JP4966113B2 - Mercury atomic fluorescence analyzer - Google Patents

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Description

本発明は、水銀ランプからの紫外線の散乱を防止する水銀原子蛍光分析装置に関する。   The present invention relates to a mercury atomic fluorescence analyzer that prevents scattering of ultraviolet rays from a mercury lamp.

従来から原子蛍光法による水銀分析は行われている。石英ガラスからなるフローセル中にガス状の試料を流し、水銀ランプから発生する紫外線を試料に照射し、試料中に存在する水銀原子から発生する水銀の蛍光強度を検出器で検出することにより水銀の定量分析が行われている。   Conventionally, mercury analysis by atomic fluorescence has been performed. A gaseous sample is flowed into a flow cell made of quartz glass, the sample is irradiated with ultraviolet rays generated from a mercury lamp, and the fluorescence intensity of mercury generated from mercury atoms present in the sample is detected by a detector. Quantitative analysis is performed.

しかし、従来の装置では、石英ガラスで製作されたフローセルの入射窓から入射した紫外線がフローセルの内面やフローセルを取り囲む部材において散乱するため、散乱光が発生していた。特に、フローセルを固定している固定部材の固定面からの散乱光が多く発生していた。そのため検出器で検出される信号のノイズが多く、またベースラインが高くなり、0.1pg(ピコグラム)の低濃度の水銀を検出することが困難であった。   However, in the conventional apparatus, the ultraviolet light incident from the entrance window of the flow cell made of quartz glass is scattered on the inner surface of the flow cell and the members surrounding the flow cell, and thus scattered light is generated. In particular, much scattered light was generated from the fixed surface of the fixing member fixing the flow cell. Therefore, the noise of the signal detected by the detector is large, the baseline is high, and it is difficult to detect mercury at a low concentration of 0.1 pg (picogram).

本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、フローセルからの散乱光を減少させる水銀原子蛍光分析装置を提供し、検出器が検出する信号のベースラインを低下させるとともにノイズを減少させ、水銀原子蛍光分析装置の分析感度と精度を向上させることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and provides a mercury atomic fluorescence analyzer that reduces scattered light from a flow cell, lowers the baseline of the signal detected by the detector and reduces noise, The purpose is to improve the analytical sensitivity and accuracy of the mercury atomic fluorescence spectrometer.

前記目的を達成するために、本発明の水銀原子蛍光分析装置は、試料に紫外線を照射する水銀ランプと、試料から発生する水銀の蛍光を検出する検出器と、前記水銀ランプからの紫外線が入射する入射窓を有する壁、試料から発生する水銀の蛍光を前記検出器に出射する出射窓を有する壁、前記入射窓と対向する壁および前記出射窓と対向する壁によってセルを形成し、前記セルにガス状の試料が導入される導入口およびガス状の試料が導出される導出口を有し、ガス状の試料を通過させるフローセルであって、前記入射窓および出射窓を除いて、少なくとも前記入射窓と対向する壁および前記出射窓と対向する壁が紫外線を吸収する紫外線吸収材または紫外線の反射を防止する紫外線反射防止材で覆われているフローセルとを有する。   In order to achieve the above object, a mercury atomic fluorescence analyzer of the present invention includes a mercury lamp that irradiates a sample with ultraviolet light, a detector that detects fluorescence of mercury generated from the sample, and ultraviolet light from the mercury lamp is incident. A cell is formed by a wall having an incident window, a wall having an exit window for emitting mercury fluorescence generated from a sample to the detector, a wall facing the entrance window, and a wall facing the exit window; A flow cell having an inlet for introducing a gaseous sample and an outlet for extracting a gaseous sample, and allowing the gaseous sample to pass therethrough, except for the entrance window and the exit window. The wall facing the entrance window and the wall facing the exit window have a flow cell covered with an ultraviolet absorber that absorbs ultraviolet rays or an ultraviolet antireflection material that prevents reflection of ultraviolet rays.

「紫外線吸収材または紫外線反射防止材で覆われる」とは、フローセル内で発生する散乱光を減少させるために、フローセルの内面および/または外面を紫外線吸収材または紫外線反射防止材で包み込まれる、またはフローセル自身が紫外線吸収材または紫外線反射防止材で形成されることを意味する。   “Covered with UV absorber or UV anti-reflective material” means that the inner and / or outer surface of the flow cell is encased in UV absorber or UV anti-reflective material to reduce scattered light generated in the flow cell, or It means that the flow cell itself is formed of an ultraviolet absorbing material or an ultraviolet antireflection material.

本発明の水銀原子蛍光分析装置によれば、水銀ランプから入射した紫外線がフローセル内で散乱することにより発生する散乱光を減少させることによって検出器の検出信号に重畳していた散乱光によるバックグラウンド信号を大幅に減少させ、検出信号のベースラインを低下させることができ、水銀原子蛍光分析装置の分析感度と精度を向上させることができる。   According to the mercury atomic fluorescence analyzer of the present invention, the background caused by the scattered light superimposed on the detection signal of the detector by reducing the scattered light generated by the ultraviolet light incident from the mercury lamp being scattered in the flow cell. The signal can be greatly reduced, the baseline of the detection signal can be lowered, and the analytical sensitivity and accuracy of the mercury atomic fluorescence analyzer can be improved.

