JP4909758B2 - Semiconductor laser device - Google Patents

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本発明は、半導体レーザ装置および光ピックアップ装置に関し、さらに詳しくは、ステム上に半導体レーザ素子を装着し、この半導体レーザ素子から放射されるレーザ光を外部に放出する半導体レーザ装置、およびこの半導体レーザ装置と、この半導体レーザ装置で得られるレーザ光を収束して情報記録媒体に照射し、該情報記録媒体からの反射光を受光して情報を再生または/および記録する光学情報処理系とを含み、CD、DVD,BDなどの光学情報記録媒体に対する信号の再生・記録・消去などを行う光ピックアップ装置に関する。   The present invention relates to a semiconductor laser device and an optical pickup device. More specifically, the present invention relates to a semiconductor laser device that mounts a semiconductor laser element on a stem and emits laser light emitted from the semiconductor laser element to the outside, and the semiconductor laser. And an optical information processing system that converges laser light obtained by the semiconductor laser device and irradiates the information recording medium, receives reflected light from the information recording medium, and reproduces or / and records information. The present invention relates to an optical pickup device that performs reproduction / recording / erasing of a signal on an optical information recording medium such as a CD, a DVD, and a BD.

近年、半導体レーザ装置(以下、単に半導体レーザ、または半導体レーザ素子装置と称することもある)は、光ストレージ業界の成長とともに需要を伸ばしている。そして、この半導体レーザ装置には、高出力化の要望があり、さらに組み込まれるパッケージは小型化の流れにある。
従って、1つの半導体レーザ素子からの発熱量は、大幅に増えつづけている。しかしながら、半導体レーザ素子からの放熱設計が十分考えられていないので、結果として発光特性に影響をきたす結果となっている。
一方、半導体レーザ素子は偏光特性をもっており、光ピックアップ装置などの機器に組み込む際には、パッケージを回転させて調整する必要がある。従って、半導体レーザ素子が小さくなればなる程、機器に組み込む際の回転調整操作が難しくなる。
In recent years, the demand for semiconductor laser devices (hereinafter sometimes simply referred to as semiconductor lasers or semiconductor laser element devices) has increased with the growth of the optical storage industry. This semiconductor laser device has a demand for higher output, and the package to be incorporated is in the trend of miniaturization.
Accordingly, the amount of heat generated from one semiconductor laser element continues to increase significantly. However, since the heat radiation design from the semiconductor laser element is not sufficiently considered, as a result, the light emission characteristics are affected.
On the other hand, the semiconductor laser element has a polarization characteristic, and when incorporated in a device such as an optical pickup device, it is necessary to adjust by rotating the package. Therefore, the smaller the semiconductor laser element is, the more difficult it is to perform the rotation adjustment operation when it is incorporated into a device.

通常、光ピックアップ装置に用いられる半導体レーザ装置は、本体に装着されたステム(パッケージのステム)と、このステム上に一体に形成されたブロック部と、このブロック部の側面にサブマウントを介して装着された半導体レーザ素子とを備え、半導体レーザ素子から放射されるレーザ光を外部へ所定の方向に放出する(特許文献1、特許文献2および特許文献3参照)。   Usually, a semiconductor laser device used for an optical pickup device includes a stem (package stem) mounted on a main body, a block portion integrally formed on the stem, and a side surface of the block portion via a submount. And a laser beam emitted from the semiconductor laser element is emitted to the outside in a predetermined direction (see Patent Document 1, Patent Document 2, and Patent Document 3).

例えば、図10のごとく、半導体レーザ装置100Lは、本体(図示省略)に装着されたステム(パッケージのステム)101と、このステム上に一体に形成されたブロック部102と、このブロック部の側面にサブマウント103を介して装着された半導体レーザ素子(レーザチップ)104とからなり、半導体レーザ素子104から放射されるレーザ光を外部へ所定の方向(矢印A)に放出するよう構成されている。   For example, as shown in FIG. 10, a semiconductor laser device 100L includes a stem (package stem) 101 mounted on a main body (not shown), a block portion 102 integrally formed on the stem, and a side surface of the block portion. And a semiconductor laser element (laser chip) 104 mounted via a submount 103. The laser beam emitted from the semiconductor laser element 104 is emitted to the outside in a predetermined direction (arrow A). .

従って、この半導体レーザ装置100Lは、半導体レーザ素子104およびサブマウント103を、ブロック部102を介してステム101に装着されているので、半導体レーザ素子104から発生する熱がサブマウント103からブロック部102を経由してステム101から放散されることになる。従って、発生する熱は、長い放熱経を必要とするので、ステム101に(またはパッケージ内に)伝わり難く、半導体レーザ素子104の発光特性が良好に維持できないおそれがあった。
さらに、半導体レーザ装置10Lは、半導体レーザ素子104が小さくなれば、それだけ機器に組み込む際の回転調整操作、つまりレーザ光形状(及び偏光特性)の回転による調整操作が難しくなる。
特開平4−155976号公報 実開昭63−118259号公報 特開2002−111128号公報
Accordingly, in this semiconductor laser device 100L, the semiconductor laser element 104 and the submount 103 are mounted on the stem 101 via the block portion 102, so that heat generated from the semiconductor laser element 104 is transferred from the submount 103 to the block portion 102. It will be emitted from the stem 101 via. Therefore, since the generated heat requires a long heat dissipation, it is difficult to be transmitted to the stem 101 (or into the package), and the light emission characteristics of the semiconductor laser element 104 may not be maintained well.
Further, in the semiconductor laser device 10L, the smaller the semiconductor laser element 104 is, the more difficult it is to perform a rotation adjustment operation when it is incorporated into a device, that is, an adjustment operation by rotating the laser beam shape (and polarization characteristics).
Japanese Patent Laid-Open No. 4-155976 Japanese Utility Model Publication No. 63-118259 JP 2002-111128 A

そこで、本発明の主要な課題の1つは、半導体レーザ素子から発生する熱を放熱し易くし、半導体レーサ素子の発光特性を良好に維持できるようにすることであり、併せて、半導体レーザ素子を機器に組み込む際の操作がしやすく、将来の小型化対応が可能となる半導体レーザ装置の提供が期待されるわけである。   Accordingly, one of the main problems of the present invention is to make it easy to dissipate heat generated from the semiconductor laser element, and to maintain good light emission characteristics of the semiconductor laser element. Therefore, it is expected to provide a semiconductor laser device that is easy to operate when incorporating the semiconductor device into a device and that can cope with future miniaturization.

