JP4986401B2 - 太陽電池の製造方法及び装置 - Google Patents

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本発明は、太陽電池セルにタブリードを半田付けして太陽電池を製造する方法及び装置に関するものである。
近年環境問題を解決する一環として、太陽エネルギーを活用して発電を行う太陽電池の需要が高まっている。この太陽電池は、太陽光(太陽エネルギー)を電気エネルギーに変換する複数の太陽電池セルをタブリードで電気的に接続している。この場合、タブリード表面には予め半田が設けられており、タブリードを太陽電池セルに配置した状態でこの半田を溶融温度まで加熱することにより、タブリードを固定するものであるが、この場合の加熱方法としては温風を吹き付けて加熱する方式と、ランプヒータから赤外線を照射して加熱する方式とがある。
このうち、温風による加熱方式では、タブリードに集中して温風を吹き付けられるものの、局所的に温度が上昇するため、太陽電池セルに割れが生じやすくなる。近年ではシリコン材料が入手困難となっている関係上、太陽電池セルの厚みは200ミクロンまで薄くなっており、この割れの問題は顕著となる。
一方、ランプヒータによる加熱方式では、係る温風による場合に比して集中した加熱はできないものの、太陽電池セルを全体的加熱することになるため、局所的な加熱による割れの問題を解消できる(例えば、特許文献1参照)。
特開2000−22188
図3は複数の太陽電池セルSをタブリードTによって電気的に接続して構成されるストリングのうちの一つの太陽電池セルSの平面図を示している。タブリードTを半田付けする場合は、その上方から押付装置によってタブリードTを太陽電池セルSに押し付けなければならない関係上、ランプヒータはこの押付装置を避けて、太陽電池セルSからみて外側(図3の左右方向)の斜め上方から赤外線を照射することになる。
この場合、ランプヒータは係る斜め上方(例えば45度の角度)からタブリードTに向けて配置されるものであるが、ランプヒータから赤外線は拡散するため、ランプヒータに最も近くなるタブリードTよりランプヒータ側の部分P(図3に破線で示す領域)が過剰に加熱され、図6の左側に示すようにタブリードTの部分で温度が上がらず、逆にランプヒータ側の部分Pの温度が異常に高くなって太陽電池セルSに損傷が生じる問題があった。
本発明は、係る従来の技術的課題を解決するために成されたものであり、ランプヒータによりタブリードを半田付けして太陽電池を製造する方法及び装置であって、太陽電池セルの過剰な加熱による損傷の発生を防止若しくは抑制することを目的とする。
請求項の発明の太陽電池の製造方法は、太陽電池セルにタブリードを電気的に接続する際に、タブリードを太陽電池セルに配置し、押付装置によりタブリードを押さえ付けながら、ランプヒータによりタブリードに向けて斜め外側方向から赤外線を照射し、太陽電池セルを全体的に加熱する工程を備え、赤外線の照射によりタブリードの半田を溶融温度まで加熱すると共に、ランプヒータに近接する部分の太陽電池セルに照射される赤外線を制限し、ランプヒーターに近接する部分の太陽電池セルの過熱を抑制することを特徴とする。
請求項の発明の太陽電池の製造方法は、上記において遮蔽板によってランプヒータに近接する部分の太陽電池セルに照射される赤外線を制限することを特徴とする。
請求項の発明の太陽電池の製造装置は、太陽電池セルにタブリードを電気的に接続するものであって、太陽電池セルに配置されたタブリードを押さえ付ける押付装置と、タブリードに向けて斜め外側方向から赤外線を照射するランプヒータとを備え、太陽電池セルを全体的に加熱することが可能な太陽電池の製造装置であって、ランプヒーターに近接する部分の前記太陽電池セルの過熱を抑制するために、ランプヒータから照射される赤外線を制限する手段を備えることを特徴とする。
請求項の発明の太陽電池の製造装置は、上記においてランプヒータの赤外線照射面の下側部分を遮蔽板により覆ったことを特徴とする。
