JP4999520B2 - Nozzle for cold spray and cold spray device - Google Patents

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Description

本件発明は、操業中のコールドスプレー用ノズルへの原料粉末の付着やこれに起因するコールドスプレー用ノズルの閉塞を大幅に減少させたコールドスプレー用ノズル及び該ノズルを用いたコールドスプレー装置に関する。   The present invention relates to a cold spray nozzle and a cold spray apparatus using the nozzle, in which the adhesion of the raw material powder to the cold spray nozzle during operation and the blockage of the cold spray nozzle due to this are greatly reduced.

従来より、例えば製鉄プロセスの鋳型やロール、自動車ホイール、ガスタービン構成部品等の各種の金属部材には、耐摩耗性や耐食性を向上させて金属部材の長寿命化を図るべく、ニッケル、銅、アルミニウム、クロム又はこれらの合金等の皮膜を形成する技術が知られている。   Conventionally, for example, various metal members such as molds and rolls of steel manufacturing processes, automobile wheels, gas turbine components, etc., in order to improve wear resistance and corrosion resistance and to extend the life of metal members, nickel, copper, A technique for forming a film of aluminum, chromium, or an alloy thereof is known.

この皮膜を形成する一つの方法として、金属メッキが用いられている。しかし、金属メッキは、大面積に施工できない、クラックが発生し易いといった問題が生じる。   As one method for forming this film, metal plating is used. However, metal plating has problems that it cannot be applied to a large area and cracks are likely to occur.

他の方法として、溶射により皮膜を形成する方法が挙げられる。この溶射としては、減圧プラズマ溶射(LPPS)、フレーム溶射、高速フレーム溶射(HVOF)及び大気プラズマ溶射等が含まれる。しかし、これら溶射で皮膜を形成した場合には、溶射中に酸化するため緻密な皮膜の形成が困難であり、導電率及び熱伝導率が低く、また付着率が低く、不経済である等の問題がある。   Another method includes a method of forming a film by thermal spraying. This thermal spraying includes low pressure plasma spraying (LPPS), flame spraying, high-speed flame spraying (HVOF), atmospheric plasma spraying, and the like. However, when a coating is formed by these thermal spraying, it is difficult to form a dense coating because it is oxidized during thermal spraying, and the conductivity and thermal conductivity are low, the adhesion rate is low, and it is uneconomical. There's a problem.

これらに代わる新たな皮膜を形成する技術として、固相状態のまま原料粉末の皮膜を形成する「コールドスプレー」が注目されている。このコールドスプレーは、原料粉末の融点よりも低い温度の作動ガスを超音速流とし、作動ガス中に搬送ガスによって搬送された原料粉末を投入してノズル先端より噴出させ、固相状態のまま基材に衝突させて皮膜を形成するものである。つまり、金属、合金、金属間化合物、セラミックス等の原料粉末を超音速で基材表面に固相状態で衝突させて皮膜を形成するものである。   As a technique for forming a new film as an alternative to these, “cold spray”, which forms a film of a raw material powder in a solid state, has attracted attention. In this cold spray, a working gas having a temperature lower than the melting point of the raw material powder is made into a supersonic flow, and the raw material powder carried by the carrier gas is put into the working gas and ejected from the tip of the nozzle. A film is formed by colliding with a material. That is, a raw material powder such as a metal, an alloy, an intermetallic compound, or ceramic is collided with the surface of the substrate at a supersonic speed in a solid state to form a film.

さらに、このコールドスプレー技術を詳細に説明すると、窒素ガス、ヘリウムガス、空気等が貯蔵されている圧縮ガスボンベからのガス供給手段は、作動ガスラインと搬送ガスラインとに分岐される。高圧の作動ガスは、ヒーターにより原料粉末の融点以下の温度に加熱された後、コールドスプレーガンのチャンバー内に供給される。他方、高圧の搬送ガスは、原料粉末供給手段に導入され、原料粉末を上記チャンバー内に搬送する。搬送ガスにより搬送された原料粉末は、作動ガスによりノズルの円錐状の圧縮部を経て超音速流となり、円錐状の膨張部の先端に位置するノズル出口より噴出し、基材表面に固相状態で衝突し、皮膜を形成する。   Further, the cold spray technique will be described in detail. A gas supply means from a compressed gas cylinder in which nitrogen gas, helium gas, air and the like are stored is branched into a working gas line and a carrier gas line. The high-pressure working gas is heated to a temperature not higher than the melting point of the raw material powder by a heater and then supplied into the chamber of the cold spray gun. On the other hand, the high-pressure carrier gas is introduced into the raw material powder supply means to carry the raw material powder into the chamber. The raw material powder conveyed by the carrier gas becomes a supersonic flow by the working gas through the conical compression part of the nozzle, and is ejected from the nozzle outlet located at the tip of the conical expansion part, and is in a solid state on the substrate surface. Collide with to form a film.

