KR20070046461A - Method for fabricating ink pattern, method for fabricating liquid crystal display and organic electroluminescence display including the same - Google Patents
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Abstract
패턴의 불균일성이 완화된 잉크 패턴 형성 방법, 이를 포함하는 액정 표시장치의 제조 방법 및 이를 포함하는 유기 EL 표시 장치의 제조 방법이 제공된다. 잉크 패턴 형성 방법은 격벽으로 둘러싸인 패턴 홈이 구비되어 있는 기판을 제공하는 단계 및 잉크젯 헤드를 이동하면서 잉크젯 헤드에 구비된 잉크 노즐로부터 패턴 홈에 잉크 드롭을 분사하는 단계를 포함하되, 잉크 드롭을 분사하는 단계는 패턴 홈에 분사되는 이웃하는 잉크 드롭 간의 간격 및/또는 잉크 드롭의 부피를 패턴 홈의 영역에 따라 다르게 조절하여 분사하는 단계이다.Provided are an ink pattern forming method in which pattern nonuniformity is alleviated, a manufacturing method of a liquid crystal display including the same, and a manufacturing method of an organic EL display including the same. An ink pattern forming method includes providing a substrate having a pattern groove surrounded by a partition wall, and spraying an ink drop from the ink nozzle provided in the ink jet head to the pattern groove while moving the ink jet head, wherein the ink drop is sprayed. The step of spraying by controlling the interval between the adjacent ink drops and / or the volume of the ink drop is sprayed to the pattern groove according to the region of the pattern groove.
잉크젯 장치, 패턴 홈, 격벽, 액정 표시 장치, 유기 EL 표시 장치 Inkjet Device, Pattern Groove, Bulkhead, Liquid Crystal Display, Organic EL Display
Description
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 장치를 이용한 잉크 패턴 형성 방법을 나타내는 개략적인 평면도이고,1 is a schematic plan view showing a method of forming an ink pattern using an inkjet device according to a first embodiment of the present invention,
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드로부터의 실제 잉크 분사 방향을 나타내는 개략적인 단면도이고,2 is a schematic cross-sectional view showing the actual ink ejection direction from the inkjet head according to the first embodiment of the present invention,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 상에 잉크가 분사되는 영역을 나타내는 개략적인 단면도이고,3 is a schematic cross-sectional view showing a region where ink is injected onto a substrate according to the first embodiment of the present invention,
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 드롭의 분포를 나타내는 단면도이고,4 is a cross-sectional view showing a distribution of ink drops ejected by the method according to the first embodiment of the present invention,
도 5 및 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크 패턴 형성 방법의 공정 단계별 단면도들이고,5 and 6 are cross-sectional views of the process step of the ink pattern forming method according to the first embodiment of the present invention,
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 드롭의 분포를 나타내는 단면도이고,7 is a cross-sectional view showing the distribution of ink drops ejected by the method according to the second embodiment of the present invention,
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크 패턴 형성 방법을 설명하기 위한 단면도이고,8 is a cross-sectional view for describing an ink pattern forming method according to a third exemplary embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 드롭의 분포를 나타내는 단면도이고,9 is a cross-sectional view showing the distribution of ink drops ejected by the method according to the third embodiment of the present invention,
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 드롭의 분포를 나타내는 단면도이고,10 is a cross-sectional view showing the distribution of ink drops ejected by the method according to the fourth embodiment of the present invention,
도 11은 본 발명의 제5 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 패턴의 분포를 나타내는 단면도이고,11 is a cross-sectional view showing the distribution of the ink pattern ejected by the method according to the fifth embodiment of the present invention,
도 12는 본 발명의 제6 실시예에 따른 잉크 드롭의 분사 제어 방법을 나타내는 순서도이고,12 is a flowchart illustrating a method of controlling the ejection of ink drops according to a sixth embodiment of the present invention.
도 13은 본 발명의 실시예들에 따른 평판 표시 장치의 개략적인 평면도이고,13 is a schematic plan view of a flat panel display device according to an embodiment of the present invention;
도 14는 본 발명의 제7 실시예에 따른 방법으로 제조된 액정 표시 장치의 단면도이고,14 is a cross-sectional view of a liquid crystal display manufactured by a method according to a seventh embodiment of the present invention;
도 15는 본 발명의 제8 실시예에 따른 방법으로 제조된 유기 EL 표시 장치의 단면도이다.Fig. 15 is a sectional view of an organic EL display device manufactured by the method according to the eighth embodiment of the present invention.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10: 잉크젯 헤드 11: 잉크젯 노즐10: inkjet head 11: inkjet nozzle
20: 기판 22: 격벽20: substrate 22: partition wall
23: 패턴 홈 30: 잉크 드롭23: pattern groove 30: ink drop
본 발명은 잉크 패턴 형성 방법, 이를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법 및 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 잉크젯 장치를 이용한 잉크 패턴 형성 방법 및 이를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법 및 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에에 관한 것이다.The present invention relates to an ink pattern forming method, a manufacturing method of a liquid crystal display device including the same, and a manufacturing method of an organic EL display device, and more particularly, to an ink pattern forming method using an inkjet device and to manufacturing a liquid crystal display device including the same. A method and a manufacturing method of an organic EL display device.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시 장치에 대한 요구도 다양한 형태로 변화하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 유기 EL 표시 장치(Electro Luminescent Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 등 여러가지 평판 표시 장치(Flat Panel Display)가 개발되어 다양한 분야에서 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is changing in various forms, and in recent years, liquid crystal displays, organic luminescent displays, and plasma display panels have been developed. Various flat panel displays have been developed and used in various fields.