本発明の水銀原子蛍光分析装置において、紫外線吸収材および/または紫外線反射防止材が膜で形成されているのが好ましく、また紫外線反射防止材がフッ化マグネシウムまたはポリエチレンテレフタレートシリコンで形成されているのが好ましい。   In the mercury atomic fluorescence spectrometer of the present invention, the ultraviolet absorbing material and / or the ultraviolet antireflection material is preferably formed of a film, and the ultraviolet antireflection material is formed of magnesium fluoride or polyethylene terephthalate silicon. Is preferred.

以下、本発明の第1実施形態である水銀原子蛍光分析装置について説明する。図1に示すように、本装置は、試料Sに紫外線11を照射する水銀ランプ10、水銀ランプ10から出射する紫外線の光束を絞る入射スリット13、ガス状の試料を通過させるフローセル20、水銀ランプ10からの紫外線11をフローセル20の入射窓21に集光させる入射レンズ15、フローセル20を固定する固定部材50、試料Sから発生する蛍光12を検出する検出器40、フローセル20の出射窓22から出射する蛍光12を検出器40の検出器窓に集光させる出射レンズ16、出射レンズ16を透過した蛍光12の光束を絞る出射スリット17、検出器40で検出された信号を処理し試料中の水銀含有量を定量する信号処理手段70および試料導入部80を備えている。   Hereinafter, a mercury atom fluorescence analyzer according to a first embodiment of the present invention will be described. As shown in FIG. 1, this apparatus includes a mercury lamp 10 that irradiates a sample S with ultraviolet rays 11, an incident slit 13 that narrows the luminous flux of ultraviolet rays emitted from the mercury lamp 10, a flow cell 20 that passes a gaseous sample, and a mercury lamp. 10 from the incident lens 15 that condenses the ultraviolet rays 11 from the flow cell 20 on the incident window 21, the fixing member 50 that fixes the flow cell 20, the detector 40 that detects the fluorescence 12 generated from the sample S, and the emission window 22 of the flow cell 20. An exit lens 16 that condenses the emitted fluorescence 12 on the detector window of the detector 40, an exit slit 17 that narrows the luminous flux of the fluorescence 12 that has passed through the exit lens 16, and a signal detected by the detector 40 to process the signal in the sample. A signal processing means 70 for quantifying the mercury content and a sample introduction unit 80 are provided.

水銀ランプ10は、例えば水銀が封入された放電管であり、通電され放電すると水銀の共鳴線である253.7nmの紫外線を発生する。入射レンズ15と出射レンズ16は、例えば溶融石英製の凸レンズであり、検出器40は、例えば光電子増倍管である。図2に示すように試料導入部80は、ガス状の試料を導入するためのアルゴンガスが充填されているアルゴンボンベ81、アルゴンガスの流量を制御するマスフローメータ83、アルゴンガスの流路を切替える三方切替弁84、アルゴンガスに含まれている水銀を除去するフィルタ85、ガス状の試料送入口86、試料送入口86から導入された水銀を捕集する水銀捕集管87、ガス状の試料が流れる試料流路88、アルゴンガスを試料流路88からバイパスさせるバイパス流路89および試料流路88とバイパス流路89を接続する三方ジョイント90で構成されている。   The mercury lamp 10 is, for example, a discharge tube in which mercury is enclosed. When the mercury lamp 10 is energized and discharged, it generates ultraviolet light having a wavelength of 253.7 nm which is a resonance line of mercury. The entrance lens 15 and the exit lens 16 are, for example, convex lenses made of fused silica, and the detector 40 is, for example, a photomultiplier tube. As shown in FIG. 2, the sample introduction unit 80 switches an argon cylinder 81 filled with an argon gas for introducing a gaseous sample, a mass flow meter 83 for controlling the flow rate of the argon gas, and a flow path of the argon gas. Three-way switching valve 84, filter 85 for removing mercury contained in argon gas, gaseous sample inlet 86, mercury collecting tube 87 for collecting mercury introduced from the sample inlet 86, gaseous sample The sample flow path 88 flows through, the bypass flow path 89 that bypasses the argon gas from the sample flow path 88, and the three-way joint 90 that connects the sample flow path 88 and the bypass flow path 89.

空気でガス状の試料を導入すると試料中の水銀が干渉を受け感度が低下するため、水銀の発光効率を上げるために導入ガスとしてアルゴンガスが通常用いられる。フィルタ85はアルゴンガスに含まれている極微量の水銀を除去するためのフィルタであり、金コーティングした海砂や水銀専用粒状活性炭などが容器に充填されている。水銀捕集管87は、フィルタ85と同様に金コーティングした海砂が充填された容器と、試料から捕集した水銀を解放するための加熱部を有している。   When a gaseous sample is introduced with air, mercury in the sample is interfered and sensitivity is lowered. Therefore, argon gas is usually used as an introduction gas in order to increase the luminous efficiency of mercury. The filter 85 is a filter for removing a very small amount of mercury contained in the argon gas, and the container is filled with gold-coated sea sand, mercury-dedicated granular activated carbon, or the like. Similarly to the filter 85, the mercury collecting tube 87 has a container filled with gold-coated sea sand and a heating unit for releasing mercury collected from the sample.

