JP5038251B2 - Titanium tetrachloride distillation purification apparatus, maintenance method of the apparatus, and purification method of titanium tetrachloride using the apparatus - Google Patents

Titanium tetrachloride distillation purification apparatus, maintenance method of the apparatus, and purification method of titanium tetrachloride using the apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP5038251B2
JP5038251B2 JP2008196420A JP2008196420A JP5038251B2 JP 5038251 B2 JP5038251 B2 JP 5038251B2 JP 2008196420 A JP2008196420 A JP 2008196420A JP 2008196420 A JP2008196420 A JP 2008196420A JP 5038251 B2 JP5038251 B2 JP 5038251B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
titanium tetrachloride
distillation
purification
purifying
packing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008196420A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2010030857A (en
Inventor
裕樹 西森
克巳 田中
山本  仁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toho Titanium Co Ltd
Original Assignee
Toho Titanium Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toho Titanium Co Ltd filed Critical Toho Titanium Co Ltd
Priority to JP2008196420A priority Critical patent/JP5038251B2/en
Publication of JP2010030857A publication Critical patent/JP2010030857A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5038251B2 publication Critical patent/JP5038251B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)

Description

本発明は、チタン鉱石の塩素化反応で生成した四塩化チタンの蒸留精製装置、同装置の整備方法および同装置による四塩化チタンの精製方法に関する。   The present invention relates to a distillation purification apparatus for titanium tetrachloride produced by a chlorination reaction of titanium ore, a maintenance method for the apparatus, and a purification method for titanium tetrachloride using the apparatus.

四塩化チタンは、金属チタンの原料、酸化チタンあるいは電子材料の原料として幅広く使用されている。四塩化チタンは、通常、酸化チタンを主成分とするチタン鉱石の塩素化反応によって製造されるが、この粗四塩化チタンには、チタン鉱石や塩素化反応に供されたコークスの微粉のみならず、チタン鉱石中に含まれている不純物金属成分も溶存している。   Titanium tetrachloride is widely used as a raw material for titanium metal, titanium oxide or electronic material. Titanium tetrachloride is usually produced by a chlorination reaction of titanium ore containing titanium oxide as a main component. This crude titanium tetrachloride includes not only titanium ore and fine powder of coke used for the chlorination reaction. Impurity metal components contained in the titanium ore are also dissolved.

そこで、このような粗四塩化チタンは、製品として出荷されるに先立って、蒸留精製設備に供されて四塩化チタン中に溶解している不純物成分が分離除去されている。   Thus, prior to shipment of such crude titanium tetrachloride, impurity components dissolved in titanium tetrachloride are separated and removed by being subjected to distillation purification equipment.

前記蒸留精製設備は、底部にリボイラと呼ばれる四塩化チタンの蒸発器を備えており、その上方には、四塩化チタンを均一に分散させる充填物が充填された充填層と、内部に複数の棚段が配設された精留塔とを備えている。リボイラより気化した四塩化チタンガスは、前記蒸留精製設備を構成する精留塔を上昇する一方、精留塔頂部に到達した後、冷却して液化されて流下する液状四塩化チタンと向流接触させることで、四塩化チタン中の低沸点不純物と高沸点不純物が効率よく分離精製されている。四塩化チタンよりも沸点の高い不純物成分は蒸留精製設備の底部に蓄積され、沸点の低い成分は頂部に濃縮分離される。   The distillation purification equipment is equipped with a titanium tetrachloride evaporator called a reboiler at the bottom, and above that is a packed bed filled with a packing for uniformly dispersing titanium tetrachloride, and a plurality of shelves inside. And a rectifying tower provided with stages. Titanium tetrachloride gas vaporized from the reboiler ascends the rectifying column constituting the distillation purification equipment, and reaches the top of the rectifying column, and then is cooled and liquefied to counteract liquid titanium tetrachloride flowing down. By doing so, the low boiling point impurities and the high boiling point impurities in titanium tetrachloride are efficiently separated and purified. Impurity components having a boiling point higher than that of titanium tetrachloride are accumulated at the bottom of the distillation purification equipment, and components having a lower boiling point are concentrated and separated at the top.

しかしながら、長期に亘って前記のような蒸留精製設備を稼働させていくと蒸留精製設備内の圧損が次第に上昇する傾向を示す場合があり、その原因は、四塩化チタン中に含まれている不純物が流路上に析出することによる場合が多い。   However, when the above-mentioned distillation purification equipment is operated over a long period of time, the pressure loss in the distillation purification equipment may tend to increase gradually, and the cause is impurities contained in titanium tetrachloride. Often deposits on the flow path.

このため、前記のような蒸留精製設備の圧損の上昇傾向が著しい場合には、前記蒸留精製設備を解体して、精留塔およびその内部の棚段を整備する必要がある。整備作業を行う場合には、蒸留精製設備の稼働を停止させる必要があり、その結果、生産性が低下して好ましくないとされている。   For this reason, when the tendency of the pressure loss of the distillation purification equipment as described above to increase is significant, it is necessary to dismantle the distillation purification equipment and prepare a rectification column and its internal shelf. When carrying out maintenance work, it is necessary to stop the operation of the distillation purification equipment, and as a result, productivity is lowered, which is undesirable.

また、蒸留精製設備底部のリボイラにて生成した四塩化チタンガスが精留塔を上昇する間に四塩化チタンガス中に含まれている不純物塩化物が冷却されて精留塔の途中で固形の析出物が形成される場合があり、これは精留塔の閉塞を招き改善が求められている。   In addition, the impurity chloride contained in the titanium tetrachloride gas is cooled while the titanium tetrachloride gas generated in the reboiler at the bottom of the distillation purification equipment rises up the rectification tower, and solids are generated in the middle of the rectification tower. In some cases, precipitates are formed, which causes clogging of the rectification tower and is required to be improved.

精留塔の閉塞は、リボイラから精留塔の頂部に至る途中に設けた充填層内で形成される場合が多い。前記した充填層は、リボイラで生成した四塩化チタン蒸気を均一に分散させると共に、前記四塩化チタンガスと液状四塩化チタンとの円滑な接触を可能ならしめるという効果を奏するものである。   In many cases, the rectification column is blocked in a packed bed provided on the way from the reboiler to the top of the rectification column. The packed bed described above has the effect of uniformly dispersing the titanium tetrachloride vapor generated by the reboiler and enabling smooth contact between the titanium tetrachloride gas and the liquid titanium tetrachloride.

