JP4983205B2 - Film peeling device - Google Patents

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JP4983205B2 JP2006293866A JP2006293866A JP4983205B2 JP 4983205 B2 JP4983205 B2 JP 4983205B2 JP 2006293866 A JP2006293866 A JP 2006293866A JP 2006293866 A JP2006293866 A JP 2006293866A JP 4983205 B2 JP4983205 B2 JP 4983205B2
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film peeling device which can easily be incorporated into a narrow space in a transfer passage for a sheet with a film and is small in installation space width. <P>SOLUTION: A second lifting table 13 is set movable along one side of the sheet 2 with the film on the table 13 from a peeling start station A located between a temporary joining station 5 and a lamination station 6 to a peeling completion station B. The peeling head 25 of the film peeling device 1 is set movable to cross the moving orbit L of the second lifting table 13 in the peeling start station A. The adhesive tape of the peeling head 25 is adhered to the corner part 2a on the peeling start end side of the sheet 2 with the film. By the linkage between the peeling head 25 and the second lifting table 13, the peeling head 25 is moved relatively to the sheet 2 with the film along the diagonal line from the peeling start end side corner part 2a to the peeling finish end side corner part 2b of the sheet 2 with the film to peel a film 26. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&amp;INPIT

Description

この発明は、積層チップコンデンサー等の積層電子部品を製造するセラミックグリーンシート等のフイルム付シートからフイルムを剥離するフイルム剥離装置に関する。   The present invention relates to a film peeling apparatus for peeling a film from a sheet with a film such as a ceramic green sheet for manufacturing a multilayer electronic component such as a multilayer chip capacitor.

従来のフイルム剥離装置には、特許文献1〜4に記載のものが提案されている。
特許文献1には、グリーンセラミックス基板を保持する保持台の上方位置に水平方向に移動できる台車を設け、その台車にフイルムの耳を剥離する粘着ローラを備えたアームと、粘着ローラにより剥離されたフイルムの耳を開閉爪で把持して斜め上方へ引き上げる引上げ機構とを設け、粘着ローラをフイルム付基板の端部に接触させた状態で台車を移動させ、粘着ローラが回転することで基板端部のフイルムの耳を剥離し、そのフイルムの耳を引上げ機構の開閉爪で把持して引上げると共に台車を移動させてフイルムを剥離し、開閉爪がフイルムの把持を開放するようにしたフイルム剥離装置が記載されている。
As conventional film peeling apparatuses, those described in Patent Documents 1 to 4 have been proposed.
In Patent Document 1, a carriage that can move in the horizontal direction is provided above a holding base that holds a green ceramic substrate, and an arm that includes an adhesive roller that peels off the ears of the film is peeled off by the adhesive roller. A pulling mechanism that grips the film ears with an opening / closing nail and pulls it up obliquely, moves the carriage while the adhesive roller is in contact with the end of the substrate with the film, and rotates the adhesive roller to rotate the end of the substrate. Film peeling device that peels off the film ears, grips and lifts the film ears with the opening and closing claws of the pulling mechanism and moves the carriage to peel the film, and the opening and closing claws release the film gripping. Is described.

特許文献2には、ドラムを回転させる回転駆動機構と、ドラムを周速と等速度で径方向に移動させるリニア駆動機構と、ドラムを上下させる上下動機構とを備え、ドラムの円周面の一部に設けた平坦な吸着面をセラミックグリーンシートの端縁部に当ててその端縁部を吸着し、その状態でドラムを他方の端縁部に向かって移動させると共に転がり回転させ、キャリアフイルムをドラムの周面で押えた状態でそのキャリアフイルムを剥離し、吸着面での吸着を解除してキャリアフイルムを廃棄するようにしたキャリアフイルム剥離装置が記載されている。   Patent Document 2 includes a rotational drive mechanism that rotates a drum, a linear drive mechanism that moves the drum in a radial direction at a constant speed with a peripheral speed, and a vertical movement mechanism that moves the drum up and down. A flat suction surface provided in a part is applied to the edge of the ceramic green sheet to suck the edge, and in this state, the drum is moved toward the other edge and rotated to rotate the carrier film. A carrier film peeling apparatus is described in which the carrier film is peeled off while being pressed by the peripheral surface of the drum, the suction on the suction surface is released, and the carrier film is discarded.

特許文献3には、フイルム付シート体を固定支持する支持手段と、粘着部を有し、シート体のフイルム端部に接着した状態で振動しながら回転してフイルムを巻き取る剥しローラと、剥しローラをシート体に沿って移動させる走査スライダと、剥しローラを上下動させる上下スライダと、剥しローラからフイルムを回収する回収ローラを備え、シート体端部のフイルムに接着させた剥しローラを回転させてフイルムを巻き取り、剥しローラを逆転させてフイルムを巻戻して回収ローラに挟持させ、回収ローラの回転によってフイルムを剥しローラの粘着部から剥離して回収するようにしたフイルム剥離装置が記載されている。   Patent Document 3 includes a supporting means for fixing and supporting a film-attached sheet body, a peeling roller that has an adhesive portion, rotates while winding in a state of being adhered to the film end portion of the sheet body, and winds up the film. A scanning slider that moves the roller along the sheet, a vertical slider that moves the peeling roller up and down, and a collection roller that collects the film from the peeling roller, and rotates the peeling roller that is adhered to the film at the end of the sheet. The film peeling device is described in which the film is wound up, the peeling roller is reversed, the film is rewound and sandwiched between the collecting rollers, and the film is peeled off from the adhesive portion of the peeling roller by the rotation of the collecting roller and collected. ing.

特許文献4には、シートを固定するための保持部材と、粘着性の外周面を有してキャリアフイルムの一部をセラミックグリーンシートから剥離する剥がし代形成用粘着ロールと、粘着性の外周面を有してキャリアフイルムをセラミックグリーンシートから除去するための除去用粘着ロールから成るロール部と、ロール部のシートに対する相対的な位置を調整する位置調整機構とを備え、キャリアフイルムに押し当てた粘着ロールを転動させることでキャリアフイルムの一部を巻取って剥離する部分剥離工程と、粘着ロールを転動の逆向きに回転させてキャリアフイルムから離す工程とを含む剥がし代形成工程と、剥がし代の領域のうち端部を避けた位置に粘着ロールを押し当てて回転させてキャリアフイルムを引き剥がすキャリアフイルム除去工程と、セパレータにより粘着ロールの外周面からキャリアフイルムを剥ぎ取って回収筒に回収する工程を行うキャリアフイルム剥離装置が記載されている。   Patent Document 4 discloses a holding member for fixing a sheet, an adhesive roll for forming a peeling margin that has an adhesive outer peripheral surface and peels a part of a carrier film from a ceramic green sheet, and an adhesive outer peripheral surface. And having a roll part composed of an adhesive roll for removal for removing the carrier film from the ceramic green sheet, and a position adjusting mechanism for adjusting the relative position of the roll part to the sheet, and pressed against the carrier film A peeling allowance forming step including a partial peeling step of winding and peeling a part of the carrier film by rolling the adhesive roll, and a step of rotating the adhesive roll in the reverse direction of the rolling to separate from the carrier film, Remove the carrier film that peels off the carrier film by pressing and rotating the adhesive roll to the position that avoids the edge in the area to be peeled off. A step is described a carrier film peeling apparatus for performing a process of stripped off the carrier film is collected in the collection tube from the outer peripheral surface of the adhesive roll by a separator.

実開平5−16220号公報Japanese Utility Model Publication No. 5-16220 特開平6−255880号公報JP-A-6-255880 特開平9−267423号公報JP-A-9-267423 特開平2004−17623号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-17623

特許文献1に記載のものでは、粘着ローラをグリーンセラミックス基板の端部に接触させた状態で大型の台車を移動させることで粘着ローラを回転させてフイルムの耳を剥離するようになっているので、フイルム剥離の為に台車移動用の大きなスペースを必要とし、装置が大嵩になる問題があり、また、基板の粘着ローラ接着部に台車移動方向の力が作用して基板を損傷させたり変形させる問題があり、しかも、フイルムの耳を開閉爪で把持して引上げるので、装置の構造が複雑になったり誤作動を起こし易い問題がある。   In the one described in Patent Document 1, the large roller is moved in a state where the adhesive roller is in contact with the end portion of the green ceramic substrate, so that the adhesive roller is rotated to peel off the ears of the film. In order to remove the film, a large space for moving the carriage is required, and there is a problem that the apparatus becomes bulky. Also, the force in the movement direction of the carriage acts on the adhesion part of the adhesive roller of the board to damage or deform the board. In addition, there is a problem that the structure of the apparatus is complicated and malfunction is likely to occur because the film ear is grasped by the opening / closing claw and pulled up.

特許文献2に記載のものでは、ドラムの吸着面でセラミックグリーンシートの端縁部を吸着した状態でドラムを他方の端縁部に向かって移動させると共に転がり回転させてキャリアフイルムを剥離するようにしているので、ドラムをシートの全長に亘って転がす為の大きなスペースを必要とし、装置が大嵩になる問題があり、また、ドラムの移動と回転によってセラミックグリーンシートを損傷させ易い問題がある上に、ドラムの移動と回転を同期させるための装置が複雑になってコスト高になる問題がある。   In the device described in Patent Document 2, the drum is moved toward the other edge while the edge of the ceramic green sheet is adsorbed on the adsorption surface of the drum, and the carrier film is peeled off by rolling and rotating. Therefore, a large space for rolling the drum over the entire length of the sheet is required, and there is a problem that the apparatus becomes bulky, and there is a problem that the ceramic green sheet is easily damaged by the movement and rotation of the drum. In addition, there is a problem that a device for synchronizing the movement and rotation of the drum becomes complicated and the cost is increased.

特許文献3に記載のものでは、特許文献2と同様に、フイルム付シート体の端部に接着させた剥しローラを回転させると共にシート体に沿って移動させてフイルムを巻き取るようにしているので、剥しローラをシート体に沿って移動させる為の大きなスペースを必要とし、装置が大嵩になる問題があり、また、剥しローラの回転と移動によってシート体を損傷させ易い問題がある上に、剥しローラの移動と回転を同期させるための装置が複雑になってコスト高になり、しかも、剥しローラの粘着力の低下により誤作動を起こし易い問題がある。   In the one described in Patent Document 3, as in Patent Document 2, the peeling roller adhered to the end of the film-attached sheet body is rotated and moved along the sheet body so that the film is wound up. In addition, there is a problem that a large space is required for moving the peeling roller along the sheet body, the apparatus becomes bulky, and there is a problem that the sheet body is easily damaged by the rotation and movement of the peeling roller. The apparatus for synchronizing the movement and rotation of the peeling roller becomes complicated and expensive, and there is a problem that malfunction is likely to occur due to a decrease in the adhesive force of the peeling roller.

特許文献4に記載のものでは、キャリアフイルムに押し当てた粘着ロールをセラミックグリーンシートの移動により転動させることでキャリアフイルムの端部を剥がした後、キャリアフイルムの端部を避けた部分に粘着ロールを再び押し当て、セラミックグリーンシートの移動により転動させることでキャリアフイルムの全体を巻取って剥離するようにしているので、セラミックグリーンシートの移動通路の途中に剥離したキャリアフイルムを処理する為の大きなスペースを必要とし、装置が大嵩になる問題があり、また、特許文献1と同様に、セラミックグリーンシートの粘着ロール接着部にシート移動方向の力が作用してシートを損傷させたり変形させる問題がある。また、剥がし代形成用粘着ロールと除去用粘着ロールとでキャリアフイルムを剥離するようにしているので、工程が複雑になって処理時間が長くなったり機構が複雑になる問題があり、しかも、セパレータによって粘着ロールの外周面からキャリアフイルムを剥ぎ取るようにしているので、粘着ロールからのキャリアフイルムの剥ぎ取りが不安定で誤作動を起こし易い問題がある。   In the thing of patent document 4, after peeling the edge part of a carrier film by rolling the adhesion roll pressed against the carrier film by the movement of a ceramic green sheet, it adheres to the part which avoided the edge part of the carrier film The roll is pressed again and rolled by moving the ceramic green sheet so that the entire carrier film is wound up and peeled off, so that the carrier film peeled in the middle of the ceramic green sheet moving path can be treated. There is a problem that the apparatus requires a large space and the apparatus becomes bulky. Similarly to Patent Document 1, a force in the sheet moving direction acts on the adhesive roll adhesive portion of the ceramic green sheet to damage or deform the sheet. There is a problem to make. Also, since the carrier film is peeled off by the peeling roll forming adhesive roll and the removing adhesive roll, there is a problem that the process becomes complicated and the processing time becomes longer and the mechanism becomes complicated, and the separator Since the carrier film is peeled off from the outer peripheral surface of the adhesive roll, there is a problem that peeling of the carrier film from the adhesive roll is unstable and easily causes malfunction.

