JP5008124B2 - Scan clock distribution system and semiconductor integrated circuit device - Google Patents

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Description

本発明は、LSIテスト容易化手法であるスキャンテスト方式を敷設したスキャンクロック分配方法及びシステムに関し、特に同一のクロックにより動作する回路の範囲を定義するクロックドメインが複数個だけ存在する態様(以下「マルチクロックドメイン」と言う)によるスキャンクロック分配方法及びシステムに関する。 The present invention relates to a scan clock distribution method and system in which a scan test method, which is an LSI test facilitating technique, is provided, and in particular, an aspect in which there are a plurality of clock domains that define a range of circuits that operate with the same clock (hereinafter, “ The present invention relates to a scan clock distribution method and system according to “multi-clock domain”.

近年のLSIの大規模化や高集積化に伴い、テスト品質の向上を目的としたLSIテスト容易化手法の重要性が益している。 LSIテスタ装置による故障検出率の向上は、製品の品質に直接的に関わることから、故障検出率の向上が重要課題となっている。 信号の変化がフリップフロップ間のパス上を規定時間内に伝わらない故障、すなわち遅延故障(Delay Fault)の検出率の向上が、特に重要課題である。   With the recent increase in scale and integration of LSIs, the importance of LSI test facilitating methods aimed at improving test quality is increasing. Since the improvement of the failure detection rate by the LSI tester apparatus is directly related to the quality of the product, the improvement of the failure detection rate is an important issue. A particularly important issue is to improve the detection rate of a failure in which a signal change is not transmitted on a path between flip-flops within a specified time, that is, a delay fault.

また、LSIの大規模化は搭載する機能の複雑化を招いており、それに伴うテストの難易度や製品出荷テストコストの増加を回避するために設けられた付加回路やテスト専用端子などのオーバヘッドを最小化できる効率的なテスト設計手法が望まれる。   In addition, the increase in the scale of LSIs has led to the complexity of the functions to be mounted, and the overhead of additional circuits and dedicated test terminals provided to avoid the accompanying difficulty of testing and increase in product shipping test costs. An efficient test design technique that can be minimized is desired.

そこで、先の遅延故障をテストする手法として、スキャンテスト方式を利用した遷移遅延故障(Transition Delay Fault)テストがあり、以下に説明する。 図1、即ち1はスキャンクロック分配システムを示し、LSIテスト容易化手法であるスキャンテスト方式に準拠して敷設されたスキャンクロック分配の典型的な構成例を示している。   Therefore, as a method for testing the above delay fault, there is a transition delay fault test using a scan test method, which will be described below. 1 shows a scan clock distribution system, which shows a typical configuration example of scan clock distribution laid out in accordance with a scan test method that is an LSI test facilitating technique.

更に、この構成例ではマルチクロックドメインを有し、且つクロックドメイン毎に異なるクロック周波数で動作する。 30、31、32はCTS(Clock Tree Synthesis)バッファであり、クロックツリー合成により各クロックドメインに帰属する同期回路へ分配されるクロック信号のスキューを最小限に抑えたクロックツリーを構成するバッファ郡を表します。   Further, this configuration example has a multi-clock domain and operates at a different clock frequency for each clock domain. Reference numerals 30, 31, and 32 are CTS (Clock Tree Synthesis) buffers, which are used to define a buffer group that constitutes a clock tree in which the skew of the clock signal distributed to the synchronization circuits belonging to each clock domain is minimized by clock tree synthesis. Represents

10、11、12は、各々が2分の1、4分の1、8分の1の分周器を示し、同一のクロック信号を源泉として位相同期が取られた分周信号を出力する。 2はPLL(Phase Locked Loop)回路を示し、本回路が発振するクロック信号が分周器10、11、12の各々に共通するクロック信号の源泉となる。   Reference numerals 10, 11, and 12 denote 1/2, 1/4, and 1/8 frequency dividers, respectively, that output a frequency-divided signal that is phase-synchronized with the same clock signal as a source. Reference numeral 2 denotes a PLL (Phase Locked Loop) circuit, and a clock signal oscillated by this circuit is a source of a clock signal common to each of the frequency dividers 10, 11, and 12.

なお、N1はノードを示し、特にPLL回路2が発信するクロック信号を分周器10、11、12の各々へ分配する分岐点表します。 N1 represents a node, and in particular represents a branch point that distributes the clock signal transmitted by the PLL circuit 2 to each of the frequency dividers 10, 11, and 12.

20、21、22は通常動作モードとスキャンモードとで切り替えられるセレクタであり、分周器20、21、22の各々の後段に配置される。 SMはスキャンモード信号、SC0、SC1、SC2はLSI外部から供給されるスキャンクロック信号を示す。   Reference numerals 20, 21, and 22 are selectors that are switched between the normal operation mode and the scan mode, and are arranged in the subsequent stage of each of the frequency dividers 20, 21, and 22. SM indicates a scan mode signal, and SC0, SC1, and SC2 indicate scan clock signals supplied from outside the LSI.

スキャンモード信号SMがLowのときにスキャンクロック分配システム1は通常動作モードに入り、分周器10、11、12の各々が出力する分周信号を選択的にCSTバッファ30、31、32の各々へ入力する。 他方、スキャンモード信号SMがHighのときにはスキャンモードに入り、スキャンクロック信号SC0、SC1、SC2の各々を選択的にCSTバッファ30、31、32の各々へ入力する。   When the scan mode signal SM is low, the scan clock distribution system 1 enters the normal operation mode, and selectively outputs the frequency-divided signals output from the frequency dividers 10, 11, 12 to the CST buffers 30, 31, 32, respectively. Enter. On the other hand, when the scan mode signal SM is High, the scan mode is entered, and each of the scan clock signals SC0, SC1, SC2 is selectively input to each of the CST buffers 30, 31, 32.

このように、通常動作モードとスキャンモードとの間でクロック信号の供給源が異なるが、クロック信号をクロックドメインの末端にある同期回路へ分配するための基幹経路であるクロックツリー及びCTSバッファを共有化する構成を有する。   As described above, the clock signal supply source differs between the normal operation mode and the scan mode, but the clock tree and the CTS buffer, which are the main paths for distributing the clock signal to the synchronization circuit at the end of the clock domain, are shared. It has the composition which becomes.

なお、N10、N11、N12、並びにN20、N21、N22はノードを示し、特にセレクタ20、21、22の各々の入力端子の直前を表します。   N10, N11, N12, and N20, N21, and N22 indicate nodes, and in particular, indicate immediately before the input terminals of the selectors 20, 21, and 22, respectively.

40、41、42はスキャンフリップフロップ(以下「スキャンFF」とも言う)を示し、各々が異なるクロックドメインに帰属する同期回路であり、具体的にはCTSバッファ30、31、32の各々が分配するクロック信号により同期が取られる。   Reference numerals 40, 41, and 42 denote scan flip-flops (hereinafter also referred to as "scan FFs"), which are synchronous circuits belonging to different clock domains, and specifically, each of the CTS buffers 30, 31, and 32 is distributed. Synchronization is achieved by the clock signal.

また、N30、N31、N32はノードを示し、特にスキャンFF40、41、42のクロック入力端子の直前を表します。   N30, N31, and N32 indicate nodes, and particularly represent immediately before the clock input terminals of the scan FFs 40, 41, and 42.

従来の技術に拠れば、マルチクロックドメインを有するLSIのスキャンクロック分配システムにおけるスキャンクロック信号は、クロックドメイン毎に異なる外部端子から供給されていた。   According to the conventional technique, a scan clock signal in an LSI scan clock distribution system having a multi-clock domain is supplied from a different external terminal for each clock domain.

ここで更に、図1に示したスキャンクロック分配システム1の構成の説明を付け加えておく。 TMはテストモード信号、SIはスキャンイン入力信号、SOはスキャンアウト出力信号を示す。   Here, a description of the configuration of the scan clock distribution system 1 shown in FIG. 1 will be added. TM is a test mode signal, SI is a scan-in input signal, and SO is a scan-out output signal.

スキャンFF40、41、42は、セレクタを介してデータが入力されるD型フリップフロップにより構成され、このセレクタはスキャンシフトモードとスキャンキャプチャシフトモードとに切り替えられる。   The scan FFs 40, 41, and 42 are configured by D-type flip-flops to which data is input via a selector, and the selector is switched between a scan shift mode and a scan capture shift mode.

50、51、52、59は、スキャンモードにおける被テスト対象である組合せ回路、70、71はインバータ、60、61はロックアップラッチを示す。 ロックアップラッチ60、61は、スキャンFF40、41、42から成るスキャンクチェインの各々の合間に挿入され、且つこの態様を更に詳述するならば、マルチクロックドメインにおいて異なるクロックドメインに帰属する二つのスキャンFFの合間に挿入される。   Reference numerals 50, 51, 52 and 59 denote combinational circuits to be tested in the scan mode, 70 and 71 denote inverters, and 60 and 61 denote lock-up latches. The lock-up latches 60, 61 are inserted between each of the scan chain consisting of the scan FFs 40, 41, 42 and, if this aspect is described in more detail, two clocks belonging to different clock domains in the multi-clock domain. Inserted between scan FFs.

また、N40、N41、N42はノードを示し、特にスキャンFF40、41、42のデータ出力端子の直後を表します。 同様に、N50、N51、N52、N59もノードを示し、特に組合せ回路50、51、52、59のデータ出力端子の直後を表します。   N40, N41, and N42 indicate nodes, particularly immediately after the data output terminals of the scan FFs 40, 41, and 42. Similarly, N50, N51, N52, and N59 also indicate nodes, particularly immediately after the data output terminals of the combinational circuits 50, 51, 52, and 59.

スキャンモード信号SMがHigh、即ちスキャンモードに入り、且つテストモード信号TMがHighのときにスキャンクロック分配システム1はスキャンシフトモードに入り、スキャンFF40、41、42で構成されたスキャンクチェインによるシフトレジスタ動作、即ちスキャンシフト動作を行う。   The scan clock distribution system 1 enters the scan shift mode when the scan mode signal SM is High, that is, the scan mode and the test mode signal TM is High, and the shift by the scan chain composed of the scan FFs 40, 41, 42 is performed. A register operation, that is, a scan shift operation is performed.

他方、スキャンモード(スキャンモード信号SMがHigh)、且つテストモード信号TMがLowのときにはスキャンキャプチャモードに入り、そしてスキャンFF40、41、42はノードN59、N50、N51に現れている組合せ回路59、50、51の各々の出力信号をノードN40、N41、N42へと同期出力する、いわゆるラウンチ(Launch)動作を行い、更に続けてスキャンFF41、42は、先の同期出力によりノードN40、N41に現れた出力信号に基づき、ノードN50、N51に現れる組合せ回路50、51の演算結果としての出力信号を、スキャンFF41、42のそれ自身にラッチする、いわゆるキャプチャ(Capture)動作を行う。 なお、これら動作はタイミングチャートを用いて詳細を後述する。   On the other hand, when the scan mode (the scan mode signal SM is High) and the test mode signal TM is Low, the scan capture mode is entered, and the scan FFs 40, 41, 42 are combined circuits 59 appearing at nodes N59, N50, N51, The output signals of 50 and 51 are synchronously output to the nodes N40, N41 and N42, so-called launch operation is performed, and then the scan FFs 41 and 42 appear at the nodes N40 and N41 by the previous synchronous output. Based on the output signal, a so-called capture operation is performed in which the output signal as the operation result of the combinational circuits 50 and 51 appearing at the nodes N50 and N51 is latched in the scan FFs 41 and 42 themselves. Details of these operations will be described later using a timing chart.