本発明は、本体と、円盤形または半円盤形で、本体に支持され、その支持位置を中心軸のまわりに回転調整可能なステムと、このステム上に直接またはサブマウントを介して装着されレーザ光を装着面に平行に放射する半導体レーザ素子と、ステム上に装着または一体に形成され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部とを備えた半導体レーザ素子装置を提供する。   The present invention relates to a main body, a disc shape or a semi-disc shape, a stem that is supported by the main body and whose support position can be rotated around a central axis, and a laser mounted on the stem directly or via a submount. Provided is a semiconductor laser device comprising: a semiconductor laser device that emits light parallel to a mounting surface; and a mirror portion that is mounted on or integrated with a stem and reflects the emitted laser light to be emitted to the outside. .

本発明によれば、ステムを円盤形または半円盤形で、本体に対する支持位置をその中心軸のまわりに回転調整可能とし、かつステム上にミラー部を装着または一体に形成することによって、半導体レーザ素子をステム上に直接またはサブマウントを介して装着できるようにし、それによって半導体レーザ素子から発生する熱を放熱し易くし、半導体レーサ素子の発光特性を良好に維持できるようにする。これらの効果は、半導体レーザ素子の将来の小型化に対応できる。   According to the present invention, a semiconductor laser can be obtained by forming a stem in a disc shape or a semi-disc shape, allowing a support position relative to the main body to be rotatable around its central axis, and mounting or integrally forming a mirror portion on the stem. The element can be mounted on the stem directly or via a submount, whereby heat generated from the semiconductor laser element can be easily dissipated, and the light emission characteristics of the semiconductor laser element can be maintained well. These effects can cope with future miniaturization of the semiconductor laser device.

本発明に係る半導体レーザ素子装置は、本体と、円盤形または半円盤形で、本体に支持され、その支持位置を中心軸のまわりに回転調整可能なステムと、このステム上に直接またはサブマウントを介して装着されレーザ光を装着面に平行に放射する半導体レーザ素子と、ステム上に装着または一体に形成され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部とを備えたことを特徴とする。   A semiconductor laser device according to the present invention includes a main body, a disc shape or a semi-disc shape, a stem supported by the main body, and a support position of which can be rotated around a central axis, and a direct or submount on the stem. And a semiconductor laser element that emits laser light parallel to the mounting surface, and a mirror part that is mounted on or integrated with the stem and reflects the emitted laser light to the outside. It is characterized by.

本発明において、ステムは、円盤形または半円盤形で、本体に支持され、その支持位置を中心軸のまわりに回転調整可能であり、かつこのステム上に半導体レーザ素子とミラー部とが装着される。
ステムは、通常、金属(例えば、鉄,銅及び金めっき)で形成され、半導体レーザ素子を直接またはサブマウントを介して装着される。従って半導体レーザ素子で発生する熱がすばやくステムから放散される。さらにステムは、上述のごとく円盤形または半円盤形であるので、半導体レーザで発生する熱を放射状に放散でき、放熱効果がより大きくなる。
In the present invention, the stem is disc-shaped or semi-disc-shaped, is supported by the main body, and its support position can be adjusted to rotate around the central axis, and the semiconductor laser element and the mirror portion are mounted on the stem. The
The stem is usually formed of metal (for example, iron, copper, and gold plating), and the semiconductor laser element is mounted directly or via a submount. Accordingly, heat generated in the semiconductor laser element is quickly dissipated from the stem. Furthermore, since the stem has a disc shape or a semi-disc shape as described above, the heat generated by the semiconductor laser can be dissipated radially, and the heat dissipation effect is further increased.

さらに、ステムの裏面に半導体レーザ素子で発生する熱を放散するための放熱部材を具備すると、半導体レーザ素子温度の過度の上昇を防止でき、それによって半導体レーザ素子の発光特性を良好に維持できるのでより好ましい。ここで、放熱部材としては、放熱用金具や、放熱フイン(金属薄板、特にアルミニウム薄板)が好ましいものとして挙げられる。   Furthermore, if a heat radiating member for dissipating heat generated in the semiconductor laser element is provided on the back surface of the stem, it is possible to prevent an excessive rise in the temperature of the semiconductor laser element, thereby maintaining good emission characteristics of the semiconductor laser element. More preferred. Here, as a heat radiating member, a metal fitting for heat radiating and a heat radiating fin (a metal thin plate, particularly an aluminum thin plate) are preferable.

また、ステムは、その円盤形または半円盤形の半径を1.0〜3.0mmとするのが、回転調整をする上で好ましく、厚みを1.0〜6.0mmとするのが、半導体レーザ素子の基台とし、かつ放熱を促進させる上で好ましい。
ステムは、その外周部(半円形の場合は円弧部分)に単数または複数の目印、例えば3〜4個の切欠部(等間隔が好ましい)を有すると、回転調整する際に角度の判定および調整回転が容易になり好ましい。
本発明において、ステムには、通常、その上に装着された半導体レーザ素子およびミラー部を覆うキャップ(通常、ステムと同一材料で形成される)が被せられ、ステムとキャップとを併せてパッケージと称することもある。なお、ステムのみでも、パッケージと称することもある。
The radius of the disc or semi-disc is preferably 1.0 to 3.0 mm for adjusting the rotation, and the thickness of the stem is 1.0 to 6.0 mm. It is preferable as a base for the laser element and for promoting heat dissipation.
If the stem has one or more marks, for example 3 to 4 notches (preferably at equal intervals) on its outer peripheral part (arc part in the case of a semicircle), the angle is determined and adjusted when the rotation is adjusted. Rotation is easy and preferable.
In the present invention, the stem is usually covered with a cap (usually formed of the same material as the stem) covering the semiconductor laser element and the mirror portion mounted thereon, and the stem and the cap are combined with the package. Sometimes called. Note that the stem alone may be referred to as a package.

本発明において、ステム上には、直接またはサブマウントを介して半導体レーザ素子が装着され、レーザ光を装着面に平行に放射する。例えば、半導体レーザ素子(発光ダイオード)として、特に限定されないが、例えば、AlxGayInzN(0≦x≦1、0≦y≦1,0≦z≦1,x+y+z=1)で構成される窒化物半導体素子が挙げられる。なお、半導体レーザ素子は、複数のレーザ光(発振波長は同一でも、異なってもよい)を放射するものでもよい。 In the present invention, a semiconductor laser element is mounted on the stem directly or via a submount, and emits laser light parallel to the mounting surface. For example, the semiconductor laser element (light emitting diode) is not particularly limited. For example, the semiconductor laser element (light-emitting diode) is composed of Al x Ga y In z N (0 ≦ x ≦ 1, 0 ≦ y ≦ 1, 0 ≦ z ≦ 1, x + y + z = 1). Nitride semiconductor devices to be used. The semiconductor laser element may emit a plurality of laser beams (oscillation wavelengths may be the same or different).