そこで、本発明は、前記各特許文献の課題に鑑み、フイルム付シートの移送通路途中の狭い空間にでも容易に組み込むことができる据付スペース幅の小さなフイルム剥離装置を提供することや、シートに損傷や変形を加えることなくフイルムを円滑に確実に剥離できるようにした簡易な構成のフイルム剥離装置を提供することや、シートから剥離したフイルムを容易に回収できるようにしたフイルム剥離装置を提供すること等を課題とする。   Accordingly, in view of the problems of the above-mentioned patent documents, the present invention provides a film peeling device having a small installation space width that can be easily incorporated even in a narrow space in the middle of a transfer passage of a film-attached sheet, or damage to the sheet. To provide a film peeling device with a simple configuration that can smoothly and reliably peel the film without adding or deformation, and to provide a film peeling device that can easily collect the film peeled from the sheet And so on.

本願の請求項1の発明は、前記課題を達成するため、テーブル上に保持した矩形のフイルム付シートのフイルムをフイルム把持手段を用いてシートから剥離するようにしたフイルム剥離装置において、テーブルをテーブル移動装置によって剥離開始ステーションから剥離完了ステーションへテーブル上のフイルム付シートの一辺に沿う方向へ移動可能に設けると共に、剥離開始ステーションに位置されるテーブルの移動軌跡の上方に剥離ヘッドをヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能に設け、その剥離ヘッドにフイルム把持手段をテーブル上のフイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルムを把持可能でかつフイルムの剥離始端側隅角部から対角位置の剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能に備え、テーブル移動装置とヘッド移動装置を剥離ヘッドがフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ相対移動するように連動可能に構成して成ることを特徴とする。   In order to achieve the above object, the invention of claim 1 of the present application is a film peeling apparatus in which a film of a rectangular sheet with a film held on a table is peeled off from the sheet using a film gripping means. The moving device is provided so as to be movable in the direction along one side of the film-attached sheet on the table from the peeling start station to the peeling completion station, and the peeling head is moved above the moving trajectory of the table located at the peeling start station by the head moving device. It is provided so that it can move in the direction crossing the movement trajectory of the table, and the film gripping means on the peeling head can grip the film at the corner of the peeling start side of the sheet with film on the table and from the corner at the peeling start side of the film. The tape is provided so that it can move a predetermined amount in the direction of the corner at the end of peeling at the diagonal position. Stripping head moving device and the head moving device is characterized in that formed by operatively configured for relative movement from peeling starting side corners of the film to the peeling end side corners direction.

また、請求項2の発明は、フイルム把持手段は、フイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルム上に接着可能な粘着体であり、粘着体移動装置によって移動可能に構成して成ることを特徴とする。   Further, the invention of claim 2 is that the film gripping means is an adhesive body that can be adhered onto the film at the corner of the peeling start end side of the sheet with film, and is configured to be movable by an adhesive body moving device. Features.

また、請求項3の発明は、ヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能な剥離ヘッドの一方の移動端側に剥離後のフイルムを収容可能なフイルム回収容器を備え、シートから剥がされたフイルムをヘッド移動装置によってフイルム回収容器上に搬送して回収するようにしたことを特徴とする。   According to a third aspect of the present invention, a film recovery container capable of storing the film after peeling is provided on one moving end side of the peeling head which can be moved in a direction crossing the movement trajectory of the table by the head moving device, and peeled off from the sheet. The film is transported and collected on a film collection container by a head moving device.

また、請求項4の発明は、剥離ヘッドのヘッド本体にフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ移動可能に備えた移動体とその移動体をフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能な直線駆動装置によって粘着体移動装置を構成し、その移動体に粘着体を備えて成ることを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a moving body provided on the head main body of the peeling head so as to be movable from the peeling start end side corner of the film toward the peeling end side corner. The adhesive body moving device is configured by a linear drive device capable of moving a predetermined amount from the corner portion toward the peeling end side corner portion, and the moving body is provided with an adhesive body.

また、請求項5の発明は、粘着体を下側が粘着面の粘着テープで構成し、その粘着テープの剥離終端側隅角部側の端部をヘッド本体に、粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部を移動体に夫々保持させ、粘着テープをフイルムの剥離始端側隅角部に接着させた状態で移動体を剥離終端側隅角部方向へ移動させて粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部のみを剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能にしたことを特徴とする。   Further, in the invention of claim 5, the adhesive body is composed of an adhesive tape having an adhesive surface on the lower side, and the end of the adhesive tape on the peeling end side corner is on the head body, and the peeling start side corner on the adhesive tape is used. The moving body is moved in the direction of the peeling end side corner with the adhesive tape attached to the peeling start side corner of the film, and the end of the adhesive tape is attached to the peeling end side corner of the film. Only the end portion on the corner portion side can be moved by a predetermined amount in the direction of the peeling end side corner portion.

また、請求項6の発明は、下側が粘着面の粘着テープの一端側に繋がる粘着テープ巻付体を回転可能に支持するテープ支持装置を移動体に、粘着テープの他端側に繋がる粘着テープ巻取体を巻取り回転可能な巻取り装置をヘッド本体に夫々備え、粘着テープ巻取体を巻取り回転させて粘着テープ巻付体の粘着テープを引き出し、フイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させる粘着テープの接着部を新しくできるようにしたことを特徴とする。   In the invention of claim 6, the adhesive tape connected to the other end side of the adhesive tape with the movable body as the tape support device that rotatably supports the adhesive tape winding body connected to the one end side of the adhesive tape whose adhesive side is the lower side. Each head body is equipped with a winding device capable of winding and rotating the winding body, winding and rotating the adhesive tape winding body, pulling out the adhesive tape of the adhesive tape winding body, and the peeling start side corner of the sheet with film The adhesive part of the adhesive tape to be adhered on the part can be newly made.

また、請求項7の発明は、剥離ヘッドに、粘着テープの接着位置より剥離終端側の粘着テープが下側へ弛むのを防止する弛み防止手段を備えて成ることを特徴とする。   The invention according to claim 7 is characterized in that the peeling head is provided with a slack preventing means for preventing the pressure-sensitive adhesive tape on the peeling end side from loosening downward from the adhesive tape bonding position.

また、請求項8の発明は、剥離ヘッドに、粘着テープの剥離始端側部分を剥離終端側方向へ移動させることでフイルム付シートのフイルムの剥離始端側隅角部がシートから剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器を備えて成ることを特徴とする。   Further, in the invention of claim 8, the peeling start end side portion of the film of the film-attached sheet is peeled off from the sheet and folded by moving the peeling start end portion of the adhesive tape toward the peeling end side in the peeling head. It is characterized by comprising a detector capable of detecting this.

本願の請求項1の発明は、テーブルをテーブル移動装置によって剥離開始ステーションから剥離完了ステーションへテーブル上のフイルム付シートの一辺に沿う方向へ移動可能に設けると共に、剥離開始ステーションに位置されるテーブルの移動軌跡の上方に剥離ヘッドをヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能に設け、その剥離ヘッドにフイルム把持手段をテーブル上のフイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルムを把持可能でかつフイルムの剥離始端側隅角部から対角位置の剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能に備え、テーブル移動装置とヘッド移動装置を連動させて剥離ヘッドがフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ相対移動するようにしてあるので、剥離ヘッドやヘッド移動装置のテーブル移動軌跡方向の据付スペース幅を小さくでき、テーブル移動軌跡上方の狭いスペース幅に装置を容易に組む込むことができ、その結果、例えば、積層機の作業ステーション間の狭いスペース幅に容易に設置できて装置全体の省スペース化を図ることができる利点がある。
また、剥離ヘッドに備えたフイルム把持手段によりフイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルムを把持させた後、フイルム把持手段をフイルムの剥離始端側隅角部から対角位置の剥離終端側隅角部方向へ所定量移動させることで、フイルム付シートのフイルムの剥離始端側隅角部を確実に剥離でき、その後、テーブル移動装置とヘッド移動装置を連動させて剥離ヘッドを剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ相対移動させることで、フイルム付シートのフイルムの全体を確実に剥離でき、しかも、剥離ヘッドをテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能に設けているので、剥離後のフイルムをテーブルの移動軌跡の側方へ搬送して容易に回収できる効果を奏する。
According to the first aspect of the present invention, the table is provided so as to be movable in the direction along one side of the film-attached sheet on the table from the peeling start station to the peeling completion station by the table moving device. A peeling head is provided above the movement trajectory so that the head moving device can move in the direction crossing the movement trajectory of the table, and the film gripping means is held on the peeling head to grip the film at the corner of the peeling start side of the sheet with film on the table. It is possible to move a predetermined amount from the corner of the film peeling start side to the corner of the film peeling end side on the diagonal, and the peeling head is on the film peeling start side by interlocking the table moving device and the head moving device. Since it moves relative to the corner at the end of peeling from the corner, the peeling head and head movement The installation space width in the direction of the table movement trajectory can be reduced, and the device can be easily assembled into a narrow space width above the table movement trajectory. It is possible to reduce the space of the entire apparatus.
In addition, after the film gripping means provided in the peeling head grips the film at the corner of the peeling start side of the film-attached sheet, the film gripping means is moved diagonally from the corner of the peeling start side of the film to the corner at the end of peeling. By moving a predetermined amount in the direction of the corner, it is possible to reliably peel off the corner at the peeling start end side of the film of the film-attached sheet, and then connect the table moving device and the head moving device to move the peeling head to the corner at the peeling start end side. Since the entire film of the sheet with film can be reliably peeled by moving relative to the corner of the peeling end side from the part, and the peeling head is provided so as to be movable in the direction crossing the movement trajectory of the table. There is an effect that the peeled film can be transported to the side of the table movement trajectory and easily recovered.

請求項2の発明は、フイルム把持手段は、フイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルム上に接着可能な粘着体であり、粘着体移動装置によって移動可能に構成してあるので、簡易な構成で、粘着テープがフイルム付シートに無理な力を加えることなくフイルムの剥離始端側角隅部を引上げるので、シートを破損させたり変形させることなく確実に剥離でき、シートの品質を高く維持できる。   In the invention of claim 2, the film gripping means is an adhesive body that can be adhered onto the film at the corner of the peeling start end side of the sheet with film, and is configured to be movable by the adhesive body moving device. With the configuration, the adhesive tape pulls up the corners at the starting edge of the film without applying excessive force to the sheet with film, so that the sheet can be reliably peeled without damaging or deforming the sheet, and the sheet quality is maintained high. it can.

また、請求項3の発明は、ヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能な剥離ヘッドの一方の移動端側に剥離後のフイルムを収容可能なフイルム回収容器を備え、シートから剥がされたフイルムをヘッド移動装置によってフイルム回収容器上に搬送して回収するようにしたので、剥離ヘッドのヘッド移動装置を利用して剥離したフイルムをテーブル移動軌跡の側方へ搬送してフイルム回収容器に回収でき、フイルムの後処理を容易にできる。   According to a third aspect of the present invention, a film recovery container capable of storing the film after peeling is provided on one moving end side of the peeling head which can be moved in a direction crossing the movement trajectory of the table by the head moving device, and peeled off from the sheet. Since the film was transported onto the film recovery container by the head moving device and recovered, the film that was peeled off using the head moving device of the peeling head was transported to the side of the table movement trajectory to recover the film. The film can be recovered easily, and post-processing of the film can be facilitated.

