JP4957364B2 - Translucent conductive pattern material, electromagnetic wave shielding filter, and frequency selective electromagnetic wave shielding film - Google Patents

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Description

本発明は、高い導電性及び透光性を持つ透光性導電パターン材料、及びこれを用いた電磁波遮蔽フィルター及び周波数選択性電磁波遮蔽フィルムに関する。   The present invention relates to a translucent conductive pattern material having high conductivity and translucency, and an electromagnetic wave shielding filter and a frequency selective electromagnetic wave shielding film using the same.

近年電子機器の使用増大のために電磁波障害(EMI)を低減する必要性が高まっている。機器から放出される電磁波は、電子、電気機器の誤動作、障害の原因になるほか、人体に対しても害を与えることが指摘されている。このため、電子機器では、電磁波放出の強さを規格または規格内に抑えることが要求されている。   In recent years, there has been a growing need to reduce electromagnetic interference (EMI) due to increased use of electronic devices. It has been pointed out that electromagnetic waves emitted from equipment cause malfunctions and failures of electronic and electrical equipment, as well as harm the human body. For this reason, electronic devices are required to suppress the intensity of electromagnetic wave emission within the standard or within the standard.

特にプラズマディスプレイパネル(PDP)は、希ガスをプラズマ状態にして紫外線を放射させ、この紫外線で蛍光体を発光させる原理に基づくため、原理的に電磁波を発生する。電磁波遮蔽能は、簡便には表面抵抗値で表すことができ、PDP用の透光性電磁波遮蔽材料では10Ω/□以下が要求され,PDPを用いた民生用プラズマテレビにおいては2Ω/□以下とする必要性が高く、より望ましくは0.2Ω/□以下という極めて高い導電性が要求されている。PDP用のEMI防止フィルターとしては、透明なプラスチック支持体に金属薄膜を貼合し、ケミカルエッチングにより細かい導電性メッシュパターンを形成するタイプ、蒸着法によりガラスに金属薄膜を形成するタイプが現在主流であり、高い透明性と低い表面抵抗を実現している。PDP用電磁波遮蔽フィルムとして重要視される高透過率/低表面抵抗という性能からは、エッチング法が優れており多くの製品にこの方法が採用されている。   In particular, a plasma display panel (PDP) generates electromagnetic waves in principle because it is based on the principle that a rare gas is put into a plasma state to emit ultraviolet rays and phosphors emit light with the ultraviolet rays. The electromagnetic wave shielding ability can be simply expressed by a surface resistance value, and 10 Ω / □ or less is required for a light-transmitting electromagnetic wave shielding material for PDP, and 2 Ω / □ or less for a consumer plasma television using PDP. There is a high need for this to be achieved, and extremely high conductivity of 0.2Ω / □ or less is more desirable. The mainstream of EMI prevention filters for PDP is a type in which a metal thin film is bonded to a transparent plastic support and a fine conductive mesh pattern is formed by chemical etching, and a metal thin film is formed on glass by vapor deposition. Yes, it achieves high transparency and low surface resistance. In view of the performance of high transmittance / low surface resistance, which is regarded as important as an electromagnetic wave shielding film for PDP, the etching method is excellent, and this method is adopted in many products.

また、エッチング法に変わる製造方法として、銀塩感光材料の鮮鋭性を生かした、導電性パターンの作製方法(例えば、特許文献1、2参照)が開示されている。この方法は、銀/バインダー比の高い乳剤塗布液を透明基材に塗布し、所望のパターンを露光した後、公知の写真感光材料の処理で金属銀パターンを形成し、さらにメッキによりパターン部のみに高い導電性を付与する方法(銀塩法)で、エッチング法のように複雑な工程を経ることなしにPDP用電磁波遮蔽フィルムを作製することが可能である。   In addition, as a manufacturing method that replaces the etching method, a method for producing a conductive pattern using the sharpness of a silver salt photosensitive material (for example, see Patent Documents 1 and 2) is disclosed. In this method, an emulsion coating solution having a high silver / binder ratio is coated on a transparent substrate, a desired pattern is exposed, a metallic silver pattern is formed by processing a known photographic material, and only the pattern portion is plated by plating. It is possible to produce an electromagnetic wave shielding film for PDP without passing through a complicated process like an etching method by a method (silver salt method) that imparts high conductivity to the film.

しかし、この方法は銀/バインダー比の高い感光層であること、パターン形成の際にWet and Dry工程を経ることから、感光層膜面のひび割れが発生し、外観上好ましくないことは明白であるが、実技的にもヘーズの上昇や、ひどい時にはパターンの断線を引き起こす可能性がある。公知の写真感光材料のように、銀塩法に置いても様々な添加剤を乳剤層に添加する技術(例えば、特許文献3、4参照)も開示されているが、特に限定されたものでなく、公知の写真感光材料技術の域を出るものではなかった。添加剤、特に本発明に用いる疎水性樹脂分散物(ラテックス)について、特定の素材を用いることで塗布性を改善する技術(例えば、特許文献5参照)は開示されているが、乳剤の銀/バインダー比は公知の写真感光材料の範囲内であり、ひび割れ等の膜面の変化については記載がない。   However, since this method is a photosensitive layer having a high silver / binder ratio and undergoes a wet and dry process during pattern formation, it is obvious that the photosensitive layer film surface is cracked and is not preferable in appearance. However, there is a possibility of causing an increase in haze and disconnection of the pattern in severe cases. Although a technique for adding various additives to the emulsion layer (for example, see Patent Documents 3 and 4) as disclosed in known silver halide methods is also disclosed, it is particularly limited. In other words, it was not out of the well-known photographic material technology. Although a technique for improving the coating property by using a specific material (for example, see Patent Document 5) for an additive, particularly a hydrophobic resin dispersion (latex) used in the present invention, is disclosed. The binder ratio is within the range of known photographic light-sensitive materials, and there is no description about changes in the film surface such as cracks.

さらに、昨今の無線環境の広がりにより、無線データのセキュリティー、通信品質を維持するために、特に窓ガラスに電磁波遮蔽機能を付加するという技術があるが、単純な遮蔽では携帯電話や公共無線の電波まで遮蔽してしまうため、周波数選択的に電磁波遮蔽ができるFSS(Frequency Selective Surface)が注目されつつある。FSSの特徴は遮蔽したい電磁波の周波数に応じた導電性の独立パターンを基材表面に形成するところにある。このパターンは面内で連続的に接合はしていないため表面抵抗は高くなるが、電磁波を反射するためには各々のパターン自体は高い導電性を必要とする。   Furthermore, due to the recent spread of the wireless environment, there is a technology to add an electromagnetic wave shielding function to the window glass in order to maintain wireless data security and communication quality. As a result, FSS (Frequency Selective Surface) capable of shielding electromagnetic waves in a frequency selective manner is attracting attention. The feature of FSS is that a conductive independent pattern corresponding to the frequency of the electromagnetic wave to be shielded is formed on the substrate surface. Since this pattern is not continuously joined in the plane, the surface resistance is high, but each pattern itself needs high conductivity in order to reflect electromagnetic waves.

透光性であり、周波数選択性(特定の周波数帯域の電磁波のみを遮蔽すること)を持つ導電性パターンを、ガラスまたは合成樹脂フィルム等の透明から半透明の電気絶縁性基材上に形成し、導電性パターンの形状や粗密等を適宜設計して、遮蔽したい周波数帯域を任意に選択することができるアンテナ素子パターンが知られている。   A conductive pattern that is translucent and has frequency selectivity (shielding only electromagnetic waves in a specific frequency band) is formed on a transparent or translucent electrically insulating substrate such as glass or synthetic resin film. In addition, an antenna element pattern is known in which the frequency band desired to be shielded can be arbitrarily selected by appropriately designing the shape and density of the conductive pattern.

アンテナ素子パターンを用いた周波数選択的な電磁波遮蔽は、導電性材料、例えば鉄、アルミニウム、銅、金、ニッケル等の導電性金属薄膜で、周波数に合わせたサイズを持つ規則的な線状パターンを形成し行うものであるが、従来、これらのアンテナ素子パターンは、スパッタ及びエッチングで、また、金属ペーストによる印刷等により作られており(例えば、特許文献6〜10参照)、また、窓に適用するため視認性向上目的で金属パターンを黒化処理する、また、パターンを細線化する技術等が公開されている。   Frequency selective electromagnetic shielding using an antenna element pattern is a conductive metal film such as iron, aluminum, copper, gold, nickel, etc., and a regular linear pattern with a size matched to the frequency. These antenna element patterns are conventionally formed by sputtering and etching, printing by metal paste, etc. (see, for example, Patent Documents 6 to 10), and applied to windows. Therefore, a technique for blackening a metal pattern for the purpose of improving visibility, and a technique for thinning the pattern have been disclosed.

しかし、エッチング法では工程が複雑でコスト高を招くこと、金属ペーストによる印刷の場合は高い導電性を発現させるために200℃近い温度での焼成が必要であり、通常のPET樹脂で作るようなフィルムでは変形してしまうため、パターンに十分な導電性を与えることはできなかった。
特開2004−221564号公報 特開2006−010795号公報 特開平8−286301号公報 特開2000−112078号公報 特開2005−165005号公報 特開平10−169039号公報 特開平11−195890号公報 特開平11−251784号公報 特開2000−196288号公報 特開2001−53484号公報
However, the etching method is complicated and incurs high costs. In the case of printing with a metal paste, baking at a temperature close to 200 ° C. is necessary to develop high conductivity, and it is made of ordinary PET resin. Since the film is deformed, sufficient conductivity cannot be given to the pattern.
JP 2004-221564 A JP 2006-010795 A JP-A-8-286301 JP 2000-112078 A JP 2005-165005 A JP-A-10-169039 Japanese Patent Laid-Open No. 11-195890 Japanese Patent Laid-Open No. 11-251784 JP 2000-196288 A JP 2001-53484 A

従って、本発明の目的は、高い導電性及び透光性を持ち、さらにはWet and Dry処理しても膜面のひび割れを起こさない透光性導電パターン材料、及びこれを用いた電磁波遮蔽フィルター及び周波数選択性電磁波遮蔽フィルムを提供することである。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a light-transmitting conductive pattern material that has high conductivity and light-transmitting property, and that does not cause cracks on the film surface even when treated by wet and dry, and an electromagnetic wave shielding filter using the same. It is to provide a frequency-selective electromagnetic wave shielding film.

本発明の上記課題は、以下の構成により達成される。   The above object of the present invention is achieved by the following configurations.

1.透明なプラスチック支持体上にハロゲン化銀感光層を設け、該ハロゲン化銀感光層を露光、化学現像して金属銀パターンを形成した後、物理現像、メッキまたは物理現像後のメッキにより導電性を増幅して製造する透光性導電パターン材料において、ハロゲン化銀感光層中に親水性高分子及び疎水性高分子を含有し、該疎水性高分子が水分散性のラテックスであり、該ラテックスの平均粒径が200nm以下、かつ前記親水性高分子の屈折率R1と前記疎水性高分子の屈折率R2の比R1/R2が下記式を満たすことを特徴とする透光性導電パターン材料。
1.0≦R1/R2≦1.1
1. A silver halide photosensitive layer is provided on a transparent plastic support, and the silver halide photosensitive layer is exposed and chemically developed to form a metal silver pattern, and then the conductivity is improved by physical development, plating, or plating after physical development. In the light-transmitting conductive pattern material produced by amplification, the silver halide photosensitive layer contains a hydrophilic polymer and a hydrophobic polymer, and the hydrophobic polymer is a water-dispersible latex. A translucent conductive pattern material having an average particle diameter of 200 nm or less and a ratio R1 / R2 of the refractive index R1 of the hydrophilic polymer and the refractive index R2 of the hydrophobic polymer satisfies the following formula .
1.0 ≦ R1 / R2 ≦ 1.1

2.前記ハロゲン化銀感光層の銀/バインダー質量比が4〜20であることを特徴とする前記1に記載の透光性導電パターン材料。   2. 2. The translucent conductive pattern material according to 1 above, wherein the silver halide photosensitive layer has a silver / binder mass ratio of 4 to 20.

3.ヘーズが5%以下、かつ可視光透過率が90%以上であることを特徴とする前記1または2に記載の透光性導電パターン材料。   3. 3. The translucent conductive pattern material as described in 1 or 2 above, wherein the haze is 5% or less and the visible light transmittance is 90% or more.

4.前記親水性高分子に対し、前記疎水性高分子が5〜40質量%含まれることを特徴とする前記1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料。 4). 4. The translucent conductive pattern material according to any one of 1 to 3 , wherein the hydrophobic polymer is contained in an amount of 5 to 40% by mass with respect to the hydrophilic polymer.

5.前記疎水性高分子が、Tg≦0℃の低Tg高分子とTg≧50℃の高Tg高分子を含むことを特徴とする前記1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料。 5. 5. The translucent conductive pattern according to any one of 1 to 4 , wherein the hydrophobic polymer includes a low Tg polymer having Tg ≦ 0 ° C. and a high Tg polymer having Tg ≧ 50 ° C. material.

6.前記低Tg高分子に対し、前記高Tg高分子が10〜30質量%含まれることを特徴とする前記に記載の透光性導電パターン材料。 6). 6. The translucent conductive pattern material according to 5 , wherein the high Tg polymer is contained in an amount of 10 to 30% by mass relative to the low Tg polymer.

7.前記ハロゲン化銀感光層のバインダーのみの乾燥膜厚が50〜500nmであることを特徴とする前記1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料。 7). 7. The translucent conductive pattern material according to any one of 1 to 6 , wherein a dry film thickness of only the binder of the silver halide photosensitive layer is 50 to 500 nm.

8.前記ハロゲン化銀感光層が最外層であることを特徴とする前記1〜のいずれかに記載の透光性導電パターン材料。 8). 8. The translucent conductive pattern material according to any one of 1 to 7 , wherein the silver halide photosensitive layer is an outermost layer.

9.導電性パターンが連続で接合されたパターンである、前記1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料を用いることを特徴とする電磁波遮蔽フィルター。 9. 9. An electromagnetic wave shielding filter using the translucent conductive pattern material according to any one of 1 to 8 above, wherein the conductive pattern is a continuous pattern.

10.導電性パターンが特定周波数の電磁波を反射する独立パターンである、前記1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料を用いることを特徴とする周波数選択性電磁波遮蔽フィルム。 10. A frequency-selective electromagnetic wave shielding film using the translucent conductive pattern material according to any one of 1 to 8 above, wherein the conductive pattern is an independent pattern that reflects an electromagnetic wave having a specific frequency.