액정 표시 장치나 유기 EL 표시 장치 등의 평판 표시 장치는 화질이 우수하고, 경량, 박형, 저소비 전력의 장점을 갖기 때문에 몇몇 영역에서는 이미 브라운관을 대체하고 있다. 액정 표시 장치는 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어진 액정 패널을 포함하며, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절한다. 또한 유기 EL 표시 장치는 형광성 유기 물질을 전기적으로 여기 발광시켜 화상을 표시한다. Flat panel displays, such as liquid crystal displays and organic EL displays, have already replaced CRTs in some areas because of their excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption. The liquid crystal display includes a liquid crystal panel including two substrates on which electrodes are formed and a liquid crystal layer interposed therebetween, and applies a voltage to the electrodes to rearrange the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer to determine the amount of light transmitted. Adjust In addition, the organic EL display device displays an image by electrically exciting an fluorescent organic material.
한편 액정 표시 장치와 유기 EL 표시 장치에는 다양한 패터닝 공정이 수반되는데, 일반적으로 사용되는 패터닝 공정으로는 포토레지스트막을 사용하는 사진 식각 공정을 들 수 있다. 그러나 사진 식각 공정은 공정이 복잡하고, 비용이 많이 들 게 된다. 이를 개선하기 위해 많은 공정에서 종래의 사진 식각 공정 대신에 잉크젯 인쇄 장치를 이용하여 패턴을 형성하는 방법들이 연구되고 있다.On the other hand, the liquid crystal display and the organic EL display device are accompanied with various patterning processes, a photolithography process using a photoresist film is commonly used as a patterning process. However, the photolithography process is complicated and expensive. In order to improve this, many methods for forming a pattern using an inkjet printing apparatus instead of the conventional photolithography process have been studied.
대표적으로 잉크젯 인쇄 장치를 이용한 패턴 형성 방법이 적용되는 분야로는 액정 표시 장치의 컬러 필터, 컬럼 스페이서 등의 형성 공정을 들 수 있으며, 유기 EL 표시 장치에서는 유기 발광층이나, 정공 수송층 등의 형성 공정 분야를 들 수 있다.Representative applications of the pattern forming method using an inkjet printing apparatus include a process of forming a color filter and a column spacer of a liquid crystal display, and in the organic EL display, a process of forming an organic light emitting layer or a hole transporting layer. Can be mentioned.
상기한 바와 같은 잉크젯 인쇄 장치를 이용한 공정에는 잉크를 함유하기 위한 뱅크 형상의 구조물이 요구된다. 예컨대 액정 표시 장치의 블랙 매트릭스나, 유기 EL 표시 장치의 격벽이 이에 해당된다고 할 수 있다. 그러나, 잉크가 뱅크 구조물에 의해 둘러싸인 영역에 공급될 때, 잉크젯의 이동 방향 및 이동 속도 등에 의해 하나의 구조물 내에 공급되는 잉크의 양의 달라지며, 액상 잉크의 표면 장력 또는 표면 에너지의 차이에 의해 뱅크 구조물 내부를 완전히 채우지 못하게 된다. 그에 따라 패터닝되는 구조물 두께가 불균일하게 형성된다.The process using the inkjet printing apparatus as described above requires a bank-shaped structure for containing ink. For example, it can be said that the black matrix of a liquid crystal display device and the partition of an organic EL display device correspond to this. However, when ink is supplied to the area enclosed by the bank structure, the amount of ink supplied in one structure varies depending on the moving direction and the moving speed of the inkjet, and the bank is caused by the difference in surface tension or surface energy of the liquid ink. It will not be able to completely fill the inside of the structure. The patterned structure thickness is thereby formed nonuniformly.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 잉크 패턴의 불균일성이 완화된 잉크 패턴 형성 방법을 제공하고자 하는 것이다.It is an object of the present invention to provide an ink pattern forming method in which the nonuniformity of an ink pattern is alleviated.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기한 바와 같은 잉크 패턴 형성 방법을 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device including the ink pattern forming method as described above.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기한 바와 같은 잉크 패턴 형성 방법을 포함하는 유기 EL 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing an organic EL display device including the ink pattern forming method as described above.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 잉크 패턴 형성 방법은 격벽으로 둘러싸인 패턴 홈이 구비되어 있는 기판을 제공하는 단계 및 잉크젯 헤드를 이동하면서 상기 잉크젯 헤드에 구비된 잉크 노즐로부터 상기 패턴 홈에 잉크 드롭을 분사하는 단계를 포함하되, 상기 잉크 드롭을 분사하는 단계는 상기 패턴 홈에 분사되는 이웃하는 상기 잉크 드롭 간의 간격 및/또는 상기 잉크 드롭의 부피를 상기 패턴 홈의 영역에 따라 다르게 조절하여 분사하는 단계이다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a method of forming an ink pattern, the method including: providing a substrate having a pattern groove surrounded by a partition; and moving the ink jet head from the ink nozzle provided in the ink jet head. And injecting an ink drop into the groove, wherein the spraying of the ink drop may vary depending on the area of the pattern groove, and / or the volume of the ink drop and the interval between the neighboring ink drops injected into the pattern groove. Adjusting and spraying.
상기 또 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 절연 기판 상에 화소의 가장자리에 뱅크 형상의 블랙 매트릭스 패턴을 형성하는 단계 및 잉크젯 헤드를 이동하면서 상기 잉크젯 헤드에 구비된 잉크 노즐로부터 상기 블랙 매트릭스 패턴으로 둘러싸인 공간에 잉크 드롭을 분사하는 단계를 포함하되, 상기 잉크 드롭을 분사하는 단계는 상기 블랙 매트릭스 패턴으로 둘러싸인 공간에 분사되는 이웃하는 상기 잉크 드롭 간의 간격 및/또는 상기 잉크 드롭의 부피를 상기 블랙 매트릭스 패턴으로 둘러싸인 공간 내에서의 영역에 따라 다르게 조절하여 분사하는 단계인 컬러 필터를 형성하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display device, which includes forming a bank-shaped black matrix pattern on an edge of a pixel on an insulating substrate and moving the ink jet head. And spraying an ink drop into a space surrounded by the black matrix pattern from an ink nozzle provided in the ink nozzle, wherein the spraying of the ink drop comprises: spacing between neighboring ink drops sprayed into the space surrounded by the black matrix pattern; And / or forming a color filter which is sprayed by adjusting the volume of the ink drop differently according to an area within a space surrounded by the black matrix pattern.
상기 또 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은 화소마다 전극층이 형성된 절연 기판 상에 상기 전극층과 일부 중첩하도록 화소의 가장자리에 격벽을 형성하는 단계 및 잉크젯 헤드를 이동하면서 상기 잉크젯 헤드에 구비된 잉크 노즐로부터 상기 격벽으로 둘러싸인 공간에 잉크 드롭을 분사하는 단계를 포함하되, 상기 잉크 드롭을 분사하는 단계는 상기 격벽으로 둘러싸인 공간에 분사되는 이웃하는 상기 잉크 드롭 간의 간격 및/또는 상기 잉크 드롭의 부피를 상기 격벽으로 둘러싸인 공간 내에서의 영역에 따라 다르게 조절하여 분사하는 단계인 유기 발광층을 형성하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an organic EL display device, including forming a barrier rib on an edge of a pixel so as to partially overlap the electrode layer on an insulating substrate on which an electrode layer is formed for each pixel, and an inkjet device. Spraying an ink drop into a space enclosed by the partition wall from an ink nozzle provided in the inkjet head while moving the head, wherein ejecting the ink drop comprises ejecting the ink drop adjacent to the space enclosed by the partition wall; And forming an organic light emitting layer, which is a step of spraying by controlling the interval between and / or the volume of the ink drop differently according to a region within the space surrounded by the partition wall.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims. In the drawings, the sizes and relative sizes of layers and regions may be exaggerated for clarity.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)"또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다. The spatially relative terms " below ", " beneath ", " lower ", " above ", " upper " It may be used to easily describe the correlation of a device or components with other devices or components. Spatially relative terms are to be understood as including terms in different directions of the device in use or operation in addition to the directions shown in the figures. For example, when flipping a device shown in the figure, a device described as "below" or "beneath" of another device may be placed "above" of another device. Thus, the exemplary term "below" can encompass both an orientation of above and below. The device can also be oriented in other directions, so that spatially relative terms can be interpreted according to orientation.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 잉크 패턴 형성 방법에 대해 설명한다. Hereinafter, an ink pattern forming method according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 장치를 이용한 잉크 패턴 형성 방법을 나타내는 개략적인 평면도이다. 도 1에서는 잉크젯 장치 중 잉크젯 헤드(10)만이 도시되어 있다.1 is a schematic plan view showing an ink pattern forming method using an inkjet device according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, only the
도 1을 참조하면, 컬러 패턴이 형성되는 대상 기판(20)은 격벽(22)과 격벽(22)에 의해 둘러싸인 매트릭스 모양의 오목한 공간(23)(이하, '패턴 홈'이라 칭한다)을 포함한다. 격벽(22)은 예컨대 빛이 투과하지 않는 물질로 이루어지거나, 이들로 이루어진 층을 포함한 다층 구조로 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 1, the
잉크젯 헤드(10)는 기판(20)에 잉크를 제공하는 역할을 한다. 잉크젯 헤드(10)에는 다수개의 노즐(11)이 구비되어 있다. 다수개의 노즐(11)은 예컨대 하나의 직선상에 배치될 수 있다. 바람직하기로는 이웃하는 노즐(11)간의 거리(l)가 모두 일정하게 배열될 수 있다.The
잉크젯 헤드(10)는 도 1의 화살표로 도시한 바와 같이 일정한 방향으로 이동하면서 노즐(11)을 통해 잉크를 분사한다. 분사되는 잉크의 양 및 분사 프리컨시(frequency)는 잉크젯 헤드(10)의 진동 폭 및 진동 프리컨시에 의해 결정된다. 잉크젯 헤드(10)의 진동은 예컨대 잉크젯 헤드(10)에 인가되는 전압에 의해 제어될 수 있다. 또한 기판(20)에 잉크 제공시, 기판(20)의 격벽(22)에는 잉크가 분사되지 않고, 패턴 홈(23)에만 잉크가 제공되는 것이 바람직한데, 이와 같은 잉크 분사의 프리컨시도 전압의 조절에 의해 동시에 제어될 수 있다.The
하나의 노즐(11)은 이동 방향과 일치하는 하나의 행에 속하는 패턴 홈(23)에 잉크를 공급한다. 만약, 이웃하는 노즐(11)간의 거리(l)와 패턴 홈(23)의 이웃하는 행 사이의 거리(h)가 일치하지 않는 경우, 잉크젯 헤드(10)를 패턴 홈(23)의 행과 경사지도록 하여, 노즐(11)이 각 패턴 홈(23)의 각 행에 정렬되도록 한다. 즉, 노즐(11)이 배열된 직선과 패턴 홈(23)의 행을 연결한 직선간의 각도를 θ라고 하면, 다음의 수학식 1을 만족하도록 θ를 조절한다.One
수학식 1.Equation 1.
상기와 같은 방법에 의해 잉크젯 장치의 노즐간 간격이 일정하게 고정되어 있다 하더라도, 다양한 행 간격을 갖는 패턴의 형성에 적용할 수 있다.Although the interval between nozzles of an inkjet apparatus is fixed by the above method, it can apply to formation of the pattern which has various row spacing.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크젯 헤드로부터의 실제 잉크 분사 방향을 나타내는 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view showing the actual ink ejection direction from the inkjet head according to the first embodiment of the present invention.
