JP5003890B2 - Substrate transfer robot and the substrate transfer apparatus comprising the same, a semiconductor manufacturing device - Google Patents

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英成 尾野
吉希 木村
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株式会社安川電機
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本発明は、半導体の製造装置や検査装置に使用される基板搬送用ロボットにおいて、基板の搬送経路を生成する機能と、搬送経路のうち最短の搬送時間を選択する機能を有するものに関する The present invention provides a substrate transfer robot for use in semiconductor manufacturing apparatus or inspection apparatus, and which has a function of generating a conveyance path of the substrate, a function of selecting the transport time of the shortest of the conveying path

半導体の製造装置や検査装置(以下、まとめて半導体製造装置と記載する)において、基板(半導体ウェハやマスク)を所望の位置へ搬送するため、従来から基板搬送用ロボットが使用されている。 Semiconductor manufacturing apparatus or inspection apparatus (hereinafter, collectively referred to as a semiconductor manufacturing apparatus) in order to convey the substrate (semiconductor wafer or mask) to the desired position, the substrate transfer robot has been conventionally used. この基板搬送用ロボットには水平面において回転自在に連結された複数のアームが備えられ、その先端にハンド、フォークと呼ばれる基板把持部が設けられている。 This is the substrate carrying robot provided with a plurality of arms which are rotatably connected in the horizontal plane, the hand, the substrate gripper called fork is provided at the tip. そして、基板がこの基板把持部に搭載されて所望の位置まで搬送される。 Then, the substrate is transported to a desired position is mounted on the substrate gripping portion.
従来の基板搬送用ロボットでは予め教示された教示位置から他の教示位置(目的位置)に対して移動させる際、その教示位置と、経由点に関する情報と、最小旋回姿勢の情報と、を元に、それらを結んだ軌跡を目的位置までの搬送経路として生成していた。 When the conventional substrate transfer robot which moves from a pre-taught teaching position relative to other teachings position (target position), based on its teaching position, and information related to the route point, and information of the minimum turning posture, the , was generated a connecting I locus them as transport route to the target position. つまり、位置の教示を基板の収納容器又は基板の処理装置など、基板搬送ロボットが基板を搬送する位置に対して各々実施し、ある位置からある目的位置までの上記搬送経路を1経路生成し、この搬送経路を用いて、収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間での基板搬送が実施されていた。 In other words, such teaches the substrate of the container or the substrate processing apparatus position, each implemented, there the transport route to the target position generated 1 route from the position relative to the position of the substrate transfer robot for transferring a substrate, using this transport path, the substrate transfer among or between processor mutual container and the processing unit have been implemented.

しかし収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間の基板搬送時間を短縮する必要がある半導体製造装置であって、基板搬送用ロボットを最大性能(アームの回転速度がほぼ限界であり、これにより搬送速度がほぼ限界であること)で使用している場合に、さらに基板搬送時間を短縮させるには、従来の方法では、教示位置の調整、又は経由点生成に関する情報の調整が必要となった。 But a semiconductor manufacturing apparatus is required to shorten the substrate transfer time between or between processor mutual container and the processing apparatus, is substantially limit the rotational speed of the maximum performance (arm substrate transport robot, which by when the conveying speed is used almost be the limit), the more reduced the substrate transfer time, in the conventional method, it is necessary to adjust the information adjustment, or to waypoint generation of teaching positions It was.
また、基板搬送用ロボットのある位置と任意の目的位置において、上記搬送経路が最短時間で動作する搬送経路ではないことがあり、1つの搬送経路だけでは、基板搬送時間を短縮するのに不十分であった。 Further, at a position with any target position with a substrate transfer robot, the transport path may not be the transport path which operates in the shortest time, just one conveying path, insufficient to reduce the substrate transfer time Met.

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、ある教示位置から目的位置までの搬送経路に関して、複数の搬送経路を基板搬送用ロボットのコントローラが自ら生成するとともに、ある位置から目的位置までの搬送時間を最短にすることができる搬送経路を判断する方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such problems, in the conveyance path from one teaching position to the target position, the controller of the substrate transport robot generates its own multiple transport path object from a certain position that the transport time to the position in the shortest and to provide a method of determining a transport path capable.