図3に示すように、フローセル20は、例えば正方形筒の形状であり、外寸の縦、横が12mm、高さが40mm、厚さが1mmの合成石英で形成されている。図4に示すようにフローセル20は、例えばアルミニウムブロックで形成された固定部材50の中に囲まれるように固定されており、水銀ランプ10に対向する筒壁23であって固定部材50に囲まれていない部分が水銀ランプ10からの紫外線11を入射させる入射窓21を形成し、光電子増倍管60に対向する筒壁24であって固定部材50に囲まれていない部分が試料から発生する水銀の蛍光12を出射させる出射窓22を形成している。   As shown in FIG. 3, the flow cell 20 has a shape of, for example, a square cylinder, and is formed of synthetic quartz having outer dimensions of 12 mm in length and width, 40 mm in height, and 1 mm in thickness. As shown in FIG. 4, the flow cell 20 is fixed so as to be surrounded by a fixing member 50 formed of, for example, an aluminum block, and is a cylindrical wall 23 that faces the mercury lamp 10 and is surrounded by the fixing member 50. The portion not formed forms the incident window 21 for allowing the ultraviolet light 11 from the mercury lamp 10 to enter, and the portion of the cylindrical wall 24 facing the photomultiplier tube 60 that is not surrounded by the fixing member 50 is generated from the sample. The emission window 22 for emitting the fluorescence 12 is formed.

図4に示すように、入射窓21と対向するフローセルの筒壁25の外面25bおよび出射窓22と対向するフローセルの筒壁26の外面26bが紫外線を吸収する紫外線吸収材27、例えばポリエステルフィルムにメタリック蒸着を施した紫外線吸収フィルムで覆われている。紫外線吸収材27の市販品としてはミラリード社製の自動車用ウィンドウフィルムがある。例えば、紫外線吸収フィルムを入射窓21と対向するフローセルの筒壁の外面25bおよび出射窓22と対向するフローセルの筒壁の外面26bに貼付してもよいし、外面25bおよび外面26bに対向する固定部材50のそれぞれの面の間に挟みこむように配置してもよい。   As shown in FIG. 4, the outer surface 25b of the cylinder wall 25 of the flow cell facing the entrance window 21 and the outer surface 26b of the cylinder wall 26 of the flow cell facing the exit window 22 are absorbed by an ultraviolet absorber 27, for example, a polyester film. It is covered with a UV absorbing film that has been subjected to metallic vapor deposition. As a commercial product of the ultraviolet absorber 27, there is an automotive window film manufactured by Mirareed. For example, an ultraviolet absorbing film may be attached to the outer surface 25b of the cylinder wall of the flow cell facing the entrance window 21 and the outer surface 26b of the cylinder wall of the flow cell facing the exit window 22, or fixed to face the outer surface 25b and the outer surface 26b. You may arrange | position so that it may be inserted | pinched between each surface of the member 50. FIG.

図5は導入口ジョイント37および導出口ジョイント38が接続されたフローセル20の図4のI-I線断面図であり、この図に示すように、フローセル20はガス状の試料Sを導入する導入口35およびガス状の試料Sを導出する導出口36を有している。導入口35および導出口36はともに四フッ化エチレンで製作されている導入口ジョイント37および導出口ジョイント38に、厚さ1mmのフルオロカーボンゴム(バイトンゴム 登録商標)のシート39を介して接続され気密性が保たれている。導入口ジョイント37に試料導入部80(図2)が接続され、導出口ジョイント38に試料中の水銀を捕集する水銀捕集器を有するガス状の試料流出部(図示なし)が接続されている。   5 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 4 of the flow cell 20 to which the inlet joint 37 and the outlet joint 38 are connected. As shown in this figure, the flow cell 20 introduces the gaseous sample S. It has an outlet 35 and an outlet 36 through which the gaseous sample S is derived. Both the inlet 35 and outlet 36 are connected to an inlet joint 37 and outlet joint 38 made of tetrafluoroethylene via a sheet 39 of fluorocarbon rubber (Viton Rubber (registered trademark)) having a thickness of 1 mm. Is maintained. A sample inlet 80 (FIG. 2) is connected to the inlet joint 37, and a gaseous sample outlet (not shown) having a mercury collector for collecting mercury in the sample is connected to the outlet joint 38. Yes.

