JP4957539B2 - 圧電振動片集合体および圧電振動片集合体の膜厚制御方法 - Google Patents
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Description
以下、圧電振動片として音叉型水晶振動片を例に挙げて、本発明による第1の実施形態について図を用いて説明する。図1は本発明の第1の実施形態を示す圧電振動片集合体の平面図である。なお、図1において音叉型水晶振動片の腕部および基部に形成される各種金属膜の記載は省略している。
そして、図3に示すように一対の測定パッド51の一部(一端側)から、水晶枠部6の金の部分へ架橋する架橋部8が形成されている。前記架橋部8は水晶からなり、当該架橋部の両側には空隙部7が、水晶振動片の外形を成形する時に同時に形成されている。架橋部の上面には測定パッド51の一部(一端側)から、水晶枠部6の金の部分へ電気的に接続するための引出導体10が形成されている。なお、本実施形態では、音叉振動片2およびモニタ用振動片Mの各々に接続している測定パッドは水晶枠部6の一主面上に集約されて形成されているが、本形態に限定されるものではなく、基部の両主面(表裏面)の各々に引出電極を配設して水晶枠部6の両主面(表裏面)の各々に測定パッドを配置した形態であってもよい。また、本実施形態では架橋部8は図2で示すように左右に分割された一対の測定パッド51の下方向に形成されているが、本位置に限定されるものではない。例えば、上下方向に分割された一対の測定パッドの各々から横方向(腕部延出方向に対して直交する方向)に延出するように架橋部を形成することも可能である。
本実施形態における第2の実施形態を、図9乃至図10を用いて説明する。図9は本発明の第2の実施形態を示す圧電振動片集合体の平面図で、図10は図9のD部の一部拡大平面図ある。なお、図9において音叉振動片に形成される各種金属膜の記載は省略している。また、前述の実施形態と同様の構成については、同番号を付して説明の一部を割愛するとともに、前述の実施形態と同様の効果を有する。
2 音叉型圧電振動片
21、22 腕部
23 第1の励振電極
24 第2の励振電極
25、26 腕先部金属膜
3 基部
31 囲繞体
4 ブリッジ
41 第1ブリッジ
42 第2ブリッジ
5、51 測定パッド
6 水晶枠部
7 空隙部
8 架橋部
9 調整金属膜
10 引出導体
L 接続導体
M 膜厚モニタ用水晶振動片
Claims (6)
- 平面視矩形状の圧電振動片が、マトリクス状に多数個整列して一体形成された圧電振動片集合体であって、
前記圧電振動片の表裏面に形成される励振電極は、少なくとも上層に膜付加領域を備えているとともに、前記膜付加領域に1回以上のめっきによって金属膜が一括的に付加され、
前記圧電振動片集合体には、前記めっき後における前記金属膜の膜厚を管理するためのモニタ用圧電振動片が少なくとも1個以上形成されていることを特徴とする圧電振動片集合体。 - 基部と、当該基部から一方向に伸びる一対の腕部とからなる音叉型圧電振動片が、マトリクス状に多数個整列して一体形成され、前記腕部の先端付近の膜付加領域に1回以上のめっきによって金属膜が一括的に付加される圧電振動片集合体であって、
前記圧電振動片集合体には、前記めっき後における前記金属膜の膜厚を管理するためのモニタ用圧電振動片が少なくとも1個以上形成されていることを特徴とする圧電振動片集合体。 - 前記モニタ用圧電振動片は前記膜付加領域以外の領域にも、めっきが施されていることを特徴とする請求項1乃至2に記載の圧電振動片集合体。
- 前記モニタ用圧電振動片は、めっき後に前記圧電振動片集合体から分離可能であることを特徴とする請求項1乃至3に記載の圧電振動片集合体。
- 基部と、当該基部から一方向に伸びる一対の腕部とからなる音叉型圧電振動片が、マトリクス状に多数個整列して一体形成され、前記腕部の先端付近の膜付加領域に1回以上の電解めっきによって金属膜が一括的に付加される圧電振動片集合体の膜厚制御方法であって、
前記圧電振動片集合体には電解めっきによって、前記膜付加領域以外の領域にも金属膜が付加される膜厚モニタ用圧電振動片が少なくとも1個以上形成されているとともに、
圧電振動片集合体の全ての膜付加領域に、電解めっきによって一括的に金属膜を付加して音叉型圧電振動片の周波数を低下させる膜付加工程と、
前記膜厚モニタ用圧電振動片の周波数測定を行う周波数確認工程と、
周波数確認工程で測定した周波数が目標周波数に到達していなければ、さらにめっきを行う追加めっき工程とを有し、
周波数確認工程で測定した周波数が目標周波数に到達していれば膜付加工程を終了することを特徴とする圧電振動片集合体の膜厚制御方法。 - 基部と、当該基部から一方向に伸びる一対の腕部とからなる音叉型圧電振動片が、マトリクス状に多数個整列して一体形成され、前記腕部の先端付近の膜付加領域に1回以上の電解めっきによって金属膜が一括的に付加される圧電振動片集合体の膜厚制御方法であって、
前記圧電振動片集合体には、電解めっきによって前記膜付加領域のみに金属膜が付加される膜厚モニタ用圧電振動片が少なくとも1個以上形成されているとともに、
圧電振動片集合体の全ての膜付加領域に、めっきによって一括的に金属膜を付加して音叉型圧電振動片の周波数を低下させる膜付加工程と、
膜付加工程の後に、前記膜厚モニタ用圧電振動片を圧電振動片集合体から分離した後に当該膜厚モニタ用圧電振動片の周波数測定を行う周波数確認工程と、
周波数確認工程で測定した周波数が目標周波数に到達していなければ、さらにめっきを行う追加めっき工程とを有し、
周波数確認工程で測定した周波数が目標周波数に到達していれば膜付加工程を終了することを特徴とする圧電振動片集合体の膜厚制御方法。
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