JP4970326B2 - Resin composition and semiconductor sealing material using the same - Google Patents

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Description

本発明は、リードフレーム等の各種部材への耐半田クラック性、密着性、耐湿安定性、連続成形性に優れた樹脂組成物に関するものであり、特に半導体封止材に適した射出成形可能な樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a resin composition excellent in solder crack resistance, adhesion, moisture resistance stability, and continuous moldability to various members such as a lead frame, and is particularly capable of injection molding suitable for a semiconductor sealing material. The present invention relates to a resin composition.

トランジスター、コンデンサー、ダイオ―ド、IC、LSI等の半導体封止用樹脂組成物(以下、樹脂組成物という)としてはエポキシ樹脂組成物が主として採用され、その中で離型剤成分としては高分子脂肪酸、高分子脂肪酸エステル、その他高分子脂肪酸化合物が成形性、信頼性、量産性等の面から採用されている。
しかし、昨今における電子機器の小型化、軽量化、低価格化の市場動向の中で、樹脂組成物には生産性を向上させるため成形時間の短縮と歩留まり向上が求められている。
成形時間を短縮するためには、一般的に硬化性の向上という手段がとられているが、その結果として増粘速度が大きくなり流動性が低下し、フレームと封止樹脂との濡れ性が低下するために密着性が低下し、結果として耐半田クラック性、耐湿信頼性が低下してしまう。
そこで、この対策として離型剤の添加量を増加してその滑剤効果により流動性を高めるという方法が採られているが、この場合、流動性の向上と共に半導体装置内部の密着性が低下して界面剥離が生じ耐半田クラック性、耐湿信頼性が低下してしまい、すなわち硬化性の向上と離型剤の添加量の増加だけでは未だ十分な性能を発揮できていない。
また離型剤としてステアリン酸やモンタン酸のような長鎖脂肪酸系ワツクス、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸カルシウムなどの長鎖脂肪酸の金属塩系のワツクス、カルナバワツクスやモンタン酸のエステル化物で代表されるアミンを含有していない従来のエステル系ワツクス、モンタン酸ビスアマイドで代表されるビスアマイド系ワツクス等、あるいは、酸化ポリオレフィンワックス(特許文献1、特許文献2)、あるいは酸化ポリオレフィンワックスのウレタン変性物(特許文献3)等を使用することが知られているが、エポキシ樹脂組成物との相溶性は必ずしも十分ではなく、上記諸性能の発現が十分ではなかった。
特開2003−213080号公報 特開2005−225965号公報 特開2003−268204号公報
An epoxy resin composition is mainly used as a semiconductor sealing resin composition (hereinafter referred to as a resin composition) for transistors, capacitors, diodes, ICs, LSIs, etc. Among them, a polymer is used as a release agent component. Fatty acids, polymer fatty acid esters, and other polymer fatty acid compounds are employed from the viewpoints of moldability, reliability, mass productivity, and the like.
However, in recent market trends of downsizing, weight reduction, and price reduction of electronic devices, resin compositions are required to reduce molding time and yield in order to improve productivity.
In order to shorten the molding time, generally a measure of improving curability is taken, but as a result, the speed of thickening increases, the fluidity decreases, and the wettability between the frame and the sealing resin increases. As a result, the adhesion decreases, and as a result, solder crack resistance and moisture resistance reliability decrease.
Therefore, as a countermeasure against this, a method of increasing the fluidity due to the lubricant effect by increasing the amount of the release agent added has been adopted, but in this case, the adhesion inside the semiconductor device decreases as the fluidity improves. Interfacial peeling occurs and solder crack resistance and moisture resistance reliability are lowered, that is, sufficient performance cannot be achieved only by improving the curability and increasing the amount of release agent added.
In addition, long-chain fatty acid waxes such as stearic acid and montanic acid, metal salt waxes of long-chain fatty acids such as zinc stearate, magnesium stearate, and calcium stearate, carnauba wax and esterified products of montanic acid are used as release agents. A conventional ester wax not containing an amine, a bisamide wax represented by montanic acid bisamide, etc., or an oxidized polyolefin wax (Patent Document 1, Patent Document 2), or a urethane modification of an oxidized polyolefin wax Although it is known to use a thing (patent document 3) etc., compatibility with an epoxy resin composition is not necessarily enough, and expression of the said various performance was not enough.
Japanese Patent Laid-Open No. 2003-213080 JP 2005-225965 A JP 2003-268204 A

各種の半導体装置への流動性、充填性、連続成形性、金型離型性、リードフレームやチップ等の各種部材への耐半田クラック性、密着性、耐湿安定性を向上させることにつき種々の検討を行った結果、離型剤成分として、酸グラフト変性された変性ポリオレフィンワックスを用いることにより、上記特性が大きく向上することを見出し、本発明を完成した。   Various improvements in improving fluidity, filling, continuous moldability, mold releasability, solder crack resistance, adhesion, and moisture resistance to various components such as lead frames and chips. As a result of investigations, the present inventors have found that the above characteristics are greatly improved by using an acid graft-modified modified polyolefin wax as a release agent component, and thus completed the present invention.

すなわち、本発明は次の樹脂組成物に関する。
[1] 熱硬化性樹脂(A)、無機質充填材(B)および離型剤(C)を含む樹脂組成物であって、離型剤(C)が酸グラフト変性された変性ポリオレフィンワックスであることを特徴とする樹脂組成物。
[2] 上記変性ポリオレフィンワックスの酸価が1〜100 KOHmg/gであることを特徴とする[1]に記載の樹脂組成物。
[3] 上記変性ポリオレフィンワックスが、メタロセン系触媒により製造されたポリオレフィンワックスを酸グラフト変性することにより得られたものであることを特徴とする[1]に記載の樹脂組成物。
[4] 熱硬化性樹脂(A)と無機質充填材(B)との合計100重量に対して、離型剤(C)を0.03〜1.00重量部含む[1]に記載の樹脂組成物。
[5] [1]〜[4]のいずれかに記載の樹脂組成物を含む半導体封止材。
That is, the present invention relates to the following resin composition.
[1] A resin composition comprising a thermosetting resin (A), an inorganic filler (B), and a release agent (C), wherein the release agent (C) is a modified polyolefin wax that has been acid-grafted. The resin composition characterized by the above-mentioned.
[2] The resin composition according to [1], wherein the acid value of the modified polyolefin wax is 1 to 100 KOHmg / g.
[3] The resin composition according to [1], wherein the modified polyolefin wax is obtained by acid graft modification of a polyolefin wax produced with a metallocene catalyst.
[4] The resin according to [1], containing 0.03 to 1.00 parts by weight of a release agent (C) with respect to a total of 100 weights of the thermosetting resin (A) and the inorganic filler (B). Composition.
[5] A semiconductor sealing material comprising the resin composition according to any one of [1] to [4].

本発明の樹脂組成物を用いることにより、連続成形性、リードフレーム等の各種部材への耐半田クラック性、密着性、耐湿安定性を有する半導体封止材を得ることができる。   By using the resin composition of the present invention, it is possible to obtain a semiconductor sealing material having continuous moldability, solder crack resistance to various members such as a lead frame, adhesion and moisture resistance stability.

以下に本発明を詳細に説明する。    The present invention is described in detail below.