上記問題を解決するため、本発明は、次のようにしたのである。 To solve the above problems, the present invention is was as follows.
請求項1に記載の発明は、基板を保持する基板把持部と、前記基板把持部を先端に有し、水平面において回動自在な複数のアームと、を備え、予め教示された複数の教示位置の間で前記基板を搬送する基板搬送ロボットにおいて、前記基板搬送用ロボットのコントローラが、前記複数の教示位置が教示された際、前記教示位置の各々に対するアクセス待機位置を生成し、前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの複数の経路と、前記複数の教示位置のうち、前記基板把持部の回転中心から前記基板把持部の先端までのベクトルが互いに平行な第一の教示位置と第二の教示位置の各々の前記アクセス待機位置の間を直線搬送する径路と、を記憶する基板搬送用ロボットとした。 The invention according to claim 1, a substrate gripping portion for holding a substrate, comprising the substrate gripping portion at the distal end, and a rotatable plurality of arms in a horizontal plane, previously taught multiple teaching positions in the substrate transport robot for transporting the substrate between the controller of the substrate carrying robot, when the plurality of teaching positions are taught, it generates an access standby position for each of said taught position, the access standby position a plurality of paths to the minimum turning posture of the substrate transfer robot from the plurality of teaching positions, teaching vector is parallel first mutually from the rotational center of the substrate gripping portion to the tip of the substrate gripping portion position and the path of linear transport between the access standby position of each of the second teaching position was a substrate carrying robot for storing.
また、請求項2に記載の発明は、前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの経路の1つが、前記基板搬送用ロボットの旋回中心から前記基板把持部の回転中心までを結んだ直線のベクトル方向を保ったまま前記最小旋回姿勢へと移動する経路である請求項1記載の基板搬送用ロボットとした。 Further, according to claim 2 invention, one of said paths from the access standby position to the minimum turning posture of the substrate transfer robot, but from the turning center of the substrate carrying robot to the rotational center of the substrate gripping portion and a substrate transfer robot according to claim 1, wherein a path for moving into the minimum turning posture while maintaining the vector direction of the straight line connecting.
また、請求項3に記載の発明は、前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの経路の1つが、前記基板把持部の回転中心から前記基板把持部の先端へのベクトル方向を保ったまま前記最小旋回姿勢へと移動する経路である請求項1または2記載の基板搬送用ロボットとした。 The invention according to claim 3, wherein one of the paths from the access standby position to the minimum turning posture of the substrate transfer robot while the vector direction from the rotation center of the substrate gripping portion to the distal end of the substrate gripping portion It was claim 1 or second substrate transport robot according a path that the move to the minimum turning posture while maintaining.
また、請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3いずれかに記載の基板搬送用ロボットにおいて、 記第一の教示位置から前記第二の教示位置まで搬送するよう指定されると、前記第一の教示位置のアクセス待機位置から前記第二の教示位置のアクセス待機位置までの前記直線搬送が可能かどうかを判断する基板搬送用ロボットとした。 Further, the invention according to claim 4, in the substrate transfer robot according to any of claims 1 to 3, when specified to carry from the previous SL first teaching position to the second teaching position, was the first teaching position of access wait from said position the second teaching position of the substrate transfer robot you judged whether before Symbol linear transport is possible to access the standby position.
また、請求項5に記載の発明は、前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間または前記直線搬送の経路の搬送時間を算出する請求項1乃至4いずれかに記載の基板搬送用ロボットとした。 Further, the invention according to claim 5, wherein the controller, the substrate transfer robot according to any of claims 1 to 4 for calculating the transfer time of the plurality of each of the conveying time or the linear transport path of the path and the.
また、請求項6に記載の発明は、前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間と前記直線搬送の経路の搬送時間とを含めてこれらの搬送時間を比較し、最短の搬送時間となる前記経路を選択する請求項5記載の基板搬送用ロボットとした。 The invention according to claim 6, wherein the controller compares the transport time thereof, including a transfer time of the plurality of each transfer time and the linear transport path of the route, and the shortest transportation time It said path comprising the substrate transfer robot according to claim 5, wherein the selecting.
また、請求項7に記載の発明は、請求項1乃至6いずれかに記載の基板搬送用ロボットと、前記基板を収納する少なくとも2つの基板収納容器と、を備え、前記基板収納容器の間で前記基板を移送する基板搬送装置とした。 The invention described in Claim 7 is provided with a substrate transfer robot according to any one of claims 1 to 6, and at least two substrate container for accommodating the substrate, and between the substrate storage container and a substrate transfer device for transferring the substrate.
また、請求項8に記載の発明は、請求項1乃至6いずれかに記載の基板搬送用ロボットを備えた半導体製造装置とした。 The invention according to claim 8, was a semiconductor manufacturing apparatus having a substrate transfer robot according to any one of claims 1 to 6.