また、請求項4の発明は、剥離ヘッドのヘッド本体にフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ移動可能に備えた移動体とその移動体をフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能な直線駆動装置によって粘着体移動装置を構成し、その移動体に粘着体を備えているので、移動体を移動させて粘着体をフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ移動させることで剥離始端側隅角部のフイルムを確実に剥離できる。   According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a moving body provided on the head main body of the peeling head so as to be movable from the peeling start end side corner of the film toward the peeling end side corner. The adhesive body moving device is configured by a linear drive device that can move a predetermined amount from the corner portion toward the peeling end side corner portion, and the moving body is provided with the adhesive body. Therefore, the mobile body is moved to move the adhesive body to the film. The film at the peeling start side corner can be reliably peeled by moving from the peeling start side corner to the peeling end side corner.

また、請求項5の発明は、粘着体を下側が粘着面の粘着テープで構成し、その粘着テープの剥離終端側隅角部側の端部をヘッド本体に、粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部を移動体に夫々保持させ、粘着テープをフイルムの剥離始端側隅角部に接着させた状態で移動体を剥離終端側隅角部方向へ移動させて粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部のみを剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能にしたので、フイルム剥離の接着部として粘着テープを有効に利用できる。   Further, in the invention of claim 5, the adhesive body is composed of an adhesive tape having an adhesive surface on the lower side, and the end of the adhesive tape on the peeling end side corner is on the head body, and the peeling start side corner on the adhesive tape is used. The moving body is moved in the direction of the peeling end side corner with the adhesive tape attached to the peeling start side corner of the film, and the end of the adhesive tape is attached to the peeling end side corner of the film. Since only the end portion on the corner portion side can be moved by a predetermined amount in the direction of the peeling end side corner portion, the adhesive tape can be effectively used as an adhesive portion for film peeling.

また、請求項6の発明は、下側が粘着面の粘着テープの一端側に繋がる粘着テープ巻付体を回転可能に支持するテープ支持装置を移動体に、粘着テープの他端側に繋がる粘着テープ巻取体を巻取り回転可能な巻取り装置をヘッド本体に夫々備え、粘着テープ巻取体を巻取り回転させて粘着テープ巻付体の粘着テープを引き出し、フイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させる粘着テープの接着部を新しくできるようにしたので、粘着テープの巻取りにより粘着テープの中間部の接着部を新たな粘着部に変更でき、フイルム剥離に市販の巻付け粘着テープを長期間使用でき、また、粘着テープの消費量を必要最小限に少なくでき、粘着テープの交換時間を少なくして装置の稼働率を良くできる。   In the invention of claim 6, the adhesive tape connected to the other end side of the adhesive tape with the movable body as the tape support device that rotatably supports the adhesive tape winding body connected to the one end side of the adhesive tape whose adhesive side is the lower side. Each head body is equipped with a winding device capable of winding and rotating the winding body, winding and rotating the adhesive tape winding body, pulling out the adhesive tape of the adhesive tape winding body, and the peeling start side corner of the sheet with film Since the adhesive part of the adhesive tape to be bonded on the part can be newly made, the adhesive part in the middle part of the adhesive tape can be changed to a new adhesive part by winding the adhesive tape, and commercially available wound adhesive tape for film peeling Can be used for a long time, the consumption of the adhesive tape can be reduced to the minimum necessary, and the operating time of the apparatus can be improved by reducing the replacement time of the adhesive tape.

また、請求項7の発明は、剥離ヘッドに、粘着テープの接着位置より剥離終端側の粘着テープが下側へ弛むのを防止する弛み防止手段を備えているので、接着部より剥離始端側の粘着テープを剥離終端側方向へ大きく移動させる場合でも粘着テープの剥離終端側がフイルム付シートに接着するトラブルを防止でき、剥離ヘッドの移動のみで粘着テープを移動させてフイルムを剥離でき、簡易な構成にできる。   In the seventh aspect of the invention, since the peeling head is provided with a loosening prevention means for preventing the adhesive tape on the peeling termination side from loosening downward from the adhesive tape bonding position, Even when the adhesive tape is moved largely in the direction of the peeling end side, it is possible to prevent troubles where the peeling end side of the adhesive tape adheres to the sheet with film, and the film can be peeled by moving the adhesive tape only by moving the peeling head. Can be.

また、請求項8の発明は、剥離ヘッドに、粘着テープの剥離始端側部分を剥離終端側方向へ移動させることでフイルム付シートのフイルムの剥離始端側隅角部がシートから剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器を備えているので、フイルム付シートのフイルム剥離の誤作動を未然に防止でき、フイルム付シートの損傷を阻止できる。   Further, in the invention of claim 8, the peeling start end side portion of the film of the film-attached sheet is peeled off from the sheet and folded by moving the peeling start end portion of the adhesive tape toward the peeling end side in the peeling head. Since the detector capable of detecting this is provided, it is possible to prevent malfunction of film peeling of the sheet with film and to prevent damage to the sheet with film.

次に、本発明の最良の実施形態について、図に基づいて詳細に説明する。図1、図2は、本願発明のフイルム剥離装置1を備えたシート積層体の製造装置3を示したものである。シート積層体の製造装置(以下、単に積層装置という)3は、セラミックグリーンシート(以下、単にシートという)2を1枚ずつ搬入するための搬入ステーション4と、搬送されたシート2を積層して先のシート2に仮接合するための仮接合ステーション5と、仮接合した積層シートを加熱すると共に加圧して熱圧着するための積層ステーション6と、熱圧着されたシート積層体を搬出するための搬出ステーション7とが、一列に順に配置されている。   Next, the best embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 and 2 show a sheet laminate manufacturing apparatus 3 provided with the film peeling apparatus 1 of the present invention. A sheet laminate manufacturing apparatus (hereinafter simply referred to as a “stacking apparatus”) 3 is configured by laminating a transport station 4 for transporting ceramic green sheets (hereinafter simply referred to as “sheets”) 2 one by one and a transported sheet 2. Temporary bonding station 5 for temporary bonding to the preceding sheet 2, a lamination station 6 for heating and pressurizing and pressing the temporarily bonded laminated sheet, and for carrying out the thermocompressed sheet laminate The carry-out station 7 is sequentially arranged in a line.

また、積層装置3のフレーム3Aの支持板8上には、搬入ステーション4と仮接合ステーション5の間を往復移動可能な第1搬送装置9と、仮接合ステーション5と積層ステーション6の間を往復移動可能な第2搬送装置10と、積層ステーション6と搬出ステーション7の間を往復移動可能な第3搬送装置11とが設けられている。第1搬送装置9には、シート2の下面を吸着保持可能な第1昇降テーブル12が設けられており、第2搬送装置10には、同様にシート2の下面を吸着保持可能な第2昇降テーブル13が設けられている。一方、第3搬送装置11には、積層ステーション6に移動された状態で積層ステーション6の第2昇降テーブル12の上方へ張り出し、第2昇降テーブル12上の熱圧着されたシート積層体の四隅際を保持して搬出ステーション7の搬出テーブル14上に搬出するための図示しない保持手段が設けられている。   Further, on the support plate 8 of the frame 3 </ b> A of the laminating apparatus 3, a reciprocating movement between the carry-in station 4 and the temporary joining station 5, and a reciprocating movement between the temporary joining station 5 and the laminating station 6 are performed. A movable second transfer device 10 and a third transfer device 11 capable of reciprocating between the stacking station 6 and the unloading station 7 are provided. The first transport device 9 is provided with a first lifting table 12 capable of sucking and holding the lower surface of the sheet 2, and the second transport device 10 similarly includes a second lifting and lowering table capable of sucking and holding the lower surface of the sheet 2. A table 13 is provided. On the other hand, the third conveying device 11 is projected to the upper side of the second elevating table 12 of the laminating station 6 while being moved to the laminating station 6. A holding means (not shown) is provided for holding the sheet and unloading it onto the unloading table 14 of the unloading station 7.

上記した第1搬送装置9、第2搬送装置10は、夫々案内レール15と端部にサーボモータ16B,17Bが連結されたねじ軸16A,17Aとから成る第1テーブル移動装置16、第2テーブル移動装置17を備えている。このテーブル移動装置16により第1昇降テーブル12が搬入ステーション4と仮接合ステーション5とに往復案内されるようになっており、テーブル移動装置17により第2昇降テーブル13が仮接合ステーション5と積層ステーション6とに往復案内されるようになっている。また、第1昇降テーブル12、第2昇降テーブル13は、図示しない昇降手段により昇降可能に構成されている。また、仮接合ステーション5において、支持板8上に立設された4本の支柱19の上部に固着された支持部材20には、仮接合装置21が設けられている。仮接合装置21は、図示しない適宜な機構により位置決め移動可能なアライメントテーブルを備え、アライメントテーブルに受け渡されてアライメントテーブルにより位置決めされたシート2を先に位置決めされた第2昇降テーブル13上のシート2の上面に重ねて伝熱コテ等により仮接合可能となっている。一方、積層ステーション6においては、支持板8上に立設された4本の支柱22の上部に固着された支持部材23に、仮接合された第2昇降テーブル13の上の複数のシート2からなる積層シートを加熱可能な図示しない加熱装置と、加熱した積層シートを上側から加圧可能なプレス装置24とが設けられている。   The first transport device 9 and the second transport device 10 described above include a first table moving device 16 and a second table each including a guide rail 15 and screw shafts 16A and 17A having servo motors 16B and 17B connected to end portions thereof. A moving device 17 is provided. The table moving device 16 reciprocates the first elevating table 12 to the carry-in station 4 and the temporary joining station 5, and the table moving device 17 causes the second elevating table 13 to move between the temporary joining station 5 and the stacking station. 6 is guided back and forth. Moreover, the 1st raising / lowering table 12 and the 2nd raising / lowering table 13 are comprised so that raising / lowering is possible by the raising / lowering means which is not shown in figure. Further, in the temporary joining station 5, a temporary joining device 21 is provided on the support member 20 fixed to the upper part of the four support columns 19 erected on the support plate 8. The temporary joining device 21 includes an alignment table that can be positioned and moved by an appropriate mechanism (not shown), and the sheet on the second elevating table 13 that has been transferred to the alignment table and previously positioned by the alignment table. It can be temporarily joined with a heat transfer iron or the like on the upper surface of 2. On the other hand, in the stacking station 6, the plurality of sheets 2 on the second elevating table 13 temporarily joined to the support member 23 fixed to the upper part of the four columns 22 erected on the support plate 8. A heating device (not shown) that can heat the laminated sheet and a press device 24 that can press the heated laminated sheet from above are provided.

また、仮接合ステーション5と積層ステーション6との間には、剥離開始ステーションAが配置されている。剥離開始ステーションAでは、フイルム剥離装置1の剥離ヘッド25が剥離開始ステーションAに位置した第2昇降テーブル13上のフイルム付シート2の剥離始端側隅角部2aに対応して位置し、フイルム付シート2のフイルム26の剥離を開始可能となっている。また、仮接合ステーション5は剥離完了ステーションBとなっている。この剥離開始ステーションAから剥離完了ステーションBへ前記の第2昇降テーブル13を第2昇降テーブル13上のフイルム付シート2の一辺に沿う方向へ移動可能に設けてある。剥離開始ステーションAから剥離完了ステーションBへの第2昇降テーブル13の移動と連動して、剥離ヘッド25が第2昇降テーブル13の移動軌跡Lを横切る方向へ移動することにより、剥離ヘッド25がフィルム付シート2の剥離始端側隅角部2aから剥離終端側隅角部2bに相対移動してフイルム26の剥離を終了するようになっている。   Further, a peeling start station A is disposed between the temporary bonding station 5 and the stacking station 6. At the peeling start station A, the peeling head 25 of the film peeling apparatus 1 is positioned corresponding to the peeling start side corner portion 2a of the sheet with film 2 on the second elevating table 13 located at the peeling start station A. Peeling of the film 26 of the sheet 2 can be started. The temporary bonding station 5 is a peeling completion station B. From the peeling start station A to the peeling completion station B, the second elevating table 13 is provided so as to be movable in a direction along one side of the film-equipped sheet 2 on the second elevating table 13. In conjunction with the movement of the second lifting / lowering table 13 from the peeling start station A to the peeling completion station B, the peeling head 25 moves in a direction crossing the movement locus L of the second lifting / lowering table 13, so that the peeling head 25 becomes a film. The peeling of the film 26 is completed by moving relatively from the peeling start side corner 2a of the attached sheet 2 to the peeling end side corner 2b.