本発明により、エッチングのような複雑な工程を経ることなく、細線パターンの描画性が向上し、さらにはWet and Dry処理工程を経てもひび割れの発生がなく、透過率、ヘーズ等の光学性能、パターンの導電性の両方に優れた透光性導電パターン材料、及びこれを用いた電磁波遮蔽フィルター及び周波数選択性電磁波遮蔽フィルムを提供することが可能となった。   According to the present invention, the drawing performance of a fine line pattern is improved without going through a complicated process such as etching, and further, there is no occurrence of cracks even after going through a wet and dry treatment process, optical performance such as transmittance, haze, It has become possible to provide a light-transmitting conductive pattern material excellent in both pattern conductivity, an electromagnetic wave shielding filter using the same, and a frequency-selective electromagnetic wave shielding film.

以下、本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。   Hereinafter, the best mode for carrying out the present invention will be described in detail.

〔電磁波遮蔽フィルター〕
まず、PDP(プラズマディスプレイパネル)用の電磁波遮蔽フィルターとしての態様を説明する。
[Electromagnetic wave shielding filter]
First, an aspect as an electromagnetic wave shielding filter for PDP (plasma display panel) will be described.

一般に、PDP用電磁波遮蔽フィルターは、導電性メッシュ、エッチングメッシュ、導電印刷メッシュを形成したフィルム、透明導電性フィルム等が用いられる。   In general, a conductive mesh, an etching mesh, a film on which a conductive printing mesh is formed, a transparent conductive film, or the like is used as an electromagnetic wave shielding filter for PDP.

導線性メッシュとしては、光透過性の向上、モアレ現象の防止を図る上で、例えば線径1〜100μm、開口率60〜95%のものが好ましい。線径が40μmを超えると開口率が下り、1μmより低下すると電磁波遮蔽性能が下がると同時に断線欠陥の確立が高まるため、透過率と電磁波遮蔽性能を両立させることができない。好ましい線径は10〜30μm、開口率は70〜90%である。メッシュの開口率とは、当該メッシュの投影面積における開口部分が占める面積割合をいう。   The conductive mesh is preferably, for example, one having a wire diameter of 1 to 100 μm and an aperture ratio of 60 to 95% in order to improve light transmission and prevent moire phenomenon. When the wire diameter exceeds 40 μm, the aperture ratio decreases, and when the wire diameter is lower than 1 μm, the electromagnetic wave shielding performance is lowered, and at the same time the establishment of a disconnection defect is increased. A preferable wire diameter is 10 to 30 μm, and an aperture ratio is 70 to 90%. The aperture ratio of a mesh means the area ratio which the opening part occupies in the projection area of the said mesh.

エッチングメッシュとしては、銅、アルミ、ステンレス、クロム等の金属膜をPET、PC、PMMA等の透明ベースフィルム上形成し、フォトリソグラフィーの手法で格子状やパンチングメタル状等の任意の形状にエッチング加工したものを用いることができる。また、金属箔をエポキシ系、ウレタン系等接着剤によって透明ベースフィルムに貼り合わせたものを用いてもよい。   As an etching mesh, a metal film of copper, aluminum, stainless steel, chromium, etc. is formed on a transparent base film such as PET, PC, PMMA, etc., and etched into an arbitrary shape such as a grid or punching metal using a photolithography technique. Can be used. Moreover, you may use what bonded metal foil to the transparent base film with adhesives, such as an epoxy type and a urethane type.

また、銀、銅、アルミ、ニッケル等の金属粒子またはカーボン等の非金属導電粒子を、エポキシ系、ウレタン系、EVA系、メラニン系、セルロース系、アクリル系等のバインダーに混合したものを、グラビア印刷、オフセット印刷、スクリーン印刷等により、PET、PC、PMMA等の透明ベースフィルム上に格子状等のパターンで印刷した導電印刷メッシュを用いることができる。   Also, gravure obtained by mixing non-metallic conductive particles such as silver, copper, aluminum, nickel, etc., or non-metallic conductive particles such as carbon, with binders such as epoxy, urethane, EVA, melanin, cellulose, acrylic, etc. A conductive printing mesh printed in a pattern such as a lattice pattern on a transparent base film such as PET, PC, or PMMA by printing, offset printing, screen printing, or the like can be used.

また、透明導電性フィルムとしては、導電性粒子を分散させた樹脂フィルム、または基材フィルムに透明導電性層を形成したものを用いることができる。   Moreover, as a transparent conductive film, what formed the transparent conductive layer in the resin film which disperse | distributed electroconductive particle, or a base film can be used.

本発明では、特に、上記開口率及び線径を維持する上で、ハロゲン化銀感光層(銀塩粒子を含む層)を設けた導電性パターン原版から、これをメッシュパターン状に露光、化学現像処理して、金属銀パターンを形成した後、物理現像、メッキまたは物理現像後のメッキにより導電性を増幅した銀メッシュを用いる。   In the present invention, in particular, in order to maintain the aperture ratio and the wire diameter, from a conductive pattern master provided with a silver halide photosensitive layer (a layer containing silver salt particles), this is exposed to a mesh pattern and chemically developed. After processing to form a metallic silver pattern, a silver mesh whose conductivity is amplified by physical development, plating or plating after physical development is used.

〔周波数選択性電磁波遮蔽フィルム〕
次に、特定周波数の電磁波のみを遮蔽するFSS(Frequency Selected Surface)について説明する。
[Frequency selective electromagnetic shielding film]
Next, FSS (Frequency Selected Surface) that shields only electromagnetic waves of a specific frequency will be described.

FSSは機材表面に特定周波数の電磁波に応じた線状アンテナパターンを形成し、特定周波数の電磁波のみ共鳴反射させることで特定周波数の電磁波のみを遮蔽できる技術である。線状アンテナ素子においては、端部を開放した形状とし、中心から伸びるその一辺の長さ(電気長)を遮蔽しようとする電波の1/4波長(一本形状では1/2波長)とすることで、遮蔽しようとする波長に共振させるようにする。また、周囲長(電気長)を遮蔽しようとする電波の波長と同じくした環状線路形状でもよい。   FSS is a technology that can shield only electromagnetic waves of a specific frequency by forming a linear antenna pattern corresponding to the electromagnetic waves of a specific frequency on the surface of the equipment and resonantly reflecting only the electromagnetic waves of the specific frequency. In the linear antenna element, the end is opened, and the length (electric length) of one side extending from the center is set to ¼ wavelength (1/2 wavelength in one shape) of the radio wave to be shielded. In this way, resonance is made with the wavelength to be shielded. Further, it may be an annular line shape similar to the wavelength of the radio wave to be shielded from the perimeter (electric length).

線状アンテナ素子相互間は、減衰量の関係を考慮して配列間隔を決定する。即ち、その素子の電磁界反射等価面積(散乱開口面積)または電磁界反射等価体積(散乱開口体積)を考慮して配列させ電波を散乱させ減衰させる。   The arrangement interval is determined between the linear antenna elements in consideration of the relationship of attenuation. That is, the electromagnetic field reflection equivalent area (scattering aperture area) or the electromagnetic field reflection equivalent volume (scattering aperture volume) of the element is arranged to scatter and attenuate radio waves.

平面電磁界に平行に置かれた半波長(λ/2)の線状アンテナ素子(ダイポール)、例えば、図1のような線状アンテナ素子1(ダイポール)のとき、線状アンテナ素子1はアンテナの導体(金属)部分が占める面積のみが入射電磁波2のエネルギーを反射するのではなく、金属部分の近傍のある範囲の電磁界を広い範囲で反射(反射電磁波3)させる。これが、電磁界反射等価断面積4(散乱開口面積;Ae≒0.13λ2(λ/2×λ/4の面積))または電磁界反射等価体積5(散乱開口体積)である。 When a half-wavelength (λ / 2) linear antenna element (dipole) placed parallel to a plane electromagnetic field, for example, a linear antenna element 1 (dipole) as shown in FIG. 1, the linear antenna element 1 is an antenna. Not only the area occupied by the conductor (metal) part reflects the energy of the incident electromagnetic wave 2 but reflects a certain range of electromagnetic fields in the vicinity of the metal part (reflected electromagnetic wave 3). This is the electromagnetic field reflection equivalent sectional area 4 (scattering aperture area; Ae≈0.13λ 2 (area of λ / 2 × λ / 4)) or the electromagnetic field reflection equivalent volume 5 (scattering aperture volume).

従って、これらを考慮して空間中あるいは非導電性材料上に、平面的あるいは立体的に線状アンテナ素子を配列させることで、電磁遮蔽が可能となる。線状アンテナ素子としては、体積抵抗率、損失の少ない素材を選定すること(望ましくは5×10-8(Ω・m)以下)が必要であり、例えば銀等の金属材料が好ましい。このアンテナ素子のパターンには間隔があり、全面を覆うことがないので、透光性・可視性を損なうことがない。従って、線状アンテナ素子の導線の太さは視界の妨げにならないように細く、かつ損失の少ないものがよい。 Accordingly, electromagnetic shielding can be performed by arranging the linear antenna elements in a plane or in a three-dimensional manner in space or on a non-conductive material in consideration of these. As the linear antenna element, it is necessary to select a material with low volume resistivity and loss (desirably 5 × 10 −8 (Ω · m) or less), and for example, a metal material such as silver is preferable. The pattern of the antenna element is spaced and does not cover the entire surface, so that translucency and visibility are not impaired. Accordingly, it is preferable that the thickness of the conducting wire of the linear antenna element is thin and has little loss so as not to disturb the field of view.

パターン化した小さな線状アンテナ素子は、その長さを特定することにより、特定の周波数を遮蔽でき、その結果、他の電波を通過させるので、無線、テレビ電波等、外部からの情報の収集が必要な電波は遮蔽せず、特定の電波のみを遮蔽できる。   Patterned small linear antenna elements can be shielded from specific frequencies by specifying their length, and as a result, other radio waves can be passed through, so it is possible to collect information from outside such as radio and TV radio waves. Necessary radio waves are not shielded, but only specific radio waves can be shielded.

また、実際の電波では偏波面が一様ではなく様々な傾きを持っているが、線状アンテナ素子を環状線路形状または方向性を持たせた端部開放形状とすることで、あらゆる偏波面の電波にも対応できるように作製することもできる。   In actual radio waves, the plane of polarization is not uniform and has various inclinations. However, by making the linear antenna element into an annular line shape or an open end with directionality, any polarization plane can be obtained. It can also be made to handle radio waves.

本発明は、高い導電性が必要なPDP用電磁波遮蔽フィルターのメッシュパターンやFSSのような線状アンテナパターンの形成を、支持体上にハロゲン化銀粒子を含む感光性層を設けた導電性パターン用原版を用いて、これに、所望の導電性パターンを露光、さらに、化学現像処理を行って金属銀パターンを形成し、さらには物理現像、メッキまたは物理現像後にメッキすることで作製するものである。   The present invention is a conductive pattern in which a mesh pattern of an electromagnetic wave shielding filter for PDP requiring high conductivity or a linear antenna pattern such as FSS is provided, and a photosensitive layer containing silver halide grains is provided on a support. This is prepared by exposing a desired conductive pattern to the original plate, performing a chemical development treatment to form a metallic silver pattern, and further performing physical development, plating, or plating after physical development. is there.

〔ハロゲン化銀感光層〕
本発明に係わる導電性パターン付フィルムを作製するのに用いられる導電性パターン用原版は感光材料であり、光センサーとしてハロゲン化銀写真乳剤が用いられ、ハロゲン化銀粒子がゼラチン等のバインダー樹脂に分散されたハロゲン化銀感光層が支持体上に塗布されている。ハロゲン化銀感光層は、銀塩のほか、バインダー、溶媒等を含有することができる。
[Silver halide photosensitive layer]
The conductive pattern master used to produce the conductive patterned film according to the present invention is a photosensitive material, a silver halide photographic emulsion is used as an optical sensor, and the silver halide grains are used as a binder resin such as gelatin. A dispersed silver halide photosensitive layer is coated on a support. The silver halide photosensitive layer can contain a binder, a solvent and the like in addition to the silver salt.

(銀塩)
銀塩としては、ハロゲン化銀等の無機銀塩及び酢酸銀等の有機銀塩が挙げられるが、光センサーとしての特性に優れるハロゲン化銀を用いることが好ましい。
(Silver salt)
Examples of the silver salt include inorganic silver salts such as silver halide and organic silver salts such as silver acetate, but it is preferable to use silver halide having excellent characteristics as an optical sensor.

本発明で好ましく用いられるハロゲン化銀についてさらに説明する。   The silver halide preferably used in the present invention will be further described.

本発明で用いられるハロゲン化銀においては、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等で用いられるハロゲン化銀乳剤技術をそのまま用いることができる。   In the silver halide used in the present invention, the silver halide emulsion technique used in silver salt photographic film, photographic paper, printing plate-making film, photomask emulsion mask and the like can be used as it is.

ハロゲン化銀に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素及びフッ素のいずれであってもよく、これらを組み合わせでもよい。例えば、AgCl、AgBr、AgIを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられ、さらにAgClを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられる。   The halogen element contained in the silver halide may be any of chlorine, bromine, iodine and fluorine, or a combination thereof. For example, silver halide mainly composed of AgCl, AgBr, and AgI is preferably used, and silver halide mainly composed of AgCl is preferably used.

ここで、「AgCl(塩化銀)を主体としたハロゲン化銀」とは、ハロゲン化銀組成中に占める塩化物イオンのモル分率が50%以上のハロゲン化銀をいう。このAgClを主体としたハロゲン化銀粒子は、塩化物イオンのほかに臭化物イオン、沃化物イオンを含有していてもよい。   Here, “silver halide mainly composed of AgCl (silver chloride)” refers to silver halide in which the molar fraction of chloride ions in the silver halide composition is 50% or more. The silver halide grains mainly composed of AgCl may contain bromide ions and iodide ions in addition to chloride ions.