本発明において、ステム上には、半導体レーザによって放射されたレーザ光を反射して外部(の所定の方向)に放出するミラー部(反射部)が装着される。このミラー部は、ステム上に一体に形成してもよく、ステム上にダイボンドされた別体のミラー素子(例えば、ガラスミラー、アルミニウムミラー、ホログラムミラー)でもよい。さらに、ステムがその上に一体に形成したブロック部を有し、かつこのブロック部がその表面に凹部を有し、ミラー部が前記凹部に係合する係合凸部を有するミラー素子であってもよい。   In the present invention, a mirror part (reflecting part) that reflects the laser light emitted by the semiconductor laser and emits it to the outside (predetermined direction) is mounted on the stem. This mirror part may be formed integrally on the stem, or may be a separate mirror element (for example, a glass mirror, an aluminum mirror, or a hologram mirror) die-bonded on the stem. Furthermore, the stem has a block part integrally formed thereon, the block part has a concave part on the surface, and the mirror part has an engaging convex part that engages with the concave part. Also good.

本発明において、さらに、ステムがその表面に凹部を有し、かつこの凹部の底面に半導体レーザ素子を装着し、この凹部の壁面に、半導体レーザ素子から放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部を一体に形成するか、別体のミラー素子をダイボンドしてもよい。   In the present invention, the stem further has a recess on the surface thereof, and a semiconductor laser element is mounted on the bottom surface of the recess, and the laser beam emitted from the semiconductor laser element is reflected on the wall surface of the recess to the outside. The emitting mirror part may be integrally formed, or a separate mirror element may be die-bonded.

本発明は、別の観点によれば、円盤形または半円盤形のステムと、このステム上に直接またはサブマウントを介して装着されレーザ光を装着面に平行に放射する半導体レーザ素子と、ステム上に装着または一体に形成され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部とを備えた半導体レーザ素子装置用ユニットを提供できる。   According to another aspect of the present invention, a disc-shaped or semi-disc shaped stem, a semiconductor laser device that is mounted on the stem directly or via a submount, and emits laser light parallel to the mounting surface, and the stem It is possible to provide a unit for a semiconductor laser element device that includes a mirror portion that is mounted on or integrally formed thereon and reflects the emitted laser light to be emitted to the outside.

本発明は、さらに別の観点によれば、本体と、円盤形または半円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持されたステムと、このステム上に直接またはサブマウントを介して装着されレーザ光を装着面に平行に放射する半導体レーザ素子と、ステム上に装着または一体に形成され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部とを備えた半導体レーザ素子装置と、
ミラー部より放出されるレーザ光を収束して情報記録媒体に照射し、該情報記録媒体からの反射光を受光して情報を再生または/および記録する光学情報処理系とを備えた光ピックアップ装置を提供できる。
According to another aspect of the present invention, there is provided a main body, a disc-shaped or semi-disc-shaped stem supported on the main body so as to be rotatable about its central axis, and a direct or submount on the stem. A semiconductor laser device mounted on the stem and emitting a laser beam parallel to the mounting surface, and a mirror unit mounted on or integrated with the stem and reflecting the emitted laser beam to the outside An element device;
An optical pickup device comprising an optical information processing system for converging laser light emitted from a mirror unit to irradiate an information recording medium and receiving reflected light from the information recording medium to reproduce or / and record information Can provide.

本発明は、さらに別の観点によれば、本体と、円盤形または半円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持されたステムと、このステム上に直接またはサブマウントを介して装着されレーザ光を装着面に平行に放射する半導体レーザ素子と、ステム上に装着または一体に形成され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部とを備え、
このミラー部が、その反射面に反射光を非コヒーレント光に変換する変換処理面を具備し、該非コヒーレント光を照明光とする照明機器を提供できる。
ここで、反射光を非コヒーレント光に変換できる好ましい変換処理面としては、レーザ光のコヒーレント性を乱す微細な凹凸を有する凹凸処理面、梨地処理面などが挙げられる。
According to another aspect of the present invention, there is provided a main body, a disc-shaped or semi-disc-shaped stem supported on the main body so as to be rotatable about its central axis, and a direct or submount on the stem. A semiconductor laser element that is mounted via and emits laser light parallel to the mounting surface; and a mirror part that is mounted on or integrated with the stem and reflects the emitted laser light to be emitted to the outside.
The mirror unit includes a conversion processing surface that converts reflected light into non-coherent light on the reflection surface, and can provide an illumination device that uses the non-coherent light as illumination light.
Here, examples of a preferable conversion processing surface that can convert reflected light into non-coherent light include an uneven processing surface having fine unevenness that disturbs the coherency of laser light, and a satin processing surface.

以下、本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
<実施の形態1>
図1は本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態1を示す概略説明図であり、その(A)は結合状態を含む概略説明分解斜視図、(B)はその要部拡大説明図、(C)はこの半導体レーザ装置を組み込んだ光ピックアップ装置の概略構成説明図である。
Embodiments of a semiconductor laser device according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
<Embodiment 1>
1A and 1B are schematic explanatory views showing a semiconductor laser device according to a first embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a schematic explanatory exploded perspective view including a coupled state, and FIG. C) is a schematic configuration explanatory diagram of an optical pickup device incorporating this semiconductor laser device.

まず、図1(C)において、光ピックアップ装置Pは、半導体レーザ装置Lと、光ディスクホルダHと、光学系Kと、受光素子(RF受光用OPIC)Jとからなり、光学系Kは、ハーフミラーhと、コリメータレンズcと、対物レンズtと、凹レンズrとからなる。
そして、半導体レーザ装置Lから放射されるレーザ光(レーザビーム)は、ハーフミラーhでその半分が反射され、他の半分が透過される。反射された半分のレーザ光は、コリメータレンズcにより平行光に変換され、次いで対物レンズtで収束されて情報記録媒体としての光ディスクdに照射される。
First, in FIG. 1C, an optical pickup device P includes a semiconductor laser device L, an optical disk holder H, an optical system K, and a light receiving element (RF light receiving OPIC) J. It consists of a mirror h, a collimator lens c, an objective lens t, and a concave lens r.
Then, half of the laser light (laser beam) emitted from the semiconductor laser device L is reflected by the half mirror h, and the other half is transmitted. The reflected half of the laser light is converted into parallel light by the collimator lens c, and then converged by the objective lens t and irradiated onto the optical disk d as an information recording medium.

次いで、光ディスクdからの反射光(データの有無により光の反射量が変化する)は、対物レンズtおよびコリメータレンズcを介してハーフミラーhに戻り、透過した他の半分と合流し凹レンズrを介して受光素子Jに受光され、光ディスクdの情報として読み取られる(再生される)。   Next, the reflected light from the optical disk d (the amount of reflected light changes depending on the presence or absence of data) returns to the half mirror h via the objective lens t and the collimator lens c, and merges with the other half that has passed through the concave lens r. And is received (reproduced) as information on the optical disk d.

さて、半導体レーザ装置Lは、図1(A)・(B)において、本体1と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体1に支持された金属ステム2と、このステム上にサブマウント(誘電体)3を介して装着され、レーザ光を装着面4に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)5と、ステム2上に装着され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部(反射ミラー素子)6とを主として備えている。なお、7は、金属ステム2の金属キャップであり、金属ステム2と併せて金属パッケージと称する。
半導体レーザ素子5は、発光層及びP型半導体、N型半導体で構成され、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部9:9において金属ステム2のリード部8a,8b、8cと接続されている。
1A and 1B, a semiconductor laser device L includes a main body 1, a disk-shaped metal stem 2 supported on the main body 1 so as to be rotatable around its central axis, and the stem. A semiconductor laser element (semiconductor laser chip) 5 is mounted on the submount (dielectric material) 3 and emits laser light parallel to the mounting surface 4, and a laser beam mounted on the stem 2 and emitted. It mainly includes a mirror portion (reflection mirror element) 6 that reflects and emits the light to the outside. Reference numeral 7 denotes a metal cap of the metal stem 2 and is referred to as a metal package together with the metal stem 2.
The semiconductor laser element 5 is composed of a light emitting layer, a P-type semiconductor, and an N-type semiconductor, has an edge-emitting type resonator structure, and has a lead portion 8a of the metal stem 2 at the wire bond portion 9: 9 on the N side and the P side. , 8b, 8c.

かくして半導体レーザ素子5より放射されたレーザ光は、金属ステム2の中心付近に設置されたミラー部(反射ミラー)6で反射され、金属ステム2の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、金属パッケージの外へ放出される。
このとき、レーザ光が金属ステム2の平面(x−y平面)と垂直になるように、ミラー部6の角度は設計されている。また、金属ステム2が円盤形に形成され(外周径が2.0−6.0mm、板厚が0.5−2.0mm)、本体1の丸孔2aがその周囲に金属ステム2を回転可能に支持する円形段部2b[図(C)参照]を備えているので、半導体レーザ装置Lを光ピックアップ装置Pに設置する際に必要となる、金属ステム2の回転調整が容易になる。
Thus, the laser light emitted from the semiconductor laser element 5 is reflected by the mirror part (reflecting mirror) 6 installed near the center of the metal stem 2, and with respect to the plane (xy plane in the figure) of the metal stem 2. Are bent vertically and discharged out of the metal package.
At this time, the angle of the mirror portion 6 is designed so that the laser beam is perpendicular to the plane (xy plane) of the metal stem 2. Further, the metal stem 2 is formed in a disk shape (the outer diameter is 2.0-6.0 mm, the plate thickness is 0.5-2.0 mm), and the round hole 2a of the main body 1 rotates the metal stem 2 around it. Since the circular step 2b [see FIG. (C)] that can be supported is provided, the rotation adjustment of the metal stem 2 that is necessary when the semiconductor laser device L is installed in the optical pickup device P is facilitated.

これにより、半導体レーザ装置Lを光ピックアップ装置Pに設置するとき、レーザ光の偏光特性による影響が最小限になるような角度に回転調整できる[図1(C)の部分説明図X参照]。つまり、半導体レーザ特有のFFP特性により角度によって光強度および偏光特性が異なるので、半導体レーザ装置Lを回転調整することによって最適な角度で光ピックアップ装置Pに設置されるわけである。   Thus, when the semiconductor laser device L is installed in the optical pickup device P, the rotation can be adjusted to an angle that minimizes the influence of the polarization characteristics of the laser light [see the partial explanatory diagram X in FIG. In other words, the light intensity and the polarization characteristic vary depending on the angle depending on the FFP characteristic peculiar to the semiconductor laser, so that the semiconductor laser apparatus L is installed in the optical pickup apparatus P at the optimum angle by adjusting the rotation.

ここで、図1(B)において、金属ステム2は、半導体レーザ素子5と金属ステム2とのダイボンド面裏側が、放熱機能を備えた放熱用金具2cで外部と直接接触が可能であり、更に平面形状になっているため、放熱設計を取りやすく、半導体レーザ素子5に電流を流すことで発生する熱を金属ステム2(パッケージ)の外部に逃がしやすいという利点がある。   Here, in FIG. 1B, the metal stem 2 can be directly contacted with the outside by a heat dissipating metal fitting 2c having a heat dissipating function on the back side of the die bond surface between the semiconductor laser element 5 and the metal stem 2. Since it has a planar shape, there is an advantage that it is easy to take a heat radiation design, and heat generated by passing a current through the semiconductor laser element 5 is easily released outside the metal stem 2 (package).

<実施の形態2>
図2は本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態2を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。
さて、半導体レーザ装置10Lは、図2において、本体[図1(C)の本体1と同様の構成であり、図示を省略]と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持された金属ステム12と、このステム上にサブマウント(誘電体、以下、各構成について、実施の形態1と同様の場合は説明を省略することもある)13を介して装着され、レーザ光を装着面14に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)15と、ステム12上に装着され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部(反射ミラー素子)16とを主として備えている。なお、17は、金属ステム12の金属キャップであり、金属ステム12と併せて金属パッケージと称する。
<Embodiment 2>
FIG. 2 is a schematic explanatory exploded perspective view showing a semiconductor laser device according to a second embodiment of the present invention, including a coupled state.
In FIG. 2, the semiconductor laser device 10L has a main body [the same configuration as that of the main body 1 in FIG. 1C, which is not shown], and a disk-shaped main body that can be rotated around its central axis. A metal stem 12 supported on the substrate and a submount (dielectric, hereinafter, description of each component may be omitted in the same manner as in the first embodiment) 13 is mounted on the stem, and the laser. A semiconductor laser element (semiconductor laser chip) 15 that emits light parallel to the mounting surface 14; and a mirror section (reflection mirror element) 16 that is mounted on the stem 12 and reflects the emitted laser light to be emitted to the outside. Is mainly provided. Reference numeral 17 denotes a metal cap of the metal stem 12 and is referred to as a metal package together with the metal stem 12.