<熱硬化性樹脂(A)> 本発明に用いられる熱硬化性樹脂(A)は、主剤(a−1)と硬化剤(a−2)と硬化促進剤(a−3)とからなる。
主剤(a−1)
主剤(a−1)はエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ユリア樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられ、本発明は特にこれらに限定されるものではないが、エポキシ樹脂とフェノール樹脂が好ましく用いられる。
又、これらの樹脂は単独で用いられても、混合して用いられても問題ない。
本発明において用いられるエポキシ樹脂は、1分子中にエポキシ基を2個以上有するものであれば特に限定されることなく用いることができ、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ハロゲン化エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂などを挙げる事ができる。
なかでも電子部品の封止用としては、耐熱性、耐湿性の観点から、クレゾールノボラック型およびビフェニル型などのエポキシ当量300以下のエポキシ樹脂が好ましく用いられ、2種以上のエポキシ樹脂を併用する事もできる。
硬化剤(a−2)
硬化剤(a−2)としては、上記主剤(a−1)と硬化反応するものであれば特に制限なく用いることができ、フェノール樹脂、メラミン樹脂、アクリル樹脂、イソシアネート樹脂などを用いることができ、特にフェノール樹脂が好ましい。
フェノール樹脂としては例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、アラルキルフェノール樹脂、テルペンフェノール樹脂などが挙げられる。
硬化剤の配合量は必要に応じて使用することができ、主剤(a−1)100重量部に対して通常0〜60、好ましくは20〜60重量部、更に好ましくは40〜55重量部であり、化学当量比で表した場合は、耐湿性および機械的特性の観点からエポキシ樹脂に対する硬化剤の化学当量比が0.5〜1.5、とくに0.7〜1.3の範囲にあるのが好ましい。
硬化促進剤(a−3)
本発明で用いられる硬化促進剤(a−3)としては、エポキシ基とフェノール性水酸基との硬化反応を促進させるものであればよく、一般に封止材料に使用されているものを広く使用することができる。
例えばトリブチルアミン、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7等のジアザビシクロアルケン及びその誘導体、ベンジルジメチルアミン等のアミン系化合物、テトラフェニルホスホニウム・テトラナフトイックアシッドボレート、トリフェニルホスフィン等の有機リン系化合物、2−メチルイミダゾール等のイミダゾール化合物等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
これらの硬化促進剤は単独で用いても2種類以上を併用してもよい。
硬化促進剤の配合量は必要に応じて使用することができ、主剤(a−1)と硬化剤(a−2)との合計100重量部に対して通常0〜20、好ましくは0.1〜10重量部、更に好ましくは0.3〜5重量部である。
<Thermosetting resin (A)> The thermosetting resin (A) used for this invention consists of a main ingredient (a-1), a hardening | curing agent (a-2), and a hardening accelerator (a-3).
Main agent (a-1)
Examples of the main agent (a-1) include an epoxy resin, a phenol resin, a diallyl phthalate resin, a urea resin, and a polyester resin. The present invention is not particularly limited to these, but an epoxy resin and a phenol resin are preferably used. .
These resins may be used alone or in combination.
The epoxy resin used in the present invention is not particularly limited as long as it has two or more epoxy groups in one molecule. For example, bisphenol A type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, halogen An epoxy resin, a naphthalene type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, etc. can be mentioned.
Among them, for the sealing of electronic components, from the viewpoint of heat resistance and moisture resistance, epoxy resins having an epoxy equivalent of 300 or less such as cresol novolac type and biphenyl type are preferably used, and two or more types of epoxy resins are used in combination. You can also.
Curing agent (a-2)
As a hardening | curing agent (a-2), if it carries out a hardening reaction with the said main ingredient (a-1), it can use without a restriction | limiting especially, A phenol resin, a melamine resin, an acrylic resin, an isocyanate resin etc. can be used. In particular, a phenol resin is preferable.
Examples of the phenol resin include a phenol novolac resin, a cresol novolac resin, an aralkyl phenol resin, and a terpene phenol resin.
The compounding quantity of a hardening | curing agent can be used as needed, and is 0-60 normally with respect to 100 weight part of main agents (a-1), Preferably it is 20-60 weight part, More preferably, it is 40-55 weight part. Yes, when expressed in terms of chemical equivalent ratio, the chemical equivalent ratio of the curing agent to the epoxy resin is in the range of 0.5 to 1.5, particularly 0.7 to 1.3 from the viewpoint of moisture resistance and mechanical properties. Is preferred.
Curing accelerator (a-3)
As a hardening accelerator (a-3) used by this invention, what is necessary is just to accelerate | stimulate the hardening reaction of an epoxy group and a phenolic hydroxyl group, and what is generally used for the sealing material is used widely. Can do.
For example, tributylamine, diazabicycloalkenes such as 1,8-diazabicyclo (5,4,0) undecene-7 and derivatives thereof, amine compounds such as benzyldimethylamine, tetraphenylphosphonium / tetranaphthoic acid borate, triphenyl Examples include organic phosphorus compounds such as phosphine, imidazole compounds such as 2-methylimidazole, and the like, but are not limited thereto.
These curing accelerators may be used alone or in combination of two or more.
The compounding quantity of a hardening accelerator can be used as needed, and is 0-20 normally with respect to a total of 100 weight part of a main ingredient (a-1) and a hardening | curing agent (a-2), Preferably it is 0.1. -10 parts by weight, more preferably 0.3-5 parts by weight.

<無機質充填材(B)>
本発明に用いられる無機質充填材(B)としては、例えばタルク、フェライト、黒鉛、窒化珪素、マイカ、炭酸カルシウム、クレー、アルミナ、アルミナシリカ、破砕状シリカ、球状シリカ、ゼオライト、酸化亜鉛、カーボン、水酸化アルミニウム、アスベスト繊維、ガラス繊維、炭酸繊維、ガラスビーズ、シラスバルーン、シリカバルーンなどの粉末状、繊維状、バルーン状のものが挙げられるが、本発明では好ましくは平均粒径5〜50μm、最大粒径50〜200μmのシリカ粉末、窒化珪素粉末、ゼオライト粉末等が挙げられる。
本発明では特に好ましくはシリカ粉末が用いられ、充填量の多い配合では、球状の溶融シリカを用いるのが一般的である。
これらの無機質充填材は単独であっても、混合して用いられても差し支えない。
本発明において熱硬化性樹脂(A)と無機質充填材(B)との配合比は通常(A)/(B)=50/50〜3/97、好ましくは45/55〜4/96、更に好ましくは40/60〜5/95である。(A)と(B)との比が上記範囲にあると、成形性および密着性に優れ、かつ線膨張係数が小さくなり好ましい。
<Inorganic filler (B)>
Examples of the inorganic filler (B) used in the present invention include talc, ferrite, graphite, silicon nitride, mica, calcium carbonate, clay, alumina, alumina silica, crushed silica, spherical silica, zeolite, zinc oxide, carbon, Examples include aluminum hydroxide, asbestos fibers, glass fibers, carbonate fibers, glass beads, shirasu balloons, silica balloons and the like in powder form, fiber form, and balloon form. In the present invention, the average particle diameter is preferably 5 to 50 μm, Examples thereof include silica powder having a maximum particle size of 50 to 200 μm, silicon nitride powder, zeolite powder and the like.
In the present invention, silica powder is particularly preferably used, and spherical fused silica is generally used for a compound with a large filling amount.
These inorganic fillers may be used alone or in combination.
In the present invention, the blending ratio of the thermosetting resin (A) to the inorganic filler (B) is usually (A) / (B) = 50/50 to 3/97, preferably 45/55 to 4/96, Preferably it is 40 / 60-5 / 95. It is preferable that the ratio of (A) to (B) is in the above range because the moldability and adhesion are excellent and the linear expansion coefficient is small.

<離型剤(C)>
本発明の離型剤(C)に用いられる離型剤は、酸グラフト変性された変性ポリオレフィンワックスである。以下、変性ポリオレフィンワックスについて述べる。
<Release agent (C)>
The release agent used in the release agent (C) of the present invention is a modified polyolefin wax that has been acid-grafted. Hereinafter, the modified polyolefin wax will be described.

酸グラフト変性された変性ポリオレフィンワックスの基礎となるポリオレフィンワックスは、ポリエチレンワックスやポリプロピレンワックスであり、オレフィンを重合して得られるものであってもよく、また高分子量のポリエチレンやポリプロピレンを熱分解して得られるものであってもよいが、特にエチレン単独重合体、またはエチレンと炭素原子数3〜20のα−オレフィンとの共重合体が望ましい。α−オレフィンは、直鎖状であっても分岐していてもよく、また置換されていても非置換であってもよい。α−オレフィンとしては、好ましくは炭素原子数3〜10のα−オレフィンが、より好ましくは炭素原子数3のプロピレン、炭素原子数4の1−ブテン、炭素原子数5の1−ペンテン、炭素原子数6の1−ヘキセン、4−メチル−1−ペンテン、炭素原子数8の1−オクテンなどが挙げられ、特に好ましくはプロピレン、1−ブテン、1−ヘキセン、4−メチル−1−ペンテンが挙げられる。  The polyolefin wax that is the basis of the acid-grafted modified polyolefin wax is a polyethylene wax or polypropylene wax, which may be obtained by polymerizing olefins, or by thermally decomposing high molecular weight polyethylene or polypropylene. Although it may be obtained, an ethylene homopolymer or a copolymer of ethylene and an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms is particularly desirable. The α-olefin may be linear or branched, and may be substituted or unsubstituted. The α-olefin is preferably an α-olefin having 3 to 10 carbon atoms, more preferably propylene having 3 carbon atoms, 1-butene having 4 carbon atoms, 1-pentene having 5 carbon atoms, and carbon atoms. Examples thereof include 1-hexene, 4-methyl-1-pentene having 6 formulas, 1-octene having 8 carbon atoms, and particularly preferable examples include propylene, 1-butene, 1-hexene and 4-methyl-1-pentene. It is done.

