JP7333222B2 - Titanium tetrachloride treatment apparatus, titanium tetrachloride treatment method, purified titanium tetrachloride production apparatus, and purified titanium tetrachloride production method - Google Patents
Titanium tetrachloride treatment apparatus, titanium tetrachloride treatment method, purified titanium tetrachloride production apparatus, and purified titanium tetrachloride production method Download PDFInfo
- Publication number
- JP7333222B2 JP7333222B2 JP2019140346A JP2019140346A JP7333222B2 JP 7333222 B2 JP7333222 B2 JP 7333222B2 JP 2019140346 A JP2019140346 A JP 2019140346A JP 2019140346 A JP2019140346 A JP 2019140346A JP 7333222 B2 JP7333222 B2 JP 7333222B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- titanium tetrachloride
- activated carbon
- liquid
- purified
- filled container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/10—Process efficiency
Landscapes
- Treatment Of Liquids With Adsorbents In General (AREA)
Description
本発明は、四塩化チタン処理装置、四塩化チタンの処理方法、精製四塩化チタン製造装置、及び精製四塩化チタンの製造方法に関する。 The present invention relates to an apparatus for treating titanium tetrachloride, a method for treating titanium tetrachloride, an apparatus for producing purified titanium tetrachloride, and a method for producing purified titanium tetrachloride.
四塩化チタンは、スポンジ状の固体金属チタン（以下、「スポンジチタン」と称する。）の製造原料のみならず、酸化チタンや触媒の製造或いは医薬の分野に幅広く利用されている。四塩化チタンは、コークスを配合したチタン鉱石と塩素ガスを高温にて反応させることにより製造されている。四塩化チタンの生成は、塩化炉内に形成された鉱石とコークスを塩素ガスで流動化した流動層内で行われている。生成された四塩化チタンについては、その純度を高めるために、活性炭が利用可能であるとされている。 Titanium tetrachloride is widely used not only as a raw material for producing sponge-like solid metal titanium (hereinafter referred to as "sponge titanium"), but also for producing titanium oxide and catalysts, and in the field of medicine. Titanium tetrachloride is produced by reacting titanium ore mixed with coke and chlorine gas at high temperature. Titanium tetrachloride is produced in a fluidized bed in which the ore and coke formed in the chlorination furnace are fluidized with chlorine gas. It is said that activated carbon can be used to increase the purity of the produced titanium tetrachloride.
例えば、特許文献１には、「粗四塩化チタン（Ａ）を、強熱残分量が０．５質量％未満の活性炭（Ｂ）と接触させる工程を含む高純度四塩化チタンの製造方法」が記載されている。 For example, Patent Literature 1 describes "a method for producing high-purity titanium tetrachloride, comprising a step of contacting crude titanium tetrachloride (A) with activated carbon (B) having an ignition residue of less than 0.5% by mass". Are listed.
また、特許文献２には、「流動層反応による塩化工程で生成された粗ＴｉＣｌ4を、精留工程で処理した後に吸着工程で処理し、吸着工程で使用する吸着剤は比表面積が１１００～１６００ｍ2／ｇの活性炭であるＴｉＣｌ4製造方法」が記載されている。 In addition, in Patent Document 2, ``Crude TiCl 4 produced in the chlorination process by fluidized bed reaction is treated in the rectification process and then in the adsorption process, and the adsorbent used in the adsorption process has a specific surface area of 1100 to 1100. 1600 m 2 /g activated carbon TiCl 4 production method” is described.
特許文献１～２に開示の技術は、活性炭を使用して四塩化チタンの不純物濃度を低減している。しかしながら、精製四塩化チタン製造装置において使用後の活性炭を交換することについては記載されていない。活性炭使用後にその活性炭の充填容器を精製四塩化チタン製造装置から取り出したとき、活性炭に残存した四塩化チタンが大気中の水分と反応することで塩化水素ガスが発生し、該塩化水素ガスが精製四塩化チタン装置から外部に排出されるおそれがある。即ち、使用後の活性炭の処理や取扱いについては改善の余地があった。 The techniques disclosed in Patent Documents 1 and 2 use activated carbon to reduce the impurity concentration of titanium tetrachloride. However, there is no mention of exchanging the activated carbon after use in the purified titanium tetrachloride production equipment. After the activated carbon is used, when the container filled with the activated carbon is removed from the purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus, the titanium tetrachloride remaining in the activated carbon reacts with the moisture in the atmosphere to generate hydrogen chloride gas, and the hydrogen chloride gas is purified. There is a risk of being discharged outside from the titanium tetrachloride equipment. That is, there is room for improvement in the treatment and handling of activated carbon after use.
そこで、本発明は、一実施形態において、四塩化チタンの不純物濃度を低減しつつ、活性炭に残存した四塩化チタン由来のガスの発生を有効に抑制し、装置内の使用後の活性炭を安全に取り出すことが可能な四塩化チタン処理装置を提供することを目的とする。 Therefore, in one embodiment, the present invention effectively suppresses the generation of gas derived from titanium tetrachloride remaining in the activated carbon while reducing the impurity concentration of titanium tetrachloride, and safely disposes of the activated carbon after use in the apparatus. It is an object of the present invention to provide a removable titanium tetrachloride treatment apparatus.
すなわち、本発明は一側面において、四塩化チタンに含まれる不純物を活性炭で除去する四塩化チタン処理装置であって、前記活性炭が充填される活性炭充填容器と、前記活性炭充填容器の端部に位置する四塩化チタン流入口と、前記活性炭充填容器の他の端部に位置する四塩化チタン流出口と、前記活性炭充填容器の周囲に設けられる加熱部とを備える、四塩化チタン処理装置である。 That is, in one aspect, the present invention provides a titanium tetrachloride treatment apparatus for removing impurities contained in titanium tetrachloride with activated carbon, comprising: an activated carbon-filled container filled with the activated carbon; a titanium tetrachloride inlet located at the other end of the activated carbon-filled container; and a titanium tetrachloride treatment apparatus provided around the activated carbon-filled container.
本発明に係る四塩化チタン処理装置の一実施形態においては、前記四塩化チタン処理装置は、前記四塩化チタン流入口と連通した液流入用管と、前記四塩化チタン流出口と連通した液排出用管とを更に備える。 In one embodiment of the titanium tetrachloride treatment apparatus according to the present invention, the titanium tetrachloride treatment apparatus includes a liquid inflow pipe communicating with the titanium tetrachloride inlet and a liquid discharge communicating with the titanium tetrachloride outlet. and a pipe.
本発明に係る四塩化チタン処理装置の一実施形態においては、前記四塩化チタン処理装置はキャリアガス導入管を更に備える。 In one embodiment of the titanium tetrachloride processing apparatus according to the present invention, the titanium tetrachloride processing apparatus further includes a carrier gas introduction pipe.
本発明に係る四塩化チタン処理装置の一実施形態においては、前記四塩化チタン流入口が、複数の孔を有する仕切材で構成され、前記四塩化チタン流出口が、複数の孔を有する仕切材で構成される。 In one embodiment of the titanium tetrachloride treatment apparatus according to the present invention, the titanium tetrachloride inlet is composed of a partition material having a plurality of holes, and the titanium tetrachloride outlet is a partition material having a plurality of holes. consists of
本発明に係る四塩化チタン処理装置の一実施形態においては、前記活性炭充填容器の形状が、筒状であり、前記四塩化チタン流入口が、前記活性炭充填容器の軸方向の端部に設けられ、前記四塩化チタン流出口が、前記活性炭充填容器の軸方向の他の端部に設けられる。 In one embodiment of the titanium tetrachloride treatment apparatus according to the present invention, the shape of the activated carbon-filled container is cylindrical, and the titanium tetrachloride inlet is provided at an axial end of the activated carbon-filled container. , the titanium tetrachloride outlet is provided at the other end in the axial direction of the activated carbon-filled container.
本発明に係る四塩化チタン処理装置の一実施形態においては、前記加熱部は熱媒流路である。 In one embodiment of the titanium tetrachloride processing apparatus according to the present invention, the heating section is a heat medium flow path.
また、本発明は別の側面において、上記いずれかの四塩化チタン処理装置を使用する四塩化チタンの処理方法であって、前記活性炭が充填された前記活性炭充填容器に不純物を含む四塩化チタンを通液する通液工程と、前記四塩化チタンの通液を停止した後、前記活性炭充填容器から四塩化チタンを排出させ、更に、前記加熱部で前記活性炭を加熱する液除去工程とを含む、四塩化チタンの処理方法である。 In another aspect of the present invention, there is provided a method for treating titanium tetrachloride using any one of the titanium tetrachloride treatment apparatuses described above, wherein titanium tetrachloride containing impurities is placed in the activated carbon-filled container filled with the activated carbon. and a liquid removal step of discharging titanium tetrachloride from the activated carbon-filled container after stopping the passage of the titanium tetrachloride, and further heating the activated carbon with the heating unit. A treatment method for titanium tetrachloride.
本発明に係る四塩化チタンの処理方法の一実施形態においては、前記液除去工程では、熱媒が流れる前記熱媒流路で前記活性炭を加熱する。 In one embodiment of the method for treating titanium tetrachloride according to the present invention, in the liquid removing step, the activated carbon is heated in the heat medium channel through which the heat medium flows.
本発明に係る四塩化チタンの処理方法の一実施形態においては、前記熱媒は、空気、蒸気、及びオイルよりなる群から選択される１以上である。 In one embodiment of the method for treating titanium tetrachloride according to the present invention, the heat medium is one or more selected from the group consisting of air, steam, and oil.