よって、前記充填層を撤去すれば精留塔内の閉塞は回避できるが、充填層を用いないと四塩化チタンの純度が低下するという新たな課題が生じる。このように、前記精留塔内の閉塞をできるだけ回避しつつ、効率の良い四塩化チタンの精製方法が求められている。   Therefore, if the packed bed is removed, blockage in the rectification column can be avoided, but if the packed bed is not used, there arises a new problem that the purity of titanium tetrachloride decreases. Thus, there is a demand for an efficient method for purifying titanium tetrachloride while avoiding blockage in the rectification column as much as possible.

更に、前記精留塔内に配置した充填層を塔外に持ち出した後、前記充填層内に析出した不純物を酸洗あるいは水洗した後、次いで乾燥させないと、元の精留塔に戻すことができないという別の課題がある。   Further, after the packed bed arranged in the rectifying column is taken out of the column, the impurities deposited in the packed bed are pickled or washed with water, and then returned to the original rectifying column if not dried. There is another issue that cannot be done.

更には、前記付着物は柔らかい固形物や粘着性の高い物質で構成されているため、前記物質を水洗除去するには長時間を要する場合があり、改善が求められている。   Furthermore, since the deposit is composed of a soft solid or a highly sticky substance, it may take a long time to remove the substance by washing with water, and improvements are required.

この点については、使用済みの精留塔の構成部品を粗四塩化チタンで洗浄する方法が開示されているが(例えば、特許文献1参照)、洗浄液である粗四塩化チタン中には不純物が多く含まれているために、前記精留塔の構成部品を却って汚染する場合があり改善が求められている。   With respect to this point, a method of cleaning the components of the used rectifying column with crude titanium tetrachloride has been disclosed (see, for example, Patent Document 1), but impurities are contained in the crude titanium tetrachloride as a cleaning liquid. Since it is contained in a large amount, the components of the rectifying column may be contaminated instead, and there is a need for improvement.

特開2006−055740号JP 2006-055740 A

以上述べたように、四塩化チタンの蒸留精製設備である精留塔内に配設された充填層における閉塞をできるだけ回避すると共に、一旦閉塞した充填層を効率よく整備して元の状態に復帰させる技術が望まれている。   As mentioned above, the clogging in the packed bed installed in the rectification column, which is a distillation purification facility for titanium tetrachloride, is avoided as much as possible, and the once clogged packed bed is efficiently maintained and restored to its original state. The technology to make it want is desired.

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて成されたものであって、四塩化チタン中の不純物を固形物として分離して高純度の四塩化チタンが得られると共に、前記精留塔に使用される充填層を効率よく整備することのできる方法の提供を目的としている。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, wherein impurities in titanium tetrachloride are separated as solids to obtain high-purity titanium tetrachloride. It aims at providing the method which can maintain the used packed bed efficiently.

かかる実情に基づいて鋭意検討を重ねてきたところ、四塩化チタンの蒸留精製設備を構成する精留塔内に、不規則充填物層と規則充填物層からなる不純物分離装置を配設し、原料四塩化チタン中に含まれる不純物ガスを分解して、固形物として分離回収できることを見出し、本願発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies based on such circumstances, an impurity separation device composed of an irregular packing layer and an ordered packing layer is disposed in a rectifying column that constitutes a distillation purification facility for titanium tetrachloride. It has been found that the impurity gas contained in titanium tetrachloride can be decomposed and separated and recovered as a solid, and the present invention has been completed.

即ち、本願発明は、四塩化チタンを気化させるリボイラ、内包する充填物が脱着可能である不規則充填物層、規則充填物層および精留塔を備えた蒸留精製装置を用いた四塩化チタンの精製方法であって、リボイラで四塩化チタンガスを生成させ、四塩化チタンガスを上記不規則充填物層に導き、次いで四塩化チタンガスを規則充填物層に導き、精留塔から精製塩化チタンを得ることを特徴とするものである。
That is, the present invention relates to a reboiler that vaporizes titanium tetrachloride , an irregular packed bed in which the packed product can be desorbed , a regular packed bed, and a distillation purification apparatus equipped with a rectifying column. A purification method, wherein titanium tetrachloride gas is generated in a reboiler, titanium tetrachloride gas is guided to the irregular packing layer, and then titanium tetrachloride gas is guided to the regular packing layer, and purified titanium chloride from the rectifying column. It is characterized by obtaining.

上記四塩化チタンの精製方法においては、不規則充填物層あるいは前記規則充填物層において、四塩化チタンガス中に含まれる不純物ガスを分解して不純物の固形物として前記充填物上に析出分離させることを好ましい態様としている。   In the above-described method for purifying titanium tetrachloride, the impurity gas contained in the titanium tetrachloride gas is decomposed in the irregular packing layer or the ordered packing layer, and is precipitated and separated on the packing as an impurity solid. This is a preferred embodiment.

また、上記四塩化チタンの精製方法においては、規則充填物層の充填物が、鉛直方向に対して相互に離間して配設された板状部材で構成されていること、および板状部材が金属板であること好ましい態様としている。   Further, in the above-described method for purifying titanium tetrachloride, the packing in the regular packing layer is composed of plate-like members arranged apart from each other in the vertical direction, and the plate-like member is A preferred embodiment is a metal plate.

さらに、上記四塩化チタンの精製方法においては、不規則充填物層の充填物が中空状リング体で構成されていること、中空状リング体が顆粒状の多孔体であること、および、顆粒状の多孔体が金属またはセラミクスで構成されていることを好ましい態様としている。   Further, in the method for purifying titanium tetrachloride, the packing of the irregular packing layer is constituted by a hollow ring body, the hollow ring body is a granular porous body, and the granular shape It is preferable that the porous body is made of metal or ceramics.

本願発明の蒸留精製装置は、四塩化チタンを気化させるリボイラ、内包する充填物が脱着可能である不規則充填物層、規則充填物層、および精留塔とを備えたことを特徴とするものである。 The distillation purification apparatus of the present invention comprises a reboiler for vaporizing titanium tetrachloride , an irregular packed bed in which a packed product can be desorbed , a regular packed bed, and a rectifying column. It is.