上述したエチレン単独重合体、またはエチレンと炭素原子数3〜20のα−オレフィンとの共重合体の製造方法については特に限定はなく、例えばエチレン、α−オレフィンなどの単量体を、チーグラー/ナッタ触媒、メタロセン系触媒により重合して得られる。これら触媒の中でも、メタロセン系触媒が好ましく、変性ポリオレフィンワックスの基礎となるポリオレフィンがポリエチレンの場合、ポリエチレンの製造には、周期表第4族から選ばれる遷移金属のメタロセン化合物と、有機アルミニウムオキシ化合物および/またはイオン化イオン性化合物とからなる以下のようなメタロセン系触媒を用いて製造される。    The method for producing the ethylene homopolymer or the copolymer of ethylene and an α-olefin having 3 to 20 carbon atoms is not particularly limited. For example, a monomer such as ethylene or α-olefin may be used as a Ziegler / It is obtained by polymerization with a Natta catalyst or a metallocene catalyst. Among these catalysts, metallocene-based catalysts are preferable, and when the polyolefin used as the basis of the modified polyolefin wax is polyethylene, for the production of polyethylene, a metallocene compound of a transition metal selected from Group 4 of the periodic table, an organoaluminum oxy compound, and It is produced by using the following metallocene catalyst comprising an ionized ionic compound.

<メタロセン化合物> メタロセン系触媒を形成するメタロセン化合物は、周期表第4族から選ばれる遷移金属のメタロセン化合物であり、具体的な例としては下記一般式(1)で表される化合物が挙げられる。   <Metalocene Compound> The metallocene compound that forms the metallocene catalyst is a metallocene compound of a transition metal selected from Group 4 of the periodic table, and specific examples include compounds represented by the following general formula (1). .

1Lx …(1) ここで、M1は周期表第4族から選ばれる遷移金属、xは遷移金属M1の原子価、Lは配位子である。 M 1 Lx (1) where M 1 is a transition metal selected from Group 4 of the periodic table, x is a valence of the transition metal M 1 , and L is a ligand.

1で示される遷移金属の例としては、ジルコニウム、チタン、ハフニウムなどがある。
Lは遷移金属M1に配位する配位子であって、そのうち少なくとも1個の配位子Lはシクロペンタジエニル骨格を有する配位子であって、このシクロペンタジエニル骨格を有する配位子は置換基を有していてもよい。
Examples of the transition metal represented by M 1 include zirconium, titanium, hafnium and the like.
L is a ligand coordinated to the transition metal M 1, and at least one of the ligands L is a ligand having a cyclopentadienyl skeleton, and the ligand having this cyclopentadienyl skeleton. The ligand may have a substituent.

シクロペンタジエニル骨格を有する配位子Lとしては、例えばシクロペンタジエニル基、メチルシクロペンタジエニル基、エチルシクロペンタジエニル基、n−またはi−プロピルシクロペンタジエニル基、n−、i−、sec−またはt−ブチルシクロペンタジエニル基、ジメチルシクロペンタジエニル基、メチルプロピルシクロペンタジエニル基、メチルブチルシクロペンタジエニル基、メチルベンジルシクロペンタジエニル基等のアルキルまたはシクロアルキル置換シクロペンタジエニル基;さらにインデニル基、4,5,6,7−テトラヒドロインデニル基、フルオレニル基などが挙げられる。
このシクロペンタジエニル骨格を有する配位子の水素は、ハロゲン原子またはトリアルキルシリル基などで置換されていてもよい。
Examples of the ligand L having a cyclopentadienyl skeleton include a cyclopentadienyl group, a methylcyclopentadienyl group, an ethylcyclopentadienyl group, an n- or i-propylcyclopentadienyl group, n-, alkyl such as i-, sec- or t-butylcyclopentadienyl group, dimethylcyclopentadienyl group, methylpropylcyclopentadienyl group, methylbutylcyclopentadienyl group, methylbenzylcyclopentadienyl group, An alkyl-substituted cyclopentadienyl group; and an indenyl group, 4,5,6,7-tetrahydroindenyl group, a fluorenyl group, and the like.
The hydrogen of the ligand having a cyclopentadienyl skeleton may be substituted with a halogen atom or a trialkylsilyl group.

上記のメタロセン化合物が、配位子Lとしてシクロペンタジエニル骨格を有する配位子を2個以上有する場合には、そのうち2個のシクロペンタジエニル骨格を有する配位子同士が、エチレン、プロピレン等のアルキレン基;イソプロピリデン、ジフェニルメチレン等の置換アルキレン基;シリレン基またはジメチルシリレン基、ジフェニルシリレン基、メチルフェニルシリレン基等の置換シリレン基などを介して結合されていてもよい。
シクロペンタジエニル骨格を有する配位子以外の配位子(シクロペンタジエニル骨格を有しない配位子)Lとしては、炭素原子数1〜12の炭化水素基、アルコキシ基、アリーロキシ基、スルフォン酸含有基(−SO31)、ハロゲン原子または水素原子(ここで、R1はアルキル基、ハロゲン原子で置換されたアルキル基、アリール基、ハロゲン原子で置換されたアリール基またはアルキル基で置換されたアリール基である。
When the metallocene compound has two or more ligands having a cyclopentadienyl skeleton as the ligand L, the ligands having two cyclopentadienyl skeletons are ethylene, propylene. Or a substituted alkylene group such as isopropylidene or diphenylmethylene; a substituted silylene group such as a silylene group or a dimethylsilylene group, a diphenylsilylene group, or a methylphenylsilylene group.
Examples of ligands other than ligands having a cyclopentadienyl skeleton (ligands having no cyclopentadienyl skeleton) L include hydrocarbon groups having 1 to 12 carbon atoms, alkoxy groups, aryloxy groups, sulfones. Acid-containing group (—SO 3 R 1 ), halogen atom or hydrogen atom (where R 1 is an alkyl group, an alkyl group substituted with a halogen atom, an aryl group, an aryl group substituted with a halogen atom, or an alkyl group) A substituted aryl group.

<メタロセン化合物の例−1> 上記一般式(1)で表されるメタロセン化合物が、例えば遷移金属の原子価が4である場合、より具体的には下記一般式(2)で表される。   <Example 1 of Metallocene Compound> When the metallocene compound represented by the general formula (1) has a transition metal valence of 4, for example, it is more specifically represented by the following general formula (2).

2 k3 l4 m5 n1 …(2) ここで、M1は周期表第4族から選ばれる遷移金属、R2はシクロペンタジエニル骨格を有する基(配位子)、R3、R4およびR5はそれぞれ独立にシクロペンタジエニル骨格を有するかまたは有しない基(配位子)である。
kは1以上の整数であり、k+l+m+n=4である。
R 2 k R 3 l R 4 m R 5 n M 1 (2) where M 1 is a transition metal selected from Group 4 of the periodic table, R 2 is a group having a cyclopentadienyl skeleton (ligand ), R 3 , R 4 and R 5 are each independently a group (ligand) having or not having a cyclopentadienyl skeleton.
k is an integer of 1 or more, and k + l + m + n = 4.

1がジルコニウムであり、かつシクロペンタジエニル骨格を有する配位子を少なくとも2個含むメタロセン化合物の例を次に挙げる。
ビス(シクロペンタジエニル)ジルコニウムモノクロリドモノハイドライド、ビス(シクロペンタジエニル)ジルコニウムジクロリド、ビス(1−メチル−3−ブチルシクロペンタジエニル)ジルコニウムビス(トリフルオロメタンスルホナト)、ビス(1,3−ジメチルシクロペンタジエニル)ジルコニウムジクロリドなど。
上記の化合物の中で、1,3−位置換シクロペンタジエニル基を1,2−位置換シクロペンタジエニル基に置き換えた化合物も用いることができる。
Examples of metallocene compounds in which M 1 is zirconium and contains at least two ligands having a cyclopentadienyl skeleton are given below.
Bis (cyclopentadienyl) zirconium monochloride monohydride, bis (cyclopentadienyl) zirconium dichloride, bis (1-methyl-3-butylcyclopentadienyl) zirconium bis (trifluoromethanesulfonate), bis (1, 3-dimethylcyclopentadienyl) zirconium dichloride and the like.
Among the above compounds, compounds in which the 1,3-position substituted cyclopentadienyl group is replaced with a 1,2-position substituted cyclopentadienyl group can also be used.