도 2를 참조하면, 노즐(11)로부터 분사된 잉크 드롭(drop)(30)은 수직 방향으로 일정한 이동 속도(vj)를 갖는다. 잉크 드롭(30)의 수직 이동 속도(vj)는 잉크젯 헤드(11)의 분사력에 따라 달라질 수 있는데, 예컨대 2,000 내지 9,000mm/s일 수 있다. Referring to FIG. 2, the
한편 잉크젯 헤드(11)는 예컨대, 수평으로 이동하기 때문에, 잉크 드롭(30)은 수평 방향의 이동 속도(vh)를 갖게 된다. 잉크(30)의 수평 이동 속도(vh)는 예컨대 200 내지 1,000mm/s일 수 있다. 따라서, 실제 잉크젯 헤드(11)로부터 분사되는 잉크 드롭(30)은 도 2에 도시된 바와 같이 수직 이동 속도(vj)와 수평 이동 속도(vh)의 벡터합의 속도(vd)로 이동하게 된다. 즉 잉크 드롭(30)의 실제 분사 방향은 수직 방향으로부터 소정 각도(Ф)만큼 경사를 이루게 된다.On the other hand, since the
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 상에 잉크가 분사되는 영역을 나타내는 개략적인 단면도이다. 도 3에서 화살표는 잉크젯 헤드가 이동하는 상태에서 잉크 드롭이 패턴 홈에 실제 분사되는 방향을 나타낸다.3 is a schematic cross-sectional view showing a region where ink is injected onto a substrate according to the first embodiment of the present invention. In FIG. 3, the arrow indicates the direction in which the ink drop is actually injected into the pattern groove while the inkjet head is moving.
도 3을 참조하면, 잉크 드롭의 실제 분사 방향이 기판(20)에 대한 수직 방향에 대하여 소정 각도(Ф)만큼 경사를 이루고 있기 때문에 A 영역에는 직접적인 잉크 분사가 이루어지지 않는다. 특히 공정 속도를 개선하기 위해 잉크젯 헤드의 이동 속도를 더욱 증가시키는 경우 수직 방향에 대한 분사 방향의 경사각(Ф)이 더욱 커지게 되므로, 직접적인 잉크 분사가 이루어지지 않는 A 영역의 면적이 더욱 넓어진다. 일단 패턴 홈(23)의 상면에 분사된 잉크 드롭은 액상이므로 분사 후 사방으 로 퍼지게 되지만, 상대적으로 A 영역은 패턴 홈(23)의 다른 영역에 비해 잉크의 두께가 얇거나 결핍될 수 있다. 따라서 상대적으로 도 3의 오른쪽으로 갈수록 두께가 두꺼워져, 잉크 패턴 두께의 불균일이 초래될 수 있다. 이를 개선하기 위해, A 영역, 즉 하나의 패턴 홈(23)에서 잉크가 분사되는 최초 영역에 상대적으로 많은 양의 잉크를 공급하게 되면, 상기한 바와 같은 잉크 패턴 두께의 불균일을 완화할 수 있다.Referring to FIG. 3, since the actual ejection direction of the ink drop is inclined by a predetermined angle? With respect to the vertical direction with respect to the
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 드롭의 분포를 나타내는 단면도이다. 이하의 실시예들 및 몇몇 도면들에서는 잉크 드롭의 형상을 편의상 구형(단면의 경우 원)으로 도시하였다. 이하의 실시예들에서, 잉크 드롭의 형상이 구형이며, 반지름이 R인 경우 잉크 드롭의 양은 으로 계산될 수 있지만, 잉크 드롭의 양의 상대적 비교가 용이하도록 편의상 R3으로 간략하게 표시될 것이다. 즉, 이하의 비교되는 잉크 드롭의 양은 상대적인 값으로 표현될 수 있다.4 is a cross-sectional view showing the distribution of ink drops ejected by the method according to the first embodiment of the present invention. In the following examples and some figures, the shape of the ink drop is shown as a sphere (circle in the cross section) for convenience. In the following embodiments, when the ink drop is spherical in shape and the radius is R, the amount of ink drop is Can be calculated, but will be briefly labeled R 3 for convenience to facilitate relative comparison of the amount of ink drop. That is, the amount of ink drops to be compared below can be expressed as a relative value.
도 4를 참조하면, 분사되는 잉크 드롭(30)의 상대적인 양(r3)은 각각 동일하나, 분사된 잉크 드롭(30) 사이의 간격(d1, d2, d3, d4, d5)이 동일하지 않다. 즉, 잉크 드롭 사이의 적어도 하나의 간격은 다른 간격과 다르도록 배치되어 있다. 바람직하기로는 A 영역에 인접한 잉크 드롭과 그에 이웃하는 잉크 드롭 사이의 간격(예컨대, d1)이 A 영역에서 멀리 떨어져 있는 이웃하는 잉크 드롭 사이의 간격(예컨 대, d5)보다 작을 수 있다. 즉, 이웃하는 잉크 드롭간의 간격이 A영역으로부터 멀어질수록 같거나 더 커질 수 있다(d1≤d2≤d3≤d4≤d5). Referring to FIG. 4, the relative amounts r 3 of the ejected ink drops 30 are the same, respectively, but the intervals d 1 , d 2 , d 3 , d 4 , d 5 between the ejected ink drops 30 are identical. ) Is not the same. That is, at least one gap between the ink drops is arranged to be different from the other gaps. Preferably, the spacing (eg, d 1 ) between the ink drop adjacent to the area A and the neighboring ink drop may be smaller than the spacing (eg, d 5 ) between the neighboring ink drops far away from the area A. That is, the distance between neighboring ink drops may be the same or larger as the distance from the area A (d 1 ≤ d 2 ≤ d 3 ≤ d 4 ≤ d 5 ).