フイルム剥離装置1は、図1、図2に示すように、仮接合装置21とプレス装置24との間で支持部材20上に設けられており、第2昇降テーブル13の移動軌跡Lの上方に位置している。フイルム剥離装置1は、図3〜図5に示すように、第2昇降テーブル13の移動軌跡Lを横切る方向に支持されているヘッド移動装置29と、そのヘッド移動装置29によって、第2昇降テーブル13の上方で第2昇降テーブル13の移動軌跡Lを横切る方向へ往復移動可能にしてある剥離ヘッド25を備えている。また、フイルム剥離装置1は、剥離ヘッド25の一方の移動端側である剥離終端側(図3において上側)の剥離回収ステーションC付近に剥離後のフイルム26を収容可能なフイルム回収容器30と、剥離ヘッド25の剥離回収ステーションCへの移動によってシート2から剥がされたフイルム26を保持可能なフイルム保持手段31と、そのフイルム保持手段31をフイルム回収容器30の上方へ移動可能な図1に示す移動手段32とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the film peeling apparatus 1 is provided on the support member 20 between the temporary joining apparatus 21 and the press apparatus 24, and is located above the movement locus L of the second lifting table 13. positioned. As shown in FIGS. 3 to 5, the film peeling apparatus 1 includes a head moving device 29 supported in a direction crossing the movement locus L of the second lifting table 13, and the second lifting table by the head moving device 29. 13 is provided with a peeling head 25 that can be reciprocated in a direction across the movement locus L of the second lifting table 13 above 13. Further, the film peeling apparatus 1 includes a film collection container 30 capable of accommodating the peeled film 26 in the vicinity of the peeling collection station C on the peeling terminal side (upper side in FIG. 3) which is one moving end side of the peeling head 25, The film holding means 31 that can hold the film 26 peeled off from the sheet 2 by the movement of the peeling head 25 to the peeling collection station C, and the film holding means 31 that can move above the film collection container 30 are shown in FIG. Moving means 32.

前記ヘッド移動装置29は、モータ駆動の長いアクチュエータ33によって構成されている。アクチュエータ33は、長いアクチュエータ本体34と、アクチュエータ本体34内に回転自在に支承されている図示しないねじ軸と、アクチュエータ本体34の端部に固着されてねじ軸を回転駆動するサーボモータ36と、アクチュエータ本体34に固着された案内レール35に案内されてねじ軸の回転によって長手方向へ移動されるスライダ37を備えている。尚、ヘッド移動装置29は、モータによって移動されるベルトによってスライダ37を移動させるように構成した装置等の他の手段でも良い。   The head moving device 29 is composed of an actuator 33 that is driven by a motor. The actuator 33 includes a long actuator body 34, a screw shaft (not shown) that is rotatably supported in the actuator body 34, a servo motor 36 that is fixed to an end of the actuator body 34 and rotationally drives the screw shaft, and an actuator. A slider 37 is provided which is guided by a guide rail 35 fixed to the main body 34 and is moved in the longitudinal direction by rotation of a screw shaft. The head moving device 29 may be other means such as a device configured to move the slider 37 by a belt moved by a motor.

剥離ヘッド25は、図1〜図5に示すように、ヘッド移動装置29のスライダ37に移動軌跡Lに対して45度傾いた状態で固着されてシート2の剥離始端側隅角部2aから対角位置の剥離終端側隅角部2b方向に向き、アクチュエータ本体34の一端から中間の接着ステーションDを介して他端の剥離回収ステーションCとの間を往復移動可能なヘッド本体38を備えている。ヘッド本体38には、図6〜図8に示すように、直線駆動装置としてのエアシリンダ39と移動体40とから構成されるフイルム把持手段移動装置としての粘着体移動装置41を備えている。エアシリンダ39は、ヘッド本体38に移動軌跡Lに対して45度傾いた状態で剥離始端側隅角部2aから対角位置の剥離終端側隅角部2b方向に向けて固着されている。移動体40は、エアシリンダ39に設けられ、移動軌跡Lに対して45度傾いた方向、即ちフイルム付シート2の剥離始端側隅角部2aから対角位置の剥離終端側角隅部2b方向に沿って所定量往復移動可能とされている。移動体40には、フイルム把持手段としての下側が粘着部の片面粘着テープ42で構成された粘着体を備えてある。エアシリンダ39は、ヘッド本体38に軸線が剥離始端側隅角部2aから対角位置の剥離終端側隅角部2b方向に沿うように固着されているシリンダ本体43と、シリンダ本体43に設けた案内レール44に案内されて図示しないピストンロッドによって移動可能な摺動体45を備え、その摺動体45に移動体40が固着されている。シリンダ本体43には、摺動体45に設けられた当接片46を受け止めるストッパ47と摺動体45の端面を受け止めるストッパ49が装着され、摺動体45に設けた移動体40を図6に示す初期剥離開始位置と図8に示す初期剥離終了位置とに移動させて保持するようになっている。   As shown in FIGS. 1 to 5, the peeling head 25 is fixed to the slider 37 of the head moving device 29 in a state inclined by 45 degrees with respect to the movement locus L, and is opposed to the peeling start side corner portion 2 a of the sheet 2. A head main body 38 is provided which can be reciprocated between one end of the actuator main body 34 and the other end peeling recovery station C via an intermediate bonding station D in the direction toward the peeling end side corner 2b at the corner position. . As shown in FIGS. 6 to 8, the head main body 38 includes an adhesive body moving device 41 as a film gripping means moving device including an air cylinder 39 as a linear drive device and a moving body 40. The air cylinder 39 is fixed to the head main body 38 in a state inclined at 45 degrees with respect to the movement locus L from the peeling start end side corner portion 2a toward the peeling end side corner portion 2b in the diagonal position. The moving body 40 is provided in the air cylinder 39 and is inclined by 45 degrees with respect to the movement locus L, that is, in the direction from the peeling start side corner 2a of the film-attached sheet 2 to the peeling end side corner 2b diagonally. And a predetermined amount of reciprocation is possible. The movable body 40 is provided with an adhesive body having a single side adhesive tape 42 on the lower side as a film gripping means. The air cylinder 39 is provided on the cylinder body 43, and the cylinder body 43 is fixed to the head body 38 so that the axis is along the direction of the peeling end side corner 2 b at the diagonal position from the peeling start side corner 2 a. A sliding body 45 guided by the guide rail 44 and movable by a piston rod (not shown) is provided, and the moving body 40 is fixed to the sliding body 45. A stopper 47 for receiving the abutting piece 46 provided on the sliding body 45 and a stopper 49 for receiving the end face of the sliding body 45 are mounted on the cylinder body 43, and the moving body 40 provided on the sliding body 45 is shown in an initial state shown in FIG. It is moved and held between the peeling start position and the initial peeling end position shown in FIG.

移動体40には、図6に示すように、粘着部が下側の片面粘着テープ42の剥離始端側の端部に繋がる粘着テープ巻付体50を回転可能に支持するテープ支持装置51と、片面粘着テープ42の中間部を案内するガイドローラ52と、片面粘着テープ巻付体50の巻戻し回転を阻止する為の回転阻止装置53と、片面粘着テープ42の一部を押下げてフイルム付シート2の剥離始端側隅角部2a上のフイルム26に接着可能な押圧手段54と、移動体40が剥離終端側へ移動する際に片面粘着テープ42をガイドローラ52の下端部近くに保持可能なテープ保持片55とが装着されている。また、ヘッド本体38には、粘着テープ42の剥離終端側の端部に繋がる粘着テープ巻取体56を巻取り回転可能な巻取り装置57と、粘着テープ42の中間部を案内するガイドローラ58と、粘着テープ42の中間部の押圧手段54による押下げ位置より剥離終端側部分が下側へ弛むのを防止する弛み防止手段59が装着されている。弛み防止手段59は、粘着テープ42の中間部が弛んで粘着テープ42がフイルム26に接着するのを防止するためのもので、粘着テープ42のフイルム26への接着の恐れがないときは省略しても良い。ガイドローラ52とガイドローラ58は、第2昇降テーブル13の上方に僅かな間隔をあけてほぼ同じ高さに配置され、ガイドローラ52とガイドローラ58間の粘着テープ42を第2昇降テーブル13の上方でほぼ水平に支持するようになっている。ガイドローラ52は回転自在でも固定的でも何れでも良い。   As shown in FIG. 6, the movable body 40 has a tape support device 51 that rotatably supports an adhesive tape winding body 50 in which the adhesive portion is connected to an end portion on the peeling start end side of the lower single-sided adhesive tape 42, and A guide roller 52 for guiding an intermediate portion of the single-sided adhesive tape 42, a rotation prevention device 53 for preventing the unwinding rotation of the single-sided adhesive tape wound body 50, and a film by pressing down a part of the single-sided adhesive tape 42 The pressing means 54 that can adhere to the film 26 on the corner 2a on the peeling start end side of the sheet 2 and the single-sided adhesive tape 42 can be held near the lower end of the guide roller 52 when the moving body 40 moves to the peeling end side. A tape holding piece 55 is mounted. Further, the head main body 38 has a winding device 57 capable of winding and rotating an adhesive tape winding body 56 connected to an end portion on the peeling termination side of the adhesive tape 42, and a guide roller 58 for guiding an intermediate portion of the adhesive tape 42. Further, a loosening prevention means 59 for preventing the peeling terminal side portion from being loosened downward from the pressing position by the pressing means 54 at the intermediate portion of the adhesive tape 42 is mounted. The loosening prevention means 59 is for preventing the adhesive tape 42 from adhering to the film 26 due to the middle portion of the adhesive tape 42 being loosened, and is omitted when there is no fear of adhesion of the adhesive tape 42 to the film 26. May be. The guide roller 52 and the guide roller 58 are disposed at substantially the same height above the second elevating table 13 with a slight gap, and the adhesive tape 42 between the guide roller 52 and the guide roller 58 is placed on the second elevating table 13. It is supported almost horizontally above. The guide roller 52 may be rotatable or fixed.

テープ支持装置51は、図6に示すように、移動体40に一端部が枢軸60により揺動自在に枢着されている揺動アーム61と、その揺動アーム61の他端部に図示しない支軸を介して回転自在に支承されている回転体62を備え、回転体62には粘着テープ巻付体50が嵌着され、その粘着テープ巻付体50がガイドローラ52に自重で当接されている。回転阻止装置53は、粘着テープ巻付体50をガイドローラ52に押付け可能なエアシリンダ63によって構成され、エアシリンダ63のシリンダ本体63aが移動体40に固着された支持プレート64に固着され、エアシリンダ63のピストンロッド63bに弾性部材から成る押当具63cが固着されている。   As shown in FIG. 6, the tape support device 51 includes a swing arm 61 whose one end is pivotally attached to a movable body 40 by a pivot shaft 60, and is not shown at the other end of the swing arm 61. A rotating body 62 is rotatably supported via a support shaft. An adhesive tape winding body 50 is fitted to the rotating body 62, and the adhesive tape winding body 50 abuts against the guide roller 52 by its own weight. Has been. The rotation prevention device 53 includes an air cylinder 63 capable of pressing the adhesive tape winding body 50 against the guide roller 52, and the cylinder body 63 a of the air cylinder 63 is fixed to a support plate 64 fixed to the moving body 40. A pressing tool 63c made of an elastic member is fixed to the piston rod 63b of the cylinder 63.

押圧手段54は、粘着テープ42の一部を押下げ可能なエアシリンダ65によって構成され、エアシリンダ65のシリンダ本体65aが移動体40に固着された支持プレート64に固着され、エアシリンダ65のピストンロッド65bに弾性部材から成る押圧具65cがフイルム付シート2の剥離始端側隅角部2aに対向するように固着されている。ピストンロッド65bは移動体40に固着された案内具66によって摺動自在に案内されている。   The pressing means 54 is constituted by an air cylinder 65 capable of pressing down a part of the adhesive tape 42, and the cylinder body 65 a of the air cylinder 65 is fixed to a support plate 64 fixed to the moving body 40, and the piston of the air cylinder 65 is fixed. A pressing tool 65c made of an elastic member is fixed to the rod 65b so as to face the corner portion 2a on the peeling start end side of the sheet 2 with film. The piston rod 65 b is slidably guided by a guide tool 66 fixed to the moving body 40.

