JP4945995B2 - Geomagnetic detector - Google Patents
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Description
この発明は、地磁気の直交軸成分を検出する地磁気検出素子を有する地磁気検出装置に関し、特に地磁気検出素子の検出出力の補正情報を記憶する熱変成型の不揮発性記憶素子を有するものに関する。 The present invention relates to a geomagnetism detecting device having a geomagnetism detecting element for detecting a perpendicular axis component of geomagnetism, and more particularly to an apparatus having a thermally deformable nonvolatile memory element for storing correction information of detection output of the geomagnetism detecting element.
一般に直交2軸方向の磁気センサをチップ上に搭載して地磁気検出を行うLSI(大規模集積回路)は、地磁気センサの感度を補正する手段を有する。 In general, an LSI (Large Scale Integrated Circuit) that performs geomagnetic detection by mounting magnetic sensors in two orthogonal axes on a chip has means for correcting the sensitivity of the geomagnetic sensor.
磁気センサの検出出力の補正を演算処理で行う技術には、たとえば特許文献1に記載されるものがある。同文献に記載された技術によれば、X軸検出部の検出出力の補正は、次のようにして行う。すなわち磁気センサの検出範囲を90度ごとに4ブロックに分割し、X軸検出部の最大出力電圧値をA1とし、Y軸検出部の出力値が零の位置から90度回転した点のX軸検出部の出力電圧値をA2とする。
For example,
そして出力電圧値A2が+側である場合、−側である場合、微少である場合に分類し、+側である場合は(1)式を補正式とし、−側である場合は(2)式を補正式とし、微少である場合は補正なしとする。
[ABS(A3)+ABS(A2)]・Z … (1)
[ABS(A3)+ABS(A2)]/Z … (2)
ただしA3はX軸検出部の実測出力、Zは(3)式に示す補正パラメータである。
Z=A1/[A1−ABS(A2)] … (3)
Y軸についても同様の手法で補正を行い、X軸検出部およびY軸検出部の直交度を補正する。
Then, when the output voltage value A2 is on the + side, it is classified on the-side, or on the minus side, and when it is on the + side, the equation (1) is used as a correction equation, and when it is on the-side, (2). The formula is a correction formula, and if it is very small, no correction is made.
[ABS (A3) + ABS (A2)] · Z (1)
[ABS (A3) + ABS (A2)] / Z (2)
However, A3 is the actual measurement output of the X-axis detector, and Z is the correction parameter shown in the equation (3).
Z = A1 / [A1-ABS (A2)] (3)
The Y axis is corrected by the same method, and the orthogonality of the X axis detection unit and the Y axis detection unit is corrected.
このように演算処理で磁気センサの検出出力の補正を行う場合、たとえば出荷検査で補正データを測定し、LSIに実装した不揮発性メモリに書き込んでおく形態をとることができる。 Thus, when correcting the detection output of a magnetic sensor by arithmetic processing, it can take the form which measures correction data, for example by a shipping inspection, and writes it in the non-volatile memory mounted in LSI.
ところで昨今、この種のLSIには低電圧化の要請を受け、不揮発性メモリとして低電圧でも好適な読み出しを行える熱変成型のヒューズメモリを実装したものが存在する。
しかしながらヒューズメモリは、上記の利点を有する反面、書き込み時に用いられるヒューズ切断用のトランジスタに大容量のものが必要であり、回路規模に留意する必要がある。このため、出荷検査時で得られた補正データの値をそのままヒューズメモリに書き込む形態では、多数のヒューズメモリが必要となって回路設計上都合が悪い。 However, while the fuse memory has the above-mentioned advantages, it is necessary to pay attention to the circuit scale because the fuse cutting transistor used at the time of writing requires a large capacity. For this reason, in the form in which the value of the correction data obtained at the time of shipping inspection is directly written in the fuse memory, a large number of fuse memories are required, which is inconvenient in circuit design.
この発明は、このような事情に鑑み、地磁気の直交軸成分を検出する地磁気検出素子と、地磁気検出素子の検出出力の補正情報を記憶する熱変成型の不揮発性記憶素子を有する地磁気検出装置において、熱変成型の不揮発性記憶素子を少数化できる技術を提供することを課題とする。 In view of such circumstances, the present invention provides a geomagnetism detecting device having a geomagnetism detecting element for detecting a perpendicular axis component of geomagnetism and a thermally deformable nonvolatile memory element for storing correction information of detection output of the geomagnetism detecting element. It is an object of the present invention to provide a technique capable of reducing the number of thermally deformable nonvolatile memory elements.
上記の課題を解決するために請求項1記載の発明は、地磁気の直交軸成分を検出する地磁気検出素子と、該地磁気検出素子の検出出力の補正情報を記憶する熱変成型の不揮発性記憶素子とを備える地磁気検出装置であって、前記補正情報は、軸感度補正係数および軸間補正係数であり且ついずれかの軸の軸感度補正係数に対する比率として表された値であることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 In order to solve the above-mentioned problems, a first aspect of the present invention provides a geomagnetism detecting element for detecting a perpendicular axis component of geomagnetism, and a thermally deformable non-volatile memory element for storing correction information of detection output of the geomagnetism detecting element. The correction information is an axis sensitivity correction coefficient and an inter-axis correction coefficient, and is a value expressed as a ratio to the axis sensitivity correction coefficient of any axis. A geomagnetic detection device is provided.
請求項2記載の発明は、請求項1記載の地磁気検出装置において、前記不揮発性記憶素子は最低限、前記いずれかの軸の軸感度補正係数以外の軸感度補正係数に係る補正情報を記憶するものであることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 According to a second aspect of the present invention, in the geomagnetism detecting device according to the first aspect, the nonvolatile storage element stores at least correction information related to an axis sensitivity correction coefficient other than the axis sensitivity correction coefficient of any of the axes. Provided is a geomagnetism detecting device characterized in that it is a thing.
請求項3記載の発明は、請求項2記載の地磁気検出装置において、前記いずれかの軸の軸感度補正係数以外の軸感度補正係数に係る補正情報として、当該軸感度補正係数の軸感度補正係数に対する比率から予め設定された基準値を減算した差分値を用いることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 According to a third aspect of the present invention, in the geomagnetic detection device according to the second aspect, as the correction information related to the axial sensitivity correction coefficient other than the axial sensitivity correction coefficient of any one of the axes, the axial sensitivity correction coefficient of the axial sensitivity correction coefficient There is provided a geomagnetism detecting device using a difference value obtained by subtracting a preset reference value from a ratio to the above.