図2は、図1のスキャンクロック分配システム1が通常動作モード(SM=“Low”、且つTM=“Low”)にある場合のタイミングチャートを示す。   FIG. 2 shows a timing chart when the scan clock distribution system 1 of FIG. 1 is in the normal operation mode (SM = “Low” and TM = “Low”).

PLL回路2が発振出力するクロック信号は周期Tを有し、各分周器10、11、12へ分配され、且つ分周された後にノードN10、N11、N12へ達する。 このとき、各分周信号は周期2T、4T、8Tを有し、且つ分岐点であるノードN1を基点に遅延時間tDV0、tDV1、tDV2を要する。 更に各分周信号は、クロックツリーを構成するCTSバッファ30、31、32を介してマルチクロックドメインの各同期回路(この例においては、各スキャンFF40、41、42に相当する)へ分配され、末端のノードN30、N31、N32へ達する。 このとき、ノードN10、N11、N12の各々を基点に遅延時間tCTS0、tCTS1、tCTS2を要する。 The clock signal oscillated and output by the PLL circuit 2 has a period T 0 , is distributed to the frequency dividers 10, 11, and 12, and reaches the nodes N 10, N 11, and N 12 after being divided. At this time, each frequency- divided signal has periods 2T 0 , 4T 0 , and 8T 0 , and requires delay times t DV0 , t DV1 , and t DV2 based on the node N1 that is a branch point. Furthermore, each frequency-divided signal is distributed to each synchronous circuit (corresponding to each scan FF 40, 41, 42 in this example) via the CTS buffers 30, 31, 32 constituting the clock tree, The terminal nodes N30, N31, and N32 are reached. At this time, delay times t CTS0 , t CTS1 , and t CTS2 are required starting from each of the nodes N10, N11, and N12.

このように、マルチクロックドメインを構成する各クロックドメイン末端にある同期回路であるスキャンFF40、41、42へのクロック分配は、ノードN1を基点に各々が固定の遅延時間でクロックが到達する態様、即ち位相同期が取れたLSI設計が成される。   As described above, the clock distribution to the scan FFs 40, 41, and 42, which are the synchronization circuits at the end of each clock domain constituting the multi-clock domain, is a mode in which the clock reaches each with a fixed delay time from the node N1, That is, an LSI design with phase synchronization is achieved.

具体的なデータ授受の同期動作として、先ずスキャンFF40はクロックエッジ2Aを基点にノードN59に現れた信号をキャプチャし、且つ遅延時間tFF0を経て組合せ回路50へラウンチする。 次に、組合せ回路50は遅延時間tCM0を経てノードN50、即ち次段のスキャンFF41へデータを送る。 そこで、スキャンFF41はセットアップ時間マージンtSETUPを確保しつつ、クロックエッジ2Bに拠りデータをキャプチャし、これで一連のラウンチ(Launch)動作及びキャプチャ(Capture)動作が完了する。 なお、クロックエッジ2Aの次のクロックエッジに依るデータの遷移及び伝播は、スキャンFF41に対するクロックエッジ2Bのホールド時間マージンtHOLDも確保され得るようにLSI設計が成される。 As a synchronous operation of the specific data transfer, first scan FF40 captures the signal appearing on the clock edge 2A node base point N59, and to launch the combinational circuit 50 via the delay time t FF0. Then, combination circuit 50 sends data to the node N50, i.e., next scan FF41 through the delay time t CM0. Therefore, the scan FF 41 captures data according to the clock edge 2B while ensuring the setup time margin t SETUP , and thus, a series of launch and capture operations are completed. Note that the LSI design is performed so that the transition and propagation of data due to the clock edge next to the clock edge 2A can also secure the hold time margin t HOLD of the clock edge 2B with respect to the scan FF 41.

また、スキャンFF42にとってのクロックエッジ2Bとクロックエッジ2Cとの関係は、先のスキャンFF41のクロックエッジ2Aとクロックエッジ2Bとの関係に等しい。 ここで、遅延時間tFF1はスキャンFF42のクロックエッジ2Bに対しデータをラウンチする時間であり、遅延時間tCM1は組合せ回路51の伝播時間である。 なお、セレクタ20、21、22は同一の回路を用い、従って同一の遅延時間を有するので、クロックドメイン間の相対的な位相同期の関係が崩れることはない。 そこでセレクタ20、21、22の遅延時間は、図1に関わるタイミングチャート上において零として省略する。 Further, the relationship between the clock edge 2B and the clock edge 2C for the scan FF 42 is equal to the relationship between the clock edge 2A and the clock edge 2B of the previous scan FF 41. Here, the delay time t FF1 is a time for launching data with respect to the clock edge 2B of the scan FF 42, and the delay time t CM1 is a propagation time of the combinational circuit 51. Since the selectors 20, 21, and 22 use the same circuit and thus have the same delay time, the relative phase synchronization relationship between the clock domains is not disrupted. Therefore, the delay times of the selectors 20, 21, and 22 are omitted as zero on the timing chart relating to FIG.

他方、図3はスキャンモード(SM=“High”)、且つスキャンキャプチャモード(TM=“Low”)にある場合、すなわちスキャンキャプチャモードにあるタイミングチャートを示す。 特に、LSI外部から供給されるスキャンクロック信号SC0、SC1、SC2は信号間の位相同期が取られた理想状態を前提としている。   On the other hand, FIG. 3 shows a timing chart in the scan mode (SM = “High”) and in the scan capture mode (TM = “Low”), that is, in the scan capture mode. In particular, the scan clock signals SC0, SC1, and SC2 supplied from outside the LSI are premised on an ideal state in which the phase synchronization between the signals is achieved.

そして、各スキャンクロック信号SC0、SC1、SC2は周期2T、4T、8Tを有し、且つ各々のLSI外部から供給される外部端子を基点に遅延時間tSC0、tSC1、tSC2を要して、ノードN20、N21、N22へ達する。 この後、各スキャンクロック信号は、通常動作モードと同様に、CTSバッファ30、31、32を介してマルチクロックドメインの各スキャンFF40、41、42へ分配され、末端のノードN30、N31、N32へ達する。 Each of the scan clock signals SC0, SC1, and SC2 has a period of 2T 0 , 4T 0 , and 8T 0 , and delay times t SC0 , t SC1 , and t SC2 based on external terminals supplied from the outside of each LSI. In short, it reaches the nodes N20, N21 and N22. Thereafter, each scan clock signal is distributed to each of the scan FFs 40, 41, and 42 in the multi-clock domain via the CTS buffers 30, 31, and 32 in the same manner as in the normal operation mode, and is sent to the end nodes N30, N31, and N32. Reach.

このとき、ノードN20、N21、N22の各々を基点とするノードN30、N31、N32までの遅延時間は、セレクタ20、21、22を共有しているため、先のノードN10、N11、N12を基点とする遅延時間tCTS0、tCTS1、tCTS2と等値となる。 更に、ノードN1からノードN10、N11、N12までの遅延時間tDV0、tDV1、tDV2の相対的な関係と、遅延時間tSC0、tSC1、tSC2の相対的な関係とが、等価となるようにLSI設計へ反映させることができたと仮定するならば、図2におけるスキャンFF41のクロックエッジ2Aとクロックエッジ2Bとの関係は、図3におけるスキャンFF41のクロックエッジ3Aとクロックエッジ3Bとの関係に、セットアップ時間マージン及びホールド時間マージンなどの動作余裕度時間の関係において等価となる。 同様に、図2におけるスキャンFF42のクロックエッジ2Bとクロックエッジ2Cとの関係は、図3におけるスキャンFF42のクロックエッジ3Bとクロックエッジ3Cとの関係に等価となる。 At this time, since the delay times from the nodes N20, N21, and N22 to the nodes N30, N31, and N32 share the selectors 20, 21, and 22, the nodes N10, N11, and N12 are the base points. The delay times t CTS0 , t CTS1 and t CTS2 are equal. Further, the relative relationship between the delay times t DV0 , t DV1 , t DV2 from the node N1 to the nodes N10, N11, and N12 and the relative relationship between the delay times t SC0 , t SC1 , and t SC2 are equivalent. Assuming that it can be reflected in the LSI design, the relationship between the clock edge 2A and the clock edge 2B of the scan FF 41 in FIG. 2 is the relationship between the clock edge 3A and the clock edge 3B of the scan FF 41 in FIG. This relationship is equivalent in terms of operation margin time such as setup time margin and hold time margin. Similarly, the relationship between the clock edge 2B and the clock edge 2C of the scan FF 42 in FIG. 2 is equivalent to the relationship between the clock edge 3B and the clock edge 3C of the scan FF 42 in FIG.

具体的なデータ授受の同期動作として、先ずスキャンFF40はクロックエッジ3Aを基点にノードN59に現れた信号をキャプチャし、且つ遅延時間tFF0を経て組合せ回路50へラウンチする。 次に、組合せ回路50は遅延時間tCM0を経てノードN50、即ち次段のスキャンFF41へデータを送る。 そこで、スキャンFF41はセットアップ時間マージンtSETUPを確保しつつ、クロックエッジ3Bに拠りデータをキャプチャし、これで一連のラウンチ(Launch)動作及びキャプチャ(Capture)動作が完了する。 なお、クロックエッジ3Aの次のクロックエッジに依るデータの遷移及び伝播は、スキャンFF41に対するクロックエッジ3Bのホールド時間マージンtHOLDも確保される。 また、スキャンFF42にとってのクロックエッジ3Bとクロックエッジ3Cとの関係は、先のスキャンFF41のクロックエッジ3Aとクロックエッジ3Bとの関係に等しい。 ここで、遅延時間tFF1はスキャンFF42のクロックエッジ3Bに対しデータをラウンチする時間であり、遅延時間tCM1は組合せ回路51の伝播時間である。 As a synchronous operation of the specific data transfer, first scan FF40 captures the signal appearing on the clock edge 3A node base point N59, and to launch the combinational circuit 50 via the delay time t FF0. Then, combination circuit 50 sends data to the node N50, i.e., next scan FF41 through the delay time t CM0. Therefore, the scan FF 41 captures data based on the clock edge 3B while securing the setup time margin t SETUP , and thus, a series of launch and capture operations are completed. Note that the transition and propagation of data due to the clock edge next to the clock edge 3A also secures the hold time margin t HOLD of the clock edge 3B with respect to the scan FF 41. Further, the relationship between the clock edge 3B and the clock edge 3C for the scan FF 42 is equal to the relationship between the clock edge 3A and the clock edge 3B of the previous scan FF 41. Here, the delay time t FF1 is a time for launching data with respect to the clock edge 3B of the scan FF 42, and the delay time t CM1 is a propagation time of the combinational circuit 51.

このように図3においては、フリップフロップ間のパス上を信号変化が伝わる時間、すなわち遅延時間tCM0や遅延時間tCM1が規定の時間内に伝播し、正常なラウンチ動作とキャプチャ動作が行われている。 つまり、製品として遷移遅延故障を起こしていない正常なLSIであるとテスト判定できる。 これら一連のテストが、すなわちスキャンテスト方式を利用した遷移遅延故障テストである。 As described above, in FIG. 3, the time for the signal change to propagate on the path between the flip-flops, that is, the delay time tCM0 and the delay time tCM1 are propagated within the specified time, and normal launch operation and capture operation are performed. ing. That is, it can be determined that the product is a normal LSI that does not cause a transition delay fault. A series of these tests is a transition delay fault test using a scan test method.