本発明によれば、タブリード周辺の温度を効果的に上昇させ、良好な半田付けによるタブリードの接続を実現しながら、タブリード周辺以外の部分の太陽電池セルの温度上昇による損傷の発生を防止若しくは抑制することができるようになる。
特に、ランプヒータの赤外線照射面の下側部分を遮蔽板により覆うようにすれば、簡単な構成でランプヒータに近接する部分の太陽電池セルの過剰加熱を防止若しくは抑制することができるようになる。
以下、図面に基づき本発明の実施形態を詳述する。
図1は本発明を適用した一実施例の太陽電池製造装置1のタブリード半田付け工程を示す側面図、図2は同正面図である。尚、各図中図3と同一符号で示すものは同一とする。実施例の太陽電池製造装置1のタブリード半田付け工程では、単結晶シリコンや多結晶シリコンなどの結晶型の他、アモルファスシリコンを用いた非結晶型、或いは、単結晶(結晶係基板)を基板としてその両面にシリコンの非結晶層を形成した単結晶・アモルファスハイブリッド型HIT(Heterojunction with Intrinsic Thin−layer)などの複数の太陽電池セルSを、左右二条のタブリードT、Tで電気的に接続することによりストリング2を製造する工程である。
図中3は無端ベルトから構成されたコンベア(搬送手段)であり、所定時間停止した後、所定距離移動すると云う間欠的な動作により、太陽電池セルSを図1中向かって右方向に搬送するものである。4はコンベア3の所定の半田付け位置の上方に配置された押付装置であり、図示しない駆動手段によって上下動される複数のピン4A・・から構成されている。尚、このピン4A・・は図2に示すように配置される二条のタブリードT、Tの垂直上方にそれぞれ対応して配置されている。また、この押付装置4の下方に対応する位置のコンベア3下側には、電気ヒータから構成されたホットプレート(下側加熱手段)6が設けられており、作業中常時通電されている。
更に、この押付装置4を避けた位置のコンベア3上方、即ち、図2の奥方をコンベア3の進行方向とすると、このコンベア3の進行方向において押付装置4の左右外側に対応する位置のコンベア3上方には、ランプヒータ7、7が設けられている。各ランプヒータ7、7は、通電されて赤外線を放射する赤外線ランプLから構成されており、この赤外線ランプLを収納する内面が反射鏡面とされたケース8とから構成されている。このケース8の一面には石英ガラス9が嵌め込まれ、赤外線ランプLから放射される赤外線の照射面7A(赤外線照射面)とされている。
また、図2の右側のランプヒータ7は、その赤外線ランプLと図2の右側のタブリードTとを結ぶ線に照射面7Aが直交するように斜めに配置されると共に、図2の左側のランプヒータ7は、その赤外線ランプLと図2の左側のタブリードTとを結ぶ線に照射面7Aが直交するように斜めに配置されている。これにより、図2の右側のランプヒータ7の赤外線ランプLから放射された赤外線は図2の右側のタブリードTに向けて斜め右上方(水平なコンベア面に対して例えば45度)から照射されると共に、図2の左側のランプヒータ7の赤外線ランプLから放射された赤外線は図2の左側のタブリードTに向けて斜め左上方(同上)から照射されることになる。
そして、更に実施例では各ランプヒータ7、7の照射面7A、7Aの下側の部分所定範囲には、遮蔽板11がそれぞれ取り付けられている。この遮蔽板11は照射面7Aの下側を通過する赤外線を完全に遮る役割を果たす。この場合、図2の右側のランプヒータ7の遮蔽板11により照射面7Aが遮られる範囲は、図2の右側のランプヒータ7の赤外線ランプLから放射された赤外線が図2の右側のタブリードT及びその左側に照射され、タブリードTより当該ランプヒータ7に近くなる範囲の太陽電池セルSに照射される赤外線を遮るように設定されると共に、図2の左側のランプヒータ7の遮蔽板11により照射面7Aが遮られる範囲は、図2の左側のランプヒータ7の赤外線ランプLから放射された赤外線が図2の左側のタブリードT及びその右側に照射され、タブリードTより当該ランプヒータ7に近くなる範囲の太陽電池セルSに照射される赤外線を遮るように設定される。
