JP5045015B2 - Method for producing copper formate, method for producing copper particles, and method for producing wiring board - Google Patents

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Description

本発明は、ギ酸銅の製造方法、銅粒子の製造方法および配線基板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing copper formate, a method for producing copper particles, and a method for producing a wiring board.

近年、金属ナノ粒子を含む機能性液体材料が注目されている。特に、銀ナノ粒子よりもコスト面で有利な銅ナノ粒子を用いた材料が注目されている。
一般に、銅ナノ粒子の出発材料としてはギ酸銅が使用されている。このようなギ酸銅は、例えば、炭酸第二銅や水酸化第二銅等と、ギ酸またはギ酸メチルとの酸塩基反応に基づいて製造されている(例えば、特許文献1)。
In recent years, functional liquid materials containing metal nanoparticles have attracted attention. In particular, materials using copper nanoparticles that are more advantageous in terms of cost than silver nanoparticles have attracted attention.
In general, copper formate is used as a starting material for copper nanoparticles. Such copper formate is produced based on an acid-base reaction of, for example, cupric carbonate or cupric hydroxide with formic acid or methyl formate (for example, Patent Document 1).

しかしながら、このような方法では、炭酸第二銅や水酸化第二銅等にナトリウムやカリウムなどのアルカリ金属といった不純物が含まれているため、ギ酸銅の純度という点で問題がある。また、上記方法は、必ずしも簡便な方法とはいえず、コスト面においても問題がある方法である。
そのため、ワンステップで簡便に高純度のギ酸銅を製造することが求められている。
However, such a method has a problem in terms of the purity of copper formate, because cupric carbonate, cupric hydroxide, and the like contain impurities such as alkali metals such as sodium and potassium. Moreover, the said method is not necessarily a simple method, and is a method with a problem also in cost.
Therefore, it is required to easily produce high purity copper formate in one step.

米国特許第5093510号公報US Pat. No. 5,093,510

本発明の目的は、効率よくギ酸銅を製造する方法、その方法を用いて銅粒子を製造する方法、当該銅粒子を分散させた液体材料を用いた配線基板の製造方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method for efficiently producing copper formate, a method for producing copper particles using the method, and a method for producing a wiring board using a liquid material in which the copper particles are dispersed. .

このような目的は、下記の本発明により達成される。 Such an object is achieved by the present invention described below .

本発明のギ酸銅の製造方法は、ギ酸と酸化剤とを反応させて過ギ酸を得る第1の工程と、
前記過ギ酸と銅を反応させてギ酸銅を得る第2の工程とを有することを特徴とする。
これにより、過ギ酸を製造した後、過ギ酸と銅を反応させるため、より確実かつ収率よくギ酸銅を得ることができる。また、第1工程の反応液をそのまま第2工程に使用することができるため、安価な材料からワンポットで簡便に生産性よくギ酸銅を得ることができる。さらに、第1の工程で得られた過ギ酸を蒸留精製して第2の工程に使用すれば、より不純物の少ないギ酸銅を得ることができる。
The method for producing copper formate of the present invention comprises a first step of obtaining formic acid by reacting formic acid with an oxidizing agent;
It has the 2nd process of making the said formic acid and copper react and obtaining copper formate.
Thereby, after manufacturing a formic acid, since a formic acid and copper are made to react, copper formate can be obtained more reliably and with a sufficient yield. Moreover, since the reaction liquid of a 1st process can be used for a 2nd process as it is, copper formate can be easily obtained with low productivity from a cheap material with one pot. Furthermore, if the formic acid obtained in the first step is purified by distillation and used in the second step, copper formate with fewer impurities can be obtained.

本発明のギ酸銅の製造方法では、前記銅は、その純度が99%以上の銅であることが好ましい。
これにより、高純度のギ酸銅を得ることができる。
本発明のギ酸銅の製造方法では、前記酸化剤は、過ギ酸、過酸化水素、オゾンまたは一重項酸素であることが好ましい。
これにより、酸化力が強い酸化剤であるため、確実に銅を2価の銅に酸化することができ、確実かつ収率よくギ酸銅を得ることができる。また、ギ酸を酸化して過ギ酸を生成させることもできるため、当該過ギ酸と酸化剤でより確実に銅を2価の銅に酸化することができる。さらに、炭素、水素または酸素のみで構成される酸化剤を用いているため、環境を汚染することなく、不純物も少ないギ酸銅を得ることができる。
In the method for producing copper formate of the present invention, the copper is preferably copper having a purity of 99% or more.
Thereby, high purity copper formate can be obtained.
In the method for producing copper formate according to the present invention, the oxidizing agent is preferably formic acid, hydrogen peroxide, ozone or singlet oxygen.
Thereby, since it is an oxidizing agent with strong oxidizing power, copper can be reliably oxidized to divalent copper, and copper formate can be obtained reliably and in a high yield. Moreover, since formic acid can be oxidized to produce performic acid, copper can be more reliably oxidized to divalent copper with the formic acid and the oxidizing agent. Furthermore, since an oxidizing agent composed only of carbon, hydrogen or oxygen is used, copper formate with less impurities can be obtained without polluting the environment.

本発明のギ酸銅の製造方法では、本発明のギ酸銅の製造方法により得られるギ酸銅は、銅粒子製造用のものであることが好ましい。
これにより、高純度、高品質の銅粒子を得ることができる。
本発明の銅粒子の製造方法は、本発明のギ酸銅の製造方法によりギ酸銅を得る第1の工程と、
前記ギ酸銅を脂肪族アミンに溶解することにより下記一般式(1)

Figure 0005045015
(式中、Cuは2価の銅、RおよびRはそれぞれ置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基を示す。)
で表されるギ酸銅錯体を製造する第2の工程と、
前記ギ酸銅錯体の前記2価の銅が0価の銅に還元されるとともに、前記ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化されるように、前記ギ酸銅錯体を分解することにより銅粒子を製造する第3の工程とを有することを特徴とする。
これにより、各工程の生成物を単離することなく次工程に進むことができるため、極めて簡便かつ収率よく銅粒子を得ることができる。また、安価な材料を用いているため、低コストで銅粒子を得ることができる。さらに、修飾剤として脂肪族のアミンを用いているため、均一な粒径の銅粒子を得ることができる。 In the method for producing copper formate according to the present invention, the copper formate obtained by the method for producing copper formate according to the present invention is preferably for producing copper particles.
Thereby, high purity and high quality copper particles can be obtained.
The method for producing copper particles of the present invention includes a first step of obtaining copper formate by the method for producing copper formate of the present invention,
By dissolving the copper formate in an aliphatic amine, the following general formula (1)
Figure 0005045015
(In the formula, Cu represents divalent copper, and R 1 and R 2 each represents an aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent.)
A second step of producing a copper formate complex represented by:
The copper formate is produced by decomposing the copper formate complex so that the divalent copper of the copper formate complex is reduced to zero-valent copper and the formic acid ligand is oxidized to carbon dioxide. And a third step.
Thereby, since it can progress to a next process, without isolating the product of each process, a copper particle can be obtained very simply and with a sufficient yield. Moreover, since an inexpensive material is used, copper particles can be obtained at low cost. Furthermore, since an aliphatic amine is used as the modifier, copper particles having a uniform particle size can be obtained.

本発明の銅粒子の製造方法では、前記ギ酸銅錯体の分解は、前記ギ酸銅錯体の分解温度付近までまたは当該分解温度以上に加熱することにより行われることが好ましい。
これにより、確実にギ酸銅錯体が分解されるため、確実に銅粒子を得ることができる。
本発明の銅粒子の製造方法では、前記ギ酸銅錯体の加熱温度は、70〜200℃であることが好ましい。
これにより、より確実にギ酸銅錯体が分解されるため、より確実に銅粒子を得ることができる。
In the method for producing copper particles of the present invention, the decomposition of the copper formate complex is preferably performed by heating to near the decomposition temperature of the copper formate complex or higher than the decomposition temperature.
Thereby, since a copper formate complex is decomposed | disassembled reliably, a copper particle can be obtained reliably.
In the method for producing copper particles of the present invention, the heating temperature of the copper formate complex is preferably 70 to 200 ° C.
Thereby, since a copper formate complex is decomposed | disassembled more reliably, a copper particle can be obtained more reliably.

本発明の配線基板の製造方法は、本発明の銅粒子の製造方法で製造された銅粒子を分散媒に分散させて液体材料を形成する液体材料形成工程と、
前記液体材料を基板に塗布する塗布工程と、
前記塗布工程の後、前記基板に熱処理を施し前記基板上に配線を形成する熱処理工程と、を有する。
これにより、信頼性の高い配線基板が得られる。
The method for producing a wiring board of the present invention includes a liquid material forming step of forming a liquid material by dispersing the copper particles produced by the method for producing copper particles of the present invention in a dispersion medium,
An application step of applying the liquid material to a substrate;
After the coating step, there is a heat treatment step of performing a heat treatment on the substrate to form a wiring on the substrate.
Thereby, a highly reliable wiring board is obtained.

以下、本発明のギ酸銅の製造方法、銅粒子の製造方法、配線基板の製造方法の好適実施形態について詳細に説明する。
<ギ酸銅の製造方法>
本発明のギ酸銅の製造方法は、例えば、ギ酸と、銅と、酸化剤とを反応させることによりギ酸銅を得る方法である。これにより、酸化剤により銅が酸化され、酸化された銅がギ酸と反応することで簡便に収率よくギ酸銅を得ることができる。また、酸化剤によりギ酸が酸化され、酸化されたギ酸(過ギ酸)により銅が酸化される。そして、当該酸化された銅が、反応系中のギ酸および/または過ギ酸の還元によって生成したギ酸と反応することで簡便に収率よくギ酸銅を得ることができる。
Hereinafter, preferred embodiments of a method for producing copper formate, a method for producing copper particles, and a method for producing a wiring board according to the present invention will be described in detail.
<Method for producing copper formate>
The method for producing copper formate of the present invention is, for example, a method for obtaining copper formate by reacting formic acid, copper, and an oxidizing agent. Thus, copper is oxidized by the oxidizing agent, and the oxidized copper reacts with formic acid, whereby copper formate can be easily obtained with a high yield. Further, formic acid is oxidized by the oxidizing agent, and copper is oxidized by the oxidized formic acid (performic acid). The oxidized copper reacts with formic acid generated by reduction of formic acid and / or performic acid in the reaction system, so that copper formate can be easily obtained with a high yield.

ここで、反応に用いられるギ酸は、1当molの銅に対して、2〜500mol用いることが好ましく、3〜100mol用いることがより好ましい。このような範囲のギ酸を用いることにより、酸化した銅を十分に溶解・反応するため、確実にギ酸銅を得ることができる。
反応に用いられる銅は、金属の銅であり、その価数は0価である。かかる銅は、高純度の銅であることが好ましい。具体的には、99%以上が好ましく、99.5%以上がより好ましい。このような高純度の銅を用いることで、高純度のギ酸銅を得ることができる。また、かかるギ酸銅を用いれば、高純度の銅粒子を製造することもできる。これらの効果は、99.5%以上の純度の銅を用いることで顕著に得られる。
Here, the formic acid used in the reaction is preferably used in an amount of 2 to 500 mol, more preferably 3 to 100 mol, per 1 mol of copper. By using formic acid in such a range, oxidized copper is sufficiently dissolved and reacted, so that copper formate can be obtained reliably.
Copper used for the reaction is metallic copper, and its valence is zero. Such copper is preferably high-purity copper. Specifically, 99% or more is preferable, and 99.5% or more is more preferable. By using such high purity copper, high purity copper formate can be obtained. Moreover, if this copper formate is used, a highly purified copper particle can also be manufactured. These effects are remarkably obtained by using copper having a purity of 99.5% or more.

また、反応に用いられる銅は、粉末状であることが好ましい。具体的には、平均粒径が0.5〜20μmであることが好ましく、1〜5μmであることがより好ましい。このような範囲の平均粒径を用いることにより、より効率的に酸化剤と反応するため、確実にギ酸銅を得ることができる。
このような銅は、2当量の酸化剤に対して、0.1〜0.9mol用いることが好ましく、0.2〜0.8mol用いることがより好ましい。このような範囲の銅を用いることにより、酸化剤と確実に反応するため、確実にギ酸銅を得ることができる。
Moreover, it is preferable that the copper used for reaction is a powder form. Specifically, the average particle size is preferably 0.5 to 20 μm, and more preferably 1 to 5 μm. By using an average particle diameter in such a range, it reacts with the oxidizing agent more efficiently, so that copper formate can be reliably obtained.
Such copper is preferably used in an amount of 0.1 to 0.9 mol, more preferably 0.2 to 0.8 mol, with respect to 2 equivalents of oxidizing agent. By using copper in such a range, since it reacts reliably with an oxidizing agent, copper formate can be reliably obtained.

反応に用いられる酸化剤は、特に限定されないが、銅を酸化する場合には、酸化力が強い酸化剤であることが好ましい。これにより、確実に0価の銅を2価の銅にすることができるため、確実に収率よくギ酸銅を得ることができる。
このような酸化力が強い酸化剤は、例えば、過ギ酸、オゾンまたは一重項酸素などが挙げられる。このうち、過ギ酸が好ましい。これにより、確実に0価の銅を2価の銅にすることができる。また、過ギ酸自体がギ酸に還元されるため、銅と酸化剤である過ギ酸のみで効率的にギ酸銅を得ることもできる。さらに、ギ酸を酸化するのみで過ギ酸が得られるので、低コストかつ簡便に過ギ酸を得ることができる。
Although the oxidizing agent used for reaction is not specifically limited, When oxidizing copper, it is preferable that it is an oxidizing agent with strong oxidizing power. Thereby, since 0 valent copper can be reliably made into bivalent copper, copper formate can be obtained with sufficient yield.
Examples of such an oxidizing agent having a strong oxidizing power include performic acid, ozone, singlet oxygen, and the like. Of these, performic acid is preferred. Thereby, 0 valence copper can be reliably changed to divalent copper. Moreover, since formic acid itself is reduced to formic acid, copper formate can be efficiently obtained only with copper and formic acid which is an oxidizing agent. Furthermore, since performic acid can be obtained only by oxidizing formic acid, it can be obtained easily at low cost.