この他の従来技術として、マルチクロックドメインを有するLSIのテスト方法に係る特許文献1及び2がある。
特開2003−270301号公報(図1、図17) 特開2005−026335号公報(図1)
As other conventional techniques, there are Patent Documents 1 and 2 relating to a test method for an LSI having a multi-clock domain.
JP 2003-270301 A (FIGS. 1 and 17) Japanese Patent Laying-Open No. 2005-026335 (FIG. 1)

しかしながら上述したような従来技術のマルチクロックドメインを有するLSIのスキャンクロック分配システムでは製品出荷テストにおけるスキャンクロック信号はLSIテスタ装置から外部端子を介して供給しており、クロックドメイン毎のスキャンFFに供給されるスキャンクロック信号の間のスキューはLSIテスタ装置が発生する信号間のスキュー精度に制限される課題がある。   However, in the LSI scan clock distribution system having the conventional multi-clock domain as described above, the scan clock signal in the product shipment test is supplied from the LSI tester device via the external terminal, and is supplied to the scan FF for each clock domain. There is a problem that the skew between the scan clock signals is limited to the skew accuracy between the signals generated by the LSI tester device.

図4に示すタイミングチャートを用いて更に本課題を説明する。 図4は図3と同様にスキャンモード(SM=“High”)、且つスキャンキャプチャモード(TM=“Low”)にある場合、すなわちスキャンキャプチャモードにあるタイミングチャートを示す。 そこで、LSIテスタ装置から供給されるスキャンクロック信号SC1はSC0に対し位相がLSIテスタ装置スキュー時間tSKEWだけ遅れた位相を有している。 なおスキャンクロック信号SC2はSC1と位相同期が取れた状態にある。 This problem will be further described with reference to the timing chart shown in FIG. FIG. 4 shows a timing chart in the scan mode (SM = “High”) and the scan capture mode (TM = “Low”), that is, in the scan capture mode, as in FIG. Therefore, the scan clock signal SC1 supplied from the LSI tester device has a phase delayed from the SC0 by the LSI tester device skew time t SKEW . Scan clock signal SC2 is in phase synchronization with SC1.

そして図3と同様に、各スキャンクロック信号SC0、SC1、SC2は周期2T、4T、8Tを有し、且つ各々のLSI外部から供給される外部端子を基点に遅延時間tSC0、tSC1、tSC2を要して、ノードN20、N21、N22へ達する。 この後、各スキャンクロック信号は、通常動作モードと同様に、CTSバッファ30、31、32を介してマルチクロックドメインの各スキャンFF40、41、42へ分配され、末端のノードN30、N31、N32へ達する。 Similarly to FIG. 3, each of the scan clock signals SC0, SC1, and SC2 has a cycle of 2T 0 , 4T 0 , and 8T 0 and has a delay time t SC0 , t based on an external terminal supplied from outside each LSI. SC1 and tSC2 are required to reach the nodes N20, N21, and N22. Thereafter, each scan clock signal is distributed to each of the scan FFs 40, 41, and 42 in the multi-clock domain via the CTS buffers 30, 31, and 32 in the same manner as in the normal operation mode, and is sent to the end nodes N30, N31, and N32. Reach.

しかしながら、図4におけるノードN30とN31との位相差(図4におけるスキャンFF41のクロックエッジ4Aとクロックエッジ4Bとの関係)は、図3における末端のノードN30とN31との位相差(図3におけるスキャンFF41のクロックエッジ3Aとクロックエッジ3Bとの関係)に、スキャンクロック信号SC0とSC1とのLSIテスタ装置スキュー時間tSKEWを更に加算した関係になる。 その結果、図4の状態にあるスキャンFF41のホールド時間は、図3の状態にあるスキャンFF41のホールド時間よりも位相差tSKEWだけ短くなり、ホールド時間マージンtHOLDを満足できない状態に陥る。 However, the phase difference between the nodes N30 and N31 in FIG. 4 (the relationship between the clock edge 4A and the clock edge 4B of the scan FF 41 in FIG. 4) is the phase difference between the end nodes N30 and N31 in FIG. the relationship) between the clock edge 3A and the clock edge 3B of the scan FF 41, becomes further adding relationship the LSI tester skew time t sKEW the scan clock signal SC0 and SC1. As a result, the hold time of the scan FF41 in the state of FIG. 4, shortened by the phase difference t SKEW than the hold time of the scan FF41 in the state of FIG. 3, falls into a state that can not satisfy the hold time margin t HOLD.

なお、図4の状態にあるスキャンFF41のセットアップ時間は、ホールド時間の現象とは逆に、図3の状態にあるスキャンFF41のセットアップ時間よりも位相差tSKEWだけ長くなり、セットアップ時間マージンtHOLDが更に余裕を益した状態に成る。 Note that the setup time of the scan FF41 in the state of FIG. 4, contrary to the behavior of the hold time, than the setup time of the scan FF41 in the state of FIG. 3 is extended by the phase difference t SKEW, setup time margin t HOLD Will be in a state that has gained more margin.

図4の状態にあるスキャンFF41はクロックエッジ4Bにおけるホール時間マージンtHOLDを満足できず、次段のスキャンFF42へ誤ったデータを伝播させてしまい、期待する正常なキャプチャ動作を行えなかったという出荷テスト判定の結果を得ることになる。 すなわち、製品として遷移遅延故障を起こしていない正常なLSIであるにもかかわらず、LSIテスタ装置が発生する信号間のスキューが存在することに因って、遅延故障を起こしたLSIとして誤った出荷テスト判定の結果を得ると言う問題が発生する。 近年の半導体の微細化に伴うLSIの高速化は、この問題を助長する傾向にある。 すなわち、LSIテスタ装置が発生する信号間スキューの分解能の向上よりも、LSI内部で適用されるクロックドメインの高速化に伴うクロック周期の短縮が、上回る傾向である。 The scan FF 41 in the state of FIG. 4 cannot satisfy the hole time margin t HOLD at the clock edge 4B, propagates erroneous data to the next-stage scan FF 42, and cannot perform the expected normal capture operation. The result of the test judgment will be obtained. In other words, despite the fact that the product is a normal LSI that does not cause a transition delay fault, an erroneous shipment as an LSI that has caused a delay fault due to the presence of skew between signals generated by the LSI tester device There arises a problem of obtaining a test determination result. The recent increase in LSI speed due to semiconductor miniaturization tends to promote this problem. In other words, the shortening of the clock period accompanying the increase in the clock domain applied inside the LSI tends to exceed the improvement in the resolution of the skew between signals generated by the LSI tester device.

なお、このクロックドメイン毎のスキャンFFに供給されるスキャンクロック信号の間のスキューがもたらす問題が、スキャンシフトモードにもたらす影響を更に述べておく。 すならち、先に述べたロックアップラッチ60、61は、マルチクロックドメインにおいて異なるクロックドメインに帰属し且つスキャンチェインを構成するスキャンFF40、41、42の合間に挿入することによって、先のスキューに依らず正常なスキャンシフト動作を保証する。 言い換えれば、新たに設けられた付加回路と言うオーバヘッドを許容することによって先のスキューの影響を回避している。   It should be noted that the influence caused by the skew between the scan clock signals supplied to the scan FFs for each clock domain further affects the scan shift mode. In other words, the lockup latches 60 and 61 described above are inserted into the gap between the scan FFs 40, 41, and 42 that belong to different clock domains in the multi-clock domain and constitute the scan chain, thereby correcting the previous skew. Regardless, normal scan shift operation is guaranteed. In other words, the influence of the previous skew is avoided by allowing the overhead of a newly provided additional circuit.

そこで、ロックアップラッチ60、61の動作を説明することにより、先のスキューの影響を回避できることを示しておく。 ロックアップラッチ60、61の各々は、インバータ、70、71が出力するクロック信号がHighでアクティブ状態となりノードN40、N41に現れているデータ信号を出力へ透過し、先のクロック信号がLowに遷移した瞬間に直前のノードN40、N41に現れているデータ信号をラッチし且つ先のクロック信号がLowである間はそのデータ信号を保持し続ける。   Therefore, it will be shown that the influence of the previous skew can be avoided by explaining the operation of the lock-up latches 60 and 61. Each of the lock-up latches 60 and 61 becomes active when the clock signal output from the inverters 70 and 71 is High, transmits the data signal appearing at the nodes N40 and N41 to the output, and the previous clock signal transitions to Low. The data signal appearing at the immediately preceding nodes N40 and N41 is latched at the moment, and the data signal is held while the previous clock signal is Low.

図4で示したように、スキャンクロック信号SC1がSC0に対し位相がLSIテスタ装置スキュー時間tSKEWだけ遅れた状態を想定し、ロックアップラッチ60とスキャンFF40、41に着目してスキャンシフト動作を説明する。 ノードN30に現れるクロック信号、すなわちスキャンFF40に入力するクロック信号がHighに遷移した瞬間に、スキャンFF40は直前のスキャンイン入力信号SIを取り込み保持すると共に出力する。 このとき同時に、ロックアップラッチ60は直前のノードN40に現れているデータ信号をラッチし保持すると共に出力する。 As shown in FIG. 4, the scan clock signal SC1 is assumed a state in which the phase is delayed by LSI tester skew time t SKEW to SC0, a scan shift operation by paying attention to the lock-up latch 60 and the scan FF40,41 explain. At the moment when the clock signal appearing at the node N30, that is, the clock signal input to the scan FF 40 transitions to High, the scan FF 40 captures, holds and outputs the immediately preceding scan-in input signal SI. At the same time, the lockup latch 60 latches, holds and outputs the data signal appearing at the immediately preceding node N40.

他方、スキャンFF41に入力されるノードN31に現れるクロック信号は、スキャンクロック信号SC0がスキャンFF40に到達する時間に対し、その到達時間差である {(tSC1+tCTS1)−(tSC0+tCTS0)} に対し更にLSIテスタ装置スキュー時間SKEWだけ遅れてHighに遷移する。 このとき、ロックアップ60は、先に述べたスキャンFF40がスキャンイン入力信号SIを取り込み保持し且つノードN40に出力する以前に、ノードN40に現れていたデータ信号を保持し出力しており、且つこの保持状態をノードN30に現れるクロック信号がHigh状態である間中は維持し続ける。 従って、先に述べたスキャンFF41に入力されるノードN31に現れるクロック信号の遅れが生じたとしても、先に述べたスキャンFF40がスキャンイン入力信号SIを取り込み保持し且つノードN40に出力する以前に、ノードN40に現れていたデータ信号を正常に取り込み保持すると共に出力することができる。 On the other hand, the clock signal appearing at the node N31 inputted to the scan FF 41 is the arrival time difference with respect to the time when the scan clock signal SC0 reaches the scan FF 40 {(t SC1 + t CTS1 ) − (t SC0 + t CTS0 )} In contrast to this, the LSI tester device skew time SKEW is delayed to make a transition to High. At this time, the lockup 60 holds and outputs the data signal that appeared at the node N40 before the scan FF 40 described above captures and holds the scan-in input signal SI and outputs it to the node N40, and This holding state is maintained while the clock signal appearing at the node N30 is in the high state. Therefore, even if a delay of the clock signal appearing at the node N31 input to the scan FF 41 described above occurs, the scan FF 40 described above captures and holds the scan-in input signal SI and outputs it to the node N40. The data signal appearing at the node N40 can be normally captured and held and output.

上記課題を解決するために、通常動作モード時にマルチクロックドメインへ供給するクロック信号のルートノードへ、スキャンモード時にスキャンクロック信号を供給するスキャンクロック分配システムにおいて、クロックドメインへ供給するスキャンクロック信号を分周する分周比をスキャンモードに応じ切り替える分周器を備えたことを特徴としている。   In order to solve the above problem, in a scan clock distribution system that supplies a scan clock signal to a root node of a clock signal supplied to a multi-clock domain in a normal operation mode and a scan clock signal in a scan mode, the scan clock signal supplied to the clock domain is divided. A frequency divider that switches the frequency dividing ratio according to the scan mode is provided.

