JP4993684B2 - Spray mill - Google Patents
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Description
この発明は、エアノズルから供給される高速の空気流によって被粉砕物を粉砕または解砕するジェットミルであり、より具体的には液晶表示装置用基板、PDP用基板、ガラス基板、シリコンウエハ等の基板表面上に所定の粒度分布を有する粉体を散布する散布用ジェットミルに関するものである。 The present invention is a jet mill that pulverizes or disintegrates an object to be pulverized by a high-speed air flow supplied from an air nozzle. More specifically, a liquid crystal display substrate, a PDP substrate, a glass substrate, a silicon wafer, etc. The present invention relates to a spray jet mill for spraying powder having a predetermined particle size distribution on a substrate surface.
従来、被粉砕物を粉砕する装置として、粉砕室の側壁に配置されたエアノズルから粉砕室の内部に供給される高速の空気流によって、被粉砕物を粉砕すると共に、旋回する空気流によって粉砕された被粉砕物の分級をも行なうジェットミルが知られている。例えば、特許文献1においては、ジェットミル本体の内部に形成される空間を、粉砕ゾーンと分級ゾーンとに分割し、粉砕ゾーンと分級ゾーンとの間に両者を分割すると共に連通する狭隘路を設け、被粉砕物の粒度のバラツキを小さくし高い分級精度が得られるようにしたジェットミルが開示されている。 Conventionally, as a device for pulverizing a material to be pulverized, the material to be pulverized is pulverized by a high-speed air flow supplied to the inside of the pulverization chamber from an air nozzle disposed on the side wall of the pulverization chamber, and is also pulverized by a swirling air flow. A jet mill that also classifies the object to be crushed is known. For example, in Patent Document 1, the space formed inside the jet mill main body is divided into a pulverization zone and a classification zone, and a narrow path is provided between the pulverization zone and the classification zone that is divided and communicated. A jet mill is disclosed in which variation in particle size of a material to be pulverized is reduced so that high classification accuracy can be obtained.
ジェットミルにより粉砕された被粉砕物の粉体は、例えば、基板間の間隙の保持のため、基板上に散布される場合がある。このような場合に用いられる装置として、例えば、特許文献2には、粉体を収容する容器内に加圧気体を供給して、粉体を容器からハウジング内に搬送し、ハウジング内に配置された複数の半導体ウエハ上に粉体を散布する際に、上記容器を加熱するとともに振動させて、乾燥した、塊状物のない粉体を散布可能とした装置が開示されている。また、特許文献3には、粒径10μm以下程度の微細な粒子を散布対象面全面に均一に散布すべく、粉体の吐出ノズルを気流式粉砕機(ジェットミル)の吐出口に直結して設け、かつ、筐体の内部に開口させた散布装置が開示されている。
The powder of the material to be pulverized by the jet mill may be dispersed on the substrate in order to maintain a gap between the substrates, for example. As an apparatus used in such a case, for example, in
更に、特許文献4には、スペーサを分散液の状態で収容し、所定の加圧力に応じ分散液を供給する供給装置と、この供給装置により定量的に供給された分散液を高速ガスの衝撃力により解砕するエジェクタと、解砕された粒子エアロゾルを所定位置まで移送し、基板上に散布する散布装置とを備えたスペーサの散布装置が開示されている。 Further, in Patent Document 4, a spacer is accommodated in the state of a dispersion, and a supply device that supplies the dispersion according to a predetermined pressure is applied. There is disclosed a spacer spraying device including an ejector that is crushed by force and a spraying device that transports the pulverized particle aerosol to a predetermined position and sprays it on a substrate.
また、特許文献5には、収納ボックス内に収納された液晶パネルに対して、気流に乗ったスペーサを放出するノズルと、このノズル内の気流中に突出するように設けられたスペーサ供給用吸引管と、この吸引管にスペーサを供給するスペーサ供給ボックスとを設け、スペーサを気流中に供給するための開口部を収納ボックス内に向かって開口するように吸引管を穿設させてなるスペーサ散布機構が開示されている。 Further, Patent Document 5 discloses a nozzle that discharges a spacer on an airflow with respect to a liquid crystal panel stored in a storage box, and a spacer supply suction provided so as to protrude into the airflow in the nozzle. A spacer supply box for supplying a spacer to the suction pipe and a spacer supply box for supplying a spacer to the suction pipe, and a spacer spray formed by opening a suction pipe so as to open an opening for supplying the spacer into the air flow toward the inside of the storage box A mechanism is disclosed.
そして、特許文献6には、被散布体と所定間隔離間して配置される散布ノズル管と、散布ノズル管を傾斜可能に支持する支持部と、散布ノズル管の上端側に設けられた第1のジョイント部と、所定の方向に平行もしくは所定角度傾斜させて並設され、第2のジョイント部がそれぞれ設けられた2個の直動アクチュエータと、第1のジョイント部と第2のジョイント部の各々とをそれぞれ連結する2本のロッドとを具備し、2個の直動アクチュエータの移動を合成して散布ノズル管を任意の方向に傾斜させて被散布体上に微粉体を散布する微粉体の散布装置が開示されている。
ところで、ジェットミルを用いて、被粉砕物(例えば、スペーサ)を粒度分布の小さい微粒子状に粉砕する場合、液晶表示パネル基板間の間隙を目標とする値に保持できない時がある。即ち、基板上に粒度分布の小さ過ぎるスペーサや粒度分布の大き過ぎるスペーサが散布された場合は所望の間隙が得られず、液晶表示パネルが不良のものとなる。従って、ジェットミルにより粉砕された被粉砕物の粉体を間隙保持用のスペーサとして用いる場合には、被粉砕物が所定の粒度分布を有するように粉砕されている必要がある。 By the way, when an object to be pulverized (for example, a spacer) is pulverized into fine particles having a small particle size distribution using a jet mill, the gap between the liquid crystal display panel substrates may not be maintained at a target value. That is, when spacers having a too small particle size distribution or spacers having a too large particle size distribution are scattered on the substrate, a desired gap cannot be obtained and the liquid crystal display panel becomes defective. Therefore, when the powder of the material to be pulverized by the jet mill is used as a spacer for maintaining a gap, the material to be pulverized needs to be pulverized so as to have a predetermined particle size distribution.