本発明に係る四塩化チタンの処理方法の一実施形態においては、前記四塩化チタン処理装置において、前記四塩化チタン流入口よりも前記四塩化チタン流出口を鉛直方向上側に位置させ、前記通液工程においては、前記四塩化チタンを、前記四塩化チタン流入口から前記活性炭に通液し前記四塩化チタン流出口に流出する。 In one embodiment of the method for treating titanium tetrachloride according to the present invention, in the titanium tetrachloride treatment apparatus, the titanium tetrachloride outlet is positioned vertically above the titanium tetrachloride inlet, and the liquid is supplied. In the process, the titanium tetrachloride is passed through the activated carbon from the titanium tetrachloride inlet and flows out to the titanium tetrachloride outlet.
本発明に係る四塩化チタンの処理方法の一実施形態においては、前記不純物は、アンチモンを含む。 In one embodiment of the method for treating titanium tetrachloride according to the present invention, the impurities include antimony.
また、本発明は別の側面において、塩化炉と、該塩化炉と連通し四塩化チタンに含まれる不純物の分離を行う分離設備と、精留塔と、上記いずれかの四塩化チタン処理装置と、を備える精製四塩化チタン製造装置であって、前記精留塔の塔底と前記四塩化チタン処理装置の前記四塩化チタン流入口とが連通され、前記四塩化チタン処理装置の前記四塩化チタン流出口と前記分離設備とが連通される、精製四塩化チタン製造装置である。 In another aspect of the present invention, there is provided a chlorination furnace, a separation facility that communicates with the chlorination furnace and separates impurities contained in titanium tetrachloride, a rectifying tower, and any one of the titanium tetrachloride treatment devices described above. wherein the column bottom of the rectification column and the titanium tetrachloride inlet of the titanium tetrachloride treatment device are communicated, and the titanium tetrachloride of the titanium tetrachloride treatment device A purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus in which an outlet and the separation equipment are communicated.
また、本発明は別の側面において、上記の精製四塩化チタン製造装置を使用する精製四塩化チタンの製造方法であって、前記四塩化チタン処理装置の前記活性炭充填容器に充填された前記活性炭に不純物を含む四塩化チタンを通液する通液工程と、前記四塩化チタンの通液を停止した後、前記活性炭充填容器から四塩化チタンを排出させ、更に、前記加熱部で前記活性炭を加熱する液除去工程とを含む、精製四塩化チタンの製造方法である。 In another aspect of the present invention, there is provided a method for producing purified titanium tetrachloride using the above-described purified titanium tetrachloride production apparatus, wherein the activated carbon filled in the activated carbon filling container of the titanium tetrachloride treatment apparatus A passing step of passing titanium tetrachloride containing impurities, and after stopping the passing of the titanium tetrachloride, the titanium tetrachloride is discharged from the activated carbon-filled container, and the activated carbon is heated in the heating section. and a liquid removing step.
本発明に係る精製四塩化チタンの製造方法の一実施形態においては、前記通液工程で処理した四塩化チタンを前記分離設備内に供給する再利用工程を更に含む。 An embodiment of the method for producing purified titanium tetrachloride according to the present invention further includes a recycling step of supplying the titanium tetrachloride treated in the liquid passing step into the separation equipment.
本発明の一実施形態によれば、四塩化チタンの不純物濃度を低減しつつ、活性炭に残存した四塩化チタン由来のガスの発生を有効に抑制し、装置内の使用後の活性炭を安全に取り出すことができる。 According to one embodiment of the present invention, the impurity concentration of titanium tetrachloride is reduced, the generation of gas derived from titanium tetrachloride remaining in the activated carbon is effectively suppressed, and the activated carbon after use in the apparatus is safely taken out. be able to.
以下、本発明の具体的な実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲で種々の変更が可能である。なお、本明細書において、「上方」は、図１及び図２に示すように、鉛直方向Ｖにおいて底部３０から上蓋４０へ向かう方向を意味し、「下方」は、図１及び図２に示すように、鉛直方向Ｖにおいて上蓋４０から底部３０へ向かう方向を意味する。更に、本明細書において、四塩化チタン処理装置１、５が、液体四塩化チタンを四塩化チタン流入口３２から活性炭２２に通液している間、液抜き用管３６のバルブとキャリアガス導入管３８、４８（図２）のバルブが閉じているものとする。 Specific embodiments of the present invention will be described in detail below. In addition, the present invention is not limited to the following embodiments, and various modifications are possible without changing the gist of the present invention. In this specification, "upper" means the direction from the bottom 30 toward the upper lid 40 in the vertical direction V, as shown in FIGS. 1 and 2, and "downward" means the direction shown in FIGS. , means the direction from the top lid 40 to the bottom 30 in the vertical direction V. As shown in FIG. Further, in the present specification, while the titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5 are passing the liquid titanium tetrachloride from the titanium tetrachloride inlet 32 to the activated carbon 22, the valve of the drain pipe 36 and the carrier gas introduction Assume that the valves on tubes 38, 48 (Fig. 2) are closed.
［１．四塩化チタン処理装置］
図１に示す四塩化チタン処理装置１の一実施形態においては、四塩化チタンに含まれるアンチモン（Ｓｂ）等の不純物を活性炭で除去する四塩化チタン処理装置１であって、胴部１０と、活性炭充填容器２０と、底部３０と、上蓋４０と、加熱部（熱媒流路５０）とを備える。四塩化チタン処理装置１の胴部１０の形状は特に限定されないが、例えば、円筒状や角筒状等の筒状が挙げられる。
[1. Titanium tetrachloride processing device]
In one embodiment of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 shown in FIG. 1, the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 removes impurities such as antimony (Sb) contained in titanium tetrachloride with activated carbon, and comprises a body 10, It includes an activated carbon-filled container 20, a bottom portion 30, a top lid 40, and a heating portion (heat medium flow path 50). Although the shape of the body portion 10 of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 is not particularly limited, examples thereof include a tubular shape such as a cylindrical shape and a square tubular shape.
精製四塩化チタンの製造操業のうち四塩化チタンの生成においては、塩化炉内でアンチモン等の不純物を含む鉱石とコークスを塩素ガスで流動化している。ここで、塩化炉で生成された四塩化チタンには不純物が混入し得る。精製四塩化チタンの製造操業においては、一般的に酸化チタンの製造等に精製四塩化チタンを使用すること等を勘案し、精製した四塩化チタン中のアンチモン濃度が低減されていることが望ましい。 In the production of titanium tetrachloride in the manufacturing operation of purified titanium tetrachloride, the ore and coke containing impurities such as antimony are fluidized with chlorine gas in the chlorination furnace. Here, the titanium tetrachloride produced in the chlorination furnace may contain impurities. In the production operation of purified titanium tetrachloride, it is desirable that the concentration of antimony in the purified titanium tetrachloride is reduced in consideration of the fact that purified titanium tetrachloride is generally used for the production of titanium oxide.
特許文献１～２に記載された技術においては、四塩化チタンに含まれる不純物を除去するという観点から、活性炭に四塩化チタンを通液または通気している。しかしながら、四塩化チタン処理後の活性炭は、アンチモン等の不純物を吸着するだけでなく、四塩化チタンも捕捉している。よって、装置内の使用後の活性炭を別の未使用活性炭に交換する際に、使用後の活性炭を大気に開放することで大気中の水分と活性炭に残存した四塩化チタンが下記式（１）に示すように反応し、塩化水素ガスが発生しうる。
ＴｉＣｌ4（ｌ）＋２Ｈ2Ｏ →ＴｉＯ2＋４ＨＣｌ（ｇ）・・・式（１）
In the techniques described in Patent Documents 1 and 2, from the viewpoint of removing impurities contained in titanium tetrachloride, titanium tetrachloride is passed through or aerated through activated carbon. However, activated carbon after treatment with titanium tetrachloride not only adsorbs impurities such as antimony, but also captures titanium tetrachloride. Therefore, when replacing the used activated carbon in the device with another unused activated carbon, by exposing the used activated carbon to the atmosphere, the moisture in the atmosphere and the titanium tetrachloride remaining in the activated carbon are expressed by the following formula (1) , and hydrogen chloride gas may be generated.
TiCl 4 (l)+2H 2 O→TiO 2 +4HCl(g) Formula (1)
そこで、本発明者は鋭意検討の結果、四塩化チタン処理後の活性炭を大気に開放する前に該活性炭を液抜きし、その後、加熱により活性炭中に残存した四塩化チタンをガス化して除去することが有用であると知見した。すなわち、活性炭内の温度が四塩化チタンの沸点（ｂ．ｐ．１３６．４℃）以上になるように加熱部により四塩化チタン処理装置の周囲から活性炭を加熱処理した後、四塩化チタン処理装置の内部を大気に開放しても、使用後の活性炭から四塩化チタンが十分に除去されているので、有害なガスの外部への漏出を良好に抑制できる。
以下、各構成要素をそれぞれ説明する。
Therefore, as a result of extensive studies, the present inventors have found that the activated carbon after titanium tetrachloride treatment is drained before being exposed to the atmosphere, and then the titanium tetrachloride remaining in the activated carbon is gasified and removed by heating. We found that it is useful to That is, after heat-treating the activated carbon from the surroundings of the titanium tetrachloride treatment apparatus by means of a heating unit so that the temperature inside the activated carbon becomes equal to or higher than the boiling point of titanium tetrachloride (b.p. 136.4°C), the titanium tetrachloride treatment apparatus Even if the interior of the is exposed to the atmosphere, since titanium tetrachloride is sufficiently removed from the activated carbon after use, it is possible to satisfactorily suppress leakage of harmful gases to the outside.