また、上記四塩化チタンの蒸留精製装置においては、規則充填物層の充填物が、鉛直方向に対して相互に離間して配設された板状部材で構成されていること、および板状部材が金属板であることを好ましい態様とするものである。   Further, in the above-described titanium tetrachloride distillation purification apparatus, the packing of the regular packing layer is composed of plate-like members disposed apart from each other in the vertical direction, and the plate-like member. Is a metal plate.

さらに、上記四塩化チタンの蒸留精製装置においては、不規則充填物層の充填物が中空状リング体で構成されていること、中空状リング体が顆粒状の多孔体であること、および顆粒状の多孔体が金属またはセラミクスで構成されていることを好ましい態様とするものである。   Furthermore, in the distillation purification apparatus for titanium tetrachloride, the packing of the irregular packing layer is constituted by a hollow ring body, the hollow ring body is a granular porous body, and the granular shape It is preferable that the porous body is made of metal or ceramics.

本願発明の四塩化チタン蒸留精製装置の整備方法は、具体的には蒸留精製装置で使用した不規則充填物の整備方法であって、蒸留精製装置内に配設した上記不規則充填物を脱着し整備することを特徴とするものである。   The maintenance method of the titanium tetrachloride distillation purification apparatus of the present invention is specifically a maintenance method of the irregular packing used in the distillation purification apparatus, and desorbs the irregular packing arranged in the distillation purification apparatus. It is characterized by maintenance.

上記四塩化チタン蒸留精製装置の整備方法においては、蒸留精製装置から脱着した不規則充填物層内の充填物を四塩化チタンで洗浄することを好ましい態様としている。   In the maintenance method of the titanium tetrachloride distillation purification apparatus, a preferred embodiment is that the packing in the irregular packing layer desorbed from the distillation purification apparatus is washed with titanium tetrachloride.

本発明によれば、四塩化チタン中の不純物を効率よく分離除去できるという効果に加えて、前記不純物分離装置の解体整備を効率よく進めることができるという効果を奏するものである。   According to the present invention, in addition to the effect that the impurities in the titanium tetrachloride can be separated and removed efficiently, the effect that the dismantling maintenance of the impurity separation device can be advanced efficiently is achieved.

本発明の最良の実施形態について、図面を用いて以下に説明する。
図1は、本願発明に係る四塩化チタンの蒸留精製装置Rを模式的に表したものである。
蒸留精製装置Rは、精留塔1、リボイラ2、コンデンサ3、規則充填物層4、不規則充填物層5から構成されており、リボイラ2には原料四塩化チタン6が保持されており、図示しない加熱炉にて、四塩化チタンの沸点あるいはそれ以上の温度に保持されている。
The best embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 schematically shows a titanium tetrachloride distillation purification apparatus R according to the present invention.
The distillation purification apparatus R includes a rectifying column 1, a reboiler 2, a condenser 3, an ordered packing layer 4, and an irregular packing layer 5. The reboiler 2 holds raw material titanium tetrachloride 6, The temperature is maintained at a boiling point of titanium tetrachloride or higher in a heating furnace (not shown).

本願発明においては、前記精製すべき原料四塩化チタン6を精留塔1に供給するに先立って、不純物分離装置に導くことが好ましい。本願発明における不純物分離装置とは、規則充填物層4と不規則充填物5を直列に接続して精留塔1の底部に配設することが好ましい。   In the present invention, prior to supplying the raw material titanium tetrachloride 6 to be purified to the rectification column 1, it is preferable to introduce it to an impurity separation device. The impurity separation device in the present invention is preferably arranged at the bottom of the rectifying column 1 by connecting the ordered packing layer 4 and the irregular packing 5 in series.

本願発明においては、前記のような設備を用いることで原料四塩化チタン中に含まれる不純物を固形物として析出させて分離することができるという効果を奏するものであり、さらに、四塩化チタン中に含まれる硫化水素ガスをも効果的に分離することができる。   In the present invention, by using the equipment as described above, the impurities contained in the raw material titanium tetrachloride can be precipitated and separated as solids, and further, in the titanium tetrachloride. The contained hydrogen sulfide gas can also be effectively separated.

前記硫化水素ガスは、蒸留精製に先立って原料四塩化チタン中に含まれるバナジウムを除去するために使用され、反応に与らなかったガスが原料四塩化チタン中に残留したものである。   The hydrogen sulfide gas is used to remove vanadium contained in the raw material titanium tetrachloride prior to distillation purification, and the gas not subjected to the reaction remains in the raw material titanium tetrachloride.

前記四塩化チタンガス中に含まれる硫化水素ガスは、不規則充填物層5あるいは規則充填物層4に接触させることにより硫黄の単体と水素ガスに分解することができる。不規則充填物層5あるいは規則充填物層4にて析出した固形物の硫黄は、水洗により効率的に分離することができる。   The hydrogen sulfide gas contained in the titanium tetrachloride gas can be decomposed into a simple substance of sulfur and hydrogen gas by contacting the irregularly packed layer 5 or the orderedly packed layer 4. Solid sulfur precipitated in the irregular packing layer 5 or the ordered packing layer 4 can be efficiently separated by washing with water.

また、前記固形物は、硫黄以外にも四塩化チタン中のアルミ、ケイ素、またはニオブの塩化物が補足されている場合もある。その場合には、水洗後、更に塩酸で酸洗した方が好ましい。前記した洗浄操作行うことで、アルミやケイ素あるいはニオブの塩化物を効率よく分離除去することができるという効果を奏するものである。   In addition to the sulfur, the solid matter may be supplemented with aluminum, silicon, or niobium chloride in titanium tetrachloride. In that case, it is preferable to wash with water followed by pickling with hydrochloric acid. By performing the above-described washing operation, there is an effect that aluminum, silicon or niobium chloride can be separated and removed efficiently.

本願発明においては、原料四塩化チタン6、あるいはリボイラ2に保持された四塩化チタンガスを、まずは不規則充填物層5を通過させた後、次いで、規則充填物層4を通過させることが好ましい。   In the present invention, it is preferable that the raw material titanium tetrachloride 6 or the titanium tetrachloride gas held in the reboiler 2 is first passed through the irregular packing layer 5 and then passed through the regular packing layer 4. .

