JP5022774B2 - Inspection method and inspection apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、例えば、振動や騒音等の検査対象について測定データを採取して合否を判定する検査方法及び検査装置に関する。 The present invention relates to, for example, an inspection method and an inspection apparatus that collects measurement data for inspection objects such as vibration and noise and determines pass / fail.
例えば、自動車用のA/T(オートマチックトランスミッション)の製品検査の一つとして、A/Tを回転駆動させながらその振動又は騒音(ギアノイズ)の測定を行う検査がある。この検査においては、検査対象の測定データとして振動又は騒音のデータを採取し、これら生データあるいは統計処理後のデータが所定の閾値を超えるか否か等により、合否が判定される。具体的な検査手法としては、これまでも様々な技術が提案されている(例えば特許文献1)。 For example, as one of product inspections for A / T (automatic transmission) for automobiles, there is an inspection for measuring vibration or noise (gear noise) while rotating the A / T. In this inspection, vibration or noise data is collected as measurement data to be inspected, and pass / fail is determined based on whether the raw data or the data after statistical processing exceeds a predetermined threshold. As specific inspection methods, various techniques have been proposed so far (for example, Patent Document 1).
しかしながら、精度の高い検査は、例えば、採取する測定データそのものの信頼性に依存する。すなわち、例えば、音の測定データを採取する際に、そのセンサ(マイク)が故障又は不調の場合には、測定データとして本来は正常となるはずなのに異常となるようなデータが採取されたり、その逆の本来は異常となるはずなのに正常となるようなデータが採取されることがある。この場合には、検査結果も当然に質の低いものとなってしまう。
このような不具合は、頻繁に検査装置を点検すると共に、基準の模擬データ等を用いたテスト検査によって検査装置そのものの信頼性を確認することによってある程度回避可能である。しかし、点検やテスト検査の頻度を上げることにも限界があり、あらたな何らかの方策が求められていた。
However, high-accuracy inspections depend on, for example, the reliability of collected measurement data itself. That is, for example, when collecting measurement data of sound, if the sensor (microphone) is faulty or malfunctioning, data that is supposed to be abnormal although it should be normal is collected as measurement data. Conversely, data that is supposed to be normal but should be normal may be collected. In this case, the inspection result is naturally low quality.
Such a defect can be avoided to some extent by frequently inspecting the inspection apparatus and confirming the reliability of the inspection apparatus itself by a test inspection using reference simulation data or the like. However, there is a limit to increasing the frequency of inspections and test inspections, and some new measures have been required.
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、検査装置において採取した測定データそのものの信頼性を、検査装置自身が判定可能な検査方法及び検査装置を提供しようとするものである。 The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide an inspection method and an inspection apparatus in which the inspection apparatus itself can determine the reliability of the measurement data itself collected by the inspection apparatus. .
第1の発明は、基準変数の変化に対応して順次採取した検査対象の測定データYi(i=1〜n、nは自然数)を用いて検査対象の状態が正常か否かを判断する合否判定ステップを有する検査方法において、
上記検査対象は、上記被検査物から発生する振動又は騒音であり、
上記被検査物は、A/T(オートマチックトランスミッション)であると共に、上記基準変数は該A/Tの出力軸の回転数であり、上記測定データY i は、上記回転数が予め定めた値になる毎に測定し、
上記合否判定ステップとは別に、コンピュータにより合否判定ステップ結果の信頼性を判定する信頼性判定ステップを有しており、
該信頼性判定ステップは、
過去に採取した測定データYiについて同一基準変数毎に求めた標準偏差σiと平均値μiとを用い、
今回採取した合計n個の上記測定データYiのうちN個(2≦N≦n)について、それぞれが対応するμi±mσi(1≦m≦3)の信頼範囲を超えるか否かの判定を基礎として上記合否判定ステップ結果の信頼性を判定することを特徴とする検査方法にある(請求項1)。
The first invention determines whether or not the state of the inspection object is normal using the measurement data Y i (i = 1 to n, n is a natural number) of the inspection object sequentially collected corresponding to the change of the reference variable. In the inspection method having a pass / fail judgment step,
The inspection object is vibration or noise generated from the inspection object,
The inspection object is an A / T (automatic transmission), the reference variable is the rotation speed of the output shaft of the A / T, and the measurement data Y i is set to a value determined in advance. Measure every time
In addition to the above pass / fail determination step, the computer has a reliability determination step for determining the reliability of the pass / fail determination step result by a computer.
The reliability determination step includes:
Using the standard deviation σ i and the average value μ i obtained for each of the same reference variables for the measurement data Y i collected in the past,
Whether N (2 ≦ N ≦ n) of the total n measurement data Y i collected this time exceeds the corresponding confidence range of μ i ± mσ i (1 ≦ m ≦ 3) In the inspection method, the reliability of the pass / fail determination step result is determined based on the determination (claim 1).
本発明の検査方法においては、本来の合否判定ステップとは別に、上記信頼性判定ステップを実施する。この信頼性判定ステップにおいては、上記のごとく、過去に採取した測定データYiによって同一基準変数毎に求めた標準偏差σiと平均値μiとを用いる。 In the inspection method of the present invention, the reliability determination step is performed separately from the original pass / fail determination step. In this reliability determination step, as described above, the standard deviation σ i and the average value μ i obtained for each of the same reference variables using the measurement data Y i collected in the past are used.
すなわち、例えば、過去にM回分の合格例の検査の実績があるとすると、その1回目の検査の測定データとしてY11、Y12、・・・Y1i・・・Y1nのn個のデータがあり、さらに2回目の検査の測定データとしてY21、Y22・・・Y2i、・・・Y2nのn個のデータがあり、また、M回目の検査の測定データとしてYM1、YM2、・・・YMi、・・・YMnのn個のデータがあることとなる。この場合、同じ基準変数に対応する過去の測定データとしては、それぞれM個存在していることとなるので、そのM個のデータによって標準偏差σiと平均値μiとを求めることができる。 That is, for example, when there is a test of the performance of M times of passes examples in the past, Y 11 as measurement data of the first test, Y 12, ··· Y 1i ··· Y 1n of n data Furthermore, there are n data of Y 21 , Y 22 ... Y 2i ,... Y 2n as measurement data for the second inspection, and Y M1 , Y as measurement data for the M-th inspection. M2, ··· Y Mi, and thus there are n data · · · Y Mn. In this case, since there are M pieces of past measurement data corresponding to the same reference variable, the standard deviation σ i and the average value μ i can be obtained from the M pieces of data.