以上の構成で次に太陽電池製造装置1のタブリード半田付け工程における動作を説明する。先ず、表面に半田が塗布されたタブリードTが、コンベア3の進行方向における左右に二条配置される。次に、これらタブリードT、Tの後部(コンベア3の進行方向における後部)半分の上に太陽電池セルSを載置する(図1の左側矢印で示す)。次に、コンベア3が所定距離移動され、太陽電池セルSが前述した所定の半田付け位置に移動されて所定時間停止する。次に、この太陽電池セルSの上に同じく左右二条のタブリードT、Tの前部を載置する。
この場合、太陽電池セルSは上面がプラス側、下面がマイナス側となる。また、タブリードTの前部及び後部は、太陽電池セルSの上面及び下面の全幅(コンベア3の進行方向における全幅)に渡って載置されると共に、太陽電池セルSのコンベア3の進行方向における左右端よりもそれぞれ所定距離内側に配置される(図2)。
このように太陽電池セルSの上下面に二条のタブリードT、Tを当接させ、配置した状態で、この停止時間中、押付装置4の各ピン4A・・が降下し、タブリードT、Tを太陽電池セルSの上面に押し付ける。尚、下側のタブリードT、Tもコンベア3に挟まれて太陽電池セルSの下面に押し付けられる。
このように太陽電池セルSにタブリードTを押し付けた状態で、ランプヒータ7、7の赤外線ランプL、Lに通電して赤外線を放射させる。各赤外線ランプL、Lから放射された赤外線は、照射面7A、7Aを通過して上面のタブリードT、Tに向けて斜め外側方向から照射され、タブリードT、Tの半田が溶融温度まで加熱される。尚、下面のタブリードT、Tも上面からの赤外線照射に伴う温度上昇による熱伝導と下面のホットプレート6からの加熱によって半田が溶融温度まで加熱される。
ここで、ランプヒータ7の赤外線ランプLから放射された赤外線は拡散するため、太陽電池セルSがランプヒータ7に最も近くなるタブリードTよりランプヒータ側の部分、即ち、コンベア3の進行方向におけるタブリードT、Tより外側となる部分(図3にPで示す部分)には最も強く赤外線が当たることになり、そのままでは図6の左側に示すようにタブリードT、T部分で温度が上がらず、その外側となる部分が過剰に加熱されて温度上昇し、その部分の太陽電池セルSに損傷が生じる。
しかしながら、上述した如くランプヒータ7の照射面7Aの下側部分には遮蔽板11が取り付けられており、当該部分に向かう赤外線を遮る(制限)ので、図6の右側に示すように太陽電池セルSの温度がタブリードT、T周辺の部分で最も高くなる。これにより、タブリードTの半田付けは良好に行われるようになる。一方、タブリードT周辺以外の部分、即ち、タブリードTとTの間、及び、各タブリードT、Tの外側となる部分(図3のP)の温度はタブリードT周辺の温度より上昇せず、タブリードT周辺の温度より低くなるので(図6右側参照)、タブリードT周辺以外の部分、即ち、タブリードT、Tの間やタブリードTよりランプヒータに近くなる部分が過剰に加熱され、温度が異常に高くなって太陽電池セルSに損傷が生じることを防止若しくは抑制することができる。
このように押付装置4でタブリードTを太陽電池セルSに押し付けながらランプヒータ7、7から赤外線を所定時間照射した後、赤外線ランプL、Lは消灯される。尚、この消灯後も押付装置4はピン4A・・によりタブリードTを太陽電池セルSに押し付けておき、半田が冷えてタブリードTが太陽電池セルSに確実に接続されるまで待つ。
この間に上面のタブリードT、Tの後部には太陽電池セルSが載置される。その後、コンベア3が所定距離移動され、この新たに載置された太陽電池セルS上が半田付け位置に移動されて再びタブリードT、Tがその上面に載置される。以後、この工程を繰り返してストリング2を製造するものである。
