JP4910214B2

JP4910214B2 - Ionizer

Info

Publication number: JP4910214B2
Application number: JP2007272506A
Authority: JP
Inventors: 俊夫佐藤; 智鈴木; 孝安岡
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2006-10-31
Filing date: 2007-10-19
Publication date: 2012-04-04
Anticipated expiration: 2027-10-19
Also published as: JP2008135377A; KR100955456B1; KR20080039290A

Description

本発明は、静電気で帯電した各種ワークの除電に使用するイオナイザに関するものであり、さらに詳しくは、ごみの付着等による電極針の汚れを防止するための機能を備えたイオナイザに関するものである。 The present invention relates to an ionizer used for static elimination of various workpieces charged with static electricity, and more particularly to an ionizer having a function for preventing contamination of electrode needles due to adhesion of dust or the like.

半導体ウエハや液晶ガラスなどの各種ワークの処理工程においては、静電気で帯電した該ワークの除電にイオナイザが使用される。
このイオナイザは、例えば特許文献１に示すように、ハウジングの下面の電極取付口内に正の電極針と負の電極針とを並べて配設し、これらの電極針に正のパルス状高電圧と負のパルス状高電圧とを交互に印加することにより、両電極針にコロナ放電を生じさせて正及び負のイオンを交互に発生させるように構成されている。
また、上記正負の電極針の間の位置にはエア吹出口が開口していて、このエア吹出口からエアを噴出させることにより、電極針で発生したイオンを取り込むことによってイオン化したエアを、ワークに向けて吹き付けるようになっている。 In the processing steps for various workpieces such as semiconductor wafers and liquid crystal glass, an ionizer is used for static elimination of the workpieces charged by static electricity.
In this ionizer, for example, as shown in Patent Document 1, a positive electrode needle and a negative electrode needle are arranged side by side in an electrode mounting port on the lower surface of the housing, and a positive pulsed high voltage and a negative voltage are applied to these electrode needles. By alternately applying the pulsed high voltage, a corona discharge is generated in both electrode needles, and positive and negative ions are alternately generated.
In addition, an air outlet is opened at a position between the positive and negative electrode needles, and the air ionized by taking in the ions generated by the electrode needles by ejecting air from the air outlet is used as a work piece. It is designed to spray towards

この種のイオナイザにおいては、上記正負の電極針が空気中の塵埃の付着によって汚れ易く、その汚れが進行すると、徐々にコロナ放電が生じにくくなってイオンの生成量が減少していき、ついにはイオンが生成されなくなってしまうおそれがある。
このため、汚れた電極針の清掃や交換などの保守作業を頻繁に行わなければならず、その保守作業の間はイオナイザや関連設備の運転を停止しなければならないため、手間と時間がかかって作業効率の低下を来し易いという問題があった。
特開２００５−１０８８２９号公報 In this type of ionizer, the positive and negative electrode needles are easily contaminated by the adhesion of dust in the air, and as the contamination progresses, corona discharge is less likely to occur, and the amount of ions generated decreases. Ions may not be generated.
For this reason, maintenance work such as cleaning and replacement of dirty electrode needles must be performed frequently, and the operation of the ionizer and related equipment must be stopped during the maintenance work, which takes time and effort. There was a problem that the work efficiency was liable to decrease.
JP 2005-108829 A

本発明は、上述した従来の問題点を解消するため、電極針へのごみの付着を抑制する機能を備え、電極針が汚れてもその汚れを容易に除去できるイオナイザを提供することを目的とするものである。 An object of the present invention is to provide an ionizer that has a function of suppressing the adhesion of dust to an electrode needle and can easily remove the dirt even if the electrode needle becomes dirty, in order to solve the above-described conventional problems. To do.

上記目的を達成するため、本発明のイオナイザは、電極取付部を１つ以上有するハウジングと、上記電極取付部に相互に並列に配設されたイオン発生用の正負の電極針と、上記電極取付部に正負両電極針間の位置で開口するエア吹出口と、これら両電極針とエア吹出口とを覆う保護カバーと、該保護カバーの内側に上記両電極針とエア吹出口とに跨って広がる空間部とを有し、上記保護カバーが、上記エア吹出口の前方に位置して該エア吹出口から噴出したエアをワークに向けて噴射するエア噴射孔と、上記正負の電極針と対応する位置にそれぞれ形成され、上記エア吹出口から噴出して上記空間部を拡散したエアを上記電極針に沿って保護カバーの外部に流出させる２つのエア流出孔とを有することを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, an ionizer according to the present invention includes a housing having one or more electrode mounting portions, positive and negative electrode needles for generating ions arranged in parallel to the electrode mounting portions, and the electrode mounting portions. An air outlet opening at a position between the positive and negative electrode needles in the part, a protective cover covering these electrode needles and the air outlet, and straddling the electrode needles and the air outlet on the inner side of the protective cover An air injection hole that is located in front of the air outlet and injects the air jetted from the air outlet toward the work, and the positive and negative electrode needles. Two air outflow holes that are respectively formed at positions where the air diffused from the air outlet and diffused through the space portion flows out of the protective cover along the electrode needles. It is.

本発明において好ましくは、上記正負の電極針が電極カートリッジに取り付けられていて、この電極カートリッジを介して上記ハウジングの電極取付部に取り付けられており、また、上記電極カートリッジは、上記正負の電極針の先端部を内包する凹部を有し、この凹部内に上記エア吹出口が開口すると共に上記保護カバーがこのエア吹出口及び上記両電極針を覆うように配設される。
本発明においては、上記エア噴射孔が上記エア吹出口と同心状に位置すると共に、上記エア流出孔が上記電極針と同心状に位置していることが望ましく、また、上記電極針の尖った先端部は上記エア流出孔から保護カバーの前面に突出していることが望ましい。
さらに、上記エア噴射孔の孔径は上記エア流出孔の孔径より小さいことが望ましい。 Preferably, in the present invention, the positive and negative electrode needles are attached to an electrode cartridge, and are attached to the electrode attachment portion of the housing via the electrode cartridge, and the electrode cartridge is connected to the positive and negative electrode needles. And a protective cover is disposed so as to cover the air outlet and both electrode needles.
In the present invention, the air injection hole is preferably located concentrically with the air outlet, and the air outflow hole is preferably located concentrically with the electrode needle, and the electrode needle is pointed. It is desirable that the tip portion protrudes from the air outflow hole to the front surface of the protective cover.
Furthermore, it is desirable that the hole diameter of the air injection hole is smaller than the hole diameter of the air outflow hole.

本発明のイオナイザの好ましい実施形態においては、電極カートリッジが、上記ハウジングに対して着脱自在のシースカートリッジに、正負の電極針を備えたバックプレートを着脱自在に取り付けることにより構成され、そのシースカートリッジに上記凹部が形成されていて、上記バックプレートに取り付けた電極針の先端部が、上記シースカートリッジ内の電極針用保持孔を通して上記凹部に突出するように構成される。
その場合に、上記エア吹出口がノズル部材に形成されていて、このノズル部材が、平面形状が長円形状の上記電極カートリッジの中心に挿入されているのが望ましい。
また、上記バックプレートが、シースカートリッジの短径側を挟むことにより、該シースカートリッジに対してバックプレートを固定するための一対の挟持片を有し、その挟持片の少なくとも一方が、バックプレートの連結部に設けた薄肉の弾性変形部の弾性によりシースカートリッジを弾性的に挟持するものとして構成されていることが望まれる。
上記バックプレートに対して電極針が回転不能で抜脱可能に装着されているのが望ましい。 In a preferred embodiment of the ionizer of the present invention, the electrode cartridge is constituted by detachably attaching a back plate having positive and negative electrode needles to a sheath cartridge that is detachable from the housing, and the sheath cartridge The recess is formed, and the tip of the electrode needle attached to the back plate is configured to protrude into the recess through the electrode needle holding hole in the sheath cartridge.
In that case, it is desirable that the air outlet is formed in the nozzle member, and the nozzle member is inserted into the center of the electrode cartridge having an elliptical planar shape.
Further, the back plate has a pair of sandwiching pieces for fixing the back plate to the sheath cartridge by sandwiching the short diameter side of the sheath cartridge, and at least one of the sandwiching pieces is a back plate of the back plate. It is desired that the sheath cartridge is elastically held by the elasticity of the thin elastic deformation portion provided in the connecting portion.
It is desirable that the electrode needle is attached to the back plate so as not to rotate and to be removable.