このコールドスプレーによる皮膜は、従来より提案されている上述した溶射による皮膜に比べて、緻密、高密度で、導電性、熱伝導率が高く、酸化や熱変質も少なく、密着性が良好であることが知られている。   This cold spray coating is dense, high density, high conductivity, high thermal conductivity, less oxidation and thermal alteration, and better adhesion than the previously proposed thermal spray coating. It is known.

このコールドスプレーの大きな問題は、原料粉末のノズルへの付着やこれに起因するノズルの閉塞である。ノズルとしては、通常、ステンレス鋼、工具鋼、超硬合金等を用いて製造されるが、ニッケル、銅、ステンレス鋼又はこれらの合金等を原料としてコールドスプレーにより皮膜を形成する場合には、ノズルの各部、特に膨張部に原料粉末が付着し、さらにはノズルが閉塞する。これは、操業時に、原料粉末とノズル内面との間で摩擦が生じ、ノズル内面の温度が上昇し、原料粉末がノズル内面に凝着することに起因する。このことがシステムの故障の原因となり、またこのことにより頻繁なノズル交換作業が必要となる。このようなノズルに対する原料粉末の付着やこれに起因するノズルの閉塞は、操業後、場合によっては数分間で生じ、コールドスプレー技術の実用化において大きな障害となっていた。   A major problem with this cold spray is the adhesion of the raw material powder to the nozzle and the clogging of the nozzle due to this. The nozzle is usually manufactured using stainless steel, tool steel, cemented carbide, etc., but when forming a film by cold spraying using nickel, copper, stainless steel or alloys thereof as a raw material, the nozzle The raw material powder adheres to each part, particularly the expanded part, and further the nozzle is closed. This is because, during operation, friction occurs between the raw material powder and the inner surface of the nozzle, the temperature of the inner surface of the nozzle rises, and the raw material powder adheres to the inner surface of the nozzle. This causes a system failure and requires frequent nozzle replacement work. Such adhesion of the raw material powder to the nozzle and nozzle clogging due to this occurred in several minutes after the operation, which has been a major obstacle in the practical application of the cold spray technique.

特許文献1(特開2004−298863号公報)には、ノズルの少なくとも膨張部(拡大部)をポリベンゾイミダゾールからなるコールドスプレー技術用ノズルを開示し、このノズルにより金属粉末によるノズルへの付着やノズルの詰まりを減らすことができるとされている。   Patent Document 1 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-298863) discloses a nozzle for cold spray technology in which at least an expanded portion (enlarged portion) of a nozzle is made of polybenzimidazole, and the nozzle is attached to the nozzle by metal powder. It is said that nozzle clogging can be reduced.

また、特許文献2(特開2005−95886号公報)には、ノズル入口部に続く円錐状の先細部と、先細部にのど部を介して続く短尺の円錐状の末広部と、末広部に続く筒状の平行部からなり、平行部に脱着機構及び/又は粉末投入口を設けたコールドスプレー用ノズルが開示されている(請求項1)。特許文献2では、上記のノズル設計を特定することによって、安価な規格品のパイプ材を使用できるとともに、平行部の交換が容易となり、仮に0.5m以上の大面積施工において粉末が堆積しても簡単に円筒部のみを交換することができ、のど部、末広部等でのノズル詰まりが生じた際にノズルのメンテナンスが容易となるとされている。 Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-95886) includes a conical tapered portion that continues to the nozzle inlet, a short conical widened portion that extends through the throat portion of the tapered portion, and a widened portion. There has been disclosed a cold spray nozzle comprising a continuous cylindrical parallel part and provided with a desorption mechanism and / or a powder inlet in the parallel part (Claim 1). In Patent Document 2, by specifying the nozzle design described above, an inexpensive standard pipe material can be used, and the parallel part can be easily replaced, so that powder is deposited in a large area construction of 0.5 m 2 or more. However, it is said that only the cylindrical portion can be easily exchanged, and when nozzle clogging occurs in the throat portion, the divergent portion, etc., maintenance of the nozzle is facilitated.

特許文献1のように、ノズル材料としてポリベンゾイミダゾールを用いた場合には、原料粉末によるノズルへの付着やノズルの詰まりを一定限度は減らすことができる。しかし、ポリベンゾイミダゾールは樹脂であるため、溶射粒子の衝突により容易に摩耗するためノズル寿命が短いのみならず、その上、耐熱性が低いため500℃以上の高温では使用できない。   As in Patent Document 1, when polybenzimidazole is used as the nozzle material, the adhesion of the raw material powder to the nozzle and the clogging of the nozzle can be reduced to a certain limit. However, since polybenzimidazole is a resin, it is easily worn by the collision of spray particles, so that not only the nozzle life is short, but furthermore, the heat resistance is low, so it cannot be used at a high temperature of 500 ° C. or higher.