ハロゲン化銀は固体粒子状であり、露光、化学現像処理後に形成されるパターン状金属銀層の画像品質の観点からは、ハロゲン化銀の平均粒子サイズは、球相当径で0.1〜1000nmであることが好ましく、0.1〜100nmであることがより好ましい。なお、ハロゲン化銀粒子の球相当径とは、粒子形状が球形の同じ体積を有する粒子の直径である。   Silver halide is in the form of solid grains. From the viewpoint of image quality of the patterned metallic silver layer formed after exposure and chemical development, the average grain size of silver halide is 0.1 to 1000 nm in terms of sphere equivalent diameter. It is preferable that it is 0.1-100 nm, and it is more preferable. The sphere equivalent diameter of silver halide grains is the diameter of grains having the same volume and having a spherical shape.

ハロゲン化銀粒子の形状は特に限定されず、例えば、球状、立方体状、平板状(6角平板状、三角形平板状、4角形平板状等)、八面体状、14面体状等、様々な形状であることができる。   The shape of the silver halide grains is not particularly limited. For example, various shapes such as a spherical shape, a cubic shape, a flat plate shape (hexagonal flat plate shape, triangular flat plate shape, tetragonal flat plate shape, etc.), octahedral shape, tetrahedral shape, etc. Can be.

本発明で用いられるハロゲン化銀は、さらに他の元素を含有していてもよい。例えば、写真乳剤において、硬調な乳剤を得るために用いられる金属イオンをドープすることも有用である。特にロジウムイオンやイリジウムイオン等の遷移金属イオンは、金属銀像の生成の際に露光部と未露光部の差が明確に生じやすくなるため好ましく用いられる。ロジウムイオン、イリジウムイオンに代表される遷移金属イオンは、各種の配位子を有する化合物であることもできる。そのような配位子としては、例えば、シアン化物イオンやハロゲンイオン、チオシアナートイオン、ニトロシルイオン、水、水酸化物イオン等を挙げることができる。具体的な化合物の例としては、K3Rh2Br9及びK2IrCl6等が挙げられる。 The silver halide used in the present invention may further contain other elements. For example, in a photographic emulsion, it is also useful to dope metal ions used to obtain a high-contrast emulsion. In particular, transition metal ions such as rhodium ions and iridium ions are preferably used because a difference between an exposed portion and an unexposed portion tends to occur clearly when a metallic silver image is generated. Transition metal ions represented by rhodium ions and iridium ions can also be compounds having various ligands. Examples of such a ligand include cyanide ions, halogen ions, thiocyanate ions, nitrosyl ions, water, hydroxide ions, and the like. Specific examples of the compound include K 3 Rh 2 Br 9 and K 2 IrCl 6 .

本発明において、ハロゲン化銀に含有されるロジウム化合物及び/またはイリジウム化合物の含有率は、ハロゲン化銀の銀のモル数に対して、10-10〜10-2モル/モルAgであることが好ましく、10-9〜10-3モル/モルAgであることがさらに好ましい。 In the present invention, the content of the rhodium compound and / or iridium compound contained in the silver halide is 10 −10 to 10 −2 mol / mol Ag with respect to the number of moles of silver in the silver halide. Preferably, it is 10 −9 to 10 −3 mol / mol Ag.

その他、本発明では、Pd(II)イオン及び/またはPd金属を含有するハロゲン化銀も好ましく用いることができる。Pdはハロゲン化銀粒子内に均一に分布していてもよいが、ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有させることが好ましい。ここで、Pdが「ハロゲン化銀粒子の表層近傍に含有する」とは、ハロゲン化銀粒子の表面から深さ方向に50nm以内において、他層よりもパラジウムの含有率が高い層を有することを意味する。このようなハロゲン化銀粒子は、ハロゲン化銀粒子を形成する途中でPdを添加することにより作製することができ、銀イオンとハロゲンイオンとをそれぞれ総添加量の50%以上添加した後に、Pdを添加することが好ましい。またPd(II)イオンを後熟時に添加する等の方法でハロゲン化銀表層に存在させることも好ましい。   In addition, in the present invention, silver halides containing Pd (II) ions and / or Pd metals can also be preferably used. Pd may be uniformly distributed in the silver halide grains, but is preferably contained in the vicinity of the surface layer of the silver halide grains. Here, Pd “contains in the vicinity of the surface layer of the silver halide grains” means that the Pd content is higher than the other layers within 50 nm in the depth direction from the surface of the silver halide grains. means. Such silver halide grains can be prepared by adding Pd in the course of forming silver halide grains. After adding silver ions and halogen ions to 50% or more of the total addition amount, Pd Is preferably added. It is also preferred that Pd (II) ions be present in the surface layer of the silver halide by a method such as addition at the time of post-ripening.

このPd含有ハロゲン化銀粒子は、物理現像や無電解メッキの速度を速め、所望の電磁波遮蔽材の生産効率を上げ、生産コストの低減に寄与する。Pdは、無電解メッキ触媒としてよく知られて用いられているが、本発明では、ハロゲン化銀粒子の表層にPdを偏在させることが可能なため、極めて高価なPdを節約することが可能である。   The Pd-containing silver halide grains increase the speed of physical development and electroless plating, increase the production efficiency of a desired electromagnetic shielding material, and contribute to the reduction of production cost. Pd is well known and used as an electroless plating catalyst. However, in the present invention, Pd can be unevenly distributed on the surface layer of silver halide grains, so that extremely expensive Pd can be saved. is there.

本発明において、ハロゲン化銀に含まれるPdイオン及び/またはPd金属の含有率は、ハロゲン化銀の銀のモル数に対して10-8〜10-4モル/モルAgであることが好ましく、10-6〜10-5モル/モルAgであることがさらに好ましい。また、ゼラチンとの結合を抑制しAgXへより効率的に配位させるために、Pd(SCN)2錯体やパラジウムグリシネートとして添加することが好ましい。 In the present invention, the content of Pd ions and / or Pd metal contained in the silver halide is preferably 10 −8 to 10 −4 mol / mol Ag with respect to the number of moles of silver in the silver halide, More preferably, it is 10 −6 to 10 −5 mol / mol Ag. Further, in order to suppress the binding with gelatin and coordinate more efficiently to AgX, it is preferably added as a Pd (SCN) 2 complex or palladium glycinate.

使用するPd化合物の例としては、PdCl4やNa2PdCl4等が挙げられる。 Examples of the Pd compound used include PdCl 4 and Na 2 PdCl 4 .

本発明では、さらに光センサーとしての感度を向上させるため、写真乳剤で行われる化学増感を施すこともできる。化学増感としては、例えば、金増感等の貴金属増感、イオウ増感等のカルコゲン増感、還元増感等を利用することができる。   In the present invention, in order to further improve the sensitivity as an optical sensor, chemical sensitization performed with a photographic emulsion can be performed. As chemical sensitization, for example, noble metal sensitization such as gold sensitization, chalcogen sensitization such as sulfur sensitization, reduction sensitization or the like can be used.

(親水性高分子)
本発明において、バインダー(樹脂)は、銀塩粒子を均一に分散させ、かつ銀塩含有層と支持体との密着を補助する目的で用いることができる。本発明においては、親水性高分子及び疎水性高分子のいずれもバインダーとして用いることができるが、主バインダー(全バインダー成分の内、50体積%以上を占める樹脂とする)としては、親水性高分子(水溶性バインダー)を用いることが好ましい。
(Hydrophilic polymer)
In the present invention, the binder (resin) can be used for the purpose of uniformly dispersing the silver salt particles and assisting the adhesion between the silver salt-containing layer and the support. In the present invention, both a hydrophilic polymer and a hydrophobic polymer can be used as a binder. However, as a main binder (a resin occupying 50% by volume or more of all binder components), a hydrophilic high It is preferable to use molecules (water-soluble binder).

水溶性のバインダーとしては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。   Examples of the water-soluble binder include gelatin, polyvinyl alcohol (PVA), polyvinyl pyrrolidone (PVP), starch and other polysaccharides, cellulose and derivatives thereof, polyethylene oxide, polyvinylamine, chitosan, polylysine, polyacrylic acid, polyalginic acid. , Polyhyaluronic acid, carboxycellulose and the like. These have neutral, anionic, and cationic properties depending on the ionicity of the functional group.

ハロゲン化銀粒子として写真用ハロゲン化銀ゼラチン乳剤を用いるため、バインダー樹脂中、ゼラチンが最も好ましい。   Since a photographic silver halide gelatin emulsion is used as the silver halide grains, gelatin is most preferred in the binder resin.

ゼラチンとしては、石灰処理ゼラチンのほか、酸処理ゼラチン、また、フタル化ゼラチンあるいはフェニルカルバモイル化ゼラチン等、各種修飾ゼラチンも含むものである。   Examples of gelatin include lime-processed gelatin, acid-processed gelatin, and various modified gelatins such as phthalated gelatin and phenylcarbamoylated gelatin.

本発明に係るハロゲン化銀感光層に含有されるバインダー量は、特に限定されず、分散性と密着性を発揮し得る範囲で適宜決定することができる。ハロゲン化銀感光層中のバインダーの含有量は、銀/バインダー質量比で4〜20であることが好ましい。ハロゲン化銀感光層中にバインダーを銀/バインダー質量比で4以上含有すれば、物理現像及び/またはメッキ処理工程において金属粒子同士が互いに接触しやすく、高い導電性を得ることが可能であるため好ましい。   The amount of the binder contained in the silver halide photosensitive layer according to the present invention is not particularly limited and can be appropriately determined within a range in which dispersibility and adhesion can be exhibited. The binder content in the silver halide photosensitive layer is preferably 4 to 20 in terms of silver / binder mass ratio. If the silver halide photosensitive layer contains a binder in a silver / binder mass ratio of 4 or more, the metal particles can easily come into contact with each other in the physical development and / or plating process, and high conductivity can be obtained. preferable.

(疎水性高分子)
また、本発明の塗布液には前述した親水性高分子、水の他に、疎水性高分子を含有する。疎水性高分子としては、疎水性樹脂の水分散物(ラテックス)を含有することができる。
(Hydrophobic polymer)
The coating liquid of the present invention contains a hydrophobic polymer in addition to the hydrophilic polymer and water described above. As the hydrophobic polymer, an aqueous dispersion (latex) of a hydrophobic resin can be contained.

本発明に用いられるラテックスは、透明性を確保するため、平均粒径が200nm以下で、かつ親水性高分子の屈折率R1と分散されている疎水性高分子の屈折率の比R1/R2が下記式を満たすことが必要である。   In order to ensure transparency, the latex used in the present invention has an average particle diameter of 200 nm or less, and the ratio R1 / R2 of the refractive index of the hydrophilic polymer and the refractive index of the dispersed hydrophobic polymer is R1 / R2. It is necessary to satisfy the following formula.

1.0≦R1/R2≦1.1
本発明の透光性導電パターン材料は、ヘーズが5%以下が好ましいが、分散平均粒径が200nmより大きな平均粒径(分散平均粒径)のラテックスを用いると、親水性バインダーとの屈折率比が上記の関係内であっても、可視光波長サイズ以上の大きさの不均一が存在してしまうため、膜形成した後のヘーズを5%以下とすることが難しく、分散平均粒径が200nm以下であっても屈折率比が上記範囲外であると、可視光の散乱が発生し、やはり膜形成後のヘーズを5%以下にすることが難しくなる。
1.0 ≦ R1 / R2 ≦ 1.1
The translucent conductive pattern material of the present invention preferably has a haze of 5% or less, but when a latex having an average particle size (dispersion average particle size) larger than 200 nm is used, the refractive index with the hydrophilic binder is used. Even if the ratio is within the above relationship, non-uniformity larger than the visible light wavelength size exists, so it is difficult to reduce the haze after film formation to 5% or less, and the dispersion average particle size is Even if it is 200 nm or less, if the refractive index ratio is outside the above range, scattering of visible light occurs, and it becomes difficult to make the haze after film formation 5% or less.

上記関係を満たせば、特に樹脂を限定することなく使用できるが、ハロゲン化銀に影響を与えないこと、一般的に入手しやすく安価なことから、アクリル系樹脂、塩化ビニリデン系樹脂、酢酸ビニル系樹脂を主成分とした樹脂を用いたラテックスを用いることが好ましい。また、疎水性樹脂の添加量は、親水性樹脂に対して5〜40質量%とすることが好ましい。5質量%未満だと疎水性樹脂を添加した効果が得られず、40質量%以上添加すると膜形成後にハロゲン化銀粒子の存在が不均一になりやすくなる。   If the above relationship is satisfied, the resin can be used without any particular limitation, but it does not affect the silver halide and is generally easy to obtain and inexpensive. Therefore, acrylic resin, vinylidene chloride resin, vinyl acetate It is preferable to use a latex using a resin whose main component is a resin. Moreover, it is preferable that the addition amount of hydrophobic resin shall be 5-40 mass% with respect to hydrophilic resin. If the amount is less than 5% by mass, the effect of adding the hydrophobic resin cannot be obtained. If the amount added is 40% by mass or more, the presence of silver halide grains tends to become non-uniform after film formation.

さらに、ひび割れ防止と基材との密着性、ハロゲン化銀の圧力かぶり防止の両立のため、疎水性高分子がTg≦0℃の低Tg高分子とTg≧50℃の高Tg高分子を含む2種類以上の高分子が含まれることが好ましい。低Tg高分子のみだとひび割れや密着性には効果があるが、膜が柔軟になりすぎるため、ハロゲン化銀層に外力が加わった際に、ハロゲン化銀粒子に大きな力が加わり、感光していなくても現像銀を形成する、いわゆる圧力かぶりが多くなってしまう。低Tg高分子を添加すると、膜の硬さは増加するため、外力を膜の横方向へ分散できるようになるため、圧力かぶりは防止できるが、ひび割れはむしろ悪化してしまう。   In addition, the hydrophobic polymer contains a low Tg polymer having a Tg ≦ 0 ° C. and a high Tg polymer having a Tg ≧ 50 ° C. in order to prevent cracking, adherence to the substrate, and pressure fogging of silver halide. Two or more types of polymers are preferably included. The low Tg polymer alone has an effect on cracking and adhesion, but the film becomes too flexible, so when external force is applied to the silver halide layer, a large force is applied to the silver halide grains, making it photosensitive. Even if not, the so-called pressure fog that forms developed silver increases. When a low Tg polymer is added, the hardness of the film increases, so that external force can be dispersed in the lateral direction of the film, so that pressure fogging can be prevented, but cracks are rather worsened.

