JP4935341B2 - 飛行時間型質量分析装置 - Google Patents
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Description
a)前記真空容器の温度を検出する温度検出手段と、
b)前記真空容器から前記対象物への熱的な伝達関数を予め測定した結果を記憶しておく記憶手段と、
c)前記温度検出手段により得られる現時点における前記真空容器の温度と、前記記憶手段に記憶されている伝達関数とを用いて、現時点での前記対象物の温度を推定する推定演算手段と、
を備えることを特徴としている。
a)前記真空容器の温度を検出する温度検出手段と、
b)前記真空容器の温度変化から前記質量分析部の温度変化に起因した質量軸のずれ(変化)への伝達関数を予め測定した結果を記憶しておく記憶手段と、
c)前記温度検出手段により得られる現時点における前記真空容器の温度と、前記記憶手段に記憶されている伝達関数とを用いて、現時点での質量軸のずれの程度を推定する推定演算手段と、
d)前記推定演算手段により推定された質量軸のずれ量が予め定めた許容範囲を超える場合にユーザへの報知を行う報知手段と、
を備えることを特徴としている。
dM/M(s)=H(s)・X(s)= K・e-Ls・Y(s)=K・e-Ls・G(s)・X(s) …(1)
G(s)=1/(1+τs) …(2)
H(s)=K・e-Ls・G(s) …(3)
Y(s)=G(s)・X(s) …(4)
s=(2/T)・(1−z-1)/(1+z-1) …(5)
但し、Tはサンプリング周期である。
G(z)=a(1+z-1)/(1+bz-1) …(6)
但し、a=1/(T+2τ)、b=(T−2τ)/(T+2τ)である。
H(z)=K・z-N・G(z) …(7)
但し、NはL/Tの整数部である。
Y(z)=G(z)・X(z) …(8)
y[k]=a(x[k]+x[k−1])−by[k−1] …(9)
dm/m[k]= K{a(x[k−N]+x[k−N−1])−by[k−1]} …(10)
2…真空ポンプ
3…フライトチューブ
4…飛行空間
5…イオン源
6…イオン加速器
7…リフレクトロン
8…イオン検出器
9…保持部材
10…恒温槽(温調筐体)
11…ファン
12…ヒータ
13…第1温度センサ
14…温調制御部
15…データ処理部
20…分析制御部
21…伝達関数記憶部
22…質量ずれ演算部
23…異常判定部
24…第2温度センサ
25…報知部
Claims (1)
- 内部が真空雰囲気である真空容器内にイオンが飛行する飛行空間を形成する質量分析部及びイオン検出器が設置されて成り、前記飛行空間を飛行することで質量に応じて時間的に分離されたイオンを前記イオン検出器により検出し、その検出信号に基づいて質量軸と強度軸とを有する質量スペクトルを求める飛行時間型質量分析装置において、
a)前記真空容器の温度を検出する温度検出手段と、
b)前記真空容器の温度変化から前記質量分析部の温度変化に起因した質量軸のずれ(変化)への伝達関数を予め測定した結果を記憶しておく記憶手段と、
c)前記温度検出手段により得られる現時点における前記真空容器の温度と、前記記憶手段に記憶されている伝達関数とを用いて、現時点での質量軸のずれの程度を推定する推定演算手段と、
d)前記推定演算手段により推定された質量軸のずれ量が予め定めた許容範囲を超える場合にユーザへの報知を行う報知手段と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
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