また、特許文献2は、ノズル部材の交換を容易にすること等を目的とするもので、本質的にノズルに対する原料粉末の付着やこれに起因する閉塞を減少させることを意図するものではない。   Patent Document 2 is intended to facilitate the replacement of the nozzle member, and is not intended to reduce the adhesion of the raw material powder to the nozzle and the blocking caused by this.

このように、ノズルへの原料粉末の付着やこれに起因するノズルの閉塞というコールドスプレー技術における実用上の大きな課題は、未だ解決されていない。   As described above, the practical problem in the cold spray technique, that is, the adhesion of the raw material powder to the nozzle and the clogging of the nozzle due to this, has not been solved yet.

特開2004−298863号公報JP 2004-298863 A 特開2005−95886号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2005-95886

従って、本件発明の目的は、操業中のコールドスプレー用ノズルへの原料粉末の付着やこの付着に起因するコールドスプレー用ノズルの閉塞を大幅に減少し、長寿命化を達成できるコールドスプレー用ノズル及び該コールドスプレー用ノズルを用いたコールドスプレー装置を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to greatly reduce the adhesion of raw material powder to the cold spray nozzle during operation and the blockage of the cold spray nozzle caused by this adhesion, and a cold spray nozzle capable of achieving a long service life. An object of the present invention is to provide a cold spray device using the cold spray nozzle.

そこで、本件発明者等は、鋭意研究の結果、上記課題を達成するための手段として、以下の発明に想到した。   Therefore, as a result of intensive studies, the inventors have arrived at the following invention as a means for achieving the above-mentioned problems.

すなわち、本件発明に係るコールドスプレー用ノズルは、先細で円錐状の圧縮部と該圧縮部に連通する先広がりで円錐状の膨張部とを含み、原料粉末を融点以下の作動ガスを用いて該圧縮部のノズル入口から流入させ、該膨張部先端のノズル出口より超音速流として噴出させるコールドスプレー用ノズルであって、該膨張部は、少なくとも内周壁面が窒化ケイ素セラミックスからなるセラミックス材で形成されていることを特徴とするものである。 That is, the nozzle for cold spray according to the present invention includes a tapered conical compression part and a conical and widening conical expansion part communicating with the compression part, and the raw material powder is formed using a working gas having a melting point or lower. allowed to flow from the nozzle inlet of the compression unit, a nozzle for cold spray for jetting a supersonic flow from the nozzle outlet of the inflation tip, the inflatable portion is formed of ceramics material at least the inner circumferential wall is made of a silicon nitride ceramic It is characterized by being.

また、本件発明に係るコールドスプレー用ノズルは、窒化ケイ素セラミックスからなるセラミックス材によって、膨張部及び圧縮部の全体を成形することが好ましい。 The nozzle for cold spray according to the present invention, a ceramic material made of silicon nitride ceramics, it is preferable to mold the entire inflatable portion and the compression unit.

また、本件発明に係るコールドスプレー用ノズルは、コールドスプレー用ノズルの膨張部と圧縮部とが一体成形されていることが好ましい。   In the cold spray nozzle according to the present invention, it is preferable that the expansion portion and the compression portion of the cold spray nozzle are integrally formed.

そして、また、本件発明に係るコールドスプレー装置は、原料粉末を供給する原料粉末供給手段と、作動ガス及び搬送ガスを供給するガス供給手段と、該原料粉末を、その融点以下の該作動ガスを用いて超音速流として噴出させるノズルを備えたコールドスプレーガンとを含むコールドスプレー装置であって、該ノズルに上述のコールドスプレー用ノズルのいずれかを用いることを特徴とする。   The cold spray device according to the present invention comprises a raw material powder supply means for supplying raw material powder, a gas supply means for supplying working gas and carrier gas, and the raw material powder with the working gas having a melting point or lower. A cold spray device including a cold spray gun provided with a nozzle that is jetted as a supersonic flow using any of the above-described cold spray nozzles.

本件発明に係るコールドスプレー用ノズル及び該コールドスプレー用ノズルを用いたコールドスプレー装置は、操業時の原料粉末のコールドスプレー用ノズルの内壁部への付着及びこれに起因するコールドスプレー用ノズルの閉塞を大幅に減少でき、コールドスプレー用ノズルの長寿命化が達成できるので、コールドスプレー用ノズルの頻繁な交換が不要となる。そして、本件発明に係るコールドスプレー用ノズルの内周壁面は、セラミック材質を基本とするため、酸洗処理することが可能である。従って、仮に、原料粉末がコールドスプレー用ノズルの内周壁面に付着しても、酸溶液に浸漬する等して、付着原料を容易に除去することが可能という利点もある。   The cold spray nozzle according to the present invention and the cold spray device using the cold spray nozzle are capable of preventing the raw powder from adhering to the inner wall of the cold spray nozzle during operation and blocking the cold spray nozzle due to this. Since it can be greatly reduced and the life of the cold spray nozzle can be extended, frequent replacement of the cold spray nozzle becomes unnecessary. And since the inner peripheral wall surface of the nozzle for cold spray which concerns on this invention is based on a ceramic material, it can be pickled. Therefore, even if the raw material powder adheres to the inner peripheral wall surface of the cold spray nozzle, there is an advantage that the attached raw material can be easily removed by dipping in an acid solution.