すべての測定データについて求めた場合、n個の標準偏差σiと平均値μiとが得られる。なお、n個すべての標準偏差σiと平均値μiを用いてもよいし、一部のみ(N個)を用いてもよい。
これらの標準偏差σiと平均値μiとは、後述するごとく、本発明の検査方法の1つのステップとして算出して用いても良いが、予め計算して固定値として記憶したものを用いてもよい。
When all the measurement data are obtained, n standard deviations σ i and average values μ i are obtained. All n standard deviations σ i and average values μ i may be used, or only some (N) may be used.
As will be described later, these standard deviation σ i and average value μ i may be calculated and used as one step of the inspection method of the present invention, but using those previously calculated and stored as fixed values. Also good.
そして、上記信頼性判定ステップでは、今回の検査において採取した上記測定データYiのうちN個を判定に用いる。N個は、採取したすべての個数(n個)でもよいし、適当な数に減らしたものでもよい。そして、各測定データYiについて、それぞれが対応するμi±mσi(1≦m≦3)の信頼範囲を超えるか否かの判定を行う。具体的な判定方法としては、様々な判定方法をとりうるが、本発明では、上記の標準偏差σiと平均値μiを基にして判定を行う。 In the reliability determination step, N pieces of the measurement data Y i collected in the current examination are used for determination. N may be all the collected numbers (n) or may be reduced to an appropriate number. Then, for each measurement data Y i , a determination is made as to whether or not the confidence range of the corresponding μ i ± mσ i (1 ≦ m ≦ 3) is exceeded. Various determination methods can be used as specific determination methods. In the present invention, the determination is performed based on the standard deviation σ i and the average value μ i .
このように、本発明の検査方法では、過去の測定データの標準偏差σiと平均値μiを用いて、今回の測定データの信頼性そのものを判定するという信頼性判定ステップを積極的に採用している。そのため、本来の合否判定ステップの結果そのものが信頼できるか否かを上記信頼性判定ステップの結果から判断することができる。 As described above, in the inspection method of the present invention, the reliability determination step of determining the reliability of the current measurement data itself using the standard deviation σ i and the average value μ i of the past measurement data is positively adopted. is doing. Therefore, it can be determined from the result of the reliability determination step whether or not the original result of the pass / fail determination step is reliable.
すなわち、上記合否判定ステップの結果がいずれの結果であっても、上記信頼性判定ステップの結果が信頼性無し或いは信頼性が低いという結果であった場合には、上記合否判定ステップの結果がそのまま使用できないことを判断できる。逆に、上記合否判定ステップの結果がいずれの結果であっても、上記信頼性判定ステップの結果が信頼性有り或いは信頼性が高いという結果であった場合には、上記合否判定ステップの結果をそのまま使用できると判断できる。 That is, regardless of the result of the pass / fail determination step, if the result of the reliability determination step is unreliable or low reliability, the result of the pass / fail determination step remains as it is. It can be determined that it cannot be used. Conversely, if the result of the pass / fail determination step is any result, if the result of the reliability determination step is reliable or highly reliable, the result of the pass / fail determination step is It can be judged that it can be used as it is.
さらに、上記信頼性判定ステップの結果が信頼性無し或いは信頼性が低いという結果となった場合には、その検査装置の故障又は不調があるか、或いは、検査対象そのものの特性によるものかを確かめる再検査或いは装置の点検等をすべきであると判断できる。
このように、本発明の検査方法を用いれば、上記のような従来できない判断を加えられるので、上記合否判定ステップによる判定の信頼性を従来よりも格段に向上させることができる。
Furthermore, if the result of the reliability determination step is a result of no reliability or low reliability, it is confirmed whether there is a failure or malfunction of the inspection apparatus or due to the characteristics of the inspection object itself. It can be determined that re-inspection or inspection of the device should be performed.
As described above, when the inspection method of the present invention is used, the above-described determination that cannot be made conventionally can be added, so that the reliability of the determination by the pass / fail determination step can be significantly improved as compared with the conventional case.
第2の発明は、基準変数の変化に対応して順次採取した検査対象の測定データYi(i=1〜n、nは自然数)を用いて検査対象の状態が正常か否かを判断する合否判定ステップを実施する合否判定手段を有する検査装置において、
上記検査対象は、上記被検査物から発生する振動又は騒音であり、
上記被検査物は、A/T(オートマチックトランスミッション)であると共に、上記基準変数は該A/Tの出力軸の回転数であり、上記測定データY i は、上記回転数が予め定めた値になる毎に測定するものであり、
上記合否判定手段とは別に、コンピュータにより合否判定ステップ結果の信頼性を判定する信頼性判定ステップを実施する信頼性判定手段を有しており、
該信頼性判定手段は、
過去に採取した測定データYiによって同一基準変数毎に求めた標準偏差σiと平均値μiとを用い、
今回採取した合計n個の上記測定データYiのうちN個(2≦N≦n)について、それぞれが対応するμi±mσi(1≦m≦3)の信頼範囲を超えるか否かの判定を基礎として合否判定ステップ結果の信頼性を判定するよう構成されていることを特徴とする検査装置にある(請求項6)。
The second invention determines whether or not the state of the inspection object is normal using the measurement data Y i (i = 1 to n, n is a natural number) of the inspection object sequentially collected corresponding to the change of the reference variable. In the inspection apparatus having a pass / fail determination means for performing the pass / fail determination step,
The inspection object is vibration or noise generated from the inspection object,
The inspection object is an A / T (automatic transmission), the reference variable is the rotation speed of the output shaft of the A / T, and the measurement data Y i is set to a value determined in advance. Is measured every time
In addition to the above pass / fail determination means, the computer has reliability determination means for performing a reliability determination step for determining the reliability of the pass / fail determination step result by a computer
The reliability determination means includes
Using the standard deviation σ i and the average value μ i obtained for each of the same reference variables from the measurement data Y i collected in the past,
Whether N (2 ≦ N ≦ n) of the total n measurement data Y i collected this time exceeds the corresponding confidence range of μ i ± mσ i (1 ≦ m ≦ 3) The inspection apparatus is configured to determine the reliability of the pass / fail determination step result based on the determination ( claim 6 ).
