JP4982674B2 - X-ray generator - Google Patents
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Description
本発明は、電子を発生する電子発生手段及び支持部材に支持されたX線ターゲットが真空管内に配置され、前記電子発生手段から前記X線ターゲットへ電子を照射することにより生じるX線を所定位置へ導くX線ガイド手段が真空管外に配置されているX線発生器に関する。 In the present invention, an electron generating means for generating electrons and an X-ray target supported by a support member are arranged in a vacuum tube, and X-rays generated by irradiating the X-ray target from the electron generating means with a predetermined position The present invention relates to an X-ray generator in which X-ray guide means for guiding is arranged outside a vacuum tube.
近年、動植物もしくは鉱物の分析、又は、電子部品の解析もしくは品質管理などにX線分析装置が用いられている(例えば、特許文献1参照)。X線分析装置は、試料にX線を照射するためのX線発生器を備える。図5はX線発生器の例を示す図である。X線発生器は、電子を発生するフィラメント70と、X線ターゲット62と、フィラメント70からX線ターゲット62へ電子を照射することにより生じるX線を試料に導くX線ガイドチューブ(X線ガイド手段)80とを備える。
X線ターゲット62及びフィラメント70は真空管68内に配置され、X線ガイドチューブ80は、ベリリウム窓72を挟んで真空管68外に配置されている。X線ガイドチューブ80の直径は0.1mm程度であり、X線ターゲット62からX線ガイドチューブ80までの距離は30mm程度である。そのため、X線ガイドチューブ80によって試料に導かれるのは、X線ターゲット62で生じたX線の一部だけであり、生じたX線は有効に使用されていないという問題がある。
The
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、真空管に内側へ凹んだ凹部を設け、該凹部にX線ガイド手段を挿入した構成とすることにより、X線ターゲットで発生したX線を効率良くX線ガイド手段で集光又は絞って(以下、集光等という)、輝度を向上させることができるX線発生器を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and is provided with a recess recessed inwardly in a vacuum tube, and an X-ray guide means is inserted into the recess so that X-rays generated in an X-ray target can be generated. An object of the present invention is to provide an X-ray generator capable of improving luminance by condensing or constricting with an X-ray guide means (hereinafter referred to as condensing).
また、本発明は、支持部材の突起部に記X線ターゲットを取付けた構成にすることにより、電子をX線ターゲットに集束し、衝突させ、X線ターゲットで発生したX線を効率良くX線ガイド手段で集光等し、輝度を向上させることができるX線発生器を提供することを他の目的とする。 Further, in the present invention, the X-ray target is attached to the protrusion of the support member, so that the electrons are focused on the X-ray target and collided to efficiently generate the X-ray generated by the X-ray target. Another object of the present invention is to provide an X-ray generator that can improve brightness by condensing light with a guide means.
また、本発明は、表面が球面状の突起部にX線ターゲットを取付けた構成とすることにより、電子をX線ターゲットにより良好に集束し、衝突させ、X線ターゲットで発生したX線をさらに効率良くX線ガイド手段で集光等して、より良好に輝度を向上させることができるX線発生器を提供することを他の目的とする。 Further, in the present invention, by adopting a configuration in which the X-ray target is attached to the projection portion having a spherical surface, electrons are well focused and collided with the X-ray target, and the X-ray generated by the X-ray target is further reduced. Another object of the present invention is to provide an X-ray generator that can improve luminance more efficiently by condensing light efficiently with an X-ray guide means.
また、本発明は、支持部材の突起部にダイヤモンドを介してX線ターゲットを取付けることにより、X線ターゲットの放熱を効率的に行うことができるX線発生器を提供することを他の目的とする。 Another object of the present invention is to provide an X-ray generator that can efficiently dissipate heat from the X-ray target by attaching the X-ray target to the protrusion of the support member via diamond. To do.
また、本発明は、X線ガイド手段及び電子発生手段を、支持部材の突起部と向き合うように配置したことにより、X線発生器を小型化することができるX線発生器を提供することを他の目的とする。 In addition, the present invention provides an X-ray generator capable of reducing the size of the X-ray generator by disposing the X-ray guide means and the electron generating means so as to face the protrusion of the support member. For other purposes.