以下、本件発明を実施するための最良の形態について詳述する。ここで、図1は、本件発明に係るコールドスプレー用ノズルの一実施形態を示す概略断面図である。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail. Here, FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of a cold spray nozzle according to the present invention.

この図1において、コールドスプレー用ノズル1は、端部にノズル入口1aを有する先細で円錐状の圧縮部1bとこれに連通し、端部にノズル出口1dを有する先広がりで円錐状の膨張部1cとからなる。本件発明に係るコールドスプレー用ノズルは、少なくとも上記した圧縮部1bと膨張部1cを有していればよく、その他の形状は任意である。例えば圧縮部1bと膨張部1cとの間に狭小なのど部を設けたり、膨張部1cのノズル出口側に筒状の平行部を設けてもよい。なお、図1において、矢線は原料粉末の流れを示す。   In FIG. 1, a cold spray nozzle 1 includes a tapered conical compression portion 1b having a nozzle inlet 1a at an end thereof and a conical expansion portion having a nozzle opening 1d at an end thereof and a tapered conical expansion portion. 1c. The cold spray nozzle according to the present invention only needs to have at least the compression portion 1b and the expansion portion 1c described above, and other shapes are arbitrary. For example, a narrow throat portion may be provided between the compression portion 1b and the expansion portion 1c, or a cylindrical parallel portion may be provided on the nozzle outlet side of the expansion portion 1c. In addition, in FIG. 1, an arrow line shows the flow of raw material powder.

本件発明では、少なくとも上記膨張部1cの少なくとも、内周壁部が、窒化ケイ素セラミックスからなるセラミックス材(以下、単に窒化ケイ素セラミックスという)によって成形される。ここで、少なくとも内周壁部と言っているのは、膨張部の外周部に金属、耐熱樹脂等の材質を用いて、その内周壁部のみを、窒化ケイ素セラミックスでライニングした状態とするものを含む意味で記載している。このように外周部を金属、耐熱樹脂等で構成すると、内壁部にあるセラミック層を誤ってぶつけて、欠ける等の損傷が起こりにくく、取扱性に優れるものになる。 The present invention, at least of at least the expansion unit 1c, the inner wall portion, a ceramic material made of silicon nitride ceramics (hereinafter, simply referred to as silicon nitride ceramics) are formed form by the. Here, are speaking of at least the inner circumferential wall, the metal on the outer periphery of the expansion portion, by using a material such as a heat-resistant resin, only the inner circumferential wall, the one that a state of being lined with silicon nitride ceramics The meaning is included. If the outer peripheral portion is made of metal, heat-resistant resin or the like in this way, the ceramic layer on the inner wall portion is accidentally bumped, and damage such as chipping is unlikely to occur, and the handleability is excellent.

この膨張部1cの内周壁面は、最も原料粉末が付着し易く、これに起因するコールドスプレー用ノズルの閉塞が最も生じ易いので、この部分を窒化ケイ素セラミックスで、成形することによって、原料粉末の付着及びこれに起因するコールドスプレー用ノズルの閉塞を大幅に減少することができる。 The inner peripheral wall surface of the inflated portion 1c, easily adheres most raw material powder, so prone clogging of the nozzle for cold spray is most attributable to this, this part of silicon nitride ceramics, by molding, the raw material powder It is possible to greatly reduce the adhesion of the nozzle and the clogging of the cold spray nozzle due to this.

また、本件発明では、上述のように、少なくとも上記膨張部1cの内周壁面が窒化ケイ素セラミックスによって成形される必要があるが、上記圧縮部1b等の他の部分は、従来より用いられているコールドスプレー用ノズル材料であるステンレス鋼等で成形してもよい。しかし、好ましくは、他の部分も含めた全体の、少なくとも内周壁面が窒化ケイ素セラミックスによって成形されていることが望ましい。全体の内周壁面に、窒化ケイ素セラミックスが存在すると、膨張部1cのみならず圧縮部1b等においても、原料粉末の付着及びこれに起因するコールドスプレー用ノズルの閉塞を大幅に減少することができる。 Further, in the present invention, as described above, the inner peripheral wall surface of at least the expansion unit 1c has to be thus formed into silicon nitride ceramics, other parts such as the compressor unit 1b is conventionally used You may shape | mold with the stainless steel etc. which are the nozzle material for cold spray. However, preferably, the whole was, including other parts, it is desirable that at least the inner peripheral wall surface is thus formed into silicon nitride ceramics. The entire inner peripheral wall surface of the silicon nitride ceramics are present, even in not only the expansion unit 1c only the compressed portion 1b and the like, can be greatly reduced clogging of the nozzle for cold spray to adhere and due to the raw material powder it can.