またメタロセン化合物の別の例としては、上記一般式(2)において、R2、R3、R4およびR5の少なくとも2個、例えばR2およびR3がシクロペンタジエニル骨格を有する基(配位子)であり、この少なくとも2個の基がアルキレン基、置換アルキレン基、シリレン基または置換シリレン基などを介して結合されているブリッジタイプのメタロセン化合物を使用することもできる。このときR4およびR5は、それぞれ独立に、前述したシクロペンタジエニル骨格を有する配位子以外の配位子Lと同様である。
このようなブリッジタイプのメタロセン化合物としては、エチレンビス(インデニル)ジメチルジルコニウム、エチレンビス(インデニル)ジルコニウムジクロリド、イソプロピリデン(シクロペンタジエニル−フルオレニル)ジルコニウムジクロリド、ジフェニルシリレンビス(インデニル)ジルコニウムジクロリド、メチルフェニルシリレンビス(インデニル)ジルコニウムジクロリドなどが挙げられる。
Another example of the metallocene compound is a group in which at least two of R 2 , R 3 , R 4 and R 5 , for example, R 2 and R 3 have a cyclopentadienyl skeleton in the general formula (2) ( A bridge type metallocene compound in which at least two groups are bonded via an alkylene group, a substituted alkylene group, a silylene group, a substituted silylene group, or the like. At this time, R 4 and R 5 are independently the same as the ligand L other than the ligand having the cyclopentadienyl skeleton described above.
Examples of such bridge-type metallocene compounds include ethylenebis (indenyl) dimethylzirconium, ethylenebis (indenyl) zirconium dichloride, isopropylidene (cyclopentadienyl-fluorenyl) zirconium dichloride, diphenylsilylenebis (indenyl) zirconium dichloride, methyl Examples include phenylsilylene bis (indenyl) zirconium dichloride.

変性ポリオレフィンワックスの基礎となるポリオレフィンがポリプロピレンの場合、メタロセン触媒の存在下で得られるプロピレンの単独重合体またはプロピレンとエチレンまたはプロピレン以外の他のα-オレフィンとの共重合体である。
α-オレフィンとしては炭素数4〜10の1−アルケンで具体的には1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、1−オクテン、1−デセン等である。
メタロセン触媒の存在下で得られるプロピレンの単独重合体または共重合体はアイソタクチック構造またはシンジオタクチック構造を有する。
メタロセン触媒の存在下で得られるプロピレンの単独重合体または共重合体アイソタクチック構造の場合、13C-NMRで測定したアイソタクチックペンタッドmmmmが通常90〜99%、好ましくは93〜99%である。
プロピレンとエチレン若しくはプロピレン以外の他のα-オレフィンとの共重合体の場合、共重合体中のエチレンまたはプロピレン以外の他のα-オレフィンの含有量は通常1〜20モル%、好ましくは1〜10モル%である。
アイソタクチック構造のプロピレンの単独重合体、またはプロピレンとエチレン若しくはプロピレン以外の他のα-オレフィンとの共重合体の製造に用いられるメタロセン触媒は、チタン、ジルコニウム、ハフニウム等の周期律表第4〜6族遷移金属と、シクロペンタジエニル基あるいはシクロペンタジエニル誘導体基との錯体を使用した触媒である。
メタロセン触媒において、シクロペンタジエニル誘導体基としては、ペンタメチルシクロペンタジエニル等のアルキル置換体基、あるいは2以上の置換基が結合して飽和もしくは不飽和の環状置換基を構成した基を使用することができ、代表的にはインデニル基、フルオレニル基、アズレニル基、あるいはこれらの部分水素添加物を挙げることができる。
また、複数のシクロペンタジエニル基がアルキレン基、シリレン基、ゲルミレン基等で結合したものも好ましく用いられる。
When the polyolefin used as the basis of the modified polyolefin wax is polypropylene, it is a homopolymer of propylene obtained in the presence of a metallocene catalyst or a copolymer of propylene and ethylene or another α-olefin other than propylene.
The α-olefin is a 1-alkene having 4 to 10 carbon atoms, specifically 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 1-octene, 1-decene and the like.
A homopolymer or copolymer of propylene obtained in the presence of a metallocene catalyst has an isotactic structure or a syndiotactic structure.
In the case of a propylene homopolymer or copolymer isotactic structure obtained in the presence of a metallocene catalyst, the isotactic pentad mmmm measured by 13 C-NMR is usually 90 to 99%, preferably 93 to 99%. It is.
In the case of a copolymer of propylene and ethylene or an α-olefin other than propylene, the content of the α-olefin other than ethylene or propylene in the copolymer is usually 1 to 20 mol%, preferably 1 to 10 mol%.
The metallocene catalyst used for the production of a homopolymer of propylene having an isotactic structure or a copolymer of propylene and ethylene or an α-olefin other than propylene is a periodic table of titanium, zirconium, hafnium, etc. It is a catalyst using a complex of a group -6 transition metal and a cyclopentadienyl group or a cyclopentadienyl derivative group.
In the metallocene catalyst, as the cyclopentadienyl derivative group, an alkyl substituent such as pentamethylcyclopentadienyl or a group in which two or more substituents are combined to form a saturated or unsaturated cyclic substituent is used. Typically, an indenyl group, a fluorenyl group, an azulenyl group, or a partial hydrogenated product thereof can be given.
Further, those in which a plurality of cyclopentadienyl groups are bonded by an alkylene group, a silylene group, a germylene group or the like are also preferably used.

メタロセン触媒の存在下で得られるプロピレンの単独重合体または共重合体がシンジオタクチック構造の場合、シンジオタクチックペンタッド分率は通常0.6以上である。
シンジオタクチックペンタッド分率が0.6以上の結晶性ポリプロピレンは、135℃の1,2,4−トリクロロベンゼン溶液で測定した13C−NMRスペクトルにおいてテトラメチルシランを基準として約20.3ppmに観測されるピーク強度をプロピレン単位のメチル基に帰属されるピーク強度の総和で除した値であるシンジオタクチックペンタッド分率が0.6以上のポリプロピレンである。
シンジオタクチック構造のポリプロピレンの製造方法としては非対称な配位子を有する遷移金属化合物とアルミノキサンからなる触媒を用いてプロピレンを重合する方法(特開平2−41303号公報やJ.Am.Chem.Soc.,1988,110,6255-6256)が知られている。
When the homopolymer or copolymer of propylene obtained in the presence of the metallocene catalyst has a syndiotactic structure, the syndiotactic pentad fraction is usually 0.6 or more.
A crystalline polypropylene having a syndiotactic pentad fraction of 0.6 or more is observed at about 20.3 ppm in a 13 C-NMR spectrum measured with a 1,2,4-trichlorobenzene solution at 135 ° C. based on tetramethylsilane. This is a polypropylene having a syndiotactic pentad fraction of 0.6 or more, which is a value obtained by dividing the peak intensity divided by the sum of the peak intensity attributed to the methyl group of the propylene unit.
As a method for producing a polypropylene having a syndiotactic structure, propylene is polymerized by using a catalyst comprising an asymmetric ligand and a transition metal compound having an asymmetric ligand (Japanese Patent Laid-Open No. 2-41303 and J. Am. Chem. Soc ., 1988, 110, 6255-6256) are known.

本発明で用いる変性ポリオレフィンワックスの酸グラフト変性の方法としては、従来公知の方法で調製することができ、例えば、原料ポリオレフィンワックスと、不飽和カルボン酸もしくはその誘導体またはスルフォン酸塩とを、有機過酸化物などの重合開始剤の存在下に溶融混練するか、あるいは、原料ポリオレフィンワックスと、不飽和カルボン酸もしくはその誘導体またはスルフォン酸塩とを、有機溶媒に溶解させ、有機過酸化物などの重合開始剤を添加してグラフト反応させることにより得られる。   As a method for acid graft modification of the modified polyolefin wax used in the present invention, it can be prepared by a conventionally known method. For example, a raw material polyolefin wax and an unsaturated carboxylic acid or a derivative thereof or a sulfonate salt are mixed with an organic peroxide. Melt-knead in the presence of a polymerization initiator such as an oxide, or dissolve a raw material polyolefin wax and an unsaturated carboxylic acid or its derivative or sulfonate in an organic solvent to polymerize an organic peroxide or the like. It is obtained by adding an initiator and causing a graft reaction.

酸グラフト変性に用いられる不飽和カルボン酸またはその誘導体としては、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸−sec−ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸イソプロピル、アクリル酸−2−オクチル、アクリル酸ドデシル、アクリル酸ステアリル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸イソヘキシル、アクリル酸フェニル、アクリル酸−2−クロロフェニル、アクリル酸ジエチルアミノエチル、アクリル酸−3−メトキシブチル、アクリル酸ジエチレングリコールエトキシレート、アクリル酸−2,2,2−トリフルオロエチルなどのアクリル酸エステル類; メタクリル酸メチル、メタアクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸−sec−ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸−2−オクチル、メタクリル酸ドデシル、メタクリル酸ステアリル、メタクリル酸ステアリル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸デシル、メタクリル酸フェニル、メタクリル酸−2−クロロヘキシル、メタクリル酸ジエチルアミノエチル、メタクリル酸−2−ヘキシルエチル、メタクリル酸−2,2,2−トリフルオロエチル等のメタクリル酸エステル類; マレイン酸エチル、マレイン酸プロピル、マレイン酸ブチル、マレイン酸ジエチル、マレイン酸ジプロピル、マレイン酸ジブチル等のマレイン酸エステル類; フマル酸エチル、フマル酸ブチル、フマル酸ジブチル等のフマル酸エステル類; マレイン酸、フマール酸、イタコン酸、クロトン酸、ナジック酸、メチルヘキサヒドロフタル酸等のジカルボン酸類; 無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、無水アリルコハク酸、無水グルタコン酸、無水ナジック酸等の無水物などが挙げられる。   Examples of unsaturated carboxylic acids or derivatives thereof used for acid graft modification include methyl acrylate, ethyl acrylate, butyl acrylate, acrylate-sec-butyl, isobutyl acrylate, propyl acrylate, isopropyl acrylate, acrylic 2-octyl acid, dodecyl acrylate, stearyl acrylate, hexyl acrylate, isohexyl acrylate, phenyl acrylate, 2-chlorophenyl acrylate, diethylaminoethyl acrylate, 3-methoxybutyl acrylate, diethylene glycol ethoxy acrylate Rate, acrylic acid esters such as acrylic acid-2,2,2-trifluoroethyl; methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, methacrylate-sec-butyl, isomethacrylate Butyl, propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, -2-octyl methacrylate, dodecyl methacrylate, stearyl methacrylate, stearyl methacrylate, hexyl methacrylate, decyl methacrylate, phenyl methacrylate, 2-chlorohexyl methacrylate, methacryl Methacrylic acid esters such as diethylaminoethyl acetate, methacrylic acid-2-hexylethyl, methacrylic acid-2,2,2-trifluoroethyl; ethyl maleate, propyl maleate, butyl maleate, diethyl maleate, dipropyl maleate , Maleic acid esters such as dibutyl maleate; fumaric acid esters such as ethyl fumarate, butyl fumarate, dibutyl fumarate; maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, nadic acid Dicarboxylic acids such as methyl hexahydrophthalic acid; maleic anhydride, itaconic anhydride, citraconic anhydride, allyl succinic anhydride, glutaconic acid, and the like anhydride such as nadic.

酸グラフト変性された変性ポリオレフィンワックスは、不飽和カルボン酸またはその誘導体による変性の場合には、その変性量が、KOH滴定換算した酸価で1〜100mgKOH/g、好ましくは3〜60mgKOH/g、より好ましくは5〜50mgKOH/gであることが望ましい。
変性量が上記範囲内にあると、変性ポリオレフィンワックスとエポキシとの相溶性が良好となるため、トランスファー成形機や射出成形機シリンダー内における樹脂組成物の付着が少なく安定して成形が行え、またリードフレーム等の各種部材へのブリードが少なく、密着性、耐半田クラック性、耐湿信頼性、連続成形性に優れる。
In the case of modification with an unsaturated carboxylic acid or a derivative thereof, the modified polyolefin wax modified with an acid graft has an amount of modification of 1 to 100 mgKOH / g, preferably 3 to 60 mgKOH / g in terms of acid value in terms of KOH titration. More preferably, it is 5 to 50 mgKOH / g.
When the modification amount is within the above range, the compatibility between the modified polyolefin wax and the epoxy is good, so that the resin composition does not adhere to the transfer molding machine or the cylinder of the injection molding machine, and the molding can be performed stably. There are few bleeds to various members such as lead frames, and excellent adhesion, solder crack resistance, moisture resistance reliability, and continuous formability.

本発明で用いる変性ポリオレフィンワックスのゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定した数平均分子量(Mn)は400〜5,000、好ましくは5,00〜4,000、より好ましくは7,00〜4,000の範囲にある。数平均分子量(Mn)が上記範囲にあると、変性ポリオレフィンワックスとエポキシとの相溶性が良好となるため、リードフレーム等の各種部材へのブリードが少なく、密着性、耐半田クラック性、耐湿信頼性、連続成形性に優れる。   The number average molecular weight (Mn) measured by gel permeation chromatography (GPC) of the modified polyolefin wax used in the present invention is from 400 to 5,000, preferably from 5,000 to 4,000, more preferably from 7.0 to 4-4. In the range of 1,000. When the number average molecular weight (Mn) is in the above range, the compatibility between the modified polyolefin wax and the epoxy is good, so there is little bleeding to various members such as lead frames, adhesion, solder crack resistance, and moisture resistance reliability. Excellent in moldability and continuous formability.

前記変性ポリオレフィンワックスのゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定した重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との比(Mw/Mn)は1.5〜4.5、好ましくは1.6〜4.0、より好ましくは1. 7〜3.5の範囲にある。Mw/Mnが上記範囲にあると、成形時の流動性とリードフレーム等の各種部材へのブリードが少なく、密着性、耐半田クラック性、耐湿信頼性、連続成形性に優れる。   The ratio (Mw / Mn) of the weight average molecular weight (Mw) to the number average molecular weight (Mn) measured by gel permeation chromatography (GPC) of the modified polyolefin wax is 1.5 to 4.5, preferably 1. It is in the range of 6 to 4.0, more preferably 1.7 to 3.5. When Mw / Mn is in the above range, fluidity at the time of molding and bleed to various members such as a lead frame are small, and adhesion, solder crack resistance, moisture resistance reliability, and continuous moldability are excellent.

なお、重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)によるポリエチレン換算の値であり、GPCによる測定は、温度:140℃、溶媒:オルトジクロロベンゼンの条件下で行われる。    In addition, a weight average molecular weight (Mw) and a number average molecular weight (Mn) are the values of polyethylene conversion by gel permeation chromatography (GPC), and the measurement by GPC is the conditions of temperature: 140 ° C., solvent: orthodichlorobenzene. Done under.

前記変性ポリオレフィンワックスの135℃デカリン中で測定した極限粘度[η]は0.04〜0.47dl・g-1、好ましくは0.03〜0.47dl・g-1、より好ましくは0.04〜0.30dl・g-1、さらにより好ましくは0.05〜0.18dl・g-1の範囲にあることが望ましい。極限粘度[η]が上記範囲にあると、変性ポリオレフィンワックスとエポキシとの相溶性が良好となるため、リードフレーム等の各種部材へのブリードが少なく、密着性、耐半田クラック性、耐湿信頼性、連続成形性に優れる。 The intrinsic viscosity [η] of the modified polyolefin wax measured in decalin at 135 ° C. is 0.04 to 0.47 dl · g −1 , preferably 0.03 to 0.47 dl · g −1 , more preferably 0.04. ~0.30dl · g -1, even more preferably it is preferably in the range of 0.05~0.18dl · g -1. When the intrinsic viscosity [η] is in the above range, the compatibility between the modified polyolefin wax and the epoxy is good, so there is little bleeding to various members such as a lead frame, adhesion, solder crack resistance, and moisture resistance reliability. Excellent continuous formability.

前記変性ポリオレフィンワックスの示差走査熱量計(DSC)で測定した融点は65〜130℃、好ましくは70〜120℃、より好ましくは80〜110℃の範囲にある。融点が上記範囲にあると、成形時の流動性とリードフレーム等の各種部材へのブリードが少なく、密着性、耐半田クラック性、耐湿信頼性、連続成形性に優れる。    The melting point of the modified polyolefin wax measured with a differential scanning calorimeter (DSC) is in the range of 65 to 130 ° C, preferably 70 to 120 ° C, more preferably 80 to 110 ° C. When the melting point is in the above range, fluidity during molding and bleed to various members such as a lead frame are small, and adhesion, solder crack resistance, moisture resistance reliability, and continuous moldability are excellent.

前記変性ポリオレフィンワックスの密度勾配管法で測定した密度は850〜980kg/m3、好ましくは870〜970kg/m3、より好ましくは900〜940kg/m3の範囲にある。密度が上記範囲にあると、変性ポリオレフィンワックスとエポキシとの相溶性が良好となるため、リードフレーム等の各種部材へのブリードが少なく、密着性、耐半田クラック性、耐湿信頼性、連続成形性に優れる。 The density measured by the density gradient tube method of the modified polyolefin wax is 850 to 980 kg / m 3 , preferably 870 to 970 kg / m 3 , more preferably 900 to 940 kg / m 3 . When the density is in the above range, the compatibility between the modified polyolefin wax and the epoxy is good, so there are few bleeds to various members such as a lead frame, adhesion, solder crack resistance, moisture resistance reliability, and continuous moldability. Excellent.

前記変性ポリオレフィンワックスの針入度は30dmm以下、好ましくは25dmm以下、より好ましくは20dmm以下、さらにより好ましくは15dmm以下であることが望ましい。針入度が上記範囲にあると、ポリオレフィンワックスの結晶性が高い傾向にあり、耐半田クラック性に優れる。
針入度はJIS K2207に準拠して測定することができる。
The penetration of the modified polyolefin wax is desirably 30 dmm or less, preferably 25 dmm or less, more preferably 20 dmm or less, and even more preferably 15 dmm or less. When the penetration is in the above range, the crystallinity of the polyolefin wax tends to be high, and the solder crack resistance is excellent.
The penetration can be measured according to JIS K2207.

これらの変性ポリオレフィンワックスは、単独であっても複数種の変性ポリオレフィンワックスの混合であっても、他の通常離型剤として用いられるワックス類と混合して用いても差し支えない。   These modified polyolefin waxes may be used singly or as a mixture of a plurality of modified polyolefin waxes, or may be used in combination with other waxes usually used as mold release agents.

離型剤の配合量は、熱硬化性樹脂(A)と無機質充填材(B)との合計100重量に対して、離型剤(C)を0.03〜1.00重量部、好ましくは0.05〜0.8重量部であり、更に好ましくは0.2〜0.7重量部である。
離型剤の配合量が前記範囲内にあると、トランスファー成形機や射出成形機シリンダー内における樹脂組成物の流動性が適度となるため安定して成形が行え、またリードフレーム等の各種部材へのブリードが少なく、密着性、耐半田クラック性、耐湿信頼性、連続成形性に優れる。
The compounding quantity of a mold release agent is 0.03-1.00 weight part of mold release agents (C) with respect to a total of 100 weight of a thermosetting resin (A) and an inorganic filler (B), Preferably It is 0.05-0.8 weight part, More preferably, it is 0.2-0.7 weight part.
If the compounding amount of the release agent is within the above range, the flowability of the resin composition in the cylinder of the transfer molding machine or the injection molding machine becomes appropriate, so that the molding can be performed stably. No bleed, excellent adhesion, solder crack resistance, moisture resistance reliability, and continuous formability.

又、本発明に用いられる変性ポリオレフィンワックスが変性ポリエチレンワックスの場合、成形材料化する時、材料が十分に分散されるため混練り性がよく、また成形時においてフレームに対する密着性、耐湿信頼性が優れた性能を発揮する。
それ故成形時においては滑剤効果が発揮され流動性、充填性、離型性、フレームに対する密着性、耐湿信頼性が向上する。
In addition, when the modified polyolefin wax used in the present invention is a modified polyethylene wax, the material is sufficiently dispersed when it is formed into a molding material, so that the kneadability is good, and the adhesion to the frame and the moisture resistance reliability during molding are good. Excellent performance.
Therefore, at the time of molding, a lubricant effect is exhibited, and fluidity, filling properties, mold release properties, adhesion to the frame, and moisture resistance reliability are improved.

また本発明の樹脂組成物は、上記以外にも必要に応じて、シランカップリング剤、難燃剤、着色剤、低応力化剤等を配合しても差し支えない。
これらの全材料を、加熱ニーダーや熱ロールにより加熱混練し、続いて冷却、粉砕することで目的とする樹脂組成物が得られ、半導体封止材として使用することができる。
In addition to the above, the resin composition of the present invention may contain a silane coupling agent, a flame retardant, a colorant, a low stress agent, and the like as necessary.
All these materials are heated and kneaded with a heating kneader or a hot roll, and then cooled and pulverized to obtain the intended resin composition, which can be used as a semiconductor encapsulant.

以下、本発明の優れた効果を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the excellent effect of the present invention will be described by way of examples, but the present invention is not limited to these examples.

以下の実施例においてワックス(離型剤)の物性は次のようにして測定した。
<酸価>
JIS K5902に従って測定した。
<数平均分子量(Mn)、重量平均分子量(Mw)>
数平均分子量(Mn)および重量平均分子量(Mw)は、GPC測定から求めたものである。測定は以下の条件で行った。また、数平均分子量(Mn)および重量平均分子量(Mw)は、市販の単分散標準ポリスチレンを用いて検量線を作成し下記の換算法に基づいて分子量を求めた。
装置 : ゲル浸透クロマトグラフAlliance GPC2000型(Waters社製)
溶剤 : o−ジクロロベンゼン
カラム: TSKgelカラム(東ソー社製)×4
流速 : 1.0 ml/分
試料 : 0.15mg/mL o−ジクロロベンゼン溶液
温度 : 140℃
分子量換算 : PE換算/汎用較正法
なお、汎用較正の計算には、以下に示すMark−Houwink粘度式の係数を用いた。
ポリスチレン(PS)の係数 : KPS=1.38×10-4, aPS=0.70
ポリエチレン(PE)の係数 : KPE=5.06×10-4, aPE=0.70
<極限粘度[η]>
ASTM D1601に従って測定した。
<融点>
示差走査型熱量計(DSC)〔DSC−20(セイコー電子工業社製)〕を用いて測定した。まず測定試料を、一旦200℃まで昇温して、5分間保持した後、直ちに室温まで冷却した。この試料約10mgを−20℃から200℃の温度範囲で、昇温速度10℃/分の条件でDSC測定した。測定結果から得られたカーブの吸熱ピークの値を融点とした。
<密度>
JIS K7112の密度勾配法に従って測定した。
<針入度>
JIS K2207に従って測定した。
[合成例1] (ポリオレフィンワックス(1)の合成) メタロセン触媒を用いて、次のようにしてエチレン・プロピレン共重合体(ポリオレフィンワックス(1))を合成した。
In the following examples, the physical properties of the wax (release agent) were measured as follows.
<Acid value>
It measured according to JIS K5902.
<Number average molecular weight (Mn), weight average molecular weight (Mw)>
The number average molecular weight (Mn) and the weight average molecular weight (Mw) are obtained from GPC measurement. The measurement was performed under the following conditions. The number average molecular weight (Mn) and the weight average molecular weight (Mw) were determined by preparing a calibration curve using commercially available monodisperse standard polystyrene and calculating the molecular weight based on the following conversion method.
Apparatus: Gel permeation chromatograph Alliance GPC2000 (manufactured by Waters)
Solvent: o-dichlorobenzene column: TSKgel column (manufactured by Tosoh Corporation) x 4
Flow rate: 1.0 ml / min Sample: 0.15 mg / mL o-dichlorobenzene solution temperature: 140 ° C.
Molecular weight conversion: PE conversion / general-purpose calibration method For the calculation of general-purpose calibration, the coefficient of the Mark-Houwink viscosity equation shown below was used.
Coefficient of polystyrene (PS): KPS = 1.38 × 10 −4 , aPS = 0.70
Coefficient of polyethylene (PE): KPE = 0.06 × 10 −4 , aPE = 0.70
<Intrinsic viscosity [η]>
Measured according to ASTM D1601.
<Melting point>
It measured using the differential scanning calorimeter (DSC) [DSC-20 (made by Seiko Denshi Kogyo Co., Ltd.)]. First, the measurement sample was once heated to 200 ° C. and held for 5 minutes, and then immediately cooled to room temperature. About 10 mg of this sample was subjected to DSC measurement in the temperature range from −20 ° C. to 200 ° C. under the temperature rising rate of 10 ° C./min. The endothermic peak value of the curve obtained from the measurement results was taken as the melting point.
<Density>
It was measured according to the density gradient method of JIS K7112.
<Penetration>
It measured according to JIS K2207.
[Synthesis Example 1] (Synthesis of Polyolefin Wax (1)) Using a metallocene catalyst, an ethylene / propylene copolymer (polyolefin wax (1)) was synthesized as follows.