請求項4記載の発明は、請求項1ないし3記載の地磁気検出装置において、前記地磁気検出素子の検出出力の補正演算を行う補正演算回路を備え、この補正演算回路は、検出出力に軸感度補正係数を乗算して補正すると共に他の軸の検出出力に軸間補正係数を乗算して求められる補正項を合算することにより検出出力の補正値を算出するものであることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 According to a fourth aspect of the present invention, in the geomagnetic detection device according to any one of the first to third aspects, a correction arithmetic circuit for performing a correction calculation of a detection output of the geomagnetism detection element is provided, and the correction calculation circuit includes an axis sensitivity correction for the detection output. A correction value of the detection output is calculated by adding the correction term obtained by multiplying the detection output of the other axis by the correction coefficient obtained by multiplying the detection output of the other axis by the correction coefficient. Providing equipment.
請求項5記載の発明は、請求項4記載の地磁気検出装置において、前記地磁気検出素子の検出出力の補正演算を行う補正演算回路を備え、この補正演算回路は、前記差分値に前記基準値を加算して軸感度補正係数を復元したうえで補正演算を行うことを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 According to a fifth aspect of the present invention, in the geomagnetic detection device according to the fourth aspect of the invention, a correction arithmetic circuit that performs a correction calculation of the detection output of the geomagnetism detection element is provided, and the correction calculation circuit uses the reference value as the difference value. Provided is a geomagnetism detecting device characterized in that a correction operation is performed after adding and restoring an axis sensitivity correction coefficient.
請求項6記載の発明は、請求項4または5記載の地磁気検出装置において、前記補正演算回路は、前記補正情報から取得できない補正係数については予め設定された代替値を代入することにより演算を行うものであることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 According to a sixth aspect of the present invention, in the geomagnetism detecting device according to the fourth or fifth aspect, the correction calculation circuit calculates a correction coefficient that cannot be acquired from the correction information by substituting a preset alternative value. Provided is a geomagnetism detecting device characterized in that it is a thing.
請求項7記載の発明は、直交軸成分毎に地磁気を検出する地磁気検出素子と、前記検出された地磁気の値を補正するための1もしくは複数の補正データを記憶する熱変成型の不揮発性記憶素子とを備える地磁気検出装置であって、前記補正データの各々は、軸感度補正係数、或いは、軸間補正係数、或いは、軸感度補正係数から所定の基準値を減算した差分値の、いずれかの軸の軸感度補正係数に対する比率の値として表されることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a geomagnetism detecting element for detecting geomagnetism for each orthogonal axis component and a heat-transformed non-volatile memory for storing one or a plurality of correction data for correcting the detected geomagnetism value. Each of the correction data is an axis sensitivity correction coefficient, an inter-axis correction coefficient, or a difference value obtained by subtracting a predetermined reference value from the axis sensitivity correction coefficient. It is expressed as a value of the ratio of the axis of the axis to the axis sensitivity correction coefficient.
請求項8記載の発明は、請求項7記載の地磁気検出装置において、前記補正データの少なくとも1つは、前記いずれかの軸以外の軸感度補正係数の、前記いずれかの軸の軸感度補正係数に対する比率の値であることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 The invention according to claim 8 is the geomagnetic detection device according to claim 7, wherein at least one of the correction data is an axis sensitivity correction coefficient of any one of the axes other than the axis sensitivity correction coefficient other than the one of the axes. Provided is a geomagnetism detecting device characterized by having a ratio value to
請求項9記載の発明は、請求項7記載の地磁気検出装置において、前記補正データの少なくとも1つは、前記いずれかの軸以外の軸感度補正係数から所定の基準値を減算した差分値の、前記いずれかの軸の軸感度補正係数に対する比率の値であることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 The invention according to claim 9 is the geomagnetism detection device according to claim 7, wherein at least one of the correction data is a difference value obtained by subtracting a predetermined reference value from an axis sensitivity correction coefficient other than any of the axes. Provided is a geomagnetism detecting device characterized in that it is a value of a ratio of any one of the axes to an axis sensitivity correction coefficient.
請求項10記載の発明は、請求項7記載の地磁気検出装置において、前記地磁気検出素子により検出された直交軸成分毎の地磁気の値を補正する補正演算回路をさらに有し、前記補正演算回路は、所定の軸成分の地磁気の値に、前記所定の軸成分の軸感度補正係数、或いは、前記所定の軸成分の軸感度補正係数から所定の基準値を減算した差分値の、前記いずれかの軸の軸感度補正係数に対する比率に所定値を加算した加算値を乗算した乗算値と、他の軸成分の地磁気の値に、前記軸間補正係数の前記いずれかの軸成分の軸感度補正係数に対する比率の値を乗算した乗算値との和を算出することにより、補正された地磁気の値を求めることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 A tenth aspect of the present invention is the geomagnetic detection device according to the seventh aspect, further comprising a correction arithmetic circuit for correcting a value of geomagnetism for each orthogonal axis component detected by the geomagnetic detection element, wherein the correction arithmetic circuit is Any one of the axis sensitivity correction coefficient of the predetermined axis component or a difference value obtained by subtracting a predetermined reference value from the axis sensitivity correction coefficient of the predetermined axis component to the geomagnetic value of the predetermined axis component A value obtained by multiplying the ratio of the axis to the axis sensitivity correction coefficient by an addition value obtained by adding a predetermined value and the value of the geomagnetism of the other axis component to the axis sensitivity correction coefficient of any one of the axis correction coefficients. A corrected geomagnetism value is obtained by calculating a sum of a multiplication value obtained by multiplying a ratio value with respect to a geomagnetic detection device.
請求項11記載の発明は、請求項7記載の地磁気検出装置において、前記地磁気検出素子により検出された直交軸成分毎の地磁気の値を補正する補正演算回路をさらに有し、前記補正演算回路は、所定の軸成分の地磁気の値に、前記所定の軸成分の軸感度補正係数、或いは、前記所定の軸成分の軸感度補正係数から所定の基準値を減算した差分値の、前記いずれかの軸の軸感度補正係数に対する比率に所定値を加算した加算値を乗算した乗算値を算出することにより、補正された地磁気の値を求めることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 The eleventh aspect of the present invention is the geomagnetic detection device according to the seventh aspect, further comprising a correction arithmetic circuit that corrects a value of geomagnetism for each orthogonal axis component detected by the geomagnetic detection element, wherein the correction arithmetic circuit includes: Any one of the axis sensitivity correction coefficient of the predetermined axis component or a difference value obtained by subtracting a predetermined reference value from the axis sensitivity correction coefficient of the predetermined axis component to the geomagnetic value of the predetermined axis component Provided is a geomagnetism detection device characterized in that a corrected geomagnetism value is obtained by calculating a multiplication value obtained by multiplying an addition value obtained by adding a predetermined value to a ratio of an axis to an axis sensitivity correction coefficient.
