JP5028791B2 - 撮像素子および撮像装置 - Google Patents
撮像素子および撮像装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5028791B2 JP5028791B2 JP2005326173A JP2005326173A JP5028791B2 JP 5028791 B2 JP5028791 B2 JP 5028791B2 JP 2005326173 A JP2005326173 A JP 2005326173A JP 2005326173 A JP2005326173 A JP 2005326173A JP 5028791 B2 JP5028791 B2 JP 5028791B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- filter
- red
- color
- yellow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
また、近年、600万画素を超えるような高精細のCMOSやCCD等が求められている。これらの高精細のCMOSやCCD等においては、画素サイズが2μm×2μmを下回るカラーフィルタを用いる必要があることが多い。
従って、本発明は以上のような手段を講じたことにより、以下の作用を有する。
(1−1.構成)
図1は本発明の第1の実施形態に係る撮像素子10および撮像装置20の構成を示す模式図であり、図2は撮像素子10におけるカラーフィルタを入射光側から見たときの配列状態の概念を示す図である。また、図3(A)および図3(B)はそれぞれ図1における撮像素子10のI−I’断面図およびII−II’断面図である。
次に、本実施形態にかかる撮像素子10の動作について図4のフローチャートを用いて説明する。
G=Y−R’ …(2)
R=R’ …(3)
このようにして求められた各画素における光の3原色のデータが合成され、観測対象のカラー画像のデータが作成される(S5)。
以上説明したように、本実施形態にかかる撮像素子10は、平坦化層13および透明フィルタ14Wが365nm〜420nmの波長の光に対して透過率が50%となる点を有し、かつ450nm以上の波長の光に対して90%以上の透過率となる分光特性としているので、紫外線の影響を除去した光のデータを得ることができる。これにより、人間の視覚感度に近い青色光のデータを得ることができるようになるので、色のバランスと色の再現性が良い撮像素子10を提供することができる。
本発明の第2の実施形態では、第1の実施形態に係る撮像素子10の製造方法について説明する。なお、既に説明した部分と同一部分には同一符号を付し、特に説明がない限りは重複した説明を省略する。また、以下の各実施形態も同様にして重複した説明を省略する。
図10は本発明の第3の実施形態に係る撮像素子10Tおよび撮像装置20Tの構成を示す模式図であり、図11は撮像素子10Tにおけるカラーフィルタを入射光側から見たときの配列状態の概念を示す図である。また、図12(A)および図12(B)はそれぞれ図10における撮像素子10TのIII−III’断面図およびIV−IV’断面図である。
G=Y−R’ …(5)
R=R’−Blk …(6)
すなわち、本実施形態に係る撮像素子10Tは、補色フィルタ14Blkを含むので、赤外線の影響を除去した赤のデータを得ることができる。これにより、人間の視覚感度に近い赤色光のデータを得ることができるようになるので、色のバランスと色の再現性が良い撮像素子を提供することができる。
ここで、補正フィルタ14Blkについて補足する。
以下に、本実施形態の一実施例に係る固体撮像素子の製造方法について説明する。
まず、受光素子12や遮光膜・パッシベーションを形成した半導体基板11上に、クマリン系の染料を染料濃度で5%含有した熱硬化タイプのアクリル樹脂塗布液をスピンコートした後、熱処理して硬膜した。これにより透明樹脂による平坦化層13が形成された。この平坦化層13の硬膜後の分光特性は図16のa1に示すとおりである。なお、比較の為に、クマリン系の染料の染料濃度を1%および10%としたときの分光特性をそれぞれa2とa3とで示す。
本実施例では、ベンゾトリアゾール系染料を染料濃度で5%含有した熱硬化タイプのアクリル樹脂塗布液を用い、塗布液をスピンコートして平坦化層13・透明フィルタ14W・レンズ層LLを形成した。それ以外は実施例1と同様にして撮像素子を製造した。
なお、本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に構成要素を適宜組み合わせてもよい。
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に形成された複数の受光素子と、
前記受光素子のそれぞれの上に互いに隣接するように形成された透明フィルタおよび2色以上のカラーフィルタと
を備えた撮像素子であって、
前記透明フィルタは、365nm〜420nmの光波長域内のいずれかの光波長を有する光に対して、光透過率が50%となる値を示し、かつ450nm以上の光波長で90%以上の光透過率となる分光特性を有し、
前記透明フィルタは、クマリン系染料またはベンゾトリアゾール系染料の紫外線吸収剤を含有し、
前記カラーフィルタは、
前記受光素子に入射する入射光のうち黄色光を抽出するための黄フィルタと、
前記受光素子に入射する入射光のうち赤色光を抽出するための赤フィルタと
を含む
ことを特徴とする撮像素子。 - 基板と、
前記基板上に形成された複数の受光素子と、
前記受光素子のそれぞれの上に互いに隣接するように形成された透明フィルタおよび2色以上のカラーフィルタと
を備えた撮像素子であって、
前記透明フィルタは、390nm〜420nmの光波長域内のいずれかの光波長を有する光に対して、光透過率が50%となる値を示し、かつ450nm以上の波長の光に対して90%以上の光透過率となる分光特性を有し、
前記透明フィルタは、クマリン系染料の紫外線吸収剤を含有し、
前記カラーフィルタは、
前記受光素子に入射する入射光のうち黄色光を抽出するための黄フィルタと、
前記受光素子に入射する入射光のうち赤色光を抽出するための赤フィルタと
を含む
ことを特徴とする撮像素子。 - 請求項1または請求項2に記載の撮像素子において、
前記透明フィルタおよび前記カラーフィルタの上に、前記受光素子に光を集光するためのマイクロレンズがさらに形成された
ことを特徴とする撮像素子。 - 請求項3に記載の撮像素子において、
前記透明フィルタと前記マイクロレンズとは同じ材質から形成される
ことを特徴とする撮像素子。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の撮像素子において、
前記透明フィルタは、前記紫外線吸収剤を含有したアクリル樹脂から形成される
ことを特徴とする撮像素子。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の撮像素子において、
前記カラーフィルタは、
前記受光素子に入射する入射光から赤外線を抽出するための補正フィルタを含む
ことを特徴とする撮像素子。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の撮像素子を用いた撮像装置であって、
前記透明フィルタを経由して受光した光のデータと前記黄フィルタを経由して受光した光のデータとに基づいて青色光のデータを求める青演算手段と、
前記黄フィルタを経由して受光した光のデータと前記赤フィルタを経由して受光した光のデータとに基づいて緑色光のデータを求める緑演算手段と、
前記赤フィルタを経由して受光した光のデータに基づいて赤色光のデータを求める赤演算手段と
を備えたことを特徴とする撮像装置。 - 請求項6に記載の撮像素子を用いた撮像装置において、