次に、第1実施形態の水銀原子蛍光分析装置の動作について説明する。図2に示すように、アルゴンボンベ81から出たアルゴンガスはマスフローコントローラ83によって所定の流量に制御されて三方切替弁84に導入される。水銀測定を行わないときは、三方切替弁84の試料流路88は閉じられ、バイパス流路89が開放されてアルゴンガスはバイパス流路89を経由して三方ジョイント90よりフローセル20に流れ、フローセル20内をパージしている。水銀測定を行うときは、三方切替弁84のバイパス流路89が閉じられ、試料流路88が開放され、アルゴンガスと試料送入口86より導入されたガス状の試料Sが流れ、試料S中の水銀が水銀捕集管87に捕集される。その後、水銀捕集管87の加熱部によって水銀捕集管87が加熱され、捕集された水銀がガス状の水銀となってフローセル20に導入される。   Next, the operation of the mercury atomic fluorescence analyzer of the first embodiment will be described. As shown in FIG. 2, the argon gas discharged from the argon cylinder 81 is controlled to a predetermined flow rate by the mass flow controller 83 and is introduced into the three-way switching valve 84. When mercury measurement is not performed, the sample flow path 88 of the three-way switching valve 84 is closed, the bypass flow path 89 is opened, and the argon gas flows to the flow cell 20 from the three-way joint 90 via the bypass flow path 89. 20 is purged. When performing mercury measurement, the bypass flow path 89 of the three-way switching valve 84 is closed, the sample flow path 88 is opened, and the gaseous sample S introduced from the argon gas and the sample inlet 86 flows. Of mercury is collected in a mercury collecting tube 87. Thereafter, the mercury collecting tube 87 is heated by the heating part of the mercury collecting tube 87, and the collected mercury is introduced into the flow cell 20 as gaseous mercury.

一方、水銀ランプ10からの紫外線11がフローセル20に照射されているので、フローセル20にガス状の水銀が導入されると、水銀原子から253.7nmの蛍光が発生する。この253.7nmの蛍光強度が光電子増倍管40によって検出され、その検出信号が信号処理手段70で処理され、試料中の水銀含有量が定量される。   On the other hand, since the flow cell 20 is irradiated with the ultraviolet rays 11 from the mercury lamp 10, when gaseous mercury is introduced into the flow cell 20, fluorescence of 253.7 nm is generated from the mercury atoms. The fluorescence intensity of 253.7 nm is detected by the photomultiplier tube 40, the detection signal is processed by the signal processing means 70, and the mercury content in the sample is quantified.

次に、第1実施形態の装置と従来の装置とを用いて実験した結果について説明する。従来の装置のフローセルは、入射窓と対向するフローセルの筒壁の外面および出射窓と対向するフローセルの筒壁の外面が紫外線を吸収する紫外線吸収材で覆われていない。本実施形態の装置と従来の装置とは、フローセルが異なるだけであり、その他の構成は同じ装置である。両装置を用いて前記のように同じ測定条件で動作させて水銀量が45pg(ピコグラム)の同一の試料を測定した結果が図6〜図11であり、図6〜図8が第1実施形態の装置で測定したデータであり、図9〜図11が従来の装置で測定したデータである。   Next, the results of experiments using the apparatus of the first embodiment and the conventional apparatus will be described. In the flow cell of the conventional apparatus, the outer surface of the cylinder wall of the flow cell facing the entrance window and the outer surface of the cylinder wall of the flow cell facing the exit window are not covered with the ultraviolet absorber that absorbs ultraviolet rays. The apparatus of this embodiment and the conventional apparatus differ only in the flow cell, and the other configurations are the same apparatus. The results of measuring the same sample with the mercury amount of 45 pg (picogram) by operating both devices under the same measurement conditions as described above are FIGS. 6 to 11, and FIGS. 6 to 8 are the first embodiment. FIG. 9 to FIG. 11 show data measured with a conventional apparatus.

図6と図9は光電子増倍管40が検出した信号電圧のプロファイルを示しており、図6に示すように第1実施形態の装置ではベース電圧が0.2V(ボルト)にあるが、図9に示されている従来の装置ではベース電圧は4Vになっており、第1実施形態の装置ではベース電圧が1/20に減少している。第1実施形態の装置では、図4で示したように、入射窓21と対向するフローセルの外面25bおよび出射窓22と対向するフローセルの外面26bが紫外線を吸収する紫外線吸収材27で覆われており、フローセル20に水銀ランプ10から照射される紫外線の散乱を抑制し、散乱光を減少させているので、ベース電圧が1/20に減少している。一方、従来の装置では、フローセルが紫外線吸収材で覆われていないので、散乱光が多量に発生し、その散乱光が光電子増倍管40に入り、ベース電圧を増加させている。   6 and 9 show the profile of the signal voltage detected by the photomultiplier tube 40. As shown in FIG. 6, in the apparatus of the first embodiment, the base voltage is 0.2 V (volt). In the conventional device shown in FIG. 9, the base voltage is 4 V, and in the device of the first embodiment, the base voltage is reduced to 1/20. In the apparatus of the first embodiment, as shown in FIG. 4, the outer surface 25 b of the flow cell facing the entrance window 21 and the outer surface 26 b of the flow cell facing the exit window 22 are covered with the ultraviolet absorber 27 that absorbs ultraviolet rays. In addition, since the scattering of ultraviolet rays irradiated to the flow cell 20 from the mercury lamp 10 is suppressed and the scattered light is reduced, the base voltage is reduced to 1/20. On the other hand, in the conventional apparatus, since the flow cell is not covered with the ultraviolet absorber, a large amount of scattered light is generated, and the scattered light enters the photomultiplier tube 40 to increase the base voltage.