Each component will be described below.
（活性炭充填容器）
活性炭充填容器２０は、胴部１０内において活性炭２２を充填する。よって、図１に示すように、活性炭充填容器２０は底部および上下方向に沿った壁部を有してよい。さらに活性炭充填容器２０は蓋部を有してよい。前記活性炭充填容器２０壁部の上下方向に対し垂直な方向に沿った断面形状は胴部１０の該断面形状と相似の形状であることが好ましい。このような活性炭充填容器２０は、活性炭２２を充填したまま上蓋４０を開口した四塩化チタン処理装置１から取外し可能であり、活性炭取替作業を簡便化可能である。よって、未使用の活性炭２２を充填した活性炭充填容器２０を、上蓋４０を開口した四塩化チタン処理装置１に簡便に取付け可能である。
活性炭充填容器２０は、その一の端部である下側端部に四塩化チタン流入口３２が位置し、その他の端部である上側端部に四塩化チタン流出口４２が位置している。四塩化チタン流入口３２および四塩化チタン流出口４２は活性炭充填容器２０の適宜の位置に設けられればよい。通液される四塩化チタンの流れに基づき、四塩化チタン流入口３２および四塩化チタン流出口４２はそれぞれ活性炭充填容器２０の端部に位置することとなる。
活性炭２２が充填される活性炭充填容器２０は、胴部１０内に配置されている。活性炭２２は、液体四塩化チタンに含まれるアンチモン等の不純物を吸着する。
(activated carbon filled container)
The activated carbon filling container 20 is filled with activated carbon 22 inside the body portion 10 . Therefore, as shown in FIG. 1, the activated carbon-filled container 20 may have a bottom and vertical walls. Furthermore, the activated carbon-filled container 20 may have a lid. It is preferable that the cross-sectional shape of the wall portion of the activated carbon-filled container 20 along the direction perpendicular to the vertical direction is similar to the cross-sectional shape of the body portion 10 . Such an activated carbon-filled container 20 can be removed from the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 with the upper lid 40 opened while the activated carbon 22 is still filled, and the activated carbon replacement work can be simplified. Therefore, the activated carbon-filled container 20 filled with unused activated carbon 22 can be easily attached to the titanium tetrachloride processing apparatus 1 with the upper lid 40 opened.
The activated carbon-filled container 20 has a titanium tetrachloride inlet 32 at one end, the lower end, and a titanium tetrachloride outlet 42, at the other end, the upper end. The titanium tetrachloride inlet 32 and the titanium tetrachloride outlet 42 may be provided at appropriate positions of the activated carbon-filled container 20 . The titanium tetrachloride inlet 32 and the titanium tetrachloride outlet 42 are located at the ends of the activated carbon-filled container 20, respectively, based on the flow of titanium tetrachloride.
An activated carbon-filled container 20 filled with activated carbon 22 is arranged in the body portion 10 . The activated carbon 22 adsorbs impurities such as antimony contained in the liquid titanium tetrachloride.
本発明の一実施形態においては、充填された活性炭２２を有効利用する観点から、活性炭充填容器２０の形状が筒状である場合、後述する四塩化チタン流入口３２が、活性炭充填容器２０の軸方向の端部に設けられ、後述する四塩化チタン流出口４２が、活性炭充填容器２０の軸方向の他の端部に設けられてよい。 In one embodiment of the present invention, from the viewpoint of effectively utilizing the filled activated carbon 22, when the shape of the activated carbon-filled container 20 is cylindrical, the later-described titanium tetrachloride inlet 32 is aligned with the axis of the activated carbon-filled container 20. A titanium tetrachloride outlet 42, which is provided at the axial end and will be described later, may be provided at the other axial end of the activated carbon-filled container 20. As shown in FIG.
活性炭充填容器２０は、例えば四塩化チタンを通液可能のカートリッジ又は袋体（不図示）等であってよい。当該カートリッジの材質は、例えば、金属材料又はセラミックス等が挙げられる。当該袋体は例えばフィルムにより形成されてよく、その材質は、例えば、ポリテトラフルオロエチレン等が挙げられる。活性炭充填容器２０は四塩化チタンを通液するので、複数の通液孔を有する。もちろん、該通液孔は通気孔としての機能も有する。なお、活性炭２２の粒径や形状は特に限定されず、活性炭２２は公知のものを適宜使用可能である。図１に図示する実施形態では活性炭充填容器２０と仕切材３３、４３が別部材とされているが、これらは一体であってもよい。即ち、例えば、活性炭充填容器２０の上下各端面に四塩化チタン流入口３２と四塩化チタン流出口４２を形成してもよい。 The activated carbon-filled container 20 may be, for example, a cartridge or bag (not shown) through which titanium tetrachloride can flow. Examples of the material of the cartridge include metal materials and ceramics. The bag may be made of, for example, a film, and the material thereof includes, for example, polytetrafluoroethylene. Since the activated carbon-filled container 20 allows titanium tetrachloride to flow therethrough, it has a plurality of flow holes. Of course, the liquid passage hole also has a function as a vent hole. The particle size and shape of the activated carbon 22 are not particularly limited, and any known activated carbon 22 can be used as appropriate. In the embodiment shown in FIG. 1, the activated carbon-filled container 20 and the partitions 33, 43 are separate members, but they may be integrated. That is, for example, the titanium tetrachloride inlet 32 and the titanium tetrachloride outlet 42 may be formed in the upper and lower end surfaces of the activated carbon-filled container 20 .
（底部）
底部３０は、胴部１０の下側であって、四塩化チタン流入口３２と、液流入用管３４と、液抜き用管３６と、キャリアガス導入管３８と連結されている。
(bottom)
The bottom portion 30 is located below the body portion 10 and is connected to a titanium tetrachloride inlet 32 , a liquid inlet pipe 34 , a liquid drain pipe 36 and a carrier gas inlet pipe 38 .
（四塩化チタン流入口）
四塩化チタンは、四塩化チタン流入口３２から活性炭充填容器２０に流入させる。当該四塩化チタン流入口３２が、複数の孔３３ａを有する仕切材３３で構成されている。即ち、孔３３ａの集合が四塩化チタン流入口３２に該当する。孔３３ａの断面形状は特に限定されないが、例えば円及び多角形が挙げられる。孔３３ａのサイズは、活性炭２２を底部３０に落下させないという観点から、活性炭２２の粒径よりも狭くなるように適宜調整可能である。
(Titanium tetrachloride inlet)
Titanium tetrachloride is allowed to flow into the activated carbon filling container 20 from the titanium tetrachloride inlet 32 . The titanium tetrachloride inlet 32 is composed of a partition member 33 having a plurality of holes 33a. That is, a set of holes 33 a corresponds to the titanium tetrachloride inlet 32 . The cross-sectional shape of the hole 33a is not particularly limited, but may be circular or polygonal, for example. The size of the holes 33 a can be appropriately adjusted so as to be narrower than the particle size of the activated carbon 22 from the viewpoint of preventing the activated carbon 22 from falling to the bottom 30 .
（液流入用管）
図１に示す実施形態において、液流入用管３４は、底部３０を介して四塩化チタン流入口３２に連通され、液体四塩化チタンを活性炭充填容器２０に流入させる。
(liquid inflow pipe)
In the embodiment shown in FIG. 1, the liquid inlet pipe 34 communicates with the titanium tetrachloride inlet 32 through the bottom 30 to allow liquid titanium tetrachloride to flow into the activated carbon-filled vessel 20 .
（液抜き用管）
液抜き用管３６は、液流入用管３４のバルブ（不図示）を閉じて液体四塩化チタンを活性炭充填容器２０に流入することを停止した後、四塩化チタン処理装置１内に残存した液体四塩化チタンを重力により外部に排出することに用いられる。
(Drainage pipe)
After the valve (not shown) of the liquid inflow pipe 34 is closed to stop the flow of liquid titanium tetrachloride into the activated carbon filling container 20, the liquid remaining in the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 is removed through the liquid drain pipe 36. It is used to discharge titanium tetrachloride to the outside by gravity.
（キャリアガス導入管）
キャリアガス導入管３８は、液抜き用管３６と連通している。よって、キャリアガス導入管３８から液抜き用管３６の一部、底部３０を経由してキャリアガスを活性炭２２に供給可能である。液抜き用管３６を使用した四塩化チタンの排出後、図示省略の液抜き用管３６のバルブを閉じて、窒素（Ｎ2）又はアルゴン（Ａｒ）等のキャリアガスを活性炭２２に向けて供給する。本発明の一実施形態では、液流入用管３４のバルブを閉じて、四塩化チタン処理装置１内に残存した液体四塩化チタンを排出した後に、後述する加熱部で活性炭２２を液体四塩化チタンが気化する温度以上に加温保持しつつ、キャリアガスを活性炭２２に通すことにより、高温化したキャリアガスが活性炭２２に接触して、活性炭２２に残存した液体四塩化チタンの気化を促進させることができる。
(Carrier gas introduction tube)
The carrier gas introduction pipe 38 communicates with the liquid removal pipe 36 . Therefore, the carrier gas can be supplied to the activated carbon 22 from the carrier gas introduction pipe 38 via part of the liquid removal pipe 36 and the bottom portion 30 . After discharging the titanium tetrachloride using the drain pipe 36, the valve of the drain pipe 36 (not shown) is closed, and a carrier gas such as nitrogen (N 2 ) or argon (Ar) is supplied toward the activated carbon 22. do. In one embodiment of the present invention, after the valve of the liquid inflow pipe 34 is closed and the liquid titanium tetrachloride remaining in the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 is discharged, the activated carbon 22 is heated to the liquid titanium tetrachloride in the heating section described later. By passing the carrier gas through the activated carbon 22 while maintaining the temperature above the vaporization temperature, the heated carrier gas comes into contact with the activated carbon 22 and accelerates the vaporization of the liquid titanium tetrachloride remaining in the activated carbon 22. can be done.