さらには2種以上の複合した疎水性樹脂の平均屈折率が前述の親水性樹脂の屈折率との関係を満たすために、低Tg高分子の質量に対して高Tg高分子の質量が10〜30質量%の範囲で含まれることが好ましい。高Tg高分子は一般的に屈折率が高いものが多く、低Tg高分子の質量に対して高Tg高分子の質量が30質量%を超えると、前記親水性高分子との屈折率の関係を満たせなくなってくるため、膜形成後のヘーズを5%以下にすることが難しくなってくる。   Furthermore, in order for the average refractive index of two or more composite hydrophobic resins to satisfy the relationship with the refractive index of the hydrophilic resin, the mass of the high Tg polymer is 10 to 10% of the mass of the low Tg polymer. It is preferably contained in the range of 30% by mass. High Tg polymers generally have a high refractive index. When the mass of the high Tg polymer exceeds 30% by mass with respect to the mass of the low Tg polymer, the relationship between the refractive index and the hydrophilic polymer. Therefore, it becomes difficult to reduce the haze after film formation to 5% or less.

(溶媒)
本発明のハロゲン化銀感光層に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒(例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、エーテル類等)、イオン性液体、及びこれらの混合溶媒を挙げることができる。写真用ハロゲン化銀ゼラチン乳剤が用いられることから、水を主体とする溶媒が好ましい。
(solvent)
The solvent used in the silver halide photosensitive layer of the present invention is not particularly limited. For example, water, organic solvents (for example, alcohols such as methanol, ketones such as acetone, amides such as formamide, Sulfoxides such as dimethyl sulfoxide, esters such as ethyl acetate, ethers, etc.), ionic liquids, and mixed solvents thereof. Since photographic silver halide gelatin emulsions are used, water-based solvents are preferred.

(ハロゲン化銀感光層の塗設)
本発明の導電性パターン用原版の作製には、ハロゲン化銀感光層に対応した塗布液を、写真法において公知である、ディップコート法、スライド塗布法、バーコート法等の通常の塗布法によって、支持体上に塗布すればよい。支持体との濡れ性、接着性を向上するために、写真法において公知である易接着層をあらかじめ設けてもよいし、さらに公知であるグロー放電、コロナ放電に代表されるプラズマ処理や火炎処理を施してもよい。
(Coating of silver halide photosensitive layer)
In the production of the conductive pattern master of the present invention, a coating solution corresponding to the silver halide photosensitive layer is prepared by an ordinary coating method such as a dip coating method, a slide coating method, or a bar coating method, which is known in photographic methods. What is necessary is just to apply | coat on a support body. In order to improve wettability and adhesion to the support, an easy-adhesion layer known in photographic methods may be provided in advance, and further known plasma treatment and flame treatment represented by glow discharge and corona discharge. May be applied.

〔透明なプラスチック支持体〕
本発明において導電性パターン付フィルム、従って導電性パター用原版(ハロゲン化銀感光材料)に用いられる透明なプラスチック支持体(以下、単に支持体ともいう)としては、プラスチックフィルム、プラスチック板等を用いることができるが、本発明の導電性パターン付フィルムに用いることができる支持体の素材は、可撓性のあるシートまたはロールに加工できるものがよい。
[Transparent plastic support]
In the present invention, a plastic film, a plastic plate, or the like is used as a transparent plastic support (hereinafter also simply referred to as a support) used for a conductive pattern-equipped film, and hence a conductive pattern original (silver halide photosensitive material). However, the material of the support that can be used in the conductive pattern film of the present invention is preferably one that can be processed into a flexible sheet or roll.

プラスチックフィルム及びプラスチック板の原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル類、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリスチレン、EVA等のポリオレフィン類、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン等のビニル系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリサルホン(PSF)、ポリエーテルサルホン(PES)、ポリカーボネート(PC)、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース(TAC)等を用いることができる。   Examples of raw materials for plastic films and plastic plates include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate, polyolefins such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), polystyrene and EVA, polyvinyl chloride, and polychlorinated chloride. Use vinyl resins such as vinylidene, polyether ether ketone (PEEK), polysulfone (PSF), polyether sulfone (PES), polycarbonate (PC), polyamide, polyimide, acrylic resin, triacetyl cellulose (TAC), etc. Can do.

透明性、耐熱性、取り扱いやすさ及び価格の点から、上記プラスチックフィルムはポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。   From the viewpoint of transparency, heat resistance, ease of handling and price, the plastic film is preferably a polyethylene terephthalate film.

ディスプレイ用としては透明性が要求されるため、支持体の透明性は高いことが望ましく、プラスチックフィルムまたはプラスチック板の全可視光透過率は好ましくは70〜100%であり、より好ましくは90〜100%である。プラスチックフィルム(例えばセルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、セルローストリアセテートフィルムまたはポリカーボネートフィルム等)が用いられる。   Since transparency is required for a display, it is desirable that the support has high transparency. The total visible light transmittance of the plastic film or plastic plate is preferably 70 to 100%, more preferably 90 to 100%. %. A plastic film (eg, cellulose acetate film, polyester film, polyethylene terephthalate film, polyethylene naphthalate film, polyamide film, polyimide film, cellulose triacetate film, or polycarbonate film) is used.

本発明の導電性パターン材料の支持体としては、厚さ70〜180μmが好ましく、さらに好ましくは80〜120μmである。   As a support body of the electroconductive pattern material of this invention, thickness of 70-180 micrometers is preferable, More preferably, it is 80-120 micrometers.

ポリエステル支持体は、巻ぐせカールを低減させるために、特開昭51−16358号公報等に記載があるように、ポリエステル支持体を製膜後に、ガラス転移温度以下の温度範囲において、0.1〜1500時間の熱処理を行って巻ぐせカールを低減させてもよい。   In order to reduce curling and curling, the polyester support is 0.1% in the temperature range below the glass transition temperature after film formation of the polyester support as described in JP-A-51-16358. Heat treatment for ˜1500 hours may be performed to reduce curling.

(露光)
本発明では、支持体上に設けられたハロゲン化銀感光層の露光を行う。露光は、電磁波を用いて行うことができる。電磁波としては、例えば、可視光線、紫外線等の光、X線等の放射線等が挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよく、特定の波長の光源を用いてもよい。
(exposure)
In the present invention, the silver halide photosensitive layer provided on the support is exposed. The exposure can be performed using electromagnetic waves. Examples of the electromagnetic wave include light such as visible light and ultraviolet light, and radiation such as X-rays. Furthermore, a light source having a wavelength distribution may be used for exposure, or a light source having a specific wavelength may be used.

上記光源としては、例えば、陰極線管(CRT)を用いた走査露光を挙げることができる。陰極線管露光装置は、レーザーを用いた装置に比べて、簡便でかつコンパクトであり、低コストになる。また、光軸や色の調整も容易である。画像露光に用いる陰極線管には、必要に応じてスペクトル領域に発光を示す各種発光体が用いられる。例えば、赤色発光体、緑色発光体、青色発光体、また近赤外発光体のいずれか1種または2種以上が混合されて用いられる。スペクトル領域は、上記の近赤外、赤色、緑色及び青色に限定されず、黄色、橙色、紫色あるいは赤外領域に発光する蛍光体も用いられる。特に、これらの発光体を混合して白色に発光する陰極線管がしばしば用いられる。また、紫外線ランプも好ましく、水銀ランプのg線、水銀ランプのi線等も利用される。   Examples of the light source include scanning exposure using a cathode ray tube (CRT). The cathode ray tube exposure apparatus is simpler and more compact and less expensive than an apparatus using a laser. Also, the adjustment of the optical axis and color is easy. As the cathode ray tube used for image exposure, various light emitters that emit light in the spectral region are used as necessary. For example, one or more of a red light emitter, a green light emitter, a blue light emitter, and a near infrared light emitter are used. The spectral region is not limited to the above-mentioned near infrared, red, green, and blue, and a phosphor that emits light in the yellow, orange, purple, or infrared region is also used. In particular, a cathode ray tube that emits white light by mixing these light emitters is often used. An ultraviolet lamp is also preferable, and g-line of a mercury lamp, i-line of a mercury lamp, etc. are also used.

また、本発明では、露光は種々のレーザービームを用いて行うことができる。例えば、ガスレーザー、発光ダイオード、半導体レーザー、半導体レーザーまたは半導体レーザーを励起光源に用いた固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発光光源(SHG)等の単色高密度光を用いた走査露光方式を好ましく用いることができ、さらにKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザー、F2レーザー等も用いることができる。システムをコンパクトで、安価なものにするために、露光は、半導体レーザー、半導体レーザーあるいは固体レーザーと非線形光学結晶を組合わせた第二高調波発生光源(SHG)を用いて行うことが好ましい。特にコンパクトで、安価、さらに寿命が長く、安定性が高い装置を設計するためには、露光は半導体レーザーを用いて行うことが好ましい。 In the present invention, exposure can be performed using various laser beams. For example, a monochromatic high-density light such as a gas laser, a light emitting diode, a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic light source (SHG) that combines a nonlinear laser and a solid state laser using a semiconductor laser as an excitation light source was used. A scanning exposure method can be preferably used, and a KrF excimer laser, an ArF excimer laser, an F 2 laser, or the like can also be used. In order to make the system compact and inexpensive, the exposure is preferably performed using a semiconductor laser, a semiconductor laser, or a second harmonic generation light source (SHG) that combines a solid-state laser and a nonlinear optical crystal. In order to design an apparatus that is particularly compact, inexpensive, long-life, and highly stable, it is preferable to perform exposure using a semiconductor laser.

レーザー光源としては、具体的には、波長430〜460nmの青色半導体レーザー(2001年3月の第48回応用物理学関係連合講演会で日亜化学発表)が好ましく用いられる。   As the laser light source, specifically, a blue semiconductor laser having a wavelength of 430 to 460 nm (Nichia Chemical presentation at the 48th Applied Physics Related Conference in March 2001) is preferably used.

ハロゲン化銀感光層をパターン状に露光する方法は、フォトマスクを利用した面露光で行ってもよいし、レーザービームによる走査露光で行ってもよい。この際、レンズを用いた屈折式露光でも反射鏡を用いた反射式露光でもよく、コンタクト露光、プロキシミティー露光、縮小投影露光、反射投影露光等の露光方式を用いることができる。   The method for exposing the silver halide photosensitive layer in a pattern may be performed by surface exposure using a photomask or by scanning exposure using a laser beam. At this time, refractive exposure using a lens or reflection exposure using a reflecting mirror may be used, and exposure methods such as contact exposure, proximity exposure, reduced projection exposure, and reflection projection exposure can be used.

(化学現像処理)
本発明では、ハロゲン化銀感光層を有する電磁波遮蔽材料用原版を露光した後、さらに化学現像処理を行う。化学現像処理は、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の化学現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、PQ現像液、MQ現像液、MAA現像液等を用いることもでき、例えば、富士フイルム社製のCN−16、CR−56、CP45X、FD−3、パピトール、KODAK社製のC−41、E−6、RA−4、D−19、D−72等の現像液、またはそのキットに含まれる現像液、また、D−85等のリス現像液を用いることができる。
(Chemical development processing)
In the present invention, the chemical developing process is further performed after exposing the original plate for an electromagnetic wave shielding material having a silver halide photosensitive layer. The chemical development processing can be performed by a general chemical development processing technique used for silver salt photographic film, photographic paper, printing plate-making film, photomask emulsion mask, and the like. The developer is not particularly limited, but a PQ developer, MQ developer, MAA developer, etc. can also be used. For example, CN-16, CR-56, CP45X, FD-3, Papitol manufactured by FUJIFILM Corporation Developers such as C-41, E-6, RA-4, D-19, and D-72 manufactured by KODAK, Inc., or developers included in kits thereof, and lith developers such as D-85 are used. be able to.

本発明では、上記の露光及び化学現像処理を行うことにより、金属銀部、好ましくはパターン状金属銀部が形成されると共に、後述する光透過性部が形成される。   In the present invention, by performing the above exposure and chemical development treatment, a metallic silver portion, preferably a patterned metallic silver portion, is formed, and a light transmissive portion described later is formed.

本発明における化学現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を含むことができる。本発明における定着処理は、銀塩写真フィルムや印画紙、印刷製版用フィルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術を用いることができる。   The chemical development process in the present invention can include a fixing process performed for the purpose of removing and stabilizing the silver salt in the unexposed part. For the fixing process in the present invention, a fixing process technique used for a silver salt photographic film, photographic paper, a printing plate-making film, a photomask emulsion mask, or the like can be used.

化学現像処理で用いられる現像液は、画質を向上させる目的で、画質向上剤を含有することができる。画質向上剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール等の含窒素へテロ環化合物を挙げることができる。また、リス現像液を利用する場合特に、ポリエチレングリコールを使用することも好ましい。   The developer used in the chemical development processing can contain an image quality improver for the purpose of improving the image quality. Examples of the image quality improver include nitrogen-containing heterocyclic compounds such as benzotriazole. In addition, it is also preferable to use polyethylene glycol, particularly when a lith developer is used.

高い導電性を得るためには、化学現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して50質量%以上の含有率であることが好ましく、80質量%以上であることがさらに好ましい。   In order to obtain high conductivity, the mass of metallic silver contained in the exposed portion after chemical development is 50% by mass or more based on the mass of silver contained in the exposed portion before exposure. It is preferably 80% by mass or more.

本発明における化学現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、4.0を超えることが好ましい。化学現像処理後の階調が4.0を超えると、光透過性部の透明性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を4.0以上にする手段としては、例えば、前述のロジウムイオン、イリジウムイオンのドープが挙げられる。   The gradation after chemical development in the present invention is not particularly limited, but is preferably more than 4.0. When the gradation after the chemical development processing exceeds 4.0, the conductivity of the conductive metal portion can be increased while keeping the transparency of the light transmissive portion high. Examples of means for setting the gradation to 4.0 or higher include the aforementioned doping of rhodium ions and iridium ions.

充分な導電性を有する金属膜からなるパターンを得るために、前記導電性パターン用原版から形成された金属銀のパターンには、さらに、これを核とした物理現像、メッキまたは物理現像後のメッキを施すことが好ましい。   In order to obtain a pattern made of a metal film having sufficient conductivity, the metal silver pattern formed from the conductive pattern master is further subjected to physical development, plating or plating after physical development using this as a core. It is preferable to apply.

物理現像あるいはメッキ処理により、最初の現像処理により得られた金属銀のパターンに充分な導電性を与え、また、透光率を高く保つことができる。   By physical development or plating treatment, sufficient conductivity can be imparted to the metallic silver pattern obtained by the first development treatment, and the light transmittance can be kept high.