従って、当該膨張部の全体を、窒化ケイ素セラミックスで構成することが好ましい。単一素材であり、加工が容易だからである。更に、コールドスプレー用ノズル1の全体が窒化ケイ素セラミックスにより、一体成形体として製造されることが経済性の点から望ましい。 Accordingly, the whole of the expansion portion is preferably formed of a silicon nitride ceramics. This is because it is a single material and easy to process. Further, the entire of the cold spray nozzle 1 is more silicon nitride ceramics, it is manufactured as an integral molded body is desirable from the viewpoint of economy.

膨張部1c等を、窒化ケイ素セラミックスの単一素材で製造する方法は、特に限定されないが、金型プレス成形、静水圧成形、射出成形、スリップキャスト成形、押出成形、などの成型法、反応焼結、常圧焼結、加圧焼結、再焼結等の焼結法のいずれかを選択的に用い、膨張部の形状を直接形成することが好ましい。セラミックス材の場合には、焼結後の物理加工が困難だからである。 How the expansion unit 1c, etc., are manufactured in a single material of silicon nitride ceramics is not particularly limited, die press molding, isostatic molding, injection molding, slip casting, molding such as extrusion molding, reaction It is preferable to directly form the shape of the expanded portion by selectively using any one of sintering methods such as sintering, normal pressure sintering, pressure sintering, and re-sintering. This is because, in the case of a ceramic material, physical processing after sintering is difficult.

ここで、窒化ケイ素セラミックスとは、窒化ケイ素(Si)を主成分とするセラミックスのことであり、ここでは窒化ケイ素の固溶体であるサイアロンを含める。この窒化ケイ素セラミックスは、耐熱性と靭性等の機械的性質のバランスに優れた、信頼性の高い構造用エンジニアリングセラミックスであり、共有結合によって強固に安定した結晶である。従って、上記のように耐熱性に優れ、また高硬度であり、また良好な耐摩耗性を有する。結晶構造は、低温相のα型が三方晶系で、高温相のβ型が六方晶系である。通常の窒化ケイ素は1400〜1600℃で相転移する。窒化ケイ素粉は、化学的に安定で、単純に高温に加熱しても焼結が進まない。実際には、焼結助剤である酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化イットリウム等を微量添加して粒界相をつくり、緻密な焼結体をとして得る。窒化ケイ素セラミックスは、1800℃以上で分解するが、熱膨張係数が3〜3.5×10−6K−1程度と低く、熱伝導率が比較的高いため放熱特性に優れ、耐スパッタリング特性にも優れ、コールドスプレー用ノズルには好適である。 Here, silicon nitride ceramics refers to ceramics mainly composed of silicon nitride (Si 3 N 4 ), and here includes sialon which is a solid solution of silicon nitride. This silicon nitride ceramics is a highly reliable structural engineering ceramic having an excellent balance of mechanical properties such as heat resistance and toughness, and is a crystal that is firmly stabilized by covalent bonding. Therefore, as described above, it has excellent heat resistance, high hardness, and good wear resistance. The crystal structure is such that the α type in the low temperature phase is trigonal and the β type in the high temperature phase is hexagonal. Ordinary silicon nitride undergoes a phase transition at 1400-1600 ° C. Silicon nitride powder is chemically stable and does not sinter even when heated simply to high temperatures. In practice, a minute amount of magnesium oxide, aluminum oxide, yttrium oxide, or the like, which is a sintering aid, is added to create a grain boundary phase to obtain a dense sintered body. Silicon nitride ceramics decompose at 1800 ° C. or higher, but have a low thermal expansion coefficient of about 3 to 3.5 × 10 −6 K−1 and a relatively high thermal conductivity, so that they have excellent heat dissipation characteristics and also have anti-sputtering characteristics. Excellent and suitable for cold spray nozzles.

図2は、本件発明に係るコールドスプレー装置の概略図である。図2において、ガス供給手段は、圧縮ガスボンベ2、作動ガスライン3及び搬送ガスライン4で形成されている。作動ガスライン3及び搬送ガスライン4には、それぞれ圧力調整器5a、5b、流量調節弁6a、6b、流量計7a、7b及び圧力ゲージ8a、8bが備えられ、圧縮ガスボンベ2からの作動ガス及び搬送ガスの圧力及び流量を調整している。   FIG. 2 is a schematic view of a cold spray apparatus according to the present invention. In FIG. 2, the gas supply means is formed of a compressed gas cylinder 2, a working gas line 3 and a carrier gas line 4. The working gas line 3 and the carrier gas line 4 are provided with pressure regulators 5a and 5b, flow rate regulating valves 6a and 6b, flow meters 7a and 7b, and pressure gauges 8a and 8b, respectively, and working gas from the compressed gas cylinder 2 and The pressure and flow rate of the carrier gas are adjusted.