この発明の課題は、基板等の上に、それらの間隙保持用のスペーサとしての役割を果たす粉体を散布可能にすべく、被粉砕物を要求粒度分布を有する状態に粉砕することができる散布用ジェットミルを供給することである。 An object of the present invention is to disperse an object to be pulverized into a state having a required particle size distribution so that powders that serve as spacers for maintaining gaps can be dispersed on a substrate or the like. Is to supply a jet mill.
請求項1記載の散布用ジェットミルは、円盤状の空洞が形成されるジェットミル本体と、前記ジェットミル本体のリング状の側壁に間隔を開けて配置され、前記円盤状の空洞の中心線に対して所定の角度で空気流を噴出し、前記円盤状の空洞に高速の空気流を生じさせる複数のエアノズルと、前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞内に、被粉砕物を供給する被粉砕物供給口と、前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞の略中央に配置される出口とを備え、前記被粉砕物供給口は、前記ジェットミル本体の前記出口から前記被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられていることを特徴とする。 The spray jet mill according to claim 1 is arranged with a space between a jet mill main body in which a disk-shaped cavity is formed and a ring-shaped side wall of the jet mill main body, and a center line of the disk-shaped cavity. A plurality of air nozzles that eject an air flow at a predetermined angle to generate a high-speed air flow in the disk-shaped cavity, and a target for supplying a material to be crushed into the disk-shaped cavity of the jet mill body. A pulverized material supply port and an outlet disposed substantially at the center of the disk-shaped cavity of the jet mill body, and the pulverized material supply port pulverizes the material to be crushed from the outlet of the jet mill body. It is provided in the position of the radial direction according to the required particle size distribution at the time of carrying out.
この請求項1記載の散布用ジェットミルによれば、被粉砕物供給口がジェットミル本体の出口から被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられているため、所望の要求粒度分布を有する状態に被粉砕物を粉砕することができる。 According to the jet mill for spraying according to the first aspect, the object supply port is provided at a radial position corresponding to the required particle size distribution when the object to be pulverized is pulverized from the outlet of the jet mill main body. The object to be pulverized can be pulverized into a state having a desired required particle size distribution.
また、請求項2記載の散布用ジェットミルは、前記被粉砕物供給口が、前記ジェットミル本体に、前記要求粒度分布に応じた前記出口から半径方向にそれぞれ異なる距離を有する位置に複数設けられていることを特徴とする。
Further, in the spray jet mill according to
この請求項2記載の散布用ジェットミルは、要求粒度分布に応じた出口から半径方向の異なる位置に設けられた複数の被粉砕物供給口を備えている。従って、要求粒度分布に応じた被粉砕物供給口を介して被粉砕物を供給することにより、容易に所望の要求粒度分布を有する粉体を得ることができる。
The jet jet mill according to
また、請求項3記載の散布用ジェットミルは、前記被粉砕物供給口を介して前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞に前記被粉砕物を供給する被粉砕物供給装置を更に備え、前記被粉砕物供給装置と、前記円盤状の空洞とは、前記要求粒度分布に応じて前記被粉砕物供給口を切り換える切換装置を介して接続されていることを特徴とする。 The spray jet mill according to claim 3 further includes a pulverized material supply device that supplies the pulverized material to the disk-shaped cavity of the jet mill main body through the pulverized material supply port, The pulverized material supply device and the disk-shaped cavity are connected via a switching device that switches the pulverized material supply port according to the required particle size distribution.
この請求項3記載の散布用ジェットミルは、被粉砕物供給装置とジェットミル本体とが要求粒度分布に応じて被粉砕物供給口を切り換える切換装置を介して接続されている。従って、複数の被粉砕物供給口を要求粒度分布に応じて切り換えることによって、異なる粒度分布を有する粉体を一つのジェットミルを用いて容易に得ることができる。 In the spray jet mill according to the third aspect, the pulverized material supply device and the jet mill main body are connected via a switching device that switches the pulverized material supply port according to the required particle size distribution. Therefore, by switching the plurality of pulverized material supply ports according to the required particle size distribution, powders having different particle size distributions can be easily obtained using one jet mill.
また、請求項4記載の散布用ジェットミルは、円盤状の空洞が形成されるジェットミル本体と、前記ジェットミル本体のリング状の側壁に間隔を開けて配置され、前記円盤状の空洞の中心線に対して所定の角度で空気流を噴出し、前記円盤状の空洞に高速の空気流を生じさせる複数のエアノズルと、前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞内に、被粉砕物を供給する被粉砕物供給口と、前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞の略中央に配置される出口とを備え、前記円盤状の空洞は、前記複数のエアノズルから供給される前記高速の空気流によって前記被粉砕物を粉砕するリング状の粉砕ゾーンと、前記粉砕ゾーンの内側に配置され前記空気流によって前記被粉砕物を分級する分級ゾーンと、前記粉砕ゾーンと前記分級ゾーンとの間に配置され、前記粉砕ゾーンと前記分級ゾーンとを連通するリング状の狭隘路を有し、前記被粉砕物供給口は、前記ジェットミル本体の前記粉砕ゾーン及び/又は前記分級ゾーン内に該被粉砕物を供給する位置であって、前記ジェットミル本体の前記出口から前記被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられていることを特徴とする。 The spraying jet mill according to claim 4 is arranged with a space between a jet mill main body in which a disk-shaped cavity is formed and a ring-shaped side wall of the jet mill main body, and the center of the disk-shaped cavity A plurality of air nozzles that eject an air flow at a predetermined angle with respect to a line to generate a high-speed air flow in the disk-shaped cavity, and supply the object to be crushed into the disk-shaped cavity of the jet mill body To be crushed, and an outlet disposed substantially at the center of the disk-shaped cavity of the jet mill body, wherein the disk-shaped cavity has the high-speed air flow supplied from the plurality of air nozzles. A ring-shaped pulverization zone for pulverizing the material to be pulverized, a classification zone disposed inside the pulverization zone for classifying the material to be pulverized by the air flow, and between the pulverization zone and the classification zone A ring-shaped narrow path that communicates between the pulverization zone and the classification zone, and the pulverized material supply port is provided in the pulverization zone and / or the classification zone of the jet mill body. It is the position which supplies a thing, Comprising: It is provided in the position of the radial direction according to the required particle size distribution at the time of grind | pulverizing the said to-be-ground object from the said exit of the said jet mill main body .