（上蓋）
上蓋４０は、四塩化チタン流出口４２と、液排出用管４４と連結され、胴部１０の上面開口部を閉じている。
(top lid)
The upper lid 40 is connected to a titanium tetrachloride outlet 42 and a liquid discharge pipe 44 to close the top opening of the body 10 .
（四塩化チタン流出口）
四塩化チタン流出口４２は、活性炭２２に通液された液体四塩化チタンを流出させる。当該四塩化チタン流出口４２が、複数の孔４３ａを有する仕切材４３で構成されている。孔４３ａの断面形状は特に限定されないが、例えば円及び多角形が挙げられる。
(Titanium tetrachloride outlet)
Titanium tetrachloride outflow port 42 causes the liquid titanium tetrachloride passed through activated carbon 22 to flow out. The titanium tetrachloride outlet 42 is composed of a partition member 43 having a plurality of holes 43a. The cross-sectional shape of the hole 43a is not particularly limited, but may be circular or polygonal, for example.
また、四塩化チタン流出口４２は、四塩化チタン流入口３２よりも鉛直方向Ｖ上側に位置している。そうすることで、四塩化チタン流入口３２から流入された液体四塩化チタンが上側に向かって活性炭２２に通液されるので、液体四塩化チタンが活性炭２２に接触する接触面積を増やし、かつ接触時間も適宜調整することができる。その結果、液体四塩化チタンに含まれるアンチモン等の不純物が効率良く除去される。 In addition, the titanium tetrachloride outlet 42 is positioned above the titanium tetrachloride inlet 32 in the vertical direction V. As shown in FIG. By doing so, the liquid titanium tetrachloride flowing in from the titanium tetrachloride inlet 32 is passed upward through the activated carbon 22, so that the contact area of the liquid titanium tetrachloride with the activated carbon 22 is increased. The time can also be adjusted as appropriate. As a result, impurities such as antimony contained in the liquid titanium tetrachloride are efficiently removed.
（液排出用管）
液排出用管４４は、図１に示す実施形態では、四塩化チタン流出口４２に上蓋４０を介して連通され、液体四塩化チタンを四塩化チタン処理装置１の外部に排出させる。また、液排出用管４４は、先述した活性炭２２を熱処理した場合、気化した四塩化チタンガスを四塩化チタン処理装置１の外部に排出させる。なお、キャリアガス導入管３８がキャリアガスを供給した場合、キャリアガスが下側から上側へと活性炭２２に通気されるので、その四塩化チタンガスは、液排出用管４４から排出される。
(liquid discharge pipe)
In the embodiment shown in FIG. 1, the liquid discharge pipe 44 is communicated with the titanium tetrachloride outlet 42 through the upper lid 40 to discharge the liquid titanium tetrachloride to the outside of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 . Further, the liquid discharge pipe 44 discharges the vaporized titanium tetrachloride gas to the outside of the titanium tetrachloride processing apparatus 1 when the activated carbon 22 is heat-treated. When the carrier gas is supplied from the carrier gas introduction pipe 38 , the carrier gas is passed through the activated carbon 22 from the bottom to the top, so the titanium tetrachloride gas is discharged from the liquid discharge pipe 44 .
（加熱部）
加熱部は、活性炭充填容器２０に充填された活性炭２２を加熱する。加熱部は、活性炭充填容器２０の周囲に設けられる。図１に示す実施形態では、加熱部は胴部１０の外側周囲に設けられている。当該加熱部は特に限定されないが、例えば熱媒流路５０又はヒーター（不図示）等が挙げられる。
(Heating part)
The heating unit heats the activated carbon 22 filled in the activated carbon filled container 20 . A heating unit is provided around the activated carbon-filled container 20 . In the embodiment shown in FIG. 1, the heating section is provided around the outside of the body 10 . The heating unit is not particularly limited, but includes, for example, the heat medium flow path 50 or a heater (not shown).
（熱媒流路）
熱媒流路５０は、活性炭２２に残存した液体四塩化チタンを気化するために、活性炭充填容器２０の周囲に熱媒を流す。当該熱媒流路５０には、熱交換器（不図示）、又は熱媒を加温するヒーター（不図示）を接続すればよい。これにより、胴部１０周囲に供給される熱媒は適切に高温であり、活性炭２２を加熱できる。熱媒は、空気、蒸気、及びオイルよりなる群から選択される１以上でよい。
(heat medium flow path)
The heat medium flow path 50 causes the heat medium to flow around the activated carbon-filled container 20 in order to vaporize the liquid titanium tetrachloride remaining in the activated carbon 22 . A heat exchanger (not shown) or a heater (not shown) for heating the heat medium may be connected to the heat medium flow path 50 . As a result, the heat medium supplied to the surroundings of the body portion 10 has an appropriately high temperature, and the activated carbon 22 can be heated. The heat medium may be one or more selected from the group consisting of air, steam, and oil.
（ヒーター）
ヒーターは、活性炭２２に残存した液体四塩化チタンを気化するために、活性炭２２を加熱する。ヒーターは、活性炭充填容器２０の外周面上に当接してもよく、又は該外周面から離間してもよい。例えば、図１に示す実施形態において胴部１０の外側周囲を覆うようにヒーターが設けられてもよい。
(heater)
The heater heats the activated carbon 22 to vaporize any liquid titanium tetrachloride remaining on the activated carbon 22 . The heater may be in contact with the outer peripheral surface of the activated carbon-filled container 20, or may be spaced apart from the outer peripheral surface. For example, a heater may be provided to cover the outer circumference of the body 10 in the embodiment shown in FIG.
（別の実施形態）
また、図２に示す四塩化チタン処理装置５においては、キャリアガス導入管４８は、上蓋４０に連結されている。この実施形態では、液抜き用管３６により四塩化チタンを四塩化チタン処理装置５から除去した後、加熱部である熱媒流路５０に熱媒を流すとともにキャリアガス導入管４８からキャリアガスを活性炭充填容器２０に供給し、液流入用管３４および／または液抜き用管３６からキャリアガスを排気すればよい。
(another embodiment)
Further, in the titanium tetrachloride processing apparatus 5 shown in FIG. 2, the carrier gas introduction pipe 48 is connected to the upper lid 40 . In this embodiment, after the titanium tetrachloride is removed from the titanium tetrachloride treatment apparatus 5 through the liquid drain pipe 36, the heat medium is flown through the heat medium flow path 50, which is the heating section, and the carrier gas is introduced from the carrier gas introduction pipe 48. The carrier gas may be supplied to the activated carbon-filled container 20 and exhausted from the liquid inlet pipe 34 and/or the liquid drain pipe 36 .
活性炭充填容器２０が袋体である場合を除き、図１及び図２に示す四塩化チタン処理装置１、５の各部材は金属製としてよい。該金属として、炭素鋼、ステンレス鋼等を適宜採用可能である。 Each member of the titanium tetrachloride processing apparatuses 1 and 5 shown in FIGS. 1 and 2 may be made of metal, except when the activated carbon filling container 20 is a bag. As the metal, carbon steel, stainless steel, or the like can be used as appropriate.
［２．四塩化チタンの処理方法］
本発明に係る四塩化チタンの処理方法の一実施形態においては、図３に示すように、四塩化チタン処理装置１、５を使用する四塩化チタンの処理方法であって、通液工程Ｓ１１と、液除去工程Ｓ２１とを含む。以下、各工程をそれぞれ説明する。なお、上述した四塩化チタン処理装置１、５と重複する説明は割愛する。
[2. Method of treating titanium tetrachloride]
In one embodiment of the method for treating titanium tetrachloride according to the present invention, as shown in FIG. , and a liquid removing step S21. Each step will be described below. Note that explanations overlapping those of the titanium tetrachloride processing apparatuses 1 and 5 described above will be omitted.
（通液工程）
通液工程Ｓ１１においては、活性炭充填容器２０に充填された活性炭２２にアンチモン等の不純物を含む液体四塩化チタンを通液する。より詳細には、液体四塩化チタンは、四塩化チタン流入口３２から活性炭２２に通液され、四塩化チタン流入口３２よりも鉛直方向Ｖ上側に位置した四塩化チタン流出口４２に流れる。その際に、液体四塩化チタンに含まれるアンチモン等の不純物は、活性炭２２に吸着される。
(Liquid passing process)
In the liquid feeding step S11, liquid titanium tetrachloride containing impurities such as antimony is passed through the activated carbon 22 filled in the activated carbon filled container 20 . More specifically, the liquid titanium tetrachloride is passed from the titanium tetrachloride inlet 32 to the activated carbon 22 and flows to the titanium tetrachloride outlet 42 located above the titanium tetrachloride inlet 32 in the vertical direction V. At that time, impurities such as antimony contained in the liquid titanium tetrachloride are adsorbed by the activated carbon 22 .