請求項12記載の発明は、請求項7記載の地磁気検出装置において、前記熱変成型の不揮発性記憶素子は、ヒューズメモリであることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。 According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided the geomagnetism detecting apparatus according to the seventh aspect, wherein the thermally deformable nonvolatile memory element is a fuse memory.
請求項13記載の発明は、請求項7記載の地磁気検出装置において、前記所定の基準値は、前記いずれかの軸の軸感度補正係数であることを特徴とする地磁気検出装置を提供する。
The invention according to
以上説明したようにこの発明によれば、いずれかの軸の軸感度補正係数に対する他の補正係数の比をとったものを補正情報として熱変成型の不揮発性記憶素子に記憶するので、軸間の補正を行うことによる補正精度を維持しつつ、補正情報を小型化して熱変成型の不揮発性記憶素子の記憶容量を削減することが可能となる。 As described above, according to the present invention, since the information obtained by taking the ratio of the other correction coefficient to the axial sensitivity correction coefficient of any axis is stored as correction information in the non-volatile memory element of thermal deformation molding, The correction information can be miniaturized and the storage capacity of the thermally deformable nonvolatile memory element can be reduced while maintaining the correction accuracy by performing the above correction.
また、いずれかの軸の軸感度補正係数や軸間補正係数を補正情報から省くことが可能となり、補正情報をさらに小型化して不揮発性記憶素子の記憶容量を削減することが可能となる。 In addition, the axis sensitivity correction coefficient and the inter-axis correction coefficient of any axis can be omitted from the correction information, and the correction information can be further miniaturized to reduce the storage capacity of the nonvolatile memory element.
また、他の軸の感度補正係数から基準値を減算した差分値を補正情報とすることにより補正情報をさらに小型化して不揮発性記憶素子の記憶容量を削減することが可能となる。 Further, by using the difference value obtained by subtracting the reference value from the sensitivity correction coefficient of the other axis as the correction information, the correction information can be further miniaturized and the storage capacity of the nonvolatile memory element can be reduced.
以下、図面を用いてこの発明の実施形態を説明する。
図1は、この発明の第1の実施形態に係る地磁気検出用LSIの構成の概略を示すブロック図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a block diagram showing an outline of the configuration of a geomagnetic detection LSI according to the first embodiment of the present invention.
同図に示すように、LSI1は電源端子2、グランド端子3、チップセレクト入力端子4、データ入力端子5、データ出力端子6を有する。なお、各部への電源ラインおよびグランドラインの配線は図示を省略する。
As shown in the figure, the
インタフェース回路7は、図示しないマスターチップとの間でチップセレクト信号・入出力信号の送受信を行うものである。制御回路8は、マスターチップからの指示に基づいて所定の論理で動作し、各部を制御するものである。内部発信回路9は制御回路8その他の回路にクロックパルスを与えるものである。 The interface circuit 7 transmits / receives a chip select signal / input / output signal to / from a master chip (not shown). The control circuit 8 operates with a predetermined logic based on an instruction from the master chip and controls each unit. The internal oscillation circuit 9 gives clock pulses to the control circuit 8 and other circuits.
X軸方向の磁気センサ10およびY軸方向の磁気センサ11は、磁気抵抗素子等を用いた磁気センサである。切替回路12は、制御回路8の制御により動作し、磁気センサ10,11の検出出力の増幅器13の入力端への出力を択一的に切り替えるものである。増幅器13は磁気センサ10,11の検出出力を増幅してA/D変換回路14に与えるものである。A/D変換回路14は、検出出力をデジタル化し、制御回路8に出力するものである。
The
ヒューズメモリ15は、出荷検査時に測定された検出出力の補正データその他のデータを記憶するためのメモリであり、検出出力の補正データとして(A)D1〜D3の値あるいは(B)D3の値、(C)D1,D2およびD4の値、(D)D4の値のいずれかを記憶している。補正データD1〜D4を(4)〜(7)式に示す。
D1=a12/a11 …(4)
D2=a21/a11 …(5)
D3=a22/a11 …(6)
D4=a22/a11−1 …(7)
ただし、aij(i=1or2,j=1or2)は後述する補正係数である。
The
D1 = a12 / a11 (4)
D2 = a21 / a11 (5)
D3 = a22 / a11 (6)
D4 = a22 / a11-1 (7)
However, aij (i = 1 or 2, j = 1 or 2) is a correction coefficient described later.
図2は、ヒューズメモリの構成例を示すブロック図である。同図には、4つのメモリセルd0〜d3をデイジーチェーン(数珠つなぎ)に接続して4ビットのスキャンパスを構成する例を示す。この構成により、検出出力の補正データを4ビットの情報として記憶することができる。なお、図2において、「+」の記号が記された論理素子はNORゲートを表し、「・」の記号が記された論理素子はANDゲートを表す。 FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration example of the fuse memory. The figure shows an example in which four memory cells d0 to d3 are connected in a daisy chain to form a 4-bit scan path. With this configuration, correction data of the detection output can be stored as 4-bit information. In FIG. 2, a logic element marked with a “+” symbol represents a NOR gate, and a logic element marked with a “.” Symbol represents an AND gate.