前記透明フィルタを経由して受光した光のデータと前記黄フィルタを経由して受光した光のデータとに基づいて青色光のデータを求める青演算手段と、
前記黄フィルタを経由して受光した光のデータと前記赤フィルタを経由して受光した光のデータとに基づいて緑色光のデータを求める緑演算手段と、
前記赤フィルタを経由して受光した光のデータと前記補正フィルタを経由して受光した光のデータとに基づいて赤色光のデータを求める赤演算手段と
を備えたことを特徴とする撮像装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005326173A JP5028791B2 (ja) | 2005-11-10 | 2005-11-10 | 撮像素子および撮像装置 |
KR1020077003801A KR100866718B1 (ko) | 2005-06-17 | 2006-05-12 | 촬상 소자 |
EP06732575A EP1892763A1 (en) | 2005-06-17 | 2006-05-12 | Imaging element |
PCT/JP2006/309594 WO2006134740A1 (ja) | 2005-06-17 | 2006-05-12 | 撮像素子 |
TW095120893A TW200706925A (en) | 2005-06-17 | 2006-06-13 | Image sensor |
US11/723,353 US20070187794A1 (en) | 2005-06-17 | 2007-03-19 | Imaging device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005326173A JP5028791B2 (ja) | 2005-11-10 | 2005-11-10 | 撮像素子および撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007134968A JP2007134968A (ja) | 2007-05-31 |
JP5028791B2 true JP5028791B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
ID=38156269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005326173A Expired - Fee Related JP5028791B2 (ja) | 2005-06-17 | 2005-11-10 | 撮像素子および撮像装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5028791B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2343904A4 (en) * | 2008-11-04 | 2012-09-05 | Konica Minolta Opto Inc | Image input device |
US8570370B2 (en) | 2009-08-31 | 2013-10-29 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Compact automated cell counter |
US20170034456A1 (en) * | 2015-07-31 | 2017-02-02 | Dual Aperture International Co., Ltd. | Sensor assembly with selective infrared filter array |
WO2023012989A1 (ja) * | 2021-08-05 | 2023-02-09 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001144277A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Sony Corp | カラーフィルタの製造方法及び固体撮像素子 |
JP4453189B2 (ja) * | 2000-10-31 | 2010-04-21 | 株式会社豊田中央研究所 | 撮像装置 |
-
2005
- 2005-11-10 JP JP2005326173A patent/JP5028791B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007134968A (ja) | 2007-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100866718B1 (ko) | 촬상 소자 | |
JP4835065B2 (ja) | 撮像素子の製造方法 | |
CN100505277C (zh) | 摄像元件 | |
JP4967427B2 (ja) | 撮像素子 | |
CN100440518C (zh) | 固体摄像元件及其制造方法 | |
CN100533749C (zh) | 固体摄像元件及其制造方法 | |
KR102392960B1 (ko) | 감광성 착색 조성물, 그것을 사용한 고체 촬상 소자의 제조 방법, 및 고체 촬상 소자 | |
JP5194363B2 (ja) | 光センサ | |
KR101114608B1 (ko) | 컬러 촬상 소자 및 컬러 촬상 소자 제조 방법 | |
JP4882182B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP4710693B2 (ja) | カラー撮像素子及びカラー撮像素子製造方法 | |
JP5124917B2 (ja) | 撮像素子 | |
CN100472791C (zh) | 摄像元件 | |
JP5028791B2 (ja) | 撮像素子および撮像装置 | |
KR20190103446A (ko) | 수지 조성물, 막, 적외선 차단 필터 및 그 제조 방법, 고체 촬상 소자, 적외선 센서와, 카메라 모듈 | |
JP5200319B2 (ja) | 撮像素子 | |
JP4967424B2 (ja) | 撮像素子 | |
JP5034185B2 (ja) | 撮像素子及び撮像装置 | |
JP5261892B2 (ja) | 赤外線領域の光センサ、フィルタおよびフィルタ製造方法 | |
JP5445643B2 (ja) | 撮像素子 | |
JP2006186203A (ja) | 固体撮像装置とその製造方法およびカメラ | |
JP5056709B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
JP2004228398A (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法 | |
JP2009152315A (ja) | イメージセンサーおよびその製造方法 | |
JP2004335598A (ja) | 固体撮像素子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120529 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120529 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120611 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5028791 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150706 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |