JP4921690B2 - Inkjet coating apparatus and organic EL display device manufacturing method - Google Patents

Inkjet coating apparatus and organic EL display device manufacturing method Download PDF

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本発明は、有機ELの発光層を形成する際に用いられるもので、1つの画素がR(赤)、G(緑)、B(青)の3色に対応する複数のドットから構成される表示基板上に、指令電気量に応じたインク液滴量を所定のドットに塗布するインクジェット塗布装置及び有機EL表示装置の製造方法に関する。 The present invention is used in forming the luminescent layer of organic EL, 1 single pixel is R (red), it is composed of G (green), a plurality of dots corresponding to the three colors of B (blue) The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL display device and an ink jet coating device that coats a predetermined dot with an ink droplet amount corresponding to a command electric quantity on a display substrate.

近年、PCや携帯電話などの発達に伴い表示装置への需要が増加している。現在主流となっている液晶表示装置に変わる次世代表示装置の有力候補として有機EL表示装置が注目されている。その理由は、液晶と比較すると、有機EL表示装置には以下に示す多くの利点があるからである。   In recent years, with the development of PCs and mobile phones, the demand for display devices has increased. Organic EL display devices are attracting attention as promising candidates for next-generation display devices that replace the currently mainstream liquid crystal display devices. The reason is that the organic EL display device has many advantages as described below, as compared with the liquid crystal.

1)有機EL表示装置は自発光素子による表示なのでバックライトが不要で、また、2枚のガラスの間に液晶を注入する必要も無く、基本的には1枚のガラスから構成されるので薄型、軽量化が可能である。   1) Since the organic EL display device uses a self-luminous element, it does not require a backlight, and there is no need to inject liquid crystal between two glasses. It is possible to reduce the weight.

2)液晶表示装置の懸案課題である視野角と応答速度に関する特性が優れている。   2) Excellent characteristics relating to the viewing angle and response speed, which are the issues of concern for liquid crystal display devices.

有機EL表示装置の発光材料は、低分子型と高分子型に大別され、それぞれ発光層形成技術が異なる。低分子型では、発光層はマスク蒸着技術により形成され、数十ミクロンの薄い金属製のマスクを使わなければならず、精度の良い大きなマスクを作ることは難しいので大型化には向かない。   Luminescent materials for organic EL display devices are roughly classified into low-molecular types and high-molecular types, and the light-emitting layer forming techniques are different from each other. In the low molecular type, the light emitting layer is formed by a mask vapor deposition technique, and a thin metal mask of several tens of microns must be used, and it is difficult to make a large mask with high accuracy, so it is not suitable for enlargement.

一方、高分子型では、発光高分子を有機溶媒に溶解させ、これをインクジェットヘッドで基板上の所定のドットに塗布する。インクジェットヘッドと基板との相対位置を大きく変えられる機構は容易に実現できるので、高分子型材料をインクジェットヘッドで塗布する方法は大型化に向いている。   On the other hand, in the polymer type, the light emitting polymer is dissolved in an organic solvent, and this is applied to predetermined dots on the substrate with an inkjet head. Since a mechanism capable of greatly changing the relative position between the ink jet head and the substrate can be easily realized, the method of applying the polymer material with the ink jet head is suitable for an increase in size.

また、生産性の面でも、低分子型は蒸着を利用するため無駄にする材料が多い。一方、インクジェット方式は、必要量だけを所定の場所に塗布するので非常に材料の利用効率が高い。   Also, in terms of productivity, the low molecular weight type uses a lot of materials because it uses vapor deposition. On the other hand, since the ink jet system applies only a necessary amount to a predetermined place, the material utilization efficiency is very high.

このようにインクジェット方式は、大型化と生産性に優れていることから、有機EL表示装置を製造する事例が多い。   As described above, since the ink jet method is superior in size and productivity, there are many cases of manufacturing an organic EL display device.

従来有機EL表示装置の発光層を形成するために発光材料の塗布に用いられるインクジェット塗布装置として、表示器を構成する基板上の所定の領域内に、この行方向に複数の画素を互いに間隔を存した行配置画素群(ライン)を、列方向に複数列形成するためのものであって、前記各画素にインク液滴量を吐出塗布するインクジェットヘッドと、各ノズルから吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電圧に応じて制御する複数のアクチュエータと、各ノズルから基板に吐出塗布される各ラインにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、各アクチュエータに与える指令電圧を調整する指令電圧調整器を備えたものである。   Conventionally, as an ink jet coating apparatus used for coating a light emitting material to form a light emitting layer of an organic EL display device, a plurality of pixels are spaced apart from each other in a predetermined direction on a substrate constituting the display. An ink jet head for ejecting and applying an ink droplet amount to each pixel, and an ink droplet ejected from each nozzle, for forming a plurality of existing row-arranged pixel groups (lines) in a column direction Adjust the command voltage applied to each actuator in order to make the average value of the amount of ink droplets in each line ejected and applied from each nozzle to the substrate equal to a predetermined value. A command voltage regulator is provided.

これは、インクジェットヘッドに有する複数のノズル間ピッチを、基板の画素間ピッチに一致させ、同一ヘッド内の各ノズルの液滴量の平均値が所定値になるように合わせ込む。そして、基板の端に並べられる画素のドットから順次インクジェットヘッドで所定のドットへ発光材料を塗布していく。ここで、基板の一画素は、R,G,Bの3色に対応する複数のドットから構成されている。   This is achieved by matching the pitch between the plurality of nozzles of the inkjet head with the pitch between pixels of the substrate so that the average value of the droplet amount of each nozzle in the same head becomes a predetermined value. Then, the light emitting material is sequentially applied to predetermined dots by the inkjet head from the dots of the pixels arranged on the edge of the substrate. Here, one pixel of the substrate is composed of a plurality of dots corresponding to three colors of R, G, and B.

有機ELからなる表示装置には、表示領域全域で均一に明るさを表示する特性が求められる。これを実現するために、従来は以下の手順でノズル間の液滴量のばらつきをできるだけ小さくしていた。   A display device made of organic EL is required to have a characteristic of displaying brightness uniformly over the entire display area. In order to realize this, conventionally, the variation in droplet amount between nozzles has been made as small as possible by the following procedure.

(1)指令電圧発生器により発光材料の目標液滴量に見合ったアクチュエータへの指令電圧を設定する。   (1) The command voltage to the actuator corresponding to the target droplet amount of the luminescent material is set by the command voltage generator.

(2)各インクジェットヘッドに有する各ノズルからそれぞれ実際に発光材料を吐出させ、各ノズルからの該当する行配置画素群内の液滴量を測定し、該当する行配置画素群内の液滴量の平均値を求める。   (2) The luminescent material is actually ejected from each nozzle of each inkjet head, the amount of droplets in the corresponding row arrangement pixel group from each nozzle is measured, and the droplet amount in the corresponding row arrangement pixel group Find the average value of.

(3)(2)で求めた該当する行配置画素群内の液滴量の平均値のうちの所定値に、残りの行配置画素群内の液滴量の平均値を揃える。   (3) The average value of the droplet amounts in the remaining row arrangement pixel groups is aligned with a predetermined value of the average value of the droplet amounts in the corresponding row arrangement pixel group obtained in (2).

以上のように、ノズル間の液滴量のばらつきを小さくするファインチューニングを行っても、製作した有機EL表示装置には、帯状の輝度ムラ(以下、筋ムラ)が発生したように見られることがある。これは、上記のようにファインチューニングを行っても、アクチュエータ間の特性のばらつきや、ノズル形状のばらつき等に起因する液滴量の平均値にばらつきが見られるからである。   As described above, even if fine tuning is performed to reduce the variation in the amount of liquid droplets between nozzles, the manufactured organic EL display device appears to have striped luminance unevenness (hereinafter referred to as stripe unevenness). There is. This is because even if fine tuning is performed as described above, variations in the average value of the droplet amount due to variation in characteristics between actuators, variation in nozzle shape, and the like are observed.

そこで従来は、同一のインクジェットヘッドにおいて吐出中の発光材料であるインクの液滴形状、或いは、吐出塗布後(着弾後)の液滴径から液滴量を算出して、差異が大きい場合は、指令電圧調整器によって指令電圧を微調整し、ノズル間の液滴量平均値を合わせこんでいた。このようにノズル間の液滴量ばらつきを目標値まで追い込むファインチューニングは、複数回施行しなければならず、その液滴量調整には、多大な時間と手間がかかっていた。このことは、今後さらにインクジェットヘッドが多ノズル化した場合は、この作業への負担はさらに増大することが予想される。   Therefore, conventionally, when the droplet amount is calculated from the droplet shape of the ink that is the light emitting material being discharged in the same inkjet head, or the droplet diameter after discharge application (after landing), if the difference is large, The command voltage was finely adjusted by the command voltage regulator, and the average droplet volume between nozzles was adjusted. In this way, fine tuning to drive the droplet amount variation between the nozzles to the target value has to be performed a plurality of times, and adjusting the droplet amount takes a lot of time and effort. This is expected to further increase the burden on this work if the number of nozzles in the inkjet head is further increased.

また、隣接行配置画素群間の発光材料の液滴量平均値のばらつきが、同一ノズルで塗布された一行配置画素群内の液滴量のばらつきと比較して大きい場合は、人間はこの2行の輝度ばらつきを、明るさの異なる2本の直線として感じ、筋ムラとして認識しやすくなる。   Further, when the variation in the average droplet amount of the light emitting material between adjacent row arrangement pixel groups is larger than the variation in the droplet amount in one row arrangement pixel group applied by the same nozzle, the human is The luminance variation of the line is felt as two straight lines with different brightness, and it becomes easy to recognize the unevenness of the line.

さらに、別の課題として、上記ファインチューニングは、塗布時間が例えば数分に対して、チューニング時間が例えば数時間とかなりの時間と手間がかかり、生産性の悪化とコスト増加の原因となる。   Furthermore, as another problem, the fine tuning requires a considerable amount of time and effort, for example, several hours for the coating time, for example, several minutes, which causes productivity deterioration and cost increase.

本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、隣接の行配置画素群と液滴量平均値に差異があっても、表示装置を観る人は筋ムラとして認識されにくいインクジェット塗布装置を提供すること、また、基板に塗布する液滴量を揃えるためのファインチューニングが従来よりもラフですむようになり、ファインチューニングのための調整時間が短縮できる高品質な有機EL表示装置の製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and even if there is a difference between adjacent row-arranged pixel groups and the average amount of liquid droplets, an ink jet that is difficult for a viewer to see a display device is recognized as streak irregularity. Providing a coating device, and making fine tuning to align the amount of droplets to be applied to a substrate is rougher than before, and manufacturing high-quality organic EL display devices that can shorten the adjustment time for fine tuning It aims to provide a method.

前記目的を達成するため、請求項1に対応する発明は、有機EL表示装置の発光層を形成するために発光材料の塗布に用いられ、前記表示装置を構成する基板上の所定の領域内に、この行方向に複数の画素を互いに間隔を存した行配置画素群であるラインを、列方向に複数列形成するためのものであって、前記各画素に前記発光材料と同種の発光材料からなるインク液滴量を吐出塗布する複数のノズルが列方向に配置されたインクジェットヘッドと、前記各ノズルから吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電圧に応じて制御する複数のアクチュエータと、前記各ノズルから前記基板に吐出塗布される前記各ラインにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、前記各アクチュエータに与える指令電圧を調整する指令電圧調整器を備えたインクジェット塗布装置において、前記指令電圧調整器の指令電圧に対して前記各ノズルから吐出される液滴量に所定の範囲内でばらつき量を付加するノイズ電圧を前記各ノズル毎に付加するノイズ発生手段と、前記ノイズ発生手段からのノイズ電圧を前記指令電圧に重畳させる重畳手段と、を具備し、前記ノイズ発生手段からのノイズ電圧Vnは、(2ライン間のライン内液滴量平均値の差)/(2ラインの液滴量平均)と、前記ノイズ電圧Vnと、前記指令電圧VcのVn/Vcが一致するとして得られる数値に基づいて決定することを特徴とするインクジェット塗布装置である。 In order to achieve the above object, an invention corresponding to claim 1 is used for applying a light emitting material to form a light emitting layer of an organic EL display device, and within a predetermined region on a substrate constituting the display device. In order to form a plurality of lines in a row direction in which a plurality of pixels are spaced apart from each other in the row direction in the column direction, each pixel is made of the same kind of light emitting material as the light emitting material. An inkjet head in which a plurality of nozzles for ejecting and applying ink droplet amounts are arranged in a row direction, a plurality of actuators for controlling the amount of ink droplets ejected from each nozzle according to a command voltage, A command voltage regulator is provided for adjusting the command voltage applied to each actuator in order to make the average value of the ink droplet amount in each line discharged and applied from the nozzle to the substrate equal to a predetermined value. And the ink jet coating apparatus, adds the command voltage regulator of the noise voltage you added variation amount within a predetermined range in drop volume ejected from the nozzles against the command voltage to each of said nozzles comprising a noise generating means, and a superimposition means for superimposing said command voltage to noise voltage from said noise generating means, the noise voltage Vn from said noise generating means, (in-line liquid droplet amount between 2 lines and wherein the difference between the average value) / (2 lines drop volume average), and the noise voltage Vn, determining based on the numerical value Vn / Vc of the command voltage Vc is obtained by a that matches An inkjet coating apparatus.

前記目的を達成するため、請求項2に対応する発明は、有機EL表示装置の発光層を形成するために発光材料の塗布に用いられ、前記表示装置を構成する基板上の所定の領域内に、この行方向に複数の画素を互いに間隔を存した行配置画素群であるラインを、列方向に複数列形成するためのものであって、前記各画素に前記発光材料と同種の発光材料からなるインク液滴量を吐出塗布する複数のノズルが列方向に配置されたインクジェットヘッドと、前記各ノズルから吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電圧に応じて制御する複数のアクチュエータを備えたインクジェットヘッド機構と、前記各ノズルから前記基板に吐出塗布される前記各ラインにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、前記各アクチュエータに与える指令電圧を調整する指令電圧調整器と、前記指令電圧調整器の指令電圧に対して前記各ノズルから吐出される液滴量に所定の範囲内でばらつき量を付加するノイズ電圧を前記各ノズル毎に付加するノイズ発生手段と、前記ノイズ発生手段からのノイズ電圧を前記指令電圧に重畳させる重畳手段と、を具備したインクジェット塗布装置により、前記基板上の行方向に形成される複数の画素からなる行配置画素群毎に前記インク液滴量を所定の範囲内で、前記ノイズ発生手段及び前記重畳手段によりノイズ値が前記各アクチュエ−タに与えられ、これにより前記各ノズルからのインク液滴量をばらつかせるようにし、前記ノイズ発生手段からのノイズ電圧Vnは、(2ライン間のライン内液滴量平均値の差)/(2ラインの液滴量平均)と、前記ノイズ電圧Vnと、前記指令電圧VcのVn/Vcが一致するとして得られる数値に基づいて決定することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法である。 In order to achieve the above object, an invention corresponding to claim 2 is used for applying a light emitting material to form a light emitting layer of an organic EL display device, and within a predetermined region on a substrate constituting the display device. In order to form a plurality of lines in a row direction in which a plurality of pixels are spaced apart from each other in the row direction in the column direction, each pixel is made of the same kind of light emitting material as the light emitting material. An inkjet head having a plurality of nozzles for discharging and applying ink droplet amounts arranged in the column direction, and a plurality of actuators for controlling the amount of ink droplets discharged from the nozzles according to a command voltage, respectively. A command given to each actuator in order to make the average value of the ink droplet amount in each line ejected and applied from the respective nozzles to the substrate to a predetermined value. A command voltage regulator that adjusts the pressure, and a noise voltage that adds a variation amount within a predetermined range to the droplet amount discharged from each nozzle with respect to the command voltage of the command voltage regulator for each nozzle a noise generating means for adding, by an ink jet application apparatus noise voltage anda superimposing means for superimposing on said command voltage from said noise generating means, comprising a plurality of pixels formed in a row direction before SL on the substrate A noise value is given to each actuator by the noise generating means and the superimposing means within a predetermined range for each of the row-arranged pixel groups, whereby an ink droplet amount from each nozzle is obtained. the so as to fluctuated, the noise voltage Vn from said noise generating means, and (a difference in line droplet volume average between 2 lines) / (droplet volume mean of two lines), the noise A voltage Vn, a method of manufacturing an organic EL display device and determines, based on the number values obtained by the Vn / Vc matches the command voltage Vc.

本発明によれば、隣接の行配置画素群と液滴量平均値に差異があっても、表示装置を観る人は筋ムラとして認識されにくいインクジェット塗布装置を得ることができる。   According to the present invention, even if there is a difference between adjacent row-arranged pixel groups and the average amount of liquid droplets, it is possible to obtain an ink jet coating apparatus in which a person watching a display device is not easily recognized as streak irregularity.

また、本発明によれば、基板に塗布する液滴量を揃えるためのファインチューニングが従来よりもラフですむようになり、ファインチューニングのための調整時間が短縮でき、その分低価格化が実現でき、高品質な有機EL表示装置の製造方法を得ることができる。   In addition, according to the present invention, fine tuning for aligning the amount of droplets to be applied to the substrate becomes rougher than before, adjustment time for fine tuning can be shortened, and the price can be reduced accordingly. A method for manufacturing a high-quality organic EL display device can be obtained.

以下、本発明のインクジェット塗布装置及び有機EL表示装置の製造方法の実施形態について、図面を参照して説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of an inkjet coating apparatus and an organic EL display device manufacturing method according to the present invention will be described with reference to the drawings.

本発明のインクジェット塗布装置の実施形態は、概略、発光材料を含む液滴を所定の配列状態となるように吐出して基板上に塗布するインクジェット塗布装置であって、同種の発光材料を複数のノズルから吐出するインクジェットヘッドと、前記複数のノズルから吐出させる同種の液滴の量を所定の量に定める設定値に対して各々のノズルから吐出される液滴量に所定の範囲でばらつき量を付加するノイズを前記ノズルの各々に付加するノイズ発生手段を具備するインクジェット塗布装置である。   An embodiment of an inkjet coating apparatus of the present invention is generally an inkjet coating apparatus that applies droplets containing a light emitting material on a substrate by discharging droplets containing the light emitting material in a predetermined arrangement state, and a plurality of the same type of light emitting material is applied to the substrate. The amount of liquid droplets discharged from each nozzle is varied within a predetermined range with respect to a setting value that determines the amount of the same type of liquid droplets discharged from the nozzles and the same type of liquid droplets discharged from the plurality of nozzles as a predetermined amount. It is an inkjet coating apparatus provided with the noise generation means which adds the noise to add to each of the said nozzle.

具体的には、図1〜図3に示すように例えば有機EL表示装置を構成する基板3上の所定の領域内であって、行方向(ライン)及び列方向に互いに間隔を存した複数の画素Sを形成すべき位置に、インクジェットヘッド8を有するインクジェット塗布装置であって、所望の配列でR、G、B色の発光材料からなるインクの液滴量を吐出塗布して複数の画素Sを形成する場合、基板3上の行方向に形成される複数の画素からなる行配置画素群毎にインク液滴量を所定の範囲内でばらつかせる手段(例えば図3のノイズ発生手段19と重畳手段23からなるもの)を具備したものである。   Specifically, as shown in FIGS. 1 to 3, for example, a plurality of regions in a predetermined region on the substrate 3 constituting the organic EL display device and spaced from each other in the row direction (line) and the column direction. An ink jet coating apparatus having an ink jet head 8 at a position where a pixel S is to be formed, and a plurality of pixels S by ejecting and applying ink droplet amounts of light emitting materials of R, G, and B colors in a desired arrangement. 3 is a unit that varies the ink droplet amount within a predetermined range for each row-arranged pixel group formed of a plurality of pixels formed in the row direction on the substrate 3 (for example, the noise generating unit 19 and FIG. 3). (Comprising superimposing means 23).

図1はインクジェット塗布装置の概略構成を示す外観図、図2はインクジェット塗布装置の要部であるインクジェット機構の斜視図である。図中1は基台であり、この基台1における上面のX,Y平面上には、移動自在なステージ2が備えられる。ステージ2上には、図示しない固定手段によって基板3が交換自在に支持固定されている。   FIG. 1 is an external view showing a schematic configuration of an ink jet coating apparatus, and FIG. 2 is a perspective view of an ink jet mechanism which is a main part of the ink jet coating apparatus. In the figure, reference numeral 1 denotes a base, and a movable stage 2 is provided on the X and Y planes of the upper surface of the base 1. On the stage 2, a substrate 3 is supported and fixed in a replaceable manner by fixing means (not shown).

ヘッド機構5は、図12に示すように、液室61、複数(ここでは、図8に示すようにa,b,c,d,eの5個)のノズル12を有するノズル体62、ダイヤフラム63、ピエゾ素子64、指令電圧発生器21を構成する電源65、指令電圧調整器22を構成する調整抵抗器66、液室61とノズル体62に有するノズル12を連通する連通路67からなっている。   As shown in FIG. 12, the head mechanism 5 includes a liquid chamber 61, a nozzle body 62 having a plurality of (here, five, a, b, c, d, and e as shown in FIG. 8) nozzles 12, a diaphragm. 63, a piezo element 64, a power source 65 constituting the command voltage generator 21, an adjustment resistor 66 constituting the command voltage regulator 22, and a communication passage 67 communicating the liquid chamber 61 and the nozzle 12 included in the nozzle body 62. Yes.

液室61には、発光材料からなるインクが蓄えられており、この液室61内のインクがノズル体62に有する複数のノズル12を介して、基板3に形成される画素Sのドットに噴射できるように構成されている。すなわち、連通路67の液室61側に、電源65による電圧を印加すると、それに伴って後述するアクチュエータ26の一例であるピエゾ素子64が変形し、これによってダイヤフラム63を引っ張って連通路67内を負圧にするように構成されている。この結果、液室61内のインクが、ノズル体62に有するノズル12を通して基板3の画素のドットに噴射される。   In the liquid chamber 61, ink made of a luminescent material is stored, and the ink in the liquid chamber 61 is ejected to the dots of the pixels S formed on the substrate 3 through the plurality of nozzles 12 included in the nozzle body 62. It is configured to be able to. That is, when a voltage from the power source 65 is applied to the liquid chamber 61 side of the communication path 67, a piezoelectric element 64, which is an example of the actuator 26 described later, is deformed accordingly, thereby pulling the diaphragm 63 and moving the inside of the communication path 67. It is comprised so that it may become a negative pressure. As a result, the ink in the liquid chamber 61 is ejected to the dots of the pixels of the substrate 3 through the nozzles 12 included in the nozzle body 62.

さらに、基台1上のステージ2に対して架台4が跨設されていて、この架台4にヘッド機構5が取付けられている。このヘッド機構5は、4個のインクジェットヘッド機構6から構成され、このうちの1個は、その下端部に溶剤を吐出する溶剤付与手段を構成する溶剤用インクジェットヘッド7を含むものであり、また残りの3個は、その下端部に3色のインク(R,G,B)を吐出するインク塗布手段を構成するインク用インクジェットヘッド8を含むものである。   Further, a gantry 4 is laid over the stage 2 on the base 1, and a head mechanism 5 is attached to the gantry 4. The head mechanism 5 is composed of four ink jet head mechanisms 6, one of which includes a solvent ink jet head 7 constituting solvent application means for discharging the solvent at the lower end of the head mechanism 5. The remaining three include ink inkjet heads 8 that constitute ink application means for ejecting three colors of ink (R, G, B) at the lower end thereof.

4個のインクジェットヘッド機構6は、それぞれインクジェットヘッド7,8をθ回転させる機構9と、Y方向に微調整可能とする機構10および、Z方向に微調整可能とする機構11を備えている。それぞれのインクジェットヘッド7,8は、後述するように直列状に配置された複数のノズルを備えている。   The four inkjet head mechanisms 6 each include a mechanism 9 that rotates the inkjet heads 7 and 8 by θ, a mechanism 10 that can be finely adjusted in the Y direction, and a mechanism 11 that can be finely adjusted in the Z direction. Each of the inkjet heads 7 and 8 includes a plurality of nozzles arranged in series as will be described later.

ここでは、ヘッド機構部5が固定され、XYステージ2を移動制御することで、溶剤用インクジェットヘッド7とインク用インクジェットヘッド8と基板3の相対位置を変化させるようになっている。   Here, the head mechanism 5 is fixed, and the relative positions of the solvent inkjet head 7, the ink inkjet head 8, and the substrate 3 are changed by controlling the movement of the XY stage 2.

基板3上には、並設される複数のライン上に、各々複数の画素が格子状に分布した状態で形成されており、それぞれの画素は、R(赤),G(緑),B(青)の3色に対応する複数のドットから構成されている。   On the substrate 3, a plurality of pixels are formed on a plurality of lines arranged side by side in a state of being distributed in a lattice pattern, and each pixel has R (red), G (green), B ( It is composed of a plurality of dots corresponding to the three colors (blue).

ここで、ラインとは、基板3上の所定領域内であって、画素を形成すべき行方向(横方向)にそれぞれ並設する仮想の直線毎に、複数の画素が配列形成するためのものである。   Here, a line is for arranging a plurality of pixels in a predetermined area on the substrate 3 for each virtual straight line arranged in parallel in the row direction (lateral direction) in which the pixels are to be formed. It is.

本発明のインクジェット塗布装置の制御装置の実施形態は、図3に示すように有機EL表示装置の基板3上の所定の領域内であって、行方向に仮想上の複数のライン例えばa〜eを並設し、該各ラインa〜eにそれぞれ複数の画素Sを形成するために、インク液滴量を吐出塗布するものであって、以下のように構成されている。   As shown in FIG. 3, the embodiment of the control device for the ink jet coating apparatus of the present invention is within a predetermined region on the substrate 3 of the organic EL display device, and a plurality of virtual lines such as a to e in the row direction. In order to form a plurality of pixels S in each of the lines a to e, an ink droplet amount is ejected and applied, and is configured as follows.

すなわち、各々のラインa〜eに対してインク液滴量をそれぞれ吐出塗布する複数のノズル12を有するインクジェットヘッド8と、各ノズル12から吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電気量に応じて制御する複数のアクチュエータ26と、例えば指令電圧発生器21と例えば指令電圧調整器22からなる指令電圧発生手段20、及び、例えばノイズ発生器24と例えばノイズ調整器25からなるノイズ発生手段19並びに重畳手段23から構成されている。 That is, the ink jet head 8 having a plurality of nozzles 12 for ejecting each applied ink droplet volume for each line a to e, respectively command electric quantity of ink droplet volume ejected from the nozzles 12 a plurality of the actuators 26, for example, the command voltage generator 21, for example, command voltage generating means 20 consists of command voltage regulator 22, and, for example, noise generator 24, for example, noise generating means comprising noise adjuster 25 is controlled in accordance 19 and superimposing means 23.

このうちのノイズ発生手段19並びに重畳手段23は、本発明のインク液滴量を所定の範囲内でばらつかせる手段、すなわち、基板3上の行方向に形成される複数の画素Sからなる行配置画素群毎(ライン毎)にインク液滴量を所定の範囲内でばらつかせる、つまり、印加されるノイズ成分が、各ノズル毎に異なっているものである。   Among them, the noise generating means 19 and the superimposing means 23 are means for varying the ink droplet amount within a predetermined range of the present invention, that is, a row composed of a plurality of pixels S formed in the row direction on the substrate 3. The ink droplet amount varies within a predetermined range for each arrangement pixel group (for each line), that is, the applied noise component is different for each nozzle.

この場合、指令電気量調整手段20は、各ノズル12から前記基板3に吐出塗布される各ラインa〜eにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、各アクチュエータ26に与える指令電気量を調整する。また、各ノイズ発生手段19は、各アクチュエータ26に与えられ、ラインa〜e毎の指令電気量に対して隣接する画素に対してそれぞれ異なるノイズ値を発生する。さらに、重畳手段23は、指令電気量調整手段20からの指令電気量とノイズ発生手段19からのノイズ値とをそれぞれライン毎で重畳させる。この結果、アクチュエータ26は各重畳手段23の出力に対応したインク液滴量を吐出させ、各ラインa〜e内のノズル12からのインク液滴量を、所定のばらつき量の範囲でそれぞればらつかせることができる。   In this case, the command electric quantity adjusting means 20 provides the command electric quantity to be given to each actuator 26 in order to make the average value of the ink droplet quantity in each line a to e discharged and applied to the substrate 3 from each nozzle 12 equal to a predetermined value. Adjust the amount. Also, each noise generating means 19 is given to each actuator 26 and generates different noise values for adjacent pixels with respect to the command electricity quantity for each of the lines a to e. Further, the superimposing unit 23 superimposes the command electric quantity from the command electric quantity adjusting unit 20 and the noise value from the noise generating unit 19 for each line. As a result, the actuator 26 discharges the ink droplet amount corresponding to the output of each superimposing means 23, and the ink droplet amount from the nozzles 12 in each line a to e varies within a predetermined variation amount range. You can make it.

次に、以上述べた実施形態について、詳細に説明する。ノイズ発生器24は、例えば図4に示す様に、デジタル乱数発生器241とDAコンバータ242から構成したものを使用する。   Next, the embodiment described above will be described in detail. For example, as shown in FIG. 4, the noise generator 24 uses a digital random number generator 241 and a DA converter 242.

そして、図3のノイズ発生器24から、図5に見られる様な標準偏差が1で正規分布した乱数に基づく電圧を供給し、図3のノイズ調整器25でα倍に増幅した後に、重畳手段23で指令電圧とを重畳させる。つまり、図6に見られるように、指令電圧をVc、ノイズ発生器24から出力されるノイズ電圧をVnとすると、アクチュエータ26への指令波形WcはVc+Vnとなり、Vn/Vc×100(%)のノイズ成分が付加された電圧がアクチュエータ26に供給されることになる。   Then, a voltage based on a random number having a normal distribution with a standard deviation of 1 as shown in FIG. 5 is supplied from the noise generator 24 in FIG. 3, amplified by α times by the noise adjuster 25 in FIG. The command voltage is superposed by means 23. That is, as shown in FIG. 6, when the command voltage is Vc and the noise voltage output from the noise generator 24 is Vn, the command waveform Wc to the actuator 26 is Vc + Vn, which is Vn / Vc × 100 (%). The voltage to which the noise component is added is supplied to the actuator 26.

指令電圧Vと液滴量Qが図7のような関係にあるとすると、指令電圧がVcからVc+Vnまで変化した場合、液滴量にはQnに相当するノイズ成分が付加されたことになる。   Assuming that the command voltage V and the droplet amount Q have the relationship as shown in FIG. 7, when the command voltage changes from Vc to Vc + Vn, a noise component corresponding to Qn is added to the droplet amount.

尚、Vn=4×αとすると、±4α/Vc×100(%)のばらつきを、99.99%の確立で、指令電圧へ加えたことになる。例えば、Vc=100Vに5%のばらつきを付加したい場合は、ノイズ調整器25の増幅率をα=1.25に設定すればよい。   If Vn = 4 × α, a variation of ± 4α / Vc × 100 (%) is added to the command voltage with the establishment of 99.99%. For example, when it is desired to add 5% variation to Vc = 100 V, the amplification factor of the noise adjuster 25 may be set to α = 1.25.