本発明において、上記ノズル部材が電極カートリッジの中心に挿入されている場合に、ハウジングに対する電極カートリッジの取り付けは、次のような構成が望ましい。
即ち、ハウジングに設ける上記電極カートリッジを取り付けるための電極取付孔が、該電極カートリッジの平面形状に対応し、しかも、その電極取付孔に嵌入した電極カートリッジが該取付孔内において上記ノズル部材の周りで傾き得る余裕がある平面形状を有するものとして形成され、上記電極カートリッジと電極取付孔との間に、該電極カートリッジを電極取付孔に嵌入した後に上記傾き得る余裕から脱して正常な取付け姿勢にしたときに、電極カートリッジを電極取付孔内に係止固定し、電極カートリッジを電極取付孔に対して上記余裕の範囲内で傾けた状態では、電極カートリッジの電極取付孔内への嵌脱を許容する係止機構を設けるのが望ましい。 In the present invention, when the nozzle member is inserted in the center of the electrode cartridge, the electrode cartridge is preferably attached to the housing as follows.
That is, the electrode mounting hole for mounting the electrode cartridge provided in the housing corresponds to the planar shape of the electrode cartridge, and the electrode cartridge fitted into the electrode mounting hole is around the nozzle member in the mounting hole. is formed as having a planar shape can afford to be tilt between the electrode cartridge and electrode mounting hole, and be out of room to be tilt the after fitting the electrode cartridge electrode mounting hole in the normal mounting position Sometimes, when the electrode cartridge is locked and fixed in the electrode mounting hole and the electrode cartridge is tilted with respect to the electrode mounting hole within the above margin, the electrode cartridge is allowed to fit in and out of the electrode mounting hole. It is desirable to provide a locking mechanism.

上記係止機構は、電極カートリッジの長手方向の両端部に、上部の係止突起とその下部の該係止突起よりも突出高さが小さい摩擦突条とを設け、上記電極取付孔の長手方向の両端部に、電極取付孔に対して電極カートリッジを上記余裕の範囲内で傾けた状態で嵌入するときには上記係止突起を通過させる側溝を設けると共に、その側溝に隣接させて、電極カートリッジを電極取付孔に嵌入した後にそれをハウジングの長手方向に沿う正常な取付け姿勢に戻したときに、上記摩擦突条に弾性的に当接する弾性当接片を設け、該弾性当接片は、傾斜姿勢にある電極カートリッジを回転させて正常な取付け姿勢に戻す際に、上記摩擦突条により押圧されことにより、該摩擦突条に弾性的に当接するものとして構成され、上記両弾性当接片は、正常な取付け姿勢に戻した電極カートリッジの両端の係止突起の下方に位置して該係止突起に係止することにより電極カートリッジの脱出を抑止し、これにより電極カートリッジが着脱自在に固定される構成とすることができる。 The locking mechanism is provided with an upper locking projection and a friction protrusion having a lower projection height than the locking projection at the lower end of the electrode cartridge in the longitudinal direction, and the longitudinal direction of the electrode mounting hole. When the electrode cartridge is inserted into the electrode mounting hole in an inclined state with respect to the electrode mounting hole, a side groove for allowing the locking projection to pass therethrough is provided at both ends of the electrode cartridge, and the electrode cartridge is disposed adjacent to the side groove. An elastic contact piece is provided that elastically contacts the friction protrusion when the mounting hole is inserted into the mounting hole and then returned to the normal mounting position along the longitudinal direction of the housing. When the electrode cartridge is rotated and returned to the normal mounting posture, it is configured to be elastically abutted against the friction ridge by being pressed by the friction ridge, normal A configuration in which the electrode cartridge is prevented from escaping by being positioned below the locking protrusions at both ends of the electrode cartridge returned to the attached posture and being locked to the locking protrusions, whereby the electrode cartridge is detachably fixed. can do.

ハウジングの高電圧発生装置と電極カートリッジの電気的な接続のためには、電極カートリッジを取り付けるハウジングの電極取付部に、ハウジング内の高電圧発生装置における正負の高電圧発生回路に接続された接続端子を設け、しかも、それらの接続端子が、上記電極取付部に装着される電極カートリッジの電極針に対応する位置に設けられていることが望まれる。
また、上記シースカートリッジは、平面形状が略長円形状のカートリッジ本体と、同形状の保護カバーとを、それらの長軸方向のスライドにより、それらが有するつば部と係止溝とを係合させて着脱自在に連結されたものとすることができる。 For electrical connection between the high voltage generating device of the housing and the electrode cartridge, a connecting terminal connected to the positive and negative high voltage generating circuit in the high voltage generating device in the housing at the electrode mounting portion of the housing to which the electrode cartridge is mounted In addition, it is desirable that the connection terminals are provided at positions corresponding to the electrode needles of the electrode cartridge attached to the electrode mounting portion.
Further, the sheath cartridge includes a cartridge body having a substantially oval planar shape and a protective cover having the same shape, and by engaging the flange portion and the locking groove of the same with the slide in the major axis direction. And can be detachably connected.

本発明のイオナイザにおいて、正負の電極針に正負の高電圧が印加されると、コロナ放電によりこれら両電極針から正及び負のイオンが発生する。
このとき、エア吹出口から空間部内にエアが噴出されることにより、このエアが、保護カバーに開口するエア噴射孔からワークに向けて噴射され、上記電極針から発生したイオンを取り込んでイオン化エアとなり、このイオンによってワークの除電が行われることになる。
一方、上記エア吹出口から噴出したエアの一部は、上記空間部内を拡散し、電極針の回りを取り囲むエア流出孔から外部に流出する。
このエアの流れは、上記電極針の表面や回りの空気中にある塵埃などのごみを押し流し、該ごみが電極針の表面に汚れとして付着するのを防止する。
このため、ごみの付着による電極針の汚れが軽減し、該電極針の清掃や交換などの保守作業の頻度が減少することになる。
また、電極カートリッジをハウジングに対して着脱自在にすると同時に電極針を備えたバックプレートを離脱可能にすると、電極針の交換や汚れの除去を外部から簡易に行うことが可能になる。 In the ionizer of the present invention, when positive and negative high voltages are applied to the positive and negative electrode needles, positive and negative ions are generated from both electrode needles by corona discharge.
At this time, air is ejected from the air outlet into the space, so that the air is ejected from the air ejection hole opened in the protective cover toward the workpiece, and the ions generated from the electrode needles are taken in and ionized air. Thus, the work is neutralized by these ions.
On the other hand, part of the air ejected from the air outlet diffuses in the space and flows out from the air outflow hole surrounding the electrode needle.
This air flow pushes dust such as dust on the surface of the electrode needle and surrounding air, and prevents the dust from adhering to the surface of the electrode needle as dirt.
For this reason, the contamination of the electrode needle due to the adhesion of dust is reduced, and the frequency of maintenance work such as cleaning and replacement of the electrode needle is reduced.
Further, when the electrode cartridge is made detachable from the housing and at the same time the back plate provided with the electrode needles can be detached, the electrode needles can be easily exchanged and dirt can be removed from the outside.

図１〜図４は本発明に係るイオナイザの一実施形態を示すものである。
このイオナイザ１は、半導体ウエハや液晶ガラスなどの各種ワークの処理工程において、静電気で帯電した該ワークの除電に使用するもので、図１に示すように、このイオナイザ１からワークＷに向けて正と負のイオンを交互に投射すると、該ワークＷが正に帯電している場合は該ワークＷに負のイオンが吸着され、負に帯電している場合は正のイオンが吸着されることにより、該ワークＷの除電が行われるものである。
なお、図１においては正のイオンが投射されている瞬間が示されているが、このあと引き続いて負のイオンが同様にして投射される。 1 to 4 show an embodiment of an ionizer according to the present invention.
The ionizer 1 is used for static elimination of the workpiece charged with static electricity in the processing steps of various workpieces such as semiconductor wafers and liquid crystal glass. As shown in FIG. 1, the ionizer 1 is directed from the ionizer 1 toward the workpiece W. When negative and negative ions are projected alternately, when the workpiece W is positively charged, negative ions are adsorbed on the workpiece W, and when negatively charged, positive ions are adsorbed. The work W is neutralized.
Although FIG. 1 shows the moment when positive ions are projected, negative ions are subsequently projected in the same manner.