半導体レーザ素子15は、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部19において金属ステム12のリード部18a,18b、18cと接続されている。
かくして半導体レーザ素子15より放射されたレーザ光は、金属ステム12の中心付近に設置されたミラー部(反射ミラー)16で反射され、金属ステム12の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、金属パッケージの外へ放出される。
The semiconductor laser element 15 has an edge-emitting type resonator structure, and is connected to the lead portions 18a, 18b, and 18c of the metal stem 12 at the wire bond portion 19 on the N side and the P side.
Thus, the laser light emitted from the semiconductor laser element 15 is reflected by the mirror portion (reflecting mirror) 16 installed near the center of the metal stem 12, and with respect to the plane of the metal stem 12 (xy plane in the figure). Are bent vertically and discharged out of the metal package.

また、金属ステム12が円盤形に形成され(外周径が2.0−6.0mm、板厚が0.5−2.0mm)、本体の丸孔(図示省略)がその周囲に金属ステム12を回転可能に支持する円形段部(図示省略)を備えているので、半導体レーザ装置10Lを光ピックアップ装置(図示省略)に設置する際に必要となる、金属ステム12の回転調整が容易になる。   Further, the metal stem 12 is formed in a disc shape (the outer diameter is 2.0-6.0 mm, the plate thickness is 0.5-2.0 mm), and a round hole (not shown) of the main body is formed around the metal stem 12. Is provided with a circular step portion (not shown) that rotatably supports the semiconductor laser device 10L. When the semiconductor laser device 10L is installed in the optical pickup device (not shown), the rotation adjustment of the metal stem 12 is facilitated. .

<実施の形態3>
図3は、本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態3を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。
図3において、半導体レーザ装置20Lは、本体[図1(C)の本体1と同様の構成であり、図示を省略]と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持された金属ステム22と、このステム上にサブマウント23を介して装着されレーザ光を装着面24に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)25と、ステム22上に一体に形成され、必要によりその上に反射材(例えば、銀ペースト、樹脂)を塗布して鏡面にされ、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するためのミラー部(反射ミラー素子)26とを主として備えている。なお、27は、金属ステム22の金属キャップであり、金属ステム22と併せて金属パッケージと称する。
<Embodiment 3>
FIG. 3 is a schematic explanatory exploded perspective view showing the semiconductor laser device according to the third embodiment of the present invention, including the coupled state.
In FIG. 3, a semiconductor laser device 20L has a main body [same configuration as that of the main body 1 in FIG. 1C, not shown], and is supported by the main body so as to be rotatable around its central axis. Formed on the stem 22, a semiconductor laser element (semiconductor laser chip) 25 that is mounted on the stem via a submount 23 and emits laser light parallel to the mounting surface 24, and is integrally formed on the stem 22. If necessary, a reflecting material (for example, silver paste or resin ) is coated thereon to be a mirror surface, and mainly includes a mirror part (reflection mirror element) 26 for reflecting the emitted laser light and emitting it to the outside. ing. Reference numeral 27 denotes a metal cap of the metal stem 22, which is referred to as a metal package together with the metal stem 22.

半導体レーザ素子25は、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部29において金属ステム22のリード部28a,28b、28cと接続されている。
かくして半導体レーザ素子25より放射されたレーザ光は、金属ステム22の中心付近に設置されたミラー部(反射ミラー)26で反射され、金属ステム22の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、金属パッケージの外へ放出される。
The semiconductor laser element 25 has an edge-emitting type resonator structure, and is connected to the lead portions 28a, 28b, and 28c of the metal stem 22 at the wire bonding portion 29 on the N side and the P side.
Thus, the laser light emitted from the semiconductor laser element 25 is reflected by the mirror portion (reflecting mirror) 26 installed near the center of the metal stem 22, and is relative to the plane of the metal stem 22 (xy plane in the figure). Are bent vertically and discharged out of the metal package.

また、金属ステム22が円盤形に形成され、本体の丸孔(図示省略)がその周囲に金属ステム22を回転可能に支持する円形段部(図示省略)を備えているので、半導体レーザ装置20Lを光ピックアップ装置に設置する際に必要となる、金属ステム22の回転調整が容易になる。   Further, the metal stem 22 is formed in a disk shape, and the round hole (not shown) of the main body includes a circular step portion (not shown) that rotatably supports the metal stem 22 around the semiconductor stem device 20L. Rotation adjustment of the metal stem 22 which is necessary when installing the lens in the optical pickup device becomes easy.

<実施の形態4>
図4は本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態4を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。
図4において、半導体レーザ装置30Lは、本体[図1(C)の本体1と同様の構成であり、図示を省略]と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持された金属ステム32と、このステム上にサブマウント33を介して装着され、レーザ光を装着面34に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)35と、同じくサブマウント33上に一体に形成され、必要によりその上に反射材(例えば、銀ペースト、樹脂など)を塗布して構成され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するためのミラー部(反射ミラー素子)36とを主として備えている。
<Embodiment 4>
FIG. 4 is a schematic explanatory exploded perspective view including a coupled state, showing a semiconductor laser device according to a fourth embodiment of the present invention.
In FIG. 4, a semiconductor laser device 30L has a main body [the same configuration as that of the main body 1 in FIG. 1C, which is not shown], and is supported by the main body so as to be rotatable around its central axis. The metal stem 32, a semiconductor laser element (semiconductor laser chip) 35 mounted on the stem via a submount 33 and emitting laser light parallel to the mounting surface 34, and the submount 33 are also integrated. A mirror part (reflection mirror element) 36 that is formed and is formed by applying a reflective material (for example, silver paste, resin, etc.) thereon if necessary, for reflecting the emitted laser light and emitting it to the outside; Is mainly provided.

ここで、サブマウント33とミラー部36とは、2枚の金属板を一体に張り合わせて金属ステム32、下の金属板をサブマウント33とし、上の金属板を一部除去すると共に、除去面を傾斜をつけて削ることによってミラー部(表面に銀ペーストを塗布)36とする。
なお、37は、金属ステム32の金属キャップであり、金属ステム32と併せて金属パッケージと称する。
半導体レーザ素子35は、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部39において金属ステム32のリード部38a,38b、38cと接続されている。
Here, the submount 33 and the mirror portion 36 are formed by integrally bonding two metal plates together to form a metal stem 32, a lower metal plate as a submount 33, and removing a part of the upper metal plate as well as a removal surface. Is made into a mirror part (a silver paste is applied to the surface) 36 by shaving.
Reference numeral 37 denotes a metal cap of the metal stem 32 and is referred to as a metal package together with the metal stem 32.
The semiconductor laser element 35 has an edge emitting resonator structure, and is connected to the lead portions 38a, 38b, and 38c of the metal stem 32 at the wire bonding portion 39 on the N side and the P side.