この請求項4記載の散布用ジェットミルは、円盤状の空洞を形成する粉砕ゾーンと分級ゾーンとが狭隘路により連通され、被粉砕物供給口が、ジェットミル本体の粉砕ゾーン及び又は分級ゾーン内に被粉砕物を供給する位置であって、ジェットミル本体の出口から被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられている。従って、粉砕ゾーン及び/又は分級ゾーン内に被粉砕物を供給すること、即ち、粉砕ゾーン内にのみ、又は分級ゾーン内にのみ、或いはその両者内に被粉砕物を供給することにより、様々な要求粒度分布を満たす粉体を容易に得ることができ、さらに、被粉砕物を粉砕ゾーン及び/又は分級ゾーン内に供給する被粉砕物供給口の位置に応じて、所望の要求粒度分布を有する粉体が得られる。 In the spray jet mill according to claim 4, the pulverization zone forming the disk-shaped cavity and the classification zone are communicated by a narrow path, and the pulverized material supply port is provided in the pulverization zone and / or classification zone of the jet mill main body. Is provided at a position in the radial direction corresponding to a required particle size distribution when the object to be pulverized is pulverized from the outlet of the jet mill main body . Accordingly, by supplying the material to be pulverized into the pulverization zone and / or the classification zone, that is, by supplying the material to be pulverized only into the pulverization zone, only into the classification zone, or both, A powder satisfying the required particle size distribution can be easily obtained , and further, the powder has a desired required particle size distribution depending on the position of the pulverized material supply port for supplying the pulverized material into the pulverization zone and / or the classification zone. A powder is obtained.
また、請求項5記載の散布用ジェットミルは、前記狭隘路が、所定の開口幅を有し、該所定の開口幅は、前記要求粒度分布に応じて調整可能であることを特徴とする。 The spray jet mill according to claim 5 is characterized in that the narrow path has a predetermined opening width, and the predetermined opening width can be adjusted according to the required particle size distribution.
この請求項5記載の散布用ジェットミルによれば、狭隘路の開口幅を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整することができるため、所望の要求粒度分布を満たす粉体を容易に得ることができる。 According to the jet mill for spraying according to claim 5 , since the particle size distribution of the obtained powder can be adjusted by adjusting the opening width of the narrow path, the powder satisfying the desired required particle size distribution can be obtained. Can be easily obtained.
また、請求項6記載の散布用ジェットミルは、前記狭隘路が、前記円盤状の空洞の半径方向の所定の位置に形成され、該半径方向の所定の位置は、前記要求粒度分布に応じて調整可能であることを特徴とする。
In the spray jet mill according to
この請求項6記載の散布用ジェットミルによれば、狭隘路が形成される位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整することができるため、所望の要求粒度分布を満たす粉体を容易に得ることができる。
According to the jet mill for spraying according to
また、請求項7記載の散布用ジェットミルは、前記高速の空気流によって前記被粉砕物が粉砕される際に、前記円盤状の空洞を形成する前記ジェットミル本体の壁面と前記被粉砕物との間に生じる衝突及び/又は摩擦により、粉砕された前記被粉砕物の粉体を帯電させることを特徴とする。 The spray jet mill according to claim 7 , wherein when the object to be crushed is pulverized by the high-speed air stream, the wall surface of the jet mill body that forms the disk-shaped cavity, the object to be crushed, The powder of the pulverized object to be pulverized is charged by collision and / or friction generated during the process.
この請求項7記載の散布用ジェットミルは、粉砕された被粉砕物の粉体を帯電させている。従って、粉体の凝集を防止し、散布装置内において均一に粉体の散布を行なうことができる。 The spray jet mill according to claim 7 charges the powder of the pulverized object to be pulverized. Therefore, the aggregation of the powder can be prevented, and the powder can be uniformly sprayed in the spraying device.
この発明の散布用ジェットミルにおいては、ジェットミル本体の出口から被粉砕物の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に被粉砕物供給口が設けられている。従って、基板等の上に、それらの間隙保持用のスペーサとしての役割を果たす粉体を散布可能にすべく、被粉砕物を微粒子状の粉体と粗く粉砕された粉体とが適切な割合で混在する所望の要求粒度分布を有する状態に粉砕することができる。 In the jet mill for spraying of the present invention, the object supply port is provided at a radial position corresponding to the required particle size distribution of the object to be pulverized from the outlet of the jet mill body. Therefore, the finely divided powder and the coarsely pulverized powder are appropriately mixed so that the powder serving as a spacer for holding the gaps can be dispersed on the substrate or the like. Can be pulverized into a state having a desired required particle size distribution.
また、この発明の散布用ジェットミルにおいては、ジェットミル本体の円盤状の空洞が、狭隘路により連通される粉砕ゾーンと分級ゾーンとにより形成され、被粉砕物供給口が、粉砕ゾーン及び/又は分級ゾーン内に被粉砕物を供給する位置に設けられている。従って、基板等の上に、それらの間隙保持用のスペーサとしての役割を果たす粉体を散布可能にすべく、被粉砕物を微粒子状の粉体や粗く粉砕された粉体や又はそれらが適切な割合で混在する所望の要求粒度分布を有する状態に粉砕することができる。 In the spray jet mill of the present invention, the disc-shaped cavity of the jet mill body is formed by a pulverization zone and a classification zone communicated by a narrow path, and the pulverized material supply port is provided in the pulverization zone and / or It is provided in the position which supplies a to-be-ground material in a classification zone. Therefore, in order to be able to disperse the powder that serves as a spacer for holding the gaps on the substrate or the like, the object to be crushed is finely divided powder, coarsely pulverized powder, or they are appropriate. It can grind | pulverize in the state which has the desired required particle size distribution mixed in a small ratio.