また、本発明は、電子発生手段として、コールドエミッタと、該コールドエミッタから電子を発生させる電極とを用いることにより、小型化できるX線発生器を提供することを他の目的とする。 Another object of the present invention is to provide an X-ray generator that can be miniaturized by using a cold emitter and an electrode for generating electrons from the cold emitter as electron generating means.
本発明に係るX線発生器は、電子を発生する電子発生手段及び支持部材に支持されたX線ターゲットが真空管内に配置され、前記電子発生手段から前記X線ターゲットへ電子を照射することにより生じるX線を所定位置へ導くX線ガイド手段が真空管外に配置されているX線発生器において、前記電子発生手段は、カーボンナノチューブを用いてなるコールドエミッタと、該コールドエミッタから電子を発生させる電極とを備え、前記支持部材は突起部を有し、前記X線ターゲットは、ダイヤモンドを介して前記突起部に取付けられてあり、前記X線ガイド手段は、管状に形成され、一端に入射したX線の内、内面に対する入射角度が全反射の臨界角よりも小さいX線を、内面で全反射することによって集光し、他端から前記所定位置へ照射する構成となっており、前記X線ガイド手段及び前記電子発生手段は、前記X線ターゲットと向き合うように配置されており、前記真空管は、内側へ凹んだ凹部を備え、該凹部に前記X線ガイド手段の一端が挿入されていることを特徴とする。 In the X-ray generator according to the present invention, an electron generating means for generating electrons and an X-ray target supported by a support member are arranged in a vacuum tube, and the X-ray target is irradiated with electrons from the electron generating means. In an X-ray generator in which X-ray guide means for guiding generated X-rays to a predetermined position is disposed outside the vacuum tube, the electron generation means generates a cold emitter using carbon nanotubes and electrons from the cold emitter. The support member has a projection, the X-ray target is attached to the projection via a diamond, and the X-ray guide means is formed in a tubular shape and is incident on one end Of the X-rays, X-rays whose incident angle with respect to the inner surface is smaller than the critical angle of total reflection are condensed by total reflection on the inner surface and irradiated to the predetermined position from the other end. Configuration and has become in that, said X-ray guide means and the electron generating means is arranged to face to the X-ray target, the tube is provided with a recess recessed inwardly, the X-ray to the recess One end of the guide means is inserted.
本発明に係るX線発生器は、前記突起部及びダイヤモンドを介して該突起部に取付けられた前記X線ターゲットを合わせた表面形状は球面状であることを特徴とする。 The X-ray generator according to the present invention is characterized in that the combined surface shape of the X-ray target attached to the protrusion via the protrusion and diamond is spherical.
本発明に係るX線発生器は、電子を発生する電子発生手段及び支持部材に支持されたX線ターゲットが真空管内に配置され、前記電子発生手段から前記X線ターゲットへ電子を照射することにより生じるX線を所定位置へ導くX線ガイド手段が真空管外に配置されているX線発生器において、前記支持部材は突起部を有し、前記X線ターゲットは、ダイヤモンドを介して前記突起部に取付けられてあり、前記X線ガイド手段は、管状に形成され、一端に入射したX線の内、内面に対する入射角度が全反射の臨界角よりも小さいX線を、内面で全反射することによって集光し、他端から前記所定位置へ照射する構成となっており、前記X線ガイド手段及び前記電子発生手段は、前記X線ターゲットと向き合うように配置され、前記電子発生手段は、前記X線ガイド手段のX線ターゲット側の端部周辺に配置されたカーボンナノチューブを用いてなるコールドエミッタと、該コールドエミッタから電子を発生させる電極とを備えていることを特徴とする。 In the X-ray generator according to the present invention, an electron generating means for generating electrons and an X-ray target supported by a support member are arranged in a vacuum tube, and the X-ray target is irradiated with electrons from the electron generating means. In the X-ray generator in which X-ray guide means for guiding the generated X-rays to a predetermined position is arranged outside the vacuum tube, the support member has a protrusion, and the X-ray target is attached to the protrusion via a diamond. The X-ray guide means is formed in a tubular shape by totally reflecting, on the inner surface, X-rays whose incident angle with respect to the inner surface is smaller than the critical angle of total reflection among the X-rays incident on one end. The X-ray guide means and the electron generating means are arranged so as to face the X-ray target, and the electron generating means is configured to collect light and irradiate the predetermined position from the other end. , Characterized in that it comprises a cold emitter formed by using the arranged carbon nanotubes to the end periphery of the X-ray target side of the X-ray guide means and an electrode to generate electrons from the cold emitter.
本発明においては、真空管が備える内側へ凹んだ凹部にX線ガイド手段を挿入しているため、X線ターゲットとX線ガイド手段との距離が縮まり、立体角を大きくし、X線ターゲットで発生したX線を効率良くX線ガイド手段で集光等することが可能になり、輝度を向上させることができる。なお、X線ガイド手段とは、X線ガイドチューブのようなX線を集光等して照射領域に導くもの、コリメータのように立体角を制限してX線を照射領域に導くものなどを含む。 In the present invention, since the X-ray guide means is inserted into the inwardly recessed portion of the vacuum tube, the distance between the X-ray target and the X-ray guide means is reduced, the solid angle is increased, and the X-ray target is generated. The X-rays can be efficiently condensed by the X-ray guide means, and the luminance can be improved. The X-ray guide means includes an X-ray guide tube that collects X-rays and directs them to the irradiation region, and a collimator that restricts the solid angle and guides X-rays to the irradiation region. Including.
本発明においては、支持部材は突起部を有し、該突起部にX線ターゲットを取付けている。突起部の周辺の電気力線の分布は突起部の形状に応じたほぼ同心状の分布となり、電子発生手段から照射された電子は前記分布の中心方向に集束する。例えば突起部の表面を球面状とした場合、前記突起部の周辺の電気力線の分布は同心球面状の分布となり、電子発生手段から照射された電子は前記同心球面の中心方向に集束する。X線ターゲットに照射する電子を集束し、X線ターゲットで発生したX線を効率良くガイドすることが可能になり、X線ビーム径を容易に微小化することができる。また、電子の照射スポットを集束することにより、電流量を減少することができ、電源ユニット小型化できる。そのため、発生器全体の小型化が容易になる。さらに、突起部は真空管内側に突出しているため、X線ターゲットは真空管の内側に配置されることになり、X線ガイド手段との距離が縮まる。そのため、X線ターゲットで発生したX線を効率良くX線ガイド手段で集光等することが可能になり、輝度を向上させることができる。 In the present invention, the support member has a protrusion, and an X-ray target is attached to the protrusion. The distribution of the electric lines of force around the protrusion is a substantially concentric distribution according to the shape of the protrusion, and the electrons irradiated from the electron generating means are focused in the central direction of the distribution. For example, when the surface of the protruding portion is spherical, the distribution of electric lines of force around the protruding portion is a concentric spherical distribution, and the electrons emitted from the electron generating means are converged toward the center of the concentric spherical surface. It is possible to focus the electrons irradiating the X-ray target, efficiently guide the X-ray generated by the X-ray target, and to easily reduce the X-ray beam diameter. Further, by focusing the electron irradiation spot, the amount of current can be reduced, and the power supply unit can be downsized. Therefore, it becomes easy to reduce the size of the entire generator. Furthermore, since the protrusion protrudes inside the vacuum tube, the X-ray target is disposed inside the vacuum tube, and the distance from the X-ray guide means is reduced. Therefore, X-rays generated by the X-ray target can be efficiently condensed by the X-ray guide means, and the luminance can be improved.
本発明においては、X線ターゲットを、熱伝導率の高いダイヤモンドを介して支持部材の突起部に取付けているため、X線ターゲットで生じた熱を効率的に支持部材に逃がすことができる。X線ターゲットの放熱を効率的に行うことができる。 In the present invention, since the X-ray target is attached to the protrusion of the support member via diamond having high thermal conductivity, the heat generated in the X-ray target can be efficiently released to the support member. Heat radiation of the X-ray target can be performed efficiently.
本発明においては、生じたX線を所定位置に導くX線ガイド手段及び電子発生手段を、支持部材の突起部と向き合うように配置する場合、電子発生手段をX線ガイド手段近傍で支持することが可能になる。電子発生手段をX線ガイド手段の近傍で支持することにより、X線発生器を小型化することができる。 In the present invention, when the X-ray guide means and the electron generation means for guiding the generated X-rays to a predetermined position are arranged so as to face the protrusion of the support member, the electron generation means is supported in the vicinity of the X-ray guide means. Is possible. By supporting the electron generating means in the vicinity of the X-ray guide means, the X-ray generator can be reduced in size.
本発明においては、電子発生手段として、コールドエミッタ(冷陰極)と、該コールドエミッタから電子を発生させる電極とを用いているため、タングステンフィラメントを用いる場合とは異なり、熱を加える必要がない。熱を加えないため、冷却ファンなどは不要であり、X線発生器を小型化できる。また、コールドエミッタを用いることにより、高輝度化できる。 In the present invention, since a cold emitter (cold cathode) and an electrode for generating electrons from the cold emitter are used as the electron generating means, unlike the case of using a tungsten filament, it is not necessary to apply heat. Since heat is not applied, a cooling fan or the like is unnecessary, and the X-ray generator can be downsized. Further, the use of a cold emitter can increase the brightness.
本発明によれば、X線ターゲットで発生したX線を効率良くX線ガイド手段で集光等し、輝度を向上させることができる。 According to the present invention, the X-rays generated by the X-ray target can be efficiently condensed by the X-ray guide means and the luminance can be improved.
本発明によれば、X線ターゲットに照射する電子を集束し、X線ターゲットで発生したX線を効率良くX線ガイド手段で集光等し、輝度を向上させることができる。 According to the present invention, the electrons irradiated to the X-ray target can be focused, and the X-ray generated by the X-ray target can be efficiently condensed by the X-ray guide means, thereby improving the luminance.
本発明によれば、X線ターゲットの放熱を効率的に行うことができる。 According to the present invention, the heat radiation of the X-ray target can be efficiently performed.
本発明によれば、X線発生器を小型化することができる。 According to the present invention, the X-ray generator can be reduced in size.
以下、本発明のX線発生器をX線分析装置に用いた場合を例にして説明を行う。なお、本発明のX線発生器は、X線分析装置に限定はされず、X線を発生させる任意の装置に用いることが可能である。 Hereinafter, the case where the X-ray generator of the present invention is used in an X-ray analyzer will be described as an example. The X-ray generator of the present invention is not limited to the X-ray analyzer, and can be used for any apparatus that generates X-rays.
図1は、本発明に係るX線発生器の構成例を示す部分断面図である。X線発生器10は、試料ステージ36上方に配置されており、試料ステージ36上に載置された試料38にX線を照射する。30はシリカガラス製のX線ガイドチューブ(X線ガイド手段)であり、先端側の開口部は試料ステージ36上方に配置されている。X線ガイドチューブ30は、直径が0.1mm程度の円筒などの管状のものであるが、例えば半円筒状のものを用いることも可能である。なお、図示してないが、試料ステージ36に臨むように、試料38にX線を照射したことにより生じる蛍光X線を検出するための半導体検出器が設けられている。
FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a configuration example of an X-ray generator according to the present invention. The
X線ガイドチューブ30の根元側は、真空管18の内側に突出した凹部28に挿入されている。真空管18は、ゲッターポンプ19により高真空に保たれる。図2は凹部28の底部分の部分断面図である。凹部28の底部分にはベリリウム窓22が設けられており、X線ガイドチューブ30の根元側の開口部は、ベリリウム窓22と対面している。ベリリウム窓22の上側(真空管18内側)の中心及び外周周辺には、カーボンナノチューブ(コールドエミッタ:冷陰極)20が配置され、さらに上側(X線ターゲット12側)に引き出し電極24が配置され、電子発生手段が構成されている。なお、カーボンナノチューブ20は、ベリリウム窓22の上側の中心には配置せず、外周周辺のみに配置することも可能である。この場合、X線ガイドチューブ30に入射されるX線が、中心に配置されたカーボンナノチューブ20によって遮られないため、効率的にX線が入射される。
The base side of the
引き出し電極24の上方には、図1に示すように、X線ターゲット12が配置されている。X線ターゲット12は、棒状の銅製の支持部材14の先端(突起部)に取付けられている。支持部材14の先端側は、真空管18内に配置され、支持部材14の根元側は、油浴16に挿入されている。図3は、支持部材14の先端部分の部分断面図である。支持部材14の先端表面は球面状である。
As shown in FIG. 1, the