また、アクチュエータ26が図12に示すようにピエゾ素子64の圧電素子の場合は、図6中の指令波形Wcを印加すると機械的負荷の影響で、印加電圧は駆動波形Wdの様に、遅れと振動を持った波形となる。   Further, when the actuator 26 is a piezoelectric element of the piezo element 64 as shown in FIG. 12, when the command waveform Wc in FIG. 6 is applied, the applied voltage is delayed as shown in the drive waveform Wd due to the influence of a mechanical load. Waveform with vibration.

次に、図7と図8を使って従来の問題である筋ムラが改善される点に関する説明を行う。図8中のインクジェットヘッド6(以下、ヘッドと称する)はXY平面上に固定されており、複数a,b,c,d,e…のノズル12を具備している。X、Y方向に移動可能な図1のX−Yステージ2に搭載された基板3がヘッド6方向へ移動した際に、各ノズル12から対応するラインの各画素Sへ順次インクが吐出される。   Next, the point that the non-uniformity of the stripe, which is a conventional problem, is improved will be described with reference to FIGS. An ink jet head 6 (hereinafter referred to as a head) in FIG. 8 is fixed on the XY plane and includes a plurality of nozzles a, b, c, d, e. When the substrate 3 mounted on the XY stage 2 of FIG. 1 that can move in the X and Y directions moves in the direction of the head 6, ink is sequentially discharged from each nozzle 12 to each pixel S in the corresponding line. .

前述の様に、ノイズ成分の付加は、吐出間隔で行われ、ノイズ成分の大きさは一ライン内で正規性を持ってばらつく。ノズルaが塗布したラインLaの液滴量の分布と、ノズルbが塗布したラインLbの液滴量の分布を、図9(a)に示す。ここで、両者の液滴量平均値の差をΔDとし、両者の標準偏差は同等とする。上記ノイズ成分Vnを加算した後のラインLaとラインLbの液滴量分布を図9(b)に示す。図9(b)と図9(a)を比較すると、ノズルaとノズルbの平均値に変化はないが、標準偏差がノイズ成分を加算したことによって大きくなっている。   As described above, the addition of the noise component is performed at the discharge interval, and the magnitude of the noise component varies with normality within one line. FIG. 9A shows the distribution of the droplet amount of the line La applied by the nozzle a and the distribution of the droplet amount of the line Lb applied by the nozzle b. Here, the difference between the droplet volume average values is ΔD, and the standard deviation of both is the same. FIG. 9B shows the droplet amount distribution of the line La and the line Lb after adding the noise component Vn. When FIG. 9B is compared with FIG. 9A, the average value of the nozzle a and the nozzle b is not changed, but the standard deviation is increased by adding the noise component.

これにより、人間は同一ノズルで塗布した連続した複数の画素を、線として認識しなくなり、ライン間の輝度の差を認識しづらくなる。   This makes it difficult for a human to recognize a plurality of continuous pixels applied with the same nozzle as a line and to recognize a difference in luminance between lines.

ノイズ電圧Vnの決定方法については、(2ライン間のライン内液滴量平均値
の差)/(2ラインの液滴量平均)とVn/Vcが一致すると仮定して得られる数値を目安とするが、実用上は、複数の人間による感応試験を実施し、ノイズ成分が大きすぎてざらつき感が出ない程度に、筋ムラが目立たなくなる値を見つけて決定すればよい。
The method for determining the noise voltage Vn is based on a numerical value obtained on the assumption that (difference in average amount of droplets in two lines) / (average droplet amount in two lines) and Vn / Vc match. However, in practice, a sensitivity test by a plurality of humans may be performed, and a value at which streak unevenness is not noticeable to the extent that the noise component is too large to produce a rough feeling may be determined.

図10、図11は、本発明のインクジェット塗布装置の具体的な構成を示すブロック図である。図10は、前述したノイズ発生手段19を、複数のアクチュエータ26毎に配置した構成である。具体的には、ノイズ発生手段19a,19b,19c,19d…を、複数の指令電圧調整器22a,22b,22c,22d…、アクチュエータ26a,26b,26c,26d…毎に独立してノイズを発生させ印加するようにそれぞれ配置し、指令電圧調整器22a,22b,22c,22d…と、アクチュエータ26a,26b,26c,26d…の間に、重畳手段23a,23b,23c,23d…を配置し、各ノイズ発生手段19a〜19d…から互いに独立に2%のノイズをばらつきを生じさせるように印加させるようにしたものである。なお、指令電圧調整器22a,22b,22c,22d…には、一つの指令電圧発生器21からの指令電圧が入力されるようになっている。   10 and 11 are block diagrams showing a specific configuration of the ink jet coating apparatus of the present invention. FIG. 10 shows a configuration in which the noise generating means 19 described above is arranged for each of the plurality of actuators 26. Specifically, the noise generating means 19a, 19b, 19c, 19d... Generates noise independently for each of the plurality of command voltage regulators 22a, 22b, 22c, 22d... And the actuators 26a, 26b, 26c, 26d. And superimposing means 23a, 23b, 23c, 23d ... between the command voltage regulators 22a, 22b, 22c, 22d ... and the actuators 26a, 26b, 26c, 26d ... Each of the noise generating means 19a to 19d... Is applied with 2% noise so as to cause variation independently of each other. In addition, the command voltage from one command voltage generator 21 is input to the command voltage regulators 22a, 22b, 22c, 22d.