各メモリセルd0〜d3において、21はポリシリコン抵抗等からなるヒューズ、22はN型とされたFET(電界効果トランジスタ)、23はデータフリップフロップ回路、24はFET22にゲート電圧を与える3入力のNORゲート、25は2入力のANDゲートと2入力のNORゲートとで構成され、出力データをデイジーチェーンされた後段のメモリセルに出力する3入力の論理ゲートである。
以下、メモリセルd0の構成について説明するが、他のメモリセルd1〜d3も共通の構成である。データフリップフロップ回路23のD端子(データ入力端子)には書き込み用のビットが入力され、CK端子(クロック入力端子)にはck信号(クロックパルス)が供給される。NORゲート24の一の入力端子はデータフリップフロップ回路23のO端子(正論理出力端子)と接続され、別の一の入力端子にはck信号の反転信号が供給され、さらに他の入力端には/write信号が供給される。FET22のゲートはNORゲート24の出力端子と接続され、そのドレインは接地される。ヒューズ21の一端は電源電圧VDDと接続され、他の一端はFET22のソースと接続されている。論理ゲート25を構成するANDゲートの一の入力端にはread信号が供給され、その他の入力端はFET22のソースと接続されている。論理ゲート25を構成するNORゲートの一の入力端はデータフリップフロップ回路23のON端子(負論理出力端子)と接続され、他の入力端は論理ゲート25を構成するANDゲートの出力端と接続されている。そして、論理ゲート25の出力端は、デイジーチェーンされたメモリセルd1のデータフリップフロップ回路23のD端子と接続される。
In each of the memory cells d0 to d3, 21 is a fuse made of a polysilicon resistor or the like, 22 is an N-type FET (field effect transistor), 23 is a data flip-flop circuit, and 24 is a 3-input FET that provides a gate voltage to the
Hereinafter, the configuration of the memory cell d0 will be described, but the other memory cells d1 to d3 have a common configuration. A bit for writing is input to the D terminal (data input terminal) of the data flip-
メモリセルd0にデータを書き込み時は、メモリセルd0の入力端/diから書き込み用のビットを送り込み、このビットが希望するセルに送られたタイミングで/write信号をLowレベルとしてNORゲート24に供給する。これによりNORゲート24の出力W0がHiレベルとなってFET22がオンし、ヒューズ21が通電して溶断される。図2に示す状態は、例として、メモリセルd0、d2にデータが書き込まれ、それぞれのヒューズ21が溶断されていることを示している。すなわち、メモリセルd0にはデータ“1”(Lowレベル)、メモリセルd1にはデータ“0”(Hiレベル)、メモリセルd2には“1”(Lowレベル)、メモリセルd3にはデータ“0”(Hiレベル)がそれぞれ記憶されている。
When writing data to the memory cell d0, a write bit is sent from the input terminal / di of the memory cell d0, and at the timing when this bit is sent to the desired cell, the / write signal is supplied to the NOR
各メモリセルからデータを読み出す時は、データフリップフロップ23をリセットした後、read信号をHiレベルとすることにより、ヒューズ21の切断の有無が論理ゲート25の出力に反映される。この状態でスキャンアウト動作を行って各セルの出力を最終段のメモリセルd3の論理ゲート25を介してその反転出力を出力端doから取り出す。
When data is read from each memory cell, after the data flip-
図1に戻って説明すると制御回路8は、切替回路13を制御して磁気センサ10,11の検出出力Sx,SyをA/D変換回路14に取り込み、このA/D変換回路14により検出出力Sx,Syをデジタル化したうえで制御回路8の内部のレジスタ(図示せず)に取り込む。そしてヒューズメモリ15から補正データを読み出して検出出力Sx,Syを補正したうえでインタフェース回路7に出力する。
Returning to FIG. 1, the control circuit 8 controls the switching
また検出出力Sx,Syに対する補正は、制御回路8で行う代わりに次のようにしても良い。すなわち、LSIにヒューズメモリに記憶されているデータを出力する機能をもたせ、LSIからは補正前のSx,Syを出力するようにする。マスター側では、別途受け取ったヒューズメモリのデータを元にソフトウェアの処理によりSx,Syを補正する。 Further, the correction for the detection outputs Sx and Sy may be performed as follows instead of the control circuit 8. That is, the LSI is provided with a function of outputting data stored in the fuse memory, and Sx and Sy before correction are output from the LSI. On the master side, Sx and Sy are corrected by software processing based on the separately received fuse memory data.
次に検出出力Sx,Syの補正処理について説明する。まず検出出力Sx,Syと磁気センサ10,11上の磁界Hx,Hyは(8)式に示す関係がある。
Next, correction processing of the detection outputs Sx and Sy will be described. First, the detection outputs Sx, Sy and the magnetic fields Hx, Hy on the
ただしaij(i=1or2,j=1or2)は補正係数であり、a11はX軸感度補正係数(=1/X軸感度)、a22はY軸感度補正係数(=1/Y軸感度)、a12,a21は軸間補正係数である。 However, aij (i = 1 or 2, j = 1 or 2) is a correction coefficient, a11 is an X-axis sensitivity correction coefficient (= 1 / X-axis sensitivity), a22 is a Y-axis sensitivity correction coefficient (= 1 / Y-axis sensitivity), a12 , A21 are inter-axis correction coefficients.
理想的な磁気センサではa11=a22,a12=a21=0であるが、実際の磁気センサではa11≠a22,a12≠a21≠0となるため、この補正処理が必要となる。
第1の実施形態では、次の補正演算方式A〜Dのいずれかに基づいて補正処理を行うこととする。
In an ideal magnetic sensor, a11 = a22 and a12 = a21 = 0, but in an actual magnetic sensor, a11 ≠ a22, a12 ≠ a21 ≠ 0, and this correction processing is necessary.
In the first embodiment, correction processing is performed based on one of the following correction calculation methods A to D.
[演算方式A]
地磁気センサとして特性を考慮すると、方位を測定するためには磁界の絶対値を求める必要はなく、磁界の各成分の比のみが必要となる。このため、a12/a11,a21/a11,a22/a11の3つの値が得られれば、地磁気センサとしての用途における補正演算としては十分である。
[Calculation method A]
Considering the characteristics of the geomagnetic sensor, it is not necessary to obtain the absolute value of the magnetic field in order to measure the azimuth, and only the ratio of each component of the magnetic field is required. For this reason, if three values of a12 / a11, a21 / a11, and a22 / a11 are obtained, it is sufficient for correction calculation in the use as a geomagnetic sensor.
そこで演算方式Aでは、ヒューズメモリに記憶された補正データD1〜D3の値を用いて(9)式により補正処理を行う。 Therefore, in the calculation method A, the correction process is performed by the equation (9) using the values of the correction data D1 to D3 stored in the fuse memory.
ただし、Sx′,Sy′は補正後の検出出力である。 However, Sx ′ and Sy ′ are detection outputs after correction.
(9)式によればX軸感度補正係数a11に係る補正データがa11/a11=1と原理的に1になるので、この補正データをヒューズメモリに記憶させなくても、支障なく補正演算を実行できる。 According to the equation (9), the correction data related to the X-axis sensitivity correction coefficient a11 is theoretically 1 as a11 / a11 = 1, so that the correction calculation can be performed without any trouble without storing the correction data in the fuse memory. Can be executed.
そこでこの演算方式Aでは、たとえば固定値「1」を設定しておき、X軸感度補正係数を固定値「1」で代替することにより補正演算を行う。このことによりヒューズメモリに記憶すべき補正データの個数を1つ減らし、補正データの総量を削減する。各補正データのデータ長がたとえば6ビット長の値であるとすると、補正係数a11、a12、a21、a22のデータ総量は24ビットであったのに対し、演算方式Aによれば補正データD1、D2、D3の総量は18ビットになる。 Therefore, in this calculation method A, for example, a fixed value “1” is set, and the correction calculation is performed by substituting the fixed value “1” for the X-axis sensitivity correction coefficient. This reduces the number of correction data to be stored in the fuse memory by one and reduces the total amount of correction data. If the data length of each correction data is, for example, a value of 6 bits, the total data amount of the correction coefficients a11, a12, a21, and a22 is 24 bits, whereas according to the calculation method A, the correction data D1, The total amount of D2 and D3 is 18 bits.