尚、実施例ではランプヒータ7の照射面7Aの下側部分に遮蔽板11を取り付けることで、太陽電池セルSのタブリードTよりランプヒータ7側となる部分への赤外線の照射を遮るようにしたが、それに限らず、照射面7Aに嵌め込まれた石英ガラス9の下側部分のみ、光を遮る塗料にて塗装して赤外線を遮断し、或いは、石英ガラス9の下側部分のみを磨りガラスにして部分Pへの赤外線の一部を遮り、その通過量を制限する方法によっても、過剰加熱に伴う太陽電池セルSの損傷防止効果は期待できる。
次に、図4は本発明の他の実施例の太陽電池製造装置の正面図を示している。尚、図中図1乃至図3と同一符号で示すものは同一若しくは同様の機能を奏するものとする。この場合は、各ランプヒータ7、7の照射面7A、7Aの下側及び上側の部分所定範囲に遮蔽板11、11がそれぞれ取り付けられている。係る構成によれば、ランプヒータ7から遠くなる範囲の太陽電池セルSに照射される赤外線も遮ることができるようになる。
これにより、ランプヒータ7、7の赤外線ランプLから放射された赤外線を、一層集中してタブリードT、Tに照射することができるようになり、太陽電池セルSの熱による損傷を一層効果的に軽減することができるようになる。
次に、図5は本発明の更に他の実施例の遮蔽板11の正面図を示している。この場合、遮蔽板11にはスリット11Aが複数形成されている。このスリット11Aの数や面積を調整することにより、遮蔽板11を透過して照射される赤外線の量を制御することができるようになるので、太陽電池セルSに生じる温度分布を制御して、タブリードTを確実に固定しながら、割れをより一層効果的に軽減できるようになる。尚、このように遮蔽板11にスリット11Aを形成する代わりに、遮蔽板11自体を枠状とし、この枠内にブラインド式に調節可能な開閉シャッターを設ければ、より一層簡単に赤外線の透過量の調整を行うことができるようになる。
ここで、上記各実施例では押付装置4によって上方からのみ上面のタブリードTを太陽電池セルSに押し付け、下面のタブリードTはホットプレート6で加熱するようにしたが、それに限らず、下面のタブリードTも同様の押付装置によって下方から太陽電池セルSに押し付け、斜め下方外側から同様のランプヒータによって赤外線を照射してもよい。その場合にも同様の遮蔽板を取り付けるものとする。
また、実施例では左右にランプヒータ7、7を一個ずつ設けたが、それに限らず、左右に複数のランプヒータをそれぞれ設けてそれぞれのタブリードT、Tに複数箇所から赤外線を照射してもよい。
更に、実施例ではタブリードT、T上方の押付装置4を避ける位置にランプヒータ7、7を設けたが、逆にランプヒータ7を太陽電池セルSの上方(又は、上方及び下方)に複数配置し、係るランプヒータ7・・・を避ける構造の押付装置でタブリードTを押し付けてもよい。その場合には、タブリードT周辺以外でも各ランプヒータ7・・・からの赤外線が重畳する部分(例えばタブリードT、Tの間)の太陽電池セルSの温度が上昇することになるので、係る重畳部分への赤外線の照射を制限する遮蔽板を設けると良い。
更にまた、実施例ではランプヒータからの赤外線の照射中、太陽電池セルを停止させているが、それに限らず、タブリードTを太陽電池セルSに押し付けた状態で、移動させながらランプヒータ7の位置を通過させて連続的にランプヒータ7から赤外線を照射する方式でも本発明は有効である。
本発明を適用した太陽電池製造装置の側面図である。 図1の太陽電池製造装置の正面図である。 タブリードを接続した太陽電池セルの正面図である。 本発明の他の実施例の太陽電池製造装置の正面図である。 本発明の太陽電池製造装置の他の実施例の遮蔽板の正面図である。 タブリード半田付け工程における太陽電池セル表面温度を示す図である。
符号の説明
1 太陽電池製造装置
2 ストリング
3 コンベア
4 押付装置
6 ホットプレート
7 ランプヒータ
9 遮蔽板
L 赤外線ランプ
S 太陽電池セル
T タブリード

Claims (4)

  1. 太陽電池セルに右側のタブリードおよび左側のタブリード半田によって電気的に接続して太陽電池を製造する方法であって、