また、この発明の散布用ジェットミルによれば、粉砕された被粉砕物の粉体を帯電させているため、粉体の凝集を適切に防止し、後段の散布装置において均一に粉体の散布を行なうことができる。また、散布装置内部を粉体と同一の極性に帯電させた場合には、粉体の散布装置内への付着を防止し、効率的な散布を行なうことができる。 In addition, according to the jet mill for spraying of the present invention, since the powder of the pulverized material to be pulverized is charged, powder agglomeration is appropriately prevented and the powder is uniformly distributed in the subsequent spraying device. Can be performed. Further, when the inside of the spraying device is charged to the same polarity as the powder, it is possible to prevent the powder from adhering to the spraying device and perform efficient spraying.
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態に係る散布用ジェットミルについて説明する。図1は、第1の実施の形態に係る散布用ジェットミルの概略構成を示した縦断面図である。ジェットミルは、ジェットミル本体2と該ジェットミル本体2に被粉砕物(例えば、液晶用スペーサ、酸化アルミニウム:Al2O3、酸化マグネシウム:MgO、樹脂粉、塗料粉、その他金属酸化物等)を供給する被粉砕物供給装置16とを備え、被粉砕物供給装置16とジェットミル本体2とは、供給管18a〜18cを介して接続されている。また、ジェットミル本体2には、粉砕室8の略中央に設けられた出口6を介して排出される粉体を、後述する散布装置内に吐出する吐出ノズル22が接続されている。
A spray jet mill according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a schematic configuration of a spray jet mill according to a first embodiment. The jet mill has a jet mill
ジェットミル本体2は、図1に示すように、上方に向いた凹部を有する円板状の下部材10と下方に向いた凹部を有する円板状の上部材12とを備え、内部に円盤状の空洞である粉砕室8が形成されている。また、上部材12には、下部材10との間に形成される粉砕室8内に被粉砕物を供給する複数の被粉砕物供給口14a〜14cが設けられている。各被粉砕物供給口14a〜14cは、それぞれ粉砕室8の略中心に設けられた出口6から被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられている。
As shown in FIG. 1, the jet mill
また、ジェットミル本体2と、被粉砕物供給装置16とを接続している供給管18a〜18cには、ジェットミル本体2へ被粉砕物を供給する際に用いられる被粉砕物供給口を要求粒度分布に応じて切り換える切換弁(切換装置)20a〜20cが設けられている。ここで、粉砕物供給装置16は、例えば、圧縮空気等と共に被粉砕物をジェットミル本体2に搬送し供給する。従って、被粉砕物の搬送経路である供給管18a〜18cに設けられた切換弁20a〜20cを開閉することにより、被粉砕物供給口の切り換えを行なうことが可能となる。また、吐出ノズル22は、後述する散布装置とジェットミル本体2とを接続するものである。
Further, the supply pipes 18 a to 18 c connecting the jet mill
図2は、第1の実施の形態に係る散布用ジェットミル(ジェットミル本体2)の概略構成を示した平面断面図(下部材10と上部材12とが接合されている部分における平面断面図)である。ジェットミル本体2には、下部材10と上部材12とにより形成されるリング状(円筒状)の側壁に、円盤状の粉砕室8の中心線100に対して所定の角度で空気流を噴出するエアノズル4が略等間隔で複数配置されている。なお、粉砕室8を形成する下部材10と上部材12とは、空気や粉砕された被粉砕物の微粉末等が外部に漏洩するのを防止すべく、Oリング等のシール材によりシールされている(図示省略)。
FIG. 2 is a plan sectional view showing a schematic configuration of a spray jet mill (jet mill main body 2) according to the first embodiment (a plan sectional view in a portion where the
また、空気流は、図示しない圧縮空気源から供給される圧縮空気が図示しない管路を経てエアノズル4に供給され、エアノズル4において絞られ高速の空気流となり、粉砕室8の内部に噴出することによって供給される。ここで、エアノズル4は、リング状の側壁に、粉砕室8内に噴出する空気流の角度が、粉砕室8の中心線100に対して80〜40度(リング状の側壁の接線に対して10〜50度)、より好ましくは70〜50度(接線に対して20〜40度)となるように配置されている。なお、エアノズル4の数は、ジェットミル本体2の大きさによっても異なり、図2に示す場合に限定されるものではない。
Further, the compressed air supplied from a compressed air source (not shown) is supplied to the air nozzle 4 through a pipe line (not shown), and the air flow is squeezed by the air nozzle 4 to become a high-speed air flow and is jetted into the
そして、図2に示すエアノズル4から供給される空気流が粉砕室8の内部に高速で噴出し、主に、噴出される空気流の持つ剪断作用により被粉砕物が粉砕される。また、噴出される空気流が粉砕室8の内部で高速に旋回することによって、粉砕室8の内部に供給された被粉砕物も高速で旋回し、この旋回運動によって被粉砕物が相互に或いは粉砕室8の壁面と衝突することによっても粉砕される。
Then, the air flow supplied from the air nozzle 4 shown in FIG. 2 is ejected into the grinding
粉砕室8において被粉砕物が粉砕される際に、粉砕室8の壁面(ジェットミル本体2の内壁)と被粉砕物とが接触し、被粉砕物と壁面との間に生じる衝突及び/又は摩擦によって、粉砕された被粉砕物が帯電する(トリボ帯電)。
When the object to be pulverized is pulverized in the
例えば、被粉砕物供給口14aを介して被粉砕物の供給を行う場合には、切換弁20aにより被粉砕物供給口14aに接続されている供給管18aを開放し、切換弁20bにより被粉砕物供給口14bに接続されている供給管18bを閉鎖すると共に、切換弁20cにより被粉砕物供給口14cに接続されている供給管18cを閉鎖する。同様に、被粉砕物供給口14bを介して被粉砕物の供給を行なう場合には、切換弁20bにより被粉砕物供給口14bに接続されている供給管18bを開放し、切換弁20a及び切換弁20cにより、それぞれ供給管18a及び18cを閉鎖し、被粉砕物供給口14cを介して被粉砕物の供給を行なう場合には、切換弁20cにより被粉砕物供給口14cに接続されている供給管18cを開放し、切換弁20a及び切換弁20bにより、それぞれ供給管18a及び18bを閉鎖し、被粉砕物供給口の切換を行なう。ここで、被粉砕物供給口の位置が出口6に近い程、粉体の粒度分布は広がりを有し、被粉砕物供給口の位置が出口から遠くなる程、粉体の粒度分布は集中した(均一性の高い)ものとなる。即ち、ジェットミル本体2に供給された被粉砕物は、粉砕室8において粉砕されるが、充分に粉砕された粉体は、遠心力が小さいため出口6を介して排出される。一方、充分に粉砕されていない大径の粉体は遠心力が大きいため、出口6を介して排出されず、引き続き粉砕が行なわれることになる。ここで、出口6の近くから被粉砕物を供給すると、一部の粉体は充分に粉砕されていない大径の状態で出口6から排出されることになり、粒度分布が所定の広がりを有する状態となる。そして、被粉砕物を供給する位置が出口に近い程、粉体の粒度分布は広がりを有する状態となる。
For example, when the material to be crushed is supplied via the material to be crushed supply port 14a, the supply pipe 18a connected to the material to be crushed supply port 14a is opened by the switching valve 20a and the material to be crushed by the switching valve 20b. The supply pipe 18b connected to the
従って、図1に示す被粉砕物供給口14a〜14cのうち、被粉砕物供給口14aを介して被粉砕物が供給された場合は、粒度分布が最も広がりを有する状態となり、被粉砕物供給口14cを介して被粉砕物が供給された場合は、粒度分布が最も集中した状態となる。なお、被粉砕物供給口14a〜14cの位置は、予め行なわれた所定の実験等の結果を用いて決定される。また、図1においては、3つの被粉砕物供給口が設けられている場合を示しているが、被粉砕物供給口の数は任意に決定することができ、例えば、最適な要求粒度分布が1つの場合には、当該要求粒度分布に対応する位置にのみ被粉砕物供給口が設けられていてもよい。 Therefore, among the pulverized material supply ports 14a to 14c shown in FIG. 1, when the pulverized material is supplied through the pulverized material supply port 14a, the particle size distribution becomes the most widened state, and the pulverized material supply is performed. When the material to be crushed is supplied through the mouth 14c, the particle size distribution is most concentrated. In addition, the positions of the pulverized object supply ports 14a to 14c are determined using the result of a predetermined experiment or the like performed in advance. Further, FIG. 1 shows a case where three pulverized material supply ports are provided, but the number of pulverized material supply ports can be arbitrarily determined. For example, the optimum required particle size distribution is In one case, the pulverized product supply port may be provided only at a position corresponding to the required particle size distribution.
ここで、被粉砕物の供給は、被粉砕物供給口14a〜14cの内、要求粒度分布に対応する何れかの被粉砕物供給口を選択して行なわれるが、必要な場合には、複数の被粉砕物供給口から同時に被粉砕物の供給を行うようにしてもよい。また、必要な場合には、粉砕処理が行われている最中に、被粉砕物供給口の切り換えを行なうようにしてもよい。 Here, the supply of the object to be crushed is performed by selecting any one of the object supply ports corresponding to the required particle size distribution among the object supply ports 14a to 14c to be pulverized. The material to be crushed may be simultaneously supplied from the object to be crushed supply port. Further, if necessary, the pulverized material supply port may be switched during the pulverization process.
なお、上述の第1の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいては、被粉砕物供給口が要求粒度分布に応じた出口から半径方向に略直線状に配置されているが、被粉砕物供給口の配置は直線状に限られるものではない。即ち、要求粒度分布に応じた出口から半径方向の位置であれば、何れの位置に被粉砕物供給口を配置してもよい。 In the spray jet mill according to the first embodiment described above, the pulverized material supply port is arranged substantially linearly in the radial direction from the outlet corresponding to the required particle size distribution. The arrangement of the mouth is not limited to a straight line. That is, the pulverized product supply port may be arranged at any position as long as the position is in the radial direction from the outlet corresponding to the required particle size distribution.
図3は、第1の実施の形態に係るジェットミルを備える散布装置30の概略構成図である。散布装置30は、散布された粉体が周囲に飛散するのを防止する円筒状の筐体32を備え、該筐体32の上部には、吐出ノズル22を介してジェットミル本体2が接続されている。また、筐体32内部には、粉体の散布対象である基板を載置する載置台34が設置されており、底面には筐体32内の空気及び余分な粉体を筐体32の外に排出する排出管36が設けられている。排出管36を介して筐体32内の空気を排出することにより、吐出ノズル22を介して供給される粉体を効率的に筐体32内に取り込むことができる。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a
また、筐体32には、図3に示すように、開閉部材38が配置されている。そして、開閉部材38には図示しない昇降装置が接続されており、該昇降装置により開閉部材38の昇降が行なわれる。即ち、筐体32内に基板が搬入(搬出)される際には、昇降装置により開閉部材38を下降させ、例えば、ロボット等により基板を搬入(搬出)する。一方、基板に対して粉体の散布を行なう際には、昇降装置により開閉部材38を上昇させ搬送空間を閉鎖する。
Further, as shown in FIG. 3, an opening / closing
また、筐体32には、筐体32を帯電させるために電源42が接続されており、筐体32は、供給される粉体と同一の極性に帯電される。例えば、供給される粉体が正の極性に帯電している場合には、筐体32も正の極性に帯電され、粉体が筐体32の内壁に付着することを防止している。また、粉体が帯電されている場合には、粉体の基板への塗着効率を向上させるべく、載置台34を粉体と異なる極性に帯電させることが有効である。この場合、一般には、載置台を接地することによって、載置台を粉体と異なる極性に帯電させた場合と同等の効果を得ることができる。
In addition, a
なお、粉体が帯電している場合、粉体が相互に凝集することを防止すると共に、上述のように筐体32を粉体と同一の極性に帯電させることによって、筐体32の壁面に粉体が付着することを防止し、粉体の使用量を減少させることができる。また、載置台34を粉体と異なる極性に帯電させることによって、粉体の粒子を速やかに沈降させ、効率的な散布を行なうことができる。
When the powder is charged, the powder is prevented from agglomerating with each other, and the
次に、図3に示す散布装置における粉体の散布処理について説明する。まず、昇降装置により開閉部材38を下降させて搬送空間を形成し、該搬送空間からロボット等により散布装置30内に基板を搬入し載置台34上に載置する。載置台34に基板が載置された後、昇降装置により開閉部材38を上昇させて搬送空間を閉鎖する。次に、被粉砕物供給口14a〜14cの中から、所望の要求粒度分布に対応する被粉砕物供給口を選択し、被粉砕物供給口の切り換えを行なう。例えば、被粉砕物供給口14aが選択された場合には、切換弁20aにより被粉砕物供給口14aに接続されている供給管18aを開放し、被粉砕物供給口14b及び14cに接続されている供給管18b及び18cを切換弁20b及び20cにより閉鎖することによって、被粉砕物供給口の切り換えを行なう。
Next, the powder dispersion process in the dispersion apparatus shown in FIG. 3 will be described. First, the opening / closing
次に、被粉砕物供給装置16から一回の散布処理で散布される粉体に対応する量の被粉砕物が、選択された被粉砕物供給口を介してジェットミル本体2に供給される。ジェットミル本体2においては、選択された被粉砕物供給口から被粉砕物が供給されることによって、これが所望の要求粒度分布を有する状態に粉砕される。なお、ジェットミル本体2において被粉砕物が粉砕される際に、粉砕室8内の内壁と被粉砕物との間に生じる摩擦により粉体が帯電する。
Next, an amount of the object to be pulverized corresponding to the powder sprayed in one spraying process is supplied to the jet mill
ジェットミル本体2において粉砕された粉体は、出口6及び吐出ノズル22を介して散布装置30の筐体32内に排出され、基板上に散布される。ここで、粉体が吐出ノズル22を介して筐体32内に排出される際に、吐出ノズル22の内壁と粉体との間に生ずる摩擦により粉体が更に帯電する。また、筐体32内は、粉体と同一の極性に帯電している。そして、散布装置30においては、昇降装置により開閉部材38を下降させて搬送空間を形成し、該搬送空間からロボット等により所望の要求粒度分布を有する粉体が散布された基板を搬出する。
The powder pulverized in the
次に、図面を参照して第2の実施の形態に係る散布用ジェットミルについて説明する。なお、第2の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいて、第1の実施の形態に係る散布用ジェットミルと同一の構成については同一の符号を用い、重複する構成については詳細な説明を省略する。 Next, a spray jet mill according to a second embodiment will be described with reference to the drawings. In the spray jet mill according to the second embodiment, the same reference numerals are used for the same components as those of the spray jet mill according to the first embodiment, and detailed description of the overlapping components is omitted. To do.
図4は、第2の実施の形態に係る散布用ジェットミルの概略構成を示した縦断面図である。ジェットミルは、ジェットミル本体2と被粉砕物供給装置16とを接続する供給管18が2本であり、被粉砕物供給口14が2つであること、及び粉砕室8が粉砕ゾーン8bと分級ゾーン8aに分割されている点を除き、第1の実施の形態に係る散布用ジェットミルと同一の構成となっている。従って、重複部分に関する詳細な説明は省略する。
FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing a schematic configuration of a spray jet mill according to the second embodiment. The jet mill has two
この実施の形態に係るジェットミル本体2では、円盤状の空洞として形成された粉砕室8の半径方向の位置の略中間の位置に、粉砕室8の内部に形成されたリング状の障壁である上部分級リング21a及び下部分級リング21bが配置されており、粉砕室8を外側のリング状の粉砕ゾーン8bと内側のリング状の分級ゾーン8aとに分割している。
The
上部分級リング21aと下部分級リング21bとは、略対称となる形状であり、図4に示すように、上部分級リング21aは上部材12に、下部分級リング21bは下部材10に、それぞれが対向する位置に設置されている。そして、上部分級リング21aの下部分級リング21bと対向する面と、下部分級リング21bの上部分級リング21aと対向する面とにより、所定の開口幅を有する狭隘路23が形成されている。
The upper partial ring 21a and the lower
粉砕室8に配置される上部分級リング21a及び下部分級リング21bの粉砕ゾーン8b側の壁面は、図4に示すように、粉砕ゾーン8bにおいて粉砕されている被粉砕物が、充分に粉砕されるまで粉砕ゾーン8bから分級ゾーン8aに流入しないように、円弧状の凹部を有する形状となっている。また、上部分級リング21a及び下部分級リング21bの分級ゾーン8a側の壁面は、図4に示すように、上部分級リング21a及び下部分級リング21bの間の狭隘路23を通過した被粉砕物が、分級ゾーン8aに滑らかに流入するように、円弧状の凸部を有する形状となっている。
As shown in FIG. 4, the wall of the upper partial ring 21a and the lower
狭隘路23の開口幅は、上部分級リング21a又は下部分級リング21bを交換することにより、任意の開口幅に変更することができる。即ち、上部分級リング21a及び下部分級リング21bとして、狭隘路23の開口幅が種々の開口幅となるものを用意し、粉砕室8に配置する上部分級リング21a又は下部分級リング21bを交換することにより、所望の要求粒度分布に応じて狭隘路23の開口幅を変更することができる。
The opening width of the
図5は、下部分級リング21bを交換することによって、図4に示す場合よりも狭隘路23の開口幅を狭くした場合を示す図である。なお、図5においては、下部分級リング21bを交換することによって、狭隘路23の開口幅を調整しているが、上部分級リング21aを交換することによって、狭隘路23の開口幅を調整するようにしてもよい。また、上部分級リング21a及び下部分級リング21bをそれぞれ交換することによって、狭隘路23の開口幅を調整してもよい。狭隘路23の開口幅を調整することにより、得られる粉体の粒度分布を調整し、所望の要求粒度分布を有する粉体を得ることができる。なお、実際に被粉砕物の粉砕を行なう際には、予め行なわれた所定の実験結果等に基づき、所望の要求粒度分布に対応する開口幅を有する状態に狭隘路23の開口幅が設定される。
FIG. 5 is a diagram showing a case where the opening width of the
また、上部分級リング21a及び下部分級リング21bを交換することにより、狭隘路23の形成位置を調整することにより、得られる粉体の要求粒度分布を調整することができる。図6は、狭隘路23の形成位置を変更した場合のジェットミル本体2の一例を示す図である。
Moreover, the required particle size distribution of the obtained powder can be adjusted by changing the formation position of the
図6においては、図4に示す場合と比較して、狭隘路23を粉砕室8の中心線100から遠ざけた位置に形成している。狭隘路23の形成位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整し、所望の要求粒度分布を有する粉体を得ることができる。なお、実際に被粉砕物の粉砕を行なう際には、予め行なわれた所定の実験結果等に基づき、所望の要求粒度分布に対応する形成位置に狭隘路23が形成される。
In FIG. 6, the
図7は、狭隘路23の形状を変更した場合のジェットミル本体2の一例を示す図である。図7においては、粉砕室8に配置される上部分級リング21a及び下部分級リング21bの分級ゾーン8a側の壁面は、分級ゾーン8a内に供給された被粉砕物が、分級ゾーン8aから粉砕ゾーン8bに流入しにくいように、円弧状の凹部を有する形状となっている。また、上部分級リング21a及び下部分級リング21bの粉砕ゾーン8b側の壁面は、図7に示すように、粉砕ゾーン8bにおいて粉砕された被粉砕物が、分級ゾーン8aに滑らかに流入するように、円弧状の凸部を有する形状となっている。
FIG. 7 is a diagram illustrating an example of the jet mill
ここで、狭隘路23の開口幅を調整すると共に、狭隘路23の形状を調整するようにしてもよい。即ち、狭隘路23の開口幅及び形状に関して、予め所定の実験を行い、該実験の結果に基づいて、所望の要求粒度分布に対応する開口幅及び形成位置を設定し、被粉砕物の粉砕を行うようにしてもよい。
Here, while adjusting the opening width of the
また、第2の実施の形態に係るジェットミルにおいては、第1の実施の形態に係るジェットミル同様、粉砕室8において被粉砕物が粉砕される際及び粉体が吐出ノズル22を介して吐出される際のそれぞれの場合において衝突及び/又は摩擦帯電により粉体が帯電する。
In the jet mill according to the second embodiment, as in the jet mill according to the first embodiment, when the material to be crushed is pulverized in the