本発明の検査装置は、上記合否判定手段に加えて上記信頼性判定手段を有している。そして、この信頼性判定手段においては、上述した検査方法における信頼性判定ステップを実行することができ、上述した作用効果をそのまま得ることができる。
そのため、本発明の検査装置においては、上記信頼性判定手段を実行した結果が信頼性無し或いは信頼性が低いという結果となった場合には、検査装置の故障又は不調があるか、或いは、検査対象そのものの特性によるものかを確かめる再検査或いは装置の点検等をすべきであると判断できる。
そのため、本発明の検査装置を用いれば、上記のような従来できない判断を加えられるので、上記合否判定手段による判定結果の信頼性を従来よりも格段に向上させることができると共に、検査装置自身の信頼性判定手段の判定結果からそのセンサ部等の機能の低下或いは不具合が発生している可能性を認知することができ、その発生時の早期対応を可能とすることができる。
The inspection apparatus of the present invention has the reliability determination means in addition to the pass / fail determination means. And in this reliability determination means, the reliability determination step in the inspection method described above can be executed, and the above-described operational effects can be obtained as they are.
Therefore, in the inspection apparatus of the present invention, if the result of executing the reliability determination means results in no reliability or low reliability, there is a failure or malfunction of the inspection apparatus, or an inspection. It can be determined that a re-inspection to confirm whether it is due to the characteristics of the object itself or an inspection of the device should be performed.
Therefore, if the inspection apparatus of the present invention is used, the above-described determination that cannot be made in the past can be added, so that the reliability of the determination result by the pass / fail determination means can be significantly improved as compared with the conventional case, and From the determination result of the reliability determination means, it is possible to recognize the possibility that the function of the sensor unit or the like has deteriorated or a defect has occurred, and it is possible to respond early when the occurrence occurs.
第1の発明の検査方法における上記信頼性判定ステップにおいて用いる信頼範囲は、μi±mσi(1≦m≦3)の範囲、つまり、(μi−mσi)〜(μi+mσi)の範囲として定め、その範囲内に測定データYiが入ればそのデータはある程度の信頼性があると判断できる。なお、信頼範囲は、上記mの値を小さくればするほど狭くなって判定が厳しくなる。そして、本発明では、mは上記のごとく1以上3以下の範囲とし、必ずしも自然数でなくてもよい。mが1未満の場合には、判定基準が厳しすぎて妥当な判定が困難となるおそれがあり、一方、3を超える場合には、判定基準が緩すぎて妥当な判定が困難となるおそれがある。 The reliability range used in the reliability determination step in the inspection method of the first invention is a range of μ i ± mσ i (1 ≦ m ≦ 3), that is, (μ i −mσ i ) to (μ i + mσ i ). If the measurement data Y i falls within the range, it can be determined that the data has a certain degree of reliability. Note that the reliability range becomes narrower as the value of m becomes smaller, and the determination becomes stricter. In the present invention, m is in the range of 1 to 3 as described above, and is not necessarily a natural number. If m is less than 1, the criterion may be too strict and a reasonable decision may be difficult. On the other hand, if m is more than 3, the criterion may be too loose and a reasonable decision may be difficult. is there.
また、上記信頼範囲の設定を2段階あるいはそれ以上の複数段階設けることによって、信頼性の程度を複数段階に分類して、よりきめ細かい判定を行うことも可能である。
また、本発明では、n個の測定データYi群全体の信頼性を、複数個(N個)の測定データYiを用いて判断する。N個は、最も好ましくは測定データYiの全体の個数n個と同じとすることが好ましく、判定を行うハードウエアであるコンピュータの性能等に妥当なように設計することができる。
Further, by providing the reliability range setting in a plurality of stages of two or more, it is possible to classify the degree of reliability into a plurality of stages and perform a finer determination.
In the present invention, the reliability of the entire n measurement data Y i group is determined using a plurality (N) of measurement data Y i . N is most preferably the same as the total number n of the measurement data Y i , and can be designed so as to be appropriate for the performance of the computer that is the hardware for performing the determination.
そして、具体的な判定方法としては、様々な方法をとりうる。
すなわち、上記信頼性判定ステップでは、少なくとも、今回採取した上記測定データYiのうちN個について、それぞれが対応するμi±mσi(1≦m≦3)の信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記信頼範囲を超える個数Aを求め、A/Nの値が基準値B(0<B<1)を超えるか否かを判定して、上記合否判定ステップ結果の信頼性を判定することができる(請求項2)。
Various specific methods can be used as specific determination methods.
That is, in the reliability determination step, whether or not at least N of the measurement data Y i collected this time exceeds the corresponding μ i ± mσ i (1 ≦ m ≦ 3) reliability range. with the determining determines the number a exceeds the above confidence range of the N, it is determined whether or not the value of a / N is greater than the reference value B (0 <B <1) , the acceptance determination step it is possible to determine the results of reliability (claim 2).
また、上記信頼性判定ステップでは、今回採取した上記測定データYiのうちN個について、それぞれに対応するμi±aσi(1≦a<3)の第1信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記第1信頼範囲を超える個数A1を求め、A1/Nの値が基準値B1(0<B1<1)を超えるか否かを判定し、
上記A1/N<B1の場合には、上記合否判定ステップ結果が最も信頼性の高い第1レベルであると判定し、
上記A1/N≧B1の場合には、さらに、今回採取した上記測定データYiのうちN個について、それぞれに対応するμi±bσi(a<b≦3)の第2信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記第2信頼範囲を超える個数A2を求め、A2/Nの値が基準値B2(0<B2<1)を超えるか否かを判定し、
A2/N<B2の場合には、上記合否判定ステップ結果が上記第1レベルよりも低い第2レベルであると判定し、かつ、
A2/N≧B2の場合には、上記合否判定ステップ結果が上記第2レベルよりも低い第3レベルであると判定することができる(請求項3)。
In the reliability determination step, it is determined whether or not N of the measurement data Y i collected this time exceeds the first reliability range of μ i ± aσ i (1 ≦ a <3) corresponding to each of the N measurement data Y i . Along with the determination, the number A1 exceeding the first reliability range among the N is determined, and it is determined whether or not the value of A1 / N exceeds the reference value B1 (0 <B1 <1),
In the case of A1 / N <B1, the pass / fail determination step result is determined to be the most reliable first level,
In the case of the above A1 / N ≧ B1, N of the measurement data Y i collected this time exceeds the second confidence range of μ i ± bσ i (a <b ≦ 3) corresponding thereto. A number A2 that exceeds the second confidence range among the N is determined, and it is determined whether the value of A2 / N exceeds a reference value B2 (0 <B2 <1). ,
In the case of A2 / N <B2, it is determined that the pass / fail determination step result is a second level lower than the first level, and
In the case of A2 / N ≧ B2, it can be determined that the pass / fail determination step result is a third level lower than the second level (claim 3).