ギ酸を酸化する場合には、前記酸化力が強い酸化剤の他、過酸化水素、オゾン、一重項酸素などが挙げられる。このうち、水素と酸素で構成される過酸化水素が好ましい。これにより、反応によって生成される生成物が水素、酸素または水であるため、環境に配慮した反応にすることができる。
このような酸化剤は、1当molの銅に対して、2.2〜20当量を用いることが好ましく、2.5〜10当量を用いることがより好ましい。このような範囲の酸化剤を用いることにより、確実に収率よく銅をまたはギ酸を酸化することができるため、確実にギ酸銅を得ることができる。
In the case of oxidizing formic acid, hydrogen peroxide, ozone, singlet oxygen and the like are mentioned in addition to the oxidizing agent having strong oxidizing power. Of these, hydrogen peroxide composed of hydrogen and oxygen is preferred. Thereby, since the product produced | generated by reaction is hydrogen, oxygen, or water, it can be set as the reaction in consideration of the environment.
Such an oxidizing agent is preferably used in an amount of 2.2 to 20 equivalents, more preferably 2.5 to 10 equivalents, per 1 mol of copper. By using an oxidizing agent in such a range, it is possible to reliably oxidize copper or formic acid with a high yield, so that copper formate can be reliably obtained.

ギ酸と、銅と、酸化剤とを反応させる時間は、0.5〜30時間が好ましく、1〜15時間がより好ましい。このような範囲の反応時間で反応を行うことにより、銅が2価の銅に酸化され、確実に収率よくギ酸銅を得ることができる。
また、ギ酸と、銅と、酸化剤とを反応させる温度は、0〜40℃が好ましく、0〜20℃がより好ましい。このような範囲の反応時間で反応を行うことにより、銅が2価の銅に酸化され、確実に収率よくギ酸銅を得ることができる。また、過ギ酸などの不安定な酸化剤が反応系中で安定に存在することができ、再現性よく銅を酸化することができる。
The time for reacting formic acid, copper, and oxidizing agent is preferably 0.5 to 30 hours, and more preferably 1 to 15 hours. By carrying out the reaction within such a reaction time, copper is oxidized to divalent copper, and copper formate can be obtained with good yield.
Moreover, 0-40 degreeC is preferable and, as for the temperature which makes formic acid, copper, and an oxidizing agent react, 0-20 degreeC is more preferable. By carrying out the reaction within such a reaction time, copper is oxidized to divalent copper, and copper formate can be obtained with good yield. Moreover, unstable oxidizing agents such as performic acid can be stably present in the reaction system, and copper can be oxidized with good reproducibility.

また、ギ酸と、銅と、酸化剤とを反応させる雰囲気は、通常常圧下で行われるが、例えば、50〜200kPaの圧力下でも行われる。常圧よりも加圧下で反応を行えば、反応を促進することができる。また、常圧よりも減圧下で反応を行えば、反応速度を調整することができる。
なお、ギ酸と、銅と、酸化剤との反応は、ギ酸、銅、酸化剤のそれぞれを同時に反応容器に入れてもよく、任意の順番で反応容器に入れてもよい。
Moreover, although the atmosphere which makes formic acid, copper, and an oxidizing agent react is normally performed under a normal pressure, it is performed also under the pressure of 50-200 kPa, for example. The reaction can be promoted by carrying out the reaction under pressure rather than normal pressure. The reaction rate can be adjusted by carrying out the reaction under a reduced pressure rather than the normal pressure.
In addition, reaction of formic acid, copper, and an oxidizing agent may put formic acid, copper, and an oxidizing agent simultaneously in a reaction container, and may put them in a reaction container in arbitrary orders.

このようなギ酸銅の製造方法は、ギ酸中、銅が2価の銅に酸化されるように銅と酸化剤とを反応させることが好ましい。これにより、確実に0価の銅が2価の銅に酸化され、その銅がギ酸と反応することにより、効率的にギ酸銅を得ることができる。また、銅と酸化剤との反応による2価の銅の生成、当該2価の銅とギ酸との反応によるギ酸銅の製造が、同一の反応系内で行われるため、極めて簡便かつ短時間に収率よくギ酸銅を得ることができる。   In such a method for producing copper formate, it is preferable to react copper and an oxidizing agent so that copper is oxidized to divalent copper in formic acid. As a result, zero-valent copper is reliably oxidized to divalent copper, and the copper reacts with formic acid, whereby copper formate can be obtained efficiently. Moreover, since the production of divalent copper by the reaction of copper and an oxidizing agent and the production of copper formate by the reaction of the divalent copper and formic acid are carried out in the same reaction system, it is extremely simple and quick. Copper formate can be obtained with good yield.

なお、この場合の酸化剤は、前述したとおりの酸化力の強い酸化剤を用いることが好ましい。
また、本発明のギ酸銅の製造方法は、例えば、下記式に示すように、ギ酸と酸化剤とを反応させて過ギ酸を製造する第1の工程と、前記過ギ酸と銅をギ酸中で反応させてギ酸銅を製造する第2の工程とを有する方法で行うこともできる。これにより、過ギ酸を製造した後、過ギ酸と銅を反応させることから、より確実にギ酸銅を得ることができる。また、第1工程の反応液をそのまま第2工程に使用することができるため、ワンポットで簡便に収率よくギ酸銅を得ることができる。さらに、第1の工程で得られた過ギ酸を蒸留精製して第2の工程に使用すれば、より不純物の少ないギ酸銅を得ることができる。また、安価な材料を用いているため、低コストにギ酸銅を得ることができる。
In this case, it is preferable to use an oxidizing agent having a strong oxidizing power as described above.
The method for producing copper formate according to the present invention includes, for example, a first step of producing formic acid by reacting formic acid and an oxidizing agent as shown in the following formula; and the formic acid and copper in formic acid. It can also carry out by the method of having made it react and the 2nd process of manufacturing copper formate. Thereby, after manufacturing a formic acid, since a formic acid and copper are made to react, copper formate can be obtained more reliably. Moreover, since the reaction liquid of a 1st process can be used for a 2nd process as it is, copper formate can be obtained with a sufficient yield simply by one pot. Furthermore, if the formic acid obtained in the first step is purified by distillation and used in the second step, copper formate with fewer impurities can be obtained. Moreover, since an inexpensive material is used, copper formate can be obtained at low cost.

Figure 0005045015
Figure 0005045015

なお、この場合の酸化剤は、ギ酸を過ギ酸に酸化できれば、特に限定されない。例えば、前述した酸化力の強い酸化剤や酸化力の弱い酸化剤が挙げられる。
また、第1工程および第2工程の反応時間、反応温度、反応雰囲気は、それぞれ、前記説明した、ギ酸と、銅と、酸化剤とを反応させる時間、温度、雰囲気と同様である。
以上のような方法により得られるギ酸銅は、従来よりも極めて簡便に製造することができるため、ギ酸銅を含有する各種材料のコストダウンを実現することができる。
また、本発明により得られるギ酸銅は、後述する銅粒子の製造に用いられる他、プール用の防腐剤、含そう薬の活性成分、金属インクの材料などに用いることができる。
The oxidizing agent in this case is not particularly limited as long as it can oxidize formic acid to performic acid. For example, the oxidizing agent having a strong oxidizing power and the oxidizing agent having a weak oxidizing power described above can be used.
The reaction time, reaction temperature, and reaction atmosphere in the first step and the second step are the same as the time, temperature, and atmosphere in which formic acid, copper, and the oxidizing agent are reacted as described above.
Since the copper formate obtained by the above method can be manufactured much more easily than before, the cost of various materials containing copper formate can be reduced.
Moreover, the copper formate obtained by this invention can be used for the manufacture of the copper particle mentioned later, the antiseptic | preservative for pools, the active ingredient of a mouthwash, the material of a metal ink, etc.

<銅粒子>
次に、銅粒子の製造方法について説明するが、その前に本発明の銅粒子の製造方法により製造される銅粒子について説明する。
図1は、本発明の銅粒子を示す模式図である。
図1に示すように、本発明の銅粒子10は、0価の銅で構成される粒状の核11の表面に、脂肪族アミン12が結合(被覆)してなるものである。この脂肪族アミン12は、銅を核11側にして、核11の表面に結合している。これにより、銅粒子10同士が凝集するのを防止することができ、銅粒子10が安定して存在することができる。
ここで、本発明の銅粒子10は、その平均粒径(図1中、長さD)が0.5〜120nm程度、好ましくは1〜20nm程度のものを言う。平均粒径がこのような範囲の大きさであるため、銅微粒子ともいう。
<Copper particles>
Next, although the manufacturing method of a copper particle is demonstrated, the copper particle manufactured by the manufacturing method of the copper particle of this invention is demonstrated before that.
FIG. 1 is a schematic view showing the copper particles of the present invention.
As shown in FIG. 1, the copper particle 10 of the present invention is formed by bonding (coating) an aliphatic amine 12 to the surface of a granular nucleus 11 composed of zero-valent copper. The aliphatic amine 12 is bonded to the surface of the nucleus 11 with copper as the nucleus 11 side. Thereby, it can prevent that the copper particles 10 aggregate, and the copper particle 10 can exist stably.
Here, the copper particle 10 of the present invention has an average particle diameter (length D in FIG. 1) of about 0.5 to 120 nm, preferably about 1 to 20 nm. Since the average particle size is in this range, it is also called copper fine particles.

<銅粒子の製造方法>
次に、銅粒子の製造方法について詳細に説明する。
本発明の銅粒子10の製造方法は、例えば、上記ギ酸銅の製造方法によりギ酸銅を得る第1の工程と、
前記ギ酸銅を脂肪族アミンに溶解することにより下記一般式(1)
<Method for producing copper particles>
Next, the manufacturing method of a copper particle is demonstrated in detail.
The method for producing the copper particles 10 of the present invention includes, for example, a first step of obtaining copper formate by the method for producing copper formate,
By dissolving the copper formate in an aliphatic amine, the following general formula (1)

Figure 0005045015
(式中、Cuは2価の銅、RおよびRはそれぞれ置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基を示す。)
で表されるギ酸銅錯体を製造する第2の工程と、
前記ギ酸銅錯体の前記2価の銅が0価の銅に還元されるとともに、前記ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化されるように、前記ギ酸銅錯体を分解することにより銅粒子10を製造する第3の工程とを有する方法である。これにより、安価な材料から簡便に銅粒子10を得ることができる。また、各工程の生成物を単離することなく次工程に使用することができるため、極めて簡便かつ高収率に銅粒子10を得ることができる。また、修飾剤として脂肪族アミンを用いているため、均一な粒径の銅粒子10を得ることができる。
Figure 0005045015
(In the formula, Cu represents divalent copper, and R 1 and R 2 each represents an aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent.)
A second step of producing a copper formate complex represented by:
The copper particles 10 are produced by decomposing the copper formate complex so that the divalent copper of the copper formate complex is reduced to zero-valent copper and the formic acid ligand is oxidized to carbon dioxide. And a third step. Thereby, the copper particle 10 can be easily obtained from an inexpensive material. Moreover, since it can use for the following process, without isolating the product of each process, the copper particle 10 can be obtained very simply and with a high yield. Moreover, since the aliphatic amine is used as a modifier, the copper particle 10 of a uniform particle size can be obtained.

(第1の工程)
第1の工程は、上記ギ酸銅の製造方法によりギ酸銅を得る工程である。これにより、高純度のギ酸銅を安価な材料から簡便に収率よく製造することができる。なお、本工程の詳細は、前述したとおりであるため、省略する。
(第2の工程)
第2の工程は、第1の工程で得られたギ酸銅を脂肪族アミンに溶解することにより下記一般式(1)
(First step)
A 1st process is a process of obtaining copper formate by the said manufacturing method of copper formate. Thereby, high-purity copper formate can be easily produced from an inexpensive material with a high yield. Note that the details of this step are as described above, and will be omitted.
(Second step)
In the second step, the following general formula (1) is obtained by dissolving the copper formate obtained in the first step in an aliphatic amine.

Figure 0005045015
(式中、Cuは2価の銅、RおよびRはそれぞれ置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基を示す。)で表されるギ酸銅錯体を得る工程である。
Figure 0005045015
In the formula, Cu is a divalent copper, and R 1 and R 2 are each an aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent.

一般に、ギ酸銅は水に溶解するが、疎水性の有機溶媒に溶解しないことが知られている。そのため、ギ酸銅を用いて反応を行う場合、水やアルコールなどの親水性溶媒が反応溶媒として用いられている。しかしながら、本発明者らは、ギ酸銅錯体の簡易な製造方法を検討した結果、驚くべきことにギ酸銅が疎水性である脂肪族アミンに溶解することを見出した。そして、これにより、反応溶媒を用いないでギ酸銅錯体を簡易に製造する方法を完成するに至った。   In general, it is known that copper formate dissolves in water but does not dissolve in hydrophobic organic solvents. Therefore, when performing reaction using copper formate, hydrophilic solvents, such as water and alcohol, are used as a reaction solvent. However, as a result of studying a simple method for producing a copper formate complex, the present inventors have surprisingly found that copper formate dissolves in an aliphatic amine that is hydrophobic. And it came to complete the method of manufacturing a copper formate complex simply without using a reaction solvent by this.

すなわち、一般式(1)で表される本発明のギ酸銅錯体は、例えば、ギ酸銅を脂肪族アミンに溶解することにより得ることができる。これにより、溶解操作のみで一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を得ることができるので、極めて簡便に一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を得ることができる。
ここで、本工程で用いられるギ酸銅は、前記第1の工程で得られるものであり、無水ギ酸銅、ギ酸銅の水和物を含むものである。無水ギ酸銅を用いる場合には、第1の工程で得られたギ酸銅を乾燥させることにより得ることができる。これにより、適切に脂肪族アミンとの反応が進行し、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を確実に得ることができる。
That is, the copper formate complex of the present invention represented by the general formula (1) can be obtained, for example, by dissolving copper formate in an aliphatic amine. Thereby, since the copper formate complex represented by the general formula (1) can be obtained only by the dissolving operation, the copper formate complex represented by the general formula (1) can be obtained very simply.
Here, the copper formate used in this step is obtained in the first step, and includes anhydrous copper formate and copper formate hydrate. When using anhydrous copper formate, it can be obtained by drying the copper formate obtained in the first step. Thereby, reaction with an aliphatic amine advances appropriately and the copper formate complex represented by General formula (1) can be obtained reliably.