図7と図10はともに信号電圧からベース電圧を差し引いた電圧を信号処理手段70によって処理した信号強度のプロファイルが示されている。信号強度は任意スケールである。図7と図10に示されている信号強度はともに7であり、ほぼ同じである。両装置のノイズレベルを分かりやすくするために図7の信号強度のすその部分を拡大して示した図が図8であり、図10の信号強度のすその部分を拡大して示した図が図11である。図8に示すように第1実施形態の装置ではノイズレベルは0.002と低く、信号強度のプロファイルにテーリング(裾を引いている状態)がほとんどないが、図11に示すように従来の装置ではノイズが多く、ノイズレベルも0.01と高く、信号強度のプロファイルがテーリングしている。   FIGS. 7 and 10 both show signal intensity profiles obtained by processing the signal processing means 70 with the voltage obtained by subtracting the base voltage from the signal voltage. The signal strength is an arbitrary scale. The signal strengths shown in FIGS. 7 and 10 are both 7, which is almost the same. In order to make the noise levels of both devices easy to understand, FIG. 8 is an enlarged view of the skirt portion of the signal strength of FIG. 7, and FIG. 8 is an enlarged view of the heel portion of the signal strength of FIG. FIG. As shown in FIG. 8, in the apparatus of the first embodiment, the noise level is as low as 0.002, and there is almost no tailing (a state in which the skirt is pulled) in the signal intensity profile, but the conventional apparatus as shown in FIG. However, there is a lot of noise, the noise level is as high as 0.01, and the signal intensity profile is tailing.

第1実施形態の装置では、図4に示すように、入射窓21と対向するフローセルの外面25bおよび出射窓22と対向するフローセルの外面26bが紫外線を吸収する紫外線吸収材27で覆われており、フローセル20に水銀ランプ10から照射される紫外線11の散乱を抑制し、散乱光を減少させているので、ノイズレベルは0.002と低く、信号強度のプロファイルにテーリングがほとんどなくなっている。一方、従来の装置では、フローセルが紫外線吸収材27で覆われていないので、散乱光が多量に発生し、その散乱光が光電子増倍管40に入り、散乱光による乱れによるノイズが多く発生し、ノイズレベルも0.01と高くなり信号強度のプロファイルのすその部分に幅広くテーリングしている。   In the apparatus of the first embodiment, as shown in FIG. 4, the outer surface 25 b of the flow cell facing the entrance window 21 and the outer surface 26 b of the flow cell facing the exit window 22 are covered with an ultraviolet absorber 27 that absorbs ultraviolet rays. Since the scattering of the ultraviolet rays 11 irradiated to the flow cell 20 from the mercury lamp 10 is suppressed and the scattered light is reduced, the noise level is as low as 0.002 and the tailing of the signal intensity profile is almost eliminated. On the other hand, in the conventional apparatus, since the flow cell is not covered with the ultraviolet absorber 27, a large amount of scattered light is generated, the scattered light enters the photomultiplier tube 40, and a lot of noise is generated due to disturbance due to the scattered light. The noise level is as high as 0.01, and the tail of the signal intensity profile is wide tailed.

当該分野では、一般的に検出限界の信号強度は、検出限界の信号強度=3×ノイズレベルと定義されているので、この式に従って第1実施形態の装置と従来の装置の検出限界の信号強度を計算すると、第1実施形態の装置の検出限界の信号強度は0.006であり、従来の装置の検出限界の信号強度は0.03となる。第1実施形態の装置と従来の装置で45pgの水銀を測定した信号強度はともに7であり、この信号強度7と前記の両装置の検出限界の信号強度から水銀量の検出限界値を算出すると、第1実施形態の装置では、0.039pgとなり、従来の装置では、0.19pgとなる。第1実施形態の装置では従来の装置に比べ5倍感度が向上している。   In this field, the signal strength at the detection limit is generally defined as signal strength at the detection limit = 3 × noise level. Therefore, according to this equation, the signal strength at the detection limit of the device of the first embodiment and the conventional device. Is calculated, the detection limit signal intensity of the apparatus of the first embodiment is 0.006, and the detection limit signal intensity of the conventional apparatus is 0.03. The signal intensity obtained by measuring 45 pg mercury with the apparatus of the first embodiment and the conventional apparatus is both 7. When the detection limit value of the mercury amount is calculated from this signal intensity 7 and the signal intensity of the detection limit of both the above-mentioned apparatuses. In the apparatus of the first embodiment, it is 0.039 pg, and in the conventional apparatus, it is 0.19 pg. In the apparatus of the first embodiment, the sensitivity is improved 5 times as compared with the conventional apparatus.