巻取り装置57は、図6に示すようにヘッド本体38に固着されている支承体67に回転自在に支承されている回転体68と、回転体68を巻取り方向へ所定量ずつ間欠回転可能な回転駆動装置69を備えている。回転体68には、ラチェット歯車68aが設けられ、また、粘着テープ巻取体56を取付ねじ70によって着脱自在に嵌着可能となっている。ラチェット歯車68aは、ヘッド本体38に枢着されて自重によって垂下している逆止爪71に係合され、巻取り方向と逆方向への回転を阻止し、巻取り方向への回転を許すようになっている。回転駆動装置69は、ラチェット歯車68aに係合する可動逆止爪72を所定量往復移動可能なエアシリンダ73によって構成され、エアシリンダ73のシリンダ本体73aがヘッド本体38に固着されている取付板74に固着され、エアシリンダ73のピストンロッド73bに可動逆止爪72が枢着されている。可動逆止爪72は、自重によってラチェット歯車68aに当接し、往復移動されることでラチェット歯車68aを爪ピッチ分回動させて回転体68を巻取り方向へ所定量回転させるようになっている。回転体68が巻取り方向へ所定量回転すると、粘着テープ巻取体56が粘着テープ42を所定長さ分巻取ると共に、テープ支持装置51の粘着テープ巻付体50を巻戻し回転させて粘着テープ42を引き出し、その結果、押圧手段54によって押下げる粘着テープ42の中間部の接着部が新しい部分に変更されるようになっている。   As shown in FIG. 6, the winding device 57 has a rotating body 68 rotatably supported by a supporting body 67 fixed to the head body 38, and the rotating body 68 can be intermittently rotated by a predetermined amount in the winding direction. A rotary drive device 69 is provided. The rotating body 68 is provided with a ratchet gear 68a, and the adhesive tape winding body 56 can be detachably fitted by a mounting screw 70. The ratchet gear 68a is engaged with a check claw 71 pivotally attached to the head body 38 and depending on its own weight, and prevents rotation in the direction opposite to the winding direction and allows rotation in the winding direction. It has become. The rotation driving device 69 is constituted by an air cylinder 73 capable of reciprocating a predetermined amount of a movable check pawl 72 engaged with a ratchet gear 68a, and a mounting plate on which the cylinder body 73a of the air cylinder 73 is fixed to the head body 38. The movable check pawl 72 is pivotally attached to the piston rod 73 b of the air cylinder 73. The movable check pawl 72 abuts on the ratchet gear 68a by its own weight and is reciprocated to rotate the ratchet gear 68a by the pawl pitch, thereby rotating the rotating body 68 by a predetermined amount in the winding direction. . When the rotating body 68 rotates a predetermined amount in the winding direction, the adhesive tape winding body 56 winds up the adhesive tape 42 by a predetermined length, and rotates the adhesive tape winding body 50 of the tape support device 51 to rotate the adhesive tape. As a result, the adhesive portion of the intermediate portion of the adhesive tape 42 to be pushed down by the pressing means 54 is changed to a new portion.

弛み防止手段59は、ヘッド本体38に固着されている枢軸75に回動自在に装着されて図示しない付勢ばねまたはウエイトによって図6において反時計回り方向へ付勢されている引張りレバー76によって構成されている。引張りレバー76の先端部は押圧手段54による押下げ位置より剥離終端側部分の粘着テープ42を引っ掛けて側方へ引っ張り移動させるようになっている。尚、弛み防止手段59は、エアシリンダ等の弱いエア圧によって移動する移動部材によって粘着テープ42を引っ張り移動させるように構成しても良い。   The slack preventing means 59 is constituted by a tension lever 76 which is rotatably attached to a pivot 75 fixed to the head body 38 and is biased counterclockwise in FIG. 6 by a biasing spring or weight (not shown). Has been. The front end portion of the pull lever 76 is adapted to hook and move the adhesive tape 42 at the end portion of the peeling end side from the pressed position by the pressing means 54. The slack preventing means 59 may be configured to pull and move the adhesive tape 42 by a moving member that moves by a weak air pressure such as an air cylinder.

フイルム保持手段31は、移動手段32により移動可能な吸引パッド81を備えており、吸引力の作用により吸引パッド81でフイルム26を吸着するように構成されている。吸引パッド81は、図5に実線で示す剥離回収ステーションCに向いた吸着保持位置Eに移動可能になっており、剥離ヘッド25の剥離回収ステーションCへの移動によってシート2から剥がされて垂れ下がるフイルム26の前面に対向させてフイルム26を確実に吸着保持できるようになっている。また、フイルム保持手段31は、次に示すフイルム回収容器30の上方の保持開放位置Fに移動可能になっており、この保持開放位置Fで吸引パッド81からの空気吸引を停止、または、空気吐出してフイルム26の吸着保持を開放できるようになっている。フイルム保持手段31の吸引パッド81は、移動手段32により図2〜図4に実線で示す退避位置と吸引パッド81を図5に示す吸着保持位置Eとフイルム回収容器30の上方の図2に仮想線で示す保持開放位置Fに移動されるようになっている。   The film holding means 31 includes a suction pad 81 that can be moved by the moving means 32, and is configured to suck the film 26 by the suction pad 81 by the action of a suction force. The suction pad 81 can be moved to the suction holding position E facing the peeling collection station C indicated by a solid line in FIG. 5, and the film is peeled off and dropped from the sheet 2 by the movement of the peeling head 25 to the peeling collection station C. The film 26 can be reliably sucked and held so as to face the front surface of the head 26. The film holding means 31 can be moved to a holding / opening position F above the film collection container 30 shown below, and at this holding / opening position F, air suction from the suction pad 81 is stopped or air is discharged. Thus, the suction holding of the film 26 can be released. The suction pad 81 of the film holding means 31 is virtually moved to the retracted position indicated by the solid line in FIGS. 2 to 4 and the suction pad 81 by the moving means 32 in FIG. 2 above the suction holding position E and the film collection container 30 shown in FIG. It is moved to a holding and releasing position F indicated by a line.

図1に示すように支持部材20の下面には取付部材82が固着され、その取付部材82に図8に示すようにシート2のフイルム26の隅角部26aがシート2から剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器83が取着されている。検出器83は、例えば押圧手段54による押下げ位置より剥離始端側の粘着テープ42を剥離終端側方向へ所定量移動させた時点におけるフイルム26迄の距離を光学的または電波的に測定することでフイルム26の隅角部26aの剥離を検出できるようになっている。   As shown in FIG. 1, a mounting member 82 is fixed to the lower surface of the support member 20, and the corner 26a of the film 26 of the sheet 2 is peeled off from the sheet 2 and folded back to the mounting member 82 as shown in FIG. A detector 83 capable of detecting this is attached. The detector 83 measures, for example, the distance to the film 26 optically or by radio wave when the adhesive tape 42 on the peeling start end side is moved a predetermined amount in the direction of the peeling end side from the position pressed by the pressing means 54. The peeling of the corner portion 26a of the film 26 can be detected.

次に、前記積層装置3におけるフイルム剥離装置1の作動について説明する。以下の説明では、積層装置3により初めから必要な枚数のシート2を積層したシート積層体を製造するものとする。積層装置3において、先ず、搬入ステーション4に位置する第1搬送装置9の第1昇降テーブル12上に1枚目のフイルム付シート2を載せて吸着保持させる。そして、第1搬送装置9によりフイルム付シート2は仮接合ステーション5に搬送される。第1昇降テーブル12が仮接合ステーション5に搬送されると、第1昇降テーブル12が上昇し、フイルム付シート2が仮接合装置21の下面に吸着固定されて受け渡され、その後、第1昇降テーブル12が下降を開始すると共に搬入ステーション4に復帰移動する。仮接合ステーション5では、受け渡されたフイルム付シート2をアライメント位置決めする。搬入ステーション4では2枚目のフイルム付シート2が第1昇降テーブル12上に載置される。また、フイルム付シート2が仮接合装置21に受け渡されると、第2搬送装置10の第2昇降テーブル13が仮接合ステーション5まで移動される。仮接合ステーション5で第2昇降テーブル13は上昇してフイルム付シート2を吸引固定し、フイルム付シート2を仮接合装置21から受け渡される。フイルム付シート2が第2昇降テーブル13に受け渡されると、下降すると共に剥離開始ステーションAに移動する。   Next, the operation of the film peeling apparatus 1 in the laminating apparatus 3 will be described. In the following description, it is assumed that a sheet laminated body in which a necessary number of sheets 2 are laminated from the beginning by the laminating apparatus 3 is manufactured. In the laminating apparatus 3, first, the first sheet 2 with film is placed on the first elevating table 12 of the first transport apparatus 9 located at the carry-in station 4 and is sucked and held. Then, the sheet with film 2 is conveyed to the temporary joining station 5 by the first conveying device 9. When the first elevating table 12 is conveyed to the temporary joining station 5, the first elevating table 12 is raised, the film-attached sheet 2 is sucked and fixed to the lower surface of the temporary joining device 21, and then the first elevating table 12 is moved. The table 12 starts to descend and returns to the loading station 4. In the temporary joining station 5, the delivered film-attached sheet 2 is aligned and positioned. At the carry-in station 4, the second sheet with film 2 is placed on the first elevating table 12. When the film-attached sheet 2 is transferred to the temporary joining device 21, the second lifting table 13 of the second transport device 10 is moved to the temporary joining station 5. The second elevating table 13 ascends at the temporary joining station 5 to suck and fix the film-attached sheet 2, and the film-attached sheet 2 is delivered from the temporary joining device 21. When the film-attached sheet 2 is transferred to the second elevating table 13, it moves down and moves to the peeling start station A.

1枚目のフイルム付シート2が第2搬送装置10により仮接合ステーション5から剥離開始ステーションAへ移動すると、2枚目のフイルム付シート2が載置された第1昇降テーブル12が搬入ステーション4から仮接合ステーション5に搬送され、仮接合装置21にフイルム付シート2が受け渡される。仮接合装置21にフイルム付シート2が受け渡されると、第1昇降テーブル12が搬入ステーション4に移動する。   When the first sheet 2 with film is moved from the temporary joining station 5 to the separation start station A by the second conveying device 10, the first lifting table 12 on which the second sheet with film 2 is placed is the loading station 4. Then, the film-attached sheet 2 is transferred to the temporary joining station 21. When the film-attached sheet 2 is delivered to the temporary joining device 21, the first elevating table 12 moves to the carry-in station 4.

第2昇降テーブル13が剥離開始ステーションAへ移動すると、図3に示すようにアクチュエータ33の一端側に待機していた剥離ヘッド25が接着ステーションDに移動し、接着ステーションDで剥離ヘッド25のエアシリンダ39を動作させて図6に示すように摺動体45を剥離始端側の移動端に移動させ、移動体40を第2昇降テーブル13のフイルム付シート2上方で剥離始端側の初期剥離開始位置に位置し、剥離ヘッド25のガイドローラ52とガイドローラ58間の粘着テープ42がフイルム付シート2の上方において剥離始端側隅角部2a側から剥離終端側隅角部2b側へ延びるように位置され、また、押圧手段54の押圧具65cがシート2の剥離始端側隅角部2aの上方に粘着テープ42を挟んで位置される。ここで剥離始端側とは、第2昇降テーブル13が剥離開始ステーションAに位置するときの剥離始端側隅角部2a側であり、また、剥離終端側隅角部2b側を剥離終端側とする。   When the second elevating table 13 moves to the peeling start station A, the peeling head 25 waiting on one end side of the actuator 33 moves to the bonding station D as shown in FIG. As shown in FIG. 6, the cylinder 39 is operated to move the sliding body 45 to the moving end on the peeling start end side, and the moving body 40 is positioned above the sheet with film 2 of the second elevating table 13 at the initial peeling start position on the peeling start end side. The adhesive tape 42 between the guide roller 52 and the guide roller 58 of the peeling head 25 is positioned above the sheet 2 with film so as to extend from the peeling start side corner 2a to the peeling end side corner 2b. In addition, the pressing tool 65c of the pressing means 54 is positioned above the peeling start side corner portion 2a of the sheet 2 with the adhesive tape 42 interposed therebetween. Here, the peeling start end side is the peeling start end side corner 2a side when the second lifting table 13 is located at the peeling start station A, and the peeling end side corner 2b side is the peeling end side. .