この場合には、2段階の判定を行うので、きめの細かい判定が可能である。例えば、上記A1/NがB1未満の場合には、測定データ群が非常に信頼性が高いレベルのものであるという判定をすることができる。また、A1/N≧B1の場合でも、A2/NがB2未満の場合には、測定データ群がある程度高いレベルの信頼性を有するものであるという判定をすることができる。そして、A1/N≧B1の場合で、さらにA2/N≧B2の場合には、測定データ群の信頼性が最も低いにあると判定することができる。 In this case, since a two-stage determination is performed, a fine determination can be made. For example, when the A1 / N is less than B1, it can be determined that the measurement data group has a very high level of reliability. Even in the case of A1 / N ≧ B1, when A2 / N is less than B2, it can be determined that the measurement data group has a certain level of reliability. In the case of A1 / N ≧ B1, and further in the case of A2 / N ≧ B2, it can be determined that the reliability of the measurement data group is the lowest.
また、上記標準偏差σiと上記平均値μiは、予め記憶しておいた固定値を用いることができる(請求項4)。
すなわち、過去に同じ検査対象の測定データYiの採取を多数回行った実績がある場合には、それらの過去の実績から予め算出した標準偏差σiと平均値μiを記憶しておき、その固定値を常に用いて判定に用いることができる。この場合には、同じ検査対象の場合に、その正常な実績値が経時的にもほとんど変化がない場合に十分に精度の高い判定を行うことができる。
The standard deviation σ i and the average value μ i can be fixed values stored in advance.
That is, when there is a track record in which the measurement data Y i of the same inspection target has been collected many times in the past, the standard deviation σ i and the average value μ i calculated in advance from those past records are stored, The fixed value can always be used for determination. In this case, in the case of the same inspection object, it is possible to make a sufficiently accurate determination when the normal actual value hardly changes over time.
また、上記標準偏差σiと上記平均値μiは、上記信頼性判定ステップを行う際に、記憶された過去の測定データを用いてあらためて算出することもできる(請求項5)。この場合には、例えば、正常な実績値が、ある程度のトレンドを持ってシフトしていく場合、例えば、常時改善されて正常な値そのものの平均値がよい方向に変化していく傾向がある場合等には、定期的に基準となる上記標準偏差σiと上記平均値μiの値を見直した方が好まし場合がある。 In addition, the standard deviation σ i and the average value μ i can be re-calculated using the stored past measurement data when performing the reliability determination step. In this case, for example, when the normal actual value shifts with a certain degree of trend, for example, when the average value of the normal value itself tends to change in a better direction at all times. For example, it may be preferable to periodically review the standard deviation σ i and the average value μ i that serve as a reference.
より具体的には、例えば、正常な新しい測定データが100回分蓄積されるたびにあらためて上記標準偏差σiと上記平均値μiを算出し、その後、あらたに100回分のデータが蓄積される度にその100回分のデータから上記標準偏差σiと上記平均値μiを算出し直して更新する方法がある。また、正常な1回分の新しい実績データが蓄積されるたびに、最も古い回の測定データを削除して上記標準偏差σiと上記平均値μiを算出し直して更新する方法もある。
More specifically, for example, the standard deviation σ i and the average value μ i are calculated again every
また、上記検査対象は、被検査物から発生する振動又は騒音とする。検査対象が振動又は騒音である場合には、特に、その実績データそのものが正常に採取された信頼性の高いものであるか否かということの判断が難しく、熟練した検査員がそのデータを検証しても判断が難しい場合が多い。そのため、上記標準偏差σiと上記平均値μiという統計的な処理をしたデータを用いて上記の信頼性判定ステップを取り入れることの有効性が非常に高い。 Further, the inspection target, a vibration or noise generated from the object to be inspected. When the object to be inspected is vibration or noise, it is particularly difficult to determine whether the actual data itself has been collected normally and is highly reliable, and a skilled inspector verifies the data. However, it is often difficult to judge. Therefore, it is very effective to incorporate the above reliability determination step using the statistically processed data of the standard deviation σ i and the average value μ i .
また、上記被検査物は、A/T(オートマチックトランスミッション)であると共に、上記基準変数は該A/Tの出力軸の回転数であり、上記測定データYiは、上記回転数が予め定めた値になる毎に測定する。
すなわち、A/Tは、運転時のギアノイズを抑制することが重要であり、特定の回転数に対するギアノイズ(ギアの噛み合い時の振動又は騒音)を測定して、その実測値から合否を判定する検査が行われる。そして、この場合にも、上述した信頼性判定ステップを取り入れることによって、ギアノイズの検査自体の信頼性を従来よりも向上させることができる。
Further, the object to be inspected, along with an A / T (automatic transmission), the reference variable is the rotational speed of the output shaft of the A / T, the measurement data Y i is the speed has predetermined Measure every time the value is reached .
In other words, it is important for A / T to suppress gear noise during operation, and the gear noise (vibration or noise at the time of gear meshing) for a specific rotational speed is measured, and the pass / fail is determined from the measured value. Is done. In this case as well, the reliability of the gear noise inspection itself can be improved by incorporating the above-described reliability determination step.
次に、上記第2の発明の検査装置においては、上述した第1の発明の検査方法における上述した内容に対応する構成を備えることが好ましい。
すなわち、上記信頼性判定手段は、少なくとも、今回採取した上記測定データYiのうちN個について、それぞれが対応するμi±mσi(1≦m≦3)の信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記信頼範囲を超える個数Aを求め、A/Nの値が基準値B(0<B<1)を超えるか否かを判定して、上記合否判定ステップ結果の信頼性を判定するよう構成されていることができる(請求項7)。
Next, the inspection apparatus of the second invention preferably includes a configuration corresponding to the above-described content in the inspection method of the first invention described above.
That is, the reliability determination means determines whether or not at least N of the measurement data Y i collected this time exceeds the corresponding reliability range of μ i ± mσ i (1 ≦ m ≦ 3). In addition to determining, the number A exceeding the reliability range is obtained out of the N, and it is determined whether or not the value of A / N exceeds the reference value B (0 <B <1). It may be configured to determine the reliability of the result ( claim 7 ).