反応に用いられるギ酸銅の量は、2当molの脂肪族アミンに対して、0.1〜0.9当molが好ましく、0.2〜0.5当molがより好ましい。これにより、脂肪族アミンとの反応が確実に進行するため、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を確実に得ることができる。
一方、本工程で用いられる脂肪族アミンは、炭素数4〜20の脂肪族アミンが好ましく、6〜20のものがより好ましい。炭素数を6〜20とすることで、炭素鎖が長くなるため、一般式(1)で表される安定なギ酸銅錯体を得ることができる。
The amount of copper formate used in the reaction is preferably from 0.1 to 0.9 equivalent mol, more preferably from 0.2 to 0.5 equivalent mol, relative to 2 equivalent mol of the aliphatic amine. Thereby, since reaction with an aliphatic amine advances reliably, the copper formate complex represented by General formula (1) can be obtained reliably.
On the other hand, the aliphatic amine used in this step is preferably an aliphatic amine having 4 to 20 carbon atoms, more preferably 6 to 20 carbon atoms. By setting the number of carbon atoms to 6 to 20, the carbon chain becomes long, so that a stable copper formate complex represented by the general formula (1) can be obtained.

また、かかる脂肪族アミンは、飽和または不飽和の脂肪族アミンのいずれであってもよいが、飽和の脂肪族アミンが好ましい。これにより、脂肪族アミンが不飽和結合を有さないので、副反応などを起こすことなく、確実に一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を得ることができる。
また、かかる脂肪族アミンは、1級アミンまたは2級アミンのいずれであってもよいが、1級アミンが好ましい。これにより、ギ酸銅が脂肪族アミンに溶解し、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を簡便に得ることができる。また、アミン同士の立体障害を防止または低減することができるため、一般式(1)で表される安定なギ酸銅錯体を得ることができる。さらに、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を分解して得られる銅粒子10も、同様に安定なものが得られ、均一な粒径のものが得られる。
The aliphatic amine may be either a saturated or unsaturated aliphatic amine, but is preferably a saturated aliphatic amine. Thereby, since an aliphatic amine does not have an unsaturated bond, the copper formate complex represented by General formula (1) can be obtained reliably, without causing a side reaction or the like.
The aliphatic amine may be either a primary amine or a secondary amine, but a primary amine is preferable. Thereby, copper formate melt | dissolves in an aliphatic amine, and the copper formate complex represented by General formula (1) can be obtained simply. Moreover, since the steric hindrance between amines can be prevented or reduced, a stable copper formate complex represented by the general formula (1) can be obtained. Further, the copper particles 10 obtained by decomposing the copper formate complex represented by the general formula (1) are similarly stable and have a uniform particle size.

このような脂肪族アミンとしては、例えば、次のようなものが挙げられる。
1級アミンとしては、例えば、ブチルアミン、ヘキシルアミン、オクチルアミン、デシルアミン、トリデシルアミン、ヘキサデシルアミン、ノナデシルアミン、1−ドデセニルアミン、2−ドデシニルアミンなどが挙げられる。
2級アミンとしては、例えば、ジプロピルアミン、ジブチルアミン、ジアミルアミン、ジヘキシルアミン、ジオクチルアミン、ジデチルアミン、ジドデシルアミン、ジテトラデシルアミン、ジヘキサデシルアミンなどが挙げられる。
Examples of such aliphatic amines include the following.
Examples of the primary amine include butylamine, hexylamine, octylamine, decylamine, tridecylamine, hexadecylamine, nonadecylamine, 1-dodecenylamine, 2-dodecynylamine and the like.
Examples of the secondary amine include dipropylamine, dibutylamine, diamylamine, dihexylamine, dioctylamine, didecylamine, didodecylamine, ditetradecylamine, and dihexadecylamine.

反応に用いられる脂肪族アミンの量は、1当molのギ酸銅に対して、2.2〜20当molが好ましく、4〜10当molがより好ましい。これにより、ギ酸銅との反応が確実に進行するため、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を確実に得ることができる。
このようなギ酸銅の脂肪族アミンへの溶解は、例えば、それらを混合することにより行われる。
具体的には、炭素数が4〜11の脂肪族アミンの場合は、室温(20℃)で液体であるため、そのままギ酸銅と混合することで一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を極めて簡便に得ることができる。
The amount of the aliphatic amine used in the reaction is preferably 2.2 to 20 equivalent mol and more preferably 4 to 10 equivalent mol with respect to 1 equivalent mol of copper formate. Thereby, since reaction with copper formate advances reliably, the copper formate complex represented by General formula (1) can be obtained reliably.
Such dissolution of copper formate in an aliphatic amine is performed, for example, by mixing them.
Specifically, in the case of an aliphatic amine having 4 to 11 carbon atoms, since it is liquid at room temperature (20 ° C.), it is mixed with copper formate as it is, and the copper formate complex represented by the general formula (1) Can be obtained very simply.

一方、炭素数12〜20の脂肪族アミンの場合は、室温(20℃)で固体であるため、脂肪族アミンを加熱融解または加熱・加圧融解させて、ギ酸銅と混合することで一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を簡便に得ることができる。
かかる脂肪族アミンを加熱する温度は、脂肪族アミンの種類によって異なるが、それぞれの脂肪族アミンの融点以上の温度に加熱すればよい。具体的には、30〜80℃が好ましく、40〜60℃がより好ましい。脂肪族アミンの加熱温度をこのような範囲に設定することで、脂肪族アミンが融解し、ギ酸銅を確実に溶解させることができる。
On the other hand, in the case of an aliphatic amine having 12 to 20 carbon atoms, it is a solid at room temperature (20 ° C.). Therefore, the aliphatic amine is heated and melted or heated and pressurized and melted and mixed with copper formate. The copper formate complex represented by (1) can be easily obtained.
The temperature at which the aliphatic amine is heated varies depending on the type of the aliphatic amine, but may be heated to a temperature equal to or higher than the melting point of each aliphatic amine. Specifically, 30-80 degreeC is preferable and 40-60 degreeC is more preferable. By setting the heating temperature of the aliphatic amine within such a range, the aliphatic amine is melted and copper formate can be reliably dissolved.

また、脂肪族アミンとギ酸銅を混合する時間は、0.5〜2時間が好ましく、0.5〜1時間がより好ましい。これにより、確実にギ酸銅が脂肪族アミンに溶解し、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を確実に得ることができる。
なお、ギ酸銅と脂肪族アミンとの混合により得られた一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を結晶化させるために、貧溶媒を反応液に加えてもよい。このような貧溶媒は、ドデカンやデカリンなどの炭化水素系溶媒が挙げられる。これにより、きれいな針状結晶を得ることができる。
以上により、ギ酸銅が脂肪族アミンに溶解するので、簡便に収率よく一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を得ることができる。
In addition, the time for mixing the aliphatic amine and copper formate is preferably 0.5 to 2 hours, and more preferably 0.5 to 1 hour. Thereby, copper formate is reliably dissolved in the aliphatic amine, and the copper formate complex represented by the general formula (1) can be reliably obtained.
In order to crystallize the copper formate complex represented by the general formula (1) obtained by mixing copper formate and an aliphatic amine, a poor solvent may be added to the reaction solution. Examples of such a poor solvent include hydrocarbon solvents such as dodecane and decalin. Thereby, a beautiful acicular crystal can be obtained.
As described above, since copper formate is dissolved in the aliphatic amine, the copper formate complex represented by the general formula (1) can be easily obtained with high yield.

次に、このような方法で得られたギ酸銅錯体について詳細に説明する。
第2の工程で得られるギ酸銅錯体は、前記一般式(1)で表される化合物である。これにより、脂肪族アミンが銅に配位結合しているため、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を分解することで、脂肪族アミン12で修飾された均一な銅粒子10を簡便に得ることができる。
Next, the copper formate complex obtained by such a method will be described in detail.
The copper formate complex obtained in the second step is a compound represented by the general formula (1). Thereby, since the aliphatic amine is coordinated to copper, the uniform copper particles 10 modified with the aliphatic amine 12 can be easily obtained by decomposing the copper formate complex represented by the general formula (1). Can get to.

一般式(1)中のRおよびRは、それぞれ置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基である。これにより、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を分解して得られる銅粒子10の凝集を抑えることができ、安定で粒径が均一な銅粒子10を得ることができる。
一般式(1)中のRおよびRのそれぞれの脂肪族炭化水素基は、その炭素数が4〜20のものが好ましく、6〜20のものがより好ましい。炭素数を6〜20とすることで、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を分解して得られる銅粒子10の凝集をより抑えることができ、より安定で粒径がより均一な銅粒子10を得ることができる。また、当該銅粒子10をインクに含有したとき、再分散性が良好となる。
R 1 and R 2 in the general formula (1) are each an aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent. Thereby, aggregation of the copper particle 10 obtained by decomposing | disassembling the copper formate complex represented by General formula (1) can be suppressed, and the stable and uniform copper particle 10 can be obtained.
Each of the aliphatic hydrocarbon groups represented by R 1 and R 2 in the general formula (1) preferably has 4 to 20 carbon atoms, and more preferably 6 to 20 carbon atoms. By setting the number of carbon atoms to 6 to 20, aggregation of the copper particles 10 obtained by decomposing the copper formate complex represented by the general formula (1) can be further suppressed, and the particle size is more stable and more uniform. Copper particles 10 can be obtained. Moreover, when the said copper particle 10 is contained in an ink, redispersibility becomes favorable.

また、一般式(1)中のRおよびRのそれぞれの脂肪族炭化水素基は、飽和の脂肪族炭化水素基または不飽和の脂肪族炭化水素基が挙げられる。
飽和の脂肪族炭化水素基としては、アルキル基が挙げられる。例えば、アルキル基として、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、ヘキサデシル基、ノナデシル基などの直鎖アルキル基、イソブチル基、1−メチルヘキシル基、1−メチルオクチル基、1−メチルデシル基、1−メチルドデシル基、1−エチルドデシル基、1−メチルヘキサデシル基、1−メチルノナデシル基、tert−ブチル基、1,1−ジメチルヘキシル基、1,1−ジメチルオクチル基、1,1−ジメチルデシル基、1,1−ジメチルドデシル基、1,1−ジメチルヘキサデシル基、1,1−ジメチルノナデシル基などの分岐アルキル基が挙げられる。
In addition, examples of the aliphatic hydrocarbon group represented by R 1 and R 2 in the general formula (1) include a saturated aliphatic hydrocarbon group or an unsaturated aliphatic hydrocarbon group.
Examples of the saturated aliphatic hydrocarbon group include an alkyl group. For example, as an alkyl group, a butyl group, a hexyl group, an octyl group, a decyl group, a dodecyl group, a hexadecyl group, a nonadecyl group or the like linear alkyl group, an isobutyl group, a 1-methylhexyl group, a 1-methyloctyl group, 1- Methyldecyl group, 1-methyldodecyl group, 1-ethyldodecyl group, 1-methylhexadecyl group, 1-methylnonadecyl group, tert-butyl group, 1,1-dimethylhexyl group, 1,1-dimethyloctyl group, 1, Examples thereof include branched alkyl groups such as 1-dimethyldecyl group, 1,1-dimethyldodecyl group, 1,1-dimethylhexadecyl group and 1,1-dimethylnonadecyl group.

不飽和の脂肪族炭化水素基としては、アルケニル基またはアルキニル基が挙げられる。 例えば、アルケニル基として、1−ブテニル基、1−ヘキセニル基、1−オクテニル基、1−デセニル基、1−ドデセニル基、1−ヘキサデセニル基、1−ノナデセニル基などの直鎖アルケニル基、イソブテニル基、1−メチル−1−ヘキセニル基、1−メチル−1−オクテニル基、1−メチル−1−デセニル基、1−メチル−1−ドデセニル基、1−メチル−1−ヘキサデセニル基、sec−ブテニル基、1,1−ジメチル−2−ヘキセニル基、1,1−ジメチル−3−オクテニル基、1,1−ジメチル−4−デセニル基、1,1−ジメチル−5−ドデセニル基、1,1−ジメチル−6−ヘキサデセニル基などの分岐アルケニル基が挙げられる。   Examples of the unsaturated aliphatic hydrocarbon group include an alkenyl group and an alkynyl group. For example, as an alkenyl group, a linear alkenyl group such as 1-butenyl group, 1-hexenyl group, 1-octenyl group, 1-decenyl group, 1-dodecenyl group, 1-hexadecenyl group, 1-nonadecenyl group, isobutenyl group, 1-methyl-1-hexenyl group, 1-methyl-1-octenyl group, 1-methyl-1-decenyl group, 1-methyl-1-dodecenyl group, 1-methyl-1-hexadecenyl group, sec-butenyl group, 1,1-dimethyl-2-hexenyl group, 1,1-dimethyl-3-octenyl group, 1,1-dimethyl-4-decenyl group, 1,1-dimethyl-5-dodecenyl group, 1,1-dimethyl- Examples include branched alkenyl groups such as 6-hexadecenyl group.

例えば、アルキニル基として、2−ブチニル基、2−ヘキシニル基、2−オクチニル基、2−デシニル基、2−ドデシニル基、2−ヘキサデシニル基、2−ノナデシニル基などの直鎖アルキニル基、イソブチニル基、1−メチル−2−ヘキシニル基、1−メチル−2−オクチニル基、1−メチル−2−デシニル基、1−メチル−2−ドデシニル基、1−メチル−2−ヘキサデシニル基、1,1−ジメチル−2−ヘキシニル基、1,1−ジメチル−3−オクチニル基、1,1−ジメチル−4−デシニル基、1,1−ジメチル−5−ドデシニル基、1,1−ジメチル−6−ヘキサデシニル基などの分岐アルキニル基などが挙げられる。   For example, as the alkynyl group, a linear alkynyl group such as a 2-butynyl group, a 2-hexynyl group, a 2-octynyl group, a 2-decynyl group, a 2-dodecynyl group, a 2-hexadecynyl group, a 2-nonadecynyl group, an isobutynyl group, 1-methyl-2-hexynyl group, 1-methyl-2-octynyl group, 1-methyl-2-decynyl group, 1-methyl-2-dodecynyl group, 1-methyl-2-hexadecynyl group, 1,1-dimethyl 2-hexynyl group, 1,1-dimethyl-3-octynyl group, 1,1-dimethyl-4-decynyl group, 1,1-dimethyl-5-dodecynyl group, 1,1-dimethyl-6-hexadecynyl group, etc. And a branched alkynyl group.