本発明の第2実施形態である水銀原子蛍光分析装置について説明する。第2実施形態の装置と第1実施形態の装置とは、フローセルが異なるだけであり、その他の構成は同じ装置であるので、フローセルについてのみ以下に説明する。図12に示すように、フローセル100は、第1実施形態と同一の正方形筒の合成石英で形成され、第1実施形態と同一の固定部材50の中に囲まれるように固定されており、水銀ランプ10に対向する筒壁103であって固定部材50に囲まれていない部分が水銀ランプ10からの紫外線11を入射させる入射窓101を形成し、光電子増倍管40に対向する筒壁104であって固定部材50に囲まれていない部分が試料から発生する水銀の蛍光12を出射させる出射窓102を形成している。入射窓101と対向するフローセルの筒壁105の内面105aおよび出射窓102と対向するフローセルの筒壁106の内面106aが紫外線を吸収する紫外線吸収材107、例えばポリエステルフィルムにメタリック蒸着を施した紫外線吸収材で覆われている。   A mercury atomic fluorescence analyzer that is a second embodiment of the present invention will be described. The apparatus of the second embodiment is different from the apparatus of the first embodiment only in the flow cell, and the other configuration is the same apparatus, so only the flow cell will be described below. As shown in FIG. 12, the flow cell 100 is formed of the same square cylinder synthetic quartz as in the first embodiment, and is fixed so as to be surrounded by the same fixing member 50 as in the first embodiment. A portion of the cylindrical wall 103 facing the lamp 10 that is not surrounded by the fixing member 50 forms an incident window 101 through which the ultraviolet rays 11 from the mercury lamp 10 are incident, and a cylindrical wall 104 facing the photomultiplier tube 40 is formed. A portion not surrounded by the fixing member 50 forms an emission window 102 for emitting mercury fluorescence 12 generated from the sample. Ultraviolet absorbing material 107, for example, a polyester film subjected to metallic vapor deposition, absorbs ultraviolet rays by inner surface 105a of flow cell cylinder wall 105 facing entrance window 101 and inner surface 106a of flow cell cylinder wall 106 facing exit window 102. Covered with wood.

第2実施形態の装置では、入射窓101と対向するフローセルの筒壁の内面105aおよび出射窓102と対向するフローセルの筒壁の内面106aが紫外線を吸収する紫外線吸収材107で覆われているので、第1実施形態の装置と同様の作用効果を得ることができる。   In the apparatus of the second embodiment, the inner surface 105a of the cylinder wall of the flow cell facing the entrance window 101 and the inner surface 106a of the cylinder wall of the flow cell facing the exit window 102 are covered with the ultraviolet absorber 107 that absorbs ultraviolet rays. The same effect as the apparatus of the first embodiment can be obtained.

本発明の第3実施形態である水銀原子蛍光分析装置について説明する。第3実施形態の装置と第1実施形態の装置とは、フローセルが異なるだけであり、その他の構成は同じ装置であるので、フローセルについてのみ以下に説明する。図13に示すように、フローセル200は、第1実施形態と同一の正方形筒の形状であり、第1実施形態と同一の固定部材50の中に囲まれるように固定されており、水銀ランプ10に対向する筒壁203は合成石英であって固定部材50に囲まれていない部分が水銀ランプ10からの紫外線11を入射させる入射窓201を形成し、光電子増倍管40に対向する筒壁204は合成石英であって固定部材50に囲まれていない部分が試料から発生する水銀の蛍光12を出射させる出射窓202を形成している。入射窓201と対向する筒壁205および出射窓202と対向する筒壁206は紫外線を吸収する紫外線吸収材207、例えば、安中特殊硝子製作所製の紫外線吸収フィルタSTG−2050、ケンコウ光学ショップ製のフィルタUV(L39)、五十鈴精工硝子製の紫外線吸収フィルタITY−385などを加工して形成されている。   A mercury atomic fluorescence analyzer that is a third embodiment of the present invention will be described. The apparatus of the third embodiment is different from the apparatus of the first embodiment only in the flow cell, and the other configuration is the same apparatus, so only the flow cell will be described below. As shown in FIG. 13, the flow cell 200 has the same square tube shape as that of the first embodiment, is fixed so as to be surrounded by the same fixing member 50 as that of the first embodiment, and the mercury lamp 10. The cylindrical wall 203 facing the cylindrical wall 203 is made of synthetic quartz and the portion not surrounded by the fixing member 50 forms an incident window 201 through which the ultraviolet rays 11 from the mercury lamp 10 are incident, and the cylindrical wall 204 facing the photomultiplier tube 40. Is a synthetic quartz, and a portion not surrounded by the fixing member 50 forms an emission window 202 for emitting mercury fluorescence 12 generated from the sample. A cylindrical wall 205 facing the entrance window 201 and a cylindrical wall 206 facing the exit window 202 are ultraviolet absorbers 207 that absorb ultraviolet rays, for example, an ultraviolet absorption filter STG-2050 manufactured by Annaka Special Glass Mfg. Co., Ltd., manufactured by Kenko Optical Shop. It is formed by processing a filter UV (L39), an ultraviolet absorption filter ITY-385 manufactured by Isuzu Seiko Glass, and the like.

第3実施形態の装置では、入射窓201と対向する筒壁205および出射窓202と対向する筒壁206が紫外線を吸収する紫外線吸収材で形成されているので、第1実施形態の装置と同様の作用効果を得ることができる。   In the apparatus of the third embodiment, the cylindrical wall 205 facing the entrance window 201 and the cylindrical wall 206 facing the exit window 202 are formed of an ultraviolet absorbing material that absorbs ultraviolet rays, so that it is the same as the apparatus of the first embodiment. The effect of this can be obtained.