この状態で、押圧手段54のエアシリンダ65が作動されて押圧具65cが下降され、この押圧具65cがガイドローラ52とガイドローラ58間に延びている粘着テープ42の中間部を図7に示すように押下げ、粘着テープ42の接着部をフイルム付シート2のフイルム26の剥離始端側隅角部26a上に接着させる。押圧具65cがガイドローラ52とガイドローラ58間の粘着テープ42を押下げるとき、ガイドローラ52とガイドローラ58間の粘着テープ42が僅かに引き延ばされることになるが、この粘着テープ42の延び分は、弛み防止手段59の引張りレバー76が引き戻されることで与えられる。   In this state, the air cylinder 65 of the pressing means 54 is operated to lower the pressing tool 65c, and an intermediate portion of the adhesive tape 42 in which the pressing tool 65c extends between the guide roller 52 and the guide roller 58 is shown in FIG. In this way, the adhesive tape 42 is bonded to the peeling start side corner portion 26a of the film 26 of the film-attached sheet 2. When the pressing tool 65c pushes down the adhesive tape 42 between the guide roller 52 and the guide roller 58, the adhesive tape 42 between the guide roller 52 and the guide roller 58 is slightly stretched. The minute is given by the pulling lever 76 of the slack preventing means 59 being pulled back.

粘着テープ42の接着部をフイルム26の剥離始端側隅角部26aに接着させた後は、押圧手段54のエアシリンダ65を作動させて押圧具65cを上昇位置に保持させる。その後、回転阻止装置53のエアシリンダ63を作動させて押当具63cを粘着テープ巻付体50に当接させ、粘着テープ巻付体50をガイドローラ52に押圧させて粘着テープ巻付体50の自由回転を阻止する。尚、回転阻止装置53による粘着テープ巻付体50の押圧は、押圧手段54による粘着テープ42の押下げより前に行っても良い。   After the adhesive portion of the adhesive tape 42 is adhered to the peeling start side corner portion 26a of the film 26, the air cylinder 65 of the pressing means 54 is operated to hold the pressing tool 65c in the raised position. Thereafter, the air cylinder 63 of the rotation preventing device 53 is operated to bring the pressing tool 63c into contact with the adhesive tape winding body 50, and the adhesive tape winding body 50 is pressed against the guide roller 52 to cause the adhesive tape winding body 50 to contact. To prevent free rotation. Note that the pressure-sensitive adhesive tape wound body 50 may be pressed by the rotation preventing device 53 before the pressure-sensitive adhesive tape 42 is pressed by the pressing means 54.

次に、図8に示すように、エアシリンダ39を作動させて摺動体45を剥離終端側の移動端に移動させ、摺動体45に固着されている移動体40を初期剥離終了位置に移動させる。この移動体40の剥離終端側方向への移動により、テープ支持装置51やガイドローラ52やテープ保持片55が図8に示すように同方向へ移動され、フイルム26の剥離始端側隅角部26aに接着された粘着テープ42の接着部より剥離始端側の粘着テープ42の端部がテープ保持片55によってシート2に近い位置に保持されたまま剥離終端側方向へ引張り移動(第1剥離移動)され、その結果、フイルム26の剥離始端側隅角部26aが急激に折り返されてフイルム26の剥離始端側隅角部26aがシート2から剥離され、折り返されたフイルム26の剥離始端側隅角部26aを剥離終端側方向へ引張り移動させてフイルム26をシート2から剥がしていく。この場合、ヘッド本体38は剥離終端側方向へ移動されることなく位置保持されているので、フイルム26の剥離始端側隅角部26aに接着された粘着テープ42の接着部より剥離終端側の粘着テープ42の端部が剥離終端側方向へ移動することがなく、フイルム26の剥離始端側隅角部26aに接着されている粘着テープ42の接着部に剥離終端側方向への引張力が作用することがない。従って、フイルム26がシート2を変形させたり破損させるトラブルが防止される。   Next, as shown in FIG. 8, the air cylinder 39 is operated to move the sliding body 45 to the moving end on the peeling end side, and the moving body 40 fixed to the sliding body 45 is moved to the initial peeling end position. . As the moving body 40 moves in the direction of the peeling end side, the tape support device 51, the guide roller 52, and the tape holding piece 55 are moved in the same direction as shown in FIG. 8, and the peeling start side corner portion 26a of the film 26 is moved. The end of the adhesive tape 42 on the peeling start end side is held by the tape holding piece 55 at a position close to the sheet 2 from the adhesive portion of the adhesive tape 42 adhered to the sheet 2 in the direction of the peeling end side (first peeling movement). As a result, the peeling start side corner portion 26a of the film 26 is abruptly folded back, and the peeling start end side corner portion 26a of the film 26 is peeled from the sheet 2, and the peeling start side corner portion of the folded film 26 is peeled off. The film 26 is peeled off from the sheet 2 by pulling and moving 26a toward the peeling end side. In this case, since the head main body 38 is held in position without being moved in the direction of the peeling termination side, the adhesive on the peeling termination side from the adhesive portion of the adhesive tape 42 adhered to the peeling start side corner portion 26a of the film 26 is maintained. The end portion of the tape 42 does not move in the direction of the peeling end side, and a tensile force in the direction of the peeling end side acts on the adhesive portion of the adhesive tape 42 bonded to the peeling start end side corner portion 26a of the film 26. There is nothing. Therefore, the trouble that the film 26 deforms or breaks the sheet 2 is prevented.

次に、第2テーブル移動装置17とヘッド移動装置29とを連動して、第2昇降テーブル13を第2テーブル移動装置17により剥離完了ステーションB即ち仮接合ステーション5に向けて移動させると共に、ヘッド移動装置29のアクチュエータ33を作動させてスライダ37を第2昇降テーブル13の移動軌跡Lを横切る方向へ剥離回収ステーションCに向けて移動させる。この第2テーブル移動装置17による第2昇降テーブル13の移動とヘッド移動装置29による剥離ヘッド25の移動の連動により、剥離ヘッド25が剥離始端側隅角部26aから対角位置の剥離終端側隅角部26bに向けてフイルム付シート2の対角線上を相対移動する。この剥離ヘッド25の剥離終端側隅角部26bへ向けての相対移動により、図8に示す状態の剥離ヘッド25のテープ支持装置51やガイドローラ52や巻取り装置57やガイドローラ58が剥離終端側方向へ移動され、その結果、フイルム26の剥離始端側隅角部26aに接着された粘着テープ42の接着部より剥離始端側の粘着テープ42の端部がテープ保持片55によってシート2に近い位置に保持されたまま剥離終端側方向へ引き続き引張り移動され、シート2から剥離されて折り返されたフイルム26の剥離始端側隅角部26aが更に剥離終端側方向へ移動されてフイルム26をシート2から剥離していく。尚、この場合、粘着テープ42は、フイルム26の剥離始端側隅角部26aに接着された粘着テープ42の接着部より剥離終端側の粘着テープ42が弛みそうな状態になっても、弛み防止手段59の引張りレバー76が粘着テープ42を引っ掛けて側方へ引っ張っているので、ガイドローラ52とガイドローラ58間の粘着テープ42が弛むことがなく、粘着テープ42の下側の粘着面がシート2のフイルム26に接着してフイルム26を引っ張り移動させるトラブルを防止できる。   Next, in conjunction with the second table moving device 17 and the head moving device 29, the second lifting table 13 is moved by the second table moving device 17 toward the peeling completion station B, that is, the temporary joining station 5, and the head. The actuator 33 of the moving device 29 is operated to move the slider 37 toward the separation / recovery station C in a direction crossing the movement locus L of the second lifting table 13. The movement of the second lifting table 13 by the second table moving device 17 and the movement of the peeling head 25 by the head moving device 29 cause the peeling head 25 to move from the peeling start side corner portion 26a to the peeling end side corner at a diagonal position. Relatively moves on the diagonal line of the sheet with film 2 toward the corner portion 26b. By the relative movement of the peeling head 25 toward the peeling end side corner portion 26b, the tape support device 51, the guide roller 52, the winding device 57, and the guide roller 58 of the peeling head 25 in the state shown in FIG. As a result, the end of the adhesive tape 42 on the peeling start end side is closer to the sheet 2 by the tape holding piece 55 than the adhesive portion of the adhesive tape 42 adhered to the peeling start end corner portion 26a of the film 26. While being held in position, the film 26 is continuously pulled and moved in the direction of the peeling end side, and the peeling start side corner portion 26a of the film 26 peeled off from the sheet 2 is further moved in the direction of the peeling end side to move the film 26 through the sheet 2 Will peel off. In this case, the adhesive tape 42 prevents the adhesive tape 42 from loosening even if the adhesive tape 42 on the peeling end side is likely to be loosened from the adhesive portion of the adhesive tape 42 adhered to the peeling start side corner portion 26a of the film 26. Since the pulling lever 76 of the means 59 hooks the adhesive tape 42 and pulls it sideways, the adhesive tape 42 between the guide roller 52 and the guide roller 58 is not loosened, and the lower adhesive surface of the adhesive tape 42 is the sheet. The trouble of pulling and moving the film 26 by adhering to the second film 26 can be prevented.

前記のように、第2テーブル移動装置17とヘッド移動装置29とを連動して、第2昇降テーブル13を剥離完了ステーションBに移動させると共に、スライダ37を第2昇降テーブル13の移動軌跡Lを横切る方向へ剥離回収ステーションCに移動させると、接着部より剥離始端側と剥離終端側の粘着テープ42の両端部が剥離終端側方向へ移動(第2剥離移動)され、剥離ヘッド25が剥離回収ステーションCに位置し、フイルム26の全面がシート2から剥がされ、図9に示すように剥離されたフイルム26の剥離始端側隅角部26aが粘着テープ42に接着された状態で垂れ下がる。この場合、フイルム接着部より剥離終端側の粘着テープ42は、弛み防止手段59の引張りレバー76が粘着テープ42を引っ掛けて側方へ引っ張り移動することで弛みが吸収され、ガイドローラ52とガイドローラ58間の粘着テープ42は略水平に維持される。次に、剥離ヘッド25のエアシリンダ39を作動させて移動体40を剥離始端側へ移動させる。その結果、ガイドローラ52、58間の粘着テープ42を剥離始端側へ引張って弛み防止手段59の引張りレバー76を引き戻し、図6に示す初期の状態になり、粘着テープ42に接着されて図9の位置Gで垂れ下がっているフイルム26が図9に示すように剥離始端側の位置Hへ移動される。   As described above, the second lifting / lowering table 13 is moved to the peeling completion station B in conjunction with the second table moving device 17 and the head moving device 29, and the slider 37 is moved along the movement locus L of the second lifting / lowering table 13. When moved to the separation / recovery station C in the transverse direction, both end portions of the adhesive tape 42 on the separation start side and separation end side are moved in the direction of the separation termination side (second separation movement) from the adhesive portion, and the separation head 25 is separated and collected. At the station C, the entire surface of the film 26 is peeled off from the sheet 2, and the peeling start side corner portion 26 a of the peeled film 26 hangs down while being adhered to the adhesive tape 42 as shown in FIG. 9. In this case, the adhesive tape 42 on the peeling end side from the film adhesion portion absorbs the slackness when the pulling lever 76 of the slack preventing means 59 hooks the adhesive tape 42 and moves sideways, and the guide roller 52 and the guide roller 42 are absorbed. The adhesive tape 42 between 58 is maintained substantially horizontal. Next, the air cylinder 39 of the peeling head 25 is operated to move the moving body 40 toward the peeling start end side. As a result, the adhesive tape 42 between the guide rollers 52 and 58 is pulled toward the peeling start end side, and the pulling lever 76 of the loosening prevention means 59 is pulled back to the initial state shown in FIG. 9 is moved to a position H on the peeling start end side as shown in FIG.