これらのうち、飽和脂肪族炭化水素基であるアルキル基が好ましく、直鎖アルキル基がより好ましい。アルキル基であることにより、不飽和結合を有さないことから、副反応などを起こすことがなく、一般式(1)で表される安定なギ酸銅錯体を得ることができる。 また、直鎖アルキル基であることにより、アルキル基同士の立体障害を防止または低減することができるため、より一層安定なギ酸銅錯体を得ることができる。さらに、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を分解して得られる銅粒子10も、同様に安定なものが得られ、粒径が均一なものが得られる。   Of these, an alkyl group which is a saturated aliphatic hydrocarbon group is preferable, and a linear alkyl group is more preferable. Since it is an alkyl group, since it does not have an unsaturated bond, a stable copper formate complex represented by the general formula (1) can be obtained without causing side reactions. Moreover, since it is a linear alkyl group, since the steric hindrance of alkyl groups can be prevented or reduced, a much more stable copper formate complex can be obtained. Further, the copper particles 10 obtained by decomposing the copper formate complex represented by the general formula (1) are similarly stable and have a uniform particle size.

なお、一般式(1)中のRおよびRの脂肪族炭化水素基には、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体および/または銅粒子10が安定に存在する限りにおいて、置換基を有していてもよい。そのような置換基としては、フッ素や塩素のようなハロゲン原子、アミノ基、シアノ基などが挙げられる。
また、一般式(1)中の−NHおよび-NHは、それぞれ1級アミン配位子または2級アミン配位子のいずれであってもよい。
In addition, as long as the copper formate complex represented by the general formula (1) and / or the copper particles 10 are stably present in the aliphatic hydrocarbon groups represented by R 1 and R 2 in the general formula (1), substitution is performed. It may have a group. Examples of such a substituent include halogen atoms such as fluorine and chlorine, amino groups, and cyano groups.
Further, —NH 2 R 1 and —NH 2 R 2 in the general formula (1) may be either a primary amine ligand or a secondary amine ligand, respectively.

具体的なアミン配位子としては、前記脂肪族アミンで具体的に説明したものと同様のアミンが挙げられる。
これらのアミン配位子のうち、特に、1級アミン配位子が好ましい。これにより、原料であるギ酸銅が脂肪族1級アミンに溶解し、簡便に一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を得ることができる。また、アミン配位子同士の立体障害を防止または低減することができるため、一般式(1)で表される安定なギ酸銅錯体を得ることができる。さらに、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を分解して得られる銅粒子10も、同様に安定なものが得られ、均一な粒径のものが得られる。
以上のように、本工程によれば、ギ酸銅が脂肪族アミンに溶解するので、簡便に一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を得ることができる。したがって、銅粒子10の生産効率を向上させることができる。
Specific amine ligands include the same amines as specifically described for the aliphatic amine.
Of these amine ligands, primary amine ligands are particularly preferable. Thereby, the copper formate which is a raw material melt | dissolves in an aliphatic primary amine, and the copper formate complex represented by General formula (1) can be obtained simply. Moreover, since the steric hindrance between amine ligands can be prevented or reduced, a stable copper formate complex represented by the general formula (1) can be obtained. Further, the copper particles 10 obtained by decomposing the copper formate complex represented by the general formula (1) are similarly stable and have a uniform particle size.
As described above, according to this step, since copper formate is dissolved in the aliphatic amine, the copper formate complex represented by the general formula (1) can be easily obtained. Therefore, the production efficiency of the copper particles 10 can be improved.

(第3の工程)
第3の工程は、第2の工程で得られたギ酸銅錯体の、2価の銅が0価の銅に還元されるとともに、ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化されるように、前記ギ酸銅錯体を分解することにより銅粒子10を製造する工程である。これにより、ギ酸銅が分解され、簡便かつ高収率に銅粒子10を得ることができる。
(Third step)
In the third step, the formic acid is prepared so that divalent copper of the copper formate complex obtained in the second step is reduced to zero-valent copper and the formic acid ligand is oxidized to carbon dioxide. In this process, copper particles 10 are produced by decomposing the copper complex. Thereby, copper formate is decomposed | disassembled and the copper particle 10 can be obtained simply and with a high yield.

具体的には、下記式に示すように、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を有機溶媒に溶解したギ酸銅錯体溶液を、当該ギ酸銅錯体の2価の銅が0価の銅に還元されるとともに、ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化されるように分解することにより行われる。これにより、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体のアミン配位子が修飾剤として機能する銅粒子10を簡便に得ることができる。そのため、均一な粒径の銅粒子10を得ることができる。   Specifically, as shown in the following formula, a copper formate complex solution in which a copper formate complex represented by the general formula (1) is dissolved in an organic solvent is used. And the formic acid ligand is decomposed to be oxidized to carbon dioxide. Thereby, the copper particle 10 in which the amine ligand of the copper formate complex represented by the general formula (1) functions as a modifier can be easily obtained. Therefore, copper particles 10 having a uniform particle size can be obtained.

Figure 0005045015
Figure 0005045015

ここで、本工程に使用されるギ酸銅錯体の使用量は、溶液全量に対して、0.1〜50重量%が好ましく、1〜20重量%がより好ましい。このような範囲のギ酸銅を用いることにより、分解反応が確実に進行するため、銅粒子10を確実に得ることができる。
ギ酸銅錯体を溶解する有機溶媒は、ギ酸銅錯体を溶解することができれば特に限定されない。具体的には、前記アミン配位子で説明した脂肪族アミン、メタノール、エタノール、プロパノールまたはブタノールなどのアルコール系溶媒、プロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、シクロヘキサノンなどの極性溶媒などが挙げられる。これらのうち、脂肪族アミンが好ましい。これにより、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体の配位子と溶媒が同種類のものとなるため、溶媒の脂肪族アミン12が銅に結合することにより、銅粒子10に1種類の修飾剤を結合させることができる。また、溶媒の脂肪族アミン12が修飾剤として銅に結合するため、より効率的にかつより凝集しない銅粒子10を確実に得ることができる。
Here, the amount of the copper formate complex used in this step is preferably 0.1 to 50% by weight, more preferably 1 to 20% by weight, based on the total amount of the solution. By using copper formate in such a range, the decomposition reaction proceeds reliably, so that the copper particles 10 can be reliably obtained.
The organic solvent that dissolves the copper formate complex is not particularly limited as long as it can dissolve the copper formate complex. Specifically, the aliphatic amine described for the amine ligand, alcohol solvent such as methanol, ethanol, propanol or butanol, propylene carbonate, γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide And polar solvents such as cyclohexanone. Of these, aliphatic amines are preferred. Thereby, since the ligand and solvent of the copper formate complex represented by the general formula (1) are of the same type, the aliphatic amine 12 of the solvent binds to copper, so that one type of copper particles 10 is present. The modifier can be bound. Moreover, since the aliphatic amine 12 of the solvent binds to copper as a modifier, it is possible to reliably obtain the copper particles 10 that are more efficient and less aggregated.

また、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体の分解は、当該ギ酸銅錯体の銅が0価に還元され、ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化されれば特に限定されないが、当該ギ酸銅錯体の分解温度付近までまたは分解温度以上に加熱することが好ましい。これにより、確実に一般式(1)で表されるギ酸銅錯体の銅が0価に還元され、ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化される。したがって、簡便に収率よく銅粒子10を得ることができる。   The decomposition of the copper formate complex represented by the general formula (1) is not particularly limited as long as the copper of the copper formate complex is reduced to zero valence and the formic acid ligand is oxidized to carbon dioxide. It is preferable to heat to near the decomposition temperature of the copper complex or above the decomposition temperature. Thereby, copper of the copper formate complex represented by the general formula (1) is reliably reduced to zero valence, and the formic acid ligand is oxidized to carbon dioxide. Therefore, the copper particles 10 can be easily obtained with a high yield.

一般式(1)で表されるギ酸銅錯体の加熱温度としては、70〜250℃であることが好ましく、70〜200℃であることがより好ましい。これにより、より確実に、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体中の銅が0価に還元され、ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化される。したがって、確実に収率のよい銅粒子10を得ることができる。
一般式(1)で表されるギ酸銅錯体の加熱時間は、当該ギ酸銅錯体の加熱温度によって異なる。例えば、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体の加熱温度が高い場合には、当該ギ酸銅錯体の加熱時間は短く設定すればよい。また、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体の加熱温度が低い場合には、当該ギ酸銅錯体の加熱時間は長く設定すればよい。具体的な時間としては、0.1〜10時間が好ましく、0.5〜4時間がより好ましい。これにより、確実に、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体中の銅が0価に還元され、ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化される。したがって、確実に収率よく銅粒子10を得ることができる。
The heating temperature of the copper formate complex represented by the general formula (1) is preferably 70 to 250 ° C, and more preferably 70 to 200 ° C. Thereby, copper in the copper formate complex represented by the general formula (1) is more reliably reduced to zero valence, and the formic acid ligand is oxidized to carbon dioxide. Therefore, the copper particle 10 with a good yield can be obtained reliably.
The heating time of the copper formate complex represented by the general formula (1) varies depending on the heating temperature of the copper formate complex. For example, when the heating temperature of the copper formate complex represented by the general formula (1) is high, the heating time of the copper formate complex may be set short. Moreover, what is necessary is just to set the heating time of the said copper formate complex long when the heating temperature of the copper formate complex represented by General formula (1) is low. As specific time, 0.1 to 10 hours are preferable, and 0.5 to 4 hours are more preferable. This ensures that the copper in the copper formate complex represented by the general formula (1) is reduced to zero and the formic acid ligand is oxidized to carbon dioxide. Therefore, it is possible to reliably obtain the copper particles 10 with a high yield.

また、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を加熱する際の雰囲気は、例えば、アルゴンガス、窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気であるのが好ましい。これにより、形成される核11(銅)が酸化するのを確実に防止することができる。その結果、例えば、銅粒子10を用いて後述するような配線基板を形成した場合、その配線基板の抵抗率が上昇するのを防止することができる。   Moreover, it is preferable that the atmosphere at the time of heating the copper formate complex represented by General formula (1) is inert gas atmosphere, such as argon gas and nitrogen gas, for example. Thereby, it is possible to reliably prevent the formed nucleus 11 (copper) from being oxidized. As a result, for example, when a wiring board as described later is formed using the copper particles 10, it is possible to prevent the resistivity of the wiring board from increasing.

なお、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体の分解は、上記加熱以外にも酸化剤や還元剤などを用いることにより、当該ギ酸銅錯体の銅を0価に還元し、ギ酸配位子を二酸化炭素に酸化することで分解することもできる。
以上のように、本工程によれば、一般式(1)で表されるギ酸銅錯体を分解するのみで銅粒子10を収率よく製造することができるため、銅粒子10の生産効率を向上させることができる。
In addition, decomposition | disassembly of the copper formate complex represented by General formula (1) reduces the copper of the said copper formate complex to 0 valence by using an oxidizing agent, a reducing agent, etc. besides the said heating, and formic acid coordination It can also be decomposed by oxidizing the child to carbon dioxide.
As mentioned above, according to this process, since the copper particle 10 can be manufactured with sufficient yield only by decomposing | disassembling the copper formate complex represented by General formula (1), the production efficiency of the copper particle 10 is improved. Can be made.

以上、第1工程から第3工程を有する本発明の銅粒子10の製造方法は、各工程を連続して行ってもよく、各工程毎に生成物を単離して次工程に進んでもよい。
各工程を連続して行うことにより、反応溶液をそのまま次の工程に使用することができるため(同一系内で反応を行えるため)、ワンポットで極めて簡便に収率よく銅粒子10を得ることができる。
As mentioned above, the manufacturing method of the copper particle 10 of this invention which has a 1st process-a 3rd process may perform each process continuously, may isolate a product for every process, and may advance to the next process.
By carrying out each step continuously, the reaction solution can be used as it is in the next step (because the reaction can be carried out in the same system), so that the copper particles 10 can be obtained very easily and with a high yield in one pot. it can.

また、各工程毎に生成物を単離した後、次工程に進むことにより、各生成物が精製されているため、高純度な銅粒子10を得ることができる。
このように、本発明の銅粒子10の製造方法は、ギ酸銅という安価な原料から出発してを銅粒子10を得ることができるため、低コストで銅粒子10の生産効率をより向上させることができる。
Moreover, since each product is refine | purified by isolating a product for every process and then progressing to the next process, the highly purified copper particle 10 can be obtained.
Thus, since the manufacturing method of the copper particle 10 of this invention can obtain the copper particle 10 starting from an inexpensive raw material called copper formate, the production efficiency of the copper particle 10 can be further improved at low cost. Can do.

以上のような製造方法により得られた銅粒子10は、例えば、インクに含有させて半導体系のデバイス分野で応用される。具体的には、TFT(thin film transistor)、LCD(liquid crystal display)及びAMBP(active matrix back plane)が挙げられる。有機系のPCB(printed circuit board)には、金属インクの応用がある。また、配線や電極等の導電性パターンの形成、抗菌剤、消臭剤等の各種の用途に応用される。   The copper particles 10 obtained by the manufacturing method as described above are applied, for example, in the semiconductor device field by being contained in ink. Specific examples include a thin film transistor (TFT), a liquid crystal display (LCD), and an active matrix back plane (AMBP). Organic PCBs (printed circuit boards) have applications of metal ink. Moreover, it is applied to various uses such as formation of conductive patterns such as wiring and electrodes, antibacterial agents, and deodorants.