発明によると、教示位置に対してアクセス待機位置を自動で生成し、さらに最小旋回姿勢までの経路を複数生成してコントローラで記憶するので、教示位置から他の目的位置まで搬送するプログラムを組んだ際、任意の経路を選択することができる。 According to the present invention, to generate automatically access the standby position to the teachings position, since further stores a route to the minimum turning posture controller generates a plurality, formed a program for conveying the teaching position to another target position it being possible to select any route.
また、 発明によると、基板把持部の姿勢が同一となる、第一の教示位置から第二の教示位置までの搬送プログラムが指定された際、最小旋回姿勢を経ることなく直線的にこれらのアクセス待機位置間で基板を移送できる径路も記憶するので経路の選択肢を増やすことができる。 Further, according to the present invention, the posture of the substrate gripping portion are the same, when the transport programs from the first teaching position to a second teaching position is specified, linear thereof without a minimum turning posture since path also stores that can transfer substrates between the access standby position can be increased choice of routes.
また、 発明によると、上記で生成した搬送経路の各々の搬送時間を算出し、これらを比較する機能を有しているので、搬送時間が最短となる搬送経路を選択することができる。 Further, according to the present invention, calculates the transfer time of each conveyance path generated above, since it has a function of comparing them, it is possible to select the conveying path conveying time is shortest.
また、 発明によると、基板搬送装置として或いは半導体製造装置として、基板搬送におけるスループットを向上させることができる。 Further, according to the present invention, or as a semiconductor manufacturing apparatus as a substrate transport apparatus, it is possible to improve throughput in substrate transfer.

以下、本発明の方法の具体的実施例について、図に基づいて説明する。 Hereinafter, specific examples of the method of the present invention will be described with reference to FIG.

図1は、本発明の搬送経路生成機能及び最短経路選択機能を備えた基板搬送用ロボットを示す平面図である。 Figure 1 is a plan view showing a substrate transfer robot having a transport route generation function and the shortest path selection function of the present invention. 図において、1は水平多関節型の基板搬送用ロボットであり、Wは搬送対象の基板である。 In FIG, 1 is a horizontal multi-joint type substrate transfer robot, W is the substrate of the transfer target. 基板搬送用ロボット1は、鉛直方向に昇降自在な円柱状または角柱状のボディである支柱部2に対して旋回中心3回りに水平面内で旋回する第1アーム4と、第1アーム4の先端に水平面内で旋回自在に取り付けられた第2アーム5と、第2アーム5の先端に水平面内で旋回自在に取り付けられた基板把持部6を備えている。 Substrate transfer robot 1 includes a first arm 4 to pivot in a horizontal plane turning center 3 around with respect to the column unit 2 is freely cylindrical or prismatic body up and down in the vertical direction, of the first arm 4 tip It includes a second arm 5 mounted pivotally in the horizontal plane, the substrate gripper 6 which is mounted pivotably in a horizontal plane at the tip of the second arm 5 in. 基板把持部6は基板Wを載置するY字形のハンドである。 Substrate gripping portion 6 is hand Y-shaped for placing the substrate W. 第1アーム4は支柱部2に対して図示しないモータによって任意の位置に旋回可能であり、同様に、第2アーム5は第1アーム4に対して図示しないモータによって任意の位置に旋回可能であり、同様に、基板把持部6は第2アーム5に対して図示しないモータによって任意の位置に旋回可能である。 The first arm 4 is pivotable in an arbitrary position by a motor (not shown) with respect to the column section 2, similarly, the second arm 5 is pivotable in an arbitrary position by a motor (not shown) relative to the first arm 4 There, similarly, the substrate gripper 6 is pivotable in an arbitrary position by a motor (not shown) with respect to the second arm 5.
そして、基板搬送ロボット1は図示しないコントローラと接続されており、これに予め記憶された教示位置から生成する搬送経路を再生しながら基板Wを目的位置に搬送する。 Then, the substrate transfer robot 1 is connected to a controller (not shown) to be conveyed to a target position of the substrate W while playing the conveyance path for generating a predetermined stored taught position thereto.