次に、フイルム保持手段31を移動させるため移動手段32を作動し、フイルム保持手段31の吸引パッド81をフイルム回収容器30上方の退避位置から剥離ヘッド25の剥離回収ステーションC下方の吸着保持位置Eに移動させる。その結果、フイルム保持手段31の吸引パッド81は、粘着テープ42から垂れ下がっているフイルム26の後面に対向し、この状態で吸引を開始して剥離ヘッド25から垂れ下がっている剥離後のフイルム26を吸着保持する。即ち、粘着テープ42の移動によりシート2から剥がされて略水平状態の粘着テープ42の中間部分から垂れ下がっているフイルム26をフイルム保持手段31によって保持する。   Next, the moving means 32 is operated to move the film holding means 31, and the suction pad 81 of the film holding means 31 is moved from the retracted position above the film collection container 30 to the suction holding position E below the peeling collection station C of the peeling head 25. Move to. As a result, the suction pad 81 of the film holding means 31 faces the rear surface of the film 26 that hangs down from the adhesive tape 42. In this state, suction is started and the peeled film 26 that hangs down from the peeling head 25 is sucked. Hold. That is, the film holding means 31 holds the film 26 that is peeled off from the sheet 2 by the movement of the adhesive tape 42 and hangs down from the intermediate portion of the substantially horizontal adhesive tape 42.

その後、剥離回収ステーションCにおいて、再び剥離ヘッド25のエアシリンダ39を作動させて移動体40を剥離終端側へ移動させ、図10に示すフイルム分離位置とする。移動体40のフイルム分離位置への移動により、粘着テープ42の剥離始端側の端部が第2剥離移動と同方向(フイルム26から遠去かる方向)へ移動され、その結果、粘着テープ42がフイルム26を折り返した状態で引き離され、粘着テープ42の接着部がフイルム26からスムーズに剥離され、フイルム26が粘着テープ42から分離される。この場合、粘着テープ42の剥離始端側の端部はフイルム保持手段31の吸引パッド81に対して接近する関係になるので、フイルム26を引っ張ることがなく、前記粘着テープ42の移動によるフイルム26の分離を確実にできる。尚、前記説明では、シート2から剥がされたフイルム26をフイルム保持手段31によって保持させた状態で、移動体40を第2剥離移動と同方向へ移動させて接着部より剥離終端側の粘着テープ42をフイルム26から遠去けることで粘着テープ42とフイルム26の接着を剥がしているが、フイルム保持手段31を図示しない移動手段により剥離始端側方向または下方へ移動させてフイルム26を粘着テープ42から剥がすようにしても良い。また、図6の状態で、図11に示すように、剥離ヘッド25をヘッド移動装置29の作動により剥離回収ステーションCから更に剥離完了ステーションJに移動し(更に後方へ移動し)、テープ42から剥離しても良い。   After that, at the separation / recovery station C, the air cylinder 39 of the separation head 25 is operated again to move the moving body 40 toward the separation end side to obtain the film separation position shown in FIG. Due to the movement of the moving body 40 to the film separation position, the end of the adhesive tape 42 on the peeling start end side is moved in the same direction as the second peeling movement (direction away from the film 26). As a result, the adhesive tape 42 The film 26 is pulled away in a folded state, the adhesive portion of the adhesive tape 42 is smoothly peeled off from the film 26, and the film 26 is separated from the adhesive tape 42. In this case, the end of the adhesive tape 42 on the peeling start end side approaches the suction pad 81 of the film holding means 31, so that the film 26 is not pulled and the film 26 is moved by the movement of the adhesive tape 42. Separation can be ensured. In the above description, with the film 26 peeled off from the sheet 2 being held by the film holding means 31, the moving body 40 is moved in the same direction as the second peeling movement, and the adhesive tape on the peeling termination side from the adhesive portion. The adhesive tape 42 and the film 26 are separated from each other by leaving the film 42 away from the film 26. However, the film holding means 31 is moved toward or away from the peeling start side by a moving means (not shown) to move the film 26 to the adhesive tape 42. You may make it peel from. In the state of FIG. 6, as shown in FIG. 11, the peeling head 25 is further moved from the peeling collection station C to the peeling completion station J by the operation of the head moving device 29 (moved further back), and from the tape 42. It may be peeled off.

次に、フイルム保持手段31の吸引パッド81が移動手段32によって図5に実線で示す吸着保持位置Eからフイルム回収容器30上方の図2に仮想線で示す保持開放位置Fに移動される。吸引パッド81がフイルム回収容器30の上方に移動されると、吸引パッド81の吸引力が解除され、吸引パッド81が吸着保持していたフイルム26はフイルム回収容器30内に落下されて回収される。この場合、吸引パッド81から空気を吐出して吸引パッド81からフイルム26を積極的に分離するようにすると、フイルム26の回収動作を速くすることができる。吸引パッド81は、フイルム26の吸着保持を解除した後、移動手段32によって再び図3、図4に示すように退避位置に移動され、次に剥離されてくるフイルム26の保持に備える。また、剥離ヘッド25は、ヘッド移動装置29によって再び図3に示すアクチュエータ33の一端側に移動され、第2昇降テーブル13が剥離開始ステーションに位置されるのに備える。尚、剥離ヘッド25を接着ステーションDへ移動して、次のシート2のフイルム剥離に備えても良い。   Next, the suction pad 81 of the film holding means 31 is moved by the moving means 32 from the suction holding position E indicated by the solid line in FIG. 5 to the holding / release position F indicated by the phantom line in FIG. 2 above the film collection container 30. When the suction pad 81 is moved above the film collection container 30, the suction force of the suction pad 81 is released, and the film 26 held by the suction pad 81 is dropped into the film collection container 30 and collected. . In this case, if the film 26 is positively separated from the suction pad 81 by discharging air from the suction pad 81, the recovery operation of the film 26 can be accelerated. After the suction holding of the film 26 is released, the suction pad 81 is moved to the retracted position again by the moving means 32 as shown in FIGS. 3 and 4, and is prepared for holding the film 26 that is peeled next. Further, the peeling head 25 is moved again to one end side of the actuator 33 shown in FIG. 3 by the head moving device 29, so that the second lifting table 13 is positioned at the peeling start station. Note that the peeling head 25 may be moved to the bonding station D to prepare for the next film peeling of the sheet 2.

次に、必要に応じて、回転阻止装置53のエアシリンダ63を作動させて押当具63cを上昇位置に保持させ、この状態で、巻取り装置57のエアシリンダ73を作動させて可動逆止爪72を一時的に所定量突出させ、その結果、可動逆止爪72がラチェット歯車68aを次の爪が逆止爪71に係合される位置まで爪の1ピッチ分以上回動させて回転体68を巻取り方向へ所定量回転させる。回転体68の巻取り方向への回転によって、粘着テープ巻取体56が粘着テープ42を所定長さ分巻き取り、テープ支持装置51の粘着テープ巻付体50を巻戻し回転させ、押圧手段54によって押下げる粘着テープ42の接着部が新しい部分に変更される。従って、粘着テープ42を各シート2のフイルム26の剥離始端側隅角部26a上に確実に接着させることができる。粘着テープ42の巻取りは各シート2のフイルム26を剥離する度に行なっても良いし、所定枚数のシート2のフイルム26を剥離したときや任意枚数のシート2のフイルム26を剥離したときに行なうようにしても良い。   Next, if necessary, the air cylinder 63 of the rotation prevention device 53 is operated to hold the pressing tool 63c in the raised position, and in this state, the air cylinder 73 of the winding device 57 is operated to perform a movable check. The claw 72 is temporarily protruded by a predetermined amount, and as a result, the movable check claw 72 rotates the ratchet gear 68a by rotating the claw by one pitch or more until the next claw is engaged with the check claw 71. The body 68 is rotated by a predetermined amount in the winding direction. By rotating the rotating body 68 in the winding direction, the adhesive tape winding body 56 winds up the adhesive tape 42 by a predetermined length, rotates the adhesive tape winding body 50 of the tape support device 51, and rotates the pressing means 54. The adhesive part of the pressure-sensitive adhesive tape 42 to be pushed down is changed to a new part. Therefore, the adhesive tape 42 can be reliably adhered onto the peeling start side corner portion 26a of the film 26 of each sheet 2. The winding of the adhesive tape 42 may be performed every time the film 26 of each sheet 2 is peeled off, or when the film 26 of a predetermined number of sheets 2 is peeled off or when the film 26 of an arbitrary number of sheets 2 is peeled off. You may make it do.

第2昇降テーブル13上の1枚目のシート2からフイルム26が剥離されると、仮接合ステーション5では、第2昇降テーブル13が上昇して前記フイルム26が剥離された1枚目のシート2が2枚目のフイルム付シート2に重合された後、2枚のシート2が仮接合装置21により仮接合される。1枚目のシート2と2枚目のフイルム付シート2が仮接合されると、第2昇降テーブル13は積層シート2を吸着保持した状態で下降すると共に積層ステーション6に移動し、仮接合された1枚目のシート2と2枚目のフイルム付シート2が、プレス装置24により熱圧着される。仮接合された1枚目のシート2と2枚目のフイルム付シート2が積層ステーション6においてプレス装置24により熱圧着される際、2枚目のシート2にフイルム26が付いた状態で熱圧着することで、シート2の熱変位を小さく抑える効果があり、また、プレス装置24にシート2が貼り付くことを防止することができる効果がある。また、シート2に塵埃が付着することを防止できる。これにより、積層精度を高精度に維持できて最終的に製造されるシート積層体の品質を高くすることができる。   When the film 26 is peeled from the first sheet 2 on the second lifting / lowering table 13, the first sheet 2 on which the second lifting / lowering table 13 is lifted and the film 26 is peeled off at the temporary joining station 5. Are superposed on the second sheet 2 with film, and then the two sheets 2 are temporarily joined by the temporary joining device 21. When the first sheet 2 and the second film-attached sheet 2 are temporarily joined, the second elevating table 13 is lowered while the laminated sheet 2 is sucked and held and moved to the laminating station 6 to be temporarily joined. The first sheet 2 and the second film-attached sheet 2 are thermocompression bonded by the press device 24. When the first sheet 2 and the second film-attached sheet 2 that have been temporarily joined are thermocompression bonded at the laminating station 6 by the press device 24, the second sheet 2 is thermocompression bonded with the film 26 attached thereto. By doing so, there is an effect of suppressing the thermal displacement of the sheet 2 to be small, and there is an effect of preventing the sheet 2 from sticking to the press device 24. Further, dust can be prevented from adhering to the sheet 2. Thereby, the lamination accuracy can be maintained with high accuracy, and the quality of the finally produced sheet laminate can be increased.

一方、そのように1枚目のシート2と2枚目のフイルム付シート2が熱圧着されている間に、3枚目のフイルム付シート2が搬入ステーション4の第1搬送装置9の第1昇降テーブル12上に載置され、仮接合ステーション5に搬送されて仮接合装置21に3枚目のフイルム付シート2が吸引固定されて受け渡される。3枚目のフイルム付シート2が受け渡されると第1昇降テーブル12は搬入ステーション4に移動する。   On the other hand, while the first sheet 2 and the second film-attached sheet 2 are thermocompression bonded as described above, the third film-attached sheet 2 is transferred to the first conveying device 9 of the carry-in station 4. It is placed on the lifting table 12, transported to the temporary joining station 5, and the third sheet with film 2 is sucked and fixed to the temporary joining device 21 and delivered. When the third sheet 2 with film is delivered, the first elevating table 12 moves to the carry-in station 4.