[演算方式B]
この演算方式では、軸間補正係数を軸感度補正係数により除算したa12/a11,a21/a11が「0」に近い値であることに着目し、たとえば固定値「0」を設定し、a12/a11,a21/a11の値を固定値で代替して得られる(10)式を用いて補正処理を行う。
[Calculation method B]
In this calculation method, focusing on the fact that a12 / a11 and a21 / a11 obtained by dividing the inter-axis correction coefficient by the axis sensitivity correction coefficient are close to “0”, for example, a fixed value “0” is set, and a12 / Correction processing is performed using equation (10) obtained by substituting the values of a11 and a21 / a11 with fixed values.
この演算方式によれば、必要な補正データの個数を1個に減らせるので、補正データの総量を補正データ1個分の6ビットに削減できる。 According to this calculation method, since the number of necessary correction data can be reduced to one, the total amount of correction data can be reduced to 6 bits corresponding to one correction data.
[演算方式C]
この演算方式では、(11)式を用いて補正処理を行う。
[Calculation method C]
In this calculation method, correction processing is performed using equation (11).
この演算方式によれば、軸感度補正係数を軸感度補正係数により除算したa22/a11が「1」に近い値であることに着目し、たとえば基準値「1」を設定し、この基準値とa22/a11の差分をとって補正データとすることにより、補正データのデータ長の短縮を図るものである。なお、D4+1=a22/a11、つまりD4=(a22−a11)/a11であり、この式の分子で減算したa11が特許請求の範囲に記載の「所定の基準値」の一例である。 According to this calculation method, focusing on the fact that a22 / a11 obtained by dividing the axis sensitivity correction coefficient by the axis sensitivity correction coefficient is a value close to “1”, for example, a reference value “1” is set, and this reference value and By taking the difference of a22 / a11 and using it as correction data, the data length of the correction data is shortened. Incidentally, D4 + 1 = a22 / a11 , i.e. a D4 = (a22-a11) / a11, a11 obtained by subtracting in the molecular of the formula is an example of the "predetermined reference value" in claims.
すなわち、補正データD1,D2はもともと小さな値である蓋然性が高く、しかもD4も基準値「1」との差分であるため小さな値である蓋然性が高いから、それぞれのデータ長を短縮することができる。ここでは各補正データのビット長を6ビットから4ビットに短縮するものとすると、ヒューズメモリに記憶すべきデータ量は補正データD1,D2,D4の合計12ビットまで削減される。 That is, the probability that the correction data D1 and D2 are originally small values is high, and the probability that the correction data D1 and D2 are small values is high because D4 is also a difference from the reference value “1”, so that each data length can be shortened. . Here, if the bit length of each correction data is shortened from 6 bits to 4 bits, the amount of data to be stored in the fuse memory is reduced to a total of 12 bits of correction data D1, D2, and D4.
[演算方式D]
この演算方式Dは、軸間補正係数を軸感度補正係数により除算したa12/a11,a21/a11が「0」に近い値であることに着目し、(12)式を用いて補正処理を行い、演算方式Bで説明した補正データの個数削減と、演算方式Cで説明した補正データのデータ長の短縮の両方を採用することにより補正データの総量を削減するものである。
[Calculation method D]
In this calculation method D, focusing on the fact that a12 / a11 and a21 / a11 obtained by dividing the inter-axis correction coefficient by the axial sensitivity correction coefficient are close to “0”, correction processing is performed using equation (12). The total amount of correction data is reduced by adopting both the reduction in the number of correction data described in the calculation method B and the reduction in the data length of the correction data described in the calculation method C.
つまり演算方式Bと同様にa12/a11,a21/a11の値を固定値(たとえば「0」)で代替すると共に、演算方式Cと同様にa22/a11の基準値(たとえば「1」)との差分を補正データとする。 That is, the value of a12 / a11, a21 / a11 is replaced with a fixed value (for example, “0”) as in the calculation method B, and the reference value of the a22 / a11 (for example, “1”) as in the calculation method C. The difference is used as correction data.
この演算方式によれば、補正データの個数が方式Bと同様に1個まで減り、しかもデータ長も方式Cと同様にたとえば4ビットと短縮できる。つまり補正データの総量を補正データD4のデータ長である4ビットまで削減できる。 According to this calculation method, the number of correction data can be reduced to one as in method B, and the data length can be reduced to, for example, 4 bits as in method C. That is, the total amount of correction data can be reduced to 4 bits, which is the data length of the correction data D4.
次に、この発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態では、直交3軸の地磁気センサを備えた地磁気検出装置への適用例を示す。この地磁気検出装置は、図1に示すLSIと同様の構成のLSIを用いて直交3軸の地磁気を検出するものである。 Next explained is the second embodiment of the invention. In the second embodiment, an application example to a geomagnetism detection device including a geomagnetic sensor with three orthogonal axes is shown. This geomagnetism detection device detects geomagnetism of three orthogonal axes using an LSI having the same configuration as the LSI shown in FIG.
この装置のヒューズメモリには、出荷検査時に測定された検出出力の補正データとして(E)D1〜D3,D5〜D9の値あるいは(F)D3,D9の値、(H)D1,D2,D4〜D8,D10の値、(G)D4,D10の値のいずれかを記憶している。 In the fuse memory of this apparatus, (E) values of D1 to D3, D5 to D9 or (F) values of D3 and D9, (H) D1, D2, and D4 are used as correction data of detection outputs measured at the time of shipping inspection. One of the values of .about.D8 and D10 and (G) values of D4 and D10 is stored.
補正データD5〜D10を(13)〜(18)式に示す。
D5=a13/a11 …(13)
D6=a23/a11 …(14)
D7=a31/a11 …(15)
D8=a32/a11 …(16)
D9=a33/a11 …(17)
D10=a33/a11−1 …(18)
ただし、aij(i=1or2,j=1or2)は後述する補正係数である。
Correction data D5 to D10 are shown in equations (13) to (18).
D5 = a13 / a11 (13)
D6 = a23 / a11 (14)
D7 = a31 / a11 (15)
D8 = a32 / a11 (16)
D9 = a33 / a11 (17)
D10 = a33 / a11-1 (18)
However, aij (i = 1 or 2, j = 1 or 2) is a correction coefficient described later.
ここで磁気検出力Sx,Sy,Szと磁気センサ上の磁界Hx,Hy,Hzは(19)式に示す関係がある。 Here, the magnetic detection forces Sx, Sy, Sz and the magnetic fields Hx, Hy, Hz on the magnetic sensor have the relationship shown in the equation (19).
ただしaij(i=1〜3,j=1〜3)は補正係数であり、a11はX軸感度補正係数(=1/X軸感度)、a22はY軸感度補正係数(=1/Y軸感度)、a33はZ軸感度補正係数(=1/Z軸感度)、a12、a13、a21、a23、a31、a32は軸間補正係数である。 However, aij (i = 1-3, j = 1-3) is a correction coefficient, a11 is an X-axis sensitivity correction coefficient (= 1 / X-axis sensitivity), and a22 is a Y-axis sensitivity correction coefficient (= 1 / Y-axis). Sensitivity), a33 is a Z-axis sensitivity correction coefficient (= 1 / Z-axis sensitivity), and a12, a13, a21, a23, a31, a32 are inter-axis correction coefficients.