図2は、図1の基板搬送ロボットが用いられた半導体製造装置(装置7)のレイアウトの一例であり、これの平面図を示している。 Figure 2 is an example of a layout of a semiconductor manufacturing apparatus used is a substrate transfer robot of FIG. 1 (7) shows a plan view of this.
基板搬送用ロボット1は装置7の略中央に位置し、2つの基板の収納容器8a、8b、又は基板の処理装置9へ基板把持部6をアクセスさせて基板Wの授受動作を実施する。 The substrate transfer robot 1 is located substantially at the center of the device 7, the two substrates of the container 8a, 8b, or the substrate to the processing device 9 by accessing the substrate gripping portion 6 performing the transfer operation of the substrate W.

図3及び4は、図2における収納容器8aにアクセスするよう教示された教示位置10と原点位置13の間の基板搬送用ロボット1の基板の搬送経路を示す図である。 3 and 4 are diagrams showing a conveyance path of the substrate in the substrate transfer robot 1 between the taught teaching position 10 and home position 13 to access the container 8a in FIG.
アクセス待機位置11は、教示位置10から生成される位置であって、基板搬送用ロボット1が基板Wを収納容器8aに収納開始できる直前の位置に相当し、この位置からまっすぐ収納容器8aに対して基板Wを挿入することができる位置である。 Access standby position 11 is a position which is generated from the taught position 10, the substrate transfer robot 1 is equivalent to a position immediately before it starts receiving a substrate W in the container 8a, to straighten container 8a from the position it is a position capable of inserting the substrate W Te. アクセス待機位置11は図3及び図4で同一位置であり、基板搬送用ロボット1の各アーム4、5と基板把持部6がなす姿勢も同一である。 Access standby position 11 is the same position in FIGS. 3 and 4, the posture of the arms 4 and 5 and the substrate gripping portion 6 of the substrate transfer robot 1 forms also the same. なお、ここでは収納容器8aに対するアクセス待機位置11を説明しているが、図2の処理装置9を含め、基板Wを授受するよう教示された位置に対するアクセス待機位置も存在する。 Here, although described access standby position 11 relative to container 8a, including the processing unit 9 in FIG. 2, also present access standby position for the taught position to transfer the substrate W. アクセス待機位置は、教示位置に対して把持部や基板が干渉しない位置で、基板Wを授受できる直前の位置である。 Access standby position, at the position where the grip portion and the substrate does not interfere with the teaching position is a position immediately before the can exchanging substrate W.
原点位置13は、ここでは各アーム4、5と基板把持部6とが最小旋回姿勢をなし、かつ基板把持部6の先端が図の左方向を向いた状態を示す。 Origin position 13, here showing a state where the respective arms 4 and 5 and the substrate gripping portion 6 forms the minimum turning posture, and the tip of the substrate gripping portion 6 is directed to the left direction in FIG. 最小旋回姿勢とは各アーム4、5と基板把持部6とがなす姿勢を旋回中心3を中心に回転させたとき、その平面的に要する旋回半径が最も小さくなる姿勢を指している。 When the minimum turning posture of rotating the posture formed by the respective arms 4 and 5 and the substrate gripping portion 6 around the pivot 3 refers to the attitude of the turning radius required for the plane is minimized.