前記のような順番で操作を行うことで、精留塔1の本体に原料四塩化チタンを供給するに先立って、原料四塩化チタン中に含まれる不純物ガスを分解して固形不純物として分離回収することができるという効果を奏するものである。その結果、精留塔1本体における不純物の析出物を抑制することができるという効果を奏するものである。   By performing the operations in the order described above, prior to supplying the raw material titanium tetrachloride to the main body of the rectifying column 1, the impurity gas contained in the raw material titanium tetrachloride is decomposed and separated and recovered as solid impurities. There is an effect that it is possible. As a result, it is possible to suppress the precipitation of impurities in the rectifying column 1 main body.

本願発明においては、前記不規則充填物層5には中空状リング体を充填するように構成することが好ましい。前記中空状リング体とは、具体的には、例えばドーナツ状のリング体を意味しておりラシッヒリング等の名称で呼ばれているような一般的な精留塔用の充填物を好適に用いることができる。   In the present invention, the irregular filler layer 5 is preferably configured to be filled with a hollow ring body. Specifically, the hollow ring body preferably means, for example, a packing for a general rectification tower, which means a donut-shaped ring body and is called by a name such as Raschig ring. Can do.

本願発明においては、前記不規則充填物層5を、四塩化チタンの蒸留精製装置Rの底部に配設したリボイラ2の直上に配設することが好ましい。前記不規則充填物層5をリボイラ2の直上に配設することで、リボイラ2から蒸発してくる四塩化チタン蒸気に混じって飛散する液状四塩化チタンを効率よく捕捉することができるという効果を奏するものである。   In this invention, it is preferable to arrange | position the said irregular packing layer 5 directly on the reboiler 2 arrange | positioned in the bottom part of the distillation purification apparatus R of titanium tetrachloride. By disposing the irregular packing layer 5 immediately above the reboiler 2, it is possible to efficiently capture the liquid titanium tetrachloride scattered in the titanium tetrachloride vapor evaporated from the reboiler 2. It is what you play.

また、原料四塩化チタン6も、前記のように、不規則充填物層5を通過させた後、規則充填物層4を通過させることが好ましい。   Further, the raw material titanium tetrachloride 6 is preferably passed through the irregular filler layer 4 after passing through the irregular filler layer 5 as described above.

不規則充填物層5は、前記のように高温の四塩化チタンガスに曝されるため、耐食性のある物質で構成することが好ましくい。前記物質としては、耐食性のある金属やセラミクスで構成することが好ましい。前記耐食性のある金属としては、ステンレス鋼で構成することが好ましく、SUS304やSUS316等で構成することが好ましい。一方、耐食性のあるセラミクスとしては、窒化ケイ素や窒化アルミで構成することが好ましい。   Since the irregularly packed layer 5 is exposed to the high-temperature titanium tetrachloride gas as described above, it is preferable that the irregularly packed layer 5 is made of a corrosion-resistant substance. The substance is preferably composed of a corrosion-resistant metal or ceramic. The corrosion-resistant metal is preferably made of stainless steel, and is preferably made of SUS304, SUS316, or the like. On the other hand, the ceramic having corrosion resistance is preferably composed of silicon nitride or aluminum nitride.

本願発明に係る中空状リング体の大きさは外径25mm〜100mmの範囲に構成しておくことが好ましい。前記のような顆粒状の大きさの顆粒状多孔体により不規則充填物層5を構成することで、リボイラ2から飛散してくる液状四塩化チタンを効率よく捕捉することができるという効果を奏するものである。   The size of the hollow ring body according to the present invention is preferably configured in the range of an outer diameter of 25 mm to 100 mm. By forming the irregular packing layer 5 with the granular porous body having the granular size as described above, there is an effect that the liquid titanium tetrachloride scattered from the reboiler 2 can be efficiently captured. Is.

前記不規則充填物層5の空隙率は30%〜60%の範囲となるように顆粒状多孔体の気孔率を充填しておくことが好ましい。前記のような空隙率および気孔率で構成することにより、リボイラ2から飛散してくる液状四塩化チタンを効率よく補足できるのみならず、リボイラ2から蒸発してくる四塩化チタンガスの通過も効率よく進めることができるという効果を奏するものである。   It is preferable to fill the porosity of the granular porous body so that the porosity of the irregular filler layer 5 is in the range of 30% to 60%. By configuring with the porosity and porosity as described above, not only can the liquid titanium tetrachloride scattered from the reboiler 2 be efficiently captured, but also the passage of titanium tetrachloride gas evaporating from the reboiler 2 is efficient. There is an effect that it can be advanced well.

本願発明においては、不規則充填物層5を配設した精留塔1の側壁には、図示しない開口部を設けておくことが好ましい。前記した開口部を精留塔1の側壁に設けておくことで、不規則充填物層5に充填した顆粒状の多孔体を外部に効率よく掻き出すことができるという効果を奏するものである。外部に掻き出された中空状リング体は、水洗あるいは酸洗することで、多孔体内部に析出した固形不純物を効率よく洗浄することができる。   In this invention, it is preferable to provide the opening part which is not shown in the side wall of the rectification column 1 in which the irregular packing layer 5 is arrange | positioned. By providing the above-described opening on the side wall of the rectifying column 1, the granular porous body filled in the irregular packing layer 5 can be efficiently scraped to the outside. The hollow ring body scraped to the outside can be efficiently washed with solid impurities deposited inside the porous body by washing with water or pickling.

本願発明においては、不規則充填物層5の直上には、規則充填物層4を配設しておくことが好ましい。前記したような規則充填物層4を配設することで、不規則充填物層5を通過してきた液状の四塩化チタンを確実に捕捉し、気体の四塩化チタンガスのみを精留塔1の上方へ通過させることができるという効果を奏するものである。その結果、液状の四塩化チタンの混入による精製四塩化チタンの品質汚染を効果的に抑制することができるという効果を奏するものである。   In the present invention, it is preferable to arrange the ordered filler layer 4 immediately above the irregular filler layer 5. By disposing the regular packing layer 4 as described above, the liquid titanium tetrachloride that has passed through the irregular packing layer 5 is surely captured, and only the gaseous titanium tetrachloride gas is passed through the rectifying column 1. The effect is that it can be passed upward. As a result, the quality contamination of purified titanium tetrachloride due to mixing of liquid titanium tetrachloride can be effectively suppressed.