上記イオナイザ１は、細長い棒状をしたバータイプのもので、横に細長い中空のハウジング２を有している。
このハウジング２の縦方向の断面形状は、上下方向に長い矩形又は長円形あるいはそれらに類似する形状をしている。
このハウジング２の下面には、複数の電極取付部３が該ハウジング２の長手方向に等間隔で設けられ、各電極取付部３に、図２〜図４から明らかなように、コロナ放電により正のイオンを放出する正の電極針４Ａと負のイオンを放出する負の電極針４Ｂとがそれぞれ一対ずつ取り付けられると共に、放出されたイオンをワークＷに向けて吹き付けるためのエア吹出口５が設けられている。 The ionizer 1 is of a bar type having an elongated bar shape, and has a hollow housing 2 elongated in the side.
The cross-sectional shape in the vertical direction of the housing 2 is a rectangle or oval that is long in the vertical direction or a shape similar to them.
A plurality of electrode mounting portions 3 are provided on the lower surface of the housing 2 at equal intervals in the longitudinal direction of the housing 2, and as is apparent from FIGS. A pair of positive electrode needles 4A for discharging negative ions and negative electrode needles 4B for discharging negative ions are attached to each other, and an air outlet 5 for blowing the discharged ions toward the workpiece W is provided. It has been.

また、上記ハウジング２の内部には、上記電極針４Ａ，４Ｂにパルス状の直流高電圧を印加するための高電圧発生装置７と、上記エア吹出口５に圧縮空気を供給するためのエア流路８とが設けられている。
上記ハウジング２の長手方向の両端部はそれぞれエンドプレート９で塞がれていて、一方又は両方のエンドプレート９に継手１０が設けられ、この継手１０に圧縮空気源１１からの配管チューブ１１ａを接続することにより、上記エア流路８がこの圧縮空気源１１に接続されるようになっている。
上記ハウジング２の側面には、操作表示部１２が形成され、この操作表示部１２に操作釦や表示ランプ等が取り付けられている。 Further, inside the housing 2, a high voltage generator 7 for applying a pulsed DC high voltage to the electrode needles 4A and 4B, and an air flow for supplying compressed air to the air outlet 5 are provided. Road 8 is provided.
Both ends in the longitudinal direction of the housing 2 are respectively closed by end plates 9, and joints 10 are provided on one or both end plates 9, and a pipe tube 11 a from a compressed air source 11 is connected to the joint 10. Thus, the air flow path 8 is connected to the compressed air source 11.
An operation display section 12 is formed on the side surface of the housing 2, and operation buttons, display lamps, and the like are attached to the operation display section 12.

上記高電圧発生装置７は、特に図示はしていないが、正のパルス状高電圧を正の電極針４Ａに印加する正の高電圧発生回路と、負のパルス状高電圧を負の電極針４Ｂに印加する負の高電圧発生回路とを有し、周期的に動作するこれらの高電圧発生回路から両電極針４Ａ，４Ｂに正負の高電圧を交互に印加することにより、これらの電極針４Ａ，４Ｂにコロナ放電を生じさせて正負のイオンを発生させるものである。
上記正負の高電圧発生回路は、正負の電極針に正及び負の高電圧を同時に印加するものであってもよい。 The high voltage generator 7 is not particularly shown, but a positive high voltage generator circuit that applies a positive pulsed high voltage to the positive electrode needle 4A, and a negative pulsed high voltage applied to the negative electrode needle. The high and negative voltage generating circuits to be applied to 4B, and these high and low voltage generating circuits that operate periodically apply positive and negative high voltages to both electrode needles 4A and 4B. A corona discharge is generated in 4A and 4B to generate positive and negative ions.
The positive and negative high voltage generation circuit may apply positive and negative high voltages to the positive and negative electrode needles simultaneously.

上記電極針４Ａ，４Ｂは、円柱状をした取り付け用の基端部４ｂと、コロナ放電のための円錐状の先端部４ａとを有するもので、合成樹脂等の絶縁性の非磁性材で形成された電極カートリッジ１３を介して上記電極取付部３に取り付けられている。
この電極カートリッジ１３は、図３及び図４から分かるように、略長円形の横断面形状を有していて、その前面（下面）に略長円形状の凹部１４を有するものである。
この凹部１４の平らな内底壁１３ａには、その中央部即ち電極カートリッジ１３の中心軸線Ｌ上の位置にノズル取付孔１５が形成されると共に、この中心軸線Ｌから長円の長さ方向（長軸方向）に等距離離れた位置に２つの電極針用保持孔１６が形成されていて、これらの保持孔１６，１６内に上記電極針４Ａ，４Ｂの基端部４ｂを嵌合させることにより、２つの電極針４Ａ，４Ｂが、尖った先端部４ａを上記凹部１４内に突出させた状態で該電極カートリッジ１３に並列に取り付けられている。
上記電極針４Ａ，４Ｂの先端部４ａが凹部１４の内底壁１３ａから突出する長さは、該凹部１４の深さより小さい。
従って、これらの電極針４Ａ，４Ｂの先端部４ａは凹部１４から外部に突出することはなく、該凹部１４に内包された状態にある。 The electrode needles 4A and 4B have a cylindrical base end portion 4b for attachment and a conical tip portion 4a for corona discharge, and are formed of an insulating nonmagnetic material such as synthetic resin. It is attached to the electrode attachment portion 3 via the electrode cartridge 13 formed.
As can be seen from FIGS. 3 and 4, the electrode cartridge 13 has a substantially oval cross-sectional shape, and has a substantially oval concave portion 14 on the front surface (lower surface) thereof.
In the flat inner bottom wall 13a of the concave portion 14, a nozzle mounting hole 15 is formed at a central portion thereof, that is, at a position on the central axis L of the electrode cartridge 13, and from the central axis L in the length direction of an ellipse ( Two electrode needle holding holes 16 are formed at equidistant positions in the long axis direction), and the base end portions 4b of the electrode needles 4A and 4B are fitted into the holding holes 16 and 16, respectively. Thus, the two electrode needles 4A and 4B are attached in parallel to the electrode cartridge 13 with the pointed tip portion 4a protruding into the recess 14.
The length of the tip 4a of the electrode needles 4A, 4B protruding from the inner bottom wall 13a of the recess 14 is smaller than the depth of the recess 14.
Accordingly, the tip portions 4a of these electrode needles 4A and 4B do not protrude outside from the recess 14 and are contained in the recess 14.

そして、上記電極カートリッジ１３が、上記ハウジング２の下面に形成した長円形の取付孔１７内に嵌合、固定されることにより、長円の長軸をハウジング２の長手方向に向けた状態で該ハウジング２に取り付けられている。
従って、上記正負２つのの電極針４Ａ，４Ｂも、ハウジング２の長手方向に沿って配設されることになる。
上記電極カートリッジ１３のハウジング２に対する固定は、例えば、それらの一方と他方とに形成した突起と凹部とを相互に係合させる方法や、超音波溶着等の方法によって行うことができる。 The electrode cartridge 13 is fitted and fixed in an oval mounting hole 17 formed on the lower surface of the housing 2, so that the long axis of the ellipse is directed in the longitudinal direction of the housing 2. It is attached to the housing 2.
Accordingly, the two positive and negative electrode needles 4 </ b> A and 4 </ b> B are also disposed along the longitudinal direction of the housing 2.
The electrode cartridge 13 can be fixed to the housing 2 by, for example, a method in which protrusions and recesses formed on one and the other of them are engaged with each other or a method such as ultrasonic welding.

また、上記電極カートリッジ１３のノズル取付孔１５内には、先端に上記エア吹出口５を備えたノズル部材２０が挿入され、該ノズル部材２０を介して上記エア吹出口５が、上記凹部１４の内底壁１３ａの中心軸線Ｌ上の位置に形成されている。
このノズル部材２０の基端部４ｂは、上記ハウジング２の内部を該ハウジング２の長手方向に延びる流路形成部２１に連結され、該ノズル部材２０の内部に、この流路形成部２１内の主流路８ａと上記エア吹出口５とを結ぶ分岐流路８ｂが形成されており、これらの主流路８ａと分岐流路８ｂとによって上記エア流路８が形成されている。 Further, a nozzle member 20 having the air outlet 5 at its tip is inserted into the nozzle mounting hole 15 of the electrode cartridge 13, and the air outlet 5 is inserted into the recess 14 via the nozzle member 20. It is formed at a position on the central axis L of the inner bottom wall 13a.
The base end portion 4 b of the nozzle member 20 is connected to the inside of the housing 2 with a flow path forming portion 21 extending in the longitudinal direction of the housing 2, and inside the nozzle member 20, A branch flow path 8b connecting the main flow path 8a and the air outlet 5 is formed, and the air flow path 8 is formed by the main flow path 8a and the branch flow path 8b.

上記主流路８ａ及び分岐流路８ｂの断面積は互いにほぼ同じ大きさであり、また、上記エア吹出口５の開口断面積は、これらの流路８ａ，８ｂの断面積より小さく形成されており、これにより、上記大径のエア流路８から送られてくるエアを、小さく絞ったエア吹出口５から高速で勢い良く噴出させるようにしている。
上記エア吹出口５は、上記内底壁１３ａに直接形成しても良い。 The cross-sectional areas of the main flow path 8a and the branch flow path 8b are substantially the same size, and the opening cross-sectional area of the air outlet 5 is smaller than the cross-sectional areas of the flow paths 8a and 8b. As a result, the air sent from the large-diameter air flow path 8 is ejected vigorously at a high speed from the air outlet 5 that is narrowed down.
The air outlet 5 may be formed directly on the inner bottom wall 13a.

上記電極カートリッジ１３の凹部１４の内部には、上記両電極針４Ａ，４Ｂとエア吹出口５とを覆う保護カバー２３が配設されている。
この保護カバー２３は、合成樹脂等の絶縁性の非磁性材からなるもので、上記凹部１４全体に広がる平板状をした主体部２３ａと、該主体部２３ａの外周から該主体部２３ａと直角に延出するフランジ状の外周壁２３ｂとを有するもので、全体として浅皿形をなし、上記外周壁２３ｂが凹部１４の内底壁１３ａに当接することにより、上記主体部２３ａと凹部１４の内底壁１３ａとの間に、該凹部１４全体に広がる空間部２４が形成されている。
上記保護カバー２３は、螺子止めや接着等の手段で電極カートリッジ１３に着脱自在に取り付けられていることが望ましい。 A protective cover 23 that covers both the electrode needles 4 </ b> A and 4 </ b> B and the air outlet 5 is disposed inside the recess 14 of the electrode cartridge 13.
The protective cover 23 is made of an insulating nonmagnetic material such as synthetic resin, and has a flat plate-like main body portion 23a extending over the entire concave portion 14 and a right angle from the outer periphery of the main body portion 23a to the main body portion 23a. It has a flange-shaped outer peripheral wall 23b that extends, and has a shallow dish shape as a whole, and the outer peripheral wall 23b abuts against the inner bottom wall 13a of the concave portion 14, so A space 24 is formed between the bottom wall 13a and the entire recess 14.
The protective cover 23 is desirably detachably attached to the electrode cartridge 13 by means such as screwing or bonding.

上記保護カバー２３の主体部２３ａには、上記エア吹出口５から噴出したエアをワークに向けて噴射させるためのエア噴射孔２５が、該エア吹出口５の前方に位置するように形成されると共に、上記正負の電極針４Ａ，４Ｂの先端部４ａを外部に覗かせるためと、上記エア吹出口５から噴出して上記空間部２４を拡散したエアをこれらの電極針４Ａ，４Ｂに沿って保護カバー２３の外部に流出させるための２つのエア流出孔２６，２６が、上記正負の電極針４Ａ，４Ｂとの対応位置にそれぞれ一つずつ形成されている。 An air injection hole 25 is formed in the main body 23a of the protective cover 23 so as to be located in front of the air outlet 5 for injecting the air jetted from the air outlet 5 toward the work. Along with these electrode needles 4A and 4B, in order to allow the tip portions 4a of the positive and negative electrode needles 4A and 4B to look outside, the air jetted from the air outlet 5 and diffused through the space portion 24 is passed along these electrode needles 4A and 4B. Two air outflow holes 26, 26 for flowing out to the outside of the protective cover 23 are formed one by one at positions corresponding to the positive and negative electrode needles 4A, 4B.

上記エア噴射孔２５は、上記エア吹出口５の直前の位置に該エア吹出口５と同心状に配設されていて、その大きさは該エア吹出口５とほぼ同径に形成されている。
しかし、こののエア噴射孔２５の位置及び大きさは、上記エア吹出口５と完全に同心かつ同径である必要はなく、例えば、該エア吹出口５から噴出するエアの噴流域内の位置、つまり、該エア吹出口５から噴出したエアの噴流が直接吹き付けられる位置であれば、該エア吹出口５の中心から若干ずれた位置にあっても良く、また、該エア吹出口５より僅かに大径であっても僅かに小径であっても構わない。 The air injection hole 25 is disposed concentrically with the air outlet 5 at a position immediately before the air outlet 5, and the size thereof is substantially the same as the diameter of the air outlet 5. .
However, the position and size of the air injection hole 25 do not have to be completely concentric and the same diameter as the air outlet 5, for example, the position in the jet region of the air ejected from the air outlet 5, That is, as long as it is a position where the jet of air ejected from the air outlet 5 is directly blown, the position may be slightly shifted from the center of the air outlet 5. It may be a large diameter or a slightly small diameter.

一方、上記エア流出孔２６は、上記電極針４Ａ，４Ｂと同心状の位置にあって、該エア流出孔２６から各電極針４Ａ，４Ｂの尖った先端部４ａが保護カバー２３の前面側に僅かに突出している。
しかし、上記電極針４Ａ，４Ｂの先端は、保護カバー２３の前面と同じ位置かそれより僅かに後退した位置にあっても構わない。
また、上記エア流出孔２６の孔径は、上記エア噴射孔２５の孔径より大きく形成されている。 On the other hand, the air outflow hole 26 is located concentrically with the electrode needles 4A and 4B, and the pointed tip portion 4a of each electrode needle 4A and 4B from the air outflow hole 26 is formed on the front side of the protective cover 23. It protrudes slightly.
However, the tips of the electrode needles 4A and 4B may be at the same position as the front surface of the protective cover 23 or at a position slightly retracted therefrom.
The diameter of the air outflow hole 26 is larger than the diameter of the air injection hole 25.

上記構成を有するイオナイザ１において、高電圧発生装置７から正負の電極針４Ａ，４Ｂに正のパルス状高電圧と負のパルス状高電圧とが交互に印加されると、これら両電極針４Ａ，４Ｂの先端部４ａにおいてコロナ放電が発生し、両電極針４Ａ及び４Ｂから正及び負のイオンが交互に発生する。
このとき、圧縮空気源１１からのエアは主流路８ａ及び分岐流路８ｂを通じてエア吹出口５に供給され、このエア吹出口５から空間部２４内に噴出される。 In the ionizer 1 having the above-described configuration, when a positive pulsed high voltage and a negative pulsed high voltage are alternately applied from the high voltage generator 7 to the positive and negative electrode needles 4A and 4B, Corona discharge occurs at the tip 4a of 4B, and positive and negative ions are alternately generated from both electrode needles 4A and 4B.
At this time, the air from the compressed air source 11 is supplied to the air outlet 5 through the main channel 8a and the branch channel 8b, and is ejected from the air outlet 5 into the space 24.

上記エア吹出口５から勢い良く噴出したエアの噴流は、主として、図５に矢印ａ１で示すように、該エア吹出口５の直前の位置で上記保護カバー２３に開口するエア噴射孔２５から、ほぼその勢いを保ったまま該保護カバー２３の外部に噴出し、主エア流Ａ１となってワークに噴射される。
このとき該主エア流Ａ１は、上記電極針４Ａ，４Ｂから発生したイオンを取り込んでイオン化エアとなり、このイオン化エアがワークに吹き付けられることによって該ワークＷの除電が行われる。 The jet of air spouted from the air outlet 5 mainly from the air injection hole 25 that opens to the protective cover 23 at a position immediately before the air outlet 5, as shown by an arrow a1 in FIG. While maintaining almost the momentum, it is ejected to the outside of the protective cover 23 and becomes a main air flow A1 and is ejected onto the work.
At this time, the main air flow A1 takes in ions generated from the electrode needles 4A and 4B to become ionized air, and the ionized air is blown onto the work, whereby the work W is neutralized.

一方、上記エア吹出口５から空間部２４内に噴出したエアの一部は、図５に矢印ａ２で示すように、上記保護カバー２３に跳ね返されて空間部２４内を拡散し、電極針４Ａ，４Ｂの回りを取り囲むエア流出孔２６から該電極針４Ａ，４Ｂの先端部４ａに沿って外部に流出し、補助エア流Ａ２としてワークに向かう。
この補助エア流Ａ２も主エア流Ａ１と同様にイオン化される。
上記補助エア流Ａ２の流速は上記主エア流Ａ１の流速に比べて小さいが、この補助エア流Ａ２が電極針４Ａ，４Ｂの先端部４ａに沿って流れることにより、該電極針の表面や回りの空気中にある塵埃などのごみが押し流され、これらのごみが電極針４Ａ，４Ｂの表面に汚れとして付着するのが防止される。
この結果、ごみの付着による電極針の汚れが軽減し、該電極針の清掃や交換などの保守作業の頻度が減少することになる。 On the other hand, a part of the air ejected from the air outlet 5 into the space 24 is bounced back to the protective cover 23 and diffused in the space 24 as shown by an arrow a2 in FIG. , 4B flows out from the air outflow hole 26 surrounding the periphery of the electrode needle 4A, 4B to the outside along the tip 4a of the electrode needles 4A, 4B, and goes to the work as an auxiliary air flow A2.
This auxiliary air flow A2 is also ionized in the same manner as the main air flow A1.
Although the flow rate of the auxiliary air flow A2 is smaller than the flow rate of the main air flow A1, the auxiliary air flow A2 flows along the tip portions 4a of the electrode needles 4A and 4B. The dust such as dust in the air is swept away, and the dust is prevented from adhering to the surfaces of the electrode needles 4A and 4B as dirt.
As a result, the contamination of the electrode needle due to the adhesion of dust is reduced, and the frequency of maintenance work such as cleaning and replacement of the electrode needle is reduced.