第2の実施形態では、次の補正演算方式E〜Hのいずれかに基づいて補正処理を行うこととする。 In the second embodiment, correction processing is performed based on one of the following correction calculation methods E to H.
[演算方式E]
演算方式Eでは、演算方式Aと同様に、磁界の各成分の比が得られれば地磁気センサとしての用途には十分との観点から、(20)式を用いて補正処理を行う。
[Calculation method E]
In the calculation method E, as in the calculation method A, correction processing is performed using the equation (20) from the viewpoint that the ratio of each component of the magnetic field is sufficient for use as a geomagnetic sensor.
ただし、Sx′,Sy′,Sz′は補正後の検出出力である。 However, Sx ′, Sy ′ and Sz ′ are detection outputs after correction.
補正データのデータ長がたとえば6ビット長の値であるとすると、9個の補正係数a11〜a33を記憶するために54ビットの記憶容量が必要であったのに対し、演算方式Eによれば8個の補正データD1〜D3、D5〜D9を記憶するだけで十分なので必要な記憶容量を48ビットに削減できる。 If the data length of the correction data is, for example, a value of 6 bits, a storage capacity of 54 bits is required to store the nine correction coefficients a11 to a33. Since it is sufficient to store the eight correction data D1 to D3 and D5 to D9, the necessary storage capacity can be reduced to 48 bits.
[演算方式F]
この演算方式では、演算方式Bと同様に軸間補正係数を軸感度補正係数により除算したa12/a11,a13/a11,a21/a11,a23/a11,a31/a11,a32/a11が「0」に近い値であることに着目し、a12/a11,a13/a11,a21/a11,a23/a11,a31/a11,a32/a11の値を固定値(たとえば「0」)で代替し、(21)式を用いて補正処理を行う。
[Calculation method F]
In this calculation method, similarly to the calculation method B, a12 / a11, a13 / a11, a21 / a11, a23 / a11, a31 / a11, a32 / a11 obtained by dividing the inter-axis correction coefficient by the axis sensitivity correction coefficient are “0”. Focusing on the fact that the values are close to each other, the values of a12 / a11, a13 / a11, a21 / a11, a23 / a11, a31 / a11, a32 / a11 are replaced with fixed values (for example, “0”), and (21 ) Is used for correction processing.
この演算方式によれば、固定値「0」で代替した補正データはヒューズメモリに記憶せずとも良いので、その分、補正データの総量を削減できる。つまり補正データD3,D9だけ記憶すれば良いので、必要な補正データD3、D9の総量は12ビットまで削減される。 According to this calculation method, the correction data replaced with the fixed value “0” does not need to be stored in the fuse memory, and the total amount of correction data can be reduced accordingly. That is, since only the correction data D3 and D9 need to be stored, the total amount of necessary correction data D3 and D9 is reduced to 12 bits.
[演算方式G]
この演算方式によれば、軸感度補正係数を軸感度補正係数により除算したa22/a11とa33/a11が「1」に近い値であることに着目し、基準値(この例では「1」)との差分で表すことにより補正データのデータ長の短縮を図る。すなわち、この演算方式では(22)式を用いて補正処理を行う。
[Calculation method G]
According to this calculation method, focusing on the fact that a22 / a11 and a33 / a11 obtained by dividing the axis sensitivity correction coefficient by the axis sensitivity correction coefficient are close to “1”, the reference value (“1” in this example) The data length of the correction data is shortened by expressing the difference as. That is, in this calculation method, the correction process is performed using equation (22).
ヒューズメモリには、補正データD1,D2,D4〜D8,D10の値を記憶すれば良い。ここで、これら補正データの値は共に小さな値をとる蓋然性が高いから、それぞれのデータ長を4ビットに短縮できる。これにより8個の補正データD1、D2、D4〜D8、D10の総量を32ビットまで削減できる。
[演算方式H]
この演算方式では、(23)式を用いて補正処理を行う。
The fuse memory may store the values of the correction data D1, D2, D4 to D8, D10. Here, since there is a high probability that the values of these correction data both take a small value, each data length can be reduced to 4 bits. As a result, the total amount of the eight correction data D1, D2, D4 to D8, and D10 can be reduced to 32 bits.
[Calculation method H]
In this calculation method, correction processing is performed using equation (23).
この演算方式によれば、演算方式Fで説明したように使用する補正データをD4,D10の2個に減らし、さらに演算方式Gで説明したようにD4,D10を基準値(たとえば「1」)との差分値としてデータ長を4ビットに短縮する。このことにより記憶すべき補正データD4、D10の総量は8ビットまで削減される。 According to this calculation method, the correction data to be used is reduced to two of D4 and D10 as described in the calculation method F, and D4 and D10 are set to the reference value (for example, “1”) as described in the calculation method G. As a difference value, the data length is shortened to 4 bits. As a result, the total amount of correction data D4 and D10 to be stored is reduced to 8 bits.
次に、この発明の第3の実施形態について説明する。第3の実施形態では、図1の地磁気検出用LSIを携帯電話機等の携帯機器に搭載する適用例を示す。
図3は、第3の実施形態に係る携帯電話機の構成の概略を示すブロック図である。なお、図3の携帯電話機100に搭載される地磁気検出用LSI210は、図1に示す磁気センサ(第2の実施形態と同様、互いに直交する3軸の磁気センサ)の他に、磁気センサの温度補償を行うための温度センサを備える。
Next explained is the third embodiment of the invention. The third embodiment shows an application example in which the geomagnetism detection LSI of FIG. 1 is mounted on a portable device such as a cellular phone.