(物理現像及びメッキ処理)
本発明では、前記露光及び化学現像処理により形成された金属銀からなる導電性アンテナ素子パターンに導電性をさらに付し損失を少なくする目的で、金属銀上に物理現像及び/またはメッキ処理を行ってさらに導電性金属粒子を担持させることが好ましい。
(Physical development and plating)
In the present invention, physical development and / or plating treatment is performed on the metallic silver for the purpose of further adding conductivity to the conductive antenna element pattern made of metallic silver formed by the exposure and chemical development processing to reduce loss. It is preferable to further carry conductive metal particles.

本発明における「物理現像」とは、金属や金属化合物の核上に、銀イオン等の金属イオンを還元剤で還元して金属粒子を析出させることをいう。この物理現象は、インスタントB&Wフィルム、インスタントスライドフィルムや、印刷版製造等に利用されており、本発明ではその技術を用いることができる。   “Physical development” in the present invention means that metal particles such as silver ions are reduced with a reducing agent on metal or metal compound nuclei to deposit metal particles. This physical phenomenon is used for instant B & W film, instant slide film, printing plate manufacturing, and the like, and the technology can be used in the present invention.

また、物理現像は、露光後の現像処理と同時に行っても、現像処理後に別途行ってもよい。   Further, the physical development may be performed simultaneously with the development processing after exposure or separately after the development processing.

本発明において、メッキ処理は、無電解メッキ(化学還元メッキや置換メッキ)、電解メッキ、または無電解メッキと電解メッキの両方を用いることができる。   In the present invention, the plating process can be performed using electroless plating (chemical reduction plating or displacement plating), electrolytic plating, or both electroless plating and electrolytic plating.

本発明におけるメッキは、パターンが連続的に接合されている場合には、物理現像で表面抵抗を300Ω/□以下、好ましくは150Ω/□以下まで下げた後に電解メッキを行い、所望の表面抵抗値に仕上げることが好ましい。電解メッキにおいて、電流密度、電解液のイオン濃度、処理温度、処理時間を適宜調整することにより微細パターンを選択性よくメッキすることが可能である。電解メッキは電流が流れる部分のみにメッキ金属を析出させることができるため、原理的にメッキ選択性に優れるため好ましい。   When the patterns in the present invention are continuously joined, the surface resistance is reduced to 300Ω / □ or less, preferably 150Ω / □ or less by physical development, and then electroplating is performed to obtain a desired surface resistance value. It is preferable to finish. In electrolytic plating, it is possible to plate a fine pattern with good selectivity by appropriately adjusting the current density, the ion concentration of the electrolytic solution, the processing temperature, and the processing time. Electrolytic plating is preferable because, in principle, the plating metal can be deposited only on the portion where current flows, and therefore, the plating selectivity is excellent in principle.

本発明におけるメッキは、各々のパターンが独立している場合は、物理現像でパターンの抵抗率を1000μΩm以下まで下げた後、必要に応じてPd等のメッキ触媒をパターン表面の銀と置換メッキさせ、無電解メッキにより、パターンの抵抗率を100〜1μΩmにすることができる。無電解銅メッキ液に含まれる化学種としては、硫酸銅や塩化銅、還元剤としてホルマリンやグリオキシル酸、銅の配位子としてEDTAやトリエタノールアミン等、その他、浴の安定化やメッキ皮膜の平滑性を向上させるための添加剤としてポリエチレングリコール、黄血塩、ビピリジン等が挙げられる。電解銅メッキ浴としては、硫酸銅浴やピロリン酸銅浴が挙げられる。また、メッキの選択性を向上するためにエアー若しくは窒素による泡攪拌を行うことが好ましい。   In the case of plating in the present invention, when each pattern is independent, after reducing the resistivity of the pattern to 1000 μΩm or less by physical development, a plating catalyst such as Pd is replaced with silver on the pattern surface as necessary. The resistivity of the pattern can be made 100 to 1 μΩm by electroless plating. Chemical species contained in the electroless copper plating solution include copper sulfate and copper chloride, formalin and glyoxylic acid as the reducing agent, EDTA and triethanolamine as the copper ligand, and other bath stabilization and plating film Examples of the additive for improving the smoothness include polyethylene glycol, yellow blood salt, and bipyridine. Examples of the electrolytic copper plating bath include a copper sulfate bath and a copper pyrophosphate bath. In order to improve the selectivity of plating, it is preferable to perform bubble stirring with air or nitrogen.

本発明におけるメッキ処理時のメッキ速度は、緩やかな条件で行うことができ、さらに5μm/時間以上の高速メッキも可能である。メッキ処理において、メッキ液の安定性を高める観点からは、例えば、EDTA等の配位子等種々の添加剤を用いることができる。   The plating speed at the time of plating in the present invention can be performed under moderate conditions, and high-speed plating of 5 μm / hour or more is also possible. In the plating treatment, various additives such as a ligand such as EDTA can be used from the viewpoint of improving the stability of the plating solution.

また、本発明に係るハロゲン化銀感光層には疎水性高分子が含有されているが、疎水性高分子を含有することで、同量のバインダーを親水性高分子(例えばゼラチン)のみで作製した場合と比較して、物理現像及びメッキによる導電性増幅が容易に進行することが分かった。   In addition, the silver halide photosensitive layer according to the present invention contains a hydrophobic polymer. By containing the hydrophobic polymer, the same amount of binder can be produced using only a hydrophilic polymer (for example, gelatin). It was found that the conductivity amplification by physical development and plating easily proceeds as compared with the case of the above.

理由は定かではないが、次のように推察している。微視的に見ればハロゲン化銀粒子は親水性高分子中のみに分散されている状態で有り、化学現像後に形成される金属銀も親水性高分子内のみ存在している。物理現像液及びメッキ液は水溶液であるため、親水性高分子部分だけに浸透し、銀析出反応及びメッキ金属析出反応が起こると考えられる。このような状態で導電性の増幅が進行するため、水系処理による導電性増幅処理においては、同量のバインダー量の材料を比較した場合、疎水性高分子を含有した材料が実質(前述した)銀/バインダーが高い状態になっているため、導電性増幅の進行が容易になると考えられる。   The reason is not clear, but I guess as follows. When viewed microscopically, the silver halide grains are dispersed only in the hydrophilic polymer, and the metallic silver formed after chemical development is also present only in the hydrophilic polymer. Since the physical developing solution and the plating solution are aqueous solutions, it is considered that the physical developing solution and the plating solution penetrate only into the hydrophilic polymer portion and the silver precipitation reaction and the plating metal precipitation reaction occur. In such a state, the amplification of conductivity proceeds. Therefore, in the conductivity amplification treatment by the aqueous treatment, when materials of the same amount of binder are compared, the material containing the hydrophobic polymer is substantially (described above). Since silver / binder is in a high state, it is considered that the progress of conductivity amplification is facilitated.

(酸化処理)
本発明では、化学現像処理後の金属銀部、並びに物理現像及び/またはメッキ処理後に形成される導電性金属部には、好ましくは酸化処理が行われる。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、該金属を除去し、光透過性部の透過性をほぼ100%にすることができる。
(Oxidation treatment)
In the present invention, oxidation treatment is preferably performed on the metallic silver portion after chemical development and the conductive metal portion formed after physical development and / or plating. By performing the oxidation treatment, for example, when a metal is slightly deposited on the light transmissive portion, the metal can be removed and the light transmissive portion can be made almost 100% transparent.

酸化処理としては、例えば、Fe(III)イオン処理等、種々の酸化剤を用いた公知の方法が挙げられる。酸化処理は、銀塩含有層の露光及び現像処理後、あるいは物理現像またはメッキ処理後に行うことができ、さらに現像処理後と物理現像またはメッキ処理後のそれぞれで行ってもよい。   Examples of the oxidation treatment include known methods using various oxidizing agents such as Fe (III) ion treatment. The oxidation treatment can be performed after exposure and development processing of the silver salt-containing layer, or after physical development or plating treatment, and may be performed after development processing and after physical development or plating treatment.

本発明では、さらに露光及び現像処理後の金属銀部を、Pdを含有する溶液で処理することもできる。Pdは、2価のパラジウムイオンであっても金属パラジウムであってもよい。この処理により無電解メッキまたは物理現像速度を促進させることができる。   In the present invention, the metallic silver portion after the exposure and development treatment can be further treated with a solution containing Pd. Pd may be a divalent palladium ion or metallic palladium. This treatment can accelerate electroless plating or physical development speed.

(導電性金属部)
次に、本発明において形成された導電性金属部からなるパターンについて説明する。
(Conductive metal part)
Next, the pattern which consists of an electroconductive metal part formed in this invention is demonstrated.

本発明では、導電性金属によるパターンは、該パターンに従って露光を行った後、化学現像処理を行い、化学現像処理により形成された金属銀パターンを物理現像またはメッキ処理することにより金属銀部に導電性金属粒子を担持させることにより形成される。   In the present invention, the conductive metal pattern is exposed to the pattern and then subjected to chemical development treatment, and the metal silver pattern formed by the chemical development treatment is subjected to physical development or plating treatment so that the metal silver portion is electrically conductive. It is formed by supporting the conductive metal particles.

金属銀は、本発明においては、透明性を高めるために露光部に形成させることが好ましい。   In the present invention, metallic silver is preferably formed in the exposed portion in order to increase transparency.

前記金属銀部に、物理現像及び/またはメッキ処理により担持させる導電性金属粒子としては、上述した銀のほか、銅、アルミニウム、ニッケル、鉄、金、コバルト、スズ、ステンレス、タングステン、クロム、チタン、パラジウム、白金、マンガン、亜鉛、ロジウム等の金属、またはこれらを組み合わせた合金の粒子を挙げることができる。導電性、価格等から、銅、アルミニウムまたはニッケルの粒子が好ましい。また、磁場遮蔽性を付与する場合、常磁性金属粒子を用いることが好ましい。   In addition to the silver described above, the conductive metal particles supported on the metallic silver portion by physical development and / or plating treatment are copper, aluminum, nickel, iron, gold, cobalt, tin, stainless steel, tungsten, chromium, titanium. , Palladium, platinum, manganese, zinc, rhodium and other metals, or alloys of these in combination. From the viewpoint of conductivity, cost, etc., copper, aluminum or nickel particles are preferred. Moreover, when providing magnetic field shielding, it is preferable to use a paramagnetic metal particle.

上記導電性金属部において、コントラストを高め、かつ経時的に酸化され退色するのを防止する観点から、導電性金属部に含まれる導電性金属粒子は銅粒子であることが好ましく、その表面が黒化処理されたものであることがさらに好ましい。黒化処理は、プリント配線板分野で行われている方法を用いて行うことができる。例えば、亜塩素酸ナトリウム(31g/L)、水酸化ナトリウム(15g/L)、リン酸三ナトリウム(12g/L)の水溶液中で、95℃で2分間処理することにより黒化処理を行うことができる。   In the conductive metal part, from the viewpoint of enhancing contrast and preventing oxidation and fading over time, the conductive metal part contained in the conductive metal part is preferably a copper particle, and the surface thereof is black. More preferably, it has been subjected to a chemical treatment. The blackening treatment can be performed using a method performed in the printed wiring board field. For example, blackening treatment is performed by treating at 95 ° C. for 2 minutes in an aqueous solution of sodium chlorite (31 g / L), sodium hydroxide (15 g / L), and trisodium phosphate (12 g / L). Can do.

上記導電性金属部は、該導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して、銀を50質量%以上含有することが好ましく、60質量%以上含有することがさらに好ましい。銀を50質量%以上含有すれば、物理現像及び/またはメッキ処理に要する時間を短縮し、生産性を向上させ、かつ低コストとすることができる。   The conductive metal part preferably contains 50% by mass or more, and more preferably 60% by mass or more of silver with respect to the total mass of the metal contained in the conductive metal part. If silver is contained in an amount of 50% by mass or more, the time required for physical development and / or plating can be shortened, productivity can be improved, and cost can be reduced.

さらに、導電性金属部を形成する導電性金属粒子として銅及びパラジウムが用いられる場合、銀、銅及びパラジウムの合計の質量が導電性金属部に含まれる金属の全質量に対して80質量%以上であることが好ましく、90質量%以上であることがさらに好ましい。   Furthermore, when copper and palladium are used as the conductive metal particles forming the conductive metal part, the total mass of silver, copper and palladium is 80% by mass or more based on the total mass of the metal contained in the conductive metal part. It is preferable that it is 90 mass% or more.

本発明における導電性金属部は、導電性金属粒子を担持するため良好な導電性が得られる。このため、独立したパターンの場合、パターンの抵抗率が100μΩm以下が好ましく、1μΩm以下がさらに好ましい。また、PDP用電磁波遮蔽フィルムとして面内で連続的に接合されたメッシュパターンを作成した場合、表面抵抗値は、103Ω/□以下であることが好ましく、2.5Ω/□以下であることがより好ましく、1.5Ω/□以下であることがさらに好ましく、0.1Ω/□以下であることが最も好ましい。   Since the conductive metal portion in the present invention carries conductive metal particles, good conductivity can be obtained. For this reason, in the case of an independent pattern, the resistivity of the pattern is preferably 100 μΩm or less, and more preferably 1 μΩm or less. Further, when a mesh pattern continuously bonded in-plane as an electromagnetic wave shielding film for PDP is prepared, the surface resistance value is preferably 103Ω / □ or less, more preferably 2.5Ω / □ or less. Preferably, it is 1.5Ω / □ or less, and most preferably 0.1Ω / □ or less.

導電性パターンにおいて、上記導電性金属部の線幅は20μm以下、線間隔は50μm以上であることが好ましい。また、導電性金属部は、アース接続等の目的においては、線幅は20μmより広い部分を有していてもよい。また、画像を目立たせなくする観点からは、導電性金属部の線幅は18μm未満であることが好ましく、15μm未満であることがより好ましく、14μm未満であることがさらに好ましく、10μm未満であることがさらにより好ましく、7μm未満であることが最も好ましい。   In the conductive pattern, the conductive metal part preferably has a line width of 20 μm or less and a line interval of 50 μm or more. The conductive metal portion may have a portion whose line width is wider than 20 μm for the purpose of ground connection or the like. Further, from the viewpoint of making the image inconspicuous, the line width of the conductive metal part is preferably less than 18 μm, more preferably less than 15 μm, further preferably less than 14 μm, and less than 10 μm. Even more preferably, it is most preferably less than 7 μm.