本発明のスキャンクロック分配システムにおいて、分周比を切り替えた前後で遅延時間が等しい前記分周器を備えたことを特徴とする。   The scan clock distribution system according to the present invention includes the frequency divider having the same delay time before and after switching the frequency division ratio.

本発明のスキャンクロック分配システムにおいて、スキャンシフトモード時に前記分周器の分周比をクロックドメイン間で等しくすることを特徴としている。   The scan clock distribution system according to the present invention is characterized in that the frequency division ratio of the frequency divider is made equal between the clock domains in the scan shift mode.

本発明のスキャンクロック分配システムにおいて、通常動作モード時とスキャンキャプチャモード時における前記分周器の分周比の各クロックドメイン間の相対的な比率が同じで、且つ通常動作モード時よりもスキャンキャプチャモード時の分周比が小さいことを特徴としている。   In the scan clock distribution system of the present invention, the relative ratios between the clock domains in the frequency division ratio in the normal operation mode and in the scan capture mode are the same, and the scan capture is higher than in the normal operation mode. It is characterized by a small frequency division ratio in mode.

本発明により、外部端子からLSIテスタ装置で供給するスキャンクロック信号に関し、LSIテスタ装置が発生する信号間のスキューの影響を排除することが可能なマルチクロックドメインを有するLSIのスキャンクロック分配システムを提供することができる。   According to the present invention, there is provided an LSI scan clock distribution system having a multi-clock domain that can eliminate the influence of skew between signals generated by an LSI tester device with respect to a scan clock signal supplied from an external terminal by the LSI tester device. can do.

以下では、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図面において、同一要素には同一の符号が付されており、説明の明確化のため、必要に応じて重複説明は省略する。   Hereinafter, specific embodiments to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted as necessary for the sake of clarity.

実施の形態1.
図5、 即ち101はスキャンクロック分配システムを示し、本発明の実施の形態1からなるLSIテスト容易化手法であるスキャンテスト方式に準拠して敷設されたス
キャンクロック分配の構成を示す。ノードN13、N14、N15以降に示されたスキャンFF、組合せ回路の接続関係は図1で示したものと同一である。 但し、ロックアップラッチ60、61及びインバータ70、71は削除され、従ってスキャンFF40、41、42から成るスキャンチェインは図1に示したスキャンチェイン列と順番を同一としつつロックアップラッチを含まない構成を成している。なおロックアップラッチが不要となる理由は本発明に因る効果であり、後述する。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 5, ie, 101 shows a scan clock distribution system, which shows a scan clock distribution configuration laid out in accordance with a scan test method that is an LSI test facilitating method according to the first embodiment of the present invention. The connection relationships of the scan FFs and combinational circuits shown after the nodes N13, N14, and N15 are the same as those shown in FIG. However, the lock-up latches 60, 61 and inverters 70 and 71 are removed, scanned inch Ein consisting scan FF40,41,42 therefore does not include a lockup latch while the same scan chain sequence and the order shown in FIG. 1 It is composed. The reason why the lock-up latch is unnecessary is an effect due to the present invention, which will be described later.

2はクロック発生源であるPLL回路、10は2分の1の分周器、SMはスキャンモード信号を示し、何れも図1で示したものと同一である。23は通常動作モードとスキャンモードで切り替えられるセレクタ、SCKはLSI外部から供給される唯一のスキャンクロック信号を示す。スキャンクロック信号SCKとPLL回路2が発振するクロック信号は、各々がノードN23、N2を介してセレクタ23に入力されノードN3へ出力される。
111、112は分周比切替付き分周器であり、後に図6、8で各々の構成を、図7、9で動作を説明する。なおノードN3は、スキャンクロック信号SCKまたはPLL回路2のクロック信号が分岐し、2分の1分周器10、分周比切替付き分周器111、112の各々へ分配される分岐点でもある。
Reference numeral 2 denotes a PLL circuit as a clock generation source, 10 denotes a 1/2 frequency divider, SM denotes a scan mode signal, both of which are the same as those shown in FIG. Reference numeral 23 denotes a selector which can be switched between the normal operation mode and the scan mode, and SCK denotes a unique scan clock signal supplied from outside the LSI. The scan clock signal SCK and the clock signal oscillated by the PLL circuit 2 are input to the selector 23 via the nodes N23 and N2, respectively, and output to the node N3.
Reference numerals 111 and 112 denote frequency dividers with frequency division ratio switching. The configurations will be described later with reference to FIGS. 6 and 8, and the operations will be described with reference to FIGS. Incidentally node N3, the scan clock signal SCK or branched clock signal P LL circuit 2, 1 frequency divider 10 of 2 minutes, a branch point to be distributed to each of the division ratio switching with divider 111 But there is.

そこで、図6を用いて分周比切替付き分周器111の構成を説明する。 206、207はフリップフロップ回路であり、202のNAND回路や203の反一致回路を介したシフトレジスタ構成を基本とする。 同様に、図8は分周比切替付き分周器112の構成を示し、306、307、308はフリップフロップ回路であり、302のNAND回路、303の反一致回路、304のAND回路や305の一致回路を介したシフトレジスタ構成を基本とする。 なお、201、301は否定回路であり、分周比切替え信号が入力される。   The configuration of the frequency divider 111 with frequency division ratio switching will be described with reference to FIG. Reference numerals 206 and 207 denote flip-flop circuits based on a shift register configuration via a NAND circuit 202 and an anti-matching circuit 203. Similarly, FIG. 8 shows the configuration of the frequency divider 112 with frequency division ratio switching. Reference numerals 306, 307, and 308 denote flip-flop circuits. The NAND circuit 302, the anti-matching circuit 303, the AND circuit 304, and the 305 Based on a shift register configuration via a matching circuit. Reference numerals 201 and 301 denote negative circuits, to which a frequency division ratio switching signal is input.

図7を用いて分周比切替付き分周器111の動作を説明する。 分周比切替え信号がLowのとき、分周比切替付き分周器111の分周クロック出力信号は、クロック入力信号に対し4分の1に分周された信号となる。 そして、フリップフロップ回路206、207が共にLowを出力している状態、すなわちリセット状態から動作を開始すれば、クロック入力信号の最初の立ち上がりエッジに対し、4分の1分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力する同期状態が得られる。 他方、分周比切替え信号がHighのとき、分周比切替付き分周器111の分周クロック出力信号は、クロック入力信号に対し2分の1に分周された信号となる。 フリップフロップ回路206、207が共にLowを出力している状態から動作を開始すれば、クロック入力信号の最初の立ち上がりエッジに対し、2分の1分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力する位相同期状態が得られる。 分周比切替え信号の状態に依存しない共通の特性、すなわち分周クロック出力信号が4分の1分周であろうと2分の1分周であろうと、クロック入力信号に対し分周クロック出力信号が変化するまでの遅延は、最終段のフリップフロップ回路207の遅延時間tFF7により決定されることである。 The operation of the frequency divider 111 with frequency division ratio switching will be described with reference to FIG. When the frequency division ratio switching signal is Low, the frequency-divided clock output signal of the frequency divider 111 with frequency division ratio switching is a signal divided by a quarter of the clock input signal. When the flip-flop circuits 206 and 207 both output Low, that is, when the operation starts from the reset state, the quarter-divided clock output signal also rises with respect to the first rising edge of the clock input signal. A synchronized state of outputting an edge is obtained. On the other hand, when the frequency division ratio switching signal is High, the frequency-divided clock output signal of the frequency divider 111 with frequency division ratio switching is a signal divided by half with respect to the clock input signal. If the flip-flop circuits 206 and 207 start operation from a state where both output Low, phase-synchronization that outputs the rising edge of the half-divided clock output signal with respect to the first rising edge of the clock input signal A state is obtained. A common characteristic that does not depend on the state of the division ratio switching signal, that is, the divided clock output signal with respect to the clock input signal regardless of whether the divided clock output signal is divided by a quarter or a half. The delay until is changed is determined by the delay time t FF7 of the flip-flop circuit 207 in the final stage.

同様に、図9を用いて分周比切替付き分周器112の動作を説明する。 分周比切替え信号がLowのとき、分周比切替付き分周器112の分周クロック出力信号は、クロック入力信号に対し8分の1に分周された信号となる。 そして、フリップフロップ回路306、307、308が共にLowを出力している状態、すなわちリセット状態から動作を開始すれば、クロック入力信号の最初の立ち上がりエッジに対し、8分の1分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力する同期状態が得られる。 他方、分周比切替え信号がHighのとき、分周比切替付き分周器112の分周クロック出力信号は、クロック入力信号に対し2分の1に分周された信号となる。 フリップフロップ回路306、307、308が共にLowを出力している状態から動作を開始すれば、クロック入力信号の最初の立ち上がりエッジに対し、2分の1分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力する位相同期状態が得られる。 分周比切替え信号の状態に依存しない共通の特性、すなわち分周クロック出力信号が8分の1分周であろうと2分の1分周であろうと、クロック入力信号に対し分周クロック出力信号が変化するまでの遅延は、最終段のフリップフロップ回路308の遅延時間tFF8により決定されることである。 Similarly, the operation of the frequency divider 112 with frequency division ratio switching will be described with reference to FIG. When the frequency division ratio switching signal is Low, the frequency-divided clock output signal of the frequency divider 112 with frequency division ratio switching is a signal divided by 1/8 of the clock input signal. Then, if the flip-flop circuits 306, 307, and 308 all output Low, that is, if the operation starts from the reset state, the 1/8 divided clock output signal with respect to the first rising edge of the clock input signal In addition, a synchronous state in which a rising edge is output is obtained. On the other hand, when the frequency division ratio switching signal is High, the frequency-divided clock output signal of the frequency divider 112 with frequency division ratio switching is a signal divided by half with respect to the clock input signal. If the flip-flop circuits 306, 307, and 308 are all started to output Low, the half-divided clock output signal also outputs a rising edge with respect to the first rising edge of the clock input signal. A phase synchronization state is obtained. A common characteristic that does not depend on the state of the division ratio switching signal, that is, the divided clock output signal with respect to the clock input signal regardless of whether the divided clock output signal is divided by 1/8 or 1/2. The delay until is changed is determined by the delay time t FF8 of the flip-flop circuit 308 in the final stage.

そこで更に、図5における分周比切替付き分周器111、112に関わる構成の説明を追加する。 分周器111、112の各々のクロック入力信号はノードN3から分岐されたクロック信号を入力し、分周比切替え信号はスキャンモード信号SMを入力する構成であり、また出力された分周クロック出力信号は各々がノードN14、N15を介しCTSバッファ31、32へ入力される構成である。 セレクタ23の遅延時間は、図1に関わるタイミングチャート上において適用したように、零として省略する。   Therefore, a description of the configuration related to the frequency dividers 111 and 112 with frequency division ratio switching in FIG. 5 is further added. The clock input signal of each of the frequency dividers 111 and 112 is inputted with the clock signal branched from the node N3, the frequency division ratio switching signal is inputted with the scan mode signal SM, and the outputted divided clock output Each of the signals is input to the CTS buffers 31 and 32 via the nodes N14 and N15. The delay time of the selector 23 is omitted as zero as applied on the timing chart relating to FIG.

なお図示してはいないが、フリップフロップ回路206、207、306、307、308を共に且つ同時にリセットするための信号を各々に供給する回路を設けてもよい。 そのリセット信号は、また更に2分の1分周器10へも供給することにより、全てのクロックドメインを一括にリセット状態にすると共に、ノードN3に供給されたクロック信号の最初の立ち上がりエッジに対し、各々のクロックドメインへ供給される分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力するようなスキャンクロック分配システム101の全体に亘る位相同期状態が得られる。   Although not shown, a circuit may be provided for supplying signals for resetting the flip-flop circuits 206, 207, 306, 307, and 308 together and simultaneously. The reset signal is also supplied to the 1/2 frequency divider 10 to reset all the clock domains at once and to the first rising edge of the clock signal supplied to the node N3. Thus, a phase synchronization state over the entire scan clock distribution system 101 is obtained in which the divided clock output signal supplied to each clock domain also outputs a rising edge.