上記実施形態においては、ハウジング２が複数の電極取付部３を備えているが、この電極取付部３の数は一つであっても良い。
また、横断面形状が長円をなす上記電極カートリッジ１３を、その長円の長軸をハウジング２の長手方向に向けた状態で該ハウジング２に取り付けることにより、正負２つの電極針４Ａ，４Ｂを該ハウジング２の長手方向に沿って配設しているが、上記電極カートリッジ１３を上記向きとは９０度異なる向き、つまり、長円の長軸をハウジング２の横幅方向に向けて取り付けることにより、上記２つの電極針４Ａ，４Ｂを該ハウジング２の横幅方向に並べて配設しても良い。 In the above-described embodiment, the housing 2 includes a plurality of electrode mounting portions 3, but the number of the electrode mounting portions 3 may be one.
Further, by attaching the electrode cartridge 13 having an elliptical cross-sectional shape to the housing 2 with the major axis of the ellipse directed in the longitudinal direction of the housing 2, the positive and negative electrode needles 4A and 4B are attached. Although it is disposed along the longitudinal direction of the housing 2, the electrode cartridge 13 is attached in an orientation different from the orientation by 90 degrees, that is, by attaching the major axis of the ellipse toward the lateral width direction of the housing 2, The two electrode needles 4A and 4B may be arranged side by side in the lateral width direction of the housing 2.

さらに、上記実施形態では、保護カバー２３の主体部２３ａが平板状をなしていて、凹部１４の内底壁１３ａに対して平行に位置しているが、上記主体部２３ａは必ずしも平板状である必要はなく、その全体あるいは中央の一部が外側（前面側）に向けて円錐状に窪んでいても良い。
この場合、円錐の頂点の位置に上記エア噴射孔２５が形成されることになる。 Furthermore, in the said embodiment, although the main-body part 23a of the protective cover 23 has comprised flat form, and is located in parallel with the inner bottom wall 13a of the recessed part 14, the said main-body part 23a is not necessarily flat form. It is not necessary, and the whole or part of the center may be recessed conically toward the outside (front side).
In this case, the air injection hole 25 is formed at the position of the apex of the cone.

図６〜図１３は本発明に係るイオナイザの第２実施例を示すものである。
この第２実施例のイオナイザ３１は、上記第１実施例と比べると、電極カートリッジ４３を、ハウジング３２に対して着脱自在としたシースカートリッジ４３Ａにバックプレート４３Ｄを着脱自在に取り付けることにより構成し、そのバックプレート４３Ｄに電極針３４Ａ，３４Ｂを取り付けている。
そのため、上記電極針３４Ａ，３４Ｂが汚れても、その汚れを容易に除去できるようにした点で、第１実施例と相違するものである。
なお、このイオナイザ３１の構成で第１実施例と実質的に変わらない部分については、以下においてその説明を省略し、上述した第１実施例と相違する点について以下に説明する。 6 to 13 show a second embodiment of the ionizer according to the present invention.
The ionizer 31 of the second embodiment is configured by attaching a back plate 43D to a sheath cartridge 43A that is detachable from the housing 32, as compared with the first embodiment, Electrode needles 34A and 34B are attached to the back plate 43D.
Therefore, even if the electrode needles 34A and 34B are soiled, the soiling can be easily removed, which is different from the first embodiment.
The description of the portion of the ionizer 31 that is not substantially different from that of the first embodiment will be omitted below, and differences from the first embodiment will be described below.

このイオナイザ３１におけるハウジング３２の複数の電極取付部３３に取り付ける電極カートリッジ４３は、上述したように、ハウジング３２に対して着脱自在としたシースカートリッジ４３Ａと、電極針３４Ａ，３４Ｂが取り付けられていて、そのシースカートリッジ４３Ａに着脱自在に取り付けられるバックプレート４３Ｄとにより構成され、電極針３４Ａ，３４Ｂを除いて合成樹脂等の絶縁性の非磁性材で形成されている。
また、上記シースカートリッジ４３Ａは、図９、図１０及び図１３から分かるように、その上半のカートリッジ本体４３Ｂと、その下半の保護カバー４３Ｃとを着脱自在に連結することにより構成されている。 As described above, the electrode cartridge 43 attached to the plurality of electrode attachment portions 33 of the housing 32 in the ionizer 31 includes the sheath cartridge 43A that is detachably attached to the housing 32 and the electrode needles 34A and 34B. The back plate 43D is detachably attached to the sheath cartridge 43A, and is formed of an insulating nonmagnetic material such as a synthetic resin except for the electrode needles 34A and 34B.
Further, as can be seen from FIGS. 9, 10 and 13, the sheath cartridge 43A is configured by detachably connecting the upper half cartridge body 43B and the lower half protective cover 43C. .

上記カートリッジ本体４３Ｂは、第１実施例の電極カートリッジ１３と同様に、平面形状が略長円形を有していて、その中央部にノズル取付孔４５が形成されると共に、そのノズル取付孔４５の両側で等距離の位置に、それぞれ電極針用保持孔４６が形成され、さらに、その両端に、後述のバックプレート４３Ｄの装着のためのガイドとなる断面が略半円形状をなす一対のガイド壁４８ａを立設し、上記中央部のノズル取付孔４５を開設している部分の前面に、後述するバックプレート４３Ｄにおける挟持片４９ｅの係合孔４９ｇに係止する突子４８ｂを突設している。
また、このカートリッジ本体４３Ｂの下部の前後内縁には、図９、図１０及び図１３から分かるように、保護カバー４３Ｃの側部上縁に突設したつば部５３ｂを係止させる係止溝４９ｈを設け、その係止溝４９ｈに上記つば部５３ｂを嵌入させ、該保護カバー４３Ｃを平面形状が略長円形状のカートリッジ本体４３Ｂに対してその長軸方向にスライドさせて、装着できるようにしている。 Similar to the electrode cartridge 13 of the first embodiment, the cartridge body 43B has a substantially oval planar shape, and a nozzle mounting hole 45 is formed at the center thereof. Electrode needle holding holes 46 are formed at equidistant positions on both sides, and a pair of guide walls having a substantially semicircular cross section serving as a guide for mounting a back plate 43D described later at both ends thereof. 48a is erected, and a protrusion 48b that is engaged with an engagement hole 49g of a clamping piece 49e in a back plate 43D, which will be described later, projects from the front surface of the portion where the central nozzle mounting hole 45 is opened. Yes.
Further, as can be seen from FIGS. 9, 10 and 13, a locking groove 49h for locking a flange 53b protruding from the upper edge of the side of the protective cover 43C is formed in the front and rear inner edges of the lower portion of the cartridge body 43B. The collar portion 53b is inserted into the locking groove 49h, and the protective cover 43C is slid in the major axis direction with respect to the cartridge body 43B having a substantially oval planar shape so that it can be mounted. Yes.

シースカートリッジ４３Ａの下半を構成する保護カバー４３Ｃは、その平面形状が上記カートリッジ本体４３Ｂと同様な略長円形状を有し、その側部上縁に上記つば部５３ｂを設けると共に、その下面に略長円形状の凹部４４を形成している。
そして、カートリッジ本体４３Ｂに対する保護カバー４３Ｃの装着時に、この凹部４４の底壁を形成する平板状の主体部５３ａが、上記両電極針３４Ａ，３４Ｂと、エア流路３８に連通しているエア吹出口３５とを覆い、カートリッジ本体４３Ｂの底壁４３ａとの間に、エア吹出口３５から噴出するエアを拡散させる空間部５４を形成するようにしている。 The protective cover 43C constituting the lower half of the sheath cartridge 43A has a substantially oval shape in plan view similar to that of the cartridge main body 43B. The flange 53b is provided on the upper edge of the side and the lower surface thereof is provided on the lower surface. A substantially oval recess 44 is formed.
When the protective cover 43C is attached to the cartridge main body 43B, the flat plate-like main portion 53a that forms the bottom wall of the recess 44 communicates with the electrode needles 34A and 34B and the air flow path 38. A space portion 54 that covers the outlet 35 and diffuses air ejected from the air outlet 35 is formed between the bottom wall 43a of the cartridge main body 43B.