이와 같은 분사된 잉크 드롭(30)의 간격을 다르게 조절하는 방법으로는 이에 제한되는 것은 아니지만, 잉크젯 헤드의 속도를 조절하는 방법과 잉크 드롭 분사 주기를 변형하는 방법이 있다. 이중 잉크 드롭 분사 주기를 변형하는 방법은 잉크젯 장치에 큰 무리를 주지 않기 때문에 용이하게 적용될 수 있다. 즉, 상술한 바와 같이 잉크 드롭의 분사는 잉크젯 헤드에 가해지는 전압으로 제어되는데, 이와 같은 전압의 인가 주기를 변화시킴으로써, 용이하게 잉크 드롭 분사 주기를 변화시킬 수 있다. Such a method of differently controlling the spacing of the ejected
도 5 및 도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 잉크 패턴 형성 방법의 공정 단계별 단면도들이다.5 and 6 are cross-sectional views of the process steps of the ink pattern forming method according to the first embodiment of the present invention.
도 5를 참조하면, 도 4의 단계에서 패턴 홈(23)에 분사된 잉크 드롭은 사방으로 퍼지면서 도 5에 도시된 바와 같이 패턴 홈(23)을 채우며, 하나로 뭉쳐지게 된다. 이때, 도 4에서 설명한 방법에 의해 A 영역에 인접하여 더욱 많은 양의 잉크가 공급되므로, 실제 분사가 이루어지지 않은 A 영역으로 잉크가 퍼지는 양이 상대적으로 많아지게 된다. 따라서 A 영역에 잉크의 결핍 등에 따른 두께 불균일이 완화될 수 있다. Referring to FIG. 5, the ink drops injected into the
이와 같이 하나로 뭉쳐진 액상의 잉크 패턴(31)을 건조시키게 되면, 도 6에 도시된 바와 같은 두께 불균일이 완화된 고상의 잉크 패턴(32)이 형성된다.As such, when the
도 7은 본 발명의 제2 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 드롭의 분포를 나타내는 단면도이다. 7 is a cross-sectional view showing the distribution of ink drops ejected by the method according to the second embodiment of the present invention.
도 7을 참조하면, 본 실시예에서는 도 4의 실시예에서와는 달리 분사되는 잉크 드롭(30) 사이의 간격(d)은 일정하나, 분사된 잉크 드롭(30)의 상대적인 양(r1 3, r2 3, r3 3, r4 3, r5 3, r6 3)이 동일하지 않다. 즉, 분사된 잉크 드롭의 적어도 하나가 다른 잉크 드롭들과 부피가 다르도록 배치되어 있다. 바람직하기로는 A 영역에 인접한 잉크 드롭의 양(예컨대, r1 3)이, A 영역에서 멀리 떨어져 있는 잉크 드롭의 양(예컨대, r6 3)보다 클 수 있다. 즉, 잉크 드롭의 양이 A 영역으로부터 멀어질수록 같거나 더 작아지도록 배치될 수 있다(r1 3≥r2 3≥r3 3≥r4 3≥r5 3≥r6 3).Referring to FIG. 7, in this embodiment, unlike in the embodiment of FIG. 4, the distance d between the ejected ink drops 30 is constant, but the relative amounts r 1 3 and r of the ejected ink drops 30 are constant. 2 3 , r 3 3 , r 4 3 , r 5 3 , r 6 3 ) are not the same. That is, at least one of the ejected ink drops is arranged to be different in volume from other ink drops. Preferably the amount of ink drop adjacent to area A (eg, r 1 3 ) may be greater than the amount of ink drop away from area A (eg, r 6 3 ). That is, it can be arranged to be equal to the amount of ink drop smaller the farther from the area A or more (r 1 3 ≥r 2 3 ≥r 3 3 ≥r 4 3 ≥r 5 3 ≥r 6 3).
이와 같은 잉크 드롭(30)의 주기별 분사량은 잉크젯 헤드에 인가되는 전압을 조절함으로써 용이하게 조절될 수 있다.The period-specific injection amount of the
본 실시예에 따른 방법으로 분사된 액상 잉크 드롭(30)은 사방으로 퍼지면서, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같은 단계를 거쳐 고상의 잉크 패턴을 형성하게 된다.The
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 잉크 패턴 형성 방법을 설명하기 위한 단면도이다. 도 9는 본 발명의 제3 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 드롭의 분 포를 나타내는 단면도이다. 8 is a cross-sectional view for describing an ink pattern forming method according to a third exemplary embodiment of the present invention. 9 is a cross-sectional view showing the distribution of ink drops ejected by the method according to the third embodiment of the present invention.