前記規則充填物層4は、波型の折り曲げた板を積層した板状部材(スルザーパッキングとも呼ばれる場合がある)から構成し、図1に示すように流通口が互い違いになるように配置することができるが、これ以外の部材を用いて構成しても前記の効果を奏するものである。   The regular packing layer 4 is composed of a plate-like member (sometimes referred to as a sulzer packing) in which corrugated folded plates are laminated, and is arranged so that the circulation ports are staggered as shown in FIG. However, the above-described effects can be obtained even if other members are used.

前記した構成とすることで、リボイラ2から発生した四塩化チタンガスと精留塔1の頂部から流下してきた液状四塩化チタンとの向流接触を効率的に進めることができる。その結果、四塩化チタンガス中の不純物を前記液状四塩化チタンに対して効率的に移動させることができるという効果を奏するものである。   With the configuration described above, countercurrent contact between the titanium tetrachloride gas generated from the reboiler 2 and the liquid titanium tetrachloride flowing down from the top of the rectifying column 1 can be efficiently advanced. As a result, there is an effect that impurities in the titanium tetrachloride gas can be efficiently moved with respect to the liquid titanium tetrachloride.

本願発明においては、蒸留精製装置Rに配設した規則充填物層4の直上に対応して精留塔1の側壁には、液状四塩化チタン供給ノズル8を配設しておくことが好ましい。前記のようなノズルを配設しておくことで、液状の四塩化チタンを規則充填物層5に流下させることができる。その結果、規則充填物層5内に析出した不純物を効果的に洗浄することができる。   In the present invention, it is preferable that a liquid titanium tetrachloride supply nozzle 8 is disposed on the side wall of the rectifying column 1 so as to correspond directly to the ordered packing layer 4 disposed in the distillation purification apparatus R. By disposing the nozzle as described above, liquid titanium tetrachloride can flow down into the ordered packing layer 5. As a result, the impurities deposited in the ordered filler layer 5 can be effectively cleaned.

前記した操作で、精留塔1の頂部には、四塩化チタンよりも沸点の低い物質が濃縮され、精留塔1の底部には、四塩化チタンよりも沸点の高い物質が濃縮される。よって、精留塔内の温度分布が丁度四塩化チタンの沸点に対応した精留塔1の側壁から、精留塔1の内部に生成してくる四塩化チタンガスを外部に抜き出すことにより、純度の高い四塩化チタンを回収することができるという効果を奏するものである。   By the operation described above, substances having a boiling point lower than that of titanium tetrachloride are concentrated on the top of the rectifying column 1, and substances having a boiling point higher than that of titanium tetrachloride are concentrated on the bottom of the rectifying column 1. Therefore, by extracting the titanium tetrachloride gas generated inside the rectifying column 1 from the side wall of the rectifying column 1 whose temperature distribution in the rectifying column corresponds exactly to the boiling point of titanium tetrachloride, High titanium tetrachloride can be recovered.

前記不純物の溶解した洗浄後の液状四塩化チタンは、リボイラ2の内部に戻り、再度蒸発されて、精留塔1の内部を上昇し精製される。一方、洗浄後の液状四塩化チタンに含まれる不純物のうち固形物は、リボイラ2の底部に沈積して四塩化チタンと分離される。よって、前記リボイラ2の底部に蓄積した残渣は、定期的に外部に抜き出すことが好ましい。   The washed liquid titanium tetrachloride in which the impurities are dissolved returns to the inside of the reboiler 2 and is evaporated again, and the inside of the rectifying column 1 is raised and purified. On the other hand, solids out of impurities contained in the washed liquid titanium tetrachloride are deposited on the bottom of the reboiler 2 and separated from the titanium tetrachloride. Therefore, it is preferable to periodically extract the residue accumulated at the bottom of the reboiler 2 to the outside.

本願発明に係る四塩化チタン蒸留精製装置の整備方法は、不規則充填物層5の内部に充填した中空状リング体を外部に抜き出してから整備することを特徴とするものである。その結果、精留塔1の本体に損傷を与えることなく効率よく中空状リング体を効率よく整備することができるという効果を奏するものである。   The maintenance method of the titanium tetrachloride distillation purification apparatus according to the present invention is characterized in that maintenance is performed after extracting the hollow ring body filled in the irregular packing layer 5 to the outside. As a result, it is possible to efficiently maintain the hollow ring body without damaging the main body of the rectifying column 1.

また、本願発明に係る規則充填物層4に対しては、前記したように上方から多量の液状四塩化チタンを供給することにより、精留塔1の外部に取り出さなくとも、前記規則充填物層4の内部に析出した不純物を効率よく洗浄することができるという効果を奏するものである。   Further, as described above, the regular packed bed 4 according to the present invention can be supplied by supplying a large amount of liquid titanium tetrachloride from above without taking it out of the rectifying column 1. 4 has an effect that the impurities deposited inside 4 can be efficiently cleaned.

本願発明においては、前記の方法で外部に抜き出された顆粒状多孔体は、精製四塩化チタンで洗浄することが好ましい。前記洗浄された四塩化チタンは、不純物が多量に含まれているが、前記洗浄後の四塩化チタンは、塩化炉で生成した四塩化ガスの冷却系に噴霧乾燥することより、前記四塩化チタン中に含まれる不純物を分離除去することができ、不純物の分離された四塩化チタンは、再度精留塔1に戻して精製することにより精製四塩化チタンとして回収することができるという効果を奏するものである。   In this invention, it is preferable to wash | clean the granular porous body extracted outside by the said method with refined titanium tetrachloride. The washed titanium tetrachloride contains a large amount of impurities, but the washed titanium tetrachloride is spray-dried to a cooling system of tetrachloride gas generated in a chlorination furnace, so that the titanium tetrachloride Impurities contained therein can be separated and removed, and the titanium tetrachloride from which the impurities are separated can be recovered as purified titanium tetrachloride by returning to the rectifying column 1 and purifying it again. It is.