本発明における導電性金属部は、可視光透過率の点から開口率は85%以上であることが好ましく、90%以上であることがさらに好ましく、95%以上であることが最も好ましい。開口率とは、例えば導電性パターンがPDP用電磁波遮蔽フィルムの場合、メッシュをなす細線のない部分が全体に占める割合であり、例えば、線幅10μm、ピッチ200μmの正方形の格子状メッシュの開口率は、90%である。   The conductive metal portion in the present invention has an aperture ratio of preferably 85% or more, more preferably 90% or more, and most preferably 95% or more from the viewpoint of visible light transmittance. When the conductive pattern is an electromagnetic wave shielding film for PDP, for example, the aperture ratio is the ratio of the portion without fine wires forming the mesh to the whole. For example, the aperture ratio of a square grid mesh with a line width of 10 μm and a pitch of 200 μm Is 90%.

(光透過性部)
本発明における「光透過性部」とは、透光性電磁波遮蔽材料において、導電性金属部以外の透明性を有する部分を意味する。光透過性部における可視光透過率は、前述のとおり、支持体の光吸収及び反射の寄与を除いた380〜780nmの波長領域における透過率の最小値で示される透過率が90%以上、好ましくは95%以上、さらに好ましくは97%以上であり、さらにより好ましくは98%以上であり、最も好ましくは99%以上である。
(Light transmissive part)
The “light transmissive part” in the present invention means a part having transparency other than the conductive metal part in the light transmissive electromagnetic wave shielding material. As described above, the visible light transmittance in the light transmissive portion is 90% or more, preferably the transmittance indicated by the minimum value of the transmittance in the wavelength region of 380 to 780 nm excluding the contribution of light absorption and reflection of the support. Is 95% or more, more preferably 97% or more, even more preferably 98% or more, and most preferably 99% or more.

本発明における光透過性部は、前記ハロゲン化感光層を露光及び化学現像処理することにより、露光されなかった部分に、金属銀部と共に形成される。光透過性部は、透過性を向上させる観点から、前記化学現像処理後、さらには物理処理またはメッキ処理後に酸化処理を行うことが好ましい。   The light-transmitting part in the present invention is formed together with the metallic silver part in the unexposed part by exposing and chemically developing the halogenated photosensitive layer. From the viewpoint of improving the transmittance, the light transmissive portion is preferably subjected to an oxidation treatment after the chemical development treatment, and further after a physical treatment or a plating treatment.

(透光性導電性パターン材料の層構成)
本発明の透光性導電パターン材料における支持体の厚さは、5〜200μmであることが好ましく、30〜150μmであることがさらに好ましい。5〜200μmの範囲であれば、所望の可視光の透過率が得られ、かつ取り扱いも容易である。
(Layer structure of translucent conductive pattern material)
The thickness of the support in the translucent conductive pattern material of the present invention is preferably 5 to 200 μm, and more preferably 30 to 150 μm. If it is the range of 5-200 micrometers, the transmittance | permeability of a desired visible light will be obtained and handling will also be easy.

ハロゲン化銀感光層は、化学現像後に物理現像及び/またはメッキ処理することから、透光性導電性パターン材料の最外層であることが好ましい。   Since the silver halide photosensitive layer is subjected to physical development and / or plating after chemical development, it is preferably the outermost layer of the translucent conductive pattern material.

物理現像及び/またはメッキ処理前の支持体上に設けられる金属銀部の厚さは、支持体上に塗布されるハロゲン化感光層の塗布液の塗布厚みで適宜決定することができる。金属銀部の厚さは、30μm以下であることが好ましく、20μm以下であることがより好ましく、0.01〜9μmであることがさらに好ましく、0.05〜5μmであることが最も好ましい。また、金属銀部はパターン状であることが好ましい。   The thickness of the metallic silver portion provided on the support before physical development and / or plating can be appropriately determined by the coating thickness of the coating solution for the halogenated photosensitive layer applied on the support. The thickness of the metallic silver part is preferably 30 μm or less, more preferably 20 μm or less, further preferably 0.01 to 9 μm, and most preferably 0.05 to 5 μm. Moreover, it is preferable that a metal silver part is pattern shape.

ディスプレイの電磁波遮蔽材の用途としては、導電性金属部の厚さが薄いほどディスプレイの視野角が広がり好ましい。導電性配線材料としては、薄膜化、高密度化が要求され、このような観点から、導電性金属部に担持された導電性金属からなる層の厚さは、9μm未満であることが好ましく、0.1μm以上5μm未満であることがより好ましく、0.1μm以上3μm未満であることがさらに好ましい。   As an application of the electromagnetic wave shielding material for the display, the thinner the conductive metal part, the wider the viewing angle of the display, which is preferable. As the conductive wiring material, thinning and high density are required, and from such a viewpoint, the thickness of the layer made of the conductive metal supported on the conductive metal part is preferably less than 9 μm, It is more preferably 0.1 μm or more and less than 5 μm, and further preferably 0.1 μm or more and less than 3 μm.

本発明では、上述したハロゲン化感光層の塗布厚みや物理現像及び/またはメッキ処理によりコントロールすることにより所望の厚さの金属銀部を形成し、さらに導電性金属粒子からなる層の厚みを自在にコントロールできるため、5μm未満、好ましくは3μm未満の厚みを有する導電性パターンであっても容易に形成することができる。   In the present invention, a metal silver portion having a desired thickness is formed by controlling the coating thickness of the above-mentioned halogenated photosensitive layer and physical development and / or plating, and the thickness of the layer made of conductive metal particles can be freely adjusted. Therefore, even a conductive pattern having a thickness of less than 5 μm, preferably less than 3 μm can be easily formed.

本発明の透光性導電性パターン材料は、露光部に金属銀を形成し、物理現像及びメッキにより金属銀パターン部の導電性を増幅することで導電性パターンを形成するが、導電性パターン含有層の未露光部分(導電性パターンがない部分)の厚みは50〜500nmが好ましく、100〜300nmがさらに好ましい。50nm未満であると、導電パターンの保持性が劣化し、500nmを超えると微小な膜厚ムラが光干渉によりニュートンリングを発生し虹色のムラとなって認識しやすくなってしまう。   The translucent conductive pattern material of the present invention forms a conductive pattern by amplifying the conductivity of the metal silver pattern portion by physical development and plating by forming metallic silver in the exposed portion. The thickness of the unexposed portion of the layer (the portion without the conductive pattern) is preferably 50 to 500 nm, and more preferably 100 to 300 nm. If the thickness is less than 50 nm, the holding property of the conductive pattern deteriorates. If the thickness exceeds 500 nm, a minute film thickness unevenness causes Newton's ring due to light interference, and it becomes easy to recognize as a rainbow-colored unevenness.

(導電パターン以外の機能)
本発明の透光性導電パターン材料には、必要に応じて、別途、機能層を設けていてもよい。例えば、ディスプレイ用電磁波遮蔽材料用途としては、屈折率や膜厚を調整した反射防止層や、アンチグレア層、近赤外線吸収層、紫外線吸収層、特定の波長域の可視光を吸収する色調調節機能層、防汚層、ハードコート層、衝撃吸収機能層等を設けることができる。これらの機能層は、導電性パターン含有層(ハロゲン化銀感光層)と支持体とを挟んで反対側の面に設けてもよく、さらに同一面側に設けてもよい。これらの機能層膜は目的に応じて適宜選択することができる。
(Functions other than conductive pattern)
In the translucent conductive pattern material of the present invention, a functional layer may be separately provided as necessary. For example, as an electromagnetic shielding material for displays, an antireflection layer with an adjusted refractive index and film thickness, an antiglare layer, a near infrared absorption layer, an ultraviolet absorption layer, and a color tone adjustment functional layer that absorbs visible light in a specific wavelength range. An antifouling layer, a hard coat layer, a shock absorbing functional layer, and the like can be provided. These functional layers may be provided on the opposite side of the conductive pattern-containing layer (silver halide photosensitive layer) and the support, or may be provided on the same side. These functional layer films can be appropriately selected according to the purpose.

本発明の透光性導電性パターン材料は、良好な電磁波遮蔽性及び光透過性を有するため、透光性電磁波遮蔽材料として用いることができる。また、回路配線等の各種の導電性配線材料として用いることもできる。特に本発明の透光性電磁波遮蔽膜は、PDPの前面フィルターだけでなく、CRT(陰極線管)、液晶、EL(エレクトロルミネッセンス)等のディスプレイ前面、電子レンジ、電子機器、プリント配線板等にも好適に用いることができる。   Since the translucent conductive pattern material of the present invention has good electromagnetic shielding properties and light transmissivity, it can be used as a translucent electromagnetic shielding material. Moreover, it can also be used as various conductive wiring materials such as circuit wiring. In particular, the translucent electromagnetic wave shielding film of the present invention is applied not only to the front filter of the PDP but also to the front surface of a display such as CRT (cathode ray tube), liquid crystal, EL (electroluminescence), microwave oven, electronic equipment, printed wiring board, etc. It can be used suitably.

以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例において「%」の表示を用いるが、特に断りがない限り「質量%」を表す。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, although the display of "%" is used in an Example, unless otherwise indicated, "mass%" is represented.

実施例
〔ハロゲン化銀微粒子乳剤の調製〕
反応容器内で下記溶液Aを34℃に保ち、特開昭62−160128号公報記載の混合撹拌装置を用いて高速に撹拌しながら、硝酸(濃度6%)を用いてpHを2.95に調整した。引き続き、ダブルジェット法を用いて下記溶液Bと下記溶液Cを一定の流量で8分6秒間かけて添加した。添加終了後に、炭酸ナトリウム(濃度5%)を用いてpHを5.90に調整し、続いて下記溶液Dと溶液Eを添加した。
Examples Preparation of silver halide fine grain emulsion
The following solution A was kept at 34 ° C. in a reaction vessel, and the pH was adjusted to 2.95 using nitric acid (concentration 6%) while stirring at high speed using a mixing and stirring device described in JP-A-62-2160128. It was adjusted. Subsequently, the following solution B and the following solution C were added at a constant flow rate over 8 minutes and 6 seconds using the double jet method. After completion of the addition, the pH was adjusted to 5.90 using sodium carbonate (concentration 5%), and then the following solution D and solution E were added.

(溶液A)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 18.7g
塩化ナトリウム 0.31g
下記溶液I 1.59ml
純水 1246ml
(溶液B)
硝酸銀 169.9g
硝酸(濃度6%) 5.89ml
純水にて317.1mlに仕上げる
(溶液C)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 5.66g
塩化ナトリウム 58.8g
臭化カリウム 13.3g
下記溶液I 0.85ml
下記溶液II 2.72ml
純水にて317.1mlに仕上げる
(溶液D)
2−メチル−4ヒドロキシ−1,3,3a,7−テトラアザインデン 0.56g
純水 112.1ml
(溶液E)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 3.96g
下記溶液I 0.40ml
純水 128.5ml
(溶液I)
界面活性剤:ポリイソプロピレンポリエチレンオキシジコハク酸エステルナトリウム塩の10質量%メタノール溶液
(溶液II)
六塩化ロジウム錯体の10質量%水溶液
上記操作終了後に、常法に従い40℃にてフロキュレーション法を用いて脱塩及び水洗処理を施し、下記溶液Fと防バイ剤を加えて60℃でよく分散し、40℃にてpHを5.90に調整して、最終的に臭化銀を10モル%含む平均粒子径0.09μm、変動係数10%の塩臭化銀立方体粒子乳剤を得た。この乳剤の銀/バインダー質量比は仕上がりで4.7であった。
(Solution A)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 18.7g
Sodium chloride 0.31g
Solution I 1.59ml
Pure water 1246ml
(Solution B)
169.9g of silver nitrate
Nitric acid (concentration 6%) 5.89ml
Finish to 317.1 ml with pure water (Solution C)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 5.66 g
Sodium chloride 58.8g
13.3 g of potassium bromide
Solution I 0.85ml below
Solution II below 2.72 ml
Finish to 317.1 ml with pure water (Solution D)
2-Methyl-4hydroxy-1,3,3a, 7-tetraazaindene 0.56 g
112.1 ml of pure water
(Solution E)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 3.96 g
Solution I 0.40ml
128.5 ml of pure water
(Solution I)
Surfactant: 10% by weight methanol solution of polyisopropylene polyethylene oxydisuccinate sodium salt (Solution II)
10% by mass aqueous solution of rhodium hexachloride complex After the above operation is completed, desalting and water washing are performed using a flocculation method at 40 ° C. according to a conventional method, and the following solution F and antibacterial agent are added, and may be 60 ° C. After dispersion, the pH was adjusted to 5.90 at 40 ° C., and finally a silver chlorobromide cubic grain emulsion having an average grain diameter of 0.09 μm and a variation coefficient of 10% containing 10 mol% of silver bromide was obtained. . The silver / binder mass ratio of this emulsion was 4.7.

(溶液F)
アルカリ処理不活性ゼラチン(平均分子量10万) 16.5g
純水 139.8ml
(下引き済みPETフィルム支持体)
100μmの二軸延伸PET支持体の両面に12W・min/m2のコロナ放電処理を施し、それぞれの面に下記下引き塗布液B1を乾燥膜厚0.1μmになるように塗布し、さらに、その上に12W・min/m2のコロナ放電処理を施し、下記下引き塗布液B2を乾燥膜厚0.06μmになるように塗布した。その後、120℃で1.5分の熱処理を実施し、下引き済みPETフィルム支持体を得た。
(Solution F)
Alkali-treated inert gelatin (average molecular weight 100,000) 16.5g
Pure water 139.8ml
(Underdrawn PET film support)
The both sides of a 100 μm biaxially stretched PET support were subjected to a corona discharge treatment of 12 W · min / m 2 , and the following undercoat coating solution B1 was applied to each surface so as to have a dry film thickness of 0.1 μm. Then, a corona discharge treatment of 12 W · min / m 2 was performed, and the following undercoat coating solution B2 was applied to a dry film thickness of 0.06 μm. Thereafter, heat treatment was performed at 120 ° C. for 1.5 minutes to obtain an underdrawn PET film support.