X線ターゲット12は、ダイヤモンド40を介して、銅製の支持部材14の先端に取付けられている。X線ターゲット12は、緩衝層42を介して、蒸着法又はスパッタ法によりダイヤモンド40に固着される。緩衝層42としては、例えばX線ターゲット12がロジウムの場合はタンタルを用い、X線ターゲット12がタングステンの場合は緩衝層42を設けないことも可能である。ダイヤモンド40は、真空中での銀ロウ付けにより、銅製の支持部材14に固着される。支持部材14とダイヤモンド40との間には、熱膨張差の緩衝層44として、チタンなどの薄膜を設けることが好ましい。X線ターゲット12の熱は、高熱伝導性のダイヤモンド40及び銅製の支持部材14を通して油浴16へ逃がされる。
The
引き出し電極24には電源E1が接続されており、また、引き出し電極24とX線ターゲット12との間には、カーボンナノチューブ20から発生された電子を加速するための高電圧が電源E2により印加されている。引き出し電極24にかけられた電圧によってカーボンナノチューブ20から発生された電子26は、X線ターゲット12と引き出し電極24との間にかけられた電界によって加速され、X線ターゲット12に衝突する。その際、支持部材14の先端は半球形状であり、図1又は3の破線に示すように、先端周辺の電気力線は先端と同心の球面状となり、加速された電子は前記球面の中心方向へ集束するため、X線ターゲット12に例えば直径1μm等のスポットで容易に集束することができる。また、電子の集束が容易なため、電源E2を小型化することが可能となる。
A power supply E1 is connected to the
X線ターゲット12に電子が衝突することによりX線が発生し、発生したX線はX線ガイドチューブ30に進み、X線ガイドチューブ30の内面に対する入射角度が全反射の臨界角よりも小さい場合、内面と全反射することによって集光され、試料ステージ36上の試料38に照射される。その際、電子がX線ターゲット12上に小さな径で集束されている方が、高エネルギのX線が効率よく集光される。また、X線ガイドチューブ30は真空管18の凹部28に挿入されているため、X線ターゲット12からX線ガイドチューブ30までの距離は7mm程度に縮まり、X線を効率良く集光することができる。よって、高輝度微小径のX線ビームを実現できる。X線の輝度が高まるため、直径1μmにX線を集光しても十分な強度を得ることができ、2次元測定における空間分解能を、現在の10μmから1μmに飛躍的に改善することができる。試料38にX線を照射することにより生じる蛍光X線は、上述した図示しない半導体検出器によって検出される。そして、半導体検出器の信号を図示しない分析装置で分析することにより、試料38の組成を得ることができる。
When X-rays are generated by collision of electrons with the
また、X線ガイドチューブ30を真空管18の凹部28に挿入することにより、X線発生器を小型化することができる。さらに、X線ガイドチューブ30の根元側の開口部付近にカーボンナノチューブ20及び引き出し電極24を配置することにより、X線発生器を小型化することができる。X線発生器が小型化されるため、X線発生器自体を移動させて走査を行うことができる。そのため、大きなサンプル又は生体サンプルに対して測定が可能になる。特に、医療分野で今まで不可能であった人体に対する蛍光X線分析を行うことが可能になる。
Further, the X-ray generator can be miniaturized by inserting the
上述した実施の形態において、コールドエミッタ(20)としては、カーボンナノチューブの代わりに、LaB6 結晶を用いることが可能である。また、コールドエミッタ(20)とX線ターゲット12との間で加速された電子は、支持部材14の先端形状に応じた電界によってX線ターゲット12上に集束されるが、この集束のために電磁レンズを用いることも可能である。また、X線ターゲット12はタングステン又はロジウムなどを用い、熱伝導性の良い銅又は銀などの金属にインブラント又は機械的に接着することが可能である。また、ファンを用いて油浴16を空冷したり、油浴16を用いずに銅又は銀自体を空冷して熱を逃がすことも可能である。さらに、放熱が良好な場合は、X線ターゲット12と銅又は銀との間にダイヤモンドを用いないことも可能である。
In the above-described embodiment, a LaB 6 crystal can be used as the cold emitter (20) instead of the carbon nanotube. Further, the electrons accelerated between the cold emitter (20) and the
また、上述した実施の形態において、カーボンナノチューブの代わりに、負バイアスにしたフィラメントを用いることも勿論可能である。また、当該構造の場合は、油浴16を用いずに、水冷により熱を逃がすことも可能である。図4は、本発明に係るX線発生器の構成例を示す部分断面図である。支持部材15は水冷用のパイプ50を備えている。また、凹部28の底部分のベリリウム窓22の上側にはフィラメント21が配置され、さらに上側には引き出し電極25が配置されている。また、X線ガイド手段は、X線ガイドチューブのようなX線集光手段が好適であるが、それに代えてコリメータ等の適宜のX線ガイド部材を用いることが可能である。
In the embodiment described above, it is of course possible to use a negatively biased filament instead of the carbon nanotube. Further, in the case of the structure, heat can be released by water cooling without using the
10 X線発生器
12 X線ターゲット
14 支持部材
16 油浴
18 真空管
20 カーボンナノチューブ
21 フィラメント
22 ベリリウム窓
24、25 引き出し電極
26 電子
30 X線ガイドチューブ
36 試料ステージ
38 試料
40 ダイヤモンド
42、44 緩衝層
50 水冷パイプ
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記電子発生手段は、カーボンナノチューブを用いてなるコールドエミッタと、該コールドエミッタから電子を発生させる電極とを備え、
前記支持部材は突起部を有し、前記X線ターゲットは、ダイヤモンドを介して前記突起部に取付けられてあり、