十分に窒素置換した内容積2リットルのステンレス製オートクレーブにヘキサン 940mlおよびプロピレン 60mlを装入し、水素を0.27MPa(ゲージ圧)となるまで導入した。
次いで系内の温度を150℃に昇温した後、トリイソブチルアルミニウム 0.3ミリモル、トリフェニルカルベニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート 0.004ミリモル、(t-ブチルアミド)ジメチル(テトラメチル-η5-シクロペンタジエニル)シランチタンジクロライド(シグマアルドリッチ社製)0.02ミリモルをエチレンで圧入することにより重合を開始した。
その後、エチレンのみを連続的に供給することにより全圧を2.9MPa(ゲージ圧)に保ち、150℃で20分間重合を行った。
少量のエタノールを系内に添加することにより重合を停止した後、未反応のエチレンおよびプロピレンをパージした。更に得られたポリマー溶液を、100℃減圧下で一晩乾燥し、表1に示す物性を有するポリオレフィンワックス(1)を得た。
A stainless steel autoclave having an internal volume of 2 liters, which was sufficiently purged with nitrogen, was charged with 940 ml of hexane and 60 ml of propylene, and hydrogen was introduced until the pressure reached 0.27 MPa (gauge pressure).
Next, after raising the temperature in the system to 150 ° C., 0.3 mmol of triisobutylaluminum, 0.004 mmol of triphenylcarbenium tetrakis (pentafluorophenyl) borate, (t-butylamido) dimethyl (tetramethyl-η 5) Polymerization was initiated by injecting 0.02 mmol of -cyclopentadienyl) silane titanium dichloride (Sigma-Aldrich) with ethylene.
Thereafter, only ethylene was continuously supplied to keep the total pressure at 2.9 MPa (gauge pressure), and polymerization was carried out at 150 ° C. for 20 minutes.
After the polymerization was stopped by adding a small amount of ethanol into the system, unreacted ethylene and propylene were purged. Furthermore, the obtained polymer solution was dried overnight at 100 ° C. under reduced pressure to obtain a polyolefin wax (1) having physical properties shown in Table 1.

[変性例1] 200gのポリオレフィンワックス(1)をトルエン1000ml中に入れ、160℃で耐圧オートクレーブ中で完全に溶解後、70℃の無水マレイン酸3.5gおよび常温のジターシャリーブチルパーオキサイド(日本油脂社製、パーブチルD)6.0gを、同時にそれぞれ1.5時間かけて供給し、1時間熟成後、真空度を1mmHgとして溶剤を除去し、表1に示す物性を有する変性ポリオレフィンワックス(1)を得た。    [Modification Example 1] 200 g of polyolefin wax (1) was placed in 1000 ml of toluene and completely dissolved in a pressure-resistant autoclave at 160 ° C., then 3.5 g of maleic anhydride at 70 ° C. and ditertiary butyl peroxide at room temperature (Japan) 6.0 g of Perfume D (manufactured by Yushi Co., Ltd.) was simultaneously supplied over 1.5 hours, and after aging for 1 hour, the solvent was removed with a vacuum of 1 mmHg, and the modified polyolefin wax (1 )

[合成例2](ポリオレフィンワックス(2)の合成) メタロセン触媒を用いて、次のようにしてエチレン・ブテン共重合体(ポリオレフィンワックス(2))を合成した。合成例1の合成において、ヘキサンを935ml、プロピレンの代わりに1−ブテンを65ml装入し、水素を0、15MPa(ゲージ圧)とした以外は合成例1と同様に合成を行い、ポリオレフィンワックス(2)を得た。   [Synthesis Example 2] (Synthesis of polyolefin wax (2)) Using a metallocene catalyst, an ethylene / butene copolymer (polyolefin wax (2)) was synthesized as follows. In the synthesis of Synthesis Example 1, synthesis was performed in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 935 ml of hexane and 65 ml of 1-butene were used instead of propylene, and hydrogen was 0 and 15 MPa (gauge pressure). 2) was obtained.

[変性例2] 200gの30200Bをトルエン1000ml中に入れ、160℃で耐圧オートクレーブ中で完全に溶解後、70℃の無水マレイン酸7.0gおよび常温のジターシャリーブチルパーオキサイド(日本油脂社製、パーブチルD)12.0gを、同時にそれぞれ1.5時間かけて供給し、1時間熟成後、真空度を1mmHgとして溶剤を除去し、表1に示す物性を有する変性ポリオレフィンワックス(2)を得た。   [Modification Example 2] 200 g of 30200B was placed in 1000 ml of toluene and completely dissolved in a pressure-resistant autoclave at 160 ° C., then 7.0 g of maleic anhydride at 70 ° C. and ditertiary butyl peroxide at room temperature (manufactured by NOF Corporation, Perbutyl D) 12.0 g was simultaneously supplied over 1.5 hours, and after aging for 1 hour, the solvent was removed at a vacuum of 1 mmHg to obtain a modified polyolefin wax (2) having the physical properties shown in Table 1. .

[合成例3] (ポリオレフィンワックス(3)の合成) メタロセン触媒を用いて、次のようにしてエチレン・プロピレン共重合体(ポリオレフィンワックス(3))を合成した。
合成例1の合成において、ヘキサンを960ml、プロピレンを40ml装入し、水素を0.08MPa(ゲージ圧)とした以外は合成例1と同様に合成を行い、ポリオレフィンワックス(3)を得た。
[Synthesis Example 3] (Synthesis of Polyolefin Wax (3)) Using a metallocene catalyst, an ethylene / propylene copolymer (polyolefin wax (3)) was synthesized as follows.
Synthesis was carried out in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 960 ml of hexane and 40 ml of propylene were charged and hydrogen was changed to 0.08 MPa (gauge pressure) in the synthesis of Synthesis Example 1 to obtain a polyolefin wax (3).

[変性例3] 2Lのオートクレーブ(温度計、圧力計、撹拌機、ガス導入管、ガス排気管を備える)で酸化反応を実施した。
500gのポリエチレンワックス(2)を溶融させ、内温が165℃に達した後、撹拌機を300min-1に設定し、1.2L/minで空気を溶融物中に導入した、このとき内圧は0.69MPaを示した。
空気を導入しながら、反応温度を165℃、撹拌速度を300min-1、圧力を0.69MPaに維持し、6時間後に反応を終了し、表1に示す物性を有する変性ポリオレフィンワックス(3)を得た。
[Modification 3] An oxidation reaction was carried out in a 2 L autoclave (equipped with a thermometer, pressure gauge, stirrer, gas introduction pipe, and gas exhaust pipe).
After 500 g of polyethylene wax (2) was melted and the internal temperature reached 165 ° C., the stirrer was set to 300 min −1 and air was introduced into the melt at 1.2 L / min. 0.69 MPa was indicated.
While introducing air, the reaction temperature was maintained at 165 ° C., the stirring rate was maintained at 300 min −1 , the pressure was maintained at 0.69 MPa, the reaction was terminated after 6 hours, and a modified polyolefin wax (3) having physical properties shown in Table 1 was obtained. Obtained.

[合成例4] (ポリオレフィンワックス(4)の合成) メタロセン触媒を用いて、次のようにしてエチレン・プロピレン共重合体(ポリオレフィンワックス(4))を合成した。
合成例1の合成において、ヘキサンを968mlおよびプロピレンを32ml装入し、水素を0.08MPa(ゲージ圧)とした以外は合成例1と同様に合成を行い、ポリオレフィンワックス(4)を得た。
[Synthesis Example 4] (Synthesis of Polyolefin Wax (4)) Using a metallocene catalyst, an ethylene / propylene copolymer (polyolefin wax (4)) was synthesized as follows.
Synthesis was performed in the same manner as in Synthesis Example 1 except that 968 ml of hexane and 32 ml of propylene were charged and hydrogen was changed to 0.08 MPa (gauge pressure) in the synthesis of Synthesis Example 1 to obtain a polyolefin wax (4).