かくして半導体レーザ素子35より放射されたレーザ光は、サブマウント33上に形成されたミラー部(反射ミラー)36で反射され、金属ステム32の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、金属パッケージの外へ放出される。
また、金属ステム32が円盤形に形成され、本体の丸孔(図示省略)がその周囲に金属ステム32を回転可能に支持する円形段部(図示省略)を備えているので、半導体レーザ装置30Lを光ピックアップ装置に設置する際に必要となる、金属ステム32の回転調整が容易になる。
Thus, the laser light emitted from the semiconductor laser element 35 is reflected by the mirror portion (reflection mirror) 36 formed on the submount 33 and is perpendicular to the plane of the metal stem 32 (xy plane in the drawing). It is bent in the direction and discharged out of the metal package.
Further, the metal stem 32 is formed in a disk shape, and the round hole (not shown) of the main body has a circular step portion (not shown) that rotatably supports the metal stem 32 around the semiconductor stem device 30L. Rotation adjustment of the metal stem 32, which is necessary when installing the lens in the optical pickup device, becomes easy.

<実施の形態5>
図5は、本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態5を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。
図5において、半導体レーザ装置40Lは、本体[図1(C)の本体1と同様の構成であり、図示を省略]と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持された金属ステム42と、このステム上にサブマウント43を介して装着され、レーザ光を装着面44に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)45と、金属ステム42上に一体に形成され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するためのミラー部(反射ミラー素子)46とを主として備えている。
<Embodiment 5>
FIG. 5 is a schematic explanatory exploded perspective view including a coupled state, showing a fifth embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention.
In FIG. 5, a semiconductor laser device 40L has a main body [same configuration as that of the main body 1 in FIG. 1 (C), not shown], and is supported by the main body so as to be rotatable around its central axis. The metal stem 42 is mounted on the stem via a submount 43, and a semiconductor laser element (semiconductor laser chip) 45 that emits laser light parallel to the mounting surface 44 is formed integrally with the metal stem 42. And a mirror portion (reflection mirror element) 46 for reflecting the emitted laser light and emitting it to the outside.

ここで、ミラー部46は、金属ステム42の上に一体に形成され、表面に凹み46bを有する傾斜ブロック部46aと、係合凸起46cを有し、この係合凸起を傾斜ブロック部46aの凹み46bに係合させたミラー素子46dとからなる。
なお、47は、金属ステム42の金属キャップであり、金属ステム42と併せて金属パッケージと称する。
半導体レーザ素子45は、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部49において金属ステム42のリード部48a,48b、48cと接続されている。
Here, the mirror part 46 is integrally formed on the metal stem 42, has an inclined block part 46a having a recess 46b on the surface, and an engaging protrusion 46c. The engaging protrusion is used as the inclined block part 46a. And a mirror element 46d engaged with the recess 46b.
Reference numeral 47 denotes a metal cap of the metal stem 42 and is referred to as a metal package together with the metal stem 42.
The semiconductor laser element 45 has an edge-emitting type resonator structure, and is connected to the lead portions 48a, 48b, and 48c of the metal stem 42 at the wire bonding portion 49 on the N side and the P side.

かくして半導体レーザ素子45より放射されたレーザ光は、サブマウント43上に形成されたミラー部(反射ミラー)46で反射され、金属ステム42の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、金属パッケージの外へ放出される。
また、金属ステム42が円盤形に形成され、本体の丸孔(図示省略)がその周囲に金属ステム42を回転可能に支持する円形段部(図示省略)を備えているので、半導体レーザ装置40Lを光ピックアップ装置に設置する際に必要となる、金属ステム42の回転調整が容易になる。
Thus, the laser light emitted from the semiconductor laser element 45 is reflected by the mirror portion (reflection mirror) 46 formed on the submount 43 and is perpendicular to the plane of the metal stem 42 (xy plane in the drawing). It is bent in the direction and discharged out of the metal package.
Further, the metal stem 42 is formed in a disk shape, and the round hole (not shown) of the main body includes a circular step portion (not shown) that rotatably supports the metal stem 42 around the semiconductor stem device 40L. Rotation adjustment of the metal stem 42, which is necessary when installing the lens in the optical pickup device, becomes easy.

<実施の形態6>
図6は、本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態6を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。
図6において、半導体レーザ装置50Lは、本体[図1(C)の本体1と同様の構成であり、図示を省略]と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持され、表面に凹部52aを有する金属ステム52と、このステムの凹部52aの底面上にサブマウント53を介して装着されレーザ光を装着面54に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)55と、金属ステム52の凹部52aの一壁面に傾斜して一体に形成され(表面に銀ペーストを塗布)、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するためのミラー部(反射ミラー素子)56とを主として備えている。
<Embodiment 6>
FIG. 6 is a schematic explanatory exploded perspective view including a coupled state, showing a semiconductor laser device according to a sixth embodiment of the present invention.
In FIG. 6, a semiconductor laser device 50L has a main body [same configuration as that of the main body 1 in FIG. 1C, not shown], and is supported by the main body so as to be rotatable around its central axis. A metal stem 52 having a recess 52a on the surface, and a semiconductor laser element (semiconductor laser chip) 55 that is mounted on the bottom surface of the recess 52a of the stem via a submount 53 and emits laser light parallel to the mounting surface 54. And a mirror part (reflection mirror element) that is integrally formed with an inclination on one wall surface of the recess 52a of the metal stem 52 (a silver paste is applied on the surface) and reflects the emitted laser light to be emitted to the outside. 56 mainly.

なお、57は、金属ステム52の金属キャップであり、金属ステム52と併せて金属パッケージと称する。
半導体レーザ素子55は、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部59において金属ステム52のリード部58a,58b、58cと接続されている。
Reference numeral 57 denotes a metal cap of the metal stem 52 and is referred to as a metal package together with the metal stem 52.
The semiconductor laser element 55 has an edge-emitting type resonator structure, and is connected to the lead portions 58a, 58b, and 58c of the metal stem 52 at the wire bonding portion 59 on the N side and the P side.

かくして半導体レーザ素子55より放射されたレーザ光は、サブマウント53上に形成されたミラー部(反射ミラー)56で反射され、金属ステム52の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、金属パッケージの外へ放出される。
また、金属ステム52が円盤形に形成され、本体の丸孔(図示省略)がその周囲に金属ステム52を回転可能に支持する円形段部(図示省略)を備えているので、半導体レーザ装置50Lを光ピックアップ装置に設置する際に必要となる、金属ステム52の回転調整が容易になる。
Thus, the laser light emitted from the semiconductor laser element 55 is reflected by the mirror portion (reflection mirror) 56 formed on the submount 53 and is perpendicular to the plane of the metal stem 52 (xy plane in the drawing). It is bent in the direction and discharged out of the metal package.
Further, the metal stem 52 is formed in a disk shape, and the round hole (not shown) of the main body includes a circular step portion (not shown) that rotatably supports the metal stem 52 around the semiconductor stem device 50L. Rotation adjustment of the metal stem 52, which is necessary when installing the lens in the optical pickup device, becomes easy.

<実施の形態7>
図7は、本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態7を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。
図7において、半導体レーザ装置60Lは、本体[図1(C)の本体1と同様の構成であり、図示を省略]と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持された金属ステム62と、このステム上にサブマウント63を介して装着され、波長の異なる二つのレーザ光(発振波長:620−680nmと390−470nm)を装着面64に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)65と、ステム62上に装着され、放射された各レーザ光を反射して外部に放出するミラー部(反射ミラー素子)66とを主として備えている。
なお、67は、金属ステム62の金属キャップであり、金属ステム62と併せて金属パッケージと称する。
<Embodiment 7>
FIG. 7 is a schematic explanatory exploded perspective view including a coupled state, showing a seventh embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention.
In FIG. 7, a semiconductor laser device 60L has a main body [same configuration as that of the main body 1 in FIG. 1C, not shown], and is supported by the main body so as to be rotatable around its central axis. The semiconductor stem 62 mounted on the stem via the submount 63 and emitting two laser beams having different wavelengths (oscillation wavelengths: 620-680 nm and 390-470 nm) in parallel to the mounting surface 64 It mainly includes an element (semiconductor laser chip) 65 and a mirror part (reflection mirror element) 66 that is mounted on the stem 62 and reflects each emitted laser beam to be emitted to the outside.
Reference numeral 67 denotes a metal cap of the metal stem 62 and is referred to as a metal package together with the metal stem 62.

半導体レーザ素子65は、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部69において金属ステム62のリード部68a,68b、68cと接続されている。
かくして半導体レーザ素子65より放射された波長の異なる二つのレーザ光は、金属ステム62の中心付近に設置されたミラー部(反射ミラー)66で反射され、金属ステム62の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、金属パッケージの外へ放出される。
The semiconductor laser element 65 has an edge-emitting type resonator structure, and is connected to the lead portions 68a, 68b, and 68c of the metal stem 62 at the wire bonding portion 69 on the N side and the P side.
Thus, the two laser beams having different wavelengths emitted from the semiconductor laser element 65 are reflected by the mirror portion (reflecting mirror) 66 installed near the center of the metal stem 62, and the plane of the metal stem 62 (x- in the figure). is bent perpendicularly to the y-plane) and released out of the metal package.

また、金属ステム62が円盤形に形成され、本体の丸孔(図示省略)がその周囲に金属ステム62を回転可能に支持する円形段部(図示省略)を備えているので、半導体レーザ装置60Lを光ピックアップ装置に設置する際に必要となる、金属ステム62の回転調整が容易になる。   Further, the metal stem 62 is formed in a disk shape, and the round hole (not shown) of the main body includes a circular step portion (not shown) that rotatably supports the metal stem 62 around the semiconductor stem device 60L. Rotation adjustment of the metal stem 62, which is necessary when installing the lens in the optical pickup device, becomes easy.

<実施の形態8>
図8は、本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態8を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。
図8において、半導体レーザ装置70Lは、本体[図1(C)の本体1と同様の構成であり、図示を省略]と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持され、外周囲に目印としての3つの切欠部72a、72b、72cを有する金属ステム72と、このステム上にサブマウント73を介して装着されレーザ光を装着面74に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)75と、ステム72上に装着され、放射されたレーザ光を反射して外部に放出するミラー部(反射ミラー素子)76とを主として備えている。なお、77は、金属ステム72の金属キャップであり、金属ステム72と併せて金属パッケージと称する。
<Eighth embodiment>
FIG. 8 is a schematic explanatory exploded perspective view including a coupled state, showing an eighth embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention.
In FIG. 8, a semiconductor laser device 70L has a main body [the same configuration as that of the main body 1 of FIG. 1 (C), not shown], and is supported by the main body so as to be rotatable around its central axis. And a semiconductor stem element which is mounted on the stem via a submount 73 and emits laser light parallel to the mounting surface 74. The metal stem 72 has three notches 72a, 72b and 72c as marks on the outer periphery. (Semiconductor laser chip) 75 and a mirror part (reflection mirror element) 76 that is mounted on the stem 72 and reflects the emitted laser light and emits it outside. Reference numeral 77 denotes a metal cap of the metal stem 72, which is referred to as a metal package together with the metal stem 72.

半導体レーザ素子75は、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部79において金属ステム72のリード部78a,78b、78cと接続されている。
かくして半導体レーザ素子75より放射されたレーザ光は、金属ステム72の中心付近に設置されたミラー部(反射ミラー)76で反射され、金属ステム72の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、金属パッケージの外へ放出される。
The semiconductor laser element 75 has an edge-emitting resonator structure, and is connected to the lead portions 78a, 78b, and 78c of the metal stem 72 at the wire bonding portion 79 on the N side and the P side.
Thus, the laser light emitted from the semiconductor laser element 75 is reflected by the mirror portion (reflecting mirror) 76 disposed near the center of the metal stem 72, and with respect to the plane of the metal stem 72 (xy plane in the figure). Are bent vertically and discharged out of the metal package.

また、金属ステム72が円盤形に形成され、本体の丸孔(図示省略)がその周囲に金属ステム72を回転可能に支持する円形段部(図示省略)を備えているので、半導体レーザ装置70Lを光ピックアップ装置に設置する際に必要となる、金属ステム72の回転調整が容易になる。特に、金属ステム72が、その外周囲に目印としての3つの切欠部72a、72b、72cを有しているので、回転調整する際に角度の判定および調整回転が容易になり、より好ましい。 Further, the metal stem 72 is formed in a disk shape, and the round hole (not shown) of the main body has a circular step portion (not shown) that rotatably supports the metal stem 72 around the semiconductor stem device 70L. Rotation adjustment of the metal stem 72, which is necessary when installing the lens in the optical pickup device, becomes easy. In particular, since the metal stem 72 has three notches 72a, 72b, 72c as marks on the outer periphery thereof, the angle determination and adjustment rotation are facilitated when the rotation is adjusted, which is more preferable.

<実施の形態9>
図9は、本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態9を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。
図9において、半導体レーザ装置80Lは、本体[図1(C)の本体1と同様の構成であり、図示を省略]と、円盤形で、その中心軸のまわりに回転調整可能に本体に支持され、外周囲に目印としての3つの切欠部82a、82b、82cを有する金属ステム82と、このステム上にサブマウント83を介して装着されレーザ光を装着面84に平行に放射する半導体レーザ素子(半導体レーザチップ)85と、ステム82上に装着され、放射されたレーザ光を非コヒーレント性に変換して反射し外部に放出するミラー部(表面を梨地処理した反射ミラー素子)86とを主として備えている。なお、87は、金属ステム82の金属キャップであり、金属ステム82と併せて金属パッケージと称する。
<Embodiment 9>
FIG. 9 is an exploded perspective view schematically illustrating a semiconductor laser device according to a ninth embodiment of the present invention, including a coupled state.
In FIG. 9, a semiconductor laser device 80L has a main body [the same configuration as that of the main body 1 in FIG. 1C, which is not shown], and is supported by the main body so as to be rotatable around its central axis. And a semiconductor stem element mounted on the stem via a submount 83 and emitting laser light parallel to the mounting surface 84. The metal stem 82 has three notches 82a, 82b and 82c as marks on the outer periphery. (Semiconductor laser chip) 85 and a mirror part (reflective mirror element whose surface is satin-finished) 86 that is mounted on the stem 82, converts the emitted laser light into non-coherent light, reflects it, and emits it to the outside. I have. Reference numeral 87 denotes a metal cap of the metal stem 82 and is referred to as a metal package together with the metal stem 82.

半導体レーザ素子85は、端面発光型の共振器構造を持ち、N側、P側でワイヤボンド部89において金属ステム82のリード部88a,88b、88cと接続されている。
かくして半導体レーザ素子85より放射されたレーザ光は、金属ステム82の中心付近に設置されたミラー部(反射ミラー)86で非コヒーレント性に変換されて反射され、金属ステム82の平面(図中のx−y平面)に対して垂直方向に曲げられ、人間の目に影響のないレーザ光として金属パッケージの外へ放出される。もちろん、レーザ光を照明光として利用でき、さらにミラー部を緩やかな凸面として周囲に拡散できるようにしても良い。
The semiconductor laser element 85 has an edge-emitting type resonator structure, and is connected to the lead portions 88a, 88b, 88c of the metal stem 82 at the wire bonding portion 89 on the N side and the P side.
Thus, the laser light emitted from the semiconductor laser element 85 is converted to non-coherent by the mirror portion (reflection mirror) 86 disposed near the center of the metal stem 82 and reflected, and the plane of the metal stem 82 (in the drawing) The laser beam is bent in a direction perpendicular to the (xy plane) and emitted outside the metal package as a laser beam that does not affect the human eye. Of course, laser light may be used as illumination light, and the mirror portion may be diffused around as a gentle convex surface.

以上のごとく、本発明に係る半導体レーザ装置の各実施の形態は、ピックアップ用途や照明用途という限られたスペースの中に組み込まれて使用されているにもかかわらず、チップからの放熱しやすい形のパッケージとなり、かつ軸合わせ時の回転調整も可能となる。   As described above, each embodiment of the semiconductor laser device according to the present invention has a shape in which heat is easily radiated from the chip despite being incorporated in a limited space such as a pickup application or an illumination application. In addition, the rotation adjustment at the time of axis alignment is also possible.

本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態1を示す概略説明図であり、その(A)は結合状態を含む概略説明分解斜視図、(B)はその要部拡大説明図、(C)はこの半導体レーザ装置を組み込んだ光ピックアップ装置の概略構成説明図を示す。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is the schematic explanatory drawing which shows Embodiment 1 of the semiconductor laser apparatus based on this invention, (A) is a schematic explanatory exploded perspective view including a coupling state, (B) is the principal part expansion explanatory drawing, (C) is FIG. 1 is a schematic configuration explanatory diagram of an optical pickup device incorporating this semiconductor laser device. 本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態2を示す、結合状態を含む概略説明分解斜視図である。It is a schematic explanatory exploded perspective view including the combined state which shows Embodiment 2 of the semiconductor laser apparatus which concerns on this invention. 本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態3を示す図2相当図である。FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 2 showing a third embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention. 本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態4を示す図2相当図である。FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 2, showing a fourth embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention. 本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態5を示す図2相当図である。FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 2, showing a semiconductor laser device according to a fifth embodiment of the present invention. 本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態6を示す図2相当図である。FIG. 9 is a view corresponding to FIG. 2, showing a sixth embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention. 本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態7を示す図2相当図である。FIG. 9 is a view corresponding to FIG. 2, showing a seventh embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention. 本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態8を示す図2相当図である。FIG. 9 is a view corresponding to FIG. 2, showing an eighth embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention. 本発明に係る半導体レーザ装置の実施の形態9を示す図2相当図である。FIG. 9 is a view corresponding to FIG. 2, showing a ninth embodiment of the semiconductor laser apparatus according to the present invention. 従来の半導体レーザ装置の要部拡大説明図である。It is principal part expansion explanatory drawing of the conventional semiconductor laser apparatus.

符号の説明Explanation of symbols

1 本体
2 金属ステム
2a 丸孔
2b 円形段部
2c 放熱用金具
3 サブマウント
4 装着面
5 半導体レーザ素子
6 ミラー部
7 金属キャップ
8a リード部
8b リード部
8c リード部
9 ワイヤボンド部
10 放熱金具
L 半導体レーザ装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main body 2 Metal stem 2a Round hole 2b Circular step part 2c Heat radiation metal fitting 3 Submount 4 Mounting surface 5 Semiconductor laser element 6 Mirror part 7 Metal cap 8a Lead part 8b Lead part 8c Lead part 9 Wire bond part 10 Heat radiation metal L Semiconductor Laser equipment

Claims (2)

テムと、このステム上に装着されレーザ光を放射する半導体レーザ素子と、ステム上に形成され、放射されたレーザ光を反射して放出するミラー部とを備え、前記ミラー部がレーザ光を非コヒーレンス光に変換して反射する凸面の反射面を有する半導体レーザ素子装置。 It includes scan Temu and a semiconductor laser element which radiate instrumentation wearing of it laser light on the stem, made form on the stem, and a mirror unit for output release reflects the laser light emitted, A semiconductor laser device having a convex reflecting surface on which the mirror unit reflects and converts laser light into non-coherence light . ステム上に被せられ、半導体レーザ素子およびミラー部を覆うキャップを更に備えた請求項1に記載の半導体レーザ素子装置。 Overlaid onto the stem, the semiconductor laser device according to claim 1, further comprising a cap covering the semiconductor laser device and a mirror unit.
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