作動ガスライン3には、電力源9により加熱されるヒーター10が配置され、作動ガスは、原料粉末の融点以下の温度に加熱された後、コールドスプレーガン11中のチャンバー12内に導入される。チャンバー12には、圧力計13と温度計14が設置され、圧力及び温度を制御している。   The working gas line 3 is provided with a heater 10 heated by an electric power source 9, and the working gas is heated to a temperature below the melting point of the raw material powder and then introduced into the chamber 12 in the cold spray gun 11. . A pressure gauge 13 and a thermometer 14 are installed in the chamber 12 to control pressure and temperature.

一方、原料粉末供給手段は、原料粉末供給装置15、これに付設される計量器16及び原料粉末供給ライン17により構成される。   On the other hand, the raw material powder supply means includes a raw material powder supply device 15, a meter 16 attached thereto, and a raw material powder supply line 17.

圧縮ガスボンベ2からの搬送ガスは、搬送ガスライン4を通り、原料粉末供給装置15に導入され、計量器16により計量された所定量の原料粉末を原料粉末供給ライン17を経て、チャンバー12内に搬送する。   The carrier gas from the compressed gas cylinder 2 passes through the carrier gas line 4, is introduced into the raw material powder supply device 15, and a predetermined amount of raw material powder measured by the measuring device 16 passes through the raw material powder supply line 17 into the chamber 12. Transport.

ここで用いられる原料粉末としては、金属、合金、金属間化合物等が挙げられるが、具体的には、ニッケル、鉄、銀、クロム又はこれらの合金の粉末等が例示される。   Examples of the raw material powder used here include metals, alloys, and intermetallic compounds, and specific examples thereof include nickel, iron, silver, chromium, and powders of these alloys.

搬送ガスによりチャンバー12内に搬送された原料粉末は、上記作動ガスを用いて超音速流としてコールドスプレー用ノズル1先端より噴出され、固相状態又は固液共存状態で基材18に衝突させて皮膜を形成する。   The raw material powder transported into the chamber 12 by the transport gas is ejected from the tip of the cold spray nozzle 1 as a supersonic flow using the working gas, and is collided with the base material 18 in a solid state or a solid-liquid coexistence state. Form a film.

ここに用いられるコールドスプレー用ノズル1は、上述したように、先細で円錐状の圧縮部1bと該圧縮部1bに連通する先広がりで円錐状の膨張部1cとを含み、少なくとも該膨張部1cの内周壁面が、窒化ケイ素セラミックスによって形成されている。 As described above, the cold spray nozzle 1 used here includes a tapered and conical compression portion 1b and a conical and expanding conical expansion portion 1c communicating with the compression portion 1b, and at least the expansion portion 1c. the inner peripheral wall surface of, are thus formed on the silicon nitride ceramics.

このため、上述したように、コールドスプレー操業時の原料粉末のコールドスプレー用ノズルへの付着及びこれに起因するコールドスプレー用ノズルの閉塞を大幅に減少できる。   For this reason, as described above, adhesion of the raw material powder to the cold spray nozzle during cold spray operation and blockage of the cold spray nozzle due to this can be greatly reduced.

以下、実施例等に基づき本件発明を具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described based on examples and the like.

[実施例1]
1に示すコールドスプレー用ノズルを、一体成形品として、窒化ケイ素セラミックスを用いて製造した。このコールドスプレー用ノズルを用いて、図2に示すコールドスプレー装置により、コールドスプレー操作を行った。コールドスプレー操業条件及び使用装置は、以下の表1の通りである。
[Example 1]
The nozzle cold spray shown in FIG. 1, as an integral molded article was produced using the silicon nitride ceramics. Using this cold spray nozzle, a cold spray operation was performed with the cold spray apparatus shown in FIG. The cold spray operating conditions and the equipment used are as shown in Table 1 below.

Figure 0004999520
Figure 0004999520

[参考例1][Reference Example 1]
図1に示されるノズルをジルコニアセラミックを用いて一体成形した。このノズルを用いた図2に示されるコールドスプレー装置によりコールドスプレーを行った。操業条件及び使用装置は、実施例1と同様である。The nozzle shown in FIG. 1 was integrally formed using zirconia ceramic. Cold spraying was performed by the cold spray apparatus shown in FIG. 2 using this nozzle. The operating conditions and the equipment used are the same as in Example 1.