また、上記信頼性判定手段は、今回採取した上記測定データYiのうちN個について、それぞれに対応するμi±aσi(1≦a<3)の第1信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記第1信頼範囲を超える個数A1を求め、A1/Nの値が基準値B1(0<B1<1)を超えるか否かを判定し、
上記A1/N<B1の場合には、上記合否判定ステップ結果が最も信頼性の高い第1レベルであると判定し、
上記A1/N≧B1の場合には、さらに、今回採取した上記測定データYiのうちN個について、それぞれに対応するμi±bσi(a<b≦3)の第2信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記第2信頼範囲を超える個数A2を求め、A2/Nの値が基準値B2(0<B2<1)を超えるか否かを判定し、
A2/N<B2の場合には、上記合否判定ステップ結果が上記第1レベルよりも低い第2レベルであると判定し、かつ、
A2/N≧B2の場合には、上記合否判定ステップ結果が上記第2レベルよりも低い第3レベルであると判定するよう構成されていることもできる(請求項8)。
Further, the reliability determination means determines whether or not N of the measurement data Y i collected this time exceeds a first reliability range of μ i ± aσ i (1 ≦ a <3) corresponding to each of the N pieces of measurement data Y i . Along with the determination, the number A1 exceeding the first reliability range among the N is determined, and it is determined whether or not the value of A1 / N exceeds the reference value B1 (0 <B1 <1),
In the case of A1 / N <B1, the pass / fail determination step result is determined to be the most reliable first level,
In the case of the above A1 / N ≧ B1, N of the measurement data Y i collected this time exceeds the second confidence range of μ i ± bσ i (a <b ≦ 3) corresponding thereto. A number A2 that exceeds the second confidence range among the N is determined, and it is determined whether the value of A2 / N exceeds a reference value B2 (0 <B2 <1). ,
In the case of A2 / N <B2, it is determined that the pass / fail determination step result is a second level lower than the first level, and
In the case of A2 / N ≧ B2, the pass / fail determination step result may be determined to be a third level lower than the second level ( claim 8 ).
また、上記標準偏差σiと上記平均値μiは、予め記憶しておいた固定値を用いることができる(請求項9)。
また、上記標準偏差σiと上記平均値μiは、上記信頼性判定手段を実行する際に、記憶された過去の測定データを用いてあらためて算出するよう構成されていることもできる(請求項10)。
The standard deviation σ i and the average value μ i can be fixed values stored in advance ( claim 9 ).
Further, the standard deviation σ i and the average value μ i can be re-calculated using the stored past measurement data when the reliability determination means is executed ( claims). 10 ).
もちろん、本発明の検査方法及び検査装置は、A/Tのギアノイズの検査方法及び検査装置の他に、例えば、質量、密度、位置、時間、角度、速度、加速度、角速度、長さ、厚さ、面積、体積、流量、液位、重量、力、応力、圧力、トルク、運動量、慣性モーメント、エネルギー、光の強度、温度、熱量、電荷、電圧、電流、磁荷、磁界、磁束等の検査方法及び検査装置に適用可能であり、いずれの検査方法及び装置においても、上述した信頼性判定ステップ又は信頼性判定手段を具備することによる作用効果を得ることができる。 Of course, the inspection method and inspection apparatus according to the present invention include, for example, mass, density, position, time, angle, velocity, acceleration, angular velocity, length, thickness in addition to the A / T gear noise inspection method and inspection device. , Area, volume, flow rate, liquid level, weight, force, stress, pressure, torque, momentum, moment of inertia, energy, light intensity, temperature, calorie, charge, voltage, current, magnetic charge, magnetic field, magnetic flux, etc. The present invention can be applied to a method and an inspection apparatus, and in any inspection method and apparatus, it is possible to obtain an operational effect by including the above-described reliability determination step or reliability determination means.
(実施例1)
本発明の実施例に係る検査方法及び検査装置につき、図1〜図5を用いて説明する。
本例の検査装置1は、A/Tのギアノイズ検査装置である。
検査装置1は、図1に示すごとく、回転駆動手段811〜816によって被検査物80としてのA/Tを回転させ、該被検査物80から生じる検査対象としての振動又は騒音(ギアノイズ)を採取して振動波形又は音圧波形の採取信号として出力するセンサ部71と、該センサ部71から受けた上記採取信号に演算処理を加えて所望の形態の測定データYiを、基準変数Xiに対応させて出力する演算部72とを有し、さらに、検査対象の状態が正常か否かを判断する合否判定ステップを実行する合否判定手段及び測定データYiの信頼性を判定する信頼性判定ステップを実行する信頼性判定手段を備えた測定用コンピュータ(測定用PC)73を有するA/Tギアノイズ検査装置である。
Example 1
An inspection method and an inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The inspection apparatus 1 of this example is an A / T gear noise inspection apparatus.
As shown in FIG. 1, the inspection apparatus 1 rotates the A / T as the
さらに詳説すると、検査装置1は、A/Tである被検査物80を駆動する機械系8と、これを制御する制御装置70と、制御装置70に接続された上記演算部72及び該演算部72に接続されたセンサ部71と、演算部72に接続された測定用PC73とを有している。測定用PC73には、さらに後処理用コンピュータ(後処理用PC)74及びデータ用サーバ75が接続されている。各コンピュータには、入力装置としてのキーボードと出力装置としての表示用ディスプレイ装置及びプリンタが接続されている(図示略)。
More specifically, the inspection apparatus 1 includes a
機械系8は、同図に示すごとく、駆動モータ811、吸収モータ813、815及びこれらを被検査物80に接続する軸体812、814、816とを有してなる。これら駆動モータ及び軸体811〜816を含む部分が回転駆動装置として機能する。
As shown in the figure, the
また、上記機械系8に接続された制御装置70は、所定のパターンで上記被検査物80の回転数を変化させるように上記駆動モータ811を制御するように構成され、さらに、被検査物80の回転数データを回転計818及び回転計819から採取し、上記演算部72にそれを伝達できるようになっている。
The
また、上記センサ部71としては、本例では、マイクを用い、ギアノイズを採取できるようにした。なお、このセンサ部71としては、複数接続可能であり、上記演算部72は、複数の処理チャンネルそれぞれについて併行して演算可能に構成されている。本例では1チャンネルだけを例にとって説明する。また、このセンサ部71は、本来は、被検査物80の種類に応じて予め規定されている箇所にセットさせる。
In the present example, a microphone is used as the
また、上記演算部72は、同図に示すごとく、センサ部71から受けた上記採取信号の周波数分析を行うFFTアナライザよりなる。
また、上記検査装置1は、制御装置70の指示によって、所定のパターンで上記被検査物80の回転数を変化させながら運転するように構成されている。
Further, as shown in the figure, the
The inspection apparatus 1 is configured to operate while changing the number of rotations of the
そして、図2に示すごとく、演算部72のFFTアナライザにおいて演算された測定データYiは、測定用PC72内の記憶装置に送信され、データ処理ファイル731に一旦格納され、合否判定手段及び信頼性判定手段を実行する際にはこのデータ処理ファイル731を用いて実施する。そして、その判定後には測定データYiをこの測定用PC73内のデータ格納ファイル732から後処理用PC74のデータ格納ファイル741に移され、さらにデータバックアップファイル742に移されて長期保存されるように構成されている。
Then, as shown in FIG. 2, the measurement data Y i calculated in the FFT analyzer of the
また、本例の検査装置1は、測定用PC73において、被検査物80の種類に応じて測定条件を設定するように構成されている。具体的には、A/Tは、その種類によって、ギア比、次数、及びパラメータを変更して上記合否判定ステップを実施するので、その条件を測定開始前に測定用PC73において設定する。
In addition, the inspection apparatus 1 of this example is configured to set measurement conditions according to the type of the
具体的には、図3に示すごとく、ステップS101において、検査員により測定用PC73上における測定開始スイッチがオンされた後、ステップS102において、測定方法を示す番号の入力を測定用PC73が受ける。この測定方法は、表1に示すごとく、その番号、ギヤ比、次数等の測定条件、及びパラメータを含むものであり、少なくとも複数の種類のものが予め登録され、測定用PC73内の記憶装置に記憶されている。
Specifically, as shown in FIG. 3, after the measurement start switch on the
ステップS103においては、入力された番号が表1に示す登録されたものか否かが判断され、登録されたものである場合には、ステップS110において測定開始状態となる。この状態で演算部72から測定データYiの入力を受けることによって実際の処理が始まる。
In step S103, it is determined whether or not the input number is registered as shown in Table 1. If it is registered, a measurement start state is entered in step S110. In this state, the actual processing starts when the measurement data Y i is input from the
一方、ステップS103において、入力された番号が表1に示す登録されたものでないと判断された場合には、ステップS104においてパラメータの入力・設定を受け付ける状態となる。そして、ステップS105においてパラメータの入力・設定が完了した後、ステップS106において測定条件の入力・設定を受け付ける状態となる。そして、ステップS107において測定条件の入力・設定が完了した後、ステップS108において今回の測定方法を記憶装置に登録した後、ステップS109において測定開始状態となる。この状態で演算部72から測定データYiの入力を受けることによって実際の処理が始まることとなる。
On the other hand, if it is determined in step S103 that the input number is not registered as shown in Table 1, the parameter input / setting is accepted in step S104. After the parameter input / setting is completed in step S105, the measurement condition input / setting is accepted in step S106. Then, after the input and setting of the measurement conditions are completed in step S107, the current measurement method is registered in the storage device in step S108, and then the measurement start state is entered in step S109. In this state, the actual processing starts when the measurement data Y i is input from the
また、検査装置1は、上述したごとく、検査対象の状態が正常か否かを判断する合否判定ステップを実行する合否判定手段及び測定データYiの信頼性を判定する信頼性判定ステップを実行する信頼性判定手段を、測定用PC73内に備えている。
上記測定データYiは、それぞれの基準変数Xi(回転数)に対応して(Xi、Yi)として扱われる。そのため、1回の検査を実施すると、(X1、Y1)、(X2、Y2)・・・(Xi、Yi)・・・(Xn、Yn)というn個のデータが得られる。
Further, as described above, the inspection apparatus 1 executes a pass / fail determination unit that executes a pass / fail determination step that determines whether or not the state of the inspection target is normal and a reliability determination step that determines the reliability of the measurement data Y i. Reliability determination means is provided in the
The measurement data Y i is handled as (X i , Y i ) corresponding to each reference variable X i (rotational speed). Therefore, when one inspection is performed, n pieces of data such as (X 1 , Y 1 ), (X 2 , Y 2 )... (X i , Y i ) (X n , Y n ) Is obtained.
そして、上記合否判定手段は、例えば、それぞれの上記Xiに対応するYiの値の閾値を予め定めておき、それを超えるものが所定個数以上となった場合に不合格であるとする手法などの様々なを採用することができる。この合否判定手段は、従来と同様の手法で合否を判定するものであるので、本例での詳しい説明は省略する。 And the said pass / fail judgment means, for example, sets a threshold value of the value of Y i corresponding to each of the above X i in advance, and a method of failing when the number exceeding that exceeds a predetermined number Various can be adopted. Since this acceptance / rejection judging means judges acceptance / rejection by the same method as in the prior art, detailed description in this example is omitted.
一方、信頼性判定手段は、従来にない手段であり、過去に採取した測定データYiによって同一基準変数Xi毎に求めた標準偏差σiと平均値μiとを用い、今回採取した合計n個の上記測定データYiのうちN個(2≦N≦n)について、それぞれが対応するμi±mσi(1≦m≦3)の信頼範囲を超えるか否かの判定を基礎として信頼性の有無又は程度を判定するよう構成されている。本例における標準偏差σiと平均値μiとは、過去に蓄積した実績から算出した値を固定値として記憶したものを用いる。 On the other hand, the reliability determination means is an unprecedented means, using the standard deviation σ i and the average value μ i obtained for each of the same reference variables X i based on the measurement data Y i collected in the past, and the total collected this time Based on the determination of whether or not N (2 ≦ N ≦ n) of the n pieces of measurement data Y i exceeds the corresponding confidence range of μ i ± mσ i (1 ≦ m ≦ 3). It is configured to determine the presence or absence or degree of reliability. As the standard deviation σ i and the average value μ i in this example, a value calculated from a past record is stored as a fixed value.
図4に示すごとく、上記信頼性判定手段が行う信頼性判定ステップは、まず、サブステップS201において、今回採取した上記測定データYiのN個(本例ではn個)すべてについて、それぞれに対応するμi±2σiの第1信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記n個のうち上記第1信頼範囲を超える個数A1を求め、A1/Nの値αを算出する。次いで、サブステップS202において、A1/Nの値αが基準値B1(B1=0.3)を超えるか否かを判定する。 As shown in FIG. 4, the reliability determination step performed by the reliability determination means first corresponds to each of all N (n in this example) of the measurement data Y i collected this time in sub-step S201. In addition to determining whether or not the first confidence range of μ i ± 2σ i to be exceeded, the number A1 exceeding the first confidence range among the n is obtained, and the value α of A1 / N is calculated. Next, in sub-step S202, it is determined whether or not the value α of A1 / N exceeds the reference value B1 (B1 = 0.3).
A1/N<B1の場合には、サブステップS203において、さらに、A1/Nの値αが0.1を超えるか否かを判定する。
α≦0.1の場合には、サブステップS204において、今回の測定データYiが「90%以上の信頼性を有する」と判定し、その内容を測定用PC73のディスプレイ装置に表示する。
α>0.1の場合には、サブステップS205において、今回の測定データYiが「70〜90%の信頼性を有する」と判定し、その内容を測定用PC73のディスプレイ装置に表示する。
If A1 / N <B1, it is further determined in sub-step S203 whether or not the value α of A1 / N exceeds 0.1.
If α ≦ 0.1, it is determined in sub-step S204 that the current measurement data Y i is “having 90% or more reliability”, and the content is displayed on the display device of the
If α> 0.1, in sub-step S205, it is determined that the current measurement data Y i has “70 to 90% reliability”, and the content is displayed on the display device of the
一方、サブステップS202の判定がA1/N≧B1の場合には、サブステップS206において、今回採取した上記測定データYiのN個すべてについて、それぞれに対応するμi±3σiの第2信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記第2信頼範囲を超える個数A2を求め、A2/Nの値βを算出する。次いで、サブステップS207において、A2/Nの値βが基準値B2(B2=0.5)を超えるか否かを判定する。 On the other hand, if the determination in sub-step S202 is A1 / N ≧ B1, the second confidence of μ i ± 3σ i corresponding to each of all the N pieces of the measurement data Y i collected this time in sub-step S206. A determination is made as to whether or not the range is exceeded, and the number A2 that exceeds the second confidence range among the N is determined, and the value β of A2 / N is calculated. Subsequently, in sub-step S207, it is determined whether or not the value β of A2 / N exceeds the reference value B2 (B2 = 0.5).
β≦0.5の場合には、サブステップS208において、今回の測定データYiが「50〜70%の信頼性を有する」と判定し、その内容を測定用PC73のディスプレイ装置に表示する。
β>0.5の場合には、サブステップS209において、今回の測定データYiが「50%以下の信頼性しかなく、再検査が妥当である」と判定し、その内容を測定用PC73のディスプレイ装置に表示する。
When β ≦ 0.5, in sub-step S208, it is determined that the current measurement data Y i is “50 to 70% reliable”, and the content is displayed on the display device of the
If β> 0.5, it is determined in sub-step S209 that the current measurement data Y i is “reliability of 50% or less and re-examination is appropriate”, and the contents are stored in the
以上のように、本例の検査装置1を用いた検査方法においては、本来の合否判定ステップとは別に、上記信頼性判定ステップを実施する。そして、この信頼性判定ステップを実施することにより、上記のごとく、今回の測定データYiが「90%以上の信頼性を有する」、「70〜90%の信頼性を有する」、「50〜70%の信頼性を有する」、または「50%以下の信頼性しかなく、再検査が妥当である」という4段階の判定を行うことができる。
そのため、本来の合否判定ステップの結果そのものが信頼できるか否かを上記信頼性判定ステップの結果から判断することができる。
As described above, in the inspection method using the inspection apparatus 1 of the present example, the reliability determination step is performed separately from the original pass / fail determination step. Then, by performing this reliability determination step, as described above, the current measurement data Y i is “having a reliability of 90% or more”, “having a reliability of 70 to 90%”, “50 to It is possible to make a four-step determination of “having 70% reliability” or “having only 50% or less reliability and appropriate re-examination”.
Therefore, it can be determined from the result of the reliability determination step whether or not the original result of the pass / fail determination step is reliable.
すなわち、上記合否判定ステップの結果がいずれの結果であっても、上記信頼性判定ステップの結果が「50%以下の信頼性しかなく、再検査が妥当である」という最低レベルの信頼性しかないという判定結果結果であった場合には、上記合否判定ステップの結果がそのまま使用できないことを判断できる。 That is, regardless of the result of the pass / fail determination step, the result of the reliability determination step has only the lowest level of reliability that “there is only 50% or less reliability and re-examination is appropriate”. In the case of the determination result, it can be determined that the result of the pass / fail determination step cannot be used as it is.
一方、上記信頼性判定ステップの結果が「90%以上の信頼性を有する」という最高レベルの信頼性が得られた場合には、上記合否判定ステップの結果を非常に信頼できるため、そのまま使用できると判断できる。
また、上記信頼性判定ステップの結果が「70〜90%の信頼性を有する」という2番目に高いレベルの信頼性が得られた場合には、上記合否判定ステップの結果を信頼できるため、そのまま使用できると判断できる。
また、上記信頼性判定ステップの結果が「50〜70%の信頼性を有する」という2番目に低いレベルの信頼性が得られた場合には、上記合否判定ステップの結果を上記の2つの結果と較べて信頼性は低いものの、信頼できるとしてそのまま使用できると判断できる。
On the other hand, when the highest level of reliability is obtained that the result of the reliability determination step is “having 90% or more reliability”, the result of the pass / fail determination step is very reliable and can be used as it is. It can be judged.
In addition, when the second highest level of reliability that the result of the reliability determination step has “70 to 90% reliability” is obtained, the result of the pass / fail determination step can be trusted. It can be judged that it can be used.
In addition, when the second lowest level of reliability that the result of the reliability determination step has “50 to 70% reliability” is obtained, the result of the pass / fail determination step is changed to the above two results. Although it is less reliable, it can be determined that it can be used as it is.
このように、本例においては、上記のような従来できない判断を加えられるので、上記合否判定ステップによる判定の信頼性を従来よりも格段に向上させることができる。 Thus, in this example, since the determination which cannot be performed conventionally can be added, the reliability of the determination by the pass / fail determination step can be significantly improved as compared with the conventional case.
ここで、本実施例において測定した測定データの例を図5に示す。同図は、横軸にA/Tの回転数(rpm)を、縦軸にギアノイズ(dB)を取り、過去の測定データをプロットしたものである。そして、その全てのデータについての平均値μiと標準偏差σi×3の値(3σi)をあわせてプロットしたものである。−3σiについてはプロットしていないが、上述した第2信頼範囲は、この3σiと図示しない−3σiに挟まれる領域内となる。 Here, FIG. 5 shows an example of measurement data measured in this example. In the figure, A / T rotation speed (rpm) is taken on the horizontal axis, and gear noise (dB) is taken on the vertical axis, and past measurement data is plotted. The average value μ i and the value of standard deviation σ i × 3 (3σ i ) for all the data are plotted together. Although −3σ i is not plotted, the above-described second confidence range is within a region sandwiched between 3σ i and -3σ i ( not shown).
1 検査装置
70 制御装置
71 センサ部
72 演算部(FFTアナライザ)
73 測定用PC
8 機械系
80 被検査物(A/T)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
73 PC for measurement
8
Claims (10)
上記検査対象は、上記被検査物から発生する振動又は騒音であり、
上記被検査物は、A/T(オートマチックトランスミッション)であると共に、上記基準変数は該A/Tの出力軸の回転数であり、上記測定データY i は、上記回転数が予め定めた値になる毎に測定し、
上記合否判定ステップとは別に、コンピュータにより合否判定ステップ結果の信頼性を判定する信頼性判定ステップを有しており、
該信頼性判定ステップは、
過去に採取した測定データYiについて同一基準変数毎に求めた標準偏差σiと平均値μiとを用い、
今回採取した合計n個の上記測定データYiのうちN個(2≦N≦n)について、それぞれが対応するμi±mσi(1≦m≦3)の信頼範囲を超えるか否かの判定を基礎として上記合否判定ステップ結果の信頼性を判定することを特徴とする検査方法。 Inspection having a pass / fail determination step of determining whether or not the state of the inspection object is normal using measurement data Y i (i = 1 to n, n is a natural number) of the inspection object sequentially collected corresponding to changes in the reference variable In the method
The inspection object is vibration or noise generated from the inspection object,
The inspection object is an A / T (automatic transmission), the reference variable is the rotation speed of the output shaft of the A / T, and the measurement data Y i is set to a value determined in advance. Measure every time
In addition to the above pass / fail determination step, the computer has a reliability determination step for determining the reliability of the pass / fail determination step result by a computer.
The reliability determination step includes:
Using the standard deviation σ i and the average value μ i obtained for each of the same reference variables for the measurement data Y i collected in the past,
Whether N (2 ≦ N ≦ n) of the total n measurement data Y i collected this time exceeds the corresponding confidence range of μ i ± mσ i (1 ≦ m ≦ 3) An inspection method characterized by determining the reliability of the pass / fail determination step result based on the determination.
上記A1/N<B1の場合には、上記合否判定ステップ結果が最も信頼性の高い第1レベルであると判定し、
上記A1/N≧B1の場合には、さらに、今回採取した上記測定データYiのうちN個について、それぞれに対応するμi±bσi(a<b≦3)の第2信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記第2信頼範囲を超える個数A2を求め、A2/Nの値が基準値B2(0<B2<1)を超えるか否かを判定し、
A2/N<B2の場合には、上記合否判定ステップ結果が上記第1レベルよりも低い第2レベルであると判定し、かつ、
A2/N≧B2の場合には、上記合否判定ステップ結果が上記第2レベルよりも低い第3レベルであると判定することを特徴とする検査方法。 In claim 1, in the reliability determination step, whether or not N of the measurement data Y i collected this time exceeds a first reliability range of μ i ± aσ i (1 ≦ a <3) corresponding thereto. And determining the number A1 that exceeds the first confidence range among the N, and determining whether the value of A1 / N exceeds the reference value B1 (0 <B1 <1),
In the case of A1 / N <B1, the pass / fail determination step result is determined to be the most reliable first level,
In the case of the above A1 / N ≧ B1, N of the measurement data Y i collected this time exceeds the second confidence range of μ i ± bσ i (a <b ≦ 3) corresponding thereto. A number A2 that exceeds the second confidence range among the N is determined, and it is determined whether the value of A2 / N exceeds a reference value B2 (0 <B2 <1). ,
In the case of A2 / N <B2, it is determined that the pass / fail determination step result is a second level lower than the first level, and
When A2 / N ≧ B2, it is determined that the pass / fail determination step result is a third level lower than the second level.
上記検査対象は、上記被検査物から発生する振動又は騒音であり、 The inspection object is vibration or noise generated from the inspection object,
上記被検査物は、A/T(オートマチックトランスミッション)であると共に、上記基準変数は該A/Tの出力軸の回転数であり、上記測定データY The inspection object is an A / T (automatic transmission), and the reference variable is the rotational speed of the output shaft of the A / T, and the measurement data Y ii は、上記回転数が予め定めた値になる毎に測定するものであり、Is measured every time the rotational speed reaches a predetermined value,
上記合否判定手段とは別に、コンピュータにより合否判定ステップ結果の信頼性を判定する信頼性判定ステップを実施する信頼性判定手段を有しており、 In addition to the above pass / fail determination means, the computer has reliability determination means for performing a reliability determination step for determining the reliability of the pass / fail determination step result by a computer.
該信頼性判定手段は、 The reliability determination means includes
過去に採取した測定データY Measurement data Y collected in the past ii によって同一基準変数毎に求めた標準偏差σStandard deviation σ obtained for each same reference variable by ii と平均値μAnd mean value μ ii とを用い、And
今回採取した合計n個の上記測定データY A total of n measurement data Y collected this time ii のうちN個(2≦N≦n)について、それぞれが対応するμΜ of N (2 ≦ N ≦ n) ii ±mσ± mσ ii (1≦m≦3)の信頼範囲を超えるか否かの判定を基礎として合否判定ステップ結果の信頼性を判定するよう構成されていることを特徴とする検査装置。An inspection apparatus configured to determine the reliability of a pass / fail determination step result on the basis of determination of whether or not a reliability range of (1 ≦ m ≦ 3) is exceeded.
上記A1/N<B1の場合には、上記合否判定ステップ結果が最も信頼性の高い第1レベルであると判定し、 In the case of A1 / N <B1, the pass / fail determination step result is determined to be the most reliable first level,
上記A1/N≧B1の場合には、さらに、今回採取した上記測定データY In the case of A1 / N ≧ B1, the measurement data Y collected this time ii のうちN個について、それぞれに対応するμOf N of the ii ±bσ± bσ ii (a<b≦3)の第2信頼範囲を超えるか否かの判定をすると共に、上記N個のうち上記第2信頼範囲を超える個数A2を求め、A2/Nの値が基準値B2(0<B2<1)を超えるか否かを判定し、It is determined whether or not the second confidence range of (a <b ≦ 3) is exceeded, and the number A2 that exceeds the second confidence range among the N is obtained, and the value of A2 / N is the reference value B2 ( Whether 0 <B2 <1) is exceeded,
A2/N<B2の場合には、上記合否判定ステップ結果が上記第1レベルよりも低い第2レベルであると判定し、かつ、 In the case of A2 / N <B2, it is determined that the pass / fail determination step result is a second level lower than the first level, and
A2/N≧B2の場合には、上記合否判定ステップ結果が上記第2レベルよりも低い第3レベルであると判定するよう構成されていることを特徴とする検査装置。 An inspection apparatus configured to determine that the pass / fail determination step result is a third level lower than the second level when A2 / N ≧ B2.
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