上記保護カバー４３Ｃの主体部５３ａには、その保護カバー４３Ｃをカートリッジ本体４３Ｂの所定の位置にに装着したときに、上記エア吹出口３５から噴出したエアをワークに向けて噴射させるためのエア噴射孔５５が、該エア吹出口３５の前方に位置するように形成されると共に、正負の電極針３４Ａ，３４Ｂの先端部３４ａを外部に覗かせ、且つ、上記エア吹出口３５から噴出したエアを、これらの電極針３４Ａ，３４Ｂに沿って保護カバー４３Ｃの外部に流出させるための２つのエア流出孔５６，５６が、上記正負の電極針３４Ａ，３４Ｂとの対応位置にそれぞれ形成されている。
上記エア噴射孔５５やエア流出孔５６のその他の設置態様は、前記第１実施例の場合と実質的に同一である。 The main body 53a of the protective cover 43C has an air injection for causing the air blown out from the air outlet 35 to be injected toward the work when the protective cover 43C is attached to a predetermined position of the cartridge main body 43B. A hole 55 is formed so as to be positioned in front of the air outlet 35, and the tips 34 a and 34 B of the positive and negative electrode needles 34 A and 34 B are looked to the outside, and the air ejected from the air outlet 35 is discharged. The two air outflow holes 56 and 56 are formed at positions corresponding to the positive and negative electrode needles 34A and 34B, respectively, for flowing out of the protective cover 43C along the electrode needles 34A and 34B.
Other installation modes of the air injection hole 55 and the air outflow hole 56 are substantially the same as those in the first embodiment.

また、上記バックプレート４３Ｄは、図９及び図１３等から分かるように、上記カートリッジ本体４３Ｂの上部両端に立設した一対のガイド壁４８ａ間に嵌入するプレート基盤４９ａの中央部に、上記カートリッジ本体４３Ｂのノズル取付孔４５と同心にノズル挿入孔４９ｂが形成されると共に、そのノズル挿入孔４９ｂの両側に、それぞれ、上記カートリッジ本体４３Ｂの電極針用保持孔４６と同心に電極針固定孔４９ｃが形成され、さらに、上記プレート基盤４９ａにおけるノズル挿入孔４９ｂの前後に、カートリッジ本体４３Ｂの中央部のノズル取付孔４５を開設している部分を外側から挟むことにより、該カートリッジ本体４３Ｂに対してバックプレート４３Ｄを固定する一対の挟持片４９ｄ，４９ｅを設けている。 Further, as can be seen from FIG. 9 and FIG. 13 and the like, the back plate 43D is arranged at the center of the plate base 49a fitted between a pair of guide walls 48a provided upright at both upper ends of the cartridge main body 43B. A nozzle insertion hole 49b is formed concentrically with the nozzle mounting hole 45 of 43B, and electrode needle fixing holes 49c are concentric with the electrode needle holding hole 46 of the cartridge body 43B on both sides of the nozzle insertion hole 49b. Further, a portion where the nozzle mounting hole 45 in the central portion of the cartridge main body 43B is opened from the outside before and after the nozzle insertion hole 49b in the plate base 49a is inserted into the back of the cartridge main body 43B. A pair of clamping pieces 49d and 49e for fixing the plate 43D is provided.

これらの挟持片４９ｄ，４９ｅは、その一方がカートリッジ本体４３Ｂの挟持部分に当接する挟持片４９ｄとして構成され、その他方が、バックプレート４３Ｄのプレート基盤４９ａに薄肉の弾性変形部４９ｆを介して連結され、該弾性変形部４９ｆの弾性によりカートリッジ本体４３Ｂを弾性的に挟持する挟持片４９ｅとして構成されたもので、カートリッジ本体４３Ｂに対するバックプレート４３Ｄの装着時に、その挟持片４９ｅに設けた係合孔４９ｇをカートリッジ本体４３Ｂの前記突子４８ｂに係止させるようにしている。従って、バックプレート４３Ｄは電極針の汚れを除去するためにカートリッジ本体４３Ｂに着脱自在に取り付けられる。 One of these sandwiching pieces 49d and 49e is configured as a sandwiching piece 49d that abuts the sandwiching portion of the cartridge main body 43B, and the other is connected to the plate base 49a of the back plate 43D via a thin elastic deformation portion 49f. Further, it is configured as a clamping piece 49e that elastically clamps the cartridge main body 43B by the elasticity of the elastic deforming portion 49f. When the back plate 43D is attached to the cartridge main body 43B, an engagement hole provided in the clamping piece 49e is provided. 49g is engaged with the protrusion 48b of the cartridge main body 43B. Accordingly, the back plate 43D is detachably attached to the cartridge main body 43B in order to remove dirt on the electrode needles.

上記バックプレート４３Ｄに固定する一対の電極針３４Ａ，３４Ｂは、前記第１実施例の場合と同構造のもので、取り付け用の基端部３４ｂと円錐状の先端部３４ａとを有しているが、さらに、上記基端部３４ｂにフランジ部３４ｃを備えると共に、その上端に高電圧発生装置３７と電気的に接続するための通電部３４ｄを備えている。
これらの電極針３４Ａ，３４Ｂは、上記フランジ部３４ｃをバックプレート４３Ｄの電極針固定孔４９ｃに圧入して固定し、あるいは、上記取り付け用の基端部３４ｂの断面形状を非円形にして、同形の電極針固定孔４９ｃに嵌着することにより、バックプレート４３Ｄに対して回転不能に固定し、バックプレート４３Ｄに取り付けた状態にある電極針３４Ａ，３４Ｂの汚れをフェルト等からなる払拭具で除去するに際し、バックプレート４３Ｄに対する電極針３４Ａ，３４Ｂの回転による汚れ除去の作業性の低下を抑制している。電極針３４Ａ，３４Ｂの交換のために、それらの電極針はバックプレート４３Ｄに対して抜脱可能であることが必要である。 The pair of electrode needles 34A and 34B fixed to the back plate 43D has the same structure as in the first embodiment, and has a base end portion 34b for attachment and a conical tip end portion 34a. Furthermore, the base end portion 34b is provided with a flange portion 34c, and the upper end thereof is provided with a current-carrying portion 34d for electrical connection with the high voltage generator 37.
These electrode needles 34A and 34B have the same shape by pressing the flange portion 34c into the electrode needle fixing hole 49c of the back plate 43D and fixing it, or by making the cross-sectional shape of the mounting base end portion 34b non-circular. The electrode needles 34A and 34B are fixed to the back plate 43D in a non-rotatable manner by being fitted into the electrode needle fixing holes 49c, and dirt on the electrode needles 34A and 34B attached to the back plate 43D is removed with a wiping tool made of felt or the like. In doing so, the deterioration of the workability of removing dirt due to the rotation of the electrode needles 34A and 34B relative to the back plate 43D is suppressed. In order to replace the electrode needles 34A and 34B, the electrode needles need to be removable from the back plate 43D.

また、上記バックプレート４３Ｄをカートリッジ本体４３Ｂに取り付けた状態においては、該バックプレート４３Ｄに固定した各電極針３４Ａ，３４Ｂがカートリッジ本体４３Ｂにおける電極針保持孔４６，４６内に嵌合し、電極針の先端部３４ａが上記凹部４４内に突出する状態でカートリッジ本体４３Ｂに保持されるように形成している。
一方、上記バックプレート４３Ｄをカートリッジ本体４３Ｂから離脱させたときには、電極針３４Ａ，３４Ｂの先端部３４ａが払拭による汚れの除去のために外部に露出することになる。
なお、上記電極カートリッジ４３の組立ては、カートリッジ本体４３Ｂに対して保護カバー４３Ｃを装着したうえで、バックプレート４３Ｄをカートリッジ本体４３Ｂに固定することになる。 When the back plate 43D is attached to the cartridge main body 43B, the electrode needles 34A and 34B fixed to the back plate 43D are fitted into the electrode needle holding holes 46 and 46 in the cartridge main body 43B. The tip 34a of the cartridge is held by the cartridge main body 43B in a state of protruding into the recess 44.
On the other hand, when the back plate 43D is detached from the cartridge main body 43B, the tip portions 34a of the electrode needles 34A and 34B are exposed to the outside in order to remove dirt by wiping.
The electrode cartridge 43 is assembled by attaching the protective cover 43C to the cartridge body 43B and fixing the back plate 43D to the cartridge body 43B.

上記電極カートリッジ４３は、上記ハウジング３２の下面に等間隔に形成した複数の長円形の電極取付孔４７内に該ハウジング３２の下方から着脱自在に嵌合、固定されるが、この固定のためにハウジング３２に形成される上記電極取付孔４７は、図７に示すように電極カートリッジ４３の平面形状に対応した長円形で、しかも、その電極取付孔４７に嵌入した電極カートリッジ４３が該取付孔４７内において傾き得る余裕４７ａがある平面形状に形成している。
そして、上記電極カートリッジ４３と電極取付孔４７との間に、該電極カートリッジを電極取付孔に嵌入した後に上記傾き得る余裕４７ａから脱して正常な取付け姿勢にしたときには、電極カートリッジ４３を電極取付孔４７内に係止固定し、一方、電極カートリッジ４３を電極取付孔４７に対して上記余裕４７ａの範囲内で傾けた状態では、電極カートリッジ４３の電極取付孔４７内への嵌脱を許容する係止機構を設けている。 The electrode cartridge 43 is detachably fitted and fixed from below the housing 32 in a plurality of oval electrode mounting holes 47 formed at equal intervals on the lower surface of the housing 32. The electrode mounting hole 47 formed in the housing 32 has an oval shape corresponding to the planar shape of the electrode cartridge 43 as shown in FIG. 7, and the electrode cartridge 43 fitted into the electrode mounting hole 47 has the mounting hole 47. It is formed in a planar shape with a margin 47a that can be tilted inside.
Then, the between the electrode cartridge 43 and the electrode mounting holes 47, the electrode cartridge emerged from margin 47a which can tilt the after fitted into the electrode mounting hole when the normal mounting posture, the electrode cartridge 43 electrode mounting hole On the other hand, in a state where the electrode cartridge 43 is tilted with respect to the electrode mounting hole 47 within the range of the allowance 47a, the electrode cartridge 43 is allowed to fit in and out of the electrode mounting hole 47. A stop mechanism is provided.

この係止機構は、電極カートリッジ４３のカートリッジ本体４３Ｂにおける前記ガイド壁４８ａに、図８、図１２及び図１３から分かるように、上部の係止突起４８ｃとその下部の該係止突起よりも突出高さが小さい摩擦突条４８ｄとを設け、一方、上記電極取付孔４７の長手方向の両端部には、電極取付孔４７に対して電極カートリッジ４３を上記余裕４７ａの範囲内で傾けた状態で嵌入するときには上記係止突起４８ｃを通過させる側溝４７ｂを設けると共に、その側溝４７ｂに隣接させて、上記電極カートリッジ４３を電極取付孔４７に嵌入した後にそれをハウジング３２の長手方向に沿う正常な取付け姿勢に戻したときに、カートリッジ本体４３Ｂの両端のガイド壁４８ａの外面の摩擦突条４８ｄに弾性的に当接する弾性当接片４７ｃを設けたものとすることができる。 As shown in FIGS. 8, 12 and 13, the locking mechanism protrudes from the upper locking projection 48c and the lower locking projection to the guide wall 48a of the cartridge main body 43B of the electrode cartridge 43. A friction protrusion 48d having a small height is provided. On the other hand, at both ends in the longitudinal direction of the electrode mounting hole 47, the electrode cartridge 43 is inclined with respect to the electrode mounting hole 47 within the range of the margin 47a. A side groove 47b for allowing the locking projection 48c to pass therethrough is provided, and after the electrode cartridge 43 is fitted into the electrode mounting hole 47 adjacent to the side groove 47b, it is normally attached along the longitudinal direction of the housing 32. An elastic contact piece 47 that elastically contacts the friction protrusion 48d on the outer surface of the guide wall 48a at both ends of the cartridge main body 43B when the posture is returned. It can be made to the provided.

この弾性当接片４７ｃは、傾斜姿勢にある電極カートリッジ４３を、その中心の周りに回転させて正常な取付け姿勢に戻す際に、カートリッジ本体４３Ｂの両端のガイド壁４８ａの外面の摩擦突条４８ｄにより押圧される結果、該摩擦突条４８ｄに弾性的に当接してそれを保持するものであり、そのため、電極取付孔４７の両端の弾性当接片４７ｃは、その先端を上記側溝４７ｂ側に向けて相互に反対方向に向くように形成している。
また、上記電極取付孔４７の両端の弾性当接片４７ｃは、正常な取付け姿勢に戻したカートリッジ本体４３Ｂの両端の係止突起４８ｃの下方に位置して、該係止突起４８ｃに係止し、電極カートリッジ４３の脱出を抑止する機能をも備えている。 When the electrode cartridge 43 in the inclined posture is rotated around its center and returned to the normal mounting posture, the elastic contact piece 47c is a friction protrusion 48d on the outer surface of the guide wall 48a at both ends of the cartridge body 43B. As a result, the elastic contact pieces 47c at both ends of the electrode mounting hole 47 have their tips on the side groove 47b side. They are formed so that they face each other in opposite directions.
Further, the elastic contact pieces 47c at both ends of the electrode mounting hole 47 are positioned below the locking protrusions 48c at both ends of the cartridge body 43B returned to the normal mounting posture, and are locked to the locking protrusions 48c. Also, it has a function of suppressing the escape of the electrode cartridge 43.

さらに、上記電極カートリッジ４３を電極取付孔４７に装着すると同時に、電極針３４Ａ，３４Ｂをそれぞれ高電圧発生装置３７における正及び負の高電圧発生回路に接続できるようにするため、電極取付孔４７の内底の各電極針３４Ａ，３４Ｂに対応する位置で、電極カートリッジ４３の着脱に際してその姿勢を傾斜させ得る範囲内に、それらの高電圧発生回路に電気的に接続された接続端子３７ａを収容する端子溝４７ｄを設け、電極取付孔４７に電極カートリッジ４３を嵌入したときに、それらの電極針３４Ａ，３４Ｂにおける通電部３４ｄをそれぞれの端子溝４７ｄに嵌入させることにより、その電極カートリッジ４３の傾斜姿勢の如何に拘わらず、両電極針３４Ａ，３４Ｂに正負の高電圧を印加できるように構成している。 Further, at the same time that the electrode cartridge 43 is mounted in the electrode mounting hole 47, the electrode needles 34A and 34B can be connected to the positive and negative high voltage generation circuits in the high voltage generator 37, respectively. The connection terminals 37a electrically connected to the high voltage generation circuit are accommodated in a range corresponding to the electrode needles 34A and 34B on the inner bottom within a range in which the posture of the electrode cartridge 43 can be inclined when the electrode cartridge 43 is attached or detached. When a terminal groove 47d is provided and the electrode cartridge 43 is inserted into the electrode mounting hole 47, the energizing portion 34d of the electrode needles 34A and 34B is inserted into the respective terminal grooves 47d, whereby the electrode cartridge 43 is inclined. Regardless of the case, a positive and negative high voltage can be applied to both electrode needles 34A and 34B.

従って、上記電極カートリッジ４３を電極取付孔４７に装着するときには、電極カートリッジ４３をハウジング３２の長手方向に対して傾斜させた状態で該取付孔４７に嵌合したうえで、該電極カートリッジ４３を中心軸の周りで回転させて、上記長手方向に向く正常な取付姿勢にすることにより、カートリッジ本体４３Ｂの両端の係止突起４８ｃが取付孔４７の両端の弾性当接片４７ｃの上に位置して、該係止突起４８ｃに係止し、電極カートリッジ４３の脱落が防止される。
この電極取付孔４７に対する電極カートリッジ４３の取り付けに際しては、バックプレート４３Ｄにおけるノズル挿入孔４９ｂ及びカートリッジ本体４３Ｂにおけるノズル取付孔４５に、先端に上記エア吹出口３５を備えたノズル部材５０が挿入され、該ノズル部材５０を介して上記エア吹出口３５から空間部５４にエアが噴出される。 Therefore, when the electrode cartridge 43 is mounted in the electrode mounting hole 47, the electrode cartridge 43 is fitted into the mounting hole 47 while being inclined with respect to the longitudinal direction of the housing 32, and then the electrode cartridge 43 is centered. By rotating the shaft around a normal mounting posture in the longitudinal direction, the locking projections 48c at both ends of the cartridge body 43B are positioned on the elastic contact pieces 47c at both ends of the mounting hole 47. The electrode cartridge 43 is prevented from falling off by being engaged with the engagement protrusion 48c.
When attaching the electrode cartridge 43 to the electrode attachment hole 47, the nozzle member 50 provided with the air outlet 35 at the tip is inserted into the nozzle insertion hole 49b in the back plate 43D and the nozzle attachment hole 45 in the cartridge main body 43B. Air is ejected from the air outlet 35 into the space 54 through the nozzle member 50.

一方、上記電極カートリッジ４３を電極取付孔４７から取り外すときは、上記電極カートリッジ４３を電極取付孔４７内において回転させることにより、ハウジング３２の長手方向に対して傾斜させると、カートリッジ本体４３Ｂの両端の係止突起４８ｃが取付孔４７の両端の弾性当接片４７ｃから外れるため、電極カートリッジ４３の取り外しが可能になる。 On the other hand, when the electrode cartridge 43 is removed from the electrode mounting hole 47, the electrode cartridge 43 is rotated in the electrode mounting hole 47 so as to be inclined with respect to the longitudinal direction of the housing 32. Since the locking protrusions 48c are disengaged from the elastic contact pieces 47c at both ends of the mounting hole 47, the electrode cartridge 43 can be removed.

本発明に係るイオナイザの第１実施例を示す正面図である。1 is a front view showing a first embodiment of an ionizer according to the present invention. 図１の部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view of FIG. 図２の要部拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a main part of FIG. 2. 図３の底面図である。FIG. 4 is a bottom view of FIG. 3. 除電時のエアの流れの状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state of the flow of the air at the time of static elimination. 本発明に係るイオナイザの第２実施例における上記図２に対応する位置での部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view in the position corresponding to the above-mentioned Drawing 2 in the 2nd example of the ionizer concerning the present invention. 図６におけるVII−VII線での部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view in the VII-VII line in FIG. 電極カートリッジの正面図である。It is a front view of an electrode cartridge. 図８におけるIX−IX線での断面図である。It is sectional drawing in the IX-IX line in FIG. 図８におけるX−X線での断面図である。It is sectional drawing in the XX line in FIG. 上記電極カートリッジの下面図である。It is a bottom view of the electrode cartridge. 上記電極カートリッジの斜面図である。It is a perspective view of the electrode cartridge. 上記電極カートリッジの分解状態の斜面図である。It is a perspective view of the disassembled state of the electrode cartridge.

Explanation of symbols

１，３１イオナイザ
２，３２ハウジング
３，３３電極取付部
４Ａ，４Ｂ，３４Ａ，３４Ｂ電極針
５，３５エア吹出口
７，３７高電圧発生装置
１３，４３電極カートリッジ
１４，４４凹部
１６，４６電極針用保持孔
１７，４７電極取付孔
２０，５０ノズル部材
２３保護カバー
２３ａ，５３ａ主体部
２４，５４空間部
２５，５５エア噴射孔
２６，５６エア流出孔
２７ギャップ
３７ａ接続端子
４３Ａシースカートリッジ
４３Ｃ保護カバー
４３Ｄバックプレート
４７ａ余裕
４７ｂ側溝
４７ｃ弾性当接片
４８ｃ係止突起
４８ｄ摩擦突条
４９ｄ，４９ｅ挟持片
４９ｆ弾性変形部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,31 Ionizer 2,32 Housing 3,33 Electrode attachment part 4A, 4B, 34A, 34B Electrode needle 5,35 Air blower outlet 7,37 High voltage generator 13,43 Electrode cartridge 14,44 Recessed part 16,46 Electrode needle Holding hole 17, 47 Electrode mounting hole 20, 50 Nozzle member 23 Protective cover 23a, 53a Main part 24, 54 Space part 25, 55 Air injection hole 26, 56 Air outflow hole 27 Gap 37a Connection terminal 43A Sheath cartridge 43C Protective cover 43D Back plate 47a Margin 47b Side groove 47c Elastic contact piece 48c Locking protrusion 48d Friction protrusion 49d, 49e Nipping piece 49f Elastic deformation part

Claims

A housing having at least one electrode mounting portion, positive and negative electrode needles for generating ions arranged in parallel to the electrode mounting portion, and air opening at a position between the positive and negative electrode needles in the electrode mounting portion A blower outlet, a protective cover that covers both the electrode needles and the air blower outlet, and a space that extends across the electrode needles and the air blower outlet inside the protective cover,
The protective cover is formed in a position corresponding to the positive electrode needle and an air injection hole for injecting the air jetted from the air outlet toward the workpiece, located in front of the air outlet, Two air outflow holes for allowing the air that has been ejected from the air outlet and diffused through the space to flow out of the protective cover along the electrode needles;
Ionizer characterized by that.

The positive and negative electrode needles are attached to an electrode cartridge, and are attached to the electrode attachment portion of the housing via the electrode cartridge, and the electrode cartridge includes a tip portion of the positive and negative electrode needles. 2. The air discharge port according to claim 1, further comprising a recess, wherein the air outlet is opened in the recess, and the protective cover is disposed to cover the air outlet and the electrode needles. Ionizer.

The ionizer according to claim 2, wherein the air injection hole is located concentrically with the air outlet and the air outflow hole is located concentrically with the electrode needle.

4. The ionizer according to claim 3, wherein a sharp tip of the electrode needle protrudes from the air outflow hole to the front surface of the protective cover.

The ionizer according to claim 3 or 4, wherein a hole diameter of the air injection hole is smaller than a hole diameter of the air outflow hole.

The electrode cartridge is configured by detachably attaching a back plate having positive and negative electrode needles to a sheath cartridge that is detachable with respect to the housing, and the recess is formed in the sheath cartridge. The ionizer according to claim 2, wherein a tip end portion of the electrode needle attached to the protrusion protrudes into the recess through the electrode needle holding hole in the sheath cartridge.

The ionizer according to claim 6, wherein the air outlet is formed in a nozzle member, and the nozzle member is inserted in the center of the electrode cartridge having an elliptical planar shape.

The back plate has a pair of sandwiching pieces for fixing the back plate to the sheath cartridge by sandwiching the short diameter side of the sheath cartridge, and at least one of the sandwiching pieces is connected to the back plate. The ionizer according to claim 7, wherein the sheath cartridge is elastically sandwiched by elasticity of a thin elastic deformation portion provided on the ionizer.

The ionizer according to any one of claims 6 to 8, wherein an electrode needle is attached to the back plate in a non-rotatable and removable manner.

An electrode mounting hole for mounting the electrode cartridge provided in the housing corresponds to a planar shape of the electrode cartridge, and the electrode cartridge fitted into the electrode mounting hole is inclined around the nozzle member in the mounting hole. Formed as having a planar shape that can afford,
Between the electrode cartridge and the electrode mounting hole, when the electrode cartridge is fitted into the electrode mounting hole and then removed from the tiltable margin and is in a normal mounting posture, the electrode cartridge is locked and fixed in the electrode mounting hole. And a locking mechanism that allows the electrode cartridge to be fitted into and removed from the electrode mounting hole when the electrode cartridge is tilted with respect to the electrode mounting hole within the margin. An ionizer as described in 1.

In the longitudinal direction of the electrode mounting hole, the locking mechanism is provided with an upper locking projection and a friction protrusion having a lower projection height than the locking projection at the lower end at both longitudinal ends of the electrode cartridge. When the electrode cartridge is inserted into the electrode mounting hole in an inclined state with respect to the electrode mounting hole, a side groove for allowing the locking projection to pass therethrough is provided at both ends of the electrode cartridge, and the electrode cartridge is disposed adjacent to the side groove. An elastic contact piece is provided that elastically contacts the friction protrusion when the mounting hole is inserted into the mounting hole and then returned to the normal mounting position along the longitudinal direction of the housing. When the electrode cartridge is rotated and returned to the normal mounting posture, it is configured to be elastically abutted against the friction ridge by being pressed by the friction ridge, normal The electrode cartridge is prevented from escaping by being positioned below the locking protrusions at both ends of the electrode cartridge returned to the attached posture and being locked to the locking protrusions, whereby the electrode cartridge is detachably fixed. The ionizer according to claim 10.

Connection terminals connected to the positive and negative high voltage generation circuits in the high voltage generator in the housing are provided in the electrode mounting portion of the housing to which the electrode cartridge is mounted, and these connection terminals are electrodes to be mounted on the electrode mounting portion. The ionizer according to claim 6 or 7, wherein the ionizer is provided at a position corresponding to an electrode needle of the cartridge.

The above-mentioned sheath cartridge is attached to and detached from a cartridge body having a substantially oval planar shape and a protective cover having the same shape by engaging the collar portion of the cartridge and the engaging groove by sliding in the major axis direction. The ionizer according to claim 6 or 7, wherein the ionizer is freely connected.