図11は、一つのノイズ発生手段19から得られる乱数の異なるノイズが、複数の接点を有するスイッチ27、複数の重畳手段を介して複数のアクチュエータ26に与えられるように構成されている。具体的には、アクチュエータ26a,26b,26c,26d…の間に、それぞれ重畳手段23a,23b,23c,23d…を介して指令電圧調整器22a,22b,22c,22d…を配置し、
各重畳手段23a,23b,23c,23d…には、スイッチ27に有する接点27a,27b,27c,27d,…の一端部が接続され、また接点27a,27b,27c,27d,…の他端部には、一つのノイズ発生手段19から得られる乱数の異なるノイズが与えられるようになっている。なお、指令電圧調整器22a,22b,22c,22d…には、一つの指令電圧発生器21からの指令電圧が入力されるようになっている。このような構成において、スイッチ27の接点27a,27b,27c,27d,…には、図示しないメイン制御部からの切換え信号が順次与えられ、これにより各接点27a,27b,27c,27d,…が順次閉成され、ノイズ発生手段19から乱数の異なるノイズが順次印加されるようになっている。吐出するアクチュエータ26に対応したスイッチ27内のスイッチ27だけをオンして、重畳手段23によりノイズ成分を選択的に重畳するようにしたものである。
FIG. 11 is configured such that noises having different random numbers obtained from one noise generating means 19 are given to a plurality of actuators 26 via a switch 27 having a plurality of contacts and a plurality of superimposing means. Specifically, command voltage regulators 22a, 22b, 22c, 22d... Are arranged between the actuators 26a, 26b, 26c, 26d.
.. Are connected to one end of contacts 27a, 27b, 27c, 27d,... Of the switch 27, and the other end of the contacts 27a, 27b, 27c, 27d,. Is provided with noise of different random numbers obtained from one noise generating means 19. In addition, the command voltage from one command voltage generator 21 is input to the command voltage regulators 22a, 22b, 22c, 22d. In such a configuration, a switching signal from a main control unit (not shown) is sequentially given to the contacts 27a, 27b, 27c, 27d,... Of the switch 27, whereby each contact 27a, 27b, 27c, 27d,. The noises are sequentially closed, and noises with different random numbers are sequentially applied from the noise generating means 19. Only the switch 27 in the switch 27 corresponding to the actuator 26 to be discharged is turned on, and the noise component is selectively superimposed by the superimposing means 23.

以上述べた実施形態によれば、基板上の所定の領域内であって、行方向に仮想上の複数のラインにそれぞれ複数の画素を形成する際に、1ライン内のインク用インクジェットヘッド8から吐出されるインク液滴量を、所定のばらつき量の範囲でそれぞればらつかせることにより、隣接するインク用インクジェットヘッド8との間において吐出される液滴量の平均値に差があっても、人間は筋ムラとして認識しづらくなる。   According to the embodiment described above, when forming a plurality of pixels in a plurality of virtual lines in a predetermined region on the substrate in the row direction, the ink jet heads 8 for ink in one line By varying the amount of ejected ink droplets within a range of predetermined variation amounts, even if there is a difference in the average value of the amount of ejected droplets between adjacent ink jet heads 8, It becomes difficult for humans to recognize as muscle irregularities.

尚、本発明は、本発明の効果を損なわない範囲で、種々の応用が可能である。例えば、ノイズ発生手段19としては、ツェナーダイオードのなだれ電流がホワイトノイズに近い特性を持つことから、これを増幅してランダムノイズ成分を生成する電気回路を使用する方法等が考えられる。   The present invention can be applied in various ways as long as the effects of the present invention are not impaired. For example, as the noise generating means 19, since the avalanche current of the Zener diode has a characteristic close to white noise, a method of amplifying this to generate a random noise component may be used.

前述の実施形態では、アクチュエータ26は電圧駆動方式のピエゾ素子を使用した場合について説明したが、ヒータなどでインクを膨張させてインクを吐出させる電流駆動方式のアクチュエータであっても、同様に実施できる。   In the above-described embodiment, the case where the voltage drive type piezo element is used as the actuator 26 has been described. However, the actuator 26 can be similarly implemented even if it is a current drive type actuator that expands ink with a heater or the like and discharges the ink. .

さらに、前述の各画素内のR(赤),G(緑),B(青)の配列の手法として、縦ストイブ配列、デルタ配列、正方配列のいずれであっても、本発明が適用できることは言うまでもない。   Furthermore, the present invention can be applied to any of the vertical stove arrangement, the delta arrangement, and the square arrangement as a technique for arranging the R (red), G (green), and B (blue) in each pixel described above. Needless to say.

本発明の一実施形態に係るインクジェット塗布装置の外観図。1 is an external view of an inkjet coating apparatus according to an embodiment of the present invention. 同実施形態に係るインクジェット機構の斜視図。The perspective view of the inkjet mechanism which concerns on the same embodiment. 図1の実施形態における制御装置の構成を説明するためのブロック図。The block diagram for demonstrating the structure of the control apparatus in embodiment of FIG. 図3のノイズ発生器を説明するためのブロック図。The block diagram for demonstrating the noise generator of FIG. 図3のノイズ発生器を説明するための図。The figure for demonstrating the noise generator of FIG. 図3の動作を説明するための図。The figure for demonstrating the operation | movement of FIG. 図3の指令電圧発生器を説明するための図。The figure for demonstrating the command voltage generator of FIG. 本発明の実施形態の動作を説明するための図。The figure for demonstrating operation | movement of embodiment of this invention. 図8の作用効果を説明するための図。The figure for demonstrating the effect of FIG. 図3の具体的な実施形態を説明するための図。The figure for demonstrating the specific embodiment of FIG. 図3の具体的な実施形態を説明するための図。The figure for demonstrating the specific embodiment of FIG. 従来のインクジェットヘッド機構を説明するための図。The figure for demonstrating the conventional inkjet head mechanism.

符号の説明Explanation of symbols

1…基台、2…XYステージ、3…基板、4…架台、5…ヘッド機構部、6…インクジェットヘッド、7…溶剤用インクジェットヘッド、8…インク用インクジェットヘッド、9…θ回転させる機構、10…Y方向に微調整可能とする機構
、11…Z方向に微調整可能とする機構、12…ノズル、19…ノイズ発生手段
19a〜19d…ノイズ発生手段、20…指令電圧発生手段、21…指令電圧発生器、22…指令電圧調整器、22a〜22d…指令電圧調整器、23…重畳手段、23a〜23d…重畳手段、24…ノイズ発生器、25…ノイズ調整器、26…アクチュエータ、26a〜26d…アクチュエータ、27…スイッチ、27a〜27d…接点、61…液室、62…ノズル体、63…ダイヤフラム、64…ピエゾ素子、65…電源、66…調整抵抗器、67…連通路、241…デジタル乱数発生器、242…DAコンバータ。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base, 2 ... XY stage, 3 ... Board | substrate, 4 ... Stand, 5 ... Head mechanism part, 6 ... Inkjet head, 7 ... Inkjet head for solvent, 8 ... Inkjet head for ink, 9 ... Mechanism to rotate (theta), DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Mechanism enabling fine adjustment in Y direction, 11 ... Mechanism enabling fine adjustment in Z direction, 12 ... Nozzle, 19 ... Noise generating means 19a-19d ... Noise generating means, 20 ... Command voltage generating means, 21 ... Command voltage generator, 22 ... Command voltage regulator, 22a-22d ... Command voltage regulator, 23 ... Superimposing means, 23a-23d ... Superimposing means, 24 ... Noise generator, 25 ... Noise regulator, 26 ... Actuator, 26a 26d ... Actuator, 27 ... Switch, 27a-27d ... Contact, 61 ... Liquid chamber, 62 ... Nozzle body, 63 ... Diaphragm, 64 ... Piezo element, 65 ... Electricity , 66 ... adjustment resistor, 67 ... communicating passage, 241 ... digital random number generator, 242 ... DA converter.