〈下引き塗布液B1〉
スチレン20質量部、グリシジルメタクリレート40質量部、ブチルアクリレート40質量部の共重合体ラテックス液(固形分質量30%) 50g
SnO2ゾル 440g
化合物(UL−1) 0.2g
水で仕上げる 1000ml
〈下引き塗布液B2〉
ゼラチン 10g
化合物(UL−1) 0.2g
化合物(UL−2) 0.2g
シリカ粒子(平均粒径3μm) 0.1g
硬膜剤(UL−3) 1g
水で仕上げる 1000ml
SnO2ゾル
(SnO2ゾルの合成例)
SnCl4・5H2O 65gを蒸留水2000mlに溶解して均一溶液とし、次いでこれを煮沸し沈澱物を得た。生成した沈澱物をデカンテーションにより取り出し、蒸留水にて何度も水洗した。沈澱を水洗した蒸留水中に硝酸銀を滴下し、塩素イオンの反応がないことを確認後、洗浄した沈澱物に蒸留水を添加し全量を2000mlとした。これに30%アンモニア水40mlを加え加温することにより、均一なゾルを得た。さらに、アンモニア水を添加しながらSnO2の固型分濃度が8.3%になるまで加熱濃縮し、SnO2ゾルを得た。
<Undercoat coating liquid B1>
Copolymer latex liquid of 20 parts by mass of styrene, 40 parts by mass of glycidyl methacrylate and 40 parts by mass of butyl acrylate (solid content: 30%) 50 g
SnO 2 sol 440g
Compound (UL-1) 0.2g
Finish with water 1000ml
<Undercoat coating liquid B2>
10g gelatin
Compound (UL-1) 0.2g
Compound (UL-2) 0.2g
Silica particles (average particle size 3μm) 0.1g
Hardener (UL-3) 1g
Finish with water 1000ml
SnO 2 sol (Synthesis example of SnO 2 sol)
65 g of SnCl 4 .5H 2 O was dissolved in 2000 ml of distilled water to obtain a homogeneous solution, which was then boiled to obtain a precipitate. The formed precipitate was taken out by decantation and washed with distilled water many times. Silver nitrate was added dropwise to distilled water in which the precipitate was washed, and after confirming that there was no reaction of chlorine ions, distilled water was added to the washed precipitate to make a total volume of 2000 ml. To this, 40 ml of 30% aqueous ammonia was added and heated to obtain a uniform sol. Further, while adding ammonia water, the solution was concentrated by heating until the solid content concentration of SnO 2 became 8.3%, thereby obtaining a SnO 2 sol.

Figure 0004957364
Figure 0004957364

〔導電性パターン材料用原版の作製〕
〈導電性パターン材料用原版1の作製(比較例1)〉
調製した上記乳剤にNa2PdCl4を添加し、さらにチオ硫酸ナトリウムを用いて硫黄増感を行った後、硬膜剤(UL−3)と共に、銀の塗布量が1g/m2となるよう、前記下引き済みPETフィルム支持体上に塗布、乾燥した後、55℃で20時間キュアリング処理を施し、導電性パターン材料用原版1を作製した。バインダーのみの乾燥膜厚は152nmであった。
[Preparation of conductive pattern material master]
<Preparation of conductive pattern material master 1 (Comparative Example 1)>
After adding Na 2 PdCl 4 to the prepared emulsion and further performing sulfur sensitization with sodium thiosulfate, together with the hardener (UL-3), the silver coating amount is 1 g / m 2. Then, after coating and drying on the undercoated PET film support, a curing process was performed at 55 ° C. for 20 hours to prepare an original plate 1 for conductive pattern material. The dry film thickness of only the binder was 152 nm.

〈導電性パターン材料用原版2の作製(実施例1)〉
上記乳剤の調製の最後に加えるゼラチン16.5gを15.2gに変更し、硬膜剤(UL−3)を添加するタイミングで下記ラテックス1を固形分で1.3g(20質量%分散液6.5g)添加した以外は導電性パターン材料用原版1と同様にして導電性パターン材料用原版2を作製した。この感光層は疎水性高分子が、親水性高分子であるゼラチンに対して20%含まれるバインダー構成となる。バインダーのみの乾燥膜厚は152nmであった。
<Preparation of conductive pattern material master 2 (Example 1)>
16.5 g of gelatin added at the end of the preparation of the emulsion was changed to 15.2 g, and 1.3 g (20% by mass of dispersion 6) of the following latex 1 was added at the timing of adding a hardener (UL-3). 0.5 g) A conductive pattern material master 2 was prepared in the same manner as the conductive pattern material master 1 except that it was added. This photosensitive layer has a binder composition in which a hydrophobic polymer is contained in an amount of 20% with respect to gelatin which is a hydrophilic polymer. The dry film thickness of only the binder was 152 nm.

(ラテックス1)
ブチルアクリレート/塩化ビニリデン=50/50
Tg=−29℃
屈折率=1.44
平均粒径=150nm
固形分濃度=20%
R1/R2=1.06(ゼラチンR1=1.52、ラテックス1樹脂R2=1.44)
〈導電性パターン材料用原版3の作製(実施例2)〉
加える疎水性高分子を、ラテックス1を固形分で1.1g、下記ラテックス2を固形分で0.2g(4.4質量%分散液4.54g)に変更した以外は導電性パターン材料用原版2と同様にして導電性パターン材料用原版3を作製した。
(Latex 1)
Butyl acrylate / vinylidene chloride = 50/50
Tg = −29 ° C.
Refractive index = 1.44
Average particle size = 150 nm
Solid content = 20%
R1 / R2 = 1.06 (gelatin R1 = 1.52, latex 1 resin R2 = 1.44)
<Preparation of conductive pattern material master 3 (Example 2)>
Except that the hydrophobic polymer to be added was changed to 1.1 g of latex 1 in solid content and the following latex 2 to 0.2 g in solid content (4.44% by weight dispersion liquid 4.54 g). In the same manner as in Example 2, a conductive pattern material original plate 3 was produced.

(ラテックス2)
酢酸ビニル/ピバリル酸ビニル=50/50(コロイダイルシリカ複合)
Tg=59℃
屈折率=1.46
平均粒径=200nm
固形分濃度=4.4質量%
R1/R2=1.04(ゼラチンR1=1.52、ラテックス混合樹脂R2=約1.46)
〈導電性パターン材料用原版4の作製(実施例3)〉
銀の付量を4g/m2に変更した以外は、導電性パターン材料用原版3と同様にして導電性パターン材料用原版4を作製した。バインダーのみの乾燥膜厚は610nmであった。
(Latex 2)
Vinyl acetate / vinyl pivalate = 50/50 (colloidal silica composite)
Tg = 59 ° C
Refractive index = 1.46
Average particle size = 200 nm
Solid content concentration = 4.4% by mass
R1 / R2 = 1.04 (gelatin R1 = 1.52, latex mixed resin R2 = 1.46)
<Preparation of conductive pattern material master 4 (Example 3)>
A conductive pattern material master 4 was produced in the same manner as the conductive pattern material master 3 except that the amount of silver was changed to 4 g / m 2 . The dry film thickness of only the binder was 610 nm.

〈導電性パターン材料用原版5の作製(比較例2)〉
銀の付量を4g/m2に変更した以外は、導電性パターン材料用原版1と同様にして導電性パターン材料用原版5を作製した。バインダーのみの乾燥膜厚は610nmであった。
<Preparation of conductive pattern material master 5 (Comparative Example 2)>
A conductive pattern material master 5 was produced in the same manner as the conductive pattern material master 1 except that the amount of silver was changed to 4 g / m 2 . The dry film thickness of only the binder was 610 nm.

〈導電性パターン材料用原版6の作製(比較例3)〉
上記乳剤の調製の最後に加えるゼラチン16.5gを14.1gに変更し、ゼラチン硬膜剤を添加するタイミングで前記ラテックス1を固形分で2.4g(20質量%分散液12.0g)添加した以外は導電性パターン材料用原版2と同様にして導電性パターン材料用原版6を作製した。このハロゲン化銀感光層は疎水性高分子が、親水性高分子であるゼラチンに対して44質量%含まれるバインダー構成となる。
<Preparation of conductive pattern material master 6 (Comparative Example 3)>
16.5 g of gelatin added at the end of preparation of the above emulsion was changed to 14.1 g, and 2.4 g of latex 1 (20% by weight dispersion 12.0 g) was added at the timing when gelatin hardener was added. A conductive pattern material original plate 6 was produced in the same manner as the conductive pattern material original plate 2 except that. This silver halide photosensitive layer has a binder structure in which the hydrophobic polymer is contained in an amount of 44% by mass with respect to gelatin, which is a hydrophilic polymer.

〈導電性パターン材料用原版7の作製(比較例4)〉
加える疎水性高分子を、前記ラテックス1を固形分で0.7g、ラテックス2を固形分で0.6gに変更した以外は導電性パターン材料用原版3と同様にして導電性パターン材料用原版7を作製した。
<Preparation of conductive pattern material master 7 (Comparative Example 4)>
The hydrophobic polymer to be added is the same as the conductive pattern material master 3 except that the latex 1 is changed to 0.7 g in solid content and the latex 2 is changed to 0.6 g in solid content. Was made.

〔PDP用電磁波遮蔽フィルムの作製〕
作製した導電性パターン材料用原版1〜7に、ライン幅が8μm、ライン同士の間隔が300μmの格子状のフォトマスクを介して、紫外線ランプを用いて露光を行った。このとき、測定評価用に試料の端部1cm幅は、格子状のパターンではなく、素ガラスを介した状態で光が当たるようにした。次いで下記現像液(DEV1)を用いて35℃で30秒間現像処理を行った後、下記定着液(FIX1)を用いて35℃で60秒間の定着処理を行い、それに続けて水洗処理を行った。さらに、下記物理現像液(PD1)を用いて、30℃5分間の物理現像を行い、ついで水洗処理を行った。その後、試料をA4サイズに切りそろえた後、メッキ液(EPL1)を用いて25℃で電解銅メッキ処理を行った。電解銅メッキにおける電流制御は3Aで1分間、次いで1Aで9分間、計10分間かけて実施した。このようにして金属メッシュ層を有する透明電磁波遮蔽フィルム(それぞれSF−1〜7とする)を作製した。
[Production of electromagnetic wave shielding film for PDP]
The produced conductive pattern material masters 1 to 7 were exposed using an ultraviolet lamp through a lattice-like photomask having a line width of 8 μm and a distance between lines of 300 μm. At this time, for the measurement evaluation, the 1 cm width of the end portion of the sample was irradiated with light through a raw glass instead of a lattice pattern. Next, after developing for 30 seconds at 35 ° C. using the following developer (DEV1), fixing treatment for 60 seconds was performed at 35 ° C. using the following fixing solution (FIX1), followed by washing with water. . Furthermore, physical development was performed at 30 ° C. for 5 minutes using the following physical developer (PD1), followed by washing with water. Then, after cutting a sample into A4 size, the electrolytic copper plating process was performed at 25 degreeC using the plating liquid (EPL1). The current control in the electrolytic copper plating was performed at 3A for 1 minute, then at 1A for 9 minutes, for a total of 10 minutes. In this way, transparent electromagnetic wave shielding films having metal mesh layers (referred to as SF-1 to 7 respectively) were produced.

(DEV1:現像液)
純水 500ml
メトール 2g
無水亜硫酸ナトリウム 80g
ハイドロキノン 4g
ホウ砂 4g
チオ硫酸ナトリウム 10g
臭化カリウム 0.5g
水を加えて全量を1リットルとする
(FIX1:定着液)
純水 750ml
チオ硫酸ナトリウム 250g
無水亜硫酸ナトリウム 15g
氷酢酸 15ml
カリミョウバン 15g
水を加えて全量を1リットルとする
(PD1:物理現像液)
純水 800ml
クエン酸 31g
ハイドロキノン 7.8g
リン酸水素二ナトリウム 1.1g
アンモニア水(28%) 2.2ml
硝酸銀 1.5g
水を加えて全量を1リットルとする
(EPL1:電解メッキ液)
硫酸銅(五水和物) 200g
硫酸 50g
塩化ナトリウム 0.1g
水を加えて全量を1リットルとする
〔PDP用電磁波遮蔽フィルムの評価〕
以上により作製した、PDP用電磁波遮蔽フィルムSF−1〜7を以下の方法で評価した。その結果を表1に示す。
(DEV1: Developer)
500 ml of pure water
Metol 2g
80 g of anhydrous sodium sulfite
Hydroquinone 4g
4g borax
Sodium thiosulfate 10g
Potassium bromide 0.5g
Add water to bring the total volume to 1 liter (FIX1: Fixer)
750 ml of pure water
Sodium thiosulfate 250g
Anhydrous sodium sulfite 15g
Glacial acetic acid 15ml
Potash alum 15g
Add water to bring the total volume to 1 liter (PD1: Physical developer)
800ml of pure water
Citric acid 31g
Hydroquinone 7.8g
Disodium hydrogen phosphate 1.1g
Ammonia water (28%) 2.2ml
Silver nitrate 1.5g
Add water to bring the total volume to 1 liter (EPL1: Electrolytic plating solution)
Copper sulfate (pentahydrate) 200g
50g of sulfuric acid
Sodium chloride 0.1g
Add water to make the total volume 1 liter [Evaluation of electromagnetic wave shielding film for PDP]
The PDP electromagnetic shielding films SF-1 to SF-7 produced as described above were evaluated by the following methods. The results are shown in Table 1.

(可視光透過率、ヘーズ)
日立製作所製分光光度計U−4000型を用いて、可視光領域(360〜700nm)における透過率(積分値)とヘーズ(透過光における散乱光の割合)を測定した。透過率(%)が高く、ヘーズ(%)が小さいほど、曇りがなく透明度が高いことを示す。
(Visible light transmittance, haze)
The transmittance (integrated value) and haze (ratio of scattered light in the transmitted light) in the visible light region (360 to 700 nm) were measured using a Hitachi spectrophotometer U-4000 type. The higher the transmittance (%) and the smaller the haze (%), the higher the transparency without haze.

(表面抵抗)
抵抗率計(ロレスタGP(MCP−T610型):(株)ダイヤインスツルメンツ社製)を用いて四端子測定した。なお、プローブにはEPSタイプのプローブを用いた。
(Surface resistance)
Four-terminal measurement was performed using a resistivity meter (Loresta GP (MCP-T610 type): manufactured by Dia Instruments Co., Ltd.). An EPS type probe was used as the probe.