本発明の第4実施形態である水銀原子蛍光分析装置について説明する。第4実施形態の装置と第1実施形態の装置とは、フローセルが異なるだけであり、その他の構成は同じ装置であるので、フローセルについてのみ以下に説明する。図14に示すように、フローセル300は、第1実施形態と同一の正方形筒の合成石英で形成され、第1実施形態と同一の固定部材50の中に囲まれるように固定されており、水銀ランプ10に対向する筒壁303であって固定部材50に囲まれていない部分が水銀ランプ10からの紫外線11を入射させる入射窓301を形成し、光電子増倍管40に対向する筒壁304であって固定部材50に囲まれていない部分が試料から発生する水銀の蛍光12を出射させる出射窓302を形成している。   A mercury atomic fluorescence spectrometer that is a fourth embodiment of the present invention will be described. The apparatus of the fourth embodiment and the apparatus of the first embodiment are different only in the flow cell, and the other configurations are the same apparatus, so only the flow cell will be described below. As shown in FIG. 14, the flow cell 300 is formed of the same square cylinder synthetic quartz as in the first embodiment, and is fixed so as to be surrounded by the same fixing member 50 as in the first embodiment. A portion of the cylindrical wall 303 facing the lamp 10 that is not surrounded by the fixing member 50 forms an incident window 301 through which the ultraviolet rays 11 from the mercury lamp 10 are incident, and a cylindrical wall 304 facing the photomultiplier tube 40 is formed. A portion that is not surrounded by the fixing member 50 forms an emission window 302 for emitting mercury fluorescence 12 generated from the sample.

入射窓301と対向するフローセルの筒壁305の内面305aと外面305bおよび出射窓302と対向するフローセルの筒壁306の内面306aと外面306bが紫外線の反射を防止する紫外線反射防止材、例えばフッ化マグネシウムを蒸着した紫外線反射防止膜307で覆われている。紫外線反射防止材307としてポリエチレンテレフタレートシリコンで形成されている膜厚が0.4mmの膜や市販されている紫外線反射防止膜を貼付してもよい。   An inner surface 305a and an outer surface 305b of the cylindrical wall 305 of the flow cell facing the entrance window 301 and an inner surface 306a and an outer surface 306b of the cylindrical wall 306 of the flow cell facing the exit window 302 prevent UV reflection, for example, fluorination The film is covered with an ultraviolet antireflection film 307 deposited with magnesium. A film having a thickness of 0.4 mm formed of polyethylene terephthalate silicon or a commercially available ultraviolet antireflection film may be attached as the ultraviolet antireflection material 307.

第4実施形態の装置では、入射窓301と対向するフローセルの筒壁の内面305aと外面305bおよび出射窓302と対向するフローセルの筒壁の内面306aと外面306bが紫外線の反射を防止する紫外線反射防止材307で覆われているので、第1実施形態の装置と同様の作用効果を得ることができる。   In the apparatus of the fourth embodiment, the inner surface 305a and the outer surface 305b of the cylindrical wall of the flow cell facing the entrance window 301 and the inner surface 306a and the outer surface 306b of the cylindrical wall of the flow cell facing the exit window 302 prevent ultraviolet reflection. Since it is covered with the prevention member 307, the same effect as the apparatus of the first embodiment can be obtained.

第1〜第3の実施形態では、フローセルを紫外線吸収材27、107、207で覆ったが、紫外線反射防止材で覆ってもよい。また第4の実施形態では、紫外線反射防止材307で覆ったが、紫外線吸収材で覆ってもよい。第1〜第4の実施形態では、入射窓21、101、201、301と対向するフローセルの筒壁25、105、205、305および出射窓22、102、202、302と対向するフローセルの筒壁26、106、206、306が紫外線吸収材27、107、207や紫外線反射防止材307で覆われていたが、これらの筒壁に加え、さらに入射窓21、101、201、301を有する壁23、103、203、303の入射窓21、101、201、301以外の領域および出射窓22、102、202、302を有する壁24、104、204、304の出射窓22、102、202、302以外の領域を紫外線吸収材または紫外線反射防止材で覆ってもよい。   In the first to third embodiments, the flow cell is covered with the ultraviolet absorbers 27, 107, and 207, but may be covered with an ultraviolet antireflection material. In the fourth embodiment, the ultraviolet antireflection material 307 is used, but an ultraviolet absorber may be used. In the first to fourth embodiments, the cylinder walls 25, 105, 205, 305 of the flow cell facing the entrance windows 21, 101, 201, 301 and the cylinder walls of the flow cell facing the exit windows 22, 102, 202, 302 are shown. 26, 106, 206, and 306 were covered with the ultraviolet absorbers 27, 107, and 207 and the ultraviolet antireflection material 307. In addition to these cylindrical walls, the wall 23 having incident windows 21, 101, 201, and 301 was also added. , 103, 203, 303 other than the entrance windows 21, 101, 201, 301 and the walls 24, 104, 204, 304 having the exit windows 22, 102, 202, 302 other than the exit windows 22, 102, 202, 302 This region may be covered with an ultraviolet absorbing material or an ultraviolet antireflection material.

フローセルの形状は正方形筒に限らず、長方形筒、円筒、楕円筒であってもよいし、筒形状でなくてもよく、中空の立方体、球体、楕円体などであってもよい。また、これらの形状の一部に突出した入射窓や出射窓を形成してもよい。導入口ジョイント37および導出口ジョイント38がフローセルと一体に形成されてもよい。   The shape of the flow cell is not limited to a square cylinder, and may be a rectangular cylinder, a cylinder, or an elliptic cylinder, or may not be a cylinder, and may be a hollow cube, a sphere, an ellipsoid, or the like. Moreover, you may form the entrance window and exit window which protruded in a part of these shapes. The inlet joint 37 and the outlet joint 38 may be formed integrally with the flow cell.