次に、本発明の実施の形態1からなるスキャンクロック分配システム101の動作を説明する。 図10はスキャンクロック分配システム101が通常動作モード(SM=“Low”、且つTM=“Low”)にある場合のタイミングチャートを示す。   Next, the operation of the scan clock distribution system 101 according to the first embodiment of the present invention will be described. FIG. 10 shows a timing chart when the scan clock distribution system 101 is in the normal operation mode (SM = “Low” and TM = “Low”).

PLL回路2が発振出力するクロック信号は周期Tを有し、2分の1分周器10及び分周比切替付き分周器111、112へ分配される。 このとき、分周比切替付き分周器111、112は、各々が分周比4分の1と分周比8分の1を有する分周器として働く。 従って、ノードN13、N14、N15へ達する分周信号は、各々が周期2T、4T、8Tを有し、且つ分岐点であるノードN3を基点に遅延時間tDV0、tDV3、tDV4を有する。 なお、遅延時間tDV3、tDV4は、各々が図7に示した遅延時間tFF7と図9に示した遅延時間tFF8に等しい。 The clock signal oscillated and output by the PLL circuit 2 has a period T 0 and is distributed to the half frequency divider 10 and the frequency dividers 111 and 112 with frequency division ratio switching. At this time, the frequency dividers 111 and 112 with frequency division ratio switching function as frequency dividers each having a frequency division ratio of 1/4 and a frequency division ratio of 1/8. Therefore, the frequency- divided signals reaching the nodes N13, N14, and N15 have periods 2T 0 , 4T 0 , and 8T 0 , respectively, and the delay times t DV0 , t DV3 , t DV4 from the node N3 that is a branch point. Have The delay time t DV3, t DV4, each equal to the delay time t FF8 shown in the delay time t FF7 and 9 shown in FIG.

ノードN13、N14、N15以降の遅延時間は、図2で示したノードN10、N11、N12以降の遅延時間の関係と同一である。 スキャンFF40、41、42へのクロック分配がノードN3を基点に各々が固定の遅延時間でクロックが到達する態様、即ち位相同期が取れたLSI設計が成される。     The delay times after the nodes N13, N14, N15 are the same as the delay times after the nodes N10, N11, N12 shown in FIG. The clock distribution to the scan FFs 40, 41, 42 is such that the clock arrives at a fixed delay time from the node N3, that is, an LSI design with phase synchronization.

その結果、クロックエッジ2Aに対するクロックエッジ2Bとの関係は、クロックエッジ10Aに対するクロックエッジ10Bとの関係に等しくなる。 同様に、クロックエッジ2Bに対するクロックエッジ2Cとの関係は、クロックエッジ10Bに対するクロックエッジ10Cとの関係に等しくなる。   As a result, the relationship between the clock edge 2A and the clock edge 2B is equal to the relationship between the clock edge 10A and the clock edge 10B. Similarly, the relationship between the clock edge 2B and the clock edge 2C is equal to the relationship between the clock edge 10B and the clock edge 10C.

図11はスキャンモード(SM=“High”)、且つスキャンキャプチャモード(TM=“Low”)にある場合、すなわちスキャンキャプチャモードにあるタイミングチャートを示す。   FIG. 11 shows a timing chart in the scan mode (SM = “High”) and in the scan capture mode (TM = “Low”), that is, in the scan capture mode.

唯一のスキャンクロック信号SCKは周期Tを有し、且つLSI外部から供給される外部端子を基点に遅延時間tSCKを要してノードN23へ、更にセレクタ23を介して分岐点であるノードN3に達した後に、2分の1分周器10及び分周比切替付き分周器111、112へ分配される。 このとき、分周比切替付き分周器111、112は、共に分周比2分の1を有する分周器として働き、ノードN13、N14、N15へ達する分周信号は全て周期2Tを有する。 The only scan clock signal SCK has a cycle T 1 and requires a delay time t SCK from an external terminal supplied from outside the LSI to the node N 23, and further via the selector 23 to a node N 3 that is a branch point Is reached, it is distributed to the 1/2 frequency divider 10 and the frequency dividers 111 and 112 with frequency division ratio switching. At this time, the frequency division ratio switching with divider 111, 112 serves as a frequency divider having both the frequency division ratio 1/2, divided signal reaches the node N13, N14, N15 all have period 2T 1 .

このように、マルチクロックドメインを有するLSIのスキャンクロック分配システムにおいて、外部端子からLSIテスタ装置で供給するスキャンクロック信号を唯一本に集約化することにより、LSIテスタ装置が発生する信号間のスキューがマルチドメイン毎のスキャンクロックの間に投影される態様、それ自体を排除できる。 これにより、スキャンクロック信号の間のスキューがスキャンシフトモードにもたらす影響を回避するために設ける必要があったロックアップラッチが不要となる。 また、テスト専用端子と設けられたスキャンクロック信号の外部入力端子を削減できるので、テストのオーバヘッドを最小化できる効率的なテスト設計手法と言える。   As described above, in an LSI scan clock distribution system having a multi-clock domain, by integrating the scan clock signals supplied from the external terminals by the LSI tester device into a single book, the skew between signals generated by the LSI tester device is reduced. The aspect projected during the scan clock for every multi-domain, itself can be excluded. This eliminates the need for a lock-up latch that has to be provided in order to avoid the influence of the skew between the scan clock signals on the scan shift mode. Further, since the test input terminals and the external input terminals of the scan clock signal provided can be reduced, it can be said that this is an efficient test design technique that can minimize the test overhead.

図7及び9で説明したように、分周比切替付き分周器111、112は分周比切替え信号の状態に依存せずに、クロック入力信号に対し分周クロック出力信号が変化するまでの遅延時間が等しくなるような態様の造り込みを実現している。 これにより、ノードN3を基点とする末端のノードN30、N31、N32までに至るクロック信号の遅延時間並びに相対的な位相同期状態の関係は、分周比切替付き分周器111、112の分周比切替え信号、即ちスキャンモード信号SMに依存せず、延いては通常動作モードとスキャンキャプチャモードの何れの状態に在るかに関わらず等しくできる。   As described with reference to FIGS. 7 and 9, the frequency dividers 111 and 112 with frequency division ratio switching do not depend on the state of the frequency division ratio switching signal until the frequency division clock output signal changes with respect to the clock input signal. Implementation of a mode in which the delay times are equal is realized. As a result, the relationship between the delay time of the clock signal from the node N3 to the end nodes N30, N31, and N32 and the relative phase synchronization state is divided by the frequency dividers 111 and 112 with frequency division ratio switching. It does not depend on the ratio switching signal, that is, the scan mode signal SM, and can be made equal regardless of the state of the normal operation mode or the scan capture mode.

図3のタイミングチャートを説明したときに述べたように、ノードN1からノードN10、N11、N12までの遅延時間tDV0、tDV1、tDV2の相対的な関係と、遅延時間tSC0、tSC1、tSC2の相対的な関係とが、等価となるようにLSI設計へ反映させることができる前提において従来技術は成立していたが、本発明に拠ればLSI設計において通常動作モードとスキャンキャプチャモードとの間で遅延時間を合わせ込む必要性がなくなる。 As described when explaining the timing chart of FIG. 3, the relative relationship between the delay times t DV0 , t DV1 , t DV2 from the node N1 to the nodes N10, N11, N12 and the delay times t SC0 , t SC1. , TSC2 has been established on the premise that the relative relationship of tSC2 can be reflected in the LSI design so as to be equivalent. However, according to the present invention, the normal operation mode and the scan capture mode are used in the LSI design. There is no need to adjust the delay time between

今少し図11に示したタイミングチャートに追加の説明をすれば、先ずスキャンFF40はクロックエッジ11Aを基点にノードN59に現れた信号をキャプチャし、且つ遅延時間tFF0を経て組合せ回路50へラウンチする。 次に、組合せ回路50は遅延時間tCM0を経てノードN50、即ち次段のスキャンFF41へデータを送る。 そこで、スキャンFF41はセットアップ時間マージンtSETUPを確保しつつ、クロックエッジ11Bに拠りデータをキャプチャし、これで一連のラウンチ(Launch)動作及びキャプチャ(Capture)動作が完了する。 なお、クロックエッジ11Aの次のクロックエッジに依るデータの遷移及び伝播は、スキャンFF41に対するクロックエッジ11Bのホールド時間マージンtHOLDも確保される。 また、スキャンFF42にとってのクロックエッジ11Dとクロックエッジ11Eとの関係は、先のスキャンFF41のクロックエッジ11Aとクロックエッジ11Bとの関係に等しい。 If an additional description to a timing chart shown in somewhat 11 Now, first scan FF40 captures the signal appearing at the node N59 to the clock edge 11A as a base point, to launch into the combination circuit 50 and via the delay time t FF0 . Then, combination circuit 50 sends data to the node N50, i.e., next scan FF41 through the delay time t CM0. Therefore, the scan FF 41 captures data according to the clock edge 11B while securing the setup time margin t SETUP , and thus, a series of launch and capture operations are completed. Note that the transition and propagation of data due to the clock edge next to the clock edge 11A also secures the hold time margin t HOLD of the clock edge 11B with respect to the scan FF 41. Further, the relationship between the clock edge 11D and the clock edge 11E for the scan FF 42 is equal to the relationship between the clock edge 11A and the clock edge 11B of the previous scan FF 41.

上述したスキャンFF40のラウンチ動作乃至スキャンFF41のキャプチャ動作の一連に必要なパタン数に関し、図10の通常動作モードと図11のスキャンキャプチャモードとを比較する。 図10において、クロックエッジ10B(キャプチャ動作のためのクロック)の1周期前のクロックエッジと位相同期を取る必要があるクロックエッジ10Aの1周期前のクロックエッジが第1基準点となり、クロックエッジ10Bと位相同期の関係にあるクロックエッジ10Aの1周期後のクロックエッジが第2基準点となる。 周期Tをパタン単位とすれば、この第1基準点乃至第2基準点のパタン数は4パタンである。 他方、図11において、クロックエッジ11B(キャプチャ動作のためのクロック)の1周期前のクロックエッジと位相同期を取る必要があるクロックエッジ11Aが第1基準点となり、クロックエッジ11Bと位相同期の関係にあるクロックエッジ11Aの1周期後のクロックエッジが第2基準点となる。 周期Tをパタン単位とすれば、この第1基準点乃至第2基準点のパタン数は2パタンである。 すなわち、スキャンキャプチャモードにおいて、異なるクロックドメイン間に供給するスキャンクロック信号の分周比を統一したことに因り、発生すべきパタン数を削減することが可能となる。 図5で示したスキャンクロック分配システムでは、通常動作モードにおいて最小の分周比を有する2分の1分周器10の分周比2に統一しており、つまり分周比切替付き分周器111、112はスキャンキャプチャモードにおいて分周比2に統一するようにスキャンモード信号SMにより制御されることになる。 The normal operation mode of FIG. 10 and the scan capture mode of FIG. 11 are compared with respect to the number of patterns necessary for the series of the launch operation of the scan FF 40 to the capture operation of the scan FF 41 described above. In FIG. 10, the clock edge one cycle before the clock edge 10A that needs to be phase-synchronized with the clock edge one cycle before the clock edge 10B (the clock for the capture operation) becomes the first reference point, and the clock edge 10B The clock edge after one cycle of the clock edge 10A that is in phase synchronization with the second reference point. If the period T 0 is a pattern unit, the number of patterns of the first reference point to the second reference point is 4 patterns. On the other hand, in FIG. 11, the clock edge 11A that needs to be phase-synchronized with the clock edge one cycle before the clock edge 11B (clock for the capture operation) is the first reference point, and the relationship between the clock edge 11B and the phase synchronization. The clock edge after one cycle of the clock edge 11A is the second reference point. If the period T 1 and pattern units, patterns the number of the first reference point to the second reference point is 2 pattern. That is, in the scan capture mode, the number of patterns to be generated can be reduced by unifying the frequency division ratios of the scan clock signals supplied between different clock domains. In the scan clock distribution system shown in FIG. 5, the frequency division ratio of the 1/2 frequency divider 10 having the minimum frequency division ratio in the normal operation mode is unified, that is, the frequency divider with frequency division ratio switching. 111 and 112 are controlled by the scan mode signal SM so that the division ratio is equal to 2 in the scan capture mode.