ここで、本発明の搬送経路生成機能について説明する。 It will now be described conveyance path generation function of the present invention.
図3及び図4に示すように、収納容器8aへの基板授受位置として教示位置10を教示すると、ロボット1の図示しないコントローラは、上記アクセス待機位置11の生成と同時に、収納容器8aから最小旋回姿勢となるまでの複数の安全な搬送経路も生成する。 As shown in FIGS. 3 and 4, when teaching the teaching position 10 as the substrate transfer position of the container 8a, the controller (not shown) of the robot 1, simultaneously with the generation of the access standby position 11, the minimum turning from container 8a multiple secure conveyance path until the attitude is also produced. 安全な搬送経路とは、収納容器8aにアクセスする際に、収納容器8aに基板把持部6及び半導体ウェハWが接触しないような搬送経路のことを指す。 The safe transport path, when accessing the storage container 8a, refers to the transportation path, such as a substrate gripping portion 6 and the semiconductor wafer W does not contact the container 8a.
すなわち、この時、経由点であるアクセス待機位置11から最小旋回姿勢までの搬送経路として、次の2つの経路をコントローラが生成する。 That is, at this time, as the conveying path from the access standby position 11 is a transit point until the minimum turning posture, the following two paths controller generates.
1つは、図3で示したように、アクセス待機位置11から、基板搬送用ロボット1の旋回中心3から基板把持部6の回転中心までを結んだ直線のベクトル方向を保ったまま最小旋回姿勢(最小旋回A姿勢12と呼ぶ)へと移動する経路である。 One is, as shown in FIG. 3, the access standby position 11, the minimum turning posture while maintaining the vector direction of the line connecting to the rotational center of the substrate gripping portion 6 from the turning center 3 of the substrate transfer robot 1 it is a path to move into (referred to as the minimum turning a posture 12).
もう1つは、図4で示したように、アクセス待機位置11から、基板把持部6の回転中心からその先端へのベクトル方向を保ったまま最小旋回姿勢(最小旋回B姿勢14と呼ぶ)へと移動する経路である。 The other is, as shown in FIG. 4, from the access standby position 11, the minimum turning posture while maintaining the vector direction to the distal end from the rotation center of the substrate gripping portion 6 (referred to as a minimum turning B posture 14) it is a path to move.
これら2つの経路は、教示位置10と、経由点(アクセス待機位置11)に関する情報は同じであるが、アクセス待機位置11から最小旋回姿勢へと移動する移動経路が異なっている。 These two paths, a taught position 10, although information about the transit point (access waiting position 11) is the same, the movement path is different to move from the access standby position 11 to the minimum turning posture.
以上で説明した複数搬送経路生成は、図2における処理装置9を教示した場合でも、収納容器8bを教示した場合でも上記と同様に、各教示位置ごとにアクセス待機位置を生成し、このアクセス待機位置から最小旋回姿勢へと移動する複数の搬送経路を生成する。 Multiple transport route generation described above, even when the teaching processing device 9 in FIG. 2, in the same manner as described above even when teach container 8b, and generates an access standby position for each teaching position, the access wait generating a plurality of conveying path moves to the minimum turning posture from the position.
なお、当然ながら、教示位置によっては複数の搬送経路が生成されない場合もある。 Needless to say, there is a case where a plurality of conveyance paths is not generated by the teaching position.
また、実際には、教示位置ごとに対するパラメータによって、各教示位置で複数の搬送経路生成の許可、不許可を指定できるようにしてもよい。 In practice, the parameters for each teaching position, permits a plurality of conveying paths generated at each teaching position, may be designated a disallowed. これにより、後述する最短経路の選択の際、に選択可能な経路を制限できる。 Accordingly, when selecting the shortest path to be described later, it can restrict the selectable route.