（液除去工程）
液除去工程Ｓ２１においては、液体四塩化チタンの通液を停止した後、活性炭充填容器２０から液体四塩化チタンを排出させ、更に、加熱部で前記活性炭２２を加熱する。より詳細には、液体四塩化チタンの通液を停止した後、活性炭充填容器２０から液抜き用管３６を介して液体四塩化チタンを四塩化チタン処理装置１、５の外部に排出する。そして、活性炭２２に残存した液体四塩化チタンは、熱媒流路５０に熱交換機やヒーター等で加熱された熱媒を流し、またはヒーターにより直接加熱することで活性炭充填容器２０内が１３６．４℃以上に加熱され、気化する。四塩化チタンガスは、四塩化チタン流出口４２を介して液排出用管４４から、または四塩化チタン流入口３２を介して液流入用管３４や液抜き用管３６から、四塩化チタン処理装置１、５の外部に排出される。
なお、熱媒の温度又は流量は、活性炭充填容器２０内の温度を四塩化チタンの沸点以上に加熱できるように、活性炭充填容器２０内の容量を勘案して適宜調整すればよい。
(Liquid removal step)
In the liquid removing step S21, after stopping the passage of the liquid titanium tetrachloride, the liquid titanium tetrachloride is discharged from the activated carbon-filled container 20, and the activated carbon 22 is heated by the heating unit. More specifically, after stopping the passage of the liquid titanium tetrachloride, the liquid titanium tetrachloride is discharged from the activated carbon filled container 20 to the outside of the titanium tetrachloride processing apparatuses 1 and 5 through the liquid drain pipe 36 . Then, the liquid titanium tetrachloride remaining in the activated carbon 22 is removed by flowing a heat medium heated by a heat exchanger, a heater, or the like into the heat medium flow path 50, or directly heating it by a heater, so that the inside of the activated carbon filled container 20 becomes 136.4%. When heated above 100°F, it evaporates. Titanium tetrachloride gas is supplied from the titanium tetrachloride outlet 42 from the liquid discharge pipe 44, or from the titanium tetrachloride inlet 32 from the liquid inlet pipe 34 or the liquid drain pipe 36 to the titanium tetrachloride treatment apparatus. 1 and 5 are discharged outside.
The temperature or flow rate of the heat medium may be appropriately adjusted in consideration of the capacity inside the activated carbon-filled container 20 so that the temperature inside the activated carbon-filled container 20 can be heated to the boiling point of titanium tetrachloride or higher.
また、液除去工程Ｓ２１においては、活性炭２２に残存した液体四塩化チタンを効率的に除去するという観点から、熱媒流路５０に熱媒を流す際に窒素又はアルゴン等のキャリアガスを活性炭２２に通気してもよい。
なお、キャリアガスの流量は、活性炭充填容器２０内の容量又は活性炭２２の量を勘案して適宜調整すればよい。
In the liquid removing step S21, from the viewpoint of efficiently removing the liquid titanium tetrachloride remaining in the activated carbon 22, a carrier gas such as nitrogen or argon is added to the activated carbon 22 when flowing the heat medium through the heat medium flow path 50. can be ventilated.
Note that the flow rate of the carrier gas may be appropriately adjusted in consideration of the capacity inside the activated carbon filled container 20 or the amount of the activated carbon 22 .
［３．精製四塩化チタン製造装置］
図４に示す精製四塩化チタン製造装置１００の一実施形態においては、塩化炉１１０と、分離設備１２０と、凝縮塔１３０と、蒸留釜１４０と、精留塔１５０と、リボイラー１６０と、タンク１７０とを備える。そして、本発明の一実施形態においては、先述した四塩化チタン処理装置１、５を更に備える。四塩化チタン処理装置１、５の内部には活性炭２２が充填された活性炭充填容器２０が取外し可能に嵌め込まれている。活性炭２２への通液により四塩化チタンに含まれるアンチモン等の不純物濃度を低減し、その後の液除去工程Ｓ２１により活性炭２２に残存した四塩化チタンを十分に低減できるので、四塩化チタン由来のガスの発生を伴うことなく、活性炭充填容器２０とともに使用後の活性炭２２を取り出すことができる。
[3. Refined titanium tetrachloride manufacturing equipment]
In one embodiment of the purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus 100 shown in FIG. and In one embodiment of the present invention, the titanium tetrachloride processing apparatuses 1 and 5 described above are further provided. Inside the titanium tetrachloride processing apparatuses 1 and 5, an activated carbon-filled container 20 filled with activated carbon 22 is detachably fitted. The concentration of impurities such as antimony contained in titanium tetrachloride can be reduced by passing the liquid through the activated carbon 22, and the titanium tetrachloride remaining in the activated carbon 22 can be sufficiently reduced in the subsequent liquid removal step S21. The used activated carbon 22 can be taken out together with the activated carbon-filled container 20 without the generation of .
四塩化チタン処理装置１、５においては、液体四塩化チタンを活性炭２２に通液するとアンチモン等の不純物を低減できる一方で、当該液体四塩化チタン中に炭素微粉が混入して炭素量が増加することが懸念される。一般に、精製四塩化チタン製造装置では、塩化炉にて生成した粗四塩化チタンガスを分離設備に導入し、コークスや鉱石のキャリーオーバー等の粉体である不純物の除去が行われる。そこで、本発明者は、鋭意検討した結果、精製四塩化チタン製造装置１００が四塩化チタン処理装置１、５を備えるものとし、その活性炭２２に通液した後の不純物量が低減された液体四塩化チタンを分離設備１２０にスプレー噴霧等により供給することで活性炭２２由来の炭素微粉が仮に混入されたとしても該炭素微粉を残渣として除去できることを見出した。 In the titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5, when the liquid titanium tetrachloride is passed through the activated carbon 22, impurities such as antimony can be reduced, but carbon fine powder is mixed into the liquid titanium tetrachloride, increasing the amount of carbon. There is concern that Generally, in a purified titanium tetrachloride production apparatus, crude titanium tetrachloride gas produced in a chlorination furnace is introduced into a separation facility to remove powdery impurities such as carryover of coke and ore. Therefore, as a result of extensive studies, the inventors of the present invention decided that the purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus 100 is equipped with the titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5, and the liquid four having a reduced amount of impurities after being passed through the activated carbon 22. It was found that by supplying titanium chloride to the separation equipment 120 by spraying or the like, the fine carbon powder derived from the activated carbon 22 can be removed as a residue even if the fine carbon powder derived from the activated carbon 22 is mixed.
また、本発明者は、当該精製四塩化チタン製造装置１００が、精留塔１５０における塔底側から留出した不純物量が比較的多い液体四塩化チタンを有効に再利用することも可能であることを見出した。塔底側から留出した四塩化チタンはアンチモン量が比較的多く、活性炭２２で処理したことによりアンチモン量を良好に低減できる。一方、精留塔１５０の塔頂側から排出される四塩化チタンも不純物量が比較的多く、該四塩化チタンを活性炭２２に通液しても不純物量を良好に低減可能である。
以下、各構成要素を説明する。
In addition, the present inventor can effectively reuse the liquid titanium tetrachloride, which has a relatively large amount of impurities, distilled from the bottom side of the rectifying column 150 by the purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus 100. I found out. The amount of antimony in the titanium tetrachloride distilled from the bottom side of the column is relatively large, and the amount of antimony can be favorably reduced by treating it with the activated carbon 22 . On the other hand, the titanium tetrachloride discharged from the top side of the rectifying column 150 also contains a relatively large amount of impurities, and even if the titanium tetrachloride is passed through the activated carbon 22, the amount of impurities can be reduced satisfactorily.
Each component will be described below.
（塩化炉）
塩化炉１１０では、アンチモン等の不純物を含むチタン鉱石と、コークスと、塩素ガスを混合することにより粗四塩化チタンガスが得られる。そして、塩化炉１１０は、冷却塔などの分離設備１２０に粗四塩化チタンガスを供給する。
(chlorination furnace)
In the chlorination furnace 110, crude titanium tetrachloride gas is obtained by mixing titanium ore containing impurities such as antimony, coke, and chlorine gas. The chlorination furnace 110 then supplies crude titanium tetrachloride gas to a separation facility 120 such as a cooling tower.
（分離設備）
分離設備１２０は、塩化炉１１０と連通し、粗四塩化チタンに含まれる不純物の分離を行う。より詳細には、分離設備１２０は、塩化炉１１０で得られた粗四塩化チタンガスの不純物（未反応のコークス、鉱石等のキャリーオーバーを含む）を低減し、更に後述するタンク１７０から供給された液体四塩化チタンに含まれうる炭素微粉をも低減する。本発明の一実施形態においては、活性炭２２に通液した後の液体四塩化チタンを一旦タンク１７０に供給し、その後分離設備１２０の頂部からスプレー噴霧することで、活性炭由来の炭素微粉は、残渣として分離設備１２０の底に沈積する。次に、粗四塩化チタンガスは分離設備１２０から凝縮塔１３０に供給される。なお、分離設備１２０と四塩化チタン処理装置１、５の四塩化チタン流出口４２とがタンク１７０を介して連通されている。
(separation equipment)
The separation equipment 120 communicates with the chlorination furnace 110 and separates impurities contained in the crude titanium tetrachloride. More specifically, the separation equipment 120 reduces impurities (including carryover of unreacted coke, ore, etc.) in the crude titanium tetrachloride gas obtained in the chlorination furnace 110, and further supplies the gas from the tank 170 described later. It also reduces carbon fines that may be contained in liquid titanium tetrachloride. In one embodiment of the present invention, the liquid titanium tetrachloride after passing through the activated carbon 22 is once supplied to the tank 170 and then sprayed from the top of the separation equipment 120 to remove the carbon fine powder derived from the activated carbon from the residue. is deposited at the bottom of the separation facility 120 as. The crude titanium tetrachloride gas is then supplied from separation facility 120 to condensation tower 130 . Note that the separation equipment 120 and the titanium tetrachloride outlets 42 of the titanium tetrachloride processing apparatuses 1 and 5 are communicated through a tank 170 .