    前記右側のタブリードおよび前記左側のタブリードを前記太陽電池セルに配置する工程と
    押付装置により前記右側のタブリードおよび前記左側のタブリードを押さえ付けながら、右側のランプヒータにより前記右側のタブリードおよび前記右側のタブリードの左側の前記太陽電池セル上面に向けて前記右側のタブリードの斜め右上方から赤外線を照射するとともに、左側のランプヒータにより前記左側のタブリードおよび前記左側のタブリードの右側の前記太陽電池セル上面に向けて前記左側のタブリードの斜め左上方から赤外線を照射する工程を備え、
    外線の照射により半田を溶融温度まで加熱すると共に、
    前記右側のランプヒータから前記右側のタブリードの右側の前記太陽電池セル上面に照射される赤外線を制限し、前記左側のランプヒータから前記左側のタブリードの左側の前記太陽電池セル上面に照射される赤外線を制限することを特徴とする太陽電池の製造方法。
  2. 遮蔽板によって前記右側のランプヒータから前記右側のタブリードの右側の前記太陽電池セル上面に照射される赤外線を制限し、前記左側のランプヒータから前記左側のタブリードの左側の前記太陽電池セル上面に照射される赤外線を制限することを特徴とする請求項1記載の太陽電池の製造方法。
  3. 太陽電池セルに右側のタブリードおよび左側のタブリードを電気的に接続する太陽電池の製造装置において、
    前記太陽電池セルに配置された前記右側タブリードおよび前記左側のタブリードを押さえ付ける押付装置と、
    前記右側のタブリードおよび前記右側のタブリードの左側の前記太陽電池セル上面に向けて前記右側のタブリードの斜め右上方から赤外線を照射する右側のランプヒータと
    前記左側のタブリードおよび前記左側のタブリードの右側の前記太陽電池セル上面に向
    けて前記左側のタブリードの斜め左上方から赤外線を照射する左側のランプヒータと、を備え太陽電池の製造装置であって、
    前記右側のランプヒータから前記右側のタブリードの右側の前記太陽電池セル上面に照射される赤外線を制限する手段と、前記左側のランプヒータから前記左側のタブリードの左側の前記太陽電池セル上面に照射される赤外線を制限する手段と、を備えることを特徴とする太陽電池の製造装置。
  4. 前記右側のランプヒータから前記右側のタブリードの右側の前記太陽電池セル上面に照射される赤外線を制限する右側の遮蔽板と、前記左側のランプヒータから前記左側のタブリードの左側の前記太陽電池セル上面に照射される赤外線を制限する左側の遮蔽板と、を備えることを特徴とする請求項3の太陽電池の製造装置。
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KR101182879B1 (ko) 2010-09-30 2012-09-13 건국대학교 산학협력단 태양전지 리본 솔더링 장치 및 방법
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61185566A (ja) * 1985-02-12 1986-08-19 Otsuka Chem Co Ltd 摺動部材用樹脂組成物
JPH1187756A (ja) * 1997-09-05 1999-03-30 Mec:Kk 太陽電地セル面への金属タブの重合状ハンダ付け方法及びその用具
JP2000196232A (ja) * 1998-12-28 2000-07-14 Optrex Corp はんだ付け方法およびはんだ付け装置
JP3948946B2 (ja) * 2001-11-30 2007-07-25 三洋電機株式会社 タブリードの半田付け方法と半田付け装置
JP3761495B2 (ja) * 2002-05-17 2006-03-29 トヤマキカイ株式会社 リードの溶着装置

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