次に、さらなる搬送経路生成機能について説明する。 It will now be described further conveying path generation function. 本発明の搬送経路生成機能では、上記のような最小旋回姿勢となる搬送経路に加えて、以下に説明する場合、さらに別の搬送経路を生成する。 The conveyance path generation function of the present invention, in addition to the conveyance path having the minimum turning posture, as described above, when described below, to further generate another transport path.
図5は、収納容器8aから別の収納容器8bへの搬送経路を示した図である。 Figure 5 is a diagram showing a conveyance path from the container 8a into another container 8b. 図のように収納容器8aと8bは基板搬送ロボット1の旋回中心3に対して同じ側に並んで配置されており、基板搬送ロボット1は、これらにアクセスするとき、基板把持部6の回転中心からその先端までのベクトルは互いに平行となる。 Container 8a and 8b, as shown, are arranged side by side on the same side of the pivot 3 of the substrate transfer robot 1, the substrate transfer robot 1, when accessing these, the rotational center of the substrate gripping portion 6 vector from to the tip are parallel to each other. つまり、これらのアクセス待機位置における基板把持部6の向きは同一となる。 In other words, the orientation of the substrate gripping portion 6 at these access standby position are the same. このような収納容器8a、8bに対し、コントローラへのプログラミングによって、収納容器8aから8bへロボットが移動するように指定すると、コントローラは、まず当然ながら図3或いは図4で示した最小旋回A又はB姿勢を経る搬送経路を選択することが可能である。 Such container 8a, to 8b, by the programming of the controller, the robot from the storage container 8a to 8b is designated to move, the controller, the minimum turning A or first shown course in FIG. 3 or FIG. 4 it is possible to select the conveying path through the B position. すなわち、図5のような搬送経路である。 That is, the conveyance path as shown in FIG. 5. 図5の場合は、図4で示した搬送経路を含むように選択され、最小旋回B姿勢14を経て、収納容器8bまで到達するまでの経路が示されている。 In the case of FIG. 5, it is selected to include a transport route shown in Figure 4, through the minimum turning B posture 14, there is shown a route to reach the storage container 8b. なお、図3で示した搬送経路を含むような経路は、最小旋回A姿勢12を経て、その後最小旋回B姿勢14となるように旋回する必要があるので、この場合は図4の搬送経路が選択されている。 Incidentally, the route that includes a conveying path shown in FIG. 3, via the minimum turning A posture 12, because then the minimum turning B orientation 14 that it is necessary to pivot so that, in this case, the conveying path of FIG. 4 It has been selected.
しかし、この図5を見ると、アクセス待機位置11から最小旋回B姿勢14を経由せずに目的位置(収納容器8b)のアクセス待機位置15へ直接移動した方が移動距離を短縮できることがわかる。 However, looking to FIG. 5, it can be seen that better to go directly from the access standby position 11 to the access standby position 15 of the target position without passing through the minimum turning B posture 14 (container 8b) can shorten the moving distance. このように、安全な搬送経路が確保できるのであれば、コントローラは、収納容器8aのアクセス待機位置11から目的位置である収納容器8bのアクセス待機位置15へ直接移動する事を許可し、その搬送経路を新たな搬送経路として生成する。 Thus, if the safe transport path can be secured, the controller permitted to move directly from the access standby position 11 of the storage container 8a to the access standby position 15 of the container 8b is a target position, the conveyor generating a route as a new transport path. この搬送経路を示すのが図6である。 Shows this conveyance path is FIG. 図6では図5のように最小旋回A姿勢12を経ることなく、基板把持部6の回転中心からその先端へのベクトル方向を保ったままアクセス待機位置11から目的位置のアクセス待機位置15へ移動する搬送経路を選択している。 Without going through the minimum turning A posture 12 as shown in FIG. 6 FIG. 5, moves from left access standby position 11 keeping the vector direction to the distal end from the rotation center of the substrate gripping portion 6 to the access standby position 15 of the target position It is selected conveyance path to.