以上述べた四塩化チタンの蒸留精製装置を用いることで精製四塩化チタンを効率よく製造することができるという効果を奏するものである。更には、前記整備方法により、効率よく不規則充填物層4と規則充填物層5を効率よく整備し、蒸留生成設備を再利用することができるという効果を奏するものである。   By using the above-described distillation purification apparatus for titanium tetrachloride, it is possible to produce purified titanium tetrachloride efficiently. Furthermore, the maintenance method can efficiently maintain the irregular packing layer 4 and the regular packing layer 5 and recycle the distillation production equipment.

[実施例1]
本願発明に実施例に示した装置構成の仕様を以下に示す。
1.精留塔
材質:SUS304L
2.規則充填物層
材質:SUS304
構造:水平積層板
3.不規則充填物層
材質:SUS304
構造:中空状リング体
大きさ:外径25mm
4.リボイラ温度
136℃ (四塩化チタンの沸点温度)
5.コンデンサ温度
105℃
[Example 1]
The specifications of the apparatus configuration shown in the embodiment of the present invention are shown below.
1. Rectifying column Material: SUS304L
2. Regular packing layer Material: SUS304
Structure: horizontal laminated plate3. Irregular packing layer Material: SUS304
Structure: Hollow ring body Size: Outer diameter 25mm
4). Reboiler temperature 136 ° C (boiling temperature of titanium tetrachloride)
5. Capacitor temperature 105 ° C

前記した装置構成により、塩化炉で製造された四塩化チタンを原料として図1に示した蒸留精製装置にて精製し、製品四塩化チタンを連続的に精製した。前記四塩化チタンの精製過程において、規則充填物層および不規則充填物層の圧損が上昇したので、規則充填物層4の上から外部より液状四塩化チタンを供給して前記充填物層を洗浄した。その結果、圧損は元の状態に回復した。   With the apparatus configuration described above, titanium tetrachloride produced in a chlorination furnace was used as a raw material and purified using the distillation purification apparatus shown in FIG. 1, and the product titanium tetrachloride was continuously purified. Since the pressure loss of the regular packing layer and the irregular packing layer increased during the purification process of titanium tetrachloride, liquid titanium tetrachloride was supplied from the outside over the regular packing layer 4 to clean the packing layer. did. As a result, the pressure loss recovered to the original state.

前記不規則充填物層あるいは規則充填物層に析出していた固形物を分析したところ、硫黄が検出された。また、前記硫黄以外には、鉄、アルミおよびニオブが検出された。本実施態様において蒸留精製された四塩化チタン中の硫黄、鉄、アルミおよびニオブは、蒸留精製前に比べて効果的に低減されていることが確認された。なお、表1は、精製前の四塩化チタン中の不純物濃度を100とした場合の、精製後の四塩化チタン中の不純物濃度を表す。   When the irregularly packed bed or the solid matter deposited on the ordered packed bed was analyzed, sulfur was detected. Besides sulfur, iron, aluminum and niobium were detected. It was confirmed that sulfur, iron, aluminum, and niobium in titanium tetrachloride purified by distillation in this embodiment were effectively reduced as compared with those before distillation purification. Table 1 shows the impurity concentration in the titanium tetrachloride after purification when the impurity concentration in the titanium tetrachloride before purification is 100.

[実施例2]
実施例1の条件にて更に操業を継続したところ、不規則充填物層5の圧損が再度上昇したので、前記不規則充填物層5から中空状リング体を外部に抜き出した後、前記顆粒状多孔体を精製四塩化チタンで洗浄した。次いで、希塩酸で洗浄した後、水洗乾燥して元の不規則充填物層に戻した。その結果、圧損は元の状態に回復した。
[Example 2]
When the operation was further continued under the conditions of Example 1, the pressure loss of the irregular filler layer 5 increased again, so that the hollow ring body was extracted from the irregular filler layer 5 to the outside, and then the granular The porous material was washed with purified titanium tetrachloride. Next, after washing with dilute hydrochloric acid, it was washed with water and dried to return to the original irregularly packed layer. As a result, the pressure loss recovered to the original state.

[比較例1]
実施例1において、不規則充填物層5を装着しないで規則充填物層4のみを配設して四塩化チタンの蒸留精製を行った。しかしながら、蒸留精製された四塩化チタンの不純物濃度は、満足の行くものではなかった。また、その後の運転を継続したところ、規則充填層4の圧損が上昇する傾向を示した。そこで、前記規則充填物層4の上から精留塔1の側壁に設けたノズル8から液状四塩化チタンを供給したところ、前記規則充填層4の圧損は低下した。しかしながら、元の状態まで回復することはなかった。そこで止むを得ず、蒸留精製装置Rの運転を停止して、規則充填物層4を整備したところ、圧損は、元の状態まで回復した。しかしながら、蒸留精製装置Rを90日間停止せざるを得なかった。
[Comparative Example 1]
In Example 1, only the regular packing layer 4 was disposed without attaching the irregular packing layer 5, and the titanium tetrachloride was distilled and purified. However, the impurity concentration of distilled and purified titanium tetrachloride was not satisfactory. Further, when the subsequent operation was continued, the pressure loss of the ordered packed bed 4 tended to increase. Then, when liquid titanium tetrachloride was supplied from the nozzle 8 provided on the side wall of the rectifying column 1 from above the ordered packed bed 4, the pressure loss of the ordered packed bed 4 decreased. However, it did not recover to its original state. Therefore, it was unavoidable that the operation of the distillation purification apparatus R was stopped and the regular packing layer 4 was prepared. As a result, the pressure loss was restored to the original state. However, the distillation purification apparatus R had to be stopped for 90 days.

Figure 0005038251
Figure 0005038251

以上の試験結果により、本願発明に係る四塩化チタンの精製方法においては、前記四塩化チタンの蒸留精製装置に配設した不規則充填層が精製四塩化チタン中の不純物の低減に効果的であるのみならず、蒸留精製装置の整備も省力化できるという効果も確認された。   From the above test results, in the method for purifying titanium tetrachloride according to the present invention, the irregular packed bed disposed in the titanium tetrachloride distillation purification device is effective in reducing impurities in the purified titanium tetrachloride. In addition, it was confirmed that the maintenance of distillation purification equipment can be labor-saving.

本発明は、純度の高い四塩化チタンを長期に亘り製造できる蒸留精製装置の構造と運転方法および整備方法を提供するものである。   The present invention provides a structure, operation method, and maintenance method of a distillation purification apparatus capable of producing high-purity titanium tetrachloride over a long period of time.