<配線基板の製造方法>
次に、本発明の配線基板の製造方法について、図を参照に説明する。
図2は、本発明の配線基板の製造方法の製造工程を説明する図、図3は、本発明の配線基板の製造方法に用いられる配線形成装置の概略斜視図である。なお、以下の説明では、図2および図3中の上側を「上」、下側を「下」という。
まず、図1(S1)に示すように、配線を形成すべき基板101を用意する。
このような基板101としては、シリコン、石英ガラス、ガラス、プラスチックフィルム、金属などの各種基板を用いることができる。また、基板表面に半導体膜、金属膜、誘電体膜、有機膜などが下地層として形成されていてもよい。
<Manufacturing method of wiring board>
Next, the manufacturing method of the wiring board of this invention is demonstrated with reference to figures.
FIG. 2 is a diagram for explaining a manufacturing process of a method for manufacturing a wiring board according to the present invention, and FIG. 3 is a schematic perspective view of a wiring forming apparatus used in the method for manufacturing a wiring board according to the present invention. In the following description, the upper side in FIGS. 2 and 3 is referred to as “upper” and the lower side is referred to as “lower”.
First, as shown in FIG. 1 (S1), a substrate 101 on which wiring is to be formed is prepared.
As such a substrate 101, various substrates such as silicon, quartz glass, glass, plastic film, and metal can be used. Further, a semiconductor film, a metal film, a dielectric film, an organic film, or the like may be formed on the substrate surface as a base layer.

(液体材料形成工程)
本実施形態では、銅粒子10を分散媒に分散させた分散液である液体材料21を用いる。
銅粒子10を分散させるために、銅粒子10表面に有機物などをコーティングして使うこともできる。また、基板101に塗布するにあたり、分散媒への分散しやすさとインクジェット法の適用の観点から、銅粒子10の粒径は1〜20nmであることが好ましい。
(Liquid material forming process)
In the present embodiment, a liquid material 21 that is a dispersion liquid in which copper particles 10 are dispersed in a dispersion medium is used.
In order to disperse the copper particles 10, the surface of the copper particles 10 can be coated with an organic substance or the like. Moreover, when apply | coating to the board | substrate 101, it is preferable that the particle size of the copper particle 10 is 1-20 nm from a viewpoint of the dispersibility to a dispersion medium and the application of an inkjet method.

次に、上記の銅粒子10を分散媒に分散させた液体材料21を調製する。ここで使用する分散媒は室温での蒸気圧が0.001〜200mmHgであるものが好ましい。蒸気圧が200mmHgより高い場合には、塗布膜を形成するときに分散媒が先に蒸発してしまい、良好な塗布膜を形成することが困難となるためである。一方、室温での蒸気圧が0.001mmHgより低い分散媒の場合、乾燥が遅くなり塗布膜中に分散媒の成分が残留しやすくなり、後工程の熱および/または光処理後に良質の導電膜が得られにくい。また、液体材料21の塗布を後述のインクジェット装置によって行う場合には、分散媒の蒸気圧は0.001〜50mmHgであることが好ましい。蒸気圧が50mmHgより高い場合には、インクジェット装置から液滴を吐出する際に乾燥によるノズル詰まりが起こり易く、安定な吐出が困難となるためである。一方、蒸気圧が0.001mmHgより低い場合には吐出したインクの乾燥が遅くなり導電膜中に分散媒の成分が残留し易くなり、後工程の熱処理後にも良質の導電膜が得られ難い。   Next, a liquid material 21 in which the copper particles 10 are dispersed in a dispersion medium is prepared. The dispersion medium used here preferably has a vapor pressure of 0.001 to 200 mmHg at room temperature. This is because when the vapor pressure is higher than 200 mmHg, the dispersion medium evaporates first when forming the coating film, making it difficult to form a good coating film. On the other hand, in the case of a dispersion medium having a vapor pressure lower than 0.001 mmHg at room temperature, drying becomes slow, and the components of the dispersion medium tend to remain in the coating film, and a high-quality conductive film after heat and / or light treatment in the subsequent process. Is difficult to obtain. Moreover, when the liquid material 21 is applied by an ink jet apparatus described later, the vapor pressure of the dispersion medium is preferably 0.001 to 50 mmHg. This is because when the vapor pressure is higher than 50 mmHg, nozzle clogging due to drying is likely to occur when droplets are ejected from the ink jet apparatus, and stable ejection becomes difficult. On the other hand, when the vapor pressure is lower than 0.001 mmHg, drying of the ejected ink is delayed, and the component of the dispersion medium tends to remain in the conductive film, and it is difficult to obtain a high-quality conductive film even after the heat treatment in the subsequent step.

使用する分散媒としては、上記の銅粒子10を分散できるもので、凝集を起こさないものであれば特に限定されないが、前述した有機溶媒の他、水、n−ヘプタン、n−オクタン、デカン、トルエン、キシレン、シメン、デュレン、インデン、ジペンテン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、シクロヘキシルベンゼン、デカリンなどの炭化水素系溶媒、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、1,2−ジメトキシエタン、ビス(2−メトキシエチル)エーテル、p−ジオキサンなどのエーテル系溶媒などを挙げることができる。これらのうち、銅粒子10の分散性と分散液の安定性、またインクジェット法への適用のし易さの点で、水、アルコール類、炭化水素系溶媒、エーテル系溶媒が好ましく、更に好ましい分散媒としては水、炭化水素系溶媒を挙げることができる。これらの分散媒は、単独でも、あるいは2種以上の混合物としても使用できる。   The dispersion medium to be used is not particularly limited as long as it can disperse the copper particles 10 and does not cause aggregation. In addition to the organic solvent described above, water, n-heptane, n-octane, decane, Hydrocarbon solvents such as toluene, xylene, cymene, durene, indene, dipentene, tetrahydronaphthalene, decahydronaphthalene, cyclohexylbenzene, decalin, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl Examples include ether solvents such as ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, 1,2-dimethoxyethane, bis (2-methoxyethyl) ether, and p-dioxane. It is possible. Of these, water, alcohols, hydrocarbon solvents, and ether solvents are preferred and more preferred dispersions in view of the dispersibility of the copper particles 10, the stability of the dispersion, and the ease of application to the ink jet method. Examples of the medium include water and hydrocarbon solvents. These dispersion media can be used alone or as a mixture of two or more.

上記銅粒子10を分散媒に分散する場合の分散質(銅粒子10)の分散密度は、液体材料21を基板101に塗布する方法によって適宜選択される。当該分散質の分散密度は、特に限定されないが、1〜80重量%であることが好ましい。これにより、所望の機能性膜22の膜厚に応じて調整することができる。
特に、後述するインクジェット法の場合は、インクの流動性と速乾性が要求されるため、分散質の分散密度は10〜80重量%が好ましく、30〜70重量%がより好ましい。分散質の分散密度が前記上限値を超えると銅粒子10が凝集し易く、また、液体材料21の流動性が低下する。一方、分散質の分散密度が前記下限値よりも低い場合には、速乾性が低下する。
The dispersion density of the dispersoid (copper particles 10) when the copper particles 10 are dispersed in a dispersion medium is appropriately selected depending on the method of applying the liquid material 21 to the substrate 101. The dispersion density of the dispersoid is not particularly limited, but is preferably 1 to 80% by weight. Thereby, it can adjust according to the film thickness of the functional film 22 desired.
In particular, in the case of the ink jet method described later, since fluidity and quick drying of the ink are required, the dispersion density of the dispersoid is preferably 10 to 80% by weight, and more preferably 30 to 70% by weight. When the dispersion density of the dispersoid exceeds the upper limit value, the copper particles 10 are likely to aggregate, and the fluidity of the liquid material 21 is lowered. On the other hand, when the dispersion density of the dispersoid is lower than the lower limit, the quick drying property decreases.

上記銅粒子10が分散した液体材料21は、目的の機能を損なわない範囲で必要に応じてフッ素系、シリコーン系、ノニオン系などの表面張力調節剤を微量添加することができる。ノニオン系表面張力調節剤は、液体材料21の塗布対象物への濡れ性を良好化し、塗布した膜のレベリング性を改良し、塗膜のぶつぶつの発生、ゆず肌の発生などの防止に役立つものである。   The liquid material 21 in which the copper particles 10 are dispersed can be added with a small amount of a surface tension adjusting agent such as a fluorine-based material, a silicone-based material, or a non-ionic material, as long as the target function is not impaired. The nonionic surface tension modifier improves the wettability of the liquid material 21 to the application object, improves the leveling property of the applied film, and helps prevent the occurrence of coating crushing and itching. It is.

かくして調製した銅粒子10が分散した液体材料21の粘度は1〜50mPa・sであることが好ましい。これにより、所望の機能性膜22を得ることができる。
特に、後述するインクジェット法の場合は、インクの流動性と速乾性が要求されるため、液体材料21の粘度は2〜40mPa・sが好ましく、5〜20mPa・sがより好ましい。液体材料21の粘度が前記上限値を超えると銅粒子10が凝集し易く、液体材料21の流動性が低下する。また、ノズル孔での目詰まり頻度が高くなり円滑な液滴の吐出が困難となる。一方、液体材料21の粘度が前記下限値よりも低い場合には、速乾性が低下する。また、ノズル周辺部がインクの流出により汚染されやすい。
The viscosity of the liquid material 21 in which the copper particles 10 thus prepared are dispersed is preferably 1 to 50 mPa · s. Thereby, a desired functional film 22 can be obtained.
In particular, in the case of the ink jet method described later, fluidity and quick drying of the ink are required, and thus the viscosity of the liquid material 21 is preferably 2 to 40 mPa · s, and more preferably 5 to 20 mPa · s. If the viscosity of the liquid material 21 exceeds the upper limit, the copper particles 10 are likely to aggregate and the fluidity of the liquid material 21 is reduced. In addition, the clogging frequency at the nozzle holes increases, and it becomes difficult to smoothly discharge droplets. On the other hand, when the viscosity of the liquid material 21 is lower than the lower limit, the quick drying property is lowered. In addition, the peripheral portion of the nozzle is easily contaminated by the outflow of ink.

さらに、かくして調製した銅粒子10が分散された液体材料21の表面張力は20〜70dyn/cmの範囲に入ることが好ましい。後述のインクジェット装置にて液体材料21を塗布する場合、表面張力が20dyn/cm未満であると、インク組成物のノズル面に対する濡れ性が増大するため飛行曲りが生じ易くなり、70dyn/cmを超えるとノズル先端でのメニスカスの形状が安定しないためインク組成物の吐出量、吐出タイミングの制御が困難になるためである。   Further, the surface tension of the liquid material 21 in which the copper particles 10 thus prepared are dispersed is preferably in the range of 20 to 70 dyn / cm. When the liquid material 21 is applied by an ink jet apparatus described later, if the surface tension is less than 20 dyn / cm, the wettability of the ink composition with respect to the nozzle surface increases, and thus flight bending easily occurs and exceeds 70 dyn / cm. This is because the shape of the meniscus at the nozzle tip is not stable, and it becomes difficult to control the discharge amount and discharge timing of the ink composition.

(塗布工程)
次に、図1(S2)に示すように、本発明の銅粒子10を含有する液体材料21を基板101上に好ましくはインクジェット方式で塗布する。これにより、他の塗布方法に必要なマスクの形成工程、マスクの除去工程を有することなく、一度にパターン形成をすることができる。また、複雑な形状、微細な形状のパターンを容易に形成することができる。
(Coating process)
Next, as shown in FIG. 1 (S2), the liquid material 21 containing the copper particles 10 of the present invention is applied onto the substrate 101, preferably by an ink jet method. Thereby, it is possible to form a pattern at a time without having a mask forming step and a mask removing step necessary for other coating methods. Moreover, a complicated shape and a pattern with a fine shape can be easily formed.

ただし、本発明における塗布方法は、かかるインクジェット方式に限られず、例えば、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイヤーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法等の各種塗布方法を用いることもできる。   However, the coating method in the present invention is not limited to such an ink jet method, for example, spin coating method, casting method, micro gravure coating method, gravure coating method, bar coating method, roll coating method, wire bar coating method, dip coating method. Various coating methods such as spray coating, screen printing, flexographic printing, and offset printing can also be used.

基板101上に付与されるインク滴の間隔は、吐出周波数及びインクジェットヘッド及び基板101の相対速度を制御することによって制御する。特に、同一配線内で互いに隣り合うインク滴が、基板101上に付与された際の液体材料21の直径の1〜10%の重なりを生じるように付与されることが好ましい。すなわち、インク滴の間隔は、基板101上に付与された際の液体材料21の直径の90〜99%の長さであることが好ましい。これよりインク滴の間隔が狭く重なりが大きいとバルジが発生し、良好なラインが形成できない。一方これよりインク滴の間隔が広く重なりが小さいと、吐出位置精度誤差により液体材料21の重なりが生じなくなり、切れた配線22が形成されてしまう可能性がある。なお、配線22を形成する装置100は、後述する。
このように、銅粒子10を含んだ液体材料21を用いることにより、均一で優れた特性を有する配線22を塗布することができる。
The interval between the ink droplets applied on the substrate 101 is controlled by controlling the ejection frequency and the relative speed of the inkjet head and the substrate 101. In particular, it is preferable that the ink droplets adjacent to each other in the same wiring are applied so as to cause an overlap of 1 to 10% of the diameter of the liquid material 21 when applied on the substrate 101. In other words, the interval between the ink droplets is preferably 90 to 99% of the diameter of the liquid material 21 when applied onto the substrate 101. If the interval between the ink droplets is narrower and the overlap is larger than this, a bulge is generated and a good line cannot be formed. On the other hand, if the interval between the ink droplets is wider and the overlap is smaller, there is a possibility that the liquid material 21 does not overlap due to the ejection position accuracy error, and the cut wiring 22 may be formed. The device 100 for forming the wiring 22 will be described later.
Thus, by using the liquid material 21 containing the copper particles 10, the wiring 22 having uniform and excellent characteristics can be applied.

(熱処理工程)
図1(S3)に示すように、銅粒子10が分散された液体材料21が所定パターンに塗布された基板101は、分散媒を除去し、銅粒子10間の電気的接触をよくするために、熱処理に供される。熱処理は通常大気中で行なわれるが、必要に応じて、窒素、アルゴン、ヘリウムなどの不活性ガス雰囲気中で行なうこともできる。上記の熱処理の処理温度は分散媒の沸点(蒸気圧)、圧力および銅粒子10の熱的挙動により適宜定めればよく、特に限定されるものではないが室温〜300℃以下で行なうことが好ましい。プラスチックなどの基板101を使用する場合には、室温〜100℃で行なうことが好ましい。
(Heat treatment process)
As shown in FIG. 1 (S3), the substrate 101 on which the liquid material 21 in which the copper particles 10 are dispersed is applied in a predetermined pattern to remove the dispersion medium and improve the electrical contact between the copper particles 10. And subjected to heat treatment. The heat treatment is usually performed in the air, but can also be performed in an inert gas atmosphere such as nitrogen, argon, or helium as necessary. The treatment temperature of the heat treatment may be appropriately determined depending on the boiling point (vapor pressure) of the dispersion medium, the pressure, and the thermal behavior of the copper particles 10, and is not particularly limited, but is preferably performed at room temperature to 300 ° C or less. . When using a substrate 101 such as plastic, it is preferably performed at room temperature to 100 ° C.

