JP4986170B2 - 太陽電池用基板の作製方法 - Google Patents
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Description
(1)金属基板の表面を陽極酸化し、多孔質金属酸化膜を形成する工程及び該多孔質金属酸化膜を除去し、金属基板表面に凹部が周期的で連続した凹部構造を露出する工程を含む太陽電池用基板の作製方法。
(2)上記金属は、アルミニウムであることを特徴とする(1)に記載の太陽電池用基板の作製方法。
(3)上記凹部構造は、凹部がハニカム状に配置されていることを特徴とする(2)に記載の太陽電池用基板の作製方法。
(4)上記凹部構造は、凹部の直径が0.5〜1.2ミクロンの範囲及びその深さが0.1〜0.3ミクロンの範囲にあることを特徴とする(1)ないし(3)のいずれかに記載の太陽電池用基板の作製方法。
なお、本発明における金属基板には、薄いシート状の金属基板あるいは絶縁基板上に金属薄膜を形成した基板も含まれる。
図1は、本発明にかかる太陽電池用基板及び太陽電池の作製方法を示したものである。まず、平坦度の高いアルミニウム基板もしくは表面にアルミニウム薄膜を形成した基板を用意する(図1A)。この時の平坦度は、作製しようとする凹部構造の高さよりも小さいことが望ましい。このアルミニウム基板を、濃度1〜10%のリン酸水溶液中、200V程度の定電圧条件で陽極酸化処理する。このとき、溶液を十分に攪拌するとともに、望ましくは温度を10℃以下に保つ。
次いで、酸化アルミニウム膜を濃度10〜20%程度のリン酸水溶液によりエッチングし除去する。この結果、凹部がハニカム状に配置された凹部構造を持つアルミニウム基板が得られる(図1C)。
なお、さらにエッチングを継続して、凹部構造をなだらかなものにしてもよい。
すなわち、この基板上に銀、透明導電膜を製膜し、さらに結晶層を含むn型、真性及びp型の薄膜シリコン層を化学気層堆積法により製膜する。この上に反射防止効果を発揮するよう厚さを調整した透明導電膜及び銀電極を形成し、太陽電池とする(図1D)。
このように、本発明にかかる薄膜太陽電池用基板は、陽極酸化条件を変えることにより、形成される凹部の大きさを変化させることができ、これによって光閉じ込め効果及び得られる電流値を制御することができる。
2 多孔質酸化アルミニウム膜
3 酸化アルミニウム膜に形成された孔
4 下部銀電極
5 下部透明導電膜
6 n型シリコン薄膜
7 真性シリコン薄膜
8 p型シリコン薄膜
9 上部透明導電膜
10 上部銀電極
Claims (4)
- 金属基板の表面を陽極酸化し、多孔質金属酸化膜を形成する工程及び該多孔質金属酸化膜を除去し、金属基板表面に凹部が周期的で連続した凹部構造を露出する工程を含む太陽電池の作製方法。
- 上記金属は、アルミニウムであることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の作製方法。
- 上記凹部構造は、凹部がハニカム状に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の太陽電池の作製方法。
- 上記凹部構造は、凹部の直径が0.5〜1.2ミクロンの範囲及びその深さが0.1〜0.3ミクロンの範囲にあることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の太陽電池の作製方法。
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