また図11においては、フリップフロップ間のパス上を信号変化が伝わる時間、すなわち遅延時間tCM0や遅延時間tCM1が規定の時間内に伝播し、正常なラウンチ動作とキャプチャ動作が行われている。 そこで更に、これら一連の遷移遅延故障テストが正常と判定される限界まで周期Tを狭めた時に得られる、スキャンFF40とFF41との間、並びにスキャンFF41とFF42との間のパス上を伝わる信号変化の時間が、即ち遅延時間tCM0並びに遅延時間tCM1に各々が全く等しくなる。 In FIG. 11, the time for signal change to propagate on the path between the flip-flops, that is, the delay time tCM0 and the delay time tCM1 are propagated within the specified time, and normal launch operation and capture operation are performed. . Therefore, further, a signal transmitted on the path between the scan FF 40 and FF 41 and on the path between the scan FF 41 and FF 42 obtained when the period T 1 is narrowed to the limit at which these series of transition delay fault tests are determined to be normal. time changes, each is completely equal i.e. the delay time t CM0 and the delay time t CM1.

以上のようにして、異なるクロックドメインに帰属するスキャンFFへ分配されるクロック信号の位相同期関係が、通常動作モードとスキャンキャプチャモードとの間で完全に一致させることができ、つまりスキャンテスト方式を利用した正確な遷移遅延故障テストが可能となる。   As described above, the phase synchronization relationship of the clock signals distributed to the scan FFs belonging to different clock domains can be completely matched between the normal operation mode and the scan capture mode. The accurate transition delay fault test can be used.

実施の形態2.
図12、即ち201はスキャンクロック分配システムを示し、本発明の実施の形態2からなるLSIテスト容易化手法であるスキャンテスト方式に準拠して敷設されたスキャンクロック分配の構成を示す。
Embodiment 2. FIG.
12 shows a scan clock distribution system, and shows the configuration of the scan clock distribution laid according to the scan test method, which is an LSI test facilitating method according to the second embodiment of the present invention.

43、45、46はスキャンFFを示し、スキャンFF45,46は同一のクロックドメインに帰属し、スキャンFF43のみ異なるクロックドメインに帰属する同期回路であり、具体的には前者はCTSバッファ35が、後者はCTSバッファ33が、分配するクロック信号により同期が取られる。 また、N33、N35はノードを示し、特に前者はスキャンFF43のクロック入力端子の直前を表し、後者はスキャンFF45、46のクロック入力端子の直前を表します。 TMはテストモード信号、SIはスキャンイン入力信号、SOはスキャンアウト出力信号を示す。 スキャンFF43、45、46は、セレクタを介してデータが入力されるD型フリップフロップにより構成され、このセレクタはスキャンシフトモードとスキャンキャプチャシフトモードとに切り替えられる。 53、55、56、58は、スキャンモードにおける被テスト対象である組合せ回路を示す。 また、N43、N45、N46はノードを示し、特にスキャンFF43、45、462のデータ出力端子の直後を表します。 同様に、N53、N54ノードを示し、特に組合せ回路53のデータ出力端子の直後を表し、N58は組合せ回路58のデータ出力端子の直後を表します。   Reference numerals 43, 45, and 46 denote scan FFs. The scan FFs 45 and 46 belong to the same clock domain, and only the scan FF 43 belongs to a different clock domain. Specifically, the former is the CTS buffer 35 and the latter is the latter. The CTS buffer 33 is synchronized by a clock signal distributed. N33 and N35 indicate nodes. In particular, the former indicates immediately before the clock input terminal of the scan FF 43, and the latter indicates immediately before the clock input terminal of the scan FFs 45 and 46. TM is a test mode signal, SI is a scan-in input signal, and SO is a scan-out output signal. The scan FFs 43, 45, and 46 are configured by D-type flip-flops to which data is input via a selector, and the selector is switched between a scan shift mode and a scan capture shift mode. Reference numerals 53, 55, 56, and 58 denote combinational circuits to be tested in the scan mode. N43, N45, and N46 indicate nodes, particularly immediately after the data output terminals of the scan FFs 43, 45, and 462. Similarly, N53 and N54 nodes are shown, particularly immediately after the data output terminal of the combinational circuit 53, and N58 immediately after the data output terminal of the combinational circuit 58.

2はクロック発生源であるPLL回路、SMはスキャンモード信号を示し、何れも図1で示したものと同一である。24は通常動作モードとスキャンモードで切り替えられるセレクタ、SCKはLSI外部から供給される唯一のスキャンクロック信号を示し、スキャンクロック信号SCKとPLL回路2が発振するクロック信号は、各々がノードN24、N4を介してセレクタ24に入力されノードN5へ出力される。分周比切替付き分周器111は既に図6で構成を、図7で動作を説明した通りである。113も分周比切替付き分周器であり、図13で構成を、図14、15で動作を説明する。なおノードN5は、スキャンクロック信号SCKまたはPLL回路2のクロック信号が分岐し、2分の1分周器10、分周比切替付き分周器111、112の各々へ分配される分岐点でもある。 Reference numeral 2 denotes a PLL circuit which is a clock generation source, and SM denotes a scan mode signal, both of which are the same as those shown in FIG. Reference numeral 24 denotes a selector that can be switched between the normal operation mode and the scan mode. SCK denotes a single scan clock signal supplied from outside the LSI. The clock signal oscillated by the scan clock signal SCK and the PLL circuit 2 includes nodes N24 and N4, respectively. To the selector 24 and output to the node N5. The frequency divider 111 with frequency division ratio switching has already been described with reference to FIG. Reference numeral 113 denotes a frequency divider with frequency division ratio switching. The configuration will be described with reference to FIG. 13 and the operation will be described with reference to FIGS. Incidentally node N5, the scan clock signal SCK or branched clock signal P LL circuit 2, 1 frequency divider 10 of 2 minutes, a branch point to be distributed to each of the division ratio switching with divider 111 But there is.

図13は分周比切替付き分周器113の構成を示し、406、407、408はフリップフロップ回路であり、402のNAND回路、403の反一致回路、404のAND回路や405の一致回路を介したシフトレジスタ構成を基本とする。 なお、401は否定回路、409はNAND回路であり、分周比切替え信号が入力される。   FIG. 13 shows the configuration of the frequency divider 113 with frequency division ratio switching. 406, 407, and 408 are flip-flop circuits, which include a NAND circuit 402, an anti-match circuit 403, an AND circuit 404, and a match circuit 405. Based on the shift register configuration. Note that 401 is a negative circuit, and 409 is a NAND circuit, to which a division ratio switching signal is input.

そこで先ず、図14を用いて分周比切替付き分周器113の動作を説明する。 分周比切替え信号Bの信号に関わらず、分周比切替え信号AがLowのとき、分周比切替付き分周器113の分周クロック出力信号は、クロック入力信号に対し8分の1に分周された信号となる。 そして、フリップフロップ回路406、407、408が共にLowを出力している状態、すなわちリセット状態から動作を開始すれば、クロック入力信号の最初の立ち上がりエッジに対し、8分の1分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力する同期状態が得られる。 分周比切替え信号A、Bが共にHighのとき分周比切替付き分周器113の分周クロック出力信号は、クロック入力信号に対し2分の1に分周された信号となる。 同様に、フリップフロップ回路406、407、408が共にLowを出力している状態から動作を開始すれば、クロック入力信号の最初の立ち上がりエッジに対し、2分の1分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力する位相同期状態が得られる。 更に、図15において、分周比切替え信号AがHigh、且つ分周比切替え信号BがLowのとき、分周比切替付き分周器113の分周クロック出力信号は、クロック入力信号に対し4分の1に分周された信号となる。 同様に、フリップフロップ回路406、407、408が共にLowを出力している状態、すなわちリセット状態から動作を開始すれば、クロック入力信号の最初の立ち上がりエッジに対し、4分の1分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力する同期状態が得られる。 これら分周比切替え信号の状態に依存しない共通の特性、すなわち分周クロック出力信号が8分の1分周であろうと2分の1分周であろうと、また4分の1分周であろうと、クロック入力信号に対し分周クロック出力信号が変化するまでの遅延は、最終段のフリップフロップ回路408の遅延時間tFF8により決定されることである。 First, the operation of the frequency divider 113 with frequency division ratio switching will be described with reference to FIG. Regardless of the signal of the frequency division ratio switching signal B, when the frequency division ratio switching signal A is Low, the frequency division clock output signal of the frequency divider 113 with frequency division ratio switching is 1/8 of the clock input signal. This is a divided signal. When the flip-flop circuits 406, 407, and 408 are all outputting Low, that is, when the operation is started from the reset state, the 1/8 divided clock output signal with respect to the first rising edge of the clock input signal. In addition, a synchronous state in which a rising edge is output is obtained. When the frequency division ratio switching signals A and B are both High, the frequency-divided clock output signal of the frequency divider 113 with frequency division ratio switching is a signal divided by half with respect to the clock input signal. Similarly, if the flip-flop circuits 406, 407, and 408 are all started to output Low, the half-divided clock output signal is also the rising edge with respect to the first rising edge of the clock input signal. Can be obtained. Further, in FIG. 15, when the division ratio switching signal A is High and the division ratio switching signal B is Low, the divided clock output signal of the divider 113 with the division ratio switching is 4 with respect to the clock input signal. The signal is divided by a factor of one. Similarly, if the flip-flop circuits 406, 407, and 408 are all outputting Low, that is, if the operation is started from the reset state, a quarter-frequency divided clock output is performed with respect to the first rising edge of the clock input signal. A synchronous state in which the signal also outputs a rising edge is obtained. A common characteristic that does not depend on the state of the frequency division ratio switching signal, that is, whether the frequency-divided clock output signal is 1/8, 1/2, or 1/4. In other words, the delay until the divided clock output signal changes with respect to the clock input signal is determined by the delay time tFF8 of the flip-flop circuit 408 at the final stage.

そこで更に、図12における分周比切替付き分周器113、111に関わる構成の説明を追加する。 分周器113、111の各々のクロック入力信号はノードN5から分岐されたクロック信号を入力し、出力された分周クロック出力信号は各々がノードN16、N17を介しCTSバッファ33、35へ入力される構成である。 分周器111の分周比切替え信号はスキャンモード信号SMを入力し、分周器113の分周比切替え信号A、Bはスキャンモード信号SM及びテストモード信号TMの各々を入力する構成である。 なお、セレクタ24の遅延時間は、図1に関わるタイミングチャート上において適用したように、零として省略する。   Therefore, a description of the configuration relating to the frequency dividers 113 and 111 with frequency division ratio switching in FIG. 12 is further added. Each of the clock input signals of the frequency dividers 113 and 111 receives the clock signal branched from the node N5, and the output frequency-divided clock output signals are respectively input to the CTS buffers 33 and 35 via the nodes N16 and N17. This is a configuration. The frequency division ratio switching signal of the frequency divider 111 is inputted with the scan mode signal SM, and the frequency division ratio switching signals A and B of the frequency divider 113 are inputted with the scan mode signal SM and the test mode signal TM, respectively. . The delay time of the selector 24 is omitted as zero as applied on the timing chart relating to FIG.