[変性例4] ポリオレフィンワックス(3)に代えてポリオレフィンワックス(4)を使用したこと以外は変性例3と同様にして酸化反応を実施し、表1に示す物性を有する変性ポリオレフィンワックス(4)を得た。
[1105A] チーグラー触媒で製造され、無水マレイン酸グラフト変性された、表1に示す物性を有する変性ポリオレフィンワックス(三井化学製、1105A)。
[2203A] チーグラー触媒で製造され、無水マレイン酸グラフト変性された、表1に示す物性を有する変性ポリオレフィンワックス(三井化学製、2203A)。
[Modification Example 4] A modified polyolefin wax (4) having the physical properties shown in Table 1 was subjected to an oxidation reaction in the same manner as Modification Example 3 except that the polyolefin wax (4) was used instead of the polyolefin wax (3). Got.
[1105A] A modified polyolefin wax (manufactured by Mitsui Chemicals, 1105A) produced with a Ziegler catalyst and modified with maleic anhydride graft and having the physical properties shown in Table 1.
[2203A] A modified polyolefin wax (manufactured by Mitsui Chemicals, 2203A) produced with a Ziegler catalyst and modified with maleic anhydride graft and having the physical properties shown in Table 1.

[実施例1]
表2の実施例1に示す重量割合で、全原料をヘンシェルミキサーにより混合した後、温度90℃でニーダ―、ロール等で加熱混練し、更に冷却後粉砕して、封止材料とした。
この材料を用いて、スパイラルフロー、ゲル化時間、耐半田クラック性、連続成形性、密着性、耐湿安定性について評価を行った。以下、それぞれの評価方法を示す。
<スパイラルフロー>
内部がスパイラル状になった金型を用い、トランスファー成形にて金型温度150℃、実効圧力70kgf/cm2にて成形し、約180秒間硬化した時の金型内で流動した長さを測定した。
<ゲル化時間>
180℃の熱板上に樹脂を2g乗せ、スパチュラを用いて約25mm角の大きさに広げて熱板に擦りつけた後、樹脂が硬化して熱板より剥がれる時間を測定した。
<耐半田クラック性>
60pQFPパッケージ(パッケージサイズ12×18mm、厚み1.5mm、チップサイズ8×8mm、ゲートサイズ0.3×0.3mm)の射出成形品を、30℃、相対湿度60%の雰囲気中で192時間吸湿後、IRリフロー(220℃)での耐半田クラック性試験を行った。全サンプル数に対する、クラックが生じたサンプル数を計測した。
[Example 1]
All raw materials were mixed by a Henschel mixer at the weight ratio shown in Example 1 in Table 2, then kneaded with a kneader, roll, etc. at a temperature of 90 ° C., cooled and pulverized to obtain a sealing material.
Using this material, spiral flow, gelation time, solder crack resistance, continuous formability, adhesion, and moisture resistance stability were evaluated. Hereinafter, each evaluation method is shown.
<Spiral flow>
Using a mold with a spiral inside, transfer molding was performed at a mold temperature of 150 ° C. and an effective pressure of 70 kgf / cm 2 , and the length that flowed in the mold when cured for about 180 seconds was measured. did.
<Gelification time>
2 g of the resin was placed on a hot plate at 180 ° C., spread to about 25 mm square using a spatula and rubbed against the hot plate, and then the time for the resin to harden and peel off from the hot plate was measured.
<Solder crack resistance>
60pQFP package (package size 12x18mm, thickness 1.5mm, chip size 8x8mm, gate size 0.3x0.3mm) injection molded product absorbs moisture for 192 hours in an atmosphere of 30 ° C and 60% relative humidity Thereafter, a solder crack resistance test by IR reflow (220 ° C.) was performed. The number of samples with cracks relative to the total number of samples was measured.

<連続成形性>
連続して60pQFPパッケージ(同上)の射出成形を10時間以上行えるかどうかで判断し、10時間以上行える場合を○、10時間以上行えない場合を×で示した。
<密着性>
60pQFPパッケージ(同上)を成形後、121℃、100%RHの環境下で48時間放置した後に超音波探傷機でパッケージを観察して、内部剥離が生じたパッケージ数の全パッケージ数に対する割合。
<耐湿安定性>
60pQFPパッケージ(同上)を成形後、85℃、85%RHの環境下で24時間放置し、その後260℃の半田槽に10秒間浸漬した。
次にこのパッケ―ジに125℃、2.3気圧のPCT処理を行い、不良率が50%となる迄の処理時間で表現した。
なお、60pQFPパッケージ成形は全て射出成形で行い、金型温度180℃、注入時間10秒、硬化時間60秒にて実施した。後硬化は180℃で3時間実施した。
上記の評価方法で評価した結果を表3に示す。
<Continuous formability>
Judgment was made based on whether or not the injection molding of 60 pQFP package (same as above) can be performed continuously for 10 hours or more.
<Adhesion>
The ratio of the number of packages in which internal peeling occurred to the total number of packages after observing the packages with an ultrasonic flaw detector after molding a 60 pQFP package (same as above) and leaving it in an environment of 121 ° C. and 100% RH for 48 hours.
<Moisture resistance stability>
After molding the 60pQFP package (same as above), it was left in an environment of 85 ° C. and 85% RH for 24 hours, and then immersed in a solder bath at 260 ° C. for 10 seconds.
Next, this package was subjected to PCT treatment at 125 ° C. and 2.3 atm, and expressed as a treatment time until the defect rate reached 50%.
All 60pQFP package molding was performed by injection molding, with a mold temperature of 180 ° C., an injection time of 10 seconds, and a curing time of 60 seconds. Post-curing was performed at 180 ° C. for 3 hours.
Table 3 shows the results of evaluation by the above evaluation method.

[実施例2]
表2の実施例2に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。
結果を表3に示す。
[Example 2]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Example 2 in Table 2 were used.
The results are shown in Table 3.

[実施例3]
表2の実施例3に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[Example 3]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Example 3 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.

[実施例4]
表2の実施例4に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[Example 4]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Example 4 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.

[実施例5]
表2の実施例5に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[Example 5]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Example 5 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.

[実施例6]
表2の実施例6に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[Example 6]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Example 6 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.

[実施例8]
表2の実施例7に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[Example 8]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Example 7 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.

[実施例8]
表2の実施例8に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[Example 8]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Example 8 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.

[比較例1]
表2の比較例1に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[Comparative Example 1]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Comparative Example 1 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.

[比較例2]
表2の比較例2に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[比較例3]
表2の比較例3に示すワックスの種類と配合量とした以外は、実施例1と同様に行った。結果を表3に示す。
[Comparative Example 2]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Comparative Example 2 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.
[Comparative Example 3]
The same procedure as in Example 1 was performed except that the type and amount of wax shown in Comparative Example 3 in Table 2 were used. The results are shown in Table 3.

本発明の樹脂組成物を用いることにより、連続成形性、優れたリードフレーム等の各種部材への耐半田クラック性、密着性、耐湿安定性を有するので半導体封止材として有用である。   Use of the resin composition of the present invention is useful as a semiconductor encapsulant because it has continuous moldability, excellent solder crack resistance to various members such as lead frames, adhesion, and moisture stability.

Claims (5)

熱硬化性樹脂(A)、無機質充填材(B)および離型剤(C)を含む樹脂組成物であって、離型剤(C)が示差走査熱量計(DSC)で測定した融点が65〜130℃の範囲にあり、かつ酸グラフト変性された変性ポリオレフィンワックスであることを特徴とする樹脂組成物。 A resin composition containing a thermosetting resin (A), an inorganic filler (B) and a release agent (C), wherein the release agent (C) has a melting point of 65 measured by a differential scanning calorimeter (DSC). A resin composition characterized by being a modified polyolefin wax in a range of ˜130 ° C. and subjected to acid graft modification. 変性ポリオレフィンワックスの酸価が1〜100 KOHmg/gであることを特徴とする請求項1に記載の樹脂組成物。   2. The resin composition according to claim 1, wherein the acid value of the modified polyolefin wax is 1 to 100 KOHmg / g. 変性ポリオレフィンワックスが、メタロセン系触媒により製造されたポリオレフィンワックスを酸グラフト変性することにより得られたものであることを特徴とする請求項1に記載の樹脂組成物。   2. The resin composition according to claim 1, wherein the modified polyolefin wax is obtained by acid graft modification of a polyolefin wax produced with a metallocene catalyst. 熱硬化性樹脂(A)と無機質充填材(B)との合計100重量に対して、離型剤(C)を0.03〜1.00重量部含む請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition of Claim 1 which contains 0.03-1.00 weight part of mold release agents (C) with respect to a total of 100 weight of a thermosetting resin (A) and an inorganic filler (B). 請求項1〜4のいずれかに記載の樹脂組成物を含む半導体封止材。   The semiconductor sealing material containing the resin composition in any one of Claims 1-4.
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