実施形態では、非分散型水銀原子蛍光分析装置について説明したが、波長分散型水銀原子蛍光分析装置であってもよい。また、水銀捕集管を用いたバッチ方式で測定する装置について説明したが、他のバッチ方式で測定する装置でも、またガス状の試料をフローセルに流しながら連続方式で測定する装置でも実施形態の装置と同様の作用効果を得ることができる。   In the embodiment, the non-dispersion type mercury atom fluorescence analyzer has been described. However, a wavelength dispersion type mercury atom fluorescence analyzer may be used. Moreover, although the apparatus which measures by the batch system using a mercury collection tube was demonstrated, it is an apparatus which measures by another system with another batch system, or an apparatus which measures by a continuous system while flowing a gaseous sample to a flow cell. The same effect as the apparatus can be obtained.

本発明の第1実施形態である水銀原子蛍光分析装置の概略ブロック図である。1 is a schematic block diagram of a mercury atomic fluorescence analyzer that is a first embodiment of the present invention. FIG. 同装置の試料導入部の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the sample introduction part of the same apparatus. 同装置のフローセルの斜視図である。It is a perspective view of the flow cell of the same device. 同装置のフローセルの上面図である。It is a top view of the flow cell of the same device. 図4のI-I線断面図である。It is the II sectional view taken on the line of FIG. 同装置による信号電圧のプロファイルである。It is the profile of the signal voltage by the same apparatus. 同装置による信号強度のプロファイルである。It is the profile of the signal strength by the same apparatus. 同装置による信号強度のノイズレベルのプロファイルである。It is a noise level profile of the signal strength by the same apparatus. 従来の水銀原子蛍光分析装置による信号電圧のプロファイルである。It is the profile of the signal voltage by the conventional mercury atom fluorescence analyzer. 同装置による信号強度のプロファイルである。It is the profile of the signal strength by the same apparatus. 同装置による信号強度のノイズレベルのプロファイルである。It is a noise level profile of the signal strength by the same apparatus. 本発明の第2実施形態である水銀原子蛍光分析装置のフローセルの上面図である。It is a top view of the flow cell of the mercury atom fluorescence analyzer which is 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態である水銀原子蛍光分析装置のフローセルの上面図である。It is a top view of the flow cell of the mercury atom fluorescence analyzer which is 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態である水銀原子蛍光分析装置のフローセルの上面図である。It is a top view of the flow cell of the mercury atom fluorescence analyzer which is 4th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

10 水銀ランプ
11 紫外線
12 水銀の蛍光
20 100 200 300 フローセル
21 101 201 301 入射窓
22 102 202 302 出射窓
23 103 203 303 入射窓を有する壁
24 104 204 304 出射窓を有する壁
25 105 205 305 入射窓と対向する壁
26 106 206 306 出射窓と対向する壁
27 107 207 紫外線吸収材
35 導入口
36 導出口
40 検出器
307 紫外線反射防止材
S 試料







DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Mercury lamp 11 Ultraviolet 12 Mercury fluorescence 20 100 200 300 Flow cell 21 101 201 301 Entrance window 22 102 202 302 Outgoing window 23 103 203 303 Wall having entrance window 24 104 204 304 Wall having exit window 25 105 205 305 Entrance window Wall 106 106 206 306 Wall facing the exit window 27 107 207 Ultraviolet absorber 35 Inlet 36 Outlet 40 Detector 307 Ultraviolet antireflection material S Sample







Claims (2)

試料に紫外線を照射する水銀ランプと、
試料から発生する水銀の蛍光を検出する検出器と、
前記水銀ランプからの紫外線が入射する入射窓を有する壁、試料から発生する水銀の蛍光を前記検出器に出射する出射窓を有する壁、前記入射窓と対向する壁および前記出射窓と対向する壁によってセルを形成し、前記セルにガス状の試料が導入される導入口およびガス状の試料が導出される導出口を有し、ガス状の試料を通過させるフローセルであって、前記入射窓および出射窓を除いて、少なくとも前記入射窓と対向する壁および前記出射窓と対向する壁が紫外線を吸収する紫外線吸収材で覆われているフローセルと、
を有する水銀原子蛍光分析装置。
A mercury lamp that irradiates the sample with ultraviolet light;
A detector for detecting fluorescence of mercury generated from the sample;
A wall having an entrance window for receiving ultraviolet light from the mercury lamp, a wall having an exit window for emitting mercury fluorescence generated from a sample to the detector, a wall facing the entrance window, and a wall facing the exit window A flow cell having an inlet for introducing a gaseous sample into the cell and an outlet for extracting a gaseous sample, the gas passing through the gaseous sample, except for exit window, the flow cell at least said entrance window and the opposite wall and the exit window and the opposite wall is covered with an ultraviolet absorber that absorbs ultraviolet light,
Mercury atomic fluorescence spectrometer.
請求項1において、前記紫外線吸収材が膜で形成されている水銀原子蛍光分析装置。 2. The mercury atom fluorescence analyzer according to claim 1, wherein the ultraviolet absorber is formed of a film.
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