また、熱処理は2回以上行ってもよい。その場合、例えば、1回目は分散媒を除去できる低温で行い(乾燥)、2回目は高温で行う(焼成)。低温で熱処理を行うことにより、分散媒を除去することができる。そして引き続き、高温で熱処理を行うことにより、銅粒子10が熟成され電気的接触に優れた配線基板を得ることができる。
熱処理を行う時間(複数回行う場合は合計時間)は、特に限定されるものではないが、5分〜5時間であることが好ましい。これにより、分散媒が除去され、電気的接触に優れた配線基板を得ることができる。
Further, the heat treatment may be performed twice or more. In that case, for example, the first time is performed at a low temperature that can remove the dispersion medium (drying), and the second time is performed at a high temperature (baking). The dispersion medium can be removed by heat treatment at a low temperature. Subsequently, by performing a heat treatment at a high temperature, a copper substrate 10 is aged and a wiring board excellent in electrical contact can be obtained.
The time for performing the heat treatment (total time in the case of performing plural times) is not particularly limited, but is preferably 5 minutes to 5 hours. Thereby, a dispersion medium is removed and the wiring board excellent in electrical contact can be obtained.

熱処理は通常のホットプレート、電気炉などによる処理の他、ランプアニールによって行なうこともできる。ランプアニールに使用する光の光源としては、特に限定されないが、赤外線ランプ、キセノンランプ、YAGレーザー、アルゴンレーザー、炭酸ガスレーザー、XeF、XeCl、XeBr、KrF、KrCl、ArF、ArClなどのエキシマレーザーなどを光源として使用することができる。これらの光源は一般には、出力10〜5000Wの範囲のものが用いられるが、本実施形態では100〜1000Wの範囲で十分である。   The heat treatment can be performed by lamp annealing in addition to the treatment by a normal hot plate, electric furnace or the like. The light source used for lamp annealing is not particularly limited, but excimer laser such as infrared lamp, xenon lamp, YAG laser, argon laser, carbon dioxide laser, XeF, XeCl, XeBr, KrF, KrCl, ArF, ArCl, etc. Can be used as a light source. These light sources generally have an output in the range of 10 to 5000 W, but a range of 100 to 1000 W is sufficient in the present embodiment.

以上の工程により機能性膜(配線)22が形成される。
なお、1回の塗布工程、熱処理工程で所望の膜厚が得られない場合には、塗布工程、熱処理工程を複数回行って、膜を積層してもよい。例えば、液体材料21の基板101への塗布、熱処理(乾燥)、塗布、熱処理(焼成)の順で配線基板を製造することもできる。これにより、所望の厚さの配線基板を得ることができる。
The functional film (wiring) 22 is formed by the above process.
In addition, when a desired film thickness cannot be obtained by one application process and heat treatment process, the application process and the heat treatment process may be performed a plurality of times to laminate the films. For example, the wiring board can be manufactured in the order of application of the liquid material 21 to the substrate 101, heat treatment (drying), application, and heat treatment (firing). Thereby, a wiring board having a desired thickness can be obtained.

配線22の膜厚は、0.1〜10μmが好ましく、1〜5μmがより好ましい。膜厚が前記上限値より厚いと配線基板の製造が煩雑で、配線22の均一性が低下する。一方、膜厚が前記下限値より薄いと抵抗値が増大する傾向を示す。
このように、熱処理をすることにより、細線、厚膜の配線基板を、バルジを発生させることなく形成することができる。
The film thickness of the wiring 22 is preferably 0.1 to 10 μm, and more preferably 1 to 5 μm. If the film thickness is larger than the upper limit, the production of the wiring board is complicated, and the uniformity of the wiring 22 is lowered. On the other hand, when the film thickness is thinner than the lower limit value, the resistance value tends to increase.
In this way, by performing the heat treatment, it is possible to form a thin and thick wiring board without generating bulges.

(配線形成装置)
次に、前記塗布工程において用いられる配線形成装置について説明する。
図2は、本発明の配線基板の製造方法に用いられる配線形成装置の概略斜視図である。 配線形成装置100は、インクジェット式の液体塗布装置を備えており、インクジェットヘッド群1、X方向駆動軸4、Y方向ガイド軸5、制御装置6、載置台7、クリーニング機構部8、基台9およびヒータ15を備えている。
(Wiring forming equipment)
Next, a wiring forming apparatus used in the coating process will be described.
FIG. 2 is a schematic perspective view of a wiring forming apparatus used in the method for manufacturing a wiring board according to the present invention. The wiring forming apparatus 100 includes an ink jet type liquid application device, and includes an ink jet head group 1, an X direction drive shaft 4, a Y direction guide shaft 5, a control device 6, a mounting table 7, a cleaning mechanism unit 8, and a base 9. And a heater 15.

インクジェットヘッド群1は、所定の液体をノズル(吐出口)から吐出して所定間隔で基板101に付与するインクジェット塗布手段としてのヘッドを備えている。
載置台7は、この塗布装置によって液体材料21を付与される基板101を載置させるもので、この基板101を基準位置に固定する機構を備える。
X方向駆動軸4には、X方向駆動モータ2が接続されている。X方向駆動モータ2は、ステッピングモータ等であり、制御装置6からX軸方向の駆動信号が供給されると、X方向駆動軸4を回転させる。X方向駆動軸4が回転させられると、インクジェットヘッド群1がX軸方向に移動する。
The ink jet head group 1 includes a head as an ink jet application unit that discharges a predetermined liquid from a nozzle (discharge port) and applies the liquid to the substrate 101 at a predetermined interval.
The mounting table 7 is for mounting the substrate 101 to which the liquid material 21 is applied by the coating device, and includes a mechanism for fixing the substrate 101 at a reference position.
An X-direction drive motor 2 is connected to the X-direction drive shaft 4. The X direction drive motor 2 is a stepping motor or the like, and rotates the X direction drive shaft 4 when a drive signal in the X axis direction is supplied from the control device 6. When the X direction drive shaft 4 is rotated, the inkjet head group 1 moves in the X axis direction.

Y方向ガイド軸5は、基台9に対して動かないように固定されている。載置台7は、Y方向駆動モータ3を備えている。Y方向駆動モータ3は、ステッピングモータ等であり、制御装置6からY軸方向の駆動信号が供給されると、載置台7をY軸方向に移動させる。
制御装置6は、インクジェットヘッド群1の各ヘッドに液滴の吐出制御用の電圧を供給する。また、X方向駆動モータ2にインクジェットヘッド群1のX軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を、Y方向駆動モータ3に載置台7のY軸方向の移動を制御する駆動パルス信号を供給する。
The Y-direction guide shaft 5 is fixed so as not to move with respect to the base 9. The mounting table 7 includes a Y-direction drive motor 3. The Y-direction drive motor 3 is a stepping motor or the like, and moves the mounting table 7 in the Y-axis direction when a drive signal in the Y-axis direction is supplied from the control device 6.
The control device 6 supplies a droplet discharge control voltage to each head of the inkjet head group 1. Further, a drive pulse signal for controlling the movement of the inkjet head group 1 in the X-axis direction is supplied to the X-direction drive motor 2, and a drive pulse signal for controlling the movement of the mounting table 7 in the Y-axis direction is supplied to the Y-direction drive motor 3. .

クリーニング機構部8は、インクジェットヘッド群1をクリーニングする機構を備えている。クリーニング機構部8には、図示しないY方向の駆動モータが備えられる。このY方向の駆動モータの駆動により、クリーニング機構8は、Y方向ガイド軸5に沿って移動する。クリーニング機構8の移動も、制御装置6によって制御される。
ヒータ15は、ここではランプアニールにより基板101を熱処理する手段であり、基板101上に塗布された液体材料21の蒸発・乾燥を行うとともに機能性材料の膜に変換させる。このヒータの電源の投入及び遮断も制御装置6によって制御される。
本実施形態の膜パターン形成装置100によれば、細線、厚膜の膜パターンを、バルジを発生させることなく形成することができる。
The cleaning mechanism unit 8 includes a mechanism for cleaning the inkjet head group 1. The cleaning mechanism unit 8 includes a Y-direction drive motor (not shown). The cleaning mechanism 8 moves along the Y-direction guide shaft 5 by driving the Y-direction drive motor. The movement of the cleaning mechanism 8 is also controlled by the control device 6.
Here, the heater 15 is a means for heat-treating the substrate 101 by lamp annealing, and evaporates and dries the liquid material 21 applied on the substrate 101 and converts it into a functional material film. The control device 6 controls the turning on and off of the heater.
According to the film pattern forming apparatus 100 of the present embodiment, a thin line and thick film pattern can be formed without generating bulges.

<配線基板>
以上のような方法により製造した配線基板について説明する。
図4は、液晶装置の第1基板上の信号電極等(配線基板)の平面レイアウトを示すものである。かかる液晶装置は、この第1基板と、走査電極等が設けられた第2基板(図示せず)と、第1基板と第2基板との間に封入された液晶(図示せず)とから概略構成されている。
<Wiring board>
The wiring board manufactured by the above method will be described.
FIG. 4 shows a planar layout of signal electrodes and the like (wiring substrate) on the first substrate of the liquid crystal device. Such a liquid crystal device includes a first substrate, a second substrate (not shown) provided with scanning electrodes and the like, and a liquid crystal (not shown) sealed between the first substrate and the second substrate. It is roughly structured.

図4に示すように、第1基板300上の画素領域303には、複数の信号電極310が多重マトリクス状に設けられている。特に各信号電極310は、各画素に対応して設けられた複数の画素電極部分310aとこれらを多重マトリクス状に接続する信号配線部分310bとから構成されており、Y方向に伸延している。
また、符号350は1チップ構造の液晶駆動回路で、この液晶駆動回路350と信号配線部分310bの一端側(図中下側)とが第1引き回し配線331を介して接続されている。
As shown in FIG. 4, a plurality of signal electrodes 310 are provided in a multiple matrix form in the pixel region 303 on the first substrate 300. In particular, each signal electrode 310 includes a plurality of pixel electrode portions 310a provided corresponding to each pixel and a signal wiring portion 310b connecting them in a multiplex matrix shape, and extends in the Y direction.
Reference numeral 350 denotes a one-chip liquid crystal driving circuit. The liquid crystal driving circuit 350 and one end side (lower side in the figure) of the signal wiring portion 310 b are connected via a first routing wiring 331.

また、符号340は上下導通端子で、この上下導通端子340と、図示しない第2基板上に設けられた端子とが上下導通材341によって接続されている。また、上下導通端子340と液晶駆動回路350とが第2引き回し配線332を介して接続されている。
本実施形態では、上記第1基板300上に設けられた信号配線部分310b、第1引き回し配線331、第2引き回し配線332が、各々上記配線形成装置100を用いて、上記配線基板の製造方法によって形成されている。本液晶装置によれば、上記各配線類の断線や短絡等の不良が生じにくく、しかも、小型化、薄型化が可能な液晶装置とすることができる。
Reference numeral 340 denotes a vertical conduction terminal. The vertical conduction terminal 340 and a terminal provided on a second substrate (not shown) are connected by a vertical conduction material 341. In addition, the vertical conduction terminal 340 and the liquid crystal driving circuit 350 are connected via the second routing wiring 332.
In the present embodiment, the signal wiring portion 310b, the first routing wiring 331, and the second routing wiring 332 provided on the first substrate 300 are each formed by the wiring substrate manufacturing method using the wiring forming apparatus 100. Is formed. According to the present liquid crystal device, it is possible to obtain a liquid crystal device that is less likely to cause a failure such as disconnection or short circuit of the respective wirings, and that can be reduced in size and thickness.

以上、本発明のギ酸銅の製造方法、銅粒子の製造方法、配線基板の製造方法を好適実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
例えば、本発明のギ酸銅の製造方法では、任意の目的の工程が1または2以上追加されてもよい。
また、本発明の銅粒子の製造方法では、任意の目的の工程が1または2以上追加されてもよい。
また、本発明の配線基板の製造方法では、任意の目的の工程が1または2以上追加されてもよい。
As mentioned above, although the manufacturing method of the copper formate of this invention, the manufacturing method of a copper particle, and the manufacturing method of a wiring board were demonstrated based on suitable embodiment, this invention is not limited to these.
For example, in the method for producing copper formate according to the present invention, one or two or more optional steps may be added.
Moreover, in the method for producing copper particles of the present invention, one or two or more optional steps may be added.
In the method for manufacturing a wiring board according to the present invention, one or two or more arbitrary steps may be added.

次に、本発明の具体的実施例について説明する。
I.ギ酸銅の製造
(実施例1)
フラスコに98%のギ酸50g(1.1mol)を入れて、氷含有ウォーターバス中、0℃付近に冷却した。その後、フラスコを氷含有ウォーターバス中、ギ酸液を攪拌しながら、20%過酸化水素水10.5gを滴下した。滴下後、冷却しながら、1時間攪拌を続けた。これにより、過ギ酸を生成させた。
Next, specific examples of the present invention will be described.
I. Production of copper formate (Example 1)
A flask was charged with 50 g (1.1 mol) of 98% formic acid and cooled to around 0 ° C. in an ice-containing water bath. Thereafter, 10.5 g of 20% aqueous hydrogen peroxide was added dropwise to the flask in an ice-containing water bath while stirring the formic acid solution. After dropping, stirring was continued for 1 hour while cooling. This produced formic acid.