[参考例2][Reference Example 2]
図1に示されるノズルを炭化ケイ素セラミックを用いて一体成形した。このノズルを用いた図2に示されるコールドスプレー装置によりコールドスプレーを行った。操業条件及び使用装置は、実施例1と同様である。The nozzle shown in FIG. 1 was integrally formed using silicon carbide ceramic. Cold spraying was performed by the cold spray apparatus shown in FIG. 2 using this nozzle. The operating conditions and the equipment used are the same as in Example 1.

[比較例1]
図1に示されるノズルを従来より用いられているステンレス鋼を用いて一体成形した。このノズルを用いた図2に示されるコールドスプレー装置によりコールドスプレーを行った。操業条件及び使用装置は、実施例1と同様である。
[Comparative Example 1]
The nozzle shown in FIG. 1 was integrally formed using conventionally used stainless steel. Cold spraying was performed by the cold spray apparatus shown in FIG. 2 using this nozzle. The operating conditions and the equipment used are the same as in Example 1.

実施例1、参考例1〜2及び比較例1のコールドスプレーを行った結果を表2にそれぞれ示す。Table 2 shows the results of cold spraying of Example 1, Reference Examples 1 and 2 and Comparative Example 1, respectively.

Figure 0004999520
Figure 0004999520

実施例と、参考例及び比較例との対比:上記表2から分かるように、ノズル摩耗の観点から見ると実施例参考例1〜2及び比較例も差異がない。作動ガス温度が500℃〜600℃と高いため、原料粉末が固液混合状態(セミソリッド)に近づき、コールドスプレー用ノズルの内壁部に対し、衝突する原料粒子の衝撃が小さくなる。従って、コールドスプレー用ノズルの構成材料の差異が明瞭に現れなくなると考えられる。 Example, Comparison Reference Example and Comparative Example: As seen from Table 2, Example 1 also Reference Examples 1 and 2 and Comparative Example 1 there is no difference in terms of nozzle wear. Since the working gas temperature is as high as 500 ° C. to 600 ° C., the raw material powder approaches a solid-liquid mixed state (semi-solid), and the impact of the raw material particles colliding with the inner wall portion of the cold spray nozzle is reduced. Therefore, it is considered that the difference in the constituent materials of the cold spray nozzle does not appear clearly.

ところが、ノズル閉塞の状況を見ると、比較例に比べて、明らかに実施例1及び参考例1〜2の方が勝っている。作動ガス温度が高く、原料粉末が固液混合状態に近づく程、コールドスプレー用ノズルの内壁部に対し、衝突する原料粒子の付着が顕著になる。比較例のステンレス鋼を用いて形成したコールドスプレー用ノズルの場合には、その付着現象が顕著に表れ、3〜4分で閉塞し、コールドスプレー操作が不可能になる。これに対し、実施例1及び参考例1〜2として示した窒化ケイ素セラミックス、ジルコニアセラミックス、炭化ケイ素セラミックスのいずれかのセラミックス材によって形成したコールドスプレー用ノズルの場合には、その内壁面に対する原料粒子の付着現象が起こりにくく、30分間の連続したコールドスプレー操作では、全くノズル閉塞は発生しない。 However, when the situation of nozzle blockage is seen, compared with Comparative Example 1 , Example 1 and Reference Examples 1-2 are clearly superior . The higher the working gas temperature is and the closer the raw material powder is to the solid-liquid mixed state, the more noticeable the adhering raw material particles adhere to the inner wall portion of the cold spray nozzle. In the case of the cold spray nozzle formed using the stainless steel of Comparative Example 1 , the adhesion phenomenon appears remarkably, and the plug is blocked in 3 to 4 minutes, so that the cold spray operation becomes impossible. On the other hand, in the case of a nozzle for cold spray formed by any one of silicon nitride ceramics, zirconia ceramics, and silicon carbide ceramics shown as Example 1 and Reference Examples 1 and 2 , raw material particles for the inner wall surface In the cold spray operation for 30 minutes, no nozzle clogging occurs.

しかし、参考例1〜2として示したジルコニアセラミックス及び炭化ケイ素セラミックスによって形成したコールドスプレー用ノズルの場合には、実施例1として示した窒化ケイ素セラミックスによって形成したコールドスプレー用ノズルに比べて、溶射効率に劣るものであった。However, in the case of the cold spray nozzle formed by zirconia ceramics and silicon carbide ceramics shown as Reference Examples 1 and 2, compared with the cold spray nozzle formed by silicon nitride ceramics shown as Example 1, the thermal spray efficiency It was inferior to.

