JP5050242B2 - 電力制御装置および温度調整装置における電力制御装置 - Google Patents
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Description
半導体製造ラインにおいて、シリコンウェーハを洗浄したり、液晶製造ラインにおいて液晶用ガラスを製造したりするために、純水加熱装置が採用されている。
下記特許文献1には、温度調整装置に関し、温度調整を行うために電力を制御するという発明が記載されている。
下記特許文献2には、温度調整装置に関し、電源投入時に突入電流が流れるという問題を解決するために、電源投入時に電力量を制限するという発明が記載されている。
制御パラメータの値を目標値にするための操作量を演算する操作量演算部と、
演算された操作量に対応する電力が供給されて制御パラメータが調整される制御パラメータ調整部と
を含む電力制御装置であって、
制御パラメータ調整部に供給される電力の上限値を設定する電力上限値設定部と、
設定された電力上限値を超えないように、操作量演算部で演算された操作量を補正して、温度調整部に出力する操作量補正部と
が更に設けられたこと
を特徴とする。
流体の温度の値を目標値にするための操作量を演算する操作量演算部と、
演算された操作量に対応する電力が供給されて流体の温度が調整される温度調整部と
を含む温度調整装置における電力制御装置であって、
温度調整部に供給される電力の上限値を設定する電力上限値設定部と、
設定された電力上限値を超えないように、操作量演算部で演算された操作量を補正して、温度調整部に出力する操作量補正部と
が更に設けられたこと
を特徴とする。
温度調整部は、供給される電力に応じて加熱若しくは冷却若しくは加熱および冷却を行う温度調整手段を含んで構成され、
流体の流路に沿って、複数の温度調整手段が設けられ、流体の流路のうち、複数の温度調整手段の下流に設けられた温度検出部で検出された温度に基づいて、流体の温度の値を目標値にする温度調整装置における電力制御装置であって、
電力上限値設定部で、電力制限値が設定された場合に、流体の流路の上流側に位置する温度調整手段から順に、操作量が制限されるように操作量を補正すること
を特徴とする。
Claims (3)
- 複数のランプの加熱によって流体の温度の値を目標値にするための操作量を演算する操作量演算部と、
脱着自在の前記複数のランプを備え、前記操作量演算部で演算された操作量に対応する電力が前記複数のランプに供給されて流体の温度が調整される温度調整部と、
前記複数のランプへの電流通電箇所の断線を検出して、断線検出時に断線エラーを示す信号を出力する
断線検出手段と
を含む温度調整装置における電力制御装置であって、
前記複数のランプの合計の消費最大電力を超えない任意の電力値を、前記温度調整部に供給される電力の上限値として設定する電力上限値設定部と、
設定された電力上限値に対応する操作量となるように、前記操作量演算部で演算された操作量を補正して、前記温度調整部に出力する操作量補正部とが更に設けられたこと
を特徴とする電力制御装置。 - 前記温度調整部は、流体の流路に沿って、互いに離間して配置された複数の温度調整手段からなり、
前記複数の温度調整手段には、それぞれ前記ランプが設けられていること
を特徴とする請求項1記載の電力制御装置。 - 流体の温度の値を目標値にするための操作量を演算する操作量演算部と、
演算された操作量に対応する電力が供給されて流体の温度が調整される温度調整部と
を含み、
温度調整部は、供給される電力に応じて加熱若しくは冷却若しくは加熱および冷却を行う温度調整手段を含んで構成され、
流体の流路に沿って、互いに離間して、複数の温度調整手段が設けられ、流体の流路のうち、複数の温度調整手段の下流に設けられた温度検出部で検出された温度に基づいて、流体の温度の値を目標値にする温度調整装置における電力制御装置であって、
温度調整部に供給される電力の上限値を設定する電力上限値設定部と、
設定された電力上限値を超えないように、操作量演算部で演算された操作量を補正して、温度調整部に出力する操作量補正部と
が更に設けられ
電力上限値設定部で、電力制限値が設定された場合に、流体の流路の上流側に位置する温度調整手段から順に、操作量が制限されるように操作量を補正すること
を特徴とする温度調整装置における電力制御装置。
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JP2007156248A JP5050242B2 (ja) | 2007-06-13 | 2007-06-13 | 電力制御装置および温度調整装置における電力制御装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3919962B2 (ja) * | 1999-01-25 | 2007-05-30 | 小松エレクトロニクス株式会社 | 流体温度制御装置 |
JP2002136937A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-14 | Kirin Beverage Corp | 小口径チューブ内壁面洗浄機 |
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2007
- 2007-06-13 JP JP2007156248A patent/JP5050242B2/ja active Active
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