FIG. 3 is a block diagram showing an outline of the configuration of the mobile phone according to the third embodiment. Note that the
図3において、携帯電話機100は端末ユニット200および端末ユニット300の2つの筐体を備えた構成である。アンテナ235aは電波信号の図示しない無線基地局との間の電波信号の送受信を行うためのアンテナである。RF(Radio Frequency)部201はアンテナ235aが受信する受信信号を中間周波数の受信信号に変換して変復調部202へ出力する。また、RF部201は変復調部202から入力する送信信号を送信周波数の信号に変調し、アンテナ235aへ出力して送信する。
In FIG. 3, the
変復調部202は、RF部201から入力した受信信号の復調処理と、CDMA(Code Division Multiple Access:符号分割多元接続)部204から入力した送信信号の変調処理とを行う。CDMA部204は、送信信号の符号化処理、および受信信号の復号化処理を行う。音声処理部205は、マイクロホン206から入力される音声信号をデジタル信号に変換してCDMA部204へ出力し、また、CDMA部204からデジタルの音声信号を入力してアナログの音声信号に変換し、スピーカ301へ出力して発音させる。GPS受信部207はアンテナ235bがGPS衛星から受信した電波信号を復調し、電波信号に基づいて、自身の3次元空間上の緯度、経度、あるいは高度等で表される位置を算出する。
The
物理量センサ231は携帯端末100の傾きを検出する。また、携帯端末100は、物理量センサ231を必ずしも備えていなくても良い。地磁気検出用LSI210は、互いに直交する所定のX軸・Y軸・Z軸の各々の軸方向の磁気(磁界)を検出する磁気センサ212a〜212cと、温度を検出する温度センサ213と、図1の符号7〜9、12〜15の機能を有する磁気センサ制御部211とを備える。また、磁気センサ制御部211は、温度センサ213および物理量センサ231による検出結果に対してアナログ/デジタル変換等の処理を行う。
The
主制御部220は携帯端末100の各部を制御するCPU(Central Processing Unit)である。ROM(Read Only Memory)208は表示画像データや音声データ、主制御部220が実行するプログラムや、出荷検査時に測定された温度センサ213および物理量センサ部231の初期特性値等を格納する。RAM(Random Access Memory)209は、主制御部220で用いる演算データ等を一時的に記憶する不揮発性の記憶領域である。
The
報知手段232は、スピーカ、バイブレータ、発光ダイオードを備え、着信やメール受信等を、音、振動、および光によってユーザに報知する。時計部233は主制御部220が使用する計時機能である。主操作部234は、ユーザの指示内容を主制御部220へ出力する。電子撮像部302は、被写体の像をデジタル信号に変換して主制御部220へ出力する。
The
表示部303は主制御部から入力する表示用の信号に基づいて画像や文字等を表示する液晶ディスプレイである。タッチパネル304は、表示部303の液晶ディスプレイの表面に組み込まれ、ユーザの押下による操作内容を表す信号を主制御部220へ出力する。
A
第1および第2の実施形態に係る地磁気検出用LSIは、出荷検査で補正データを測定し、LSIに実装した不揮発性メモリに書き込んでおく形態をとるものであるが、第3の実施形態に係る地磁気検出用LSIは携帯機器に搭載されるため、地磁気検出用LSIの出荷時ではなく、携帯機器に地磁気検出用LSIを搭載し、その携帯機器の出荷検査時に補正データの書き込みを行う形態をとることも可能である。 The geomagnetism detection LSI according to the first and second embodiments takes a form in which correction data is measured by shipping inspection and written in a non-volatile memory mounted on the LSI. Since such a geomagnetism detection LSI is mounted on a portable device, a configuration in which the geomagnetism detection LSI is mounted on a portable device and correction data is written at the time of shipping inspection of the portable device, not at the time of shipment of the geomagnetism detection LSI. It is also possible to take.
また、地磁気検出用LSIの出荷時の検査において測定した補正データをLSI内部のヒューズメモリに書き込み、さらに地磁気センサLSIの携帯機器への搭載後、その携帯機器の出荷検査時に再度測定した地磁気センサLSIの補正データを携帯機器のメモリ(例えば、図3のROM208)に書き込みことも可能である。この後、地磁気を検出する際には、地磁気センサLSIの出力結果だけなく、さらに別の補正値(例えば、図3の温度センサや物理量センサの検出結果に基づいた補正値)を適応させてもよい。
In addition, the correction data measured in the inspection at the time of shipment of the geomagnetism detection LSI is written in the fuse memory inside the LSI, and after the geomagnetic sensor LSI is mounted on the portable device, the geomagnetic sensor LSI measured again at the shipment inspection of the portable device. It is also possible to write the correction data in the memory of the portable device (for example, the
以上、この発明の実施形態を詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。 The embodiment of the present invention has been described in detail above, but the specific configuration is not limited to this embodiment, and includes a design and the like within a range not departing from the gist of the present invention.
たとえば、この発明はヒューズメモリを使用する形態に限定されるものではなく、たとえばアンチヒューズメモリを使用する形態をとることもできる。 For example, the present invention is not limited to a form using a fuse memory, and may take a form using an antifuse memory, for example.
1…LSI 2…電源端子 3…グランド端子 4…チップセレクト入力端子 5…データ入力端子 6…データ出力端子 7…インタフェース回路 8…制御回路(補正演算回路) 9…内部発信回路 10…X軸方向の磁気センサ(地磁気検出素子) 11…Y軸方向の磁気センサ(地磁気検出素子) 12…切替回路 13…増幅器 14…A/D変換回路 15…ヒューズメモリ(熱変成型の不揮発性記憶素子) 21…ヒューズ 22…FET 23…データフリップフロップ 24…NORゲート 25…論理ゲート、100…携帯電話機、210…地磁気検出用LSI
DESCRIPTION OF
Claims (13)
該地磁気検出素子の検出出力を補正する補正情報を係数として記憶する熱変成型の不揮発性記憶素子とを備える地磁気検出装置であって、
前記補正情報は、
軸感度補正係数および軸間補正係数であり
且ついずれかの軸の軸感度補正係数に対する比率として表された値である
ことを特徴とする地磁気検出装置。 A geomagnetism detecting element for detecting the orthogonal axis component of the geomagnetism,
A geomagnetism detecting device comprising a thermally deformable nonvolatile memory element that stores correction information for correcting the detection output of the geomagnetism detecting element as a coefficient ,
The correction information is
A geomagnetic detection device, characterized in that it is a shaft sensitivity correction coefficient and an inter-axis correction coefficient, and is a value expressed as a ratio to the shaft sensitivity correction coefficient of any axis.
前記不揮発性記憶素子は、前記いずれかの軸の軸感度補正係数を記憶しない
ことを特徴とする地磁気検出装置。 The geomagnetic detection device according to claim 1,
The nonvolatile memory element does not store the axial sensitivity correction coefficient of said either axis
A geomagnetic detection device characterized by the above.
記憶された軸感度補正係数に係る補正情報として、
当該軸感度補正係数と前記いずれかの軸感度補正係数との比率から予め設定された基準値を減算した差分値を用いる
ことを特徴とする地磁気検出装置。 In the geomagnetism detecting device according to claim 2,
As correction information related to the stored axis sensitivity correction coefficient,
A geomagnetism detection device using a difference value obtained by subtracting a preset reference value from a ratio between the axis sensitivity correction coefficient and one of the axis sensitivity correction coefficients.
