダに受け渡すようにしたが、ガイドレールに沿う一対のチャックの駆動範囲を拡大すれば、上記チャックはリードフレームを単にフィーダに受け渡すだけでなく、このフィーダに沿ってリードフレームを所望する位置まで搬送することもできる。 In the above embodiment, the pair of chucks draws the lead frame from the supply magazine and transfers it to the feeder. However, if the drive range of the pair of chucks along the guide rail is expanded, the chuck simply removes the lead frame. In addition to delivering to the feeder, the lead frame can be transported along the feeder to a desired position.
また、上記構成の引き出し機構を回収マガジンの手前に設け、搬送レールに沿って搬送されてきたリードフレームを一対のチャックで挟持し、上記回収マガジンに格納するようにしてもよい。その場合、上記引き出し機構はリードフレームを回収マガジンに格納する格納機構として利用されることになる。 In addition, the drawer mechanism having the above-described configuration may be provided in front of the collection magazine, and the lead frame conveyed along the conveyance rail may be sandwiched between a pair of chucks and stored in the collection magazine. In that case, the drawer mechanism is used as a storage mechanism for storing the lead frame in the recovery magazine.
また、リードフレームを搬送する搬送機構は、ガイドレールに代わりコンベアを用いるようにしてもよい。さらに、リードフレームを上下一対のチャックに代わって上下一対のローラで挟持し、そのローラを回転させて上記リードフレームを搬送するようにしてもよい。 Further, the transport mechanism for transporting the lead frame may use a conveyor instead of the guide rail. Further, the lead frame may be held by a pair of upper and lower rollers instead of the pair of upper and lower chucks, and the lead frame may be conveyed by rotating the rollers.
1…リードフレーム、2…チップ(電子部品)、3…フィーダ(搬送手段)、8…供給装置、16…実装ステージ、25…引き出し機構、33…送りモータ、38…上チャック、39…下チャック、46…下ローラ、47…上ローラ、48…回転検出器、51…制御装置。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
内部に上記可撓性板状部材がスライド可能に収納される供給部と、
この供給部に収納された上記可撓性板状部材の先端部を挟持して引き出す引き出し機構と、
この引き出し機構によって上記供給部から引き出される上記可撓性板状部材に回転可能に接触する回転体と、
この回転体の回転によって上記可撓性板状部材が上記供給部から引き出されたことを検出する検出手段と
を具備したことを特徴とする可撓性板状部材の供給装置。 A supply device for supplying a flexible plate-shaped member,
A supply unit in which the flexible plate-like member is slidably stored;
A drawer mechanism for pinching and pulling out the tip of the flexible plate-like member housed in the supply unit;
A rotating body that rotatably contacts the flexible plate-like member drawn from the supply unit by the pull-out mechanism;
And a detecting means for detecting that the flexible plate-like member is pulled out from the supply section by the rotation of the rotating body.
上記可撓性板状部材を搬送する搬送手段と、
この搬送手段に上記可撓性板状部材を供給する供給装置と、
この供給装置によって搬送手段に搬送されて所定位置に位置決めされた上記可撓性板状部材に電子部品を実装する実装装置を具備し、
上記供給装置は請求項1に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置。 A mounting device for mounting an electronic component on a flexible plate-shaped member,
Conveying means for conveying the flexible plate member;
A supply device for supplying the flexible plate-like member to the conveying means;
A mounting device for mounting an electronic component on the flexible plate-like member which is conveyed to a conveying means by the supply device and positioned at a predetermined position;
An electronic component mounting apparatus according to claim 1, wherein the supply apparatus has the structure described in claim 1.
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---|---|---|---|
JP2006346405A JP5052882B2 (en) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | Flexible plate-shaped member supply device and electronic component mounting device |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006346405A JP5052882B2 (en) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | Flexible plate-shaped member supply device and electronic component mounting device |
Publications (2)
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JP2008159795A JP2008159795A (en) | 2008-07-10 |
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JP2006346405A Active JP5052882B2 (en) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | Flexible plate-shaped member supply device and electronic component mounting device |
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2006
- 2006-12-22 JP JP2006346405A patent/JP5052882B2/en active Active
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