なお、上述の第2の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいては、上部分級リング及び下部分級リングを設置することにより狭隘路を形成しているが、分級リングを用いることなく、狭隘路を形成するようにしてもよい。即ち、ジェットミル本体を構成する上部材と下部材とを、それぞれ所定の凸部を有する形状とすることによって、狭隘路を形成するようにしてもよい。この場合には、上部材又は下部材、若しくは上部材及び下部材を交換することによって、狭隘路の幅を変更することができ、上部材及び下部材を交換することによって、狭隘路の形成位置を変更することができる。 In the spray jet mill according to the second embodiment described above, the narrow path is formed by installing the upper partial ring and the lower partial ring, but the narrow ring is not used without using the classification ring. A path may be formed. That is, you may make it form a narrow path by making the upper member and lower member which comprise a jet mill main body into the shape which each has a predetermined convex part. In this case, the width of the narrow path can be changed by exchanging the upper member or the lower member, or the upper member and the lower member, and the position where the narrow path is formed by exchanging the upper member and the lower member. Can be changed.
また、上述の第2の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいて、分級ゾーン内に被粉砕物を供給する被粉砕物供給口の位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整するようにしてもよい。その場合は、狭隘路の開口幅や形成位置を調整することなく、被粉砕物供給口の位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布を調整することができる。 In the spray jet mill according to the second embodiment described above, the particle size distribution of the obtained powder is adjusted by adjusting the position of the pulverized material supply port for supplying the pulverized material into the classification zone. You may make it do. In that case, the particle size distribution of the powder to be obtained can be adjusted by adjusting the position of the pulverized material supply port without adjusting the opening width or the formation position of the narrow path.
更に、被粉砕物供給口の位置、狭隘路の開口幅及び狭隘路の形成位置を調整することによって、得られる粉体の粒度分布の微調整を行なうようにしてもよい。即ち、被粉砕物供給口の位置、狭隘路の開口幅及び狭隘路の形成位置を組合わせ、それぞれについて調整を行うことによって、得られる粉体の粒度分布を適切に調整することができる。また、この場合に、予め行われた実験結果等に基づいて、被粉砕物供給口の位置、狭隘路の開口幅及び狭隘路の形成位置の最適な組み合わせを設定し、被粉砕物の粉砕を行うようにしてもよい。 Further, the particle size distribution of the obtained powder may be finely adjusted by adjusting the position of the object to be crushed, the opening width of the narrow path, and the formation position of the narrow path. That is, the particle size distribution of the obtained powder can be adjusted appropriately by combining the position of the object to be crushed, the opening width of the narrow path, and the position where the narrow path is formed, and making adjustments for each. In this case, based on the results of experiments conducted in advance, the optimum combination of the position of the object to be pulverized, the opening width of the narrow path and the position of formation of the narrow path is set, and the object to be pulverized You may make it perform.
図8は、第2の実施の形態に係るジェットミルを備える散布装置30の概略構成図である。図8に示す散布装置は、図3に示す散布装置が備えるジェットミル(第1の実施の形態に係るジェットミル)とは異なるジェットミル(第2の実施の形態に係るジェットミル)を備えている以外は同一の構成であるため、詳細な説明を省略する。また、図8に示す散布装置における粉体の散布処理も、図3に示す散布装置における粉体の散布処理と同様の処理に行なわれるものであるため、詳細な説明は省略する。
FIG. 8 is a schematic configuration diagram of a
上述の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいては、要求粒度分布を有する状態に被粉砕物を粉砕している。従って、散布装置により、基板上にスペーサとしての役割を果たす粉体を散布することができる。 In the spray jet mill according to the above-described embodiment, the material to be pulverized is pulverized in a state having the required particle size distribution. Therefore, the powder that serves as a spacer can be sprayed on the substrate by the spraying device.
なお、上述の実施の形態に係る散布用ジェットミルにおいては、エアノズルがリング状の側壁に略等間隔で配置されているが、エアノズルの配置は略等間隔に限られるものではない。即ち、粉砕室内において、被粉砕物を粉砕するために必要な空気流を供給できる状態であれば、略等間隔に配置されていなくてもよい。 In the spray jet mill according to the above-described embodiment, the air nozzles are arranged at substantially equal intervals on the ring-shaped side wall, but the arrangement of the air nozzles is not limited to substantially equal intervals. That is, as long as an air flow necessary for pulverizing the object to be pulverized can be supplied in the pulverization chamber, the air flow may not be arranged at substantially equal intervals.