前記地磁気検出素子の検出出力の補正演算を行う補正演算回路を備え、
この補正演算回路は、
一の軸の検出出力に軸感度補正係数を乗算して求められる補正項と、
他の軸の検出出力に軸間補正係数を乗算して求められる補正項とを合算することにより
検出出力の補正値を算出するものである
ことを特徴とする地磁気検出装置。 In the geomagnetism detecting device according to claim 1 to 3,
A correction operation circuit for performing a correction operation of the detection output of the geomagnetism detection element;
This correction arithmetic circuit
A correction term obtained by multiplying the detection output of one axis by the axis sensitivity correction coefficient ;
Geomagnetism detection device which is characterized in that calculates a correction value of the detection output by summing the correction term obtained by multiplying the inter-axis correction coefficient on the detection output of the other axis.
前記地磁気検出素子の検出出力の補正演算を行う補正演算回路を備え、
この補正演算回路は、前記差分値に前記基準値を加算して軸感度補正係数を復元したうえで補正演算を行う
ことを特徴とする地磁気検出装置。 In the geomagnetism detecting device according to claim 3 ,
A correction operation circuit for performing a correction operation of the detection output of the geomagnetism detection element;
The correction calculation circuit performs a correction calculation after adding the reference value to the difference value to restore an axis sensitivity correction coefficient.
前記補正演算回路は、前記補正情報から取得できない補正係数については
予め設定された代替値を代入することにより演算を行うものである
ことを特徴とする地磁気検出装置。 In the geomagnetism detection device according to claim 4 or 5,
The correction calculation circuit performs calculation by substituting a preset substitute value for a correction coefficient that cannot be acquired from the correction information.
前記検出された地磁気の値を補正するための1もしくは複数の補正データを係数として記憶する熱変成型の不揮発性記憶素子と
を備える地磁気検出装置であって、
前記補正データの各々は、
軸感度補正係数といずれかの軸の軸感度補正係数との比率、
軸間補正係数といずれかの軸の軸感度補正係数との比率、
軸感度補正係数から所定の基準値を減算した値といずれかの軸の軸感度補正係数との比率
のいずれかの比率で表される
ことを特徴とする地磁気検出装置。 A geomagnetism detecting element for detecting geomagnetism for each orthogonal axis component;
A geomagnetism detection device comprising: a heat-variable non-volatile storage element that stores one or a plurality of correction data for correcting the detected geomagnetism value as a coefficient ;
Each of the correction data is
The ratio of the axis sensitivity correction coefficient to the axis sensitivity correction coefficient of any axis,
The ratio between the correction factor between axes and the sensitivity correction factor of any axis,
The ratio between the value obtained by subtracting the specified reference value from the axis sensitivity correction coefficient and the axis sensitivity correction coefficient for either axis
A geomagnetic detection device characterized by being represented by any of the following ratios .
前記補正データの少なくとも1つは、前記いずれかの軸以外の軸感度補正係数の、前記いずれかの軸の軸感度補正係数に対する比率の値である
ことを特徴とする地磁気検出装置。 The geomagnetism detecting device according to claim 7,
At least one of the correction data is a value of a ratio of an axis sensitivity correction coefficient other than one of the axes to an axis sensitivity correction coefficient of any of the axes.
前記補正データの少なくとも1つは、
前記いずれかの軸以外の軸感度補正係数から所定の基準値を減算した差分値と前記いずれかの軸の軸感度補正係数との比率の値である
ことを特徴とする地磁気検出装置。 The geomagnetism detecting device according to claim 7,
At least one of the correction data is
A geomagnetism detection device, characterized in that the value is a ratio between a difference value obtained by subtracting a predetermined reference value from an axis sensitivity correction coefficient other than one of the axes and an axis sensitivity correction coefficient of any of the axes.
前記地磁気検出素子により検出された直交軸成分毎の地磁気の値を補正する補正演算回路をさらに有し、
前記補正演算回路は、
一の軸成分の検出出力値と、
前記一の軸感度補正係数といずれかの軸の軸感度補正係数との比率、
若しくは、軸感度補正係数から所定の基準値を減算した値といずれかの軸の軸感度補正係数との比率に1を加算した値と
を乗算した乗算値と、
他の軸成分の検出出力値と、
前記軸間補正係数と前記いずれかの軸成分の軸感度補正係数との比率と
を乗算した乗算値と
の和を算出することにより、
補正された地磁気の値を求める
ことを特徴とする地磁気検出装置。 The geomagnetism detecting device according to claim 7,
A correction arithmetic circuit for correcting the value of geomagnetism for each orthogonal axis component detected by the geomagnetism detection element;
The correction arithmetic circuit is
Detection output value of one axis component ,
A ratio between the one axis sensitivity correction coefficient and the axis sensitivity correction coefficient of any axis;
Alternatively, a value obtained by subtracting a predetermined reference value from the axis sensitivity correction coefficient and a value obtained by adding 1 to the ratio of the axis sensitivity correction coefficient of any axis, and a multiplied value,
Detection output values of other axis components ,
A ratio between the inter-axis correction coefficient and the axial sensitivity correction coefficient of any one of the axial components;
By calculating the sum of the product multiplied by <br/>
A geomagnetism detecting device characterized by obtaining a corrected geomagnetism value.
前記地磁気検出素子により検出された直交軸成分毎の地磁気の値を補正する補正演算回路をさらに有し、
前記補正演算回路は、
一の軸成分の検出出力値と、
前記一の軸感度補正係数といずれかの軸の軸感度補正係数との比率、
若しくは、軸感度補正係数から所定の基準値を減算した値といずれかの軸の軸感度補正係数との比率に1を加算した値と
を乗算した乗算値を算出することにより、
補正された地磁気の値を求める
ことを特徴とする地磁気検出装置。 The geomagnetism detecting device according to claim 7,
A correction arithmetic circuit for correcting the value of geomagnetism for each orthogonal axis component detected by the geomagnetism detection element;
The correction arithmetic circuit is
Detection output value of one axis component ,
A ratio between the one axis sensitivity correction coefficient and the axis sensitivity correction coefficient of any axis;
Alternatively, by calculating a multiplication value obtained by multiplying the ratio of the value obtained by subtracting a predetermined reference value from the axis sensitivity correction coefficient to the ratio of the axis sensitivity correction coefficient of any axis by 1 and
A geomagnetism detecting device characterized by obtaining a corrected geomagnetism value.
前記熱変成型の不揮発性記憶素子は、ヒューズメモリである
ことを特徴とする地磁気検出装置。 The geomagnetism detecting device according to claim 7,
The geomagnetic detection device, wherein the thermally deformable non-volatile memory element is a fuse memory.
前記所定の基準値は、前記いずれかの軸の軸感度補正係数である
ことを特徴とする地磁気検出装置。 The geomagnetism detecting device according to claim 7,
The predetermined reference value is an axis sensitivity correction coefficient for any one of the axes.
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