次に、99.99%の銅粉末3g(0.05mol、平均粒径:約3μm)を過ギ酸溶液に添加した。フラスコを氷含有ウォーターバスから取り出して、そのまま8時間攪拌を続けた。その間、青色の溶液ができ、ほとんどの銅粉末が溶解した。
僅かな不溶物を除去するため、テフロン製(「テフロン」は登録商標、以下同じ)のメンブレン(3μm)を用い、減圧濾過を行った。得られたろ液を、ウォーターバスで70℃に加熱しながらロータリーエバポレーターで溶媒(ギ酸・水)を除去し、青色のギ酸銅粉末を得た。得られた粉末を、55℃での真空恒温槽中で、8時間で真空乾燥を行った。収率は、93%だった。
Next, 3 g (0.05 mol, average particle size: about 3 μm) of 99.99% copper powder was added to the formic acid solution. The flask was removed from the ice-containing water bath, and stirring was continued for 8 hours. Meanwhile, a blue solution was formed and most of the copper powder was dissolved.
In order to remove a slight amount of insoluble matter, vacuum filtration was performed using a membrane (3 μm) made of Teflon (“Teflon” is a registered trademark, the same applies hereinafter). While the obtained filtrate was heated to 70 ° C. with a water bath, the solvent (formic acid / water) was removed with a rotary evaporator to obtain a blue copper formate powder. The obtained powder was vacuum dried in a vacuum thermostatic chamber at 55 ° C. for 8 hours. The yield was 93%.

(実施例2)
フラスコに98%のギ酸50g(1.1mol)、99.99%の銅粉末3g(0.05mol、平均粒径:約3μm)を入れて、氷含有ウォーターバス中、0℃付近に冷却した。その後、反応液を攪拌しながら、20%過酸化水素水10.5gを滴下した。滴下後、冷却しながら、1時間攪拌を続けた。
(Example 2)
A flask was charged with 50 g (1.1 mol) of 98% formic acid and 3 g (0.05 mol, average particle size: about 3 μm) of 99.99% copper powder, and cooled to around 0 ° C. in an ice-containing water bath. Then, 10.5 g of 20% aqueous hydrogen peroxide was added dropwise while stirring the reaction solution. After dropping, stirring was continued for 1 hour while cooling.

1時間攪拌後、フラスコを氷含有ウォーターバスから取り出して、そのまま8時間攪拌を続けた。その間、青色の溶液ができ、ほとんどの銅粉末が溶解した。これにより、反応系中でギ酸と過酸化水素が反応して過ギ酸が生成し、その過ギ酸が銅と反応することでギ酸銅が得られた。
次に、テフロン製のメンブレン(3μm)を用いて減圧濾過を行い、得られたろ液を、ウォーターバスで70℃に加熱しながらロータリーエバポレーターで溶媒(ギ酸・水)を除去した。得られた青色粉末を、55℃での真空恒温槽中で、8時間で真空乾燥した。収率は、90%だった。
After stirring for 1 hour, the flask was removed from the ice-containing water bath, and stirring was continued for 8 hours. Meanwhile, a blue solution was formed and most of the copper powder was dissolved. Thereby, formic acid and hydrogen peroxide reacted in the reaction system to form formic acid, and the formic acid reacted with copper to obtain copper formate.
Next, vacuum filtration was performed using a Teflon membrane (3 μm), and the solvent (formic acid / water) was removed with a rotary evaporator while heating the obtained filtrate at 70 ° C. with a water bath. The obtained blue powder was vacuum-dried in a vacuum thermostatic chamber at 55 ° C. for 8 hours. The yield was 90%.

(実施例3)
フラスコに98%のギ酸50g(1.1mol)、99.99%の銅粉末3g(0.05mol、平均粒径:約3μm)を入れて、氷含有ウォーターバス中、0℃付近に冷却した。その後、反応液を攪拌しながら、オゾン発生装置により発生したオゾンを1時間バブリングした。
(Example 3)
A flask was charged with 50 g (1.1 mol) of 98% formic acid and 3 g (0.05 mol, average particle size: about 3 μm) of 99.99% copper powder, and cooled to around 0 ° C. in an ice-containing water bath. Thereafter, while the reaction solution was stirred, ozone generated by the ozone generator was bubbled for 1 hour.

1時間後、オゾンのバブリングを止め、フラスコを氷含有ウォーターバスから取り出して、そのまま8時間攪拌を続けた。その間、青色の溶液ができ、ほとんどの銅粉末が溶解した。これにより、反応系中で銅とオゾンが反応して2価の銅になり、その銅がギ酸と反応することでギ酸銅が得られた。
次に、テフロン製のメンブレン(3μm)を用いて減圧濾過を行い、得られたろ液を、ウォーターバスで70℃に加熱しながらロータリーエバポレーターで溶媒(ギ酸・水)を除去した。得られた青色粉末を、55℃での真空恒温槽中で、8時間で真空乾燥した。収率は91%だった。
(比較例1)
フラスコに、98%のギ酸50g(1.1mol)と、99.99%の銅粉末3g(0.05mol、平均粒径:約3μm)を入れて攪拌した。しかし、ギ酸と銅は反応せず、ギ酸銅は得られなかった。
After 1 hour, the bubbling of ozone was stopped, the flask was removed from the ice-containing water bath, and stirring was continued for 8 hours. Meanwhile, a blue solution was formed and most of the copper powder was dissolved. Thereby, copper and ozone reacted in the reaction system to become divalent copper, and copper formate reacted with formic acid to obtain copper formate.
Next, vacuum filtration was performed using a Teflon membrane (3 μm), and the solvent (formic acid / water) was removed with a rotary evaporator while heating the obtained filtrate at 70 ° C. with a water bath. The obtained blue powder was vacuum-dried in a vacuum thermostatic chamber at 55 ° C. for 8 hours. The yield was 91%.
(Comparative Example 1)
In a flask, 50 g (1.1 mol) of 98% formic acid and 3 g (0.05 mol, average particle size: about 3 μm) of 99.99% copper powder were added and stirred. However, formic acid and copper did not react and copper formate was not obtained.

II.ギ酸銅の評価
実施例1で得られたギ酸銅をアルミナ製パン上にロードし、熱分析装置(TAインスツルメンツ社製Q500型)を用いて分析を行った。
なお、熱分析(TGA)の測定条件は、窒素流量40ml/min、昇温条件20℃/minである。
II. Evaluation of copper formate The copper formate obtained in Example 1 was loaded on an alumina pan and analyzed using a thermal analyzer (TA Instruments Q500 type).
The measurement conditions for thermal analysis (TGA) are a nitrogen flow rate of 40 ml / min and a temperature increase condition of 20 ° C./min.

熱分析の結果を図5に示す。図5に示すように、ギ酸銅は、市販のギ酸銅(シグマ・アルドリッチ・ジャパン社製、#4040942)と同等の熱分解挙動が得られた。すなわち、約90℃での水和物の蒸発、約220℃でのギ酸銅の分解(ギ酸銅 → 銅、二酸化炭素、一酸化炭素、水素、水)が確認された。また、約220℃の重量変化は58.27%であり、無水ギ酸銅の理論値=58.62%とほぼ同程度であった。
以上のことから、ギ酸銅が製造されたことが確認された。
なお、実施例2、3で得られたギ酸銅も同様に評価を行い、ギ酸銅が製造されたことを確認した。
The result of thermal analysis is shown in FIG. As shown in FIG. 5, the thermal decomposition behavior of copper formate equivalent to that of commercially available copper formate (manufactured by Sigma-Aldrich Japan, # 4040942) was obtained. That is, hydrate evaporation at about 90 ° C. and decomposition of copper formate at about 220 ° C. (copper formate → copper, carbon dioxide, carbon monoxide, hydrogen, water) were confirmed. The weight change at about 220 ° C. was 58.27%, which was almost the same as the theoretical value of anhydrous copper formate = 58.62%.
From the above, it was confirmed that copper formate was produced.
In addition, the copper formate obtained in Examples 2 and 3 was similarly evaluated, and it was confirmed that copper formate was produced.

III.銅粒子の製造
(実施例4)
<1> ギ酸銅錯体の製造
実施例1で得られたギ酸銅50g(0.46mol)を、55℃の真空恒温槽に入れ、重量変化がなくなるまで乾燥した。これにより、無水ギ酸銅を得た。一方、ドデシルアミン(20g、0.1mol)をサンプル瓶に入れ、50℃の恒温槽で溶かした。
次に、得られた無水ギ酸銅(50mg)を、溶解したドデシルアミンに添加し、サンプル瓶に蓋して、50℃の恒温槽に入れた。約2時間を後、透明な青色の溶液ができた。
III. Production of copper particles (Example 4)
<1> Production of copper formate complex 50 g (0.46 mol) of copper formate obtained in Example 1 was placed in a 55 ° C. vacuum thermostat and dried until there was no change in weight. Thereby, anhydrous copper formate was obtained. On the other hand, dodecylamine (20 g, 0.1 mol) was put in a sample bottle and dissolved in a thermostatic bath at 50 ° C.
Next, the obtained anhydrous copper formate (50 mg) was added to the dissolved dodecylamine, covered with a sample bottle, and placed in a thermostatic bath at 50 ° C. After about 2 hours, a clear blue solution was formed.

次に、アセトニトリル(30g)を添加して、結晶性の固体物を析出させた。再び蓋をして、再度50℃の恒温槽にサンプル瓶を入れた。約1時間後、再び青色の透明溶液ができた。サンプル瓶を恒温槽から取り出して、常温(20℃)までの自然冷却を行った結果、針状結晶が得られた。この針状結晶を濾過で採取し、アセトニトリルで洗浄した後、真空乾燥を行った。これにより、ギ酸銅・ドデシルアミンの錯体を収率94%で得た。
<2> 銅粒子の製造
<1>で得られたギ酸銅・ドデシルアミン錯体の1g(1.9mmol)を、ドデシルアミン20gに溶かし、120℃に加熱した。これにより、収率95%で銅粒子を得た。
Next, acetonitrile (30 g) was added to precipitate a crystalline solid. The lid was put on again, and the sample bottle was put into a constant temperature bath at 50 ° C. again. After about 1 hour, a blue transparent solution was formed again. As a result of taking out the sample bottle from the thermostatic chamber and performing natural cooling to room temperature (20 ° C.), needle-like crystals were obtained. The needle crystals were collected by filtration, washed with acetonitrile, and then vacuum dried. As a result, a complex of copper formate / dodecylamine was obtained in a yield of 94%.
<2> Production of Copper Particles 1 g (1.9 mmol) of the copper formate / dodecylamine complex obtained in <1> was dissolved in 20 g of dodecylamine and heated to 120 ° C. Thereby, copper particles were obtained with a yield of 95%.

(実施例5)
実施例2で得られたギ酸銅を用い、実施例4と同様の方法により行い、収率95%で銅粒子を得た。
(実施例6)
実施例3で得られたギ酸銅を用い、実施例4と同様の方法により行い、収率95%で銅粒子を得た。
(Example 5)
The copper formate obtained in Example 2 was used in the same manner as in Example 4 to obtain copper particles with a yield of 95%.
(Example 6)
The copper formate obtained in Example 3 was used in the same manner as in Example 4 to obtain copper particles with a yield of 95%.

(実施例7)
実施例4において、ドデシルアミンをヘキシルアミンに替えた以外は実施例4と同様に行い、収率89%で銅粒子を得た。なお、ヘキシルアミンは、室温(20℃)で液体であるため、50℃の恒温槽には入れず、そのまま使用した。
(実施例8)
実施例4において、ドデシルアミンをオクチルアミンに替えた以外は実施例4と同様に行い、収率91%で銅粒子を得た。なお、オクチルアミンは、室温(20℃)で液体であるため、50℃の恒温槽には入れず、そのまま使用した。
(Example 7)
In Example 4, except having replaced the dodecylamine with hexylamine, it carried out similarly to Example 4 and obtained the copper particle with the yield of 89%. Since hexylamine is a liquid at room temperature (20 ° C.), it was used as it was without being placed in a thermostatic bath at 50 ° C.
(Example 8)
In Example 4, except having replaced the dodecylamine with octylamine, it carried out like Example 4 and obtained the copper particle by 91% of yield. In addition, since octylamine is a liquid at room temperature (20 ° C.), it was used as it was without being placed in a thermostatic bath at 50 ° C.

(実施例9)
実施例4において、ドデシルアミンをデシルアミンに替えた以外は実施例4と同様に行い、収率90%で銅粒子を得た。なお、デシルアミンは、室温(20℃)で液体であるため、50℃の恒温槽には入れず、そのまま使用した。
(実施例10)
実施例4において、ドデシルアミンをヘキサデシルアミンに替えた以外は実施例4と同様に行い、収率91%で銅粒子を得た。
Example 9
In Example 4, it carried out like Example 4 except having replaced the dodecylamine with the decylamine, and obtained the copper particle with the yield of 90%. Since decylamine is a liquid at room temperature (20 ° C.), it was used as it was without being placed in a thermostatic bath at 50 ° C.
(Example 10)
In Example 4, except having replaced the dodecylamine with the hexadecylamine, it carried out like Example 4 and obtained the copper particle with the yield of 91%.

(実施例11)
実施例5において、ドデシルアミンをヘキシルアミンに替えた以外は実施例7と同様に行い、同様の収率で銅粒子を得た。
(実施例12)
実施例5において、ドデシルアミンをオクチルアミンに替えた以外は実施例8と同様に行い、同様の収率で銅粒子を得た。
(Example 11)
In Example 5, except that dodecylamine was replaced with hexylamine, it was performed in the same manner as in Example 7, and copper particles were obtained in the same yield.
(Example 12)
In Example 5, except changing dodecylamine to octylamine, it carried out similarly to Example 8 and obtained the copper particle with the same yield.

(実施例13)
実施例5において、ドデシルアミンをデシルアミンに替えた以外は実施例9と同様に行い、同様の収率で銅粒子を得た。
(実施例14)
実施例5において、ドデシルアミンをヘキサデシルアミンに替えた以外は実施例10と同様に行い、同様の収率で銅粒子を得た。
(Example 13)
In Example 5, except having replaced the dodecylamine with the decylamine, it carried out similarly to Example 9 and obtained the copper particle with the same yield.
(Example 14)
In Example 5, except having replaced the dodecylamine with the hexadecylamine, it carried out similarly to Example 10 and obtained the copper particle with the same yield.

(実施例15)
実施例6において、ドデシルアミンをヘキシルアミンに替えた以外は実施例7と同様に行い、同様の収率で銅粒子を得た。
(実施例16)
実施例6において、ドデシルアミンをオクチルアミンに替えた以外は実施例8と同様に行い、同様の収率で銅粒子を得た。
(Example 15)
In Example 6, except having replaced the dodecylamine with hexylamine, it carried out similarly to Example 7 and obtained the copper particle with the same yield.
(Example 16)
In Example 6, except having replaced the dodecylamine with octylamine, it carried out like Example 8 and obtained the copper particle with the same yield.