次に、本発明の最短経路自動選択機能について説明する。 Next, a description will be given shortest path automatic selection function of the present invention.
最短経路自動選択は、ある位置から目的位置への搬送時間が最短となる搬送経路を選択する機能である。 Shortest path automatic selection is a function of selecting the conveying path conveying time from one position to the target position is the shortest. 教示位置から最小旋回姿勢までの複数の搬送経路は、上記のように収納容器8a、8b及び処理装置9などの各教示位置を教示した時点で生成されている。 A plurality of conveying path from the teaching position to the minimum turning posture is generated at the time taught each teaching position of such container 8a, 8b and processing device 9 as described above. そのため、図3、図4に記載されている教示位置10から、ここでは例えば目的位置として原点位置13へ動作する搬送経路において、教示位置10からアクセス待機位置11への移動時間と、アクセス待機位置11から最小旋回A又はB姿勢12、14への移動時間と、最小旋回A又はB姿勢12、14から原点位置13への移動時間と、を、コントローラは事前に算出することができる。 Therefore, FIG. 3, from which teaching position 10 described in FIG. 4, in the conveying path where the operating to the home position 13, for example, as a target position, the moving time from the taught position 10 to the access standby position 11, the access standby position and travel time to the minimum turning a or B position 12, 14 and 11, the travel time to the home position 13 from the minimum turning a or B position 12, the controller can be calculated in advance. これら各区間の移動時間の合算から、それぞれの搬送経路による目的位置までの搬送時間が算出でき、その搬送時間の比較判断より、最短経路を選択する。 From the sum of the movement time of each of these sections can be calculated the transport time to the target position by the respective transport paths, the comparative determination of the transfer time, selects the shortest path. 図3、図4の搬送経路のどちらが最短であるかは、その時の基盤搬送用ロボット1の各アーム4、5及び基板把持部6の回転動作速度や各区間における動作量によって異なるために、ロボットの実動作の際に、ある教示位置から目的位置へ移動する都度、移動時間を算出して、比較判断を実施する。 Figure 3, is which of the transport path of FIG. 4 is the shortest, to vary depending on operating amount at that time the rotational speeds or the sections of the arms 4, 5 and the substrate gripping portion 6 of the base transfer robot 1, the robot during the actual operation, each time moving from one teaching position to a target position, and calculate the travel time, carrying out comparative judgment.
また前記の搬送経路(最小旋回姿勢を経ない図6で示す搬送経路)も、最短経路自動選択の候補経路に含まれ、比較判断の結果、図6で示す搬送経路が最短時間の搬送経路であると判断されれば、図6に示すような搬送経路を動作することになる。 Also, the conveying path (conveying path shown in Figure 6 without through the minimum turning posture) is also included in the candidate route of the shortest path automatic selection, the result of the comparison determination, the conveying path of the conveying path the shortest time shown in FIG. 6 if it is determined that will operate a transport route as shown in FIG.

本発明が適用された基板搬送用ロボットの構成を示す平面図 Plan view illustrating the present invention is applied substrate carrying robot configuration 図1の基板搬送ロボットが用いられた半導体製造装置のレイアウトの一例 An example of a layout of a semiconductor manufacturing device substrate transfer robot is used in FIG. 1 教示位置10と原点位置13との間の基板の第一の搬送経路を示す図 The first shows the transport path of the substrate between the teaching position 10 and the origin position 13 教示位置10と原点位置13との間の基板の第二の搬送経路を示す図 Second diagram illustrating a conveyance path of the substrate between the teaching position 10 and the origin position 13 収納容器8aから別の収納容器8bへの第一の搬送経路を示した図 It shows a first conveying path from the container 8a into another container 8b 収納容器8aから別の収納容器8bへの第二の搬送経路を示した図 Second diagram showing a conveyance path from container 8a into another container 8b

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1. 1. 基板搬送用ロボット2. The substrate transport robot 2. 支柱部3. Strut 3. 中心軸4. The central axis 4. 第1アーム5. The first arm 5. 第2アーム6. The second arm 6. ウェハ把持部7. Wafer gripping portion 7. 装置8. Device 8. 収容容器9. Storage container 9. 処理装置10. Processing device 10. 教示位置11. Teaching position 11. アクセス待機位置12. Access standby position 12. 最小旋回A姿勢13. The minimum turning A posture 13. 原点位置14. Origin position 14. 最小旋回B姿勢15. The minimum turning B posture 15. アクセス待機位置 Access standby position

Claims (8)