도 8에서 화살표로 나타낸 직선(m)은 수직 방향에 대하여 소정 각도(Ф) 경사진 잉크 드롭(30)의 실제 분사 방향을 가지며, 격벽(22)의 상측 모서리를 통과하는 직선을 나타낸다. A straight line m indicated by an arrow in FIG. 8 has a real jetting direction of the
잉크젯 헤드로부터 분사된 잉크 드롭(30)은 격벽(22)에 닿지 않아야 하기 때문에, 도 8에서 최소한 직선(m)의 오른쪽으로 분사되어야 한다. 이때 패턴 홈(23)을 골고루 채워 평탄화하기 위해서는 최초 패턴 홈(23)에 도달한 잉크 드롭(30)은 최대한 직선(m)에 가깝게 위치하여야 하며, 바람직하기로는 직선(m)에 접하여야 한다. Since the
도 8에서는 이러한 조건을 만족하는 서로 다른 반지름(R1<R2)을 갖는 2개의 잉크 드롭이 도시되어 있다. 도 8을 참조하면, 작은 반지름(R1)을 갖는 잉크 드롭이 큰 반지름(R2)을 갖는 잉크 드롭에 비해, 격벽(22)와 패턴 홈(23)이 만나는 모서리 부분(A 영역)과 떨어진 공간이 더 작음을 알 수 있다. 즉, 잉크 드롭(30)의 반지름이 작아지게 되면, 잉크(30)가 직접적으로 분사되지 않는 공간이 줄어들게 된다.In FIG. 8 two ink drops with different radii R 1 <R 2 satisfying this condition are shown. Referring to FIG. 8, an ink drop having a small radius R 1 is far from an edge portion (area A) where the
도 9를 참조하면, A 영역에 인접하여 반지름이 작은 잉크(30)가 배치되어 있으며, A 영역에서 멀어질수록 잉크(30)의 반지름이 커지되(R11<R12<R13), 잉크 드롭(30)이 더욱 중첩되도록 배치되어 있다. A 영역으로부터 더욱 멀어지게 되면, 통상의 방법으로 배치가 이루어지거나, 본 발명의 제1 실시예 또는 제2 실시예에서와 동일하게 잉크 드롭(30)이 배치될 수 있다. 즉, A 영역에 인접한 잉크 드롭(30)의 분포는 다른 영역과 별개로 잉크 드롭의 양 및 간격이 조절된다. 이로써, A 영역에 제공되는 잉크의 양을 더욱 증가시킬 수 있으며, 잉크 패턴의 불균일이 완화될 수 있다.Referring to FIG. 9, the
이상 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에서는 하나의 패턴 홈(23)에서 잉크 드롭이 분사되는 최초 영역에 상대적으로 많은 양의 잉크를 공급하는 다양한 방법이 개시되어 있는데, 필요에 따라 상기한 방법들이 서로 조합될 수 있음은 물론이다.In the first to third embodiments of the present invention, various methods for supplying a relatively large amount of ink to a first region where ink drops are ejected from one
한편, 분사되는 잉크의 점도, 분사량, 분사 프리컨시 등의 조건에 따라서는 잉크 드롭이 분사되는 최초 영역 이외의 영역에 두께 불균일이 발생할 수도 있다. 예컨대, 패턴 홈에 분사된 잉크 드롭은 액상이기 때문에 사방으로 퍼져서 하나로 뭉쳐지더라도 액체의 표면 장력에 의해 표면이 볼록한 형상을 할 수 있다. 이 경우 상대적으로 주변부의 두께가 얇아지게 된다. 이와 같은 현상을 개선하기 위한 방법에 대하여 도 10 및 도 11을 참조하여 설명하기로 한다.On the other hand, thickness nonuniformity may arise in the area | regions other than the initial area | region to which ink drop is sprayed according to the conditions, such as the viscosity, the injection quantity, injection pre-conciliation of the ink to be sprayed. For example, since the ink drop injected into the pattern groove is a liquid phase, the surface may be convex due to the surface tension of the liquid even if it spreads in all directions and aggregates into one. In this case, the thickness of the periphery becomes relatively thin. A method for improving such a phenomenon will be described with reference to FIGS. 10 and 11.
도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 드롭의 분포를 나타내는 단면도이다. 도 10을 참조하면, 잉크젯 헤드로부터 분사되어 패턴 홈(23) 상에 배치된 잉크 드롭(30)의 상대적인 양(r10 3)은 동일하지만, 이웃하는 잉크 드롭(30)간의 간격(d11, d12, d13, d14, d15)은 서로 다르게 배치되어 있다. 패턴 홈(23)의 주변부, 즉 도 10에서 패턴 홈(23)의 양측에 위치하는 이웃하는 잉크 드롭(30)간의 간격(d11, d15)은 중심부에 위치하는 잉크 드롭(30)간의 간격(d13)보다 좁다. 따라서 패턴 홈(23) 주변부에 상대적으로 많은 양의 잉크가 공급될 수 있어, 표면 장력에 의한 잉크 패턴 두께의 불균일을 완화할 수 있다.10 is a cross-sectional view showing the distribution of ink drops ejected by the method according to the fourth embodiment of the present invention. Referring to FIG. 10, the relative amount r 10 3 of the
도 11은 본 발명의 제5 실시예에 따른 방법으로 분사된 잉크 패턴의 분포를 나타내는 단면도이다. 도 11을 참조하면, 패턴 홈(23) 상에 배치된 잉크 드롭(30)간의 간격(d10)은 동일하지만, 분사된 잉크 드롭(30)의 상대적인 양(r11 3, r12 3, r13 3, r14 3, r15 3, r16 3)이 동일하지 않다. 패턴 홈(23)의 주변부에 위치하는 잉크 드롭의 양(예컨대 r11 3, r16 3)이 패턴 홈(23)의 중앙에 위치하는 잉크 드롭의 양(예컨대 r13 3, r14 3)보다 크도록 배치되어 있다. 따라서 패턴 홈(23) 주변부에 상대적으로 많은 양의 잉크가 공급될 수 있다.11 is a cross-sectional view showing the distribution of the ink pattern ejected by the method according to the fifth embodiment of the present invention. Referring to FIG. 11, the distance d 10 between the ink drops 30 disposed on the
이러한 본 발명의 제4 및 제5 실시예의 방법들은 서로 조합될 수 있다. 또한 잉크의 종류, 조건 등에 따라, 본 발명의 제1 내지 제5 실시예의 다양한 방법들이 서로 조합될 수 있다. 즉, 잉크 패턴의 특정 부위가 다른 곳에 비해 두껍거나 얇게 형성되는 경우, 분사되는 잉크 드롭의 양 및/또는 간격을 조절함으로써, 불균일 정도를 완화할 수 있다. 이와 같은 분사되는 잉크의 양 및/또는 간격의 제어는 잉크젯 장치의 내부 또는 외부에 설치된 제어 수단에 의해 이루어질 수 있다. 제어 수단에는 입력부 및 표시부가 구비되어 있다.These methods of the fourth and fifth embodiments of the present invention can be combined with each other. In addition, according to the kind, condition, etc. of the ink, various methods of the first to fifth embodiments of the present invention may be combined with each other. That is, when a specific portion of the ink pattern is formed thicker or thinner than other portions, the degree of nonuniformity can be alleviated by adjusting the amount and / or spacing of the ink drop ejected. Such control of the amount and / or spacing of the ejected ink can be made by control means provided inside or outside the inkjet apparatus. The control means is provided with an input portion and a display portion.