本願発明の四塩化チタンの蒸留精製装置を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the distillation purification apparatus of the titanium tetrachloride of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

R…蒸留精製装置、1…精留塔、2…リボイラ、3…コンデンサ、4…規則充填物層、5…不規則充填物層、6…原料四塩化チタン、7…棚段、8…液状四塩化チタン供給ノズル。 R ... distillation purification apparatus, 1 ... rectification tower, 2 ... reboiler, 3 ... condenser, 4 ... regular packed bed, 5 ... irregular packed bed, 6 ... raw material titanium tetrachloride, 7 ... shelf, 8 ... liquid Titanium tetrachloride supply nozzle.

Claims (21)

四塩化チタンを気化させるリボイラ、内包する充填物が脱着可能である不規則充填物層、規則充填物層、および精留塔を備えた蒸留精製装置を用いた四塩化チタンの精製方法であって、
上記リボイラで四塩化チタンガスを生成させ、
上記四塩化チタンガスを上記不規則充填物層に導き、
次いで上記四塩化チタンガスを上記規則充填物層に導き、
上記精留塔から精製塩化チタンを得ることを特徴とする四塩化チタンの精製方法。
A refining method for vaporizing titanium tetrachloride, a method for purifying titanium tetrachloride using a distillation purification apparatus equipped with an irregular packing layer in which the packing included can be desorbed , a regular packing layer, and a rectifying column. ,
Titanium tetrachloride gas is generated by the reboiler,
Leading the titanium tetrachloride gas to the irregular packing layer,
Next, the titanium tetrachloride gas is guided to the ordered packing layer,
A method for purifying titanium tetrachloride, comprising obtaining purified titanium chloride from the rectifying column.
前記不規則充填物層あるいは前記規則充填物層において、四塩化チタンガス中に含まれる不純物ガスを分解して不純物の固形物として前記充填物上に析出分離させることを特徴とする請求項1に記載の四塩化チタンの精製方法。   2. The irregularly packed bed or the ordered packed bed, wherein an impurity gas contained in a titanium tetrachloride gas is decomposed and precipitated and separated as a solid substance of impurities on the filler. The method for purifying titanium tetrachloride as described. 前記不純物ガスが、硫化水素、塩化アルミ、塩化ケイ素、または塩化ニオブであることを特徴とする請求項2に記載の四塩化チタンの精製方法。   The method for purifying titanium tetrachloride according to claim 2, wherein the impurity gas is hydrogen sulfide, aluminum chloride, silicon chloride, or niobium chloride. 前記規則充填物層の充填物が、鉛直方向に対して相互に離間して配設された板状部材で構成されていることを特徴とする請求項2に記載の四塩化チタンの精製方法。   3. The method for purifying titanium tetrachloride according to claim 2, wherein the packing of the ordered packing layer is composed of plate-like members that are spaced apart from each other in the vertical direction. 前記板状部材が、金属板であることを特徴とする請求項4に記載の四塩化チタンの精製方法。   The method for purifying titanium tetrachloride according to claim 4, wherein the plate member is a metal plate. 前記不規則充填物層の充填物が、中空状リング体で構成されていることを特徴とする請求項2に記載の四塩化チタンの精製方法。   The method for purifying titanium tetrachloride according to claim 2, wherein the packing of the irregular packing layer is formed of a hollow ring body. 前記中空状リング体が、顆粒状の多孔体であることを特徴とする請求項6に記載の四塩化チタンの精製方法。   The method for purifying titanium tetrachloride according to claim 6, wherein the hollow ring body is a granular porous body. 前記顆粒状の多孔体が金属またはセラミクスで構成されていることを特徴とする請求項7に記載の四塩化チタンの精製方法。   The method for purifying titanium tetrachloride according to claim 7, wherein the granular porous body is made of metal or ceramics. 前記金属がステンレス鋼であることを特徴とする請求項8に記載の四塩化チタンの精製方法。   The method for purifying titanium tetrachloride according to claim 8, wherein the metal is stainless steel. 前記セラミクスが窒化ケイ素あるいは窒化アルミであることを特徴とする請求項8に記載の四塩化チタンの精製方法。   The method for purifying titanium tetrachloride according to claim 8, wherein the ceramics is silicon nitride or aluminum nitride. 四塩化チタンを気化させるリボイラ、内包する充填物が脱着可能である不規則充填物層、規則充填物層、および精留塔を備えたことを特徴とする四塩化チタンの蒸留精製装置。
An apparatus for distilling and purifying titanium tetrachloride, comprising a reboiler for vaporizing titanium tetrachloride , an irregularly packed bed from which the packed material can be desorbed , an ordered packed bed, and a rectifying column.
前記規則充填物層の充填物が、鉛直方向に対して相互に離間して配設された板状部材で構成されていることを特徴とする請求項11に記載の四塩化チタンの蒸留精製装置。   12. The apparatus for distillation and purification of titanium tetrachloride according to claim 11, wherein the packing of the ordered packing layer is composed of plate-like members disposed apart from each other in the vertical direction. . 前記板状部材が、金属板であることを特徴とする請求項12に記載の四塩化チタンの蒸留精製装置。   The apparatus for distillation and purification of titanium tetrachloride according to claim 12, wherein the plate-like member is a metal plate. 前記不規則充填物層の充填物が、中空状リング体で構成されていることを特徴とする請求項11に記載の四塩化チタンの蒸留精製装置。   The apparatus for distillation and purification of titanium tetrachloride according to claim 11, wherein the packing of the irregular packing layer is formed of a hollow ring body. 前記中空状リング体が、顆粒状の多孔体であることを特徴とする請求項14に記載の四塩化チタンの蒸留精製装置。   The apparatus for distillation and purification of titanium tetrachloride according to claim 14, wherein the hollow ring body is a granular porous body. 前記顆粒状の多孔体が金属またはセラミクスで構成されていることを特徴とする請求項15に記載の四塩化チタンの蒸留精製装置。   The apparatus for distillation and purification of titanium tetrachloride according to claim 15, wherein the granular porous body is made of metal or ceramics. 前記金属がステンレス鋼であることを特徴とする請求項16に記載の四塩化チタンの蒸留精製装置。   The apparatus for distillation and purification of titanium tetrachloride according to claim 16, wherein the metal is stainless steel. 前記セラミクスが窒化ケイ素あるいは窒化アルミであることを特徴とする請求項16に記載の四塩化チタンの蒸留精製装置。   The apparatus for distillation and purification of titanium tetrachloride according to claim 16, wherein the ceramic is silicon nitride or aluminum nitride. 請求項11〜18のいずれかに記載の四塩化チタンの蒸留精製装置を構成する使用済みの不規則充填物の整備方法であって、上記蒸留精製装置内に配設した上記不規則充填物を脱着し整備することを特徴とする四塩化チタン蒸留精製装置の整備方法。   A method for maintaining a used irregular packing constituting the distillation purification apparatus for titanium tetrachloride according to any one of claims 11 to 18, wherein the irregular packing disposed in the distillation purification apparatus is used. A maintenance method for a titanium tetrachloride distillation purification device characterized by desorption and maintenance. 前記蒸留精製装置から脱着した前記不規則充填物を四塩化チタンで洗浄することを特徴とする請求項19に記載の四塩化チタン蒸留精製装置の整備方法。   20. The maintenance method for a titanium tetrachloride distillation purification apparatus according to claim 19, wherein the irregular packing desorbed from the distillation purification apparatus is washed with titanium tetrachloride. 前記不規則充填物を洗浄した後の四塩化チタンを、四塩化チタンの製造装置を構成する四塩化チタンガスの冷却設備内で噴霧乾燥することを特徴とする請求項19に記載の四塩化チタン蒸留精製装置の整備方法。   20. The titanium tetrachloride according to claim 19, wherein the titanium tetrachloride after washing the irregular packing is spray-dried in a titanium tetrachloride gas cooling facility constituting a titanium tetrachloride production apparatus. Maintenance method of distillation purification equipment.
JP2008196420A 2008-07-30 2008-07-30 Titanium tetrachloride distillation purification apparatus, maintenance method of the apparatus, and purification method of titanium tetrachloride using the apparatus Active JP5038251B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008196420A JP5038251B2 (en) 2008-07-30 2008-07-30 Titanium tetrachloride distillation purification apparatus, maintenance method of the apparatus, and purification method of titanium tetrachloride using the apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008196420A JP5038251B2 (en) 2008-07-30 2008-07-30 Titanium tetrachloride distillation purification apparatus, maintenance method of the apparatus, and purification method of titanium tetrachloride using the apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010030857A JP2010030857A (en) 2010-02-12
JP5038251B2 true JP5038251B2 (en) 2012-10-03