(ひび割れ試験)
23℃55%RH環境下で24時間調湿した未露光導電性パターン材料用原版を幅10cm、長さ1mの短冊状に切り出し、巻き取り張力39.2N(3.92N/cm)でハロゲン化銀感光層面を外巻きにして内径3インチの紙コアに巻き込み、それぞれをポリシートで密封して55℃オーブンに15時間投入した。その後、23℃55%RH環境下で15時間放置した後、前述のように露光からメッキまで施してPDP用電磁波遮蔽フィルムを作製した。このようにひび割れ試験用処理を施した電磁波遮蔽フィルムについて目視のひび割れ有無の観察と前述の方法で可視光透過率、ヘーズ、表面抵抗を測定した。
(Crack test)
An unexposed conductive pattern material master conditioned at 23 ° C. and 55% RH for 24 hours is cut into a strip of 10 cm width and 1 m length, and halogenated at a winding tension of 39.2 N (3.92 N / cm). The silver photosensitive layer surface was wound outwardly and wound around a paper core having an inner diameter of 3 inches. Each was sealed with a polysheet and placed in a 55 ° C. oven for 15 hours. Then, after being left for 15 hours in an environment of 23 ° C. and 55% RH, exposure to plating was performed as described above to produce an electromagnetic wave shielding film for PDP. Thus, the visible light transmittance, haze, and surface resistance of the electromagnetic wave shielding film subjected to the crack test treatment were measured by visual observation of the presence or absence of cracks and the above-described methods.

(密着性)
密着性はJIS−K5600−5−6のクロスカット密着試験方法に準拠して実施した。セロハンテープには、日東電工(株)製のセロハンテープNo.29を用いた。カッターを用いて縦横1mm間隔で傷を11本ずつ入れて、1mm四方の正方形を100個作り(クロスカット)、そのクロスカット部にセロハンテープを密着させた後、上方約60°方向に剥離試験を行った。この試験を3回行い剥離しなかったマス目個数の平均値を求めた。この数値が大きいほど、密着性が良好で好ましいことを示す。
(Adhesion)
Adhesion was carried out according to the cross-cut adhesion test method of JIS-K5600-5-6. The cellophane tape includes cellophane tape No. manufactured by Nitto Denko Corporation. 29 was used. Use a cutter to make 11 scratches at 1mm vertical and horizontal intervals to make 100 squares of 1mm square (cross cut), and after attaching cellophane tape to the cross cut part, peel test in the direction of about 60 ° above Went. This test was repeated three times, and the average value of the number of cells that did not peel was determined. It shows that adhesiveness is so favorable that this numerical value is large.

(耐傷性)
試料を水平な机の上に固定し、スチールウールを加重0.49N/cm2で10回擦って、傷を付け、傷をつけた部分のヘーズを前述の方法で測定した。その値を傷がない場合の値で除してヘーズの上昇率(%)を計算し、下記基準で評価を行った。
(Scratch resistance)
The sample was fixed on a horizontal desk, steel wool was rubbed 10 times with a load of 0.49 N / cm 2 to make a scratch, and the haze of the damaged portion was measured by the method described above. The haze increase rate (%) was calculated by dividing the value by the value when there was no scratch, and the evaluation was performed according to the following criteria.

○:100〜110%未満
△:110〜120%未満
×:120%以上
○: 100 to less than 110% Δ: 110 to less than 120% ×: 120% or more

Figure 0004957364
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本発明の試料は、高い透過率と5%以下の低いヘーズとなり透明性に優れるばかりでなく、ひび割れの発生もなく、ひびや傷によるヘーズ上昇もない。また、同時間処理で表面抵抗がより低下しており、同じ表面抵抗に設計する時には処理時間の短縮が可能である。   The sample of the present invention has a high transmittance and a low haze of 5% or less, and is excellent in transparency, is free from cracks, and has no haze increase due to cracks or scratches. Further, the surface resistance is further lowered by the same time treatment, and the treatment time can be shortened when designing to the same surface resistance.

〔周波数選択性電磁波遮蔽フィルムSSF−1の作製(実施例4)〕
導電性パターン材料用原版3を用いて、2.5G帯(2.45GHz;波長122mm)の反射特性を持つアンテナ素子パターンとして、図1、2に示す線状アンテナ素子(単位長61mm)からなるアンテナ素子パターンを線幅8μmのガラスマスクを用いて、メッキ後線幅15μm、線状アンテナ素子間隔300μmとなるように露光し、PDP用電磁波遮蔽フィルムの作製と同様にして物理現像まで施した後に、下記EPL2無電解銅メッキ液を用い、45℃にて10分間無電解銅メッキ処理を行った後、10ppmのFe(III)イオンを含有する水溶液で酸化処理を行い、周波数選択性電磁波遮蔽フィルム(SSF−1)を作製した。
[Fabrication of Frequency Selective Electromagnetic Wave Shielding Film SSF-1 (Example 4)]
As the antenna element pattern having a reflection characteristic of 2.5 G band (2.45 GHz; wavelength 122 mm) using the conductive pattern material original plate 3, the linear antenna element (unit length 61 mm) shown in FIGS. After exposing the antenna element pattern to a line width of 15 μm after plating and a linear antenna element interval of 300 μm using a glass mask having a line width of 8 μm, and performing physical development in the same manner as the production of the electromagnetic wave shielding film for PDP. The following EPL2 electroless copper plating solution was subjected to an electroless copper plating treatment at 45 ° C. for 10 minutes, followed by an oxidation treatment with an aqueous solution containing 10 ppm of Fe (III) ions, and a frequency selective electromagnetic shielding film. (SSF-1) was produced.

(EPL2;無電解メッキ液)
硫酸銅 0.06モル/L
ホルマリン 0.22モル/L
トリエタノールアミン 0.12モル/L
ポリエチレングリコール 100ppm
黄血塩 50ppm
α,α′−ビピリジン 20ppm
pH=12.5
〔周波数選択性電磁波遮蔽フィルムSSF−2の作製(実施例5)〕
SSF−1と同様にして周波数5.15GHzに対応するように、素子の単位長のみ29.2mmとしたアンテナ素子パターンを有する周波数選択性電磁波遮蔽フィルムSSF−2を作製した。
(EPL2; electroless plating solution)
Copper sulfate 0.06mol / L
Formalin 0.22 mol / L
Triethanolamine 0.12 mol / L
Polyethylene glycol 100ppm
Yellow blood salt 50ppm
α, α'-Bipyridine 20ppm
pH = 12.5
[Fabrication of Frequency Selective Electromagnetic Wave Shielding Film SSF-2 (Example 5)]
Similarly to SSF-1, a frequency selective electromagnetic wave shielding film SSF-2 having an antenna element pattern in which only the unit length of the element was 29.2 mm so as to correspond to the frequency of 5.15 GHz was produced.

〔周波数選択性電磁波遮蔽フィルムの評価(実施例4)〕
周波数選択性電磁波遮蔽フィルムについて、PDP用電磁波遮蔽フィルムと同様の評価に加え、下記方法で電磁波の透過減衰特性を測定した。
[Evaluation of Frequency Selective Electromagnetic Wave Shielding Film (Example 4)]
About the frequency selective electromagnetic wave shielding film, in addition to the same evaluation as the electromagnetic wave shielding film for PDP, the transmission attenuation characteristic of the electromagnetic wave was measured by the following method.

(電磁波透過減衰率の評価)
図3に透過率減衰率の評価方法における装置の配置を表す模式図を示す。
(Evaluation of electromagnetic wave transmission attenuation rate)
FIG. 3 is a schematic diagram showing the arrangement of apparatuses in the transmittance attenuation rate evaluation method.

対向させて設置した一対の誘電体レンズ1,2にベクトルネットワークアナライザー(HP社製 8150B)を接続し、その間に、各選択的電磁波遮蔽フィルムについて、20cm角の大きさに裁断したフィルムサンプルを置き、設計周波数の電磁波を入射させ、入射電磁波(それぞれ2.5GHz、5.1GHz、10GHz)の強度と透過電磁波の強度からそれぞれの波長の電磁波の減衰率(dB)を測定した。   A vector network analyzer (HP 8150B) is connected to a pair of dielectric lenses 1 and 2 placed facing each other, and a film sample cut to a size of 20 cm square is placed between each selective electromagnetic wave shielding film. Then, an electromagnetic wave having a design frequency was made incident, and the attenuation rate (dB) of the electromagnetic wave of each wavelength was measured from the intensity of the incident electromagnetic wave (2.5 GHz, 5.1 GHz, and 10 GHz, respectively) and the intensity of the transmitted electromagnetic wave.

周波数選択性電磁波遮蔽フィルムの評価結果を表2に示す。   Table 2 shows the evaluation results of the frequency selective electromagnetic shielding film.

Figure 0004957364
Figure 0004957364

以上から明らかなように、本発明の透光性導電パターン材料は、透明性(高い可視光透過率と低いヘーズ)に優れ、導電性補力処理の効率が高く処理時間の短縮が可能である。さらには密着性、耐傷性に優れ、微細な導電性パターンを作製した後にも、取り扱いが容易である透光性導電パターン材料の作製が可能になった。   As is apparent from the above, the translucent conductive pattern material of the present invention is excellent in transparency (high visible light transmittance and low haze), has high efficiency of conductive intensification treatment, and can shorten the treatment time. . Furthermore, it has become possible to produce a translucent conductive pattern material that is excellent in adhesion and scratch resistance and that can be handled easily even after a fine conductive pattern is produced.

また、微細な導電パターンを必要とするPDP用電磁波遮蔽フィルム、周波数選択性電磁波遮蔽フィルムとした場合も、目的に応じた高い電磁波遮蔽能を持つフィルムの作製が可能である。   Moreover, also when it is set as the electromagnetic wave shielding film for PDP which requires a fine conductive pattern, and a frequency selective electromagnetic wave shielding film, preparation of the film with the high electromagnetic wave shielding ability according to the objective is possible.

線状アンテナ素子と電磁波の反射を示す図である。It is a figure which shows reflection of a linear antenna element and electromagnetic waves. アンテナ素子パターンを有する電磁波反射面の幾つかの例を示す図である。It is a figure which shows some examples of the electromagnetic wave reflective surface which has an antenna element pattern. 減衰率の評価装置の配置を表す模式図である。It is a schematic diagram showing arrangement | positioning of the evaluation apparatus of an attenuation factor.

符号の説明Explanation of symbols

1 線状アンテナ素子
2 入射電磁波
3 反射電磁波
4 電磁界反射等価断面積
5 電磁界反射等価体積
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Linear antenna element 2 Incident electromagnetic wave 3 Reflected electromagnetic wave 4 Electromagnetic field reflection equivalent cross-section 5 Electromagnetic field reflection equivalent volume

Claims (10)

透明なプラスチック支持体上にハロゲン化銀感光層を設け、該ハロゲン化銀感光層を露光、化学現像して金属銀パターンを形成した後、物理現像、メッキまたは物理現像後のメッキにより導電性を増幅して製造する透光性導電パターン材料において、ハロゲン化銀感光層中に親水性高分子及び疎水性高分子を含有し、該疎水性高分子が水分散性のラテックスであり、該ラテックスの平均粒径が200nm以下、かつ前記親水性高分子の屈折率R1と前記疎水性高分子の屈折率R2の比R1/R2が下記式を満たすことを特徴とする透光性導電パターン材料。
1.0≦R1/R2≦1.1
A silver halide photosensitive layer is provided on a transparent plastic support, and the silver halide photosensitive layer is exposed and chemically developed to form a metal silver pattern, and then the conductivity is improved by physical development, plating, or plating after physical development. In the light-transmitting conductive pattern material produced by amplification, the silver halide photosensitive layer contains a hydrophilic polymer and a hydrophobic polymer, and the hydrophobic polymer is a water-dispersible latex. A translucent conductive pattern material having an average particle diameter of 200 nm or less and a ratio R1 / R2 of the refractive index R1 of the hydrophilic polymer and the refractive index R2 of the hydrophobic polymer satisfies the following formula .
1.0 ≦ R1 / R2 ≦ 1.1
前記ハロゲン化銀感光層の銀/バインダー質量比が4〜20であることを特徴とする請求項1に記載の透光性導電パターン材料。   2. The translucent conductive pattern material according to claim 1, wherein the silver halide photosensitive layer has a silver / binder mass ratio of 4 to 20. ヘーズが5%以下、かつ可視光透過率が90%以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の透光性導電パターン材料。   The translucent conductive pattern material according to claim 1 or 2, wherein the haze is 5% or less and the visible light transmittance is 90% or more. 前記親水性高分子に対し、前記疎水性高分子が5〜40質量%含まれることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料。 The translucent conductive pattern material according to any one of claims 1 to 3 , wherein the hydrophobic polymer is contained in an amount of 5 to 40% by mass with respect to the hydrophilic polymer. 前記疎水性高分子が、Tg≦0℃の低Tg高分子とTg≧50℃の高Tg高分子を含むことを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料。 Wherein the hydrophobic polymer, translucent conductive according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it comprises a low Tg polymer and Tg ≧ 50 ° C. High Tg polymer of Tg ≦ 0 ° C. Pattern material. 前記低Tg高分子に対し、前記高Tg高分子が10〜30質量%含まれることを特徴とする請求項に記載の透光性導電パターン材料。 The translucent conductive pattern material according to claim 5 , wherein the high Tg polymer is contained in an amount of 10 to 30% by mass with respect to the low Tg polymer. 前記ハロゲン化銀感光層のバインダーのみの乾燥膜厚が50〜500nmであることを特徴とする請求項1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料。 The translucent conductive pattern material according to any one of claims 1 to 6 , wherein the dry film thickness of only the binder of the silver halide photosensitive layer is 50 to 500 nm. 前記ハロゲン化銀感光層が最外層であることを特徴とする請求項1〜のいずれかに記載の透光性導電パターン材料。 Translucent conductive pattern material according to any one of claims 1 to 7, wherein the silver halide light-sensitive layer, characterized in that the outermost layer. 導電性パターンが連続で接合されたパターンである、請求項1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料を用いることを特徴とする電磁波遮蔽フィルター。 An electromagnetic wave shielding filter using the translucent conductive pattern material according to any one of claims 1 to 8 , wherein the conductive pattern is a continuous pattern. 導電性パターンが特定周波数の電磁波を反射する独立パターンである、請求項1〜のいずれか1項に記載の透光性導電パターン材料を用いることを特徴とする周波数選択性電磁波遮蔽フィルム。 The frequency-selective electromagnetic wave shielding film using the translucent conductive pattern material according to any one of claims 1 to 8 , wherein the conductive pattern is an independent pattern that reflects an electromagnetic wave having a specific frequency.
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