なお図示してはいないが、フリップフロップ回路406、407、408及び分周器111を構成するフリップフロップ回路206、207は共に且つ同時にリセットするための信号を各々に供給する回路を設けてもよい。 これにより、そのリセット信号は、全てのクロックドメインを一括にリセット状態にすると共に、ノードN5に供給されたクロック信号の最初の立ち上がりエッジに対し、各々のクロックドメインへ供給される分周クロック出力信号も立ち上りエッジを出力するようなスキャンクロック分配システム201の全体に亘る位相同期状態が得られる。   Although not shown, the flip-flop circuits 406, 407, and 408 and the flip-flop circuits 206 and 207 that constitute the frequency divider 111 may be provided together with a circuit that supplies a signal for resetting simultaneously. . As a result, the reset signal collectively resets all clock domains, and the divided clock output signal supplied to each clock domain with respect to the first rising edge of the clock signal supplied to the node N5. In addition, the phase synchronization state over the entire scan clock distribution system 201 that outputs the rising edge is obtained.

次に、本発明の実施の形態2からなるスキャンクロック分配システム201の動作を説明する。 図16はスキャンクロック分配システム101が通常動作モード(SM=“Low”、且つTM=“Low”)にある場合のタイミングチャートを示す。   Next, the operation of the scan clock distribution system 201 according to the second embodiment of the present invention will be described. FIG. 16 shows a timing chart when the scan clock distribution system 101 is in the normal operation mode (SM = “Low” and TM = “Low”).

PLL回路2が発振出力するクロック信号は周期Tを有し、分周比切替付き分周器113、111へ分配される。 このとき、分周比切替付き分周器113、111は、各々が分周比8分の1と分周比4分の1を有する分周器として働く。 従って、ノードN16、N17へ達する分周信号は、各々が周期8T、4Tを有し、且つ分岐点であるノードN5を基点に遅延時間tDV6、tDV7を有する。 なお、遅延時間tDV6、tDV7は、各々が図14に示した遅延時間tFF9と図7に示した遅延時間tFF7に等しい。 更に各分周信号は、クロックツリーを構成するCTSバッファ33、35を介してマルチクロックドメインの各同期回路へ分配され、末端のノードN33、N35へ達する。 このとき、ノードN16、N17の各々を基点に遅延時間tCTS3、tCTS4を要する。 The clock signal oscillated and output by the PLL circuit 2 has a period T 0 and is distributed to the frequency dividers 113 and 111 with frequency division ratio switching. At this time, the frequency dividers 113 and 111 with frequency division ratio switching function as frequency dividers each having a frequency division ratio of 1/8 and a frequency division ratio of 1/4. Therefore, the frequency- divided signals reaching the nodes N16 and N17 have periods 8T 0 and 4T 0 , respectively, and have delay times t DV6 and t DV7 based on the node N5 which is a branch point. The delay time t DV6, t DV 7 are each equal to the delay time t FF7 shown in the delay time t FF9 and 7 shown in FIG. 14. Further, each frequency-divided signal is distributed to each synchronization circuit in the multi-clock domain via the CTS buffers 33 and 35 constituting the clock tree, and reaches the end nodes N33 and N35. At this time, delay times t CTS3 and t CTS4 are required starting from each of the nodes N16 and N17.

具体的なデータ授受の同期動作として、先ずスキャンFF43はクロックエッジ16Aを基点にノードN58に現れた信号をキャプチャし、且つ遅延時間tFF3を経て組合せ回路53へラウンチする。 次に、組合せ回路53は遅延時間tCM3を経てノードN53、即ち次段のスキャンFF45へデータを送ると共に、遅延時間tCM4を経てノードN54、即ち次段のスキャンFF46へデータを送る。 そこで、スキャンFF45はセットアップ時間マージンtSETUPを確保しつつクロックエッジ16Bに拠りデータをキャプチャする。 他方、スキャンFF46もセットアップ時間マージンtSETUPを確保しつつクロックエッジ16BBに拠りデータをキャプチャし、これで一連のラウンチ動作及びキャプチャ動作が完了する。 As a synchronous operation of the specific data transfer, first scan FF43 captures the signal appearing at the node N58 to the clock edge 16A as a base point, to launch into the combination circuit 53 and via the delay time t FF3. Then, combination circuit 53 is node N53 via the delay time t CM3, i.e. and sends the data to the subsequent scan FF 45, the node via the delay time t CM4 N54, i.e. sends the data to the subsequent scan FF46. Therefore, the scan FF 45 captures data based on the clock edge 16B while ensuring the setup time margin t SETUP . On the other hand, the scan FF 46 also captures data according to the clock edge 16BB while securing the setup time margin t SETUP , and this completes a series of launch operations and capture operations.

他方、図17はスキャンモード(SM=“High”)、且つスキャンキャプチャモード(TM=“Low”)にある場合、すなわちスキャンキャプチャモードにあるタイミングチャートと、スキャンモード(SM=“High”)、且つスキャンキャプチャモード(TM=“High”)にある場合、すなわちスキャンシフトモードにあるタイミングチャートと両方を示している。   On the other hand, FIG. 17 shows a timing chart in the scan mode (SM = “High”) and the scan capture mode (TM = “Low”), that is, the scan capture mode, and the scan mode (SM = “High”). In the scan capture mode (TM = “High”), that is, the timing chart in the scan shift mode is shown.

先ず、スキャンキャプチャモードのタイミングチャート部分の動作を説明する。 唯一のスキャンクロック信号SCKは周期Tを有し、且つLSI外部から供給されてノードN24へ、更にセレクタ24を介して分岐点であるノードN5に達した後に、分周比切替付き分周器113、111へ分配される。 このとき、分周比切替付き分周器113、111は各々が分周比4分の1及び2分の1を有する分周器として働き、ノードN16、N17へ達する分周信号は各々が周期4T及び2Tを有する。 First, the operation of the timing chart portion in the scan capture mode will be described. The only scan clock signal SCK has a period T 1, and is supplied from outside the LSI to the node N24, after further reaches the node N5 is a branch point via the selector 24, the frequency division ratio switching with divider 113 and 111 are distributed. At this time, the frequency dividers 113 and 111 with frequency division ratio switching function as frequency dividers having a frequency division ratio of 1/4 and 1/2, respectively, and the frequency-divided signals reaching the nodes N16 and N17 each have a period. 4T 1 and 2T 1

具体的なデータ授受の同期動作として、先ずスキャンFF43はクロックエッジ17Aを基点にノードN58に現れた信号をキャプチャし、且つ遅延時間tFF3を経て組合せ回路53へラウンチする。 次に、組合せ回路53は遅延時間tCM3を経てノードN53、即ち次段のスキャンFF45へデータを送ると共に、遅延時間tCM4を経てノードN54、即ち次段のスキャンFF46へデータを送る。 そこで、スキャンFF45はセットアップ時間マージンtSETUPを確保しつつクロックエッジ17Bに拠りデータをキャプチャする。 他方、スキャンFF46もセットアップ時間マージンtSETUPを確保しつつクロックエッジ17BBに拠りデータをキャプチャする。 As a synchronous operation of the specific data transfer, first scan FF43 captures the signal appearing at the node N58 to the clock edge 17A as a base point, to launch into the combination circuit 53 and via the delay time t FF3. Then, combination circuit 53 is node N53 via the delay time t CM3, i.e. and sends the data to the subsequent scan FF 45, the node via the delay time t CM4 N54, i.e. sends the data to the subsequent scan FF46. Therefore, the scan FF 45 captures data according to the clock edge 17B while ensuring the setup time margin t SETUP . On the other hand, the scan FF 46 also captures data according to the clock edge 17BB while ensuring the setup time margin t SETUP .

これら一連のラウンチ動作及びキャプチャ動作は先に図16で示した一連の動作と全く相似であり、唯一に異なるものは要するパタン数である。 そこで、スキャンFF43のラウンチ動作乃至スキャンFF45のキャプチャ動作の一連に必要なパタン数に関し、図16の通常動作モードと図17のスキャンキャプチャモードとを比較する。 図16において、周期Tをパタン単位とすれば、クロックエッジ16A乃至クロックエッジ16Bのパタン数は4パタンである。 他方、図17において、周期Tをパタン単位とすれば、クロックエッジ17A乃至クロックエッジ17Bのパタン数は2パタンである。 すなわち、異なるクロックドメイン間に供給するスキャンクロック信号の分周比の相対的な比率の関係に関し、通常動作モードとスキャンキャプチャモードとの間で同一とし、且つ通常動作モードよりもスキャンキャプチャモードにおける分周比を小さくしたことに因り、発生すべきパタン数を削減することが可能となる These series of launch operations and capture operations are completely similar to the series of operations shown in FIG. 16, and the only difference is the number of patterns required. Therefore, the normal operation mode of FIG. 16 and the scan capture mode of FIG. 17 are compared with respect to the number of patterns necessary for a series of launch operation of the scan FF 43 to capture operation of the scan FF 45. In FIG. 16, if the period T 0 is a pattern unit, the number of patterns of the clock edges 16A to 16B is 4 patterns. On the other hand, in FIG. 17, if the period T 1 and pattern units, patterns the number of clock edges 17A to clock edge 17B is 2 pattern. That is, regarding the relationship of the relative ratio of the division ratio of the scan clock signal supplied between different clock domains, it is the same between the normal operation mode and the scan capture mode, and the division in the scan capture mode is higher than that in the normal operation mode. It is possible to reduce the number of patterns to be generated due to the reduced circumference ratio.

次に、スキャンシフトモードのタイミングチャート部分の動作を説明する。 スキャンクロック信号SCKは周期Tを有し、分周比切替付き分周器113、111は共に分周比2分の1を有する分周器として働き、ノードN16、N17へ達する分周信号も共に周期2Tを有する。 従って、スキャンFF43、45、46の各々へ位相同期が取れ、且つ同一の周期を有するクロック信号が供給されることに因り、スキャンFF43、45、46の並びに順番に、且つ1クロック毎に各スキャンFFのデータをシフト動作できる。 更に説明を追加するならば、周期2Tを有し、且つ最小限のパタン数でシフト動作が可能となる。 Next, the operation of the timing chart portion in the scan shift mode will be described. Scan clock signal SCK has a period T 2, the frequency division ratio switching with divider 113, 111 acts as a frequency divider having both the frequency division ratio 1/2, also divided signal reaches the node N16, N17 both have a period 2T 2. Therefore, each of the scan FFs 43, 45, and 46 is supplied with a clock signal having the same period and having the same cycle. FF data can be shifted. If further explanation is added, the shift operation is possible with the period 2T 2 and the minimum number of patterns.

他の実施の形態.
さらに、本発明は上述した実施の形態のみに限定されるものではなく、既に述べた本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることは勿論である。
Other embodiments.
Furthermore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention described above.

本発明に拠れば、異なるクロックドメインに帰属するスキャンFFへ分配されるクロック信号の位相同期関係が、通常動作モードとスキャンモード(スキャンキャプチャモード又は/およびスキャンシフトモードを含む)との間で完全に一致させることができ、つまりスキャンテスト方式を利用して通常動作モード時を忠実に再現した正確な遷移遅延故障テストが可能となる。   According to the present invention, the phase synchronization relationship of the clock signals distributed to the scan FFs belonging to different clock domains is completely between the normal operation mode and the scan mode (including the scan capture mode and / or the scan shift mode). In other words, it is possible to perform an accurate transition delay fault test that faithfully reproduces the normal operation mode using the scan test method.