本件発明に係るコールドスプレー用ノズル及び該ノズルを用いたコールドスプレー装置により、コールドスプレー操業時の原料粉末のノズルへの付着及びこれに起因するノズルの閉塞を大幅に減少でき、ノズルの長寿命化が達成できる。このため、ノズルの頻繁な交換が不要となる。従って、本件発明は、コールドスプレー技術の実用化にとって極めて有用である。   With the cold spray nozzle and the cold spray device using the nozzle according to the present invention, the adhesion of the raw material powder to the nozzle during cold spray operation and the resulting nozzle blockage can be greatly reduced, and the life of the nozzle is extended. Can be achieved. For this reason, frequent replacement of the nozzles becomes unnecessary. Therefore, the present invention is extremely useful for practical application of cold spray technology.

また、本件発明に係るコールドスプレー用ノズルの内周壁面は、セラミック材質を基本とするため、酸洗処理することが可能である。従って、仮に、原料粉末がコールドスプレー用ノズルの内周壁面に付着しても、酸溶液に浸漬する等して、内周壁への付着原料を容易に除去することが可能で、繰り返し使用の利便性も高まる。   Moreover, since the inner peripheral wall surface of the nozzle for cold spray according to the present invention is based on a ceramic material, it can be pickled. Therefore, even if the raw material powder adheres to the inner peripheral wall surface of the cold spray nozzle, the adhering raw material on the inner peripheral wall can be easily removed by immersing it in an acid solution, etc. The nature will also increase.

本件発明に係るコールドスプレー用ノズルの一実施形態を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows one Embodiment of the nozzle for cold spray which concerns on this invention. 本件発明に係るコールドスプレー装置の概略図である。It is the schematic of the cold spray apparatus which concerns on this invention.

1 コールドスプレー用ノズル
1a ノズル入口
1b 圧縮部
1c 膨張部
1d ノズル出口
2 圧縮ガスボンベ
3 作動ガスライン
4 搬送ガスライン
5a、5b 圧力調整器
6a、6b 流量調節弁
7a、7b 流量計
8a、8b 圧力ゲージ
9 電力源
10 ヒーター
11 コールドスプレーガン
12 チャンバー
13 圧力計
14 温度計
15 原料粉末供給装置
16 計量器
17 原料粉末供給ライン
18 基材
矢線 原料粉末の流れ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cold spray nozzle 1a Nozzle inlet 1b Compression part 1c Expansion part 1d Nozzle outlet 2 Compressed gas cylinder 3 Working gas line 4 Carrier gas line 5a, 5b Pressure regulator 6a, 6b Flow control valve 7a, 7b Flowmeter 8a, 8b Pressure gauge 9 Power source 10 Heater 11 Cold spray gun 12 Chamber 13 Pressure gauge 14 Thermometer 15 Raw material powder supply device 16 Meter 17 Raw material powder supply line 18 Substrate arrow line Flow of raw material powder

Claims (4)

先細で円錐状の圧縮部と該圧縮部に連通する先広がりで円錐状の膨張部とを含み、原料粉末を融点以下の作動ガスを用いて該圧縮部のノズル入口から流入させ、該膨張部先端のノズル出口より超音速流として噴出させるコールドスプレー用ノズルであって、
該膨張部は、少なくとも内周壁面が窒化ケイ素セラミックスからなるセラミックス材で形成されていることを特徴とするコールドスプレー用ノズル。
A tapered conical compression section and a conical and expanded expansion section communicating with the compression section, and the raw material powder is introduced from the nozzle inlet of the compression section using a working gas having a melting point or less, and the expansion section A cold spray nozzle that ejects as a supersonic flow from the nozzle outlet at the tip,
The expansion unit has a nozzle for cold spray, characterized in that at least the inner peripheral wall surface is formed of a ceramic material made of silicon nitride ceramics.
窒化ケイ素セラミックスからなるセラミックス材によって、膨張部及び圧縮部の全体を成形した請求項1に記載のコールドスプレー用ノズル。 A ceramic material made of silicon nitride ceramics, a nozzle for cold spray according to claim 1 obtained by forming the whole of the expansion section and the compression section. コールドスプレー用ノズルの膨張部と圧縮部とが一体成形されている請求項2に記載のコールドスプレー用ノズル。 The cold spray nozzle according to claim 2, wherein an expansion portion and a compression portion of the cold spray nozzle are integrally formed. 原料粉末を供給する原料粉末供給手段と、作動ガス及び搬送ガスを供給するガス供給手段と、該原料粉末を、融点以下の該作動ガスを用いて超音速流として噴出させるノズルを備えたコールドスプレーガンとを含むコールドスプレー装置であって、
該ノズルに請求項1〜請求項3のいずれかに記載のコールドスプレー用ノズルを用いることを特徴とするコールドスプレー装置。
Cold spray provided with raw material powder supply means for supplying raw material powder, gas supply means for supplying working gas and carrier gas, and a nozzle for ejecting the raw material powder as supersonic flow using the working gas below the melting point A cold spray device including a gun,
A cold spray apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the nozzle is a cold spray nozzle.
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