次に、熱圧着された1枚目のシート2と2枚目のフイルム付シート2を吸着保持した第2昇降テーブル13が剥離開始ステーションAに移動する。第2昇降テーブル13には、2枚目のフイルム付シート2が最上部に位置しており、前記1枚目のフイルム付シート2のフイルム26の剥離と同様に、第2昇降テーブル13の剥離開始ステーションAから剥離完了ステーションBへの移動と剥離ヘッド25の第2昇降テーブル13の移動軌跡Lを横切る方向への移動により、2枚目のフイルム付シート2からフイルム26が剥離される。2枚目のシート2からフイルム26が剥離されると、前記1枚目のフイルム26が剥離されたシート2と同様な動作が行われ、仮接合装置21により1、2枚目のシート2,2と3枚目のフイルム付シート2が仮接合された後、積層ステーション6でプレス装置24によって熱圧着される。そして、上記したような搬入、仮接合、熱圧着、フイルム剥離を所定回数だけ繰り返すことによって、最終的に必要な枚数のシート2を積層したシート積層体が形成される。しかる後、形成されたシート積層体は第3搬送装置11に保持され、積層ステーション6から搬出ステーション7へ搬送された後、積層装置3から搬出される。尚、複数のシート2が積層されることでシートが厚くなるが、押圧具65cが弾性部材から成ることで粘着テープ貼付け時に積層されたシート2の厚さの変化にあまり影響されない。   Next, the second lifting / lowering table 13 that sucks and holds the first sheet 2 and the second sheet 2 with film is moved to the peeling start station A. The second elevating table 13 has the second sheet with film 2 positioned at the top, and the second elevating table 13 is peeled in the same manner as the film 26 is peeled off from the first sheet with film 2. The film 26 is peeled from the second sheet with film 2 by the movement from the start station A to the peeling completion station B and the movement of the peeling head 25 in the direction crossing the movement locus L of the second lifting table 13. When the film 26 is peeled from the second sheet 2, the same operation as that of the sheet 2 from which the first film 26 has been peeled is performed. After the second and third film-attached sheets 2 are temporarily joined, they are thermocompression-bonded by the press device 24 at the laminating station 6. Then, by repeatedly carrying in, provisional joining, thermocompression bonding, and film peeling as described above a predetermined number of times, a sheet laminated body in which a necessary number of sheets 2 are finally laminated is formed. Thereafter, the formed sheet stack is held by the third transport device 11, transported from the stacking station 6 to the unloading station 7, and then transported from the stacking device 3. In addition, although a sheet | seat becomes thick because the some sheet | seat 2 is laminated | stacked, since the press tool 65c consists of an elastic member, it is not influenced so much by the change of the thickness of the sheet | seat 2 laminated | stacked at the time of adhesive tape sticking.

上記実施の形態では、フイルム付シート2を吸引固着した状態の第2昇降テーブル13を剥離開始ステーションAから剥離完了ステーションBへ向けて移動することで、剥離ヘッド25との相対移動でフイルム26を剥離しているが、搬入ステーション4と仮接合ステーション5間に剥離開始ステーションAと剥離終了ステーションBを設けてその剥離開始ステーションAにフイルム剥離装置1を配置し、第1昇降テーブル12にフイルム付シート2を吸着固定した状態で第1昇降テーブル12を剥離開始ステーションAから剥離完了ステーションBへ向けて移動することでフイルム26を剥離するようにしても良い。また、フイルム把持手段としての粘着体を粘着テープ42で構成したが、負圧により吸着する負圧吸着手段で構成することもできる。   In the above embodiment, the film 26 is moved by the relative movement with the peeling head 25 by moving the second elevating table 13 in the state where the sheet with film 2 is sucked and fixed toward the peeling completion station B from the peeling start station A. Although peeling has occurred, a peeling start station A and a peeling end station B are provided between the carry-in station 4 and the temporary joining station 5, the film peeling apparatus 1 is disposed at the peeling start station A, and the first lifting table 12 is provided with a film. The film 26 may be peeled off by moving the first elevating table 12 from the peeling start station A toward the peeling completion station B in a state where the sheet 2 is sucked and fixed. Moreover, although the adhesive body as a film holding means is comprised with the adhesive tape 42, it can also be comprised with the negative pressure adsorption | suction means adsorb | sucked with a negative pressure.

本発明のフイルム剥離装置を備えた積層装置の正面図である。It is a front view of the lamination apparatus provided with the film peeling apparatus of this invention. 図1のフイルム剥離装置を備えた積層装置の平面図である。It is a top view of the lamination apparatus provided with the film peeling apparatus of FIG. 第2搬送ステージを仮接合ステーションとした平面図である。It is a top view which used the 2nd conveyance stage as the temporary joining station. 第2搬送ステージを剥離開始ステーションとした平面図である。It is a top view which made the 2nd conveyance stage the peeling start station. 第2搬送ステージを剥離完了ステーションとした平面図である。It is a top view which made the 2nd conveyance stage the peeling completion station. 図2のVI視図である。FIG. 3 is a view from the VI in FIG. 2. 図6の剥離ヘッドの作動状態を示す剥離ヘッドの部分図である。FIG. 7 is a partial view of the peeling head showing an operating state of the peeling head of FIG. 6. 図6の剥離ヘッドの作動状態を示す剥離ヘッドの正面図である。It is a front view of the peeling head which shows the operating state of the peeling head of FIG. フイルム剥離装置の作動状態を示す部分正面図である。It is a partial front view which shows the operation state of a film peeling apparatus. フイルム剥離装置の作動状態を示す部分正面図である。It is a partial front view which shows the operation state of a film peeling apparatus. 他のフイルム剥離装置からのフィルムの剥離を説明する図である。It is a figure explaining peeling of the film from another film peeling apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 フイルム剥離装置
2 フイルム付シート
2a 剥離始端側隅角部
2b 剥離終端側隅角部
13 第2昇降テーブル
17 第2テーブル移動装置
25 剥離ヘッド
26 フイルム
29 ヘッド移動装置
30 フイルム回収容器
38 ヘッド本体
39 エアシリンダ(直線駆動装置)
41 粘着体移動装置
42 粘着テープ(フイルム把持手段)
50 粘着テープ巻付体
51 テープ支持装置
56 粘着テープ巻取体
57 巻取り装置
59 弛み防止手段
83 検出器
A 剥離開始ステーション
B 剥離完了ステーション
L 移動軌跡
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film peeling apparatus 2 Sheet | seat with film 2a Peeling start side corner part 2b Peeling end side corner part 13 2nd raising / lowering table 17 2nd table moving apparatus 25 Peeling head 26 Film 29 Head moving apparatus 30 Film collection container 38 Head main body 39 Air cylinder (linear drive)
41 Adhesive body moving device 42 Adhesive tape (film gripping means)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 Adhesive tape winding body 51 Tape support apparatus 56 Adhesive tape winding body 57 Winding apparatus 59 Slack prevention means 83 Detector A Peeling start station B Peeling completion station L Movement locus

Claims (8)

テーブル上に保持した矩形のフイルム付シートのフイルムをフイルム把持手段を用いてシートから剥離するようにしたフイルム剥離装置において、テーブルをテーブル移動装置によって剥離開始ステーションから剥離完了ステーションへテーブル上のフイルム付シートの一辺に沿う方向へ移動可能に設けると共に、剥離開始ステーションに位置されるテーブルの移動軌跡の上方に剥離ヘッドをヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能に設け、その剥離ヘッドにフイルム把持手段をテーブル上のフイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルムを把持可能でかつフイルムの剥離始端側隅角部から対角位置の剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能に備え、テーブル移動装置とヘッド移動装置を剥離ヘッドがフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ相対移動するように連動可能に構成して成るフイルム剥離装置。   In a film peeling apparatus in which a film of a rectangular film with a sheet held on a table is peeled off from the sheet using film gripping means, the table is moved from the peeling start station to the peeling completion station by the table moving device. The peeling head is provided so as to be movable in a direction along one side of the sheet, and a peeling head is provided above the movement trajectory of the table located at the peeling start station so as to be movable in a direction crossing the movement locus of the table by the head moving device. The film gripping means can grip the film at the corner of the peeling start side of the film-attached sheet on the table and can move a predetermined amount from the corner at the peeling start side of the film toward the corner at the end of peeling at the diagonal position. The peeling head is the film that moves the table moving device and the head moving device. Operatively configured to film peeling apparatus comprising for relative movement from peeling starting side corners to the peeling end side corners direction. フイルム把持手段は、フイルム付シートの剥離始端側隅角部のフイルム上に接着可能な粘着体であり、粘着体移動装置によって移動可能に構成して成る請求項1記載のフイルム剥離装置。 2. The film peeling apparatus according to claim 1, wherein the film gripping means is an adhesive body that can be adhered onto the film at the corner of the peeling start end side of the film-attached sheet, and is configured to be movable by an adhesive body moving apparatus. ヘッド移動装置によってテーブルの移動軌跡を横切る方向へ移動可能な剥離ヘッドの一方の移動端側に剥離後のフイルムを収容可能なフイルム回収容器を備え、シートから剥がされたフイルムをヘッド移動装置によってフイルム回収容器上に搬送して回収するようにした請求項1または2記載のフイルム剥離装置。   A film recovery container that can store the film after peeling is provided on one moving end side of the peeling head that can be moved in the direction crossing the movement trajectory of the table by the head moving device, and the film peeled off from the sheet is removed by the head moving device. The film peeling apparatus according to claim 1 or 2, wherein the film peeling apparatus is transported and collected on a collection container. 剥離ヘッドのヘッド本体にフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ移動可能に備えた移動体とその移動体をフイルムの剥離始端側隅角部から剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能な直線駆動装置によって粘着体移動装置を構成し、その移動体に粘着体を備えて成る請求項2または3記載のフイルム剥離装置。   A moving body provided on the head main body of the peeling head so as to be movable from the peeling start side corner of the film toward the peeling end side corner, and the moving body from the peeling start side corner of the film to the peeling end side corner. 4. The film peeling apparatus according to claim 2, wherein the adhesive body moving device is constituted by a linear drive device capable of moving in a direction by a predetermined amount, and the moving body is provided with an adhesive body. 粘着体を下側が粘着面の粘着テープで構成し、その粘着テープの剥離終端側隅角部側の端部をヘッド本体に、粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部を移動体に夫々保持させ、粘着テープをフイルムの剥離始端側隅角部に接着させた状態で移動体を剥離終端側隅角部方向へ移動させて粘着テープの剥離始端側隅角部側の端部のみを剥離終端側隅角部方向へ所定量移動可能にした請求項1乃至4の何れかに記載のフイルム剥離装置。   The adhesive body is composed of an adhesive tape with the adhesive surface on the lower side, and the end of the adhesive tape on the peeling end side corner is the head body, and the end of the adhesive tape on the peeling start side is the moving body. Holding each of them, with the adhesive tape adhered to the corner at the peeling start side of the film, move the moving body in the direction of the corner at the peeling end side to move only the end of the adhesive tape at the corner at the peeling start side. The film peeling apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the film peeling device is movable by a predetermined amount in the direction of the peeling end side corner portion. 下側が粘着面の粘着テープの一端側に繋がる粘着テープ巻付体を回転可能に支持するテープ支持装置を移動体に、粘着テープの他端側に繋がる粘着テープ巻取体を巻取り回転可能な巻取り装置をヘッド本体に夫々備え、粘着テープ巻取体を巻取り回転させて粘着テープ巻付体の粘着テープを引き出し、フイルム付シートの剥離始端側隅角部上に接着させる粘着テープの接着部を新しくできるようにした請求項5記載のフイルム剥離装置。   The tape support device that rotatably supports the adhesive tape winding body connected to one end side of the adhesive tape whose lower side is the adhesive surface can be rotated, and the adhesive tape winding body connected to the other end side of the adhesive tape can be wound and rotated. Adhesion of the adhesive tape, which is equipped with a winding device in each head body, winds up and rotates the adhesive tape winder, pulls out the adhesive tape of the adhesive tape winding body, and adheres it to the corner of the peeling start side of the sheet with film 6. The film peeling apparatus according to claim 5, wherein the part can be renewed. 剥離ヘッドに、粘着テープの接着位置より剥離終端側の粘着テープが下側へ弛むのを防止する弛み防止手段を備えて成る請求項5または6記載のフイルム剥離装置。   The film peeling apparatus according to claim 5 or 6, wherein the peeling head is provided with a slack preventing means for preventing the pressure-sensitive adhesive tape on the peeling end side from slacking downward from the adhesive tape bonding position. 剥離ヘッドに、粘着テープの剥離始端側部分を剥離終端側方向へ移動させることでフイルム付シートのフイルムの剥離始端側隅角部がシートから剥がれて折り返されたことを検出可能な検出器を備えて成る請求項5乃至7の何れかに記載のフイルム剥離装置。   The peeling head is equipped with a detector that can detect that the corner of the peeling start side of the film with the film has been peeled off and folded by moving the peeling start side of the adhesive tape toward the peeling end side. The film peeling apparatus according to any one of claims 5 to 7.
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