2・・・ジェットミル本体、4・・・エアノズル、6・・・出口、8・・・粉砕室、8a・・・分級ゾーン、8b・・・粉砕ゾーン、10・・・下部材、12・・・上部材、14a〜14b・・・被粉砕物供給口、18a〜18c・・・供給管、20a〜20c・・・切換弁、21a・・・上部分級リング、21b・・・下部分級リング、22・・・吐出ノズル、23・・・狭隘路、30・・・散布装置。 2 ... jet mill main body, 4 ... air nozzle, 6 ... outlet, 8 ... grinding chamber, 8a ... classification zone, 8b ... grinding zone, 10 ... lower member, 12. ..Upper member, 14a to 14b ... object to be crushed supply port, 18a to 18c ... supply pipe, 20a to 20c ... switching valve, 21a ... upper partial ring, 21b ... lower part Class ring, 22 ... discharge nozzle, 23 ... narrow path, 30 ... spraying device.
Claims (7)
前記ジェットミル本体のリング状の側壁に間隔を開けて配置され、前記円盤状の空洞の中心線に対して所定の角度で空気流を噴出し、前記円盤状の空洞に高速の空気流を生じさせる複数のエアノズルと、
前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞内に、被粉砕物を供給する被粉砕物供給口と、
前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞の略中央に配置される出口とを備え、
前記被粉砕物供給口は、
前記ジェットミル本体の前記出口から前記被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられていることを特徴とする散布用ジェットミル。 A jet mill body in which a disk-shaped cavity is formed;
The jet mill main body is arranged with a space between the ring-shaped side walls, and an air flow is ejected at a predetermined angle with respect to the center line of the disk-shaped cavity, thereby generating a high-speed air flow in the disk-shaped cavity. A plurality of air nozzles,
In the disk-shaped cavity of the jet mill main body, an object supply port for supplying an object to be pulverized,
An outlet disposed substantially in the center of the disk-shaped cavity of the jet mill body,
The object to be crushed supply port is
A spray jet mill for spraying, which is provided at a radial position corresponding to a required particle size distribution when the material to be crushed is pulverized from the outlet of the jet mill body.
前記ジェットミル本体に、前記要求粒度分布に応じた前記出口から半径方向にそれぞれ異なる距離を有する位置に複数設けられていることを特徴とする請求項1記載の散布用ジェットミル。 The object to be crushed supply port is
2. The spray jet mill according to claim 1, wherein a plurality of spray mills are provided in the jet mill main body at positions having different distances in the radial direction from the outlet according to the required particle size distribution.
前記被粉砕物供給装置と、前記円盤状の空洞とは、前記要求粒度分布に応じて前記被粉砕物供給口を切り換える切換装置を介して接続されていることを特徴とする請求項2記載の散布用ジェットミル。 A pulverized material supply device for supplying the pulverized material to the disk-shaped cavity of the jet mill main body through the pulverized material supply port;
The said to-be-ground material supply apparatus and the said disk-shaped cavity are connected via the switching apparatus which switches the said to-be-ground material supply port according to the said required particle size distribution. Spray mill for spraying.
前記ジェットミル本体のリング状の側壁に間隔を開けて配置され、前記円盤状の空洞の中心線に対して所定の角度で空気流を噴出し、前記円盤状の空洞に高速の空気流を生じさせる複数のエアノズルと、
前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞内に、被粉砕物を供給する被粉砕物供給口と、
前記ジェットミル本体の前記円盤状の空洞の略中央に配置される出口とを備え、
前記円盤状の空洞は、
前記複数のエアノズルから供給される前記高速の空気流によって前記被粉砕物を粉砕するリング状の粉砕ゾーンと、
前記粉砕ゾーンの内側に配置され前記空気流によって前記被粉砕物を分級する分級ゾーンと、
前記粉砕ゾーンと前記分級ゾーンとの間に配置され、前記粉砕ゾーンと前記分級ゾーンとを連通するリング状の狭隘路を有し、
前記被粉砕物供給口は、
前記ジェットミル本体の前記粉砕ゾーン及び/又は前記分級ゾーン内に該被粉砕物を供給する位置であって、
前記ジェットミル本体の前記出口から前記被粉砕物を粉砕する際の要求粒度分布に応じた半径方向の位置に設けられていることを特徴とする散布用ジェットミル。 A jet mill body in which a disk-shaped cavity is formed;
The jet mill main body is arranged with a space between the ring-shaped side walls, and an air flow is ejected at a predetermined angle with respect to the center line of the disk-shaped cavity, thereby generating a high-speed air flow in the disk-shaped cavity. A plurality of air nozzles,
In the disk-shaped cavity of the jet mill main body, an object supply port for supplying an object to be pulverized,
An outlet disposed substantially in the center of the disk-shaped cavity of the jet mill body,
The disk-shaped cavity is
A ring-shaped crushing zone for crushing the material to be crushed by the high-speed air flow supplied from the plurality of air nozzles;
A classification zone disposed inside the pulverization zone for classifying the material to be crushed by the air flow;
It is arranged between the pulverization zone and the classification zone, and has a ring-shaped narrow path that communicates the pulverization zone and the classification zone,
The object to be crushed supply port is
A position for supplying the material to be crushed into the pulverization zone and / or the classification zone of the jet mill body ;
A spray jet mill for spraying, which is provided at a radial position corresponding to a required particle size distribution when the material to be crushed is pulverized from the outlet of the jet mill body .
所定の開口幅を有し、該所定の開口幅は、前記要求粒度分布に応じて調整可能であることを特徴とする請求項4記載の散布用ジェットミル。 The narrow road is
The spray jet mill according to claim 4 , wherein the spraying mill has a predetermined opening width, and the predetermined opening width can be adjusted according to the required particle size distribution.
前記円盤状の空洞の半径方向の所定の位置に形成され、該半径方向の所定の位置は、前記要求粒度分布に応じて調整可能であることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の散布用ジェットミル。 The narrow road is
Is formed at a predetermined position in the radial direction of the disc-shaped cavity, the predetermined position of the radially of claim 4 or claim 5, wherein the adjustable in response to the request particle size distribution Spray mill for spraying.
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