（凝縮塔）
凝縮塔１３０は、四塩化チタンの沸点以下まで冷却することで、液状の粗四塩化チタンと、塩化炉１１０で生成した二酸化炭素ガス及び一酸化炭素ガスとを分離する。次に、液状の粗四塩化チタンは、凝縮塔１３０から蒸留釜１４０に供給される。一方、凝縮塔１３０では、二酸化炭素ガス及び一酸化炭素ガスは、排ガス処理設備（不図示）に供給され処理される。
(condensation tower)
The condensation tower 130 separates the liquid crude titanium tetrachloride from the carbon dioxide gas and the carbon monoxide gas generated in the chlorination furnace 110 by cooling to the boiling point of titanium tetrachloride or below. The liquid crude titanium tetrachloride is then fed from condensation column 130 to distillation still 140 . On the other hand, in the condensation tower 130, carbon dioxide gas and carbon monoxide gas are supplied to an exhaust gas treatment facility (not shown) and treated.
（蒸留釜）
蒸留釜１４０は、液体の粗四塩化チタンに含まれる高沸点成分を分離する。例えば、蒸留釜１４０での四塩化チタンの滞留時間を十分に長くすることにより、先述した高沸点成分の分離を効率よく行うことが可能となる。次に、高沸点成分が分離された液体又は気体の粗四塩化チタンは、蒸留釜１４０から精留塔１５０に供給される。
(distillation kettle)
Distillation still 140 separates the high boiling point components contained in the liquid crude titanium tetrachloride. For example, by sufficiently lengthening the residence time of titanium tetrachloride in the still 140, it becomes possible to efficiently separate the above-mentioned high boiling point components. Next, the liquid or gaseous crude titanium tetrachloride from which the high boiling point components have been separated is supplied from the still 140 to the rectifying column 150 .
（精留塔）
精留塔１５０は、粗四塩化チタンを精製することで、不純物が低減された精製四塩化チタンを与える。一方、精留塔１５０の塔底ではアンチモン等の不純物を多く含む液体四塩化チタンが溜まる。精留塔１５０の塔底と四塩化チタン処理装置１、５の四塩化チタン流入口３２とは、リボイラー１６０、ポンプＰを介して連通されている。
(rectification tower)
The rectification column 150 refines the crude titanium tetrachloride to give purified titanium tetrachloride with reduced impurities. On the other hand, liquid titanium tetrachloride containing many impurities such as antimony accumulates at the bottom of the rectifying column 150 . The column bottom of the rectifying column 150 and the titanium tetrachloride inlets 32 of the titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5 are communicated via a reboiler 160 and a pump P.
（リボイラー）
リボイラー１６０は、精留塔１５０の塔底から液体四塩化チタンの一部を抜き出し、加熱し精留塔１５０に四塩化チタンガスを戻す。また、液体四塩化チタンは、ポンプＰを介して流量を調整し、タンク１７０又は四塩化チタン処理装置１、５に供給される。
(reboiler)
Reboiler 160 withdraws a portion of the liquid titanium tetrachloride from the bottom of rectification column 150 , heats it, and returns titanium tetrachloride gas to rectification column 150 . Further, the liquid titanium tetrachloride is supplied to the tank 170 or the titanium tetrachloride processing apparatuses 1 and 5 after adjusting the flow rate through the pump P.
（四塩化チタン処理装置）
四塩化チタン処理装置１、５は、図４に示すように、リボイラー１６０とタンク１７０との間に配置される。リボイラー１６０から供給される液体四塩化チタンの一部は、四塩化チタン処理装置１、５でアンチモン等の不純物を除去するために、四塩化チタン処理装置１、５に供給される。また図５に示す精製四塩化チタン製造装置１０５では、先述した四塩化チタン処理装置１、５を複数備える。一方の四塩化チタン処理装置１、５内の活性炭充填容器２０の活性炭２２を交換する場合に、交換を行う側である一方の四塩化チタン処理装置１、５のバルブＶ１又はＶ２を閉じてその四塩化チタン処理装置１、５への液体四塩化チタンの供給を停止し、他方の四塩化チタン処理装置１、５に通液して液体四塩化チタンに含まれるアンチモン等の不純物を除去することができる。このような操業により、不純物量が低減した四塩化チタンをより長時間にわたり得ることができる。
(Titanium tetrachloride processing equipment)
The titanium tetrachloride processing units 1 and 5 are arranged between the reboiler 160 and the tank 170 as shown in FIG. A part of the liquid titanium tetrachloride supplied from the reboiler 160 is supplied to the titanium tetrachloride processing units 1 and 5 in order to remove impurities such as antimony in the titanium tetrachloride processing units 1 and 5 . The purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus 105 shown in FIG. 5 includes a plurality of the titanium tetrachloride processing apparatuses 1 and 5 described above. When replacing the activated carbon 22 in the activated carbon filled container 20 in one of the titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5, close the valve V1 or V2 of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 and 5, which is the side to be replaced, and The supply of liquid titanium tetrachloride to the titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5 is stopped, and the liquid is passed through the other titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5 to remove impurities such as antimony contained in the liquid titanium tetrachloride. can be done. By such operation, titanium tetrachloride with a reduced amount of impurities can be obtained over a longer period of time.
（タンク）
タンク１７０は四塩化チタンを貯留し、アンチモン等の不純物の量が低減された液体四塩化チタンは分離設備１２０に供給される。
(tank)
A tank 170 stores titanium tetrachloride, and liquid titanium tetrachloride with reduced amounts of impurities such as antimony is supplied to the separation facility 120 .
［４．精製四塩化チタンの製造方法］
本発明に係る精製四塩化チタンの製造方法の一実施形態においては、先述した精製四塩化チタン製造装置１００、１０５を使用する精製四塩化チタンの製造方法であって、四塩化チタン処理装置１、５の活性炭充填容器２０に充填された活性炭２２に不純物を含む液体四塩化チタンを通液する通液工程Ｓ１１と、液体四塩化チタンの通液を停止した後、活性炭充填容器２０から液体四塩化チタンを排出させ、更に、加熱部により活性炭２２を加熱する液除去工程Ｓ２１とを含む。なお、上述した四塩化チタン処理装置１、５、四塩化チタンの処理方法、及び精製四塩化チタン製造装置１００、１０５と重複する説明は割愛する。
[4. Method for producing purified titanium tetrachloride]
In one embodiment of the method for producing purified titanium tetrachloride according to the present invention, a method for producing purified titanium tetrachloride using the above-described purified titanium tetrachloride production apparatuses 100 and 105, wherein the titanium tetrachloride treatment apparatus 1, 5, in which the liquid titanium tetrachloride containing impurities is passed through the activated carbon 22 filled in the activated carbon-filled container 20; A liquid removing step S21 for discharging titanium and heating the activated carbon 22 by the heating unit is also included. Descriptions overlapping with the above-described titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5, titanium tetrachloride treatment method, and purified titanium tetrachloride production apparatuses 100 and 105 are omitted.
精製四塩化チタンの製造方法の一実施形態においては、通液工程Ｓ１１で処理した液体四塩化チタンを分離設備１２０内に供給する再利用工程を更に含んでもよい。すなわち、当該精製四塩化チタン製造装置１００、１０５では、精留塔１５０の塔底側から回収される不純物量が比較的多い液体四塩化チタンの少なくとも一部を当該四塩化チタン処理装置１、５に通液してアンチモン等の不純物を除去して、その処理後の液体四塩化チタンを分離設備１２０に供給する。そして、分離設備１２０の例えば頂部から液体四塩化チタンをスプレー噴霧して、活性炭由来の炭素微粉が含まれる場合はこれを残渣として分離設備１２０に沈積させる。そして、四塩化チタンは、下流側の精留塔１５０へと供給され、精製四塩化チタンが得られる。このように、本発明の一実施形態においては、不純物濃度が低減された液体四塩化チタンを再利用することができる。 An embodiment of the method for producing purified titanium tetrachloride may further include a recycling step of supplying the liquid titanium tetrachloride treated in the liquid passing step S11 into the separation equipment 120 . That is, in the purified titanium tetrachloride production apparatuses 100 and 105, at least part of the liquid titanium tetrachloride, which is recovered from the bottom side of the rectification column 150 and has a relatively large amount of impurities, is removed from the titanium tetrachloride treatment apparatuses 1 and 5. to remove impurities such as antimony, and the treated liquid titanium tetrachloride is supplied to the separation equipment 120 . Then, liquid titanium tetrachloride is sprayed, for example, from the top of the separation equipment 120, and if carbon fine powder derived from activated carbon is included, this is deposited in the separation equipment 120 as a residue. Titanium tetrachloride is then supplied to the downstream fractionator 150 to obtain purified titanium tetrachloride. Thus, in one embodiment of the present invention, liquid titanium tetrachloride with reduced impurity concentration can be reused.