マルチクロックドメインを有するLSIのスキャンクロック分配システムにおいて、外部端子からLSIテスタ装置で供給するスキャンクロック信号を唯一本に集約化することにより、LSIテスタ装置が発生する信号間のスキューがマルチドメイン毎のスキャンクロックの間に投影されることを排除すると共に、マルチドメインに供給する通常動作モード時のクロック信号の根源(Root)となるノード(以下、「ルートノード」と言う)と、スキャンモード(スキャンキャプチャモード又は/およびスキャンシフトモードを含む)のスキャンクロック信号のルートノード(すわち、図5におけるノードN3、図12におけるN5)を通常動作モードとスキャンモードとの間で共通の分岐点としたことに因る。
In a scan clock distribution system for an LSI having a multi-clock domain, by integrating the scan clock signals supplied from the external terminals by the LSI tester device into a single book, the skew between the signals generated by the LSI tester device is different for each multi-domain. In addition to eliminating projection during the scan clock, a node (hereinafter referred to as a “root node”) serving as a root of the clock signal in the normal operation mode supplied to the multi-domain and a scan mode (scan) capture mode or / and a scan shift mode) scan clock signal of the root node of the (to a KazuSatoshi common branch point between the node N3 in FIG. 5, the N5) in FIG. 12 and the normal operation mode and the scan mode It depends on that.

そこで他の発明の態様として、クロック信号のルートノードに対し通常動作モードとスキャンモードとの間で供給すべきクロック信号を切り替える観点から、このルートノードへ信号を供給する1つのLSI外部端子を設け、LSI外部から供給すべき通常動作モード時のクロック信号とスキャンクロック信号とを使い分ける態様を採用してもよい。   Therefore, as another aspect of the invention, from the viewpoint of switching the clock signal to be supplied between the normal operation mode and the scan mode to the root node of the clock signal, one LSI external terminal for supplying a signal to this root node is provided. Alternatively, a mode in which the clock signal in the normal operation mode to be supplied from the outside of the LSI and the scan clock signal are properly used may be employed.

また、図5に示すセレクタ23又は図12に示すセレクタ24を温存したままに図5のノードN2又は図12のノードN4へ信号供給する1つのLSI外部端子を設けて通常動作モード時のクロック信号を供給してもよい。 他方、図5、12共にLSI外部端子からスキャンクロック信号SCKを供給する態様としているが、スキャンクロック信号を自動発生する装置をLSI内部に設けて、図5のノードN23又は図12のノードN24へ供給する態様としてもよい。   Further, one LSI external terminal for supplying a signal to the node N2 of FIG. 5 or the node N4 of FIG. 12 while providing the selector 23 shown in FIG. 5 or the selector 24 shown in FIG. May be supplied. 5 and 12 both supply the scan clock signal SCK from the LSI external terminal. However, a device for automatically generating the scan clock signal is provided inside the LSI, and the node N23 in FIG. 5 or the node N24 in FIG. It is good also as an aspect to supply.

通常動作モードとスキャンモード(スキャンキャプチャモード又は/およびスキャンシフトモードを含む)との間で異なるクロックドメインに帰属するスキャンFFへ分配されるクロック信号の位相同期関係を完全に一致させるために、分周比切替付き分周器は分周比切替え信号の状態に依存せずに等しい遅延値を有する。   In order to perfectly match the phase synchronization relationship of the clock signals distributed to the scan FFs belonging to different clock domains between the normal operation mode and the scan mode (including the scan capture mode and / or scan shift mode) The frequency divider with frequency ratio switching has the same delay value without depending on the state of the frequency division ratio switching signal.

実施の形態1や2は自然数且つ偶数の分周比に切り替えが可能なシフトレジスタ構成を基本とする態様を示しているが、奇数や分数の分周比であってもよい。 この場合に、複数の分周器をセレクタやマルチプレクサを用いて切り替える装置の態様としてもよい。   Although Embodiments 1 and 2 show a mode based on a shift register configuration that can be switched to a natural number and an even division ratio, odd or fractional division ratios may be used. In this case, a mode of a device that switches a plurality of frequency dividers using a selector or a multiplexer may be employed.

従来のスキャンクロック分配システムの構成図である。It is a block diagram of the conventional scan clock distribution system. 従来のスキャンクロック分配システムの通常動作モードの動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the normal operation mode of the conventional scan clock distribution system. 従来のスキャンクロック分配システムのスキャンキャプチャモードにおいてスキャンクロック信号間のスキューが零の場合の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement when the skew between scan clock signals is zero in the scan capture mode of the conventional scan clock distribution system. 従来のスキャンクロック分配システムのスキャンキャプチャモードにおいてスキャンクロック信号間のスキューを有する零の場合の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows the operation | movement in the case of zero which has the skew between scan clock signals in the scan capture mode of the conventional scan clock distribution system. 発明の実施の形態1にかかるスキャンクロック分配システムの構成図である。It is a block diagram of the scan clock distribution system concerning Embodiment 1 of invention. 発明の実施の形態1にかかる分周比切替付き分周器の構成図である。It is a block diagram of the frequency divider with frequency division ratio switching concerning Embodiment 1 of invention. 発明の実施の形態1にかかる分周比切替付き分周器の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the frequency divider with frequency division ratio switching concerning Embodiment 1 of invention. 発明の実施の形態1にかかる他の分周比切替付き分周器の構成図である。It is a block diagram of the frequency divider with other frequency division ratio switching concerning Embodiment 1 of invention. 発明の実施の形態1にかかる他の分周比切替付き分周器の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the other frequency divider with frequency division ratio switching concerning Embodiment 1 of invention. 発明の実施の形態1にかかるスキャンクロック分配システムの通常動作モードの動作を示すタイミングチャートである。3 is a timing chart showing an operation in a normal operation mode of the scan clock distribution system according to the first exemplary embodiment of the invention; 発明の実施の形態1にかかるスキャンクロック分配システムのスキャンキャプチャモードの動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the scan capture mode of the scan clock distribution system concerning Embodiment 1 of invention. 発明の実施の形態2にかかるスキャンクロック分配システムの構成図である。It is a block diagram of the scan clock distribution system concerning Embodiment 2 of invention. 発明の実施の形態2にかかる分周比切替付き分周器の構成図である。It is a block diagram of the frequency divider with frequency division ratio switching concerning Embodiment 2 of invention. 発明の実施の形態2にかかる分周比切替付き分周器の動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the frequency divider with frequency division ratio switching concerning Embodiment 2 of invention. 発明の実施の形態2にかかる分周比切替付き分周器の動作を示す他のタイミングチャートである。It is another timing chart which shows operation | movement of the frequency divider with frequency division ratio switching concerning Embodiment 2 of invention. 発明の実施の形態2にかかるスキャンクロック分配システムの通常動作モードの動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the normal operation mode of the scan clock distribution system concerning Embodiment 2 of invention. 発明の実施の形態2にかかるスキャンクロック分配システムのスキャンキャプチャモード及びスキャンシフトモードの動作を示すタイミングチャートである。It is a timing chart which shows operation | movement of the scan capture mode and scan shift mode of the scan clock distribution system concerning Embodiment 2 of invention.

符号の説明Explanation of symbols

1、101、201 スキャンクロック分配システム
2 PLL回路
10、11、12 分周器
20、21、22、23、24 セレクタ
30、31、32、33、35 CTSバッファ
40、41、42、43、45、46 スキャンFF
50、51、52、53、55、56、58、59 組合せ回路
60、61 ロックアップラッチ
70、71 インバータ
111、112、113 分周比切替付き分周器
SCK、SC0、SC1、SC2 スキャンクロック信号
SIN スキャンイン信号
SO スキャンアウト信号
SM スキャンモード信号
TM テスト信号
206、207、306、307、308.406、407、408 フリップフロップ回路
202、302、402、409 NAND回路
203、303、403 反一致回路
304、404、 AND回路
305、405 一致回路
201、301、401 否定回路
1, 101, 201 Scan clock distribution system 2 PLL circuit 10, 11, 12 Frequency divider 20, 21, 22, 23, 24 Selector 30, 31, 32, 33, 35 CTS buffer 40, 41, 42, 43, 45 , 46 scan FF
50, 51, 52, 53, 55, 56, 58, 59 Combination circuit 60, 61 Lock-up latch 70, 71 Inverters 111, 112, 113 Frequency dividers SCK, SC0, SC1, SC2 Scan clock signal SIN scan-in signal SO scan-out signal SM scan mode signal TM test signal 206, 207, 306, 307, 308.406, 407, 408 flip-flop circuit 202, 302, 402, 409 NAND circuit 203, 303, 403 anti-match circuit 304, 404, AND circuit 305, 405 Match circuit 201, 301, 401 Negative circuit

Claims (4)

通常動作モード時にマルチクロックドメインへ供給するクロック信号のルートノードへ、スキャンモード時にスキャンクロック信号を供給するスキャンクロック分配システムであって、
クロックドメインへ供給するスキャンクロック信号を分周する分周比をスキャンモードに応じ切り替える分周器を備え
前記通常動作モード時とスキャンキャプチャモード時における前記分周器の分周比の各クロックドメイン間の相対的な比率が同じで、且つ前記通常動作モード時よりも前記スキャンキャプチャモード時の分周比が小さい
ことを特徴とするスキャンクロック分配システム。
A scan clock distribution system that supplies a scan clock signal in a scan mode to a root node of a clock signal supplied to a multi-clock domain in a normal operation mode,
A frequency divider that switches the frequency division ratio for dividing the scan clock signal supplied to the clock domain according to the scan mode is provided .
The relative ratio between the clock domains of the divider ratio in the normal operation mode and in the scan capture mode is the same, and the division ratio in the scan capture mode than in the normal operation mode A scan clock distribution system characterized by having a small size .
分周比を切り替えた前後で遅延時間が等しい前記分周器を備えた
ことを特徴とする請求項1記載のスキャンクロック分配システム。
2. The scan clock distribution system according to claim 1, further comprising the frequency divider having the same delay time before and after switching the frequency division ratio.
スキャンシフトモード時に前記分周器の分周比をクロックドメイン間で等しくすること
を特徴とする請求項1または2に記載のスキャンクロック分配システム。
3. The scan clock distribution system according to claim 1, wherein a frequency division ratio of the frequency divider is made equal between clock domains in a scan shift mode.
通常動作モード時にマルチクロックドメインへ供給するクロック信号のルートノードへ、スキャンモード時にスキャンクロック信号を供給するスキャンクロック分配システムを備えた半導体集積回路装置であって、
クロックドメインへ供給するスキャンクロック信号を分周する分周比をスキャンモードに応じ切り替える分周器を備え
前記通常動作モード時とスキャンキャプチャモード時における前記分周器の分周比の各クロックドメイン間の相対的な比率が同じで、且つ前記通常動作モード時よりも前記スキャンキャプチャモード時の分周比が小さい
ことを特徴とする半導体集積回路装置。
A semiconductor integrated circuit device comprising a scan clock distribution system for supplying a scan clock signal to a root node of a clock signal to be supplied to a multi-clock domain in a normal operation mode,
A frequency divider that switches the frequency division ratio for dividing the scan clock signal supplied to the clock domain according to the scan mode is provided .
The relative ratio between the clock domains of the divider ratio in the normal operation mode and in the scan capture mode is the same, and the division ratio in the scan capture mode than in the normal operation mode A semiconductor integrated circuit device characterized by having a small size .
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