이하, 본 발명의 제1 내지 제5 실시예에서 언급된 분사되는 잉크 드롭의 양 및/또는 간격을 구체적으로 제어하는 방법에 대해 설명한다.Hereinafter, a method of specifically controlling the amount and / or spacing of the ejected ink drop mentioned in the first to fifth embodiments of the present invention will be described.
도 12는 본 발명의 제6 실시예에 따른 잉크 드롭의 분사 제어 방법을 나타내는 순서도이다.12 is a flowchart showing a method of controlling the ejection of an ink drop according to a sixth embodiment of the present invention.
도 12를 참조하면, 먼저 제어 수단의 입력부를 통해 드롭수, 드롭 간격 및 드롭양을 입력한다(S1).Referring to FIG. 12, first, a drop number, a drop interval, and a drop amount are input through an input unit of a control means (S1).
이어서, 상기 입력된 드롭 조건에 해당하는 시뮬레이션 화면을 표시부에 출력한다(S2). 이러한 시뮬레이션 화면을 기준으로 잉크 드롭 조건의 변형 여부를 결정한다(S3). 즉, 시뮬레이션 화면상 불량으로 나타나거나, 재조절할 필요성이 있으면, 해당 부분을 선택하여 드롭수, 드롭 간격 및 드롭양을 재입력하고(S4), 다시 시뮬레이션 화면을 출력한다. 이와 같은 드롭 조건을 재조정 및 시뮬레이션하는 단계는 시뮬레이션 화면이 정상으로 될 때까지 반복된다. Subsequently, a simulation screen corresponding to the input drop condition is output to the display unit (S2). Based on this simulation screen, it is determined whether or not the ink drop condition is deformed (S3). That is, if it appears as defective on the simulation screen or needs to be re-adjusted, the corresponding part is selected, the drop number, the drop interval, and the drop amount are input again (S4), and the simulation screen is output again. The steps for recalibrating and simulating such drop conditions are repeated until the simulation screen is normal.
시뮬레이션 화면으로부터 드롭수, 드롭 간격 및 드롭양에 이상이 없으면, 그로부터 계산된 분사 프리컨시가 잉크젯 헤드의 정상 범위 내에 속하는지 판단한다(S5). 잉크젯 헤드는 각 기종별로 최대 가능한 분사 프리컨시가 정해져 있기 때문에, 이를 초과할 수 없다. 구체적으로, 잉크젯 헤드의 이동 속도가 일정하다고 가정하면, 분사 프리컨시는 잉크 드롭 간격과 관계된다. 즉, 잉크가 최대 프리컨시로 분사될 경우 드롭 간격은 최소가 된다. 따라서, 드롭 조건에서 정한 드롭 간격이 최대 프리컨시에 대응하는 드롭 간격보다 더 작을 때에는 최대 프리컨시보다 더 높은 프리컨시로 분사하여야 하기 때문에, 잉크젯 헤드의 분사 능력을 초과한다. 이는 형성되는 잉크 패턴 불량 및/또는 장치 고장을 초래하게 된다. 따라서 이 경우에는 드롭 조건을 처음부터 재조정하여야 한다. If there is no abnormality in the drop number, drop interval, and drop amount from the simulation screen, it is determined whether the spraying pre-conciliation calculated therefrom falls within the normal range of the inkjet head (S5). The inkjet head cannot exceed this because the maximum possible jetting priority is determined for each model. Specifically, assuming that the moving speed of the inkjet head is constant, the jetting pre-conciliation is related to the ink drop interval. That is, the drop interval is minimum when the ink is ejected in the maximum degree of decency. Therefore, when the drop interval defined by the drop condition is smaller than the drop interval corresponding to the maximum pre-conciliation, the injection capability of the inkjet head is exceeded, since the injection must be performed with a higher pre-concierge than the maximum pre-conciliation. This will result in defective ink patterns and / or device failures. In this case, the drop condition must be readjusted from the beginning.
드롭 조건에 따른 분사 프리컨시가 잉크젯 헤드의 정상 분사 프리컨시 범위 이내이면, 이와 같은 조건을 메모리에 입력시키고, 잉크를 기판 상에 분사하기 시작한다(S6). 여기서, 잉크가 분사된 기판의 불량 여부에 대한 검사가 동시에 또는 후속하여 진행될 수 있다.If the spraying precondition according to the drop condition is within the normal jetting preci- sion range of the inkjet head, such a condition is input into the memory and the ink is sprayed onto the substrate (S6). Here, the inspection as to whether or not the substrate on which the ink is jetted may be performed simultaneously or subsequently.
계속해서, 본 발명의 실시예들에 따른 잉크 패턴 형성 방법이 적용된 평판 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다. 평판 표시 장치의 예로서는 액정 표시 장치, 유기 EL 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치 등이 있다.Next, a method of manufacturing a flat panel display device to which an ink pattern forming method according to embodiments of the present invention is applied will be described. Examples of flat panel displays include liquid crystal displays, organic EL displays, and plasma display devices.