以下、本発明の内容を実施例によって更に具体的に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。 EXAMPLES The content of the present invention will be described in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.
［実施例１］
実施例１では、図４に示す精製四塩化チタン製造装置１００を用いた。その際、四塩化チタン処理装置として、図１に示す四塩化チタン処理装置１を使用した。塔底から留出した液体四塩化チタンの５質量％を四塩化チタン処理装置１の活性炭２２に通液させて、アンチモンを含む不純物量を低減しつつ、１ヶ月間、精製四塩化チタンを製造した。該１ヶ月間の操業後、四塩化チタン処理装置１のバルブＶ１を閉じて、四塩化チタン処理装置１を停止した。次いで、液抜き用管３６のバルブを開けて、四塩化チタン処理装置１内に残存した液体四塩化チタンは、液抜き用管３６から外部に排出した。次いで、液抜き用管３６のバルブを閉じた後、四塩化チタン処理装置１の熱媒流路５０に熱媒を流通させて、四塩化チタン処理装置１の内部温度を１５０℃以上に加熱保持し、さらにキャリアガスとしてアルゴンガスをキャリアガス導入管３８から活性炭充填容器２０に連続的に供給した。なお、活性炭充填容器２０として、金属製カートリッジを使用した。
[Example 1]
In Example 1, a purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 4 was used. At that time, the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 shown in FIG. 1 was used as the titanium tetrachloride treatment apparatus. 5% by mass of the liquid titanium tetrachloride distilled from the bottom of the column is passed through the activated carbon 22 of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 to produce purified titanium tetrachloride for one month while reducing the amount of impurities including antimony. did. After the operation for one month, the valve V1 of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 was closed and the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 was stopped. Next, the valve of the liquid draining pipe 36 was opened, and the liquid titanium tetrachloride remaining in the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 was discharged to the outside through the liquid draining pipe 36 . Next, after closing the valve of the liquid drain pipe 36, the heat medium is passed through the heat medium flow path 50 of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 to heat and maintain the internal temperature of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 at 150° C. or higher. Then, argon gas as a carrier gas was continuously supplied from the carrier gas introduction pipe 38 to the activated carbon-filled container 20 . A metal cartridge was used as the activated carbon filling container 20 .
その後、熱媒およびキャリアガスの供給を停止し、四塩化チタン処理装置１を空冷後、使用後の活性炭２２を大気に開放したが、目視にて白煙が確認されなかった。また、活性炭２２に通液前と通液後の液体四塩化チタンをそれぞれ採取して、液体四塩化チタンをＩＣＰ発光分光分析装置で測定した。その結果、活性炭２２に通液した後の四塩化チタン中のアンチモン濃度は、活性炭２２に通液する前と比べて質量基準で２７％減少した。さらに、四塩化チタン処理装置１への通液開始前（操業前）と１ヶ月間の操業終了時点における精製四塩化チタン中のアンチモン濃度を比較したところ、通液開始前と比べて操業終了時点では質量基準でアンチモン濃度が２５％減少した。 After that, the supply of the heat medium and the carrier gas was stopped, and after the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 was air-cooled, the used activated carbon 22 was opened to the atmosphere, but no white smoke was visually observed. In addition, the liquid titanium tetrachloride was sampled before and after the liquid was passed through the activated carbon 22, and the liquid titanium tetrachloride was measured with an ICP emission spectrometer. As a result, the concentration of antimony in titanium tetrachloride after passing through the activated carbon 22 decreased by 27% on a mass basis compared to before passing through the activated carbon 22 . Furthermore, when comparing the antimony concentration in the purified titanium tetrachloride before the start of feeding (before operation) to the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 and at the end of operation for one month, The antimony concentration decreased by 25% on a mass basis.
更に、四塩化チタン処理装置１で処理した四塩化チタンを分離設備１２０に噴霧にて供給開始後、精製四塩化チタンを回収してフィルターろ過（フィルター：フロン工業社製ＰＴＦＥメンブランフィルター、フィルター型番：ＦＰ－０１０）したが炭素微粉は確認されなかった。また、四塩化チタン処理装置１への通液開始前（操業前）と１ヶ月間の操業終了時点の精製四塩化チタンの炭素濃度を燃焼－赤外線吸収法による炭素分析装置（ＥＬＴＲＡ社製 ＣＳ－５８０）を用いて測定した。その結果、両精製四塩化チタンで炭素濃度の有意な差はなかった。即ち、四塩化チタン処理装置１で処理した四塩化チタンを分離設備１２０に供給し再利用しても精製四塩化チタン中の炭素濃度は有意な増加を示さなかった。 Furthermore, after starting to supply the titanium tetrachloride treated by the titanium tetrachloride treatment device 1 to the separation equipment 120 by spraying, the purified titanium tetrachloride is recovered and filtered through a filter (filter: PTFE membrane filter manufactured by Flon Kogyo Co., Ltd., filter model number: FP-010), but carbon fine powder was not confirmed. In addition, the carbon concentration of the purified titanium tetrachloride before the start of feeding (before operation) to the titanium tetrachloride treatment device 1 and at the end of the operation for one month was measured using a carbon analyzer (ELTRA CS- 580). As a result, there was no significant difference in carbon concentration between both purified titanium tetrachlorides. That is, even if the titanium tetrachloride treated by the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 was supplied to the separation equipment 120 and reused, the carbon concentration in the purified titanium tetrachloride did not significantly increase.
［比較例１］
比較例１では、熱媒流路を備えていない四塩化チタン処理装置を使用して、活性炭を熱処理しなかった点以外、実施例１と同様に実施した。四塩化チタン処理装置のバルブを閉じて、四塩化チタン処理装置を停止し、次いで、液抜き用管のバルブを開けて四塩化チタン処理装置内に残存した液体四塩化チタンは液抜き用管から外部に排出した。次いで、活性炭充填容器を大気に開放したところ、白煙が確認された。
[Comparative Example 1]
Comparative Example 1 was carried out in the same manner as in Example 1, except that a titanium tetrachloride treatment apparatus without a heat medium flow path was used and the activated carbon was not heat-treated. Close the valve of the titanium tetrachloride treatment equipment to stop the titanium tetrachloride treatment equipment, then open the valve of the liquid draining pipe to remove the liquid titanium tetrachloride remaining in the titanium tetrachloride treatment equipment from the liquid draining pipe. discharged to the outside. Then, when the activated carbon-filled container was opened to the atmosphere, white smoke was confirmed.
（実施例による考察）
実施例１では、比較例１と異なり、目視にて白煙が確認されなかった。この理由としては、四塩化チタン処理装置１の熱媒流路５０に熱媒を流通させて、四塩化チタン処理装置１の内部温度を四塩化チタンの沸点以上にした結果、活性炭２２に残存した液体四塩化チタンが気化して、活性炭２２から四塩化チタンが除去されたことが挙げられる。このように、実施例１においては、四塩化チタン処理装置１内から活性炭２２が充填された活性炭充填容器（カートリッジ）２０を安全に取り外して別の活性炭が充填された活性炭充填容器（カートリッジ）２０に交換することが可能であるといえる。更に、分離設備１２０の頂部から液体四塩化チタンをスプレー噴霧したことにより活性炭由来の炭素微粉に基づく不具合の発生を抑止できた。以上より、実施例１で使用した四塩化チタン処理装置１は、精製四塩化チタンの製造操業において有用であるといえる。
(Consideration by Example)
In Example 1, unlike Comparative Example 1, no white smoke was visually observed. The reason for this is that as a result of circulating the heat medium in the heat medium flow path 50 of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 to raise the internal temperature of the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 to the boiling point or higher of titanium tetrachloride, For example, the titanium tetrachloride was removed from the activated carbon 22 by vaporizing the liquid titanium tetrachloride. Thus, in Example 1, the activated carbon-filled container (cartridge) 20 filled with activated carbon 22 was safely removed from the titanium tetrachloride treatment apparatus 1, and another activated carbon-filled container (cartridge) 20 filled with activated carbon was removed. It can be said that it is possible to exchange for Furthermore, by spraying the liquid titanium tetrachloride from the top of the separation equipment 120, it was possible to suppress the occurrence of problems due to fine carbon powder derived from activated carbon. From the above, it can be said that the titanium tetrachloride treatment apparatus 1 used in Example 1 is useful in the manufacturing operation of purified titanium tetrachloride.