Family

ID=41735827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008196420A Active JP5038251B2 (en) 2008-07-30 2008-07-30 Titanium tetrachloride distillation purification apparatus, maintenance method of the apparatus, and purification method of titanium tetrachloride using the apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5038251B2 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104163452A (en) * 2014-08-25 2014-11-26 漯河兴茂钛业股份有限公司 Method for realizing impurity removal of crude titanium tetrachloride by virtue of alkaline liquor
KR101625823B1 (en) 2015-06-25 2016-05-31 오션브릿지 주식회사 Titanium tetrachloride refine apparatus
CN112250103B (en) * 2020-10-19 2022-07-08 攀钢集团钒钛资源股份有限公司 Titanium tetrachloride preparation system and tail gas treatment thereof
CN113912107B (en) * 2021-11-08 2023-03-28 贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司 High-purity titanium tetrachloride purification manufacturing process
CN114733221B (en) * 2022-04-24 2023-03-28 南通利奥化工科技有限公司 Rectifying tower for quickly heating and vaporizing materials

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09286618A (en) * 1996-04-23 1997-11-04 Ishihara Sangyo Kaisha Ltd Method for purifying titanium tetrachloride
JP4011571B2 (en) * 2004-08-19 2007-11-21 住友チタニウム株式会社 Method for preventing adhesion of high-boiling substances in distillation systems
JP4740033B2 (en) * 2006-05-12 2011-08-03 東邦チタニウム株式会社 Titanium tetrachloride purification method and purification apparatus used therefor

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010030857A (en) 2010-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5038251B2 (en) Titanium tetrachloride distillation purification apparatus, maintenance method of the apparatus, and purification method of titanium tetrachloride using the apparatus
JP4740033B2 (en) Titanium tetrachloride purification method and purification apparatus used therefor
JP4620694B2 (en) Method for producing high purity trichlorosilane
TWI603773B (en) Purification of chlorosilanes by distillation and adsorption
JP5476774B2 (en) Method for recovering (meth) acrylonitrile
RU2007138831A (en) METHOD AND DEVICE FOR THE PRODUCTION OF AROMATIC CARBONIC ACIDS (OPTIONS)
US6602482B2 (en) Separation of metal chlorides from their suspensions in chlorosilanes
KR101860842B1 (en) Purification apparatus for Titanium Tetrachloride and purification method using it
JP4681192B2 (en) Wastewater purification in the case of the manufacturing method of formic anhydride
US11242253B2 (en) Method for producing polycrystalline silicon
CN113461601A (en) Treatment method of 3-methylpyridine waste liquid
US10011484B1 (en) Process for purifying raw-material gases by fractionation
JP4128983B2 (en) Method for producing silicon chloride and method for producing polycrystalline silicon using the same
RU2702738C2 (en) Method
JP6897342B2 (en) Chlorosilane recovery method and chlorosilane recovery device
CN111039266A (en) Device and method for removing nitrous oxide in nitrogen trifluoride
JP2004256338A (en) Method of manufacturing chlorosilane
JP4199305B1 (en) Purification method of nitrogen trifluoride
US2700431A (en) Purification of chlorine
JP4011571B2 (en) Method for preventing adhesion of high-boiling substances in distillation systems
US2961301A (en) Method and apparatus for processing sulfur
JP4454223B2 (en) Method for producing HCl gas containing almost no HBr and aqueous HCl solution containing almost no HBr
KR102417743B1 (en) Apparatus for refining the titanium tetrachloride
JP4358877B2 (en) Acrylic acid recovery method
JP7333222B2 (en) Titanium tetrachloride treatment apparatus, titanium tetrachloride treatment method, purified titanium tetrachloride production apparatus, and purified titanium tetrachloride production method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110114

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120302

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120427

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120614

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120703

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120705

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5038251

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150713

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250