도 13은 본 발명의 실시예들에 따른 평판 표시 장치의 개략적인 평면도이다. 도 13을 참조하면, 평판 표시 장치는 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 빛을 내는 영역이 매트릭스 형상으로 반복된 구조를 갖는다. 상기 적색, 녹색, 청색을 구현하는 영역의 각각이 하나의 화소가 되며, 이웃하는 적색, 녹색, 청색 화소들이 모여 하나의 도트(dot)를 이루게 된다.13 is a schematic plan view of a flat panel display device according to example embodiments. Referring to FIG. 13, the flat panel display has a structure in which red, green, and blue light emitting regions are repeated in a matrix form. Each of the regions for implementing the red, green, and blue colors becomes one pixel, and neighboring red, green, and blue pixels gather to form a dot.
도 14는 본 발명의 제7 실시예에 따른 방법으로 제조된 액정 표시 장치의 단면도이다. 도 14를 참조하면, 액정 표시 장치(400)의 제1 절연 기판(210) 상에 게이트 전극(220)이 형성되어 있고, 게이트 전극(220) 위에는 게이트 절연막(230)이 형성되어 있다. 반도체층(240)은 게이트 전극(220)과 적어도 일부가 중첩하되, 게이트 절연막(230)에 의해 절연되도록 배치된다. 반도체층(240) 위에는 저항성 접촉층(255, 256)을 개재하여 소스 전극(265)과 드레인 전극(266)이 형성되어 있으며, 드레인 전극은 화소 전극(280)과 연결되어 있다.14 is a cross-sectional view of a liquid crystal display manufactured by a method according to a seventh embodiment of the present invention. Referring to FIG. 14, a
한편, 제1 절연 기판(210)과 대향하는 제2 절연 기판(310) 아래에는 블랙 매 트릭스(320)가 형성되어 있다. 블랙 매트릭스(320)는 빛을 차단하여, 빛샘 현상을 방지하는 역할을 한다. 블랙 매트릭스(320)는 유기물을 포함할 수 있다. 또한, 블랙 매트릭스(320)는 카본 블랙을 포함할 수 있다.Meanwhile, a
블랙 매트릭스(320)는 화소 주변에서 뱅크 모양으로 형성되어 있으며, 격자형으로 배열된다. 블랙 매트릭스(320) 사이의 화소 영역에는 적색(330R), 녹색(330G), 청색(330B) 필터가 채워져 있다. 여기서 컬러 필터(330)는 잉크젯 인쇄 장치를 이용하여 형성될 수 있다. 이때 구체적인 형성 방법은 앞서 언급한 본 발명의 제1 내지 제5 실시예 등에서 설명된 방법이 적용될 수 있으며, 중복 설명은 생략한다. 블랙 매트릭스(320) 및 컬러 필터(330) 아래에는 평탄화막(340) 및 공통 전극(350)이 형성되어 있다.The
제1 절연 기판(210)과 제2 절연 기판(310)은 스페이서(320)에 의해 셀갭이 유지되고 있으며, 셀갭 내에는 액정 분자(370)가 채워져 있다. 도 14에서는 스페이서로서 컬럼 스페이서가 형성되어 있다. 액정 분자(380)가 이루는 액정층의 위, 아래에는 액정 분자(380)에 배향력을 부여하는 배향막(290, 360)이 위치한다.The cell gap is maintained by the
도 15는 본 발명의 제8 실시예에 따른 방법으로 제조된 유기 EL 표시 장치의 단면도이다.Fig. 15 is a sectional view of an organic EL display device manufactured by the method according to the eighth embodiment of the present invention.
도 15를 참조하면, 유기 EL 표시 장치(500)는 유리 등으로 이루어진 절연 기판(510) 상에 화소마다 제1 전극층(520)이 형성되어 있다. 제1 전극층(520) 위에는 격벽(530)이 형성되어 있다. 격벽(530)은 하나의 화소 영역을 둘러싸도록 형성된다. 격벽(530)으로 둘러싸인 공간에는 정공 수송층(540)이 형성된다. 정공 수송층 (540) 상에는 유기 물질로 이루어진 적색 발광층(550R), 녹색 발광층(550G), 청색 발광층(550B)이 형성되어 있다. 여기서 격벽(530)으로 둘러싸인 공간 내에 형성되는 정공 수송층(540) 및 유기 발광층(550R, 550G, 550B)은 본 발명의 제1 내지 제5 실시예에 따른 방법으로 형성함으로써, 균일한 두께로 형성될 수 있다. 유기 발광층(550) 위에는 제2 전극층(560)이 형성되어 제1 전극층(520)에 대한 음극으로 작용한다. Referring to FIG. 15, in the organic
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments but may be manufactured in various forms, and having ordinary skill in the art to which the present invention pertains. It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 잉크 패턴 형성 방법에 의하면, 분사되는 잉크의 양을 대응되는 기판 상의 영역에 따라 용이하게 조절할 수 있다. 따라서, 분사되는 잉크 양의 차이에 따른 잉크 패턴 두께의 불균일화가 완화될 수 있다. As described above, according to the ink pattern forming method according to the embodiments of the present invention, the amount of ink to be ejected can be easily adjusted according to the area on the corresponding substrate. Therefore, the nonuniformity of the ink pattern thickness due to the difference in the amount of ink ejected can be alleviated.
Claims (14)
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KR1020050103195A KR20070046461A (en) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | Method for fabricating ink pattern, method for fabricating liquid crystal display and organic electroluminescence display including the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050103195A KR20070046461A (en) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | Method for fabricating ink pattern, method for fabricating liquid crystal display and organic electroluminescence display including the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070046461A true KR20070046461A (en) | 2007-05-03 |
Family
ID=38271805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050103195A KR20070046461A (en) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | Method for fabricating ink pattern, method for fabricating liquid crystal display and organic electroluminescence display including the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20070046461A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9634041B2 (en) | 2014-01-14 | 2017-04-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Display apparatus and method of manufacturing the same |
-
2005
- 2005-10-31 KR KR1020050103195A patent/KR20070046461A/en not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9634041B2 (en) | 2014-01-14 | 2017-04-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Display apparatus and method of manufacturing the same |
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