Claims (2)

有機EL表示装置の発光層を形成するために発光材料の塗布に用いられ、前記表示装置を構成する基板上の所定の領域内に、この行方向に複数の画素を互いに間隔を存した行配置画素群であるラインを、列方向に複数列形成するためのものであって、前記各画素に前記発光材料と同種の発光材料からなるインク液滴量を吐出塗布する複数のノズルが列方向に配置されたインクジェットヘッドと、前記各ノズルから吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電圧に応じて制御する複数のアクチュエータと、前記各ノズルから前記基板に吐出塗布される前記各ラインにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、前記各アクチュエータに与える指令電圧を調整する指令電圧調整器を備えたインクジェット塗布装置において、
前記指令電圧調整器の指令電圧に対して前記各ノズルから吐出される液滴量に所定の範囲内でばらつき量を付加するノイズ電圧を前記各ノズル毎に付加するノイズ発生手段と、
前記ノイズ発生手段からのノイズ電圧を前記指令電圧に重畳させる重畳手段と、を具備し、
前記ノイズ発生手段からのノイズ電圧Vnは、(2ライン間のライン内液滴量平均値の差)/(2ラインの液滴量平均)と、前記ノイズ電圧Vnと、前記指令電圧VcのVn/Vcが一致するとして得られる数値に基づいて決定することを特徴とするインクジェット塗布装置。
A row arrangement in which a plurality of pixels are spaced apart from each other in a predetermined direction in a predetermined region on a substrate constituting the display device, which is used for applying a light emitting material to form a light emitting layer of an organic EL display device. A plurality of nozzles for ejecting and applying an ink droplet amount made of the same kind of light emitting material as the light emitting material to each of the pixels is formed in the column direction. an inkjet head arranged, ink droplets in each line the plurality of actuators controlled in accordance with the respective command voltage amount of ink droplets ejected from each nozzle to be discharged applied from said each nozzle to the substrate In order to align the average value of the amount to a predetermined value, in an inkjet coating apparatus including a command voltage adjuster that adjusts a command voltage applied to each actuator,
A noise generating means for adding the command voltage regulator of the noise voltage you added variation amount within a predetermined range in drop volume ejected from the nozzles against the command voltage to each of said nozzle,
Anda superimposing means for superimposing a noise voltage from said noise generating means to said command voltage,
The noise voltage Vn from the noise generating means is ( difference in average droplet amount between two lines) / (average droplet amount in two lines), the noise voltage Vn, and Vn of the command voltage Vc. / Vc inkjet coating apparatus and determines on the basis of the numerical values obtained by the that match.
有機EL表示装置の発光層を形成するために発光材料の塗布に用いられ、前記表示装置を構成する基板上の所定の領域内に、この行方向に複数の画素を互いに間隔を存した行配置画素群であるラインを、列方向に複数列形成するためのものであって、前記各画素に前記発光材料と同種の発光材料からなるインク液滴量を吐出塗布する複数のノズルが列方向に配置されたインクジェットヘッドと、前記各ノズルから吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電圧に応じて制御する複数のアクチュエータを備えたインクジェットヘッド機構と、
前記各ノズルから前記基板に吐出塗布される前記各ラインにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、前記各アクチュエータに与える指令電圧を調整する指令電圧調整器と、
前記指令電圧調整器の指令電圧に対して前記各ノズルから吐出される液滴量に所定の範囲内でばらつき量を付加するノイズ電圧を前記各ノズル毎に付加するノイズ発生手段と、
前記ノイズ発生手段からのノイズ電圧を前記指令電圧に重畳させる重畳手段と、
を具備したインクジェット塗布装置により
記基板上の行方向に形成される複数の画素からなる行配置画素群毎に前記インク液滴量を所定の範囲内で、前記ノイズ発生手段及び前記重畳手段によりノイズ値が前記各アクチュエ−タに与えられ、これにより前記各ノズルからのインク液滴量をばらつかせるようにし、
前記ノイズ発生手段からのノイズ電圧Vnは、(2ライン間のライン内液滴量平均値の差)/(2ラインの液滴量平均)と、前記ノイズ電圧Vnと、前記指令電圧VcのVn/Vcが一致するとして得られる数値に基づいて決定することを特徴とする有機EL表示装置の製造方法。
A row arrangement in which a plurality of pixels are spaced apart from each other in a predetermined direction in a predetermined region on a substrate constituting the display device, which is used for applying a light emitting material to form a light emitting layer of an organic EL display device. A plurality of nozzles for ejecting and applying an ink droplet amount made of the same kind of light emitting material as the light emitting material to each of the pixels is formed in the column direction. an inkjet head arranged, an inkjet head mechanism having a plurality of actuators for controlling in response to each command voltage amount of ink droplets ejected from each nozzle,
A command voltage adjuster for adjusting a command voltage applied to each actuator in order to align an average value of the ink droplet amount in each line applied to the substrate from each nozzle to a predetermined value;
Noise generating means for adding, for each nozzle, a noise voltage that adds a variation amount within a predetermined range to the amount of droplets ejected from each nozzle with respect to the command voltage of the command voltage regulator;
Superimposing means for superimposing a noise voltage from the noise generating means on the command voltage;
The inkjet application apparatus having a
The pre-Symbol the amount of ink droplets each of a plurality of rows arranged group of pixels consisting of pixels formed in a row direction on the substrate within a predetermined range, said noise generating means and the noise value each actuator by said superimposing means - So that the amount of ink droplets from each nozzle can be dispersed,
The noise voltage Vn from the noise generating means is ( difference of average droplet amount in two lines) / (average droplet amount in two lines), the noise voltage Vn, and Vn of the command voltage Vc. a method of manufacturing an organic EL display device characterized by / Vc is determined based on the number value obtained by the matching.
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