１、５ 四塩化チタン処理装置
１０ 胴部
２０ 活性炭充填容器
２２ 活性炭
３０ 底部
３２ 四塩化チタン流入口
３３、４３ 仕切材
３３ａ、４３ａ 孔
３４ 液流入用管
３６ 液抜き用管
３８、４８ キャリアガス導入管
４０ 上蓋
４２ 四塩化チタン流出口
４４ 液排出用管
５０ 熱媒流路
１００、１０５ 精製四塩化チタン製造装置
１１０ 塩化炉
１２０ 分離設備
１３０ 凝縮塔
１４０ 蒸留釜
１５０ 精留塔
１６０ リボイラー
１７０ タンク
Ｐ ポンプ
Ｓ１１ 通液工程
Ｓ２１ 液除去工程
Ｖ 鉛直方向
Ｖ１、Ｖ２ バルブ
1, 5 Titanium tetrachloride treatment device 10 Body 20 Activated carbon filled container 22 Activated carbon 30 Bottom 32 Titanium tetrachloride inlets 33, 43 Partitions 33a, 43a Hole 34 Liquid inflow pipe 36 Liquid drain pipes 38, 48 Carrier gas introduction Pipe 40 Upper cover 42 Titanium tetrachloride outlet 44 Liquid discharge pipe 50 Heat medium flow path 100, 105 Refined titanium tetrachloride production device 110 Chlorination furnace 120 Separation equipment 130 Condensation tower 140 Distillation pot 150 Rectification tower 160 Reboiler 170 Tank P Pump S11 liquid passing step S21 liquid removing step V vertical directions V1, V2 valves
Claims (11)
前記四塩化チタン処理装置は、四塩化チタンに含まれる不純物を活性炭で除去するものであって、前記活性炭が充填される活性炭充填容器と、前記活性炭充填容器の端部に位置する四塩化チタン流入口と、前記活性炭充填容器の他の端部に位置する四塩化チタン流出口と、前記活性炭充填容器の周囲に設けられる加熱部とを含み、
前記精留塔の塔底と前記四塩化チタン処理装置の前記四塩化チタン流入口とが連通され、
前記四塩化チタン処理装置の前記四塩化チタン流出口と前記分離設備とが連通され、
前記分離設備は、前記四塩化チタン流出口から供給される四塩化チタンを噴霧する噴霧部と、底側に設けられた残渣分離部とを含む、精製四塩化チタン製造装置。 A purified titanium tetrachloride production apparatus comprising: a chlorination furnace; a separation facility communicating with the chlorination furnace to separate impurities contained in titanium tetrachloride; a rectification tower; and a titanium tetrachloride treatment device,
The titanium tetrachloride treatment apparatus removes impurities contained in titanium tetrachloride with activated carbon. an inlet, a titanium tetrachloride outlet located at the other end of the activated carbon-filled container, and a heating unit provided around the activated carbon-filled container,
The bottom of the rectification column and the titanium tetrachloride inlet of the titanium tetrachloride treatment device are communicated,
the titanium tetrachloride outlet of the titanium tetrachloride treatment device and the separation equipment are communicated;
A purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus, wherein the separation equipment includes a spray section for spraying titanium tetrachloride supplied from the titanium tetrachloride outlet, and a residue separation section provided on the bottom side.
前記四塩化チタン流出口が、複数の孔を有する仕切材で構成される、請求項１～３のいずれか一項に記載の精製四塩化チタン製造装置。 The titanium tetrachloride inlet is composed of a partition material having a plurality of holes,
The purified titanium tetrachloride manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the titanium tetrachloride outlet is composed of a partition member having a plurality of holes.
前記四塩化チタン流入口が、前記活性炭充填容器の軸方向の端部に設けられ、
前記四塩化チタン流出口が、前記活性炭充填容器の軸方向の他の端部に設けられる、請求項１～４のいずれか一項に記載の精製四塩化チタン製造装置。 The shape of the activated carbon-filled container is cylindrical,
The titanium tetrachloride inlet is provided at an axial end of the activated carbon-filled container,
The apparatus for producing purified titanium tetrachloride according to any one of claims 1 to 4, wherein the titanium tetrachloride outlet is provided at the other end in the axial direction of the activated carbon-filled container.
前記四塩化チタン処理装置の前記活性炭が充填された前記活性炭充填容器に不純物を含む四塩化チタンを通液する通液工程と、
前記不純物を含む四塩化チタンの通液を停止した後、前記活性炭充填容器から四塩化チタンを排出させ、更に、前記加熱部で前記活性炭を加熱する液除去工程とを含み、
前記通液工程で処理した四塩化チタンを前記分離設備内に供給する再利用工程を更に含み、
前記再利用工程では、前記分離設備内に四塩化チタンを噴霧することで供給する、精製四塩化チタンの製造方法。 A method for producing purified titanium tetrachloride using the purified titanium tetrachloride production apparatus according to any one of claims 1 to 6,
a liquid passing step of passing titanium tetrachloride containing impurities through the activated carbon-filled container filled with the activated carbon of the titanium tetrachloride treatment apparatus;
a liquid removing step of discharging the titanium tetrachloride from the activated carbon-filled container after stopping the passage of the titanium tetrachloride containing the impurity , and further heating the activated carbon in the heating unit;
further comprising a recycling step of supplying titanium tetrachloride treated in the passing step into the separation equipment;
The method for producing purified titanium tetrachloride, wherein in the recycling step, titanium tetrachloride is supplied by spraying it into the separation equipment .
前記通液工程においては、前記不純物を含む四塩化チタンを、前記四塩化チタン流入口から前記活性炭に通液し前記四塩化チタン流出口に流出する、請求項７～９のいずれかに記載の精製四塩化チタンの製造方法。 In the titanium tetrachloride treatment apparatus, the titanium tetrachloride outlet is positioned vertically above the titanium tetrachloride inlet,
10. The method according to any one of claims 7 to 9, wherein in said passing step, the titanium tetrachloride containing said impurities is passed from said titanium tetrachloride inlet to said activated carbon and then flows out to said titanium tetrachloride outlet. A method for producing purified titanium tetrachloride.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019140346A JP7333222B2 (en) | 2019-07-30 | 2019-07-30 | Titanium tetrachloride treatment apparatus, titanium tetrachloride treatment method, purified titanium tetrachloride production apparatus, and purified titanium tetrachloride production method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019140346A JP7333222B2 (en) | 2019-07-30 | 2019-07-30 | Titanium tetrachloride treatment apparatus, titanium tetrachloride treatment method, purified titanium tetrachloride production apparatus, and purified titanium tetrachloride production method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021020837A JP2021020837A (en) | 2021-02-18 |
| JP7333222B2 true JP7333222B2 (en) | 2023-08-24 |
Family
ID=74574174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019140346A Active JP7333222B2 (en) | 2019-07-30 | 2019-07-30 | Titanium tetrachloride treatment apparatus, titanium tetrachloride treatment method, purified titanium tetrachloride production apparatus, and purified titanium tetrachloride production method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7333222B2 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003251338A (en) | 2002-02-28 | 2003-09-09 | Ideya:Kk | Water treatment apparatus and water purifying apparatus with function for regenerating activated carbon, and water treatment method used for the same |
| US20060228292A1 (en) | 2005-04-11 | 2006-10-12 | Cronin James T | Process for purifying titanium chloride-containing feedstock |
-
2019
- 2019-07-30 JP JP2019140346A patent/JP7333222B2/en active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003251338A (en) | 2002-02-28 | 2003-09-09 | Ideya:Kk | Water treatment apparatus and water purifying apparatus with function for regenerating activated carbon, and water treatment method used for the same |
| US20060228292A1 (en) | 2005-04-11 | 2006-10-12 | Cronin James T | Process for purifying titanium chloride-containing feedstock |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2021020837A (en) | 2021-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8657958B2 (en) | CVD-Siemens monosilane reactor process with complete utilization of feed gases and total recycle | |
| JP5396954B2 (en) | Chlorosilane purification apparatus and chlorosilane production method | |
| JP2008060536A (en) | SUPPLY OF HIGH FLOW GaCl3 | |
| JP5633142B2 (en) | Polycrystalline silicon manufacturing method and manufacturing apparatus | |
| JP7333222B2 (en) | Titanium tetrachloride treatment apparatus, titanium tetrachloride treatment method, purified titanium tetrachloride production apparatus, and purified titanium tetrachloride production method | |
| JP4430287B2 (en) | Titanium tetrachloride production equipment | |
| US2912311A (en) | Apparatus for production of high purity elemental silicon | |
| US20120318665A1 (en) | Apparatus for Generating Fluorine Gas | |
| US3409619A (en) | Process for solidifying cyanuric chloride by contact with vaporizing methylene chloride | |
| JP5038251B2 (en) | Titanium tetrachloride distillation purification apparatus, maintenance method of the apparatus, and purification method of titanium tetrachloride using the apparatus | |
| US20180186633A1 (en) | Process for purifying raw-material gases by fractionation | |
| EP2401226B1 (en) | Method and apparatus for vaporizing liquid chlorine containing nitrogen trichloride | |
| JP6897342B2 (en) | Chlorosilane recovery method and chlorosilane recovery device | |
| JP2007197323A (en) | Method for producing titanium tetrachloride | |
| US6896866B2 (en) | Method for purification of tungsten hexafluoride | |
| JP3995557B2 (en) | Method for producing titanium tetrachloride | |
| CN107076528B (en) | Device and method for evaporating a liquid selected from chlorine, dinitrotoluene and ethers | |
| JP3198575B2 (en) | Production method of high purity sulfuric acid | |
| JP2019150791A (en) | Refiner and refining method of organic solvent | |
| CN106362503B (en) | A kind of solid sedimentation device and solid sedimentation method is carried out to high titanium slag carburizing chlorination products obtained therefrom gas | |
| JP2010100455A (en) | Method for producing silicon | |
| KR100415328B1 (en) | Canister containing resin for purifying the exhaust gas from semiconductor manufacturing process | |
| JP2024104240A (en) | Waste treatment device and method | |
| JP2010076951A (en) | Method for producing silicon | |
| JPH03157124A (en) | Removing metals from discharge vapor |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220309 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230130 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230228 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230425 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230801 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230814 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7333222 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |