JP5020817B2 - Rfソース、プラズマ処理装置およびプラズマによるウェーハの処理方法 - Google Patents
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Description
コイルとシールドがRFコイルの周りでの寄生的な放電の点火を避けるような寸法に作られているプラズマシールドによってシールドされたコイル。プラズマシールドが高温に耐え、プラズマ熱負荷の大部分を吸収し、それによって積極的にRFコイルを冷却する必要性を排除するように設計されている、そのようなプラズマシールドによってシールドされる内部コイル。後方にバックプレートが提供されたRFである内部コイルで、熱的に接地(グランドまたはアース)され、その状況で、前記バックプレートがチャンバ壁の一部を成すことができ、その代わりにまた好ましくは、別個の除去可能な構成部材であるもの。コイル断面がコイルの後方のバックプレート上への金属蒸着を減らすようなものである内部コイルとバックプレート。RFコイルの形状が、バックプレートに面する側にマウントされたスティフナー(補強体)によって維持される内部コイル。コイルを支持する補強体であって、誘電材料からなると共にコイルに付けることができるいくつかの放射状補強体を含む補強体であり、好ましくはバックプレートと接触しないもの。プラズマに面する側においてコイルの一のターンから他のターンへと蒸着される材料の導電性通路の形成を避けるように形作られたコイル補強体。コイルからバックプレートの設計間隔、好ましくは2mm以下を保持するために、バックプレートがコイル補強部材に対応する位置で機械加工されたグルーブを持つような、コイルとバックプレートのアセンブリ(組立体)。シールドがプラズマ熱負荷の大部分を吸収するよう構成され、金属流動の無視できない部分がコイル上に蒸着されることを可能にするコイルとプラズマシールドであって、シールドの形状を単純化し、そのRF透明性を増加させるもの。RF透明性のためのいくつかの放射状のスロットを持ったそのようなシールド。コイルRF供給部(feed:フィード)のための真空シール。コイル中心がバックプレートに熱的および電気的に接地されたコイルとバックプレートのアセンブリ(組立体)。コイルの外の部分に接続されたRF供給部と、二部材のシールアセンブリを備えたバックプレートに対する真空シールとを持ったコイルとバックプレートのアセンブリ。
10a 処理機器
11 チャンバ壁
12 真空処理チャンバ
13 ウェーハサポート
14 半導体ウェーハ
15 システムグランド
17 調整回路
18 RFバイアス発生器
20 ICPソース(誘導結合プラズマソース,ICPソース)
22 RF電源
22a 調整回路
24 スパッタリングターゲット
25 DC電力源
26 永久磁石パック
27 スパッタリング表面
28 開口
29 RFバイアス電源
30a シェブロン型スペース
30 処理空間
39 スペース
40 RFコイル(内部コイル,アンテナ)
40a コイル
41 RFフィード
42 プラズマシールド
43 スロット
44 バックプレート
45 コイルスティフナー
48 ノッチ
49 切取部分
52 フィードシールアセンブリ
60 ウェーハレベルソース
61 RFフィード
62 コイル(アンテナ)
62a コイル
63 管路
64 プラズマシールド
65 スロット
66 バックプレート
67 コイルスティフナー
68 隙間
77 スティフナー
Claims (16)
- 真空処理チャンバの内部にマウントするように構成されたRFコイルであって、該RFコイルから突出するRF供給構造を持つ後面と前面とを備えるRFコイルと;
前記RFコイルの前面に平行でかつ近接するプラズマシールドと;
前記RFコイルに取り付けられた誘電材料からなる複数の放射状補強部材を含み、前記RFコイルの導体間のスペースよりも広いノッチを含む、前記RFコイルを支持する補強体構造と、
を備えたプラズマ処理機器のためのRFソースであって、
前記RFソースが、
前記RFコイルが前記プラズマシールドによってシールドされ、前記RFコイルと前記プラズマシールドが前記RFコイルの周りでの放電の点火を避けるような寸法に作られていること、
前記プラズマシールドが、該プラズマシールドからのプラズマ熱負荷を伝導する熱伝導性の材料から形成され、前記真空処理チャンバのチャンバ壁のヒートシンクと接触すること、
前記RFコイルの後方のバックプレートが、熱を転送するように前記チャンバ壁によって支持された構造に接触されること、
前記RFコイルの断面が、矩形であること、
前記補強体構造が、前記RFコイルの後側にマウントされ、前記RFコイルの形状を維持するよう構成されること、
バックプレートが、前記RFコイルまたはそれに付けられた前記補強体からの前記バックプレートの間隔を保持するために、機械加工されたグルーブを持つこと、
前記RFコイルと前記バックプレートとの間の間隔が2mm以下であり、前記RFコイルと前記プラズマシールドとの間の間隔が2mm以下であること、
前記RFコイルのRF供給部のための真空シールを備えること、及び
RF供給構造体を囲む専用の管路を備えること、
から成るグループから選択された少なくとも1つの特徴と;
をさらに有することを特徴とするプラズマ処理機器のためのRFソース。 - 前記グループから選択された少なくとも2つの特徴を
さらに有することを特徴とする請求項1に記載のソース。 - 前記グループから選択された少なくとも3つの特徴を
さらに有することを特徴とする請求項1に記載のソース。 - 前記グループからのすべての特徴を
さらに有することを特徴とする請求項1に記載のソース。 - 前記RFコイルは、2mmより大きな巻き間隔でらせん状の形状を持つ導体から形成されており、
前記プラズマシールドは、前記導体と垂直な、貫通するスロットを持つことを特徴とする請求項1に記載のソース。 - シールされたチャンバ壁に囲まれ、内部に基板サポートを持ち、該基板サポート表面が前記チャンバに面し、該チャンバが処理空間を囲み、該基板サポートが処理空間に面する状態であるような、真空処理チャンバと;
前記チャンバの外にあるRF発生器と;
前記真空処理チャンバの中にマウントされ複数回巻線した電気伝導体から形成されたRFアンテナであって、後面、前記処理空間に面する前面、およびRF発生器に導体を接続するRF供給構造を備えるRFアンテナ;
前記RFアンテナの後面に平行し、前記RFアンテナの後面に近接し、かつ前記RFアンテナの後面と間隔を隔てられた、接地された電気伝導性のバックプレート;
RF構造を取り囲み、RF供給構造体とチャンバ壁との間に真空シールを形成する非電気伝導性のRF供給部シール;
前記RFアンテナの前面に平行し、かつ近接する電気伝導性のプラズマシールド;
前記RFアンテナの後面に設置された少なくとも1つの非電気伝導性の補強体;
を有し、
前記RFアンテナと前記バックプレートとの間の間隔が2mm以下であり、前記RFアンテナと前記プラズマシールドとの間の間隔が2mm以下であり、
前記RFアンテナの断面が、矩形であり、
前記補強体が、前記RFアンテナの導体間のスペースよりも広いノッチを含む、ことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記プラズマシールドが、該プラズマシールドからのプラズマ熱負荷を伝導する熱伝導性の材料から形成され、前記チャンバ壁のヒートシンクと接触することを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記プラズマシールドが、前記RFアンテナの導体と直交するスロットを持ち、前記チャンバからの金属の一部が前記RFアンテナ導体上に蒸着することを避けるが、一方で前記プラズマシールドを通した前記RFアンテナからの、また前記処理チャンバへの十分なRFカップリングを可能にするように、前記スロットが配置され及び前記スロットの寸法が設定されていることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記補強体は、前記RFアンテナの中心より放射状に延びる形状を有し、前記RFアンテナの巻線のそれぞれに付けられることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記補強体と前記バックプレートとの間の間隔が2mm以下であることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 真空チャンバ内にRFコイルを提供する段階と、
前記RFコイルの後方に電気伝導性のバックプレートを提供する段階と、
1つ以上の補強体によって前記RFコイルを補強する段階と、
を有し、
前記電気伝導性のバックプレートが、前記RFコイルの一面に平行し、前記RFコイルの一面に近接し、かつ前記RFコイルの一面と間隔を隔てられ、前記RFコイルの一面が、前記バックプレートと対向し、
前記補強体が、前記RFコイルの導体間のスペースよりも広いノッチを含む、ことを特徴とする、プラズマによってウェーハを処理する方法。 - 前記RFコイルの前方にプラズマシールドを提供する段階と、
前記プラズマシールドによってプラズマ熱負荷から前記RFコイルをシールドする段階と、
をさらに有することを特徴とする請求項11に記載の方法。 - 前記バックプレートによってチャンバの外からの大気圧力を真空に対して支持する段階を
さらに有することを特徴とする請求項11に記載の方法。 - 前記チャンバ内のウェーハ上にイオン化物理的気相蒸着プロセスを行なう段階を
さらに有することを特徴とする請求項11に記載の方法。 - 前記チャンバ内のウェーハ上にプラズマエッチングプロセスを行なう段階を
さらに有することを特徴とする請求項11に記載の方法。 - 高いRF通過透明性を提供するのに十分な複数のスロットを持ち、いくらかの金属が前記プラズマシールドを通過して前記RFコイル上に蒸着することを可能にするプラズマシールドを、前記RFコイルの前方に提供する段階を
さらに有することを特徴とする請求項11に記載の方法。
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