前記X線ガイド手段は、管状に形成され、一端に入射したX線の内、内面に対する入射角度が全反射の臨界角よりも小さいX線を、内面で全反射することによって集光し、他端から前記所定位置へ照射する構成となっており、
前記X線ガイド手段及び前記電子発生手段は、前記X線ターゲットと向き合うように配置されており、
前記真空管は、内側へ凹んだ凹部を備え、
該凹部に前記X線ガイド手段の一端が挿入されていることを特徴とするX線発生器。 An X-ray target that generates electrons and an X-ray target supported by a support member are arranged in a vacuum tube, and guides X-rays generated by irradiating the X-ray target from the electron generating means to a predetermined position. In the X-ray generator in which the guide means is arranged outside the vacuum tube,
The electron generating means comprises a cold emitter using carbon nanotubes, and an electrode for generating electrons from the cold emitter,
The support member has a protrusion, and the X-ray target is attached to the protrusion via a diamond,
The X-ray guide means is formed in a tubular shape, and collects X-rays having an incident angle with respect to the inner surface smaller than the critical angle of total reflection among the X-rays incident on one end by total reflection on the inner surface, It is configured to irradiate the predetermined position from the end,
The X-ray guide means and the electron generation means are arranged to face the X-ray target,
The vacuum tube includes a recess recessed inward,
An X-ray generator, wherein one end of the X-ray guide means is inserted into the recess.
前記支持部材は突起部を有し、前記X線ターゲットは、ダイヤモンドを介して前記突起部に取付けられてあり、
前記X線ガイド手段は、管状に形成され、一端に入射したX線の内、内面に対する入射角度が全反射の臨界角よりも小さいX線を、内面で全反射することによって集光し、他端から前記所定位置へ照射する構成となっており、
前記X線ガイド手段及び前記電子発生手段は、前記X線ターゲットと向き合うように配置され、
前記電子発生手段は、前記X線ガイド手段のX線ターゲット側の端部周辺に配置されたカーボンナノチューブを用いてなるコールドエミッタと、該コールドエミッタから電子を発生させる電極とを備えていることを特徴とするX線発生器。 An X-ray target that generates an electron and an X-ray target supported by a support member are arranged in a vacuum tube, and guides the X-ray generated by irradiating the X-ray target from the electron generating means to a predetermined position. In the X-ray generator in which the guide means is arranged outside the vacuum tube,
The support member has a protrusion, and the X-ray target is attached to the protrusion via a diamond,
The X-ray guide means is formed in a tubular shape, and collects X-rays having an incident angle with respect to the inner surface smaller than the critical angle of total reflection among the X-rays incident on one end by total reflection on the inner surface, It is configured to irradiate the predetermined position from the end,
The X-ray guide means and the electron generation means are arranged to face the X-ray target,
The electron generating means includes a cold emitter using carbon nanotubes arranged around an end portion on the X-ray target side of the X-ray guide means, and an electrode for generating electrons from the cold emitter. A featured X-ray generator.
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