  1. 基板を保持する基板把持部と、前記基板把持部を先端に有し、水平面において回動自在な複数のアームと、を備え、予め教示された複数の教示位置の間で前記基板を搬送する基板搬送ロボットにおいて、 A substrate gripping portion for holding a substrate, comprising the substrate gripping portion at the distal end, and a rotatable plurality of arms in a horizontal plane, for transporting the substrate between the plurality of teaching positions that are previously taught substrate in the transport robot,
    前記基板搬送用ロボットのコントローラが、 Controller of the substrate carrying robot,
    前記複数の教示位置が教示された際、前記教示位置の各々に対するアクセス待機位置を生成し、 When the plurality of teaching positions are taught, it generates an access standby position for each of said taught position,
    前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの複数の経路と、 A plurality of paths from the access standby position to the minimum turning posture of the substrate carrying robot,
    前記複数の教示位置のうち、前記基板把持部の回転中心から前記基板把持部の先端までのベクトルが互いに平行な第一の教示位置と第二の教示位置の各々の前記アクセス待機位置の間を直線搬送する径路と、 Among the plurality of teaching positions, between the rotational center of the substrate gripping portion of the access standby position of each of the first teaching position and a second teaching position vector of the parallel to the tip of the substrate gripping portion and the path to linear transport,
    を記憶すること、 Be stored,
    を特徴とする基板搬送用ロボット。 Substrate transfer robot according to claim.
  2. 前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの経路の1つが、前記基板搬送用ロボットの旋回中心から前記基板把持部の回転中心までを結んだ直線のベクトル方向を保ったまま前記最小旋回姿勢へと移動する経路であることを特徴とする請求項1記載の基板搬送用ロボット。 Wherein while said one of the paths from the access standby position to the minimum turning posture of the substrate transfer robot, but keeping the vector direction of the line connecting to the rotational center of the substrate gripping portion from the pivot center of the substrate carrying robot substrate transfer robot according to claim 1, characterized in that a path for moving into the minimum turning posture.
  3. 前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの経路の1つが、前記基板把持部の回転中心から前記基板把持部の先端へのベクトル方向を保ったまま前記最小旋回姿勢へと移動する経路であることを特徴とする請求項1または2記載の基板搬送用ロボット。 Move to the one of the paths from the access standby position to the minimum turning posture of the substrate transfer robot, the minimum turning posture while maintaining the vector direction from the rotation center of the substrate gripping portion to the distal end of the substrate gripping portion claim 1 or 2 substrate transfer robot according to, characterized in that a path for.
  4. 請求項1乃至3いずれかに記載の基板搬送用ロボットにおいて、 In the substrate transfer robot according to any of claims 1 to 3,
    記第一の教示位置から前記第二の教示位置まで搬送するよう指定されると、前記第一の教示位置のアクセス待機位置から前記第二の教示位置のアクセス待機位置までの前記直線搬送が可能かどうかを判断することを特徴とする基板搬送用ロボット。 If it specified to carry from the previous SL first teaching position to the second teaching position, before Symbol linear transport from the access standby position of the first teaching position to access the standby position of the second teaching position substrate transfer robot according to claim judgment to Rukoto whether possible.
  5. 前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間または前記直線搬送の経路の搬送時間を算出することを特徴とする請求項1乃至4いずれかに記載の基板搬送用ロボット。 Said controller, said plurality of each substrate transfer robot according to claim 1 to 4, characterized in that to calculate the conveyance time of the conveying time or the linear transport path of the route.
  6. 前記コントローラが、前記複数の経路の各々の搬送時間と前記直線搬送の経路の搬送時間とを含めてこれらの搬送時間を比較し、最短の搬送時間となる前記経路を選択することを特徴とする請求項5記載の基板搬送用ロボット。 It said controller including a transfer time of the plurality of each transfer time and the linear transport path of the route by comparing the transfer time of these, and selects the route having the shortest of the transport time substrate transfer robot according to claim 5, wherein.
  7. 請求項1乃至6いずれかに記載の基板搬送用ロボットと、前記基板を収納する少なくとも2つの基板収納容器と、を備え、前記基板収納容器の間で前記基板を移送することを特徴とする基板搬送装置。 Substrate to a substrate transfer robot according to any one of claims 1 to 6, characterized in that and a least two substrate container for accommodating the substrate, transferring the substrate between the substrate cassette transport equipment.
  8. 請求項1乃至6いずれかに記載の基板搬送用ロボットを備えたことを特徴とする半導体製造装置。 The semiconductor manufacturing apparatus comprising the substrate transfer robot according to any one of claims 1 to 6.
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