(実施例17)
実施例6において、ドデシルアミンをデシルアミンに替えた以外は実施例9と同様に行い、同様の収率で銅粒子を得た。
(実施例18)
実施例6において、ドデシルアミンをヘキサデシルアミンに替えた以外は実施例10と同様に行い、同様の収率で銅粒子を得た。
(Example 17)
In Example 6, except having replaced dodecylamine with decylamine, it carried out similarly to Example 9 and obtained the copper particle with the same yield.
(Example 18)
In Example 6, except having replaced the dodecylamine with the hexadecylamine, it carried out similarly to Example 10 and obtained the copper particle with the same yield.

(比較例2)
実施例1で得られたギ酸銅50gを、55℃の真空恒温槽に入れ、重量変化がなくなるまで乾燥した。これにより、無水ギ酸銅を得た。
得られた無水ギ酸銅(50mg)をヘテロ芳香族化合物である2、6ジメチルピリジン(10g)に添加し、サンプル瓶に蓋して、50℃の恒温槽に入れた。しかし、無水ギ酸銅は、2、6ジメチルピリジンに溶解せず、銅粒子は得られなかった。
(Comparative Example 2)
50 g of the copper formate obtained in Example 1 was placed in a 55 ° C. vacuum thermostat and dried until there was no change in weight. Thereby, anhydrous copper formate was obtained.
The obtained anhydrous copper formate (50 mg) was added to 2,6 dimethylpyridine (10 g), which is a heteroaromatic compound, covered with a sample bottle, and placed in a thermostatic bath at 50 ° C. However, anhydrous copper formate was not dissolved in 2,6 dimethylpyridine, and copper particles were not obtained.

IV.銅粒子の評価
実施例4で得られたギ酸銅・ドデシルアミン錯体をアルミナ製パンにロードし、熱分析装置(TAインスツルメンツ社製Q500型)を用いて分析を行った。
なお、熱分析(TGA)の測定条件は、窒素流量40ml/min、昇温条件20℃/minである。
IV. Evaluation of Copper Particles The copper formate / dodecylamine complex obtained in Example 4 was loaded on an alumina pan and analyzed using a thermal analyzer (TA Instruments Q500 type).
The measurement conditions for thermal analysis (TGA) are a nitrogen flow rate of 40 ml / min and a temperature increase condition of 20 ° C./min.

熱分析の結果を図6に示す。図6に示すように、ギ酸銅・ドデシルアミンの錯体は、約120℃でその重量が急激に減少し、370℃付近までで90.8%(計算値87.9%)の重量が減少した。また、約138℃〜160℃で2つのピークが得られた。
以上のことから、ギ酸銅・ドデシルアミン錯体の加熱により、ギ酸銅・ドデシルアミン錯体のギ酸配位子が二酸化炭素に酸化され、銅が0価に還元され、銅粒子が製造されたことが確認された。
また、透過型電子顕微鏡(JEOL社製JEM 2000EX)を用いて、実施例4で得られた銅粒子の平均粒径を測定した。その結果、平均粒径は8nmであった。
なお、実施例5〜18の銅粒子も同様に行い、同様の平均粒径で銅粒子が製造されたことを確認した。
The result of thermal analysis is shown in FIG. As shown in FIG. 6, the weight of the copper formate / dodecylamine complex rapidly decreased at about 120 ° C., and decreased to 90.8% (calculated value: 87.9%) up to around 370 ° C. . Two peaks were obtained at about 138 ° C to 160 ° C.
From the above, it was confirmed that the formic acid ligand of the copper formate / dodecylamine complex was oxidized to carbon dioxide by the heating of the copper formate / dodecylamine complex, the copper was reduced to zero valence, and the copper particles were produced. It was done.
Moreover, the average particle diameter of the copper particles obtained in Example 4 was measured using a transmission electron microscope (JEM 2000EX manufactured by JEOL). As a result, the average particle size was 8 nm.
In addition, the copper particles of Examples 5 to 18 were performed in the same manner, and it was confirmed that the copper particles were produced with the same average particle diameter.

V.配線基板の製造
(実施例19)
前記実施例4で製造された銅粒子を、デカリンに60wt%となるように分散させた。これに、さらにドデシルベンゼンを添加することにより、インクジェット用のインク(液体材料)を調製した。なお、調製されたインクの粘度は、12mPa・sであった。そして、アルゴンガスの雰囲気下でのグローブボックス中、インクジェット装置を用いて、このインクをガラス基板上に、ライン状のパターンで吐出した後、100℃で加熱乾燥することにより成膜した。さらに、この膜上に同様に膜を形成する(積層)操作を繰り返して行い、膜厚を1.2μmとした。次に、アルゴンガスの雰囲気下でのグローブボックス中、得られた膜を300℃で30分間焼成を行うことにより、核同士を焼結させた。
以上の工程により、基板に線幅:50μm×厚さ:1μmの配線を形成した。
V. Production of wiring board (Example 19)
The copper particles produced in Example 4 were dispersed in decalin so as to be 60 wt%. Inkjet ink (liquid material) was prepared by further adding dodecylbenzene thereto. The viscosity of the prepared ink was 12 mPa · s. Then, this ink was ejected onto a glass substrate in a line pattern in a glove box under an argon gas atmosphere by using a line pattern, and then heated and dried at 100 ° C. to form a film. Further, a film forming (laminating) operation was similarly repeated on this film to make the film thickness 1.2 μm. Next, the obtained film was baked at 300 ° C. for 30 minutes in a glove box under an argon gas atmosphere to sinter the nuclei.
Through the above steps, a wiring having a line width of 50 μm and a thickness of 1 μm was formed on the substrate.

(実施例20)
実施例19において、実施例7で得られた銅粒子を用いた以外は、実施例19と同様に行い、配線基板を得た。
(実施例21)
実施例19において、実施例8で得られた銅粒子を用いた以外は、実施例19と同様に行い、配線基板を得た。
(Example 20)
In Example 19, except having used the copper particle obtained in Example 7, it carried out similarly to Example 19 and obtained the wiring board.
(Example 21)
In Example 19, except having used the copper particle obtained in Example 8, it carried out similarly to Example 19 and obtained the wiring board.

(実施例22)
実施例19において、実施例9で得られた銅粒子を用いた以外は、実施例19と同様に行い、配線基板を得た。
(実施例23)
実施例19において、実施例10で得られた銅粒子を用いた以外は、実施例19と同様に行い、配線基板を得た。
(Example 22)
In Example 19, except having used the copper particle obtained in Example 9, it carried out similarly to Example 19 and obtained the wiring board.
(Example 23)
In Example 19, except having used the copper particle obtained in Example 10, it carried out similarly to Example 19 and obtained the wiring board.

VI.配線基板の評価
実施例19で得られた配線基板を検品したところ、クラックやピンホールのような欠損(欠陥)、断線や短絡等のない、良好な品質の配線が得られた。また、配線の寸法精度も高かった。
なお、実施例20〜23の配線基板も同様に検品を行い、同様の品質であることを確認した。
VI. Evaluation of Wiring Substrate When the wiring substrate obtained in Example 19 was inspected, a good quality wiring without defects (defects) such as cracks and pinholes, disconnection and short circuit was obtained. Also, the dimensional accuracy of the wiring was high.
In addition, the wiring boards of Examples 20 to 23 were also inspected in the same manner to confirm that they had the same quality.

本発明の銅粒子を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the copper particle of this invention. 本発明の配線基板の製造方法を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the manufacturing method of the wiring board of this invention. 本発明の配線基板の製造方法に用いられる配線形成装置の概略斜視図である。It is a schematic perspective view of the wiring formation apparatus used for the manufacturing method of the wiring board of this invention. 本発明の配線基板の製造方法により製造された配線基板を示す平面図である。It is a top view which shows the wiring board manufactured by the manufacturing method of the wiring board of this invention. 実施例1で得られたギ酸銅の熱分析結果を示す図である。図左縦軸はギ酸銅の重量変化(%)、図右縦軸は分解物の重量変化対温度の微分(%/℃)、横軸は温度(℃)を示す。It is a figure which shows the thermal-analysis result of the copper formate obtained in Example 1. The vertical axis on the left of the figure indicates the weight change (%) of copper formate, the vertical axis on the right of the figure indicates the weight change of the decomposed product versus the temperature derivative (% / ° C.), and the horizontal axis indicates the temperature (° C.). 実施例4で得られた銅粒子の熱分析結果を示す図である。図左縦軸はギ酸銅錯体の重量変化(%)、図右縦軸は銅粒子の重量変化対温度の微分(%/℃)、横軸は温度(℃)を示す。It is a figure which shows the thermal-analysis result of the copper particle obtained in Example 4. The left vertical axis in the figure represents the weight change (%) of the copper formate complex, the vertical axis in the figure represents the weight change of the copper particles versus the temperature differential (% / ° C), and the horizontal axis represents the temperature (° C).

符号の説明Explanation of symbols

1‥‥インクジェットヘッド群 2‥‥X方向駆動モータ 3‥‥Y方向駆動モータ 4‥‥X方向駆動軸 5‥‥Y方向ガイド軸 6‥‥制御装置 7‥‥載置台 8‥‥クリーニング機構部 9‥‥基台 10……銅粒子 11……核 12……脂肪族アミン 15‥‥ヒータ 21‥‥液体材料 22‥‥機能性膜(配線) 100‥‥配線形成装置 101‥‥基板 300‥‥第1基板 303‥‥画素領域 310‥‥信号電極 310a‥‥画素電極部分 310b‥‥信号配線部分 331‥‥第1引き回し配線 332‥‥第2引き回し配線 340‥‥上下導通端子 341‥‥上下導通材 350‥‥液晶駆動回路 D‥‥平均粒径
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Inkjet head group 2 ... X direction drive motor 3 ... Y direction drive motor 4 ... X direction drive shaft 5 ... Y direction guide shaft 6 ... Control device 7 ... Mounting table 8 ... Cleaning mechanism 9. Base 10 ... Copper particles 11 ... Core 12 ... Aliphatic amine 15 ... Heater 21 ... Liquid material 22 ... Functional film (wiring) 100 ... Wiring forming device 101 ... Substrate 300 ... First substrate 303 Pixel area 310 Signal electrode 310a Pixel electrode section 310b Signal wiring section 331 First routing wiring 332 Second routing wiring 340 Vertical conduction terminal 341 Vertical Conductive material 350 ... Liquid crystal drive circuit D ... Average particle size

Claims (8)

ギ酸と酸化剤とを反応させて過ギ酸を得る第1の工程と、
前記過ギ酸と銅を反応させてギ酸銅を得る第2の工程とを有することを特徴とするギ酸銅の製造方法。
A first step of reacting formic acid with an oxidizing agent to obtain formic acid;
A method for producing copper formate, comprising: a second step of obtaining copper formate by reacting said formic acid and copper.
前記銅は、その純度が99%以上の銅である請求項に記載のギ酸銅の製造方法。 The method for producing copper formate according to claim 1 , wherein the copper is copper having a purity of 99% or more. 前記酸化剤は、過ギ酸、過酸化水素、オゾンまたは一重項酸素である請求項1または2に記載のギ酸銅の製造方法。 The oxidizing agent is performic acid, hydrogen peroxide, a manufacturing method of formic acid copper according to claim 1 or 2, ozone or singlet oxygen. 請求項1ないしのいずれかに記載のギ酸銅の製造方法により得られるギ酸銅は、銅粒子製造用のものである請求項1ないしのいずれかに記載のギ酸銅の製造方法。 The method for producing copper formate according to any one of claims 1 to 3 , wherein the copper formate obtained by the method for producing copper formate according to any one of claims 1 to 3 is used for producing copper particles. 請求項1ないしのいずれかに記載のギ酸銅の製造方法によりギ酸銅を得る第1の工程と、
前記ギ酸銅を脂肪族アミンに溶解することにより下記一般式(1)
Figure 0005045015
(式中、Cuは2価の銅、RおよびRはそれぞれ置換基を有していてもよい脂肪族炭化水素基を示す。)
で表されるギ酸銅錯体を製造する第2の工程と、
前記ギ酸銅錯体の前記2価の銅が0価の銅に還元されるとともに、前記ギ酸配位子が二酸化炭素に酸化されるように、前記ギ酸銅錯体を分解することにより銅粒子を製造する第3の工程とを有することを特徴とする銅粒子の製造方法。
A first step of obtaining a formic acid copper by the production method of formic acid copper according to any one of claims 1 to 4,
By dissolving the copper formate in an aliphatic amine, the following general formula (1)
Figure 0005045015
(In the formula, Cu represents divalent copper, and R 1 and R 2 each represents an aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent.)
A second step of producing a copper formate complex represented by:
The copper formate is produced by decomposing the copper formate complex so that the divalent copper of the copper formate complex is reduced to zero-valent copper and the formic acid ligand is oxidized to carbon dioxide. It has a 3rd process, The manufacturing method of the copper particle characterized by the above-mentioned.
前記ギ酸銅錯体の分解は、前記ギ酸銅錯体の分解温度付近までまたは当該分解温度以上に加熱することにより行われる請求項に記載の銅粒子の製造方法。 The method for producing copper particles according to claim 5 , wherein the decomposition of the copper formate complex is performed by heating to near the decomposition temperature of the copper formate complex or higher than the decomposition temperature. 前記ギ酸銅錯体の加熱温度は、70〜200℃である請求項に記載の銅粒子の製造方法。 The method for producing copper particles according to claim 6 , wherein the heating temperature of the copper formate complex is 70 to 200 ° C. 請求項ないしのいずれかに記載の銅粒子の製造方法で製造された銅粒子を分散媒に分散させて液体材料を形成する液体材料形成工程と、
前記液体材料を基板に塗布する塗布工程と、
前記塗布工程の後、前記基板に熱処理を施し前記基板上に配線を形成する熱処理工程と、を有する配線基板の製造方法。
A liquid material forming step of forming a liquid material copper particles produced by the production method of the copper particles are dispersed in a dispersion medium according to any one of claims 5 to 7,
An application step of applying the liquid material to a substrate;
A method of manufacturing a wiring board, comprising: after the coating step, performing a heat treatment on the substrate to form a wiring on the substrate.
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